JP3532624B2

JP3532624B2 - 弾性表面波フィルタ

Info

Publication number: JP3532624B2
Application number: JP24245794A
Authority: JP
Inventors: 徹山田; 俊雄石崎; 弘三村上; 和紀西村
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1993-10-08
Filing date: 1994-10-06
Publication date: 2004-05-31
Anticipated expiration: 2019-05-31
Also published as: JPH0851334A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、無線機の高周波回路な
どに使用される弾性表面波フィルタに関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】弾性表面波（ＳＡＷ）フィルタは、従来
より通信機器の送受信回路内のＲＦ、ＩＦ段のフィルタ
として盛んに用いられている。近年、移動体通信のデジ
タル化に伴い、デジタル携帯電話やデジタルコードレス
電話の開発が盛んに推められている。これらに用いられ
る通信方式においては、振幅以外に位相にも情報を持た
せているため、ＩＦ段に用いられるフィルタも振幅特性
が良いだけではなく群遅延偏差特性が平坦であることが
重要である。また、隣接チャネルの信号と所望の信号を
区別する選択度についても優れた特性が要求されている
ため、急峻な帯域外減衰量特性が必要とされる。さら
に、最近はセットの小型化に伴う高密度実装化により、
接地強度不足やシールド不足による部品間の結合や干渉
が問題となっており、その影響を抑えるために平衡型回
路の開発が進められている。

【０００３】従来、ＩＦ段に使用することができるＳＡ
Ｗフィルタとしては、トランスバーサル型のＳＡＷフィ
ルタと縦モード結合共振器型及び横モード結合共振器型
の２種類のＳＡＷ共振器フィルタがよく知られている。
トランスバーサル型のＳＡＷフィルタは優れた群遅延偏
差特性を有するが、挿入損失及びサイズが大きく、帯域
外減衰量特性も悪い。一方、ＳＡＷ共振器フィルタは優
れた帯域外減衰量特性を有し、挿入損失及びサイズも小
さいが、トランスバーサル型と比較して群遅延偏差特性
が劣る。また、縦モード結合共振器型は通過帯域の近傍
高域側に大きなスプリアスが存在することを特徴とし、
横モード結合共振器型は非常に狭帯域な通過特性を有す
ることを特徴とする。従来の移動体通信用のＩＦフィル
タとしては、小型で帯域外減衰量特性の優れた横モード
結合共振器型のＳＡＷフィルタがよく用いられてきた。

【０００４】以下、従来の横モード結合共振器型ＳＡＷ
フィルタについて説明する。図２４は従来技術における
横モード結合共振器型ＳＡＷフィルタの電極パターンを
示す構成図である。図２４において、２４１は単結晶圧
電基板であり、この圧電基板２４１の上に電極パターン
を形成することにより、弾性表面波を励起させることが
できる。２４２ａはインタデジタルトランスジューサ
（ＩＤＴ）電極であり、その両側に反射器電極２４２
ｂ、２４２ｃを配置することにより、エネルギー閉じ込
め型のＳＡＷ共振器が形成されている。また、ＩＤＴ電
極２４３ａと反射器電極２４３ｂ、２４３ｃとにより同
様のＳＡＷ共振器が形成されている。そして、上記２つ
の共振器は近接配置され、その間に音響結合が生じるこ
とによって第１段のＳＡＷ共振器フィルタが構成されて
いる。さらに、圧電基板２４１の上には、ＩＤＴ電極２
４４ａ、２４５ａ及び反射器電極２４４ｂ、２４４ｃ、
２４５ｂ、２４５ｃにより、上記と同様に第２段のＳＡ
Ｗ共振器フィルタが構成されている。上記２段のＳＡＷ
共振器フィルタは電極パターン２４６によって電気的に
縦続に接続されており、これにより多段接続のＳＡＷフ
ィルタが構成されている。

【０００５】以上のように構成された多段接続のＳＡＷ
フィルタは、ＩＤＴ電極の電極指交差幅と近接配置され
た２つのＳＡＷ共振器間の距離とによって圧電基板上に
励起する２種類の弾性表面波のモード周波数が決定さ
れ、フィルタの通過帯域幅が定めらる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のように
構成された多段接続のＳＡＷフィルタにおいては、実現
可能な帯域幅が非常に狭く、実現されるフィルタの比帯
域幅（フィルタの中心周波数で規格化した帯域幅）は高
々０．１％程度である。また、入出力インピーダンス特
性は、ＩＤＴ電極の指交差幅の寸法に依存するため、任
意のインピーダンスを実現することは困難である。さら
に、入出力段のＩＤＴ電極２４２ａ、２４５ａの電極指
の片側は接地されているため、平衡入出力化を実現する
ことはできない。

【０００７】また、上記したデジタル化に対応させるた
めには、（１）通過特性をより広帯域化して群遅延偏差
特性の平坦な帯域を広くすること、（２）平衡入出力を
可能にすることが要求される。従来、広帯域化が必要な
場合には、フィルタの段間とアースとの間に伸長コイル
を挿入していた。また、周辺回路へ接続するために、入
出力段に整合回路素子を付加していた。

【０００８】しかし、このような構成では、ＳＡＷフィ
ルタの外部に伸長コイルや整合回路素子を伴うために、
部品点数が増えて回路全体のサイズが大きくなると共
に、これらの素子のバラツキや結合がフィルタの回路特
性に悪影響を及ぼし、さらに入出力が非平衡であるとい
った問題点があった。

【０００９】本発明は、従来技術における前記課題を解
決するため、小型化、広帯域化を図ることができると共
に、安定した特性を実現することができ、また、平衡入
出力化をも実現することができる弾性表面波フィルタを
提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係る弾性表面波フィルタの第１の構成は、
圧電基板上に、インタデジタルトランスジューサ（ＩＤ
Ｔ）電極の両側に反射器電極を具備した弾性表面波（Ｓ
ＡＷ）共振器を、ＳＡＷの伝播方向と平行に３個近接配
置して音響結合させ、中央に配置された前記ＳＡＷ共振
器を構成する一方の電極指と他方の電極指と、外側に配
置された前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極の内側
の電極指をそれぞれ、外側に配置された前記ＳＡＷ共振
器を構成するＩＤＴ電極と前記反射器電極との間隙に配
した電極パターンを介して接地し、外側の電極指をそれ
ぞれ入力端子と出力端子に接続したものである。

【００１１】

【００１２】また、前記本発明の第１の構成において
は、前記圧電基板上に形成された段間接続電極パターン
により複数個縦続に接続するのが好ましい。また、この
場合には、前記段間接続電極パターンの一部にボンディ
ング用の電極パッドを形成するのが好ましい。また、こ
の場合には、前記段間接続電極パターンを、同一圧電基
板上の電極パターンによって形成したリアクタンス素子
を介して接地するのが好ましい。この場合には、さら
に、前記リアクタンス素子がスパイラルインダクタであ
るのが好ましい。

【００１３】また、本発明に係る弾性表面波フィルタの
第２の構成は、圧電基板上に、ＩＤＴ電極の両側に反射
器電極を具備したＳＡＷ共振器を、ＳＡＷの伝搬方向と
平行に３個近接配置して音響結合させ、隣接する前記Ｓ
ＡＷ共振器間の２箇所のバスバー用電極パターンを分割
すると共に、中央に配置された前記ＳＡＷ共振器を構成
する一方の電極指と他方の電極指を、外側に配置された
前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極と前記反射器電
極との間隙に配した電極パターンを介して接地し、外側
に配置された一方の前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ
電極の電極指を平衡型入力端子に接続し、外側に配置さ
れたもう一方の前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極
の電極指を平衡型出力端子に接続したものである。

【００１４】また、前記本発明の第２の構成において
は、外側に配置された前記ＳＡＷ共振器のＩＤＴ電極を
構成するバスバー用電極パターンの線路幅を、中央に配
置された前記ＳＡＷ共振器のＩＤＴ電極を構成するバス
バー用電極パターンの線路幅よりも大きくするのが好ま
しい。

【００１５】

【００１６】また、前記本発明の第２の構成において
は、前記圧電基板上に形成された複数本の段間接続電極
パターンにより複数個縦続に接続するのが好ましい。ま
た、この場合には、複数本の前記段間接続電極パターン
の一部にボンディング用の電極パッドを形成するのが好
ましい。また、この場合には、複数本の段間接続パター
ン同士を、リアクタンス素子を介して接続するのが好ま
しい。また、この場合には、複数本の前記段間接続電極
パターンの一方を接地し、もう一方の前記段間接続電極
パターンをリアクタンス素子を介して接地するのが好ま
しい。この場合には、さらに、前記リアクタンス素子が
同一圧電基板上の電極パターンによって形成されたスパ
イラルインダクタであるのが好ましい。

【００１７】また、本発明に係る弾性表面波フィルタの
第３の構成は、圧電基板上に、ＩＤＴ電極の両側に反射
器電極を具備したＳＡＷ共振器を、ＳＡＷの伝搬方向と
平行に２個形成し、前記ＳＡＷ共振器間に、前記ＳＡＷ
共振器のＩＤＴ電極指交差幅と同程度の長さを有するス
トリップライン電極を、前記ＳＡＷ共振器と同一の電極
周期で並行配置することによって、周期構造状電極列を
形成すると共に、前記ＳＡＷ共振器と前記周期構造状電
極列を近接配置して音響結合させ、かつ、前記周期構造
状電極列を構成する前記各ストリップライン電極をその
両端に設けたバスバー電極によって互いに接続して前記
各ストリップライン電極を接地したものである。

【００１８】また、前記本発明の第３の構成において
は、前記周期構造状電極列を、外側に配置された前記Ｓ
ＡＷ共振器のＩＤＴ電極と前記反射器電極との間隙に配
した電極と前記バスバー電極を介して接地するのが好ま
しい。また、この場合には、外側に配置された一方の前
記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極を平衡型入力端子
に接続し、外側に配置されたもう一方の前記ＳＡＷ共振
器を構成するＩＤＴ電極を平衡型出力端子に接続するの
が好ましい。さらに、この場合には、外側に配置された
前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極の、周期構造状
電極列と隣接する側のバスバー用電極パターンの線路幅
を、前記周期構造状電極列に形成したバスバー用電極パ
ターンの線路幅よりも大きくするのが好ましい。また、
前記本発明の第３の構成においては、前記圧電基板上に
形成された複数本の段間接続電極パターンにより複数個
縦続に接続するのが好ましい。

【００１９】また、前記本発明の第３の構成において
は、前記ＳＡＷ共振器の前記周期構造状電極列と隣接す
る側のＩＤＴ電極と、前記周期構造状電極列を接続する
前記バスバー電極とを一体化すると共に、前記周期構造
状電極列を接地するのが好ましい。

【００２０】

【００２１】

【００２２】

【００２３】

【００２４】

【００２５】

【００２６】

【００２７】

【００２８】

【００２９】

【００３０】

【００３１】

【００３２】

【００３３】

【００３４】

【作用】前記本発明の第１の構成によれば、圧電基板上
に、ＩＤＴ電極の両側に反射器電極を具備したＳＡＷ共
振器を、ＳＡＷの伝播方向と平行に３個近接配置して音
響結合させ、中央に配置された前記ＳＡＷ共振器を構成
する一方の電極指と他方の電極指と、外側に配置された
前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極の内側の電極指
をそれぞれ、外側に配置された前記ＳＡＷ共振器を構成
するＩＤＴ電極と前記反射器電極との間隙に配した電極
パターンを介して接地し、外側の電極指をそれぞれ入力
端子と出力端子に接続したことにより、中央に配置され
たＳＡＷ共振器のポテンシャルが自由に分布できると共
に、外側に配置されたＳＡＷ共振器間でポテンシャルが
キャンセルされることはないので、２次モードに関して
も強い励振強度を得ることができる。その結果、３つの
励起モードを利用したＳＡＷフィルタを実現することが
でき、外部伸長コイル等を用いることなく、従来の２つ
の励起モードを利用したＳＡＷフィルタよりも広帯域な
通過特性を得ることができるので、フィルタ回路の小型
化を図ることができる。また、このように３つの励起モ
ードを利用したＳＡＷフィルタを実現することができる
ために、従来の２次のＳＡＷフィルタよりも帯域外減衰
傾度特性が急峻となり、より良好な選択度特性を得るこ
ともできる。また、ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極
と反射器電極との間隙を決定する自由度が増すため、Ｉ
ＤＴ電極と反射器電極との間隙を適切に定めて帯域外ス
プリアスを制御することができる。その結果、より良好
な帯域外特性を得ることができる。

【００３５】

【００３６】また、前記本発明の第１の構成において、
前記圧電基板上に形成された段間接続電極パターンによ
り複数個縦続に接続するという好ましい構成によれば、
帯域外減衰量特性が大幅に改善され、より良好なフィル
タ特性を得ることができる。また、この場合、前記段間
接続電極パターンの一部にボンディング用の電極パッド
を形成するという好ましい構成によれば、段間接続電極
パターンにインダクタンス等の整合素子を接続して良好
な通過特性を得る場合に、段間接続電極パターンと外部
回路との接続が容易になる。また、この場合、前記段間
接続電極パターンを、同一圧電基板上の電極パターンに
よって形成したリアクタンス素子を介して接地するとい
う好ましい構成によれば、外部回路が不要となるため、
フィルタ回路の小型化を図ることができる。この場合、
さらに、前記リアクタンス素子がスパイラルインダクタ
であるという好ましい構成によれば、リアクタンス素子
の小型化を図ることができる。

【００３７】また、前記本発明の第２の構成によれば、
圧電基板上に、ＩＤＴ電極の両側に反射器電極を具備し
たＳＡＷ共振器を、ＳＡＷの伝搬方向と平行に３個近接
配置して音響結合させ、隣接する前記ＳＡＷ共振器間の
２箇所のバスバー用電極パターンを分割すると共に、中
央に配置された前記ＳＡＷ共振器を構成する一方の電極
指と他方の電極指を、外側に配置された前記ＳＡＷ共振
器を構成するＩＤＴ電極と前記反射器電極との間隙に配
した電極パターンを介して接地し、外側に配置された一
方の前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極の電極指を
平衡型入力端子に接続し、外側に配置されたもう一方の
前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極の電極指を平衡
型出力端子に接続したことにより、ＩＤＴ電極中央部の
バスバーを電気的に独立させることができるので、外側
に配置されたＳＡＷ共振器のＩＤＴ電極を独立に配線す
ることができる。従って、ＳＡＷフィルタを構成するＩ
ＤＴ電極のうち、中央に配置された前記ＳＡＷ共振器の
ＩＤＴ電極のみが接地されることとなるので、この部分
を入出力端子とは電気的に独立させることができる。そ
の結果、ＩＤＴ電極の接地状態がフィルタの入出力特性
に直接影響することはなく、さらに、入出力端子間の信
号の直達成分も大幅に減少するため、フィルタの帯域外
減衰量特性をさらに改善することができる。また、ＳＡ
Ｗ共振器を構成するＩＤＴ電極と反射器電極との間隙を
決定する自由度が増すため、ＩＤＴ電極と反射器電極と
の間隙を適切に定めて帯域外スプリアスを制御すること
ができる。その結果、より良好な帯域外特性を得ること
ができる。さらに、外側に配置された一方の前記ＳＡＷ
共振器を構成するＩＤＴ電極を平衡型入力端子に接続
し、外側に配置されたもう一方の前記ＳＡＷ共振器を構
成するＩＤＴ電極を平衡型出力端子に接続するという好
ましい構成によれば、バラン等の外部回路を用いること
なく、フィルタの前後段にＩＣ等の平衡型素子を接続す
ることができるので、回路全体のノイズ特性を改善する
ことができる。

【００３８】また、前記本発明の第２の構成において、
外側に配置された前記ＳＡＷ共振器のＩＤＴ電極を構成
するバスバー用電極パターンの線路幅を、中央に配置さ
れた前記ＳＡＷ共振器のＩＤＴ電極を構成するバスバー
用電極パターンの線路幅よりも大きくするという好まし
い構成によれば、フィルタの挿入損失を改善することが
できる。以下に、その理由を説明する。隣接するＳＡＷ
共振器のＩＤＴ電極を構成する櫛形電極間の距離Ｇは、
２つのＳＡＷ共振器の結合度を支配し、この距離が小さ
いほどＳＡＷ共振器間の結合度が増すために広帯域化に
は好ましい。しかし、この距離Ｇがあまり小さいと、こ
の部分に設けられているバスバー電極の線路幅Ｗ₁ 、Ｗ
₂ がそれ以上に小さくなるため、この部分のＩＤＴ電極
の電気的抵抗損がフィルタの挿入損失に与える影響を無
視することができなくなる。ここで、外側に配置された
バスバー電極（線路幅Ｗ₁ ）は直接平衡入出力端子の一
方に接続されているが、中央に配置されたバスバー電極
（線路幅Ｗ₂ ）は中央のＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ
電極を接地するために用いられており、入出力端子とは
電気的に接続されていない。すなわち、中央に配置され
たバスバー電極の線路幅Ｗ₂ の大きさはフィルタの挿入
損失には何ら影響を及ぼさない。従って、中央に配置さ
れたバスバー電極の線路幅Ｗ₂ を小さくする分外側に配
置されたバスバー電極の線路幅Ｗ₁ を大きくすれば、隣
接するＳＡＷ共振器のＩＤＴ電極を構成する櫛形電極間
の距離Ｇの大きさを変えることなく入出力端子への電気
抵抗損を減らすことができるので、フィルタの挿入損失
を改善することができる。

【００３９】

【００４０】また、前記本発明の第２の構成において、
前記圧電基板上に形成された複数本の段間接続電極パタ
ーンにより複数個縦続に接続するという好ましい構成に
よれば、帯域外減衰量特性が大幅に改善され、より良好
なフィルタ特性を得ることができる。また、この場合、
複数本の前記段間接続電極パターンの一部にボンディン
グ用の電極パッドを形成するという好ましい構成によれ
ば、段間接続電極パターンにインダクタンス等の整合素
子を接続して良好な通過特性を得る場合に、段間接続電
極パターンと外部回路との接続が容易になる。また、こ
の場合、複数本の段間接続パターン同士を、リアクタン
ス素子を介して接続するという好ましい構成によれば、
良好な通過特性を得ることができる。また、この場合、
複数本の前記段間接続電極パターンの一方を接地し、も
う一方の前記段間接続電極パターンをリアクタンス素子
を介して接地するという好ましい構成によっても、良好
な通過特性を得ることができる。この場合、さらに、前
記リアクタンス素子が同一圧電基板上の電極パターンに
よって形成されたスパイラルインダクタであるという好
ましい構成によれば、リアクタンス素子の小型化を図る
ことができる。

【００４１】また、前記本発明の第３の構成によれば、
圧電基板上に、ＩＤＴ電極の両側に反射器電極を具備し
たＳＡＷ共振器を、ＳＡＷの伝搬方向と平行に２個形成
し、前記ＳＡＷ共振器間に、前記ＳＡＷ共振器のＩＤＴ
電極指交差幅と同程度の長さを有するストリップライン
電極を、前記ＳＡＷ共振器と同一の電極周期で並行配置
することによって、周期構造状電極列を形成すると共
に、前記ＳＡＷ共振器と前記周期構造状電極列を近接配
置して音響結合させ、かつ、前記周期構造状電極列を構
成する前記各ストリップライン電極をその両端に設けた
バスバー電極によって互いに接続して前記各ストリップ
ライン電極を接地したことにより、中央のＳＡＷ共振器
において電極の構造をＩＤＴ電極から周期構造のストリ
ップライン電極列に代えても、電極周期が同じであれ
ば、上記第１の発明の場合と同様に弾性表面波の伝搬が
可能となる。その結果、ＳＡＷフィルタの広帯域化を図
ることができる。また、周期構造状電極列を反射器電極
と同様の構造にすることができる。また、前記本発明の
第３の構成において、前記周期構造状電極列を、外側に
配置された前記ＳＡＷ共振器のＩＤＴ電極と前記反射器
電極との間隙に配した電極と前記バスバー電極を介して
接地するという好ましい構成によれば、周期構造状電極
を入出力端子とは電気的に独立させることができる。そ
の結果、周期構造状電極の接地状態がフィルタの入出力
特性に直接影響することはなく、さらに、入出力端子間
の信号の直達成分も大幅に減少するため、上記第２の発
明の場合と同様にフィルタの帯域外減衰量特性をさらに
改善することができる。また、ＳＡＷ共振器を構成する
ＩＤＴ電極及び周期構造状電極と反射器電極との間隔を
決定する自由度が増すため、ＩＤＴ電極及び周期構造状
電極と反射器電極との間隙を適切に定めて帯域外スプリ
アスを抑制することができる。その結果、より良好な帯
域外特性を得ることができる。この場合、さらに、外側
に配置された一方の前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ
電極を平衡型入力端子に接続し、外側に配置されたもう
一方の前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極を平衡型
出力端子に接続するという好ましい構成によれば、バラ
ン等の外部回路を用いることなく、フィルタの前後段に
ＩＣ等の平衡型素子を接続することができるので、回路
全体のノイズ特性を改善することができる。さらに、こ
の場合、外側に配置された前記ＳＡＷ共振器を構成する
ＩＤＴ電極の、周期構造状電極列と隣接する側のバスバ
ー用電極パターンの線路幅を、前記周期構造状電極列に
形成したバスバー用電極パターンの線路幅よりも大きく
するという好ましい構成によれば、上記第２の発明の場
合よりもさらにフィルタの挿入損失を改善することがで
きる。なぜなら、上記第２の発明の場合と比較して、外
側に配置されたＳＡＷ共振器のＩＤＴ電極を構成する櫛
型電極と中央に配置された周期構造状電極との距離Ｇに
おける電極の存在しない部分の割合が減少し、その分だ
け外側に配置されたＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極
の、周期構造状電極と隣接する側のバスバー用電極パタ
ーンの線路幅Ｗ₁ を大きくすることができるからであ
る。また、前記本発明の第３の構成において、前記圧電
基板上に形成された複数本の段間接続電極パターンによ
り複数個縦続に接続するという好ましい構成によれば、
帯域外減衰量特性が大幅に改善され、より良好なフィル
タ特性を得ることができる。

【００４２】また、前記本発明の第３の構成において、
前記ＳＡＷ共振器の前記周期構造状電極列と隣接する側
のＩＤＴ電極と、前記周期構造状電極列を接続する前記
バスバー電極とを一体化すると共に、前記周期構造状電
極列を接地するという好ましい構成によれば、上記第１
の発明の場合と同様に非平衡入出力構成とすることがで
きるが、この場合にも、ＳＡＷフィルタの広帯域化を図
ることができる。

【００４３】

【００４４】

【００４５】

【００４６】

【００４７】

【００４８】

【００４９】

【００５０】

【００５１】

【００５２】

【００５３】

【００５４】

【００５５】

【００５６】

【００５７】

【実施例】以下、実施例を用いて本発明をさらに具体的
に説明する。（第１の実施例）図１は本発明に係る弾性表面波フィル
タの第１の実施例を示す構成図である。図１において、
１１は単結晶圧電基板であり、この圧電基板１１の上に
周期構造ストリップライン状の電極パターンを形成する
ことにより、弾性表面波を励起させることができる。圧
電基板１１の上には、インタデジタルトランスジューサ
（ＩＤＴ）電極１２ａと反射器電極１２ｂ、１２ｃとに
より構成されるエネルギー閉じ込め型の第１のＳＡＷ共
振器が形成されている。また、圧電基板１１の上には、
ＩＤＴ電極１３ａと反射器電極１３ｂ、１３ｃとにより
構成される第２のＳＡＷ共振器と、ＩＤＴ電極１４ａと
反射器電極１４ｂ、１４ｃとにより構成される第３のＳ
ＡＷ共振器とが形成されている。そして、上記３つのＳ
ＡＷ共振器は近接配置され、互いに隣接する部分のＩＤ
Ｔ電極及び反射器電極は共通のバスバーによって接続さ
れている。また、ＩＤＴ電極１２ａの外側の電極指は入
力端子に接続され、ＩＤＴ電極１４ａの外側の電極指は
出力端子に接続されている。また、ＩＤＴ電極１３ａの
一方の電極指は、ＩＤＴ電極１２ａの内側の電極指と共
に共通のバスバー及びＩＤＴ電極１２ａと反射器電極１
２ｂの間隙に設けられた電極パターンを介して接地され
ている。また、ＩＤＴ電極１３ａの他方の電極指は、Ｉ
ＤＴ電極１４ａの内側の電極指と共に共通のバスバー及
びＩＤＴ電極１４ａと反射器電極１４ｃとの間隙に設け
られた電極パターンを介して接地されている。

【００５８】以下、このように構成された弾性表面波フ
ィルタについて、その動作を説明する。図２は本実施例
におけるＳＡＷフィルタの励起モード分布図であり、図
１と対応する部分には同じ番号が付されている。図２に
おいて、（ａ）は図１に示したＳＡＷフィルタの電極構
成図であり、ＳＡＷ共振器１２、１３、１４が近接配置
されることによって、その間に音響結合が生じる。これ
により、図２（ｂ）に示すようなポテンシャル分布を有
する１次、２次、３次のモードが励起する。ここで、２
次モードは、モード分布の節の位置が中央に配置された
ＳＡＷ共振器１３のＩＤＴ電極が交差する部分に当た
り、その上下でポテンシャル分布の極性が入れ替わって
いる。従って、電極パターンを図２（ａ）のように構成
しただけでは、２次モードの励振強度は１次、３次のモ
ードと比較してかなり弱くなる。そして、このときのフ
ィルタの５０Ω直結での通過帯域特性は、図３（ａ）に
示すように、帯域中央が沈んだ形となる。このため、１
次モードと３次モードの周波数差が中心周波数で規格化
して０．１％を超える広帯域設計の場合には、整合回路
を付けても帯域内は平坦とならず、良好なフィルタ特性
を得ることができない。従って、図１に示すような電極
構成において良好なフィルタ特性を得るためには、２次
モードを強く励振させて通過特性に利用する必要があ
る。そのためには、（１）中央に配置されたＳＡＷ共振
器１３のポテンシャルが自由に分布できることと、
（２）外側のＳＡＷ共振器１２、１４間でポテンシャル
がキャンセルしないことが必要である。

【００５９】本実施例においては、中央のＳＡＷ共振器
１３のＩＤＴ電極が両側とも接地されており、また、Ｉ
ＤＴ電極指２１、２２はそれぞれ入力端子と出力端子に
接続されて電気的に独立しており（図１参照）、上記の
条件（１）、（２）を満たしている。このときのフィル
タの５０Ω直結での通過帯域特性は図３（ｂ）のように
なり、２次モードについても強い励振強度を得ることが
できる。従って、３つの励起モードを利用したＳＡＷフ
ィルタを実現することができ、従来の２つの励起モード
を利用したＳＡＷフィルタよりも広帯域な通過特性を得
ることができる。

【００６０】ところで、ＳＡＷ共振器のＩＤＴ電極と反
射器電極の間隔は帯域外スプリアスの強度に影響し、そ
の寸法を適切に定めればスプリアスの抑圧が可能とな
る。本実施例においては、中央に配置されたＳＡＷ共振
器のＩＤＴ電極を接地するための電極パターンがこの部
分に設けられており、これによりＩＤＴ電極と反射器電
極の間隔を決定する自由度が増すので、帯域外スプリア
スを抑圧して、より良好な帯域外特性を得ることができ
る。

【００６１】また、本実施例におけるＳＡＷフィルタ
は、３つの励起モードを利用しているためにフィルタの
次数が３次となり、次数が２次である従来のＳＡＷフィ
ルタよりも帯域外減衰傾度特性が急峻となるので、より
良好な選択度特性を得ることができる。

【００６２】以上のように本実施例によれば、ＳＡＷ共
振器を３個近接配置し、中央のＳＡＷ共振器を構成する
ＩＤＴ電極を全て接地すると共に、外側のＳＡＷ共振器
を構成するＩＤＴ電極を電気的に独立させたことによ
り、外部伸長コイル等を用いることなくＳＡＷフィルタ
の広帯域化を実現することができる。

【００６３】尚、本実施例においては、一段構成のＳＡ
Ｗフィルタを例に挙げて説明したが、図４に示すよう
に、同一圧電基板４１の上で複数個のＳＡＷフィルタ４
２、４３を縦続に接続し、多段接続のＳＡＷフィルタを
構成すれば、挿入損失は若干増えるものの、帯域外減衰
量特性が大幅に改善され、より良好なフィルタ特性を得
ることができる。

【００６４】ところで、ＳＡＷフィルタの入出力のイン
ピーダンスはＳＡＷ共振器のＩＤＴ電極対数によって支
配され、任意に設定することができないため、フィルタ
を単純に縦続に接続しただけでは接続時の不整合により
良好な通過特性を得ることができない場合がある。この
場合には、段間縦続接続する電極パターン４４にインダ
クタンス等のリアクタンス素子を整合素子として接続す
ればよい。この場合、電極パターン４４にボンディング
用の電極パッド４５を設けておけば、外部回路との接続
が容易になる。また、同一圧電基板４１の上にスパイラ
ルインダクタなどのリアクタンス素子を形成し、一端を
電極パターン４４に接続し他端を接地すれば、外部回路
が不要となるので、フィルタ回路の小型化を図ることが
できる。

【００６５】また、本実施例においては、近接配置する
ＳＡＷ共振器の数を３個として説明しているが、必ずし
も３個に限定されるものではなく、この数を４個以上に
増やし、さらに高次のモードを利用したＳＡＷフィルタ
を構成することも可能である。しかし、共振器の数が増
えるとフィルタの設計が困難となり、整合回路の素子感
度も高くなるため、良好なフィルタ特性を実現すること
ができなくなる。従って、近接配置するＳＡＷ共振器の
数は３個が好ましい。

【００６６】（第２の実施例）図５は本発明に係る弾性
表面波フィルタの第２の実施例を示す構成図である。図
５に示すように、単結晶圧電基板５１の上には、ＩＤＴ
電極５２ａと反射器電極５２ｂ、５２ｃとにより構成さ
れる第１のＳＡＷ共振器が形成されている。また、圧電
基板５１の上には、ＩＤＴ電極５３ａと反射器電極５３
ｂ、５３ｃとにより構成される第２のＳＡＷ共振器と、
ＩＤＴ電極５４ａと反射器電極５４ｂ、５４ｃとにより
構成される第３のＳＡＷ共振器とが形成されている。そ
して、上記３つのＳＡＷ共振器は近接配置されている。
また、ＩＤＴ電極５３ａの一方の電極指は、ＩＤＴ電極
５２ａと反射器電極５２ｂとの間隙に設けられた電極パ
ターンを介して接地されている。また、ＩＤＴ電極５３
ａの他方の電極指は、ＩＤＴ電極５４ａと反射器電極５
４ｃとの間隙に設けられた電極パターンを介して接地さ
れている。以上は図１に示す第１の実施例と同様の構成
である。

【００６７】第１の実施例と異なる点は、ＳＡＷ共振器
を構成するＩＤＴ電極の互いに隣接する部分のバスバー
電極が電気的に独立しており、また、ＩＤＴ電極５２ａ
の電極指が平衡型入力端子に接続され、ＩＤＴ電極５４
ａの電極指が平衡型出力端子に接続されている点であ
る。

【００６８】このように構成された弾性表面波フィルタ
の動作は図２に示した第１の実施例の場合と基本的に同
じであり、ＳＡＷフィルタの広帯域化を実現することが
できると共に、帯域外スプリアスを抑圧して、良好な帯
域外特性を得ることができる。さらに、本実施例におい
ては、ＩＤＴ電極の中央部のバスバーが電気的に独立し
ていることにより、ＳＡＷ共振器５２のＩＤＴ電極５２
ａとＳＡＷ共振器５４のＩＤＴ電極５４ａを全て独立し
て配線することができるので、図５に示すような端子構
成にしてＳＡＷフィルタの平衡入出力化を実現すること
ができる。

【００６９】以上のように本実施例によれば、ＳＡＷフ
ィルタを構成するＩＤＴ電極のうち、接地されているの
は中央のＳＡＷ共振器５３のＩＤＴ電極５３ａのみとな
り、この部分は入出力端子とは電気的に独立した状態に
ある。従って、ＩＤＴ電極の接地状態がフィルタの入出
力特性に直接影響することがなくなり、また、入出力端
子間の信号の直達成分も大幅に減少するため、フィルタ
の帯域外減衰量特性をさらに改善することができる。ま
た、バラン等の外部回路を用いることなくフィルタの前
後段にＩＣ等の平衡型素子を接続することが可能となる
ので、回路全体のノイズ特性をも改善することができ
る。

【００７０】図６に、図５においてＩＤＴ電極５２ａと
ＩＤＴ電極５３ａが近接配置される部分の拡大図を示
す。ＩＤＴ電極５２ａとＩＤＴ電極５３ａを構成する櫛
形電極間の距離Ｇは２つのＳＡＷ共振器５２、５３の結
合度を支配し、この距離Ｇが小さいほど共振器間の結合
度が増すため広帯域化には好ましい。しかし、距離Ｇが
あまり小さいと、この部分に設けられているバスバー電
極６１、６２の幅Ｗ_１、Ｗ_２がそれ以上に小さくなり、
この部分におけるＩＤＴ電極の電気的抵抗損がフィルタ
の挿入損失に与える影響を無視することができなくな
る。ここで、バスバー電極６１は直接平衡入力端子の一
方に接続されているが、バスバー電極６２は中央のＳＡ
Ｗ共振器を構成しているＩＤＴ電極を接地するのに用い
られており、入出力端子とは電気的に接続されていな
い。すなわち、バスバー電極６２の幅Ｗ _２の大きさはフ
ィルタの挿入損失には何ら影響を及ぼさない。従って、
バスバー電極６２の幅Ｗ_２を小さくする分バスバー電極
６１の幅Ｗ_１を大きくすれば、距離Ｇの大きさを変える
ことなく入力端子への電気的抵抗損を減らして、フィル
タの挿入損失を改善することができる。また、出力側、
すなわちＩＤＴ電極５４ａとＩＤＴ電極５３ａが近接配
置される部分についても上記と同様な構成とすることに
より、同様の効果を得ることができる。実験的には、Ｓ
Ｔ水晶基板の上に２４０ＭＨｚ帯のフィルタを構成した
場合、距離Ｇが１波長（約１２μｍ）のとき、Ｗ_１、Ｗ
_２の大きさが共に０．２５波長では挿入損失は３．８６
ｄＢとなるが、Ｗ_１の大きさを０．４波長、Ｗ_２の大き
さを０．１５波長にすれば、挿入損失が２．８３ｄＢと
なり、１．０３ｄＢも改善することができた。

【００７１】また、本実施例においても、図７に示すよ
うに、同一圧電基板７１の上で複数個のＳＡＷフィルタ
７２、７３を縦続に接続し、多段接続のＳＡＷフィルタ
を構成すれば、挿入損失は若干増えるものの、帯域外減
衰量特性が大幅に改善され、より良好なフィルタ特性を
得ることができる。しかし、この場合にも、フィルタを
単純に縦続に接続しただけでは良好な通過特性を得るこ
とができない場合がある。この場合には、第１の実施例
と同様に、段間縦続接続する電極パターン７４にインダ
クタンス等のリアクタンス素子を整合素子として接続す
ればよい。接続方法としては平衡電極７４、７４間に接
続する方法があるが、一方の電極パターン７４とアース
との間に接続し、他方の電極パターン７４を接地しても
同様の効果を得ることができる。また、この場合、電極
パターン７４にボンディング用の電極パッド７５を設け
ておけば、外部回路との接続が容易になる。また、同一
圧電基板７１の上にスパイラルインダクタなどのリアク
タンス素子を形成し、一端を電極パターン７４に接続し
他端を接地すれば、外部回路が不要となるので、フィル
タ回路の小型化を図ることができる。

【００７２】以上のように、近接配置されたＳＡＷ共振
器のＩＤＴ電極を電気的に独立させて形成し、平衡型の
入出力端子構成とすることにより、第１の実施例と同様
の効果が得られると共に、その特性をさらに改善するこ
とができる。

【００７３】（第３の実施例）図８は本発明に係る弾性
表面波フィルタの第３の実施例を示す構成図である。図
８に示すように、単結晶圧電基板８１の上には、ＩＤＴ
電極８２ａと反射器電極８２ｂ、８２ｃとにより構成さ
れる第１のＳＡＷ共振器と、ＩＤＴ電極８４ａと反射器
電極８４ｂ、８４ｃとにより構成される第３のＳＡＷ共
振器とが形成されている。以上は図５に示す第２の実施
例と同様の構成である。

【００７４】第２の実施例と異なる点は、反射器電極８
３ｂ、８３ｃを伴い中央に形成される第２のＳＡＷ共振
器のＩＤＴ電極部分が反射器電極と同様の構造を有し、
図５におけるＩＤＴ電極５３ａの電極指交差幅と同程度
の長さを持つ周期構造のストリップライン電極列８３ａ
によって構成されている点である。

【００７５】第２の実施例と同様に、上記３つのＳＡＷ
共振器は近接配置され、ＩＤＴ電極の互いに隣接する部
分のバスバー電極が電気的に独立している。また、ＩＤ
Ｔ電極８２ａの電極指は平衡型入力端子に接続され、Ｉ
ＤＴ電極８４ａの電極指は平衡型出力端子に接続されて
いる。さらに、周期構造のストリップライン電極列８３
ａは、ＩＤＴ電極８２ａと反射器電極８２ｃとの間隙に
設けられた電極パターン及びＩＤＴ電極８４ａと反射器
電極８４ｂとの間隙に設けられた電極パターンを介して
接地されている。

【００７６】弾性表面波フィルタを以上のように構成す
れば、中央のＳＡＷ共振器において電極８３ａの構造が
ＩＤＴ電極から周期構造のストリップライン電極列に変
わっても、電極周期が同じであれば、弾性表面波は全く
同様に伝搬することができる。従って、その動作は図２
に示した第１の実施例の場合と基本的に同じであり、Ｓ
ＡＷフィルタの広帯域化を実現することができると共
に、帯域外スプリアスを抑圧して、良好な帯域外特性を
得ることができる。また、第２の実施例と同様に、ＩＤ
Ｔ電極の中央部のバスバーが電気的に独立していること
により、ＳＡＷフィルタの平衡入出力化を実現すること
ができるので、フィルタの帯域外減衰量特性を改善する
ことができる。

【００７７】図９に、図８においてＩＤＴ電極８２ａと
周期構造のストリップライン電極列８３ａが近接配置さ
れる部分の拡大図を示す。図６に示す第２の実施例の場
合と比較すれば、Ｇにおける電極の存在しない部分の割
合が減っており、その分バスバー電極９１の幅Ｗ_１をバ
スバー電極９２の幅Ｗ₂に比べて大きくすることが可能
となる。従って、第２の実施例の場合よりもさらにフィ
ルタの挿入損失を改善することができる。

【００７８】以上のように本実施例によれば、第２の実
施例と同様の効果を得ることができると共に、その特性
をさらに改善することができる。尚、本実施例において
は、図８に示すように、ＩＤＴ電極８２ａとＩＤＴ電極
８４ａは互いに同相の電極配置となっているが、図１０
に示すＩＤＴ電極１０２とＩＤＴ電極１０４のように互
いに逆相の電極配置としても、帯域外スプリアスの現れ
方が若干異なるものの、同様の効果を得ることができ
る。また、図１０においては、中央の周期構造のストリ
ップライン電極列１０３をＩＤＴ電極１０４側の電極パ
ターンのみを介して接地しているが、このように上下の
電極パターンの対称性が多少ずれてもフィルタ特性には
それほど影響せず、外部への配線を簡略化することがで
きる。尚、図１０中、１０１は圧電基板である。

【００７９】また、本実施例においても、ＳＡＷフィル
タを複数個縦続に接続し、多段接続のＳＡＷフィルタを
構成すれば、帯域外減衰量特性が大幅に改善され、より
良好なフィルタ特性を得ることができる。このときの縦
続接続方法は図７に示した第２の実施例の場合と全く同
様である。

【００８０】また、本実施例においては、ＳＡＷフィル
タの入出力電極構成を平衡であるとして、第２の実施例
と比較しながら説明してきたが、図１１に示すように、
ＳＡＷ共振器を近接配置した部分を共通バスバーで形成
して非平衡入出力構成とすれば、第１の実施例と比較し
ても同様の効果を得ることができることは明らかであ
る。尚、図１１中、１１１は単結晶圧電基板、１１２、
１１４はＩＤＴ電極、１１３は周期構造のストリップラ
イン電極列である。

【００８１】（第４の実施例）図１２は本発明に係る弾
性表面波フィルタの第４の実施例を示す構成図である。
図１２に示すように、単結晶圧電基板１２１の上には、
ＩＤＴ電極１２２ａ、１２２ｂと反射器電極１２３ａ、
１２４ａ、１２３ｂ、１２４ｂとにより構成される第１
のＳＡＷ共振器フィルタが形成されており、ＩＤＴ電極
１２２ａとＩＤＴ電極１２２ｂは電極指の位相関係が互
いに逆相となっている。また、同一圧電基板１２１の上
には、ＩＤＴ電極１２５ａ、１２５ｂと反射器電極１２
６ａ、１２７ａ、１２６ｂ、１２７ｂとにより構成され
る第２のＳＡＷ共振器フィルタが形成されており、ＩＤ
Ｔ電極１２５ａとＩＤＴ電極１２５ｂは電極指の位相関
係が互いに同相となっている。これら２個のＳＡＷ共振
器フィルタは、配線パターン１２８ａ及び電極パターン
１２８ｂにより電気的に並列に接続されている。

【００８２】以下、このように構成された弾性表面波フ
ィルタについて、その動作を説明する。図１３に、本実
施例におけるＳＡＷフィルタの５０Ω直結での通過特性
を示す。図１３（ａ）において、１３１、１３２は図１
２に示す第１、第２のＳＡＷ共振器フィルタいずれか単
独の通過特性である。このように単一のＳＡＷ共振器フ
ィルタはｆ_１とｆ_２（ｆ_１＜ｆ_２）あるいはｆ_３とｆ_４
（ｆ_３＜ｆ_４）という２つの励起周波数を有し、これら
の位相関係は互いに逆相となっている。上記したよう
に、第１のＳＡＷ共振器フィルタは逆相のＩＤＴ電極配
置、第２のＳＡＷ共振器フィルタは同相のＩＤＴ電極配
置となっているため（図１２）、ｆ_１、ｆ_２の位相関係
とｆ_３、ｆ_４の位相関係は逆になる。すなわち、ｆ_２と
ｆ_３の位相は同相となる。従って、ｆ_２とｆ_３の励起周
波数を一致させれば、図１３（ｂ）に示す１３３のよう
に帯域内の通過特性を劣化させることなく帯域幅を広げ
ることができる。

【００８３】このとき実際にｆ_２とｆ_３を完全に一致さ
せることは困難であり、多少のズレが生じるが、ｆ_２＜
ｆ_３の場合には通過帯域特性が徐々に悪化する程度であ
る。しかし、ｆ_２＞ｆ_３の場合には、両者のピークがオ
ーバーラップするために位相の変化が激しくなり、特に
群遅延偏差特性が大きく乱れる。従って、ＳＡＷフィル
タの製作偏差等を考慮した場合、ピーク値をｆ_２＜ｆ_３
側に多少ずらすことにより、フィルタの歩留まりを向上
させることができる。

【００８４】また、圧電基板上の電極パターンを利用し
てＳＡＷフィルタの並列接続の一部を構成することによ
り、ボンディングワイヤ等を引き回すことによる線路の
浮遊容量や不要輻射等を防止することができるので、良
好なフィルタ特性を得ることができる。

【００８５】以上のように本実施例によれば、ＩＤＴ電
極指の位相配置が互いに逆相のＳＡＷフィルタを並列に
接続し、一方のＳＡＷフィルタの高域側励起周波数と他
方のＳＡＷフィルタの低域側励起周波数を一致させるこ
とにより、外部伸長コイル等を用いることなくＳＡＷ多
重モードフィルタの広帯域化を実現することができる。

【００８６】尚、本実施例においては、並列接続の片側
のみを電極パターン１２８ｂを用いて接続しているが、
全ての接続部分に電極パターンを用いることも可能であ
る。（第５の実施例）図１４は本発明に係る弾性表面波フィ
ルタの第５の実施例を示す構成図である。図１４に示す
ように、圧電基板１４１の上には、ＳＡＷ共振器フィル
タ１４２、１４３、１４４、１４５が形成されている。
ＳＡＷ共振器フィルタ１４２、１４４は、図１２におけ
る第１のＳＡＷ共振器フィルタと同様に、近接するＩＤ
Ｔ電極指が逆相の配置となっている。また、ＳＡＷ共振
器フィルタ１４３、１４５は、図１２における第２のＳ
ＡＷ共振器フィルタと同様に、近接するＩＤＴ電極指が
同相の配置となっている。そして、ＳＡＷ共振器フィル
タ１４２、１４３及びＳＡＷ共振器フィルタ１４４、１
４５はそれぞれボンディングワイヤ１４６、１４７や電
極パターン１４８ａ、１４８ｂ、１４８ｃにより並列に
接続され、さらにこれら２組の並列接続ＳＡＷフィルタ
は電極パターン１４８ａ、１４８ｂにより縦続に接続さ
れている。尚、図１４中、１４９は異なるＳＡＷ共振器
フィルタの弾性表面波の伝搬を遮断するためのアブソー
バである。

【００８７】弾性表面波フィルタを以上のように構成す
れば、並列に接続された２組のＳＡＷ共振器フィルタが
それぞれ第１の実施例と同様の動作をし、これらが縦続
に接続されることにより、フィルタの帯域外減衰量がさ
らに改善される。

【００８８】また、本実施例においても、圧電基板上の
電極パターンを利用してＳＡＷフィルタの並列接続及び
縦続接続を構成することにより、ボンディングワイヤ等
を引き回すことによる線路の浮遊容量や不要輻射等を防
止することができるので、良好なフィルタ特性を得るこ
とができる。

【００８９】また、同一の特性を有するＳＡＷフィルタ
を弾性表面波の伝搬方向と平行に隣合わせて配置するこ
とにより、縦続に接続された多段接続のＳＡＷフィルタ
間の不要な浮遊容量を除去することができるので、段間
の整合回路が不要となる。その結果、回路の小型化を用
いることができると共に、フィルタの安定な特性を実現
することができる。しかし、この場合にも、フィルタを
単純に縦続に接続しただけでは良好な通過特性を得るこ
とができない場合がある。この場合には、段間縦続接続
する電極パターン１４８ａ、１４８ｂ、１４８ｃにイン
ダクタンス等のリアクタンス素子を整合素子として接続
すればよい。

【００９０】以上のように、並列接続されたＳＡＷフィ
ルタを縦続に接続することにより、第４の実施例と同様
の効果を得ることができると共に、その特性をさらに改
善することができる。

【００９１】尚、本実施例においては、電極パターン１
４８ｃによって各段ごとに並列接続しているが、この電
極パターン１４８ｃを取り除いて各ＳＡＷフィルタを縦
続に接続した後、各多段接続のＳＡＷフィルタを並列接
続する構成としても、同様の効果を得ることができる。

【００９２】（第６の実施例）図１５は本発明に係る弾
性表面波フィルタの第６の実施例を示す構成図である。
図１５に示すように、単結晶圧電基板１５１の上には、
ＳＡＷ共振器フィルタ１５２、１５３が形成されてい
る。ＳＡＷ共振器フィルタ１５２は近接するＩＤＴ電極
指が逆相の配置となっており、ＳＡＷ共振器フィルタ１
５３は近接するＩＤＴ電極指が同相の配置となってい
る。そして、これら２個のＳＡＷ共振器フィルタ１５
２、１５３は電極パターン１５６ａ、１５７ａ及び配線
パターン１５４ａにより電気的に並列に接続されてい
る。以上は図１２に示す第４の実施例と同様の構成であ
る。

【００９３】第４の実施例と異なる点は、ＳＡＷ共振器
フィルタ１５２の近接するＩＤＴ電極指の中央部のバス
バー電極１５８が分割されてそれぞれ電気的に独立した
電極１５６ｂ、１５７ｂが構成され、また、ＳＡＷ共振
器フィルタ１５３も同様に中央部のバスバー電極が分割
された構成となっている点である。

【００９４】図１６は本実施例のＳＡＷフィルタを面実
装用パッケージに実装した場合の構成の一例を示すもの
であり、図１５と対応する部分には同じ番号が付されて
いる。図１６において、１６１は面実装用パッケージで
あり、ＳＡＷフィルタを形成した圧電基板１５１が実装
されている。また、１６２はボンディング用の電極パッ
ドであり、それぞれボンディングワイヤ１６３により入
力端子電極１６４ａ、１６４ｂ、出力端子電極１６５
ａ、１６５ｂ、接地電極１６６等に接続されている。

【００９５】このように構成された弾性表面波フィルタ
の動作は図１３に示した第４の実施例の場合と基本的に
同じであり、ＳＡＷフィルタの広帯域化を実現すること
ができる。さらに、本実施例においては、ＩＤＴ電極中
央部のバスバーを分割していることにより、入力用のＩ
ＤＴ電極部１５４ａ、１５４ｂと出力用のＩＤＴ電極部
１５５ａ、１５５ｂのアース電極を独立に取ることがで
きるので、１５４ａ、１５４ｂ、１５５ａ、１５５ｂに
示すような配線を施せば、ＳＡＷフィルタの平衡入出力
化を実現することができる。

【００９６】従って、本実施例によれば、ＳＡＷフィル
タのＩＤＴ電極を接地する必要がなくなる。その結果、
第２の実施例と同様に、ＳＡＷ電極の接地状態がフィル
タの入出力特性に直接影響することがなくなり、また、
入出力端子間の信号の直達成分も大幅に減少するため、
フィルタの帯域外減衰量特性を改善することができる。
また、バラン等の外部回路を用いることなくフィルタの
前後段にＩＣ等の平衡型素子を接続することが可能とな
るので、回路全体のノイズ特性をも改善することができ
る。

【００９７】また、図１６に示すように、圧電基板１５
１の上にボンディング用の電極パッド１６２を設け、ボ
ンディングワイヤによって面実装用パッケージ１６１の
端子電極と接続することにより、面実装対応のＳＡＷフ
ィルタを容易に実現することができる。尚、ＳＡＷフィ
ルタの中央部のバスバーを分割する構造は、本実施例に
示した並列接続型のＳＡＷフィルタだけではなく図２４
に示すような従来のＳＡＷフィルタにも適用することが
できる。

【００９８】また、本実施例においては、ＳＡＷフィル
タの段数が１段の場合を列に挙げて説明をしたが、第５
の実施例に示したような２段以上の多段接続のＳＡＷフ
ィルタにも適用することができる。

【００９９】（第７の実施例）図１７は本発明に係る弾
性表面波フィルタの第７の実施例を示す構成図である。
図１７に示すように、圧電基板１７１の上には、ＩＤＴ
電極１７２と反射器電極１７３、１７４とにより構成さ
れる第１段のＳＡＷ共振器フィルタが形成されている。
また、圧電基板１７１の上には、ＩＤＴ電極１７５と反
射器電極１７６、１７７とにより構成される第２段のＳ
ＡＷ共振器フィルタが形成されている。そして、上記２
段のＳＡＷ共振器フィルタは段間電極パターン１７８に
よって電気的に縦続に接続されており、これにより多段
接続のＳＡＷフィルタが構成されている。尚、第１段及
び第２段のＳＡＷ共振器フィルタは、エネルギー閉じ込
め型の２つのＳＡＷ共振器が近接配置され、その間に音
響結合が生じることによって構成されている。

【０１００】反射器電極１７３、１７６は、それぞれ複
数本のストリップ電極を束ねて略つずら折状に接続した
ミアンダライン形のインダクタ電極を構成しており、そ
れぞれＩＤＴ電極１７２、１７５の入出力側電極とアー
スとの間に並列に接続されている。また、反射器電極１
７４、１７７はインターデジタル形のキャパシタ電極を
構成しており、それぞれＩＤＴ電極１７２、１７５の入
出力側電極に直列に接続されている。

【０１０１】以下、このように構成された弾性表面波フ
ィルタについて、その動作を説明する。図１８は本実施
例におけるＳＡＷフィルタ電極パターンの等価回路図で
あり、図１７と対応する部分には同じ番号が付されてい
る。尚、図１８中、１８１は第１段のＳＡＷフィルタ、
１８２は第２段のＳＡＷフィルタを示す。

【０１０２】図１７において、電極パターン１７３、１
７４、及び１７６、１７７はＳＡＷ多重モードフィルタ
を構成するＳＡＷ共振器の弾性的反射器として形成され
ているが、それぞれの電極は伝送線路として見れば電極
パターン１７３、１７６はミアンダライン形のインダク
タとして機能し、電極パターン１７４、１７７はインタ
デジタル形のキャパシタとして機能する。従って、これ
らの反射器電極をＩＤＴ電極１７２、１７５の入出力側
電極と上記のように接続することにより、図１８に示す
ような整合回路を構成することができる。

【０１０３】このように圧電基板１７１の上に構成した
リアクタンス電極パターンがＳＡＷフィルタの整合回路
として働き、その結果、外付けの整合回路が不要となる
ので、部品点数を削減して回路全体を小型化することが
できる。さらに、上記リアクタンス電極パターンがＳＡ
Ｗ共振器の反射器電極を利用して形成されているため、
電極面積を新たに確保する必要はないので、従来と同程
度の圧電基板面積で上記回路構成を実現することができ
る。

【０１０４】また、リアクタンス素子を反射器のストリ
ップ電極によって構成すれば、外付けの回路素子を用い
た場合に比べて素子値のバラツキを低減することができ
るので、ＳＡＷフィルタ回路特性の安定化を図ることが
できる。さらに、ミアンダラインの線路を１方向当たり
反射器ストリップ電極数本（図１７の１７３、１７６に
おいては、それぞれ２本）で構成すれば、インダクタの
抵抗成分を小さくすることができるので、フィルタ特性
の劣化を防止することができる。尚、１線路当たりの反
射器ストリップ電極の本数は、必要なインダクタンス値
及びその場合の抵抗値によって適宜決定すればよい。

【０１０５】以上のように本実施例によれば、フィルタ
整合回路を圧電基板１７１の上に一体化したＳＡＷフィ
ルタを実現することができる。尚、本実施例において
は、インダクタを並列に接続し、キャパシタを直列に接
続する構成の整合回路を例に挙げて説明したが、必ずし
もこの構成に限定されるものではなく、回路構成はＳＡ
Ｗフィルタのインピーダンスに応じて任意に変更するこ
とができる。

【０１０６】（第８の実施例）図１９は本発明に係る弾
性表面波フィルタの第８の実施例を示す構成図である。
図１９に示すように、圧電基板１９１の上には、ＩＤＴ
電極１９２と反射器電極１９３、１９４とにより構成さ
れる第１段のＳＡＷ共振器フィルタが形成されている。
また、圧電基板１９１の上には、ＩＤＴ電極１９５と反
射器電極１９６、１９７とにより構成される第２段のＳ
ＡＷ共振器フィルタが形成されている。そして、上記２
段のＳＡＷ共振器フィルタは段間電極パターン１９８に
よって電気的に縦続に接続されており、これにより多段
接続のＳＡＷフィルタが構成されている。尚、第１段及
び第２段のＳＡＷ共振器フィルタは、エネルギー閉じ込
め型の２つのＳＡＷ共振器が近接配置され、その間に音
響結合が生じることによって構成されている。

【０１０７】反射器電極１９３、１９６は、それぞれ複
数本のストリップ電極を束ねて略つずら折状に接続した
ミアンダライン形のインダクタ電極を構成している。そ
して、反射器電極１９３のストリップ電極中央には短絡
電極が形成され、反射器電極１９６はミアンダラインが
ストリップ電極の中央で折り返された構成となってい
る。また、反射器電極１９４、１９７はインターデジタ
ル形のキャパシタ電極を構成しており、電極パターンを
トリミングすることにより、リアクタンス値を微調整す
ることができるようにされている。そして、反射器電極
１９４、１９７の中央の共通バスバー部分から入出力端
子が取り出されており、それぞれ反射器中央部の電極不
連続部分を極力排除した構成となっている。

【０１０８】以上のように構成されたＳＡＷフィルタ
は、第７の実施例と同様に入出力段の整合回路が同一圧
電基板１９１の上に構成されると共に、反射器部分の共
通バスバー電極が存在することにより、近接配置された
ＳＡＷ共振器間の不要な結合を抑圧することができるの
で、さらに良好なフィルタ特性を得ることができる。

【０１０９】尚、本実施例においても、その回路構成は
ＳＡＷフィルタのインピーダンスに応じて任意に変更す
ることができる。（第９の実施例）図２０は本発明に係る弾性表面波フィ
ルタの第９の実施例を示す構成図である。図２０に示す
ように、圧電基板２０１の上には、ＩＤＴ電極２０２と
反射器電極２０３、２０４とにより構成される第１段の
ＳＡＷ共振器フィルタが形成されている。また、圧電基
板２０１の上には、ＩＤＴ電極２０５と反射器電極２０
６、２０７とにより構成される第２段のＳＡＷ共振器フ
ィルタが形成されている。そして、上記２段のＳＡＷ共
振器フィルタは段間電極パターン２０８によって電気的
に縦続に接続されており、これにより多段接続のＳＡＷ
フィルタが構成されている。尚、第１段及び第２段のＳ
ＡＷ共振器フィルタは、エネルギー閉じ込め型の２つの
ＳＡＷ共振器が近接配置され、その間に音響結合が生じ
ることによって構成されている。

【０１１０】反射器電極２０３、２０６はストリップ電
極を略つずら折状に接続したミアンダライン形のインダ
クタ電極を構成しており、それぞれＩＤＴ電極２０２、
２０５の段間電極パターン２０８とアースとの間に並列
に接続されている。また、反射器電極２０４、２０７は
インターデジタル形のキャパシタ電極を構成しており、
それぞれＩＤＴ電極２０２、２０５の入出力側電極に直
列に接続されている。

【０１１１】以下、このように構成された弾性表面波フ
ィルタについて、その動作を説明する。図２１は本実施
例におけるＳＡＷフィルタ電極パターンの等価回路図で
あり、図２０と対応する部分には同じ番号が付されてい
る。尚、図２１中、２１１は第１段のＳＡＷ共振器フィ
ルタ、２１２は第２段のＳＡＷ共振器フィルタを示す。
図２１から明らかなように、反射器電極２０４、２０７
は第７の実施例と同様に入出力整合回路の一部として働
くが、反射器電極２０３、２０６はフィルタの段間に対
して整合素子として働くことが分かる。

【０１１２】このようにフィルタの段間に反射器電極に
よって構成されたインダクタ素子を接続することによ
り、広帯域タイプの横モード結合共振器型ＳＡＷフィル
タ等、従来段間に伸長コイル等の調整回路を接続する必
要のあったＳＡＷフィルタの段間無調整化を、圧電基板
２０１の上の電極面積を新たに増やすことなく実現する
ことができる。

【０１１３】また、反射器電極２０３、２０６のインダ
クタ素子はそれぞれ段間電極パターン２０８と並列に接
続されているため、片方の電極パターンを切断すること
により、インダクタンス値を調整することができる。

【０１１４】以上のように本実施例によれば、フィルタ
の段間調整回路をも圧電基板２０１の上に一体化したＳ
ＡＷフィルタを実現することができる。尚、本実施例に
おいては、フィルタの段間にインダクタを並列接続し、
入出力段にキャパシタを直列に接続する構成の整合回路
を例に挙げて説明したが、必ずしもこの構成に限定され
るものではなく、回路構成はＳＡＷフィルタのインピー
ダンスに応じて任意に変更することができる。また、反
射器電極によって構成する整合回路素子が不足する場合
には、圧電基板２０１の上に新たにリアクタンス電極パ
ターンを構成してもよいし、外部回路を接続してもよ
い。

【０１１５】また、本実施例における反射器電極パター
ンは、第８の実施例に示した共通バスバーを有する反射
器電極パターンに置き換えることもできる。（第１０の実施例）図２２は本発明に係る弾性表面波フ
ィルタの第１０の実施例を示す構成図である。図２２に
示すように、圧電基板２２１の上には、ＩＤＴ電極２２
２と反射器電極２２３、２２４とにより構成される第１
段のＳＡＷ共振器フィルタが形成されている。また、圧
電基板２２１の上には、ＩＤＴ電極２２５と反射器電極
２２６、２２７とにより構成される第２段のＳＡＷ共振
器フィルタが形成されている。そして、上記２段のＳＡ
Ｗ共振器フィルタは段間電極パターン２２８によって電
気的に縦続に接続されており、これにより多段接続のＳ
ＡＷフィルタが構成されている。尚、第１段及び第２段
のＳＡＷ共振器フィルタは、エネルギー閉じ込め型の２
つのＳＡＷ共振器が近接配置され、その間に音響結合が
生じることによって構成されている。

【０１１６】反射器電極２２３、２２６は、それぞれ複
数本のストリップ電極を束ねて略つずら折状に接続した
ミアンダライン形のインダクタ電極を構成しており、そ
れぞれＩＤＴ電極２２２、２２５の入出力電極とアース
との間に並列に接続されている。また、反射器電極２２
４、２２７はインターデジタル形のキャパシタ電極を構
成しており、それぞれＩＤＴ電極２２２、２２５の入出
力電極に直列に接続されている。そして、上記段間電極
パターン２２８は、圧電基板２２１の上に新たに形成し
たスパイラルインダクタ電極パターン２２９を介して接
地されている。

【０１１７】以上のように構成された弾性表面波フィル
タは、入出力段では図１８に示した等価回路と同様に直
列キャパシタと並列インダクタの回路が形成され、さら
にＳＡＷフィルタの段間に並列インダクタを備えた回路
構成となる。従って、第７の実施例と同様に入出力段の
整合回路を同一圧電基板２２１の上に構成することがで
きると共に、第９の実施例で述べたような段間の調整回
路も同一圧電基板２２１の上に構成することができる。

【０１１８】また、第１段のＳＡＷ共振器フィルタと第
２段のＳＡＷ共振器フィルタは、両者の不要な弾性的結
合を防ぐために、ある程度離れた位置に形成する必要が
ある。従って、図２２に示すように、上記したスパイラ
ルインダクタ電極パターン２２９は、このＳＡＷ共振器
フィルタ間のスペースを利用して形成することができ、
その結果、圧電基板２２１を従来よりも大きくする必要
はないので、回路の小型化を図ることができる。

【０１１９】以上のように本実施例によれば、第７の実
施例と同様の効果を得ることができると共に、さらに第
９の実施例に示すようなフィルタの段間に調整回路が必
要な場合にも対応させることができる。

【０１２０】尚、本実施例においては、フィルタの段間
にインダクタを並列接続し、入出力段にはインダクタを
並列に接続し、キャパシタを直列に接続する構成の整合
回路を例に挙げて説明したが、必ずしもこの構成に限定
されるものではなく、回路構成はＳＡＷフィルタのイン
ピーダンスに応じて任意に変更することができる。さら
に、これらリアクタンス素子の一部分のみを形成して利
用することもできる。

【０１２１】また、本実施例における反射器電極パター
ンは、第８の実施例に示した共通バスバーを有する反射
器電極パターンに置き換えることもできる。さらに、図
２３（ａ）に示すように、本実施例におけるスパイラル
インダクタ電極パターン２２９に、隣接する巻線電極パ
ターン間を短絡接続する短絡電極パターン２３１を形成
すれば、上記短絡電極パターンをレーザー等でトリミン
グすることにより、リアクタンス値を微調整することが
できるので、ＳＡＷフィルタ基板をパッケージに実装し
た後にフィルタ特性を微調整することが可能となる。

【０１２２】また、第７、９、１０の実施例において、
ミアンダライン形インダクタ電極１７３、２０３、２２
３等は図２３（ｂ）の電極パターン２３２の部分をトリ
ミングし、また、インターデジタル形のキャパシタ電極
１７４、２０４、２２４等は図２３（ｃ）の電極パター
ン２３３の部分をトリミングすることにより、各々のリ
アクタンス値を微調整することができる。

【０１２３】また、第７、８、９、１０の実施例におい
ては、２段縦続接続のＳＡＷフィルタを例に挙げて説明
したが、本発明は一般の共振器型ＳＡＷフィルタや多電
極型のＳＡＷフィルタを含め、反射器を伴う弾性表面波
素子全般に適用することができる。

【０１２４】また、本発明における圧電基板としては温
度特性に優れたＳＴカット水晶を用いるのが好ましい
が、ＬｉＴａＯ_３、ＬｉＮｂＯ_３、Ｌｉ_２Ｂ_４Ｏ_７等の
基板を使用することもできる。また、電極材料として
は、電極膜厚の制御が容易であることから、比較的密度
の小さいアルミニウムを用いるのが好ましいが、金電極
を用いることも可能である。さらに、本発明はレイリー
波を利用した弾性表面波だけではなく、すべり波（ＳＳ
ＢＷ）、疑似弾性表面波（ＬｅａｋｙＳＡＷ）等を利
用した共振器にも適用することができる。

【０１２５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る弾性
表面波フィルタの第１の構成によれば、３つの励起モー
ドを利用したＳＡＷフィルタを実現することができ、外
部伸長コイル等を用いることなく、従来の２つの励起モ
ードを利用したＳＡＷフィルタよりも広帯域な通過特性
を得ることができるので、フィルタ回路の小型化を図る
ことができる。また、このように３つの励起モードを利
用したＳＡＷフィルタを実現することができるために、
従来の２次のＳＡＷフィルタよりも帯域外減衰傾度特性
が急峻となり、より良好な選択度特性を得ることもでき
る。また、ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極と反射器
電極との間隙を決定する自由度が増すため、ＩＤＴ電極
と反射器電極との間隙を適切に定めて帯域外スプリアス
を制御することができる。その結果、より良好な帯域外
特性を得ることができる。

【０１２６】また、本発明に係る弾性表面波フィルタの
第２の構成によれば、ＩＤＴ電極中央部のバスバーを電
気的に独立させることができるので、外側に配置された
ＳＡＷ共振器のＩＤＴ電極を独立に配線することができ
る。従って、ＳＡＷフィルタを構成するＩＤＴ電極のう
ち、中央に配置された前記ＳＡＷ共振器のＩＤＴ電極の
みが接地されることとなるので、この部分を入出力端子
とは電気的に独立させることができる。その結果、ＩＤ
Ｔ電極の接地状態がフィルタの入出力特性に直接影響す
ることはなく、さらに、入出力端子間の信号の直達成分
も大幅に減少するため、フィルタの帯域外減衰量特性を
さらに改善することができる。また、ＳＡＷ共振器を構
成するＩＤＴ電極と反射器電極との間隙を決定する自由
度が増すため、ＩＤＴ電極と反射器電極との間隙を適切
に定めて帯域外スプリアスを制御することができる。そ
の結果、より良好な帯域外特性を得ることができる。さ
らに、外側に配置された一方の前記ＳＡＷ共振器を構成
するＩＤＴ電極を平衡型入力端子に接続し、外側に配置
されたもう一方の前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電
極を平衡型出力端子に接続するという好ましい構成によ
れば、バラン等の外部回路を用いることなく、フィルタ
の前後段にＩＣ等の平衡型素子を接続することができる
ので、回路全体のノイズ特性を改善することができる。

【０１２７】また、本発明に係る弾性表面波フィルタの
第３の構成によれば、中央のＳＡＷ共振器において電極
の構造をＩＤＴ電極から周期構造のストリップライン電
極列に代えても、ＳＡＷフィルタの広帯域化を図ること
ができる。

【０１２８】

【０１２９】

【０１３０】

【０１３１】

【０１３２】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る弾性表面波フィルタの第１の実施
例を示す構成図である。

【図２】第１の実施例における弾性表面波フィルタの励
起モード分布図である。

【図３】第１の実施例における弾性表面波フィルタの通
過帯域特性図である。

【図４】第１の実施例における多段接続の弾性表面波フ
ィルタを示す構成図である。

【図５】本発明に係る弾性表面波フィルタの第２の実施
例を示す構成図である。

【図６】第２の実施例における弾性表面波フィルタのＩ
ＤＴ電極が近接配置された部分の拡大図である。

【図７】第２の実施例における多段接続の弾性表面波フ
ィルタを示す構成図である。

【図８】本発明に係る弾性表面フィルタの第３の実施例
を示す構成図である。

【図９】第３の実施例における弾性表面波フィルタのＩ
ＤＴ電極が近接配置された部分の拡大図である。

【図１０】第３の実施例における弾性表面波フィルタの
ＩＤＴ電極が逆相配置された場合の構成図である。

【図１１】第３の実施例における弾性表面波フィルタの
非平衡入出力の場合の構成図である。

【図１２】本発明に係る弾性表波フィルタの第４の実施
例を示す構成図である。

【図１３】第４の実施例における弾性表面波フィルタの
通過帯域特性図である。

【図１４】本発明の係る弾性表面波フィルタの第５の実
施例を示す構成図である。

【図１５】本発明に係る弾性表面波フィルタの第６の実
施例を示す構成図である。

【図１６】第６の実施例における弾性表面波フィルタの
面実装用パッケージへの実装図である。

【図１７】本発明に係る弾性表面波フィルタの第７の実
施例を示す構成図である。

【図１８】第７の実施例における弾性表面波フィルタの
等価回路図である。

【図１９】本発明に係る弾性表面波フィルタの第８の実
施例を示す構成図である。

【図２０】本発明に係る弾性表面波フィルタ第９の実施
例を示す構成図である。

【図２１】第９の実施例における弾性表面波フィルタの
等価回路図である。

【図２２】本発明に係る弾性表面波フィルタの第１０の
実施例を示す構成図である。

【図２３】第７、８、９、１０の実施例におけるリアク
タンス電極パターンの構成図である。

【図２４】従来技術における弾性表面波フィルタを示す
構成図である。

【符号の説明】

１１、４１、５１、７１、８１、１０１、１１１、１２
１、１４１、１５１、１７１、１９１、２０１、２２１
圧電基板１２、１３、１４ＳＡＷ共振器１２ａ、１３ａ、１４ａ、５２ａ、５３ａ、５４ａ、８
２ａ、８４ａ、１０２、１０４、１１２、１１４、１２
２ａ、１２２ｂ、１２５ａ、１２５ｂ、１７２、１７
５、１９２、１９５、２０２、２０５、２２２、２２５
ＩＤＴ電極１２ｂ、１２ｃ、１３ｂ、１３ｃ、１４ｂ、１４ｃ、５
２ｂ、５２ｃ、５３ｂ、５３ｃ、５４ｂ、５４ｃ、８２
ｂ、８２ｃ、８３ｂ、８３ｃ、８４ｂ、８４ｃ、１２３
ａ、１２３ｂ、１２４ａ、１２４ｂ、１２６ａ、１２６
ｂ、１２７ａ、１２７ｂ、１７３、１７４、１７６、１
７７、１９３、１９４、１９６、１９７、２０３、２０
４、２０６、２０７、２２３、２２４、２２６、２２７
反射器電極２１、２２、１５６ａ、１５６ｂ、１５７ａ、１５７ｂ
ＩＤＴ電極指４２、４３、７２、７３、１４２、１４３、１４４、１
４５、１５２、１５３ＳＡＷフィルタ４４、７４、１２８ｂ、１４８ａ、１４８ｂ、１４８
ｃ、２３２、２３３電極パターン４５、７５、１６２電極パッド６１、６２、９１、９２、１５８バスバー電極８３ａ、１０３、１１３周期構造のストリップライン
電極列１２８ａ、１４６、１４７、１５４ａ、１５４ｂ、１５
５ａ、１５５ｂ配線パターン１３１、１３２、１３３ＳＡＷフィルタの通過特性１６３ボンディングワイヤ１４９アブソーバ１６１面実装用パッケージ１６４ａ、１６４ｂ入力端子電極１６５ａ、１６５ｂ出力端子電極１６６接地電極１７８、１９８、２０８、２２８段間電極パターン１８１、２１１第１段のＳＡＷフィルタ１８２、２１２第２段のＳＡＷフィルタ２２９スパイラルインダクタ電極パターン２３１短絡電極パターン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者村上弘三大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (72)発明者西村和紀大阪府門真市大字門真1006番地松下電器産業株式会社内 (56)参考文献特開平５−136651（ＪＰ，Ａ) 特開平４−373304（ＪＰ，Ａ) 特開平３−222512（ＪＰ，Ａ) 特開平２−81511（ＪＰ，Ａ) 特開昭59−131213（ＪＰ，Ａ) 特開昭63−285018（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H03H 9/64 H03M 9/25

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電基板上に、インタデジタルトランス
ジューサ（ＩＤＴ）電極の両側に反射器電極を具備した
弾性表面波（ＳＡＷ）共振器を、ＳＡＷの伝播方向と平
行に３個近接配置して音響結合させ、中央に配置された
前記ＳＡＷ共振器を構成する一方の電極指と他方の電極
指と、外側に配置された前記ＳＡＷ共振器を構成するＩ
ＤＴ電極の内側の電極指をそれぞれ、外側に配置された
前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極と前記反射器電
極との間隙に配した電極パターンを介して接地し、外側
の電極指をそれぞれ入力端子と出力端子に接続した弾性
表面波フィルタ。
【請求項２】前記圧電基板上に形成された段間接続電
極パターンにより複数個縦続に接続した請求項１に記載
の弾性表面波フィルタ。
【請求項３】前記段間接続電極パターンの一部にボン
ディング用の電極パッドを形成した請求項２に記載の弾
性表面波フィルタ。
【請求項４】前記段間接続電極パターンを、同一圧電
基板上の電極パターンによって形成したリアクタンス素
子を介して接地した請求項２に記載の弾性表面波フィル
タ。
【請求項５】前記リアクタンス素子がスパイラルイン
ダクタである請求項４に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項６】圧電基板上に、ＩＤＴ電極の両側に反射
器電極を具備したＳＡＷ共振器を、ＳＡＷの伝搬方向と
平行に３個近接配置して音響結合させ、隣接する前記Ｓ
ＡＷ共振器間の２箇所のバスバー用電極パターンを分割
すると共に、中央に配置された前記ＳＡＷ共振器を構成
する一方の電極指と他方の電極指を、外側に配置された
前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極と前記反射器電
極との間隙に配した電極パターンを介して接地し、外側
に配置された一方の前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ
電極の電極指を平衡型入力端子に接続し、外側に配置さ
れたもう一方の前記ＳＡＷ共振器を構成するＩＤＴ電極
の電極指を平衡型出力端子に接続した弾性表面波フィル
タ。
【請求項７】外側に配置された前記ＳＡＷ共振器のＩ
ＤＴ電極を構成するバスバー用電極パターンの線路幅
を、中央に配置された前記ＳＡＷ共振器のＩＤＴ電極を
構成するバスバー用電極パターンの線路幅よりも大きく
した請求項６に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項８】前記圧電基板上に形成された複数本の段
間接続電極パターンにより複数個縦続に接続した請求項
６に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項９】複数本の前記段間接続電極パターンの一
部にボンディング用の電極パッドを形成した請求項８に
記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１０】複数本の前記段間接続パターン同士
を、リアクタンス素子を介して接続した請求項８に記載
の弾性表面波フィルタ。
【請求項１１】複数本の前記段間接続電極パターンの
一方を接地し、もう一方の前記段間接続電極パターンを
リアクタンス素子を介して接地した請求項８に記載の弾
性表面波フィルタ。
【請求項１２】前記リアクタンス素子が同一圧電基板
上の電極パターンによって形成されたスパイラルインダ
クタである請求項１０又は１１に記載の弾性表面波フィ
ルタ。
【請求項１３】圧電基板上に、ＩＤＴ電極の両側に反
射器電極を具備したＳＡＷ共振器を、ＳＡＷの伝搬方向
と平行に２個形成し、前記ＳＡＷ共振器間に、前記ＳＡ
Ｗ共振器のＩＤＴ電極指交差幅と同程度の長さを有する
ストリップライン電極を、前記ＳＡＷ共振器と同一の電
極周期で並行配置することによって、周期構造状電極列
を形成すると共に、前記ＳＡＷ共振器と前記周期構造状
電極列を近接配置して音響結合させ、かつ、前記周期構
造状電極列を構成する前記各ストリップライン電極をそ
の両端に設けたバスバー電極によって互いに接続して前
記各ストリップライン電極を接地した弾性表面波フィル
タ。
【請求項１４】前記周期構造状電極列を、外側に配置
された前記ＳＡＷ共振器のＩＤＴ電極と前記反射器電極
との間隙に配した電極と前記バスバー電極を介して接地
した請求項１３に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１５】外側に配置された一方の前記ＳＡＷ共
振器を構成するＩＤＴ電極を平衡型入力端子に接続し、
外側に配置されたもう一方の前記ＳＡＷ共振器を構成す
るＩＤＴ電極を平衡型出力端子に接続した請求項１４に
記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１６】外側に配置された前記ＳＡＷ共振器を
構成するＩＤＴ電極の、周期構造状電極列と隣接する側
のバスバー用電極パターンの線路幅を、前記周期構造状
電極列に形成したバスバー用電極パターンの線路幅より
も大きくした請求項１５に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１７】前記圧電基板上に形成された複数本の
段間接続電極パターンにより複数個縦続に接続した請求
項１３に記載の弾性表面波フィルタ。
【請求項１８】前記ＳＡＷ共振器の前記周期構造状電
極列と隣接する側のＩＤＴ電極と、前記周期構造状電極
列を接続する前記バスバー電極とを一体化すると共に、
前記周期構造状電極列を接地した請求項１３に記載の弾
性表面波フィルタ。