JP3480641B2 - パターンの検査方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、グリーンシートあ
るいはフィルムキャリア等に形成されたパターンを検査
する検査方法に係り、特にパターンの断線を検査する検
査方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、ＩＣ、ＬＳＩの多ピン化要求
に適した実装技術として、ＰＧＡ（Pin Grid Array）が
知られている。ＰＧＡは、チップを付けるパッケージの
ベースとしてセラミック基板を用い、リード線の取り出
し位置まで配線を行っている。このセラミック基板を作
るために、アルミナ粉末を液状のバインダで練り合わせ
てシート状にしたグリーンシートと呼ばれるものが使用
され、このグリーンシート上に高融点の金属を含むペー
ストがスクリーン印刷される。そして、このようなシー
トを必要枚数積み重ねて焼成することにより、グリーン
シートを焼結させると共にペーストを金属化させる、い
わゆる同時焼成が行われる。

【０００３】また、その他の実装技術として、ＴＡＢ
（Tape Automated Bonding）が知られている。ＴＡＢ法
は、ポリイミド製のフィルムキャリア（ＴＡＢテープ）
上に形成された銅箔パターンをＩＣチップの電極に接合
して外部リードとする。銅箔パターンは、フィルムに銅
箔を接着剤で貼り付け、これをエッチングすることによ
って形成される。

【０００４】このようなグリーンシートあるいはフィル
ムキャリアでは、パターン形成後に顕微鏡を用いて人間
により目視でパターンの検査が行われる。ところが、微
細なパターンを目視で検査するには、熟練を要すると共
に、目を酷使するという問題点があった。そこで、目視
検査に代わるものとして、フィルムキャリア等に形成さ
れたパターンをＴＶカメラで撮像して自動的に検査する
技術が提案されている（例えば、特開平６−２７３１３
２号公報）。

【０００５】図８、図９は特開平６−２７３１３２号公
報に記載された従来の検査方法を説明するための図であ
る。良品と判定された被測定パターンを撮像することに
よって作成されたマスタパターンは、パターンエッジを
示す直線の集合として登録される。また、被測定パター
ンは、パターンを撮像した濃淡画像から抽出したパター
ンエッジを示すエッジデータ（エッジ座標）の集合とし
て入力される。そして、抽出した被測定パターンのエッ
ジデータｎ１、ｎ２、ｎ３・・・とマスタパターンの直
線との対応付けを行う。この対応付けを行うために、図
８に示すように、マスタパターンの連続する直線Ａ１と
Ａ２、Ａ２とＡ３・・・がつくる角をそれぞれ２等分す
る２等分線Ａ２’、Ａ３’・・・を求める。

【０００６】この２等分線Ａ２’、Ａ３’・・・によっ
てマスタパターンの直線Ａ１、Ａ２、Ａ３・・・の周囲
は、各直線にそれぞれ所属する領域に分割される。これ
により、各領域内に存在する被測定パターンのエッジデ
ータｎ１、ｎ２、ｎ３・・・は、その領域が属するマス
タパターンの直線Ａ１、Ａ２、Ａ３・・・とそれぞれ対
応付けられたことになる。例えば図８において、エッジ
データｎ１〜ｎ３は、直線Ａ１と対応付けられ、データ
ｎ４〜ｎ６は、直線Ａ２と対応付けられる。次に、被測
定パターンのエッジデータとマスタパターンとを比較
し、被測定パターンが断線しているかどうかを検査す
る。

【０００７】この検査は、被測定パターンの連結したエ
ッジデータｎ１〜ｎ９を追跡することにより、パターン
エッジを追跡するラベリング処理によって実現される。
このとき、被測定パターンの先端に生じた断線により、
この断線部でエッジデータが連結しないため、マスタパ
ターンの直線Ａ３〜Ａ５に対応するエッジデータが存在
しない。こうして、被測定パターンの断線を検出するこ
とができる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】以上のように従来の検
査方法では、被測定パターンのエッジデータとマスタパ
ターンの直線との対応付けを行って被測定パターンの断
線を検査しており、この対応付けの処理に時間がかかる
ため、断線の検査に時間がかかってしまうという問題点
があった。本発明は、上記課題を解決するためになされ
たもので、パターンの断線を高速に検査することができ
る検査方法を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、被測定パター
ンと比較するための基準となるマスタパターンの画像に
所定の大きさの検査範囲を設定し、この検査範囲内のマ
スタパターンのパターンエッジを追跡して、検査範囲の
各辺と交わるパターンに順次番号を付与すると共に、連
結したパターンエッジからなる１つのパターンに対して
は付与する番号を同一とし、被測定パターンの画像から
マスタパターンの検査範囲に該当する被測定パターンの
検査範囲を取り出し、この検査範囲内の被測定パターン
のパターンエッジを追跡して、検査範囲の各辺と交わる
パターンに順次番号を付与すると共に、連結したパター
ンエッジからなる１つのパターンに対しては付与する番
号を同一とし、マスタパターンに付与された番号と被測
定パターンに付与された番号とを比較して、被測定パタ
ーンの断線を検査するようにしたものである。このよう
にマスタパターンと被測定パターンのそれぞれにおい
て、検査範囲の各辺と交わるパターンに順次番号を付与
すると共に、連結したパターンエッジからなる１つのパ
ターンに対しては付与する番号を同一とする。被測定パ
ターンに断線が存在すると、この断線部でパターンエッ
ジが連結しなくなり、断線部によって両断された本来同
一であるべき２つのパターンに異なる番号が付与され
る。よって、マスタパターンに付与された番号との間で
相違が生じるため、これによって被測定パターンの断線
を検出することができる。

【００１０】また、被測定パターンと比較するための基
準となるマスタパターンの画像に所定の大きさの検査範
囲を設定し、この検査範囲内のマスタパターンのパター
ンエッジを追跡し、検査範囲の辺と交わらないパターン
先端を検出して、この先端の座標を先端点とし、被測定
パターンの画像からマスタパターンの検査範囲に該当す
る被測定パターンの検査範囲を取り出し、この検査範囲
内の被測定パターンの連結したパターンエッジを追跡し
て、この連結したパターンエッジが先端点を中心とする
所定の範囲内を通過するかどうかにより、被測定パター
ンの断線を検査するようにしたものである。このよう
に、マスタパターンにおいて検査範囲の辺と交わらない
パターン先端を検出して、この先端の座標を先端点と
し、被測定パターンの連結したパターンエッジが先端点
を中心とする所定の範囲内を通過するかどうかを判定す
る。被測定パターンに断線が存在すると、この断線部で
パターンエッジが連結しなくなるため、連結したパター
ンエッジを追跡する際に断線部の先に存在するはずの所
定の範囲内をパターンエッジが通過しない。これによ
り、被測定パターンの断線を検出することができる。

【００１１】また、パターン先端の検出は、検査範囲の
辺とパターンエッジとの１交点を基準点とし、この基準
点からの距離が極大値を示すパターンエッジをパターン
先端とするようにしたものである。このように検査範囲
の辺とパターンエッジとの１交点を基準点として設定す
ると、パターンの先端では、増加しつつあった基準点か
らの距離が減少に向かう。これにより、パターンの先端
を検出することができる。また、被測定パターンの断線
を検出した際に、基準点からの距離が極大値を示すパタ
ーンエッジのうち先端点として登録されていないものが
断線部を示す。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１は本発明の第１の実施の形態
となる検査方法を示すフローチャート図である。最初
に、マスタパターンの登録について説明する。まず、予
め良品と判定されているパターンをカメラによって撮像
し、カメラから出力された濃淡画像をＡ／Ｄ変換器でデ
ィジタル化して、画像メモリにいったん記憶させる（ス
テップ１０１）。

【００１３】続いて、画像メモリに記憶された多階調の
濃淡画像データからマスタパターンのエッジデータ（エ
ッジ座標）を以下のように抽出する（ステップ１０
２）。図２はエッジデータの抽出方法を説明するための
図である。ここでは、パターンを濃度の高い画素として
白丸で表し、基材（グリーンシートあるいはフィルムキ
ャリア等）を濃度の低い画素として黒丸で表すことにす
る。

【００１４】上記濃淡画像データには、パターンとそれ
以外の背景（基材）とが含まれているが、一般にパター
ンと背景には濃度差があるので、画像データの濃度の頻
度を示す濃度ヒストグラムを作成すると、このヒストグ
ラムは、周知のように背景に対応する頻度とパターンに
対応する頻度という２つの極大値を有する双峰性を示
す。濃淡画像データを２値化するには、この２峰の間の
谷点をしきい値Ｓとすればよい。

【００１５】こうして決定されるしきい値Ｓが濃淡画像
においてパターンエッジを示すとすれば、しきい値Ｓを
境界とする両隣の濃、淡の画素からしきい値ＳのＸ、Ｙ
座標を求めることでマスタパターンのエッジ座標を求め
ることができる。例えば、図２（ａ）のＣの箇所でエッ
ジ座標を求める場合、座標Ｘ２、Ｙ１の画素と座標Ｘ
１、Ｙ１の画素から図２（ｂ）に示すような濃度勾配を
求め、この濃度勾配がしきい値Ｓと交差する点の座標Ｘ
を算出すればよい（Ｙ座標はＹ１）。こうして、マスタ
パターンのエッジデータを抽出することができる。

【００１６】次いで、マスタパターンに所定の大きさの
検査範囲（以下、ウインドとする）を設定し、このウイ
ンドによってマスタパターンの画像を切り出す（ステッ
プ１０３）。そして、ウインドによって切り出されたマ
スタパターンの連結したエッジデータを追跡するラベリ
ングにより、ウインドの各辺と交わるマスタパターンに
番号を付与する（ステップ１０４）。

【００１７】図３はこのナンバリング処理を説明するた
めの図であり、Ｗ１はウインド、Ｐ１〜Ｐ４はパターン
である。なお、マスタパターンはパターンエッジを示す
点（エッジデータ）の集合であるが、ここではパターン
エッジを直線で表している。ナンバリング処理では、ウ
インドＷ１の左上を開始点とし、図３のように時計回り
にマスタパターンを走査する。そして、各パターンに与
えられる後述する番号もこの順番で付与される。

【００１８】マスタパターンをウインドＷ１の左上から
走査すると、ウインドＷ１の辺と交わる最初のパターン
としてパターンＰ１が検出される。これにより、図３に
示すように、ウインドＷ１の上辺と交わるパターンＰ１
の端部に「１」番が付与される。続いて、この端部を開
始位置として、開始位置から時計回りに連結したエッジ
データを次々と探すことでパターンＰ１のエッジを追跡
する（つまり、図３の矢印で示すようにパターンＰ１の
右側のエッジを追跡する）。

【００１９】パターンＰ１の場合、この追跡中にウイン
ドＷ１の下辺と突き当たるので、ウインドＷ１の下辺と
交わるパターンＰ１の端部にも同様に「１」番を付与す
る。さらに、パターンＰ１のエッジを追跡し（つまり、
パターンＰ１の左側のエッジを追跡する）、開始位置に
戻ることでパターンＰ１の境界追跡が終了する。

【００２０】次に、マスタパターンをウインドＷ１の左
上から走査すると、境界追跡がなされていない次のパタ
ーンとしてパターンＰ２が検出される。パターンＰ２は
パターンＰ１と連結していない異なるパターンなので、
ウインドＷ１の上辺と交わるパターンＰ２の端部に次の
番号として「２」番が付与され、ウインドＷ１の下辺と
交わるパターンＰ２の端部にも同様に「２」番が付与さ
れる。このようなナンバリング処理がパターンＰ３、パ
ターンＰ４についても同様に実施され、それぞれ「３」
番、「４」番が付与される。

【００２１】以上のようなナンバリング処理を各ウイン
ドごとに繰り返すことにより（ステップ１０３〜１０
５）、マスタパターンの全範囲に番号が付与される。次
に、被測定パターンの検査を説明する。まず、被測定パ
ターンをカメラによって撮像し、カメラから出力された
濃淡画像をＡ／Ｄ変換器でディジタル化して画像メモリ
にいったん記憶させる（ステップ１０６）。画像メモリ
に記憶された多階調の濃淡画像データは、マスタパター
ンとの位置合わせが実施された後に、２値化される（ス
テップ１０７）。

【００２２】続いて、被測定パターンの２値画像中から
マスタパターンのウインドに該当する位置のウインドを
切り出し、このウインドによって切り出された被測定パ
ターンの連結した画素を追跡するラベリングにより、ウ
インドの各辺と交わる被測定パターンに番号を付与する
（ステップ１０８）。図４は被測定パターンのナンバリ
ング処理を説明するための図である。

【００２３】被測定パターンのナンバリング処理もマス
タパターンの場合とほぼ同様であり、被測定パターンを
ウインドＷ２の左上から走査すると、ウインドＷ２の辺
と交わる最初のパターンとして上記のパターンＰ１に該
当するパターンＰ１１が検出される。これにより、図４
に示すように、ウインドＷ２の上辺と交わるパターンＰ
１１の端部に「１」番が付与される。

【００２４】続いて、この端部を開始位置として、開始
位置から時計回りに連結した境界点を次々と探すことで
パターンＰ１１のエッジを追跡する。パターンＰ１１の
場合、この追跡中にウインドＷ２の下辺と突き当たるの
で、ウインドＷ２の下辺と交わるパターンＰ１１の端部
にも「１」番を付与する。さらに、パターンＰ１１のエ
ッジを追跡し、開始位置に戻ることでパターンＰ１１の
境界追跡が終了する。

【００２５】なお、本実施の形態では、パターンが白画
素、基材が黒画素で表される被測定パターンの２値画像
中において、左から右に走査したとき、黒→白に立ち上
がる場合は白の画素を上記境界点とし、白→黒に立ち下
がる場合は黒の画素を境界点としている。

【００２６】次に、上記のＰ２に該当するパターンは、
断線によってパターンＰ１２、Ｐ１６に両断されてい
る。これにより、この断線部で境界点が連結しなくなる
ため、境界追跡がなされていない次のパターンとしてパ
ターンＰ１２を検出してその境界点を追跡したとき、図
４の矢印に示すように、断線によって生じたエッジを追
跡した後に、左側のエッジを追跡して開始位置に戻る。

【００２７】したがって、パターンＰ１２に付与される
番号は、ウインドＷ２の上辺と交わる端部に付与される
「２」番だけである。上記のＰ３に該当するパターン
は、断線によってパターンＰ１３、パターンＰ１５に両
断されており、パターンＰ１３については、パターンＰ
１２と同様の処理により、ウインドＷ２の上辺と交わる
端部に「３」番が付与される。そして、パターンＰ１４
についてはパターンＰ１１と同様の処理がなされる。

【００２８】次いで、被測定パターンをウインドＷ２の
左上から時計回りに走査すると、ウインドＷ２の下辺と
交わるパターンとしてパターンＰ１５が検出される。こ
れにより、ウインドＷ２の下辺と交わるパターンＰ１５
の端部に「５」番が付与される。続いて、この端部を開
始位置として、開始位置から時計回りに連結した境界点
を次々と探すことでパターンＰ１５のエッジを追跡する
（つまり、図４の矢印で示すようにパターンＰ１５の左
側のエッジを追跡する）。

【００２９】このとき、パターンＰ１２の場合と同様
に、パターンＰ１３側の境界点を連結した境界点とは見
なさないため、図４の矢印に示すように、断線によって
生じたエッジを追跡した後に、右側のエッジを追跡して
開始位置に戻る。したがって、パターンＰ１５に付与さ
れる番号は、ウインドＷ２の下辺と交わる端部に付与さ
れる「５」番だけである。パターンＰ１６については、
パターンＰ１５と同様の処理により、ウインドＷ２の下
辺と交わる端部に「６」番が付与される。

【００３０】以上のようなナンバリング処理を行った
後、マスタパターンに付与された番号と被測定パターン
に付与された番号とをウインドの辺ごとに比較する（ス
テップ１０９）。

【００３１】

【表１】

【００３２】ウインドの上辺で付与されたマスタパター
ンと被測定パターンの番号には相違がなく、全て正常と
判断される（表１では○）。これに対し、ウインドの下
辺で付与されたマスタパターンと被測定パターンの番号
には不一致があるので、この部分に断線があると判断さ
れる（表１では×）。以上のような処理を全ウインドに
ついて繰り返すことにより（ステップ１０８〜１１
０）、被測定パターンの全ての断線を検査することがで
きる。

【００３３】このように本実施の形態では、被測定パタ
ーンのエッジデータとマスタパターンの直線との対応付
けを行う必要がないため、検査時間（ステップ１０６以
降の処理にかかる時間）を短縮することができる。

【００３４】第１の実施の形態では、パターンの両端が
ウインドの辺に突き当たっている場合は断線を検査する
ことができるが、パターンの一端がウインドの辺に突き
当たらない場合は検査することができないので、このよ
うな場合にはその他の検査方法が必要となる。図５は本
発明の第２の実施の形態となる検査方法を示すフローチ
ャート図である。

【００３５】まず、ステップ２０１〜２０３について
は、図１のステップ１０１〜１０３と同様である。続い
て、ウインドによって切り出されたマスタパターンの連
結したエッジデータを追跡するラベリング処理により、
ウインドの辺と交わらないパターンの先端を検出して、
これを記憶する（ステップ２０４）。図６はこのマーキ
ング処理を説明するための図である。

【００３６】マーキング処理では、ウインドＷ３の左上
から時計回りにマスタパターンを走査する。これによ
り、ウインドＷ３の辺と交わる最初のパターンエッジと
して点Ｏが検出され、この基準点Ｏの座標が記憶され
る。そして、この基準点Ｏを開始位置として、開始位置
から時計回りに連結したパターンエッジを図６の矢印の
ように追跡する。

【００３７】このとき、基準点Ｏからの距離が極大値を
示すパターンエッジをパターン先端とする。例えば、点
Ｍ１では、増加しつつあった基準点Ｏからの距離が減少
に向かう。これにより、この点Ｍ１をパターンＰ７の先
端として検出し、その座標を記憶する。同様に、点Ｍ２
でも、再び増加しつつあった基準点Ｏからの距離が減少
に向かう。これにより、この点Ｍ２をパターンＰ７の先
端としてその座標を記憶する。その他の点Ｍ３、Ｍ４に
ついても同様である。

【００３８】以上のようなマーキング処理を各ウインド
ごとに繰り返すことにより（ステップ２０３〜２０
５）、マスタパターンの全範囲でパターンの先端がマー
キングされる。次に、被測定パターンの検査を説明す
る。ステップ２０６、２０７については図１のステップ
１０６、１０７と同様である。

【００３９】続いて、被測定パターンの２値画像中から
マスタパターンのウインドに該当する位置のウインドを
切り出し、このウインドによって切り出された被測定パ
ターンの連結した画素を追跡するラベリングにより、連
結したパターンエッジが記憶した先端点を中心とする所
定の範囲内を通過するかどうかを判定する（ステップ２
０８）。図７はこの通過判定処理を説明するための図で
ある。

【００４０】通過判定処理では、被測定パターンをウイ
ンドＷ４の左上から時計回りに走査して、連結した境界
点を次々と探すことでパターンＰ１７のエッジを図７の
矢印のように追跡する。最初のパターンの先端では、マ
スタパターンにてマーキングした先端点Ｍ１を中心とす
る所定の範囲Ｒ１内をパターンエッジが通過するため、
正常と判断される。２番目のパターンの先端でも同様で
ある。

【００４１】３番目の先端に関しては、断線により、マ
ーキングされた先端点Ｍ３を中心とする所定の範囲Ｒ３
が設定されている先端部とその途中の部分とに両断され
ている。これにより、この断線部で境界点が連結しなく
なり、図７の矢印に示すように、断線によって生じたエ
ッジが追跡されるため、断線部の先に存在するはずの所
定の範囲Ｒ３内を通過しない。こうして、被測定パター
ンの断線を検出することができる。

【００４２】また、パターンエッジの追跡の結果、断線
を検出した場合には、基準点Ｏからの距離が極大値を示
すパターンエッジのうち先端点として登録されていない
ものが断線部を示すため、断線部の位置を正確に知るこ
とができる。つまり、断線によって生じたエッジを追跡
した際に、基準点Ｏからの距離が極大値を示すが、この
位置は記憶された先端点Ｍ１〜Ｍ４の何れでもないた
め、これを断線部として認識することができる。以上の
ような処理を全ウインドについて繰り返すことにより
（ステップ２０８、２０９）、被測定パターンの全ての
断線を検査することができる。

【００４３】

【発明の効果】本発明によれば、マスタパターンと被測
定パターンのそれぞれにおいて、検査範囲の各辺と交わ
るパターンに順次番号を付与すると共に、連結したパタ
ーンエッジからなる１つのパターンに対しては付与する
番号を同一とすることにより、被測定パターンに断線が
存在すると、マスタパターンに付与された番号との間で
相違が生じるので、被測定パターンの断線を検出するこ
とができる。よって、従来のように被測定パターンのエ
ッジデータとマスタパターンの直線との対応付けを行う
必要がないので、被測定パターンの断線を高速に検査す
ることができる。

【００４４】また、マスタパターンにおいて検査範囲の
辺と交わらないパターン先端を検出して、この先端の座
標を先端点とし、被測定パターンの連結したパターンエ
ッジが先端点を中心とする所定の範囲内を通過するかど
うかを判定することにより、被測定パターンに断線が存
在すると、断線部の先に存在するはずの所定の範囲内を
パターンエッジが通過しないので、被測定パターンの断
線を検出することができる。よって、従来のように被測
定パターンのエッジデータとマスタパターンの直線との
対応付けを行う必要がないので、被測定パターンの断線
を高速に検査することができる。

【００４５】また、検査範囲の辺とパターンエッジとの
１交点を基準点として設定することにより、パターンの
先端を容易に検出することができ、断線部の位置を正確
に知ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の第１の実施の形態となる検査方法を
示すフローチャート図である。

【図２】 マスタパターンのエッジデータの抽出方法を
説明するための図である。

【図３】 マスタパターンのナンバリング処理を説明す
るための図である。

【図４】 被測定パターンのナンバリング処理を説明す
るための図である。

【図５】 本発明の第２の実施の形態となる検査方法を
示すフローチャート図である。

【図６】 マスタパターンのマーキング処理を説明する
ための図である。

【図７】 被測定パターンの通過判定処理を説明するた
めの図である。

【図８】 従来の検査方法を説明するための図である。

【図９】 従来の検査方法を説明するための図である。

【符号の説明】

Ｐ１〜Ｐ４、Ｐ７、Ｐ１１〜Ｐ１７…パターン、Ｗ１〜
Ｗ４…ウインド、Ｍ１〜Ｍ４…先端点。

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G06T 7/00 - 7/60 G06T 1/00 G01B 11/00 - 11/30 G01N 21/84 - 21/958 H01L 21/64 - 21/66

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被測定パターンと比較するための基準と
   なるマスタパターンの画像に所定の大きさの検査範囲を
   設定し、 この検査範囲内のマスタパターンのパターンエッジを追
   跡して、検査範囲の各辺と交わるパターンに順次番号を
   付与すると共に、連結したパターンエッジからなる１つ
   のパターンに対しては付与する番号を同一とし、 被測定パターンの画像から前記マスタパターンの検査範
   囲に該当する被測定パターンの検査範囲を取り出し、 この検査範囲内の被測定パターンのパターンエッジを追
   跡して、検査範囲の各辺と交わるパターンに順次番号を
   付与すると共に、連結したパターンエッジからなる１つ
   のパターンに対しては付与する番号を同一とし、 前記マスタパターンに付与された番号と被測定パターン
   に付与された番号とを比較して、被測定パターンの断線
   を検査することを特徴とするパターンの検査方法。
2. 【請求項２】 被測定パターンと比較するための基準と
   なるマスタパターンの画像に所定の大きさの検査範囲を
   設定し、 この検査範囲内のマスタパターンのパターンエッジを追
   跡し、検査範囲の辺と交わらないパターン先端を検出し
   て、この先端の座標を先端点とし、 被測定パターンの画像から前記マスタパターンの検査範
   囲に該当する被測定パターンの検査範囲を取り出し、 この検査範囲内の被測定パターンの連結したパターンエ
   ッジを追跡して、この連結したパターンエッジが前記先
   端点を中心とする所定の範囲内を通過するかどうかによ
   り、被測定パターンの断線を検査することを特徴とする
   パターンの検査方法。
3. 【請求項３】 請求項２記載のパターンの検査方法にお
   いて、 前記パターン先端の検出は、検査範囲の辺とパターンエ
   ッジとの１交点を基準点とし、この基準点からの距離が
   極大値を示すパターンエッジをパターン先端としたもの
   であることを特徴とするパターンの検査方法。