JP3159593B2 - レーザ加工方法及びその装置 - Google Patents
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Description
属材料からなる被加工物の切断や溶接等を行うレーザ加
工方法及びその装置に関するもので、更に詳しくは、予
備的な加工条件で加工を行い被加工物の表面状態を改善
したのちに実際の加工条件で加工を行うレーザ加工方法
及びその装置に関するものである。
ウム等の金属材料からなる被加工物をレーザ加工する場
合は、被加工物へのレーザ光の照射とアシストガスの噴
射を行い加工を実施している。ここで、被加工物表面が
低融点物質でコーティングされているもののレーザ加工
では、加工中に低融点物質の蒸発物質が加工範囲に侵入
し、加工品質に欠陥を生じさせるという不具合があっ
た。
の特開平4−333386号公報では、図20に示すよ
うに、低融点物質でコーティングされた材料のレーザ溶
接で、低融点物質の蒸発を抑制させるためのアシストガ
ス類を使用することで改善を図っている。図20におい
て、1はレーザ光、2はレンズ、3aは亜鉛メッキ鋼板
である被加工物、3bは被加工物3aの表面の亜鉛メッ
キ層、4a,4bは酸素(O2 )及びアルゴン(Ar )
のガスボンベ、6は混合器、7は加工ヘッド、8はノズ
ル、9は加工点である。
発振器(図示略)より出射されたレーザ光1は、ベンド
ミラー(図示略)によって加工ヘッド7まで導かれる。
加工ヘッド7に導かれたレーザ光1はレンズ2によって
集束されノズル8から被加工物3aの表面の亜鉛メッキ
層3bの加工点9に照射される。この場合の被加工物3
aの表面の亜鉛メッキ層3bでのレーザ光1のエネルギ
密度は、被加工物の種類や板厚、加工する速度に応じて
変化させている。更に、酸素ガス4aとアルゴンガス4
bは混合器6で混合され、加工ヘッド7に設けられた集
光レンズ2の下に導かれ、ノズル8からレーザ光1と同
時に被加工物3aの表面の亜鉛メッキ層3bに噴射され
る。混合ガスを使用することで、その中の酸素ガスによ
って亜鉛メッキ鋼板の亜鉛を酸化させ酸化亜鉛、過酸化
亜鉛とすることで亜鉛が蒸発しなくなり、スパッタが減
少し、ブローホールの少ないレーザ溶接を可能とするも
のである。
は、図22に示すように、レーザ光を2分光し一方で低
融点物質の剥離、他方で実際の溶接加工を行っている。
図22において、10はレーザ発振器、Mmは部分反射
鏡、Msは全反射鏡である。レーザ発振器10より出射
したレーザ光は部分反射鏡Mmによって2分光され、部
分反射鏡Mmを通過して被加工物3aに照射されるレー
ザ光は、被加工物表面にコーティングされている物質、
例えば、亜鉛メッキ層3bを除去する。他方、部分反射
鏡Mmにて反射され全反射鏡Msに導かれたのち、被加
工物3aに照射されたレーザ光によって溶接を行う。こ
れらにより、被加工物表面のコーティング物質の除去と
溶接とを同時に行うものである。
は、亜鉛メッキ鋼板の溶接方法において、図23に示す
ような表面の亜鉛を剥離する工程、図24に示すような
溶接を行う工程が開示されている。図23及び図24に
おいて、3aは被加工物、3bは亜鉛メッキ層、3dは
亜鉛メッキ層3bの除去された被加工物表面、7は先端
にノズルが配設された加工ヘッドである。図23に示す
ように、まず、加工ヘッド7を通常の加工位置よりも上
方に設定することによって焦点位置を被加工物表面から
上方にずらし、且つ出力を下げて設定し、被加工物表面
の亜鉛メッキ層3bを剥離する。次に、図24に示す工
程で焦点位置を被加工物3aの表面近傍に設定し、最初
の工程よりも出力を増加して溶接を行うものである。
すアシストガスに混合ガスを使用する方法では、材料表
面の亜鉛メッキ層の厚さが大きくなると良好な溶接が行
えなくなる。また、切断ではアシストガスに高純度の酸
素ガスを用いるのが一般的であり、アシストガスに混合
ガスを用いると加工能力が著しく低下する。そのため、
膜厚の厚い亜鉛メッキ鋼板の溶接をする方法が必要であ
る。また、図25は膜厚が200μmの亜鉛メッキ鋼板
をアシストガスに混合ガスを用いて突合わせ溶接したと
きの溶接ビード3eを示す断面図である。溶接ビード3
e内にはブローホール3fが発生している。
いて加工品質の悪化原因を示す図である。図21におい
て、3aは被加工物、3bは被加工物3aの表面の亜鉛
メッキ層、3cは切断溝、11は切断溝3c内に侵入し
た低融点物質である亜鉛蒸気である。亜鉛メッキ鋼板の
レーザ切断では、図21に示すように、切断溝3c内に
被加工物3aの表面の亜鉛メッキ層3bが蒸発し、この
亜鉛蒸気11が切断溝3c内に入込む。その結果、切断
溝3c内の酸素ガス純度が低下し切断面に大きな欠け
(キズ)が生じたり、裏面にドロスが発生する。即ち、
レーザ切断では切断溝3c内に亜鉛蒸気11が侵入しな
いようにして切断する必要があった。
たレーザ光1は部分反射鏡Mmによって2分光されてい
る。そして、部分反射鏡Mmを通過して被加工物3aに
照射されるレーザ光が被加工物表面にコーティングされ
ている物質、例えば、亜鉛メッキ層3bを除去し、他
方、部分反射鏡Mmにて反射され全反射鏡Msに導かれ
たのち、被加工物3aに照射されたレーザ光によって溶
接を行うため、コーティング膜の剥離の際に発生する熱
が冷却する以前に本加工を実施するような状態となる。
このように、加工部が加熱された状態で本加工を実施す
ると入熱過多の現象になり、切断ではセルフバーニング
の状態、溶接では接合部の組織が肥大、脆化する。ま
た、部分反射鏡Mmと全反射鏡Msとの位置関係が固定
の状態では、加工の軌跡が複雑になると、剥離の前加工
と本加工との軌跡が一致しないようなことが起こる。も
し、この軌跡を一致させるような構成とすると、装置自
体が複雑となり高価で実用的でないものとなってしま
う。更に、部分反射鏡Mmと全反射鏡Msとを用いた構
成では直線的な加工にしか適用できないこととなる。
3に示す最初の工程で、焦点位置を被加工物表面から上
方にずらし、且つ出力を下げて設定し、被加工物表面の
亜鉛メッキ層3bを剥離し、次に、図24に示す工程で
焦点位置を被加工物3aの表面近傍に設定し、最初の工
程よりも出力を増加して溶接を行うものである。しか
し、この方法では最初の工程での亜鉛メッキ焼却除去の
ための加工条件が出力を下げ、ディフォーカスにするた
め除去速度が低下する。また、レーザ光1の吸収率が大
きく、低融点の亜鉛メッキには適用できるが、吸収率が
小さく高融点物質の除去には適用できない。また、各種
物性の異なるコーティング材の除去には、柔軟に対応す
ることができない。更に、コーティング材の焼却除去に
は出力を増加させ速度も増加させることによって、高速
加工の状態でレーザ光のエネルギ密度をコーティングの
種類に応じて制御する必要があった。
造行程の圧延時に材料表面に酸化膜を発生する。この酸
化膜はミルスケールとも呼ばれ、ミルスケール層の厚い
ものや厚い部分と薄い部分が斑に存在するものに対する
レーザ加工は、切断品質にばらつきを誘発させていた。
即ち、材料表面の酸化膜の厚さが不均一なものを切断す
ると、材料表面でのレーザ光の吸収率にもばらつきが生
じる。レーザ光の吸収にばらつきがあると、切断の加工
品質にも不良が生じる。溶接においてもレーザ光の吸収
率にばらつきがあると、溶込み深さにばらつきが生じ、
安定した加工が行えない。また、溶接部(溶接ビード)
に材料表面の酸化膜が巻込まれると、溶接強度が著しく
低下する。
になると、レーザ加工中に熱衝撃によるクラックが不連
続に発生し、レーザ光の照射位置に酸化膜が存在したり
しなかったりすることが起きる。その結果、上述したよ
うに材料表面の酸化膜の厚さが不均一なものを切断する
と、材料表面でのレーザ光の吸収率にもばらつきが生じ
る。レーザ光の吸収にばらつきがあると、切断の加工品
質にも不良が生じる。溶接においてもレーザ光の吸収率
にばらつきがあると、溶込み深さにばらつきが生じ、安
定した加工が行えない。
放置すると錆が発生する。材料表面が錆で覆われている
部分のレーザ切断では、異常燃焼が発生し切断品質に問
題を生じさせていた。又、レーザ溶接でも錆のある材料
を加工する場合には、溶接ビード内にブローホールが発
生していた。即ち、材料表面に錆があると、錆ありと錆
なしの部分でレーザ光の吸収率にばらつきが生じる。レ
ーザ光の吸収にばらつきがあると、切断の加工品質にも
不良が生じる。溶接においてもレーザ光の吸収率にばら
つきがあると、溶込み深さや幅にばらつきが生じ、安定
した加工が行えない。
レーザ切断品質に不良を生じさせていた。更に、高反射
材料のレーザ溶接では、加工中にレーザ光の反射が起こ
り安定した加工を行うことができなかった。材料の表面
粗さは、粗くなる程レーザ光の吸収率にばらつきが起こ
り、粗さの大きなレーザ光の吸収率の大きな部分では加
工が大きく進行し、レーザ光の吸収率の小さな部分では
加工が遅れ、その結果、加工品質にばらつきが生じてい
た。また、レーザ光の照射方向に対して材料表面が垂直
でない場合は、切断溝内でのアシストガスの流れに乱れ
が生じ、切断不良が発生していた。
するためになされたもので、レーザ光を用い予備的な加
工条件で前加工を行い被加工物の表面改質を行ったの
ち、実際の加工条件で本加工を行うことで被加工物を適
切に加工できるレーザ加工方法及びその装置の提供を課
題としている。
加工方法は、高エネルギ密度に集光したレーザ光の先端
を被加工物の加工条件と異なるエネルギ密度が得られる
加工条件にて前記被加工物の最終的な加工軌跡上に照射
し前記被加工物の表面の前記被加工物よりも低融点の金
属性のコーティング材からなる表面物質を予め除去する
前加工工程と、前記前加工工程で前記表面物質が除去さ
れた前記被加工物の領域に対して前記レーザ光のエネル
ギ密度を前記被加工物を加工する加工条件のエネルギ密
度に対応させ変化させて、前記被加工物の最終的な加工
軌跡上に照射し加工を行う後加工工程とからなり、前記
コーティング材の目付量及び物性、要求加工幅、加工速
度に応じて、その除去できるエネルギ密度を設定するも
のである。
ネルギ密度に集光したレーザ光の先端を被加工物の加工
条件と異なるエネルギ密度が得られる加工条件にて前記
被加工物の最終的な加工軌跡上に照射し前記被加工物の
表面の前記被加工物よりも低融点の金属性のコーティン
グ材からなる表面物質を予め除去する前加工手段と、前
記前加工手段で前記表面物質が除去された前記被加工物
の領域に対して前記レーザ光のエネルギ密度を前記被加
工物を加工する加工条件のエネルギ密度に対応させ変化
させて、前記被加工物の最終的な加工軌跡上に照射し加
工を行う後加工手段とを具備し、前記コーティング材の
目付量及び物性、要求加工幅、加工速度に応じて、その
除去できるエネルギ密度を設定するものである。
ザ光を高反射材料の被加工物の溶接加工の加工条件と異
なる前記被加工物の表面を酸化させる酸素ガスを含むア
シストガスの条件にて前記被加工物の最終的な加工軌跡
上に照射し前記被加工物の表面を酸化させる前加工工程
と、前記前加工工程で酸化された前記被加工物の領域に
対して前記レーザ光のエネルギ密度を前記被加工物を溶
接加工する加工条件のエネルギ密度に対応させ変化させ
て、前記被加工物の最終的な加工軌跡上に照射し加工を
行う後加工工程とからなるものである。
ザ光を高反射材料の被加工物の溶接加工の加工条件と異
なる前記被加工物の表面を酸化させる酸素ガスを含むア
シストガスの条件にて前記被加工物の最終的な加工軌跡
上に照射し前記被加工物の表面を酸化させる前加工手段
と、前記前加工手段で酸化された前記被加工物の領域に
対して前記レーザ光のエネルギ密度を前記被加工物を溶
接加工する加工条件のエネルギ密度に対応させ変化させ
て、前記被加工物の最終的な加工軌跡上に照射し加工を
行う後加工手段とを具備するものである。
ザ光を被加工物の切断、溶接、熱処理加工のうち1つ以
上の加工条件と異なるエネルギ密度とエネルギ分布との
両方または一方が均一に得られる加工条件にて前記被加
工物の最終的な加工軌跡上に照射し前記被加工物の表面
物質を予め除去する前加工工程と、前記前加工工程で前
記表面物質が除去された前記被加工物の領域に対して前
記レーザ光のエネルギ密度とエネルギ分布との両方また
は一方を前記被加工物の切断、溶接、熱処理加工のうち
1つ以上の加工条件に対応させ変化させて、前記被加工
物の最終的な加工軌跡上に照射し加工を行う後加工工程
とからなるものである。
ザ光を被加工物の切断、溶接、熱処理加工のうち1つ以
上の加工条件と異なるエネルギ密度とエネルギ分布との
両方または一方が均一に得られる加工条件にて前記被加
工物の最終的な加工軌跡上に照射し前記被加工物の表面
物質を予め除去する前加工手段と、前記前加工手段で前
記表面物質が除去された前記被加工物の領域に対して前
記レーザ光のエネルギ密度とエネルギ分布との両方また
は一方を前記被加工物の切断、溶接、熱処理加工のうち
1つ以上の加工条件に対応させ変化させて、前記被加工
物の最終的な加工軌跡上に照射し加工を行う後加工手段
とを具備するものである。
ザ光が前加工として切断加工または溶接加工の加工条件
と異なるエネルギ密度が得られる加工条件にて被加工物
の最終的な加工軌跡となる表面上に照射され、その表面
物質(コーティング材、酸化膜、錆)が除去される。次
に、後加工としてレーザ光がそのエネルギ密度を切断加
工または溶接加工の加工条件に合致するように変化され
被加工物の表面物質が除去された領域に照射され実際の
加工が実施される。
レーザ光が前加工として溶接加工の加工条件と異なる被
加工物の表面を酸化させる酸素ガスを含むアシストガス
の条件にて被加工物の最終的な加工軌跡となる表面上に
照射され、その表面が酸化される。次に、後加工として
レーザ光がそのエネルギ密度を溶接加工の加工条件に合
致するように変化され被加工物の表面が酸化された領域
に照射され実際の加工が実施される。
レーザ光が前加工として切断、溶接、熱処理加工のうち
1つ以上の加工条件と異なるエネルギ密度とエネルギ分
布との両方または一方が均一に得られる加工条件にて被
加工物の最終的な加工軌跡となる表面上に照射され、そ
の表面物質(コーティング材、酸化膜、錆)が除去され
る。次に、後加工としてレーザ光がそのエネルギ密度と
エネルギ分布との両方または一方を切断、溶接、熱処理
加工のうち1つ以上の加工条件に合致するように変化さ
れ被加工物の表面物質が除去された領域に照射され実際
の加工が実施される。
を具体的な実施例に基づいて説明する。 実施例1. 図1は本発明の第1実施例にかかるレーザ加工方法及び
その装置で亜鉛メッキ鋼板の表面の亜鉛メッキ層を除去
したのちのレーザ切断状態を示す斜視図である。なお、
前述の従来例と同様の構成または相当部分からなるもの
については同一符号及び同一記号を付して示す。図1に
おいて、1はレーザ光、3aは被加工物、3bは亜鉛メ
ッキ層、3cは切断溝、3dは亜鉛メッキ層3bを除去
した被加工物表面である。加工の第一段階では、切断す
る形状と同一の加工プログラムを用いて、被加工物3a
の表面の亜鉛メッキ層3bを除去する加工条件で加工を
行う。次段階では、加工プログラムの加工開始点にレー
ザ光1の位置を戻し、切断加工の加工条件を選択したの
ち、被加工物3aの表面の亜鉛メッキ層3bが除去され
た同一軌跡の切断を行う。この切断の過程では亜鉛蒸気
の発生がなく、切断溝3c内での酸素アシストガス純度
が高いまま保たれるため加工品質が良好となる。
量M〔g/m2 〕とその除去に必要なレーザ光1の照射
部におけるエネルギ密度E〔J/cm2 〕との関係を示
す説明図である。ここで、エネルギ密度Eは、レーザ出
力P〔W〕、加工速度V〔cm/s〕及び加工幅L〔c
m〕とから次式(1)の関係で表される。 E=P/(V・L) ・・・(1) 図2に斜線で示す範囲が亜鉛を完全に除去できるエネル
ギ密度Eであり、亜鉛の目付量Mに応じて、除去可能な
最低のエネルギ密度になる高速度の条件を設定すること
が効率の面で好ましい。ここで、図2から各目付量Mに
対する除去可能な最小エネルギ密度Eとの間には次式
(2)の関係が成立する。 E=74・ln M+130 ・・・(2)
ティング材の種類に対してその除去に必要なレーザ光の
エネルギ密度E〔J/cm2 〕の関係を示す説明図であ
る。コーティング材のレーザ光の吸収率や融点に応じて
最大速度で図3に斜線で示すエネルギ密度Eが得られる
条件設定が好ましい。実験結果では、亜鉛−アルミ系合
金、亜鉛−ニッケル系合金、鉄−亜鉛合金、亜鉛の順に
低いエネルギ密度Eで除去できる。これらのコーティン
グ材の目付量と除去に必要なエネルギ密度Eとの関係
は、エネルギ密度をそれぞれ亜鉛−アルミ系合金Ea、
亜鉛−ニッケル系合金En、鉄−亜鉛合金Ef、亜鉛E
とすると次式(3)〜次式(6)の関係が成立する。 Ea=80・ln M+260 ・・・(3) En=78・ln M+241 ・・・(4) Ef=76・ln M+222 ・・・(5) E =74・ln M+130 ・・・(6) コーティング材の目付量や物性に応じて、その除去でき
るエネルギ密度を上式(3)〜上式(6)に示す形で制
御装置にメモリしておき、更に、上式(1)の関係から
要求加工幅や加工速度に応じた出力を設定できる。ま
た、図4は上述した本実施例の動作手順を示すが、この
動作は加工プログラム上で各種コード指令によって自動
的に実行することもできる。
ッキ層の存在する状態で切断加工したものを従来、亜鉛
メッキ層を除去したのちに切断加工したものを本実施例
として、亜鉛メッキ目付量〔g/m2 〕に対する切断面
の不良率〔%〕を比較した説明図である。コーティング
の除去は、式(2)から加工幅5mm、速度2000m
m/minで加工できる条件を使用し、切断条件は全て
出力2200W、速度800mm/min、アシストガ
スは酸素(O2 )でガス圧0.6kg/cm2 とした。
従来方法では亜鉛メッキ目付量(メッキ層の厚さ)にほ
ぼ比例して不良率が増加している。本実施例では、どの
亜鉛メッキ目付量(メッキ層の厚さ)でもほぼ2%の不
良率であった。
加工方法は、高エネルギ密度に集光したレーザ光1の先
端を被加工物3aの切断加工の加工条件と異なるエネル
ギ密度が得られる加工条件にて被加工物3aの最終的な
加工軌跡上に照射し被加工物3aの亜鉛メッキ層3bか
らなる表面物質を予め除去する前加工工程と、前記前加
工工程で前記表面物質が除去された被加工物3aの被加
工物表面3dからなる領域に対してレーザ光1のエネル
ギ密度を被加工物3aを切断加工する加工条件のエネル
ギ密度に対応させ変化させて照射し加工を行う後加工工
程とからなる実施例とすることができる。なお、本実施
例のレーザ加工方法における各工程を手段に読変えるこ
とにより、レーザ加工装置の実施例とすることができ
る。
断加工の加工条件と異なるエネルギ密度が得られる加工
条件にて被加工物3aの最終的な加工軌跡となる表面上
に照射され、その亜鉛メッキ層3bが除去される。次
に、後加工としてレーザ光1がそのエネルギ密度を切断
加工の加工条件に合致するように変化され被加工物3a
の亜鉛メッキ層3bが除去された被加工物表面3dに照
射され実際の加工が実施される。故に、被加工物3aで
は極めて良好な切断品質を得ることができる。
コーティングについて示したが、母材よりも低融点のコ
ーティング材であればどの材料においても同等な加工品
質が得られる。
その装置で亜鉛メッキ層を除去したのちに溶接したとき
の溶接ビードを示す断面図である。被加工物3aは板厚
が2mmで目付量50g/m2 のSECCである。コー
ティングの除去は上式(2)から加工幅5mm、速度2
000mm/minで加工できる条件を使用し、溶接条
件は出力1200W、速度2500mm/min、アシ
ストガスはアルゴン(Ar )でガス流量20l/min
である。本実施例では溶接ビード3eにはブローホール
が全く発生しなかった。
1800W、速度1500mm/minでビードオンプ
レートを行った際の亜鉛メッキ目付量〔g/m2 〕をパ
ラメータとし溶接ビード3eに占めるブローホールの断
面積の割合であるブローホール占有割合〔%〕を示す説
明図である。なお、亜鉛メッキ層の上から溶接した場合
のデータを従来、亜鉛メッキ層の除去後に溶接した場合
のデータを本実施例として示す。コーティングの除去は
上式(2)から加工幅5mm、速度2000mm/mi
nで溶接できる条件を使用した。
加工方法は、レーザ光1を被加工物3aの溶接加工の加
工条件と異なるエネルギ密度が得られる加工条件にて被
加工物3aの最終的な加工軌跡上に照射し被加工物3a
の亜鉛メッキ層3bからなる表面物質を予め除去する前
加工工程と、前記前加工工程で前記表面物質が除去され
た被加工物3aの領域に対してレーザ光1のエネルギ密
度を被加工物3aを溶接加工する加工条件のエネルギ密
度に対応させ変化させて照射し加工を行う後加工工程と
からなる実施例とすることができる。なお、本実施例の
レーザ加工方法における各工程を手段に読変えることに
より、レーザ加工装置の実施例とすることができる。
接加工の加工条件と異なるエネルギ密度が得られる加工
条件にて被加工物3aの最終的な加工軌跡となる表面上
に照射され、その亜鉛メッキ層3bが除去される。次
に、後加工としてレーザ光1がそのエネルギ密度を溶接
加工の加工条件に合致するように変化され被加工物3a
の亜鉛メッキ層3bが除去された被加工物表面3dに照
射され実際の加工が実施される。故に、被加工物3aで
は極めて良好な溶接品質を得ることができる。
したのちの溶接では、ブローホールの発生が大幅に減少
し、良好な溶接品質が得られる。なお、本実施例では亜
鉛メッキによるコーティング材について示したが、母材
よりも低融点のコーティング材であればどの材料におい
ても同様な加工品質が得られる。本実施例においても、
コーティング材の目付量や物性に応じて、その除去でき
るエネルギ密度を上式(3)〜上式(6)に示す形で制
御装置にメモリしておき、更に、上式(1)の関係から
要求加工幅や加工速度に応じた出力を設定できる。ま
た、図4は上述した本実施例の動作手順を示すが、この
動作は加工プログラム上で各種コード指令によって自動
的に実行することもできる。
その装置で材料表面に不均一なミルスケールと称される
酸化膜の存在する被加工物の切断状態を示す断面図であ
る。材料表面の酸化膜3gの厚さはレーザ光1の吸収率
に影響している。通常、酸化膜3gの厚さが不均一であ
っても、その厚さのばらつきを認識して加工条件を制御
して加工することはできない。即ち、酸化膜3gの厚さ
が不均一であっても同一加工条件で切断または溶接を行
うため、レーザ光1の吸収率に応じて加工品質にも不均
一な状態が生じる。例え厚い酸化膜が均一に生じている
材料加工であっても、加工中に酸化膜の剥離が頻繁に発
生し、同様の不均一な状態が生じ加工品質の低下が起こ
る。また、材料表面に錆の発生したものの加工において
も、同様な不均一な加工現象が生じる。
0)において酸化膜厚さ〔μm〕と加工した切断面粗さ
Rmax 〔μm〕との関係を示す説明図である。ここで、
酸化膜を除去しないで加工したデータを従来、酸化膜を
除去したのちに切断したデータを本実施例として示す。
切断条件は出力1500W、速度1000mm/min
で、酸化膜を除去しない場合、除去した場合も同一条件
で切断した。一般に、酸化膜が厚くなる程レーザ光の吸
収率が大きくなり切断面が粗くなる。本実施例による加
工結果では、レーザ光の吸収率が均一であり、切断面品
質が常に良好である。
加工方法は、レーザ光1を被加工物3aの切断加工の加
工条件と異なるエネルギ密度が得られる加工条件にて被
加工物3aの最終的な加工軌跡上に照射し被加工物3a
の酸化膜3gからなる表面物質を予め除去する前加工工
程と、前記前加工工程で前記表面物質が除去された被加
工物3aの領域に対してレーザ光1のエネルギ密度を被
加工物3aを切断加工する加工条件のエネルギ密度に対
応させ変化させて照射し加工を行う後加工工程とからな
る実施例とすることができる。なお、本実施例のレーザ
加工方法における各工程を手段に読変えることにより、
レーザ加工装置の実施例とすることができる。
断加工の加工条件と異なるエネルギ密度が得られる加工
条件にて被加工物3aの最終的な加工軌跡となる表面上
に照射され、その酸化膜3gが除去される。次に、後加
工としてレーザ光1がそのエネルギ密度を切断加工の加
工条件に合致するように変化され被加工物3aの酸化膜
3gが除去された被加工物表面に照射され実際の加工が
実施される。故に、被加工物3aでは極めて良好な切断
品質を得ることができる。
びその装置で傾斜した材料を切断するときの原理を示す
説明図である。なお、図10(a)には従来例としての
傾斜した被加工物3aに溝加工されていない状態でノズ
ル8からアシストガスを流したときのガスの流れを示
し、図10(b)には本実施例としての傾斜した被加工
物3aに予め切断溝3hが形成されたのちにノズル8か
らアシストガスを流したときのガスの流れを示す。
れ方向が傾斜の方向に固定され、レーザ光の照射で溶融
された溶融部分3kを押下げるモーメンタムが期待でき
ない。これに対して、図10(b)では、予め切断溝3
hを加工したのち、切断溝3hはアシストガスの流れを
方向づける一種のノズルの役割を果たし、溶融部分3k
を押下げる役割を果たし、切断能力を大幅に向上させ
る。図11は板厚12mmの軟鋼材料(SS400)の
切断において、水平方向との傾斜角度θ〔deg〕に応
じて発生する不良率〔%〕との関係を示す説明図であ
る。ここで、切断溝3hなしで切断したデータを従来、
切断溝3hの加工後に切断したデータを本実施例として
示す。加工条件は出力1500W、速度1000mm/
minで、切断溝3hを予め形成しない場合、形成した
場合も同一条件で切断した。傾斜角度が大きくなる程予
め切断溝を形成するか形成しないかによる差は大きくな
っている。本実施例により、傾斜加工における加工の不
良率は大幅に改善される。
加工方法は、レーザ光1を被加工物3aの切断加工の加
工条件と異なるエネルギ密度が得られる加工条件にて被
加工物3aの最終的な加工軌跡上に照射し被加工物3a
に切断溝3hを掘る前加工工程と、前記前加工工程で切
断溝3hが掘られた被加工物3aの領域に対してレーザ
光1のエネルギ密度を被加工物3aを切断加工する加工
条件のエネルギ密度に対応させ変化させて照射し加工を
行う後加工工程とからなる実施例とすることができる。
なお、本実施例のレーザ加工方法における各工程を手段
に読変えることにより、レーザ加工装置の実施例とする
ことができる。
断加工の加工条件と異なるエネルギ密度が得られる加工
条件にて被加工物3aの最終的な加工軌跡となる表面上
に照射され、その切断溝3hが掘られる。次に、後加工
としてレーザ光1がそのエネルギ密度を切断加工の加工
条件に合致するように変化され被加工物3aの切断溝3
hが掘られた被加工物表面に照射され実際の加工が実施
される。故に、被加工物3aでは極めて良好な切断品質
を得ることができる。
斜して加工する場合について示したが、レーザ光1側を
傾斜させて加工する場合についても同様に加工品質の改
善を図ることができる。
びその装置でアルミニウム合金(A5052)の溶接に
おいて、予め酸素または酸素を含んだ混合ガスを用いた
加工条件で材料表面を酸化させたのちに溶接するときの
加工速度〔m/min〕と溶込み深さ〔mm〕との関係
を従来方法の前処理なしに溶接するときと比較して示す
説明図である。表面を酸化させるための加工条件は出力
2000W、速度3000mm/min、アシストガス
は酸素(O2 )でガス圧2kg/cm2 のパルス条件を
用いた。溶接条件は出力4kW、アシストガスはアルゴ
ン(Ar )でガス流量20l/minである。アルミニ
ウム合金の表面が酸化されていない状態ではレーザ光の
吸収率は5%以下であるのに対し、酸化した状態では2
〜3倍に吸収率が増すため、本実施例の材料表面の酸化
により溶接能力が大幅に向上した。
加工方法は、レーザ光1を被加工物3aの溶接加工の加
工条件と異なる被加工物3aの表面を酸化させる酸素ガ
スを含むアシストガスの条件にて被加工物3aの最終的
な加工軌跡上に照射し被加工物3aの表面を酸化させる
前加工工程と、前記前加工工程で酸化された被加工物3
aの領域に対してレーザ光1のエネルギ密度を被加工物
3aを溶接加工する加工条件のエネルギ密度に対応させ
変化させて照射し加工を行う後加工工程とからなる実施
例とすることができる。なお、本実施例のレーザ加工方
法における各工程を手段に読変えることにより、レーザ
加工装置の実施例とすることができる。
接加工の加工条件と異なる被加工物3aの表面を酸化さ
せる酸素ガスを含むアシストガスの条件にて被加工物3
aの最終的な加工軌跡となる表面上に照射され、その表
面が酸化される。次に、後加工としてレーザ光1がその
エネルギ密度を溶接加工の加工条件に合致するように変
化され被加工物3aの切断溝3hが掘られた被加工物表
面に照射され実際の加工が実施される。故に、被加工物
3aでは極めて良好な溶接品質を得ることができる。
加工品質について述べたが、他にもアルミニウム、銅、
銅合金等あらゆる高反射材料の加工についても同様の加
工品質の改善を図ることができる。
びその装置でノズルを傾斜させた溝堀状態を示す説明図
である。なお、図13は、従来の二度切りにおける被加
工物3aの表面に対し、垂直方向からレーザ光1の照射
とアシストガスの噴射を実施したときの溝堀状態を示す
説明図である。レーザ切断では、レーザ光照射、アシス
トガスの噴射によって溶融された溶融部分3kは直上に
吹上がるためノズル8に溶融金属が付着し、その結果、
アシストガスの流れが乱され加工不良が起きる。このた
め、従来のレーザ加工では、溶融金属を被加工物の下部
から排出することで安定した加工を継続しようとしてい
た。
融し、吹上がる金属をノズル8に付着しない方向に排出
するために、図14に示すように、ノズル8を被加工物
3aに対して傾斜させるものである。なお、本実施例で
は溝堀で溶融した溶融部分3kの排出で、その溶融部分
3kがノズル8に付着しないようにノズル8とレーザ光
1とを傾斜角度θに傾斜させているが、ノズル8にガス
を噴出するサイドノズルを設けて溶融部分3kを吹飛ば
し排出する構造でもよい。
の装置で厚板の切断において、予め切断する軌跡に溝を
形成したのち、切断を行う加工状態を示す説明図であ
る。被加工物3aの板厚がTであっても溝堀り深さがt
であれば実際の切断厚さは(T−t)となり、実際の切
断厚さは安定して加工することができる。図15におい
て、3iはレーザで加工した切断前の溝である。この切
断前の溝3iの加工は、溝堀り中に溶融した物質がノズ
ル(図示略)に付着することから、パルス加工条件を用
いて一度に少量の溝堀を複数回繰返すか、または加工ガ
ス圧を切断条件より高くし溶融した物質を高速に吹飛ば
すか、またはレーザ光1の照射とアシストガスの噴射を
被加工物表面から溶融した物質がノズルに直接付着しな
い方向から行う必要がある。
とT=25mmの軟鋼材料を切断する際の溝堀り深さt
〔mm〕と不良率〔%〕との関係を示す説明図である。
板厚が薄いほど不良率が低いが、どの板厚も溝堀り深さ
tが大きくなるほどアシストガスが安定するため不良率
は低下している。いずれも溝堀段階でのノズルの傾斜角
度θ=30°で実施した。溝堀の加工条件は溝堀り深さ
t=1mmでは、出力1000W、速度1.5m/mi
n、ガス圧3kg/cm2 、溝堀り深さt=2mmで
は、出力1500W、速度1.2m/min、ガス圧3
kg/cm2 、溝堀り深さt=3mmでは、出力200
0W、速度1.2m/min、ガス圧3kg/cm2 、
溝堀り深さt=4mmでは、出力2200W、速度1.
0m/min、ガス圧3kg/cm2 、溝堀り深さt=
5mmでは、出力2400W、速度0.8m/min、
ガス圧3kg/cm2 のパルス条件で実施した。
加工方法は、レーザ光1を被加工物3aの切断加工の加
工条件と異なるエネルギ密度が得られる加工条件にて被
加工物3aの最終的な加工軌跡上に照射し被加工物3a
に切断溝3hを掘る前加工工程と、前記前加工工程で切
断溝3hが掘られた被加工物3aの領域に対してレーザ
光1のエネルギ密度を被加工物3aを切断加工する加工
条件のエネルギ密度に対応させ変化させて照射し加工を
行う後加工工程とからなり、前記前加工工程ではレーザ
光1の照射方向とアシストガスの噴射方向とを被加工物
3aの加工表面に対して傾斜させ、前記後加工工程では
レーザ光1の照射方向とアシストガスの噴射方向とを被
加工物3aの加工表面に対して垂直とする実施例とする
ことができる。なお、本実施例のレーザ加工方法におけ
る各工程を手段に読変えることにより、レーザ加工装置
の実施例とすることができる。
断加工の加工条件と異なるエネルギ密度が得られる加工
条件にて被加工物3aの最終的な加工軌跡となる表面上
に照射され、その切断溝3hが掘られる。この前加工で
は、レーザ光1の照射方向とアシストガスの噴射方向と
が被加工物3aの加工表面に対して傾斜される。次に、
後加工としてレーザ光1がそのエネルギ密度を切断加工
の加工条件に合致するように変化され被加工物3aの切
断溝3hが掘られた被加工物表面に照射され実際の加工
が実施される。この後加工では、レーザ光1の照射方向
とアシストガスの噴射方向とが被加工物3aの加工表面
に対して垂直とされる。故に、被加工物3aでは極めて
良好な切断品質を得ることができる。
びその装置で被加工物表面が機械加工などで精度悪く仕
上げられたものの切断において、予め切断する軌跡を溶
融させ切断面粗さを改善させたのち、切断を行う加工状
態を示す説明図である。図17において、3jは切断前
の溶融表面である。この切断前の溶融表面3jを形成す
る加工では、低出力条件を用いるか、焦点位置をディフ
ォーカス設定にするか、アシストガスに酸化反応を抑制
する種類のガスを用いる必要がある。
の軟鋼材料を切断する際の被加工物表面粗さRmax と不
良率〔%〕との関係を示す説明図である。板厚が小さい
ほど不良率が低いが、どの板厚も被加工物表面粗さRma
x が大きいほど不良率は増加する。予め切断する軌跡を
溶融させ切断面粗さを改善させた場合の表面粗さは図1
8中にWで示す約9μm(Rmax )であり、不良率は板
厚T=12mmで約5%、板厚T=19mmで約9%で
ある。被加工物表面粗さRmax を均一にするための条件
は、表面粗さの大きさによって異なるが、下記条件で良
好な結果が得られた。Rmax <50μmでは、出力30
0W、速度2000mm/min、ガス圧0.1kg/
cm2 であり、50μm≦Rmax ≦150μmでは、出
力450W、速度2000mm/min、ガス圧0.1
kg/cm2 であり、150μm≦Rmax <300μm
では、出力600W、速度2000mm/min、ガス
圧0.1kg/cm2 であった。
加工方法は、レーザ光1を被加工物3aの切断加工の加
工条件と異なるエネルギ密度が得られる加工条件にて被
加工物3aの最終的な加工軌跡上に照射し被加工物3a
の不均一な表面粗さを予め均一とする前加工工程と、前
記前加工工程で加工表面が均一とされた被加工物3aの
領域に対してレーザ光1のエネルギ密度を被加工物3a
を切断加工する加工条件のエネルギ密度に対応させ変化
させて照射し加工を行う後加工工程とからなる実施例と
することができる。なお、本実施例のレーザ加工方法に
おける各工程を手段に読変えることにより、レーザ加工
装置の実施例とすることができる。
断加工の加工条件と異なるエネルギ密度が得られる加工
条件にて被加工物3aの最終的な加工軌跡となる表面上
に照射され、その加工表面が均一とされる。次に、後加
工としてレーザ光1がそのエネルギ密度を切断加工の加
工条件に合致するように変化され被加工物3aの加工表
面が均一とされた被加工物3aの領域に照射され実際の
加工が実施される。故に、被加工物3aでは極めて良好
な切断品質を得ることができる。
と平行方向に加工する場合について述べたが、粗さの凹
凸を横切る方向に加工する場合にも有効である。
びその装置でレーザ光モードに対するレーザ光状態を示
す説明図である。なお、図19(a)はレーザ切断にお
いて集光特性が優れ最も好ましいとされるシングルモー
ド、図19(b)はレーザ光照射部のエネルギ密度が均
一になるレーザ光モードを示す。図19(a)のエネル
ギ密度の状態でディフォーカスにし、コーティング材の
除去を行うと、中心部の密度の高い部分が被加工物の表
面溶融を起こすことがある。そこで、本実施例では、図
19(b)に示すようなレーザ光照射部のエネルギ密度
が均一になるレーザ光モードで被加工物の表面物質(コ
ーティング材、酸化膜、錆)を予め除去する処理を行
い、実際の切断加工では図19(a)に示すようなシン
グルモードに切換えて加工するものである。
部のアパーチャ径によって切換えるが、加工条件を前加
工と後加工で切換えると同時に制御装置(図示略)から
の情報で自動的にモード切換を実施することができる。
また、外部ミラーを変更してレーザ光モードを切換える
ことも可能であるが、加工条件を前加工と後加工で切換
えると同時に制御装置(図示略)からの情報で自動的に
モード切換を実施することができる。
加工方法は、レーザ光1を被加工物3aの切断、溶接、
熱処理加工のうち1つ以上の加工条件と異なるエネルギ
密度及びエネルギ分布が均一に得られる加工条件にて被
加工物3aの最終的な加工軌跡上に照射し被加工物3a
の表面物質を予め除去する前加工工程と、前記前加工工
程で前記表面物質が除去された被加工物3aの領域に対
してレーザ光1のエネルギ密度及びエネルギ分布を被加
工物3aの切断、溶接、熱処理加工のうち1つ以上の加
工条件に対応させ変化させて照射し加工を行う後加工工
程とからなる実施例とすることができる。なお、本実施
例のレーザ加工方法における各工程を手段に読変えるこ
とにより、レーザ加工装置の実施例とすることができ
る。
断、溶接、熱処理加工のうち1つ以上の加工条件と異な
るエネルギ密度及びエネルギ分布が均一に得られる加工
条件にて被加工物3aの最終的な加工軌跡となる表面上
に照射され、その表面物質(コーティング材、酸化膜、
錆)が除去される。次に、後加工としてレーザ光1がそ
のエネルギ密度を切断、溶接、熱処理加工のうち1つ以
上の加工条件に合致するように変化され被加工物3aの
表面物質が除去された領域に照射され実際の加工が実施
される。故に、被加工物3aでは極めて良好な切断品質
を得ることができる。
項2のレーザ加工方法及びその装置によれば、レーザ光
が前加工として切断加工または溶接加工の加工条件と異
なるエネルギ密度が得られる加工条件にて被加工物の最
終的な加工軌跡となる表面上に照射され、その表面物質
が除去されたのち、後加工としてレーザ光がそのエネル
ギ密度を切断加工または溶接加工の加工条件に合致する
ように変化され被加工物の表面の前記被加工物よりも低
融点の表面物質が除去された前記被加工物の最終的な加
工軌跡上の領域に照射され実際の加工が実施される。こ
のため、後加工のとき邪魔になる被加工物の各種物性の
異なる表面物質に対応させ除去速度を向上することがで
きる。
びその装置によれば、レーザ光が前加工として溶接加工
の加工条件と異なる高反射材料の被加工物の表面を酸化
させる酸素ガスを含むアシストガスの条件にて被加工物
の最終的な加工軌跡となる表面上に照射され、その表面
が酸化されたのち、後加工としてレーザ光がそのエネル
ギ密度を溶接加工の加工条件に合致するように変化され
被加工物の表面が酸化された前記被加工物の最終的な加
工軌跡上の領域に照射され実際の加工が実施される。こ
のため、加工機本体はそのままで複雑とすることなく、
極めて簡単に切断または溶接品質を向上することができ
る。
びその装置によれば、レーザ光が前加工として切断、溶
接、熱処理加工のうち1つ以上の加工条件と異なるエネ
ルギ密度とエネルギ分布との両方または一方が均一に得
られる加工条件にて被加工物の最終的な加工軌跡となる
表面上に照射され、その表面物質が除去されたのち、後
加工としてレーザ光がそのエネルギ密度とエネルギ分布
との両方または一方を切断、溶接、熱処理加工のうち1
つ以上の加工条件に合致するように変化され被加工物の
表面物質が除去された前記被加工物の最終的な加工軌跡
上の領域に照射され実際の加工が実施される。このた
め、加工機本体は大きな変更を要することなく、極めて
簡単に切断または溶接品質を向上することができる。
工方法及びその装置で亜鉛メッキ鋼板の表面の亜鉛メッ
キ層を除去したのちのレーザ切断状態を示す斜視図であ
る。
ーザ加工方法及びその装置において、亜鉛メッキ鋼板に
おける亜鉛の目付量Mとその除去に必要なレーザ光の照
射部におけるエネルギ密度Eとの関係を示す説明図であ
る。
ーザ加工方法及びその装置において、目付量M=20g
/m2 の各種コーティング材の種類に対してその除去に
必要なレーザ光のエネルギ密度Eの関係を示す説明図で
ある。
工方法及びその装置の動作手順を示す工程図である。
ーザ加工方法及びその装置において、亜鉛メッキ目付量
に対する切断面の不良率を比較した説明図である。
工方法及びその装置で亜鉛メッキ層を除去したのちに溶
接したときの溶接ビードを示す断面図である。
ーザ加工方法及びその装置において、亜鉛メッキ目付量
をパラメータとし溶接ビードに占めるブローホール占有
割合を示す説明図である。
工方法及びその装置で材料表面に不均一な酸化膜の存在
する被加工物の切断状態を示す断面図である。
ーザ加工方法及びその装置における酸化膜厚さと加工し
た切断面粗さRmax との関係を示す説明図である。
ザ加工方法及びその装置で傾斜した材料を切断するとき
の原理を示す説明図である。
るレーザ加工方法及びその装置において、水平方向との
傾斜角度θに応じて発生する不良率との関係を示す説明
図である。
ザ加工方法及びその装置で予め酸素または酸素を含んだ
混合ガスを用いた加工条件で材料表面を酸化させたのち
に溶接するときの加工速度と溶込み深さとの関係を示す
説明図である。
の表面に対し、垂直方向からレーザ光の照射とアシスト
ガスの噴射を実施したときの溝堀状態を示す説明図であ
る。
ザ加工方法及びその装置でノズルを傾斜させた溝堀状態
を示す説明図である。
ザ加工方法及びその装置で厚板の切断において、予め切
断する軌跡に溝を形成したのち、切断を行う加工状態を
示す説明図である。
ザ加工方法及びその装置で板厚Tを変えて軟鋼材料を切
断する際の溝堀り深さtと不良率との関係を示す説明図
である。
ザ加工方法及びその装置で被加工物表面が機械加工など
で精度悪く仕上げられたものの切断において、予め切断
する軌跡を溶融させ切断面粗さを改善させたのち、切断
を行う加工状態を示す説明図である。
ザ加工方法及びその装置を板厚Tを変えて軟鋼材料を切
断する際の被加工物表面粗さRmax と不良率との関係を
示す説明図である。
ザ加工方法及びその装置でレーザ光モードに対するレー
ザ光状態を示す説明図である。
置を示す斜視図である。
置での切断加工の状況を示す斜視図である。
の装置を示す概略図である。
置による溶接加工の予備加工を示す斜視図である。
置による溶接加工の本加工を示す斜視図である。
不良を示す断面図である。
3c 切断溝、3d被加工物表面、3e 溶接ビード、
3g 酸化膜(ミルスケール)、3h 切断溝、3k
溶融部分。
Claims (6)
- 【請求項1】 高エネルギ密度に集光したレーザ光の先
端を被加工物の加工条件と異なるエネルギ密度が得られ
る加工条件にて前記被加工物の最終的な加工軌跡上に照
射し前記被加工物の表面の前記被加工物よりも低融点の
金属性のコーティング材からなる表面物質を予め除去す
る前加工工程と、 前記前加工工程で前記表面物質が除去された前記被加工
物の領域に対して前記レーザ光のエネルギ密度を前記被
加工物を加工する加工条件のエネルギ密度に対応させ変
化させて、前記被加工物の最終的な加工軌跡上に照射し
加工を行う後加工工程とからなるレーザ加工方法におい
て、 前記コーティング材の目付量及び物性、要求加工幅、加
工速度に応じて、その除去できるエネルギ密度を設定す
ることを特徴とする レーザ加工方法。 - 【請求項2】 高エネルギ密度に集光したレーザ光の先
端を被加工物の加工条件と異なるエネルギ密度が得られ
る加工条件にて前記被加工物の最終的な加工軌跡上に照
射し前記被加工物の表面の前記被加工物よりも低融点の
金属性のコーティング材からなる表面物質を予め除去す
る前加工手段と、 前記前加工手段で前記表面物質が除去された前記被加工
物の領域に対して前記レーザ光のエネルギ密度を前記被
加工物を加工する加工条件のエネルギ密度に対応させ変
化させて、前記被加工物の最終的な加工軌跡上に照射し
加工を行う後加工手段とを具備し、 前記コーティング材の目付量及び物性、要求加工幅、加
工速度に応じて、その除去できるエネルギ密度を設定す
ることを特徴とする レーザ加工装置。 - 【請求項3】 レーザ光を高反射材料の被加工物の溶接
加工の加工条件と異なる前記被加工物の表面を酸化させ
る酸素ガスを含むアシストガスの条件にて前記被加工物
の最終的な加工軌跡上に照射し前記被加工物の表面を酸
化させる前加工工程と、 前記前加工工程で酸化された前記被加工物の領域に対し
て前記レーザ光のエネルギ密度を前記被加工物を溶接加
工する加工条件のエネルギ密度に対応させ変化させて、
前記被加工物の最終的な加工軌跡上に照射し加工を行う
後加工工程とからなることを特徴とするレーザ加工方
法。 - 【請求項4】 レーザ光を高反射材料の被加工物の溶接
加工の加工条件と異なる前記被加工物の表面を酸化させ
る酸素ガスを含むアシストガスの条件にて前記被加工物
の最終的な加工軌跡上に照射し前記被加工物の表面を酸
化させる前加工手段と、 前記前加工手段で酸化された前記被加工物の領域に対し
て前記レーザ光のエネルギ密度を前記被加工物を溶接加
工する加工条件のエネルギ密度に対応させ変化させて、
前記被加工物の最終的な加工軌跡上に照射し加工を行う
後加工手段とを具備することを特徴とするレーザ加工装
置。 - 【請求項5】 レーザ光を被加工物の切断、溶接、熱処
理加工のうち1つ以上の加工条件と異なるエネルギ密度
とエネルギ分布との両方または一方が均一に得られる加
工条件にて前記被加工物の最終的な加工軌跡上に照射し
前記被加工物の表面物質を予め除去する前加工工程と、 前記前加工工程で前記表面物質が除去された前記被加工
物の領域に対して前記レーザ光のエネルギ密度とエネル
ギ分布との両方または一方を前記被加工物の切断、溶
接、熱処理加工のうち1つ以上の加工条件に対応させ変
化させて、前記被加工物の最終的な加工軌跡上に照射し
加工を行う後加工工程とからなることを特徴とするレー
ザ加工方法。 - 【請求項6】 レーザ光を被加工物の切断、溶接、熱処
理加工のうち1つ以上の加工条件と異なるエネルギ密度
とエネルギ分布との両方または一方が均一に得られる加
工条件にて前記被加工物の最終的な加工軌跡上に照射し
前記被加工物の表面物質を予め除去する前加工手段と、 前記前加工手段で前記表面物質が除去された前記被加工
物の領域に対して前記レーザ光のエネルギ密度とエネル
ギ分布との両方または一方を前記被加工物の切断、溶
接、熱処理加工のうち1つ以上の加工条件に対応させ変
化させて、前記被加工物の最終的な加工軌跡上に照射し
加工を行う後加工手段とを具備することを特徴とするレ
ーザ加工装置。
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