JP3138613B2 - レーザ加工装置 - Google Patents
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- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
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- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0825—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a flexible sheet or membrane, e.g. for varying the focus
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、レーザ加工装置にお
けるレーザビームの伝送技術に係り、特にレーザビーム
径の制御技術に関するものである。
けるレーザビームの伝送技術に係り、特にレーザビーム
径の制御技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図８は、例えば特開昭６１−１５９６１
３号公報に示された従来の曲率可変反射曲面鏡（凹面
鏡）の断面図であり、図９はその斜視図である。図にお
いて、１は気密性の容器、２はその上端に形成された円
形の開口、３は周囲が上記容器１に固着される円板状
膜、４はこの膜３と容器により形成される気密な空間で
ある。また、５はこの気密は空間４内の圧力を調整する
圧力調整手段であり、上記容器１に設けられた空気通路
６とそれを開閉するバルブ７、及び上記空間４内の空気
を排出するポンプ８とからなる。
３号公報に示された従来の曲率可変反射曲面鏡（凹面
鏡）の断面図であり、図９はその斜視図である。図にお
いて、１は気密性の容器、２はその上端に形成された円
形の開口、３は周囲が上記容器１に固着される円板状
膜、４はこの膜３と容器により形成される気密な空間で
ある。また、５はこの気密は空間４内の圧力を調整する
圧力調整手段であり、上記容器１に設けられた空気通路
６とそれを開閉するバルブ７、及び上記空間４内の空気
を排出するポンプ８とからなる。
【０００３】このように構成された曲率可変反射曲面鏡
（凹面鏡）において、バルブ７を開いてポンプ８を作動
させると、空間４内の空気が、空気通路６を通り排出さ
れて、容器１の内部の圧力が外部の圧力よりも低下す
る。それによって、円板状膜３の表裏に圧力差が生じ、
この円板状膜３は内側にたわむ。そして、その膜外表面
の反射面３ａがほぼ回転放物面を形成するようになる。
したがって、この曲面鏡に上方から光等の電磁波が入射
すると、その電磁波は上記反射面３ａによって、ほぼ一
点に集束するようになる。すなわち、凹面鏡として使用
することができる。そして、上記反射面３ａの焦点が所
要の位置に達したところで、バルブ７を閉じることによ
り、容器１の内外の空気の流通が阻止され、上記円板状
膜３の形状が一定に保たれるようになる。また、ポンプ
８によって容器１内の空間４に外部から空気を供給する
こともできるようにしておけば、上記容器１内の圧力を
外部よりも高くすることができるため、上記反射膜３ａ
を外側にたわませることが可能となる。したがって、凸
面鏡を形成できるようになる。
（凹面鏡）において、バルブ７を開いてポンプ８を作動
させると、空間４内の空気が、空気通路６を通り排出さ
れて、容器１の内部の圧力が外部の圧力よりも低下す
る。それによって、円板状膜３の表裏に圧力差が生じ、
この円板状膜３は内側にたわむ。そして、その膜外表面
の反射面３ａがほぼ回転放物面を形成するようになる。
したがって、この曲面鏡に上方から光等の電磁波が入射
すると、その電磁波は上記反射面３ａによって、ほぼ一
点に集束するようになる。すなわち、凹面鏡として使用
することができる。そして、上記反射面３ａの焦点が所
要の位置に達したところで、バルブ７を閉じることによ
り、容器１の内外の空気の流通が阻止され、上記円板状
膜３の形状が一定に保たれるようになる。また、ポンプ
８によって容器１内の空間４に外部から空気を供給する
こともできるようにしておけば、上記容器１内の圧力を
外部よりも高くすることができるため、上記反射膜３ａ
を外側にたわませることが可能となる。したがって、凸
面鏡を形成できるようになる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の曲率可変反射曲
面鏡は、以上のように構成されているので、曲率を変化
させるにはポンプ８の作動により、容器１の内部の圧力
を変化させる必要があり、所定の曲率となるまで時間を
要するため、例えば、加工ヘッドがＸ−Ｙ平面上を移動
して加工を行う光走査形のレーザ加工装置において、レ
ーザビーム反射のために上記曲率可変反射曲面鏡を使用
した場合、加工ヘッドの移動に伴いレーザビーム径を高
速度で変化させ集光光学部品に入射するレーザビーム径
を一定にするよう制御することは困難であるなどの問題
点があった。
面鏡は、以上のように構成されているので、曲率を変化
させるにはポンプ８の作動により、容器１の内部の圧力
を変化させる必要があり、所定の曲率となるまで時間を
要するため、例えば、加工ヘッドがＸ−Ｙ平面上を移動
して加工を行う光走査形のレーザ加工装置において、レ
ーザビーム反射のために上記曲率可変反射曲面鏡を使用
した場合、加工ヘッドの移動に伴いレーザビーム径を高
速度で変化させ集光光学部品に入射するレーザビーム径
を一定にするよう制御することは困難であるなどの問題
点があった。
【０００５】この発明は、上記のような問題点を解決す
るためになされたもので、高速度にてレーザビーム反射
部材の曲率を変化させることができるとともに、曲率を
必要に応じて自由に制御できるレーザ加工装置を得るこ
とを目的とする。
るためになされたもので、高速度にてレーザビーム反射
部材の曲率を変化させることができるとともに、曲率を
必要に応じて自由に制御できるレーザ加工装置を得るこ
とを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係るレーザ加
工装置は、レーザ発振器から出力されるレーザビームを
集光光学部材を用いて集光させ、切断・溶接等の加工を
行うレーザ加工装置において、前記レーザビームの伝送
路に設けられ流体圧力により弾性変形するレーザビーム
反射部材と、このレーザビーム反射部材の周囲部を支持
し前記レーザビーム反射部材とともにレーザビーム反射
面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、この反
射部材支持部の空間に流体を供給する流体供給手段と、
流体供給圧力を段階的又は連続的に切り換える手段と、
前記反射部材支持部の空間から流体を排出する流体排出
手段とを備え、前記空間は流体供給経路及びこの流体供
給経路と別体の流体排出経路を除き密閉構造とし前記レ
ーザビーム反射面の反対側に前記レーザビーム反射部材
が弾性変形するに要する流体圧力をかけるようにしたも
のである。
工装置は、レーザ発振器から出力されるレーザビームを
集光光学部材を用いて集光させ、切断・溶接等の加工を
行うレーザ加工装置において、前記レーザビームの伝送
路に設けられ流体圧力により弾性変形するレーザビーム
反射部材と、このレーザビーム反射部材の周囲部を支持
し前記レーザビーム反射部材とともにレーザビーム反射
面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、この反
射部材支持部の空間に流体を供給する流体供給手段と、
流体供給圧力を段階的又は連続的に切り換える手段と、
前記反射部材支持部の空間から流体を排出する流体排出
手段とを備え、前記空間は流体供給経路及びこの流体供
給経路と別体の流体排出経路を除き密閉構造とし前記レ
ーザビーム反射面の反対側に前記レーザビーム反射部材
が弾性変形するに要する流体圧力をかけるようにしたも
のである。
【０００７】また、レーザビーム反射部材を弾性変形さ
せるために供給する流体が流体排出手段から排出された
後、レーザビーム伝送路内に供給し、前記レーザビーム
伝送路内をパージするパージエアーとして使用するもの
である。
せるために供給する流体が流体排出手段から排出された
後、レーザビーム伝送路内に供給し、前記レーザビーム
伝送路内をパージするパージエアーとして使用するもの
である。
【０００８】また、加工ヘッドがＸ−Ｙ平面上を移動
し、加工を行う光走査形のレーザ加工を行う場合、前記
加工ヘッドに装着されている集光光学部材に入射するレ
ーザビーム径が前記加工ヘッドの位置にかかわらず常に
一定となるようにレーザビーム反射部材の曲率を制御す
る手段を備えたものである。
し、加工を行う光走査形のレーザ加工を行う場合、前記
加工ヘッドに装着されている集光光学部材に入射するレ
ーザビーム径が前記加工ヘッドの位置にかかわらず常に
一定となるようにレーザビーム反射部材の曲率を制御す
る手段を備えたものである。
【０００９】また、最小集光スポット径のＺ軸方向位置
が一定となるよう加工ヘッド本体または前記加工ヘッド
に装着された集光光学部材をＺ軸方向に移動させるよう
に制御する手段を備えたものである。
が一定となるよう加工ヘッド本体または前記加工ヘッド
に装着された集光光学部材をＺ軸方向に移動させるよう
に制御する手段を備えたものである。
【００１０】また、流体圧力により弾性変形するレーザ
ビーム反射部材をレーザビーム伝送路内に複数配置し構
成したものである。
ビーム反射部材をレーザビーム伝送路内に複数配置し構
成したものである。
【００１１】また、反射部材支持部の空間に供給される
流体の圧力制御時、供給される流体圧力を監視し、指令
圧力値と、所定の差異が生じたとき、警報を出すかまた
は運転を停止する手段を備えたものである。
流体の圧力制御時、供給される流体圧力を監視し、指令
圧力値と、所定の差異が生じたとき、警報を出すかまた
は運転を停止する手段を備えたものである。
【００１２】また、加工条件として最適のレーザビーム
径をあらかじめ登録しておき、被加工物の材質または板
厚に応じて前記レーザビーム径を選択するものである。
径をあらかじめ登録しておき、被加工物の材質または板
厚に応じて前記レーザビーム径を選択するものである。
【００１３】
【作用】この発明におけるレーザ加工装置は、レーザビ
ームの伝送路に設けられ流体圧力により弾性変形するレ
ーザビーム反射部材と、このレーザビーム反射部材の周
囲部を支持しレーザビーム反射部材とともにレーザビー
ム反射面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、
この反射部材支持部の空間に流体を供給する流体供給手
段と、流体供給圧力を段階的又は連続的に切り換える手
段と、反射部材支持部の空間から流体を排出する流体排
出手段とを備え、前記空間は流体供給経路及び流体排出
経路を除き密閉構造とし、前空間に供給された流体が外
部に排出される流体通路をレーザビーム反射面に接して
形成し、レーザビーム反射面にレーザビーム反射部材の
弾性変形による曲率を段階的又は連続的に変化するに要
する流体圧力をかけるようにした。
ームの伝送路に設けられ流体圧力により弾性変形するレ
ーザビーム反射部材と、このレーザビーム反射部材の周
囲部を支持しレーザビーム反射部材とともにレーザビー
ム反射面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、
この反射部材支持部の空間に流体を供給する流体供給手
段と、流体供給圧力を段階的又は連続的に切り換える手
段と、反射部材支持部の空間から流体を排出する流体排
出手段とを備え、前記空間は流体供給経路及び流体排出
経路を除き密閉構造とし、前空間に供給された流体が外
部に排出される流体通路をレーザビーム反射面に接して
形成し、レーザビーム反射面にレーザビーム反射部材の
弾性変形による曲率を段階的又は連続的に変化するに要
する流体圧力をかけるようにした。
【００１４】また、レーザビーム反射部材を弾性変形さ
せるために供給する流体が流体排出手段から排出された
後、レーザビーム伝送路内に供給することにより、レー
ザビーム伝送路内をパージするパージエアーとして使用
する。
せるために供給する流体が流体排出手段から排出された
後、レーザビーム伝送路内に供給することにより、レー
ザビーム伝送路内をパージするパージエアーとして使用
する。
【００１５】また、加工ヘッドがＸ−Ｙ平面上を移動
し、加工を行う光走査形のレーザ加工を行う場合、レー
ザビーム反射部材の曲率を制御する手段を備えたことに
より、加工ヘッドに装着されている集光光学部材に入射
するレーザビーム径が加工ヘッドの位置にかかわらず常
に一定となるようにする。
し、加工を行う光走査形のレーザ加工を行う場合、レー
ザビーム反射部材の曲率を制御する手段を備えたことに
より、加工ヘッドに装着されている集光光学部材に入射
するレーザビーム径が加工ヘッドの位置にかかわらず常
に一定となるようにする。
【００１６】また、加工ヘッド本体または加工ヘッドに
装着された集光光学部材をＺ軸方向に移動させるように
制御する手段を備えたことにより、最小集光スポット径
のＺ軸方向位置が一定となるようにする。
装着された集光光学部材をＺ軸方向に移動させるように
制御する手段を備えたことにより、最小集光スポット径
のＺ軸方向位置が一定となるようにする。
【００１７】また、流体圧力により弾性変形するレーザ
ビーム反射部材をレーザビームの伝送路内に複数配置し
構成したことにより、レーザビーム径の可変範囲を拡大
する。
ビーム反射部材をレーザビームの伝送路内に複数配置し
構成したことにより、レーザビーム径の可変範囲を拡大
する。
【００１８】また、反射部材支持部の空間に供給される
流体の圧力制御時、供給される流体圧力を監視し、指令
圧力値と、所定の差異が生じたとき、警報を出すかまた
は運転を停止する。
流体の圧力制御時、供給される流体圧力を監視し、指令
圧力値と、所定の差異が生じたとき、警報を出すかまた
は運転を停止する。
【００１９】また、加工条件として最適のレーザビーム
径をあらかじめ登録しておき、被加工物の材質または板
厚に応じてレーザビーム径を選択する。
径をあらかじめ登録しておき、被加工物の材質または板
厚に応じてレーザビーム径を選択する。
【００２０】
【実施例】実施例１． 以下、この発明の実施例１を図１、図２、図４、図５、
図６及び図７を用いて説明する。尚、図１はこの発明に
おける実施例１によるレーザ加工装置の光路構成、曲率
可変反射鏡ホルダー構造及び配管系統等要部構成を示す
図、図２はこの発明の実施例１におけるレーザ加工装置
の光路構成及び配管系統の要部構成の他の例を示す図で
ある。
図６及び図７を用いて説明する。尚、図１はこの発明に
おける実施例１によるレーザ加工装置の光路構成、曲率
可変反射鏡ホルダー構造及び配管系統等要部構成を示す
図、図２はこの発明の実施例１におけるレーザ加工装置
の光路構成及び配管系統の要部構成の他の例を示す図で
ある。
【００２１】また、図３は、この発明における実施例１
によるレーザ加工装置の曲率可変反射鏡ホルダー９より
排出されたエアー１５を、パージエアーとして使用する
場合の配管系統及び構造を示す図、図４は加工レンズ２
９の位置において、レーザビーム径を一定とするための
制御回路を示す図、図５は加工レンズ２９から最小集光
スポット径までの距離の変化に対応し、加工ヘッド２８
をＺ軸方向に移動を行う制御回路を示す図、そして図６
は曲率可変反射鏡ホルダー９に供給されるエアー１５の
圧力に関する警報回路を示す図である。
によるレーザ加工装置の曲率可変反射鏡ホルダー９より
排出されたエアー１５を、パージエアーとして使用する
場合の配管系統及び構造を示す図、図４は加工レンズ２
９の位置において、レーザビーム径を一定とするための
制御回路を示す図、図５は加工レンズ２９から最小集光
スポット径までの距離の変化に対応し、加工ヘッド２８
をＺ軸方向に移動を行う制御回路を示す図、そして図６
は曲率可変反射鏡ホルダー９に供給されるエアー１５の
圧力に関する警報回路を示す図である。
【００２２】図１において、９は曲率可変反射鏡ホルダ
ー、１０はエアー等流体圧力により曲率を可変できるレ
ーザビーム反射部材たる曲率可変反射鏡、１１はこの曲
率可変反射鏡１０の周囲部分を保持する反射部材支持部
の要部たる円形保持板、１２は上記曲率可変反射鏡１０
の周囲部分を固定する押え板、１３はエアジャケット、
１４はこのエアジャケット１３の中心部に設けられたエ
アー入口、１５はエアー、１６は上記円形保持板１１に
数箇所等間隔に設けられたエアー通路、１７は上記エア
ジャケット１３に設けられ、上記円形保持板１０の周囲
部に形成されたエアー通路、１８はエアー出口、１９は
圧力計、２０は図示しないレーザ発振器から出力される
レーザビーム、２１は上記曲率可変反射鏡１０のレーザ
ビーム反射面、２２は曲率可変反射鏡１０のレーザビー
ム非反射面（裏面）、２３は固定ネジ、２４ａ〜２４ｄ
は気密性を保持するためのＯリング、２５ａ，２５ｂ，
２５ｃはエアーのＯＮ−ＯＦＦを行う電磁弁、２６ａ，
２６ｂ，２６ｃはエアーの圧力を設定するレギュレタ、
２７ａ，２７ｂは上記レーザビーム２０を反射する反射
鏡、２８は加工ヘッド、２９はこの加工ヘッド２８に保
持される集光光学部材たる加工レンズ、３０はこの加工
レンズ２９を押える加工レンズ押え、３１は加工ガス入
口、３２は加工ガス、２４ｅはこの加工ガス３２をシー
ルするＯリング、３３は集光されたレーザビーム２０が
照射される被加工物、３４は制御装置である。
ー、１０はエアー等流体圧力により曲率を可変できるレ
ーザビーム反射部材たる曲率可変反射鏡、１１はこの曲
率可変反射鏡１０の周囲部分を保持する反射部材支持部
の要部たる円形保持板、１２は上記曲率可変反射鏡１０
の周囲部分を固定する押え板、１３はエアジャケット、
１４はこのエアジャケット１３の中心部に設けられたエ
アー入口、１５はエアー、１６は上記円形保持板１１に
数箇所等間隔に設けられたエアー通路、１７は上記エア
ジャケット１３に設けられ、上記円形保持板１０の周囲
部に形成されたエアー通路、１８はエアー出口、１９は
圧力計、２０は図示しないレーザ発振器から出力される
レーザビーム、２１は上記曲率可変反射鏡１０のレーザ
ビーム反射面、２２は曲率可変反射鏡１０のレーザビー
ム非反射面（裏面）、２３は固定ネジ、２４ａ〜２４ｄ
は気密性を保持するためのＯリング、２５ａ，２５ｂ，
２５ｃはエアーのＯＮ−ＯＦＦを行う電磁弁、２６ａ，
２６ｂ，２６ｃはエアーの圧力を設定するレギュレタ、
２７ａ，２７ｂは上記レーザビーム２０を反射する反射
鏡、２８は加工ヘッド、２９はこの加工ヘッド２８に保
持される集光光学部材たる加工レンズ、３０はこの加工
レンズ２９を押える加工レンズ押え、３１は加工ガス入
口、３２は加工ガス、２４ｅはこの加工ガス３２をシー
ルするＯリング、３３は集光されたレーザビーム２０が
照射される被加工物、３４は制御装置である。
【００２３】また、図２において、３５は供給するエア
ーの圧力を無段階的に変化させることのできる電空弁で
ある。また、図３において、５０は供給される流体によ
る圧力にかかわらず一定の流量にコントロールするフロ
ーコントローラ、５１はパージエアー供給口、５２はレ
ーザビーム伝送路、５３は防塵及び密閉のためのゴムカ
バー、５４はエアーの流れである。また、図４におい
て、５５は加工レンズ２９の位置にてある決められたレ
ーザビーム径となるのに必要な曲率可変反射鏡１０の曲
率を演算する曲率演算装置である。また、図５におい
て、５６は加工レンズ２９から最小集光スポット径まで
の距離を演算する最小集光スポット径までの距離演算装
置、５７はレーザ加工装置、また、図６において、５８
はコンパレータ、５９は警報装置である。
ーの圧力を無段階的に変化させることのできる電空弁で
ある。また、図３において、５０は供給される流体によ
る圧力にかかわらず一定の流量にコントロールするフロ
ーコントローラ、５１はパージエアー供給口、５２はレ
ーザビーム伝送路、５３は防塵及び密閉のためのゴムカ
バー、５４はエアーの流れである。また、図４におい
て、５５は加工レンズ２９の位置にてある決められたレ
ーザビーム径となるのに必要な曲率可変反射鏡１０の曲
率を演算する曲率演算装置である。また、図５におい
て、５６は加工レンズ２９から最小集光スポット径まで
の距離を演算する最小集光スポット径までの距離演算装
置、５７はレーザ加工装置、また、図６において、５８
はコンパレータ、５９は警報装置である。
【００２４】次に動作について説明する。流体圧力によ
り弾性変形可能な材質からなる曲率可変反射鏡１０は、
その周囲部分が円形保持板１１に保持されており、ま
た、エアジャケット１３に対して固定ネジ２３により固
定される押え板１２により上記円形保持板１１に押えら
れている。一方、上記エアジャケット１３は、その中心
部に設けられたエアー入口１４よりエアー１５が、電磁
弁２５ａ，２５ｂ，２５ｃのうちいずれかを開くことに
より供給される。この電磁弁２５ａ，２５ｂ，２５ｃの
直後には、各々レギュレータ２６ａ，２６ｂ，２６ｃが
設置されており、あらかじめ設定を行っておくことによ
り、圧力は３段階に切り替えることが可能となる。そし
てこの切り替えは、レーザ加工装置全体を制御している
制御装置３４の指令により行うものとする。
り弾性変形可能な材質からなる曲率可変反射鏡１０は、
その周囲部分が円形保持板１１に保持されており、ま
た、エアジャケット１３に対して固定ネジ２３により固
定される押え板１２により上記円形保持板１１に押えら
れている。一方、上記エアジャケット１３は、その中心
部に設けられたエアー入口１４よりエアー１５が、電磁
弁２５ａ，２５ｂ，２５ｃのうちいずれかを開くことに
より供給される。この電磁弁２５ａ，２５ｂ，２５ｃの
直後には、各々レギュレータ２６ａ，２６ｂ，２６ｃが
設置されており、あらかじめ設定を行っておくことによ
り、圧力は３段階に切り替えることが可能となる。そし
てこの切り替えは、レーザ加工装置全体を制御している
制御装置３４の指令により行うものとする。
【００２５】切断・溶接等のレーザ加工において、加工
レンズ２９等の集光光学部材に入射するレーザビーム径
は、最小集光スポット径をほぼ決定するため、非常に重
要なファクターであり、被加工物３３の種類（材質）や
厚さ等により、各々最適なレーザビーム径が存在する。
従って、上記被加工物３３の種類や厚さ等に応じて、集
光光学部材に入射するレーザビーム径を変化させること
により、より高品質で安定性のあるレーザ加工を行うこ
とができるようになる。
レンズ２９等の集光光学部材に入射するレーザビーム径
は、最小集光スポット径をほぼ決定するため、非常に重
要なファクターであり、被加工物３３の種類（材質）や
厚さ等により、各々最適なレーザビーム径が存在する。
従って、上記被加工物３３の種類や厚さ等に応じて、集
光光学部材に入射するレーザビーム径を変化させること
により、より高品質で安定性のあるレーザ加工を行うこ
とができるようになる。
【００２６】さて、上記エアー入口１４より供給された
エアー１５は、上記円形保持板１１に複数個等間隔に設
けられているエアー通路１６を通り、円形保持板１１の
周囲部に形成されたエアー通路１７へと出た後、上記エ
アジャケット１３の１箇所に設けられたエアー出口１８
より排出されるという流体動作回路が構成され、この流
体圧力により、曲率可変反射鏡１０は球面化するため、
球面鏡（この場合は凸面鏡）として使用することができ
る。尚、このエアー出口１８の内径を、上記エアー入口
１４の内径に比べ充分小さくすることにより、少ない流
量で上記曲率可変反射鏡１０のレーザビーム非反射面
（裏面）２２に圧力を加えることができる。また、流体
圧力が変化すればその曲率可変反射鏡１０の曲率も変化
するため、上記制御装置３４の指令により、曲率を３段
階切り替えることが可能となる。また、上記流体動作回
路に供給される流体の供給量に連動する流体圧力により
上記制御装置３４の指令とほぼ同時に曲率可変反射鏡１
０の曲率を変えることができる。なお、Ｏリング２４
ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄは、気密性を保持するため
のものである。
エアー１５は、上記円形保持板１１に複数個等間隔に設
けられているエアー通路１６を通り、円形保持板１１の
周囲部に形成されたエアー通路１７へと出た後、上記エ
アジャケット１３の１箇所に設けられたエアー出口１８
より排出されるという流体動作回路が構成され、この流
体圧力により、曲率可変反射鏡１０は球面化するため、
球面鏡（この場合は凸面鏡）として使用することができ
る。尚、このエアー出口１８の内径を、上記エアー入口
１４の内径に比べ充分小さくすることにより、少ない流
量で上記曲率可変反射鏡１０のレーザビーム非反射面
（裏面）２２に圧力を加えることができる。また、流体
圧力が変化すればその曲率可変反射鏡１０の曲率も変化
するため、上記制御装置３４の指令により、曲率を３段
階切り替えることが可能となる。また、上記流体動作回
路に供給される流体の供給量に連動する流体圧力により
上記制御装置３４の指令とほぼ同時に曲率可変反射鏡１
０の曲率を変えることができる。なお、Ｏリング２４
ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄは、気密性を保持するため
のものである。
【００２７】一方、図示しないレーザ発振器より出力さ
れたレーザビーム２０は、上記曲率可変反射鏡１０が球
面化した場合、反射により非点収差が生じるため、曲率
可変反射鏡１０に対し極力入射角を小さくして入射し、
反射後、反射鏡２７ａ，２７ｂにより加工ヘッド２８へ
と伝送される。そして加工レンズ２９により集光され、
焦点位置近傍にて、被加工物３３へ照射されるが、この
とき上記制御装置３４の指令により、加工ヘッド２８ま
たは被加工物３３が移動し、加工ガス入口３１より供給
される加工ガス３２が、集光されたレーザビーム２０と
同軸上に噴出されることにより、切断・溶接等の加工が
行われる。なお、上記加工ガス３２をシールするためＯ
リング２４ｅを使用し、また、上記加工レンズ２９を固
定するため加工レンズ押え３０を使用している。
れたレーザビーム２０は、上記曲率可変反射鏡１０が球
面化した場合、反射により非点収差が生じるため、曲率
可変反射鏡１０に対し極力入射角を小さくして入射し、
反射後、反射鏡２７ａ，２７ｂにより加工ヘッド２８へ
と伝送される。そして加工レンズ２９により集光され、
焦点位置近傍にて、被加工物３３へ照射されるが、この
とき上記制御装置３４の指令により、加工ヘッド２８ま
たは被加工物３３が移動し、加工ガス入口３１より供給
される加工ガス３２が、集光されたレーザビーム２０と
同軸上に噴出されることにより、切断・溶接等の加工が
行われる。なお、上記加工ガス３２をシールするためＯ
リング２４ｅを使用し、また、上記加工レンズ２９を固
定するため加工レンズ押え３０を使用している。
【００２８】図２に示すように、電空弁（電子式空気圧
比例弁）３５を使用することにより、供給するエアー１
５の圧力を無段階に変化させることができる。従って、
制御装置３４の指令により、曲率可変反射鏡１０の曲率
を無段階に、即ち連続的に変化させることができる。
比例弁）３５を使用することにより、供給するエアー１
５の圧力を無段階に変化させることができる。従って、
制御装置３４の指令により、曲率可変反射鏡１０の曲率
を無段階に、即ち連続的に変化させることができる。
【００２９】また、レーザビーム伝送路内は、粉塵や有
害ガスの浸入及びレーザビームの安定性を確保するため
エアーパージを行う場合が多いが、エアー出口１８から
排出されたエアーをレーザビーム伝送路内へ再供給する
ことにより、従来パージを行うために専用に準備してい
たコンプレッサ、ドライヤ、フィルタ等で構成されるパ
ージエアー供給源が不要となる。具体的方法としては、
図３に示すように、エアー出口１８より排出されたエア
ー１５は、フローコントローラ（流量制御バルブ）５０
により一定流量化され、パージエアー供給口５１より、
レーザビーム伝送路５２内へと連続的に供給され、上記
レーザビーム伝送路５２内の雰囲気を一定に保つように
する。
害ガスの浸入及びレーザビームの安定性を確保するため
エアーパージを行う場合が多いが、エアー出口１８から
排出されたエアーをレーザビーム伝送路内へ再供給する
ことにより、従来パージを行うために専用に準備してい
たコンプレッサ、ドライヤ、フィルタ等で構成されるパ
ージエアー供給源が不要となる。具体的方法としては、
図３に示すように、エアー出口１８より排出されたエア
ー１５は、フローコントローラ（流量制御バルブ）５０
により一定流量化され、パージエアー供給口５１より、
レーザビーム伝送路５２内へと連続的に供給され、上記
レーザビーム伝送路５２内の雰囲気を一定に保つように
する。
【００３０】加工ヘッド２８がＸ−Ｙ平面上を移動して
加工を行う光走査形レーザ加工装置の場合、従来、コリ
メーションを使用しても、加工レンズ２９に入射するレ
ーザビーム径を一定にすることは不可能であったが、制
御装置３４により、加工ヘッド２８のＸ−Ｙ方向移動に
伴い、曲率可変反射鏡１０の曲率を連続的に変化させ、
加工レンズ２９に入射するレーザビーム径を一定とする
ように制御することができる。
加工を行う光走査形レーザ加工装置の場合、従来、コリ
メーションを使用しても、加工レンズ２９に入射するレ
ーザビーム径を一定にすることは不可能であったが、制
御装置３４により、加工ヘッド２８のＸ−Ｙ方向移動に
伴い、曲率可変反射鏡１０の曲率を連続的に変化させ、
加工レンズ２９に入射するレーザビーム径を一定とする
ように制御することができる。
【００３１】具体的方法としては、図４に示されるよう
に、図示しないレーザ発振器から加工レンズ２９までの
ビーム伝送距離を制御装置３４により演算し、その演算
された伝送路距離により、加工レンズ２９位置におい
て、ある決められたレーザビーム径となるために必要な
曲率可変反射鏡１０の曲率を曲率演算装置５５により演
算を行う。そして、あらかじめデータ化して制御装置３
４に入力されているその演算された曲率に対応する曲率
可変反射鏡ホルダー９への供給圧力を、制御装置３４よ
り電空弁３５へ指令を行うようにする。或いは、上記曲
率演算装置５５は使用せず、曲率可変反射鏡ホルダー９
への供給圧力と同様、ある決められたレーザビーム径と
なるために必要な曲率を、あらかじめデータ化して制御
装置３４に入力しておくようにしてもよい。
に、図示しないレーザ発振器から加工レンズ２９までの
ビーム伝送距離を制御装置３４により演算し、その演算
された伝送路距離により、加工レンズ２９位置におい
て、ある決められたレーザビーム径となるために必要な
曲率可変反射鏡１０の曲率を曲率演算装置５５により演
算を行う。そして、あらかじめデータ化して制御装置３
４に入力されているその演算された曲率に対応する曲率
可変反射鏡ホルダー９への供給圧力を、制御装置３４よ
り電空弁３５へ指令を行うようにする。或いは、上記曲
率演算装置５５は使用せず、曲率可変反射鏡ホルダー９
への供給圧力と同様、ある決められたレーザビーム径と
なるために必要な曲率を、あらかじめデータ化して制御
装置３４に入力しておくようにしてもよい。
【００３２】上記加工レンズ２９に入射するレーザビー
ム径を変化させた場合、加工レンズ２９から最小集光ス
ポット径までの距離が若干変化する。また、光走査形レ
ーザ加工を行う場合は、上記加工ヘッド２８の移動して
もレーザビーム径を一定とすることにより、最小集光ス
ポット径はほぼ一定となるが、最小集光スポット径まで
の距離が同様に変化するため、加工ヘッド２８本体或い
は加工レンズ２９を、Ｚ軸方向（上下方向）における最
小集光スポット径の位置が常に一定となるよう、Ｚ軸方
向の移動を制御することも可能である。
ム径を変化させた場合、加工レンズ２９から最小集光ス
ポット径までの距離が若干変化する。また、光走査形レ
ーザ加工を行う場合は、上記加工ヘッド２８の移動して
もレーザビーム径を一定とすることにより、最小集光ス
ポット径はほぼ一定となるが、最小集光スポット径まで
の距離が同様に変化するため、加工ヘッド２８本体或い
は加工レンズ２９を、Ｚ軸方向（上下方向）における最
小集光スポット径の位置が常に一定となるよう、Ｚ軸方
向の移動を制御することも可能である。
【００３３】具体的方法としては、図５に示されるよう
に、上記曲率演算装置５５の他に、最小集光スポット径
までの距離演算装置５６を付加し、加工レンズ２９から
最小集光スポット径までの距離を演算し、その演算され
た距離となるよう加工ヘッド２８をＺ軸方向へ移動させ
る指令を、制御装置３４がレーザ加工装置５７に行うよ
うにするものである。
に、上記曲率演算装置５５の他に、最小集光スポット径
までの距離演算装置５６を付加し、加工レンズ２９から
最小集光スポット径までの距離を演算し、その演算され
た距離となるよう加工ヘッド２８をＺ軸方向へ移動させ
る指令を、制御装置３４がレーザ加工装置５７に行うよ
うにするものである。
【００３４】また、曲率可変反射鏡１０及びそのホルダ
ー９の複数個レーザビーム伝送路に設置すれば、レーザ
ビーム径の可変範囲をより拡大できる。また、曲率可変
反射鏡ホルダー９に供給されるエアー１５の圧力を監視
し、制御装置３４の指令値とある一定値以上の差異が生
じた場合はアラームとし、警報を出すか或いはレーザ加
工装置を停止させるようにすることができる。
ー９の複数個レーザビーム伝送路に設置すれば、レーザ
ビーム径の可変範囲をより拡大できる。また、曲率可変
反射鏡ホルダー９に供給されるエアー１５の圧力を監視
し、制御装置３４の指令値とある一定値以上の差異が生
じた場合はアラームとし、警報を出すか或いはレーザ加
工装置を停止させるようにすることができる。
【００３５】具体的方法としては、図６に示すように、
制御装置３４より電空弁３５に出された圧力指令値と、
実際に曲率可変反射鏡ホルダー９へ供給されている流体
圧力をコンパレータ５８により比較を行い、差異があら
かじめ設定されていた値より大きくなったときに、警報
装置５９へ指令を送り警報を発するようにするものであ
る。
制御装置３４より電空弁３５に出された圧力指令値と、
実際に曲率可変反射鏡ホルダー９へ供給されている流体
圧力をコンパレータ５８により比較を行い、差異があら
かじめ設定されていた値より大きくなったときに、警報
装置５９へ指令を送り警報を発するようにするものであ
る。
【００３６】また、被加工物３３の材質及び板厚等の違
いに応じて、制御装置３４に加工速度、加工出力、加工
ガス圧等の加工条件を登録する方法が現在とられている
が、被加工物３３の材質や板厚により、最適なレーザビ
ーム径が存在するため、この加工条件の登録項目に新た
にレーザビーム径を追加する（この登録されるレーザビ
ーム径はあらかじめ用意されている何種類かのレーザビ
ーム径の中から選択する形式とする。）。そして、上述
のような方法（曲率演算装置５５を用いたり、或いはデ
ータ化しておく方法）により、加工レンズ２９位置にお
けるビーム径が、加工ヘッド２８が移動しても常に加工
条件登録時に登録されたビーム径となるよう制御するこ
とが可能である。
いに応じて、制御装置３４に加工速度、加工出力、加工
ガス圧等の加工条件を登録する方法が現在とられている
が、被加工物３３の材質や板厚により、最適なレーザビ
ーム径が存在するため、この加工条件の登録項目に新た
にレーザビーム径を追加する（この登録されるレーザビ
ーム径はあらかじめ用意されている何種類かのレーザビ
ーム径の中から選択する形式とする。）。そして、上述
のような方法（曲率演算装置５５を用いたり、或いはデ
ータ化しておく方法）により、加工レンズ２９位置にお
けるビーム径が、加工ヘッド２８が移動しても常に加工
条件登録時に登録されたビーム径となるよう制御するこ
とが可能である。
【００３７】実施例２． 実施例１においては、曲率可変反射鏡１０を凸面鏡化さ
せる例を挙げたが、レーザ加工装置のホルダー構造及び
配管系統を図７に示すような構造とし、エアー入口４３
ａよりエアーを供給すると同時に、電磁弁２５ｄ，２５
ｅを閉じるようにすれば、曲率可変反射鏡１０もピスト
ン４１とシリンダ４０により構成された空間に流体が供
給され、ピストン４１はシリンダ（１）４０及びシリン
ダ（２）４２を摺動しながら図中矢印方向へ移動するこ
とにより、レーザビーム非反射面（裏面）２２側は負圧
となるため、上記曲率可変反射鏡１０を凹面鏡化させる
ことも可能となる。なお、上記電磁弁２５ｄ，２５ｅを
開き、エアー入口４３ｂよりエアーを供給することによ
り、実施例１のように凸面鏡化することができる。従っ
てこのような構造とすることにより、凹面鏡化と凸面鏡
の両方が可能となるため、レーザビーム径の可変範囲を
拡大することができる。
せる例を挙げたが、レーザ加工装置のホルダー構造及び
配管系統を図７に示すような構造とし、エアー入口４３
ａよりエアーを供給すると同時に、電磁弁２５ｄ，２５
ｅを閉じるようにすれば、曲率可変反射鏡１０もピスト
ン４１とシリンダ４０により構成された空間に流体が供
給され、ピストン４１はシリンダ（１）４０及びシリン
ダ（２）４２を摺動しながら図中矢印方向へ移動するこ
とにより、レーザビーム非反射面（裏面）２２側は負圧
となるため、上記曲率可変反射鏡１０を凹面鏡化させる
ことも可能となる。なお、上記電磁弁２５ｄ，２５ｅを
開き、エアー入口４３ｂよりエアーを供給することによ
り、実施例１のように凸面鏡化することができる。従っ
てこのような構造とすることにより、凹面鏡化と凸面鏡
の両方が可能となるため、レーザビーム径の可変範囲を
拡大することができる。
【００３８】また、実施例１においては、曲率可変反射
鏡１０は圧力のかからない状態では平面鏡であるが、凹
面鏡或いは凸面鏡であってもよい。また、実施例１にお
いては、平面鏡の肉厚は均一としているが、理想的な球
面曲率を得るため平面鏡中心から周囲部への距離に従
い、肉厚を変化させるようにしても良い。また、圧力を
かける流体をエアーとしたが、特にエアーに限定するも
のではなく、他の気体を使用してもよい。また、気体で
はなく水等の液体を使用してもよい。また、図１におい
ては電磁弁の個数を３個とし、圧力３段階切替えとした
が、特に３個である必要はなく、１個以上であればよ
い。但し、電磁弁の数を多くすることにより、レーザビ
ーム径の設定数も多くできるため、より高品質で安定性
のあるレーザ加工を行うことができるようになる。ま
た、圧力をかけるエアーをパージエアーと共用する例を
挙げているが、レーザ加工時に必要となる加工ガスと共
用するようにしてもよい。
鏡１０は圧力のかからない状態では平面鏡であるが、凹
面鏡或いは凸面鏡であってもよい。また、実施例１にお
いては、平面鏡の肉厚は均一としているが、理想的な球
面曲率を得るため平面鏡中心から周囲部への距離に従
い、肉厚を変化させるようにしても良い。また、圧力を
かける流体をエアーとしたが、特にエアーに限定するも
のではなく、他の気体を使用してもよい。また、気体で
はなく水等の液体を使用してもよい。また、図１におい
ては電磁弁の個数を３個とし、圧力３段階切替えとした
が、特に３個である必要はなく、１個以上であればよ
い。但し、電磁弁の数を多くすることにより、レーザビ
ーム径の設定数も多くできるため、より高品質で安定性
のあるレーザ加工を行うことができるようになる。ま
た、圧力をかけるエアーをパージエアーと共用する例を
挙げているが、レーザ加工時に必要となる加工ガスと共
用するようにしてもよい。
【００３９】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、レー
ザ発振器から出力されるレーザビームを集光光学部材を
用いて集光させ、切断・溶接等の加工を行うレーザ加工
装置において、前記レーザビームの伝送路に設けられ流
体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材と、こ
のレーザビーム反射部材の周囲部を支持し前記レーザビ
ーム反射部材とともにレーザビーム反射面の反対側に空
間を形成する反射部材支持部と、この反射部材支持部の
空間に流体を供給する流体供給手段と、流体供給圧力を
段階的又は連続的に切り換える手段と、前記反射部材支
持部の空間から流体を排出する流体排出手段とを備え、
前記空間は流体供給経路及びこの流体供給経路と別体の
流体排出経路を除き密閉構造とし前記レーザビーム反射
面の反対側に前記レーザビーム反射部材が弾性変形する
に要する流体圧力をかけるようにしたので、レーザビー
ム反射部材の曲率を速やかに変化させて、必要に応じて
レーザビーム径を高速で制御するとともに、レーザビー
ム反射部材が供給流体により冷却され、レーザビーム照
射によるレーザビーム反射部材の熱変形を防止する効果
がある。
ザ発振器から出力されるレーザビームを集光光学部材を
用いて集光させ、切断・溶接等の加工を行うレーザ加工
装置において、前記レーザビームの伝送路に設けられ流
体圧力により弾性変形するレーザビーム反射部材と、こ
のレーザビーム反射部材の周囲部を支持し前記レーザビ
ーム反射部材とともにレーザビーム反射面の反対側に空
間を形成する反射部材支持部と、この反射部材支持部の
空間に流体を供給する流体供給手段と、流体供給圧力を
段階的又は連続的に切り換える手段と、前記反射部材支
持部の空間から流体を排出する流体排出手段とを備え、
前記空間は流体供給経路及びこの流体供給経路と別体の
流体排出経路を除き密閉構造とし前記レーザビーム反射
面の反対側に前記レーザビーム反射部材が弾性変形する
に要する流体圧力をかけるようにしたので、レーザビー
ム反射部材の曲率を速やかに変化させて、必要に応じて
レーザビーム径を高速で制御するとともに、レーザビー
ム反射部材が供給流体により冷却され、レーザビーム照
射によるレーザビーム反射部材の熱変形を防止する効果
がある。
【００４０】また、レーザビーム反射部材を弾性変形さ
せるために供給する流体が流体排出手段から排出された
後、レーザビーム伝送経路内に供給しレーザビーム伝送
路内をパージするパージエアーとして使用することによ
り、レーザ加工装置の構成を簡略化するとともに運転コ
ストを低減することができる。
せるために供給する流体が流体排出手段から排出された
後、レーザビーム伝送経路内に供給しレーザビーム伝送
路内をパージするパージエアーとして使用することによ
り、レーザ加工装置の構成を簡略化するとともに運転コ
ストを低減することができる。
【００４１】また、加工ヘッドがＸ−Ｙ平面上を移動
し、加工を行う光走査形のレーザ加工を行う場合、レー
ザビーム反射部材の曲率を制御する手段を備え、加工ヘ
ッドに装着されている集光光学部材に入射するレーザビ
ーム径が加工ヘッドの位置にかかわらず常に一定となる
ようにすることにより、高品質のレーザ加工を安定して
行える効果がある。
し、加工を行う光走査形のレーザ加工を行う場合、レー
ザビーム反射部材の曲率を制御する手段を備え、加工ヘ
ッドに装着されている集光光学部材に入射するレーザビ
ーム径が加工ヘッドの位置にかかわらず常に一定となる
ようにすることにより、高品質のレーザ加工を安定して
行える効果がある。
【００４２】また、加工ヘッド本体または加工ヘッドに
装着された集光光学部材をＺ軸方向に移動させるように
制御する手段を備え、最小集光スポット径のＺ軸方向位
置が一定となるようにすることにより、高品質のレーザ
加工を安定して行える効果がある。
装着された集光光学部材をＺ軸方向に移動させるように
制御する手段を備え、最小集光スポット径のＺ軸方向位
置が一定となるようにすることにより、高品質のレーザ
加工を安定して行える効果がある。
【００４３】また、流体圧力により弾性変形するレーザ
ビーム反射部材をレーザビームの伝送経路内に複数配置
し構成したことにより、レーザビーム径の可変範囲を拡
大することができる。
ビーム反射部材をレーザビームの伝送経路内に複数配置
し構成したことにより、レーザビーム径の可変範囲を拡
大することができる。
【００４４】また、反射部材支持部の空間に供給される
流体の圧力制御時、供給される流体圧力を監視し、指令
圧力値と、所定の差異が生じたとき、警報を出すかまた
は運転を停止することができる。
流体の圧力制御時、供給される流体圧力を監視し、指令
圧力値と、所定の差異が生じたとき、警報を出すかまた
は運転を停止することができる。
【００４５】また、加工条件として最適のレーザビーム
径をあらかじめ登録しておき、被加工物の材質または板
厚に応じてレーザビーム径を選択することにより、高品
質のレーザ加工を安定して行える効果がある。
径をあらかじめ登録しておき、被加工物の材質または板
厚に応じてレーザビーム径を選択することにより、高品
質のレーザ加工を安定して行える効果がある。
【図１】 この発明の実施例１によるレーザ加工装置の
光路構成、ホルダー構造及び配管系統を示す構成図であ
る。
光路構成、ホルダー構造及び配管系統を示す構成図であ
る。
【図２】 この発明の実施例１によるレーザ加工装置の
光路構成及び配管系統を示す他の構成図である。
光路構成及び配管系統を示す他の構成図である。
【図３】 この発明の実施例１によるレーザ加工装置の
曲率可変反射鏡ホルダーより排出されたエアーをパージ
エアーとして使用する場合の配管系統及び構造を示す構
成図である。
曲率可変反射鏡ホルダーより排出されたエアーをパージ
エアーとして使用する場合の配管系統及び構造を示す構
成図である。
【図４】 この発明の実施例１によるレーザ加工装置の
加工レンズの位置において、レーザビーム径を一定とす
るための制御回路を示す構成図である。
加工レンズの位置において、レーザビーム径を一定とす
るための制御回路を示す構成図である。
【図５】 この発明の実施例１によるレーザ加工装置の
加工レンズから最小集光スポット径までの距離の変化に
対応し、加工ヘッドをＺ軸方向に移動を行う制御回路を
示す構成図である。
加工レンズから最小集光スポット径までの距離の変化に
対応し、加工ヘッドをＺ軸方向に移動を行う制御回路を
示す構成図である。
【図６】 この発明の実施例１によるレーザ加工装置の
曲率可変反射鏡ホルダーに供給されるエアーの圧力に関
する警報回路を示す構成図である。
曲率可変反射鏡ホルダーに供給されるエアーの圧力に関
する警報回路を示す構成図である。
【図７】 この発明の実施例２によるレーザ加工装置の
ホルダー構造及び配管系統を示す構成図である。
ホルダー構造及び配管系統を示す構成図である。
【図８】 従来の曲率可変反射曲面鏡の断面図である。
【図９】 従来の曲率可変反射曲面鏡の斜視図である。
１ 気密性の容器、２ 円形の開口、３ 円板状膜、４
気密な空間、５ 圧力調整手段、６ 空気通路、７
バルブ、８ ポンプ、９ 曲率可変反射鏡ホルダー、１
０ 曲率可変反射鏡、１１ 円形保持板、１２ 押え
板、１３ エアジャケット、１４ エアー入口、１５
エアー、１６ エアー通路、１７ エアー通路、１８
エアー出口、１９ 圧力計、２０ レーザビーム、２１
レーザビーム反射面、２２ レーザビーム非反射面
（裏面）、２３ 固定ネジ、２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，
２４ｄ，２４ｅ，２４ｆ，２４ｇ Ｏリング、２５ａ，
２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ，２５ｅ 電磁弁、２６ａ，２
６ｂ，２６ｃ レギュレータ、２７ａ，２７ｂ 反射
鏡、２８ 加工ヘッド、２９ 加工レンズ、３０ 加工
レンズ押え、３１ 加工ガス入口、３２ 加工ガス、３
３ 被加工物、３４ 制御装置、３５ 電空弁、４０
シリンダ（１）、４１ ピストン、４２ シリンダ
（２）、４３ａ，４３ｂ エアー入口、４４ａ，４４ｂ
エアー出口、５０ フローコントローラ（流量制御バ
ルブ）、５１ パージエアー供給口、５２ａ，５２ｂ
レーザビーム伝送路、５３ ゴムカバー、５４ エアー
の流れ、５５ 曲率演算装置、５６ 最小スポット径ま
での距離演算装置、５７ レーザ加工装置、５８ コン
パレータ、５９ 警報装置。
気密な空間、５ 圧力調整手段、６ 空気通路、７
バルブ、８ ポンプ、９ 曲率可変反射鏡ホルダー、１
０ 曲率可変反射鏡、１１ 円形保持板、１２ 押え
板、１３ エアジャケット、１４ エアー入口、１５
エアー、１６ エアー通路、１７ エアー通路、１８
エアー出口、１９ 圧力計、２０ レーザビーム、２１
レーザビーム反射面、２２ レーザビーム非反射面
（裏面）、２３ 固定ネジ、２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，
２４ｄ，２４ｅ，２４ｆ，２４ｇ Ｏリング、２５ａ，
２５ｂ，２５ｃ，２５ｄ，２５ｅ 電磁弁、２６ａ，２
６ｂ，２６ｃ レギュレータ、２７ａ，２７ｂ 反射
鏡、２８ 加工ヘッド、２９ 加工レンズ、３０ 加工
レンズ押え、３１ 加工ガス入口、３２ 加工ガス、３
３ 被加工物、３４ 制御装置、３５ 電空弁、４０
シリンダ（１）、４１ ピストン、４２ シリンダ
（２）、４３ａ，４３ｂ エアー入口、４４ａ，４４ｂ
エアー出口、５０ フローコントローラ（流量制御バ
ルブ）、５１ パージエアー供給口、５２ａ，５２ｂ
レーザビーム伝送路、５３ ゴムカバー、５４ エアー
の流れ、５５ 曲率演算装置、５６ 最小スポット径ま
での距離演算装置、５７ レーザ加工装置、５８ コン
パレータ、５９ 警報装置。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−166894（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−187492（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−113192（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−166401（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−146479（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−51402（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭63−202494（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B23K 26/00 B23K 26/06 B23K 26/08 B23K 26/14 G02B 26/00
Claims (7)
- 【請求項１】 レーザ発振器から出力されるレーザビー
ムを集光光学部材を用いて集光させ、切断・溶接等の加
工を行うレーザ加工装置において、前記レーザビームの
伝送路に設けられ流体圧力により弾性変形するレーザビ
ーム反射部材と、このレーザビーム反射部材の周囲部を
支持し前記レーザビーム反射部材とともにレーザビーム
反射面の反対側に空間を形成する反射部材支持部と、こ
の反射部材支持部の空間に流体を供給する流体供給手段
と、流体供給圧力を段階的又は連続的に切り換える手段
と、前記反射部材支持部の空間から流体を排出する流体
排出手段とを備え、前記空間は流体供給経路及びこの流
体供給経路と別体の流体排出経路を除き密閉構造とし前
記レーザビーム反射面の反対側に前記レーザビーム反射
部材が弾性変形するに要する流体圧力をかけるようにし
たことを特徴とするレーザ加工装置。 - 【請求項２】 レーザビーム反射部材を弾性変形させる
ために供給する流体が流体排出手段から排出された後、
レーザビーム伝送路内に供給し、前記レーザビーム伝送
路内をパージするパージエアーとして使用することを特
徴とする請求項１に記載のレーザ加工装置。 - 【請求項３】 加工ヘッドがＸ−Ｙ平面上を移動し、加
工を行う光走査形のレーザ加工を行う場合、前記加工ヘ
ッドに装着されている集光光学部材に入射するレーザビ
ーム径が前記加工ヘッドの位置にかかわらず常に一定と
なるようにレーザビーム反射部材の曲率を制御する手段
を備えたことを特徴とする請求項２に記載のレーザ加工
装置。 - 【請求項４】 最小集光スポット径のＺ軸方向位置が一
定となるよう加工ヘッド本体または前記加工ヘッドに装
着された集光光学部材をＺ軸方向に移動させるように制
御する手段を備えたことを特徴とする請求項１〜請求項
３のいずれかに記載のレーザ加工装置。 - 【請求項５】 流体圧力により弾性変形するレーザビー
ム反射部材をレーザビーム伝送路内に複数配置し構成し
たことを特徴とする請求項１〜請求項４のい ずれかに記
載のレーザ加工装置。 - 【請求項６】 反射部材支持部の空間に供給される流体
の圧力制御時、供給される流体圧力を監視し、指令圧力
値と、所定の差異が生じたとき、警報を出すかまたは運
転を停止する手段を備えたことを特徴とする請求項１〜
請求項５のいずれかに記載のレーザ加工装置。 - 【請求項７】 加工条件として最適のレーザビーム径を
あらかじめ登録しておき、被加工物の材質または板厚に
応じて前記レーザビーム径を選択することを特徴とする
請求項１〜請求項６のいずれかに記載のレーザ加工装
置。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006043775A (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-16 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh & Co Kg | レーザ加工ヘッド |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TW425322B (en) * | 1998-05-13 | 2001-03-11 | Mitsubishi Electric Corp | Laser processing machine |
| US6392192B1 (en) | 1999-09-15 | 2002-05-21 | W. A. Whitney Co. | Real time control of laser beam characteristics in a laser-equipped machine tool |
| US6128138A (en) * | 1999-07-15 | 2000-10-03 | W. A. Whitney Co. | Reflective laser collimator |
| JP2001121278A (ja) * | 1999-10-22 | 2001-05-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | レーザ切断方法 |
| FR2803918B1 (fr) | 2000-01-17 | 2003-05-16 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de balayage d'un foyer de faisceau de laser |
| US6407363B2 (en) | 2000-03-30 | 2002-06-18 | Electro Scientific Industries, Inc. | Laser system and method for single press micromachining of multilayer workpieces |
| JP4659300B2 (ja) | 2000-09-13 | 2011-03-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法及び半導体チップの製造方法 |
| CN100485902C (zh) | 2002-03-12 | 2009-05-06 | 浜松光子学株式会社 | 基板的分割方法 |
| EP1424584B1 (de) * | 2002-11-29 | 2007-02-28 | Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Spiegel einer Laserbearbeitungsmaschine |
| JP4949015B2 (ja) * | 2003-02-26 | 2012-06-06 | ウニヴェルシュタット ベルン | 光ビームの波面を修正するための、方法、配置構成、及び該配置構成のための影響付与ユニット |
| WO2005061979A1 (en) * | 2003-11-19 | 2005-07-07 | Picanol N.V. | Device for drying at least one yarn |
| US7060934B2 (en) * | 2003-12-04 | 2006-06-13 | Universal Laser Systems, Inc. | High resolution laser beam delivery apparatus |
| US6986585B1 (en) * | 2004-11-01 | 2006-01-17 | Southeastern Univ. Research Assm | Radius of curvature controlled mirror |
| EP1695786B1 (de) * | 2005-02-25 | 2010-03-10 | Trumpf Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Anordnung zur Laserbearbeitung, insbesondere zum Laserschweissen von 3D-Bauteilen, mit einem ersten optischen Element zur Aufteilung eines Laserstrahles und einem zweiten optischen Element zur Fokusierung der Teilstrahlen |
| EP1896914B1 (de) * | 2005-06-24 | 2014-12-24 | TRUMPF Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG | Adaptiver spiegel einer optik einer laserbearbeitungsmaschine |
| CN100496855C (zh) * | 2005-08-19 | 2009-06-10 | 中国科学院光电技术研究所 | 精密加工激光切割机 |
| TWI271568B (en) * | 2006-01-18 | 2007-01-21 | Micro Star Int Co Ltd | Mirror structure and image-taking apparatus |
| CN100495102C (zh) * | 2006-02-06 | 2009-06-03 | 微星科技股份有限公司 | 镜面结构及取像装置 |
| JP2007266387A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ発振器 |
| DE102007024701A1 (de) | 2007-05-25 | 2008-11-27 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur Materialabtragung sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
| JP2008168352A (ja) * | 2008-01-23 | 2008-07-24 | Rezakku:Kk | レーザ加工装置の使用方法 |
| US7740362B1 (en) * | 2008-02-19 | 2010-06-22 | Jefferson Science Associates | Mirror with thermally controlled radius of curvature |
| ES2375880T3 (es) * | 2008-07-30 | 2012-03-07 | Ipg Photonics Corporation | Útil de soldadura por l�?ser con un l�?ser de fibra. |
| TWI453461B (zh) * | 2011-03-08 | 2014-09-21 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Optical scanning devices and laser processing devices |
| CN103056531A (zh) * | 2013-01-14 | 2013-04-24 | 苏州领创激光科技有限公司 | 一种激光切割机自动变焦的方法与装置 |
| DE102013008646B4 (de) * | 2013-05-21 | 2020-06-10 | Lt-Ultra Precision Technology Gmbh | Adaptiver Spiegel für eine Laserbearbeitungsvorrichtung |
| US10359603B1 (en) * | 2013-08-21 | 2019-07-23 | The Board Of Trustees Of The University Of Alabama, For And On Behalf Of The University Of Alabama In Huntsville | Lightweight adaptive metal cooled mirrors |
| US9360600B2 (en) * | 2013-11-20 | 2016-06-07 | Asml Netherlands B.V. | System and method for correcting the focus of a laser beam |
| CN107813060A (zh) * | 2016-08-30 | 2018-03-20 | 奔腾激光(温州)有限公司 | 一种光纤激光切割机用反射式切割头及控制方法 |
| WO2018110191A1 (ja) * | 2016-12-16 | 2018-06-21 | 三菱電機株式会社 | 形状可変鏡及びレーザ加工装置 |
| JP7285713B2 (ja) * | 2019-07-05 | 2023-06-02 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工ヘッド及びレーザ加工装置 |
| CN110842355A (zh) * | 2019-11-29 | 2020-02-28 | 奔腾楚天激光（武汉）有限公司 | 一种光纤激光切割机快速换气的装置及控制方法 |
Family Cites Families (23)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS576804A (en) * | 1980-06-17 | 1982-01-13 | Toshiba Corp | Light reflection method |
| JPS5954484A (ja) † | 1982-09-20 | 1984-03-29 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ加工機 |
| JPS60187492A (ja) * | 1984-02-21 | 1985-09-24 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザビ−ムによる加工装置 |
| JPS61159613A (ja) * | 1985-01-07 | 1986-07-19 | Kokuritsu Kogai Kenkyusho | 反射曲面鏡 |
| JPS61242778A (ja) * | 1985-04-18 | 1986-10-29 | アマダ エンジニアリング アンド サ−ビス カンパニ− インコ−ポレ−テツド | レ−ザ加工装置における加工ヘツド位置制御装置 |
| FR2584824B1 (fr) * | 1985-07-10 | 1987-09-25 | Commissariat Energie Atomique | Miroir deformable |
| JPS63146479A (ja) * | 1986-07-16 | 1988-06-18 | Amada Co Ltd | レ−ザビ−ムの発散角調整方法および装置 |
| JPS63159613A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-02 | Sanshin Ind Co Ltd | 水冷エンジン用ポンプのドレン装置 |
| JPH0534860Y2 (ja) * | 1987-06-11 | 1993-09-03 | ||
| US4837708A (en) * | 1987-07-01 | 1989-06-06 | Maraven, S.A. | Process and apparatus for determining flow rate of a flow medium in a flow line |
| JPH01113192A (ja) * | 1987-10-23 | 1989-05-01 | Hitachi Ltd | レーザ加工機用集光装置 |
| JPH01166894A (ja) * | 1987-12-21 | 1989-06-30 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ加工機 |
| JPH01219801A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-01 | Meitetsuku:Kk | 可変焦点式反射鏡 |
| DE3900467C2 (de) * | 1989-01-10 | 1995-09-07 | Trumpf Lasertechnik Gmbh | Vorrichtung mit einem Spiegelkopf |
| JPH0351402U (ja) * | 1989-09-25 | 1991-05-20 | ||
| JPH03128187A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-05-31 | Yoshizawa Kogyo Kk | レーザ切断装置 |
| JPH03174995A (ja) * | 1989-12-01 | 1991-07-30 | Amada Co Ltd | レーザ加工装置の加工ヘッド |
| JPH03189089A (ja) * | 1989-12-18 | 1991-08-19 | Koike Sanso Kogyo Co Ltd | レーザー加工装置 |
| DE4137832A1 (de) * | 1991-11-16 | 1993-05-19 | Kugler Gmbh Feinmechanik & Opt | Vorrichtung zum lagern einer gesteuert deformierbaren platte geringer dicke, insbesondere eines spiegels als reflektionseinrichtung fuer laserstrahlen o. dgl. |
| DE9205810U1 (de) * | 1992-04-30 | 1993-08-26 | Diehl GmbH & Co, 90478 Nürnberg | Einrichtung zur Beeinflussung der Fokuslage eines Laser-Bearbeitungskopfes |
| JPH0736551A (ja) * | 1993-07-20 | 1995-02-07 | Smc Corp | 電空レギュレータ用圧力制御装置 |
| US5493095A (en) * | 1994-02-14 | 1996-02-20 | Data Technology, Inc. | Laser beam divergence compensation apparatus |
| DE9407288U1 (de) * | 1994-05-02 | 1994-08-04 | Trumpf Gmbh & Co, 71254 Ditzingen | Laserschneidmaschine mit Fokuslageneinstellung |
-
1995
- 1995-05-24 JP JP07125131A patent/JP3138613B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1995-08-19 TW TW084108681A patent/TW283107B/zh active
-
1996
- 1996-03-06 US US08/611,879 patent/US5889256A/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-04-02 DE DE19613252A patent/DE19613252C2/de not_active Expired - Lifetime
- 1996-04-30 CN CN96100566A patent/CN1117648C/zh not_active Expired - Lifetime
- 1996-05-13 KR KR1019960015831A patent/KR100193952B1/ko not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006043775A (ja) * | 2004-08-06 | 2006-02-16 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh & Co Kg | レーザ加工ヘッド |
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|---|---|
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