A7 B7 425322 五、發明説明（i ) 抟術鮪圃 本發明為有闞於雷射加工櫬者，尤其有闉於可Μ減少 雷射光t焦點位置與被加工物表面之位置偏移之雷射加工 檄。 以注技衡 第9圖表示以往之雷射加工櫬之槪要構成之斜視圖。 該雷射加工擷500具備設置於被加工物W之兩側之軌道（ rail)l 、在軌道1上移動之移動框架（frame)2 、横亙兩 側之移動框架2間架設之横行框架3、沿著橫行框架3移動 之横行載架（carriage)4 、安裝於横行載架4之加工頭（ head)5、設置在加工頭5内部之集光透鏡6、連接於加工頭 5之雷射通路7、設置於雷射通路内之多數肘彎透鏡（bend nirrorOS、配置在雷射通路入口之反射型雷射光直徑調整 器9、射出雷射光之雷射發射器11、以及腌行加工頭5之位 置決定控制之同時亦控制反射型雷射光直徑綢整器9及雷 射發射器11之動作之控制裝置12等。 第10圓表示第9圖所示反射型雷射光直徑調整器之斜 視匾。該反射型雷射光直徑調整器9在圆筒形空氣護套（ air jacket)91之一面具有反射面92。反射面92由可能彈 性變形之材質構成。在空氣護套91設置空氣入口 93與空氣 出口 94。空氣入口 93連接於泵95。經由泵95之動作吸引空 氣護套91内之空氣。在空氣出口 94·設置限制空氣流入之 閥（未圈示）。當空氣護套91内減壓時，反射面92成為球面 。由空氣出口 94送出空氣時*反射面92恢復成平面。 ------^---^—裝------訂----Ϊ---T 線 (請先閱讀背面之注意事項再續寫本頁) 經濟部中央標準局員工消资合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準{ CNS ) Λ4規格（2I0X297公釐） 1 3 9783 經滴部中央標皁局貝4消费合作社印裝 Α7 __Β7 五、發明説明（2 ) 其次*說明該雷射加工櫬500之動作。雷射發射器11 之傳播距《增大時，光路中設置光束腰（bean waist)，用 來防止k束直徑縯大。由雷射發射器11輸出之雷射光R · 經由反射型雷射光直徑調整器9之作用使圼平行化。平行 化之雷射光R通過雷射光通路7 。再者•雷射光R在雷射光 通路7內徑由肘膂鏡8之作用而曲折。其次，雷射光R由集 光透嫌6集光，向被加工物V之表面照射。由此動作而使被 加工物tf被截斷。 前述以往之雷射加工櫬500 ·在雷射發射器11之附近 配置反射型雷射光直徑調整器9 ，使用該反射型雷射光直 徑調整器9·使雷射光R平行化。但是，由於反射型雷射光 直徑調整器9無法使雷射光ϋ完全平行化*因此存在撤小之 光束發散角。此棰光束發敗角隨著雷射光R之傳播距離而 變化。加工頭5在ΧΥ座標上移動時，由於雷射光R之傳播 距離發生變化*因此光束發散角亦發生變化而使集光透鏡 6之光束射入角改變。因此引起焦點位置偏離而截斷品筲 降低之問題。 因此，本發明之目的在於提供可以減少雷射光之焦點 位置與被加工物表面之位置偏移之雷射加工櫬。 發明夕說明 彳 為達成前述目的*本發明之雷射加工機為在具備輸出 雷射光之雷射發射器，使由雷射發射器輸出之雷射光反射 並傅播之同時變化光學配件之反射面曲率Κ調整雷射光直 徑之反射型雷射光直徑調整裝置、Μ及使調整後之雷射光 本纸浪尺度適用中國围家標準（CNsTa4規格（210X297公嫠) 2 39783 (請先閣讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 丁 -線 425322 A7 B7 經滴部中央標準局貞工消費合作社印製 五、發明説明（ 3 ) 由 集 光 透 鏡 集 光 再 使 集 光 後 之 雷 射 光 向 被 加 工 物 表 面 照 射 之 加 X 頭 之 雷 射 加 工 機 中 將 反 射 型 雷 射 光 直 徑 調 整 裝 置 配 置 於 加 工 頭 之 附 近 而 成 者 0 由 本 案 發 明 者 等 之 研 究 结 果 可 明 瞭 由 加 工 頭 至 雷 射 光 直 徑 調 整 裝 置 之 距 離 if 大 時 * 雷 射 光 之 焦 點 位 置 與 被 加 工 物 表 面 之 位 置 偏 移 亦 增 大 之 事 實 0 因 此 本 雷 射 加 工 機 將 反 射 型 雷 射 光 直 徑 調 整 裝 置 設 置 於 加 X 頭 之 附 近 〇 因 而 使 得 焦 點 位 置 與 被 加 工 物 表 面 之 位 置 偏 移 減 少 0 依 據 下 述 發 明 之 笛 射 加 X 櫬 是 在 具 備 輪 出 雷 射 光 之 雷 射 發 射 器 、 使 從 雷 射 發 射 器 输 出 之 雷 射 光 反 射 並 傳 播 之 同 時 變 化 光 學 配 件 之 反 射 面 曲 率 Μ 調 整 雷 射 光 直 徑 之 反 射 型 雷 射 光 直 徑 調 整 裝 置 Μ 及 使 調 整 後 之 雷 射 光 由 集 光 透 鏡 集 光 再 使 集 光 後 之 雷 射 光 向 被 加 工 物 表 面 照 射 之 加 工 頭 之 雷 射 加 工 櫬 中 於 焦 點 位 置 相 對 於 被 加 工 物 之 位 置 偏 移 能 夠 限 制 於 加 I 容 許 搔 限 内 之 情 況 下 將 反 射 型 雷 射 光 直 徑 調 整 裝 置 配 置 於 加 工 頭 之 附 近 而 成 者 〇 反 射 型 光 束 直 徑 調 整 裝 置 若 遠 離 加 工 頭 焦 點 位 置 與 被 加 X 物 表 面 之 位 置 偏 移 增 大 1 在 此 * 於 焦 點 位 置 相 對 於 被 加 I 物 之 位 置 傾 FIW 移 限 制 於 加 工 容 許 棰 限 内 之 程 度 下 將 反 射 型 雷 射 光 直 徑 調 整 裝 置 配 置 於 加 工 m 之 附 近 0 如 此 可 以 提 升 截 斷 品 質 0 依 據 下 述 發 明 之 雷 射 加 工 機 * 是 在 具 備 输 出 雷 射 光 之 雷 射 發 射 器 使 從 雷 射 發 射 器 m 出 之 雷 射 光 反 射 並 傳 播 之 同 時 變 化 光 學 SB 件 之 反 射 面 曲 率 Μ 調 整 雷 射 光 直 徑 之 反 射 本紙張尺度速川中國國家標率（CNS ) Μ規格（2丨OX 297公釐） 425322 A7 B7 五、發明説明（ 型雷射光直徑調整裝置、Μ及使調整後之雷射光由集光透 經濟部中央標率局貝工消费合作社印製 頭移置 被斷移置 之之射 透頭置 光加加8n中化 Η 偏裝 於截偏裝 光播反 光工裝 射被射頭。機變 加置整 對好置整 射傳之 集加整 雷與雷 Η 少 工時 之位調 相良位調 雷並徑 由之調 至 置本加 減加 同 射之徑 置得 之徑。出射直光射徑 頭位在離移射之 照物直 位獲物直質輪反光射照直 Η 點。距偏雷光 面 Η 光 點 Μ 工光品備光射雷面光 加焦化於置述射 表加射 焦可 加射斷 具射雷 之表射 瞭之一置 位前雷 物被雷 瞭-被雷截 在雷整 後物雷 明 光質設 之在之 Η 於型 明時於型升是之調整工型 -射品置面是出 加對射 ，下對射提-出 Μ 調加射 果雷斷裝表，輸 被相反 果 Μ 相反Μ櫬輸率使被反 结，截整物櫬器 向置將。结 s 置將可 Η 器曲 及向至 究 時使調 ΗΗ 射 光位，者究6m位-此加射面以光頭 研8Π而徑加加發 射點下成研0.點下如射發射、射工。之於大直被射射 雷焦況而之 為焦況。雷射 反置雷加者等 大增光 與雷雷 之於情近者若，情 近之雷 之裝之 由内者 離移射 置之由 後 * 之附明移此 之 附明從 件整後 ，M明 距偏雷 位明播 光中下 之發偏在下之 發使配調光中8n發之置型點發傳 集機以頭案置。Μ 頭述、學徑集機於案置位射焦述並 使 H aH 本位實 b 工下器光直使 Η 定本裝 之反此下過 再加6·加據之事6Β加據射化光再加設據整面，因據透 光射0.於依物之0.於依發變射光射» 依調表中。依置 篥雷為置 Η 質為置 射時雷集雷距 徑 物檄内 設 鏡之成 Κ 加品成配 笛同型鏡之之 直工工 Μ , I------f---^ — 裝------訂---J----線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度ΐί用中國國家標率（CNS ) Λ4規格（2丨0Χ297公釐） 4 3978 3 42532 2 A7 B7 經漓部中央標準局員工消费合作社印裂 五、發明説明（ 5 ) i I 光 學 配 件 之 曲 率 Μ 調 整 雷 射 光 直 徑 之 透 過 型 雷 射 光 直 徑 調 1 I 整 裝 置 * Μ 替 代 刖 述 反 射 型 雷 射 光 直 徑 調 整 裝 置 者 0 1 替 反 射 型 雷 射 光 直 徑 調 整 裝 置 即 使 使 用 具 有 相 同 請 1 I 機 能 之 适 過 型 雷 射 光 直 徑 調 整 裝 置 仍 可 以 獲 得 前 述 同 樣 无 閱 讀 背 之 1 1 I 之 效 果 〇 1 1 J BL 面 簡 單 說 明 注 意 事 項 再 ά 1 第 1 圖 表 示 本 發 明 之 寅 施 例 1 之 雷 射 加 X m 之 斜 視 圖 1 J t 0 第 2 圈 表 示 相 對 於 被 加 工 物 表 面 之 焦 點 位 置 之 偏 移 之 說 寫 本 頁 裝 I 明 a 〇 第 3 園 表 示 可 Μ m 得 軟 m 材 料 之 良 好 截 斷 品 質 之 加 1 1 I X 條 件 範 園 與 焦 點 位 置 偏 移 量 之 關 係 圖 第 4 圖 表 示 可 Μ 1 1 I 獲 得 不 锈 網 之 良 好 截 斷 品 質 之 加 工 條 件 範 園 與 焦 黏 位 置 偏 1 1 訂 1 移 量 之 闞 係 圖 0 第 5 圖 表 示 雷 射 發 射 器 至 加 X 頭 之 光 路 之 說 明 圈 0 第 6 ΓΕΠ 团 表 示 加 工 頭 至 反 射 型 雷 射 光 直 徑 調 整 器 之 1 1 距 饑 與 焦 點 位 置 偏 移 量 之 關 係 圖 0 第 7 {BI 圆 表 示 雷 射 光 直 徑 1 調 整 過 程 之 流 程 匾 0 第 8 圓 表 示 本 發 明 實 施 例 2 之 雷 射 加 I 線 工 m 之 概 要 構 成 圖 〇 第 9 圖 表 示 往 雷 射 加 工 拥 之 概 要 構 1 1 成 斜 視 圖 0 第 10圖 表 示 第 9 圖 所 示 反 射 型 雷 射 光 直 徑 調 整 1 櫬 構 之 斜 視 圖 0 1 旃 發 明 之 最 伴 形 態 1 I 為 更 詳 细 說 明 本 發 明 ， 依據附圖加枞說明 〇 1 第 1 IBt 園 表 示 本 發 明 實 施 例 1 之 雷 射 加 工 機 之 斜 視 圖 0 i I 本 雷 射 加 工 楗 100具備設置於被加工物W兩 側 之 軌 道 1 、 在 1 I 軌 道 1上移動之移動框架2 、 横 亙 兩 側 之 移 動 框 架 2 間 架 設 1 1 之 横 行 框 架 3 、沿著横行框架3移動 之 横 行 載 架 4 > 安 裝 於 1 1 本紙張尺度適用中國圉家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） ^ 5 39783 425322 B7 經濟部中央標隼局員工消费合作社印製 五、發明説明（6 ) 1 I 横 行 載架4之加工頭5、設置在 加 工 頭5内部之集光透鏡6 \ 1 r I 連 接 於 加 工頭5之雷射通路7、 設 置 在雷 射 通 路 7 内 之 多 數 1 I 肘 鼙 鋳 、 設置在雷射通路7途 中 之 横行 框 架 3 上 之 反 射 型 V 請 1 1 雷 射 光 直 徑調 整器9、設置在雷射通路7入 P 之 肘 彎 鏡 10 > 先 閱 讀 1 1 射 出 雷 射光R之雷射發射器11、 K及腌行加工頭5之位 置 決 背 之 t 1 定 控 制 之 同時 控制反射型雷射 光 直 徑調 整 器 9 及 雷 射 發 射 注 意 事 1 1 器11之動作之控制裝置12等。 集光透鏡6使用焦點距離7 ， 項 再 1 1 裝 I 5 i η 者 〇 再者 •反射型雷射光 直 徑 調整 器 9 與 >X 往 例 中 所 本 頁 示 之 同 一 實施 形態者相同（參照第10圖） 〇 [ 1 I 相 對 於被 加工物W表面之 焦 點 位置 之 偏 移 愈 少 截 斷 1 1 1 品 質 愈 佳 。第 2圖表示相對於 被 加 工物 表 面 S 之 焦 點 位 置 1 1 訂 1 F之僭移之說明圖。射入加工頭5内 之雷 射 光 R 由 集 光 透 鏡 6集光 ，雷射光R之焦點位置F與 被 加工 物 表 面 S 一 致 時 > 1 1 偏 移 量 1Δ Z成 為0 〇 l· l 第 3 圖表 示可Μ獲得軟鋼 材 科 之良 好 截 斷 品 質 之 加 工 ϊ 線 條 件 範 團 與焦 點位置镉移量之 關 係 圖。 焦 點 位 置 F 之 偏 移 1 I 量 » 例 舉 △ Z = 〇mm，Δ Z = 0,3 a m Δ 2 = 0 . 6 m 之 情 況 0 加 工 1 條 件 例 舉 截斷 速度（mm/ain)與 雷 射 輸出 (V) ，被加工物W使 f 1 用 板 厚 1 9 麗η之 SS400 。再者 * 助 焊 氣體 使 用 氧 氣 0 在 各 偏 1 1 移 量 I 由 實驗 求出截斷面粗糙 度 1 0 0 W m彳Μ下 > 浮 渣 (d Γ 0 S S 1 ) 高 度 0 . 5 B m K下之加工條件 範 tmt 圃 。结 果 可 知 焦 點 位 置 1 I F之钃移最愈小時·加工條件之範圍愈廣 > ! 1 第 4 圖表 示可以獲得不锈 網 之 良好 截 斷 品 質 之 加 X 條 1 1 I 件 範 園 與 焦點 位置偏移置之關 係 圖 。横 軸 表 示 肋 焊 氣 體 ( 1 1 本紙張尺度適用中國围家標率（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） 6 3 9783 經滴部中央標準局負工消費合作社印製 425322 A7 B7五、發明説明（7 ) assist gas)壓力。縱軸表示浮渣（dross)髙度。焦點位置 之偏移量 * 例舉△Zimn，ΑΖ = 0.3ββ· ΔΖυιιΐΒ，ΔΖ = 0.7»之1情況。被加工物V使用板厚12mm之SUS304。助焊氣 體使用氮氣。此種條件下之實驗結果顯示焦點位置F之傾 移量為0.6·β以下之情況下*浮渣髙度為〇·2ββΜ内。由此 可知，焦點位置F之偏移量為0.6mmK下之情況下*可以獲 得良好之截斷品質。 由前述结果明瞭焦點位置F之偏移量為〇.6mBK下時可 提昇截斷品質而比較理想。 第5圖表示由雷射發射器11至加工頭5之光路說明圖。 反射型雷射光直徑調整器9設置在加工頭5附近。光路a ， 光路b及光路c之合計值成為由反射型雷射光直徑調整器 9至加工頭5之光路長。 第6圖表示由加工頭至反射型雷射光直徑調整器之距 離與焦點位置偏移量之闞係圖。反射型雷射光直徑調整器 9之位置· Μ加工頭5之位置為基準加以變化* K測試焦點 位置F之偏移量。實驗使用雷射發射器11出口之PR鏡曲率 為10a之雷射加工機。雷射光直徑採用直徑20mm，30mm， 40·ι等。结果顯示*雷射光直徑為40mm、由反射型雷射光 直徑調整器9至加工頭5之距離為8mM內塒，焦點位置F之 偏移量為0.6bb左右。雷射光直徑為20ιββ、30bb之情況下 ，焦點位置之偏移量為0.6 Μ内。由此可以明瞭欲獲得良 好之截斷品質，由反射型雷射光直徑調整器9至加工頭5之 距離至少成為8ιπ，最理想為反射型雷射光直徑調整器9接 (讀先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- ，-* J 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) /\4说格（210 X 297公釐） 7 3978 3 4253 2 2 A7 B7 經消部令央標準局貝工消费合作社印聚A7 B7 425322 V. Description of the invention (i) Technological operation The invention is for laser processing, especially for lasers that can reduce the laser beam's t focus position and the positional deviation of the surface of the workpiece. Processing 檄. Figure 9 shows a perspective view of the structure of conventional laser processing. The laser machining pickup 500 includes rails 1 provided on both sides of the workpiece W, a moving frame 2 moving on the track 1, and a transverse frame 3 erected between the moving frames 2 on both sides of the traverse. , A carriage 4 moving along the carriage 3, a processing head 5 mounted on the carriage 4, a light collecting lens 6 provided inside the processing head 5, and a laser connected to the processing head 5 Passage 7, most elbow lenses (bend nirrorOS, reflective laser diameter adjuster 9 placed at the entrance of the laser path, laser emitter 11 that emits laser light, and pick-up processing head 5) The position determines the control as well as the control device 12 for controlling the operation of the reflective laser light diameter finisher 9 and the laser emitter 11. The 10th circle shows the slanting plaque of the reflective laser light diameter adjuster shown in FIG. The reflective laser light diameter adjuster 9 has a reflective surface 92 on one side of a cylindrical air jacket 91. The reflective surface 92 is made of a material that may be elastically deformed. An air inlet 93 and an air inlet 93 are provided in the air jacket 91. Air outlet 94. Air inlet 93 is connected to the pump 95. The air in the air jacket 91 is attracted by the action of the pump 95. A valve (not shown) for restricting air inflow is provided at the air outlet 94. When the air jacket 91 is decompressed, the reflecting surface 92 It becomes a spherical surface. When the air is sent out from the air outlet 94, the reflective surface 92 returns to a flat surface. ------ ^ --- ^-installation ------ order ---- Ϊ --- T line (please (Please read the notes on the back before continuing on this page) Printed on the paper by the Consumer Standards Cooperative of the Central Bureau of Standards of the Ministry of Economic Affairs. The paper size is applicable to the Chinese National Standard (CNS) Λ4 specification (2I0X297 mm) 1 3 9783 Shell 4 consumer cooperative printing A7 __Β7 V. Description of the invention (2) Secondly * The operation of the laser processing 榇 500 will be described. When the propagation distance of the laser transmitter 11 is increased, a bean waist is set in the optical path to prevent the k-beam diameter from becoming large. The laser light R output from the laser emitter 11 makes the chirp parallel by the action of the reflective laser light diameter adjuster 9. The parallelized laser light R passes through the laser light path 7. Furthermore, the inner diameter of the laser light R in the laser light path 7 is tortuous by the action of the elbow mirror 8. Next, the laser light R is transmitted through the collected light, and then irradiates the surface of the workpiece V. This operation causes the workpiece tf to be cut off. The aforementioned conventional laser processing 榇 500 · A reflective laser light diameter adjuster 9 is disposed near the laser emitter 11 and the reflective laser light diameter adjuster 9 is used to parallelize the laser light R. However, since the reflective laser light diameter adjuster 9 cannot completely parallelize the laser light *, there is a small beam divergence angle. The failure angle of this chirped beam changes with the propagation distance of the laser light R. When the processing head 5 moves on the XY coordinates, the propagation distance of the laser light R changes *, so the divergence angle of the beam also changes, so that the incident angle of the beam of the collecting lens 6 changes. This causes a problem that the focus position is deviated and the cut-off quality is reduced. Therefore, an object of the present invention is to provide a laser processing unit that can reduce the positional deviation of the focal position of the laser light from the position of the surface of the workpiece. Description of the Invention 彳 To achieve the aforementioned objectives, the laser processing machine of the present invention is a laser transmitter having an output laser light, which reflects and propagates the laser light output from the laser transmitter while changing the reflection surface of the optical accessory. Curvature K Reflective laser light diameter adjustment device for adjusting laser light diameter, M, and adjusted laser light paper scale to Chinese standards (CNsTa4 specification (210X297 gong) 2 39783 (Please read the note on the back first Please fill in this page again.) Pack. Ding-line 425322 A7 B7 Printed by the Central Standards Bureau of the Ministry of Standards, Zhengong Consumer Cooperative Co., Ltd. V. Description of the invention (3) The light is collected by the collecting lens, and the laser light after the light collection is processed In a laser processing machine with an X head irradiated on the surface of the object, a reflective laser diameter adjustment device is arranged near the processing head. 0 According to the research results of the inventors of this case, it is clear from the processing head to the laser diameter adjustment device. When the distance is large * Focus of laser light The fact that the positional deviation from the surface of the workpiece is also increased. Therefore, this laser processing machine sets the reflective laser light diameter adjustment device near the X head. Therefore, the position of the focus is deviated from the surface of the workpiece. Shift reduction 0 According to the following invention, the flute plus X 榇 is to change the curvature of the reflecting surface of the optical component while adjusting the reflection surface of the optical accessory while adjusting the reflection of the laser light emitted from the laser emitter and propagating it. Reflective laser light diameter adjustment device M for laser light diameter and laser processing of a processing head for processing the adjusted laser light collected by a light collecting lens and then radiating the collected laser light toward a surface of a workpiece The positional deviation of the position relative to the workpiece can be limited to within the tolerance of plus I. If it is located near the processing head, the reflective beam diameter adjustment device will increase the positional deviation from the position of the focal point of the processing head and the surface of the object to be added. 1 Here * The position of the focal point relative to the object to be added. The tilt FIW shift is limited within the processing allowable limit. The reflective laser light diameter adjustment device is arranged near the processing m. 0 This can improve the cutoff quality. 0 The laser processing machine according to the following invention * is equipped with output laser light. The laser transmitter reflects and propagates the laser light from the laser transmitter m while changing the curvature of the reflecting surface of the optical SB piece. Adjusting the reflection of the diameter of the laser light. This paper standard Sugawa China National Standards (CNS) M specifications ( 2 丨 OX 297 mm) 425322 A7 B7 V. Description of the invention (type laser light diameter adjustment device, M and the adjusted laser light are collected by the central standard bureau of the Ministry of Light Transmission and Economics) Co-op displacement printing heads is displaced off of the head-mounted light emitted through the jerk of Η 8n partial sectional biasing means mounted in the light emitting companion inverse light is emitted tooling head. Machine change Add to set Set to add Set the pass to add and set the position of the mine and thunder Η Less man-hours tune the position of the mine and the path from the set to the set path. Outgoing direct light path The head is in the off-position position and the object is in straight position. Away from the polarized light surface Η Light spot Gongguang products Prepared light The laser surface is scorched on the setting table and the focusing can be added to break the one with the shooting table The thunder intercepted the thunder, and the light quality of the light was set. When the shape is clear, the type is adjusted. The shape of the shot is shot plus shot, and the next shot is shot-shot out. Break the table, lose the opposite fruit M, and the opposite M 榇 loss rate will be reversed. The result is that the instrument can be used to adjust the tone of the instrument to the light level, which is 6m-this addition surface with a bald head 8Π and the diameter plus the emission point into the research 0. Click the point such as the shot emission, shot work. In the case of a large direct shot, the focus is the focus. If the laser is opposite to the laser plus, it is greatly enhanced. If the person who is close to Lei Lei is close to the person who is close to the person, the inner part of the suit of the nearby light is moved away from the place where the place is placed. , M light-range lightening position, the light in the middle of the light is lower than the hair, so that the distribution of dimming 8n hair-type point-concentration machine in the first case. Μ Introduce, learn the path set machine to set the focus on the record and make the H aH standard b. The workman's equipment will be straightforward. If the installation is reversed, add 6. Add the data. 6B add the data. Add the whole surface, because according to the light transmission 0. Yu Yiwu 0. Yu Yifa change light light »according to the table. According to the setting of the thunder as the quality, when the quality is set, the distance between the thunderbolt and the distance of the thunder is set. The internal mirror is set to KK, and the direct workman M with the flute-shaped mirror is set, I ------ f --- ^ — Install ------ Order --- J ---- line (please read the precautions on the back before filling this page) This paper standard uses Chinese National Standard (CNS) Λ4 specification (2 丨 0 × 297 Mm) 4 3978 3 42532 2 A7 B7 Printed by the Consumers' Cooperative of the Central Standards Bureau of the Ministry of Lithology 5. Description of the invention (5) i I Curvature of optical accessories M Adjusting the laser light diameter Transmissive laser light diameter adjustment 1 I The whole device * Μ instead of the above-mentioned reflective laser light diameter adjustment device 0 1 Even if the reflective laser light diameter adjustment device with the same function is used, it can still obtain the same without reading back 1 1 I Effect 〇1 1 J BL side briefly explains the precautions 1 Figure 1 shows the essence of the present invention Example 1 The oblique view of the laser plus X m 1 J t 0 The second circle indicates the deviation of the focal position from the surface of the object to be processed. This page is shown in the following. ○ The third circle indicates that Μ m can be softened. m The good cut-off quality of the material plus 1 1 IX. The relationship between the range and the focal position offset. Figure 4 shows the processing conditions that can obtain the good cut-off quality of the stainless steel net with M 1 1 I. 1 1 Order 1 The amount of displacement is shown in Figure 0. Figure 5 shows the circle from the laser transmitter to the optical path with X head. 0 The 6th ΓΕΠ group shows the processing head to the reflective laser light diameter adjuster 1 1 Relation diagram of the focus position offset 0 # 7 {BI circle indicates the laser light diameter 1 The flow of the adjustment process plaque 0 8th circle indicates the general structure of the laser plus I lineman m in the second embodiment of the present invention. FIG. 9 Outline of laser processing support 1 1 into a squint 0 Fig. 10 shows the adjustment of the reflective laser light diameter shown in Fig. 9 1 The perspective view of the structure 0 1 最 The best companion form of the invention 1 I To explain the present invention in more detail, a description will be given with reference to the drawings. IBt shows a perspective view of the laser processing machine according to the first embodiment of the present invention. The laser processing unit 100 includes rails 1 provided on both sides of the workpiece W, and a moving frame 2 that moves on the 1 I rail 1. The mobile frame 2 on both sides of the horizontal frame is provided with a horizontal frame 3 of 1 1 and a horizontal frame 4 that moves along the horizontal frame 3 > Mounted on 1 1 This paper size is applicable to the Chinese Standard (CNS) Λ4 specification (210X297) ^) 5 39783 425322 B7 Printed by the Consumer Cooperative of the Central Bureau of Standards of the Ministry of Economic Affairs. 5. Description of the invention (6) 1 I Processing head of the horizontal carriage 4 5. Collecting lens 6 inside the processing head 5 \ 1 r I is connected to laser path 7 of processing head 5 and is installed in laser path 7 Most 1 I elbow, reflection type V installed on the cross frame 3 on the way of the laser path 7 Please 1 1 laser light diameter adjuster 9, elbow mirror 10 installed on the laser path 7 into P > read first 1 1 Laser emitter 11, which emits laser light R, and the position of the processing head 5 are determined by t1. Reflective laser light diameter adjuster 9 and laser emission precautions are controlled at the same time. 1 1 Device 11 Control device 12 and the like. The focusing lens 6 uses a focal distance of 7, and the term 1 1 is equipped with I 5 i η. 0 • The reflective laser light diameter adjuster 9 is the same as the same embodiment shown on the page in the X example. (See (Figure 10) 〇 [1 I The less the deviation of the focal position from the surface of the workpiece W, the better the quality. Fig. 2 is an explanatory diagram showing the shift of the focal point position 1 1 order 1 F relative to the surface S of the processed object. The laser light R incident into the processing head 5 is collected by the light collecting lens 6. When the focal position F of the laser light R coincides with the surface S of the object to be processed> 1 1 The offset 1Δ Z becomes 0 〇l · l The third The figure shows the relationship between the processing line condition range and the focal position cadmium shift amount that can obtain the good cut-off quality of the soft steel section. Focus position F offset 1 I amount »For example, △ Z = 〇mm, Δ Z = 0,3 am Δ 2 = 0.6 m. 0 Processing 1 conditions include cutting speed (mm / ain) and laser The output (V) is SS400 with a plate thickness of 19 mm η for f 1. Furthermore * The flux gas uses oxygen 0 at each offset 1 1 and the displacement I is obtained experimentally to obtain a cut surface roughness of 100 W m 0M > scum (d Γ 0 SS 1) height 0.5 B m The processing conditions under K van tmt. As a result, it can be seen that the focus position 1 has the smallest shift of IF and the wider the range of processing conditions!! 1 Figure 4 shows that the good cut quality of the stainless steel net can be obtained. Relation diagram. The horizontal axis indicates the rib welding gas (1 1 This paper size is applicable to the Chinese standard of house standard (CNS) Λ4 specification (210X297 mm) 6 3 9783 Printed by the Ministry of Standards and Technology ’s Consumer Cooperatives of the Ministry of Standards 425322 A7 B7 V. Description of the invention (7) assist gas) pressure. The vertical axis indicates the degree of dross. The offset of the focal position * For example, ΔZimn, ΑZ = 0.3ββ ΔZυιιΐΒ, ΔZ = 0.7 ». To-be-processed object V is SUS304 with a thickness of 12 mm. The flux gas uses nitrogen. The results of experiments under these conditions indicate that when the shift amount of the focal position F is 0.6 · β or less, the scumming degree is within 0.2 ββM. From this, it can be seen that when the offset of the focal position F is 0.6 mmK *, a good cut-off quality can be obtained. It is clear from the foregoing results that the cutoff quality can be improved when the shift amount of the focus position F is 0.6 mBK, which is ideal. FIG. 5 is an explanatory diagram showing an optical path from the laser emitter 11 to the processing head 5. A reflective laser light diameter adjuster 9 is provided near the processing head 5. The total value of the optical paths a, b, and c is the optical path length from the reflective laser light diameter adjuster 9 to the processing head 5. Fig. 6 is a diagram showing the distance from the processing head to the reflective laser light diameter adjuster and the shift amount of the focal position. The position of the reflective laser light diameter adjuster 9 · The position of the M processing head 5 is changed as a reference * K test focus The offset of the position F. A laser processing machine with a PR mirror curvature of 10a at the exit of the laser transmitter 11 was used for the experiment. The laser light diameter is 20mm, 30mm, 40 · ι. The results show that the laser light diameter is 40mm, the distance from the reflective laser light diameter adjuster 9 to the processing head 5 is 8 mM, and the offset of the focal position F is about 0.6 bb. When the laser light diameter is 20μββ, 30bb, the deviation of the focal position is within 0.6M. It can be seen from this that to obtain a good cut-off quality, the distance from the reflective laser light diameter adjuster 9 to the processing head 5 must be at least 8 μm. Please fill in this page again for the matters) Packing-,-* The size of the paper on the J line is applicable to the Chinese National Standard (CNS) / \ 4 grid (210 X 297 mm) 7 3978 3 4253 2 2 A7 B7 Shellfish Consumer Cooperative
五、發明説明（ 8 ) 1 近 加 工 頭5之附近。 1 I 再 者 t 實 驗 结 果 證 實 » 由 反 射 型 雷 射 光 直 徑 調 整 器 9 1 至 加 工 5 之 距 離 為 8 η Μ 内 時 ， 由 最 大 板厚3 0 n m 之 软 網 材 請 先 閱 讀 1 1 I 料 最 大 板 厚 181DB之不锈網材料 最 大 板 厚 16mm之紹材料 ) 1 I 可 獲 得 良 好 之 截 斷 品 質 〇 背 面 之 1 1 1 由 以 上 之 结 果 * 本 發 明 之 雷 射 加 工 機 100由加工頭5至 注 意 事 1 1 J 1 反 射 型 雷 射 光 直 徑 調 整 器 9 之 距 離設定於8ιΜ 内 0 具 體 而 項 再 可 將 反 射 型 雷 射 光 直 徑調整器9設置在横行框架3上而定 本 頁 裝 I 位 在 加 工 頭 5之附近。 然而雷射加工機100之設計 不 一 定 1 1 I 為 8 η 內 為 最 適 當 0 因 此 宜 >λ 焦 點 位 置 F 之 偏 移 量 成 為 1 ί | 0 . 6β m Μ 内 之 方 式 設 定 該 距 雄 0 如 此 即 可 獲 得 良 好 之 加 1 1 工 品 質 〇 訂 1 再 者 Η 限 制 由 加 X 頭 5 至 反 射 型 雷 射 光 直 徑 調 整 器 I 9之距離為前提 必須由反射型雷射光直徑調整器9施行雷 } 1 射 光 直 徑 之 調 整 0 第 7 圖 表 示 雷 射 光 直 徑 調 整 過 程 之 流 程 1 線 圓 0 在步琢S701 將 欲 加 工 之 材 質 或 板 厚 之 情 報 由 外 部 输 1 | 入 0 在步嫌S702 依 據 所 输 入 之 材 質 或 板 厚 由 控 制 裝 置 12 1 ! 之 資 料 庫 (d a t a b a s e ) 選 擇 最 適 宜 之 光 束 直 徑 之 情 報 0 再 1 者 亦 可 Η 演 算 光 束 直 徑 0 在 步驟S703 依 據 最 適 宜 光 束 1 1 直 徑 之 情 報 t 演 算 反 射 型 雷 射 光 直 徑調潛裝置 9 之 曲 率 0 在步驟S704， 反 射 型 雷 射 光 直 徑 調 整 器 9 之 反 射 面92麥更 1 I 為 所 演 算 之 曲 率 0 1 光 束 直 徑 成 為 最 遘 值 後 施 行 被 加 工 物 V 之 加 X 〇 首 1 先 選 擇 穿 孔 (pie Γ C i η g)條件 » 依 據 該 條 件 施 行 穿 孔 0 其 次 1 I 本紙張尺度適用中國國家標卒（CNS ) ΛΊ说格（210 X 297公釐） 3 9 7 8 3 A7 425322 B7 五、發明説明（9 ) ，選擇截斷條件。然而，選擇最適光束直徑時，不論截斷 操作由脈衝（pulse)腌行或由CV施行，分別使用適合之光 束直徑_。最適直徑由控制裝置12回授控制。雷射加工機 100依據該截斷條件開始進行被加工物V之截斷。再者，亦 可K於穿孔時選擇適合於穿孔之光束直徑*截斷時則選擇 適合於截斷之光束直徑。 第8圖表示本發明實施例2之雷射加工機之光路說明圖 。本實施例2之雷射加工機200，Μ使用透過型電射光直徑 調整器201替代反射型雷射光直徑調整器為特激。其他構 成與實施例1之雷射加工櫬100大略相同。對於同一元件 附予同一符號。經由光路中設置透過型雷射光直徑調整器 201*使光束大略平行。此種情況下•由加工頭5至透過型 雷射光直徑調整器201之距雛（圖中，光路d〜光路f之合計 值）設定於8·以內。具體而言，係將反射型雷射光直徑調 整器201設置於横行框架3上。並定位在加工頭5之附近（未 -------裝------訂 ------— 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) Μ 定 1 不 並 計 設 之 ο ο 2 櫬 Η 加 射 雷 據 依 而 然 0 示 困 於 制 限 最 移 偏 之 F 置 位 點 焦 Μ 宜 此 因 ο 當 璁 為 方 内Μ 經濟部中央標隼扃貝工消费合作社印製 作 動 之 ο ο 2 櫬 Η 加 射 雷 該 〇 雄 距 該 定 設 式 方 之 内 機 Η 加 射 雷 之 1Χ 例 施 實 述 前 於 同 如 ο 明 說 其 略 省 此 因 雷 型 射 反 將 槺 〜 Η 加 射 雷 〇 之 質明 品發 Η 本 加據 之依 好， 良 明 得說 獲述 可前 即如 此 置 於 位 對 點 相 焦 。置 ， 質 位 此品點 因斷焦 0 截 由 近升， 附提機 之而工 頭少加 Η 減射 加移雷 於偏之 置置明 設位發 置之本 裝面據 整表依 調物， 徑工次 直加其 光被 射與 本纸張尺度適用中國國家標準{ CNS ) Λ4規格（210 X 297公釐} 9 397 8 3 4253 2 2 at B7五、發明説明（1〇 ) 反提 將可 , 此 度如 程 〇 之近 内附 限之 極頭 許工 容加 工於 加置 於配 制置 限裝 移整 偏調 置徑 位直 之光 物射 工雷 加 '型 被射 於 對 相 置 位 點 焦 由 機 Η 加 射 雷 之 明 發 本 據 。 依 質 ’ LK 次 斷其 截 升 雷升 型提 射 Μ 反可 將 ， - 此 式如 方。 之近 下附 以之 Β 頭 6ΒΗ 0.加 為於 成置 移配 偏 置 置裝 位整 之調 物徑 Η 直 加光 被射 整 光 射 雷 型 射 反 櫬 Η 加 射 雷 之 明 發 本 據 依 ο » 質次 品 其 斷 截 加 被 與 置 位 〇 點佳 焦變 於質 由品 。 斷 處截 之果 内結 > 8·少 頭減 工移 加傾 離置 距位 於之 置面 設表 置物 裝工 機徑 樣直 同光 有射 具雷。 用型升 使射提 - 反 質 置代品 裝替斷 工來截 加置使 射裝 Μ 雷整可 之調樣 明徑同 發直述 本光前 據射與 依雷 ， , 型時 次過置 其透裝 之整 能調5. Description of the invention (8) 1 Near the processing head 5. 1 I and t experimental results confirm »When the distance from the reflective laser light diameter adjuster 9 1 to the processing 5 is within 8 η Μ, from a soft mesh with a maximum plate thickness of 30 nm, please read 1 1 I Stainless steel material with a plate thickness of 181DB. A material with a maximum plate thickness of 16mm) 1 I Good cut-off quality can be obtained. 1 On the back 1 1 1 From the above results * The laser processing machine 100 of the present invention has a processing head from 5 to attention. 1 1 J 1 The distance of the reflective laser light diameter adjuster 9 is set to within 8 μM. For specific items, the reflective laser light diameter adjuster 9 can be set on the horizontal frame 3 and this page is mounted on the processing head 5 Nearby. However, the design of the laser processing machine 100 is not necessarily 1 1 I is the most appropriate value within 8 η, so it is appropriate that the latitude of the focus position F becomes 1 ί | 0.6 β m Μ is set to 0 In this way, a good plus 1 1 work quality can be obtained. Order 1 further Η Limitation of the distance from the X head 5 to the reflective laser light diameter adjuster I 9 must be performed by the reflective laser light diameter adjuster 9} 1 Adjusting the diameter of the light beam 0 Figure 7 shows the flow of the process of adjusting the diameter of the laser beam 1 Line circle 0 In step S701 Enter the information of the material or thickness to be processed from the outside 1 | Enter 0 In step S702 according to the input The material or plate thickness is selected from the database of the control device 12 1! The information of the optimal beam diameter is selected. 0 or 1 can also be calculated. Calculate the beam diameter 0. In step S703, calculate the reflection based on the information of the optimal beam 1 1 diameter. Laser Curvature 0 of the light diameter submersible adjusting device 9 In step S704, the reflective surface 92 of the reflective laser light diameter adjuster 9 is Mai 1 1 is the calculated curvature 0 1 and the workpiece V is added after the beam diameter becomes the maximum value. X 〇First 1 Select perforation (pie Γ C i η g) condition »Perforation according to this condition 0 Second 1 I This paper size is applicable to Chinese National Standard Soldier (CNS) ΛΊ said grid (210 X 297 mm) 3 9 7 8 3 A7 425322 B7 5. Description of the invention (9), select truncation conditions. However, when selecting the optimum beam diameter, whether the truncation operation is performed by pulse or CV, use the appropriate beam diameter_. The optimum diameter is feedback-controlled by the control device 12. The laser processing machine 100 starts the cutting of the workpiece V in accordance with the cutting conditions. In addition, you can also choose the beam diameter suitable for perforation during perforation * when cutting, select the beam diameter suitable for truncation. Fig. 8 is a diagram illustrating the optical path of the laser processing machine according to the second embodiment of the present invention. In the laser processing machine 200 of the second embodiment, the transmission type electro-optical light diameter adjuster 201 is used instead of the reflective type laser light diameter adjuster as a special laser. The other configurations are substantially the same as those of the laser processed 榇 100 of the first embodiment. The same symbols are assigned to the same components. The transmission laser light diameter adjuster 201 * is provided in the optical path to make the light beams approximately parallel. In this case, the distance from the processing head 5 to the transmission type laser light diameter adjuster 201 (the total value of the optical path d to optical path f in the figure) is set to within 8 ·. Specifically, the reflection type laser light diameter adjuster 201 is provided on the horizontal frame 3. And positioned near the processing head 5 (not ------- installed ------ ordered -------) line (please read the precautions on the back before filling this page) Ｍ 定 1 not Ο ο 2 榇 Η Adding the laser data according to 0 indicates that it is trapped in the limit of the most deviating F position. Focus Μ should be due to ο when 璁 is within the square Μ Central Ministry of Economics 隼 扃 shellfish consumption Cooperative cooperative printing activities ο ο 2 榇 Η Adding lasers to the 〇 male from the set-up side of the machine Η Adding lasers to the 1 × Example The implementation is described in the same way as before ο It is stated that it will be omitted because of the laser type. ~ Η The quality of the product of the addition of the laser ray Η The basis of this proof is good, and Liang Ming said that it can be placed in the phase-to-point phase focus as described before. Set, the quality point is close to 0 because of the broken focus. Up, the foreman is attached with a lifter, and the foreman adds less. The shooting is reduced and the mine is shifted. The installation surface is set according to the entire table, and the light is shot to the paper size. Applicable to Chinese national standard {CNS) Λ4 specification (210 X 297 mm) 9 397 8 3 4253 2 2 at B7 Note (1〇) The reverse pick-up will be possible, and the degree is as close as the limit of Cheng 0. Xu Gongrong is processed in the preparation limiter, and the adjustment is set to the offset position. Shooting at the opposite position focal point is made by the machine Η plus the light of the lightning. According to the quality of LK, the intercepted lightning lift type lift M can be reversed,-this formula is as square. Β 头 6ΒΗ 0. Adding to the adjustment of the adjustment of the offset diameter of the device Η Straight addition of light is irradiated by the whole light laser type laser reflection Defective cut-off and addition are set to 0 points, and the focal point is changed to quality. The cut-off result is internally formed.> 8 · Small head reduction of work and tilting. The diameter of the machine is the same as that of the light with a laser. Use the lift to make the lift-the anti-substitute replacement equipment to cut off the addition of the adjustment to make the laser Μ ray can be adjusted. According to the shooting and Yi Lei,, the type can be adjusted for the time
团 筋 用 利之 t 業 T 時佳 物愈 Η 果 加效 被時 斷型 截大 - 愈 機其 工尤 加 * 射用 雷有 之為 明掻 發升 本提 據之 依質 • 品 述斷 所截 前於 如對 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} .裝. 訂 -線 經漪部中央榡芈局貝工消费合作社印«. 本紙沭尺度適用中圉國家橾率（（:NS ) Λ4規格（210Χ297公釐） 10 397 83The benefits of stubby t and industry T are better when the product is better. The effect is cut off by the time-cutting type-the more the machine works, the better it is. Formerly, please read {Please read the notes on the back before filling this page}. Binding. Order-Printed by the Central Bureau of Jingjingyi Department of Shellfisher Consumer Cooperatives «. This paper's standard is applicable to China's national rate ((: NS ) Λ4 size (210 × 297 mm) 10 397 83