JP3068430B2 - 固体電解コンデンサ及びその製造方法 - Google Patents
固体電解コンデンサ及びその製造方法Info
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Description
その製造方法に関し、特に、固体電解質として導電性高
分子化合物を用いた固体電解コンデンサであって、高温
下における漏れ電流増大のない固体電解コンデンサ及び
その製造方法に関する。
タル化に伴なって、コンデンサの分野においても小型、
大容量で、高周波領域でのインピーダンスが低いコンデ
ンサが強く要求されている。
従来、マイカコンデンサ、積層セラミックコンデンサが
あるが、これらのコンデンサは小容量のときはともか
く、大容量化しようとすると形状が大きくなるので、機
器の小型化に適してはいない。一方、大容量のコンデン
サとしてはアルミニウム電解コンデンサやタンタル固体
電解コンデンサなどの、電解コンデンサがある。しかし
これらの電解コンデンサは用いられている電解質(アル
ミニウム電解コンデンサでは電解液、タンタル電解コン
デンサでは二酸化マンガン)の抵抗が高いことから、高
周波領域でのインピーダンスが十分に低いコンデンサを
得ることが困難である。
7′,8,8′ーテトラシアノキノジメタン錯塩(TC
NQ塩)を電解質に用いることにより、高周波領域での
インピーダンスを低下せしめたコンデンサが開発され
た。このような固体電解コンデンサは、例えば、特開昭
52ー79255号公報に開示されている。
も更に抵抗が低い導電性高分子化合物を固体電解質とし
て用いることにより、高周波領域でのインピーダンスを
十分に低下せしめた固体電解コンデンサが開発された。
このような固体電解コンデンサが、例えば特公平4ー5
6445号公報に開示されている。この導電性高分子化
合物を用いた固体電解コンデンサは、固体電解質の抵抗
が低いという大きな特徴を持つことから、他の特性を改
善し向上させてその有用性を更に高めるベく、様々な改
良が加えられている。
は、誘電体としての酸化皮膜と固体電解質としての導電
性高分子化合物層との間に界面活性剤を介在させて、導
電性高分子化合物層形成時における酸化皮膜表面の濡れ
性を向上させて、静電容量の減少や耐電圧低下を防ぎ、
又、tanδを改善した固体電解コンデンサが開示され
ている。
4ー73924号公報には、同じく誘電体酸化皮膜と導
電性高分子化合物層との間に、シランカップリング剤、
チタンカップリング剤あるいはアルミニウムカップリン
グ剤を介在せしめた固体電解コンデンサが開示されてい
る。このコンデンサでは、上記カップリング剤が酸化皮
膜と導電性高分子化合物層との間の密着力を向上させる
作用を持つことを利用して、高温下における静電容量の
低下および損失特性の劣化を防いでいる。
少させることを目的とした技術開発も、精力的に行われ
ている。例えば、特開平2ー219211号公報には、
酸化皮膜上に二酸化マンガンを形成しその上に導電性高
分子化合物層を形成した後、再化成を行うことにより、
漏れ電流を減少させた固体電解コンデンサが開示されて
いる。又、酸化皮膜形成のための化成を硫酸溶液中とい
う限定された条件下で行うことにより、漏れ電流を改善
する技術が特開平3ー285321号公報に記載されて
いる。
電解質として導電性高分子化合物を用いた固体電解コン
デンサにおいては、コンデンサとしての電気特性改善の
ために、いろいろな技術開発が試みられている。漏れ電
流の改善もその一つである。
電性高分子化合物を用いた固体電解コンデンサではこれ
を高温下においた場合、あるいは高温に曝した後直後に
は、漏れ電流が増大するということを見出した。これに
対し、これまで述べた従来の漏れ電流減少のための技術
はいずれも、常温における漏れ電流の改善を目的とする
ものであって、高温における漏れ電流増大に着目しこれ
を防止するための技術はこれまで知られていない。
体電解質として用いる固体電解コンデンサであって、こ
れを高温に曝したときの漏れ電流の増大のない固体電解
コンデンサを提供することを目的とするものである。
下での漏れ電流特性に優れた固体電解コンデンサを製造
する方法を提供することである。
ンサは、陽極側電極としての弁作用金属体と、前記弁作
用金属体の表面を酸化して得た誘電体酸化皮膜と、電子
供与基を有する有機化合物(但し、アニオン界面活性
剤、シランカップリング剤、アルミニウムカップリング
剤及びチタンカップリング剤を除く)からなり、前記酸
化皮膜の全面を覆う電子供与性有機化合物の層と、固体
電解質層として前記電子供与性有機化合物層の全面を覆
う導電性高分子化合物層とを少なくとも含むことを特徴
とするコンデンサである。
は、電子供与性有機化合物層形成工程で、前記酸化皮膜
形成された後の弁作用金属体を、電子供与性有機化合物
の蒸気に暴露することにより、前記電子供与性有機化合
物層を形成することを特徴とする製造方法である。この
場合は、電子供与性有機化合物としては、電子供与性を
示すものであればどのようなものでもよく、アニオン界
面活性剤の蒸気、シランカップリング剤の蒸気、チタン
カップリング剤の蒸気及びアルミニウムカップリング剤
の蒸気を含んでも良い。
又、前記電子供与性有機化合物層形成工程で、前記酸化
皮膜形成後の弁作用金属体を電子供与性有機化合物の蒸
気に暴露するのに替えて、電子供与性有機化合物の溶液
に浸漬することを特徴とする固体電解コンデンサの製造
方法である。但し、その場合、電子供与性有機化合物の
溶液としてアニオン界面活性剤の溶液、シランカップリ
ング剤の中性水溶液、チタンカップリング剤の水溶液及
びアルミニウムカップリング剤の水溶液などを除き、シ
ランカップリング剤のアルコール溶液又は酸性水溶液、
チタンカップリング剤のアルコール溶液及びアルミニウ
ムカップリング剤のアルコール溶液のいずれかの溶液を
用いる。
電極としての弁作用金属体と、前記弁作用金属体の表面
を酸化して得た誘電体酸化皮膜と、固体電解質層として
前記酸化皮膜をその一部分が露出するようにして覆う導
電性高分子化合物層と、電子供与基を有する有機化合物
からなり、前記酸化皮膜の露出部分を覆う電子供与性有
機化合物の層とを少なくとも含むことを特徴とする。こ
の固体電解コンデンサにおいて電子供与性有機化合物
は、電子供与性を示すものであればどのようなものでも
よく、アニオン界面活性剤、シランカップリング剤加水
分解物、チタンカップリング剤加水分解物及びアルミニ
ウムカップリング剤加水分解物を含んでも良い。
方法は、前記酸化皮膜を形成する工程と、前記酸化皮膜
上にその一部分が露出するようにして前記導電性高分子
化合物層を形成する工程とを含む固体電解コンデンサの
製造方法において、前記電子供与性有機化合物層形成工
程では、前記導電性高分子化合物層が形成された後の弁
作用金属体を電子供与性有機化合物の蒸気に暴露するこ
とにより、前記電子供与性有機化合物層を形成すること
を特徴とする。
は又、前記導電性高分子化合物層形成後の弁作用金属体
を前記電子供与性有機化合物の蒸気に暴露するのに替え
て、電子供与性有機化合物の溶液に浸漬することを特徴
とする。但しこの場合は、シランカップリング剤の中性
水溶液、チタンカップリング剤の水溶液及びアルミニウ
ムカップリング剤の水溶液を除く。
は、これまでの固体電解コンデンサの製造方法におい
て、酸化皮膜形成済み又は導電性高分子化合物層形成済
みの弁作用金属体を電子供与性有機化合物の溶液に浸漬
する場合、前記電子供与性有機化合物の溶液として、シ
ランカップリング剤、アルミニウムカップリング剤或い
はチタンカップリング剤の溶液を用いるとき、それらい
ずれかのカップリング剤のアルコール溶液を用いること
を特徴とする。
とき、その溶液として酸性水溶液を用いることを特徴と
する。
ある固体電解コンデンサに適用したとき、特に効果が顕
著である。
下記の式で表されるように、三つの電流からなる。
漏れ電流といわれるものである。式において、右辺第
1項の充電電流IA は、固体電解コンデンサに電圧を印
加したときに流れる電流であって、瞬時的に減衰する電
流成分である。第2項の吸収電流IB とは、比較的緩慢
な電気分極等に基づく電流成分であり、時間の−n乗に
比例する。つまり、IB =kt-n(但し、kは比例係
数、tは時間)である。又、第3項の真の漏れ電流IC
とは、誘電体酸化皮膜を突き抜けて流れる定常的な電流
成分であり、時間依存性を示さない。
ンデンサにおいて、誘電体酸化皮膜と導電性高分子化合
物層とが直接接触するという従来よく知られている構造
の場合、コンデンサとしての漏れ電流がそれ以前の二酸
化マンガンを固体電解質とするコンデンサに比べて大き
いという問題は、上述の吸収電流IB が大きいからであ
る。その原因は、導電性高分子化合物が酸化皮膜から電
子を引き抜くことにより酸化皮膜に電子が不足する領域
が生じ、その結果、固体電解コンデンサに正バイアス電
圧を掛けたとき、注入電子に対する電位障壁が導電性高
分子化合物層形成前に比べて低い状態にあるためであ
る、と言われている。
電解質とするコンデンサにおいて漏れ電流の大きさは、
導電性高分子化合物層が形成されたことにより低下した
電位障壁を元のレベルにまで回復させる度合によって変
化する電流成分の影響を、強く受ける。この電流成分
が、上述の吸収電流IB である。つまり、導電性高分子
化合物を固体電解質とするコンデンサでは、漏れ電流I
は吸収電流IB に依存する。
回復させるものは、酸化皮膜表面に吸着した水である。
つまり、酸化皮膜上に水が吸着している状態で固体電解
コンデンサに正バイアス電圧を掛けると、吸着水は瞬時
に水素イオンと水酸化物イオンに解離する。解離した水
酸化物イオンは、注入電子に対して電位障壁として作用
するので、結果的に、電位障壁が水酸化物イオンの存在
量の分だけ回復することになる。従って、低下した電位
障壁の回復レベルは酸化皮膜上に吸着する水酸化物イオ
ンの存在量、換言すれば水の量に依存することになる。
このことから、導電性高分子化合物を固体電解質とする
コンデンサにおいては、脱離によって水の存在量が著し
く減少する高温下では電位障壁の回復が十分でないの
で、漏れ電流が大きくなるという問題が生じる。特に、
弁作用金属がタンタルであるタンタル固体電解コンデン
サでは、タンタルの酸化皮膜(Ta2 O5 )が化学的に
安定なことから、アルミニウムの酸化皮膜(Al2O3 )
で生じるような水酸基との化学的結合が起らず高温下で
の漏れ電流増加現象が顕在化しやすい。
いもので且つ、水酸化物イオンのように注入電子に対し
て電位障壁を形成するようなものを酸化皮膜上に存在せ
しめることにより、上記高温下における漏れ電流増大の
問題を解決できると考えた。この考えに基づいて見出し
たものが電子供与基を有する有機化合物(電子供与性有
機化合物)である。
ボキシル基、スルホ基およびフェノキシル基のうちの少
なくとも一つを有する有機化合物が適していることが判
明した。カルボキシル基を有する有機化合物としては、
脂肪酸、芳香族カルボン酸等がある。カルボキシル基あ
るいはスルホ基を有する有機化合物としては、アニオン
界面活性剤等がある。フェノキシル基を有する有機化合
物としては、フェノール及びその誘導体がある。
カップリング剤の加水分解物、チタンカップリング剤の
加水分解物およびアルミニウムカップリング剤の加水分
解物も有効であることを確認した。
共通していることは、いずれも、電子供与基として酸素
原子を含む基をもっていることである。電子供与基はそ
の酸素原子の電子対を、例えば酸化タンタル皮膜中のタ
ンタル原子のような、弁作用金属原子と共有して共有結
合を形成することにより、酸化タンタルに電子を供給し
てその電位障壁を回復させると共に、酸化皮膜上に電子
供与性有機化合物を安定に存在せしめるものと考えられ
る。
を、示す。 (a)脂肪酸 ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、カプロン
酸、カプリン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチ
ン酸、ステアリン酸、オレイン酸、ベヘニン酸 (b)芳香族カルボン酸 安息香酸、シュウ酸、アクリル酸、トルイル酸、フタル
酸 (c)アニオン界面活性剤(カルボン酸塩) ラウリン酸ナトリウム、ポロピオン酸ナトリウム (d)アニオン界面活性剤(スルホン酸塩) イソプロピルナフタレンスルホン酸ナトリウム、ブチル
ナフタレンスルホン酸ナトリウム (e)フェノール及びその誘導体 フェノール、pーフェノールスルホン酸 (f)シランカップリング剤 γーグリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γーグ
リシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、γーグリ
シドキシプロピルトリエトキシシラン、γーメタクリロ
キシプロピルメチルジメトキシシラン、γーメタクリロ
キシプロピルトリメトキシシラン、γーメタクリロキシ
プロピルメチルジエトキシシラン、γーメタクリロキシ
プロピルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(βメト
キシエトキシ)シラン、βー(3,4エポキシシクロヘ
キシル)エチルトリメトキシシラン、γーメルカプトプ
ロピルトリメトキシシラン (g)チタンカップリング剤 イソプロピルトリイソステアロイルチタネート、イソプ
ロピルトリデシルベンゼンスルホニルチタネート、イソ
プロピルトリス(ジオクチルピロホスフェート)チタネ
ート、テトライソプロピルビス(ジオクチルホスファイ
ト)チタネート、テトラオクチルビス(ジトリデシルホ
スファイト)チタネート、テトラ(2,2ージアリルオ
キシメチルー1ーブチル)ビス(ジートリデシル)ホス
ファイトチタネート、ビス(ジオクチルパイロホスフェ
ート)オキシアセテートチタネート、ビス(ジオクチル
パイロホスフェート)エチレンチタネート、イソプロピ
ルトリオクタノイルチタネート、イソプロピルジメタク
リルイソステアロイルチタネート、イソプロピルイソス
テアロイルジアクリルチタネート、イソプロピルトリ
(ジオクチルホスフェート)チタネート、イソプロピル
トリクミルフェニルチタネート (h)アルミニウムカップリング剤 アセトアルコキシアルミニウムジイソプロピレート 上記の電子供与性有機化合物のうちアニオン界面活性剤
は、導電性高分子化合物層形成時における誘電体酸化皮
膜表面の濡れ性を向上させて、静電容量の減少や耐電圧
低下を防ぎ、又、tanδを改善させるためのものとし
て、前述の特開平3ー64013号公報に開示されたも
のである。又、シランカップリング剤、チタンカップリ
ング剤およびアルミニウムカップリング剤は、それらが
酸化皮膜と導電性高分子化合物層との間の密着力を向上
させる作用を持つことを利用して、高温下における静電
容量低下および損失特性劣化を防ぐためのものとして、
特開平2ー74021号公報あるいは特開平4ー739
24号公報に開示されたものである。これらアニオン界
面活性剤や各カップリング剤はいずれも、高温化におけ
るコンデンサの漏れ電流増大防止を直接の目的とするも
のではないが、電子供与性をも有し、本発明が目的とす
る、高温下でのコンデンサの漏れ電流増大防止に有効で
ある。
イヤー或いは数レイヤー程度の厚さで十分である。厚す
ぎる場合はむしろ、等価直列抵抗の増加あるいは静電容
量の減少というような、好ましくない副作用が生じる。
従って、電子供与性有機化合物の薄い層を再現性良く均
一に形成することが重要である。そのような方法とし
て、酸化皮膜形成済みの陽極体を、電子供与性有機化合
物の蒸気に曝す方法が有効である。
す方法も効果的である。但し、その場合、各カップリン
グ剤は、これを水溶液の状態でよりもアルコール溶液の
状態で用いる方が、誘電体酸化皮膜上に薄く均一な層を
形成しやすい。カップリング剤の水溶液は酸化皮膜上で
部分的な塊となり易いからである。これは、カップリン
グ剤の水に対する溶解度が小さいことによる。つまり、
本来酸化皮膜表面で脱水作用を起して酸化皮膜と共有結
合を形成する例えばシラノール基が、溶媒である水によ
って縮合してしまう。その結果、酸化皮膜と結合できな
くなりカップリング剤どうしで結合して水玉状の塊とな
ってしまい、酸化皮膜上に安定に存在できなくなると共
に酸化皮膜に対する電子供与性を失うからであると考え
られる。従って、カップリング剤の溶液としては、これ
に対する溶解度の大きいアルコールで希釈することが、
薄い均一層の形成に有効である。
リング剤に限って、酸性の水溶液を用いても薄く均一な
層を形成できる。これは、シラノール基が「中性」の水
に対しては不安定で縮合して塊を作るのに対し、「酸
性」の水溶液では安定に存在し得て塊を作らないからで
ある。尚、その場合、酸性の水溶液として電子供与基を
有する有機化合物、例えば、脂肪酸の一つとして例示し
た酢酸を用いると、カップリング剤加水分解物の電子供
与性と酢酸の電子供与性とが重畳されるので、高温下で
の漏れ電流増大防止効果はより大きい。
いて、従来の技術による固体電解コンデンサと比較し
て、説明する。
mm、横3.0mm、厚さ1.5mmの直方体のタンタ
ル微粉末の焼結体を作製した。これをリン酸水溶液中で
90Vで陽極酸化して、タンタル微粉末表面が酸化皮膜
2で被覆されたペレットを得た。
トを2重量%ラウリン酸のアルコール溶液中に10分間
浸漬し、室温で30分間、自然乾燥を行った。このよう
にして、電子供与基性有機化合物すなわち脂肪酸の一つ
であるラウリン酸の層3を、酸化皮膜上2の全面に形成
した。
子化合物層4と陰極側導体層5とを順次形成した。すな
わち、ラウリン酸層3形成済みのペレットを、ピロール
2mol/リットルを含むエタノール溶液に10分間浸
漬した後、過硫酸アンモニウム0.5mol/リット
ル、βーナフタレンスルホン酸、αーナフチル燐酸0.
05mol/リットルを含む水溶液に浸漬した。このよ
うにして化学重合法でポリピロール層を形成したペレッ
トを、ピロール2mol/リットル、βーナフタレンス
ルホン酸、αーナフチル燐酸0.05mol/リットル
を含むアセトニトリル溶液で1mAの電流を5時間通電
して、電解重合法によるポリピロール層を化学重合法に
よるポリピロール層の上に形成した。その後、グラファ
イト及び銀ペーストを用いて導体層5を形成し、外部電
極6を取り出し、外装樹脂7で外装して、図1に示す構
造をもつ実施例1の固体電解コンデンサを完成させた。
このコンデンサでは、図1中の模式的拡大図に示すよう
に、誘電体酸化皮膜2の全面にラウリン酸の層3が形成
され、更にそのラウリン酸の層3の全面に、ポリピロー
ルの層4が形成されていることになる。尚、タンタル焼
結体は本来、内部に多数の非常に微小な空孔を持つ多孔
体であって、これを微視的に見れば空孔が内部に複雑に
入り込んで表面状態は凹凸に富むものであるが、図1は
これを簡潔化して理解を容易にするために、表面を平坦
面で表してある。
体を用いて、実施例1と同様の方法で酸化皮膜2を形成
した。
液中に10分間浸漬し、室温で30分間、自然乾燥を行
った。このようにして、図1に示すように、電子供与性
有機化合物すなわち芳香族カルボン酸の一つであるフタ
ル酸の層3を、酸化皮膜2上に形成した。
す構造の実施例2の固体電解コンデンサを完成させた。
このコンデンサでは、図1中の模式的拡大図に示すよう
に、誘電体酸化皮膜2の全面にフタル酸の層3が形成さ
れ、更にそのフタル酸の層3の全面に、ポリピロールの
層4が形成されていることになる。
体を用いて、実施例1と同様の方法で酸化皮膜2を形成
した。
ルコール溶液中に10分間浸漬し、室温で30分間、自
然乾燥を行った。このようにして、図1に示すように、
電子供与性有機化合物すなわちアニオン界面活性剤(カ
ルボン酸塩)の一つであるラウリン酸ナトリウムの層3
を、酸化皮膜2上に形成した。
す構造の実施例3の固体電解コンデンサを完成させた。
このコンデンサでは、図1中の模式的拡大図に示すよう
に、誘電体酸化皮膜2の全面にラウリン酸ナトリウムの
層3が形成され、更にそのラウリン酸ナトリウムの層3
の全面に、ポリピロールの層4が形成されていることに
なる。
体を用いて、実施例1と同様の方法で酸化皮膜2を形成
した。
酸ナトリウムのアルコール溶液の中に10分間浸漬し、
室温で30分間、自然乾燥を行った。このようにして、
図1に示すように、電子供与性有機化合物すなわちアニ
オン界面活性剤(スルホン酸塩)の一つであるブチルナ
フタレンスルホン酸ナトリウムの層3を、酸化皮膜2上
に形成した。
す構造の実施例4の固体電解コンデンサを完成させた。
このコンデンサでは、図1中の模式的拡大図に示すよう
に、誘電体酸化皮膜2の全面にブチルナフタレンスルホ
ン酸ナトリウムの層3が形成され、更にそのブチルナフ
タレンスルホン酸ナトリウムの層3の全面に、ポリピロ
ールの層4が形成されていることになる。
体を用いて、実施例1と同様の方法で酸化皮膜2を形成
した。
のアルコール溶液中に10分間浸漬し、室温で30分
間、自然乾燥を行った。このようにして、図1に示すよ
うに、電子供与性有機化合物すなわちフェノール誘導体
の一つであるpーフェノールスルホン酸の層3を、酸化
皮膜2上に形成した。
す構造の実施例5の固体電解コンデンサを完成させた。
このコンデンサでは、図1中の模式的拡大図に示すよう
に、誘電体酸化皮膜2の全面にpーフェノールスルホン
酸の層3が形成され、更にそのpーフェノールスルホン
酸の層3の全面に、ポリピロールの層4が形成されてい
ることになる。
体を用いて、実施例1と同様の方法で酸化皮膜2を形成
した。
トリメトキシシランのメタノール溶液中に10分間浸漬
し、室温で24時間、自然乾燥を行った。このようにし
て、図1に示すように、電子供与性有機化合物すなわち
シランカップリング剤の加水分解物の一つであるγーグ
リシドキシプロピルトリメトキシシランの加水分解物の
層3を、酸化皮膜2上に形成した。
す構造の実施例6の固体電解コンデンサを完成させた。
このコンデンサでは、図1中の模式的拡大図に示すよう
に、誘電体酸化皮膜2の全面にγーグリシドキシプロピ
ルトリメトキシシランの加水分解物の層3が形成され、
更にそのγーグリシドキシプロピルトリメトキシシラン
の加水分解物の層3の全面に、ポリピロールの層4が形
成されていることになる。
体を用いて、実施例1と同様の方法で酸化皮膜2を形成
した。
キシシランの蒸気中に1時間曝し、室温で24時間、自
然乾燥を行った。このようにして、図1に示すように、
電子供与性有機化合物すなわちシランカップリング剤の
加水分解物の一つであるγーグリシドキシプロピルトリ
メトキシシランの加水分解物の層3を、酸化皮膜2上に
存在せしめた。
す構造の実施例7の固体電解コンデンサを完成させた。
このコンデンサでは、図1中の模式的拡大図に示すよう
に、誘電体酸化皮膜2の全面にγーグリシドキシプロピ
ルトリメトキシシランの加水分解物の層3が形成され、
更にそのγーグリシドキシプロピルトリメトキシシラン
の加水分解物の層3の全面に、ポリピロールの層4が形
成されていることになる。
体を用いて、実施例1と同様の方法で酸化皮膜2を形成
した。
プロピルトリメトキシシランのメタノール溶液中に10
分間浸漬し、室温で24時間、自然乾燥を行った。この
浸漬と乾燥の操作を2回繰り返して、図1に示すよう
に、電子供与性有機化合物すなわちシランカップリング
剤の加水分解物の一つであるγーグリシドキシプロピル
トリメトキシシランの加水分解物の層3を、酸化皮膜2
上に形成した。
す構造の実施例8の固体電解コンデンサを完成させた。
このコンデンサでは、図1中の模式的拡大図に示すよう
に、誘電体酸化皮膜2の全面にγーグリシドキシプロピ
ルトリメトキシシランの加水分解物の層3が形成され、
更にそのγーグリシドキシプロピルトリメトキシシラン
の加水分解物の層3の全面に、ポリピロールの層4が形
成されていることになる。
体を用いて、実施例1と同様の方法で酸化皮膜2を形成
した。
ウムジイソプロピレートのアルコール溶液中に10分間
浸漬し、室温で24時間、自然乾燥を行った。このよう
にして、図1に示すように、電子供与性有機化合物すな
わちアルミニウムカップリング剤の加水分解物の一つで
あるアセトアルコキシアルミニウムジイソプロピレート
の加水分解物の層3を、酸化皮膜2上に形成した。
す構造の実施例9の固体電解コンデンサを完成させた。
このコンデンサでは、図1中の模式的拡大図に示すよう
に、誘電体酸化皮膜2の全面にアセトアルコキシアルミ
ニウムジイソプロピレートの加水分解物の層3が形成さ
れ、更にそのアセトアルコキシアルミニウムジイソプロ
ピレートの加水分解物の層3の全面に、ポリピロールの
層4が形成されていることになる。
結体を用いて、実施例1と同様の方法で酸化皮膜2を形
成した。
ウムジイソプロピレートのアルコール溶液中に10分間
浸漬し、室温で24時間、自然乾燥を行った。このよう
にして、図1に示すように、電子供与性有機化合物すな
わちアルミニウムカップリング剤の加水分解物の一つで
あるアセトアルコキシアルミニウムジイソプロピレート
の加水分解物の層3を、酸化皮膜2上に存在せしめた。
であるポリアニリンの層4を形成した。すなわち、30
重量%の重クロム酸カリウムの水溶液に5分間浸漬し、
次いで室温でアニリンとpートルエンスルホン酸とを5
重量%含む溶液に5分間浸漬した後、空気中で30分間
保持して重合を行わせた。これら一連の操作である酸化
剤の充填とアニリンモノマー及びpートルエンスルホン
酸とを含む溶液との接触、重合の操作を5回繰り返し
て、黒色のポリアニリン層を形成した。
を形成し外部電極6を取り出した後外装樹脂7で外装し
て、図1に示す実施例10の固体電解コンデンサを完成
させた。このコンデンサでは、図1中の模式的拡大図に
示すように、誘電体酸化皮膜2の全面にアセトアルコキ
シアルミニウムジイソプロピレートの加水分解物の層3
が形成され、更にそのアセトアルコキシアルミニウムジ
イソプロピレートの加水分解物の層3の全面に、ポリア
ニリンの層4が形成されていることになる。
結体を用いて、実施例1と同様の方法で酸化皮膜2を形
成した。
法により、導電性高分子化合物層としてのポリピロール
層4Aを、酸化皮膜2の上に形成した(図2(a)参
照)。このとき、形成されるポリピロール層4Aの厚さ
が薄くなるようにして、酸化皮膜2が一部分、ポリピロ
ール層4Aから露出するようにした。尚、図2(a)も
図1と同様に、タンタル焼結体の表面を平坦な形状で表
してある。
層4A形成済みのペレットを2重量%ラウリン酸のアル
コール溶液に10分間浸漬し、室温で30分間、自然乾
燥した。このようにして、電子供与性有機化合物すなわ
ち脂肪酸の一つであるラウリン酸の層3を、酸化皮膜2
のポリピロール層4Aに覆われていない部分の上に形成
した。この場合、ラウリン酸の層3は、酸化皮膜2の露
出部の上にだけ形成された。これは、電子供与性有機化
合物であるラウリン酸も、導電性高分子化合物であるポ
リピロールも共に電子を放出することから、互いの間で
共有結合を形成せず接着力が弱いからであると考えられ
る。
法により、化学重合ポリピロール層4A及びラウリン酸
の層3の上に電解重合ポリピロール層4Bを形成し、下
層のポリピロール層4Aと併せて、固体電解質としての
導電性高分子化合物層4とした。このとき、上層のポリ
ピロール層4Bは、下層のポリピロール層4Aの上のみ
ならず、電子供与性有機化合物であるラウリン酸の層3
の上にも形成された。これは、ラウリン酸の層3は一方
では誘電体酸化皮膜2と共有結合を形成しており、従っ
て、他方の導電性ポリピロール層4Bと接する側では電
子不足となり、ポリピロール層4Bと共有結合を形成す
るからであると考えられる。
を形成し、外部電極6を取り出し、外装樹脂7で外装し
て、図1に示す実施例11の固体電解コンデンサを完成
させた。このコンデンサでは、図2(a)に示す模式的
拡大図のように、誘電体酸化皮膜2の一部分には化学重
合のポリピロール層4Aに覆われない部分があり、その
部分は電子供与性有機化合物であるラウリン酸の層3を
介して、電解重合のポリピロール層4Bが形成されてい
ることになる。
結体を用いて、実施例1と同様の方法で酸化皮膜2を形
成した。
法および電解重合法により、導電性高分子化合物層とし
て、化学重合ポリピロール層4A及び電解重合ポリピロ
ール層4Bを、酸化皮膜2の上に形成した(図2(b)
参照)。このとき、形成されるポリピロール層4Aの厚
さが薄くなるようにして、酸化皮膜2が一部分ポリピロ
ール層4A,4Bから露出するようにした。尚、図2
(b)も図1と同様に、タンタル焼結体の表面を平坦な
形状で表してある。
層4A,4B形成済みのペレットを2重量%ラウリン酸
のアルコール溶液に10分間浸漬し、室温で30分間、
自然乾燥した。このようにして、電子供与性有機化合物
すなわち脂肪酸の一つであるラウリン酸の層3を、酸化
皮膜2のポリピロール層4A,4Bに覆われていない部
分の上に形成した。本実施例においても実施例11にお
けると同様に、ラウリン酸の層3は、酸化皮膜2がポリ
ピロール4A,4Bから露出している部分の上にだけ形
成された。
を形成し、外部電極6を取り出し、外装樹脂7で外装し
て、図1に示す実施例12の固体電解コンデンサを完成
させた。このコンデンサでは、図2(b)に示す模式的
拡大図のように、誘電体酸化皮膜2の一部分にはポリピ
ロール層4A,4Bに覆われない部分があり、その部分
は電子供与性有機化合物であるラウリン酸の層3を介し
て、陰極側導体層5が直接形成されていることになる。
体を用いて、実施例1と同様の方法で酸化皮膜2を形成
した。
電性高分子化合物層(ポリピロール層)4、導体層5を
順次形成した後、外部電極6を取り出し外装樹脂7で外
装して、比較例1の固体電解コンデンサを完成させた。
この比較例1のコンデンサでは、図1に示す実施例のコ
ンデンサに対して、電子供与性有機化合物層3が存在せ
ず、酸化皮膜2とポリピロール層4とが直接接触してい
る点が異る。
化合物層3(図4参照)形成の際に、シランカップリン
グ剤の水溶液を用いてこれを形成したコンデンサであっ
て、下記のようにして作製した。すなわち、実施例1に
おけると同じ焼結体を用いて、実施例1と同様の方法で
酸化皮膜2を形成した。
トリメトキシシランの水溶液に10分間浸漬し、室温で
24時間、自然乾燥を行った。
固体電解質としてのポリピロール層4、陰極側導体層5
を順次形成した。更に、外部電極6を取り出し外装樹脂
7で外装して、比較例2の固体電解コンデンサを完成さ
せた。この比較例2のコンデンサでは、図4に示すよう
に、酸化皮膜2と導電性高分子化合物層(ポリピロール
層)4との間に電子供与性有機化合物層(γーグリシド
キシプロピルトリメトキシシランの加水分解物層)が、
水玉状に部分的に散在していることになる(後述す
る)。
例1〜2に対して高温放置試験を行った結果を図3に示
す。試験は相対湿度5%RH以下、温度85℃の環境下
に500時間放置した後、コンデンサの漏れ電流を試験
前後で比較するものである。試料は、各実施例、比較例
とも、それぞれ5個ずつである。尚、これまでの実施例
1〜12及び比較例1〜2のうち、実施例1〜10およ
び比較例1〜2の構造(導電性高分子化合物層4が誘電
体酸化皮膜2上に、全面に渡って形成されている構造。
図1参照)のものを、便宜上、「全面被覆型」と呼び、
一方、実施例11,12の構造(酸化皮膜2に、一部、
導電性高分子化合物層4A(二層構造の導電性高分子化
合物層のうちの下層の高分子化合物層)から露出する部
分がある構造。図2(a)、(b)参照)のものを、
「部分被覆型」と呼ぶこととする。
で、電子供与性有機化合物層3を持たないコンデンサ)
と実施例1〜9(全面被覆型で、電子供与性有機化合物
層3を有するコンデンサ)とを比較すると、比較例1で
は試験前後で漏れ電流が約100倍に増加しているのに
対し、実施例1〜9ではいずれの場合も、たかだか2倍
程度の増加でしかない。このことから、各実施例で酸化
皮膜2と導電性高分子化合物層4との間に介在させた、
脂肪酸、芳香族カルボン酸、アニオン界面活性剤(カル
ボン酸塩およびスルホン酸塩)、フェノール誘導体、シ
ランカップリング剤加水分解物、アルミニウムカップリ
ング剤加水分解物の層3がいずれも電子供与性を持ち、
高温下での漏れ電流増加防止に有効であることが分る。
子供与性有機化合物層4の形成に際して、ペレットを電
子供与性有機化合物の溶液に浸漬する方法および、その
蒸気に曝す方法のいずれを採っても、同一の効果が得ら
れることが分る。又、実施例6と実施例8の結果から、
浸漬する方法を採用したとき、その浸漬回数は、一回だ
けでなく繰り返しても良いことが分る。
供与性有機化合物の作用効果は、ポリピロールに限らず
ポリアニリンの場合でも得られる、つまり、特定の導電
性高分子化合物に限定されないことが言える。
成用溶液としてシランカップリング剤の中性水溶液を用
いたもの)と実施例6(シランカップリング剤のメタノ
ール溶液を用いたもの)とを比較すると、比較例2では
試験前後で漏れ電流が約100倍に増加しているのに対
して、実施例6ではたかだか1.2倍程度の増加でしか
ない。このことから、シランカップリング剤加水分解物
の層を浸漬法で形成するに当っては、カップリング剤の
中性水溶液ではなくアルコール溶液を用いることが重要
であることが分る。上記の効果上の差異は、前述したよ
うに、カップリング剤の水に対する溶解度が小さいのに
対し、アルコールに対する溶解度は大きいという、溶媒
に対する溶解度の違いによるものと考えられる。すなわ
ち、溶媒として水を用いた比較例2ではカップリング剤
が縮合し、図4に示すように、酸化皮膜2上に水玉状の
塊となってしまう。その結果、酸化皮膜がカップリング
剤加水分解物に覆われない部分が生じてしまう。しか
も、塊となったカップリング剤そのものも酸化皮膜2と
共有結合を形成しているわけではないので、実質的には
酸化皮膜2上には電子供与性有機物層が存在しないこと
になる。これが、比較例2における漏れ電流増大の原因
である。一方、実施例6では、カップリング剤の溶媒と
して溶解度の大きいメタノールを用いているので、酸化
皮膜2上には、図1に示すように、カップリング剤加水
分解物の薄い均一な層3が形成され、この層が酸化皮膜
2と共有結合を形成して、電子供与性を示す。実施例6
と比較例2とにおける効果の違いは、上記のような原因
によるものと考えられる。
ら、コンデンサが全面被覆型のものであっても或いは部
分被覆型のものであってもいずれの場合でも、高温下で
の漏れ電流増加防止効果が同様に得られることが分る。
これは、以下のように考えられる。いま図2(a),
(b)に示す部分被覆型のコンデンサにおいて、導電性
高分子化合物(実施例11,12の場合は、ポリピロー
ル)の層4Aの途切れた部分(図中に、下向きの矢印A
で示す)の酸化皮膜2上に、電子供与性有機化合物
(同、ラウリン酸)の層3が無いものとする。このよう
な構造の場合、酸化皮膜2のうち導電性高分子化合物層
4Aで覆われている部分(図中に、下向きの矢印Bで示
す)では、酸化皮膜から電子が引き抜かれ電子欠乏とな
る。一方、導電性高分子化合物層4Aで覆われていない
矢印Aの部分では、酸化皮膜からの電子の引抜きはな
い。従って、酸化皮膜2には矢印Aの部分と矢印Bの部
分との間に電子濃度に勾配ができる。その結果、電子濃
度の高い矢印Aの部分から濃度の低い矢印Bの部分に電
子が移動し、導電性高分子化合物層4Aの下での酸化皮
膜からの電子引抜きを補償しようとする。ところがその
場合、矢印Aの部分には電子の供給源となる電子供与性
有機化合物層が存在しないので、結局、酸化皮膜2は電
子の引抜きを完全には補償され切れず、全体的に電子に
対する電位障壁が低い状態になっている。これに対し実
施例11,12の場合は、矢印Aの部分の酸化皮膜上に
電子供与性有機化合物層3が形成されており、この層3
が矢印Aの部分の酸化皮膜に対する電子の供給源として
作用する。従って、矢印Bの部分における電子引抜きに
対する補償が十分に行われ、酸化皮膜2全体として電子
に対する電位障壁高さの回復が完全に行われる。このよ
うにして、高温下での漏れ電流増大が防止される。ここ
で、実施例11と実施例12との間に効果上の差異がな
いことから、矢印Aの部分の電子供与性有機化合物層3
の上に導電性高分子化合物層4Bを設けても(実施例1
1。図2(a))、設けなくても(実施例12。図2
(b))、高温下での漏れ電流増加防止という点ではど
ちらでも同じであると言える。
ンデンサは、次のような利点を有する。すなわち、例え
ば実施例1に見られるような全面被覆型のコンデンサで
は酸化皮膜2形成後、導電性高分子化合物層4形成に先
立って、電子供与性有機化合物層3を形成する。ところ
が、電子供与性有機化合物層3はその形成条件によって
は、厚さの再現性に乏しかったり、均一にならず部分的
に厚く付着したり或いは、前述のカップリング剤水溶液
におけるように電子供与性を示さなかったりすることが
ある。その場合、全面被覆型のものでは、そのような電
子供与性有機化合物層の構造的欠陥の影響を直接受け
て、静電容量の減少、等価直列抵抗の増大などが起る。
これに対し、部分被覆型のコンデンサでは、電子供与性
有機化合物層の形成前に、導電性高分子化合物層4Aを
先に形成してしまうので、上記のような電子供与性有機
化合物層3の影響を受けにくい。
コンデンサは導電性高分子化合物を固体電解質として用
いた固体電解コンデンサに対し、誘電体酸化皮膜と導電
性高分子化合物層との間に、電子供与性有機化合物(但
し、アニオン界面活性剤、シランカップリング剤、アル
ミニウムカップリング剤及びチタンカップリング剤を除
く)を介在させたことを特徴とする。これにより本発明
によれば、高温下における漏れ電流増大のない固体電解
コンデンサを提供できる。
は、電子供与性有機化合物層(アニオン界面活性剤、シ
ランカップリング剤、アルミニウムカップリング剤及び
チタンカップリング剤を含む)を備える固体電解コンデ
ンサの製造方法であって、電子供与性有機化合物層形成
工程で、酸化皮膜が形成された後の弁作用金属体を、電
子供与性有機化合物の蒸気に暴露することを特徴とす
る。これにより本発明によれば、電子供与性有機化合物
がどのようなものであれ、酸化皮膜上に薄くしかも均一
に形成できる。従って、静電容量の減少や等価直列抵抗
の増大がなく、しかも高温下での漏れ電流増大のない固
体電解コンデンサを提供できる。
又、電子供与性有機化合物層を持つ固体電解コンデンサ
の製造方法において、電子供与性有機化合物層形成工程
で、電子供与性有機化合物の溶液(但し、アニオン界面
活性剤の溶液、シランカップリング剤の中性水溶液、チ
タンカップリング剤の水溶液及びアルミニウムカップリ
ングン剤の水溶液を除く)に浸漬することを特徴とす
る。これにより本発明によれば、所望の電子供与性有機
化合物の層を、酸化皮膜上に薄くしかも均一に形成でき
る。従って、静電容量の減少や等価直列抵抗の増大がな
く、しかも高温下での漏れ電流増大のない固体電解コン
デンサを提供できる。
分子化合物を固体電解質とする固体電解コンデンサに対
し、誘電体酸化皮膜に、導電性高分子化合物層に直接覆
われない部分を一部設け、その酸化皮膜の露出部分上に
電子供与性有機化合物の層を形成してことを特徴とす
る。これにより本発明によれば、高温下における漏れ電
流増大のない固体電解コンデンサを提供できる。この固
体電解コンデンサにおいて電子供与性有機化合物は、ア
ニオン界面活性剤、シランカップリング剤加水分解物、
チタンカップリング剤加水分解物及びアルミニウムカッ
プリング剤加水分解物を含んでも良い。
は、上記構造の固体電解コンデンサを製造する方法であ
って、電子供与性有機化合物層形成工程で、導電性高分
子化合物層が形成された後の弁作用金属体を電子供与性
有機化合物の蒸気に暴露することを特徴とする。これに
より本発明によれば、電子供与性有機化合物がどのよう
なものであれ、酸化皮膜上に薄くしかも均一に形成でき
る。従って、静電容量の減少や等価直列抵抗の増大がな
く、しかも高温下での漏れ電流増大のない固体電解コン
デンサを提供できる。
又、上記構造の固体電解コンデンサを製造する際、導電
性高分子化合物層が形成された後の弁作用金属体を電子
供与性有機化合物の溶液(但し、シランカップリング剤
の中性水溶液、チタンカップリング剤の水溶液及びアル
ミニウムカップリング剤の水溶液を除く)に浸漬するこ
とを特徴とする。これにより本発明によれば、所望の電
子供与性有機化合物の層を、酸化皮膜上に薄くしかも均
一に形成できる。従って、静電容量の減少や等価直列抵
抗の増大がなく、しかも高温下での漏れ電流増大のない
固体電解コンデンサを提供できる。
は、これまで述べた固体電解コンデンサの製造方法にお
いて、酸化皮膜形成済み又は導電性高分子化合形成済み
の弁作用金属体を電子供与性有機化合物の溶液に浸漬す
る場合、電子供与性有機化合物の溶液としてシランカッ
プリング剤、アルミニウムカップリング剤或いはチタン
カップリング剤の溶液を用いるときは、それらカップリ
ング剤のアルコール溶液を用いる。これにより本発明に
よれば、電子与性有機化合物がカップリング剤の加水分
解物である場合それがどのようなものであれ、酸化皮膜
上に薄くしかも均一に形成できる。従って、シランカッ
プリング剤、チタンカップリング剤あるいはアルミニウ
ムクカップリング剤の加水分解物を電子供与性有機化合
物とする固体電解コンデンサであって、静電容量の減少
や等価直列抵抗の増大がなく、しかも高温下での漏れ電
流増大のない固体電解コンデンサを提供できる。
ング剤の溶液として、酸性溶液のものを用いることによ
り、アルコール溶液を用いる場合と同様の効果を得るこ
とができる。
ルを用いる固体電解コンデンサに適用すると、特に効果
が顕著である。
ンサ及び従来の技術による比較例1の固体電解コンデン
サの、断面図である。
デンサの断面図である。
について、高温放置試験前後での漏れ電流の変化の様子
を比較して示す図である。
Claims (13)
- 【請求項1】 陽極側電極としての弁作用金属体と、 前記弁作用金属体の表面を酸化して得た誘電体酸化皮膜
と、 電子供与基を有する有機化合物(但し、アニオン界面活
性剤、シランカップリング剤加水分解物、チタンカップ
リング剤加水分解物及びアルミニウムカップリング剤加
水分解物を除く)からなり、前記酸化皮膜の全面を覆う
電子供与性有機化合物の層と、 固体電解質層として前記電子供与性有機化合物層の全面
を覆う導電性高分子化合物層とを少なくとも含むことを
特徴とする固体電解コンデンサ。 - 【請求項2】 請求項1記載の固体電解コンデンサにお
いて、 前記電子供与性有機化合物が、カルボキシル基及びフェ
ノキシル基の少なくとも一つを有する有機化合物である
ことを特徴とする固体電解コンデンサ。 - 【請求項3】 請求項2記載の固体電解コンデンサにお
いて、 前記電子供与性有機化合物が、脂肪酸、芳香族カルボン
酸及びフェノール又はフェノール誘導体のいずれかであ
ることを特徴とする固体電解コンデンサ。 - 【請求項4】 陽極側電極としての弁作用金属体と、前
記弁作用金属体の表面を酸化して得た誘電体酸化皮膜
と、電子供与基を有する有機化合物からなり前記酸化皮
膜の全面を覆う電子供与性有機化合物の層と、固体電解
質層として前記電子供与性有機化合物層の全面を覆う導
電性高分子化合物層とを少なくとも含む固体電解コンデ
ンサを製造する方法であって、前記酸化皮膜を形成する
工程と、前記電子供与性有機化合物層を形成する工程
と、前記導電性高分子化合物層を形成する工程とを含む
固体電解コンデンサの製造方法において、 前記電子供与性有機化合物層形成工程では、前記酸化皮
膜が形成された後の弁作用金属体を、電子供与性有機化
合物の蒸気に暴露することにより、前記電子供与性有機
化合物層を形成することを特徴とする固体電解コンデン
サの製造方法。 - 【請求項5】 請求項4記載の固体電解コンデンサの製
造方法において、 前記電子供与性有機化合物層形成工程では、前記電子供
与性有機化合物の溶液として、シランカップリング剤の
アルコール溶液又は酸性水溶液、チタンカップリング剤
のアルコール溶液及びアルミニウムカップリング剤のア
ルコール溶液のいずれかの溶液を用いると共に、 前記酸化皮膜形成後の弁作用金属体を電子供与性有機化
合物の蒸気に暴露するのに替えて、前記シランカップリ
ング剤のアルコール溶液又は酸性水溶液、チタンカップ
リング剤のアルコール溶液及びアルミニウムカップリン
グ剤のアルコール溶液のいずれかの溶液に浸漬すること
を特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。 - 【請求項6】 陽極側電極としての弁作用金属体と、 前記弁作用金属体の表面を酸化して得た誘電体酸化皮膜
と、 固体電解質層として前記酸化皮膜をその一部分が露出す
るようにして覆う導電性高分子化合物層と、 電子供与基を有する有機化合物からなり、前記酸化皮膜
の前記導電性高分子化合物層からの露出部分を覆う電子
供与性有機化合物の層とを少なくとも含むことを特徴と
する固体電解コンデンサ。 - 【請求項7】 請求項6記載の固体電解コンデンサにお
いて、 前記酸化皮膜上の導電性高分子化合物層と前記酸化皮膜
の露出部分上の電子供与性有機化合物層とを覆う第2の
導電性高分子化合物層を備えることを特徴とする固体電
解コンデンサ。 - 【請求項8】 請求項6又は請求項7記載の固体電解コ
ンデンサを製造する方法であって、前記酸化皮膜を形成
する工程と、前記酸化皮膜上にその一部分が露出するよ
うにして前記導電性高分子化合物層を形成する工程とを
含むことを特徴とする固体電解コンデンサの製造方法。 - 【請求項9】 請求項8記載の固体電解コンデンサの製
造方法において、 前記電子供与性有機化合物層形成工程では、前記導電性
高分子化合物層が形成された後の弁作用金属体を電子供
与性有機化合物の蒸気に暴露することにより、前記電子
供与性有機化合物層を形成することを特徴とする固体電
解コンデンサの製造方法。 - 【請求項10】 請求項9記載の固体電解コンデンサの
製造方法において、 前記電子供与性有機化合物層形成工程で、前記導電性高
分子化合物層形成後の弁作用金属体を前記電子供与性有
機化合物の蒸気に暴露するのに替えて、電子供与性有機
化合物の溶液(但し、シランカップリング剤の中性水溶
液、チタンカップリングの水溶液及びアルミニウムカッ
プリング剤の水溶液を除く)に浸漬することを特徴とす
る固体電解コンデンサの製造方法。 - 【請求項11】 請求項10に記載の固体電解コンデン
サの製造方法において、 前記電子供与性有機化合物の溶液として、シランカップ
リング剤のアルコール溶液、チタンカップリング剤のア
ルコール溶液及びアルミニウムカップリング剤のアルコ
ール溶液のいずれかを用いることを特徴とする固体電解
コンデンサの製造方法。 - 【請求項12】 請求項10に記載の固体電解コンデン
サの製造方法において、 前記電子供与性有機化合物の溶液として、シランカップ
リング剤の酸性水溶液を用いることを特徴とする固体電
解コンデンサの製造方法。 - 【請求項13】 請求項1乃至請求項12のいずれかに
記載の固体電解コンデンサ又は固体電解コンデンサの製
造方法において、前記弁作用金属体を構成する金属とし
てタンタルを用いることを特徴とする固体電解コンデン
サ又は固体電解コンデンサの製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7100958A JP3068430B2 (ja) | 1995-04-25 | 1995-04-25 | 固体電解コンデンサ及びその製造方法 |
DE19616200A DE19616200C2 (de) | 1995-04-25 | 1996-04-23 | Festkörperelektrolytkondensator mit einem leitfähigen Polymer als Festkörperelektrolyt und ein Verfahren zu seiner Herstellung |
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