JP2902923B2 - 高周波用誘電体磁器組成物 - Google Patents
高周波用誘電体磁器組成物Info
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Landscapes
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- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波、ミリ波等
の高周波領域において高い誘電率及び高いQ値を有する
新規な誘電体磁器組成物に関する。
の高周波領域において高い誘電率及び高いQ値を有する
新規な誘電体磁器組成物に関する。
【0002】
【従来技術】マイクロ波やミリ波等の高周波領域におい
て、誘電体磁器は誘電体共振器やMIC用誘電体基板等
に広く利用されている。
て、誘電体磁器は誘電体共振器やMIC用誘電体基板等
に広く利用されている。
【0003】従来より、この種の誘電体磁器としては、
例えばZrO2 −SnO2 −TiO2 系材料、BaO−
TiO2 材料、(Ba,Sr)(Zr,Ti)O3 系材
料およびBa(Zn,Ta)O3 系材料等が知られてお
り、これらの材料は、各種の改良により周波数500M
Hz〜5GHzにおいて誘電率20〜40、Q値が10
00〜3000、さらに共振周波数の温度係数(τf)
が0ppm/℃付近の特性を有している。
例えばZrO2 −SnO2 −TiO2 系材料、BaO−
TiO2 材料、(Ba,Sr)(Zr,Ti)O3 系材
料およびBa(Zn,Ta)O3 系材料等が知られてお
り、これらの材料は、各種の改良により周波数500M
Hz〜5GHzにおいて誘電率20〜40、Q値が10
00〜3000、さらに共振周波数の温度係数(τf)
が0ppm/℃付近の特性を有している。
【0004】
【発明が解決しようとする問題点】しかしながら、最近
では使用する周波数がより高くなる傾向にあるとともに
誘電体材料に対してさらに優れた誘電特性、特にQ値の
向上が要求されつつある。
では使用する周波数がより高くなる傾向にあるとともに
誘電体材料に対してさらに優れた誘電特性、特にQ値の
向上が要求されつつある。
【0005】ところが、前述した従来の誘電体材料で
は、10GHzの使用周波数領域において実用的レベル
の高いQ値を有していないのが現状である。
は、10GHzの使用周波数領域において実用的レベル
の高いQ値を有していないのが現状である。
【0006】本発明者等はこのような要求に応えること
ができる高周波領域において高い誘電率および高いQ値
を有する組成物として、BaO、MgOおよびWO3 を
含む複合酸化物からなる誘電体磁器組成物を先に提案し
た。
ができる高周波領域において高い誘電率および高いQ値
を有する組成物として、BaO、MgOおよびWO3 を
含む複合酸化物からなる誘電体磁器組成物を先に提案し
た。
【0007】しかしながら、この誘電体磁器組成物では
高いQ値が得られるものの、共振周波数の温度係数(τ
f)がマイナス側に偏り過ぎているために、マイクロ波
誘電体磁器材料として使用する場合、その利用分野が制
限されるなど実用面で問題があった。
高いQ値が得られるものの、共振周波数の温度係数(τ
f)がマイナス側に偏り過ぎているために、マイクロ波
誘電体磁器材料として使用する場合、その利用分野が制
限されるなど実用面で問題があった。
【0008】
【問題点を解決するための手段】本発明者等は、上記問
題点に対して検討を加えた結果、BaO−MgO−WO
3 で表される複合酸化物に、Y、またはTi、Zr、S
n、Mn、Ca、Hf、La、Ce、Nd、Prおよび
Smのうち少なくとも一種の元素を所定量の割合で含有
せしめることにより、10GHzにおいて高いQ値(2
500以上)を得ることができるとともに、共振周波数
の温度係数(τf)がマイナス側からプラス側に移行で
きることを知見し、本発明に至った。
題点に対して検討を加えた結果、BaO−MgO−WO
3 で表される複合酸化物に、Y、またはTi、Zr、S
n、Mn、Ca、Hf、La、Ce、Nd、Prおよび
Smのうち少なくとも一種の元素を所定量の割合で含有
せしめることにより、10GHzにおいて高いQ値(2
500以上)を得ることができるとともに、共振周波数
の温度係数(τf)がマイナス側からプラス側に移行で
きることを知見し、本発明に至った。
【0009】即ち、本発明の誘電体磁器組成物は、金属
元素として少なくともBa、Mg、Wを含有し、これら
の金属元素のモル比で表された組成式をxBaO・yM
gO・zWO3 と表した時、前記x、yおよびzが40
≦x≦55、15≦y≦40、20≦z≦30(x+y
+z=100)を満足する組成物100モル部に対し
て、Yを0.1〜30モル部の割合で含有してなるもの
である。
元素として少なくともBa、Mg、Wを含有し、これら
の金属元素のモル比で表された組成式をxBaO・yM
gO・zWO3 と表した時、前記x、yおよびzが40
≦x≦55、15≦y≦40、20≦z≦30(x+y
+z=100)を満足する組成物100モル部に対し
て、Yを0.1〜30モル部の割合で含有してなるもの
である。
【0010】また、金属元素として少なくともBa、M
g、Wを含有し、これらの金属元素のモル比で表された
組成式をxBaO・yMgO・zWO3 と表した時、前
記x、yおよびzが40≦x≦55、15≦y≦40、
20≦z≦30(x+y+z=100)を満足する組成
物100モル部に対して、Ti、Zr、Sn、Mn、C
a、Hf、La、Ce、Nd、PrおよびSmのうち少
なくとも一種の元素を0.1〜20モル部の割合で含有
してなるものである。
g、Wを含有し、これらの金属元素のモル比で表された
組成式をxBaO・yMgO・zWO3 と表した時、前
記x、yおよびzが40≦x≦55、15≦y≦40、
20≦z≦30(x+y+z=100)を満足する組成
物100モル部に対して、Ti、Zr、Sn、Mn、C
a、Hf、La、Ce、Nd、PrおよびSmのうち少
なくとも一種の元素を0.1〜20モル部の割合で含有
してなるものである。
【0011】本発明において、前記主成分を構成する各
金属酸化物量を上記の範囲に設定したのは、BaO量
(x)が40より少ないとQ値が低下し、55より多い
と焼結が困難となるからである。また、MgO量(y)
が15より少ないと焼結性が困難となり、あるいはQ値
の低下を招き、40より多いとQ値が低下する。さら
に、WO3 量(z)が20よりも少ないと、焼結性が低
下し、30より多いとQ値が低下するという問題が生じ
るからである。
金属酸化物量を上記の範囲に設定したのは、BaO量
(x)が40より少ないとQ値が低下し、55より多い
と焼結が困難となるからである。また、MgO量(y)
が15より少ないと焼結性が困難となり、あるいはQ値
の低下を招き、40より多いとQ値が低下する。さら
に、WO3 量(z)が20よりも少ないと、焼結性が低
下し、30より多いとQ値が低下するという問題が生じ
るからである。
【0012】また、本発明によれば、上記BaO−Mg
O−WO3 系組成物100モル部に対して、Yを0.1
〜30モル部、またはTi、Zr、Sn、Mn、Ca、
Hf、La、Ce、Nd、PrおよびSmのうち少なく
とも一種の元素を0.1〜20モル部の割合で含有させ
ることにより、共振周波数の温度係数をプラス側に移行
させることができる。これらの添加物の量を上記の範囲
に限定したのは、Y量が30モル部より多いか、または
Ti、Zr、Sn、Mn、Ca、Hf、La、Ce、N
d、PrおよびSmのうち少なくとも一種の元素量が2
0モル部よりも多いとQ値の低下が著しかったり、また
はYやCaなどは共振周波数の温度特性がプラス側に大
きくなりすぎるなどの問題が生じるためであり、Y、ま
たはTi、Zr、Sn、Mn、Ca、Hf、La、C
e、Nd、PrおよびSmのうち少なくとも一種の元素
量が0.1モル部よりも少ない場合には、これらの元素
の添加効果が殆どないからである。
O−WO3 系組成物100モル部に対して、Yを0.1
〜30モル部、またはTi、Zr、Sn、Mn、Ca、
Hf、La、Ce、Nd、PrおよびSmのうち少なく
とも一種の元素を0.1〜20モル部の割合で含有させ
ることにより、共振周波数の温度係数をプラス側に移行
させることができる。これらの添加物の量を上記の範囲
に限定したのは、Y量が30モル部より多いか、または
Ti、Zr、Sn、Mn、Ca、Hf、La、Ce、N
d、PrおよびSmのうち少なくとも一種の元素量が2
0モル部よりも多いとQ値の低下が著しかったり、また
はYやCaなどは共振周波数の温度特性がプラス側に大
きくなりすぎるなどの問題が生じるためであり、Y、ま
たはTi、Zr、Sn、Mn、Ca、Hf、La、C
e、Nd、PrおよびSmのうち少なくとも一種の元素
量が0.1モル部よりも少ない場合には、これらの元素
の添加効果が殆どないからである。
【0013】また、本発明によれば、特に望ましい範囲
として、Q値を3000以上に維持するために、前記B
aO−MgO−WO3 系組成物100モル部に対して、
Yを添加する場合には0.1〜30モル部、Nd、L
a、Pr、Sm、Ceの添加の場合には0.1〜20モ
ル部、Caの場合には0.1〜15モル部、Ti、Sn
およびMnの場合には0.1〜10モル部の範囲でそれ
ぞれ添加すればよい。
として、Q値を3000以上に維持するために、前記B
aO−MgO−WO3 系組成物100モル部に対して、
Yを添加する場合には0.1〜30モル部、Nd、L
a、Pr、Sm、Ceの添加の場合には0.1〜20モ
ル部、Caの場合には0.1〜15モル部、Ti、Sn
およびMnの場合には0.1〜10モル部の範囲でそれ
ぞれ添加すればよい。
【0014】さらに、共振周波数の温度係数τfを±3
0以内で制御し、Q値を3000以上とするには、Y,
Laの場合には0.1〜20モル部、Nd,Pr,Sm
の場合には0.1〜15モル部添加することが望まし
い。
0以内で制御し、Q値を3000以上とするには、Y,
Laの場合には0.1〜20モル部、Nd,Pr,Sm
の場合には0.1〜15モル部添加することが望まし
い。
【0015】また、前記BaO−MgO−WO3 系誘電
体組成物に対してFe,Cr,V,AlおよびSiの各
元素の存在は、共振周波数の温度係数をさらにマイナス
側に増大させる傾向があるため、本発明によれば、これ
らの金属元素量は、不純物も含め、総量でBaO−Mg
O−WO3 からなる主成分100モル部に対して、5モ
ル部以下となるように制御することが望ましい。
体組成物に対してFe,Cr,V,AlおよびSiの各
元素の存在は、共振周波数の温度係数をさらにマイナス
側に増大させる傾向があるため、本発明によれば、これ
らの金属元素量は、不純物も含め、総量でBaO−Mg
O−WO3 からなる主成分100モル部に対して、5モ
ル部以下となるように制御することが望ましい。
【0016】本発明に基づき磁器を作成する方法として
は、例えばBa,Mg,Wの酸化物あるいは焼成により
酸化物を生成する炭酸塩、硝酸塩等の金属塩を主原料と
して準備し、また、Ti,Zr,Sn,Mn,Ca,H
f,La,Ce,Nd,Pr,SmおよびY等の酸化物
あるいは焼成により酸化物を生成する炭酸塩、硝酸塩等
の金属塩を準備し、これらを前述した範囲になるように
秤量した後、充分に混合する。その後、混合物を900
〜1200℃で仮焼処理し、粉砕する。そして、この仮
焼粉末をプレス成形やドクターブレード法等の周知の成
形方法により所定の形状に成形する。
は、例えばBa,Mg,Wの酸化物あるいは焼成により
酸化物を生成する炭酸塩、硝酸塩等の金属塩を主原料と
して準備し、また、Ti,Zr,Sn,Mn,Ca,H
f,La,Ce,Nd,Pr,SmおよびY等の酸化物
あるいは焼成により酸化物を生成する炭酸塩、硝酸塩等
の金属塩を準備し、これらを前述した範囲になるように
秤量した後、充分に混合する。その後、混合物を900
〜1200℃で仮焼処理し、粉砕する。そして、この仮
焼粉末をプレス成形やドクターブレード法等の周知の成
形方法により所定の形状に成形する。
【0017】次に成形体を大気中等の酸化性雰囲気中で
1300〜1600℃で焼成することにより誘電体磁器
を得ることができる。
1300〜1600℃で焼成することにより誘電体磁器
を得ることができる。
【0018】
【作用】本発明の誘電体磁器組成物では、BaO、Mg
O、WO3 のモル比およびY、またはTi、Zr、S
n、Mn、Ca、Hf、La、Ce、Nd、Prおよび
Smのうち少なくとも一種の元素の含有量を変化させる
ことにより、10GHzでのQ値が2500以上の高い
特性を有するとともに、共振周波数の温度係数をマイナ
ス側からプラス側の一定領域に自由に制御することが可
能となる。
O、WO3 のモル比およびY、またはTi、Zr、S
n、Mn、Ca、Hf、La、Ce、Nd、Prおよび
Smのうち少なくとも一種の元素の含有量を変化させる
ことにより、10GHzでのQ値が2500以上の高い
特性を有するとともに、共振周波数の温度係数をマイナ
ス側からプラス側の一定領域に自由に制御することが可
能となる。
【0019】例えば、BaO50モル%、MgO25モ
ル%、WO3 25モル%からなる磁器では、10GHz
の測定周波数で誘電率20、Q値12000と高い値を
示すが、共振周波数の温度係数τfが−30ppmとマ
イナス側に大きい。そこで、本発明に基づき、前述した
金属元素を含有せしめることにより温度係数τfを−3
0ppmからプラス側に制御することが可能となる。
ル%、WO3 25モル%からなる磁器では、10GHz
の測定周波数で誘電率20、Q値12000と高い値を
示すが、共振周波数の温度係数τfが−30ppmとマ
イナス側に大きい。そこで、本発明に基づき、前述した
金属元素を含有せしめることにより温度係数τfを−3
0ppmからプラス側に制御することが可能となる。
【0020】
【実施例】原料として純度99%以上のBaCO3 、M
gCO3 ,WO3 およびのTi,Zr,Sn,Mn,C
a,Hf,La,Ce,Nd,Pr,Sm,Yの各金属
酸化物粉末を用いて、これらを表1〜表8に示す割合に
秤量し、これをゴムで内張りしたボールミルに水と共に
入れ、8時間湿式混合した。次いで、この混合物を脱
水、乾燥した後、1000℃で2時間仮焼し、当該仮焼
物をボールミルに水、有機バインダーを入れ8時間湿式
粉砕した。
gCO3 ,WO3 およびのTi,Zr,Sn,Mn,C
a,Hf,La,Ce,Nd,Pr,Sm,Yの各金属
酸化物粉末を用いて、これらを表1〜表8に示す割合に
秤量し、これをゴムで内張りしたボールミルに水と共に
入れ、8時間湿式混合した。次いで、この混合物を脱
水、乾燥した後、1000℃で2時間仮焼し、当該仮焼
物をボールミルに水、有機バインダーを入れ8時間湿式
粉砕した。
【0021】その後、この粉砕物を乾燥した後、50番
メッシュの網を通して造粒し、得られた粉末を3000
kg/cm2 の圧力で10mmφ×5mmtの寸法から
なる円柱に成形した。更に、この円柱を1400〜16
00℃×6時間の条件で焼成して磁器試料を得た。
メッシュの網を通して造粒し、得られた粉末を3000
kg/cm2 の圧力で10mmφ×5mmtの寸法から
なる円柱に成形した。更に、この円柱を1400〜16
00℃×6時間の条件で焼成して磁器試料を得た。
【0022】かくして得られた磁器試料について、周波
数10GHzにおける比誘電率(εr),Q値を誘電体
共振器法にて測定し、また25℃から85℃までの温度
範囲における共振周波数の温度変化を測定し、 τf=(f(85℃)−f(25℃))×106 / (f(25℃)×(8
5 ℃−25℃))(ppm/ ℃) から共振周波数の温度係数(τf)を計算した。ここ
で、f(85℃)は85℃における共振周波数、f(25℃)は
25℃における共振周波数である。
数10GHzにおける比誘電率(εr),Q値を誘電体
共振器法にて測定し、また25℃から85℃までの温度
範囲における共振周波数の温度変化を測定し、 τf=(f(85℃)−f(25℃))×106 / (f(25℃)×(8
5 ℃−25℃))(ppm/ ℃) から共振周波数の温度係数(τf)を計算した。ここ
で、f(85℃)は85℃における共振周波数、f(25℃)は
25℃における共振周波数である。
【0023】これらの結果を表1〜表8に示した。
【0024】
【表1】
【0025】
【表2】
【0026】
【表3】
【0027】
【表4】
【0028】
【表5】
【0029】
【表6】
【0030】
【表7】
【0031】
【表8】
【0032】表1〜表8によれば、BaO、MgO、W
O3 からなる主成分に対して、Y、またはTi、Zr、
Sn、Mn、Ca、Hf、La、Ce、Nd、Prおよ
びSmのうち少なくとも一種の元素を添加した本発明の
範囲内の試料は、何れも10GHzでのQ値が2500
以上の高い特性を有するとともに、共振周波数の温度係
数(τf)がマイナス側からプラス側に移行しており、
その添加量に応じて任意に制御することができることが
理解される。特に、Yを0.1〜30モル部添加した場
合、La、Ce、Nd、Pr、Smを0.1〜20モル
部添加した場合、Zrを0.1〜20モル部添加した場
合、Ti、Sn、Mnを0.1〜10モル部添加した場
合、Caを0.1〜15モル部添加した場合には、共振
周波数の温度係数(τf)がマイナス側からプラス側に
移行できるとともに、Q値を3000以上の高い値に維
持することができる。さらに、Y、Laを0.1〜20
モル部添加した場合、Nd、Pr、Smを0.1〜15
モル部添加した場合には、温度係数(τf)が±30p
pm/℃、Q値が3000以上の特性を得ることができ
る。
O3 からなる主成分に対して、Y、またはTi、Zr、
Sn、Mn、Ca、Hf、La、Ce、Nd、Prおよ
びSmのうち少なくとも一種の元素を添加した本発明の
範囲内の試料は、何れも10GHzでのQ値が2500
以上の高い特性を有するとともに、共振周波数の温度係
数(τf)がマイナス側からプラス側に移行しており、
その添加量に応じて任意に制御することができることが
理解される。特に、Yを0.1〜30モル部添加した場
合、La、Ce、Nd、Pr、Smを0.1〜20モル
部添加した場合、Zrを0.1〜20モル部添加した場
合、Ti、Sn、Mnを0.1〜10モル部添加した場
合、Caを0.1〜15モル部添加した場合には、共振
周波数の温度係数(τf)がマイナス側からプラス側に
移行できるとともに、Q値を3000以上の高い値に維
持することができる。さらに、Y、Laを0.1〜20
モル部添加した場合、Nd、Pr、Smを0.1〜15
モル部添加した場合には、温度係数(τf)が±30p
pm/℃、Q値が3000以上の特性を得ることができ
る。
【0033】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、B
aO、MgO、WO3 からなる主成分に対して特定の金
属を所定の割合で配合することにより、10GHzでの
Q値が2500以上の高い特性を有するとともに、共振
周波数の温度係数(τf)をマイナス側からプラス側に
移行させることができ、温度係数を自由に制御すること
ができる。
aO、MgO、WO3 からなる主成分に対して特定の金
属を所定の割合で配合することにより、10GHzでの
Q値が2500以上の高い特性を有するとともに、共振
周波数の温度係数(τf)をマイナス側からプラス側に
移行させることができ、温度係数を自由に制御すること
ができる。
【0034】これにより、マイクロ波やミリ波などの周
波数領域において使用される種々の共振器用材料やMI
C用誘電体基板材料等に充分適用することができる。
波数領域において使用される種々の共振器用材料やMI
C用誘電体基板材料等に充分適用することができる。
Claims (2)
- 【請求項1】金属元素として少なくともBa、Mg、W
を含有し、これらの金属元素のモル比で表された組成式
をxBaO・yMgO・zWO3 と表した時、前記x、
yおよびzが40≦x≦55、15≦y≦40、20≦
z≦30(x+y+z=100)を満足する組成物10
0モル部に対して、Yを0.1〜30モル部の割合で含
有してなることを特徴とする高周波用誘電体磁器組成
物。 - 【請求項2】金属元素として少なくともBa、Mg、W
を含有し、これらの金属元素のモル比で表された組成式
をxBaO・yMgO・zWO3 と表した時、前記x、
yおよびzが40≦x≦55、15≦y≦40、20≦
z≦30(x+y+z=100)を満足する組成物10
0モル部に対して、Ti、Zr、Sn、Mn、Ca、H
f、La、Ce、Nd、PrおよびSmのうち少なくと
も一種の元素を0.1〜20モル部の割合で含有してな
ることを特徴とする高周波用誘電体磁器組成物。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4-337414 | 1992-12-17 | ||
JP33741492 | 1992-12-17 | ||
JP5317761A JP2902923B2 (ja) | 1992-12-17 | 1993-12-17 | 高周波用誘電体磁器組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06236708A JPH06236708A (ja) | 1994-08-23 |
JP2902923B2 true JP2902923B2 (ja) | 1999-06-07 |
Family
ID=26569137
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP5317761A Expired - Fee Related JP2902923B2 (ja) | 1992-12-17 | 1993-12-17 | 高周波用誘電体磁器組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2902923B2 (ja) |
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---|---|---|---|---|
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US6660674B2 (en) | 2000-10-25 | 2003-12-09 | Ube Electronics, Ltd. | Dielectric ceramic composition for high frequency wave |
KR101050990B1 (ko) | 2003-01-24 | 2011-07-21 | 우베 고산 가부시키가이샤 | 유전체 세라믹 조성물, 유전체 세라믹 및 이를 사용한 적층세라믹 부품 |
JP5582406B2 (ja) | 2008-11-25 | 2014-09-03 | 宇部興産株式会社 | 高周波用誘電体磁器組成物及びその製造方法、高周波用誘電体磁器並びにその製造方法およびそれを用いた高周波回路素子 |
KR102023398B1 (ko) * | 2017-03-31 | 2019-09-23 | 강릉원주대학교산학협력단 | Bmw계 고주파 유전체 세라믹 소재 및 그 제조방법 |
-
1993
- 1993-12-17 JP JP5317761A patent/JP2902923B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH06236708A (ja) | 1994-08-23 |
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