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JP2897416B2 - 除振装置 - Google Patents

除振装置

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JP2897416B2
JP2897416B2 JP32002190A JP32002190A JP2897416B2 JP 2897416 B2 JP2897416 B2 JP 2897416B2 JP 32002190 A JP32002190 A JP 32002190A JP 32002190 A JP32002190 A JP 32002190A JP 2897416 B2 JP2897416 B2 JP 2897416B2
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JP
Japan
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signal
vibration
synchronous
intermediate base
actuator
Prior art date
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JP32002190A
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Inventor
精 石田
澄利 園田
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YASUKAWA DENKI KK
Original Assignee
YASUKAWA DENKI KK
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、加振源の振動が加振源を支持するベースへ
伝わらないよう中間ベースを設けてアクチュエータで制
御する除振装置に関する。
[従来の技術] 従来の除振装置は各種方法があるが、その一つを第4
図に示す。図においてレシプロエンジンなどの加振源1
が第一の支持バネ6と第一のダンパー7からなる支持手
段によりベース9に支持されている。このままではその
支持手段を経て加振源1の振動がベース9へ伝えられ、
周辺装置へ影響を与える。そこで、加振源1に固定した
第一の加速度センサ3と、加振源1に第二の支持バネ8
からなる支持手段を介して設けられた付加マス2と、該
付加マス2と前記加振源1とに力を作用するアクチュエ
ータ5と、前記第一の加速度センサ3の信号を受けて働
きアクチュエータ5に指令を与える制振コントローラ4
とで能動的に除振する方法が考えられた。この系におい
ては次のように除振される。すなわち、加振源1の振動
加速度を検出した第一の加速度センサ3の信号に応じて
制振コントローラ4が働き、アクチュエータ5に信号を
送る。この指令に応じてアクチュエータ5は加振源1と
付加マス2の間に力を作用させる。付加マス2は、アク
チュエータ5と第2の支持バネ8で与えられる力により
振動し、これらの反力が同時に加振源1に作用する。こ
のため加振源1は、当初の振動が抑えられて、振動振幅
が小さくなる。ある程度振動振幅が小さくなると、第一
の加速度センサ3の信号も小さくなり制御コントローラ
4とアクチュエータ5の働きも弱くなるので、制御効果
は低下する。したがって、ある小さな振動振幅が残った
状態で平衡状態を保つ。
[発明が解決しようとする課題] 上記のように、従来例ではある程度の振動が存在しな
ければ制御作用を発揮することができず、ベース9側に
振動を伝えてしまうという問題があった。
そこで本発明では、加振源の振動をベース側へ伝えな
いようにすることを目的とする。
[課題を解決するための手段] 上記の問題を解決するため、加振源とベースの間に中
間ベースを設けてそれぞれの間を支持手段で支持し、支
持手段に制振用のアクチュエータを設け、中間ベースと
加振源のそれぞれに設けた加速度センサの信号に応じて
信号抑制制御をするものである。
[作用] 上記手段により、加振源の加速度信号に同期し、中間
ベースの加速度信号に応じて振動抑制制御する。振動の
利得と位相を同時に制御し、積分作用を利用するので、
中間ベースの振動をゼロにすることができる。従って加
振源からベースに伝わる振動をゼロにする作用がある。
[実施例] 以下、本発明の具体的実施例を第1図〜第3図に示し
て説明する。第1図は、全体構成図である。
図において、ベース9と加振源1の間に中間ベース26
を設け、それぞれの間を、第一の支持手段と第二の支持
手段とで支持している。それぞれの支持手段はバネ定数
とダンピング係数を持っているので、図には第一の支持
バネ6、第一のダンパー7、第二の支持バネ8、第二の
ダンパー11として記載している。第一の支持手段は6、
7で構成され、第二の支持手段は8、11で構成される。
加振源1には第一の加速度センサ3が固定されており、
中間ベース26には第二の加速度センサ10が固定されてい
る。中間ベースにはアクチュエータ5が固定されてい
る。制振コントローラ4は、前記二つの加速度センサ
3、10の信号とアクチュエータ5内の変位センサの信号
Xを受けて働き、アクチュエータ5内の2つの電磁石に
電流I1,I2を供給して振動を発生させる。
第2図は、アクチュエータの構造図である。中間ベー
ス26に固定されたアクチュエータ5は、ケース15の中に
対向する第一、第二の電磁石12、13が固定されており、
その間に加振マス14があり、2つの支持手段である第一
のコイルバネ16と第二のコイルバネ17とで支持されてい
る。二つの支持手段は、ゴムや他の手段でもよく、二つ
の磁気吸引力により加振マス14が電磁石の方向に振動で
きるよう支持されている。加振マス14の変位は固定され
た変位センサ27によって検出されている。
第3図は、制振コントローラの内部詳細を示す制御系
統図である。図において、減算器25は加速度指令
ら第二の加速度センサ10の加速度信号を減算する。
同期2相発振器22は第一の加速度センサ3の信号Pを基
準信号として同期2相発振し、正弦波と余弦波を発生さ
せる。この2相信号を受けた同期変換器18は減算器25か
らの信号を同期変換し、加速度のエラー信号の大きさと
位相情報を持つ同期変換信号を得る。この同期変換信号
を入力する制御器19は主に積分器から構成され、同期変
換信号がゼロとなるまで積分器が働き制御器19の出力信
号が増大する。制御器19の指令信号は、前記2相信号を
受けて20で同期逆変換し、加振源の信号と同期した補償
指令信号に変換される。
ここで、同期2相発振器は、例えば特開昭63−257312
(特願昭62−90955)「回転同期多相発振器」に示され
る方法で構成され、同期変換器18と同期逆変換器20が、
例えば特開昭64−12124(特願昭62−164003)「磁気軸
受の制御装置」に示される方法で構成される。
補償指令信号と、加振マスの変位信号xを受けた分配
器21は、第一、第二の電磁石12、13にそれぞれ電流を供
給する第一、第二のパワーアンプ23、24に電流指令を与
え、二つの電磁石が加振マス14に与える合力と補償指令
が比例するよう磁気吸引力の線形補償を行っている。こ
の方法は特公昭63−19734「磁気軸受装置の制御方法」
や特開昭59−112605「磁気吸引力の制御方法」、特公平
1−12970「磁気軸受装置の制御方法」に示される方法
であってもよい。
以上のような構成において、加振源1が振動すると第
二の支持手段を介して、振動が伝わり、中間ベースが振
動し、さらに第一の支持手段を介して、ベース9に振動
が伝わっている。このとき、制御コントローラ4の同期
2相発振器22は、加振源1の振動に同期して発振し、こ
れを受けて、同期変換器18が、加速度指令に対する
中間ベースの加速度の差信号を同期変換する。加速
度指令はゼロとするので、−が同期変換され
る。この信号に基づいて働いた制御器19の指令信号が同
期逆変換器20により逆変換され、加振源4と同期した補
償指令が得られる。この信号は、制御器19の働きによ
り、中間ベース26の振動を制御する力と同位相である。
従ってこの補償指令に応じて分配器、二つのパワーアン
プ、二つの電磁石を経由して、加振マスが中間ベースに
与える力は、加振源1が第二の支持手段を経由して中間
ベース26に与える加振力と逆位相となる。そのため、中
間ベースの振動振幅は低減する。低減した振動に応じ
て、同期変換器18の入力信号も小さくなるが、制御器19
は積分機能を持っているので、その指令信号がさらに大
きくなり、同期逆変換器20の補償指令も大きくなる。そ
こで2つの電磁石が加振マスに与える加振力も大きくな
り、中間ベース26に与える振動制御力も大きくなる。
以上を繰り返し、ついには、加振源1が中間ベース26
に与える加振力と、アクチュエータ5が中間ベース26に
与える制振力は、位相が逆で、同じ大きさとなって、中
間ベース26の振動がゼロとなるのである。従って、もは
や第一の支持手段を介してベース9へ伝わる振動もゼロ
となるのである。
[発明の効果] 本発明によれば、中間ベースを用い、それに伝わる加
振源の振動と逆位相で同じ大きさの振動制御力を与える
ので、中間ベースの振動をゼロとすることができる。従
って、第一の支持手段を介してベース9へ伝わる振動が
無くなり、振動に起因する周辺装置への悪影響を回避す
る効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は全体構成図、第2図はアクチュエータの構造
図、第3図は制振コントローラの内部詳細を示す制御系
統図、第4図は従来の除振装置を示す図である。 1……加振源、2……付加マス 3……第一の加速度センサ 4……制振コントローラ 5……アクチュエータ 6……第一の支持バネ 7……第一のダンパー 8……第二の支持バネ 9……ベース、10……第二の加速度センサ 11……第二のダンパー、12……第一の電磁石 13……第二の電磁石、14……加振マス 15……ケース、16……第一のコイルバネ 17……第二のコイルバネ、18……同期変換器 19……制御器、20……同期逆変換器 21……分配器、22……同期2相発振器 23……第一のパワーアンプ 24……第二のパワーアンプ 25……減算器、26……中間ベース 27……変位センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G05D 19/02 F16F 15/02

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】第一の支持装置によりベースに支持された
    中間ベースと、第二の支持装置により該中間ベースに支
    持された加振源と、前記中間ベースに固定したアクチュ
    エータと、前記加振源に固定した第一の加速度センサ
    と、前記中間ベースに固定した第二の加速度センサと、
    前記第一、第二の加速度センサの信号を入力とし前記ア
    クチュエータに操作指令を与える制振コントローラとを
    備えたことを特徴とする除振装置。
  2. 【請求項2】前記加振源に固定した前記第一の加速度セ
    ンサの信号を同期基準信号とし、前記中間ベースに固定
    した前記第二の加速度センサの同期振動加速度がゼロと
    なるよう制御することを特徴とする請求項1記載の除振
    装置。
  3. 【請求項3】請求項1記載のアクチュエータが前記中間
    ベースに固定されたケースと、該ケースに固定され対向
    する第一、第二の電磁石と、該電磁石により吸引加速さ
    れて振動可能な付加マスと、該電磁石と該付加マスの相
    対変位を検出する変位センサと、該付加マスを該ケース
    に支持する支持手段とから成ることを特徴とする除振装
    置。
  4. 【請求項4】請求項1記載の制振コントローラが、加振
    源に固定した第一の加速度センサの信号を入力として同
    期発振する同期2相発振器と、設定加速度信号から
    中間ベースに固定した第2の加速度センサの信号
    減算する減算器と、該減算器からの信号を前記同期2相
    発振器の信号を受けて同期変換する同期変換器と、該同
    期変換器の信号を受けて働く制御器と、該制御器からの
    信号を前記同期2相発振器の信号を受けて同期逆変換す
    る同期逆変換器と、該同期逆変換器の信号とアクチュエ
    ータに設けた変位センサの信号を受けて2つの電流指令
    を得る分配器と、該分配器からの電流指令に応じて電流
    増幅し電流フィードバック制御を行う第一、第二のパワ
    ーアンプとからなり、これら第一、第二のパワーアンプ
    から前記アクチュエータの二つの電磁石にそれぞれ電流
    を供給するようにしたことを特徴とする除振装置。
  5. 【請求項5】請求項4記載の分配器の入力信号に対して
    前記二つの電磁石が付加マスに与える合力が比例するよ
    う磁気吸引力の線形補償をするようにしたことを特徴と
    する除振装置。
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