JP2568755Y2 - ワーク搬送装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、液晶表示板に使用され
るガラス基板などのワークを、空気（本考案では、請求
の範囲を含めて空気、不活性ガスなどの気体を総称して
空気と呼ぶ）の吸引圧力を利用して吸着して搬送するた
めのワーク搬送装置に関するもので、特に、吸着してい
たワークを、水などの液体が付着した状態でも液体の表
面張力に打ち勝って、ワークを破損することなく所定の
場所に置くことができる技術に係る。

【０００２】

【従来の技術】従来から、板状或いは箱状のワークのよ
うに表面につかむ場所のないワークの搬送装置として、
空気の吸引力を利用してワークを吸着して持ち上げ、こ
れを所望の箇所に移動させた後、空気の吸引力を断つこ
とによりワークをその自重で降ろすものが知られてい
る。図５は、このような搬送装置の従来技術の一例であ
って、ワークＷよりも一回り小型の吸着板１の表面に複
数の吸引口３を設け、この吸引口３を吸排気管４を介し
て空気圧制御装置５に接続したものである。

【０００３】この従来技術は、周囲（例えば四隅）が支
持されたワークＷの下方にこの吸着板１を差込んで持ち
上げ、吸着板１の表面にワークＷを接触させた後、空気
圧制御装置５を使用して吸引口３から空気（ワークが不
活性ガス雰囲気中で取り扱われる場合には、不活性ガ
ス）を吸い込んでワークＷを吸着することによってワー
クＷを吸着板１に固定し、その後、吸着板１を移動させ
ることによってワークを搬送するものである。この従来
技術において、搬送されたワークを所定の箇所に降ろす
場合には、空気圧制御装置５から吸引口３への空気の吸
い込みを断ち、ワークの周囲を搬送後の場所の台などに
支持させた状態で、吸着板１をワークＷ下面よりも更に
下げることによって、ワークから吸着板を離すようにし
ていた。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】ところが、上記のよう
な従来の搬送装置を、液晶表示板のガラス基板の洗浄工
程のように、比較的軽量でしかも破損しやすいワークが
水などの液体で濡れた状態にあるときに使用すると、吸
着したワークが液体の表面張力で搬送装置に付着してし
まい、空気の吸引力を断っただけでは装置から降ろすこ
とができなくなる。特に、図５のように、ワークとして
薄くて比較的面積のあるガラス基板Ｗを対象とし、やは
りある程度の面積のある吸着板１を使用して吸着した場
合には、吸着板１とガラス基板Ｗとの間に介在する液体
の面積も多く、その間に働く表面張力も大きいことか
ら、単に空気の吸引力を断っただけでは、ガラス基板Ｗ
が吸着板１から離れない。だからといって、ワーク表面
から吸着板を引き剥がす力を強くすると、その部分に急
激な負荷が加わって、表面張力で吸着している部分との
間にストレスが加わりガラス基板Ｗが破損する問題が生
じる。

【０００５】本考案は、上記のような従来技術の問題点
を解決するために提案されたものである。即ち、本考案
の目的は、液晶表示板のガラス基板の洗浄工程のよう
に、比較的軽量でしかも破損しやすいワークが水などの
液体で濡れた状態にあるときでも、ワークを破損するこ
となく、吸着したワークを確実に吸着板から離して降ろ
すことのできるワーク搬送装置を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの手段として、請求項１の本考案は、吸着板の表面
に、吸排気管を介して空気圧制御装置に接続された吸引
口を設け、この空気圧制御装置からの吸気圧力によって
表面に液体が付着しているワークを液体の介在下で吸着
板に吸着して搬送するワーク搬送装置において、吸着板
の表面外周部にリブを形成し、吸着板の表面の吸引口周
囲にリブの高さより厚肉のワーク当接部を形成し、ワー
ク当接部にワークが当接した状態で、ワーク表面とリブ
先端との間に隙間が形成されるようにし、空気圧制御装
置として、吸着板表面からワークを剥離する時に吸引口
から空気を吹き出すように空気圧を制御するものを使用
することを特徴とする。

【０００７】

【作用】上記のような構成を有する請求項１記載の本考
案においては、ワークを搬送する場合、空気圧制御装置
を利用して吸引口から空気を吸い込み、表面に液体が付
着しているワークを液体の介在下で吸着板に吸着する。
この時、その液体の表面張力と空気の吸引力により、ワ
ークは吸着板の表面に吸着される。また、吸引口周囲に
設けられたワーク当接部のみがワークと接触する。そし
て、この状態で吸着板をワークの搬送箇所にまで移動さ
せ、再び空気制御装置を利用して吸引口からワークに空
気を吹き付けてワークと吸着板を引き離す。その際、ワ
ーク表面と吸着板表面との間に当接部の肉厚相当分の隙
間が予め形成されているため、両者が密着状態にあるよ
りも表面張力が小さい上に、この当接部とリブとの高さ
の差によって生じる隙間が、空気の吹き付け時における
液体や空気の排出部として作用する。

【０００８】

【実施例】（１）第１実施例 以下、本考案の一実施例を図面により具体的に説明す
る。なお、前記図５の従来技術と同一の部分については
同一の符号を付し、説明は省略する。

【０００９】本実施例においては、図１及び図２に示す
ように、吸着板１の表面外周全域にわたって、吸着板１
の表面に突出したリブ２が設けられている。このリブ２
の高さは、０．５ｍｍ〜３．０ｍｍ程度のものであり、
吸着板１によるワーク１の吸着時に、このリブ２によっ
て吸着板１の表面全域とワークＷ表面との間に、周囲が
リブ２で囲まれた狭い隙間が形成される。このリブ２
は、耐薬品性に優れた合成樹脂、例えばフッ素樹脂など
で構成され、アルミあるいはステンレスによって形成さ
れた吸着板１に接着、ねじ込み、はめ込みなどの手段で
固定されている。なお、耐薬品性や長期の使用を考慮す
ると、交換可能になっていることが望ましい。

【００１０】このような構成を有する本実施例の搬送装
置においてワークＷを搬送する場合、まず空気圧制御装
置５を利用して吸引口３から空気を吸い込み、ワークＷ
を吸着板１に吸着する。このとき、ワークＷの表面が洗
浄液その他の液体Ｓで濡れていると、ワークＷ表面と吸
着板１の表面との間には液体が入り込み、この液体の表
面張力と空気の吸引力により、ワークＷは吸着板１の表
面に吸着される。この状態で、図示しない駆動手段によ
り吸着板１をワークＷの搬送箇所にまで移動させ、空気
制御装置５を利用して吸引口３からワークに空気を吹き
付けることで、ワークＷを装置から降ろす。

【００１１】即ち、図３の拡大図に示すように、吸引口
３から空気を吹き出すと、この空気はワークＷと吸着板
１の隙間にある液体Ｓを押すので、液体ＳはワークＷと
リブ２との狭い隙間を通って外部に押し出される。ワー
クＷと吸着板１との間の液体Ｓを押し出して行った空気
がリブ２に達すると、そこで遮られワークＷと吸着板１
との隙間から外に逃げることができないために、リブ２
に達していない他の方向に流れ、その方向の液体Ｓをワ
ークＷとリブ２の隙間から外部に押し出す。このように
して、吹き出された空気は液体Ｓを隙間の全域から排除
して行き、最終的には全周囲のリブ２に空気が達した時
点で、空気がリブ２とワークＷの隙間から外部に出て行
く。このように、本実施例によれば、リブ２の存在によ
り、ワークＷと吸着板１間の液体Ｓを効果的に排除でき
る。その結果、液体Ｓによる表面張力を失わせることが
でき、ワークＷに無理なストレスをかけることなく軽い
力でワークＷと吸着板を引き離すことができる。したが
って、吸着板の引き離し時にワークが破損することも回
避される。

【００１２】（２）第２実施例 図４は、本考案の第２実施例を示すものである。この第
２実施例においては、吸着板１表面における吸引口３の
周囲に、リブ２と同様な材質で形成されたリング状のワ
ーク当接部１ａが設けられている。このワーク当接部１
ａも、接着、ねじ込み、はめ込みなどの手段で吸着板１
に固定されるが、やはり交換可能になっていることが望
ましい。このワーク当接部１ａの肉厚は、リブ２の高さ
よりも若干、例えば０．２〜２．０ｍｍ程度薄いもので
ある。従って、図に示すように、リブ２の先端とワーク
Ｗの表面との間には、特に吸引口３に空気圧が加わって
いなくても、液体や空気の排出部となる隙間が形成され
ている。

【００１３】このような構成の第２実施例においても前
記第１実施例と同様に、吸引口３から空気を吹き出すこ
とにより、ワークと吸着板との間の表面張力を減少ある
いは消失させることができる。しかも、本実施例におい
ては、ワークと吸着板との接触が面積の狭い当接部１ａ
によって行われるため、表面張力自体の発生も少なく、
更にワークとの接触部が少ない分だけワークを傷付ける
恐れもない。

【００１４】（３）他の実施例 なお、本考案は上記の実施例に限定されるものではな
く、搬送するワークの形状や種類はガラス基板に限るも
のではなく、吸着板の形状、リブ２の高さや肉厚、吸引
口３の形状・配置などもワークに応じて適宜変更可能で
ある。例えば、第１実施例において、周囲のリブ２に適
当な間隔で切欠部を形成しておくことにより、液体や空
気の排出をより効果的に行わせることも可能である。ま
た、空気圧制御装置５も、吸着時の吸引圧力や時間、吹
き出し時の圧力・時間・タイミングをマイコンなどを利
用してワークに適合したものを適宜設定することができ
る。もちろん、請求項１の考案は、リブ２や当接部１ａ
を使用することなく、空気やガスを吹き付けるだけのも
のを包含するものである。更に、ワークとしては、ガラ
スなどの板状部材に限らず、他のブロック状のものにも
使用できるし、吸着板としてもその上側の表面でワーク
を支持するもの以外に、下側の表面で吸着して吊り下げ
るようなものも使用できる。

【００１５】

【考案の効果】以上の通り、本考案のワーク搬送装置に
よれば、ワークと吸着板との間の液体を容易に排除する
ことができるので、両者間に働く表面張力を失わせて、
ワークに無理な力をかけることなく、搬送装置から降ろ
すことが可能になる。その結果、ガラス基板などのワー
クの洗浄工程においても、ワークを破損することなく、
空気吸引型の搬送装置の使用が可能となる。

【００１６】特に、ワーク表面と吸着板表面との間にワ
ーク当接部の肉厚相当分の隙間が予め形成されており、
ワークと吸着板との接触がワーク当接部のみによって行
われるため、表面張力自体の発生も少なくさせることが
でき、更にワークとの接触部が少ない分だけワークを傷
付ける恐れもない。また、ワーク当接部とリブとの高さ
の差によって生じる隙間が、空気の吹き付け時における
液体や空気の排出部として作用するので、両者間の液体
の排出がより円滑になされる。また、吸引口周囲にワー
ク当接部を設けることにより、吸排気管へ液体が侵入す
ることを防止するとともに、ワークと吸着板間の液体の
表面張力を利用して吸着の密閉性、すなわち真空度の上
昇及び安定性を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案のワーク搬送装置の第１実施例を示す平
面図。

【図２】図１の装置の断面図。

【図３】図２の拡大断面図。

【図４】本考案の第２実施例の拡大断面図。

【図５】従来のワーク搬送装置を示す平面図。

【符号の説明】

Ｗ…ワーク（ガラス基板） Ｓ…水 １…吸着板 １ａ…ワーク当接部 ２…リブ ３…吸引口 ４…吸排気管 ５…空気圧制御装置

Claims (1)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】吸着板の表面に、吸排気管を介して空気圧
   制御装置に接続された吸引口を設け、この空気圧制御装
   置からの吸気圧力によって、表面に液体が付着している
   ワークを液体の介在下で吸着板に吸着して搬送するワー
   ク搬送装置において、 前記吸着板の表面外周部にリブを形成し、 前記吸着板の表面の吸引口周囲に、前記リブの高さより
   厚肉のワーク当接部を形成し、 前記ワーク当接部に前記ワークが当接した状態で、前記
   ワーク表面とリブ先端との間に隙間が形成されるように
   し、 前記空気圧制御装置として、前記吸着板表面から前記ワ
   ークを剥離する時に、前記吸引口から空気を吹き出すよ
   うに空気圧を制御するものを使用すること、 を特徴とするワーク搬送装置。