JPH0556393U - 自動基板裁断装置の搬送機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 例え液晶表示板等の基板を搬送する場合であ
っても、ガラス基板に反りを発生させない、また、局部
的にポリマービーズ等の偏在を誘発するおそれのないも
のである。 【構成】 ガラス基板等の基板Ｋをカッターでスクライ
ブし、ブレイク手段でブレイクして裁断するために基板
Ｋを移送するに際し、テーブル５上で基板Ｋを吸着させ
て搬送する自動基板裁断装置の搬送機において、少なく
とも基板Ｋ表面に当接しうる面に多孔質状の吸着部材１
を設け、この吸着部材１の背面を減圧手段２にて減圧す
ることにより基板Ｋを吸着して搬送しうるようにしてな
るものである。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、二枚のガラス基板を重ね合わせて形成された、例えばそれぞれが個 々に液晶表示板を構成する複数の透明導電膜パターンが印刷された複層ガラス基 板である基板から各透明導電膜パターンを個々に有する単位複層ガラスに機械的 にスクライブしてブレイクする自動基板裁断装置にあって、基板を搬送させるこ とができる自動基板裁断装置の搬送機に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

従来のこうした搬送機としては、基板表面に当接しうる複数個の吸盤を有し、 ブロア等で吸盤に排圧をかけることにより、これらの吸盤の吸引力で液晶表示板 等の基板を吸着させて搬送するものがある。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、従来の搬送機では、吸盤の吸引力により、例えば液晶表示板を吸着し て持ち上げた場合、局部的に荷重が加わってガラス基板に反りを生じさせたり、 また、ガラス基板とガラス基板の間に介在するポリマービーズ等の偏在を誘発す る場合があるという問題点がある。

【０００４】 そこで、本考案は、例え液晶表示板等の基板を搬送する場合であっても、ガラ ス基板に反りを発生させない、また、局部的にポリマービーズ等の偏在を誘発す るおそれのない自動基板裁断装置の搬送機を提供しようとするものである。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記目的を達成するために、ガラス基板等の基板をカッターでスクライブし、 ブレイク手段でブレイクして裁断するために基板を移送するに際し、テーブル上 で基板を吸着させて搬送する自動基板裁断装置の搬送機において、少なくとも基 板表面に当接しうる面に多孔質状の吸着部材を設け、この吸着部材の背面を減圧 手段にて減圧することにより基板を吸着して搬送しうるようにしてなるものであ る。

【０００６】 また、後述する効果により、吸着部材として、ほぼ基板表面に当接しうる大き さの連続気泡を有する発泡材料を用いてなるものが好ましい。

【０００７】

【作用】

以上の如く本考案の自動基板裁断装置の搬送機によれば、基板が載置されたテ ーブル上まで搬送機を移動し、吸着部材を基板表面に当接させた状態で、減圧手 段にて吸着部材背面を減圧して吸着部材表面と基板を吸着させ、基板を自由に搬 送することができる。目的場所まで、基板を搬送すると、減圧を解くことにより 、吸着部材から基板を離脱させることができる。

【０００８】 次に、吸着部材として、ほぼ基板表面に当接しうる大きさの連続気泡を有する 発泡材料を用いてなるものを採用した場合には、ほぼ基板表面全体に連続気泡を 有する発泡材料の吸着部材を吸着させることにより、基板の搬送を行うことがで きる。

【０００９】

【実施例】

本考案の詳細を更に図示した実施例により説明する。 図１に示すものは、自動基板裁断装置の搬送機の原理を示す説明図である。 自動基板裁断装置の搬送機Ａは、ガラス基板等の基板Ｋをカッターでスクライ ブし、ブレイク手段でブレイクして裁断するために基板Ｋを移送するに際し、テ ーブル上で基板Ｋを吸着させて搬送するものであり、図１のように連続気泡を有 する発泡プラスチック、発泡ゴム等の発泡材料、焼結金属、紙を編み込んだもの 等を用いた多孔質状部材からなる例えば基板Ｋの全表面に当接しうる大きさの板 状の吸着部材１とブロア、真空ポンプ等の減圧手段２で構成され、減圧手段２と 吸着部材１背面とを配管３で接続するとともに、配管３の途中にシリンダー、真 空チャンバー等の補助減圧手段４を付加的に加えたものである。そして、搬送機 Ａは、テーブル５上に載置された基板Ｋ表面に吸着部材１を当接させて、補助減 圧手段４であるシリンダー、真空チャンバー等を用いて急速に減圧を行うことに より、吸着部材１表面に基板Ｋを吸着させ、減圧手段２にて減圧を行うことによ り基板Ｋを吸着した状態を保つことができ、基板Ｋを搬送することができるので ある。

【００１０】 更に、具体的な搬送機Ａについて図２及び図３に基づいて行う。 搬送機Ａは、図３に示すように固定台６の側方に、調整用ねじ７の先端で支持 台８の下面より延設した支持片９を支持した状態で図２の如く支持台８を移動方 向に配設するように取り付け、この支持台８上面に案内用レール10とラックレー ル11を並行配設し、該案内用レール10上を外被部材12を外被して走行自在とし、 この上に走行部材13を固定し、更に図３の如く走行部材13上に回転軸14の先端に ピニオン15を有する駆動用モーター16を前記ラックレール11とピニオン15が噛み 合うように取り付けることにより、駆動用モーター16の回転にて図２中の左右い ずれにも案内用レール10上を走行部材13が走行自在としている。更に、搬送機Ａ は、図２及び図３に示すように固定台６の側方に設けたテーブル５に向かって延 びるように走行部材13より延設片17を延設し、この延設片17にロッド18が貫通す るように昇降用エアシリンダー19を取り付け、該昇降用エアシリンダー19の側方 に内部にベアリングを有する案内用軸受20、20を貫通して固定し、案内用軸受20 にて支持されるように案内杆21を貫通させ、案内杆21、21の先端にナット22、22 で、及び昇降用エアシリンダー19のロッド18の先端に連結継手23を介してナット 24で取付用板体25を取り付け、中空の枠体26の底面に板形状であり且つ多孔質状 の吸着部材１、例えば連続気泡を有する発泡ゴムを用いたものを設けた枠体26に 取付ボルト27と取付ナット28をコイルバネ29を介在させた状態で取り付けたもの である。図２中30は、吸込口であり、図３中31は、枠体26と吸着部材１の間の中 空を保持するための保持部材31であり、ねじ32で固定したものである。そして、 吸込口30と特に図示しないチューブで配管して、この吸着部材１を基板Ｋ表面に コイルバネ29・・でクッション性を持たせて当接させた状態で、ブロア、真空ポ ンプ等の減圧手段２で排気することにより、吸着部材１の背面を減圧することに より基板Ｋを吸着して搬送しうるようにしたものである。

【００１１】 尚、補助減圧手段４は、シリンダー、真空チャンバー等を用いて急速に減圧を 行うことにより、瞬時にして吸着部材１表面と基板Ｋ表面を吸着させるようにし たものであるが、吸着部材１表面と基板Ｋ表面の吸着を解く場合には、シリンダ ー、真空チャンバー等により急速に空気を送り込みことにより行うことができる 。また、この補助減圧手段４を特に設けずに、減圧手段２の減圧だけでも、吸着 部材１表面と基板Ｋ表面を吸着させることも可能である。 また、図例の吸着部材１は、基板Ｋの全表面に当接しうる大きさの板状のもの を用いているが、特に限定されずに基板Ｋ表面にある程度の面積をもって当接し うる大きさのものであればよく、更に、図例の吸着部材１は、図３の如く枠体26 と吸着部材１の間が中空状態となるように取り付けられたものであるが、特に中 空部を設けずに、吸着部材１の背面から直接吸着するようにしたものであっても よい。

【００１２】 而して、本考案に係る代表的実施例の搬送機Ａによれば、駆動用モーター16を 回転させることにより、ピニオン15とラックレール11が噛み合って、案内用レー ル10に沿って走行部材13が移動し、基板Ｋが載置されたテーブル５上まで吸着部 材１が移動される。そして、図３において昇降用エアシリンダー19を作動させて 取付用板体25を矢印方向に下降し、吸着部材１を基板Ｋ表面にコイルバネ29・・ でクッション性を持たせて当接させた状態で、補助減圧手段４であるシリンダー 、真空チャンバー等を用いて急速に減圧して枠体26内を減圧することにより吸着 部材１表面に基板Ｋを吸着させ、減圧手段２にて減圧を行うことにより基板Ｋを 吸着した状態を保つことができ、昇降用エアシリンダー19を作動させて取付用板 体25を上昇させるとともに、同様に駆動用モーター16を回転させることにより、 基板Ｋを自由に搬送することができる。目的場所まで、基板Ｋを搬送すると、シ リンダー、真空チャンバー等により急速に空気を送り込んで、減圧を解くことに より、吸着部材１から基板Ｋを離脱させることができる。このようにして、基板 Ｋを搬送することにより、特に図示しないが、カッターでスクライブし、ブレイ ク手段でブレイクして裁断することができるのである。

【００１３】 このように本考案に係る代表的実施例の搬送機Ａによれば、基板Ｋの全表面に 当接しうる大きさの吸着部材１を基板Ｋの表面に当接させた状態で吸着させるの で、局部的に荷重が加わることがなく、例えば基板Ｋとして、二枚のガラス基板 を重ね合わせて形成された、例えばそれぞれが個々に液晶表示板を構成する複数 の透明導電膜パターンが印刷された複層ガラス基板を用いた場合でも、ガラス基 板の反りやガラス基板との間のポリマービーズ等の偏在を誘発するおそれがなく 、基板Ｋを自由に搬送することができるのである。

【００１４】

【考案の効果】

本考案は、上述のとおり構成されているので、次に記載する効果を奏する。 請求項１の自動基板裁断装置の搬送機によれば、基板の全表面に当接しうる大 きさの吸着部材を基板の表面に当接させた状態で吸着させるので、局部的に荷重 が加わることがなく、例えば基板として、液晶表示板等を用いた場合でも、ガラ ス基板との間のポリマービーズ等が破損するおそれがなく、基板を自由に搬送す ることができるのである。

【００１５】 請求項２の自動基板裁断装置の搬送機によれば、ほぼ基板表面全体に吸着部材 を吸着させることにより、基板の搬送を行うことができるので、より効果的に基 板に局部的な荷重が加わることがなく、安全に搬送を行うことができ、吸着部材 として、連続気泡を有する発泡材料を用いているので、吸着部材と基板の吸着力 がよく、しかも基板表面に傷をつけずに搬送を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】自動基板裁断装置の搬送機の原理を示す説明図

【図２】本実施例における自動基板裁断装置の搬送機の
平面図

【図３】同じく一部断面状態を示す自動基板裁断装置の
搬送機の側面図

【符号の説明】

Ａ 自動基板裁断装置の搬送機 Ｋ 基板 １ 吸着部材 ２ 減圧手段 ３ 配管 ４ 補助減圧手段 ５ テーブル ６ 固定台 ７ 調整ねじ ８ 支持台 ９ 支持片 10 案内用レール 11 ラックレール 12 外被部材 13 走行部材 14 回転軸 15 ピニオン 16 駆動用モーター 17 延設片 18 ロッド 19 昇降用シリンダー 20 案内用軸受 21 案内杆 22 ナット 23 連結継手 24 ナット 25 取付用板体 26 枠体 27 取付ボルト 28 取付ナット 29 コイルバネ 30 吸込口 31 保持部材 32 ねじ

Claims (2)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ガラス基板等の基板をカッターでスクラ
   イブし、ブレイク手段でブレイクして裁断するために基
   板を移送するに際し、テーブル上で基板を吸着させて搬
   送する自動基板裁断装置の搬送機において、少なくとも
   基板表面に当接しうる面に多孔質状の吸着部材を設け、
   この吸着部材の背面を減圧手段にて減圧することにより
   基板を吸着して搬送しうるようにしてなる自動基板裁断
   装置の搬送機。
2. 【請求項２】 吸着部材として、ほぼ基板表面に当接し
   うる大きさの連続気泡を有する発泡材料を用いてなる請
   求項１記載の自動基板裁断装置の搬送機。