[go: up one dir, main page]

JP2535358B2 - 電子部品におけるモ―ルド部の製造方法 - Google Patents

電子部品におけるモ―ルド部の製造方法

Info

Publication number
JP2535358B2
JP2535358B2 JP62231518A JP23151887A JP2535358B2 JP 2535358 B2 JP2535358 B2 JP 2535358B2 JP 62231518 A JP62231518 A JP 62231518A JP 23151887 A JP23151887 A JP 23151887A JP 2535358 B2 JP2535358 B2 JP 2535358B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
inner lead
mold
synthetic resin
electronic component
dam bar
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP62231518A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6473731A (en
Inventor
房雄 松山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP62231518A priority Critical patent/JP2535358B2/ja
Publication of JPS6473731A publication Critical patent/JPS6473731A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2535358B2 publication Critical patent/JP2535358B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は合成樹脂モールドにより電子部品におけるモ
ールド部を製造する方法に関するものである。
〔従来の技術とその問題点〕
電子部品、例えば多ピン型の集積回路素子では、第1
図に示すようにリードフレーム1は厚さ寸法(t)の薄
金属板から打ち抜き形成して成り、該リードフレーム1
は左右両側の連結バー3間を各集積回路素子を構成する
単位幅間隔ごとにダムバー4にて連結し、連結バー3か
ら半導体チップ5を載置するアイランド6を沿設する一
方、ダムバー4から多数本のインナーリード部7をアイ
ランド6の方向に向かって突出させて成形する。
そして、アイランド6の上面にダイボンデイングした
半導体チップ5と各インナーリード部7とを金線8等に
てワイヤボンデイングした後、第7図に示すように、上
下一対のモールド金型10,11の成形空所であるキャビテ
イ12内に前記アイランド6及びインナーリード部7を位
置させ、ダムバー4及びインナーリード部7の基端部を
上下両モールド金型10,11にて挟み付け、この上下両モ
ールド金型10,11のキャビテイ12内に熱可塑性または熱
硬化性等の合成樹脂を注入し、前記アイランド6及び半
導体チップ5とワイヤボンデイングされたインナーリー
ド部7から成る本体部分をモールド部13として被覆成形
したのち、前記各インナーリード部がモールド部13から
突出した箇所で各々電気的に分離するように左右両連結
バー3やダムバー4部を切断することにより集積回路素
子を製造するようにしている。
このとき、特開昭60−92625号公報や特開昭62−36834
号公報等に開示されているように、注入した合成樹脂に
よりキャビテイ12内の空気を外部に放出するための微小
な隙間をインナーリード部の外周に沿って形成されてい
るから、この隙間に合成樹脂が進入して固まると、イン
ナーリード部の外周や、隣接するインナーリード部を繋
ぐようなバリが形成される。また、キャビテイ12内の合
成樹脂が漏れ出ないように前記左右両連結バー3,3及び
ダムバー4,4箇所にて上下両モールド金型10,11を挟み付
けると共に、多数本のインナーリード部7の上下面も上
下両モールド金型10,11にて挟み付けるようにしている
ので、モールド金型のいずれか一方の挟み付け面に成形
工程中のバリの離脱片等のゴミ14が付着していると、前
記挟み付け時にインナーリード部7がゴム14に乗ること
があり得る。
ところが、多ピン型の集積回路素子では、各インナー
リード部7自体の幅寸法が小さいから、前述ゴミ14の上
に乗ったインナーリード部7は上下又は左右に曲がり易
く、また、インナーリード部7の隣接ピッチも狭小であ
るから、その曲がった状態のインナーリード部7は隣接
のインナーリード部と接触したり、半導体チップ5との
ワイヤボンデイング箇所が切れる等の事故が発生し、製
品歩留りが非常に悪化するという問題があった。
本発明はこの問題を解決することを目的とするもので
ある。
〔問題点を解決するための手段〕
そのため、本発明の電子部品におけるモールド部の製
造方法は、多数本のインナーリード部を有し、且つ各イ
ンナーリード部の基部がダムバーに連接されてなる電子
部品用のリードフレームを上下一対のモールド金型に挟
んで合成樹脂モールド成形するに際して、前記上下一対
のモールド金型に、電子部品の本体部を覆うモールド部
のキャビティから前記ダムバーに連接する各インナーリ
ード部の基部にわたってその上下両面に沿う適宜隙間の
凹所を形成し、且つ上下一対のモールド金型の合わせ接
当部にて、前記ダムバーの上下面を挟持させ、前記キャ
ビティ内に合成樹脂を注入し、前記電子部品の本体部を
覆うモールド部から前記ダムバーに連接する各インナー
リード部の基部にわたってその上下両面に沿って前記凹
所に合成樹脂製の薄膜を一体的に突出させ、その後該薄
膜を取り除くようにしたものである。
〔発明の作用及び効果〕
このように本発明では、多数本のインナーリード部を
有する電子部品のリードフレームを上下一対のモールド
金型に挟んで合成樹脂モールド成形するに際して、上下
一対のモールド金型に、電子部品の本体部を覆うモール
ド部のキャビティから前記ダムバーに連接する各インナ
ーリード部の基部にわたってその上下両面に沿う適宜隙
間の凹所を形成し、且つ上下一対のモールド金型の合わ
せ接当部にて、前記ダムバーの上下面を挟持させたの
で、上下対のモールド金型がリードフレームを挟み付け
るときには、当該両モールド金型が各インナーリード部
の全長にわたって、当該インナーリード部の上下両面と
直接接触することがない。
即ち、モールド成形作業時に、各インナーリード部の
上下面に相当するモールド金型の凹所内にゴミが付着し
ていても、そのゴミのために各インナーリード部を湾曲
させる等の事故が生じない。
従って、本発明によれば、合成樹脂モールド成形作業
時に両モールド金型の清掃が不完全であっても、両モー
ルド金型間のキャビティ内においてインナーリード部の
先端側が上下または左右に曲がることによる電気的短絡
やワイヤボンデイング箇所のワイヤ切断事故を起こすこ
とが無くなるという効果を奏するのである。
また、前記モールド成形後にモールド部の側面から突
出する各インナーリード部の上下両面に付着した合成樹
脂の薄膜は通常のモールド成形時に生ずるバリと同様の
ものであるから、その取り除き作業を実行すれば、外観
の美麗な製品が出来るのである。
それゆえ、合成樹脂モールド成形作業による電子部品
の不良発生を無くして電子部品の品質向上及び製造コス
トの低減に寄与できるという顕著な効果を有する。
〔実施例〕
次に実施例を図面に従って説明すると、第1図に示す
リードフレーム1は従来のものと同様であって、符号3
は連結バー、4はダムバー、5は半導体チップ、6は半
導体チップ5をダイボンデイングして搭載するアイラン
ド、7はアイランド6の側面にむかって近付くように放
射状に配設されたインナーリード部、8は半導体チップ
5とインナーリード部7の先端部とをワイヤボンデイン
グするための金線等のワイヤである。
本発明に使用するモールド金型20,21の第1実施例は
第2図及び第3図に示すごとくで、モールド金型20,21
は、前記半導体チップ5,アイランド6,ワイヤ8及びイン
ナーリード部7を覆うキャビテイ22と、ダムバー4,4の
上下両面を挟む合わせ接当部23,23を有すると共に、総
てのインナーリード部7の前記ダムバー4に対する連接
部に近い基部の上下両面に対して上下方向に微小の寸法
(h1)の隙間が形成できる凹所24を前記キャビテイ22に
連通させ、その凹所24の先端を合わせ接当部23にまで沿
設する。
従ってこの凹所24の上下寸法はインナーリード部7の
厚さ寸法(t)に隙間寸法(h1)の二倍を加えたもので
あり、また、隙間寸法(h1)はキャビテイ22内の空気を
外部に抜くための隙間(図示せず)と略同様の上下寸法
であり、一般に付着するゴミの厚さより大きいものとす
る。
さらに、第2図の実施例における凹所24は、相隣接す
るインナーリード部7,7間のピッチ隙間25の部分にも連
通する広幅ひれ状である。
この実施例におけるモールド金型20,21のキャビテイ2
2内に前記リードフレーム1におけるアイランド6など
の部分を挿入し、そのダムバー4部分や連結バー3部分
等にて上下両モールド金型20,21を挟むと、総てのイン
ナーリード部7における上下両面には、前記凹所24との
間に上下寸法(h1)の隙間が形成できると共に、相隣接
するインナーリード部7,7間にピッチ隙間25とも連通す
る。
つぎに、ゲート(図示せず)から例えば液状の熱硬化
性のエポキシ合成樹脂を注入すると、当該合成樹脂はキ
ャビテイ22内を充満すると共に各インナーリード部7の
周面を覆うように凹所24に流入し、モールド金型20,21
を適宜時間加熱した後モールド金型20,21を外すことに
より、第4図に示すようにキャビテイ22の形状通りにモ
ールド部27が形成できると共に、インナーリード部7の
上下両面では厚さ寸法(h1)と極めて薄く、前記第2図
に示す実施例におけるピッチ隙間25の箇所では、(t+
2h1)の厚さであるように総てのインナーリード部7を
覆うひれ状の薄膜28が前記モールド部27の側面から一体
的に突出成形されることになる。
次いで、前記薄膜28を適宜の工具や薬品で取り除いた
後、連結バー3,3およびダムバー4,4を切り取ると、第6
図に示すごとくモールド部27の側面からインナーリード
部7が突出した電子部品が製造されたことになる。
前記薄膜28は合成樹脂モールドにおけるバリと同様の
ものであるから、インナーリード部7から容易に剥離ま
たは取り除くことができる。
第2図におけるIII−III線と同じ箇所の断面で示す第
5図は、モールド部27の側面から突出する薄膜28が各イ
ンナーリード部7の上下両面箇所のみに形成できるよう
にする実施例で、そのときのモールド金型20,21におけ
る凹所29は各インナーリード部7,7の間のピッチ隙間25
が無くなるような突条合わせ部30を有するものである。
この実施例においては、モールド成形後の相隣接した
インナーリード部7,7間のピッチ隙間25に相当する箇所
には合成樹脂が突出しておらず、各インナーリード部の
上下両面に沿って薄膜28が付着しているので、その除去
作業は一段と容易となる。
このように、多数本のインナーリード部を有する電子
部品のリードフレームを上下一対のモールド金型に挟ん
で合成樹脂モールド成形するに際して、前記電子部品の
本体部を覆うモールド部から各インナーリード部の上下
両面に沿って合成樹脂製の薄膜を一体的に突出させるの
であるから、モールド部を形成するためのモールド金型
がリードフレームを挟み付けるときにも、当該両モール
ド金型が各インナーリード部の上下両面と直接接触する
ことがない。
従って、各インナーリード部の上下面に相当するモー
ルド金型の合わせ面箇所にゴミが付着していても、その
ゴミのために各インナーリード部を湾曲させる等の事故
が生じず、両モールド金型間のキャビテイ内においてイ
ンナーリード部の先端側が上下または左右に曲がること
による電気的短絡やワイヤボンデイング箇所のワイヤ切
断事故を起こすことが無くなる。それゆえ、合成樹脂モ
ールド成形作業による電子部品の不良発生を無くして電
子部品の品質向上及び製造コストの低減に寄与できると
いう顕著な効果を有する。
本発明は、合成樹脂のモールド部の一側から多数のイ
ンナーリード部が突出するSIPタイプや、モールド部の
両側からインナーリード部が突出するDIPタイプ、モー
ルド部の4側からインナーリード部が突出するタイプに
も適用できるし、合成樹脂モールド成形に際してモール
ド金型内に溶融状の熱可塑性合成樹脂を圧入するインジ
ェクションの場合にも適用できることは云うまでもな
い。
【図面の簡単な説明】
第1図から第6図は本発明の実施例を示し、第1図はリ
ードフレームの平面図、第2図は上下両モールド金型に
てリードフレームを挟んだ状態の断面図、第3図は第2
図のIII−III視要部拡大断面図、第4図は上下両モール
ド金型を外した状態の斜視図、第5図は第3図と同じ断
面箇所にて示す第2実施例の要部拡大断面図、第6図は
電子部品の斜視図、第7図は従来のモールド金型による
合成樹脂モールド製造方法時の説明用断面図である。 1……リードフレーム、3……連結バー、4……ダムバ
ー、5……半導体チップ、6……アイランド、7……イ
ンナーリード部、8……ワイヤ、10,11,20,21……上下
両モールド金型、12,22……キャビティ、14……ゴミ、2
3……合わせ接当部、24,29……凹所、25……ピッチ隙
間、27……モールド部、28……薄膜、30……突条突合せ
部。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】多数本のインナーリード部を有し、且つ各
    インナーリード部の基部がダムバーに連接されてなる電
    子部品用のリードフレームを上下一対のモールド金型に
    挟んで合成樹脂モールド成形するに際して、前記上下一
    対のモールド金型に、電子部品の本体部を覆うモールド
    部のキャビティから前記ダムバーに連接する各インナー
    リード部の基部にわたってその上下両面に沿う適宜隙間
    の凹所を形成し、且つ上下一対のモールド金型の合わせ
    接当部にて、前記ダムバーの上下面を挟持させ、前記キ
    ャビティ内に合成樹脂を注入し、前記電子部品の本体部
    を覆うモールド部から前記ダムバーに連接する各インナ
    ーリード部の基部にわたってその上下両面に沿って前記
    凹所に合成樹脂製の薄膜を一体的に突出させ、その後該
    薄膜を取り除くことを特徴とする電子部品におけるモー
    ルド部の製造方法。
JP62231518A 1987-09-16 1987-09-16 電子部品におけるモ―ルド部の製造方法 Expired - Lifetime JP2535358B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62231518A JP2535358B2 (ja) 1987-09-16 1987-09-16 電子部品におけるモ―ルド部の製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP62231518A JP2535358B2 (ja) 1987-09-16 1987-09-16 電子部品におけるモ―ルド部の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6473731A JPS6473731A (en) 1989-03-20
JP2535358B2 true JP2535358B2 (ja) 1996-09-18

Family

ID=16924742

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP62231518A Expired - Lifetime JP2535358B2 (ja) 1987-09-16 1987-09-16 電子部品におけるモ―ルド部の製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2535358B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000150725A (ja) * 1998-11-05 2000-05-30 Sony Corp 半導体装置およびその製造方法
CH700697A2 (de) 2009-03-27 2010-09-30 Eth Zuerich Schalteinrichtung mit einer kaskodeschaltung.

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS604225A (ja) * 1983-06-23 1985-01-10 Toshiba Corp 樹脂封止型半導体装置の樹脂バリ除去方法
JPS6092625A (ja) * 1983-10-27 1985-05-24 Toshiba Corp 樹脂封止型半導体装置の樹脂バリ除去方法
JPS6236834A (ja) * 1985-08-10 1987-02-17 Fujitsu Ltd 樹脂封止装置及び方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6473731A (en) 1989-03-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100517682C (zh) 半导体器件及其制造方法
US5587606A (en) Lead frame having deflectable and thereby precisely removed tie bars
JP2535358B2 (ja) 電子部品におけるモ―ルド部の製造方法
JP2580740B2 (ja) リードフレーム
JP2630686B2 (ja) 電子部品製造用フレーム、およびこれを用いた電子部品製造方法、ならびにこの製造方法により製造された電子部品
JP2696619B2 (ja) リードフレーム、およびこれを用いた電子装置の製造方法、ならびにこの製造方法により製造された電子装置
JPS6084850A (ja) リ−ドフレ−ム
JPS6340351A (ja) リ−ドフレ−ム
JP2589184B2 (ja) 半導体装置の製造方法
JP2532490B2 (ja) 樹脂封止形半導体装置の製造方法
JP3200670B2 (ja) 樹脂モールドパッケージ型電子部品の本体部の形成方法
JP2714002B2 (ja) 樹脂封止型半導体装置の製造方法
JPS60164345A (ja) リ−ドフレ−ムの製造方法
JP3008015B2 (ja) 半導体装置およびその製造方法
JP3458907B2 (ja) リードフレーム
JPH07153892A (ja) リードフレーム
JP2955954B2 (ja) 樹脂封止型電子部品の製造方法
JPH029156A (ja) 半導体装置の製造方法
JPH0115181Y2 (ja)
JPH03175658A (ja) 樹脂封止型半導体装置及びその製造方法
JPS6165460A (ja) 半導体モ−ルド方法
JPS63273324A (ja) 樹脂封止型回路装置の製造方法
JPH02205061A (ja) リードフレーム
JPH0722561A (ja) 半導体装置用リードフレーム及びこれを用いた半導体装置の製造方法
JPH0766358A (ja) 半導体装置