JP2022125681A - 積層型コイル部品 - Google Patents

Abstract

【課題】高周波帯での透過係数Ｓ２１が大きく、かつ、そのばらつきが小さい積層型コイル部品を提供する。【解決手段】積層型コイル部品において、複数の絶縁層が積層方向に積層され、長さ方向Ｌに対向する第１端面及び第２端面と、長さ方向Ｌに直交する高さ方向Ｔに対向する第１主面１２ａ及び第２主面１２ｂとを有する素体と、素体の内部に設けられたコイルと、第１端面の一部から第１主面の一部にわたって延在し、コイルに電気的に接続された下地電極２１ａ及びめっき電極２１ｂからなる第１外部電極２１と、を備える。素体の少なくとも一部には、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｚｎ及びＣｕを含む磁性相と、Ｓｉを含む非磁性相とが存在し、めっき電極２１ｂにおける第１主面１２ａ上の先端２１ｂａは、下地電極２１ａにおける先端２１ａａよりも第２端面側に位置し、先端２１ｂａと先端２１ａａとの距離ａは、３０μｍ以下である。【選択図】図１１

Description

本発明は、積層型コイル部品に関する。

高周波特性に優れた積層型コイル部品として、特許文献１には、４０ＧＨｚにおける透過係数Ｓ２１が－１．０ｄＢ以上、０ｄＢ以下である、積層型コイル部品が開示されている。

特開２０１９－１８６２５５号公報

しかしながら、高速・大容量通信の進展に伴い、積層型コイル部品には、より高周波帯まで透過係数Ｓ２１が大きく、かつ、高周波帯までの透過係数Ｓ２１のばらつきが小さいことが求められている。

本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、高周波帯での透過係数Ｓ２１が大きく、かつ、そのばらつきが小さい積層型コイル部品を提供することを目的とするものである。

本発明の積層型コイル部品は、複数の絶縁層が積層方向に積層されてなり、かつ、長さ方向に対向する第１端面及び第２端面と、上記長さ方向に直交する高さ方向に対向する第１主面及び第２主面と、上記長さ方向及び上記高さ方向に直交する幅方向に対向する第１側面及び第２側面と、を有する、素体と、上記素体の内部に設けられ、かつ、複数のコイル導体が電気的に接続されてなるコイルと、上記素体の上記第１端面の少なくとも一部から上記第１主面の一部にわたって延在し、かつ、上記コイルに電気的に接続された第１外部電極と、を備え、上記絶縁層の上記積層方向と上記コイルのコイル軸の方向とは、実装面である上記素体の上記第１主面に平行であり、上記素体の少なくとも一部には、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｚｎ、及び、Ｃｕを含む磁性相と、Ｓｉを含む非磁性相と、が存在し、上記第１外部電極は、上記素体側から順に、下地電極と、上記下地電極上に設けられためっき電極と、を有し、上記めっき電極における上記素体の上記第１主面上に存在する部分の上記長さ方向の先端は、上記下地電極における上記素体の上記第１主面上に存在する部分の上記長さ方向の先端よりも、上記素体の上記第２端面側に位置し、上記めっき電極の上記先端と上記下地電極の上記先端との間の上記長さ方向における距離は、３０μｍ以下である、ことを特徴とする。

本発明によれば、高周波帯での透過係数Ｓ２１が大きく、かつ、そのばらつきが小さい積層型コイル部品を提供できる。

図１は、本発明の積層型コイル部品の一例を示す斜視模式図である。 図２は、図１中の積層型コイル部品を素体の第１端面側から見た状態を示す平面模式図である。 図３は、図１中の積層型コイル部品を素体の第１主面側から見た状態を示す平面模式図である。 図４は、図１中の積層型コイル部品を素体の第１側面側から見た状態を示す平面模式図である。 図５は、図１中の積層型コイル部品を素体の第２側面側から見た状態を示す平面模式図である。 図６は、図１中の積層型コイル部品を素体の第２端面側から見た状態を示す平面模式図である。 図７は、図１中の線分Ａ１－Ａ２に対応する部分の一例を示す断面模式図である。 図８は、図７中の素体及びコイルを分解した状態の一例を示す斜視模式図である。 図９は、図７中の素体及びコイルを分解した状態の一例を示す平面模式図である。 図１０は、図１中の積層型コイル部品の側面模式図である。 図１１は、図１０中の第１素体部分及び第１外部電極の長さ方向及び高さ方向に沿う断面の一部を示す模式図である。 図１２は、図１０中の第２素体部分及び第２外部電極の長さ方向及び高さ方向に沿う断面の一部を示す模式図である。 図１３は、積層型コイル部品の試料１、試料３、及び、試料４の透過係数Ｓ２１の測定結果を示すグラフである。

以下、本発明の積層型コイル部品について説明する。なお、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更されてもよい。また、以下において記載する個々の好ましい構成を複数組み合わせたものもまた本発明である。

本発明の積層型コイル部品は、複数の絶縁層が積層方向に積層されてなり、かつ、長さ方向に対向する第１端面及び第２端面と、長さ方向に直交する高さ方向に対向する第１主面及び第２主面と、長さ方向及び高さ方向に直交する幅方向に対向する第１側面及び第２側面と、を有する、素体と、素体の内部に設けられ、かつ、複数のコイル導体が電気的に接続されてなるコイルと、素体の第１端面の少なくとも一部から第１主面の一部にわたって延在し、かつ、コイルに電気的に接続された第１外部電極と、を備える。

図１は、本発明の積層型コイル部品の一例を示す斜視模式図である。

図１に示すように、積層型コイル部品１は、素体１０と、第１外部電極２１と、第２外部電極２２と、を有している。図１に示していないが、後述するように、積層型コイル部品１は、素体１０の内部に設けられたコイルも有している。

本明細書中、長さ方向、高さ方向、及び、幅方向を、図１等に示すように、各々、Ｌ、Ｔ、及び、Ｗで定められる方向とする。ここで、長さ方向Ｌと高さ方向Ｔと幅方向Ｗとは、互いに直交している。

素体１０は、長さ方向Ｌに対向する第１端面１１ａ及び第２端面１１ｂと、高さ方向Ｔに対向する第１主面１２ａ及び第２主面１２ｂと、幅方向Ｗに対向する第１側面１３ａ及び第２側面１３ｂと、を有しており、例えば、直方体状又は略直方体状である。

素体１０の第１端面１１ａ及び第２端面１１ｂは、長さ方向Ｌに厳密に直交している必要はない。また、素体１０の第１主面１２ａ及び第２主面１２ｂは、高さ方向Ｔに厳密に直交している必要はない。更に、素体１０の第１側面１３ａ及び第２側面１３ｂは、幅方向Ｗに厳密に直交している必要はない。

積層型コイル部品１を基板に実装する場合、素体１０の第１主面１２ａが実装面となる。

素体１０は、角部及び稜線部に丸みが付けられていることが好ましい。素体１０の角部は、素体１０の３面が交わる部分である。素体１０の稜線部は、素体１０の２面が交わる部分である。

図２は、図１中の積層型コイル部品を素体の第１端面側から見た状態を示す平面模式図である。図３は、図１中の積層型コイル部品を素体の第１主面側から見た状態を示す平面模式図である。図４は、図１中の積層型コイル部品を素体の第１側面側から見た状態を示す平面模式図である。図５は、図１中の積層型コイル部品を素体の第２側面側から見た状態を示す平面模式図である。図６は、図１中の積層型コイル部品を素体の第２端面側から見た状態を示す平面模式図である。

図１、図２、及び、図３に示すように、第１外部電極２１は、素体１０の第１端面１１ａの少なくとも一部から、ここでは、素体１０の第１端面１１ａの一部から、第１主面１２ａの一部にわたって延在している。第１外部電極２１が、実装面である素体１０の第１主面１２ａ上に設けられていると、積層型コイル部品１の実装性が向上する。

図２に示すように、第１外部電極２１は、素体１０の第１端面１１ａのうち、第１主面１２ａと交わる稜線部を含む領域を覆っており、第２主面１２ｂと交わる稜線部を含む領域を覆っていない。そのため、素体１０の第１端面１１ａは、第２主面１２ｂと交わる稜線部を含む領域で露出している。

長さ方向Ｌから見たとき、第１外部電極２１の高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_１は、図２では幅方向Ｗに沿って一定であるが、一定でなくてもよい。例えば、長さ方向Ｌから見たとき、第１外部電極２１は、高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_１が幅方向Ｗに沿って端部から中央部に向かうにつれて大きくなる山なり形状であってもよい。

第１外部電極２１は、図１及び図２に示すように素体１０の第１端面１１ａの一部上に設けられていてもよいし、素体１０の第１端面１１ａの全体上に設けられていてもよい。

図３に示すように、第１外部電極２１は、素体１０の第１主面１２ａのうち、第１端面１１ａと交わる稜線部を含む領域を覆っており、第２端面１１ｂと交わる稜線部を含む領域を覆っていない。

高さ方向Ｔから見たとき、第１外部電極２１の長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_２は、図３では幅方向Ｗに沿って一定であるが、一定でなくてもよい。例えば、高さ方向Ｔから見たとき、第１外部電極２１は、長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_２が幅方向Ｗに沿って端部から中央部に向かうにつれて大きくなる山なり形状であってもよい。

図１、図４、及び、図５に示すように、第１外部電極２１は、素体１０の第１端面１１ａの一部から、第１主面１２ａの一部と、更には、第１側面１３ａの一部と、第２側面１３ｂの一部とにわたって延在していてもよい。より具体的には、第１外部電極２１は、素体１０の第１側面１３ａのうち、第１端面１１ａ及び第１主面１２ａと交わる頂点を含む領域を覆い、かつ、第１端面１１ａ及び第２主面１２ｂと交わる頂点を含む領域を覆っていなくてもよい。また、第１外部電極２１は、素体１０の第２側面１３ｂのうち、第１端面１１ａ及び第１主面１２ａと交わる頂点を含む領域を覆い、かつ、第１端面１１ａ及び第２主面１２ｂと交わる頂点を含む領域を覆っていなくてもよい。

図４に示すように、第１外部電極２１において、素体１０の第１側面１３ａを覆う部分の輪郭線は、第１側面１３ａ及び第１端面１１ａが交わる稜線部と対向する第１輪郭線５０ａと、第１側面１３ａ及び第１主面１２ａが交わる稜線部と対向する第２輪郭線５０ｂとに加えて、第１輪郭線５０ａ及び第２輪郭線５０ｂに対して斜めである輪郭線を含んでいることが好ましい。

図５に示すように、第１外部電極２１において、素体１０の第２側面１３ｂを覆う部分の輪郭線は、第２側面１３ｂ及び第１端面１１ａが交わる稜線部と対向する第３輪郭線５０ｃと、第２側面１３ｂ及び第１主面１２ａが交わる稜線部と対向する第４輪郭線５０ｄとに加えて、第３輪郭線５０ｃ及び第４輪郭線５０ｄに対して斜めである輪郭線を含んでいることが好ましい。

第１外部電極２１は、素体１０の第１側面１３ａ上に設けられていなくてもよい。また、第１外部電極２１は、素体１０の第２側面１３ｂ上に設けられていなくてもよい。

第１外部電極２１は、素体１０の第１端面１１ａから、第１主面１２ａ、第２主面１２ｂ、第１側面１３ａ、及び、第２側面１３ｂの各面の一部にわたって延在していてもよい。

図１、図３、及び、図６に示すように、第２外部電極２２は、素体１０の第２端面１１ｂの少なくとも一部から、ここでは、素体１０の第２端面１１ｂの一部から、第１主面１２ａの一部にわたって延在している。第２外部電極２２が、実装面である素体１０の第１主面１２ａ上に設けられていると、積層型コイル部品１の実装性が向上する。

図６に示すように、第２外部電極２２は、素体１０の第２端面１１ｂのうち、第１主面１２ａと交わる稜線部を含む領域を覆っており、第２主面１２ｂと交わる稜線部を含む領域を覆っていない。そのため、素体１０の第２端面１１ｂは、第２主面１２ｂと交わる稜線部を含む領域で露出している。

長さ方向Ｌから見たとき、第２外部電極２２の高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_３は、図６では幅方向Ｗに沿って一定であるが、一定でなくてもよい。例えば、長さ方向Ｌから見たとき、第２外部電極２２は、高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_３が幅方向Ｗに沿って端部から中央部に向かうにつれて大きくなる山なり形状であってもよい。

第２外部電極２２は、図１及び図６に示すように素体１０の第２端面１１ｂの一部上に設けられていてもよいし、素体１０の第２端面１１ｂの全体上に設けられていてもよい。

図３に示すように、第２外部電極２２は、素体１０の第１主面１２ａのうち、第２端面１１ｂと交わる稜線部を含む領域を覆っており、第１端面１１ａと交わる稜線部を含む領域を覆っていない。

高さ方向Ｔから見たとき、第２外部電極２２の長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_４は、図３では幅方向Ｗに沿って一定であるが、一定でなくてもよい。例えば、高さ方向Ｔから見たとき、第２外部電極２２は、長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_４が幅方向Ｗに沿って端部から中央部に向かうにつれて大きくなる山なり形状であってもよい。

図１、図４、及び、図５に示すように、第２外部電極２２は、素体１０の第２端面１１ｂの一部から、第１主面１２ａの一部と、更には、第１側面１３ａの一部と、第２側面１３ｂの一部とにわたって延在していてもよい。より具体的には、第２外部電極２２は、素体１０の第１側面１３ａのうち、第２端面１１ｂ及び第１主面１２ａと交わる頂点を含む領域を覆い、かつ、第２端面１１ｂ及び第２主面１２ｂと交わる頂点を含む領域を覆っていなくてもよい。また、第２外部電極２２は、素体１０の第２側面１３ｂのうち、第２端面１１ｂ及び第１主面１２ａと交わる頂点を含む領域を覆い、かつ、第２端面１１ｂ及び第２主面１２ｂと交わる頂点を含む領域を覆っていなくてもよい。

図４に示すように、第２外部電極２２において、素体１０の第１側面１３ａを覆う部分の輪郭線は、第１側面１３ａ及び第２端面１１ｂが交わる稜線部と対向する第５輪郭線５０ｅと、第１側面１３ａ及び第１主面１２ａが交わる稜線部と対向する第６輪郭線５０ｆとに加えて、第５輪郭線５０ｅ及び第６輪郭線５０ｆに対して斜めである輪郭線を含んでいることが好ましい。

図５に示すように、第２外部電極２２において、素体１０の第２側面１３ｂを覆う部分の輪郭線は、第２側面１３ｂ及び第２端面１１ｂが交わる稜線部と対向する第７輪郭線５０ｇと、第２側面１３ｂ及び第１主面１２ａが交わる稜線部と対向する第８輪郭線５０ｈとに加えて、第７輪郭線５０ｇ及び第８輪郭線５０ｈに対して斜めである輪郭線を含んでいることが好ましい。

第２外部電極２２は、素体１０の第１側面１３ａ上に設けられていなくてもよい。また、第２外部電極２２は、素体１０の第２側面１３ｂ上に設けられていなくてもよい。

第２外部電極２２は、素体１０の第２端面１１ｂから、第１主面１２ａ、第２主面１２ｂ、第１側面１３ａ、及び、第２側面１３ｂの各面の一部にわたって延在していてもよい。

積層型コイル部品１のサイズは、特に限定されないが、０６０３サイズ、０４０２サイズ、又は、１００５サイズであることが好ましい。

積層型コイル部品１が０６０３サイズ、０４０２サイズ、又は、１００５サイズである場合について、積層型コイル部品１、素体１０、第１外部電極２１、及び、第２外部電極２２の好ましい寸法の具体例を以下に示す。

（１）積層型コイル部品１が０６０３サイズである場合
・積層型コイル部品１の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_１は、好ましくは０．５７ｍｍ以上である。また、積層型コイル部品１の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_１は、好ましくは０．６３ｍｍ以下である。
・積層型コイル部品１の高さ方向Ｔにおける寸法Ｔ_１は、好ましくは０．２７ｍｍ以上である。また、積層型コイル部品１の高さ方向Ｔにおける寸法Ｔ_１は、好ましくは０．３３ｍｍ以下である。
・積層型コイル部品１の幅方向Ｗにおける寸法Ｗ_１は、好ましくは０．２７ｍｍ以上である。また、積層型コイル部品１の幅方向Ｗにおける寸法Ｗ_１は、好ましくは０．３３ｍｍ以下である。
・素体１０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_２は、好ましくは０．５７ｍｍ以上である。また、素体１０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_２は、好ましくは０．６３ｍｍ以下である。
・素体１０の高さ方向Ｔにおける寸法Ｔ_２は、好ましくは０．２７ｍｍ以上である。また、素体１０の高さ方向Ｔにおける寸法Ｔ_２は、好ましくは０．３３ｍｍ以下である。
・素体１０の幅方向Ｗにおける寸法Ｗ_２は、好ましくは０．２７ｍｍ以上である。また、素体１０の幅方向Ｗにおける寸法Ｗ_２は、好ましくは０．３３ｍｍ以下である。
・第１外部電極２１の高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_１は、好ましくは０．１０ｍｍ以上、０．２０ｍｍ以下である。なお、第１外部電極２１の高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_１が幅方向Ｗに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第１外部電極２１の長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_２は、好ましくは０．１２ｍｍ以上、０．２２ｍｍ以下である。なお、第１外部電極２１の長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_２が幅方向Ｗに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第２外部電極２２の高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_３は、好ましくは０．１０ｍｍ以上、０．２０ｍｍ以下である。なお、第２外部電極２２の高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_３が幅方向Ｗに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第２外部電極２２の長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_４は、好ましくは０．１２ｍｍ以上、０．２２ｍｍ以下である。なお、第２外部電極２２の長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_４が幅方向Ｗに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。

（２）積層型コイル部品１が０４０２サイズである場合
・積層型コイル部品１の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_１は、好ましくは０．３８ｍｍ以上である。また、積層型コイル部品１の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_１は、好ましくは０．４２ｍｍ以下である。
・積層型コイル部品１の高さ方向Ｔにおける寸法Ｔ_１は、好ましくは０．１８ｍｍ以上である。また、積層型コイル部品１の高さ方向Ｔにおける寸法Ｔ_１は、好ましくは０．２２ｍｍ以下である。
・積層型コイル部品１の幅方向Ｗにおける寸法Ｗ_１は、好ましくは０．１８ｍｍ以上である。また、積層型コイル部品１の幅方向Ｗにおける寸法Ｗ_１は、好ましくは０．２２ｍｍ以下である。
・素体１０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_２は、好ましくは０．３８ｍｍ以上である。また、素体１０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_２は、好ましくは０．４２ｍｍ以下である。
・素体１０の高さ方向Ｔにおける寸法Ｔ_２は、好ましくは０．１８ｍｍ以上である。また、素体１０の高さ方向Ｔにおける寸法Ｔ_２は、好ましくは０．２２ｍｍ以下である。
・素体１０の幅方向Ｗにおける寸法Ｗ_２は、好ましくは０．１８ｍｍ以上である。また、素体１０の幅方向Ｗにおける寸法Ｗ_２は、好ましくは０．２２ｍｍ以下である。
・第１外部電極２１の高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_１は、好ましくは０．０６ｍｍ以上、０．１３ｍｍ以下である。なお、第１外部電極２１の高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_１が幅方向Ｗに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第１外部電極２１の長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_２は、好ましくは０．０８ｍｍ以上、０．１５ｍｍ以下である。なお、第１外部電極２１の長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_２が幅方向Ｗに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第２外部電極２２の高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_３は、好ましくは０．０６ｍｍ以上、０．１３ｍｍ以下である。なお、第２外部電極２２の高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_３が幅方向Ｗに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第２外部電極２２の長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_４は、好ましくは０．０８ｍｍ以上、０．１５ｍｍ以下である。なお、第２外部電極２２の長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_４が幅方向Ｗに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。

（３）積層型コイル部品１が１００５サイズである場合
・積層型コイル部品１の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_１は、好ましくは０．９５ｍｍ以上である。また、積層型コイル部品１の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_１は、好ましくは１．０５ｍｍ以下である。
・積層型コイル部品１の高さ方向Ｔにおける寸法Ｔ_１は、好ましくは０．４５ｍｍ以上である。また、積層型コイル部品１の高さ方向Ｔにおける寸法Ｔ_１は、好ましくは０．５５ｍｍ以下である。
・積層型コイル部品１の幅方向Ｗにおける寸法Ｗ_１は、好ましくは０．４５ｍｍ以上である。また、積層型コイル部品１の幅方向Ｗにおける寸法Ｗ_１は、好ましくは０．５５ｍｍ以下である。
・素体１０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_２は、好ましくは０．９５ｍｍ以上である。また、素体１０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_２は、好ましくは１．０５ｍｍ以下である。
・素体１０の高さ方向Ｔにおける寸法Ｔ_２は、好ましくは０．４５ｍｍ以上である。また、素体１０の高さ方向Ｔにおける寸法Ｔ_２は、好ましくは０．５５ｍｍ以下である。
・素体１０の幅方向Ｗにおける寸法Ｗ_２は、好ましくは０．４５ｍｍ以上である。また、素体１０の幅方向Ｗにおける寸法Ｗ_２は、好ましくは０．５５ｍｍ以下である。
・第１外部電極２１の高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_１は、好ましくは０．１５ｍｍ以上、０．３３ｍｍ以下である。なお、第１外部電極２１の高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_１が幅方向Ｗに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第１外部電極２１の長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_２は、好ましくは０．２０ｍｍ以上、０．３８ｍｍ以下である。なお、第１外部電極２１の長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_２が幅方向Ｗに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第２外部電極２２の高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_３は、好ましくは０．１５ｍｍ以上、０．３３ｍｍ以下である。なお、第２外部電極２２の高さ方向Ｔにおける寸法Ｅ_３が幅方向Ｗに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。
・第２外部電極２２の長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_４は、好ましくは０．２０ｍｍ以上、０．３８ｍｍ以下である。なお、第２外部電極２２の長さ方向Ｌにおける寸法Ｅ_４が幅方向Ｗに沿って一定でない場合、その最大値が上記範囲内であることが好ましい。

本発明の積層型コイル部品では、絶縁層の積層方向とコイルのコイル軸の方向とは、実装面である素体の第１主面に平行である。

図７は、図１中の線分Ａ１－Ａ２に対応する部分の一例を示す断面模式図である。

図７に示すように、素体１０は、複数の絶縁層１５が、積層方向、ここでは、長さ方向Ｌに積層されてなる。つまり、絶縁層１５の積層方向は、長さ方向Ｌに平行であり、実装面である素体１０の第１主面１２ａに平行である。なお、図７では、説明の便宜上、これらの絶縁層１５の境界が示されているが、実際には境界が明瞭に現れていない。

素体１０の内部には、コイル３０が設けられている。コイル３０は、複数のコイル導体３１が電気的に接続されてなり、例えば、ソレノイド状である。コイル導体３１は、絶縁層１５とともに長さ方向Ｌに積層されている。なお、図７では、コイル３０の形状、コイル導体３１の位置、コイル導体３１の接続等が厳密に示されていない。例えば、長さ方向Ｌに隣り合うコイル導体３１は、図７に示していないビア導体を介して互いに電気的に接続されている。

コイル３０は、コイル軸Ｃを有している。コイル３０のコイル軸Ｃは、長さ方向Ｌに延伸し、かつ、素体１０の第１端面１１ａと第２端面１１ｂとの間を貫通している。つまり、コイル３０のコイル軸Ｃの方向は、実装面である素体１０の第１主面１２ａに平行である。また、コイル３０のコイル軸Ｃは、長さ方向Ｌから見たときのコイル３０の形状の中心を通る。

以上より、絶縁層１５の積層方向とコイル３０のコイル軸Ｃの方向とは、実装面である素体１０の第１主面１２ａに平行である。

絶縁層１５の積層方向とコイル３０のコイル軸Ｃの方向とは、図７に示すように長さ方向Ｌに平行であってもよいし、平行でなくてもよい。例えば、絶縁層１５の積層方向が幅方向Ｗに平行であり、かつ、コイル３０のコイル軸Ｃの方向が長さ方向Ｌに平行であってもよい。この場合でも、絶縁層１５の積層方向とコイル３０のコイル軸Ｃの方向とは、実装面である素体１０の第１主面１２ａに平行である。

積層型コイル部品１は、第１連結導体４１及び第２連結導体４２を更に有していてもよい。

第１連結導体４１は、図７に示していない複数のビア導体が電気的に接続されつつ絶縁層１５とともに長さ方向Ｌに積層されてなる。第１連結導体４１は、素体１０の第１端面１１ａから露出している。

第１外部電極２１は、第１連結導体４１を介して、コイル３０に電気的に接続されている。ここで、複数のコイル導体３１のうち、素体１０の第１端面１１ａに最も近い位置には、コイル導体３１ａが設けられている。つまり、第１外部電極２１は、第１連結導体４１を介して、コイル導体３１ａに電気的に接続されている。

第１連結導体４１は、第１外部電極２１とコイル３０とを接続している。第１連結導体４１は、第１外部電極２１とコイル３０との間、ここでは、第１外部電極２１とコイル導体３１ａとの間を直線状に接続することが好ましい。また、長さ方向Ｌから見たとき、第１連結導体４１は、コイル導体３１ａと重なり、かつ、コイル軸Ｃよりも、実装面である素体１０の第１主面１２ａ側に位置することが好ましい。これらにより、第１外部電極２１とコイル３０との電気的な接続が容易になる。

第１連結導体４１が第１外部電極２１とコイル３０との間を直線状に接続するとは、長さ方向Ｌから見たとき、第１連結導体４１を構成するビア導体同士が重なっていることを示す。したがって、第１連結導体４１を構成するビア導体同士は、厳密に直線状に並んでいなくてもよい。

第１連結導体４１は、コイル導体３１ａにおける、素体１０の第１主面１２ａに最も近い部分に接続されていることが好ましい。これにより、第１外部電極２１における素体１０の第１端面１１ａ上の部分の面積を小さくできる。その結果、第１外部電極２１とコイル３０との間の浮遊容量が小さくなるため、その分、積層型コイル部品１の高周波特性が向上する。

第１連結導体４１は、１つのみ設けられていてもよいし、複数設けられていてもよい。

第２連結導体４２は、図７に示していない複数のビア導体が電気的に接続されつつ絶縁層１５とともに長さ方向Ｌに積層されてなる。第２連結導体４２は、素体１０の第２端面１１ｂから露出している。

第２外部電極２２は、第２連結導体４２を介して、コイル３０に電気的に接続されている。ここで、複数のコイル導体３１のうち、素体１０の第２端面１１ｂに最も近い位置には、コイル導体３１ｄが設けられている。つまり、第２外部電極２２は、第２連結導体４２を介して、コイル導体３１ｄに電気的に接続されている。

第２連結導体４２は、第２外部電極２２とコイル３０とを接続している。第２連結導体４２は、第２外部電極２２とコイル３０との間、ここでは、第２外部電極２２とコイル導体３１ｄとの間を直線状に接続することが好ましい。また、長さ方向Ｌから見たとき、第２連結導体４２は、コイル導体３１ｄと重なり、かつ、コイル軸Ｃよりも、実装面である素体１０の第１主面１２ａ側に位置することが好ましい。これらにより、第２外部電極２２とコイル３０との電気的な接続が容易になる。

第２連結導体４２が第２外部電極２２とコイル３０との間を直線状に接続するとは、長さ方向Ｌから見たとき、第２連結導体４２を構成するビア導体同士が重なっていることを示す。したがって、第２連結導体４２を構成するビア導体同士は、厳密に直線状に並んでいなくてもよい。

第２連結導体４２は、コイル導体３１ｄにおける、素体１０の第１主面１２ａに最も近い部分に接続されていることが好ましい。これにより、第２外部電極２２における素体１０の第２端面１１ｂ上の部分の面積を小さくできる。その結果、第２外部電極２２とコイル３０との間の浮遊容量が小さくなるため、その分、積層型コイル部品１の高周波特性が向上する。

第２連結導体４２は、１つのみ設けられていてもよいし、複数設けられていてもよい。

コイル３０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_３は、素体１０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_２の、好ましくは８５％以上、９４％以下であり、より好ましくは９０％以上、９４％以下である。

コイル３０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_３は、第１連結導体４１を介して第１外部電極２１に電気的に接続されたコイル導体３１ａから、第２連結導体４２を介して第２外部電極２２に電気的に接続されたコイル導体３１ｄまでの、長さ方向Ｌにおける距離（コイル導体３１ａ及びコイル導体３１ｄの長さ方向Ｌにおける寸法を含む）を示す。つまり、コイル３０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_３は、コイル導体３１の配置領域の長さ方向Ｌにおける寸法を示す。

コイル３０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_３が素体１０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_２の８５％よりも小さい場合、コイル３０の浮遊容量が大きくなるため、積層型コイル部品１の高周波特性が低下するおそれがある。コイル３０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_３が素体１０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_２の９４％よりも大きい場合、第１外部電極２１とコイル３０との間の浮遊容量が大きくなり、また、第２外部電極２２とコイル３０との間の浮遊容量が大きくなるため、積層型コイル部品１の高周波特性が低下するおそれがある。

図８は、図７中の素体及びコイルを分解した状態の一例を示す斜視模式図である。図９は、図７中の素体及びコイルを分解した状態の一例を示す平面模式図である。

図８及び図９に示す例では、素体１０は、絶縁層１５としての、絶縁層１５ａ、絶縁層１５ｂ、絶縁層１５ｃ、絶縁層１５ｄ、及び、絶縁層１５ｅが、積層方向、ここでは、長さ方向Ｌに積層されてなる。

本明細書中、絶縁層１５ａ、絶縁層１５ｂ、絶縁層１５ｃ、絶縁層１５ｄ、及び、絶縁層１５ｅを特に区別しない場合、絶縁層１５と言う。

絶縁層１５ａ、絶縁層１５ｂ、絶縁層１５ｃ、及び、絶縁層１５ｄの主面上には、各々、コイル導体３１としての、コイル導体３１ａ、コイル導体３１ｂ、コイル導体３１ｃ、及び、コイル導体３１ｄが設けられている。コイル導体３１ａ、コイル導体３１ｂ、コイル導体３１ｃ、及び、コイル導体３１ｄは、絶縁層１５ａ、絶縁層１５ｂ、絶縁層１５ｃ、及び、絶縁層１５ｄとともに長さ方向Ｌに積層されており、各コイル導体は電気的に接続されている。

本明細書中、コイル導体３１ａ、コイル導体３１ｂ、コイル導体３１ｃ、及び、コイル導体３１ｄを特に区別しない場合、コイル導体３１と言う。

図８及び図９に示す例では、コイル導体３１ａ、コイル導体３１ｂ、コイル導体３１ｃ、及び、コイル導体３１ｄの長さは、各々、コイル３０の３／４ターンの長さである。つまり、コイル３０の３ターンを構成するためのコイル導体の積層数は、４である。素体１０では、コイル導体３１ａ、コイル導体３１ｂ、コイル導体３１ｃ、及び、コイル導体３１ｄが１つの単位（３ターン分）として繰り返し積層されている。

コイル導体３１の両端には、ランド部が設けられていてもよい。より具体的には、コイル導体３１ａ、コイル導体３１ｂ、コイル導体３１ｃ、及び、コイル導体３１ｄの各両端には、ランド部が設けられていてもよい。

長さ方向Ｌから見たとき、コイル導体３１のランド部は、円形状であってもよいし、多角形状であってもよい。

絶縁層１５ａ、絶縁層１５ｂ、絶縁層１５ｃ、及び、絶縁層１５ｄには、各々、ビア導体３４ａ、ビア導体３４ｂ、ビア導体３４ｃ、及び、ビア導体３４ｄが長さ方向Ｌに貫通するように設けられている。

ビア導体３４ａ、ビア導体３４ｂ、ビア導体３４ｃ、及び、ビア導体３４ｄは、各々、コイル導体３１ａ、コイル導体３１ｂ、コイル導体３１ｃ、及び、コイル導体３１ｄの一端に接続されている。上述したように、コイル導体３１ａ、コイル導体３１ｂ、コイル導体３１ｃ、及び、コイル導体３１ｄの各両端にランド部が設けられている場合、ビア導体３４ａ、ビア導体３４ｂ、ビア導体３４ｃ、及び、ビア導体３４ｄは、各々、コイル導体３１ａのランド部、コイル導体３１ｂのランド部、コイル導体３１ｃのランド部、及び、コイル導体３１ｄのランド部に接続されていることになる。

コイル導体３１ａ及びビア導体３４ａ付きの絶縁層１５ａと、コイル導体３１ｂ及びビア導体３４ｂ付きの絶縁層１５ｂと、コイル導体３１ｃ及びビア導体３４ｃ付きの絶縁層１５ｃと、コイル導体３１ｄ及びビア導体３４ｄ付きの絶縁層１５ｄとは、１つの単位（図８及び図９中の点線で囲まれた部分）として繰り返し積層されている。これにより、コイル導体３１ａと、コイル導体３１ｂと、コイル導体３１ｃと、コイル導体３１ｄとは、ビア導体３４ａ、ビア導体３４ｂ、ビア導体３４ｃ、及び、ビア導体３４ｄを介して電気的に接続される。つまり、長さ方向Ｌに隣り合うコイル導体は、ビア導体を介して互いに電気的に接続される。

以上により、素体１０の内部に設けられたソレノイド状のコイル３０が構成される。

長さ方向Ｌから見たとき、コイル３０は、円形状であってもよいし、多角形状であってもよい。なお、コイル３０がランド部を含む場合、例えば、コイル導体３１の両端にランド部が設けられている場合、コイル３０の形状は、ランド部を除いた形状を示す。

長さ方向Ｌから見たとき、コイル導体３１の内径は、素体１０の幅方向Ｗにおける寸法Ｗ_２の、好ましくは１５％以上、４０％以下である。コイル導体３１の内径は、コイル３０のコイル径と同義である。長さ方向Ｌから見たとき、コイル３０が多角形状である場合、多角形の面積相当円の直径をコイル３０のコイル径、すなわち、コイル導体３１の内径とする。

コイル３０のターン数は、好ましくは３５以上、より好ましくは３５以上、４５以下である。コイル３０のターン数が３５以上であると、積層型コイル部品１のインピーダンスが大きくなり、高周波帯での透過係数Ｓ２１も大きくなる。その結果、積層型コイル部品１の高周波特性が向上する。

絶縁層１５ｅには、ビア導体３４ｅが長さ方向Ｌに貫通するように設けられている。

絶縁層１５ｅの主面上には、ビア導体３４ｅに接続されたランド部が設けられていてもよい。

ビア導体３４ｅ付きの絶縁層１５ｅは、コイル３０の一端側に位置する、コイル導体３１ａ及びビア導体３４ａ付きの絶縁層１５ａに重なるように複数積層されている。これにより、ビア導体３４ｅ同士が電気的に接続されて第１連結導体４１を構成し、第１連結導体４１が素体１０の第１端面１１ａから露出する。その結果、第１外部電極２１とコイル導体３１ａとが、第１連結導体４１を介して互いに電気的に接続される。

ビア導体３４ｅ付きの絶縁層１５ｅは、コイル３０の他端側に位置する、コイル導体３１ｄ及びビア導体３４ｄ付きの絶縁層１５ｄに重なるように複数積層されている。これにより、ビア導体３４ｅ同士が電気的に接続されて第２連結導体４２を構成し、第２連結導体４２が素体１０の第２端面１１ｂから露出する。その結果、第２外部電極２２とコイル導体３１ｄとが、第２連結導体４２を介して互いに電気的に接続される。

第１連結導体４１及び第２連結導体４２の長さ方向Ｌにおける寸法は、各々、素体１０の長さ方向Ｌにおける寸法Ｌ_２の、好ましくは２．５％以上、７．５％以下、より好ましくは２．５％以上、５．０％以下である。これにより、第１連結導体４１及び第２連結導体４２のインダクタンスが小さくなるため、積層型コイル部品１の高周波特性が向上する。

第１連結導体４１及び第２連結導体４２の幅方向Ｗにおける寸法は、各々、素体１０の幅方向Ｗにおける寸法Ｗ_２の、好ましくは８．０％以上、２０％以下である。

積層型コイル部品１が０６０３サイズ、０４０２サイズ、又は、１００５サイズである場合について、コイル導体３１、第１連結導体４１、及び、第２連結導体４２の好ましい寸法の具体例を以下に示す。

（１）積層型コイル部品１が０６０３サイズである場合
・長さ方向Ｌから見たとき、コイル導体３１の内径は、好ましくは５０μｍ以上、１００μｍ以下である。
・第１連結導体４１及び第２連結導体４２の長さ方向Ｌにおける寸法は、各々、好ましくは１５μｍ以上、４５μｍ以下、より好ましくは１５μｍ以上、３０μｍ以下である。
・第１連結導体４１及び第２連結導体４２の幅方向Ｗにおける寸法は、各々、好ましくは３０μｍ以上、６０μｍ以下である。

（２）積層型コイル部品１が０４０２サイズである場合
・長さ方向Ｌから見たとき、コイル導体３１の内径は、好ましくは３０μｍ以上、７０μｍ以下である。
・第１連結導体４１及び第２連結導体４２の長さ方向Ｌにおける寸法は、各々、好ましくは１０μｍ以上、３０μｍ以下、より好ましくは１０μｍ以上、２５μｍ以下である。
・第１連結導体４１及び第２連結導体４２の幅方向Ｗにおける寸法は、各々、好ましくは２０μｍ以上、４０μｍ以下である。

（３）積層型コイル部品１が１００５サイズである場合
・長さ方向Ｌから見たとき、コイル導体３１の内径は、好ましくは８０μｍ以上、１７０μｍ以下である。
・第１連結導体４１及び第２連結導体４２の長さ方向Ｌにおける寸法は、各々、好ましくは２５μｍ以上、７５μｍ以下、より好ましくは２５μｍ以上、５０μｍ以下である。
・第１連結導体４１及び第２連結導体４２の幅方向Ｗにおける寸法は、各々、好ましくは４０μｍ以上、１００μｍ以下である。

コイル導体３１ａ、コイル導体３１ｂ、コイル導体３１ｃ、コイル導体３１ｄ、ビア導体３４ａ、ビア導体３４ｂ、ビア導体３４ｃ、ビア導体３４ｄ、及び、ビア導体３４ｅの構成材料としては、例えば、Ａｇ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｎｉ、Ａｌ、これらの金属の少なくとも１種を含有する合金等が挙げられる。

本発明の積層型コイル部品では、素体の少なくとも一部には、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｚｎ、及び、Ｃｕを含む磁性相と、Ｓｉを含む非磁性相と、が存在する。

積層型コイル部品１では、素体１０の少なくとも一部には、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｚｎ、及び、Ｃｕを含む磁性相と、Ｓｉを含む非磁性相と、が存在している。

磁性相は、Ｃｏ、Ｂｉ、Ｓｎ、Ｍｎ等を更に含んでいてもよい。

磁性相は、Ｎｉ－Ｃｕ－Ｚｎ系フェライト材料で構成されることが好ましい。

Ｎｉ－Ｃｕ－Ｚｎ系フェライト材料は、全量を１００ｍоｌ％としたとき、ＦｅをＦｅ_２Ｏ_３換算で４０ｍｏｌ％以上、４９．５ｍｏｌ％以下、ＮｉをＮｉＯ換算で１０ｍｏｌ％以上、４５ｍｏｌ％以下、ＺｎをＺｎＯ換算で２ｍｏｌ％以上、３５ｍｏｌ％以下、ＣｕをＣｕＯ換算で６ｍｏｌ％以上、１３ｍｏｌ％以下含むことが好ましい。

Ｎｉ－Ｃｕ－Ｚｎ系フェライト材料は、Ｃｏ、Ｂｉ、Ｓｎ、Ｍｎ等の添加物、不可避不純物等を更に含んでいてもよい。

非磁性相は、ホウケイ酸ガラス材料で構成されることが好ましい。

ホウケイ酸ガラス材料は、全量を１００重量％としたとき、ＳｉをＳｉＯ_２換算で７０重量％以上、８５重量％以下、ＢをＢ_２Ｏ_３換算で１０重量％以上、２５重量％以下、アルカリ金属ＡをＡ_２Ｏ換算で０．５重量％以上、５重量％以下、ＡｌをＡｌ_２Ｏ_３換算で０重量％以上、５重量％以下含むことが好ましい。

ホウケイ酸ガラス材料は、フィラーとして、フォルステライト（２ＭｇＯ・ＳｉＯ_２）、石英（ＳｉＯ_２）等を更に含んでいてもよい。

非磁性相は、ａＺｎＯ・ＳｉＯ_２（ａは、１．８以上、２．２以下）で表される酸化物で構成されてもよい。このような酸化物としては、例えば、ウィルマイトと呼ばれるＺｎ_２ＳｉＯ_４等が挙げられる。このような酸化物において、Ｚｎの一部は、Ｃｕで置換されていてもよい。

磁性相及び非磁性相は、以下のようにして区別される。まず、積層型コイル部品に対して、幅方向の略中央部まで研磨を施すことにより、図７等に示すような長さ方向及び高さ方向に沿う断面を露出させる。次に、素体の露出断面に対して、走査型透過電子顕微鏡－エネルギー分散型Ｘ線分析（ＳＴＥＭ－ＥＤＸ）で元素マッピングを行う。そして、Ｆｅが存在する領域を磁性相、Ｓｉが存在する領域を非磁性相として、両相を区別する。

図１０は、図１中の積層型コイル部品の側面模式図である。

図１０に示す例では、積層型コイル部品１において、素体１０の長さ方向Ｌの中心位置で高さ方向Ｔ及び幅方向Ｗに沿う界面Ｇを定義したとき、素体１０は、界面Ｇを境に長さ方向Ｌに並んだ、第１端面１１ａを含む第１素体部分６１と、第２端面１１ｂを含む第２素体部分６２と、を有している。つまり、素体１０は、長さ方向Ｌにおいて、界面Ｇにより第１素体部分６１と第２素体部分６２とに２分割されている。

界面Ｇについて、素体１０の長さ方向Ｌの中心位置は、素体１０の長さ方向Ｌにおける最大寸法を２等分する位置として定められる。

第１外部電極２１は、第１素体部分６１の表面上に設けられている。

第２外部電極２２は、第２素体部分６２の表面上に設けられている。

本発明の積層型コイル部品では、第１外部電極は、素体側から順に、下地電極と、下地電極上に設けられためっき電極と、を有し、めっき電極における素体の第１主面上に存在する部分の長さ方向の先端は、下地電極における素体の第１主面上に存在する部分の長さ方向の先端よりも、素体の第２端面側に位置する。

図１１は、図１０中の第１素体部分及び第１外部電極の長さ方向及び高さ方向に沿う断面の一部を示す模式図である。

図１１に示すように、第１外部電極２１は、素体１０側から順に、下地電極２１ａと、下地電極２１ａ上に設けられためっき電極２１ｂと、を有している。

めっき電極２１ｂにおける素体１０の第１主面１２ａ上に存在する部分の長さ方向Ｌの先端２１ｂａは、下地電極２１ａにおける素体１０の第１主面１２ａ上に存在する部分の長さ方向Ｌの先端２１ａａよりも、素体１０の第２端面１１ｂ側（図１１では、右側）に位置している。

下地電極における素体の第１主面上に存在する部分の長さ方向の先端と、めっき電極における素体の第１主面上に存在する部分の長さ方向の先端とは、積層型コイル部品において、幅方向の略中央部での長さ方向及び高さ方向に沿う断面で定められる。

本発明の積層型コイル部品のように、下地電極及びめっき電極を有する外部電極においては、めっき電極が素体の表面に沿って下地電極に対して大きく伸びた状態となることがある。このように、めっき電極が大きく伸びた状態で外部電極が形成されると、外部電極とコイルとの間の浮遊容量が大きくなり、結果的に、積層型コイル部品の高周波特性が低下するおそれがある。

これに対して、本発明の積層型コイル部品では、めっき電極の先端と下地電極の先端との間の長さ方向における距離は、３０μｍ以下である。

積層型コイル部品１では、めっき電極２１ｂにおける素体１０の第１主面１２ａ上に存在する部分の長さ方向Ｌの先端２１ｂａと、下地電極２１ａにおける素体１０の第１主面１２ａ上に存在する部分の長さ方向Ｌの先端２１ａａとの間の長さ方向Ｌにおける距離ａは、３０μｍ以下である。より具体的には、めっき電極２１ｂの先端２１ｂａと下地電極２１ａの先端２１ａａとの間の長さ方向Ｌにおける距離ａは、０μｍよりも大きく、３０μｍ以下である。この場合、めっき電極２１ｂが素体１０の第１主面１２ａに沿って下地電極２１ａに対して大きく伸びておらず、コイル３０と第１外部電極２１との間の浮遊容量が大きくなることが抑制されるため、その分、積層型コイル部品１の高周波特性が向上する。

めっき電極２１ｂの先端２１ｂａと下地電極２１ａの先端２１ａａとの間の長さ方向Ｌにおける距離ａが３０μｍよりも大きい場合、めっき電極２１ｂが素体１０の第１主面１２ａに沿って下地電極２１ａに対して大きく伸びており、コイル３０と第１外部電極２１との間の浮遊容量が大きくなることが抑制されない。

以上のように、本発明の積層型コイル部品では、外部電極、ここでは、第１外部電極がめっき電極を有していても、めっき電極の先端と下地電極の先端との間の長さ方向における距離が３０μｍ以下であるため、高周波特性が優れたものとなる。つまり、本発明の積層型コイル部品では、高周波帯での透過係数Ｓ２１が大きく、かつ、高周波帯までの透過係数Ｓ２１のばらつきが小さくなる。

下地電極２１ａは、Ａｇを含むことが好ましい。

めっき電極２１ｂは、Ｎｉ及びＳｎの少なくとも一方を含むことが好ましい。

めっき電極２１ｂは、単層構造であってもよいし、複層構造であってもよいが、複層構造であることが好ましい。めっき電極２１ｂが複層構造である場合、めっき電極２１ｂは、下地電極２１ａ側から順に、Ｎｉめっき電極と、Ｓｎめっき電極と、を有することが好ましい。

めっき電極２１ｂのようなめっき電極は、エネルギー分散型Ｘ線分析（ＥＤＸ）での元素分析に加えて、図１１に示すような長さ方向及び高さ方向に沿う断面において緻密であること等の情報により、めっき以外の方法で形成された下地電極２１ａのような下地電極と区別される。

下地電極２１ａの先端２１ａａと高さ方向Ｔに重なる第１基準位置Ｈ１を定義したとき、第１素体部分６１には、第１基準位置Ｈ１から第２端面１１ｂに向かって（図１１では、右側に向かって）長さ方向Ｌにおける寸法Ｐ_１が２０μｍである範囲を少なくとも含む第１領域６１ａが存在することが好ましい。つまり、第１領域６１ａは、第１基準位置Ｈ１から第２端面１１ｂに向かう長さ方向Ｌにおける距離Ｐ_１が０μｍの位置から２０μｍの位置までの範囲を少なくとも含むことが好ましい。

第１領域６１ａにおける第２端面１１ｂ側の端６１ａａは、第１基準位置Ｈ１からの長さ方向Ｌにおける距離Ｐ_１が２０μｍ以上、６０μｍ以下の位置に存在することが好ましい。つまり、第１領域６１ａは、第１基準位置Ｈ１から第２端面１１ｂに向かう長さ方向Ｌにおける距離Ｐ_１が０μｍの位置からα_１μｍの位置までの範囲（２０≦α_１≦６０）を含むことが好ましい。

第１領域６１ａは、更に、第１基準位置Ｈ１から第１端面１１ａに向かって（図１１では、左側に向かって）長さ方向Ｌにおける寸法Ｐ_２が２０μｍである範囲を少なくとも含むことが好ましい。つまり、第１領域６１ａは、更に、第１基準位置Ｈ１から第１端面１１ａに向かう長さ方向Ｌにおける距離Ｐ_２が０μｍの位置から２０μｍの位置までの範囲を少なくとも含むことが好ましい。

第１領域６１ａにおける第１端面１１ａ側の端６１ａｂは、第１基準位置Ｈ１からの長さ方向Ｌにおける距離Ｐ_２が２０μｍ以上、６０μｍ以下の位置に存在することが好ましい。つまり、第１領域６１ａは、更に、第１基準位置Ｈ１から第１端面１１ａに向かう長さ方向Ｌにおける距離Ｐ_２が０μｍの位置からα_２μｍの位置までの範囲（２０≦α_２≦６０）を含むことが好ましい。

第１領域６１ａには、非磁性相のみが存在する、又は、非磁性相及び磁性相の両方が存在することが好ましい。これにより、めっき電極２１ｂの形成時に、めっき電極２１ｂが素体１０の第１主面１２ａに沿って下地電極２１ａに対して大きく伸びることが抑制される。つまり、めっき電極２１ｂの先端２１ｂａと下地電極２１ａの先端２１ａａとの間の長さ方向Ｌにおける距離ａが、３０μｍ以下となりやすくなる。その結果、めっき電極２１ｂの先端２１ｂａは、好ましくは、図１１に示すように第１領域６１ａと重なる位置にとどめられる。

第１領域６１ａにおいて、磁性相及び非磁性相の合計体積に対する非磁性相の体積割合は、６０体積％以上であることが好ましい。より具体的には、第１領域６１ａにおいて、磁性相及び非磁性相の合計体積に対する非磁性相の体積割合は、６０体積％以上、１００体積％以下であることが好ましい。これにより、めっき電極２１ｂの形成時に、めっき電極２１ｂの先端２１ｂａと下地電極２１ａの先端２１ａａとの間の長さ方向Ｌにおける距離ａが、３０μｍ以下となりやすくなる。

第１領域６１ａは、全量を１００重量％としたとき、ＳｉをＳｉＯ_２換算で３０．０重量％以上含むことが好ましい。これにより、めっき電極２１ｂの形成時に、めっき電極２１ｂの先端２１ｂａと下地電極２１ａの先端２１ａａとの間の長さ方向Ｌにおける距離ａが、３０μｍ以下となりやすくなる。

また、第１領域６１ａは、全量を１００重量％としたとき、ＳｉをＳｉＯ_２換算で８５．０重量％以下含むことが好ましい。

第１領域６１ａは、全量を１００重量％としたとき、ＳｉをＳｉＯ_２換算で３０．０重量％以上、８５．０重量％以下、ＢをＢ_２Ｏ_３換算で４．０重量％以上、１５．０重量％以下、ＦｅをＦｅ_２Ｏ_３換算で０重量％以上、４５．０重量％以下、ＮｉをＮｉＯ換算で０重量％以上、１５．０重量％以下、ＺｎをＺｎＯ換算で０重量％以上、８．０重量％以下、ＣｕをＣｕＯ換算で０重量％以上、５．０重量％以下含むことが好ましい。

第１領域６１ａは、全量を１００重量％としたとき、更に、ＫをＫ_２Ｏ換算で０．３重量％以上、１．５重量％以下、ＭｇをＭｇＯ換算で０．９重量％以上、３．５重量％以下含むことが好ましい。

第１素体部分６１には、更に、第１領域６１ａ以外の第２領域６１ｂが存在することが好ましい。

第２領域６１ｂには、磁性相のみが存在する、又は、磁性相及び非磁性相の両方が存在することが好ましい。これにより、積層型コイル部品１のインピーダンスが大きくなりやすくなる。その結果、積層型コイル部品１の高周波特性が向上しやすくなる。

第２領域６１ｂにおいて、磁性相及び非磁性相の合計体積に対する非磁性相の体積割合は、５０体積％以下であることが好ましい。より具体的には、第２領域６１ｂにおいて、磁性相及び非磁性相の合計体積に対する非磁性相の体積割合は、０体積％以上、５０体積％以下であることが好ましい。これにより、第２領域６１ｂにおいて、磁性相及び非磁性相の合計体積に対して、磁性相の体積割合が、非磁性相の体積割合と同等以上となるため、積層型コイル部品１のインピーダンスが大きくなりやすくなる。その結果、積層型コイル部品１の高周波特性が向上しやすくなる。

第１領域及び第２領域の各々において、磁性相及び非磁性相の合計体積に対する非磁性相の体積割合は、以下のようにして定められる。まず、積層型コイル部品に対して、幅方向の略中央部まで研磨を施すことにより、図７、図１１等に示すような長さ方向及び高さ方向に沿う断面を露出させる。次に、第１素体部分の露出断面において、第１領域での非磁性相の体積割合を測定する場合は、第１基準位置から第２端面に向かって長さ方向における寸法が２０μｍである範囲を対象領域として選択する。また、第１素体部分の露出断面において、第２領域での非磁性相の体積割合を測定する場合は、第１端面から第２端面に向かって長さ方向における寸法が２０μｍである範囲を対象領域として選択する。そして、各対象領域において２０μｍ角の領域を３箇所抽出した後、走査型透過電子顕微鏡－エネルギー分散型Ｘ線分析で元素マッピングを行うことにより、上述したように磁性相と非磁性相とを区別する。その後、上述した３箇所の各領域について、得られた元素マッピング画像から、磁性相及び非磁性相の合計面積に対する非磁性相の面積割合を、画像解析ソフトにより測定する。そして、これらの面積割合の測定値から平均値を算出し、この平均値を、磁性相及び非磁性相の合計体積に対する非磁性相の体積割合とする。

第２領域６１ｂは、全量を１００重量％としたとき、ＳｉをＳｉＯ_２換算で２５．０重量％以下含むことが好ましい。これにより、積層型コイル部品１のインピーダンスが大きくなりやすくなる。その結果、積層型コイル部品１の高周波特性が向上しやすくなる。

なお、第２領域６１ｂは、Ｓｉを含んでいなくてもよい。

第２領域６１ｂは、全量を１００重量％としたとき、ＳｉをＳｉＯ_２換算で０重量％以上、２５．０重量％以下、ＢをＢ_２Ｏ_３換算で０重量％以上、５．０重量％以下、ＦｅをＦｅ_２Ｏ_３換算で４５．０重量％以上、７０．０重量％以下、ＮｉをＮｉＯ換算で１０．０重量％以上、２０．０重量％以下、ＺｎをＺｎＯ換算で５．０重量％以上、１２．０重量％以下含むことが好ましい。

第１領域６１ａにおける全量を１００重量％としたときのＳｉの含有量は、第２領域６１ｂにおける全量を１００重量％としたときのＳｉの含有量よりも、ＳｉＯ_２換算で７．０重量％以上多いことが好ましい。つまり、第１領域６１ａにおける全量を１００重量％としたときのＳｉの含有量と、第２領域６１ｂにおける全量を１００重量％としたときのＳｉの含有量との差は、ＳｉＯ_２換算で７．０重量％以上であることが好ましい。また、第１領域６１ａにおける全量を１００重量％としたときのＳｉの含有量と、第２領域６１ｂにおける全量を１００重量％としたときのＳｉの含有量との差は、６０．０重量％以下であることが好ましい。なお、第２領域６１ｂにおける全量を１００重量％としたときのＳｉの含有量は、０重量％であってもよい。

第１領域及び第２領域の組成は、上述した各対象領域に対して、誘導結合プラズマ発光／質量分光法（ＩＣＰ－ＡＥＳ／ＭＳ）による分析を行うことにより確認される。

第１素体部分６１には、第１領域６１ａ及び第２領域６１ｂが存在することが好ましいが、第１領域６１ａのみが存在していてもよい。

第２素体部分６２及び第２外部電極２２についても、以下に示すように、第１素体部分６１及び第１外部電極２１と同様の構成を有することが好ましい。

図１２は、図１０中の第２素体部分及び第２外部電極の長さ方向及び高さ方向に沿う断面の一部を示す模式図である。

図１２に示すように、第２外部電極２２は、素体１０側から順に、下地電極２２ａと、下地電極２２ａ上に設けられためっき電極２２ｂと、を有している。

めっき電極２２ｂにおける素体１０の第１主面１２ａ上に存在する部分の長さ方向Ｌの先端２２ｂａは、下地電極２２ａにおける素体１０の第１主面１２ａ上に存在する部分の長さ方向Ｌの先端２２ａａよりも、素体１０の第１端面１１ａ側（図１１では、左側）に位置している。

めっき電極２２ｂにおける素体１０の第１主面１２ａ上に存在する部分の長さ方向Ｌの先端２２ｂａと、下地電極２２ａにおける素体１０の第１主面１２ａ上に存在する部分の長さ方向Ｌの先端２２ａａとの間の長さ方向Ｌにおける距離ｂは、３０μｍ以下である。より具体的には、めっき電極２２ｂの先端２２ｂａと下地電極２２ａの先端２２ａａとの間の長さ方向Ｌにおける距離ｂは、０μｍよりも大きく、３０μｍ以下である。

下地電極２２ａ及びめっき電極２２ｂの好ましい構成は、各々、下地電極２１ａ及びめっき電極２１ｂの好ましい構成と同様である。

下地電極２２ａの先端２２ａａと高さ方向Ｔに重なる第２基準位置Ｈ２を定義したとき、第２素体部分６２には、第２基準位置Ｈ２から第１端面１１ａに向かって（図１２では、左側に向かって）長さ方向Ｌにおける寸法Ｑ_１が２０μｍである範囲を少なくとも含む第１領域６２ａが存在することが好ましい。つまり、第１領域６２ａは、第２基準位置Ｈ２から第１端面１１ａに向かう長さ方向Ｌにおける距離Ｑ_１が０μｍの位置から２０μｍの位置までの範囲を少なくとも含むことが好ましい。

第１領域６２ａにおける第１端面１１ａ側の端６２ａａは、第２基準位置Ｈ２からの長さ方向Ｌにおける距離Ｑ_１が２０μｍ以上、６０μｍ以下の位置に存在することが好ましい。つまり、第１領域６２ａは、第２基準位置Ｈ２から第１端面１１ａに向かう長さ方向Ｌにおける距離Ｑ_１が０μｍの位置からβ_１μｍの位置までの範囲（２０≦β_１≦６０）を含むことが好ましい。

第１領域６２ａは、更に、第２基準位置Ｈ２から第２端面１１ｂに向かって（図１２では、右側に向かって）長さ方向Ｌにおける寸法Ｑ_２が２０μｍである範囲を少なくとも含むことが好ましい。つまり、第１領域６２ａは、更に、第２基準位置Ｈ２から第２端面１１ｂに向かう長さ方向Ｌにおける距離Ｑ_２が０μｍの位置から２０μｍの位置までの範囲を少なくとも含むことが好ましい。

第１領域６２ａにおける第２端面１１ｂ側の端６２ａｂは、第２基準位置Ｈ２からの長さ方向Ｌにおける距離Ｑ_２が２０μｍ以上、６０μｍ以下の位置に存在することが好ましい。つまり、第１領域６２ａは、更に、第２基準位置Ｈ２から第２端面１１ｂに向かう長さ方向Ｌにおける距離Ｑ_２が０μｍの位置からβ_２μｍの位置までの範囲（２０≦β_２≦６０）を含むことが好ましい。

第１領域６２ａには、非磁性相のみが存在する、又は、非磁性相及び磁性相の両方が存在することが好ましい。

第２素体部分６２には、更に、第１領域６２ａ以外の第２領域６２ｂが存在することが好ましい。

第２領域６２ｂには、磁性相のみが存在する、又は、磁性相及び非磁性相の両方が存在することが好ましい。

第１領域６２ａ及び第２領域６２ｂの各々における、磁性相及び非磁性相の合計体積に対する非磁性相の好ましい体積割合は、第１領域６１ａ及び第２領域６１ｂの各々における、磁性相及び非磁性相の合計体積に対する非磁性相の好ましい体積割合と同様である。

第２素体部分についても、第１領域及び第２領域の各々における、磁性相及び非磁性相の合計体積に対する非磁性相の体積割合は、上述したように定められる。なお、第２素体部分の露出断面において、第１領域での非磁性相の体積割合を測定する場合は、第２基準位置から第１端面に向かって長さ方向における寸法が２０μｍである範囲を対象領域として選択する。また、第２素体部分の露出断面において、第２領域での非磁性相の体積割合を測定する場合は、第２端面から第１端面に向かって長さ方向における寸法が２０μｍである範囲を対象領域として選択する。

第１領域６２ａ及び第２領域６２ｂの好ましい組成は、各々、第１領域６１ａ及び第２領域６１ｂの好ましい組成と同様である。

第２素体部分６２には、第１領域６２ａ及び第２領域６２ｂが存在することが好ましいが、第１領域６２ａのみが存在していてもよい。

積層型コイル部品１は、例えば、以下の方法で製造される。

＜磁性材料作製工程＞
まず、Ｆｅ_２Ｏ_３、ＮｉＯ、ＺｎＯ、及び、ＣｕＯを所定の割合になるように秤量する。

次に、これらの秤量物を湿式で混合した後、粉砕することにより、スラリーを作製する。秤量物の混合時間については、例えば、４時間以上、８時間以下とする。

そして、得られたスラリーを乾燥させた後、仮焼成する。仮焼成温度については、例えば、７００℃以上、８００℃以下とする。仮焼成時間については、例えば、２時間以上、５時間以下とする。

このようにして、粉末状の磁性材料、より具体的には、粉末状のフェライト材料を作製する。

フェライト材料は、全量を１００ｍоｌ％としたとき、ＦｅをＦｅ_２Ｏ_３換算で４０ｍｏｌ％以上、４９．５ｍｏｌ％以下、ＮｉをＮｉＯ換算で１０ｍｏｌ％以上、４５ｍｏｌ％以下、ＺｎをＺｎＯ換算で２ｍｏｌ％以上、３５ｍｏｌ％以下、ＣｕをＣｕＯ換算で６ｍｏｌ％以上、１３ｍｏｌ％以下含むことが好ましい。

＜非磁性材料作製工程＞
まず、Ｓｉ、Ｂ、アルカリ金属、Ａｌを所定の割合で含むホウケイ酸ガラス粉末を準備する。

ホウケイ酸ガラス材料は、全量を１００重量％としたとき、ＳｉをＳｉＯ_２換算で７０重量％以上、８５重量％以下、ＢをＢ_２Ｏ_３換算で１０重量％以上、２５重量％以下、アルカリ金属ＡをＡ_２Ｏ換算で０．５重量％以上、５重量％以下、ＡｌをＡｌ_２Ｏ_３換算で０重量％以上、５重量％以下含むことが好ましい。

次に、フィラーとして、フォルステライト粉末及び石英粉末を準備する。

そして、ホウケイ酸ガラス粉末、フォルステライト粉末、及び、石英粉末を所定の割合になるように湿式で混合した後、粉砕することにより、非磁性材料を作製する。

＜グリーンシート作製工程＞
まず、磁性材料及び非磁性材料を所定の割合になるように秤量する。次に、これらの秤量物と、ポリビニルブチラール系樹脂等の有機バインダと、エタノール、トルエン等の有機溶剤と、可塑剤と、等を混合した後、粉砕することにより、スラリーを作製する。そして、得られたスラリーをドクターブレード法等で、所定の厚みのシート状に成形した後、所定の形状に打ち抜くことにより、グリーンシートを作製する。

グリーンシートを作製する際、磁性材料及び非磁性材料の配合割合を調整することにより、磁性材料及び非磁性材料の合計体積に対する非磁性材料の体積割合が６０体積％以上である第１種グリーンシートと、磁性材料及び非磁性材料の合計体積に対する非磁性材料の体積割合が５０体積％以下である第２種グリーンシートとを作製する。

なお、グリーンシートを作製する際、磁性材料及び非磁性材料の配合割合を調整することにより、全量を１００重量％としたときにＳｉをＳｉＯ_２換算で３０．０重量％以上含む第３種グリーンシートと、全量を１００重量％としたときにＳｉをＳｉＯ_２換算で２５．０重量％以下含む第４種グリーンシートとを作製してもよい。

以下では、第１種グリーンシート、第２種グリーンシート、第３種グリーンシート、及び、第４種グリーンシートを特に区別しない場合、単に「グリーンシート」と言う。

以下の工程では、グリーンシートとして、第１種グリーンシート及び第２種グリーンシートを組み合わせて用いる場合について説明する。なお、グリーンシートとして、第３種グリーンシート及び第４種グリーンシートを組み合わせて用いる場合についても同様である。

＜導体パターン形成工程＞
まず、グリーンシートの所定の箇所にレーザー照射を行うことにより、ビアホールを形成する。

次に、Ａｇペースト等の導電性ペーストを、スクリーン印刷法等により、ビアホールに充填しつつグリーンシートの表面に塗工する。これにより、グリーンシートに対して、ビア導体用導体パターンをビアホールに形成しつつ、ビア導体用導体パターンに接続されたコイル導体用導体パターンを表面上に形成する。このようにして、グリーンシートにコイル導体用導体パターン及びビア導体用導体パターンが形成されたコイルシートを作製する。コイルシートについては複数枚作製し、各コイルシートに対して、図８及び図９に示したコイル導体に相当するコイル導体用導体パターンと、図８及び図９に示したビア導体に相当するビア導体用導体パターンとを形成する。

また、Ａｇペースト等の導電性ペーストを、スクリーン印刷法等により、ビアホールに充填することにより、グリーンシートにビア導体用導体パターンが形成されたビアシートを、コイルシートとは別に作製する。ビアシートについても複数枚作製し、各ビアシートに対して、図８及び図９に示したビア導体に相当するビア導体用導体パターンを形成する。

コイルシート及びビアシートを作製する際、後に形成される素体の第１素体部分及び第２素体部分において、第１領域としたい領域に配置するものには第１種グリーンシートを用い、第２領域としたい領域に配置するものには第２種グリーンシートを用いる。

＜積層体ブロック作製工程＞
コイルシート及びビアシートを、図８及び図９に相当する順序で積層方向に積層した後、熱圧着することにより、積層体ブロックを作製する。これにより、積層体ブロックでは、後に形成される素体の第１素体部分及び第２素体部分において、第１領域としたい領域に第１種グリーンシートが配置され、第２領域としたい領域に第２種グリーンシートが配置されることになる。

＜素体及びコイル作製工程＞
まず、積層体ブロックをダイサー等で所定の大きさに切断することにより、個片化されたチップを作製する。

次に、個片化されたチップを焼成する。焼成温度については、例えば、９００℃以上、９２０℃以下とする。また、焼成時間については、例えば、２時間以上、４時間以下とする。

個片化されたチップを焼成することにより、コイルシート及びビアシートのグリーンシートは、絶縁層となる。その結果、複数の絶縁層が、積層方向、ここでは、長さ方向に積層されてなる素体が作製される。

ここで、上述したように、積層体ブロックを作製する際には、素体の第１素体部分及び第２素体部分において、第１領域としたい領域に第１種グリーンシートを配置し、第２領域としたい領域に第２種グリーンシートを配置している。そのため、本工程で作製された素体の第１素体部分及び第２素体部分では、第１領域において、磁性相及び非磁性相の合計体積に対する非磁性相の体積割合が６０体積％以上となり、更に、第２領域において、磁性相及び非磁性相の合計体積に対する非磁性相の体積割合が５０体積％以下となる。

個片化されたチップを焼成することにより、コイルシートのコイル導体用導体パターン及びビア導体用導体パターンは、各々、コイル導体及びビア導体となる。その結果、複数のコイル導体が長さ方向に積層されつつ、ビア導体を介して電気的に接続されてなるコイルが作製される。

以上により、素体と、素体の内部に設けられたコイルとが作製される。絶縁層の積層方向とコイルのコイル軸の方向とは、実装面である素体の第１主面に平行となり、ここでは、長さ方向に平行となる。

個片化されたチップを焼成することにより、ビアシートのビア導体用導体パターンは、ビア導体となる。その結果、複数のビア導体が長さ方向に積層されつつ電気的に接続されてなる、第１連結導体及び第２連結導体が作製される。第１連結導体は、素体の第１端面から露出することになる。第２連結導体は、素体の第２端面から露出することになる。

素体に対しては、例えば、バレル研磨を施すことにより、角部及び稜線部に丸みを付けてもよい。

＜外部電極形成工程＞
まず、Ａｇ及びガラスフリットを含む導電性ペーストを所定の厚みに引き伸ばした層に、素体を斜めに浸漬する。次に、得られた塗膜を焼き付けることにより、素体の第１端面の一部から、第１主面、第１側面、及び、第２側面の各面の一部にわたって延在する下地電極を形成する。同様にして、素体の第２端面の一部から、第１主面、第１側面、及び、第２側面の各面の一部にわたって延在する下地電極を形成する。塗膜の焼き付け温度については、例えば、８００℃以上、８２０℃以下とする。

その後、電解めっき等により、各下地電極上に、Ｎｉめっき電極とＳｎめっき電極とを順に形成する。

この際、めっき電極における素体の第１主面上に存在する部分の長さ方向の先端は、下地電極における素体の第１主面上に存在する部分の長さ方向の先端よりも、素体の第２端面側に位置することになるが、めっき電極の先端、ここでは、Ｓｎめっき電極の先端と、下地電極の先端との間の長さ方向における距離が、３０μｍ以下となるようにする。

めっき電極の先端と下地電極の先端との間の長さ方向における距離が３０μｍ以下となるようにする方法としては、例えば、上述したように、積層体ブロックを作製する際に、素体の第１素体部分及び第２素体部分において、第１領域としたい領域に第１種グリーンシートを配置する方法が挙げられる。このような方法を用いると、作製された素体の第１素体部分及び第２素体部分では、第１領域において、磁性相及び非磁性相の合計体積に対する非磁性相の体積割合が６０体積％以上となる。そのため、めっき電極の形成時に、めっき電極の先端と下地電極の先端との間の長さ方向における距離が、３０μｍ以下となりやすくなる。

このようにして、第１連結導体を介してコイルに電気的に接続された第１外部電極と、第２連結導体を介してコイルに電気的に接続された第２外部電極とを形成する。

以上により、積層型コイル部品１が製造される。

以下、本発明の積層型コイル部品をより具体的に開示した実施例を示す。なお、本発明は、これらの実施例に限定されるものではない。

積層型コイル部品の試料１～５を、以下の方法で製造した。

＜磁性材料作製工程＞
まず、Ｆｅ_２Ｏ_３を４８．０ｍｏｌ％、ＮｉＯを１４．０ｍｏｌ％、ＺｎＯを３０．０ｍｏｌ％、ＣｕＯを８．０ｍｏｌ％の割合になるように秤量した。次に、これらの秤量物を、純水と、ＰＳＺ（部分安定化ジルコニア）メディアとともにボールミルに入れて６時間混合した後、粉砕することにより、スラリーを作製した。そして、得られたスラリーを乾燥させた後、８００℃で２時間仮焼成した。このようにして、粉末状の磁性材料、より具体的には、粉末状のフェライト材料を作製した。

＜非磁性材料作製工程＞
まず、Ｓｉ、Ｂ、アルカリ金属、Ａｌを所定の割合で含むホウケイ酸ガラス粉末を準備した。次に、フィラーとして、フォルステライト粉末及び石英粉末を準備した。そして、ホウケイ酸ガラス粉末を７２重量％、フォルステライト粉末を４重量％、石英粉末を２４重量％の割合になるように湿式で混合した後、粉砕することにより、非磁性材料を作製した。

ここで、後に得られる積層型コイル部品の試料１～５の素体の組成を確認するための素体試料を、以下の方法で別に作製した。まず、磁性材料を１００体積％、非磁性材料を０体積％の割合になるように秤量した。次に、これらの秤量物と、有機バインダとしてのポリビニルブチラール系樹脂と、有機溶剤としてのエタノール及びトルエンと、可塑剤とを、ＰＳＺメディアとともにボールミルに入れて混合した後、粉砕することにより、スラリーを作製した。そして、得られたスラリーをドクターブレード法でシート状に成形した後、積層して熱圧着することにより、グリーンブロックを作製した。その後、グリーンブロックを打ち抜き、９１０℃で４時間焼成することにより、厚みが０．５ｍｍで直径が１０ｍｍの円板状の素体試料Ａを作製した。

更に、磁性材料及び非磁性材料を表１に示す割合になるように配合したこと以外、素体試料Ａと同様にして、素体試料Ｂ、素体試料Ｃ、及び、素体試料Ｄを作製した。

素体試料Ａ、素体試料Ｂ、素体試料Ｃ、及び、素体試料Ｄについて、誘導結合プラズマ発光／質量分光法による分析を行うことにより、表１に示す組成を確認した。

表１に示す組成を見ると、グリーンシートＣ及びグリーンシートＤは、全量を１００重量％としたときにＳｉをＳｉＯ_２換算で３０．０重量％以上含む第３種グリーンシートに該当する、とも言える。グリーンシートＡ及びグリーンシートＢは、全量を１００重量％としたときにＳｉをＳｉＯ_２換算で２５．０重量％以下含む第４種グリーンシートに該当する、とも言える。

＜グリーンシート作製工程＞
素体試料Ａと同じ組成の材料を用いて、上述したグリーンブロックを構成するグリーンシートＡを作製した。つまり、後に作製される素体において、グリーンシートＡから構成される領域は、素体試料Ａと同じ組成を有することになる。

同様に、素体試料Ｂと同じ組成の材料を用いてグリーンシートＢを作製し、素体試料Ｃと同じ組成の材料を用いてグリーンシートＣを作製し、素体試料Ｄと同じ組成の材料を用いてグリーンシートＤを作製した。後に作製される素体において、グリーンシートＢから構成される領域は素体試料Ｂと同じ組成を有することになり、グリーンシートＣから構成される領域は素体試料Ｃと同じ組成を有することになり、グリーンシートＤから構成される領域は素体試料Ｄと同じ組成を有することになる。

グリーンシートＣ及びグリーンシートＤは、磁性材料及び非磁性材料の合計体積に対する非磁性材料の体積割合が６０体積％以上である第１種グリーンシートに該当する。グリーンシートＡ及びグリーンシートＢは、磁性材料及び非磁性材料の合計体積に対する非磁性材料の体積割合が５０体積％以下である第２種グリーンシートに該当する。

＜導体パターン形成工程＞
まず、グリーンシートの所定の箇所にレーザー照射を行うことにより、ビアホールを形成した。

次に、Ａｇペーストを、スクリーン印刷法により、ビアホールに充填しつつグリーンシートの表面に塗工した。これにより、グリーンシートに対して、ビア導体用導体パターンをビアホールに形成しつつ、ビア導体用導体パターンに接続されたコイル導体用導体パターンを表面上に形成した。このようにして、グリーンシートにコイル導体用導体パターン及びビア導体用導体パターンが形成されたコイルシートを作製した。コイルシートについては複数枚作製し、各コイルシートに対して、図８及び図９に示したコイル導体に相当するコイル導体用導体パターンと、図８及び図９に示したビア導体に相当するビア導体用導体パターンとを形成した。

また、Ａｇペーストを、スクリーン印刷法により、ビアホールに充填することにより、グリーンシートにビア導体用導体パターンが形成されたビアシートを、コイルシートとは別に作製した。ビアシートについても複数枚作製し、各ビアシートに対して、図８及び図９に示したビア導体に相当するビア導体用導体パターンを形成した。

＜積層体ブロック作製工程＞
コイルシート及びビアシートを、図８及び図９に相当する順序で積層方向に積層した後、熱圧着することにより、積層体ブロックを作製した。

＜素体及びコイル作製工程＞
まず、積層体ブロックをダイサーで所定の大きさに切断することにより、個片化されたチップを作製した。

次に、個片化されたチップを、９１０℃で４時間焼成した。

個片化されたチップを焼成することにより、コイルシート及びビアシートのグリーンシートは、絶縁層となった。その結果、複数の絶縁層が、積層方向、ここでは、長さ方向に積層されてなる素体が作製された。

個片化されたチップを焼成することにより、コイルシートのコイル導体用導体パターン及びビア導体用導体パターンは、各々、コイル導体及びビア導体となった。その結果、複数のコイル導体が長さ方向に積層されつつ、ビア導体を介して電気的に接続されてなるコイルが作製された。

以上により、素体と、素体の内部に設けられたコイルとが作製された。絶縁層の積層方向とコイルのコイル軸の方向とは、実装面である素体の第１主面に平行となり、ここでは、長さ方向に平行となった。

個片化されたチップを焼成することにより、ビアシートのビア導体用導体パターンは、ビア導体となった。その結果、複数のビア導体が長さ方向に積層されつつ電気的に接続されてなる、第１連結導体及び第２連結導体が作製された。第１連結導体は、素体の第１端面から露出した。第２連結導体は、素体の第２端面から露出した。

そして、素体をメディアとともに回転バレル機に入れて、素体にバレル研磨を施すことにより、角部及び稜線部に丸みを付けた。

＜外部電極形成工程＞
まず、Ａｇ及びガラスフリットを含む導電性ペーストを所定の厚みに引き伸ばした層に、素体を斜めに浸漬した。次に、得られた塗膜を、８１０℃で焼き付けることにより、素体の第１端面の一部から、第１主面、第１側面、及び、第２側面の各面の一部にわたって延在する下地電極を形成した。同様にして、素体の第２端面の一部から、第１主面、第１側面、及び、第２側面の各面の一部にわたって延在する下地電極を形成した。各下地電極の厚みは、５μｍであった。

その後、電解めっきにより、各下地電極上に、Ｎｉめっき電極とＳｎめっき電極とを順に形成した。

このようにして、第１連結導体を介してコイルに電気的に接続された第１外部電極と、第２連結導体を介してコイルに電気的に接続された第２外部電極とを形成した。

以上により、積層型コイル部品の試料１～５を製造した。積層型コイル部品の試料１～５は、各々、長さ方向における寸法が０．６ｍｍ、高さ方向における寸法が０．３ｍｍ、幅方向における寸法が０．３ｍｍであった。

積層型コイル部品の試料１～５では、第１外部電極の下地電極における素体の第１主面上に存在する部分の長さ方向の先端と高さ方向に重なる第１基準位置を定義したとき、素体の第１素体部分の第１領域を、第１基準位置から第２端面に向かって長さ方向における寸法（図１１中の寸法Ｐ_１）が２０μｍである範囲と、第１基準位置から第１端面に向かって長さ方向における寸法（図１１中の寸法Ｐ_２）が２０μｍである範囲とを合わせた範囲とした。また、積層型コイル部品の試料１～５では、素体の第１素体部分において、第１領域以外を第２領域とした。

積層型コイル部品の試料１～５では、第２外部電極の下地電極における素体の第１主面上に存在する部分の長さ方向の先端と高さ方向に重なる第２基準位置を定義したとき、素体の第２素体部分の第１領域を、第２基準位置から第１端面に向かって長さ方向における寸法（図１２中の寸法Ｑ_１）が２０μｍである範囲と、第２基準位置から第２端面に向かって長さ方向における寸法（図１２中の寸法Ｑ_２）が２０μｍである範囲とを合わせた範囲とした。また、積層型コイル部品の試料１～５では、素体の第２素体部分において、第１領域以外を第２領域とした。

積層型コイル部品の試料１～５では、第１素体部分及び第２素体部分について、第１領域及び第２領域を構成するグリーンシートとして、表２に示す組み合わせを用いた。その結果、積層型コイル部品の試料１～５では、第１素体部分及び第２素体部分について、第１領域における磁性相及び非磁性相の合計体積に対する非磁性相の体積割合と、第２領域における磁性相及び非磁性相の合計体積に対する非磁性相の体積割合とは、表２に示す通りとなった。また、積層型コイル部品の試料１～５では、第１素体部分及び第２素体部分について、第１領域におけるＳｉＯ_２換算でのＳｉの含有量と、第２領域におけるＳｉＯ_２換算でのＳｉの含有量とは、表２に示す通り（表２では、「ＳｉＯ_２含有量」と表記）となった。

［評価］
積層型コイル部品の試料１～５について、以下の評価を行った。

＜下地電極及びめっき電極の位置＞
まず、積層型コイル部品の試料を第１側面が上側に露出するように垂直に立てた状態で、周囲を樹脂で封止した。次に、積層型コイル部品の試料に対して、研磨機を用いて幅方向の略中央部まで研磨を施すことにより、長さ方向及び高さ方向に沿う断面を露出させた。その後、積層型コイル部品の試料の露出断面に対して、エスアイアイ・ナノテクノロジー社製の集束イオンビーム加工装置「ＳＭＩ３０５０Ｒ」を用いて、集束イオンビーム（ＦＩＢ）加工を施すことにより、観察用断面を得た。

そして、積層型コイル部品の試料の観察用断面に対して、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて、第１外部電極の下地電極及びめっき電極における素体の第１主面上に存在する部分の写真を撮影した。同様にして、第２外部電極の下地電極及びめっき電極における素体の第１主面上に存在する部分の写真を撮影した。その後、撮影された写真で下地電極及びめっき電極の位置を確認したところ、長さ方向において、めっき電極の先端は下地電極の先端よりも素体の中心位置側に存在しており、また、めっき電極の先端と下地電極の先端との間の長さ方向における距離は、表２に示す通りであった。

表２において、試料名に＊を付したものは、本発明の範囲外の比較例である。

表２に示すように、積層型コイル部品の試料３、試料４、及び、試料５では、めっき電極の先端と下地電極の先端との間の長さ方向における距離が３０μｍ以下であった。

一方、積層型コイル部品の試料１及び試料２では、めっき電極の先端と下地電極の先端との間の長さ方向における距離が３０μｍよりも大きかった。

つまり、積層型コイル部品の試料３、試料４、及び、試料５では、積層型コイル部品の試料１及び試料２と比較して、めっき電極が素体の第１主面に沿って下地電極に対して伸びることが抑制されていた。

＜透過係数Ｓ２１＞
積層型コイル部品の試料１、試料３、及び、試料４について、ネットワークアナライザを用いて、入力信号に対する透過信号の電力の比から求められる透過係数Ｓ２１を、３０ＧＨｚから７０ＧＨまで周波数を変化させながら測定した。

図１３は、積層型コイル部品の試料１、試料３、及び、試料４の透過係数Ｓ２１の測定結果を示すグラフである。

図１３に示すように、積層型コイル部品の試料３及び試料４では、積層型コイル部品の試料１と比較して、４０ＧＨｚ、５０ＧＨｚといった高周波帯での透過係数Ｓ２１が大きく、かつ、高周波帯までの透過係数Ｓ２１のばらつきが小さかった。なお、図示していないが、積層型コイル部品の試料５についても、積層型コイル部品の試料３及び試料４と同様に、高周波帯での透過係数Ｓ２１が大きく、かつ、そのばらつきが小さいことが確認された。

１ 積層型コイル部品
１０ 素体
１１ａ 第１端面
１１ｂ 第２端面
１２ａ 第１主面
１２ｂ 第２主面
１３ａ 第１側面
１３ｂ 第２側面
１５、１５ａ、１５ｂ、１５ｃ、１５ｄ、１５ｅ 絶縁層
２１ 第１外部電極
２１ａ、２２ａ 下地電極
２１ａａ、２２ａａ 下地電極における素体の第１主面上に存在する部分の長さ方向の先端
２１ｂ、２２ｂ めっき電極
２１ｂａ、２２ｂａ めっき電極における素体の第１主面上に存在する部分の長さ方向の先端
２２ 第２外部電極
３０ コイル
３１、３１ａ、３１ｂ、３１ｃ、３１ｄ コイル導体
３４ａ、３４ｂ、３４ｃ、３４ｄ、３４ｅ ビア導体
４１ 第１連結導体
４２ 第２連結導体
５０ａ 第１輪郭線
５０ｂ 第２輪郭線
５０ｃ 第３輪郭線
５０ｄ 第４輪郭線
５０ｅ 第５輪郭線
５０ｆ 第６輪郭線
５０ｇ 第７輪郭線
５０ｈ 第８輪郭線
６１ 第１素体部分
６１ａ、６２ａ 第１領域
６１ａａ、６２ａｂ 第１領域における第２端面側の端
６１ａｂ、６２ａａ 第１領域における第１端面側の端
６１ｂ、６２ｂ 第２領域
６２ 第２素体部分
ａ、ｂ めっき電極における素体の第１主面上に存在する部分の長さ方向の先端と、下地電極における素体の第１主面上に存在する部分の長さ方向の先端との間の長さ方向における距離
Ｃ コイル軸
Ｅ_１ 第１外部電極の高さ方向における寸法
Ｅ_２ 第１外部電極の長さ方向における寸法
Ｅ_３ 第２外部電極の高さ方向における寸法
Ｅ_４ 第２外部電極の長さ方向における寸法
Ｇ 界面
Ｈ１ 第１基準位置
Ｈ２ 第２基準位置
Ｌ 長さ方向
Ｌ_１ 積層型コイル部品の長さ方向における寸法
Ｌ_２ 素体の長さ方向における寸法
Ｌ_３ コイルの長さ方向における寸法
Ｐ_１、Ｐ_２ 第１基準位置からの長さ方向における寸法又は距離
Ｑ_１、Ｑ_２ 第２基準位置からの長さ方向における寸法又は距離
Ｔ 高さ方向
Ｔ_１ 積層型コイル部品の高さ方向における寸法
Ｔ_２ 素体の高さ方向における寸法
Ｗ 幅方向
Ｗ_１ 積層型コイル部品の幅方向における寸法
Ｗ_２ 素体の幅方向における寸法

Claims (9)

1. 複数の絶縁層が積層方向に積層されてなり、かつ、長さ方向に対向する第１端面及び第２端面と、前記長さ方向に直交する高さ方向に対向する第１主面及び第２主面と、前記長さ方向及び前記高さ方向に直交する幅方向に対向する第１側面及び第２側面と、を有する、素体と、
   前記素体の内部に設けられ、かつ、複数のコイル導体が電気的に接続されてなるコイルと、
   前記素体の前記第１端面の少なくとも一部から前記第１主面の一部にわたって延在し、かつ、前記コイルに電気的に接続された第１外部電極と、を備え、
   前記絶縁層の前記積層方向と前記コイルのコイル軸の方向とは、実装面である前記素体の前記第１主面に平行であり、
   前記素体の少なくとも一部には、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｚｎ、及び、Ｃｕを含む磁性相と、Ｓｉを含む非磁性相と、が存在し、
   前記第１外部電極は、前記素体側から順に、下地電極と、前記下地電極上に設けられためっき電極と、を有し、
   前記めっき電極における前記素体の前記第１主面上に存在する部分の前記長さ方向の先端は、前記下地電極における前記素体の前記第１主面上に存在する部分の前記長さ方向の先端よりも、前記素体の前記第２端面側に位置し、
   前記めっき電極の前記先端と前記下地電極の前記先端との間の前記長さ方向における距離は、３０μｍ以下である、ことを特徴とする積層型コイル部品。
2. 前記素体の前記長さ方向の中心位置で前記高さ方向及び前記幅方向に沿う界面を定義したとき、前記素体は、前記界面を境に前記長さ方向に並んだ、前記第１端面を含む第１素体部分と、前記第２端面を含む第２素体部分と、を有し、
   前記下地電極の前記先端と前記高さ方向に重なる第１基準位置を定義したとき、前記第１素体部分には、前記第１基準位置から前記第２端面に向かって前記長さ方向における寸法が２０μｍである範囲を少なくとも含む第１領域が存在し、
   前記第１領域には、前記非磁性相のみが存在する、又は、前記非磁性相及び前記磁性相の両方が存在する、請求項１に記載の積層型コイル部品。
3. 前記第１領域は、全量を１００重量％としたとき、ＳｉをＳｉＯ_２換算で３０．０重量％以上含む、請求項２に記載の積層型コイル部品。
4. 前記第１領域は、全量を１００重量％としたとき、ＳｉをＳｉＯ_２換算で３０．０重量％以上、８５．０重量％以下、ＢをＢ_２Ｏ_３換算で４．０重量％以上、１５．０重量％以下、ＦｅをＦｅ_２Ｏ_３換算で０重量％以上、４５．０重量％以下、ＮｉをＮｉＯ換算で０重量％以上、１５．０重量％以下、ＺｎをＺｎＯ換算で０重量％以上、８．０重量％以下、ＣｕをＣｕＯ換算で０重量％以上、５．０重量％以下含む、請求項３に記載の積層型コイル部品。
5. 前記第１領域は、全量を１００重量％としたとき、更に、ＫをＫ_２Ｏ換算で０．３重量％以上、１．５重量％以下、ＭｇをＭｇＯ換算で０．９重量％以上、３．５重量％以下含む、請求項４に記載の積層型コイル部品。
6. 前記第１素体部分には、更に、前記第１領域以外の第２領域が存在し、
   前記第２領域には、前記磁性相のみが存在する、又は、前記磁性相及び前記非磁性相の両方が存在する、請求項２～５のいずれかに記載の積層型コイル部品。
7. 前記第２領域は、全量を１００重量％としたとき、ＳｉをＳｉＯ_２換算で２５．０重量％以下含む、請求項６に記載の積層型コイル部品。
8. 前記第２領域は、全量を１００重量％としたとき、ＳｉをＳｉＯ_２換算で０重量％以上、２５．０重量％以下、ＢをＢ_２Ｏ_３換算で０重量％以上、５．０重量％以下、ＦｅをＦｅ_２Ｏ_３換算で４５．０重量％以上、７０．０重量％以下、ＮｉをＮｉＯ換算で１０．０重量％以上、２０．０重量％以下、ＺｎをＺｎＯ換算で５．０重量％以上、１２．０重量％以下含む、請求項７に記載の積層型コイル部品。
9. 前記第１領域における全量を１００重量％としたときのＳｉの含有量は、前記第２領域における全量を１００重量％としたときのＳｉの含有量よりも、ＳｉＯ_２換算で７．０重量％以上多い、請求項６～８のいずれかに記載の積層型コイル部品。

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