JP2018072121A - 力検出センサー、力覚センサーおよびロボット - Google Patents
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Abstract
Description
前記第2面上に配置されている櫛歯電極と、を有することを特徴とする。
これにより、第1面が力を受けると、櫛歯電極の電極指のピッチが変化する。電極指のピッチが変化すると、櫛歯電極に通電することで基体の表面に励起される弾性表面波の周波数(SAW共振器の共振周波数)も変化するため、この周波数変化に基づいて、受けた力を検出することができる。このように、周波数変化に基づいて受けた力を検出することで、微小な力(微小な力変化)も高い精度で検出することができ、高い力検出特性を発揮することのできる力検出センサーとなる。
これにより、より確実に、受けた力の大きさに応じて、櫛歯電極の電極指のピッチが変化する。
これにより、櫛歯電極に通電することで、より確実に、基体の表面に弾性表面波を励起することができる。
これにより、優れた温度特性、および、優れた機械的強度を発揮することができる。
これにより、より確実に、基体の表面に弾性表面波を励起することができる。
前記第1基体が前記第1面を有し、
前記第2基体が前記第2面を有することが好ましい。
これにより、基体の設計の自由度が増す。
これにより、応答性が向上する。
これにより、信頼性の高い力覚センサーが得られる。
これにより、信頼性の高いロボットが得られる。
図1は、本発明の第1実施形態に係る力覚センサーを示す断面図である。図2は、図1に示す力覚センサーが有する力検出センサーの斜視図である。図3は、図1に示す力覚センサーの平面図である。以下では、説明の便宜上、図1、図2中の上側および図3中の紙面手前側を「上」とも言い、図1、図2中の下側および図3中の紙面奥側を「下」とも言う。また、各図に示すように、以下では、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とし、また、X軸に平行な方向を「X軸方向」、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」ともいう。
図1および図2に示すように、力検出センサー2は、外部から力を受ける第1面としての受圧面211と、受圧面211とは法線方向が異なる第2面としての配置面213と、を備える基体21と、配置面213上に配置されている櫛歯電極22と、を有している。なお、前記「異なる」とは、同一平面を除く概念であり、互いの法線方向が異なっており、好ましくは、所定の角度(特に、90°)をもって配置されていることを言う。
図1に示すように、パッケージ3は、上方に開口する凹部311を有するベース31と、凹部311の開口を覆うようにベース31の上面に接合されたキャップ状のリッド32とを有している。また、パッケージ3の内側には気密な収納空間Sが形成されており、この収納空間Sに力検出センサー2が収納されている。収納空間Sの雰囲気としては、特に限定されないが、例えば、窒素、アルゴン、ヘリウム等の希ガスが充填されていることが好ましい。これにより、収納空間Sの雰囲気が安定する。また、櫛歯電極22や反射器23、24の腐食等を抑制することができる。また、収納空間Sは、減圧(好ましくは真空)状態となっていてもよい。これにより、例えば、粘性抵抗が減って、力検出センサー2のQ値が高まるため、弾性表面波を励起し易くなる。
図1に示すように、一対の基板41、42は、パッケージ3を間に挟んでZ軸方向に重なるようにして設けられている。また、パッケージ3は、Z軸方向から見た平面視で、基板41、42の中央部に位置している。
図1および図3に示すように、基板41、42は、4つの予圧ボルト5で固定(連結)されている。4つの予圧ボルト5は、基板41、42の外縁部に周方向に沿って等間隔(すなわち、90度間隔)に設けられている。また、各予圧ボルト5は、その頭部51が基板41側となるように配置され、各予圧ボルト5のネジ部52が基板42に螺合している。そして、各予圧ボルト5により、パッケージ3内の力検出センサー2に、受圧面211の法線方向に沿う圧力が加えられている。すなわち、基体21は、予圧されている。このように、基体21を予圧することで、例えば、予圧しない場合と比較して、力覚センサー1の応答性が向上する。また、圧縮力Fz1のみならず、引張力Fz2についてもより精度よく検出することができる。
図4は、本発明の第2実施形態に係る力覚センサーを示す断面図である。図5は、図4に示す力覚センサーが有する力検出センサーの斜視図である。
図6は、本発明の第3実施形態に係る力覚センサーが有する力検出センサーを示す斜視図である。
図7は、本発明の第4実施形態に係る力覚センサーが有する力検出センサーを示す斜視図である。
図8は、本発明の第5実施形態に係るロボットを示す斜視図である。
Claims (9)
- 外部から力を受ける第1面と、前記第1面とは法線方向が異なる第2面と、を備える基体と、
前記第2面上に配置されている櫛歯電極と、を有することを特徴とする力検出センサー。 - 前記第2面は、前記第1面が前記力を受けることで変形する請求項1に記載の力検出センサー。
- 前記第2面は、圧電体の表面で構成されている請求項1または2に記載の力検出センサー。
- 前記圧電体は、構成材料が水晶である請求項3に記載の力検出センサー。
- 前記第1面は、前記水晶の電気軸と交差している請求項4に記載の力検出センサー。
- 前記基体は、第1基体と、前記第1基体に接続されている第2基体と、を有し、
前記第1基体が前記第1面を有し、
前記第2基体が前記第2面を有する請求項1ないし5のいずれか1項に記載の力検出センサー。 - 前記基体は、予圧されている請求項1ないし6のいずれか1項に記載の力検出センサー。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の力検出センサーを有することを特徴とする力覚センサー。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の力検出センサーを有することを特徴とするロボット。
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