JP2012121960A - シリコーン樹脂組成物の硬化方法 - Google Patents
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Abstract
本発明は、ポットライフに優れる光硬化型シリコーン樹脂組成物の硬化方法であって、シリコーン樹脂組成物を加熱初期の形状を維持したまま硬化することができる、シリコーン樹脂組成物の硬化方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
(A)一分子中に2つ以上のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン、
(B)一分子中にケイ素原子に結合する水素原子を2つ以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンの、前記(A)成分中のアルケニル基1当量に対しケイ素原子に結合する水素原子が0.1〜4.0当量となる量、及び
(C)光活性型触媒 触媒量
を含有するシリコーン樹脂組成物を加熱することにより硬化する方法であって、該方法が加熱する工程の前にシリコーン樹脂組成物に光を照射する工程を含み、該光が発光スペクトルにおける300nmから400nmの領域に最大ピーク波長を有し、かつ該光の300nmより短い波長領域にある各波長の放射照度が前記最大ピーク波長の放射照度の5%以下である事を特徴とする硬化方法。
【選択図】なし
Description
(A)一分子中に2つ以上のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン、
(B)一分子中にケイ素原子に結合する水素原子を2つ以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンの、前記(A)成分中のアルケニル基1当量に対しケイ素原子に結合する水素原子が0.1〜4.0当量となる量、及び
(C)光活性型触媒 触媒量
を含有するシリコーン樹脂組成物を加熱することにより硬化する方法であって、該方法が加熱する工程の前にシリコーン樹脂組成物に光を照射する工程を含み、該光が発光スペクトルにおける300nmから400nmの領域に最大ピーク波長を有し、かつ該光の300nmより短い波長領域にある各波長の放射照度が前記最大ピーク波長の放射照度の5%以下である事を特徴とする硬化方法を提供する。更に本発明は、上記硬化方法により得られる硬化物、及び該硬化物を備える半導体装置を提供する。
本発明は上記(A)〜(C)成分を含有するシリコーン樹脂組成物を加熱することにより硬化する方法であり、加熱工程の前にシリコーン樹脂組成物に特定の波長を有する光を照射する工程を含む事を特徴とする。本発明の硬化方法において、照射する光は、発光スペクトルにおける最大ピーク波長が300nmから400nmの領域にあり、かつ300nmより短い波長領域にある各波長の放射照度が前記最大ピーク波長の放射照度の5%以下、好ましくは1%以下、より好ましくは0.1%以下である事を特徴とする。300nmより短い波長領域にある各波長の放射照度が0に近ければ近いほどよい。300nmより短い波長領域にあり、放射照度が前記最大ピーク波長の放射照度の5%より大きい波長を有する光を照射すると触媒の一部が失活するため樹脂組成物をゲル化することができない。
本発明のシリコーン樹脂組成物は上記(A)〜(C)成分を含有する。以下に各成分を説明する。
(A)成分は、1分子中に少なくとも2つのアルケニル基を含有するオルガノポリシロキサンであり、該アルケニル基は炭素数2〜8、特に2〜6のアルケニル基およびシクロアルケニル基が挙げられる。特には、ビニル基、アリル基、プロペニル基、イソプロペニル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基等のアルケニル基、シクロヘキセニル基等のシクロアルケニル基が挙げられ、中でもビニル基およびアリル基が好ましい。本発明のオルガノポリシロキサンは常温で固体ないし粘調な樹脂状のものであってよいが、23℃で10〜1,000,000mPa・s、特に100〜100,000mPa・sであることが作業性、硬化性等の観点から好ましい。従って、オルガノポリシロキサンが23℃で固体の場合は溶剤を併用することにより上記粘度にするのが良い。上記オルガノポリシロキサンの粘度は、回転粘度計等により測定することができる。オルガノポリシロキサンと併用して使用する溶剤としては、トルエン、ヘプタン、シクロヘキサン等が挙げられる。溶剤の配合量は、オルガノポリシロキサンと混合した時の粘度が上記範囲になるように適宜調製されればよい。
[化1]
RnSiX4-n
(式中、Rは上述の通り。Xはハロゲン原子又は炭素数1〜4のアルコキシ基、nは1〜3の整数又は0である。Xはハロゲン原子、特に塩素原子であることが好ましい。)
(B)成分は一分子中にケイ素原子に結合する水素原子(即ち、SiH)を2個以上、好ましくは3個以上、3〜1,000個、好ましくは3〜500個、より好ましくは3〜200個、更に好ましくは4〜100個有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンである。当該オルガノハイドロジェンポリシロキサン中のSiH基と(A)成分中のアルケニル基が反応することにより硬化物を形成する。ケイ素原子に結合した水素原子の位置は特に制約はなく、分子鎖末端および分子鎖非末端のいずれに位置していてもよく、またこの両方に位置するものであってもよい。(B)成分のオルガノハイドロジェンポリシロキサンの分子構造は、上記要件を満たすものであれば特に制限はなく、例えば線状、環状、分岐状、三次元網目状構造等の各種のものが使用可能である。
R1 bHcSiO(4−b−c)/2
(式中、R1はアルケニル基を含まない、炭素原子数1〜10の、非置換又は置換の一価炭化水素基であり、bは0.7〜2.1の数、cは0.001〜1.0の数であり、かつb+cが0.8〜3.0を満たす数である。好ましくは、bは1.0〜2.0の数、cは0.01〜1.0の数であって、b+cが1.5〜2.5を満たす数である。)
(C)成分は光活性を有する触媒であれば特に制限されるものではなく、特には白金族金属触媒あるいはニッケル系触媒である。白金族金属触媒は、白金系、パラジウム系、ロジウム系のものが使用でき、中でも白金系触媒であるのが好ましい。当該白金系触媒としては、β−ジケトネート白金錯体触媒、例えば、トリメチル(アセチルアセトナト)白金錯体、トリメチル(3,5−ヘプタンジオネート)白金錯体、トリメチル(メチルアセトアセテート)白金錯体、ビス(2,4−ペンタンジオナト)白金錯体、ビス(2,4−へキサンジオナト)白金錯体、ビス(2,4−へプタンジオナト)白金錯体、ビス(3,5−ヘプタンジオナト)白金錯体、ビス(1−フェニル−1,3−ブタンジオナト)白金錯体、ビス(1,3−ジフェニル−1,3−プロパンジオナト)白金錯体が挙げられる。また、(メチルシクロペンタジエニル)トリメチル白金を使用することもできる。ニッケル系触媒としては、例えばビス(2,4−ペンタンジオナト)ニッケル錯体を使用することができる。これらは1種を単独でも2種以上を組み合わせて使用してもよい。中でも本発明の硬化方法で使用する触媒としては、ビス(2,4−ペンタンジオナト)白金錯体、慣用名ビス(アセチルアセトナト)白金(II)が好ましい。
本発明のシリコーン樹脂組成物は接着助剤をさらに含むことができる。接着助剤としては例えば、一分子中にケイ素原子に結合した水素原子(SiH基)、ケイ素原子に結合したアルケニル基(例えばSi−CH=CH2基)、アルコキシシリル基(例えばトリメトキシシリル基)、エポキシ基(例えばグリシドキシプロピル基、3,4−エポキシシクロヘキシルエチル基)、(メタ)アクリレート基から選ばれる官能性基を少なくとも2種、好ましくは2種又は3種含有する、ケイ素原子数4〜50個、好ましくは4〜20個の、直鎖状又は環状のオルガノシロキサンオリゴマー、又はオルガノオキシシリル変性イソシアヌレート化合物及び/又はその加水分解縮合物(オルガノシロキサン変性イソシアヌレート化合物)などが挙げられる。接着助剤は1種を単独で、または2種以上を組み合わせて使用してもよい。
上記シリコーン樹脂組成物は、上記(A)〜(D)成分以外に硬化反応を抑制・制御する効果を有する化合物を含有してもよい。このような化合物としては、トリフエニルホスフィンなどのリン含有化合物;トリブチルアミン、テトラメチルエチレンジアミン、ベンゾトリアゾールなどの窒素含有化合物:硫黄含有化合物、アセチレン系化合物、アルケニル基を2個以上有する化合物、ハイドロパーオキシ化合物、マレイン酸誘導体などが挙げられる。当該化合物による硬化遅延効果の度合いは、その化学構造によって大きく異なる。したがって、その添加量は、使用する化合物の個々について最適な量に調整すべきであるが、一般的には、その添加量が少な過ぎると室温での長期貯蔵安定性が得られず、逆に多過ぎると硬化が阻害される。
(A)アルケニル基含有オルガノポリシロキサン
SiO2単位16モル%、(CH3)3SiO1/2単位20モル%、Vi(CH3)2SiO1/2単位4モル%、及び(CH3)2SiO単位60モル%を含有し、粘度が40Pa・sであり、100g中に54mmolのビニル基を有する分岐状ポリメチルビニルシロキサン(GPCによるポリスチレン換算の重量平均分子量は63,000、信越化学工業(株)製)。
(c−1)ビス(アセチルアセトナト)白金(II)(東京化成工業(株)製)
(c−2)(メチルシクロペンタジエニル)トリメチル白金(シグマアルドリッチジャパン(株)製)
各成分を表1に示す組成及び量で配合し、ミキサーにより均一に混合した後脱泡し、無色透明な液状組成物を得た。尚、表1において白金触媒の量は(A)成分及び(B)成分の合計量に対する白金金属換算量である。また、調製例1、2及び参考例のSiH基/Vi基は、(A)オルガノポリシロキサン及び(D)接着助剤が含有するビニル基の合計当量に対する、(B)オルガノハイドロジェンポリシロキサンのSiH基の当量である。
参考例用シリコーン樹脂組成物として非光活性型の硬化触媒を配合したシリコーン組成物4を調製した。上記(A)、(B)、(D)成分、非光活性型である白金ビニルシロキサン錯体(信越化学工業(株)製)、及び硬化抑制剤としてアセチレンアルコール系のエチニルシクロヘキサノール(信越化学工業(株)製)を表1に示す量で配合し、ミキサーにより均一に混合した後脱泡し、無色透明な液状組成物を得た。
各シリコーン樹脂組成物を褐色ビンに入れ、23℃の恒温槽に浸けて2週間放置した。2週間後の粘度を測定し、初期粘度からの粘度変化率を求めた。結果を表1に示す。
シリコーン樹脂組成物1〜3に以下に示す条件で光照射した後の、各組成物の流動性を評価した。評価方法は、各組成物の表面を指で触れ、指先に樹脂が付着しないものを流動性なしとした。結果を表2に示す。
厚さ2mmのシート状になるように、シリコーン樹脂組成物1〜3をテフロン(登録商標)板に注型し、UV−LED(美館イメージング社製)を用いて365nmの光を、積算光量300mJ/cm2となるようにシリコーン樹脂組成物1〜3に3秒間照射した後、3分間放置した。
厚さ2mmのシート状になるようにテフロン(登録商標)板に注型したシリコーン樹脂組成物1〜3に、光学スペクトルにおける最大ピーク波長を365nmに有する光の、300nmより短い波長領域にある波長を365nmバンドパスフィルター(ウシオ電機社製)により除去し、300nmより短い波長領域にある各波長の放射照度を最大ピーク波長の放射照度の5%以下とした光を、積算光量300mJ/cm2となるように3秒間照射した後、3分間放置した。光源にはコンベア式UV照射装置(岩崎電気社製)を使用した。当該光の発光スペクトルを図1に示す。スペクトル分布は分光放射照度計USR−45D(ウシオ電機社製)にて測定したものである。図1において、バンドパスフィルターで300nmより短い波長領域にある波長を除去したスペクトルを実線で表わした。点線で表わされているのはバンドパスフィルターを通していない光の発光スペクトルである。
厚さ2mmのシート状になるように、上記シリコーン樹脂組成物1〜3をテフロン(登録商標)板に注型し、コンベア式UV照射装置(岩崎電気社製)を用いて、照射波長領域200〜400nmであり、光学スペクトルにおける最大ピーク波長を365nmに有する光を、積算光量300mJ/cm2となるようにシリコーン樹脂組成物1〜3に3秒間照射した後、3分間放置した。
7.5cm×2.5cmのガラス板上に6.0×1.0cm、高さ1mmのくぼみをテープで作り、シリコーン樹脂組成物1〜3を流し込んだ後、上述した各照射条件により光照射した。その後テープを剥がして150℃オーブン中で2時間加熱し無色透明な硬化物を得た。加熱による樹脂の形状変化を目視により観察した。加熱中の樹脂の形状変化率が縦方向及び横方向に1%以内であったものを○とし、縦方向及び/または横方向に1%を超えて形状変化したものを×とした。また比較例4として、シリコーン樹脂組成物4を実施例1と同じ照射条件を用いて光照射し、加熱中の形状維持性を評価した。結果を表3に示す。
7.5cm×2.5cmのガラス板上に6.0×1.0cm、高さ2mmのくぼみをテープで作り、シリコーン樹脂組成物1〜4を流し込んだ後、上述した各照射条件により光照射した。シリコーン樹脂組成物4には実施例1と同じ条件で光照射した。その後150℃オーブン中で2時間加熱し無色透明な硬化物を得た。該硬化物を3枚重ねて厚さ6mmとした試料を用いて、JIS K 6253に準拠し、タイプAデュロメータによって加熱硬化直後の硬さを測定した。また各硬化物を150℃で2週間置いた後の硬化物の硬さを測定した。結果を表3に示す。
上記形状維持評価試験を行った硬化物(厚さ1mm)を200度のオーブンに入れ2週間放置した後、各硬化物における、光路長1mm、波長450nmの光の透過度をスペクトロフォトメーターU−4100(日立社製)により測定した(測定温度23℃)。結果を表3に示す。
Claims (9)
- (A)一分子中に2つ以上のアルケニル基を有するオルガノポリシロキサン、
(B)一分子中にケイ素原子に結合する水素原子を2つ以上有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンの、前記(A)成分中のアルケニル基1当量に対しケイ素原子に結合する水素原子が0.1〜4.0当量となる量、及び
(C)光活性型触媒 触媒量
を含有するシリコーン樹脂組成物を加熱することにより硬化する方法であって、該方法が加熱する工程の前にシリコーン樹脂組成物に光を照射する工程を含み、該光が発光スペクトルにおける300nmから400nmの領域に最大ピーク波長を有し、かつ該光の300nmより短い波長領域にある各波長の放射照度が前記最大ピーク波長の放射照度の5%以下である事を特徴とする硬化方法。 - 300nmより短い波長領域にある波長を光学フィルターにより除去し、300nmより短い波長領域にある各波長の放射照度を最大ピーク波長の放射照度の5%以下にする工程を含む、請求項1に記載の硬化方法。
- 光を照射する工程によりシリコーン樹脂組成物がゲル化される事を特徴とする、請求項1または2に記載の硬化方法。
- (A)オルガノポリシロキサンがSiO4/2単位及びR3SiO1/2単位(式中、Rは、互いに独立に、炭素数1〜10の、非置換又は置換の1価炭化水素基である)を含有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の硬化方法。
- (A)オルガノポリシロキサンがさらにR2SiO単位及び/又はRSiO3/2単位(式中、Rは、互いに独立に、炭素数1〜10の、非置換又は置換の1価炭化水素基である)を含有する、請求項4に記載の硬化方法。
- (C)成分がβ−ジケトネート白金錯体触媒である、請求項1〜5のいずれか1項に記載の硬化方法。
- (C)成分がビス(アセチルアセトナト)白金(II)である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の硬化方法。
- 請求項1〜7のいずれか1項に記載の方法により得られる硬化物。
- 請求項8に記載の硬化物を備える半導体装置。
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