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JP2011194605A - Device and method for manufacturing photosensitive laminated body - Google Patents

Device and method for manufacturing photosensitive laminated body Download PDF

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JP2011194605A
JP2011194605A JP2010061111A JP2010061111A JP2011194605A JP 2011194605 A JP2011194605 A JP 2011194605A JP 2010061111 A JP2010061111 A JP 2010061111A JP 2010061111 A JP2010061111 A JP 2010061111A JP 2011194605 A JP2011194605 A JP 2011194605A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photosensitive
substrate
protective film
roll
tension
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2010061111A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akihiko Hase
明彦 長谷
Hirokazu Akiyoshi
寛和 秋好
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Corp
Original Assignee
Fujifilm Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Corp filed Critical Fujifilm Corp
Priority to JP2010061111A priority Critical patent/JP2011194605A/en
Publication of JP2011194605A publication Critical patent/JP2011194605A/en
Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

【課題】基板に対し、感光材料層を回転するゴムロールで押圧することによりラミネートする際に、ゴムロールの回転数を初動時より安定させて、無駄のない品質に優れた製品を得る。
【解決手段】ウエブ送り出し機構32a、32bから送り出される感光性ウエブ22a、22bの感光性樹脂層28と、基板搬送機構45から送り出されるガラス基板24とを貼り付け機構46を介して一体化する際、該貼り付け機構46のゴムロール80aをロール表面と支持体の摩擦係数が0.3乃至0.8のシリコーンゴムで構成して、安定した回転数で該ガラス基板24に対し、感光性樹脂材料をラミネートする。
【選択図】図1
When a photosensitive material layer is laminated against a substrate by pressing with a rotating rubber roll, the number of rotations of the rubber roll is stabilized from the initial movement to obtain a product with excellent quality without waste.
When a photosensitive resin layer 28 of photosensitive webs 22a and 22b fed from web feed mechanisms 32a and 32b and a glass substrate 24 fed from a substrate transport mechanism 45 are integrated via a bonding mechanism 46. The rubber roll 80a of the affixing mechanism 46 is made of silicone rubber having a friction coefficient of 0.3 to 0.8 between the roll surface and the support, and the photosensitive resin material is applied to the glass substrate 24 at a stable rotational speed. Laminate.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、基板と、支持体上に感光材料層が設けられた長尺状感光性ウエブとを一対の圧着ロール間に送り出し、前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置及び製造方法に関する。   The present invention provides a photosensitive laminate by feeding a substrate and a long photosensitive web provided with a photosensitive material layer on a support between a pair of pressure-bonding rolls, and affixing the photosensitive material layer to the substrate. The present invention relates to a manufacturing apparatus and a manufacturing method for a photosensitive laminate.

例えば、液晶パネル用基板、プリント配線用基板、PDP用基板では、感光性樹脂層(感光材料層)を有する感光性シート体(感光性ウエブ)を基板表面に貼り付けて構成されている。感光性シート体は、可撓性プラスチック支持体上に感光性樹脂層と保護フイルムとが順に積層されている。   For example, in a liquid crystal panel substrate, a printed wiring substrate, and a PDP substrate, a photosensitive sheet body (photosensitive web) having a photosensitive resin layer (photosensitive material layer) is attached to the substrate surface. In the photosensitive sheet body, a photosensitive resin layer and a protective film are sequentially laminated on a flexible plastic support.

この種の感光性シート体の貼り付けに使用される製造装置は、通常、ガラス基板や樹脂基板等の基板を所定の間隔ずつ離間させて搬送するとともに、前記基板に貼り付けられる感光性樹脂層の範囲に対応して、前記感光性シート体から保護フイルムを剥離する方式が採用されている。   A manufacturing apparatus used for attaching this type of photosensitive sheet body usually conveys a glass substrate or a resin substrate such as a glass substrate or a resin substrate spaced apart from each other by a predetermined distance, and a photosensitive resin layer attached to the substrate. Corresponding to this range, a method of peeling the protective film from the photosensitive sheet body is adopted.

例えば、特許文献1に開示されている製造装置では、図9に示すように、フイルムロール1から繰り出される積層体フイルム(感光性シート体)1aは、ガイドロール2a、2bに巻き付けられて水平のフイルム搬送面に沿って延在している。このガイドロール2bには、積層体フイルム1aの送り量に応じた数のパルス信号を出力するロータリエンコーダ3が取り付けられている。   For example, in the manufacturing apparatus disclosed in Patent Document 1, as shown in FIG. 9, a laminated body film (photosensitive sheet body) 1a fed out from a film roll 1 is wound around guide rolls 2a and 2b to be horizontal. It extends along the film transport surface. A rotary encoder 3 that outputs a number of pulse signals corresponding to the feed amount of the laminated film 1a is attached to the guide roll 2b.

水平のフイルム搬送面に沿って延在する積層体フイルム1aは、サクションロール4に巻き掛けられるとともに、前記ガイドロール2bと前記サクションロール4との間には、ハーフカッタ装置5とカバーフイルム剥離装置6とが設けられている。   A laminate film 1a extending along a horizontal film transport surface is wound around a suction roll 4, and a half cutter device 5 and a cover film peeling device are provided between the guide roll 2b and the suction roll 4. 6 are provided.

ハーフカッタ装置5は、積層体フイルム1aの搬送方向に所定間隔離間する一対のディスクカッタ5a、5bを備えている。ディスクカッタ5a、5bは、積層体フイルム1aのフイルム幅方向に沿って移動することにより、前記積層体フイルム1aのカバーフイルム(図示せず)における剥離部分と残存部分との2個所の境界部分をその裏側の感光性樹脂層(図示せず)と一体に切断する。   The half-cutter device 5 includes a pair of disc cutters 5a and 5b that are separated from each other by a predetermined distance in the transport direction of the laminated film 1a. The disc cutters 5a and 5b move along the film width direction of the laminate film 1a, thereby demarcating two boundary portions between the peeled portion and the remaining portion of the cover film (not shown) of the laminate film 1a. It cuts together with the photosensitive resin layer (not shown) on the back side.

カバーフイルム剥離装置6は、粘着テープロール7から繰り出される粘着テープ7aを押圧ロール8a、8b間でカバーフイルムの剥離部分に強く圧着させた後、巻き取りロール9によって巻き取る。これにより、カバーフイルムの剥離部分は、感光性樹脂層から剥離されて粘着テープ7aと共に巻き取りロール9に巻き取られる。   The cover film peeling device 6 strongly presses the pressure-sensitive adhesive tape 7 a fed from the pressure-sensitive adhesive tape roll 7 between the pressure rolls 8 a and 8 b to the peeled portion of the cover film, and then winds it by the take-up roll 9. Thereby, the peeling part of a cover film is peeled from the photosensitive resin layer, and is wound up by the winding roll 9 with the adhesive tape 7a.

サクションロール4の下流には、基板搬送装置10によって所定の間隔で搬送される複数の基板11の上面に、カバーフイルムの剥離された積層体フイルム1aの剥離部分を重ねて圧着する一対のラミネーションロール12a、12bが配設されている。このラミネーションロール12a、12bの下流側には、支持フイルム巻き取りロール13が配置されている。基板11に貼り付けられている透光性支持フイルム(図示せず)は、基板11に感光性樹脂層を残存させた状態でカバーフイルムの残存部分とともに支持フイルム巻き取りロール13に巻き取られる。   Downstream of the suction roll 4, a pair of lamination rolls that overlap and pressure-bond the peeled portion of the laminated film 1 a from which the cover film has been peeled over the upper surfaces of the plurality of substrates 11 that are transported at predetermined intervals by the substrate transport device 10. 12a and 12b are provided. A support film take-up roll 13 is disposed downstream of the lamination rolls 12a and 12b. The translucent support film (not shown) attached to the substrate 11 is wound around the support film winding roll 13 together with the remaining portion of the cover film in a state where the photosensitive resin layer remains on the substrate 11.

前記の従来技術において、本出願人は、積層体フイルム1aが、可撓性の支持フイルム上に感光性樹脂層を形成したものであり、テンションを付与した状態で搬送されるため、搬送中に発生した延びの影響により、前記境界部分の位置がずれてしまうおそれがあり、また、1枚の基板11に対して2枚の積層体フイルム1a、1bを同時に貼り付けるように構成した場合には、各積層体フイルム1a、1bの基板11に対する貼り付け位置の個々のずれだけでなく、積層体フイルム1a、1b間の位置ずれも問題となることを知見した。さらに、本出願人は、基板11に対して積層体フイルム1aを圧着するラミネーションロール12a、12bが、積層体フイルム1aに対して所定の摩擦力を付与して搬送するため、外周面にゴムがライニングされ、このゴムのライニングは、製造中における積層体フイルム1aとの摩擦や、積層体フイルム1aからの転写物の付着等によって摩擦係数が変化することを確認した。そこで、このような物理的な条件変化の影響によっても、基板11に対する積層体フイルム1aの位置ずれが発生し、この場合、ゴムがライニングされたラミネーションロール12a、12bは、摩擦係数を含む物理的条件を所定の範囲内とするため、定期的に交換する必要があることを知見した。   In the above prior art, the applicant of the present invention is that the laminate film 1a is formed by forming a photosensitive resin layer on a flexible support film and is transported in a tensioned state. The boundary portion may be displaced due to the influence of the generated extension, and when the two laminated films 1a and 1b are applied to one substrate 11 at the same time, It has been found that not only the individual displacements of the positions of the laminated films 1a and 1b attached to the substrate 11, but also the positional deviation between the laminated films 1a and 1b becomes a problem. Further, since the present invention provides the laminating rolls 12a and 12b for pressing the laminated film 1a against the substrate 11 to convey the laminated film 1a with a predetermined frictional force, the outer peripheral surface is made of rubber. It was confirmed that the friction coefficient of the rubber lining was changed due to friction with the laminated film 1a during production, adhesion of a transfer product from the laminated film 1a, and the like. Therefore, even under the influence of such physical condition change, the positional deviation of the laminate film 1a with respect to the substrate 11 occurs, and in this case, the lamination rolls 12a and 12b lined with rubber are physically included including a friction coefficient. It has been found that it is necessary to replace the condition periodically in order to keep the condition within a predetermined range.

そこで、本出願人は、前記の種々の不都合を一挙に解決すべく、特開2009−226883号で発明「感光性積層体の製造装置及び製造方法」(特許文献2)を提案した。   In view of this, the present applicant has proposed an invention “photosensitive laminate manufacturing apparatus and method” (Patent Document 2) in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2009-226883 in order to solve the above-mentioned various problems at once.

特開平11−34280号公報JP-A-11-34280 特開2009−226883号公報JP 2009-226883 A

本発明は前記発明「感光性積層体の製造装置及び製造方法」に関連してなされたものであって、基板に対して感光材料層を圧着する圧着ロールを改良し、すなわち、圧着ロールを搭載時点はもとより、稼動途上であっても、その摩擦係数が可及的に安定する適切なものとし、それによって圧着ロールの初動時において発生していた感光材料層の基板への貼り付け位置のばらつきを少なくし、そのばらつきに基因する不良品の確認作業の回避、不良品の廃棄による稼動ロスの発生を抑え、さらに基板貼り付け位置のばらつきの有無を検出するための前記製造装置のシステムの監視や調整に係る作業や該製造装置自体の清掃頻度を可及的に少なくすることが可能な感光性積層体の製造装置及び製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in connection with the above-mentioned invention “photosensitive laminate manufacturing apparatus and method”, and is an improvement of a pressure-bonding roll for pressure-bonding a photosensitive material layer to a substrate. Not only at the time, but also during operation, the coefficient of friction should be as stable as possible, and as a result, variations in the position of the photosensitive material layer on the substrate that occurred during the initial movement of the crimping roll Monitoring of the manufacturing equipment system to reduce the amount of the product, avoid the operation of confirming the defective product due to the variation, suppress the operation loss due to the disposal of the defective product, and detect the presence / absence of the variation in the position where the substrate is adhered. Another object of the present invention is to provide a manufacturing apparatus and a manufacturing method for a photosensitive laminate capable of reducing as much as possible the work related to adjustment and the cleaning frequency of the manufacturing apparatus itself.

前記の目的を達成するために、本願の請求項1で特定される発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ロール間に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
少なくとも一方の前記圧着ロールの表面と支持体の摩擦係数が0.3乃至0.8の範囲内であることを特徴とする。
In order to achieve the above object, the invention specified in claim 1 of the present application is to deliver a long photosensitive web in which a photosensitive material layer and a protective film are laminated in order on a support, and the protective film. A processing portion corresponding to the boundary position between the peeled portion and the remaining portion is formed in a portion extending from the protective film to the photosensitive material layer, and the peeled portion of the protective film is peeled and supplied at a predetermined interval. A photosensitive laminate is manufactured by feeding between a pair of pressure-bonding rolls heated together with the substrate, placing the remaining portion of the protective film between the substrates, and attaching the exposed photosensitive material layer to the substrate. In the photosensitive laminate manufacturing apparatus,
The friction coefficient between the surface of at least one of the pressure-bonding rolls and the support is in the range of 0.3 to 0.8.

本願の請求項2で特定される発明は、請求項1記載の感光性積層体の製造装置において、
前記一対の圧着ロールのいずれか一方の感光材料層を押圧する表面が非粘着性であることを特徴とする。
The invention specified in claim 2 of the present application is the photosensitive laminate manufacturing apparatus according to claim 1,
The surface which presses any one of the pair of pressure-bonding rolls is non-adhesive.

本願の請求項3で特定される発明は、支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ロール間に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記感光材料層は少なくとも前記一対の圧着ロールの中、前記一方の圧着ロール表面と支持体の摩擦係数が0.3乃至0.8の圧着ロールで前記基板に回転しながら押圧されることを特徴とする。
In the invention specified in claim 3 of the present application, a long photosensitive web in which a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a support is sent out, and the boundary between the peeled portion and the remaining portion of the protective film is sent. A pair of pressure-bonding rolls formed with a processing part corresponding to the position in a part extending from the protective film to the photosensitive material layer, peeling off the peeling part of the protective film, and being heated together with a substrate supplied at a predetermined interval In the manufacturing apparatus of the photosensitive laminate, the photosensitive laminate is manufactured by sending the intermediate film between the substrates, placing the remaining portion of the protective film between the substrates, and attaching the exposed photosensitive material layer to the substrate.
The photosensitive material layer is pressed while being rotated against the substrate by a pressure-sensitive roll having a friction coefficient of 0.3 to 0.8 between at least one surface of the pressure-bonded roll and the support among the pair of pressure-sensitive rolls. And

本願の請求項4で特定される発明は、請求項3記載の感光性積層体の製造方法において、
前記感光材料層を押圧する圧着ロールの表面が非粘着性であることを特徴とする。
The invention specified in claim 4 of the present application is the method for producing a photosensitive laminate according to claim 3,
The surface of the pressure-bonding roll that presses the photosensitive material layer is non-adhesive.

前記請求項1及び3の発明によれば、摩擦係数が0.3乃至0.8の圧着ロールを用いて、基板に感光材料層を回転しながら押圧して貼り付ける際、前記摩擦係数が所定の範囲内であるために基板に対する感光材料層の貼り付け位置が一定となり、これによって感光性積層体の品質が向上するとともに、歩留まりも改良される効果が得られる。   According to the first and third aspects of the present invention, when the pressure-sensitive roll having a friction coefficient of 0.3 to 0.8 is used to press and paste the photosensitive material layer on the substrate while rotating, the friction coefficient is predetermined. In this range, the position where the photosensitive material layer is attached to the substrate becomes constant, thereby improving the quality of the photosensitive laminate and improving the yield.

しかも、これによって、システムを介して基板に対する感光材料層の貼り付け位置の監視やそれに必要とされる機器の調整が不要となり、生産効率が一層向上する利点が得られる。   In addition, this eliminates the need for monitoring the position where the photosensitive material layer is attached to the substrate and adjusting the equipment required for it through the system, thereby providing the advantage of further improving production efficiency.

前記請求項2及び4の発明によれば、感光材料層を押圧する圧着ロールの表面を非粘着性の材質のものとしたので、動作中やその環境内に存在する微細な粒子等からの汚染を回避できる。このことは、圧着ロールに対する清掃回数を低減させ、しかもその清掃時間も短くなるために、生産効率のさらなる向上が図れる。   According to the second and fourth aspects of the invention, since the surface of the pressure-bonding roll that presses the photosensitive material layer is made of a non-adhesive material, contamination from fine particles or the like existing during operation or in the environment. Can be avoided. This reduces the number of cleanings for the pressure-bonding roll, and also shortens the cleaning time, so that the production efficiency can be further improved.

本発明によれば、基板と感光材料層とを一体化する際に、ロール表面と支持体の摩擦係数が0.3乃至0.8である圧着ロールを用いて回転しながらラミネートするので動作が安定し、基板に対する感光材料層の貼り付け位置が一定となり、製品としての感光性積層体の品質が向上するとともに、基板や感光材料層の歩留まりも向上する効果が得られる。   According to the present invention, when the substrate and the photosensitive material layer are integrated, the operation is performed because the lamination is performed while rotating using the pressure roll having a friction coefficient of 0.3 to 0.8 between the roll surface and the support. As a result, the position of the photosensitive material layer on the substrate is stable, the quality of the photosensitive laminate as a product is improved, and the yield of the substrate and the photosensitive material layer is improved.

本発明の実施形態に係る製造装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the manufacturing apparatus which concerns on embodiment of this invention. 前記製造装置に使用される長尺状感光性ウエブの断面図である。It is sectional drawing of the elongate photosensitive web used for the said manufacturing apparatus. 前記長尺状感光性ウエブに接着ラベルが接着された状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state by which the adhesive label was adhere | attached on the said elongate photosensitive web. 貼り付け機構からベース自動剥離機構に至る製造装置の説明図である。It is explanatory drawing of the manufacturing apparatus from a sticking mechanism to a base automatic peeling mechanism. 圧着ロールの前後における長尺状感光性ウエブのテンションを調整するための回路ブロック図である。It is a circuit block diagram for adjusting the tension of the long photosensitive web before and after the press roll. ハーフカット部位の加工位置を調整するための回路ブロック図である。It is a circuit block diagram for adjusting the processing position of a half cut part. 圧着ロールの交換後におけるテンション調整処理のフローチャートである。It is a flowchart of the tension adjustment process after replacement | exchange of a crimping | compression-bonding roll. 圧着ロールの摩擦係数と回転量と圧着枚数との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the friction coefficient of a crimping | compression-bonding roll, rotation amount, and the number of crimping | compression-bonding. 従来技術の製造装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the manufacturing apparatus of a prior art.

図1は、本発明の実施形態に係る感光性積層体の製造装置20の概略構成図であり、この製造装置20では、液晶又は有機EL用カラーフィルタ等の製作工程で、長尺状感光性ウエブ22a、22bの各感光性樹脂層28(後述する)を並列してガラス基板24に熱転写する作業が行われる。感光性ウエブ22a、22bは、それぞれ所定の幅寸法に設定されている。   FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a photosensitive laminate manufacturing apparatus 20 according to an embodiment of the present invention. In the manufacturing apparatus 20, a long photosensitive layer is manufactured in a manufacturing process of a liquid crystal or a color filter for organic EL. An operation of thermally transferring the photosensitive resin layers 28 (described later) of the webs 22a and 22b to the glass substrate 24 in parallel is performed. The photosensitive webs 22a and 22b are each set to a predetermined width dimension.

図2は、製造装置20に使用される感光性ウエブ22a、22bの断面図である。この感光性ウエブ22a、22bは、可撓性ベースフイルム(支持体)26と、感光性樹脂層(感光材料層)28と、保護フイルム30とを積層して構成される。   FIG. 2 is a cross-sectional view of the photosensitive webs 22 a and 22 b used in the manufacturing apparatus 20. The photosensitive webs 22a and 22b are formed by laminating a flexible base film (support) 26, a photosensitive resin layer (photosensitive material layer) 28, and a protective film 30.

図1に示すように、製造装置20は、感光性ウエブ22a、22bをロール状に巻回した2本(2本以上であればよい)の感光性ウエブロール23a、23bを収容し、各感光性ウエブロール23a、23bから前記感光性ウエブ22a、22bを同期して送り出し可能な第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bと、送り出された各感光性ウエブ22a、22bの保護フイルム30及び感光性樹脂層28に幅方向に切断可能な境界位置であるハーフカット部位(加工部位)34を形成する第1及び第2加工機構36a、36b(加工位置調整手段)と、一部に非接着部38aを有する接着ラベル38(図3参照)を各保護フイルム30に接着させる第1及び第2ラベル接着機構40a、40bとを備える。   As shown in FIG. 1, the manufacturing apparatus 20 accommodates two (or more than two) photosensitive web rolls 23a and 23b obtained by winding photosensitive webs 22a and 22b in a roll shape. First and second web feed mechanisms 32a and 32b capable of synchronously feeding the photosensitive webs 22a and 22b from the photosensitive web rolls 23a and 23b, the protective film 30 and the photosensitive film of each of the fed photosensitive webs 22a and 22b. First and second processing mechanisms 36a and 36b (processing position adjusting means) for forming a half-cut portion (processing portion) 34 that is a boundary position that can be cut in the width direction on the conductive resin layer 28, and a part that is not bonded First and second label adhering mechanisms 40a and 40b for adhering an adhesive label 38 (see FIG. 3) having 38a to each protective film 30 are provided.

第1及び第2ラベル接着機構40a、40bの下流には、各感光性ウエブ22a、22bをタクト送りから連続送りに変更するための第1及び第2リザーバ機構42a、42bと、各感光性ウエブ22a、22bから保護フイルム30を所定の長さ間隔で剥離させる第1及び第2剥離機構44a、44bと、ガラス基板24を所定の温度に加熱した状態で貼り付け位置に搬送する基板搬送機構45(貼り付け位置調整手段)と、前記保護フイルム30の剥離により露出した感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に一体的且つ並列に貼り付ける貼り付け機構46とが配設される。   Downstream of the first and second label adhering mechanisms 40a and 40b are first and second reservoir mechanisms 42a and 42b for changing the photosensitive webs 22a and 22b from tact feed to continuous feed, and the respective photosensitive webs. First and second peeling mechanisms 44a and 44b for peeling the protective film 30 from the 22a and 22b at a predetermined length interval, and a substrate transport mechanism 45 for transporting the glass substrate 24 to a pasting position while being heated to a predetermined temperature. (Affixing position adjusting means) and an adhering mechanism 46 for adhering the photosensitive resin layer 28 exposed by peeling off the protective film 30 to the glass substrate 24 integrally and in parallel are disposed.

貼り付け機構46における貼り付け位置の上流近傍には、各感光性ウエブ22a、22bの境界位置であるそれぞれのハーフカット部位34の位置を検出する第1及び第2検出機構(加工部位位置検出手段)47a、47bが配設される。   First and second detection mechanisms (processing part position detecting means) for detecting the positions of the respective half-cut parts 34, which are the boundary positions of the photosensitive webs 22a and 22b, in the vicinity of the attaching position in the attaching mechanism 46. ) 47a and 47b are disposed.

第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bの下流近傍には、略使用済みの感光性ウエブ22a、22bの後端と、新たに使用される感光性ウエブ22a、22bの先端とを貼り付けるそれぞれの貼り付け台49が配設される。貼り付け台49の下流には、感光性ウエブロール23a、23bの巻きずれによる幅方向のずれを制御するために、フイルム端末位置検出器51が配設される。ここで、フイルム端末位置調整は、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bを幅方向に移動させて行うが、ロールを組み合わせた位置調整機構を付設して行ってもよい。なお、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bは、感光性ウエブロール23a、23bを装填して感光性ウエブ22a、22bを繰り出す繰り出し軸を、2軸又は3軸等の多軸に構成してもよい。   In the vicinity of the downstream of the first and second web feed mechanisms 32a and 32b, the rear ends of the substantially used photosensitive webs 22a and 22b and the tips of the newly used photosensitive webs 22a and 22b are pasted, respectively. Is attached. A film terminal position detector 51 is disposed downstream of the attachment table 49 in order to control the displacement in the width direction due to the winding displacement of the photosensitive web rolls 23a and 23b. Here, the film terminal position adjustment is performed by moving the first and second web feed mechanisms 32a and 32b in the width direction, but may be performed by attaching a position adjustment mechanism combined with a roll. The first and second web feed mechanisms 32a and 32b are configured with a multi-axis such as a biaxial or triaxial feeding shaft for loading the photosensitive web rolls 23a and 23b and feeding the photosensitive webs 22a and 22b. May be.

第1及び第2加工機構36a、36bは、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bに収容巻回されている各感光性ウエブロール23a、23bのロール径を算出するためのロール対50の下流に配置される。第1及び第2加工機構36a、36bは、それぞれ単一の丸刃52を備え、この丸刃52は、感光性ウエブ22a、22bの幅方向に走行して、保護フイルム30の残存部分30b(図2)を挟んだ所定の2個所の位置にハーフカット部位34を形成する。   The first and second processing mechanisms 36a and 36b are provided with a roll pair 50 for calculating the roll diameter of each photosensitive web roll 23a and 23b accommodated and wound in the first and second web feed mechanisms 32a and 32b. Arranged downstream. Each of the first and second processing mechanisms 36a and 36b includes a single round blade 52, and the round blade 52 travels in the width direction of the photosensitive webs 22a and 22b, and the remaining portion 30b of the protective film 30 ( Half-cut portions 34 are formed at two predetermined positions across FIG.

図2に示すように、ハーフカット部位34は、少なくとも保護フイルム30及び感光性樹脂層28を切断する必要があり、実際上、ベースフイルム26まで切り込むように丸刃52の切り込み深さが設定される。丸刃52は、回転することなく固定された状態で、感光性ウエブ22a、22bの幅方向に移動してハーフカット部位34を形成する方式や、前記感光性ウエブ22a、22b上を滑ることなく回転しながら前記幅方向に移動して前記ハーフカット部位34を形成する方式が採用される。このハーフカット部位34は、丸刃52に代替して、例えば、レーザ光や超音波を用いたカット方式の他、ナイフ刃、押し切り刃(トムソン刃)等で形成する方式を採用してもよい。   As shown in FIG. 2, the half-cut portion 34 needs to cut at least the protective film 30 and the photosensitive resin layer 28, and the cutting depth of the round blade 52 is set so as to cut into the base film 26 in practice. The The round blade 52 is fixed without rotating and moves in the width direction of the photosensitive webs 22a and 22b to form a half-cut portion 34, or without sliding on the photosensitive webs 22a and 22b. A method of moving in the width direction while rotating to form the half-cut portion 34 is employed. In place of the round blade 52, the half-cut portion 34 may employ, for example, a method of forming with a knife blade, a push cutting blade (Thomson blade) or the like in addition to a cutting method using laser light or ultrasonic waves. .

なお、第1及び第2加工機構36a、36bは、それぞれ感光性ウエブ22a、22bの搬送方向(矢印A方向)に残存部分30bの幅に対応した距離だけ離間して2台配設し、保護フイルム30の残存部分30b(図2)を挟んで2つのハーフカット部位34を同時に形成してもよい。   Two first and second processing mechanisms 36a and 36b are disposed in the conveying direction of the photosensitive webs 22a and 22b (in the direction of arrow A), separated by a distance corresponding to the width of the remaining portion 30b, respectively, for protection. Two half-cut portions 34 may be formed simultaneously with the remaining portion 30b (FIG. 2) of the film 30 interposed therebetween.

ハーフカット部位34は、感光性樹脂層28をガラス基板24に貼り付けた際、例えば、前記ガラス基板24の両端部からそれぞれ10mmずつ内側に入り込んだ位置となるように設定される。なお、ガラス基板24間の保護フイルム30の残存部分30bは、後述する貼り付け機構46において感光性樹脂層28を前記ガラス基板24に額縁状に貼り付ける際のマスクとして機能するものである。   For example, when the photosensitive resin layer 28 is attached to the glass substrate 24, the half-cut portion 34 is set so as to be in a position that enters into the inside by 10 mm from both ends of the glass substrate 24, for example. The remaining portion 30b of the protective film 30 between the glass substrates 24 functions as a mask when the photosensitive resin layer 28 is attached to the glass substrate 24 in a frame shape in an attaching mechanism 46 described later.

第1及び第2ラベル接着機構40a、40bは、ガラス基板24間に対応して保護フイルム30の残存部分30bを残すため、剥離側前方の剥離部分30aaと剥離側後方の剥離部分30abとを連結する接着ラベル38を供給する。図2に示すように、保護フイルム30は、残存部分30bを挟んで、先に剥離される部分を前方の剥離部分30aaとする一方、後に剥離される部分を後方の剥離部分30abとする。   The first and second label bonding mechanisms 40a and 40b connect the peeling portion 30aa at the front side of the peeling side and the peeling portion 30ab at the back side of the peeling side in order to leave the remaining portion 30b of the protective film 30 correspondingly between the glass substrates 24. An adhesive label 38 is supplied. As shown in FIG. 2, the protective film 30 has a remaining portion 30 b sandwiched between the first peeled portion 30 aa and the later peeled portion 30 ab.

図3に示すように、接着ラベル38は、短冊状に構成されており、例えば、保護フイルム30と同一の樹脂材で形成される。接着ラベル38は、中央部に粘着剤が塗布されない非接着部(微粘着を含む)38aを有するとともに、この非接着部38aの両側、すなわち、前記接着ラベル38の長手方向両端部に、前方の剥離部分30aaに接着される第1接着部38bと、後方の剥離部分30abに接着される第2接着部38cとを有する。   As shown in FIG. 3, the adhesive label 38 is formed in a strip shape, and is formed of, for example, the same resin material as the protective film 30. The adhesive label 38 has a non-adhesive portion (including a slight adhesion) 38a to which a pressure-sensitive adhesive is not applied at the center, and the front side of the non-adhesive portion 38a, that is, both ends in the longitudinal direction of the adhesive label 38 It has the 1st adhesion part 38b adhered to exfoliation part 30aa, and the 2nd adhesion part 38c adhered to back exfoliation part 30ab.

図1に示すように、第1及び第2ラベル接着機構40a、40bは、それぞれ最大7枚の接着ラベル38を所定間隔ずつ離間して貼り付け可能な吸着パッド54a〜54gを備えるとともに、前記吸着パッド54a〜54gによる前記接着ラベル38の貼り付け位置には、感光性ウエブ22a、22bを下方から保持するための受け台56が昇降自在に配置される。   As shown in FIG. 1, each of the first and second label bonding mechanisms 40a and 40b includes suction pads 54a to 54g, each of which can attach a maximum of seven adhesive labels 38 with a predetermined interval between them. A pedestal 56 for holding the photosensitive webs 22a and 22b from below is disposed so as to be movable up and down at the position where the adhesive label 38 is attached by the pads 54a to 54g.

第1及び第2リザーバ機構42a、42bは、上流側の感光性ウエブ22a、22bのタクト搬送と、下流側の前記感光性ウエブ22a、22bの連続搬送との速度差を吸収するために、矢印方向に揺動自在なダンサーロール60を備える。第2リザーバ機構42bには、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bから送り出される各感光性ウエブ22a、22bが貼り付け機構46に至るまでの各搬送路長を同一に調整するためのダンサーロール61が配設される。   The first and second reservoir mechanisms 42a and 42b are arranged to absorb the speed difference between the tact conveyance of the upstream photosensitive webs 22a and 22b and the continuous conveyance of the downstream photosensitive webs 22a and 22b. A dancer roll 60 that can swing in a direction is provided. The second reservoir mechanism 42b includes a dancer for adjusting the lengths of the conveyance paths until the photosensitive webs 22a and 22b sent from the first and second web delivery mechanisms 32a and 32b reach the attaching mechanism 46. A roll 61 is disposed.

第1及び第2リザーバ機構42a、42bの下流に配置される第1及び第2剥離機構44a、44bは、それぞれ感光性ウエブ22a、22bの送り出し側のテンション変動を遮断し、ラミネート時のテンションを安定化させるためのサクションドラム62を備える。各サクションドラム62の近傍には、剥離ロール63が配置されるとともに、この剥離ロール63を介して感光性ウエブ22a、22bから鋭角の剥離角で剥離される保護フイルム30は、残存部分30bを除いてそれぞれ保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる。   The first and second peeling mechanisms 44a and 44b arranged downstream of the first and second reservoir mechanisms 42a and 42b block the tension fluctuation on the delivery side of the photosensitive webs 22a and 22b, respectively, and the tension at the time of lamination is reduced. A suction drum 62 is provided for stabilization. In the vicinity of each suction drum 62, a peeling roll 63 is disposed, and the protective film 30 peeled off from the photosensitive webs 22a and 22b through the peeling roll 63 at an acute peeling angle except for the remaining portion 30b. Then, the film is wound around the protective film winding section 64.

第1及び第2剥離機構44a、44bの下流側には、テンションロール65を含むテンション制御機構66a、66b(上流側テンション調整手段)が配設される。テンション制御機構66a、66bは、それぞれシリンダ68を備え、前記シリンダ68の駆動作用下に、それぞれテンションダンサー70が揺動変位することにより、各テンションダンサー70が摺接する感光性ウエブ22a、22bのテンションが調整可能である。   Tension control mechanisms 66a and 66b (upstream tension adjusting means) including a tension roll 65 are disposed on the downstream side of the first and second peeling mechanisms 44a and 44b. Each of the tension control mechanisms 66a and 66b includes a cylinder 68. When the tension dancer 70 is oscillated and displaced under the driving action of the cylinder 68, the tension of the photosensitive webs 22a and 22b with which the tension dancer 70 is slidably contacted. Is adjustable.

貼り付け機構46を構成するゴムロール80a、80b(圧着ロール)の位置を基準としてハーフカット部位34の位置を検出する第1及び第2検出機構47a、47bは、搬送ロール73と搬送ロール71a、71bとの間の長尺状感光性ウエブ22a、22bが直線状となる部分に配設される。第1及び第2検出機構47a、47bは、ハーフカット部位34を含む長尺状感光性ウエブ22a、22bの画像を撮影するCCDカメラ(後述)により構成される。   The first and second detection mechanisms 47a and 47b that detect the position of the half-cut portion 34 on the basis of the positions of the rubber rolls 80a and 80b (compression-bonding rolls) constituting the pasting mechanism 46 are the transport roll 73 and the transport rolls 71a and 71b. The long photosensitive webs 22a and 22b between the two are disposed in a linear portion. The first and second detection mechanisms 47a and 47b are configured by a CCD camera (described later) that captures an image of the long photosensitive webs 22a and 22b including the half-cut portion 34.

基板搬送機構45は、ガラス基板24を挟持するように配設される複数組の基板加熱部(例えば、ヒータ)74と、このガラス基板24を矢印C方向に搬送する搬送部76とを備える。基板加熱部74では、ガラス基板24の温度を常時監視し、異常時には、搬送部76の停止や警報を発するとともに、異常情報を発信して異常なガラス基板24を後工程でNG排出、品質管理又は生産管理等に活用することができる。搬送部76には、図示しないエア浮上プレートが配設され、ガラス基板24が浮上されて矢印C方向に搬送される。ガラス基板24の搬送は、ロールコンベアでも行える。   The substrate transport mechanism 45 includes a plurality of sets of substrate heating units (for example, heaters) 74 disposed so as to sandwich the glass substrate 24 and a transport unit 76 that transports the glass substrate 24 in the direction of arrow C. In the substrate heating unit 74, the temperature of the glass substrate 24 is constantly monitored. When an abnormality occurs, the conveyance unit 76 is stopped or alarmed, and abnormal information is transmitted to cause the abnormal glass substrate 24 to be NG discharged and quality control in a subsequent process. Or it can be used for production management. An air levitation plate (not shown) is disposed in the conveyance unit 76, and the glass substrate 24 is levitated and conveyed in the direction of arrow C. The glass substrate 24 can be transported by a roll conveyor.

ガラス基板24の温度測定は、基板加熱部74内又は貼り付け位置直前で行うことが好ましい。測定方法としては、接触式(例えば、熱電対)の他、非接触式であってもよい。   The temperature measurement of the glass substrate 24 is preferably performed in the substrate heating unit 74 or immediately before the attachment position. The measuring method may be a contact type (for example, thermocouple) or a non-contact type.

基板加熱部74の上流には、複数のガラス基板24が収容される基板ストッカー71が設けられる。この基板ストッカー71に収容されている各ガラス基板24は、ロボット75のハンド部75aに設けられた吸着パッド79に吸着されて取り出され、基板加熱部74に挿入される。   A substrate stocker 71 that accommodates a plurality of glass substrates 24 is provided upstream of the substrate heating unit 74. Each glass substrate 24 accommodated in the substrate stocker 71 is sucked and taken out by a suction pad 79 provided in the hand portion 75 a of the robot 75 and inserted into the substrate heating portion 74.

貼り付け機構46は、上下に配設されるとともに、所定温度に加熱されるゴムロール80a、80bを備える。この場合、本実施の形態では、少なくともゴムロール80aの表面に摩擦係数が0.3乃至0.8の材質のものを選択した。その材質としては、実験的に確認したところによると、シリコーンゴムであって、特に、前記のように摩擦係数が0.3乃至0.8のものが好ましい。必要に応じて、ゴムロール80bにも、ゴムロール80aと同様に摩擦係数が0.3乃至0.8のシリコーンゴムを採用してもよい。シリコーンゴムの場合、その摩擦係数の調整がし易く且つ非粘着性に富むからである。また、塵埃による汚染回避のためにも好適である。ゴムロール80a、80bには、バックアップロール82a、82bが摺接する。一方のバックアップロール82bは、ロールクランプ部83を構成する加圧シリンダ84a、84bによりゴムロール80b側に押圧される。   The affixing mechanism 46 includes rubber rolls 80a and 80b that are arranged vertically and heated to a predetermined temperature. In this case, in the present embodiment, a material having a friction coefficient of 0.3 to 0.8 is selected on at least the surface of the rubber roll 80a. As the material, it has been experimentally confirmed that it is a silicone rubber having a friction coefficient of 0.3 to 0.8 as described above. If necessary, silicone rubber having a friction coefficient of 0.3 to 0.8 may be adopted for the rubber roll 80b as well as the rubber roll 80a. This is because in the case of silicone rubber, the coefficient of friction is easily adjusted and the adhesive is rich in non-adhesiveness. It is also suitable for avoiding contamination by dust. Backup rolls 82a and 82b are in sliding contact with the rubber rolls 80a and 80b. One backup roll 82b is pressed toward the rubber roll 80b by the pressure cylinders 84a and 84b constituting the roll clamp part 83.

ゴムロール80aの近傍には、感光性ウエブ22a、22bが前記ゴムロール80aに接触することを防止するための接触防止ロール86が移動可能に配設される。貼り付け機構46の上流近傍には、感光性ウエブ22a、22bを予め所定温度に予備加熱するための予備加熱部87が配設される。この予備加熱部87は、例えば、赤外線バーヒータ等の加熱手段を備える。   In the vicinity of the rubber roll 80a, a contact prevention roll 86 for preventing the photosensitive webs 22a and 22b from contacting the rubber roll 80a is movably disposed. In the vicinity of the upstream of the attaching mechanism 46, a preheating unit 87 for preheating the photosensitive webs 22a and 22b to a predetermined temperature is disposed. This preheating part 87 is provided with heating means, such as an infrared bar heater, for example.

ガラス基板24は、貼り付け機構46から矢印C方向に延在する搬送路88を介して搬送される。この搬送路88には、フイルム搬送ロール90a、90b及び基板搬送ロール92が配設される。ゴムロール80a、80bと基板搬送ロール92との間隔は、ガラス基板24の1枚分の長さ以下に設定されることが好ましい。基板搬送ロール92の下流側近傍には、搬送されたガラス基板24の先端部を検知する基板先端検知センサ94が配設される。基板先端検知センサ94は、ガラス基板24に貼り付けられた感光性樹脂層28の後端部のハーフカット部位34が貼り付け機構46のゴムロール80a、80b間に配置されたとき、ガラス基板24の先端部を検知する位置に配置される(図4参照)。   The glass substrate 24 is transported from the pasting mechanism 46 via a transport path 88 extending in the direction of arrow C. In the transport path 88, film transport rolls 90a and 90b and a substrate transport roll 92 are disposed. The distance between the rubber rolls 80 a and 80 b and the substrate transport roll 92 is preferably set to be equal to or shorter than the length of one glass substrate 24. In the vicinity of the downstream side of the substrate transport roll 92, a substrate front end detection sensor 94 that detects the front end of the transported glass substrate 24 is disposed. The substrate front end detection sensor 94 is configured such that when the half cut portion 34 at the rear end portion of the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24 is disposed between the rubber rolls 80a and 80b of the attaching mechanism 46, It arrange | positions in the position which detects a front-end | tip part (refer FIG. 4).

また、基板搬送ロール92の下流には、冷却機構122とベース自動剥離機構142a、142bとが設けられる。ベース自動剥離機構142a、142bは、所定間隔ずつ離間する各ガラス基板24に貼り付けられている各長尺状感光性ウエブ22a、22bの長尺なベースフイルム26を、ガラス基板24から連続して剥離するものであり、プレ剥離部144と、比較的小径な剥離ロール146と、巻き取り軸148と、自動貼り付け機150とを備えている。巻き取り軸148は、駆動時にトルク制御してベースフイルム26に所定のテンションを付与する。プレ剥離部144は、ガラス基板24間で昇降可能な剥離バー156を備える。   Further, a cooling mechanism 122 and base automatic peeling mechanisms 142a and 142b are provided downstream of the substrate transport roll 92. The automatic base peeling mechanisms 142a and 142b continuously extend the long base films 26 of the long photosensitive webs 22a and 22b attached to the glass substrates 24 spaced apart from each other by a predetermined distance from the glass substrate 24. It peels and includes a pre-peeling portion 144, a relatively small-diameter peeling roll 146, a take-up shaft 148, and an automatic pasting machine 150. The winding shaft 148 applies a predetermined tension to the base film 26 by controlling the torque during driving. The pre-peeling portion 144 includes a peeling bar 156 that can move up and down between the glass substrates 24.

ベース自動剥離機構142a、142bの下流には、ガラス基板24に実際に貼り付けられた感光性樹脂層28のエリア位置を測定する測定器158が配設される。この測定器158は、例えば、感光性樹脂層28が貼り付けられたガラス基板24を撮影するCCDカメラ160を備える。   A measuring instrument 158 for measuring the area position of the photosensitive resin layer 28 actually attached to the glass substrate 24 is disposed downstream of the automatic base peeling mechanisms 142a and 142b. The measuring device 158 includes, for example, a CCD camera 160 that photographs the glass substrate 24 on which the photosensitive resin layer 28 is attached.

また、測定器158の下流には、複数の感光性積層体106が収容される感光性積層体ストッカー132が設けられる。ベース自動剥離機構142a、142bでベースフイルム26及び残存部分30bが剥離された感光性積層体106は、ロボット134のハンド部134aに設けられた吸着パッド136に吸着されて取り出され、感光性積層体ストッカー132に収容される。   Further, a photosensitive laminate stocker 132 that accommodates a plurality of photosensitive laminates 106 is provided downstream of the measuring instrument 158. The photosensitive laminate 106 from which the base film 26 and the remaining portion 30b have been peeled off by the automatic base peeling mechanism 142a, 142b is sucked and taken out by the suction pad 136 provided on the hand portion 134a of the robot 134, and is then exposed to the photosensitive laminate. Housed in the stocker 132.

以上のように構成される製造装置20では、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32b、第1及び第2加工機構36a、36b、第1及び第2ラベル接着機構40a、40b、第1及び第2リザーバ機構42a、42b、第1及び第2剥離機構44a、44b、第1及び第2テンション制御機構66a、66bが、貫通部114を有する隔壁110を隔てて貼り付け機構46の上部クリーンルーム112aに配置される一方、第1及び第2検出機構47a、47b、貼り付け機構46、冷却機構122、ベース自動剥離機構142a、142b、測定器158が下部クリーンルーム112bに配置される。なお、上部クリーンルーム112a及び下部クリーンルーム112bに配置される各機構を上下逆に配置してもよく、また、前記製造装置20全体を直線状に構成してもよい。   In the manufacturing apparatus 20 configured as described above, the first and second web feed mechanisms 32a and 32b, the first and second processing mechanisms 36a and 36b, the first and second label bonding mechanisms 40a and 40b, the first and second The second reservoir mechanisms 42a and 42b, the first and second peeling mechanisms 44a and 44b, and the first and second tension control mechanisms 66a and 66b are separated from each other by the partition 110 having the penetrating portion 114, and the upper clean room 112a of the attaching mechanism 46. On the other hand, the first and second detection mechanisms 47a and 47b, the pasting mechanism 46, the cooling mechanism 122, the base automatic peeling mechanisms 142a and 142b, and the measuring device 158 are disposed in the lower clean room 112b. In addition, each mechanism arrange | positioned in the upper clean room 112a and the lower clean room 112b may be arrange | positioned upside down, and the said whole manufacturing apparatus 20 may be comprised linearly.

図5は、テンション制御機構66a、66b及びベース自動剥離機構142a、142bを制御することで、長尺状感光性ウエブ22a、22bの上流側テンション及び下流側テンションを調整するための回路ブロック図である。なお、貼り付け機構46を構成するゴムロール80a、80bの上流側における長尺状感光性ウエブ22a、22bのテンションを上流側テンション(バックテンションTB)とし、ゴムロール80a、80bの下流側における長尺状感光性ウエブ22a、22bのテンションを下流側テンション(ピールテンションTP)とする。   FIG. 5 is a circuit block diagram for adjusting the upstream tension and the downstream tension of the long photosensitive webs 22a and 22b by controlling the tension control mechanisms 66a and 66b and the automatic base peeling mechanisms 142a and 142b. is there. The tension of the long photosensitive webs 22a and 22b on the upstream side of the rubber rolls 80a and 80b constituting the attaching mechanism 46 is defined as the upstream tension (back tension TB), and the long side on the downstream side of the rubber rolls 80a and 80b. The tension of the photosensitive webs 22a and 22b is set as the downstream tension (peel tension TP).

テンション制御機構66a、66bを構成する各テンションロール65には、長尺状感光性ウエブ22a、22bのバックテンションTBを検出するバックテンション検出器170(上流側テンション検出手段)が接続される。また、ベース自動剥離機構142a、142bを構成する各巻き取り軸148は、巻き取り用トルクモータ172(下流側テンション調整手段)によって回転制御される。巻き取り用トルクモータ172には、長尺状感光性ウエブ22a、22bに付与されるテンションを巻き取り用トルクモータ172のトルクから算出するピールテンション算出部174(下流側テンション検出手段)が接続される。   A back tension detector 170 (upstream tension detecting means) for detecting the back tension TB of the long photosensitive webs 22a and 22b is connected to each tension roll 65 constituting the tension control mechanisms 66a and 66b. The winding shafts 148 constituting the base automatic peeling mechanisms 142a and 142b are rotationally controlled by a winding torque motor 172 (downstream tension adjusting means). The take-up torque motor 172 is connected to a peel tension calculating unit 174 (downstream tension detecting means) for calculating the tension applied to the long photosensitive webs 22a and 22b from the torque of the take-up torque motor 172. The

テンション制御部176(テンション制御手段)は、テンション設定部178で設定されたテンションに基づき、バックテンション検出器170によって検出されたバックテンションTBと、ピールテンション算出部174によって算出されたピールテンションTPとを制御する。テンション設定部178は、製造枚数カウンタ180により計数した感光性積層体106の製造枚数、又は、ゴムロール回転数検出器182により検出したゴムロール80a、80bの回転数に基づき、テンション設定テーブル記憶部184に記憶されたバックテンションTB及びピールテンションTPを読み出してテンション制御部176に設定する。なお、製造枚数カウンタ180は、例えば、感光性積層体ストッカー132に積層される感光性積層体106の枚数を計数するカウンタにより構成することができ、ゴムロール回転数検出器182は、バックアップロール82aの回転軸に連結されたエンコーダにより構成することができる。   Based on the tension set by the tension setting unit 178, the tension control unit 176 (tension control means) detects the back tension TB detected by the back tension detector 170, and the peel tension TP calculated by the peel tension calculation unit 174. To control. The tension setting unit 178 stores the tension setting table storage unit 184 based on the number of manufactured photosensitive laminates 106 counted by the number-of-manufactured counter 180 or the number of rotations of the rubber rolls 80a and 80b detected by the rubber roll rotation number detector 182. The stored back tension TB and peel tension TP are read out and set in the tension control unit 176. The production number counter 180 can be constituted by, for example, a counter that counts the number of photosensitive laminates 106 laminated on the photosensitive laminate stocker 132, and the rubber roll rotation number detector 182 includes the backup roll 82a. It can be configured by an encoder connected to the rotating shaft.

図6は、第1及び第2検出機構47a、47bによって検出されたハーフカット部位34の位置に基づき、ガラス基板24に対する長尺状感光性ウエブ22a、22bの貼り付け位置を調整するための回路ブロック図である。   FIG. 6 is a circuit for adjusting the attachment positions of the long photosensitive webs 22a and 22b on the glass substrate 24 based on the positions of the half-cut portions 34 detected by the first and second detection mechanisms 47a and 47b. It is a block diagram.

第1及び第2検出機構47a、47bは、それぞれCCDカメラ186を有する。ハーフカット位置算出部188は、各CCDカメラ186によって撮影されたハーフカット部位34を含む長尺状感光性ウエブ22a、22bの画像に基づき、ゴムロール80a、80bの位置を基準とするハーフカット部位34の位置を算出する。ハーフカット位置補正部192は、ハーフカット位置算出部188により算出された各ハーフカット部位34の位置に基づき、長尺状感光性ウエブ22a、22bに形成するハーフカット部位34の位置の補正量を算出する。第1及び第2加工機構36a、36bは、算出された補正量に従ってハーフカット部位34の形成位置を修正し、長尺状感光性ウエブ22a、22bにハーフカット部位34を形成する。   Each of the first and second detection mechanisms 47a and 47b has a CCD camera 186. The half-cut position calculation unit 188 is based on the images of the long photosensitive webs 22a and 22b including the half-cut part 34 photographed by each CCD camera 186, and the half-cut part 34 based on the positions of the rubber rolls 80a and 80b. The position of is calculated. The half-cut position correcting unit 192 calculates the correction amount of the position of the half-cut part 34 formed on the long photosensitive webs 22a and 22b based on the position of each half-cut part 34 calculated by the half-cut position calculating unit 188. calculate. The first and second processing mechanisms 36a and 36b correct the formation position of the half cut portion 34 according to the calculated correction amount, and form the half cut portion 34 on the long photosensitive webs 22a and 22b.

以上のように構成される製造装置20の動作について、本発明に係る製造方法との関連で以下に説明する。   The operation of the manufacturing apparatus 20 configured as described above will be described below in relation to the manufacturing method according to the present invention.

先ず、第1及び第2ウエブ送り出し機構32a、32bに取り付けられている各感光性ウエブロール23a、23bから感光性ウエブ22a、22bが送り出される。感光性ウエブ22a、22bは、第1及び第2加工機構36a、36bに搬送される。   First, the photosensitive webs 22a and 22b are sent out from the respective photosensitive web rolls 23a and 23b attached to the first and second web delivery mechanisms 32a and 32b. The photosensitive webs 22a and 22b are conveyed to the first and second processing mechanisms 36a and 36b.

第1及び第2加工機構36a、36bでは、丸刃52が感光性ウエブ22a、22bの幅方向に移動して、前記感光性ウエブ22a、22bを保護フイルム30から感光性樹脂層28乃至ベースフイルム26まで切り込んでハーフカット部位34を形成する(図2参照)。さらに、感光性ウエブ22a、22bは、保護フイルム30の残存部分30bの幅Mに対応して矢印A方向に搬送された後に停止され、丸刃52の走行作用下にハーフカット部位34が形成される。これにより、感光性ウエブ22a、22bには、残存部分30bを挟んで前方の剥離部分30aaと後方の剥離部分30abとが設けられる(図2参照)。   In the first and second processing mechanisms 36a and 36b, the round blade 52 moves in the width direction of the photosensitive webs 22a and 22b, and the photosensitive webs 22a and 22b are moved from the protective film 30 to the photosensitive resin layer 28 to the base film. Cut to 26 to form a half-cut portion 34 (see FIG. 2). Further, the photosensitive webs 22 a and 22 b are stopped after being conveyed in the direction of arrow A corresponding to the width M of the remaining portion 30 b of the protective film 30, and a half-cut portion 34 is formed under the running action of the round blade 52. The Thus, the photosensitive webs 22a and 22b are provided with a front peeling portion 30aa and a rear peeling portion 30ab with the remaining portion 30b interposed therebetween (see FIG. 2).

なお、残存部分30bの幅Mは、感光性ウエブ22a、22bが延びないことを前提として、貼り付け機構46のゴムロール80a、80b間に供給されるガラス基板24間の距離を基準として設定されるものとする。また、幅Mで形成される一組のハーフカット部位34は、ガラス基板24に貼り付けられる感光性樹脂層28の基準長さL(図4参照)の間隔で長尺状感光性ウエブ22a、22bに形成される。   The width M of the remaining portion 30b is set based on the distance between the glass substrates 24 supplied between the rubber rolls 80a and 80b of the attaching mechanism 46 on the assumption that the photosensitive webs 22a and 22b do not extend. Shall. In addition, a set of half-cut portions 34 formed with a width M is formed by separating the long photosensitive web 22a at intervals of a reference length L (see FIG. 4) of the photosensitive resin layer 28 attached to the glass substrate 24. 22b.

次いで、各感光性ウエブ22a、22bは、第1及び第2ラベル接着機構40a、40bに搬送されて、保護フイルム30の所定の貼り付け部位が受け台56上に配置される。第1及び第2ラベル接着機構40a、40bでは、所定枚数の接着ラベル38が吸着パッド54b〜54gにより吸着保持され、各接着ラベル38が保護フイルム30の残存部分30bを跨いで、前方の剥離部分30aaと後方の剥離部分30abとに一体的に接着される(図3参照)。   Next, the respective photosensitive webs 22 a and 22 b are conveyed to the first and second label adhering mechanisms 40 a and 40 b, and a predetermined application site of the protective film 30 is arranged on the cradle 56. In the first and second label adhering mechanisms 40a and 40b, a predetermined number of adhesive labels 38 are adsorbed and held by the adsorbing pads 54b to 54g, and each adhering label 38 straddles the remaining portion 30b of the protective film 30, and a front peeling portion. 30aa and the rear peeling portion 30ab are integrally bonded (see FIG. 3).

例えば、7枚の接着ラベル38が接着された感光性ウエブ22a、22bは、図1に示すように、第1及び第2リザーバ機構42a、42bを介して送り出し側のテンション変動を防いだ後、第1及び第2剥離機構44a、44bに連続的に搬送される。第1及び第2剥離機構44a、44bでは、感光性ウエブ22a、22bのベースフイルム26がサクションドラム62に吸着保持されるとともに、保護フイルム30が残存部分30bを残して前記感光性ウエブ22a、22bから剥離される。この保護フイルム30は、剥離ロール63を介して剥離されて保護フイルム巻き取り部64に巻き取られる(図1参照)。   For example, the photosensitive webs 22a and 22b to which the seven adhesive labels 38 are bonded, as shown in FIG. 1, after the first and second reservoir mechanisms 42a and 42b are prevented from changing the tension on the delivery side, It is continuously conveyed to the first and second peeling mechanisms 44a and 44b. In the first and second peeling mechanisms 44a and 44b, the base film 26 of the photosensitive webs 22a and 22b is adsorbed and held by the suction drum 62, and the protective film 30 leaves the remaining portion 30b and the photosensitive webs 22a and 22b. Is peeled off. The protective film 30 is peeled off via a peeling roll 63 and wound around a protective film take-up portion 64 (see FIG. 1).

第1及び第2剥離機構44a、44bの作用下に、保護フイルム30が残存部分30bを残してベースフイルム26から剥離された後、感光性ウエブ22a、22bは、テンション制御機構66a、66bによってバックテンションTBが調整され、次いで、第1及び第2検出機構47a、47bにおいてハーフカット部位34が検出される。   Under the action of the first and second peeling mechanisms 44a and 44b, after the protective film 30 is peeled off from the base film 26 leaving the remaining portion 30b, the photosensitive webs 22a and 22b are backed by the tension control mechanisms 66a and 66b. The tension TB is adjusted, and then the half-cut portion 34 is detected by the first and second detection mechanisms 47a and 47b.

貼り付け機構46は、検出されたハーフカット部位34に先行する剥離部分30ab側のハーフカット部位34がゴムロール80a、80bに配置されるように、感光性ウエブ22a、22bを搬送して停止させる一方、ガラス基板24を、基板搬送機構45の作用下に、予め加熱された状態で貼り付け位置に搬送する。ガラス基板24は、並列されている感光性ウエブ22a、22bの感光性樹脂層28の貼り付け部分に対応してゴムロール80a、80b間に一旦配置される。   The affixing mechanism 46 conveys and stops the photosensitive webs 22a and 22b so that the half cut portion 34 on the side of the peeling portion 30ab preceding the detected half cut portion 34 is disposed on the rubber rolls 80a and 80b. Then, the glass substrate 24 is transported to the affixing position in a heated state under the action of the substrate transport mechanism 45. The glass substrate 24 is temporarily disposed between the rubber rolls 80a and 80b corresponding to the portion where the photosensitive resin layer 28 of the photosensitive webs 22a and 22b arranged in parallel is attached.

次いで、バックアップロール82b及びゴムロール80bを上昇させることにより、ゴムロール80a、80b間にガラス基板24が所定のプレス圧力で挟み込まれる。そして、ゴムロール80aの回転作用下に、感光性ウエブ22a、22b及びガラス基板24を矢印C方向に搬送する。この結果、並列されている各感光性樹脂層28が加熱溶融されてガラス基板24に転写(ラミネート)される。   Next, by raising the backup roll 82b and the rubber roll 80b, the glass substrate 24 is sandwiched between the rubber rolls 80a and 80b with a predetermined pressing pressure. Then, the photosensitive webs 22a and 22b and the glass substrate 24 are conveyed in the direction of arrow C under the rotating action of the rubber roll 80a. As a result, the photosensitive resin layers 28 arranged in parallel are heated and melted and transferred (laminated) to the glass substrate 24.

なお、ラミネート条件としては、速度が1.0m/min〜10.0m/min、ゴムロール80a、80bの温度が80℃〜150℃、前記ゴムロール80a、80bのゴム硬度が40度〜90度、該ゴムロール80a、80bのプレス圧(線圧)が50N/cm〜400N/cmである。   The laminating conditions include a speed of 1.0 m / min to 10.0 m / min, a temperature of the rubber rolls 80a and 80b of 80 ° C to 150 ° C, a rubber hardness of the rubber rolls 80a and 80b of 40 ° to 90 °, The press pressure (linear pressure) of the rubber rolls 80a and 80b is 50 N / cm to 400 N / cm.

この場合、本実施の形態では、前記ラミネート条件に加えて、ゴム硬度(JIS−A)が40度〜90度のゴムロール80aにあって摩擦係数0.3〜0.8のものを採用した。以下の知見による。   In this case, in this embodiment, in addition to the laminating conditions, a rubber roll 80a having a rubber hardness (JIS-A) of 40 degrees to 90 degrees and a friction coefficient of 0.3 to 0.8 is employed. Based on the following findings.

先ず、図8を参照する。図8は、ゴムロール(圧着ロール)の摩擦係数と、回転量と、圧着枚数との関係を示すグラフである。図8の左縦軸はゴムロール表面と支持体との摩擦係数の値を示し、その右縦軸は基板1枚処理するときのゴムロールの回転数を示し、下横軸は基板の処理枚数を示している。   First, referring to FIG. FIG. 8 is a graph showing the relationship between the friction coefficient of the rubber roll (crimp roll), the amount of rotation, and the number of crimps. The left vertical axis in FIG. 8 shows the value of the coefficient of friction between the surface of the rubber roll and the support, the right vertical axis shows the number of rotations of the rubber roll when one substrate is processed, and the lower horizontal axis shows the number of processed substrates. ing.

すなわち、出願人の知見によれば、図8に示すグラフからも明らかな通り、摩擦係数が0.8を超えて1.0程度の従来技術に係るゴムロールを使用してガラス基板を所定の圧力で挟み込み、感光性ウエブを搬送して、その感光性樹脂層を加熱溶融することによりガラス基板にラミネートする際、特に、交換時も含めて、ゴムロールの搭載初動時に摩擦係数が0.8〜1.2近傍の範囲で大きく変動する(図8の特定曲線O参照)。この間のゴムロールによるガラス基板を1枚処理するための回転数も略M回から、1.03M回まで大きく変動する(図8の特定曲線Q参照)。   That is, according to the knowledge of the applicant, as is clear from the graph shown in FIG. 8, the glass substrate is fixed to a predetermined pressure using a rubber roll according to the prior art having a friction coefficient exceeding 0.8 and about 1.0. When the photosensitive web is laminated to a glass substrate by heating and melting the photosensitive resin layer, especially when the rubber roll is mounted for the first time including replacement, the friction coefficient is 0.8 to 1. .2 greatly varies in the vicinity (see the specific curve O in FIG. 8). During this time, the number of rotations for processing one glass substrate with a rubber roll also varies greatly from approximately M times to 1.03 M times (see specific curve Q in FIG. 8).

一方、本発明に係るゴムロール80aを用いた場合、ゴムロール80aの表面とベースフィルム(支持体)26との間の摩擦係数が略0.6程度で安定しており(図8の特定曲線P参照)、また、このゴムロール80aを用いてガラス基板24に感光性樹脂層28をラミネートする際の回転数もM±0.25回で、ほとんど回転数に変動がない(図8の特定曲線R参照)。前記特定曲線Rは、基板処理枚数によって若干変動するが、十分に許容範囲内にある。   On the other hand, when the rubber roll 80a according to the present invention is used, the friction coefficient between the surface of the rubber roll 80a and the base film (support) 26 is stable at about 0.6 (see the specific curve P in FIG. 8). In addition, when the photosensitive resin layer 28 is laminated on the glass substrate 24 using the rubber roll 80a, the number of rotations is M ± 0.25, and the number of rotations hardly varies (see the specific curve R in FIG. 8). ). The specific curve R slightly varies depending on the number of processed substrates, but is sufficiently within an allowable range.

一方、別の実験によれば、ゴムロール80aの摩擦係数が0.3未満の場合には、ガラス基板24に感光性樹脂層28をラミネートする際に、ラミネート時に発生する縦シワをゴムロールの圧力でつぶしにくくなり、すなわち、ガラス基板24と感光性樹脂層28の間に空気を内包する気泡が残る不都合が露呈することが確認された。   On the other hand, according to another experiment, when the friction coefficient of the rubber roll 80a is less than 0.3, when the photosensitive resin layer 28 is laminated on the glass substrate 24, vertical wrinkles generated during the lamination are caused by the pressure of the rubber roll. It has been confirmed that it is difficult to crush, that is, the disadvantage that air bubbles enclosing air remain between the glass substrate 24 and the photosensitive resin layer 28 is exposed.

これに反して、ゴムロール80aの摩擦係数が0.3以上の場合には、前記気泡の発生は確認されなかった。   On the other hand, when the friction coefficient of the rubber roll 80a is 0.3 or more, the generation of the bubbles was not confirmed.

次の工程では、基板先端検知センサ94がガラス基板24の先端を検知し、ゴムロール80a、80bを介してガラス基板24に感光性ウエブ22a、22bの1枚分のラミネートが終了すると、前記ゴムロール80aの回転が停止される一方、前記感光性ウエブ22a、22bがラミネートされた前記ガラス基板24(以下、貼り付け基板24aともいう。)が基板搬送ロール92によりクランプされる。   In the next step, the substrate tip detection sensor 94 detects the tip of the glass substrate 24, and when the lamination of one photosensitive web 22a, 22b on the glass substrate 24 is completed via the rubber rolls 80a, 80b, the rubber roll 80a. Is stopped, while the glass substrate 24 (hereinafter also referred to as a bonding substrate 24a) on which the photosensitive webs 22a and 22b are laminated is clamped by the substrate transport roll 92.

そして、ゴムロール80bが、ゴムロール80aから離間する方向に退避してクランプが解除されるとともに、基板搬送ロール92の回転が開始されて、貼り付け基板24aが矢印C方向に保護フイルム30の残存部分30bの幅Mに対応する距離だけ搬送され、保護フイルム30の後方の剥離部分30ab側のハーフカット部位34がゴムロール80aの下方付近の所定位置に移動する。一方、基板搬送機構45を介して次なるガラス基板24が貼り付け位置に向かって搬送される。以上の動作が繰り返されることにより、貼り付け基板24aが連続的に製造される。   Then, the rubber roll 80b is retracted in a direction away from the rubber roll 80a to release the clamp, and the rotation of the substrate transport roll 92 is started, so that the pasting substrate 24a is left in the direction of arrow C in the remaining portion 30b of the protective film 30. The half cut portion 34 on the peeling portion 30ab side behind the protective film 30 moves to a predetermined position near the lower side of the rubber roll 80a. On the other hand, the next glass substrate 24 is transported toward the attaching position via the substrate transport mechanism 45. By repeating the above operation, the bonded substrate 24a is continuously manufactured.

その際、貼り付け基板24aは、図4に示すように、それぞれの端部同士が残存部分30bによって覆われている。従って、感光性樹脂層28がガラス基板24に転写される際、ゴムロール80a、80bが前記感光性樹脂層28により汚れることがない。   At that time, as shown in FIG. 4, the end portions of the pasting substrate 24 a are covered with the remaining portions 30 b. Therefore, when the photosensitive resin layer 28 is transferred to the glass substrate 24, the rubber rolls 80a and 80b are not soiled by the photosensitive resin layer 28.

貼り付け機構46でラミネートされた貼り付け基板24aは、冷却機構122を通って冷却された後、プレ剥離部144に移送される。このプレ剥離部144では、剥離バー156がガラス基板24間に臨入して上昇し、これによって、ガラス基板24間の保護フイルム30が持ち上げられ、隣接するガラス基板24の後端及び先端から剥離する。   The pasted substrate 24 a laminated by the pasting mechanism 46 is cooled through the cooling mechanism 122 and then transferred to the pre-peeling portion 144. In the pre-peeling portion 144, the peeling bar 156 enters between the glass substrates 24 and rises, whereby the protective film 30 between the glass substrates 24 is lifted and peeled from the rear end and the leading end of the adjacent glass substrates 24. To do.

次いで、ベース自動剥離機構142a、142bでは、巻き取り軸148の回転作用下に、貼り付け基板24aからベースフイルム26が連続して巻き取られる。さらに、トラブル停止での切り離しや、不良品分離時の切断の後、新たにラミネート処理が開始された貼り付け基板24aのベースフイルム26の先端と、巻き取り軸148に巻き取られているベースフイルム26の後端とは、自動貼り付け機150を介して自動的に貼り付けられる。この場合、長尺状感光性ウエブ22a、22bに付与されるピールテンションTPは、巻き取り軸148を回転させる巻き取り用トルクモータ172によって制御される。   Next, in the automatic base peeling mechanism 142a, 142b, the base film 26 is continuously wound from the pasting substrate 24a under the rotating action of the winding shaft 148. Further, after separation at a trouble stop or after separation at the time of defective product separation, the tip of the base film 26 of the pasted substrate 24a that has been newly laminated and the base film that is wound around the winding shaft 148 26 is automatically pasted via the automatic pasting machine 150. In this case, the peel tension TP applied to the long photosensitive webs 22 a and 22 b is controlled by a winding torque motor 172 that rotates the winding shaft 148.

ベースフイルム26が剥離された貼り付け基板24aは、測定器158に対応する検査ステーションに配置される。この検査ステーションでは、ガラス基板24が位置決め固定された状態で、4台のCCDカメラ160によりガラス基板24と感光性樹脂層28の画像を取り込む。そして、画像処理が施されることにより、貼り付け位置が演算される。   The bonded substrate 24a from which the base film 26 has been peeled is placed at an inspection station corresponding to the measuring instrument 158. In this inspection station, images of the glass substrate 24 and the photosensitive resin layer 28 are captured by the four CCD cameras 160 with the glass substrate 24 positioned and fixed. Then, by applying image processing, the pasting position is calculated.

感光性樹脂層28の貼り付け位置が確認された貼り付け基板24aは、ロボット134によって取り出され、感光性積層体106として感光性積層体ストッカー132に収容される。   The attachment substrate 24 a on which the attachment position of the photosensitive resin layer 28 is confirmed is taken out by the robot 134 and accommodated in the photosensitive laminate stocker 132 as the photosensitive laminate 106.

ところで、一般的には、ガラス基板に対して長尺状感光性ウエブを貼り付けるためのゴムロールは、長期間使用していると、ライニングされたゴムが摩耗したり、表面に長尺状感光性ウエブからの転写物が付着する等により摩擦係数が変化し、長尺状感光性ウエブを適切な状態で搬送できなくなってしまうため、ゴムロールを交換する必要がある場合がある。本実施の形態によれば、ゴムロール80aの材質をシリコーンゴムとし、しかもその摩擦係数が0.3乃至0.8のものを採用したから、その交換頻度は可及的に少なくて済む。しかしながら、交換の必要性は皆無とはならない。   By the way, in general, a rubber roll for attaching a long photosensitive web to a glass substrate is worn over a long period of time, and the lined rubber is worn away or a long photosensitive surface is formed on the surface. The friction coefficient changes due to adhesion of a transfer product from the web, and the long photosensitive web cannot be transported in an appropriate state, so that the rubber roll may need to be replaced. According to the present embodiment, since the rubber roll 80a is made of silicone rubber and has a friction coefficient of 0.3 to 0.8, the frequency of replacement can be minimized. However, there is no need for replacement.

そこで、ゴムロール80a、80bを新品に交換した場合、ガラス基板24に貼り付けられるハーフカット部位34間の感光性樹脂層28の位置や基準長さL(図4参照)が変化するとともに、2列に貼り付けられる長尺状感光性ウエブ22a、22bの各貼り付け位置がずれてしまうことがある。   Therefore, when the rubber rolls 80a and 80b are replaced with new ones, the position of the photosensitive resin layer 28 and the reference length L (see FIG. 4) between the half-cut portions 34 attached to the glass substrate 24 change, and two rows In some cases, the respective attachment positions of the long photosensitive webs 22a and 22b to be attached to the web may be shifted.

そこで、図7のフローチャートに従い、ゴムロール80a、80bを新品に交換した後の処理について説明する。   Accordingly, processing after the rubber rolls 80a and 80b are replaced with new ones will be described with reference to the flowchart of FIG.

ゴムロール80a、80bの交換が行われると(ステップS1)、テンション制御部176は、先ず、ゴムロール80a、80bの上流側における長尺状感光性ウエブ22a、22bのバックテンションTBを100N/mに調整するとともに、ゴムロール80a、80bの下流側のピールテンションTPを80N/mに調整する。(ステップS2)。   When the rubber rolls 80a and 80b are replaced (step S1), the tension controller 176 first adjusts the back tension TB of the long photosensitive webs 22a and 22b on the upstream side of the rubber rolls 80a and 80b to 100 N / m. At the same time, the peel tension TP on the downstream side of the rubber rolls 80a and 80b is adjusted to 80 N / m. (Step S2).

この場合、バックテンションTBは、100±5N/m、ピールテンションPTjは、80±5N/mの範囲で設定してもよい。   In this case, the back tension TB may be set within a range of 100 ± 5 N / m, and the peel tension PTj may be set within a range of 80 ± 5 N / m.

そこで、図5において、テンション設定部178は、テンション設定テーブル記憶部184よりバックテンションTB=100N/m及びピールテンションTP=80N/mの各データを読み出し、テンション制御部176に設定する。一方、テンション制御機構66a、66bを構成するテンションロール65に接続された各バックテンション検出器170は、長尺状感光性ウエブ22a、22bのバックテンションTBを検出し、その検出値をテンション制御部176に供給する。また、ピールテンション算出部174は、ガラス基板24に感光性樹脂層28を介して貼り付けられたベースフイルム26を巻き取る巻き取り軸148を回転させる巻き取り用トルクモータ172のトルクから、長尺状感光性ウエブ22a、22bのピールテンションTPを算出し、その算出値をテンション制御部176に供給する。テンション制御部176は、これらの検出値及び算出値が設定されたバックテンションTB及びピールテンションTPとなるように、シリンダ68を駆動してテンションダンサー70を制御するとともに、巻き取り用トルクモータ172を制御する。   Therefore, in FIG. 5, the tension setting unit 178 reads each data of back tension TB = 100 N / m and peel tension TP = 80 N / m from the tension setting table storage unit 184 and sets the data in the tension control unit 176. On the other hand, each back tension detector 170 connected to the tension roll 65 constituting the tension control mechanisms 66a and 66b detects the back tension TB of the long photosensitive webs 22a and 22b, and the detected value is used as a tension control unit. 176. Further, the peel tension calculating unit 174 generates a long length from the torque of the winding torque motor 172 that rotates the winding shaft 148 that winds the base film 26 attached to the glass substrate 24 via the photosensitive resin layer 28. The peel tension TP of the photosensitive webs 22a and 22b is calculated, and the calculated value is supplied to the tension controller 176. The tension control unit 176 drives the cylinder 68 to control the tension dancer 70 so that the detected value and the calculated value become the set back tension TB and peel tension TP, and controls the winding torque motor 172. Control.

なお、感光性ウエブ22a、22bのピールテンションTPは、巻き取り用トルクモータ172のトルクから算出して制御する代わりに、バックテンションTBを制御するテンション制御機構66a、66bと同様に、剥離ロール146と自動貼り付け機150との間の感光性ウエブ22a、22bのピールテンションTPを検出し、この間に配設したテンションダンサーを駆動して制御してもよい。   Note that the peel tension TP of the photosensitive webs 22a and 22b is calculated and controlled from the torque of the take-up torque motor 172, and similarly to the tension control mechanisms 66a and 66b for controlling the back tension TB, the peeling roll 146 is used. Alternatively, the peel tension TP of the photosensitive webs 22a and 22b between the machine and the automatic pasting machine 150 may be detected, and a tension dancer disposed therebetween may be driven and controlled.

第1及び第2加工機構36a、36bは、第1及び第2検出機構47a、47bにより検出したハーフカット部位34の位置に基づき、必要に応じて、ガラス基板24に対する長尺状感光性ウエブ22a、22bの貼り付け位置を調整する(ステップS3)。   The first and second processing mechanisms 36a and 36b are based on the position of the half-cut portion 34 detected by the first and second detection mechanisms 47a and 47b, and the long photosensitive web 22a with respect to the glass substrate 24 as necessary. , 22b is adjusted (step S3).

すなわち、図6において、第1及び第2検出機構47a、47bを構成するCCDカメラ186は、ゴムロール80a、80b間の所定位置にハーフカット部位34が到達した時点で、ハーフカット部位34を含む長尺状感光性ウエブ22a、22bの画像を撮影する。ハーフカット位置算出部188は、撮影された画像からハーフカット部位34を抽出し、ゴムロール80a、80bの位置を基準とするハーフカット部位34の位置を算出する。   That is, in FIG. 6, the CCD camera 186 constituting the first and second detection mechanisms 47a and 47b includes the half-cut portion 34 when the half-cut portion 34 reaches a predetermined position between the rubber rolls 80a and 80b. Images of the photoconductive webs 22a and 22b are taken. The half-cut position calculation unit 188 extracts the half-cut part 34 from the photographed image, and calculates the position of the half-cut part 34 with reference to the positions of the rubber rolls 80a and 80b.

ハーフカット位置補正部192は、ハーフカット部位34の位置ずれ量が所定量を超えているとき、第1及び第2加工機構36a、36bを制御して、ガラス基板24の端部から各長尺状感光性ウエブ22a、22bの端部までの距離ΔL1、ΔL2が距離ΔLとなるように、各長尺状感光性ウエブ22a、22bに対するハーフカット部位34の形成位置を修正する。   The half-cut position correction unit 192 controls the first and second processing mechanisms 36a and 36b when the amount of positional deviation of the half-cut portion 34 exceeds a predetermined amount, so that each long length from the end of the glass substrate 24 is controlled. The formation positions of the half-cut portions 34 on the respective long photosensitive webs 22a and 22b are corrected so that the distances ΔL1 and ΔL2 to the ends of the strip-like photosensitive webs 22a and 22b become the distance ΔL.

以上のようにしてガラス基板24に対する長尺状感光性ウエブ22a、22bの貼り付け位置を調整しながら、ガラス基板24に対する長尺状感光性ウエブ22a、22bの貼り付け処理を継続する(ステップS4)。   As described above, the attaching process of the long photosensitive webs 22a and 22b to the glass substrate 24 is continued while adjusting the attaching position of the long photosensitive webs 22a and 22b to the glass substrate 24 (step S4). ).

長尺状感光性ウエブ22a、22bがガラス基板24の所定部位に貼り付けられた貼り付け基板24aは、ベース自動剥離機構142a、142bによってベースフイルム26が剥離された後、測定器158に供給され、感光性積層体106の貼り付け状態、例えば、貼り付け位置、ガラス基板24と感光性樹脂層28との間に気泡が混入しているか否か等について画像検査処理が行われる(ステップS5)。   After the base film 26 is peeled off by the base automatic peeling mechanisms 142a and 142b, the sticking substrate 24a in which the long photosensitive webs 22a and 22b are stuck to predetermined portions of the glass substrate 24 is supplied to the measuring device 158. Then, an image inspection process is performed on the bonding state of the photosensitive laminate 106, for example, the bonding position, whether or not air bubbles are mixed between the glass substrate 24 and the photosensitive resin layer 28 (step S5). .

貼り付け位置が安定した後、継続し、所望の製造枚数に達した時点で製造を終了する(ステップS6)。   After the pasting position is stabilized, the process is continued, and the production is finished when the desired number of productions is reached (step S6).

以上のようにして、感光性積層体106の製造枚数と、ゴムロール80aの回転数とに従い、長尺状感光性ウエブ22a、22bに対するバックテンションTB及びピールテンションTPを調整して貼り付け処理を行うことにより、不良品の発生を最小限として、高精度な感光性積層体106を連続的に製造することができる。この場合、長尺状感光性ウエブ22a、22bやガラス基板24を無駄に廃棄してしまうこともない。   As described above, in accordance with the number of manufactured photosensitive laminates 106 and the number of rotations of the rubber roll 80a, the back tension TB and the peel tension TP are adjusted for the long photosensitive webs 22a and 22b, and the pasting process is performed. As a result, it is possible to continuously produce a highly accurate photosensitive laminate 106 with the occurrence of defective products being minimized. In this case, the long photosensitive webs 22a and 22b and the glass substrate 24 are not wasted.

しかも、本実施の形態によれば、ガラス基板24に感光性ウエブ22a、22bを構成する感光性樹脂層28をラミネートする際のゴムロール80aの表面の摩擦係数が0.3〜0.8のシリコーンゴムなので、製造装置20への搭載時、あるいはゴムロール80aの交換後の初動時においても安定した回転数が得られ、その結果、ラミネート自体も安定した状態で行なわれ、これによって品質に優れた製品を得ることができる。   In addition, according to the present embodiment, the silicone having a friction coefficient of 0.3 to 0.8 on the surface of the rubber roll 80a when the photosensitive resin layer 28 constituting the photosensitive webs 22a and 22b is laminated on the glass substrate 24. Since it is rubber, a stable rotational speed can be obtained even when it is mounted on the manufacturing apparatus 20 or at the initial movement after the replacement of the rubber roll 80a, and as a result, the laminate itself is also kept in a stable state, and thereby a product with excellent quality. Can be obtained.

従来技術に係るゴムロールでは、図8に示すように、その初動時に、ガラス基板に感光性樹脂層をラミネートする場合、ガラス基板の枚数にしてN1枚からN1*2枚に至る迄、一枚のガラス基板に対するゴムロールの回転数は大きくばらつき、ラミネート作業も安定せず、それに基因して品質が一定でない製品が製造される場合があった。(ここで、N1は、基板の大きさで決まる枚数を示す。)   In the rubber roll according to the prior art, as shown in FIG. 8, when the photosensitive resin layer is laminated on the glass substrate at the initial motion, the number of glass substrates is N1 to N1 * 2, and the number of sheets is one. The number of rotations of the rubber roll with respect to the glass substrate varies greatly, the laminating operation is not stable, and there are cases where products with non-constant quality are manufactured. (Here, N1 indicates the number determined by the size of the substrate.)

しかしながら、本実施の形態のように、摩擦係数が0.3〜0.8の範囲内のゴムロール80aを用いることによって、搭載されたゴムロール80aの初動時から一枚のガラス基板24に対して感光性樹脂層28をラミネートする際の該ゴムロール80aの回転数がM回転±0.25%の回転の範囲に止まる。すなわち、ゴムロール80aの回転が安定していることになる。   However, as in the present embodiment, by using the rubber roll 80a having a friction coefficient in the range of 0.3 to 0.8, it is sensitive to one glass substrate 24 from the initial movement of the mounted rubber roll 80a. The number of rotations of the rubber roll 80a when laminating the conductive resin layer 28 is within the range of M rotations ± 0.25%. That is, the rotation of the rubber roll 80a is stable.

なお、上述した実施形態では、2本の感光性ウエブロール23a、23bを用いているが、これに限定されるものではなく、1本の感光性ウエブロールや、3本以上の感光性ウエブロールを採用してもよい。   In the above-described embodiment, the two photosensitive web rolls 23a and 23b are used. However, the present invention is not limited to this, and one photosensitive web roll or three or more photosensitive web rolls is used. May be adopted.

20…製造装置
22a、22b…感光性ウエブ
24…ガラス基板
26…可撓性ベースフイルム
28…感光性樹脂層
30…保護フイルム
34…ハーフカット部位
36a、36b…加工機構
45…基板搬送機構
46…貼り付け機構
47a、47b…検出機構
65…テンションロール
66a、66b…テンション制御機構
68…シリンダ
70…テンションダンサー
80a、80b…ゴムロール
106…感光性積層体
142a、142b…ベース自動剥離機構
148…巻き取り軸
170…バックテンション検出器
172…巻き取り用トルクモータ
174…ピールテンション算出部
176…テンション制御部
178…テンション設定部
180…製造枚数カウンタ
182…ゴムロール回転数検出器
184…テンション設定テーブル記憶部
186…CCDカメラ
188…ハーフカット位置算出部
192…ハーフカット位置補正部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 20 ... Manufacturing apparatus 22a, 22b ... Photosensitive web 24 ... Glass substrate 26 ... Flexible base film 28 ... Photosensitive resin layer 30 ... Protective film 34 ... Half cut part 36a, 36b ... Processing mechanism 45 ... Substrate conveyance mechanism 46 ... Pasting mechanism 47a, 47b ... detection mechanism 65 ... tension roll 66a, 66b ... tension control mechanism 68 ... cylinder 70 ... tension dancer 80a, 80b ... rubber roll 106 ... photosensitive laminate 142a, 142b ... base automatic peeling mechanism 148 ... winding Shaft 170 ... Back tension detector 172 ... Winding torque motor 174 ... Peel tension calculation unit 176 ... Tension control unit 178 ... Tension setting unit 180 ... Manufacturing number counter 182 ... Rubber roll rotation number detector 184 ... Tension setting table storage unit 186 ... CCD camera La 188 ... half-cut position calculating section 192 ... half-cut position correction unit

Claims (4)

支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ロール間に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
少なくとも一方の前記圧着ロールの表面と支持体の摩擦係数が0.3乃至0.8の範囲内であることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
A long photosensitive web in which a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a support is fed out, and a processing site corresponding to a boundary position between a peeled portion and a remaining portion of the protective film is transferred from the protective film. The protective film is formed in a portion reaching the photosensitive material layer, the peeling portion of the protective film is peeled off, and sent between a pair of heated crimping rolls together with a substrate supplied at a predetermined interval, and the protective film is interposed between the substrates. In the photosensitive laminate manufacturing apparatus for manufacturing the photosensitive laminate by arranging the remaining portion and attaching the exposed photosensitive material layer to the substrate,
An apparatus for producing a photosensitive laminate, wherein the friction coefficient between the surface of at least one of the pressure-bonding rolls and the support is in the range of 0.3 to 0.8.
請求項1記載の感光性積層体の製造装置において、
前記一対の圧着ロールのいずれか一方の感光材料層を押圧する表面が非粘着性であることを特徴とする感光性積層体の製造装置。
In the manufacturing apparatus of the photosensitive laminated body of Claim 1,
The apparatus for producing a photosensitive laminate, wherein a surface for pressing one of the pair of pressure-bonding rolls is non-adhesive.
支持体上に感光材料層と保護フイルムとが順に積層されてなる長尺状感光性ウエブを送り出し、前記保護フイルムの剥離部分と残存部分との境界位置に対応する加工部位を、前記保護フイルムから前記感光材料層に至る部分に形成し、前記保護フイルムの前記剥離部分を剥離し、所定の間隔で供給される基板とともに加熱された一対の圧着ロール間に送り出し、前記基板間に前記保護フイルムの前記残存部分を配置するとともに、露出した前記感光材料層を前記基板に貼り付けることで感光性積層体を製造する感光性積層体の製造装置において、
前記感光材料層は少なくとも前記一対の圧着ロールの中、前記一方の圧着ロールのロール表面と支持体の摩擦係数が0.3乃至0.8の圧着ロールで前記基板に回転しながら押圧されることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
A long photosensitive web in which a photosensitive material layer and a protective film are sequentially laminated on a support is fed out, and a processing site corresponding to a boundary position between a peeled portion and a remaining portion of the protective film is transferred from the protective film. The protective film is formed in a portion reaching the photosensitive material layer, the peeling portion of the protective film is peeled off, and sent between a pair of heated crimping rolls together with a substrate supplied at a predetermined interval, and the protective film is interposed between the substrates. In the photosensitive laminate manufacturing apparatus for manufacturing the photosensitive laminate by arranging the remaining portion and attaching the exposed photosensitive material layer to the substrate,
The photosensitive material layer is pressed against at least one of the pair of pressure-bonding rolls while rotating on the substrate with a pressure-sensitive roll having a friction coefficient of 0.3 to 0.8 between the surface of the one pressure-bonding roll and the support. The manufacturing method of the photosensitive laminated body characterized by these.
請求項3記載の感光性積層体の製造方法において、
前記感光材料層を押圧する圧着ロールの表面が非粘着性であることを特徴とする感光性積層体の製造方法。
In the manufacturing method of the photosensitive laminated body of Claim 3,
A method for producing a photosensitive laminate, wherein a surface of a pressure-bonding roll for pressing the photosensitive material layer is non-adhesive.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2013081040A1 (en) * 2011-11-30 2013-06-06 住友化学株式会社 Device and method for manufacturing optical member cemented article
JP2018135116A (en) * 2017-02-21 2018-08-30 株式会社フジシール Mount and mount with cylindrical film

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