JP2010008787A - 光分岐結合器及びその製造方法並びに光モジュール - Google Patents

Abstract

【課題】ハーフミラーを用いずに自己形成光導波路コアを有する光分岐結合器を形成する。
【解決手段】光分岐結合器１００は、略Ｄ字状の側壁部を有する筐体１０に３つのＰＯＦ２１、２２及び２３が挿入されている。筐体１０内部の略半円柱状の領域Ｖに、未硬化の液状のアクリル系光硬化性樹脂を充填した。ＰＯＦ２１からレーザ光を導入し、ＰＯＦ２１の端面２１０から硬化物を形成した。その径がＰＯＦ２１のコア径と同程度であった。当該硬化物は成長して最終的にＰＯＦ２２の端面２２０に達し、光導波路コア３１が形成された。次に、ＰＯＦ２３の端面２３０からレーザ光を導入した。硬化物は成長して光導波路コア３１と接続し、光導波路コア３２が形成された。
【選択図】図３

Description

本発明は光の分岐器及び結合器として使用可能な光分岐結合器、及びそれを内蔵した光モジュール、並びに光分岐結合器の製造方法に関する。

光通信において、光分岐結合器、及びそれを内蔵し発光素子と受光素子を有する光モジュールは極めて重要な役割を有する。例えば単線双方向光通信において、入出力端末にはＬＥＤ又はＬＤ等の発光素子からの入力用光導波路と、ＰＤ等の受光素子への出力用光導波路との、光の分岐器及び結合器が必要である。
一方、本願出願人らは、光硬化性樹脂液に、光ファイバ等から当該樹脂液の硬化光を照射すると、硬化樹脂による集光が生じることで、長尺の軸状のコアを形成する、自己形成光導波路を多数開発し、出願している。下記特許文献１乃至４はその一部である。この際、単線双方向光通信における光分岐結合器・光合分波器として、ハーフミラー又は波長選択性ミラーを介して分岐コアを上記自己形成光導波路で形成することも提案している。これにより発光素子と受光素子を有する光モジュールが容易に形成されることも示した。
特許第４０１１２８３号 特開２００２−３６５４５９ 特開２００４−１４９５７９ 特開２００５−３４７４４１

自己形成光導波路を用いた光モジュールの構成例を簡単に説明する。
図６は、自己形成光導波路を用いた光モジュール９００の構成図である。光モジュール９００は、透明筐体９０と、フォトダイオード（ＰＤ）４０、発光ダイオード（ＬＥＤ）５０及びレセプタクル９０２、それらを覆う外部筐体９１を有する。レセプタクル９０２には、コネクタ２０１を介してプラスチック光ファイバ（ＰＯＦ）２０が接続されている。透明筐体９０内部には、ハーフミラー６０と、ハーフミラー６０で分岐を形成する、３つの光導波路コア３９、３４及び３５を有する。光導波路コア３９は、レセプタクル９０２とハーフミラー６０を光接続している。光導波路コア３４は、ＰＤ４０とハーフミラー６０を光接続している。光導波路コア３５は、ＬＥＤ５０とハーフミラー６０を光接続している。この構成の光モジュール９００は、外部光回線からの光信号がＰＯＦ２０を介して入力され、コネクタ２０１、レセプタクル９０２、光導波路コア３９の順に通過して、ハーフミラー６０で反射されて、光導波路コア３４を通過してＰＤ４０に導かれる。一方、ＬＥＤ５０からの光信号が、光導波路コア３５を通過して、ハーフミラー６０を透過し、光導波路コア３９、レセプタクル９０２、コネクタ２０１の順に通過して、ＰＯＦ２０を介して外部光回線に出力される。

ハーフミラーを介して分岐コアを上記自己形成光導波路で形成した場合、当該分岐部分において、光分岐又は光結合は、必ずしも理想的には実施できない。例えば図６の光モジュール９００において、任意の波長に対して５０％反射、５０％透過のハーフミラー６０を用いた場合、外部光回線からの受信光は必ず３ｄＢの損失をハーフミラー６０で生ずることとなる。これに、光導波路での損失や、特に分岐部分での他の原因による損失が加わり、光分岐結合器の挿入損失は６ｄＢ程度となってしまう。

また、ハーフミラーは、一般的に、ガラス等の透明基板に誘電体多層膜を積層して作製される。このため、高価であり、光分岐結合器の製造コストを大きくしていた。
更に、ハーフミラーは基板、誘電体多層膜とも無機材料を用いることが一般的であり、有機化合物である光硬化性樹脂との接着性が弱い。例えば信頼性試験で熱履歴を加えるとしばしば剥離が生じる。これは実際に使用する際も、経時変化で剥離が生ずることを意味する。

このように、公知の文献ではハーフミラーを用いており、挿入損失が高く、コストが高く、且つ光導波路のコアと剥離しやすいとの問題があった。
そこで本発明者らは、ハーフミラーを用いない光分岐結合器の製造を検討し、本発明を完成させた。

請求項１に係る発明は、第１、第２及び第３の光入出力端を光導波路で接続した光分岐結合器において、第１の光入出力端と第２の光入出力端とが、光軸が直線の第１の光導波路で接続されており、光軸が直線の第２の光導波路が、第３の光入出力端と第１の光導波路とを、直接接続しており、第１の光導波路の光軸と第２の光導波路の光軸の成す角度が、１０度以上３０度以下であることを特徴とする。
尚、本明細書では光導波路と光導波路のコアを区別する立場を取る。光導波路とはコアとその周囲の屈折率差により、コア内部を光が伝送可能となっているものである。光導波路は、そのコアがクラッド材料で覆われていても覆われていなくても良いものとする。クラッド材料でコアが覆われていない光導波路とは、コアの周囲が外気又は真空であるものである。ここにおいて、第２の光導波路が、第３の光入出力端と第１の光導波路とを、直接接続しているとは、少なくとも第２の光導波路のコアが、第３の光入出力端と第１の光導波路のコアとを、直接接続しているものである。

請求項２に係る発明は、第１の光導波路のコアと第２の光導波路のコアが、いずれも同じ光硬化性樹脂の硬化物から成ることを特徴とする。
請求項３に係る発明は、第１、第２及び第３の光入出力端には、３本の光ファイバのコアが各々直接接続されていることを特徴とする。

請求項４に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載の光分岐結合器の、第１の光入出力端には、コネクタを用いて光ファイバを接続可能なレセプタクルが設けられており、第２の光入出力端には、受光素子が設けられており、第３の光入出力端には、発光素子が設けられていることを特徴とする光モジュールである。
尚、光入出力端に受光素子又は発光素子が設けられているとは、当該光入出力端と受光素子又は発光素子が光接続されていることを意味し、必ずしも直接接合しているものに限定されないものとする。例えば使用波長の光に対して透明である材料を介して、当該光入出力端と受光素子又は発光素子とが相対しているものは請求項４に係る発明に含まれるものとする。

請求項５に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載の光分岐結合器の製造方法であって、第１及び第２の光導波路のコアは、未硬化の液状の光硬化性樹脂を配置させたのち、第１の光入出力端から第２の光入出力端に向って、及び／又は、第２の光入出力端から第１の光入出力端に向って、液状の光硬化性樹脂を硬化可能な波長の硬化光を導入することで第１の光導波路のコアを形成し、第３の光入出力端から、設計された第１の光導波路の光軸に対して１０度以上３０度以下の角度で、液状の光硬化性樹脂を硬化可能な波長の硬化光を導入することで、コア第２の光導波路のコアを第１の光導波路と直接接続するように形成することを特徴とする。
請求項６に係る発明は、第１、第２及び第３の光入出力端には３本の光ファイバのコアが配置され、硬化光は当該第１、第２及び第３の光入出力端に配置された３本の光ファイバの少なくとも２本から導入されることを特徴とする。

本発明は、ハーフミラーを用いないで、２本の光軸が１０度以上３０度以下の角度を成す接続された２本の光導波路のコアを有する光分岐結合器である。これは以下に示す通り、自己形成光導波路の製造技術により容易に形成できる。
尚、軸状（略円柱状）の２本の光導波路のコアの光軸の成す角度が１０度未満であると、それらの接続部が長くなり、また第２及び第３の光入出力端を十分に離すことが困難となって、設計及び製造時の光軸合わせが困難となる他、光分岐結合器全体の大きさが大きくなりすぎるため好ましくない。また、軸状（略円柱状）の２本の光導波路のコアの光軸の成す角度が３０度を越えると、第１及び第３の光入出力端間の光損失が大きくなるので好ましくない。これは接続部で第２の光導波路のコアから第１の光導波路のコアへの入射角度又はその逆方向の入射角度が大きくなり過ぎるためである。軸状（略円柱状）の２本の光導波路のコアの光軸の成す角度は、より好ましくは１５度以上２５度未満である。

本発明によれば、高価なハーフミラー等を使用しないで光分岐結合器を製造できるので、部品コスト低減と工程数の減少及び簡略化により、製造コスト全体を抑制することができる。
また、ハーフミラー等を使用しないことで、分岐付近に設ける必要のある空間が小さくなり、全体を小型化できる。
更に無機材料の使用点数を減らせれるので、コア等の光硬化性樹脂の剥離を生じる可能性を減らすことができる。

本発明の光導波路は自己形成光導波路により容易に形成できる。この場合、上記特許文献１乃至４に示された様々な手法を用いることができる。尚、コアのみを形成して、クラッドを形成しない、即ちコア周囲の空気をクラッドとした光分岐結合器及び光モジュールとしても良い。
自己形成光導波路を形成するための光硬化性樹脂液は、入手可能な任意のものを適用できる。硬化機構も、ラジカル重合、カチオン重合其の他任意である。硬化光は一般的にはレーザ光が好ましい。レーザの波長と強度で、光硬化性樹脂液の硬化速度を調整すると良い。尚、光硬化開始剤（光重合開始剤）は光硬化性樹脂液とレーザの波長に応じ、入手可能な任意のものを適用できる。これらについては、本願出願人が共願人である例えば特許文献３に次のものが列挙されている。

構造単位中にフェニル基等の芳香族環を一つ以上含んだものが高屈折率、脂肪族系のみからなる場合は低屈折率となる。屈折率を下げるために構造単位中の水素の一部をフッ素に置換したものであっても良い。
脂肪族系としてはエチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、テトラエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、テトラプロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、1,3-プロパンジオール、1,4-ブタンジオール、1,5-ペンタンジオール、1,6-ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の多価アルコール。
芳香族系としてはビスフェノールＡ、ビスフェノールＳ、ビスフェノールＺ、ビスフェノールＦ、ノボラック、o-クレゾールノボラック、p-クレゾールノボラック、p-アルキルフェノールノボラック等の各種フェノール化合物等。
これら、あるいはこれらから任意に１種乃至複数種選択された多価アルコールのオリゴマー（ポリエーテル）の構造を有する比較的低分子（分子量３０００程度以下）骨格に、反応基として次の官能基等を導入したもの。
〔ラジカル重合性材料〕
ラジカル重合可能なアクリロイル基等のエチレン性不飽和反応性基を構造単位中に１個以上、好ましくは２個以上有する光重合性モノマー及び／又はオリゴマー。エチレン性不飽和反応性基を有するものの例としては、（メタ）アクリル酸エステル、イタコン酸エステル、マレイン酸エステル等の共役酸エステルを挙げることができる。
〔カチオン重合性材料〕
カチオン重合可能なオキシラン環（エポキシド）、オキセタン環等の反応性エーテル構造を構造単位中に１個以上、好ましくは２個以上有する、光重合性のモノマー及び／又はオリゴマー。オキシラン環（エポキシド）としては、オキシラニル基の他、3,4-エポキシシクロヘキシル基なども含まれる。またオキセタン環とは、４員環構造のエーテルである。

〔ラジカル重合開始剤〕
ラジカル重合性モノマー及び／又はオリゴマーから成るラジカル重合性材料の重合反応を光によって活性化する化合物である。具体例としては、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル及びベンゾインプロピルエーテル等のベンゾイン類、アセトフェノン、2,2-ジメトキシ-2-フェニルアセトフェノン、2,2-ジエトキシ-2-フェニルアセトフェノン、1,1-ジクロロアセトフェノン、1-ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、2-メチル-1-(4-(メチルチオ)フェニル)-2-モルホリノプロパン-1-オン及びN,N-ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェノン類、2-メチルアントラキノン、1-クロロアントラキノン及び2-アミルアントラキノン等のアントラキノン類、2,4-ジメチルチオキサントン、2,4-ジエチルチオキサントン、2-クロロチオキサントン及び2,4-ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン類、アセトフェノンジメチルケタール及びベンジルジメチルケタール等のケタール類、ベンゾフェノン、メチルベンゾフェノン、4,4'-ジクロロベンゾフェノン、4,4'-ビスジエチルアミノベンゾフェノン、ミヒラーズケトン及び4-ベンゾイル-4'-メチルジフェニルサルファイド等のベンゾフェノン類、並びに2,4,6-トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキシド等が挙げられる。尚、ラジカル重合開始剤は単独で使用しても、２種以上を併用しても良く、また、これらに限定されることはない。
〔カチオン重合開始剤〕
カチオン重合性モノマー及び／又はオリゴマーから成るカチオン重合性材料の重合反応を光によって活性化する化合物である。具体例としては、ジアゾニウム塩、ヨードニウム塩、スルホニウム塩、セレニウム塩、ピリジニウム塩、フェロセニウム塩、ホスホニウム塩、チオピリニウム塩が挙げられるが、熱的に比較的安定であるジフェニルヨードニウム、ジトリルヨードニウム、フェニル(p-アニシル)ヨードニウム、ビス(p-t-ブチルフェニル)ヨードニウム、ビス(p-クロロフェニル)ヨードニウムなどの芳香族ヨードニウム塩、ジフェニルスルホニウム、ジトリルスルホニウム、フェニル(p-アニシル)スルホニウム、ビス(p-t-ブチルフェニル)スルホニウム、ビス(p-クロロフェニル)スルホニウムなどの芳香族スルホニウム塩等のオニウム塩光重合開始剤が好ましい。芳香族ヨードニウム塩および芳香族スルホニウム塩等のオニウム塩光重合開始剤を使用する場合、アニオンとしてはBF₄ ^-、AsF₆ ^-、SbF₆ ^-、PF₆ ^-、B(C₆F₅)₄ ^-などが挙げられる。尚、カチオン重合開始剤は単独で使用しても、２種以上を併用しても良く、また、これらに限定されることはない。

本発明に係る光分岐結合器１００を作製した。図１はその写真図である。光分岐結合器１００は、３つのプラスチック光ファイバ（ＰＯＦ）２１、２２及び２３を有する光分岐結合器である。
光分岐結合器１００の筐体１０は図２の設計図により作製された。図２．Ａは筐体１０の平面図、図２．Ｂは筐体１０の正面図である。

図２．Ａ及び図２．Ｂに示される通り、筐体１０は略Ｄ字状の側壁部１１と、底部１２を有し、それらにより囲まれ、且つ上部が開いた略半円柱状の領域Ｖを有する。また、筐体１０は、円柱側面状の孔部である３つの光ファイバ挿入口１２１、１２２及び１２３を有する。円柱側面状の孔部である光ファイバ挿入口１２１は、側壁１１の平面状の背部１１１から中心軸が垂直に前後方向となるように形成されている。円柱側面状の孔部である光ファイバ挿入口１２２は、その中心軸が光ファイバ挿入口１２１の中心軸の延長上に配置されるように、側壁１１の半円柱状の前面部１１２に形成される。また、円柱側面状の孔部である光ファイバ挿入口１２３は、その中心軸の延長が光ファイバ挿入口１２１の中心軸の延長と２０度の角度を成して交わる位置に、側壁１１の半円柱状の前面部１１２に形成される。略半円柱状の領域Ｖは、当該半円柱状の底面の半円部分が、半径５ｍｍ程度で形成された。光ファイバ挿入口１２１は、当該半円柱の中心軸から約１ｍｍの位置に一方の開口を有する。
尚、筐体１０は、必ずしも透明材料で形成する必要は無いが、内部の視認が容易となるよう、光分岐結合器１００用の筐体１０は、透明合成樹脂により作製した。

図１の光分岐結合器１００は、上述の自己形成光導波路の技術により製造された。図３にその手順を概念図で示す。
図３は光分岐結合器１００の構成を示す断面図（平面図）である。また、光導波路コア３１及び３２を製造する際の、光硬化性樹脂の硬化物の成長方向を矢印で示した。

即ち、光分岐結合器１００は、図３に示す通り次の構成を有する。略Ｄ字状の側壁部を有する筐体１０の、図２の光ファイバ挿入口１２１、１２２及び１２３に３つのプラスチック光ファイバ（ＰＯＦ）２１、２２及び２３を挿入した。ＰＯＦ２１、２２及び２３の端面２１０、２２０及び２３０は、コアが露出したものであり、特許請求の範囲に言う第１、第２及び第３光入出力端に順に対応する。

次に、筐体１０内部の略半円柱状の領域Ｖに、未硬化の液状のアクリル系光硬化性樹脂を充填した。尚、当該樹脂は光重合開始剤が混合されたものであった。
次にＰＯＦ２１から波長約４０８ｎｍのレーザ光を導入し、ＰＯＦ２１の端面２１０から略半円柱状の領域Ｖに充填した液状のアクリル系光硬化性樹脂に導入し、硬化物を形成した。当該硬化物は軸状（円柱状）で、その径がＰＯＦ２１のコア径と同程度であった。当該硬化物は成長して最終的にＰＯＦ２２の端面２２０に達し、ＰＯＦ２１の端面２１０とＰＯＦ２２の端面２２０とを光接続する長さ約４ｍｍの光導波路コア３１が形成された。

次に、ＰＯＦ２３の端面２３０から波長約４０８ｎｍのレーザ光を略半円柱状の領域Ｖに充填した液状のアクリル系光硬化性樹脂に導入し、硬化物を形成した。当該硬化物は軸状（円柱状）で、その径がＰＯＦ２３のコア径と同程度であった。当該硬化物は成長して最終的に光導波路コア３１と接続し、光導波路コア３２が形成された。こののち、未硬化の光硬化性樹脂を排出し、コア表面を洗浄した。
次に、より低屈折率の光硬化性樹脂液を筐体１０に充填し、紫外線を照射して硬化させ、クラッドとした。光導波路コア３１は各請求項の構成における第１の光導波路のコアであり、また、光導波路コア３２は各請求項の構成における第２の光導波路のコアである。

図１の写真図及び図３の構成図に示された光分岐結合器１００の挿入損失を測定した。図４はその測定方法の構成図である。図４．Ａに示される通り、波長６５０ｎｍのモノクロ光源７０と光検出器８０とを、長さ１ｍのＰＯＦ２０で接続し、光検出器の測定値（光量）を初期値とした。
次に、光分岐結合器１００でモノクロ光源７０と光検出器８０とを接続し光検出器の測定値（光量）の初期値との差異（減衰量）を測定した。この際、光分岐結合器１００の長さ１ｍのＰＯＦ２１をモノクロ光源７０に接続し、光分岐結合器１００の長さ１ｍのＰＯＦ２２を光検出器８０に検出した場合（図４．Ｂ）と、光分岐結合器１００の長さ１ｍのＰＯＦ２３をモノクロ光源７０に接続し、光分岐結合器１００の長さ１ｍのＰＯＦ２１を光検出器８０に検出した場合とで減衰量測定を行った。
比較例として、図６に示すような光分岐結合器の分岐部分に波長６５０ｎｍに対して反射率及び透過率のいずれも５０％となるハーフミラーを配置した場合の減衰量測定を行った。
本実施例に係る光分岐結合器１００の挿入損失は、ＰＯＦ２１からＰＯＦ２２（光導波路コア３１）へは２．５ｄＢ、ＰＯＦ２３からＰＯＦ２１（光導波路コア３２から３１）へは５ｄＢと良好であった。
一方、比較例に係るハーフミラーを用いた光分岐結合器の挿入損失は６ｄＢとなった。
このように、本発明によれば、第１及び第２の光入出力端間が４ｍｍと極めて小型で、挿入損失が２．５ｄＢと極めて小さい光分岐結合器が形成できる。この際、第３の光入出力端から第１の光入出力端への光伝搬における挿入損失も５ｄＢと、ハーフミラーを有する光分岐結合器に比較して挿入損失が小さいものとなった。

図５は、本発明に係る光モジュール２００の構成を示す平面図である。
図５の光モジュール２００は、透明筐体１０’と、透明筐体の内部にハーフミラーを用いずに分岐部３３を形成する第１の光導波路コア３１と第２の光導波路コア３２を有する。第１の光導波路コア３１と第２の光導波路コア３２は光硬化性樹脂の硬化物から成り、自己形成光導波路の技術により製造される。また、光モジュール２００は、第１の光導波路コア３１の端面である第１の光入出力端３１１で光接続するレセプタクル１０２、第１の光導波路コア３１の端面である第２の光入出力端３１２と透明筐体１０’を介して光接続するＰＤ４０、第２の光導波路コア３２の端面である第３の光入出力端３２３と透明筐体１０’を介して光接続するＬＥＤ５０を有する。図５の光モジュール２００のレセプタクル１０２は、対応するコネクタ２０１を用いてＰＯＦ２０を接続可能である。上述の通り、本発明に係る光モジュール２００は、極めて小型で挿入損失が極めて小さい。また、ハーフミラーを有しないので、経時変化により光硬化性樹脂の硬化物から成るコアの剥離の可能性が、ハーフミラーを有する光モジュールよりも小さい。

本発明は、光通信回線の入出力端末モジュールとして有用である。特に単線双方向の光ＬＡＮにおいて有用である。

本発明の実施例１に係る光分岐結合器１００の写真図。 光分岐結合器１００に用いる筐体１０の平面図（２．Ａ）及び正面図（２．Ｂ） 光分岐結合器１００の構成を示す断面図（平面図）。 実施例１における、初期値測定時の構成図（４．Ａ）及び減衰量測定時の構成図（４．Ｂ）。 本発明の実施例２に係る光モジュール２００の構成を示す平面図。 従来例に係る光モジュール９００の構成を示す平面図。

符号の説明

１００：光分岐結合器
１０、１０’、９０：（透明）筐体
１０２、９０２：レセプタクル
１１：筐体１０の略Ｄ字状の側壁
１２：筐体１０の底部
１１１：筐体１０の側壁の背部
１１２：筐体１０の側壁の前面部
１２１、１２２、１２３：円柱状の孔部である光ファイバ挿入口
Ｖ：筐体１０の側壁１１と底部１２で囲まれた領域
２０、２１、２２、２３：プラスチック光ファイバ（ＰＯＦ）
２１０：２２０：２３０：ＰＯＦの端面
２０１：コネクタ
３１：光導波路コア
３１１：第１の光入出力端
３１２：第２の光入出力端
３２３：第３の光入出力端
３２：光導波路コア
３３：光導波路コア３１と光導波路コア３２の接続部である分岐部
３４、３５、３９：光導波路コア
４０：フォトダイオード（ＰＤ）
５０：発光ダイオード（ＬＥＤ）
６０：ハーフミラー
９１：外部筐体

Claims (6)

1. 第１、第２及び第３の光入出力端を光導波路で接続した光分岐結合器において、
   前記第１の光入出力端と前記第２の光入出力端とが、光軸が直線の第１の光導波路で接続されており、
   光軸が直線の第２の光導波路が、前記第３の光入出力端と前記第１の光導波路とを、直接接続しており、
   前記第１の光導波路の光軸と前記第２の光導波路の光軸の成す角度が、１０度以上３０度以下であることを特徴とする光分岐結合器。
2. 前記第１の光導波路のコアと前記第２の光導波路のコアが、いずれも同じ光硬化性樹脂の硬化物から成ることを特徴とする請求項１に記載の光分岐結合器。
3. 前記第１、第２及び第３の光入出力端には、３本の光ファイバのコアが各々直接接続されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の光分岐結合器。
4. 請求項１又は請求項２に記載の光分岐結合器の、
   前記第１の光入出力端には、コネクタを用いて光ファイバを接続可能なレセプタクルが設けられており、
   前記第２の光入出力端には、受光素子が設けられており、
   前記第３の光入出力端には、発光素子が設けられていることを特徴とする光モジュール。
5. 請求項１又は請求項２に記載の光分岐結合器の製造方法であって、
   前記第１及び前記第２の光導波路のコアは、未硬化の液状の光硬化性樹脂を配置させたのち、
   前記第１の光入出力端から前記第２の光入出力端に向って、及び／又は、前記第２の光入出力端から前記第１の光入出力端に向って、前記液状の光硬化性樹脂を硬化可能な波長の硬化光を導入することで前記第１の光導波路のコアを形成し、
   前記第３の光入出力端から、設計された前記第１の光導波路の光軸に対して１０度以上３０度以下の角度で、前記液状の光硬化性樹脂を硬化可能な波長の硬化光を導入することで、コア前記第２の光導波路のコアを前記第１の光導波路と直接接続するように形成することを特徴とする光分岐結合器の製造方法。
6. 前記第１、第２及び第３の光入出力端には３本の光ファイバのコアが配置され、前記硬化光は当該前記第１、第２及び第３の光入出力端に配置された３本の光ファイバの少なくとも２本から導入されることを特徴とする請求項５に記載の光分岐結合器の製造方法。