JP2008180179A - ダイヤフラムポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】レーザ溶着によるダイヤフラムとケースの組立性の向上ならびにダイヤフラムの強度向上を図る。
【解決手段】ケース本体３をレーザ光吸収材料、カバー部材２と各中流路部材１１，１２と樹脂ダイヤフラム１６をレーザ光透過材料で成形する。樹脂ダイヤフラム１６の凹所１７に金属ダイヤフラム１８を嵌合して接着剤で接合し、二層構造のダイヤフラム１５とする。金属ダイヤフラム１８の上面１８ａに圧電素子１９を固着する。樹脂ダイヤフラム１６の外周部分に、金属ダイヤフラム１８からはみ出る余剰部１６ｂを設け、この余剰部１６ｂにレーザ光を透過させて、樹脂ダイヤフラム１６をケース本体３にレーザ溶着する。
【選択図】図２

Description

本発明は、ダイヤフラムを駆動することによって流体をポンプ室内に吸入して圧送するダイヤフラムポンプに係り、特にマイクロポンプとして好適なダイヤフラムポンプに関する。

医療分野の医薬投与や燃料電池の燃料供給、あるいは印刷機器のインク供給等の技術分野においては、高い精度で定量の流体や気体を圧送するマイクロポンプが用いられており、そのようなポンプとしては、ダイヤフラム等の可撓性を有する薄膜を駆動して振動させることによりポンプ作用を発揮するポンプが好適に用いられている。

このようなポンプの一つとして、ダイヤフラムと、流体を吸入する流路および吐出する流路を有しダイヤフラムを支持するケースと、電圧を印加することにより振動する圧電素子とを備えているものがある。このポンプは、ダイヤフラムとケースとの間にポンプ室が形成され、ダイヤフラムに圧電素子が固定され、その圧電素子に電圧を印加させてポンプ室を交互に拡大／縮小させることにより、ポンプ室への流体の吸入、ポンプ室からポンプ外部への流体の吐出が繰り返し行われる。

また、このようなポンプは、ポンプ室へ吸入された流体またはポンプ室から吐出された流体が逆流しないように、吸入側と吐出側の流路にそれぞれ一方向の弁を有している。これら弁が、ケースを構成する2個の部品の間に挟み込まれて固定されているポンプが特許文献１に記載されている。

特許第３７０７３８０号公報

上記特許文献１に示されるダイヤフラムポンプは、ダイヤフラムポンプを構成する各部品を、レーザ溶着や接着剤にて接合させている。レーザ溶着の場合、レーザ光を吸収する材料にレーザ光を照射し、その材料を溶かすことにより各部品を接合させているが、特許文献１では、各部品のレーザ光の透過性および吸収性の特性が記載されていない。そのため、各部品の材料の組み合わせによっては、レーザ溶着に時間が掛かり、生産効率の低下を招く恐れがある。また、ダイヤフラムは、圧電素子と電極のみで構成されているため、ダイヤフラムの強度や、ダイヤフラムとケースとのシール性が十分でない可能性がある。

よって本発明は、ダイヤフラムポンプのダイヤフラムの強度を向上させるとともにダイヤフラムとケースとのシール性を確保することができ、さらに、ダイヤフラムポンプを形成する各部品をレーザ溶着にて容易に接合させることができるダイヤフラムポンプを提供することを目的としている。

本発明のダイヤフラムポンプは、レーザ光吸収材料で形成され、一面とこの一面とは反対側の他面とが略平行な板状のケース本体と、このケース本体の一面に、環状のレーザ溶着部を介して接合され、ケース本体との間におけるレーザ溶着部の内側に流体のポンプ室を形成するダイヤフラムと、ダイヤフラムを駆動してポンプ室の容積を変更させるダイヤフラム駆動手段と、ケース本体に形成され、ポンプ室に連通する流体の吸入流路および吐出流路とを備え、ダイヤフラムは、レーザ光透過材料で形成された樹脂ダイヤフラムと、この樹脂ダイヤフラムの片面に接合された金属ダイヤフラムとの二層構造であって、樹脂ダイヤフラムは、金属ダイヤフラムの周縁よりも外周側にはみ出る環状の余剰部を有し、この余剰部に、レーザ溶着部が設けられていることを特徴としている。

本発明のダイヤフラムポンプによれば、ダイヤフラムが金属ダイヤフラムと樹脂ダイヤフラムによる二層構造になっているが、樹脂ダイヤフラムが金属ダイヤフラムの周縁よりもはみ出す余剰部を有している。このため、その余剰部にレーザ光を透過させ、ケース本体に照射することにより、ダイヤフラムとケース本体をレーザ溶着にて接合することができる。ケース本体の材料であるレーザ光吸収材料としては、黒色の樹脂が好適に用いられる。また、樹脂ダイヤフラムの材料であるレーザ光透過材料としては、透明な樹脂が好適に用いられる。

本発明では、樹脂ダイヤフラムの余剰部の内側に、金属ダイヤフラムが嵌合する凹所が形成されており、この凹所に金属ダイヤフラムが嵌合されるとともに凹所の底面に接着剤にて接着されている形態が好ましい。この凹所を設けることで、金属ダイヤフラムを容易に位置決めすることができるとともに、接着剤が樹脂ダイヤフラムの外周側に広がるのを防止することができる。さらに、樹脂ダイヤフラムの余剰部は、凹所よりも肉厚なリブ状になるため、強度を向上させることができる。また、この凹所を形成する側壁の高さは、金属ダイヤフラムの厚さより高く設定することが好ましく、これにより上記の効果をより向上させることができる。

本発明の具体的構成例としては、次の形態が挙げられる。吸入流路には、流体のポンプ室への流入のみを許容する吸入弁が設けられており、ケース本体には、この吸入弁を支持するとともに、吸入弁が開状態で吸入流路に連通する吸入連通流路が形成された吸入側中流路部材が嵌合されている。そして、吐出流路には、流体の前記ポンプ室からの吐出のみを許容する吐出弁が設けられ、ケース本体には、この吐出弁を支持するとともに、吐出弁が開状態で吐出流路に連通する吐出連通流路が形成された吐出側中流路部材が嵌合されている。これら吸入側中流路部材および吐出側中流路部材はレーザ光透過材料で形成されており、かつ、ケース本体にレーザ溶着されている。

次に本発明は、ケース本体の上記他面に、レーザ光透過材料で形成されたカバー部材がレーザ溶着により接合され、ケース本体とカバー部材との間に、外部から吸入流路に連通する外部側吸入流路と、吐出流路から外部に連通する外部側吐出流路とが、上記他面と略平行に延びる状態に形成されていることを好ましい形態としている。この形態によれば、上記他面と略平行に延びる状態で各流路を形成しているため、厚さを薄くすることができ、より薄型のダイヤフラムポンプを形成することができる。また、カバー部材のケース本体への接合面とは反対側の面を平坦に形成することができるため、このダイヤフラムポンプを基板等に容易に設置することができる。

また、本発明では、樹脂ダイヤフラムの余剰部の表面が、ケース本体の上記一面と平行であって平坦に形成されていることを好ましい形態としている。樹脂ダイヤフラムをケース本体にレーザ溶着する際には、この場合、余剰部にガラス等の平坦な押さえ治具を押し当てて加圧することにより接合面どうしを密着させる。余剰部を平坦としたことにより、加圧時に均一な圧力を接合面に付与することができ、その結果、レーザ溶着部分の不良発生を防止することができる。

本発明によれば、ダイヤフラムポンプのダイヤフラムの強度を向上させるとともにダイヤフラムとケースとのシール性を確保することができ、さらに、ダイヤフラムポンプを形成する各部品をレーザ溶着にて容易に接合させることができるといった効果を奏する。

以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。
［１］ダイヤフラムポンプの構成
図１は一実施形態に係るダイヤフラムポンプ（以下、ポンプと略称）１の斜視図、図２はポンプ１全体の断面図、図３はポンプ１の分解斜視図、図４はポンプ１を構成する各部品の断面図である。これら図に示すように、ポンプ１は、矩形薄板状のケース本体３の図中上側にダイヤフラム１５および圧電素子１９が、また、下側にカバー部材２が積層された構成である。

このポンプ１は、一側面に、流体をポンプ１内へ吸入する円筒状の吸入ポート２０を有し、一側面とは反対側の側面に、吸入した流体をポンプ１外へ吐出する円筒状の吐出ポート２２を有している。吸入ポート２０は、ケース本体３とカバー部材２とにそれぞれ形成されたパイプ分割体２０ａ，２０ｂが接合されることにより構成されている。パイプ分割体２０ａ，２０ｂは、円筒体を半割りした形状である。また、吐出ポート２２も同様であって、ケース本体３とカバー部材２とにそれぞれ形成された半円筒体状のパイプ分割体２２ａ，２２ｂが接合されることにより構成されている。ケース本体３はレーザ光吸収材料で成形され、カバー部材２はレーザ光透過材料で成形されている。レーザ光吸収材料としては、黒色の樹脂が好適であり、レーザ光透過材料としては、透明な樹脂が好適である。

ケース本体３の上面３ａの中央部には、円形状の凹所４が形成されている。この凹所４はダイヤフラム１５で塞がれ、ポンプ室として構成される。図２に示すように、カバー部材２とケース本体３の吸入側には、吸入ポート２０の先端である吸入口２０ｃからポンプ室４に連通する流体の吸入流路２１が形成されている。この吸入流路２１は、ケース本体３およびカバー部材２に形成され、互いに合わせられた溝２１ａ，２１ｂにより形成されている。一方、カバー部材２とケース本体３の吐出側には、吐出ポート２２の先端である吐出口２２ｃからポンプ室４に連通する流体の吐出流路２３が形成されている。この吐出流路２３は、ケース本体３およびカバー部材２に形成され、互いに合わせられた溝２３ａ，２３ｂにより形成されている。吸入流路２１または吐出流路２３を形成する溝は、カバー部材２またはケース本体３のどちらか一方に有していれば流路を形成することができるため、カバー部材２とケース本体３の少なくともどちらか一方に溝を有していればよい。カバー部材２は、ケース本体３に対し、吸入流路２１の周囲、および吐出流路２３の周囲の接合面どうしがレーザ溶着されて、接合されている。

図２〜図４に示すように、ケース本体３の凹所４の底面には、矩形状の凹所５が形成されている。この凹所５は、凹所４の中心より吸入ポート２０側に偏った位置に形成されている。一方、ケース本体３の下面３ｂには、矩形状の凹所８が形成されている。この凹所８は、凹所４の中心よりやや吐出ポート２２側に偏った位置に形成されている。これら凹所５，８の底面には、それぞれ弁収容凹部６，９が、凹所５，８よりさらに深く形成されている。ケース本体３には、吸入流路２１から弁収容凹部６に通じる開口７が形成され、また、ポンプ室４から弁収容凹部９に通じる開口１０が形成されている。

図５に示すように、吸入側の開口７は、吸入側逆止弁１３により開閉され、図６に示すように、吐出側の開口１０は、吐出側逆止弁１４により開閉されるようになっている。吸入側逆止弁１３は弁収容凹部６に収容され、その状態が、凹所５に嵌合された矩形板状の吸入側中流路部材１１とケース本体３とに挟み込まれて保持されている。吐出側逆止弁１４は弁収容凹部９に収容され、その状態が、凹所８に嵌合された矩形板状の吐出側中流路部材１２とケース本体３とに挟み込まれて保持されている。

吸入側中流路部材１１の下面には、弁逃げ凹部１１ａが形成されている。吸入側中流路部材１１には、弁逃げ凹部１１ａとポンプ室４とを連通させる連通孔１１ｂが形成されている。また、吐出側中流路部材１２の上面にも、同様の弁逃げ凹部１２ａが形成されており、吐出側中流路部材１２には、弁逃げ凹部１２ａと吐出流路２３とを連通させる連通孔１２ｂが形成されている。吸入側および吐出側の各中流路部材１１，１２は、ケース本体３に対し、それぞれ弁収容凹部６，９の周囲の接合面どうしがレーザ溶着されて、接合されている。これら各中流路部材１１，１２は、上記カバー部材と同様に、レーザ光透過材料で成形されている。

上記の吸入側および吐出側の各弁１３（１４）は、弾性を有する薄板状のゴム等によりなるもので、図７に示すように、矩形状の基部１３ａ（１４ａ）に舌片１３ｂ（１４ｂ）が一体成形されたものである。吸入側逆止弁１３は、上記のように弁収容凹部６に収容され、基部１３ａが、吸入側中流路部材１１とケース本体３とに挟み込まれている。吸入側逆止弁１３の舌片１３ｂは、通常、吸入流路２１から弁収容凹部６に通じる開口７を塞いでいる。そして、舌片１３ｂは、吸入側中流路部材１１側への圧力を受けると弁逃げ凹部１１ａ内に弾性変形し、このとき、吸入流路２１が、開口７、弁収容凹部６、弁逃げ凹部１１ａ、連通孔１１ｂを介してポンプ室４と連通する。

一方、吐出側逆止弁１４は、上記のように弁収容凹部９に収容され、基部１４ａが、吐出側中流路部材１２とケース本体３とに挟み込まれている。吐出側逆止弁１４の舌片１４ｂは、通常、ポンプ室４から弁収容凹部９に通じる開口１０を塞いでいる。そして、舌片１４ｂは、カバー部材２側への圧力を受けると弁逃げ凹部１２ａ内に弾性変形し、このとき、ポンプ室４が、開口１０、弁収容凹部９、弁逃げ凹部１２ａ、連通孔１２ｂを介して吐出流路２３と連通する。

ダイヤフラム１５は、矩形薄板状の樹脂ダイヤフラム１６の上面中央に、薄い円盤状の金属ダイヤフラム１８が接合された二層構造のものである。樹脂ダイヤフラム１６は、上記カバー部材２と同様に、レーザ光透過材料で成形されている。樹脂ダイヤフラム１６の外形はケース本体３の矩形の外形部分と同寸・同形であり、樹脂ダイヤフラム１６は、外形を合わせてケース本体３の上面にレーザ溶着によって接合されている。ケース本体３の凹所４は樹脂ダイヤフラム１６で塞がれ、これによってポンプ室４が形成される。

樹脂ダイヤフラム１６の上面１６ａには、金属ダイヤフラム１８が嵌合する凹所１７が形成されている。これにより樹脂ダイヤフラム１６の外周部には、環状、かつリブ状の余剰部１６ｂが形成されている。凹所１７は、金属ダイヤフラム１８の厚さよりも十分に深い寸法を有している。この凹所１７に、金属ダイヤフラム１８が嵌合され、かつ、接合面全面（下面）で接着剤が塗布されて接合されている。この凹所１７を形成している側壁は、金属ダイヤフラム１８の厚さより十分に高い寸法を有している。このため、凹所１７に金属ダイヤフラム１８を嵌合して接着剤により接合するとき、接着剤の余剰分が余剰部１６ｂの表面へ漏れ出すことが防止される。なお、この凹所１７に代えて、金属ダイヤフラム１８を嵌合でき、かつ、金属ダイヤフラム１８の厚さより十分に高い環状の凸部を樹脂ダイヤフラム１６の上面１６ａに設け、この環状の凸部の内側に凹所を形成し、この底面に金属ダイヤフラム１８を嵌合させても良い。樹脂ダイヤフラム１６の余剰部１６ｂの表面は、ケース本体３の上面３ａと平行であり、かつ、平坦に形成されている。金属ダイヤフラム１８の上面１８ａには、円盤状の圧電素子（ダイヤフラム駆動手段）１９が同心状に固着されている。この圧電素子１９は、金属ダイヤフラム１８に接着等の手段により固定されている。

［２］ポンプの組立
次に、上記構成のポンプ１を組み立てる方法を説明する。この実施形態では、各部材の接合をレーザ溶着で行うため、上述のように、ケース本体３をレーザ光吸収材料で成形し、このケース本体３に対してレーザ溶着させるカバー部材２、各中流路部材１１，１２および樹脂ダイヤフラム１６を、レーザ光透過材料で成形している。

まず、金属ダイヤフラム１８を樹脂ダイヤフラム１６の凹所１７に嵌合して接合させ、ダイヤフラム１５を組み立てる。具体的には、金属ダイヤフラム１８の裏面全面に接着剤を塗布し、その面を樹脂ダイヤフラム１６の凹所１７の底面押し付けて貼り合わせる。このとき、接着剤の余剰分が金属ダイヤフラム１８の周縁から漏れ出る。この漏れ出し現象をもって、接着面全面が接着剤で満たされた正常な接着状態であることを確認することができる。なお、漏れ出た余剰分の接着剤は、樹脂ダイヤフラム１６の余剰部１６ｂの内側に留まり、余剰部１６ｂの表面には達しない。樹脂ダイヤフラム１６に金属ダイヤフラム１８を接着したら、次に、金属ダイヤフラム１８の上面１８ａに、接着剤等を用いて圧電素子１９を固着させる。

次に、ケース本体３の弁収容凹部６に吸入側逆止弁１３を収容し、続いて凹所５に吸入側中流路部材１１を嵌め込む。そして、その状態を保持し、吸入側中流路部材１１の表面（図５で上面）側からケース本体３における凹所５の吸入側逆止弁１３の周囲にレーザ光を照射して、ケース本体３に吸入側中流路部材１１をレーザ溶着する。また、ケース本体３の弁収容凹部９に吐出側逆止弁１４を収容し、続いて凹所８に吐出側中流路部材１２を嵌め込む。そして、その状態を保持し、吐出側中流路部材１２の表面（図６で下面）側からケース本体３における凹所８の吐出側逆止弁１４の周囲にレーザ光を照射して、ケース本体３に吐出側中流路部材１２をレーザ溶着する。なお、吸入側中流路部材１１と吐出側中流路部材１２をケース本体３に接合するとき、どちらを先に接合しても良い。

次に、ケース本体３の上面３ａに、圧電素子１９を固着させたダイヤフラム１５の下面（樹脂ダイヤフラム１６の下面１６ｃ）１５ａを位置決めして重ね合わせる。その状態で、樹脂ダイヤフラム１６の余剰部１６ｂの表面側からケース本体３側へレーザ光を照射し、ケース本体３に樹脂ダイヤフラム１６をレーザ溶着する。次に、ケース本体３の下面３ｂにカバー部材２の上面２ａを位置決めして重ね合わせる。そして、その状態を保持し、カバー部材２側からケース本体３における吸入流路２１および吐出流路２３の周囲にレーザ光を照射して、ケース本体３にカバー部材２をレーザ溶着する。

以上でポンプ１は組み立てられる。レーザ光の照射によるレーザ溶着は、レーザ光透過材料（各中流路部材１１，１２、カバー部材２および樹脂ダイヤフラム１６）を透過したレーザ光がレーザ光吸収材料であるケース本体３を加熱、溶融し、溶融成分が相手部材に溶着することによりなされ、これによって各部材どうしが接合される。レーザ溶着する際は、ガラス板等の平坦な押さえ治具を適宜用いて、接合される部材どうしの接合面が密着するように各部材を加圧する。

最後に樹脂ダイヤフラム１６をケース本体３にレーザ溶着する際には、余剰部１６ｂの表面にガラス板等の押さえ治具を押し当てるが、この表面には、金属ダイヤフラム１８を樹脂ダイヤフラム１６に接着した際の余剰接着剤は付着していない。何故ならば、その接着剤は、上記のように樹脂ダイヤフラム１６の余剰部１６ｂの内側に留まり、余剰部１６ｂの表面には達し得ないからである。したがって、押さえ治具を余剰部１６ｂの表面にぴったりと隙間なく接触させることができる。

［３］ポンプの動作
次に、上記構成のポンプの動作を説明する。
圧電素子１９に交流電圧を印加するとダイヤフラム１５が振動し、ポンプ室４の容積が連続的に増えたり減ったりする。図８（ａ）に示すように、ダイヤフラム１５がケース本体３から離れる方向に撓んでポンプ室４の容積が増大するときには、ポンプ室４は負圧となる。すると吸入側逆止弁１３の舌片１３ｂが弁収容凹部６の底面から離れ、開口７が開く。一方、吐出側逆止弁１４の舌片１４ｂは弁収容凹部９の底面に密着し、開口１０は閉じた状態が保持される。流体は吸入ポート２０の吸入流路２１から開口７、弁収容凹部６、弁逃げ凹部１１ａおよび連通孔１１ｂを通ってポンプ室４内に吸引される。

また、図８（ｂ）に示すように、ダイヤフラム１５がケース本体３に近付く方向に撓んでポンプ室４の容積が減少するときには、ポンプ室４は正圧となる。すると吐出側逆止弁１４の舌片１４ｂが弁収容凹部９の底面から離れ、開口１０が開く。一方、吸入側逆止弁１３の舌片１３ｂは弁収容凹部６の底面に密着し、開口７は閉じた状態が保持される。ポンプ室４内の流体は、開口１０、弁収容凹部９、弁逃げ凹部１２ａおよび連通孔１２ｂを通って吐出流路２３から外部に吐出される。
以上の吸入／吐出の動作が繰り返されることによってポンプ作用が連続的に生じ、流体が圧送される。

［４］本実施形態の作用効果
本実施形態によれば、ポンプ作用を発揮させるためのダイヤフラム１５が、樹脂ダイヤフラム１６に金属ダイヤフラム１８を接合させた二層構造である。このため、ダイヤフラム１５の強度が向上する。また、ダイヤフラム１５は流体の圧力を受けても、その圧力によって変形しにくく、圧電素子１９によって適確に駆動される。また、二層構造であっても、樹脂ダイヤフラム１６の周縁を金属ダイヤフラム１８からはみ出させて余剰部１６ｂを形成したので、この余剰部１６ｂにレーザ光を透過させることにより、レーザ光透過材料の樹脂ダイヤフラム１６を、レーザ光吸収材料のケース本体３にレーザ溶着することができる。

また、二層構造のダイヤフラム１５は、樹脂ダイヤフラム１６に形成した凹所１７に金属ダイヤフラム１８を嵌合させ、両者を接着させることにより構成されている。凹所１７に金属ダイヤフラム１８を嵌合させることにより、樹脂ダイヤフラム１６への金属ダイヤフラム１８の位置決めを容易に行うことができる。また、金属ダイヤフラム１８から漏れ出た余剰接着剤は凹所１７内に留まり、樹脂ダイヤフラム１６の余剰部１６ｂの表面には達しない。しかも、この余剰部１６ｂの表面は、ケース本体３の上面３ａと平行で平坦に形成されている。このため、余剰部１６ｂの表面にガラス等の押さえ治具を押し当て、加圧しながらレーザ溶着する際に、均一な圧力を接合面に付与することができ、その結果、レーザ溶着部分の不良発生を防止することができる。また、吸入側および吐出側の各ポート２０，２２を、ケース本体３の面方向と平行な横だし構造としているので、薄型化が図れるとともに、基板等への設置の自由度が向上する。

本発明の一実施形態に係るダイヤフラムポンプの斜視図である。 図１に示したダイヤフラムポンプの断面図である。 図１に示したダイヤフラムポンプの分解斜視図である。 図１に示したダイヤフラムポンプを構成する各部品の断面図である。 一実施形態のダイヤフラムポンプの吸入側の弁周辺部を示した部分断面図である。 一実施形態のダイヤフラムポンプの吐出側の弁周辺部を示した部分断面図である。 一実施形態のダイヤフラムポンプに組み込まれる弁の平面図である。 一実施形態のダイヤフラムポンプの（ａ）吸入時、（ｂ）吐出時の断面図である。

符号の説明

１…ダイヤフラムポンプ
３…ケース本体
４…ポンプ室
１５…ダイヤフラム
１６…樹脂ダイヤフラム
１６ｂ…余剰部
１８…金属ダイヤフラム
１９…圧電素子（ダイヤフラム駆動手段）
２１…吸入流路
２３…吐出流路

Claims (6)

1. レーザ光吸収材料で形成され、一面とこの一面とは反対側の他面とが略平行な板状のケース本体と、
   このケース本体の前記一面に、環状のレーザ溶着部を介して接合され、ケース本体との間におけるレーザ溶着部の内側に流体のポンプ室を形成するダイヤフラムと、
   前記ダイヤフラムを駆動して前記ポンプ室の容積を変更させるダイヤフラム駆動手段と、
   前記ケース本体に形成され、前記ポンプ室に連通する流体の吸入流路および吐出流路とを備え、
   前記ダイヤフラムは、レーザ光透過材料で形成された樹脂ダイヤフラムと、この樹脂ダイヤフラムの片面に接合された金属ダイヤフラムとの二層構造であって、樹脂ダイヤフラムは、金属ダイヤフラムの周縁よりも外周側にはみ出る環状の余剰部を有し、この余剰部に、前記レーザ溶着部が設けられていることを特徴とするダイヤフラムポンプ。
2. 前記樹脂ダイヤフラムの前記余剰部の内側に、前記金属ダイヤフラムが嵌合する凹所が形成されており、この凹所に金属ダイヤフラムが嵌合されるとともに凹所の底面に接着剤によって接着されていることを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラムポンプ。
3. 前記吸入流路には、流体の前記ポンプ室への流入のみを許容する吸入弁が設けられ、前記ケース本体には、この吸入弁を支持するとともに、吸入弁が開状態で吸入流路に連通する吸入連通流路が形成された吸入側中流路部材が嵌合され、
   前記吐出流路には、流体の前記ポンプ室からの吐出のみを許容する吐出弁が設けられ、前記ケース本体には、この吐出弁を支持するとともに、吐出弁が開状態で吐出流路に連通する吐出連通流路が形成された吐出側中流路部材が嵌合され、
   これら吸入側中流路部材および吐出側中流路部材はレーザ光透過材料で形成されており、かつ、前記ケース本体にレーザ溶着されていることを特徴とする請求項１または２に記載のダイヤフラムポンプ。
4. 前記ケース本体の前記他面に、レーザ光透過材料で形成されたカバー部材がレーザ溶着により接合され、ケース本体とカバー部材との間に、
   外部から前記吸入流路に連通する外部側吸入流路と、
   前記吐出流路から外部に連通する外部側吐出流路とが、
   他面と略平行に延びる状態に形成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。
5. 前記樹脂ダイヤフラムの前記余剰部の表面が、前記ケース本体の前記一面と平行であって平坦に形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。
6. 前記樹脂ダイヤフラムにおける前記凹所を形成する側壁の高さは、前記金属ダイヤフラムの厚さよりも高く設定されていることを特徴とする請求項２〜５のいずれかに記載のダイヤフラムポンプ。

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