JP2007327849A - 洩れ検査方法及び洩れ検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】洩れ検査時の測定対象容器と基準容器との差圧の温度補正ができ、洩れ検査の精度を上げる洩れ検査装置及び洩れ検査方法。
【解決手段】ワーク容器６６とマスタ容器８０の空気を平衡状態とした後に、これらの間を遮断し、マスタ容器８０内部及びワーク容器６６内部の空気温度Ｔ１、Ｔ２が測定される。その後、マスタ容器８０内部及びワーク容器６６内部の空気温度Ｔ３、Ｔ４が測定される。また、差圧測定部４２で、ワーク容器６６内部とマスタ容器８０内部の空気圧力との測定差圧ＰＡが測定される。判定ユニット７８では、これらの測定データを用いて理論差圧が求められ、測定差圧との差によりワーク容器６６の洩れの有無の判定を行う。
【選択図】図２

Description

本発明は、測定対象容器の圧力と、基準容器の圧力との差圧により洩れの有無を検査する洩れ検査方法及び洩れ検査装置に関する。

一般に、圧力の絶対値を精度良く測定することは困難であるため、洩れ検出のための圧力検出方法としては、差圧式が用いられる。

差圧式の洩れ検出方法は、基準となる容器（マスタ）とワークに同時に圧縮空気を送り込み、時系列で両者の圧力差を差圧式の圧力センサで測定し、洩れ検出を行う。

例えば、特許文献１には、ワークからの圧力洩れがない場合におけるワークとマスタとの差圧の経時変化を、マスタデータとして保存しておき、各ワークの測定時に得られる差圧測定データとマスタデータとを比較することにより、ワークの真の圧力洩れ量を求めるリークテスタが開示されている。

しかし、特許文献１のリークテスタにおいては、ワークの温度と外部環境温度とが異なる場合を想定しておらず、例えば、生産工程で溶接され、あるいは高温の乾燥炉で乾燥された直後のワークの洩れ検査を行う場合には、ワークとマスタの温度が異なり、温度差で発生する圧力変化による差圧の測定誤差が大きくなるので、洩れ検査を精度良く行うことは困難である。

また、洩れ検査する場合には、ワークの温度が所定温度となるまで冷却又は自然放置して待たなければならず、検査前の待ち時間が増加し全体の検査時間が長くなる。

一方、特許文献２には、被検査体と基準タンクとの間に発生する差圧値Ｄ１及び所定時間経過後の差圧の変化分ΔＤ３を、被検査体とシール治具の温度差毎に測定し、各温度差における差圧値Ｄ１と差圧の変化分ΔＤ３との差をドリフト補正値として、差圧の補正を行う洩れ検査装置の校正方法が開示されている。

しかし、特許文献２の洩れ検査装置では、被検査体そのものの温度を測定しており、被検査体の内部の空気の温度を測定していないので、例えば、被検査体の内部の空気の温度と被検査体の温度に温度差が生じた場合は、差圧の測定誤差が生じる。

また、被検査体と基準タンクの差圧のみに着目しており、被検査体の内部の圧力変化及び基準タンクの内部の圧力変化をそれぞれ独立したものとして検討していないので、例えば、基準タンクの内部の空気の温度と、被検査体の内部の空気の温度に差がある場合は、この温度差に伴う差圧の測定誤差が生じる。
特開２０００−２０５９９１ 特開２００５−０１７１０７

本発明は、上記事実に鑑みてなされたものであり、洩れ検査時の測定対象容器と基準容器との差圧の温度補正ができ、洩れ検査の精度を上げることのできる洩れ検査装置及び洩れ検査方法を得ることを目的とする。

本発明の請求項１に係る洩れ検査装置は、気体供給源から測定対象容器及び基準容器に気体を供給し、前記測定対象容器の内部の気体と前記基準容器の内部の気体とを所定の平衡圧力Ｐ０の平衡状態とするとともに、前記測定対象容器及び前記基準容器における気体の流入及び流出を遮断する気体供給手段と、前記測定対象容器の内部の気体の圧力と前記基準容器の内部の気体の圧力との測定差圧ＰＡを求める差圧測定手段と、前記基準容器の内部の気体の温度を測定する第１温度測定手段と、前記測定対象容器の内部の気体の温度を測定する第２温度測定手段と、前記基準容器における前記平衡状態から所定時間ｔ経過後の、気体の温度変化及び前記平衡圧力Ｐ０に基づいて定められる気体の圧力を理論圧力Ｐ１とし、前記測定対象容器における前記平衡状態から所定時間ｔ経過後の、気体の温度変化及び前記平衡圧力Ｐ０に基づいて定められる気体の圧力を理論圧力Ｐ２として、前記理論圧力Ｐ１と前記理論圧力Ｐ２との差である理論差圧ＰＢと前記測定差圧ＰＡとを比較して、前記測定対象容器の洩れの有無を判定する判定手段と、を備えたことを特徴とする。

上記構成によれば、測定対象容器及び基準容器の内部の気体の温度変化と、平衡圧力Ｐ０とに基づいて、基準容器の内部の気体の圧力Ｐ１と測定対象容器の内部の気体の圧力Ｐ２との差圧である理論差圧ＰＢが求められる。Ｐ１、Ｐ２は、ボイル−シャルルの法則によって求めることができ、例えば、基準容器の内部の気体の温度がＴ１からＴ３に変化し、測定対象容器の内部の気体の温度がＴ２からＴ４に変化したとすると、Ｐ１＝Ｐ０×Ｔ３／Ｔ１、及びＰ２＝Ｐ０×Ｔ４／Ｔ２を用いて計算する。

理論差圧ＰＢは、測定対象容器及び基準容器の内部の気体の温度変化による差圧であり、測定差圧と理論差圧との差が測定対象容器の洩れによる差圧となる。

従って、洩れ検査時の測定対象容器の内部の気体の温度が基準容器の内部の気体の温度と異なっていても、理論差圧を求めることにより測定対象容器の洩れによる差圧が得られるので、洩れの有無を正確に判定でき、洩れ検査を精度良く行うことができる。

また、測定対象容器が所定の温度になるまで待つ必要がないので、検査時間を短くすることができる。

本発明の請求項２に係る洩れ検査装置は、前記第１温度測定手段及び前記第２温度測定手段が、前記測定対象容器及び前記基準容器の内部において所定の距離離間して配置される複数の温度測定部を有することを特徴とする。

上記構成によれば、測定対象容器の内部及び基準容器の内部において、例えば、左右方向、上下方向に所定の距離離間して配置された複数の温度測定部で温度測定を行い、得られた複数の測定温度を平均することによって、より正確な測定温度を得ることができる。

従って、測定対象容器の内部又は基準容器の内部の気体の温度の測定精度が上がる。また、測定温度の精度が上がることにより、理論差圧の精度が向上し、洩れ検査の精度も向上する。

本発明の請求項３に係る洩れ検査装置は、前記判定手段が、洩れの無い基準測定対象容器を用いて得られた測定差圧ＰＣと理論差圧ＰＤとの関係に基づいて、前記測定対象容器における前記測定差圧ＰＡ又は前記理論差圧ＰＢを補正した補正差圧ＰＦを定め、前記測定対象容器における前記測定差圧ＰＡ又は前記理論差圧ＰＢと前記補正差圧ＰＦとを比較し、前記測定対象容器の洩れの有無を判定することを特徴とする。

上記構成によれば、例えば、差圧測定手段又は温度測定手段の測定ばらつきにより、洩れの無い基準測定対象容器において測定差圧と理論差圧とが一致しない場合でも、予め洩れの無い基準測定対象容器を用いて得られた測定差圧と理論差圧との関係に基づいて測定対象容器の測定差圧又は理論差圧を補正し、洩れによる差圧を求めることができるので、洩れ検査の精度がさらに向上する。

本発明の請求項４に係る洩れ検査装置は、前記測定対象容器及び前記基準容器が置かれた環境の環境温度を測定する第３温度測定手段が設けられ、前記判定手段が、前記第２温度測定手段で測定される測定温度と前記第３温度測定手段で測定される前記環境温度との温度差による前記理論差圧ＰＤとのずれ量を予め求めておき、測定時の前記環境温度に対するずれ量を用いて、前記補正差圧ＰＦを求めることを特徴とする
上記構成によれば、例えば、洩れの無い基準測定対象容器が高温で、基準測定対象容器の内部の気体の測定温度と環境温度との温度差が大きいことによって、基準測定対象容器の測定差圧と理論差圧とが一致しない場合があっても、予め基準測定対象容器において測定温度と環境温度との温度差を変えて測定差圧と理論差圧との関係を求めておき、測定対象容器における測定温度と環境温度との温度差を、測定差圧と理論差圧との関係に用いて測定差圧又は理論差圧を補正し、洩れによる差圧を求めることができるので、高温の測定対象容器を用いても、洩れ検査を精度良く行うことができる。

本発明の請求項５に係る洩れ検査方法は、気体供給源から測定対象容器及び基準容器に気体を供給し、前記測定対象容器の内部の気体と前記基準容器の内部の気体とを所定の平衡圧力Ｐ０の平衡状態とする工程と、前記基準容器における前記平衡状態から所定時間ｔ経過後の、気体の温度変化及び前記平衡圧力Ｐ０に基づいて定められる気体の圧力である理論圧力Ｐ１を求める工程と、前記測定対象容器における前記平衡状態から所定時間ｔ経過後の、気体の温度変化及び前記平衡圧力Ｐ０に基づいて定められる気体の圧力である理論圧力Ｐ２を求める工程と、前記理論圧力Ｐ１と前記理論圧力Ｐ２との差である理論差圧ＰＢを求めるとともに、前記差圧ＰＡと前記理論差圧ＰＢとを比較して、前記測定対象容器の洩れの有無を判定する工程と、を有することを特徴とする。

上記方法によれば、測定対象容器及び基準容器の内部の気体の温度変化と、平衡圧力Ｐ０とに基づいて、測定対象容器の内部の気体と基準容器の内部の気体の理論差圧が求められる。

理論差圧は、測定対象容器及び基準容器の内部の気体の温度変化による差圧であり、測定差圧と理論差圧との差が、測定対象容器の洩れによる差圧となる。

従って、洩れ検査時の測定対象容器の内部の気体の温度が基準容器の内部の気体の温度と異なっていても、理論差圧を求めることにより測定対象容器の洩れによる差圧が得られるので、洩れの有無を正確に判定でき、洩れ検査を精度良く行うことができる。

本発明の請求項６に係る洩れ検査方法は、洩れの無い基準測定対象容器を用いて得られた差圧ＰＣと理論差圧ＰＤとの関係に基づいて、前記測定対象容器における前記測定差圧ＰＡ又は理論差圧ＰＢを補正した補正差圧ＰＦを求める工程と、前記測定対象容器における前記測定差圧ＰＡ又は前記理論差圧ＰＢと前記補正差圧ＰＦとを比較して、前記測定対象容器の洩れの有無を判定する工程と、を有することを特徴とする。

上記方法によれば、例えば、差圧測定手段又は温度測定手段の測定ばらつきにより、洩れの無い基準測定対象容器において測定差圧と理論差圧とが一致しない場合でも、予め洩れの無い基準測定対象容器を用いて得られた測定差圧と理論差圧との関係に基づいて測定対象容器の測定差圧又は理論差圧を補正し、洩れによる差圧を求めることができるので、洩れ検査の精度がさらに向上する。

本発明の請求項７に係る洩れ検査方法は、前記測定対象容器及び前記基準容器が置かれた環境の環境温度を測定する工程と、前記測定対象容器における測定温度と前記環境温度との温度差による前記理論差圧ＰＤとのずれ量を予め求めておき、測定時の前記環境温度に対するずれ量を用いて、前記補正差圧ＰＦを求める工程と、を有することを特徴とする。

上記方法によれば、例えば、洩れの無い基準測定対象容器が高温で、基準測定対象容器の内部の気体の測定温度と環境温度との温度差が大きいことにより、基準測定対象容器の測定差圧と理論差圧とが一致しない場合があっても、予め基準測定対象容器において測定温度と環境温度との温度差を変えて測定差圧と理論差圧との関係を求めておき、測定対象容器における測定温度と環境温度との温度差を、測定差圧と理論差圧との関係に用いて測定差圧又は理論差圧を補正し、洩れによる差圧を求めることができるので、高温の測定対象容器を用いても、洩れ検査を精度良く行うことができる。

本発明は上記構成としたので、洩れ検査時の測定対象容器と基準容器との差圧の温度補正ができ、洩れ検査の精度を上げることができる。

本発明の洩れ検査装置及び洩れ検査方法の第１実施形態を図面に基づき説明する。第１実施形態では、平衡状態での圧力と測定温度をボイル−シャルルの法則の式に代入して理論差圧を求め、理論差圧と測定差圧を比較して洩れの有無を判定する洩れ検査装置及び洩れ検査方法について説明する。

図１には、本発明の洩れ検査装置が示されている。

洩れ検査装置１０には、一定の所定圧Ｐ０で空気を供給可能な空気ボンベ１２が設けられており、所定圧Ｐ０の値は、図示されない圧力測定手段により測定され電圧として出力可能に設けられている。

また、洩れ検査装置１０は、差圧圧力ゲージ、温度表示パネル、洩れ検査の開始、終了を行うボタンが設けられたコントロールパネル、電源スイッチ、及び洩れの有無の判定を表示する表示パネル５６が配置されたコントロールボックス１１と接続されている。

空気ボンベ１２の上部には、パイプ接続部１２Ａが設けられており、パイプ接続部１２Ａには、ステンレス製の第１パイプ１４が接続されている。第１パイプ１４の途中には、制御回路からの信号によりバルブの開閉を自動で行う電磁式の第１電磁バルブ１６が設けられている。

第１パイプ１４の端部には、空気の流路を分岐させる三方継手１８が接続されており、三方継手１８における第１パイプ１４と反対側の継手には、ステンレス製の第２パイプ２０が接続されている。また、三方継手１８におけるもう一方の継手には、ステンレス製の第３パイプ２２が接続されている。

第３パイプ２２の途中には、制御回路からの信号によりバルブの開閉を自動で行う電磁式の第２電磁バルブ２４が設けられている。

第２パイプ２０における三方継手１８と反対側の端部には、三方継手２６が接続されている。

三方継手２６における、第２パイプ２０と異なる２箇所の継手の一方には、ステンレス製の第４パイプ２８が接続され、他方には、同様に、ステンレス製の第５パイプ３２が接続されている。

第４パイプ２８の途中には、制御回路からの信号によりバルブの開閉を自動で行う電磁式の第３電磁バルブ３０が設けられており、第４パイプ２８の一方の端部には、三方継手３６が接続されている。

三方継手３６における、第４パイプ２８と異なる２箇所の継手の一方は、洩れ検査装置１０の外部に配置されるパイプが接続される第１接続部３８に接続されている。

三方継手３６における、第４パイプ２８及び第１接続部３８と異なる側の継手には、ステンレス製の第６パイプ４０が接続されている。

一方、第５パイプ３２の途中には、制御回路からの信号によりバルブの開閉を自動で行う電磁式の第４電磁バルブ３４が設けられており、第５パイプ３２の一方の端部には、三方継手４４が接続されている。

三方継手４４における、第５パイプ３２と異なる２箇所の継手の一方は、洩れ検査装置１０の外部に配置されるパイプが接続される第２接続部４６に接続されている。

三方継手４４における、第５パイプ３２及び第２接続部４６と異なる側の継手には、ステンレス製の第７パイプ４８が接続されている。

ここで、洩れ検査装置１０の近傍には、洩れ検査に用いられるマスタ容器８０が配置されている。

マスタ容器８０は、アルミ等の金属製の受台８２上に載置され、受台８２に設けられた一対の移動防止板８２Ａにより固定されている。マスタ容器８０は一方の側面に開口部８０Ａを有しており、開口部８０Ａには、第１キャップ８４が嵌め込まれている。これによりマスタ容器８０が密閉されている。

第１キャップ８４には、中空円筒状に突出した第１継手８６及び第２継手８８が設けられている。第１継手８６には、空気ボンベ１２からの空気をマスタ容器８０内に流入させる硬質ナイロンチューブからなる第８パイプ５２の一端が挿通され、接着剤及び洩れ防止剤の塗布により空気の洩れがないように固定されている。

第８パイプ５２の他端は、第２接続部４６に接続されており、第１電磁バルブ１６及び第４電磁バルブ３４の開放により、空気ボンベ１２内の空気が、マスタ容器８０内に流入するようになっている。

第２継手８８には、マスタ容器８０の内部の温度を測定する第１温度計９０が挿通され、第１温度計９０の先端は、マスタ容器８０の長手方向の中央部に位置している。第１温度計９０として、変形しにくく、応答速度が速く、且つ直径の小さい細管形測温抵抗体が用いられており、マスタ容器８０内部で計測された温度は、電圧として出力されるようになっている。

第１温度計９０の他端は、第１温度計９０の出力電圧を伝達する第１ケーブル９２の一端に接続されている。

一方、マスタ容器８０の上方には、図示しない回転駆動手段により回転駆動される駆動ローラ５８、及び駆動ローラ５８に張架された無端ベルト６０からなるベルトコンベア５４が設けられており、駆動ローラ５８の回転駆動により、無端ベルト６０が移動するようになっている。

無端ベルト６０の中空部には、アルミ等の金属製の支持台６２が設けられており、無端ベルト６０の撓みを防止している。

ベルトコンベア５４上には、アルミ等の金属製の受台６４が配置されており、受台６４の上には、洩れ検査の対象であるワーク容器６６が載置されている。

ワーク容器６６は、受台６４に設けられた一対の移動防止板６４Ａにより固定されており、ベルトコンベア５４の動作により、洩れ検査を行う位置まで搬送されるようになっている。

ワーク容器６６は一方の側面に開口部６６Ａを有しており、開口部６６Ａには、第２キャップ６８が嵌め込まれている。これによりワーク容器６６が密閉されている。ワーク容器６６の容積とマスタ容器８０の容積は等しくなっている。

ここで、第２キャップ６８は、図示されない自動アームにより開口部６６Ａに着脱可能に設けられており、洩れ検査を行うワーク容器６６のみに第２キャップ６８が装着されるようになっている。

なお、１つのワーク容器６６の洩れ検査が終了し、ワーク容器６６の内部の空気の排気動作が所定時間経過した後、第２キャップ６８は前述の自動アームにより開口部６６Ａより脱離され、次のワーク容器６７がベルトコンベア５４により、洩れ検査位置まで搬送されるようになっている。次のワーク容器６７の開口部６７Ａに第２キャップ６８が嵌め込まれ、次の洩れ検査が行われるようになっている。

第２キャップ６８には、中空円筒状に突出した第３継手７０及び第４継手７２が設けられている。第３継手７０には、空気ボンベ１２からの空気をワーク容器６６内に流入させる硬質ナイロンチューブからなる第９パイプ５０の一端が挿通され、接着剤及び洩れ防止剤の塗布により空気の洩れがないように固定されている。

第９パイプ５０の他端は、第１接続部３８に接続されており、第１電磁バルブ１６及び第３電磁バルブ３０の開放により、空気ボンベ１２内の空気が、ワーク容器６６内に流入するようになっている。

第４継手７２には、ワーク容器６６の内部の温度を測定する第２温度計７４が挿通され、第２温度計７４の先端は、ワーク容器６６の長手方向の中央部に位置している。第２温度計７４として、変形しにくく、応答速度が速く、且つ直径の小さい細管形測温抵抗体が用いられており、ワーク容器６６内部で計測された温度は、電圧として出力されるようになっている。

第２温度計７４の他端は、第２温度計７４の出力電圧を伝達する第２ケーブル７６の一端に接続されている。

第６パイプ４０の端部及び第７パイプ４８の一端は、第６パイプの内部の空気の圧力と、第７パイプ４８の内部の空気の圧力との差圧を測定する差圧測定部４２に接続されている。

差圧測定部４２に隣接する位置には、洩れ検査の判定を行う判定ユニット７８が設けられており、差圧測定部４２と判定ユニット７８とは、差圧測定部４２で測定された差圧データを判定ユニット７８へ送信するための送信ケーブル９６により接続されている。

ここで、第１パイプ１４、第１電磁バルブ１６、三方継手１８、第２パイプ２０、第３パイプ２２、第２電磁バルブ２４、三方継手２６、第４パイプ２８、第３電磁バルブ３０、第５パイプ３２、第４電磁バルブ３４、三方継手３６、第１接続部３８、三方継手４４、第２接続部４６、第７パイプ４８、第９パイプ５０、及び第８パイプ５２によって、気体供給手段としての空気供給ユニットが形成されている。

また、パイプ接続部１２Ａ内部の図示されない圧力センサには、空気ボンベ１２が排出する空気の圧力を電圧出力として判定ユニット７８に伝達するためのセンサケーブル９４の一端が接続されており、センサケーブル９４の他端は判定ユニット７８に接続されている。

判定ユニット７８は、第１電磁バルブ１６、第２電磁バルブ２４、第３電磁バルブ３０、第４電磁バルブ３４の開閉を所定のプログラムにより制御する図示しない制御回路を有するとともに、空気ボンベ１２から放出される空気の所定の圧力のデータ保存、マスタ容器８０内部の空気の温度測定とデータ保存、ワーク容器６６内部の空気の温度測定とデータ保存、及び測定時間の計測を行うとともに、各測定データを元に後述の演算処理を行って差圧の判定が行なわれるようになっている。

次に、本発明の第１実施形態の作用について説明する。

図２は洩れ検査装置１０（図１参照）の構成を模式化したものであり、図３は第１電磁バルブ１６、第２電磁バルブ２４、第３電磁バルブ３０、第４電磁バルブ３４の開閉状態を示したものである。

図２及び図３において、予め、判定ユニット７８には良品、不良品を識別するための圧力差の規格値及び洩れ検査時の各データの測定時間が設定されている。

まず、図３ａに示すように、第１電磁バルブ１６、第３電磁バルブ３０、第４電磁バルブ３４が開放され、第２電磁バルブ２４が閉止される。

次に、空気ボンベ１２の図示されないコックが開かれ、所定の空気圧Ｐ０の空気が矢印Ａ、矢印Ｂ、矢印Ｃの方向に流入し、ワーク容器６６及びマスタ容器８０の内部に空気圧Ｐ０の空気が供給される。

次に、図３ｂに示すように、第１電磁バルブ１６が閉止され、ワーク容器６６及びマスタ容器８０の内部の圧力の変動が収まるのを待つため、数秒間待機状態となる。

このとき、ワーク容器６６及びマスタ容器８０の内部は連通しており、矢印Ｄで示したように平衡状態となる。この平衡状態でのワーク容器６６及びマスタ容器８０の内部の空気の圧力（平衡圧力）は、図示しない圧力計等の圧力測定手段により測定可能とされているが、ワーク容器６６及びマスタ容器８０の大きさ、空気を供給する時間、各バルブを閉じる時間、等の各測定条件の組合せによっては、平衡圧力が空気ボンベ１２から供給される空気の圧力Ｐ０とほぼ等しいとすることができる。ここでは、平衡圧力がＰ０であるとする。平衡圧力Ｐ０のデータは、判定ユニット７８に保存される。

次に、図３ｃに示すように、第３電磁バルブ３０及び第４電磁バルブ３４が閉止され、数秒間待機状態となる。矢印Ｅ及び矢印Ｆで示したように、ワーク容器６６及びマスタ容器８０の内部の空気は遮断され、ワーク容器６６の内部の空気の圧力及び温度と、マスタ容器８０の内部の空気の圧力及び温度は、それぞれ独立して変化することになる。

次に、第１洩れ検査として、ワーク容器６６及びマスタ容器８０の内部の空気が遮断されてから数秒間待機後の差圧が測定され、判定ユニット７８において、測定差圧が所定の規格内にあるかどうかが判定される。

測定差圧が所定の規格内のときは、後述の第２洩れ検査を開始し、測定差圧が所定の規格外にあるときは、判定ユニット７８に接続された洩れ検査の判定を表示する表示パネル５６（図１参照）に「洩れ有り」の判定結果が表示され、洩れ検査を終了する。

第１洩れ検査は、例えば、空気供給後にワーク容器６６に穴が開き、測定差圧
が大となったものを洩れ検査の初期段階で除くことにより、無駄な検査時間を省き、洩れ検査を効率良く行うために実施される。

次に、第１洩れ検査において測定差圧が所定の規格内にあったワーク容器６６に対して、第２洩れ検査が開始される。

ここで、第１電磁バルブ１６が開放されてから、第２洩れ検査の開始までの工程の経過時間ｔ１が、時間データとして判定ユニット７８に保存される。

次に、第２洩れ検査として、前述の平衡圧力Ｐ０の状態においてワーク容器６６及びマスタ容器８０の温度測定が開始され、温度測定開始時のマスタ容器８０の内部の空気の温度Ｔ１が第１温度計９０により測定されて、ワーク容器６６内部の空気の温度Ｔ２が第２温度計７４により測定され、測定温度データＴ１、Ｔ２が判定ユニット７８内部に保存される。

次に、ワーク容器６６からの空気の洩れの有無を正確に判断するため、所定時間待機状態となる。ここで、所定時間は、事前に実験データを収集し、ワーク容器６６の種類毎に定められたものであり、本実施形態においては、数十秒間待機状態としている。

ここで、第１電磁バルブ１６が開放されてから、数十秒間待機終了時までの経過時間ｔ２が、時間データとして判定ユニット７８に保存される。経過時間ｔ２が測定終了時である。

次に、測定終了時のマスタ容器８０の内部の空気の温度Ｔ３が第１温度計９０により測定され、ワーク容器６６内部の空気の温度Ｔ４が第２温度計７４により測定されて、測定温度データＴ３、Ｔ４が判定ユニット７８内部に保存される。

また、差圧測定部４２により、測定終了時におけるワーク容器６６内部の空気の圧力とマスタ容器８０の内部の空気の圧力との測定差圧ＰＡが測定され、測定差圧ＰＡのデータが判定ユニット７８内部に保存される。

次に、判定ユニット７８において、前述のデータＰ０、Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４を用いて、以下の演算方法により理論差圧ＰＢが求められる。

ここで、理論差圧ＰＢの演算について説明する。

ワーク容器６６及びマスタ容器８０の内部の空気の温度、圧力は変化をし、また、ワーク容器６６及びマスタ容器８０の内部の容積は、測定時間によらず一定であるので、容積一定の状態でのボイル−シャルルの法則が適用できる。

マスタ容器８０において、測定開始時の内部の空気の圧力はＰ０、測定温度はＴ１であり、測定終了時の内部の空気の測定温度はＴ３である。ここで、測定終了時のマスタ容器８０の内部の空気の圧力をＰ１とおくと、ボイル−シャルルの等容積変化の関係式によりＰ１＝Ｐ０×（Ｔ３／Ｔ１）となる。

一方、ワーク容器６６において、測定開始時の内部の空気の圧力はＰ０、測定温度はＴ２であり、測定終了時の内部の空気の測定温度はＴ４である。ここで、測定終了時のワーク容器６６の内部の空気の圧力をＰ２とおくと、ボイル−シャルルの等容積変化の関係式によりＰ２＝Ｐ０×（Ｔ４／Ｔ２）となる。

理論差圧ＰＢは、Ｐ１とＰ２との差で定義される。本実施形態においては、測定差圧ＰＢ＝Ｐ１−Ｐ２で定義するが、ＰＢ＝Ｐ２−Ｐ１で定義してもよい。

いま、ＰＢ＝Ｐ１−Ｐ２であるので、ＰＢ＝Ｐ０×（Ｔ３／Ｔ１−Ｔ４／Ｔ２）となる。

このようにして、所定の空気圧Ｐ０と、マスタ容器８０の内部の空気の測定温度Ｔ１、Ｔ３、及びワーク容器６６の内部の空気の測定温度Ｔ２、Ｔ４を用いて理論差圧ＰＢが得られる。

理論差圧ＰＢは、ワーク容器６６及びマスタ容器８０の内部の空気の温度変化により生じる差圧であり、ワーク容器６６における空気の洩れによる差圧ではない。

よって、本実施形態では、ワーク容器６６の空気の洩れを判定する場合に、測定差圧ＰＡから理論差圧ＰＢを差し引いたＰＡ−ＰＢについて、所定の規格内にあるかどうかを判定することにより、ワーク容器６６の洩れの有無を判定する。

図４は、横軸を時間、縦軸を圧力とし、時間経過による測定差圧ＰＡの変化を示す測定差圧曲線ＰＭと、時間経過による理論差圧ＰＢの変化を示す理論差圧曲線ＰＴをグラフ化したものである。

図４のグラフにおいて、時間ｔ１では、ワーク容器６６及びマスタ容器８０の内部の空気の圧力は平衡状態で等しくＰ０となっているので、差圧は０となる。

時間ｔ２では、測定差圧がＰＡで、理論差圧がＰＢとなっており、ＰＡ−ＰＢが、ワーク容器６６の洩れにより生じた差圧である。

ここで、ＰＡ−ＰＢが所定の規格以内（予め定めた所定の閾値以内）の場合は、表示パネル５６に「洩れ無し」の判定が表示され、規格外（予め定めた所定の閾値を越えた値）の場合は、「洩れ有り」の判定が表示されて、第２洩れ検査が終了する。

次に、図３ｄに示すように、ワーク容器６６の第２洩れ検査が終了した後、第２電磁バルブ２４、第３電磁バルブ３０、第４電磁バルブ３４が開放され、矢印Ｈから矢印Ｇ、及び矢印Ｊから矢印Ｇの方向に空気が流出し、ワーク容器６６及びマスタ容器８０の内部の空気が排気される。

以上の工程によりワーク容器６６の洩れ検査が全て終了する。

以上説明したように、本発明の第１実施形態においては、ワーク容器６６の内部の空気の温度がマスタ容器８０の内部の空気の温度と異なっていても、ワーク容器６６及びマスタ容器８０の内部の空気の測定温度の変化から理論差圧を求めて、測定差圧と比較することにより、ワーク容器６６における空気の洩れによる差圧が明確となるので、ワーク容器６６及びマスタ容器８０の内部の空気の温度に関わらず、洩れの有無を正確に判定でき、洩れ検査を精度良く行うことができる。

また、ワーク容器６６の内部の空気の温度が、マスタ容器８０の内部の空気の温度と同一となるまで待つ必要がないので、洩れ検査の時間を短くすることができる。

さらに、第１洩れ検査、第２洩れ検査と分けることにより、洩れ検査を効率良く行える。

次に、本発明の洩れ検査装置及び洩れ検査方法の第２実施形態を図面に基づき説明する。なお、前述した第１実施形態と基本的に同一の部品には、前記第１実施形態と同一の符号を付与してその説明を省略する。

第２実施形態では、複数の温度測定部により測定されるデータから代表温度を求める方法について説明する。

図５には、ワーク容器６６（図１参照）に温度計を複数箇所配置した状態の断面図が示されている。

ワーク容器６６の内部空間内の上部中央の位置には、第１温度計１００が設けられており、第１温度計１００の図示しない温度センサ部は、ワーク容器６６の奥行き方向（図５の右方向）における中央部分に位置するように配置されている。

ワーク容器６６の内部空間内の中央部の位置には、第２温度計１０２が設けられており、第２温度計１０２の図示しない温度センサ部は、ワーク容器６６の奥行き方向（図５の右方向）における中央部分に位置するように配置されている。

ワーク容器６６の内部空間内の中央部の位置には、第３温度計１０４が設けられており、第３温度計１０４の図示しない温度センサ部は、ワーク容器６６の奥行き方向（図５の右方向）における最深部（右側の内壁近傍）に位置するように配置されている。

ワーク容器６６の内部空間内の中央部の位置には、第４温度計１０６が設けられており、第４温度計１０６の図示しない温度センサ部は、ワーク容器６６の奥行き方向（図５の右方向）の長さの略１／４の位置となるように配置されている。

ワーク容器６６の内部空間内の下部中央の位置には、第５温度計１０８が設けられており、第５温度計１０８の図示しない温度センサ部は、ワーク容器６６の奥行き方向（図５の右方向）における中央部に位置するように配置されている。

ワーク容器６６の内部空間内の中央部右端近傍の位置には、第６温度計１１０が設けられており、第６温度計１１０の図示しない温度センサ部は、ワーク容器６６の奥行き方向（図５の右方向）における中央部に位置するように配置されている。

このように、ワーク容器６６の内部空間において、第１温度計１００〜第６温度計１１０が所定の距離離間して上下方向、又は左右方向に配置されており、奥行き方向においても、所定の長さの位置となるように配置されている。

判定ユニット７８（図１参照）は、第１温度計１００の測定温度Ａ、第２温度計１０２の測定温度Ｂ、第３温度計１０４の測定温度Ｃ、第４温度計１０６の測定温度Ｄ、第５温度計１０８の測定温度Ｅ、及び第６温度計１１０の測定温度Ｆのデータを元にし、ワーク容器６６の代表温度ＴＷを求めるようになっている。

本実施形態においては、代表温度ＴＷは、測定温度Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅ、Ｆを平均して求めるようになっている。

なお、図示しないマスタ容器８０についても、同様に６箇所の温度測定が行われるようになっており、マスタ容器８０の代表温度ＴＭも、ワーク容器６６と同様の方法で求められるようになっている。

次に、本発明の第２実施形態の作用について説明する。

ワーク容器６６の内部の空気の温度の測定時に、判定ユニット７８（図１参照）において、第１温度計１００〜第６温度計１１０により測定された温度データが平均され、ワーク容器６６の代表温度ＴＷが求められる。

一方、マスタ容器８０においても、同様の方法で代表温度ＴＭが求められる。

以上説明したように、本発明の第２実施形態においては、ワーク容器６６の内部及びマスタ容器８０の内部において、左右方向、上下方向に所定の距離離間し、さらに奥行き方向の位置を変えて配置された第１温度計１００〜第６温度計１１０により温度測定を行い、得られた複数の測定温度を平均することによって、より正確な測定温度である代表温度を得ることができる。

従って、ワーク容器６６の内部又は基準容器８０の内部の空気の温度の測定精度が上がるので、理論差圧の精度が向上し、洩れ検査の精度も向上する。

次に、本発明の洩れ検査装置及び洩れ検査方法の第３実施形態を図面に基づき説明する。なお、前述した第１実施形態と基本的に同一の部品には、前記第１実施形態と同一の符号を付与してその説明を省略する。

第１実施形態において、ワーク容器６６の洩れが無くても理論差圧からずれた差圧となる場合があり、このずれ量は、ワーク容器６６の内部の空気の温度と外部の環境温度との温度差により異なることが判った。

そこで、第３実施形態では、理論差圧を測定対象容器の内部の空気の温度と外部の環境温度との温度差に応じて補正することとした。

図６に示すように、基準ワーク容器６７の近傍には、環境温度を測定する第３温度計１１６が設けられており、第３温度計１１６と、ワーク容器６６の洩れ判定を行う判定ユニット１１４が、ケーブル１１８で接続されている。第３温度計１１６の測定温度は、電圧値として判定ユニット１１４に入力されるようになっている。

基準ワーク容器６７は、予めワーク容器６６とマスタ容器８０の内部の空気の温度をほぼ等しい状態にして、第１実施形態で説明した方法を用いて洩れが無いと判定されたワーク容器６６を用いるが、マスタ容器８０を用いてもよい。

また、基準ワーク容器６７の他の選定方法としては、ワーク容器６６の内部に所定圧力の空気を供給して加圧し、水没させて目視で気泡確認をして、気泡が確認されなかったものを基準ワーク容器６７とする方法を用いてもよく、また、ワーク容器６６の内部に所定圧力のヘリウムを供給して加圧し、ヘリウムの洩れを検知するヘリウムリークディテクタで確認する方法を用いてもよい。

判定ユニット１１４において、洩れのない基準ワーク容器６７の内部の空気の圧力とマスタ容器８０の内部の空気の圧力との差である測定差圧ＰＣ、及びボイル−シャルルの法則を用いて求められる理論差圧ＰＤ、洩れ検査を行う基準ワーク容器６７とマスタ容器８０との測定差圧ＰＡ、ボイル−シャルルの法則を用いて求められる理論差圧ＰＢのデータ以外に、さらに後述の方法により補正差圧ＰＦが求められ、データ保存されるようになっている。

ここで、補正差圧ＰＦについて説明する。

ワーク容器６６の洩れ検査時におけるワーク容器６６の容器の温度は、ワーク容器６６の製造方法によって異なり、例えば、鋳型を用いて製造された後に、洩れ検査工程にワーク容器６６が搬送され、洩れ検査を行うような場合には、ワーク容器６６の温度が、前述の環境温度に対して高温の状態で行われる。ワーク容器６６の容器の温度は、環境温度に対して収束するように温度変化するので、ワーク容器６６の内部の空気も温度変化して低下する。

そこで、ワーク容器６６の内部の空気の温度が、環境温度に対して高温であるときに、ワーク容器６６及びマスタ容器８０の測定差圧及び理論差圧がどのように変化するかを確認した。

なお、ワーク容器６６の内部の空気の温度と環境温度との温度差の影響を確認するために、基準ワーク容器６７を用いて、洩れによる差圧を除いて確認した。

図７は、基準ワーク容器６７（図６参照）を、図示しないヒータ等の加熱手段により加熱し、基準ワーク容器６７の内部の空気の測定開始時の温度Ｔ２と環境温度Ｔ５との温度差ΔＴ＝Ｔ２−Ｔ５を、ΔＴ１、ΔＴ２、ΔＴ３と変化させたときの、測定差圧ＰＣと、ボイル−シャルルの法則を用いて求められる理論差圧ＰＤの変化を示したグラフであるが、測定差圧ＰＣと理論差圧ＰＤとが一致しない結果（ずれ）が得られた。

基準ワーク容器６７を用いて得られる測定差圧ＰＣ及び理論差圧ＰＤは、基準ワーク容器６７における空気の洩れが無いので、ＰＣ−ＰＤ＝０、つまり、ＰＣ＝ＰＤとなるはずであるが、実際には測定差圧ＰＣと理論差圧ＰＤとが異なり、ずれを生じる結果となった。

基準ワーク容器６７における測定差圧ＰＣと理論差圧ＰＤとの差は、第１温度計９０及び第２温度計７４のばらつきや、差圧測定部４２（図６参照）の内部の図示しない差圧センサのばらつき等により生じる測定系の誤差、または、ワーク容器６６自体が軟質で変形したり、ワーク容器６６をシールする治具やパッキン等がずれることによるワーク容器６６の容積変化によると考えられるが、この誤差は、測定結果によると、基準ワーク容器６７の内部の空気の温度と環境温度との温度差に依存することが判った。

本実施形態においては、基準ワーク容器６７の内部の空気の測定開始時の温度Ｔ１と環境温度Ｔ５との温度差ΔＴにおける測定差圧ＰＣと理論差圧ＰＤとの間に相関関係が認められるので、温度差ΔＴに対する、測定差圧と理論差圧の比の近似式を求め、この近似式を理論差圧の補正式αとする。

この補正式αを用いて理論差圧ＰＢを補正したものが、補正差圧ＰＦである。

次に、補正差圧ＰＦの求め方について説明する。

なお、以下において、基準ワーク容器６７を用いたときの測定差圧をＰＣ、理論差圧をＰＤとし、実際に洩れ検査を行うワーク容器６６を用いたときの測定差圧をＰＡ、理論差圧をＰＢとして区別して記載する。また、理論差圧ＰＤの演算方法は、実施形態１における理論差圧ＰＢの演算方法と同様であるので、演算式の導出の過程の説明を省略する。

なお、前記各実施形態と同様に基準ワーク容器６７を用いて、平衡状態での空気の平衡圧力Ｐ、測定開始時のマスタ容器８０の内部の空気の測定温度Ｔ１、基準ワーク容器６７の内部の空気の測定温度Ｔ２、環境温度Ｔ５、測定終了時の測定差圧ＰＣ、マスタ容器８０の内部の空気の測定温度Ｔ３、及び基準ワーク容器６７の内部の空気の測定温度Ｔ４のデータが得られるようになっている。

また、平衡圧力Ｐ、測定温度Ｔ１、Ｔ２、Ｔ３、Ｔ４を用いて、理論差圧ＰＤ＝Ｐ×（Ｔ３／Ｔ１−Ｔ４／Ｔ２）が求められるようになっている。

ここで、基準ワーク容器６７を加熱することにより、図７ａに示すように、測定開始時の基準ワーク容器６７の内部の空気の温度Ｔ２と環境温度Ｔ５の差である環境温度差ΔＴ＝Ｔ２−Ｔ５を、ΔＴ１、ΔＴ２、ΔＴ３と変化させて、測定差圧ＰＣ（ＰＣ１、ＰＣ２、ＰＣ３）と、理論差圧ＰＤ（ＰＤ１、ＰＤ２、ＰＤ３）のデータを得る。

図７ａは、環境温度差ΔＴがΔＴ１のときに、測定差圧ＰＣ／理論差圧ＰＤ＝α２／α１＝ＰＣ１／ＰＤ１であることを示している。なお、本実施形態では、ΔＴをΔＴ１〜ΔＴ３と３段階で変化させたデータを用いて説明しているが、ΔＴを４段階以上に変化させ、データ数を増やすことが好ましい。

次に、得られた測定差圧ＰＣ及び理論差圧ＰＤのデータに対して、それぞれ指数関数の近似式ａ×ｅｘｐ（ｂ×ΔＴ）を用いて、最小２乗法等の方法により、係数ａ、ｂを求める。

ここで、理論差圧ＰＤの曲線の近似式がα１＝ａ１×ｅｘｐ（ｂ１×ΔＴ）であり、測定差圧ＰＣの曲線の近似式がα２＝ａ２×ｅｘｐ（ｂ２×ΔＴ）であったとすると、測定差圧ＰＣと理論差圧ＰＤの比で表される補正式αは、α＝α２／α１＝（ａ２×ｅｘｐ（ｂ２×ΔＴ））／ａ１×ｅｘｐ（ｂ１×ΔＴ）＝（ａ２／ａ１）×ｅｘｐ（（ｂ２−ｂ１）×ΔＴ）となる。

この補正式αに測定温度差ΔＴを代入するだけで、上記αを求めることができ、補正差圧ＰＦを求めることができる。

図７ｂは、実際に洩れ検査を行うワーク容器６６における、環境温度差ΔＴを変化させたときの、理論差圧ＰＢ、補正差圧ＰＦ、測定差圧ＰＡを曲線で示したものである。

ワーク容器６６における環境温度差ΔＴ＝ΔＴ１のとき、理論差圧ＰＢはＰＦ１に補正される。

ここで、前述の補正式αのΔＴにΔＴ１を代入して得られた補正比率がβ１であったとすると、補正差圧はＰＦ１＝β１×ＰＢ１となる。

この補正差圧ＰＦ１と、測定差圧ＰＡ１との差ＰＡ１−ＰＦ１が、ワーク容器６６からの洩れによる差圧となる。

次に、本発明の第３実施形態の作用について説明する。

予め、基準ワーク容器６７及びマスタ容器８０を用いて各データを収集し、前述の方法で補正式αを作成して、判定ユニット１１４に記憶させておく。

次に、基準ワーク容器６７に代えて、洩れ検査を行うワーク容器６６を洩れ検査装置の第２キャップ６８に接続し、環境温度を測定する。このときの環境温度をＴ１１とする。

次に、第１実施形態と同様の手順により、ワーク容器６６における測定開始時の空気の圧力Ｐ０、マスタ容器８０の内部の空気の温度Ｔ７、ワーク容器６６の内部の空気の温度Ｔ８、測定終了時のマスタ容器８０の内部の空気の温度Ｔ９、ワーク容器６６の内部の空気の温度Ｔ１０、及びワーク容器６６とマスタ容器８０の内部の圧力の差圧ＰＡの各測定データを得る。

次に、Ｐ０、Ｔ７、Ｔ８、Ｔ９、Ｔ１０を用いて、理論差圧ＰＢ＝Ｐ０×（Ｔ９／Ｔ７−Ｔ１０／Ｔ８）を求める。

次に、環境温度差ΔＴ＝Ｔ８−Ｔ１１の値を、補正式αに代入し、補正比率βを求める。

次に、ＰＦ＝β×ＰＢにより、補正差圧ＰＦを求める。

次に、測定差圧ＰＡと補正差圧ＰＦとの差が所定の規格値に入っていれば、表示パネル５６に「洩れ無し」の表示をし、入っていなければ「洩れ有り」の表示をする。

以上説明したように、本発明の第３実施形態においては、差圧測定部４２、第１温度計９０、及び第２温度計７４のばらつき等によって、洩れの無い基準ワーク容器６７において測定差圧ＰＣと理論差圧ＰＤとが一致しない場合に、予め基準ワーク容器６７を用いて得られた測定差圧ＰＣと理論差圧ＰＤとの比である補正式αによって、ワーク容器６６の理論差圧ＰＢを補正し、洩れによる差圧の有無を判断できるので、洩れ検査の精度がさらに向上する。

また、基準ワーク容器６７の温度が高温で、基準ワーク容器６７の内部の気体の測定温度と環境温度との温度差が大きくなることによって、基準ワーク容器６７の測定差圧ＰＣと理論差圧ＰＢとが一致しない場合においても、予め基準ワーク容器６７において測定温度と環境温度との温度差ΔＴを変えて得られた、測定差圧ＰＣと理論差圧ＰＤとの比である補正式αに、ワーク容器６６における測定温度と環境温度との温度差ΔＴを用いて理論差圧ＰＢを補正し、洩れによる差圧の有無を判断できるので、高温のワーク容器６６を用いても、洩れ検査を精度良く行うことができる。

なお、本発明は上記の各実施形態に限定されない。

洩れ検査に用いる気体は、空気以外にも、例えば、アルゴン、ヘリウム等の不活性ガスを用いてもよい。また、ワーク容器６６、基準ワーク容器６７及びマスタ容器８０の形状は、内部の温度及び圧力が測定できるものであれば、直方体形状以外に、円筒形状や扁平形状であってもよく、また、複雑な形状をしたものであっても適用できる。

マスタ容器８０は、ワーク容器６６と同一形状でなくともよく、ワーク容器６６と同じ容積となるように容積を変更可能な、可変式のシリンダー等の容器を用いてもよい。

また、空気ボンベ１２の代わりに、コンプレッサ等の空気供給手段を用いてもよい。電磁バルブ（１６、２４、３０、３４）は、必要に応じて手動で操作できるようにしてもよい。

差圧測定部４２とワーク容器６６、基準ワーク容器６７、及びマスタ容器８０との接続は、第６パイプ４０の一端及び第７パイプ４８の一端に接続する以外に、ワーク容器６６の内部とマスタ容器８０の内部とを直接通気可能とするパイプを設け、このパイプの途中に接続する構造としてもよい。

第１温度計９０及び第２温度計７４の数は、単数、複数を問わず、設置位置についても特に制限はない。これらの温度計は、ワーク容器６６の内壁に接しない位置が好ましい。さらに、熱電対等の他の温度計測手段を用いても良い。

さらに、受台６４、８２、及び無端ベルト６０を冷却するためのファン等の冷却手段を設けてもよい。

また、理論差圧ＰＢを補正せずに、測定差圧ＰＡを補正した補正差圧ＰＦを求め、理論差圧ＰＢと補正差圧ＰＦとを用いて、洩れによる差圧の有無を判断してもよい。

本発明の第１実施形態に係る洩れ検査装置の斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る洩れ検査装置の模式図である。 本発明の第１実施形態に係る洩れ検査装置のバルブの開閉手順を示す模式図である。 本発明の第１実施形態に係る洩れ検査装置による測定差圧と理論差圧を比較したグラフである。 本発明の第２実施形態に係る洩れ検査装置の温度測定手段を示したものである。 本発明の第３実施形態に係る洩れ検査装置の模式図である。 （ａ）は基準ワーク容器の内部の空気の温度と環境温度との温度差を変化させたときの測定差圧ＰＣ及び理論差圧ＰＤのグラフである。（ｂ）はワーク容器の内部の空気の温度と環境温度との温度差を変化させたときの測定差圧ＰＡ、理論差圧ＰＢ、及び補正差圧ＰＦのグラフである。

符号の説明

１０ 洩れ検査装置
１２ 空気ボンベ（空気供給源）
１４ 第１パイプ（共通配管）
１６ 第１電磁バルブ（第３開閉弁）
２０ 第２パイプ（共通配管）
２８ 第４パイプ（第１配管）
３０ 第３電磁バルブ３０（第１開閉弁）
３２ 第５パイプ（第２配管）
３４ 第４電磁バルブ（第２開閉弁）
４０ 第６パイプ（バイパス配管）
４２ 差圧測定部（差圧測定手段）
４８ 第７パイプ（バイパス配管）
５０ 第９パイプ（第１配管）
５２ 第８パイプ（第２配管）
６６ ワーク容器（測定対象容器）
６７ 基準ワーク容器（基準測定対象容器）
７４ 第２温度計（第２温度測定手段）
７８ 判定ユニット（判定手段）
８０ マスタ容器（基準容器）
９０ 第１温度計（第１温度測定手段）
１００ 第１温度計（温度測定部）
１０２ 第２温度計（温度測定部）
１０４ 第３温度計（温度測定部）
１０６ 第４温度計（温度測定部）
１０８ 第５温度計（温度測定部）
１１０ 第６温度計（温度測定部）
１１６ 第３温度計（第３温度測定手段）

Claims (7)

1. 気体供給源から測定対象容器及び基準容器に気体を供給し、前記測定対象容器の内部の気体と前記基準容器の内部の気体とを所定の平衡圧力Ｐ０の平衡状態とするとともに、前記測定対象容器及び前記基準容器における気体の流入及び流出を遮断する気体供給手段と、
   前記測定対象容器の内部の気体の圧力と前記基準容器の内部の気体の圧力との測定差圧ＰＡを求める差圧測定手段と、
   前記基準容器の内部の気体の温度を測定する第１温度測定手段と、
   前記測定対象容器の内部の気体の温度を測定する第２温度測定手段と、
   前記基準容器における前記平衡状態から所定時間ｔ経過後の、気体の温度変化及び前記平衡圧力Ｐ０に基づいて定められる気体の圧力を理論圧力Ｐ１とし、
   前記測定対象容器における前記平衡状態から所定時間ｔ経過後の、気体の温度変化及び前記平衡圧力Ｐ０に基づいて定められる気体の圧力を理論圧力Ｐ２として、前記理論圧力Ｐ１と前記理論圧力Ｐ２との差である理論差圧ＰＢと前記測定差圧ＰＡとを比較して、前記測定対象容器の洩れの有無を判定する判定手段と、
   を備えたことを特徴とする洩れ検査装置。
2. 前記第１温度測定手段及び前記第２温度測定手段が、前記測定対象容器及び前記基準容器の内部において所定の距離離間して配置される複数の温度測定部を有することを特徴とする請求項１に記載の洩れ検査装置。
3. 前記判定手段が、洩れの無い基準測定対象容器を用いて得られた測定差圧ＰＣと理論差圧ＰＤとの関係に基づいて、前記測定対象容器における前記測定差圧ＰＡ又は前記理論差圧ＰＢを補正した補正差圧ＰＦを定め、前記測定対象容器における前記測定差圧ＰＡ又は前記理論差圧ＰＢと前記補正差圧ＰＦとを比較し、前記測定対象容器の洩れの有無を判定することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の洩れ検査装置。
4. 前記測定対象容器及び前記基準容器が置かれた環境の環境温度を測定する第３温度測定手段が設けられ、
   前記判定手段が、前記第２温度測定手段で測定される測定温度と前記第３温度測定手段で測定される前記環境温度との温度差による前記理論差圧ＰＤとのずれ量を予め求めておき、測定時の前記環境温度に対するずれ量を用いて、前記補正差圧ＰＦを求めることを特徴とする請求項３に記載の洩れ検査装置。
5. 気体供給源から測定対象容器及び基準容器に気体を供給し、前記測定対象容器の内部の気体と前記基準容器の内部の気体とを所定の平衡圧力Ｐ０の平衡状態とする工程と、
   前記基準容器における前記平衡状態から所定時間ｔ経過後の、気体の温度変化及び前記平衡圧力Ｐ０に基づいて定められる気体の圧力である理論圧力Ｐ１を求める工程と、
   前記測定対象容器における前記平衡状態から所定時間ｔ経過後の、気体の温度変化及び前記平衡圧力Ｐ０に基づいて定められる気体の圧力である理論圧力Ｐ２を求める工程と、
   前記理論圧力Ｐ１と前記理論圧力Ｐ２との差である理論差圧ＰＢを求めるとともに、前記差圧ＰＡと前記理論差圧ＰＢとを比較して、前記測定対象容器の洩れの有無を判定する工程と、
   を有することを特徴とする洩れ検査方法。
6. 洩れの無い基準測定対象容器を用いて得られた差圧ＰＣと理論差圧ＰＤとの関係に基づいて、前記測定対象容器における前記測定差圧ＰＡ又は理論差圧ＰＢを補正した補正差圧ＰＦを求める工程と、
   前記測定対象容器における前記測定差圧ＰＡ又は前記理論差圧ＰＢと前記補正差圧ＰＦとを比較して、前記測定対象容器の洩れの有無を判定する工程と、
   を有することを特徴とする請求項５に記載の洩れ検査方法。
7. 前記測定対象容器及び前記基準容器が置かれた環境の環境温度を測定する工程と、
   前記測定対象容器における測定温度と前記環境温度との温度差による前記理論差圧ＰＤとのずれ量を予め求めておき、測定時の前記環境温度に対するずれ量を用いて、前記補正差圧ＰＦを求める工程と、
   を有することを特徴とする請求項６に記載の洩れ検査方法。
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   
   

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