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JP2007018584A - 半導体記憶装置 - Google Patents

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JP2007018584A
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Norihiko Sumiya
範彦 角谷
Kazuki Tsujimura
和樹 辻村
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

【課題】
低電圧化や温度変化などの影響によって、半導体記憶装置のトランジスタの性能がばらついても、安定した動作ができるようにする。
【解決手段】
記憶した情報に応じて、ダミーリード線DRDの負荷容量を変化させるリセットダミーセル121…が設けられ、リセットダミーセル121…に対し、温度条件、電圧条件などの使用環境に応じて記憶情報が設定される。そして、前記ダミーリード線DRDにプリチャージされた電荷がディスチャージされることによる前記ダミーリード線DRDの電圧変化に応じて、メモリセル111…の読み出しタイミング等が制御される。
【選択図】 図1

Description

本発明は、ビット線を所定電位にプリチャージして、データを読み出す半導体記憶装置に関するものである。
半導体記憶装置では、メモリセルアレイがシリコン基板上に形成される場合の製造ばらつきや、温度条件、電圧条件などの使用環境の変動の影響によって、センスアンプが起動されるタイミングが変動し、安定して読み出し動作ができない場合がある。このような影響を補正し、安定して読み出し動作ができるように構成された半導体記憶装置としては、例えば、図11に示すように、実際のメモリセル(レプリカメモリセル)を使って、ビット線上で電位差の現れるタイミングを求め、求めたタイミングに基づいて、センスアンプを起動するように構成された半導体記憶装置500がある(例えば、特許文献1を参照。)。
半導体記憶装置500は、メモリセルアレイ510、プリデコーダ520、ワード線ドライバ530、センスアンプ540、レプリカ列550、アドレス論理回路560、および列I/O論理回路570を備えて構成されている。
メモリセルアレイ510は、マトリックス状に配列された複数のメモリセル511を備えて構成されている。また、列方向に配置された複数のメモリセル511は、一対のビット線を介して、その列に対応したセンスアンプ540に接続されている。
プリデコーダ520は、アドレス信号の一部をデコードした結果をワード線ドライバ530に出力するようになっている。
ワード線ドライバ530は、プリデコーダ520よるアドレスデコード結果に応じて選択されたワード線を活性化させるようになっている。
センスアンプ540は、列I/O論理回路570が出力するイネーブル信号に応じて、前記一対のビット線の電圧差を検出するようになっている。
レプリカ列550は、複数のレプリカメモリセル551が列方向に配置されて構成され、メモリセルアレイ510の横に配置されている。
レプリカメモリセル551は、メモリセル511のレプリカであり、パストランジスタ551aのゲート端子がダミーワード線を介してアドレス論理回路560に接続されている。さらに、所定数のレプリカメモリセル551が接続された一対のダミービット線が列I/O論理回路570に接続されている。
列I/O論理回路570は、前記一対のダミービット線の電位差を検出し、検出結果をイネーブル信号としてセンスアンプ540に出力するようになっている。
上記の構成によれば、メモリセル511に記憶された情報が読み出される場合には、入力されたアドレスがアドレス論理回路560とワード線ドライバ530によってデコードされ、特定のメモリセル511が選択される。選択されたメモリセル511は、前記一対のビット線に電位差を発生させる。
また、アドレス論理回路560によって、所定数のレプリカメモリセル551のパストランジスタ551aのゲート端子が活性化される。これにより、列I/O論理回路570からイネーブル信号が出力される。レプリカメモリセル551は、メモリセル511のレプリカなので、前記ダミービット線に電位差が現れるタイミング、すなわちネーブル信号が出力されるタイミングは、メモリセル511のビット線に電位差が現れるタイミングとほぼ同じになる。イネーブル信号を受けたセンスアンプ540は、前記一対のビット線に発生した電位差を検出する。
このように、半導体記憶装置500では、レプリカ列550を用いてビット線上で電位差の現れるタイミングが求められるので、製造ばらつきや温度条件、電圧条件などの影響を補正することが可能になる。
特開2001−351385号公報(第6頁、第1図)
半導体集積回路において電力削減が求められた場合には、電力削減手法の1つとして、電源電圧を低くする方法がある。しかし、一般にトランジスタのドレインリークを抑制するために閾値電圧をあまり低くすることができない。そのため比較的閾値電圧が高いプロセスにて低電圧で半導体集積回路を動作させた場合は、トランジスタの性能のばらつきが非常に大きくなる。特に、半導体記憶装置のメモリセルのように、微小なサイズのトランジスタが使用されている場合には、そのばらつき幅はより大きくなる。
したがって、前記半導体記憶装置500のようなレプリカ列550を用いたタイミング生成機構では、閾値電圧付近の低電圧で動作させる場合には、例えばメモリセルのトランジスタ能力がレプリカメモリセルのトランジスタ能力よりも非常に低くなって、誤動作してしまうようなことも起こり得る。
誤動作を避けて低電圧で動作させるには、例えば遅延回路でタイミングを遅らせること等が考えられるが、これでは、冗長な回路構成となり、回路面積が増加してしまう。
本発明は、前記の問題に着目してなされたものであり、低電圧化や温度変化などの影響によって、半導体記憶装置のトランジスタの性能がばらついても、安定した動作ができるようにすることを目的としている。
前記の課題を解決するため、請求項1の発明は、
メモリセルがマトリクス状に配列されたメモリセルアレイと、
前記メモリセルアレイにおける行単位で前記メモリセルと接続され、前記メモリセルに読み出しのための読み出し制御信号を伝達するリードワード線と、
前記メモリセルアレイにおける列単位で前記メモリセルと接続され、メモリセルが出力した情報を伝達するリード線と、
与えられた情報を記憶する複数のダミーメモリセルが配列されたダミーセルアレイと、
前記複数のダミーメモリセルが共通に接続されたダミーリード線と、
前記ダミーリード線に電荷をプリチャージするダミーリード線プリチャージ回路と、
前記ダミーリード線プリチャージ回路によってプリチャージされた前記ダミーリード線の電荷をディスチャージするディスチャージ回路とを備え、
前記ダミーメモリセルは、記憶した情報に応じて、前記ダミーリード線の負荷容量を変化させるように構成され、
前記メモリセルからの情報の読み出しは、前記ディスチャージ回路のディスチャージによる前記ダミーリード線の電位変化に応じて制御されることを特徴とする。
これにより、ダミーメモリセルの記憶情報に応じてリード線の負荷容量が変更される。したがって、例えばシングルビット線方式の半導体記憶装置において、リード線のディスチャージによる電位変化に基づいて、メモリセルから記憶情報を読み出すための種々のタイミング信号を生成できる。
また、請求項2の発明は、
請求項1の半導体記憶装置であって、
前記メモリセルは、
入力端子と出力端子とが互いに交差結合された2つのインバータ回路から成るメモリセル用情報記憶部と、
ゲート端子が前記リードワード線に接続され、ドレイン端子が前記リード線と接続されたメモリセル用第1トランジスタと、
ゲート端子が前記2つのインバータ回路同士の接続点に接続され、ドレイン端子が前記メモリセル用第1トランジスタのソース端子と接続され、ソース端子が第1の電源と接続されたメモリセル用第2トランジスタとを有し、
前記ダミーメモリセルは、
入力端子と出力端子とが互いに交差結合された2つのインバータ回路から成るダミーメモリセル用情報記憶部と、
ゲート端子が接地電位と接続され、ソース端子が第2の電源と接続されたダミーメモリセル用第1トランジスタと、
ドレイン端子が前記ダミーリード線と接続され、ソース端子が前記ダミーメモリセル用第1トランジスタのドレイン端子と接続され、ゲート端子がダミーメモリセル用情報記憶部における前記2つのインバータ回路同士の接続点に接続されたダミーメモリセル用第2トランジスタとを有していることを特徴とする。
また、請求項3の発明は、
請求項1の半導体記憶装置であって、
前記ディスチャージ回路は、
ソース端子が接地電位に接続され、ゲート端子が第3の電源と接続されたディスチャージ用第1トランジスタと、
ドレイン端子が前記ダミーリード線と接続され、ソース端子が前記ディスチャージ用第1トランジスタのドレイン端子に接続されたディスチャージ用第2トランジスタとを有し、前記ディスチャージ用第2トランジスタのゲート端子が活性化されることによって、前記ディスチャージを行うように構成されていることを特徴とする。
これらにより、メモリセルに用いられるトランジスタの構成とダミーメモリセルに用いられるトランジスタの構成とが同じになるので、例えばシングルビット線方式の半導体記憶装置において、メモリセルのトランジスタの構成を用い、配線のみ変更することによりダミーメモリセルやディスチャージ回路を構成することができる。
また、請求項4の発明は、
請求項1の半導体記憶装置であって、
前記メモリセル用第1トランジスタ、メモリセル用第2トランジスタ、ダミーメモリセル用第1トランジスタ、およびダミーメモリセル用第2トランジスタは、同一形状のトランジスタであることを特徴とする。
これにより、メモリセルの特性ばらつきとダミーメモリセル特性ばらつきとを似た傾向にすることができる。
また、請求項5の発明は、
請求項3の半導体記憶装置であって、
前記第3の電源は、前記第1の電源よりも電源電位が高いことを特徴とする。
これにより、ダミーリード線のディスチャージ時間をより遅くすることが可能になる。
また、請求項6の発明は、
請求項3の半導体記憶装置であって、
前記メモリセル用第1トランジスタ、メモリセル用第2トランジスタ、ディスチャージ用第1トランジスタ、およびディスチャージ用第2トランジスタは、同一形状のトランジスタであることを特徴とする。
これにより、メモリセルの特性ばらつきとディスチャージ回路の特性ばらつきとを似た傾向にすることができる。
また、請求項7の発明は、
請求項2の半導体記憶装置であって、
前記ダミーメモリセルは、さらに
前記2つのインバータ回路の一方の交差結合された接続点にドレイン端子が接続され、ソース端子が接地電位に接続された情報セット用第1トランジスタと、
前記2つのインバータ回路の他方の交差結合された接続点にドレイン端子が接続され、ソース端子が接地電位に接続された情報セット用第2トランジスタとを有し、
前記情報セット用第1トランジスタ、および情報セット用第2トランジスタのゲート端子の電位が制御されることによって情報が格納されるように構成されていることを特徴とする。
これにより、ダミーメモリセルに対し、少ない動作で情報を記憶させ、ダミーリード線に接続される負荷容量を変更することが可能になる。
また、請求項8の発明は、
請求項1の半導体記憶装置であって、さらに、
前記メモリセルアレイにおける行単位で前記メモリセルと接続され、前記メモリセルに対する書き込みのための書き込み制御信号を伝達するライトワード線と、
前記複数のダミーメモリセルが共通に接続され、前記ダミーメモリセルに書き込む情報を伝達するダミーライト線とを備え、
前記ダミーメモリセルは、前記ライトワード線が接続される一方、前記ライトワード線を介して入力された制御信号に応じて、ダミーライト線を介して入力された情報が格納されるように構成されていることを特徴とする。
これにより、少ない配線リソースで、メモリセルに書き込みを行う動作と同様の動作でダミーメモリセルに対し情報を記憶させ、ダミーリード線に接続される負荷容量を変更することができる。また、ダミーメモリセルとメモリセルの形状をほぼ同一にできる。
また、請求項9の発明は、
請求項1の半導体記憶装置であって、
さらに、前記ディスチャージ回路のディスチャージによる前記ダミーリード線の電位変化に応じ、前記リード線に出力された情報を出力する出力回路を備えていることを特徴とする。
これにより、ダミーリード線がディスチャージされることによる電圧変化をトリガにして、出力回路(例えばセンスアンプ)が起動されるようにできるので、消費電流を抑えることが可能になる。
また、請求項10の発明は、
請求項1の半導体記憶装置であって、
さらに、前記ディスチャージ回路のディスチャージによる前記ダミーリード線の電位変化に応じ、前記リード線に電荷をプリチャージするリード線プリチャージ回路を備えていることを特徴とする。
これにより、ダミーリード線がディスチャージされることによる電圧変化をトリガにして、プリチャージが開始されるので、メモリセルからの記憶情報を読み出すためのプリチャージ解除時間を最低限に抑えることができる。
また、請求項11の発明は、
請求項1の半導体記憶装置であって、
前記ディスチャージ回路のディスチャージによる前記ダミーリード線の電位変化に応じ、前記読み出し制御信号が遮断されて、前記リードワード線が不活性化されるように構成されていることを特徴とする。
これにより、ダミーリード線がディスチャージされることによる電圧変化をトリガにして、読み出し制御信号が遮断されるので、メモリセルからの記憶情報を読み出すためにリードワード線が活性化される期間を最低限に抑えることができる。
また、請求項12の発明は、
請求項1の半導体記憶装置であって、
前記ダミーメモリセルは、半導体記憶装置の温度に応じ、格納される情報が変更されるように構成されていることを特徴とする。
これにより、半導体記憶装置の温度に応じて、ダミーリード線の負荷容量が変更される。したがって、例えばメモリセルのばらつきが大きくなる温度状態においては、ダミーメモリセルの記憶情報を変更することによって、ダミーリード線の負荷容量を大きくし、ダミーリード線のディスチャージ時間を遅らせ、メモリセルから記憶情報を読み出すための種々のタイミング信号を最適化することができる。
また、請求項13の発明は、
請求項1の半導体記憶装置であって、
前記ダミーメモリセルは、半導体記憶装置に供給される電源電圧に応じ、格納される情報が変更されるように構成されていることを特徴とする。
これにより、半導体記憶装置の電源電圧に応じて、ダミーリード線の負荷容量が変更される。したがって、例えばメモリセルのばらつきが大きくなる電圧状態においては、ダミーメモリセルの記憶情報を変更することによって、ダミーリード線の負荷容量を大きくし、ダミーリード線のディスチャージ時間を遅らせ、メモリセルから記憶情報を読み出すための種々のタイミング信号を最適化することができる。
また、請求項14の発明は、
請求項1の半導体記憶装置であって、
さらに、前記メモリセルから情報が読み出される前に、前記リード線に電荷をプリチャージするリード線プリチャージ回路を備え、
前記リード線プリチャージ回路と前記ダミーリード線プリチャージ回路とは、それぞれトランジスタを介して、前記リード線と前記ダミーリード線とに電荷をプリチャージするように構成されたものであり、
前記ダミーリード線プリチャージ回路の前記トランジスタは、前記リード線プリチャージ回路の前記トランジスタよりもサイズが大きいことを特徴とする。
これにより、ダミーリード線の負荷容量が大きく設定された場合においても、前記リード線がプリチャージされる時間よりも早い時間で、ダミーリード線のプリチャージを完了できる。
また、請求項15の発明は、
請求項1の半導体記憶装置であって、
さらに、前記メモリセルから情報が読み出される前に、前記リード線に電荷をプリチャージするリード線プリチャージ回路を備え、
前記リード線プリチャージ回路と前記ダミーリード線プリチャージ回路とは、それぞれトランジスタを介して、前記リード線と前記ダミーリード線とに電荷をプリチャージするように構成されたものであり、
前記ダミーリード線プリチャージ回路の前記トランジスタは、前記リード線プリチャージ回路の前記トランジスタよりも閾値電圧が低いことを特徴とする。
これにより、ダミーリード線の負荷容量が大きく設定された場合においても、前記リード線のプリチャージされる時間よりも早い時間で、ダミーリード線のプリチャージが完了される。また、リード線プリチャージ用のトランジスタとダミーリード線プリチャージ用のトランジスタとを同じサイズで設計することができる。
本発明によれば、低電圧化や温度変化などの影響によって、半導体記憶装置のトランジスタの性能がばらついても、安定した動作が可能になる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
《発明の実施形態1》
図1は、本発明の実施形態1に係る半導体記憶装置100の構成を示すブロック図である。なお、図1では、書き込み系の回路は省略されている。
半導体記憶装置100は、メモリセル111〜118、リセットダミーセル121〜124、リファレンスセル130、ゲートレプリカセル141〜142、プリチャージトランジスタ151〜152、ダミープリチャージトランジスタ160、および出力回路171〜172を備えて構成されている。
メモリセル111〜118は、何れも同じ構成で、m行n列のマトリクス状に配置されたメモリセルである。メモリセル111〜118は、それぞれに対して接続されたリードワード線(RWL1〜RWLnのうちの何れか1つ)の電位に応じ、記憶している情報を接続されたリード線(RD1〜RDnのうちの何れか1つ)に出力するようになっている。なお、読み出し時には、リードワード線RWL1〜RWLnのうちから、アドレス信号(図示せず)によって選択された何れかのリードワード線が活性化される。
メモリセル111〜118は、それぞれトランジスタ111a〜111b、およびインバータ111c〜111dを備えて構成されている(図1には、メモリセル111・115のみ詳しい構成が図示されている。)。
トランジスタ111aは、NチャネルMOSトランジスタである。トランジスタ111aは、ドレイン端子がリード線と接続され、ゲート端子がリードワード線と接続されている。メモリセル111においては、ドレイン端子がリード線RD1と接続され、ゲート端子がリードワード線RWL1と接続されている。
トランジスタ111bは、NチャネルMOSトランジスタであり、ドレイン端子がトランジスタ111aのソース端子と接続され、ソース端子が接地電位に接続されている。
インバータ111cとインバータ111dとは、入力端子と出力端子とが互いに交差結合され、与えられた情報を記憶するようになっている。また、インバータ111dの出力端子は、トランジスタ111bのゲート端子に接続されている。
メモリセル111〜118が上記のように構成されることにより、リードワード線が活性化されると、リード線の電位は、記憶情報に応じた電位となる。なお、以下の説明では、インバータ111c・111dの記憶情報によって、トランジスタ111bがONになる場合を「0」が記憶されているものとし、トランジスタ111bがOFFになる場合に「1」が記憶されているものとして説明する。
リセットダミーセル121〜124は、m行のアレイ状に配置されたメモリセルである。リセットダミーセル121〜124は、具体的には、トランジスタ121a・121b・121c・121d、およびインバータ121e〜121fを備えて構成されている。トランジスタ121a〜121dは、NチャネルMOSトランジスタである。これらのトランジスタのうちトランジスタ121cのドレイン端子は、ダミーリード線DRDと接続されている。
また、インバータ121eとインバータ121fとは、入力端子と出力端子とが互いに交差結合され、与えられた情報を記憶するようになっている。このような構成のリセットダミーセル121〜124は、メモリセル111などのメモリセルに存在するトランジスタの配線をつなぎかえることで容易に実装することができる。
リセットダミーセル121〜124は、上記の構成により、トランジスタ121a〜121bのゲート端子から入力された信号(図1に示すリセット信号RESET、セット信号SET1、およびSET2)に応じて、ダミーリード線RDRに接続されるトランジスタ121cのON(活性化)とOFFとが切り替えられ、ダミーリード線RDRの負荷容量がプログラマブルに変更されるようになっている。
リファレンスセル130は、ダミーリードワード線DRWLと接続され、ダミーリードワード線DRWLの電位に応じ、ダミーリード線DRDの電荷をディスチャージするようになっている。リファレンスセル130は、具体的にはトランジスタ130aとトランジスタ130bとを備えて構成され、トランジスタ130aのゲート端子が ダミーリードワード線DRWLと接続されている。
ゲートレプリカセル141〜142は、図1に示すように、2つのNチャネルMOSトランジスタを備え、メモリセル111〜118のゲート容量のレプリカになっている。
プリチャージトランジスタ151〜152は、プリチャージ信号PCに応じ、それぞれリード線RD1、およびリード線RDnをプリチャージするようになっている。
ダミープリチャージトランジスタ160は、プリチャージ信号PCに応じ、ダミーリード線DRDをプリチャージするようになっている。
なお、リセットダミーセル121〜124の記憶情報により、ダミーリード線DRDの負荷容量は、リード線(RD1〜RDn)よりも大きくなることから、ダミープリチャージトランジスタ160は、プリチャージトランジスタ151〜152よりも大きなサイズにするか、低い閾値電圧に設定すればよい。
出力回路171〜172は、センスアンプイネーブル信号SEN(ダミーリード線DRDの反転信号)に応じ、メモリセル111〜118のうちの読み出し対象となっているメモリセルの記憶情報を保持して出力するようになっている。出力回路171〜172は、具体的には、トライステートインバータ171a、およびインバータ171b〜171dを備えて構成されている。
トライステートインバータ171aは、入力端子がリード線(RD1〜RDnの何れか。例えば、出力回路171ではリード線RD1)と接続され、センスアンプイネーブル信号SENに制御されて、接続されたリード線の電位に応じた信号(すなわちメモリセルの記憶情報に応じた信号)をインバータ171bを介して出力するようになっている(データ出力DO1、DOn)。本実施形態では、センスアンプイネーブル信号SENがHレベルの場合に、トライステートインバータ171aは活性になるものとする。
また、インバータ171c・171dは、トライステートインバータ171aの出力を保持するようになっている。
上記のように構成された半導体記憶装置100について、メモリセル111の記憶情報が読み出され、続いてメモリセル112の記憶情報が読み出される場合の動作を図2を用いて説明する。図2は、半導体記憶装置100の読み出し時におけるプリチャージ信号PC、リードワード線RWL1〜RWL2、ダミーリードワード線DRWL、リード線RD1、ダミーリード線DRD、センスアンプイネーブル信号SEN、およびデータ出力DO1の各々の電圧波形を示している。
なお、以下の説明では、メモリセル111の記憶情報が「0」、メモリセル112の記憶情報が「1」であるものとする。
記憶情報が読み出される場合には、予めリセット信号RESET、セット信号SET1、およびSET2のレベルが設定されて、ダミーリード線DRDに存在する負荷容量が調整される。例えば、リセット信号RESETがHighレベル(Hレベル)にされ、セット信号SET1、およびSET2がLowレベル(Lレベル)にされることによって、リセットダミーセル121〜124の記憶情報が全て「1」に設定されると、リード線RD1〜RDnとダミーリード線DRDに存在する負荷容量は、ほぼ同じ大きさとなる。
そして、読み出しに対する準備として、プリチャージ信号PCがLレベルにされると、リード線RD1の電位は、プリチャージトランジスタ151によって電源電位にプリチャージされる。また、ダミーリード線DRDの電位は、ダミープリチャージトランジスタ160によって電源電位にプリチャージされる。
例えばメモリセル111に対する読み出し期間(図2に示す第1の読み出し期間)が始まると、図2に示すように、プリチャージ信号PCがHレベルにされて、プリチャージが解除される。同時にアドレス信号によって、リードワード線RWL1とダミーリードワード線DRWLとが同時に活性化される。
リードワード線RWL1が活性化されると、メモリセル111の記憶情報が「0」なので、プリチャージトランジスタ151によって予めプリチャージされていたリード線RD1の電荷がディスチャージされる。また、ダミーリードワード線DRWLが活性化されると、ダミープリチャージトランジスタ160によって予めプリチャージされていたダミーリード線DRDの電荷もディスチャージされる。
ダミーリード線DRDの電荷がディスチャージされると、センスアンプイネーブル信号SENがHレベルとなる。これにより、トライステートインバータ171aが不活性になり、データ出力DO1としてLレベルの信号(情報)が保持される。
出力回路171がデータ出力DO1を出力した後、一定の期間を経て、リードワード線RWL1、ダミーリードワード線DRWL、およびプリチャージ信号PCがLレベルにされて、次の読み出しサイクル(第2の読み出し期間)に対する準備が行われる。出力回路171は、同時にデータ出力DO1をLレベルに保持する。
第2の読み出し期間が始まると、プリチャージ信号PCがHレベルにされて、プリチャージが解除される。同時にアドレス信号によって、選択されるリードワード線RWL2とダミーリードワード線DRWLとが同時に活性化される。
メモリセル112の記憶情報は「1」なので、予めプリチャージされていたリード線RD1の電荷は、ディスチャージされない。一方、リファレンスセル130よって予めプリチャージされていたダミーリード線DRDの電荷はディスチャージされる。
ダミーリード線DRDの電荷がディスチャージされると、センスアンプイネーブル信号SENがHレベルとなる。これにより、出力回路171は、データ出力DO1としてHレベルの信号(情報)を保持する。
上記のように、半導体記憶装置100では、ダミーリード線DRDの電荷に基づいて、センスアンプイネーブル信号SENが変化する。すなわち、半導体記憶装置100では、ダミーリード線DRDの電荷に応じて、読み出しのタイミングが調節される。
上記の例では、リセットダミーセル121〜124の記憶情報が全て「1」に設定されている。それゆえ、リード線RD1〜RDnとダミーリード線DRDに存在する負荷容量は、ほぼ同じ大きさとなる。
しかし、リード線RD1〜RDnとダミーリード線DRDに存在する負荷容量は、温度条件、電圧条件、チップの使用時間等によって、ばらつきが大きくなる。
例えば、半導体記憶装置100を低電圧で動作させると、リード線RD1のディスチャージ時間は、ダミーリード線DRDのディスチャージ時間と大きく異なってくることが考えられる。リード線RDのディスチャージ時間がダミーリード線DRDよりも長くなると、センスアンプイネーブル信号SENがHレベルとなっても、リード線RD1の電位が中間電位となる時間が長くなる場合がある。この場合は、出力回路171〜172のトライステートインバータ171aに多くの貫通電流が流れて電力が消費される。したがって、ばらつきが多くなる条件では、予めリファレンスセル130によるダミーリード線DRDのディスチャージ時間を長くする必要がある。
半導体記憶装置100では、リセットダミーセル121〜124に入力されるリセット信号RESET、およびセット信号SET1〜2によって、ダミーリード線DRDに生じる負荷容量を変更して、ダミーリード線DRDのディスチャージ時間を変更することができる。図3の表は、ダミーリード線DRDに生じる負荷容量とリセット信号RESET、およびセット信号SET1〜2の関係を示したものである。この表の「リセットセル負荷容量」の欄では、ダミーリード線DRDに接続されるトランジスタの個数によって負荷容量の違いを示している。
例えば、リセット信号RESETがHレベル、かつセット信号SET1〜2がともにLレベルの場合(初期状態)には、上記で述べたように、リード線RD1〜RDnとダミーリード線DRDに存在する負荷容量は、ほぼ同じ大きさとなる。
また、上記の初期状態の条件からリセット信号RESETがLレベル、セット信号SET1がHレベル、SET2がLレベルにされることにより、リセットダミーセル121とリセットダミーセル122のダミーリード線RDRに接続されるトランジスタ121c(NチャネルMOSトランジスタ)が活性化され、直列に接続される2個のNチャネルMOSトランジスタが有している拡散容量がダミーリード線RDRに接続されることになる。
また、上記の初期状態の条件からリセット信号RESETがLレベル、セット信号SET1がLレベル、SET2がHレベルにされることにより、リセットダミーセル123〜124のダミーリード線RDRに接続されるトランジスタ121c(NチャネルMOSトランジスタ)が活性化され、直列に接続されるm−2個のNチャネルMOSトランジスタの拡散容量がダミーリード線RDRに接続されることになる。
また、上記の初期状態の条件からリセット信号RESETがLレベル、セット信号SET1がHレベル、SET2がHレベルにされることにより、リセットダミーセル121〜124のダミーリード線RDRに接続されるトランジスタ121c(NチャネルMOSトランジスタ)が活性化され、直列に接続されるm個のNチャネルMOSトランジスタの拡散容量がダミーリード線RDRに接続されることになる。
このように、リセットダミーセル121〜124がリセット信号RESETとセット信号SET1〜2とで制御されることによって、ダミーリード線DRDに接続されるNチャネルMOSトランジスタの個数が変更され、ダミーリード線DRDの負荷容量が4段階に変更される。
したがって、本実施形態によれば、プログラマブルにダミーリード線DRDの負荷容量を変更することで、メモリセル111〜118のトランジスタ能力が極端にばらつきやすい温度条件や電圧条件においても、各条件に適したタイミングで情報の読み出しが可能になる。例えば、メモリセル111〜118の個々のばらつきが大きいと予想される低電圧条件や高温条件で使用する場合においては、予めダミーリード線DRDの負荷容量が大きくなるようにリセットダミーセル121〜124の記憶情報を外部からの情報に基づいてセットすれば、安定した読み出し動作が可能となる。
なお、本実施形態では、リセットダミーセル121〜124に供給するセット信号は2つであるが、3つ以上の信号を用いて、リードダミー線の負荷容量の組み合わせを作り、より細かく温度条件、電圧条件に対して負荷容量を制御するようにしてもよい。
《発明の実施形態2》
図4は、本発明の実施形態2に係る半導体記憶装置200の構成を示すブロック図である。半導体記憶装置200は、図4に示すように、半導体記憶装置100と比べ、メモリセル111…に代えてメモリセル211〜216、リセットダミーセル121…に代えてリセットダミーセル221〜223を備え、さらにAND回路281〜283が追加されて構成されている点が異なっている。なお、以下の実施形態において前記実施形態1等と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して説明を省略する。
メモリセル211〜216は、何れも同じ構成で、m行n列のマトリクス状に配置されたメモリセルである。メモリセル211〜216は、それぞれに対して接続されたリードワード線(RWL1〜RWLnの何れか1つ)の電位に応じ、記憶している情報を接続されたリード線(RD1〜RDnの何れか1つ)に出力するようになっている。
また、それぞれのメモリセルに接続されたライトワード線(WWL1〜WWLnのうちの何れか1つ)に制御されて、それぞれのメモリセルに接続されたライト線(WD1〜WDnのうちの何れか1つ)の電位に応じた情報をインバータ111c・111dに保持させる(書き込む)ようになっている。なお、書き込み時には、ライトワード線WWL1〜WWLnのうちから、アドレス信号(図示せず)によって選択されたライトワード線が活性化される。
メモリセルの具体的な構成を代表でメモリセル211について説明する。メモリセル211は、実施形態1のメモリセル111に対し、さらにトランジスタ211a・211bとインバータ211cとが追加されている。トランジスタ211aは、NチャネルMOSトランジスタであり、トランジスタ211bは、PチャネルMOSトランジスタである。また、トランジスタ211a・211bは、メモリセル211においては、図4に示すようにライトワード線WWL1とライト線WD1とに接続されている。すなわち、トランジスタ211a・211bは、ライトワード線WWL1の電位で制御されて、ライト線WD1の電位に応じた情報がインバータ111c・111dに書き込まれるようになっている。
リセットダミーセル221〜223は、図4に示すように、m行のアレイ状に配置されている。リセットダミーセル221〜223は、ダミーライトイネーブル信号DWENがHレベルで、かつ接続されたライトワード線が活性化された場合に、ダミーライト線DWDのレベル(Hレベル、またはLレベル)に応じた情報が書き込まれるようになっている。
リセットダミーセル221〜223は、詳しくは、トランジスタ121c・121d、インバータ121e・121f、トランジスタ221a・221b、およびインバータ221cを備えて構成されている(図4には、リセットダミーセル221のみ詳しい構成が図示されている。)。
トランジスタ221aは、NチャネルMOSトランジスタであり、ゲート端子がAND回路281の出力端子と接続されている。また、トランジスタ221bは、PチャネルMOSトランジスタであり、インバータ221cを介してゲート端子がAND回路281の出力端子と接続されている。
AND回路281〜283は、それぞれ一方の入力端子がライトワード線WWL1〜WWLnと接続され、もう一方の入力端子がダミーライトイネーブル信号DWENと接続されている。
上記のように構成された半導体記憶装置200において、記憶情報が読み出される場合には、予めリセットダミーセル221〜223に所定の情報がセットされて、ダミーリード線DRDに存在する負荷容量が調整される。
例えば図5は、初期動作としてメモリセル211〜216の全ての記憶情報が「0」に初期化され、リセットダミーセル221〜223の全ての記憶情報が「1」に初期化される場合におけるライトワード線WWL1〜WWL2、WWLn、ライト線WD1、WDn、ダミーライト線DWD、およびダミーライトイネーブル信号DWENの各々の電圧波形を示している。すなわち、ライト線WD1〜WDnがLレベル、ダミーライト線DWDがHレベル、ダミーライトイネーブル信号DWENがHレベルに設定された状態で、順次ライトワード線WWL1〜WWLnが活性化されることでメモリセル211〜216の記憶情報が全て「0」にセットされ、またリセットダミーセル221〜223の記憶情報が全て「1」にセットされる。
また、例えば、リセットダミーセル221の記憶情報を「0」にセットしたい場合は、ダミーライト線DWDをLレベルに、ダミーライトイネーブル信号DWENをHレベルに設定した状態で、ダミーライトライトワード線WWL1を活性化すればよい。
すなわち、半導体記憶装置200では、低電圧などのばらつき幅が大きくなる条件になる前に、例えば、リセットダミーセルの記憶情報を変化させて、ダミーリード線の負荷容量を大きくし、ダミーリード線DRDのディスチャージ時間を遅らせることができる。
したがって、ダミーリード線DRDに存在する負荷容量が調整された後は、半導体記憶装置200においても、半導体記憶装置100における各読み出しサイクルと同じ動作(図6に示す第1および第2の読み出しサイクル)が行われ、トランジスタ能力が極端にばらつきやすい温度条件や電圧条件においても、各条件に適したタイミングで情報が読み出される。
しかも、半導体記憶装置200では、リセットダミーセルに対しダミーライト線DWDで記憶情報を書き込むので、配線リソースの増加が小さい。
また、メモリセルとリセットダミーセルとの違いは、それぞれダミーリード線とリード線に直列に接続されるNチャネルMOSトランジスタのゲート端子の接続のみなので、ダミーリード線DRDの配線形状とリード線RDの配線形状とをほぼ同じにすることができる。それゆえ、センスアンプイネーブルSENを変化させるタイミングの精度をより高くすることが可能になる。
《発明の実施形態3》
図7は、本発明の実施形態3に係る半導体記憶装置300の構成を示すブロック図である。半導体記憶装置300は、図7に示すように、半導体記憶装置200に対し、AND回路380が追加されて構成されている。
AND回路380が追加されたことによって、プリチャージトランジスタ151・152によるプリチャージは、ダミープリチャージ信号DPCとダミーリード線DRDの電位によって制御される。
このように構成された半導体記憶装置300の動作を図8を用いて説明する。図8は、読み出し時におけるダミープリチャージ信号DPC、リードワード線RWL1、RWL2、ダミーリードワード線DRWL、ダミーリード線DRD、リード線RD1、ダミーリード線の反転信号であるプリチャージセンスアンプイネーブルPSEN、データ出力DO1の各々の電圧波形を示している。なお、以下の説明では、メモリセル211の記憶情報が「0」であるものとする。
半導体記憶装置300において、記憶情報が読み出される場合には、予めリセットダミーセル221〜223に所定の情報がセットされて、ダミーリード線DRDに存在する負荷容量が調整される。
そして、第1の読み出しサイクルが開始される前に、読み出しの準備としてダミープリチャージ信号DPCがLレベルされると、リード線RD1の電位は、プリチャージトランジスタ151によって電源電位にプリチャージされる。また、ダミーリード線DRDの電位は、ダミープリチャージトランジスタ160によって電源電位にプリチャージされる。
例えばメモリセル211に対する読み出し期間(図8に示す第1の読み出し期間)が始まり、ダミープリチャージ信号DPCがHレベルにされると、ダミーリード線DRDの電位が電源電位にプリチャージされているので、AND回路380の出力(プリチャージセンスアンプイネーブルPSEN)がHレベルになる。これにより、リード線RDのプリチャージが解除される。
一方、選択されるリードワード線RWL1とダミーリードワード線DRWLとは、アドレス信号によって同時に活性化される。
リードワード線RWL1が活性化されると、メモリセル211の記憶情報が「0」なので、プリチャージトランジスタ151によって予めプリチャージされていたリード線RD1の電荷がディスチャージされる。また、ダミーリードワード線DRWLが活性化されると、ダミープリチャージトランジスタ160によって予めプリチャージされていたダミーリード線DRDの電荷もディスチャージされる。
ダミーリード線DRDの電荷がディスチャージされると、プリチャージセンスアンプイネーブルPSENがLレベルとなり、リード線RDのプリチャージが開始される。一方、出力回路171のトライステートインバータ171aは、不活性となりデータ出力DO1としてLレベルが保持される。
さらに、続けて情報が読み出される場合には、データ出力DO1を出力した後、一定の期間を経て、リードワード線RWL1、ダミーリードワード線DRWL、ダミープリチャージ信号PCをLレベルとし、次のサイクル(第2の読み出し期間)に対する読み出し準備が行われる。
上記のように、本実施形態においてもやはり、トランジスタ能力が極端にばらつきやすい温度条件や電圧条件においても、各条件に適したタイミングで情報が読み出される。
しかも、ダミーリード線DRDがディスチャージされるタイミングをトリガとしてプリチャージが開始されるので、必要最低限のプリチャージ解除時間でデータを出力することが可能になる。すなわち、本実施形態では、プリチャージ開始時間を早めることが可能になる。
したがって、本実施形態では、実施形態1や2の半導体記憶装置と比べ、プリチャージトランジスタ151・152のサイズを抑えることができる。その結果、リード線RDに接続されるプリチャージトランジスタ151・152の拡散容量が少なくなりディスチャージ時間を早めることができ、速度の向上を図ることができる。
なお、ダミーリード線DRDのディスチャージがリード線RDよりも速くなった場合には、ダミーリード線DRDのディスチャージによってプリチャージが開始されると、読み出しに失敗することが考えられる。これに対しては、前記実施形態1、2と同様に、ばらつき幅が大きくなる低電圧や高温の条件では、記憶情報が「0」であるメモリセル211の数を増やして、ダミーリード線DRDのディスチャージ時間を遅らせることによって、安定な読み出し動作が可能になる。
《発明の実施形態4》
実施形態3の半導体記憶装置に対し、さらにリードワード線RWL1〜RWLnを不活性化するタイミングを制御するための構成が付加された例を説明する。
図9は、本発明の実施形態4に係る半導体記憶装置400の構成を示すブロック図である。半導体記憶装置400は、図9に示すように、半導体記憶装置300に対し、さらにAND回路491〜494、およびインバータ495〜496が追加されて構成されている。
AND回路491〜493は、一方の入力端子がそれぞれリードワード線(RWL1〜RWLn)と接続されている。また、AND回路491〜493のもう一方の入力端子は、インバータ495・496を介して、ダミーリード線DRDと接続されている。そして、AND回路491〜493の出力は、リセットダミーセル221…に対するリードワード線(パルスリードワード線PRWL1〜PRWLn)として接続されている。
AND回路494は、一方の入力端子が ダミーリードワード線DRWLと接続され、もう一方の入力端子がインバータ495・496を介して、ダミーリード線DRDと接続されている。AND回路494の出力は、ゲートレプリカセル141〜142、およびリファレンスセル130に対するダミーリードワード線DRWL(パルスダミーリードワード線PDRWL)として接続されている。
インバータ495・496は、ダミーリード線DRDの信号を波形整形して、制御信号PLSとして出力するようになっている。
上記のように構成された半導体記憶装置400においても、記憶情報が読み出される場合には、予めリセットダミーセル221〜223に所定の情報がセットされて、ダミーリード線DRDに存在する負荷容量が調整される。また、リード線RD1とダミーリード線DRDの電位とが電源電位にプリチャージされる。
その後、例えばメモリセル211に記憶された情報を読み出すために、読み出しサイクルが開始されると、図10(第1の読み出しサイクル)に示すように、リードワード線RWL1、ダミーリードワード線DRWLがともにHレベルにされ、さらにダミープリチャージ信号DPCがHレベルにされる。
これにより、プリチャージセンスアンプイネーブル信号PSENがHレベルになって、メモリセル211の記憶情報が出力回路171に保持されて出力される。同時にプリチャージが解除され、ダミーリード線DRDのディスチャージが開始される。ダミーリード線DRDがディスチャージされて、電位がLレベルに遷移すると、プリチャージセンスアンプイネーブル信号PSENがLレベルになって、プリチャージトランジスタ151が活性化される。
一方、ダミーリード線DRDのディスチャージが開始されると、制御信号PLSがLレベルになる。この結果リードワード線RWL1と、制御信号PLSとの論理積であるパルスリードワード線PRWL1がLレベルになる(すなわち、ダミーリード線DRDのディスチャージの開始をトリガとして、パルスリードワード線PRWL1が不活性化される。)。
上記のように本実施形態によれば、プリチャージトランジスタ151・152とパルスリードワード線(PRWL1〜PRWL)とが同時に活性化される可能性を大幅に減らすことが可能になる。それゆえ、貫通電流の発生を抑制して、電力の削減が可能になり、また貫通電流を抑えるための設計工数を削減することも可能になる。
なお、上記の各実施形態で説明した各信号のレベルとその意味は例示であり、上記の例には限定されない。
本発明にかかる半導体記憶装置は、低電圧化や温度変化などの影響によって、半導体記憶装置のトランジスタの性能がばらついても、安定した動作が可能になるという効果を有し、ビット線を所定電位にプリチャージして、データを読み出す半導体記憶装置等として有用である。
本発明の実施形態1に係る半導体記憶装置の構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態1に係る半導体記憶装置の読み出し時におけるプリチャージ信号PC、リードワード線RWL1〜RWL2等の電圧波形を示す図である。 ダミーリード線DRDに生じる負荷容量とリセット信号RESET、およびセット信号SET1〜2の関係を示す表である。 本発明の実施形態2に係る半導体記憶装置の構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態2に係る半導体記憶装置において、メモリセル、およびリセットダミーセルの記憶情報が初期化される場合におけるライトワード線、ライト線等の電圧波形を示す図である。 本発明の実施形態2に係る半導体記憶装置の読み出し時におけるプリチャージ信号PC、リードワード線RWL1〜RWL2等の電圧波形を示す図である。 本発明の実施形態3に係る半導体記憶装置の構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態3に係る半導体記憶装置の読み出し時におけるリードワード線RWL1〜RWL2等の電圧波形を示す図である。 本発明の実施形態4に係る半導体記憶装置の構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態4に係る半導体記憶装置の読み出し時におけるリードワード線RWL1〜RWL2等の電圧波形を示す図である。 従来の半導体記憶装置の構成を示すブロック図である。
符号の説明
100 半導体記憶装置
111〜118 メモリセル
111a〜111b トランジスタ
111c〜111d インバータ
121〜124 リセットダミーセル
121a〜121d トランジスタ
121e〜121f インバータ
130 リファレンスセル
130a トランジスタ
130b トランジスタ
141〜142 ゲートレプリカセル
151〜152 プリチャージトランジスタ
160 ダミープリチャージトランジスタ
171〜172 出力回路
171a トライステートインバータ
171b〜171d インバータ
200 半導体記憶装置
211〜216 メモリセル
211a〜211b トランジスタ
211c インバータ
221〜223 リセットダミーセル
221a・221b トランジスタ
221c インバータ
281〜283 AND回路
300 半導体記憶装置
380 AND回路
400 半導体記憶装置
491〜494 AND回路
495〜496 インバータ
500 半導体記憶装置
510 メモリセルアレイ
511 メモリセル
520 プリデコーダ
530 ワード線ドライバ
540 センスアンプ
550 レプリカ列
551 レプリカメモリセル
551a パストランジスタ
560 アドレス論理回路
570 列I/O論理回路
RWL1〜RWLn リードワード線
WWL1〜WWLn ライトワード線
DRWL ダミーリードワード線
DRD ダミーリード線
DWD ダミーライト線
WD1〜WDn ライト線
RD1〜RDn リード線


Claims (15)

  1. メモリセルがマトリクス状に配列されたメモリセルアレイと、
    前記メモリセルアレイにおける行単位で前記メモリセルと接続され、前記メモリセルに読み出しのための読み出し制御信号を伝達するリードワード線と、
    前記メモリセルアレイにおける列単位で前記メモリセルと接続され、メモリセルが出力した情報を伝達するリード線と、
    与えられた情報を記憶する複数のダミーメモリセルが配列されたダミーセルアレイと、
    前記複数のダミーメモリセルが共通に接続されたダミーリード線と、
    前記ダミーリード線に電荷をプリチャージするダミーリード線プリチャージ回路と、
    前記ダミーリード線プリチャージ回路によってプリチャージされた前記ダミーリード線の電荷をディスチャージするディスチャージ回路とを備え、
    前記ダミーメモリセルは、記憶した情報に応じて、前記ダミーリード線の負荷容量を変化させるように構成され、
    前記メモリセルからの情報の読み出しは、前記ディスチャージ回路のディスチャージによる前記ダミーリード線の電位変化に応じて制御されることを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 請求項1の半導体記憶装置であって、
    前記メモリセルは、
    入力端子と出力端子とが互いに交差結合された2つのインバータ回路から成るメモリセル用情報記憶部と、
    ゲート端子が前記リードワード線に接続され、ドレイン端子が前記リード線と接続されたメモリセル用第1トランジスタと、
    ゲート端子が前記2つのインバータ回路同士の接続点に接続され、ドレイン端子が前記メモリセル用第1トランジスタのソース端子と接続され、ソース端子が第1の電源と接続されたメモリセル用第2トランジスタとを有し、
    前記ダミーメモリセルは、
    入力端子と出力端子とが互いに交差結合された2つのインバータ回路から成るダミーメモリセル用情報記憶部と、
    ゲート端子が接地電位と接続され、ソース端子が第2の電源と接続されたダミーメモリセル用第1トランジスタと、
    ドレイン端子が前記ダミーリード線と接続され、ソース端子が前記ダミーメモリセル用第1トランジスタのドレイン端子と接続され、ゲート端子がダミーメモリセル用情報記憶部における前記2つのインバータ回路同士の接続点に接続されたダミーメモリセル用第2トランジスタとを有していることを特徴とする半導体記憶装置。
  3. 請求項1の半導体記憶装置であって、
    前記ディスチャージ回路は、
    ソース端子が接地電位に接続され、ゲート端子が第3の電源と接続されたディスチャージ用第1トランジスタと、
    ドレイン端子が前記ダミーリード線と接続され、ソース端子が前記ディスチャージ用第1トランジスタのドレイン端子に接続されたディスチャージ用第2トランジスタとを有し、前記ディスチャージ用第2トランジスタのゲート端子が活性化されることによって、前記ディスチャージを行うように構成されていることを特徴とする半導体記憶装置。
  4. 請求項1の半導体記憶装置であって、
    前記メモリセル用第1トランジスタ、メモリセル用第2トランジスタ、ダミーメモリセル用第1トランジスタ、およびダミーメモリセル用第2トランジスタは、同一形状のトランジスタであることを特徴とする半導体記憶装置。
  5. 請求項3の半導体記憶装置であって、
    前記第3の電源は、前記第1の電源よりも電源電位が高いことを特徴とする半導体記憶装置。
  6. 請求項3の半導体記憶装置であって、
    前記メモリセル用第1トランジスタ、メモリセル用第2トランジスタ、ディスチャージ用第1トランジスタ、およびディスチャージ用第2トランジスタは、同一形状のトランジスタであることを特徴とする半導体記憶装置。
  7. 請求項2の半導体記憶装置であって、
    前記ダミーメモリセルは、さらに
    前記2つのインバータ回路の一方の交差結合された接続点にドレイン端子が接続され、ソース端子が接地電位に接続された情報セット用第1トランジスタと、
    前記2つのインバータ回路の他方の交差結合された接続点にドレイン端子が接続され、ソース端子が接地電位に接続された情報セット用第2トランジスタとを有し、
    前記情報セット用第1トランジスタ、および情報セット用第2トランジスタのゲート端子の電位が制御されることによって情報が格納されるように構成されていることを特徴とする半導体記憶装置。
  8. 請求項1の半導体記憶装置であって、さらに、
    前記メモリセルアレイにおける行単位で前記メモリセルと接続され、前記メモリセルに対する書き込みのための書き込み制御信号を伝達するライトワード線と、
    前記複数のダミーメモリセルが共通に接続され、前記ダミーメモリセルに書き込む情報を伝達するダミーライト線とを備え、
    前記ダミーメモリセルは、前記ライトワード線が接続される一方、前記ライトワード線を介して入力された制御信号に応じて、ダミーライト線を介して入力された情報が格納されるように構成されていることを特徴とする半導体記憶装置。
  9. 請求項1の半導体記憶装置であって、
    さらに、前記ディスチャージ回路のディスチャージによる前記ダミーリード線の電位変化に応じ、前記リード線に出力された情報を出力する出力回路を備えていることを特徴とする半導体記憶装置。
  10. 請求項1の半導体記憶装置であって、
    さらに、前記ディスチャージ回路のディスチャージによる前記ダミーリード線の電位変化に応じ、前記リード線に電荷をプリチャージするリード線プリチャージ回路を備えていることを特徴とする半導体記憶装置。
  11. 請求項1の半導体記憶装置であって、
    前記ディスチャージ回路のディスチャージによる前記ダミーリード線の電位変化に応じ、前記読み出し制御信号が遮断されて、前記リードワード線が不活性化されるように構成されていることを特徴とする半導体記憶装置。
  12. 請求項1の半導体記憶装置であって、
    前記ダミーメモリセルは、半導体記憶装置の温度に応じ、格納される情報が変更されるように構成されていることを特徴とする半導体記憶装置。
  13. 請求項1の半導体記憶装置であって、
    前記ダミーメモリセルは、半導体記憶装置に供給される電源電圧に応じ、格納される情報が変更されるように構成されていることを特徴とする半導体記憶装置。
  14. 請求項1の半導体記憶装置であって、
    さらに、前記メモリセルから情報が読み出される前に、前記リード線に電荷をプリチャージするリード線プリチャージ回路を備え、
    前記リード線プリチャージ回路と前記ダミーリード線プリチャージ回路とは、それぞれトランジスタを介して、前記リード線と前記ダミーリード線とに電荷をプリチャージするように構成されたものであり、
    前記ダミーリード線プリチャージ回路の前記トランジスタは、前記リード線プリチャージ回路の前記トランジスタよりもサイズが大きいことを特徴とする半導体記憶装置。
  15. 請求項1の半導体記憶装置であって、
    さらに、前記メモリセルから情報が読み出される前に、前記リード線に電荷をプリチャージするリード線プリチャージ回路を備え、
    前記リード線プリチャージ回路と前記ダミーリード線プリチャージ回路とは、それぞれトランジスタを介して、前記リード線と前記ダミーリード線とに電荷をプリチャージするように構成されたものであり、
    前記ダミーリード線プリチャージ回路の前記トランジスタは、前記リード線プリチャージ回路の前記トランジスタよりも閾値電圧が低いことを特徴とする半導体記憶装置。
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