JP2006058101A - 振動片、振動子および応用機器 - Google Patents

Abstract

【課題】 生産性に優れ、精度良く角速度を検出することのできる振動片を提供する。
【解決手段】 Ｚ軸方向に厚みを有する圧電材料からなる振動片１０において、振動片１０の回転の回転軸となるＹ軸方向に沿って延在する棒状の腕部１ａ，１ｂと、腕部１ａ，１ｂの延在する方向に垂直なＸ軸方向に延在し、腕部１ａ，１ｂとＸＹ平面上で接続する棒状の梁２とを備え、腕部１ａ，１ｂのＸＹ平面で対向する面、およびＹＺ平面で対向する面に、腕部１ａ，１ｂをＸＹ平面で屈曲振動をさせるための駆動電極２０，２１を設け、梁２のＸＹ平面で対向する面に、振動片１０のＹ軸を回転軸とする回転により腕部１ａ，１ｂに励起されたコリオリ力に付勢されて発生する、梁２の歪を検出するための検出電極３０，３１，４０，４１を設ける。
【選択図】 図２

Description

本発明は、ジャイロ振動子における振動片、振動子および当該振動子を備えた電子機器に関する。

一般に、ジャイロ振動子における振動片を圧電材料で形成した場合、振動片に駆動電極と検出電極を設け、駆動電極により振動片を屈曲振動させ、振動片に回転が生じた際にその振動片に励起されるコリオリ力に起因する歪を、検出電極で検出する方法がとられている。
例えば、特許文献１では、Ｚ軸方向に厚みを有するＨ型の振動片において、Ｙ軸方向に音叉腕が延在し、ＸＹ平面に音叉が配置され、Ｙ軸回転の角速度を検出する振動片が開示されている。この振動片における電極の構成は、駆動腕（励振枝）の対向するＸＹ平面に駆動電極を設け、検出腕（ピックアップ枝）の側面である、対向するＹＺ平面に検出電極を設けている。この検出電極は、検出腕に発生する歪を検出するために、検出腕の側面において厚さ方向に検出電極を分割して構成されている。

特開平７−５５４７９号公報（図１から図３）

上記のような振動片は、圧電材料の単結晶をフォトリソグラフィにより、精度良くＨ型形状の外形および電極が形成されている。しかしながら、検出腕の側面の検出電極は、次の理由から精度良く形成できない。つまり、検出腕の側面は外形エッチングによりエッチングされていることに加え、圧電材料の結晶軸方向による異方性があるため、エッチングされた平面は平坦ではない。また、検出電極を厚さ方向に分割するためには、斜めに光をあてて露光をしなくてはならず、平面を垂直に露光する場合と比較して、露光精度が悪くなる。このように、検出腕の側面に精度よく電極を形成することが困難であり、生産性を低下させている。
さらに、検出電極の寸法精度と歪の検出感度には相関があり、検出電極の寸法精度が悪いと歪の検出感度を低下させる問題がある。このため、ジャイロ振動子の振動片として角速度の検出能力を低下させる問題があった。

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、生産性に優れ、精度良く角速度を検出することのできる振動片を提供することにある。また、他の目的として、精度良く角速度を検出することのできる振動子および、前記振動子を備えた電子機器を提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明の振動片は、Ｚ軸方向に厚みを有する圧電材料からなる振動片であって、前記振動片の回転の回転軸となるＹ軸方向に沿って延在する棒状の複数の腕部と、前記腕部の延在する方向に略垂直でＸ軸方向に延在し、前記腕部とＸＹ平面上で接続する棒状の梁と、を備え、前記腕部のＸＹ平面で対向する面、およびＹＺ平面で対向する面に、前記腕部をＸＹ平面で屈曲振動をさせるための駆動電極を設け、前記梁のＸＹ平面で対向する面に、前記振動片のＹ軸を回転軸とする回転により前記腕部に励起されたコリオリ力に付勢されて発生する、前記梁の歪を検出するための検出電極を設けたことを特徴とする。

この構成によれば、検出電極を平坦なＸＹ平面に形成することができ、容易に寸法精度の良好な検出電極を得ることができる。このことから、生産性に優れ、角速度の検出感度の良い振動片を得ることができる。

本発明の振動片の材料である圧電材料は、水晶であることが望ましい。
また、本発明の振動片の材料である圧電材料は、リン酸ガリウム（ＧａＰＯ₄）であっていも良い。

このように、振動片を構成する圧電材料として、水晶やリン酸ガリウムを利用することにより、安定した振動を得ることができ、精度よく角速度を検出することができる。

また、本発明の振動片は、前記梁のＸＹ平面の一方の面に、対となる少なくとも一対の検出電極と、前記梁のＸＹ平面の他方の面に、対となる少なくとも一対の検出電極とを備えたことを特徴とする。

このように、同一平面上に少なくとも一対の検出電極を、梁の表裏にそれぞれ設けることにより、振動片のＹ軸回転にとっての外乱である加速度を検出することが可能となる。

また、本発明の振動片は、前記検出電極を前記梁の、二つの前記腕部の間に位置する部分に備えたことを特徴とする。

このように、コリオリ力に付勢されて梁の歪が大きく発生する、二つの腕部の間に位置する部分に検出電極を備えることにより、精度良く歪を検出することができ、角速度の検出能力の優れた振動片を得ることができる。

また、本発明の振動片は、前記振動片の形状および前記駆動電極、前記検出電極はフォトリソグラフィにより形成されたことを特徴とする。

このように、フォトリソグラフィにより振動片の外形形状および駆動電極、検出電極を形成することにより、外形および電極の寸法精度が良好に形成でき、角速度の検出感度の優れた振動片を得ることができる。

また、本発明の振動子は、上記振動片を備えたことを特徴とする。

このように、振動子は上記の振動片を備えており、生産性に優れ、角速度の検出感度の良い振動子を得ることができる。

また、本発明の電子機器は、上記振動子を備えたことを特徴とする。

このように、電子機器は角速度の検出感度に優れた振動子を具備しており、特性の優れた電子機器を提供することができる。

以下、本発明の実施形態について図面に従って説明する。
（第１の実施形態）

図１は、本実施形態の振動片の形状を示す斜視図である。まず、本実施形態の振動片の形状について説明する。
振動片１０は、圧電材料である水晶の大略Ｚ板を用い、フォトリソグラフィにより、外形形状が形成されている。振動片１０には、棒状の２つの腕部１ａ，１ｂを有し、腕部１ａ，１ｂはＹ軸方向に沿って所定の長さで延在している。そして、腕部１ａ，１ｂは、この腕部１ａ，１ｂの延在する方向に対してほぼ垂直（Ｘ軸方向）に延在した、棒状の梁２と接続されている。また、腕部１ａ，１ｂのそれぞれの一端は梁２から突出するように腕下端部１ｃ，１ｄが形成されている。
梁２は腕部１ａ，１ｂの間に位置する検出梁部２ａと、腕部１ａ，１ｂの外側に位置する接続梁部２ｂ，２ｃから構成されている。梁２の接続梁部２ｂの端には第１の接続部３が、接続梁部２ｃの端には第２の接続部４が接続されている。また、梁２の検出梁部２ａの中央部には第３の接続部８が接続されている。そして、第１の接続部３、第２の接続部４、第３の接続部８は基台５に接続されている。また、以上の振動片１０の各部は、Ｚ軸方向（厚み方向）に同一の厚さを有している。
なお、振動片１０の材料として、圧電材料のリン酸ガリウム（ＧａＰＯ₄）を用いてもよい。

図２は振動片１０の一方の面（表面）に配置された電極の構成を示す平面図であり、図３は図２の裏面に配置された電極の構成を示す平面図である。
腕部１ａのＸＹ平面の中央部には駆動電極２０が形成され、腕部１ａのＸＹ平面の端部からＹＺ平面にかけて、もう一つの駆動電極２１が形成されている。
駆動電極２０は、腕部１ａの腕下端部１ｃからＸＺ平面を通り、裏面の駆動電極２０に繋がっている。このように、腕部１ａのＡ−Ａ破断線に沿う断面においては、駆動電極２０は、腕部１ａのＸＹ平面に対向するように形成され、駆動電極２１はＹＺ平面に対向するように形成されている。

また、振動片１０の裏面の腕部１ａに形成された駆動電極２０にはリード電極２２が接続され、第１の接続部３を通り基台５の端部に至っている。そして、基台５の端部からＸＺ平面を通り、基台５の表面に設けられた駆動電極パッド２４に繋がっている。さらに、この駆動電極パッド２４から、基台５の端部を経てＸＺ平面を通り裏面へ繋がり、腕部１ｂのＸＹ平面の端部からＹＺ平面にかけて形成した、駆動電極２０に繋がっている。

腕部１ａに設けられたもう一つの駆動電極２１は、リード電極２３を通り、基台５に設けられた駆動電極パッド２５に接続されている。そして、駆動電極パッド２５からリード電極２３を通り、腕部１ｂのＸＹ平面の中央部に設けられた駆動電極２１に繋がっている。さらに、駆動電極２１は、腕部１ｂの腕下端部１ｄからＸＺ平面を通り、裏面の駆動電極２１に繋がっている。このように、腕部１ｂのＣ−Ｃ破断線に沿う断面においては、駆動電極２１は、腕部１ｂのＸＹ平面に対向するように形成され、駆動電極２０はＹＺ平面に対向するように形成されている。
以上のように、駆動電極２０と駆動電極２１とは異極となり、一対の駆動電極となるように構成されている。
なお、それぞれの腕部１ａ，１ｂのＸＹ平面の端部からＹＺ平面にかけて形成した駆動電極は、少なくともＹＺ平面にあればよく、後述する駆動モードで腕部１ａ，１ｂにＸ軸方向の屈曲振動を励起することができる。

また、振動片１０の一方の面（表面）のＸＹ平面には、一対の検出電極３０，３１が形成されている。検出電極３０は検出梁部２ａの稜線に近い部分に設けられ、リード電極３２が接続されている。リード電極３２は第３の接続部８を通り、基台５に設けられた検出電極パッド３４に接続されている。また、検出電極３１は検出梁部２ａのもう一方の稜線に近い部分に設けられ、リード電極３３が接続されている。そして、リード電極３３は第３の接続部８を通り、基台５に設けられた検出電極パッド３５に接続されている。このように、検出電極３０，３１が対となり、表面の検出梁部２ａに発生する歪を検出することが可能である。

さらに、振動片１０の他方の面（裏面）のＸＹ平面には、上記と同様に一対の検出電極４０，４１が形成されている。検出電極４０は検出梁部２ａの稜線に近い部分に設けられ、リード電極４２が接続されている。リード電極４２は第３の接続部８を通り、基台５の端部からＸＺ平面を経由して、基台５の表面に形成された検出電極パッド４４に繋がっている。また、検出電極４１は検出梁部２ａのもう一方の稜線に近い部分に設けられ、リード電極４３が接続されている。そして、リード電極４３は第３の接続部８を通り、基台５の端部からＸＺ平面を経由して、基台５の表面に形成された検出電極パッド４５に繋がっている。このように、検出電極４０，４１が対となり、裏面の検出梁部２ａに発生する歪を検出することが可能である。
なお、駆動電極パッド２４，２５および検出電極パッド３４，３５，４４，４５は、他に設けられた配線に、ワイヤーボンディングや導電性接着剤などの接続手段で接続されるように設けられている。
以上の振動片１０に配置された電極は、フォトリソグラフィにより寸法精度良く形成されており、電極の材料としてはＡｕが用いられている。

次に、以上の構成における振動片の、駆動モードと検出モードの動作について説明する。
図４は振動片の動作を説明する斜視図であり、図４（ａ）は駆動モードでの動作を示す斜視図、図４（ｂ）は検出モードでの動作を示す斜視図である。
図５は圧電材料内の電界パターンを示す図である。図５（ａ）は駆動モードにおける図２のＡ−Ａ断線に沿う断面図であり、同図（ｂ）は駆動モードにおける図２のＢ−Ｂ断線に沿う断面図、同図（ｃ）は検出モードにおける図２のＣ−Ｃ断線またはＤ−Ｄ断線に沿う断面図である。

振動片１０の駆動モードでは、図４（ａ）に示すようにＸＹ平面内で腕部１ａ，１ｂが屈曲振動をする。腕部１ａの電極構成は、腕部１ａのＸＹ平面の中央部に、対向する駆動電極２０が形成され、腕部１ａのＸＹ平面の端部からＹＺ平面にかけて、もう一つの対向する駆動電極２１が形成されている。また、もう一方の腕部１ｂにも駆動電極２０と駆動電極２１が配置されている。腕部１ｂでは、屈曲振動が腕部１ａとは逆相になるように駆動電極が構成されている。このことから、図５（ａ），（ｂ）に示すように、例えば、駆動電極２０に正の電圧、もう一つの駆動電極２１に負の電圧が印加されると、電界は駆動電極２０から駆動電極２１に向かうように生ずる。このように、腕部１ａ，１ｂの中心を境にして、右側半分と左側半分とで電界の方向が逆になり、一方が伸びの歪を生じれば、他方は縮みの歪を生じ、腕部１ａ，１ｂは屈曲する。そして、駆動電極２０と駆動電極２１に交番電圧を印加すれば腕部１ａ，１ｂは屈曲振動をすることができる。
このように、腕部１ａと腕部１ｂは、相互に逆相に振動するように駆動電極が構成されているため、腕部１ａ，１ｂの先端が近づいたり、遠ざかったりするように屈曲振動する。

次に振動片の検出モードについて説明をする。振動片１０が上記の駆動モードで屈曲振動を行っている間に、Ｙ軸を回転軸とする回転が生ずると、腕部１ａ，１ｂには図４（ｂ）の実線矢印で示すＺ軸方向に、コリオリ力Ｆおよび点線矢印で示したコリオリ力Ｆが交互に励起される。そして、腕部１ａ，１ｂに励起されたコリオリ力に付勢され、梁２に捩れによるせん断歪が生ずる。
図５（ｃ）に示すように、梁２の検出梁部２ａにおけるＸＹ平面には、一対の検出電極３０，３１が配置され、裏面のＸＹ平面に一対の検出電極４０，４１が配置されている。検出梁部２ａに捩れが生ずると、図２のＣ−Ｃ断線およびＤ−Ｄ断線に沿う断面には同様な電界が発生する。電界の発生パターンは、例えば検出電極３０から検出電極３１へ電界が発生し、他方で検出電極４１から検出電極４０へ電界が発生する。
この検出梁部２ａの表面と裏面に発生した歪を、検出電極３０，３１と検出電極４０，４１から電圧として取り出し、差動増幅し演算回路で処理することにより角速度の向き、大きさを検出することができる。
なお、検出電極の配置は本実施形態では検出梁部２ａに設けたが、接続梁部２ｂ，２ｃにも歪が発生しており、少なくとも接続梁部２ｂ，２ｃのどちらかに検出電極を設けても、梁２の歪を検出することができ、角速度の検出が可能である。

次に、振動片１０のＹ軸回転における、角速度の検出に対して外乱であるＺ軸方向の加速度の検出について説明する。
図６は振動片にＺ軸方向の加速度が加えられた時の状態を示す斜視図である。図７は振動片にＺ軸方向の加速度が加えられた時の、圧電材料内の電界パターンを示す図であり、図７（ａ）は図２におけるＣ−Ｃ断線に沿う断面図、同図（ｂ）は図２におけるＤ−Ｄ断線に沿う断面図である。

振動片１０にＺ軸方向に沿った加速度Ｆａが加えられると、図６に示すように、腕部１ａ，１ｂはＺ軸方向に同相関係で変形し、梁２に捩りが生ずる。このとき、検出梁部２ａの図２におけるＣ−Ｃ断線に沿う断面では、例えば、検出電極３０から検出電極３１へ電界が発生し、検出電極４１から検出電極４０へ電界が発生する。一方、このとき検出梁部２ａの図２におけるＤ−Ｄ断線に沿う断面では、検出電極３１から検出電極３０へ電界が発生し、検出電極４０から検出電極４１へ電界が発生する。
このように、検出梁部２ａに生ずる電界は、角速度を検出する検出モードにおける電界の発生するパターンと異なるため、加速度が生じたモードを認識でき、角速度との区別が可能となる。

以上のように、本実施形態の振動片１０は、検出電極３０，３１，４０，４１を厚さ方向で分割することがなく、ＸＹ平面に形成することができ、寸法精度の良い検出電極３０，３１，４０，４１を容易に得ることができる。また、振動片１０のＹ軸回転における、角速度の検出に対して外乱であるＺ軸方向の加速度の検出ができることから、角速度と加速度を分離できる。このことから、生産性に優れ、角速度の検出感度の良い振動片１０を得ることができる。
（変形例１）

以下、検出電極の配置の変形例について説明する。
図８は振動片の一方の面（表面）に配置された電極の構成を示す平面図であり、図９は図８の裏面に配置された電極の構成を示す平面図である。振動片の外形形状および駆動電極、さらには振動片の動作については、上記で説明した振動片と同様なため、同符号を付し説明を省略する。

振動片１００表面の検出梁部２ａのＸＹ平面には、二対の検出電極が設けられている。検出電極１０１，１０３は、表面のＸＹ平面で一対の検出電極を構成し、検出電極１０２，１０４でもう一対の検出電極を構成している。検出電極１０１，１０３はそれぞれ、リード電極１０５，１０７に接続され、第３の接続部８を通り、基台５に設けられた検出電極パッド１０９，１１１に接続されている。同じように、検出電極１０２，１０４はそれぞれ、リード電極１０６，１０８に接続され、第３の接続部８を通り、基台５に設けられた検出電極パッド１１０，１１２に接続されている。

また、振動片１００裏面の検出梁部２ａのＸＹ平面には、上記と同様に二対の検出電極が設けられている。検出電極１２１，１２３で一対の検出電極を構成し、検出電極１２２，１２４でもう一対の検出電極を構成している。検出電極１２１，１２３はそれぞれ、リード電極１２５，１２７に接続され、第３の接続部８を通り、基台５の端部からＸＺ平面を経由して、基台５の表面に形成された検出電極パッド１２９，１３１に繋がっている。同じように、検出電極１２２，１２４はそれぞれ、リード電極１２６，１２８に接続され、第３の接続部８を通り、基台５の端部からＸＺ平面を経由して、基台５の表面に形成された検出電極パッド１３０，１３２に繋がっている。

このように、梁２の検出梁部２ａに表面に二対の検出電極、裏面に二対の検出電極を設けることにより、検出梁部２ａの形状や電極の寸法誤差から生ずる歪の検出誤差を平均化することができ、検出梁部２ａの歪をさらに精度良く検出することができる。このことから、さらに精度よく角速度の検出が可能となる。
（変形例２）

次に、振動片の形状を変形した場合の変形例について説明する。
図１０は、振動片に３つの腕部を備えた振動片の平面図である。振動片２００には、棒状の３つの腕部２０１ａ，２０１ｂ，２０１ｃを有し、腕部２０１ａ，２０１ｂ，２０１ｃはＹ軸方向に沿って所定の長さで延在している。そして、この腕部２０１ａ，２０１ｂ，２０１ｃの延在する方向に対してほぼ垂直（Ｘ軸方向）に延在した、棒状の梁２０２と接続されている。また、腕部２０１ａ，２０１ｂ，２０１ｃのそれぞれの一端は梁２０２から突出するように腕下端部２０１ｄ，２０１ｅ，２０１ｆが形成されている。
梁２０２は腕部２０１ａ，２０１ｂの間に位置する検出梁部２０２ａと、腕部２０１ｂ，２０１ｃの間に位置する検出梁部２０２ｂ、腕部２０１ａ，２０１ｃの外側に位置する接続梁部２０２ｃ，２０２ｄから構成されている。
梁２０２の接続梁部２０２ｃの端には第１の接続部２０３が、接続梁部２０２ｄの端には第２の接続部２０４が接続されている。また、梁２０２の検出梁部２０２ａおよび２０２ｂの中央部には、第３の接続部２０５および第４の接続部２０６が接続されている。そして、第１の接続部２０３、第２の接続部２０４、第３の接続部２０５、第４の接続部２０６は基台２０５に接続されている。また、以上の振動片２００の各部は、Ｚ軸方向（厚み方向）には同一の厚さを有している。

腕部２０１ａ，２０１ｂ，２０１ｃには、それぞれ、前述した駆動電極と同様な駆動電極（図示せず）が配置され、駆動モードでは、Ｘ軸方向に沿って、それぞれ隣り合う腕部が逆相関係で屈曲振動する。
また、検出梁部２０２ａ，２０２ｂの２箇所には、それぞれ、前述した検出電極と同様な検出電極（図示せず）が配置されている。Ｙ軸回転における検出モードでは、Ｚ軸方向に沿って、腕部２０１ａ，２０１ｂ，２０１ｃが相互に逆相関係で屈曲する。このため、検出梁部２０２ａ，２０２ｂに歪が生じ、この歪を検出電極で検出することにより角速度の大きさ、方向を認識することができる。
（第２の実施形態）

図１１は、本発明の実施形態の振動子を示す断面図である。
振動子５０は、振動片１０、回路素子５２、収容容器５１、蓋体５３から構成されている。セラミックスなどで形成された収容容器５１は、一面が開放されて凹部が設けられている。この凹部に、振動片１０を導電性接着剤で接着することで、振動片１０が収容容器５１に固着および収容容器５１に形成された配線（図示せず）と電気的接続がなされている。また、収容容器５１の凹部の底面には、振動片１０を駆動する駆動回路や、検出した歪を角速度信号として演算処理する演算回路を含む回路素子５２が設けられている。回路素子５２はワイヤボンディングにより収容容器に形成された配線に接続されている。そして、収容容器５１の上面を蓋体５３で、内部を真空雰囲気に保持して封止されている。

このように、振動子５０は前述の振動片１０を備えており、生産性に優れ、角速度の検出感度の良い振動子５０を得ることができる。
（第３の実施形態）

次に、本発明に係る電子機器の実施形態について説明をする。
図１２は、電子機器の構成を示す構成図である。電子機器６０には上記の実施形態で説明したそれぞれの振動片を含む、振動子５０を備えている。
実施形態の振動子を用いた電子機器として、その姿勢の変化を検出する必要がある携帯電話、デジタルカメラおよびナビゲーションシステムのような電子機器が挙げられる。
このような電子機器では、角速度の検出感度に優れた上記振動子を具備しており、特性の優れた電子機器を提供することができる。

本実施形態の振動片の形状を示す斜視図。 一方の面の振動片に配置された電極の構成を示す平面図。 図２の裏面に配置された電極の構成を示す平面図。 （ａ）は振動片の駆動モードでの動作を示す斜視図、（ｂ）は振動片の検出モードでの動作を示す斜視図。 駆動モードおよび検出モードにおける電界パターンを示す図であり、（ａ）は駆動モードでの図２におけるＡ−Ａ断線に沿う断面図、（ｂ）は駆動モードでの図２におけるＢ−Ｂ断線に沿う断面図、（ｃ）は検出モードでの図２におけるＣ−Ｃ断線またはＤ−Ｄ断線に沿う断面図。 振動片に加速度が生じた状態を示す斜視図。 加速度が生じた状態の梁における電界パターンを示す図であり、（ａ）は図２におけるＣ−Ｃ断線に沿う断面図、（ｂ）は図２におけるＤ−Ｄ断線に沿う断面図。 変形例の一方の面の振動片に配置された電極の構成を示す平面図。 変形例における図８の裏面に配置された電極の構成を示す平面図。 他の変形例の振動片形状を示す平面図。 本実施形態の振動子の構成を示す断面図。 本実施形態の電子機器の構成を示す構成図。

符号の説明

１ａ，１ｂ…腕部、２…梁、２ａ…検出梁部、２ｂ，２ｃ…接続梁部、３…第１の接続部、４…第２の接続部、５…基台、８…第３の接続部、１０…振動片、２０，２１…駆動電極、２２，２３…リード電極、２４，２５…駆動電極パッド、３０，３１…検出電極、３２，３３…リード電極、３４，３５…検出電極パッド、４０，４１…検出電極、４２，４３…リード電極、４４，４５…検出電極パッド、５０…振動子、６０…電子機器、１００…振動片、１０１，１０２，１０３，１０４，１２１，１２２，１２３，１２４…検出電極、２００…振動片。

Claims (8)

1. Ｚ軸方向に厚みを有する圧電材料からなる振動片であって、
   前記振動片の回転の回転軸となるＹ軸方向に沿って延在する棒状の複数の腕部と、
   前記腕部の延在する方向に略垂直でＸ軸方向に延在し、前記腕部とＸＹ平面上で接続する棒状の梁と、を備え、
   前記腕部のＸＹ平面で対向する面、およびＹＺ平面で対向する面に、前記腕部をＸＹ平面で屈曲振動をさせるための駆動電極を設け、
   前記梁のＸＹ平面で対向する面に、前記振動片のＹ軸を回転軸とする回転により前記腕部に励起されたコリオリ力に付勢されて発生する、前記梁の歪を検出するための検出電極を設けたことを特徴とする振動片。
2. 請求項１に記載の振動片において、前記圧電材料は水晶であることを特徴とする振動片。
3. 請求項１に記載の振動片において、前記圧電材料はリン酸ガリウム（ＧａＰＯ₄）であることを特徴とする振動片。
4. 請求項１乃至３のいずれか一項に記載の振動片において、前記梁のＸＹ平面の一方の面に、対となる少なくとも一対の検出電極と、前記梁のＸＹ平面の他方の面に、対となる少なくとも一対の検出電極と、を備えたことを特徴とする振動片。
5. 請求項１乃至４のいずれか一項に記載の振動片において、前記検出電極を前記梁の、二つの前記腕部の間に位置する部分に備えたことを特徴とする振動片。
6. 請求項１乃至５のいずれか一項に記載の振動片において、前記振動片の形状および前記駆動電極、前記検出電極はフォトリソグラフィにより形成されたことを特徴とする振動片。
7. 請求項１乃至６のいずれか一項に記載の振動片を備えたことを特徴とする振動子。
8. 請求項７記載の振動子を備えたことを特徴とする応用機器。
   

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