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JP2006004514A - 半導体記憶装置 - Google Patents

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林  光昭
Wataru Abe
渉 安部
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修治 仲矢
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Abstract

【課題】複数のトランジスタから構成されるカラムデコーダを用いることなく、ビット線と読み出し回路を接続することで、カラムデコーダを構成するトランジスタに生じる基板バイアス効果による高閾値化の影響を受けることなく、低電源電圧まで安定した読み出し動作が可能な半導体記憶装置を実現する。
【解決手段】メモリセルアレイ1と、選択されたビット線のオフリーク電流を補充するチャージ回路2と、非選択のビット線を接地電位とするリセット回路3と、ビット線をゲートに接続する複数のトランジスタから構成される読み出し回路4と、選択されたビット線に一定期間充電を行うビット線プリチャージ回路5とを備える。これにより、読み出し回路からビット線への充電経路にカラムデコーダ等のトランスミッションゲートを用いることが無いため、基板バイアス効果の影響を受けること無く、低電源電圧動作を可能にすることができる。
【選択図】 図1

Description

本発明は半導体記憶装置に関し、低電圧動作を実現する回路技術に関するものである。
従来の半導体記憶装置は、例えば、特許文献1に開示されたものがある。この文献の第2頁段落0002〜0006と図2には、コンタクト方式のマスクROMの構成が開示されている。
図12は上記したコンタクト方式のマスクROMの構成を示す回路図を示している。コンタクト方式のマスクROMとは、メモリセルトランジスタのドレインがビット線に接続されているか、接続されていないか、を記憶データの“1”と“0”にそれぞれ対応させるものである。
図12に示す従来の半導体記憶装置は、メモリセルアレイ1、カラムデコーダ15、読み出し回路16から構成されている。
メモリセルアレイ1は、N型MOSトランジスタのメモリセルM(i,j)(i=1〜m、j=1〜n)がマトリクス状に配置されて構成される。メモリセルM(i,j)は、iの数値が同一のメモリセル、すなわち行方向に並んだメモリセルのゲートが共通にワード線選択信号WLi(i=1〜m)に接続されている。また、このメモリセルM(i,j)のソースは接地電位の配線に接続されている。そのドレインがビット線BLj(j=1〜n)に接続されている場合には、そのメモリセルから読み出される出力端子MDATAの出力データは“1”になり、接続されていない浮遊状態の場合には、出力端子MDATAの出力データは“0”になる。
カラムデコーダ15は、N型MOSトランジスタQNCj(j=1〜n)から構成されている。N型MOSトランジスタQNCj(j=1〜n)のドレインは共通に接続され、そのソースはビット線BLj(j=1〜n)に接続され、そのゲートはカラム選択信号線CDj(j=1〜n)に各々接続されている。
読み出し回路16は、P型MOSトランジスタQPPS及びQPL、N型MOSトランジスタQNRS、インバータ回路INVAから構成されている。
P型MOSトランジスタQPPSのゲートはプリチャージ制御信号線PCLKに接続し、ソースを電源電位とし、ドレインはカラムデコーダ15を構成するN型MOSトランジスタQNCj(j=1〜n)のドレインに接続している。
N型MOSトランジスタQNRSのゲートはリセット制御信号線RSTSに接続し、ソースを接地電位とし、ドレインはカラムデコーダ15を構成するN型MOSトランジスタQNCj(j=1〜n)のドレインに接続している。
インバータ回路INVAは、入力をカラムデコーダ15を構成するN型MOSトランジスタQNCj(j=1〜n)のドレインに接続し、出力を出力端子MDATAに接続している。
P型MOSトランジスタQPLのゲートはインバータ回路INVAの出力に接続し、ソースを電源電位とし、ドレインはカラムデコーダ15を構成するN型MOSトランジスタQNCj(j=1〜n)のドレインに接続している。P型MOSトランジスタQPLのオン電流はメモリセルM(i,j)(i=1〜m、j=1〜n)のオン電流に比べて小さく且つ、一本のビット線上に配置されたメモリセル全てのオフリーク電流の合計値に比べ同等以上に設定されている。
以上のように構成された半導体記憶装置について、例えばメモリセルM(1,1)のデータを読み出す動作について、図13のタイミング図を用いて説明する。
カラム選択信号線CDj(j=1〜n)のうち、CD1を「H」レベルにCD2〜CDnを「L」レベルに遷移することにより、カラムデコーダ15を構成するトランジスタのうち、トランジスタQNC1をオン状態にし、その他のトランジスタQNC2〜QNCnをオフ状態にする。また、リセット制御信号RSTSを「L」レベルに遷移させトランジスタQNRSをオフ状態にし、更に全てのワード線WL1〜WLmを「L」レベルに遷移させ全てのメモリセルトランジスタM(i,j)(i=1〜m、j=1〜n)をオフ状態とする。
次にプリチャージ制御信号線PCLKを一定期間「L」レベルとし、トランジスタQPPSを一定期間オン状態にすることで、ビット線BL1を充電し「H」レベルにする。
ビット線BL1が「H」レベルになった後、ワード線WL1を非選択の状態の「L」レベルから選択状態の「H」レベルに遷移させる。
これによってメモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されている場合は、ビット線に充電された電荷はメモリセルM(1,1)により放電されビット線BL1は「L」レベルとなり、メモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されてない場合は、ビット線に充電された電荷はメモリセルM(1,1)により放電されることなくビット線BL1は「H」レベルを保持する。
この結果、インバータ回路INVAは、メモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されてビット線BL1が「L」レベルとなる場合、オン状態のトランジスタQNC1を介して「L」レベルが入力され、トランジスタQPLのゲートに「H」レベルを入力し、トランジスタQPLをオフ状態することによりビット線BL1への充電を停止すると共に、「H」レベルを出力端子MDATAへ出力する。また、インバータ回路INVAは、メモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されずビット線BL1が「H」レベルとなる場合、オン状態のトランジスタQNC1を介して「H」レベルが入力され、トランジスタQPLのゲートに「L」レベルを入力し、トランジスタQPLをオン状態することによりビット線BL1へ接続されたメモリセルM(i,1)(i=1〜m)のオフリーク電流によりビット線BL1から放電される電荷相当の充電を行うことでビット線BL1は「H」レベルを保持し、「L」レベルを出力端子MDATAへ出力する。
特開平6−176592号公報(第2頁、第2図)
上記従来の半導体記憶装置では以下の問題を有している。従来の半導体記憶装置では、カラムデコーダ15を構成するトランジスタQNCj(j=1〜n)のドレインとソースは、接地電位に接続されることなく各々読み出し回路16とビット線BLj(j=1〜n)に接続されているため、基板バイアス効果により閾値電圧が高くなる。基板バイアス効果による閾値電圧の上昇による影響は、電源電圧を下げるほど大きくなり、カラムデコーダ15を構成するトランジスタQNCjのオン電流は大幅に減少するため、ビット線に接続されたメモリセルで生じるオフリーク電流を補充するために読み出し回路16に設けられたトランジスタQPLから供給される電荷をビット線BLjへ充分供給出来なくなり、読み出し回路16に接続されるカラムデコーダ15を構成するトランジスタQNCjのドレインの電位は「L」レベルに遷移することが出来なくなり、常時「H」レベルとなるため半導体記憶装置として機能出来なくなる。
特に近年、半導体製造技術の微細化に伴い低電源電圧化が加速する一方で、半導体記憶装置を搭載する機器は携帯化等により低消費電力化が求められるため、トランジスタのオフリーク電流による消費電力増加を抑制するために、トランジスタの閾値は低電圧化することが難しく、半導体記憶装置が動作する電源電圧の範囲を決める大きな要因になっており、上記した問題は半導体記憶装置を実現する上で大きな課題となって来ている。
そこで、一部のトランジスタの閾値電圧のみを製造時に低電圧化する方法や、一部トランジスタのゲート電圧を昇圧することにより基板バイアス効果を低減する方法が提案されているが、製造時に閾値電圧を低電圧化するためには通常の製造工程に加え、専用の製造工程が必要となり、またゲート電圧を昇圧するためには比較的大面積の昇圧回路を加える必要があり半導体記憶装置の面積増加となるため、コストが高くなるという問題がある。
本発明は、上記従来の問題を解決するものであり、読み出し回路とビット線をドレインとソースに接続するトランジスタで構成するカラムデコーダを設けることなく、読み出し回路とビット線の接続が可能で、基板バイアス効果による影響を受けることなく低電圧動作を可能とする半導体記憶装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため本発明の半導体記憶装置は、ビット線と読み出し回路をカラムデコーダを介することなく直接接続し、メモリセルで生じるオフリーク電流を補充するトランジスタをビット線に直接接続する構成を採用する。
第1の発明の半導体記憶装置は、複数のメモリセルをマトリクス状に配置し、マトリクス状に配置したメモリセルに接続される複数のワード線と複数のビット線を有したメモリセルアレイと、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線と電源電位線との間に接続されビット線に充電を行うための複数のチャージ用トランジスタを含むチャージ回路と、各々ビット線に対応して設けられてビット線と接地電位線との間に接続されビット線を接地電位とするための複数のリセット用トランジスタを含むビット線リセット回路と、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線にゲートが接続された複数の読み出し用トランジスタとを含み、読み出し対象のメモリセルに対応するビット線にゲートが接続された読み出し用トランジスタのオンオフ状態に応じた情報をメモリセルに記憶されたデータとして出力端子へ出力する読み出し回路とを備えている。
この第1の発明の半導体記憶装置において、チャージ回路は、チャージ用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を選択するデコード信号に接続した構成を有し、ビット線リセット回路は、リセット用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線のみを非選択にするリセット信号に接続した構成を有し、読み出し回路は、読み出し用トランジスタを出力端子と接地電位線との間に接続した構成を有してもよい。
上記第1の発明の半導体記憶装置によれば、ビット線に充電のためのチャージ用トランジスタが直接接続され、またビット線と読み出し回路の接続に従来のようにカラムデコータを構成するトランジスタを介することなく、読み出し回路を構成するトランジスタのゲートにビット線が直接接続されているため、ビット線で生じるオフリーク電流の補充において、トランジスタの基板バイアス効果の影響を受けないため、低電圧動作が実現できる。
第2の発明の半導体記憶装置は、複数のメモリセルをマトリクス状に配置し、マトリクス状に配置したメモリセルに接続される複数のワード線と複数のビット線を有したメモリセルアレイと、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線と電源電位線との間に接続されビット線に充電を行うための複数のチャージ用トランジスタを含むチャージ回路と、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線と電源電位線との間に接続されビット線に一定期間の充電を行うための複数のプリチャージ用トランジスタを含むビット線プリチャージ回路と、各々ビット線に対応して設けられてビット線と接地電位線との間に接続されビット線を接地電位とするための複数のリセット用トランジスタを含むビット線リセット回路と、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線にゲートが接続された複数の読み出し用トランジスタとを含み、読み出し対象のメモリセルに対応するビット線にゲートが接続された読み出し用トランジスタのオンオフ状態に応じた情報をメモリセルに記憶されたデータとして出力端子へ出力する読み出し回路とを備えている。
この第2の発明の半導体記憶装置において、チャージ回路は、チャージ用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を選択するデコード信号に接続した構成を有し、ビット線プリチャージ回路は、プリチャージ用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中で読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を一定期間のみ選択状態とするプリチャージ信号に接続した構成を有し、ビット線リセット回路は、リセット用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線のみを非選択にするリセット信号に接続した構成を有し、読み出し回路は、読み出し用トランジスタを出力端子と接地電位線との間に接続した構成を有してもよい。
上記第2の発明の半導体記憶装置によれば、第1の発明の半導体記憶装置と同様、低電圧動作が実現でき、更にビット線にプリチャージ用のトランジスタを設けることで、ビット線への充電時間が大幅に短縮でき、読み出し動作の高速化を実現できる。
さらに、第2の発明の半導体記憶装置において、チャージ用トランジスタと、プリチャージ用トランジスタと、リセット用トランジスタと、読み出し用トランジスタとは、それぞれN型MOSトランジスタであるように構成してもよい。
このように構成すれば、低電圧動作と読み出し動作の高速化の実現に加え、更にビット線に設けたチャージ用(オフリーク電流の補充用)トランジスタとプリチャージ用のトランジスタを、メモリセルと同じN型MOSトランジスタとすることで、半導体基板上の同一ウエルでトランジスタが配置できるため、ウエル分離のための領域を設けること無くトランジスタを形成でき、またN型MOSトランジスタはP型MOSトランジスタに対しオン電流が大きいため、チャージ用(オフリーク電流の補充用)トランジスタとプリチャージ用のトランジスタの幅を縮小できるため小面積化が実現できる。
第3の発明の半導体記憶装置は、複数のメモリブロックを備え、各々のメモリブロックは、複数のメモリセルをマトリクス状に配置し、マトリクス状に配置したメモリセルに接続される複数のワード線と複数のビット線を有したメモリセルアレイと、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線と電源電位線との間に接続された複数の第1のブロック選択用トランジスタと、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線と電源電位線との間で第1のブロック選択用トランジスタと直列接続されビット線に充電を行うための複数のチャージ用トランジスタとを含むチャージ回路と、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線と電源電位線との間に接続された複数の第2のブロック選択用トランジスタと、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線と電源電位線との間で第2のブロック選択用トランジスタと直列接続されビット線に一定期間の充電を行うための複数のプリチャージ用トランジスタとを含むビット線プリチャージ回路と、各々ビット線に対応して設けられてビット線と接地電位線との間に接続されビット線を接地電位とするための複数のリセット用トランジスタを含むビット線リセット回路と、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線にゲートが接続された複数の読み出し用トランジスタとを含み、読み出し対象のメモリセルに対応するビット線にゲートが接続された読み出し用トランジスタのオンオフ状態に応じた情報をメモリセルに記憶されたデータとして出力端子へ出力する読み出し回路とを備えている。
この第3の発明の半導体記憶装置において、チャージ回路は、第1のブロック選択用トランジスタが電源電位線に接続され、チャージ用トランジスタがビット線に接続されてビット線と電源電位線との間で第1のブロック選択用トランジスタとチャージ用トランジスタとが直列接続されており、第1のブロック選択用トランジスタのゲートをメモリセルアレイのメモリセルが読み出し対象になった場合に選択状態となるブロック選択信号線に接続し、チャージ用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を選択するデコード信号に接続した構成を有し、ビット線プリチャージ回路は、第2のブロック選択用トランジスタが電源電位線に接続され、プリチャージ用トランジスタがビット線に接続されてビット線と電源電位線との間で第2のブロック選択用トランジスタとプリチャージ用トランジスタとが直列接続されており、第2のブロック選択用トランジスタのゲートをブロック選択信号線に接続し、プリチャージ用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中で読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を一定期間のみ選択状態とするプリチャージ信号に接続した構成を有し、ビット線リセット回路は、リセット用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線のみを非選択にするリセット信号に接続した構成を有し、読み出し回路は、読み出し用トランジスタを出力端子と接地電位線との間に接続した構成を有してもよい。
また、第3の発明の半導体記憶装置において、チャージ回路は、第1のブロック選択用トランジスタがビット線に接続され、チャージ用トランジスタが電源電位線に接続されてビット線と電源電位線との間で第1のブロック選択用トランジスタとチャージ用トランジスタとが直列接続されており、第1のブロック選択用トランジスタのゲートをメモリセルアレイのメモリセルが読み出し対象になった場合に選択状態となるブロック選択信号線に接続し、チャージ用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を選択するデコード信号に接続した構成を有し、ビット線プリチャージ回路は、第2のブロック選択用トランジスタがビット線に接続され、プリチャージ用トランジスタが電源電位線に接続されてビット線と電源電位線との間で第2のブロック選択用トランジスタとプリチャージ用トランジスタとが直列接続されており、第2のブロック選択用トランジスタのゲートをブロック選択信号線に接続し、プリチャージ用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中で読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を一定期間のみ選択状態とするプリチャージ信号に接続した構成を有し、ビット線リセット回路は、リセット用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線のみを非選択にするリセット信号に接続した構成を有し、読み出し回路は、読み出し用トランジスタを出力端子と接地電位線との間に接続した構成を有してもよい。
上記第3の発明の半導体記憶装置によれば、第2の発明の半導体記憶装置と同様に低電圧動作と読み出し動作の高速化を実現でき、更にビット線に設けたチャージ用(オフリーク電流の補充用)トランジスタとプリチャージ用のトランジスタによるビット線への充電をメモリブロック毎に選択的に行うことが可能となり、読み出し対象となるメモリブロック以外ではビット線への充電が行われないため、低消費電力化を実現できる。
第4の発明の半導体記憶装置は、複数のメモリセルをマトリクス状に配置し、マトリクス状に配置したメモリセルに接続される複数のワード線と複数のビット線を有したメモリセルアレイと、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線と電源電位線との間に並列接続可能に配置されビット線に充電を行うための複数のチャージ用トランジスタ群を含み、それぞれのチャージ用トランジスタ群を構成するトランジスタの中で複数あるいは単一のトランジスタを対応するビット線と電源電位線との間に並列接続し、それ以外のトランジスタのビット線に接続可能な端子を浮遊状態にしたチャージ回路と、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線と電源電位線との間に接続されビット線に一定期間の充電を行うための複数のプリチャージ用トランジスタを含むビット線プリチャージ回路と、各々ビット線に対応して設けられてビット線と接地電位線との間に接続されビット線を接地電位とするための複数のリセット用トランジスタを含むビット線リセット回路と、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線にゲートが接続された複数の読み出し用トランジスタとを含み、読み出し対象のメモリセルに対応するビット線にゲートが接続された読み出し用トランジスタのオンオフ状態に応じた情報をメモリセルに記憶されたデータとして出力端子へ出力する読み出し回路とを備えている。
この第4の発明の半導体記憶装置において、チャージ回路は、チャージ用トランジスタ群を構成するトランジスタのゲートをメモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を選択するデコード信号に接続した構成を有し、ビット線プリチャージ回路は、プリチャージ用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中で読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を一定期間のみ選択状態とするプリチャージ信号に接続した構成を有し、ビット線リセット回路は、リセット用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線のみを非選択にするリセット信号に接続した構成を有し、読み出し回路は、読み出し用トランジスタを出力端子と接地電位線との間に接続した構成を有してもよい。
また、第4の発明の半導体記憶装置において、チャージ用トランジスタ群を構成するトランジスタとビット線との接続は、メモリセルにデータを書き込む手段と同一な手段で接続することが好ましい。
上記第4の発明の半導体記憶装置によれば、第2の発明の半導体記憶装置と同様に低電圧動作と読み出し動作の高速化を実現でき、更にビット線にドレインを接続したメモリセル数が多くビット線に生じるオフリーク電流も大きい場合、例えば、ビット線に設けた複数のチャージ用(オフリーク電流の補充用)トランジスタの中から、オン電流が大きいトランジスタをメモリセルのドレインをビット線と接続するマスクと同一のマスクでビット線と接続し、ビット線にドレインを接続したメモリセル数が少なくビット線に生じるオフリーク電流も小さい場合、例えば、ビット線に設けた二つのチャージ用(オフリーク電流の補充用)トランジスタの中からオン電流が小さいトランジスタをメモリセルのドレインをビット線と接続するマスクと同一のマスクでビット線と接続することが可能となり、ビット線に充電される電荷はオフリーク電流によってビット線から放電される電荷に対し過剰に供給されないため、読み出されるメモリセルのドレインがビット線に接続している場合、ビット線プリチャージ回路により充電された電荷の放電時間を短縮でき読み出し動作の高速化を実現できる。
第5の発明の半導体記憶装置は、複数のメモリセルをマトリクス状に配置し、マトリクス状に配置したメモリセルに接続される複数のワード線と複数のビット線を有したメモリセルアレイと、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線と電源電位線との間に接続されビット線に充電を行うための複数のチャージ用トランジスタを含むチャージ回路と、各々ビット線に接続されプリチャージするビット線を選択するための複数の選択用トランジスタと、各々の選択用トランジスタを介して各々のビット線と電源電位線との間に接続されビット線に一定期間の充電を行うための単一のプリチャージ用トランジスタとを含むビット線プリチャージ回路と、各々ビット線に対応して設けられてビット線と接地電位線との間に接続されビット線を接地電位とするための複数のリセット用トランジスタを含むビット線リセット回路と、各々ビット線に対応して設けられて対応するビット線にゲートが接続された複数の読み出し用トランジスタとを含み、読み出し対象のメモリセルに対応するビット線にゲートが接続された読み出し用トランジスタのオンオフ状態に応じた情報をメモリセルに記憶されたデータとして出力端子へ出力する読み出し回路とを備えている。
この第5の発明の半導体記憶装置において、チャージ回路は、チャージ用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を選択するデコード信号に接続した構成を有し、ビット線プリチャージ回路は、選択用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中で読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を選択するデコード信号に接続し、プリチャージ用トランジスタのゲートをメモリセルアレイのメモリセルが読み出し対象となった場合に一定期間のみ選択状態となるプリチャージ信号に接続した構成を有し、ビット線リセット回路は、リセット用トランジスタのゲートをメモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線のみを非選択にするリセット信号に接続した構成を有し、読み出し回路は、読み出し用トランジスタを出力端子と接地電位線との間に接続した構成を有してもよい。
上記第5の発明の半導体記憶装置によれば、第2の発明の半導体記憶装置と同様に低電圧動作と読み出し動作の高速化を実現でき、更にプリチャージ用トランジスタを各々のビット線毎に設けることなく複数のビット線に対して1つ設けることにより、プリチャージ用トランジスタのマスクレイアウト領域を大きく確保することが可能となり、トランジスタ幅を大きくすることでオン電流を大幅に増加させ、ビット線へのプリチャージ時間をより短縮でき、読み出し動作の更なる高速化を実現できる。
第1の発明の半導体記憶装置によれば、ビット線に充電のためのチャージ用トランジスタが直接接続され、またビット線と読み出し回路の接続に従来のようにカラムデコータを構成するトランジスタを介することなく、読み出し回路を構成するトランジスタのゲートにビット線が直接接続されているため、ビット線で生じるオフリーク電流の補充において、トランジスタの基板バイアス効果の影響を受けないため、低電圧動作が実現できる。
第2の発明の半導体記憶装置によれば、第1の発明の半導体記憶装置と同様、低電圧動作が実現でき、更にビット線にプリチャージ用のトランジスタを設けることで、ビット線への充電時間が大幅に短縮でき、読み出し動作の高速化を実現できる。さらに、この場合、チャージ用トランジスタと、プリチャージ用トランジスタと、リセット用トランジスタと、読み出し用トランジスタとを、メモリセルと同じN型MOSトランジスタとすることで、半導体基板上の同一ウエルでトランジスタが配置できるため、ウエル分離のための領域を設けること無くトランジスタを形成でき、またN型MOSトランジスタはP型MOSトランジスタに対しオン電流が大きいため、チャージ用(オフリーク電流の補充用)トランジスタとプリチャージ用のトランジスタの幅を縮小できるため小面積化が実現できる。
第3の発明の半導体記憶装置によれば、第2の発明の半導体記憶装置と同様に低電圧動作と読み出し動作の高速化を実現でき、更にビット線に設けたチャージ用(オフリーク電流の補充用)トランジスタとプリチャージ用のトランジスタによるビット線への充電をメモリブロック毎に選択的に行うことが可能となり、読み出し対象となるメモリブロック以外ではビット線への充電が行われないため、低消費電力化を実現できる。
第4の発明の半導体記憶装置によれば、第2の発明の半導体記憶装置と同様に低電圧動作と読み出し動作の高速化を実現でき、更にビット線にドレインを接続したメモリセル数が多くビット線に生じるオフリーク電流も大きい場合、例えば、ビット線に設けた複数のチャージ用(オフリーク電流の補充用)トランジスタの中から、オン電流が大きいトランジスタをメモリセルのドレインをビット線と接続するマスクと同一のマスクでビット線と接続し、ビット線にドレインを接続したメモリセル数が少なくビット線に生じるオフリーク電流も小さい場合、例えば、ビット線に設けた二つのチャージ用(オフリーク電流の補充用)トランジスタの中からオン電流が小さいトランジスタをメモリセルのドレインをビット線と接続するマスクと同一のマスクでビット線と接続することが可能となり、ビット線に充電される電荷はオフリーク電流によってビット線から放電される電荷に対し過剰に供給されないため、読み出されるメモリセルのドレインがビット線に接続している場合、ビット線プリチャージ回路により充電された電荷の放電時間を短縮でき読み出し動作の高速化を実現できる。
第5の発明の半導体記憶装置によれば、第2の発明の半導体記憶装置と同様に低電圧動作と読み出し動作の高速化を実現でき、更にプリチャージ用トランジスタを各々のビット線毎に設けることなく複数のビット線に対して1つ設けることにより、プリチャージ用トランジスタのマスクレイアウト領域を大きく確保することが可能となり、トランジスタ幅を大きくすることでオン電流を大幅に増加させ、ビット線へのプリチャージ時間をより短縮でき、読み出し動作の更なる高速化を実現できる。
以上のように本発明によれば、従来のように複数のトランジスタから構成されるカラムデコーダを用いることなく、ビット線と読み出し回路を接続することで、カラムデコーダを構成するトランジスタに生じる基板バイアス効果による高閾値化の影響を受けることなく、低電源電圧まで安定した読み出し動作が可能な半導体記憶装置を実現できる。また、前述した、一部のトランジスタの閾値電圧のみを製造時に低電圧化する方法や、一部トランジスタのゲート電圧を昇圧することにより基板バイアス効果を低減する方法のように、閾値電圧を低電圧化するための専用の製造工程や、ゲート電圧を昇圧するための大面積の昇圧回路が不要であり、面積の増加およびコストの上昇を抑えることができる。
(第1の実施形態)
図1は本発明の第1の実施形態に係る半導体記憶装置の構成を示す回路図である。
図1に示す半導体記憶装置は、メモリセルアレイ1、ビット線チャージ回路2、ビット線リセット回路3、読み出し回路4、ビット線プリチャージ回路5から構成されている。
メモリセルアレイ1は前述の従来技術と同様であるので、同一の構成要素には同一の符号を付してその説明を省略する。
ビット線チャージ回路2は、P型MOSトランジスタQPDj(j=1〜n)から構成されている。P型MOSトランジスタQPDj(j=1〜n)のゲートはチャージ選択信号線PDECj(j=1〜n)に各々接続し、ソースを電源電位とし、ドレインはビット線BLj(j=1〜n)に各々接続している。
P型MOSトランジスタQPDj(j=1〜n)のオン電流はメモリセルM(i,j)(i=1〜m、j=1〜n)のオン電流に比べて小さく設定され、且つ同一ビット線上に配置されるメモリセルのオフリーク電流の合計値に比べ同等あるいは同等以上に設定されている。
ビット線リセット回路3は、N型MOSトランジスタQNRj(j=1〜n)から構成されている。N型MOSトランジスタQNRj(j=1〜n)のゲートはリセット選択信号線RSTj(j=1〜n)に各々接続し、ソースを接地電位とし、ドレインはビット線BLj(j=1〜n)に各々接続している。
読み出し回路4は、P型MOSトランジスタQPS、N型MOSトランジスタQNS、N型MOSトランジスタQNBj(j=1〜n)から構成されている。
P型MOSトランジスタQPSのゲートは読み出し信号線SELに接続し、ソースを電源電位とし、ドレインは出力端子MDATAに接続している。
N型MOSトランジスタQNSのゲートは読み出し信号線SELに接続し、ソースを接地電位とし、ドレインは出力端子MDATAに接続している。
N型MOSトランジスタQNBj(j=1〜n)のゲートはビット線BLj(j=1〜n)に各々接続し、ソースを接地電位とし、ドレインは出力端子MDATAに接続している。
ビット線プリチャージ回路5は、P型MOSトランジスタQPCj(j=1〜n)から構成されている。P型MOSトランジスタQPCj(j=1〜n)のゲートはプリチャージ選択信号線PCLKj(j=1〜n)に各々接続し、ソースを電源電位とし、ドレインはビット線BLj(j=1〜n)に各々接続している。
以上のように構成された半導体記憶装置について、例えばメモリセルM(1,1)のデータを読み出す動作について、図2のタイミング図を用いて説明する。
リセット選択信号線RSTj(j=1〜n)のうち、RST1を「L」レベルにRST2〜RSTnを「H」レベルに遷移することにより、ビット線リセット回路3を構成するトランジスタのうち、トランジスタQNR1をオフ状態にし、その他のトランジスタQNR2〜QNRnをオン状態にする。また、チャージ選択信号線PDECj(j=1〜n)のうち、PDEC1を「L」レベルにPDEC2〜PDECnを「H」レベルに遷移することにより、ビット線チャージ回路2を構成するトランジスタのうち、トランジスタQPD1をオン状態にし、その他のトランジスタQPD2〜QPDnをオフ状態にする。また読み出し信号線SELを「H」レベルに遷移させトランジスタQNSをオン状態に、トランジスタQPSをオフ状態にする。更に全てのワード線WL1〜WLmを「L」レベルに遷移させ全てのメモリセルM(i,j)(i=1〜m、j=1〜n)をオフ状態にする。
次にプリチャージ制御信号線PCLK1〜PCLKnのうち、PCLK1を一定期間「L」レベルに遷移することにより、トランジスタQPC1はオン状態となりビット線BL1は充電され「H」レベルとなり、PCLK2〜PCLKnを「H」レベルとすることにより、トランジスタQPC2〜QPCnはオフ状態となりビット線BL2〜BLnは充電されることなく「L」レベルとなる。
ビット線BL1が「H」レベルになった後、ワード線WL1を非選択の状態の「L」レベルから選択状態の「H」レベルに遷移させ、読み出し信号線SELを「L」レベルに遷移させる。
これによってメモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されている場合は、トランジスタQPC1によって充電された電荷はメモリセルM(1,1)により放電されビット線BL1は「L」レベルとなり、メモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されてない場合は、トランジスタQPC1によってビット線に充電された電荷はメモリセルM(1,1)により放電されることなくビット線BL1は「H」レベルを保持する。またビット線BL2〜BLnはトランジスタQNR2〜QNRnがオン状態のため「L」レベルとなる。
この結果、トランジスタQNB1〜QNBnのうちビット線BL2〜BLnが各々ゲートに接続されたトランジスタQNB2〜QNBnはオフ状態となり、ビット線BL1がゲートに接続されたトランジスタQNB1は、メモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されてない場合、ビット線BL1は「H」レベルとなるためオン状態となり、読み出し信号線SELをゲートに接続したトランジスタQPSにより出力端子MDATAへ充電される電荷はトランジスタQNB1により放電され、出力端子MDATAは「L」レベルとなる。またメモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されている場合、ビット線BL1は「L」レベルとなるため、トランジスタQNB1はオフ状態となり、読み出し信号線SELをゲートに接続したトランジスタQPSにより出力端子MDATAへ充電される電荷はトランジスタQNB1により放電されることなく、出力端子MDATAは「H」レベルとなる。
上記のように本実施形態によれば、ビット線BLj(j=1〜n)と読み出し回路4がカラムデコーダを用いることなく接続できるため、従来のようにカラムデコーダを構成するトランジスタで生じる基板バイアス効果による高閾値化の影響を受けることなく、読み出し動作が可能となり、特に読み出し動作において基板バイアス効果による影響が顕著となり、読み出し不能となる低電圧状態でも、読み出しが可能となる。
本実施形態では、高速にビット線を充電することを目的にビット線プリチャージ回路5を設けているが、高速にビット線を充電する必要がない場合、ビット線プリチャージ回路を設けなくとも同様な効果を得ることができる。
(第2の実施形態)
図3は本発明の第2の実施形態に係る半導体記憶装置の構成を示す回路図である。
図3に示す半導体記憶装置は、メモリセルアレイ1、ビット線リセット回路3、読み出し回路4、ビット線プリチャージ回路6、ビット線チャージ回路7から構成されている。メモリセルアレイ1、ビット線リセット回路3、読み出し回路4は前述の第1の実施形態と同様であるので、同一の構成要素には同一の符号を付してその説明を省略する。
ビット線プリチャージ回路6は、N型MOSトランジスタQNCj(j=1〜n)から構成されている。N型MOSトランジスタQNCj(j=1〜n)のゲートはプリチャージ選択信号線PCLKj(j=1〜n)に各々接続し、ドレインを電源電位とし、ソースはビット線BLj(j=1〜n)に各々接続している。
ビット線チャージ回路7は、N型MOSトランジスタQNDj(j=1〜n)から構成されている。N型MOSトランジスタQNDj(j=1〜n)のゲートはチャージ選択信号PDECj(j=1〜n)に各々接続し、ドレインを電源電位とし、ソースはビット線BLj(j=1〜n)に各々接続している。
N型MOSトランジスタQNDj(j=1〜n)のオン電流はメモリセルM(i,j)(i=1〜m、j=1〜n)のオン電流に比べて小さく設定され、且つ同一ビット線上に配置されるメモリセルのオフリーク電流の合計値に比べ同等あるいは同等以上に設定されている。
以上のように構成された半導体記憶装置について、例えばメモリセルM(1,1)のデータを読み出す動作について、図4のタイミング図を用いて説明する。
リセット選択信号RSTj(j=1〜n)のうち、RST1を「L」レベルにRST2〜RSTnを「H」レベルに遷移することにより、ビット線リセット回路3を構成するトランジスタのうち、トランジスタQNR1をオフ状態にし、その他のトランジスタQNR2〜QNRnをオン状態にする。また、チャージ選択信号線PDECj(j=1〜n)のうち、PDEC1を「H」レベルにPDEC2〜PDECnを「L」レベルに遷移することにより、ビット線チャージ回路7を構成するトランジスタのうち、トランジスタQND1をオン状態にし、その他のトランジスタQND2〜QNDnをオフ状態にする。また読み出し信号線SELを「H」レベルに遷移させトランジスタQNSをオン状態に、トランジスタQPSをオフ状態にする。更に全てのワード線WL1〜WLmを「L」レベルに遷移させ全てのメモリセルM(i,j)(i=1〜m、j=1〜n)をオフ状態にする。
次にプリチャージ制御信号線PCLK1〜PCLKnのうち、PCLK1を一定期間「H」レベルに遷移することにより、トランジスタQNC1はオン状態となりビット線BL1は充電され「H」レベルとなり、PCLK2〜PCLKnを「L」レベルにすることにより、トランジスタQNC2〜QNCnはオフ状態となりビット線BL2〜BLnは充電されることなく「L」レベルとなる。
ビット線BL1が「H」レベルになった後、ワード線WL1を非選択の状態の「L」レベルから選択状態の「H」レベルに遷移させ、読み出し信号線SELを「L」レベルに遷移させる。
これによってメモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されている場合は、トランジスタQNC1によって充電された電荷はメモリセルM(1,1)により放電されビット線BL1は「L」レベルとなり、メモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されてない場合は、トランジスタQNC1によってビット線に充電された電荷はメモリセルM(1,1)により放電されることなくビット線BL1は「H」レベルを保持する。またビット線BL2〜BLnはトランジスタQNR2〜QNRnがオン状態のため「L」レベルとなる。
この結果、トランジスタQNB1〜QNBnのうちビット線BL2〜BLnが各々ゲートに接続されたトランジスタQNB2〜QNBnはオフ状態となり、ビット線BL1がゲートに接続されたトランジスタQNB1は、メモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されてない場合、ビット線BL1は「H」レベルとなるためオン状態となり、読み出し信号線SELをゲートに接続したトランジスタQPSにより出力端子MDATAへ充電される電荷はトランジスタQNB1により放電され、出力端子MDATAは「L」レベルとなる。またメモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されている場合、ビット線BL1は「L」レベルとなるため、トランジスタQNB1はオフ状態となり、読み出し信号線SELをゲートに接続したトランジスタQPSにより出力端子MDATAへ充電される電荷はトランジスタQNB1により放電されることなく、出力端子MDATAは「H」レベルとなる。
上記のように本実施形態によれば、第1の実施形態と同様に低電圧状態においても読み出し動作が可能となり、第1の実施形態と同様の効果が得られる。
更に、メモリセルアレイ1、ビット線チャージ回路7、ビット線プリチャージ回路6、ビット線リセット回路3をN型MOSトランジスタのみで構成することで、半導体基板上の同一ウエルにそれらの各回路を配置できるため、ウエル分離のための領域を設けることが無く、またN型MOSトランジスタはP型MOSトランジスタに対しオン電流が大きいため、ビット線チャージ回路7とビット線プリチャージ回路6を構成するトランジスタ幅の縮小も可能となるため小面積化が可能となる。
本実施形態では、高速にビット線を充電することを目的にビット線プリチャージ回路6を設けているが、高速にビット線を充電する必要がない場合、ビット線プリチャージ回路を設けなくとも同様な効果を得ることができる。
(第3の実施形態)
図5及び図6は本発明の第4の実施形態に係る半導体記憶装置の構成を示す回路図である。
本実施形態の半導体記憶装置は、図6に示すように、メモリブロック10、メモリブロック11、出力選択回路12から構成されている。
メモリブロック10、11の各々は、図5に示すように、メモリセルアレイ1、ビット線リセット回路3、読み出し回路4、ビット線プリチャージ回路8、ビット線チャージ回路9から構成されている。メモリセルアレイ1、ビット線リセット回路3、読み出し回路4は前述の第1の実施形態と同様であるので、同一の構成要素には同一の符号を付してその説明を省略する。
ビット線プリチャージ回路8は、P型MOSトランジスタQPUj(j=1〜n)、N型MOSトランジスタQNCj(j=1〜n)から構成されている。
P型MOSトランジスタQPUj(j=1〜n)のゲートはブロック選択信号線PSELに接続し、ソースを電源電位とし、ドレインはN型MOSトランジスタQNCj(j=1〜n)のドレインに各々接続している。
N型MOSトランジスタQNCj(j=1〜n)のゲートはプリチャージ選択信号線PCLKj(j=1〜n)に各々接続し、ソースをビット線BLj(j=1〜n)に各々接続し、ドレインをP型MOSトランジスタQPUj(j=1〜n)のドレインに各々接続している。
ビット線チャージ回路9は、P型MOSトランジスタQPBj(j=1〜n)、N型MOSトランジスタQNDj(j=1〜n)から構成されている。
P型MOSトランジスタQPBj(j=1〜n)のゲートはブロック選択信号線PSELに接続し、ソースを電源電位とし、ドレインはN型MOSトランジスタQNDj(j=1〜n)のドレインに各々接続している。
N型MOSトランジスタQNDj(j=1〜n)のゲートはチャージ選択信号線PDECj(j=1〜n)に各々接続し、ソースをビット線BLj(j=1〜n)に各々接続し、ドレインをP型MOSトランジスタQPBj(j=1〜n)のドレインに各々接続している。
電源電位とビット線BLj(j=1〜n)の間に、各々直列に接続されたP型MOSトランジスタQPBj(j=1〜n)とN型MOSトランジスタQNDj(j=1〜n)を介して流れる電流はメモリセルM(i,j)(i=1〜m、j=1〜n)のオン電流に比べて小さく設定され、且つ同一ビット線上に配置されるメモリセルのオフリーク電流の合計値に比べ同等あるいは同等以上に設定されている。
上記のように各メモリブロック10、11は構成されている。
そして図6に示すように、メモリブロック10において、読み出し信号線SELは読み出し信号端子TSELNに接続し、ワード線WLi(i=1〜m)はワード線端子TWLi(i=1〜m)に接続し、プリチャージ選択信号線PCLKj(j=1〜n)はプリチャージ選択信号端子TPCLKj(j=1〜n)に接続し、チャージ選択信号線PDECj(j=1〜n)はチャージ選択信号端子TPDECj(j=1〜n)に接続し、リセット選択信号線RSTj(j=1〜n)はリセット選択信号端子TRSTj(j=1〜n)に接続し、ブロック選択信号線PSELはブロック選択信号端子TPSELNに接続し、出力端子MDATAは出力信号線MDATALに接続している。
メモリブロック11において、読み出し信号線SELは読み出し信号端子TSELPに接続し、ワード線WLi(i=1〜m)はワード線端子TWLi(i=1〜m)に接続し、プリチャージ選択信号線PCLKj(j=1〜n)はプリチャージ選択信号端子TPCLKj(j=1〜n)に接続し、チャージ選択信号線PDECj(j=1〜n)はチャージ選択信号端子TPDECj(j=1〜n)に接続し、リセット選択信号線RSTj(j=1〜n)はリセット選択信号端子TRSTj(j=1〜n)に接続し、ブロック選択信号線PSELはブロック選択信号端子TPSELPに接続し、出力端子MDATAは出力信号線MDATARに接続している。
出力選択回路12は、NOR論理回路NOR、インバータ回路INVから構成されている。
NOR論理回路NORの一方の入力は出力信号線MDATALに接続し、もう一方の入力は出力信号線MDATARに接続し、出力はインバータ回路INVの入力に接続している。
インバータ回路INVの入力はNOR論理回路NORの出力に接続し、出力は出力端子TDATAに接続している。
以上のように構成された半導体記憶装置について、例えばメモリブロック10内のメモリセルM(1,1)のデータを読み出す動作について、図7のタイミング図を用いて説明する。
リセット選択信号端子TRSTj(j=1〜n)のうち、TRST1を「L」レベルにTRST2〜TRSTnを「H」レベルに遷移することにより、メモリブロック10及びメモリブロック11におけるリセット選択信号線RSTj(j=1〜n)のうち、RST1は「L」レベルにRST2〜RSTnは「H」レベルに遷移し、ビット線リセット回路3を構成するトランジスタのうち、トランジスタQNR1をオフ状態にし、その他のトランジスタQNR2〜QNRnをオン状態にする。
またチャージ選択信号端子TPDECj(j=1〜n)のうち、TPDEC1を「H」レベルにTPDEC2〜TPDECnを「L」レベルに遷移することにより、メモリブロック10及びメモリブロック11におけるチャージ選択信号線PDEC1は「H」レベルにPDEC2〜PDECnは「L」レベルに遷移し、ビット線チャージ回路9を構成するトランジスタのうち、トランジスタQND1をオン状態にし、その他のトランジスタQND2〜QNDnをオフ状態にする。
読み出し信号端子TSELNとTSELPを「H」レベルに遷移することで、メモリブロック10とメモリブロック11の読み出し信号線SELは「H」レベルに遷移し、メモリブロック10とメモリブロック11において、トランジスタQNSはオン状態に、トランジスタQPSはオフ状態になる。
またブロック選択信号端子TPSELNを「L」レベルに遷移することで、メモリブロック10のブロック選択信号線PSELは「L」レベルになり、ビット線プリチャージ回路8を構成するトランジスタQPU1〜QPUnとビット線チャージ回路9を構成するトランジスタQPB1〜QPBnはオン状態となり、ブロック選択信号端子TPSELPを「H」レベルに遷移することで、メモリブロック11のブロック選択信号線PSELは「H」レベルになり、ビット線プリチャージ回路8を構成するトランジスタQPU1〜QPUnとビット線チャージ回路9を構成するトランジスタQPB1〜QPBnはオフ状態となる。
更に全てのワード線端子TWL1〜TWLmを「L」レベルに遷移することにより、メモリブロック10及びメモリブロック11のワード線WL1〜WLmを「L」レベルに遷移させて、全てのメモリセルM(i,j)(i=1〜m、j=1〜n)をオフ状態にする。
次にプリチャージ制御信号端子TPCLK1〜TPCLKnのうち、TPCLK1を一定期間「H」レベルに遷移することにより、メモリブロック10及びメモリブロック11のプリチャージ制御信号線PCLK1は一定期間「H」レベルとなりトランジスタQNC1は一定期間オン状態となり、TPCLK2〜TPCLKnが「L」レベルでプリチャージ制御信号線PCLK2〜PCLKnを「L」レベルにすることにより、トランジスタQNC2〜QNCnはオフ状態となる。これにより、メモリブロック10において、ビット線BL1は充電され「H」レベルとなり、ビット線BL2〜BLnは充電されることなく「L」レベルとなる。またメモリセル11において、ビット線BL1は充電されることなく浮遊状態となり、ビット線BL2〜BLnは充電されることなく「L」レベルとなる。
メモリブロック10においてビット線BL1が「H」レベルになった後、ワード線端子TWL1を非選択の状態の「L」レベルから選択状態の「H」レベルに遷移させ、読み出し信号端子TSELNを「L」レベルに遷移(メモリブロック10の読み出し信号線SELを「L」レベルに遷移)させる。
これによってメモリブロック10のメモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されている場合は、トランジスタQPU1とQNC1によって充電された電荷はメモリセルM(1,1)により放電されビット線BL1は「L」レベルとなり、メモリブロック10のメモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されてない場合は、トランジスタQPU1とQNC1によってビット線に充電された電荷はメモリセルM(1,1)により放電されることなくビット線BL1は「H」レベルを保持する。またメモリセルブロック10のビット線BL2〜BLnはトランジスタQNR2〜QNRnがオン状態のため「L」レベルとなる。
この結果、メモリブロック10において、読み出し回路4内のトランジスタQNB1〜QNBnのうちビット線BL2〜BLnが各々ゲートに接続されたトランジスタQNB2〜QNBnはオフ状態となり、ビット線BL1がゲートに接続されたトランジスタQNB1は、メモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されてない場合、ビット線BL1は「H」レベルとなるためオン状態となり、読み出し信号線SELをゲートに接続したトランジスタQPSにより出力端子MDATAへ充電される電荷はトランジスタQNB1により放電され、出力端子MDATAと接続した出力信号線MDATALは「L」レベルとなる。またメモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されている場合、ビット線BL1は「L」レベルとなり、読み出し信号線SELをゲートに接続したトランジスタQPSにより出力端子MDATAへ充電される電荷はトランジスタQNB1により放電されることなく、出力端子MDATAに接続した出力信号線MDATALは「H」レベルとなる。
また、メモリブロック11については、読み出し信号端子TSELPが「H」レベルで、読み出し信号線SELが「H」であり、出力端子MDATAおよびそれと接続した出力信号線MDATARは「L」レベルである。
以上によって、出力選択回路12内のNOR論理回路NORはメモリセルブロック10のメモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されてない場合、インバータ回路INVに「H」レベルを入力しインバータINVは出力端子TDATAに「L」レベルを出力し、メモリセルブロック10のメモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されている場合、インバータ回路INVに「L」レベルを入力しインバータINVは出力端子TDATAに「H」レベルを出力する。
上記のように本実施形態によれば、第1の実施形態と同様に低電圧状態においても読み出し動作が可能となり、第1の実施形態と同様の効果が得られる。
更に、メモリブロック毎にビット線チャージ回路9とビット線プリチャージ回路8を制御することにより、ビット線への充電をメモリブロック毎に選択的に行うことができ、読み出し対象以外のメモリブロックではビット線への充電を停止することができるため、低消費電力化が可能となる。
本実施形態では、ビット線チャージ回路9及びビット線プリチャージ回路8をP型MOSトランジスタとN型MOSトランジスタで構成したが、P型MOSトランジスタのみ、あるいはN型MOSトランジスタのみでも同様な効果が得られる。
また、本実施形態では、ビット線チャージ回路9において、ゲートをブロック選択信号線PSELに接続したトランジスタQPBj(j=1〜n)を電源電位側に、ゲートをチャージ選択信号線PDECj(j=1〜n)に接続したトランジスタQNDj(j=1〜n)をビット線側にして接続しているが、トランジスタQPBj(j=1〜n)がビット線側、トランジスタQNDj(j=1〜n)が電源電位側となるように配置を入れ換えても同様の効果が得られる。また、同様に、ビット線プリチャージ回路8においても、電源電位とビット線間で、ゲートをブロック選択信号線PSELに接続したトランジスタQPUj(j=1〜n)と、ゲートをプリチャージ選択信号線PCLKj(j=1〜n)に接続したトランジスタQNCj(j=1〜n)とを入れ換えて配置しても同様の効果が得られる。
(第4の実施形態)
図8は本発明の第4の実施形態に係る半導体記憶装置の構成を示す回路図である。
図8に示す半導体記憶装置は、メモリセルアレイ1、ビット線リセット回路3、読み出し回路4、ビット線プリチャージ回路6、ビット線チャージ回路13から構成されている。メモリセルアレイ1、ビット線リセット回路3、読み出し回路4、ビット線プリチャージ回路6は前述の第2の実施形態と同様であるので、同一の構成要素には同一の符号を付してその説明を省略する。
ビット線チャージ回路13は、N型MOSトランジスタQNDAj(j=1〜n)、N型MOSトランジスタQNDBj(j=1〜n)から構成されている。
N型MOSトランジスタQNDAj(j=1〜n)とQNDBj(j=1〜n)において、ゲートはチャージ選択信号線PDECj(j=1〜n)に各々接続し、ドレインを電源電位としている。また、N型MOSトランジスタQNDAj(j=1〜n)とQNDBj(j=1〜n)のソースは、いずれか一方をビット線BLj(j=1〜n)に接続し、もう一方は浮遊状態となるよう設定されている。このN型MOSトランジスタQNDAj(j=1〜n)とQNDBj(j=1〜n)とはオン電流の大きさを異ならせており、いずれか一方が大きく、他方が小さくなるように構成している。
N型MOSトランジスタQNDAj(j=1〜n)及びN型MOSトランジスタQNDBj(j=1〜n)のオン電流はメモリセルM(i,j)(i=1〜m、j=1〜n)のオン電流に比べて小さく設定され、且つ同一ビット線上に配置されるメモリセルのオフリーク電流の合計値に比べ同等あるいは同等以上に設定されている。
以上のように構成された半導体記憶装置について、例えばメモリセルM(1,1)のデータを読み出す動作について、図9のタイミング図を用いて説明する。
リセット選択信号RSTj(j=1〜n)のうち、RST1を「L」レベルにRST2〜RSTnを「H」レベルに遷移することにより、ビット線リセット回路3を構成するトランジスタのうち、トランジスタQNR1をオフ状態にし、その他のトランジスタQNR2〜QNRnをオン状態にする。また、チャージ選択信号線PDECj(j=1〜n)のうち、PDEC1を「H」レベルにPDEC2〜PDECnを「L」レベルに遷移することにより、ビット線チャージ回路13を構成するトランジスタのうち、トランジスタQNDA1とQNDB1をオン状態にし、その他のトランジスタQNDA2〜QNDAnとQNDB2〜QNDBnをオフ状態にする。また読み出し信号線SELを「H」レベルに遷移させトランジスタQNSをオン状態に、トランジスタQPSをオフ状態にする。更に全てのワード線WL1〜WLmを「L」レベルに遷移させ全てのメモリセルM(i,j)(i=1〜m、j=1〜n)をオフ状態にする。
次にプリチャージ制御信号線PCLK1〜PCLKnのうち、PCLK1を一定期間「H」レベルに遷移することにより、トランジスタQNC1はオン状態となりビット線BL1は充電され「H」レベルとなり、PCLK2〜PCLKnを「L」レベルに遷移させることにより、トランジスタQNC2〜QNCnはオフ状態となりビット線BL2〜BLnは充電されることなく「L」レベルとなる。
ビット線BL1が「H」レベルになった後、ワード線WL1を非選択の状態の「L」レベルから選択状態の「H」レベルに遷移させ、読み出し信号線SELを「L」レベルに遷移させる。
これによってメモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されている場合は、トランジスタQNC1によって充電された電荷はメモリセルM(1,1)により放電されビット線BL1は「L」レベルとなり、メモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されてない場合は、トランジスタQNC1によってビット線に充電された電荷はメモリセルM(1,1)により放電されることなくビット線BL1は「H」レベルを保持する。またビット線BL2〜BLnはトランジスタQNR2〜QNRnがオン状態のため「L」レベルとなる。
この結果、トランジスタQNB1〜QNBnのうちビット線BL2〜BLnが各々ゲートに接続されたトランジスタQNB2〜QNBnはオフ状態となり、ビット線BL1がゲートに接続されたトランジスタQNB1は、メモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されてない場合、ビット線BL1は「H」レベルとなるためオン状態となり、読み出し信号線SELをゲートに接続したトランジスタQPSにより出力端子MDATAへ充電される電荷はトランジスタQNB1により放電され、出力端子MDATAは「L」レベルとなる。またメモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されている場合、ビット線BL1は「L」レベルとなるためトランジスタQNB1はオフ状態となり、読み出し信号線SELをゲートに接続したトランジスタQPSにより出力端子MDATAへ充電される電荷はトランジスタQNB1により放電されることなく、出力端子MDATAは「H」レベルとなる。
上記のように本実施形態によれば、第2の実施形態と同様に低電圧状態においても読み出し動作が可能となり、第2の実施形態と同様の効果が得られる。
更に、同一ビット線上でドレインを接続したメモリセル数が多い場合にはビット線に生じるオフリーク電流も大きくなるため、ビット線チャージ回路13において一本のビット線に対し二つ設けたトランジスタQNDAj、QNDBj(j=1〜n)の中からオン電流が大きい方のトランジスタを、メモリセルのドレインをビット線と接続するマスクと同一のマスクでビット線と接続し、また同一ビット線上にドレインを接続したメモリセル数が少ない場合にはビット線に生じるオフリーク電流も小さくなるため、ビット線チャージ回路13において一本のビット線に対し二つ設けたトランジスタQNDAj、QNDBj(j=1〜n)の中からオン電流が小さい方のトランジスタを、メモリセルのドレインをビット線と接続するマスクと同一のマスクでビット線と接続することが可能となり、ビット線チャージ回路13によりビット線へ充電される電荷はオフリーク電流によってビット線から放電される電荷に対し過剰に供給されなくなるため、読み出されるメモリセルのドレインがビット線に接続している場合、放電する電荷量を削減できるため、放電時間を短縮でき読み出し動作の高速化が可能となる。
本実施形態では、ビット線チャージ回路13をN型MOSトランジスタで構成しているがP型MOSトランジスタでも同様な効果が得られる。また本実施形態では、一本のビット線に対し、ビット線チャージ回路13を構成するトランジスタQNDAj、QNDBj(j=1〜n)の中で何れか1つのトランジスタをビット線に接続しているが、ビット線に生じるオフリーク電流に対応してビット線チャージ回路13を構成する複数のトランジスタを接続することでも同様な効果が得られる。
(第5の実施形態)
図10は本発明の第5の実施形態に係る半導体記憶装置の構成を示す回路図である。
図10に示す半導体記憶装置は、メモリセルアレイ1、ビット線リセット回路3、読み出し回路4、ビット線チャージ回路7、ビット線プリチャージ回路14から構成されている。メモリセルアレイ1、ビット線リセット回路3、読み出し回路4、ビット線チャージ回路7は前述の第2の実施形態と同様であるので、同一の構成要素には同一の符号を付してその説明を省略する。
ビット線プリチャージ回路14は、N型MOSトランジスタQNCPj(j=1〜n)、P型MOSトランジスタQPPから構成されている。
N型MOSトランジスタQNCPj(j=1〜n)のゲートはプリチャージ選択信号線DPCLKj(j=1〜n)に各々接続し、ソースをビット線BLj(j=1〜n)に各々接続し、ドレインはP型MOSトランジスタQPPのドレインに接続している。
P型MOSトランジスタQPPのゲートはプリチャージ信号線PCLKに接続し、ソースを電源電位とし、ドレインをN型MOSトランジスタQNCPj(j=1〜n)のドレインに接続している。
以上のように構成された半導体記憶装置について、例えばメモリセルM(1,1)のデータを読み出す動作について、図11のタイミング図を用いて説明する。
リセット選択信号RSTj(j=1〜n)のうち、RST1を「L」レベルにRST2〜RSTnを「H」レベルに遷移することにより、ビット線リセット回路3を構成するトランジスタのうち、トランジスタQNR1をオフ状態にし、その他のトランジスタQNR2〜QNRnをオン状態にする。また、チャージ選択信号線PDECj(j=1〜n)のうち、PDEC1を「H」レベルにPDEC2〜PDECnを「L」レベルに遷移することにより、ビット線チャージ回路7を構成するトランジスタのうち、トランジスタQND1をオン状態にし、その他のトランジスタQND2〜QNDnをオフ状態にする。また読み出し信号線SELを「H」レベルに遷移させトランジスタQNSをオン状態に、トランジスタQPSをオフ状態にする。更に全てのワード線WL1〜WLmを「L」レベルに遷移させ全てのメモリセルM(i,j)(i=1〜m、j=1〜n)をオフ状態にする。
次にプリチャージ選択信号線DPCLK1〜DPCLKnのうち、DPCLK1を「H」レベルに遷移し、DPCLK2〜DPCLKnを「L」に遷移することにより、ビット線プリチャージ回路14を構成するトランジスタQNCP1をオン状態に、トランジスタQNCP2〜QNCPnをオフ状態にする。またプリチャージ信号線PCLKを一定期間「L」レベルに遷移することにより、トランジスタQPPはオン状態となりビット線BL1はオン状態のトランジスタQNCP1を介し充電され「H」レベルとなり、トランジスタQNCP2〜QNCPnはオフ状態でありビット線BL2〜BLnは充電されることなく「L」レベルとなる。
ビット線BL1が「H」レベルになった後、ワード線WL1を非選択の状態の「L」レベルから選択状態の「H」レベルに遷移させ、読み出し信号線SELを「L」レベルに遷移させる。
これによってメモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されている場合は、トランジスタQPPによって充電された電荷はメモリセルM(1,1)により放電されビット線BL1は「L」レベルとなり、メモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されてない場合は、トランジスタQPPによってビット線に充電された電荷はメモリセルM(1,1)により放電されることなくビット線BL1は「H」レベルを保持する。またビット線BL2〜BLnはトランジスタQNR2〜QNRnがオン状態のため「L」レベルとなる。
この結果、トランジスタQNB1〜QNBnのうちビット線BL2〜BLnが各々ゲートに接続されたトランジスタQNB2〜QNBnはオフ状態となり、ビット線BL1がゲートに接続されたトランジスタQNB1は、メモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されてない場合、ビット線BL1は「H」レベルとなるためオン状態となり、読み出し信号線SELをゲートに接続したトランジスタQPSにより出力端子MDATAへ充電される電荷はトランジスタQNB1により放電され、出力端子MDATAは「L」レベルとなる。またメモリセルM(1,1)のドレインがビット線BL1に接続されている場合、ビット線BL1は「L」レベルとなるためトランジスタQNB1はオフ状態となり、読み出し信号線SELをゲートに接続したトランジスタQPSにより出力端子MDATAへ充電される電荷はトランジスタQNB1により放電されることなく、出力端子MDATAは「H」レベルとなる。
上記のように本実施形態によれば、第2の実施形態と同様に低電圧状態においても読み出し動作が可能となり、第2の実施形態と同様の効果が得られる。
更にビット線をプリチャージするためのトランジスタQPPを各々のビット線毎に設けることなく複数のビット線に対して単一のトランジスタを設けることにより、ビット線をプリチャージするためのトランジスタQPPのマスクレイアウト領域を大きく確保することが可能となることで、ビット線をプリチャージするためのトランジスタQPPのオン電流を大幅に増加させることが可能となり、ビット線へのプリチャージ時間をより短縮でき、読み出し動作の更なる高速化が可能となる。
本実施形態では、ビット線プリチャージ回路14の中で各々のビット線にソースを接続したビット線選択用のトランジスタQNCPj(j=1〜n)はN型MOSトランジスタで構成され、ドレインを電源電位としたプリチャージ用のトランジスタQPPをP型MOSトランジスタで構成しているが、各々P型MOSトランジスタ、N型MOSトランジスタで構成しても同等な効果が得られる。
本発明に係る半導体記憶装置は、メモリセルで生じるオフリーク電流分の電荷補充用のトランジスタと読み出し回路を、基板バイアス効果のあるカラムデコーダを構成するトランジスタを介してビット線に接続することなく、メモリセルで生じるオフリーク電流分の電荷補充用のトランジスタと読み出し回路を直接ビット線と接続する手法を有し、基板バイアス効果による閾値上昇の影響が顕著となる低電圧領域でメモリセルデータの読み出し限界をより低電圧化する回路技術等として有用である。
本発明の第1の実施形態に係る半導体記憶装置の構成を示す図である。 本発明の第1の実施形態に係る半導体記憶装置の動作を示すタイミング図である。 本発明の第2の実施形態に係る半導体記憶装置の構成を示す図である。 本発明の第2の実施形態に係る半導体記憶装置の動作を示すタイミング図である。 本発明の第3の実施形態に係る半導体記憶装置の構成を示す図である。 本発明の第3の実施形態に係る半導体記憶装置の構成を示す図である。 本発明の第3の実施形態に係る半導体記憶装置の動作を示すタイミング図である。 本発明の第4の実施形態に係る半導体記憶装置の構成を示す図である。 本発明の第4の実施形態に係る半導体記憶装置の動作を示すタイミング図である。 本発明の第5の実施形態に係る半導体記憶装置の構成を示す図である。 本発明の第5の実施形態に係る半導体記憶装置の動作を示すタイミング図である。 従来の半導体記憶装置の構成を示す図である。 従来の半導体記憶装置の動作を示すタイミング図である。
符号の説明
1 メモリセルアレイ
2、7、9、13 ビット線チャージ回路
3 ビット線リセット回路
4、16 読み出し回路
5、6、8、14 ビット線プリチャージ回路
10、11 メモリブロック
12 出力選択回路
15 カラムデコーダ

Claims (13)

  1. 複数のメモリセルをマトリクス状に配置し、前記マトリクス状に配置したメモリセルに接続される複数のワード線と複数のビット線を有したメモリセルアレイと、
    各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線と電源電位線との間に接続され前記ビット線に充電を行うための複数のチャージ用トランジスタを含むチャージ回路と、
    各々前記ビット線に対応して設けられて前記ビット線と接地電位線との間に接続され前記ビット線を接地電位とするための複数のリセット用トランジスタを含むビット線リセット回路と、
    各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線にゲートが接続された複数の読み出し用トランジスタとを含み、読み出し対象の前記メモリセルに対応するビット線にゲートが接続された前記読み出し用トランジスタのオンオフ状態に応じた情報を前記メモリセルに記憶されたデータとして出力端子へ出力する読み出し回路とを備えた半導体記憶装置。
  2. 前記チャージ回路は、前記チャージ用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を選択するデコード信号に接続した構成を有し、前記ビット線リセット回路は、前記リセット用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中から読み出し対象となる前記メモリセルに対応するビット線のみを非選択にするリセット信号に接続した構成を有し、前記読み出し回路は、前記読み出し用トランジスタを前記出力端子と接地電位線との間に接続した構成を有することを特徴とする請求項1記載の半導体記憶装置。
  3. 複数のメモリセルをマトリクス状に配置し、前記マトリクス状に配置したメモリセルに接続される複数のワード線と複数のビット線を有したメモリセルアレイと、
    各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線と電源電位線との間に接続され前記ビット線に充電を行うための複数のチャージ用トランジスタを含むチャージ回路と、
    各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線と電源電位線との間に接続され前記ビット線に一定期間の充電を行うための複数のプリチャージ用トランジスタを含むビット線プリチャージ回路と、
    各々前記ビット線に対応して設けられて前記ビット線と接地電位線との間に接続され前記ビット線を接地電位とするための複数のリセット用トランジスタを含むビット線リセット回路と、
    各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線にゲートが接続された複数の読み出し用トランジスタとを含み、読み出し対象の前記メモリセルに対応するビット線にゲートが接続された前記読み出し用トランジスタのオンオフ状態に応じた情報を前記メモリセルに記憶されたデータとして出力端子へ出力する読み出し回路とを備えた半導体記憶装置。
  4. 前記チャージ回路は、前記チャージ用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を選択するデコード信号に接続した構成を有し、前記ビット線プリチャージ回路は、前記プリチャージ用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中で読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を一定期間のみ選択状態とするプリチャージ信号に接続した構成を有し、前記ビット線リセット回路は、前記リセット用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中から読み出し対象となる前記メモリセルに対応するビット線のみを非選択にするリセット信号に接続した構成を有し、前記読み出し回路は、前記読み出し用トランジスタを前記出力端子と接地電位線との間に接続した構成を有することを特徴とする請求項3記載の半導体記憶装置。
  5. 前記チャージ用トランジスタと、前記プリチャージ用トランジスタと、前記リセット用トランジスタと、前記読み出し用トランジスタとは、それぞれN型MOSトランジスタであることを特徴とする請求項3または4記載の半導体記憶装置。
  6. 複数のメモリブロックを備え、
    各々の前記メモリブロックは、
    複数のメモリセルをマトリクス状に配置し、前記マトリクス状に配置したメモリセルに接続される複数のワード線と複数のビット線を有したメモリセルアレイと、
    各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線と電源電位線との間に接続された複数の第1のブロック選択用トランジスタと、各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線と電源電位線との間で前記第1のブロック選択用トランジスタと直列接続され前記ビット線に充電を行うための複数のチャージ用トランジスタとを含むチャージ回路と、
    各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線と電源電位線との間に接続された複数の第2のブロック選択用トランジスタと、各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線と電源電位線との間で前記第2のブロック選択用トランジスタと直列接続され前記ビット線に一定期間の充電を行うための複数のプリチャージ用トランジスタとを含むビット線プリチャージ回路と、
    各々前記ビット線に対応して設けられて前記ビット線と接地電位線との間に接続され前記ビット線を接地電位とするための複数のリセット用トランジスタを含むビット線リセット回路と、
    各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線にゲートが接続された複数の読み出し用トランジスタとを含み、読み出し対象の前記メモリセルに対応するビット線にゲートが接続された前記読み出し用トランジスタのオンオフ状態に応じた情報を前記メモリセルに記憶されたデータとして出力端子へ出力する読み出し回路とを備えた半導体記憶装置。
  7. 前記チャージ回路は、前記第1のブロック選択用トランジスタが前記電源電位線に接続され、前記チャージ用トランジスタが前記ビット線に接続されて前記ビット線と電源電位線との間で前記第1のブロック選択用トランジスタと前記チャージ用トランジスタとが直列接続されており、前記第1のブロック選択用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイのメモリセルが読み出し対象になった場合に選択状態となるブロック選択信号線に接続し、前記チャージ用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を選択するデコード信号に接続した構成を有し、
    前記ビット線プリチャージ回路は、前記第2のブロック選択用トランジスタが前記電源電位線に接続され、前記プリチャージ用トランジスタが前記ビット線に接続されて前記ビット線と電源電位線との間で前記第2のブロック選択用トランジスタと前記プリチャージ用トランジスタとが直列接続されており、前記第2のブロック選択用トランジスタのゲートを前記ブロック選択信号線に接続し、前記プリチャージ用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中で読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を一定期間のみ選択状態とするプリチャージ信号に接続した構成を有し、
    前記ビット線リセット回路は、前記リセット用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中から読み出し対象となる前記メモリセルに対応するビット線のみを非選択にするリセット信号に接続した構成を有し、
    前記読み出し回路は、前記読み出し用トランジスタを前記出力端子と接地電位線との間に接続した構成を有することを特徴とする請求項6記載の半導体記憶装置。
  8. 前記チャージ回路は、前記第1のブロック選択用トランジスタが前記ビット線に接続され、前記チャージ用トランジスタが前記電源電位線に接続されて前記ビット線と電源電位線との間で前記第1のブロック選択用トランジスタと前記チャージ用トランジスタとが直列接続されており、前記第1のブロック選択用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイのメモリセルが読み出し対象になった場合に選択状態となるブロック選択信号線に接続し、前記チャージ用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を選択するデコード信号に接続した構成を有し、
    前記ビット線プリチャージ回路は、前記第2のブロック選択用トランジスタが前記ビット線に接続され、前記プリチャージ用トランジスタが前記電源電位線に接続されて前記ビット線と電源電位線との間で前記第2のブロック選択用トランジスタと前記プリチャージ用トランジスタとが直列接続されており、前記第2のブロック選択用トランジスタのゲートを前記ブロック選択信号線に接続し、前記プリチャージ用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中で読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を一定期間のみ選択状態とするプリチャージ信号に接続した構成を有し、
    前記ビット線リセット回路は、前記リセット用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中から読み出し対象となる前記メモリセルに対応するビット線のみを非選択にするリセット信号に接続した構成を有し、
    前記読み出し回路は、前記読み出し用トランジスタを前記出力端子と接地電位線との間に接続した構成を有することを特徴とする請求項6記載の半導体記憶装置。
  9. 複数のメモリセルをマトリクス状に配置し、前記マトリクス状に配置したメモリセルに接続される複数のワード線と複数のビット線を有したメモリセルアレイと、
    各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線と電源電位線との間に並列接続可能に配置され前記ビット線に充電を行うための複数のチャージ用トランジスタ群を含み、それぞれの前記チャージ用トランジスタ群を構成するトランジスタの中で複数あるいは単一のトランジスタを対応する前記ビット線と電源電位線との間に並列接続し、それ以外のトランジスタの前記ビット線に接続可能な端子を浮遊状態にしたチャージ回路と、
    各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線と電源電位線との間に接続され前記ビット線に一定期間の充電を行うための複数のプリチャージ用トランジスタを含むビット線プリチャージ回路と、
    各々前記ビット線に対応して設けられて前記ビット線と接地電位線との間に接続され前記ビット線を接地電位とするための複数のリセット用トランジスタを含むビット線リセット回路と、
    各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線にゲートが接続された複数の読み出し用トランジスタとを含み、読み出し対象の前記メモリセルに対応するビット線にゲートが接続された前記読み出し用トランジスタのオンオフ状態に応じた情報を前記メモリセルに記憶されたデータとして出力端子へ出力する読み出し回路とを備えた半導体記憶装置。
  10. 前記チャージ回路は、前記チャージ用トランジスタ群を構成するトランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を選択するデコード信号に接続した構成を有し、前記ビット線プリチャージ回路は、前記プリチャージ用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中で読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を一定期間のみ選択状態とするプリチャージ信号に接続した構成を有し、前記ビット線リセット回路は、前記リセット用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中から読み出し対象となる前記メモリセルに対応するビット線のみを非選択にするリセット信号に接続した構成を有し、前記読み出し回路は、前記読み出し用トランジスタを前記出力端子と接地電位線との間に接続した構成を有することを特徴とする請求項9記載の半導体記憶装置。
  11. 前記チャージ用トランジスタ群を構成するトランジスタと前記ビット線との接続は、メモリセルにデータを書き込む手段と同一な手段で接続することを特徴とする請求項9または10記載の半導体記憶装置。
  12. 複数のメモリセルをマトリクス状に配置し、前記マトリクス状に配置したメモリセルに接続される複数のワード線と複数のビット線を有したメモリセルアレイと、
    各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線と電源電位線との間に接続され前記ビット線に充電を行うための複数のチャージ用トランジスタを含むチャージ回路と、
    各々前記ビット線に接続されプリチャージするビット線を選択するための複数の選択用トランジスタと、各々の前記選択用トランジスタを介して各々の前記ビット線と電源電位線との間に接続され前記ビット線に一定期間の充電を行うための単一のプリチャージ用トランジスタとを含むビット線プリチャージ回路と、
    各々前記ビット線に対応して設けられて前記ビット線と接地電位線との間に接続され前記ビット線を接地電位とするための複数のリセット用トランジスタを含むビット線リセット回路と、
    各々前記ビット線に対応して設けられて対応する前記ビット線にゲートが接続された複数の読み出し用トランジスタとを含み、読み出し対象の前記メモリセルに対応するビット線にゲートが接続された前記読み出し用トランジスタのオンオフ状態に応じた情報を前記メモリセルに記憶されたデータとして出力端子へ出力する読み出し回路とを備えた半導体記憶装置。
  13. 前記チャージ回路は、前記チャージ用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中から読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を選択するデコード信号に接続した構成を有し、前記ビット線プリチャージ回路は、前記選択用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中で読み出し対象となるメモリセルに対応するビット線を選択するデコード信号に接続し、前記プリチャージ用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイのメモリセルが読み出し対象となった場合に一定期間のみ選択状態となるプリチャージ信号に接続した構成を有し、前記ビット線リセット回路は、前記リセット用トランジスタのゲートを前記メモリセルアレイの中から読み出し対象となる前記メモリセルに対応するビット線のみを非選択にするリセット信号に接続した構成を有し、前記読み出し回路は、前記読み出し用トランジスタを前記出力端子と接地電位線との間に接続した構成を有することを特徴とする請求項12記載の半導体記憶装置。
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