JP2003307404A

JP2003307404A - 形状測定方法および形状測定装置

Info

Publication number: JP2003307404A
Application number: JP2002114792A
Authority: JP
Inventors: Yukio Ichinoki; 幸雄一之木
Original assignee: Nissan Motor Co Ltd
Current assignee: Nissan Motor Co Ltd
Priority date: 2002-04-17
Filing date: 2002-04-17
Publication date: 2003-10-31

Abstract

(57)【要約】【課題】被測定物の形状を測定する際に多軸方向の角
度検出を可能とする。【解決手段】操作棒１５を備えた球体３をケース１１
内に回転可能に収容する。球体３の操作棒１５と反対側
の表面に第１の磁石２１を設け、第１の磁石２１と直角
となる位置の球体３の表面に第２の磁石２３を設ける。
ケース１１側の第１の回路基板２５には、第１のホール
素子２７，２９を設ける。球体３が図１中で紙面に直交
する第１軸を中心とした回転により、第１の磁石２１と
第１の各ホール素子２７，２９との距離が変化し、第１
の各ホール素子２７，２９相互間で発生する電圧差に応
じて回転角度を検出する。第１の回路基板２５には、図
１中で紙面に直交する方向にも一対のホール素子を設
け、これにより球体３の図１中で上下方向の第２軸を中
心とした回転角度を検出する。さらに、第２の磁石２３
に対しても一対のホール素子を設けて図１中で左右方向
の第３軸を中心とした回転角度を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、被測定物の曲が
り形状を測定する形状測定方法および形状測定装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来では、例えば特開２０００−３２１
０５２号公報に記載されているように、複数の角度検出
ユニットを回転自在に連結して形状計測プローブを構成
し、この形状計測プローブを被測定物に沿わせて取り付
けて、被測定物の形状変化を測定するものがある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のものは、被測定物の形状を測定するに際し、一
軸方向の角度検出しかできず、このため例えば産業用ロ
ボットのアームに沿って施設されるケーブルなどの形状
測定には対応できず、改善が望まれている。

【０００４】そこで、この発明は、被測定物の形状を測
定するに際し、多軸方向の角度検出をできるようにする
ことを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１の発明は、磁化部分を備えた球体をケース
内に回転可能に収容し、このケースに対する前記球体の
回転変位を、磁気検出手段により前記磁化部分を検出す
ることで測定する形状測定方法としてある。

【０００６】請求項２の発明は、請求項１の発明の形状
側愛知方法において、前記磁化部分は、前記球体の表面
近傍に設けた第１の磁化部分と、この第１の磁化部分に
対し、ほぼ直角をなす角度位置の前記球体の表面近傍に
設けた第２の磁化部分とを有し、前記磁気検出手段は、
前記球体の中心を通る第１軸を中心とした回転に伴う前
記第１の磁化部分の移動による磁気変化を検出する一対
の第１の磁気検出部と、前記球体の第１軸と直交して前
記球体の中心を通る第２軸を中心とした回転に伴う前記
第１の磁化部分の移動による磁気変化を検出する一対の
第２の磁気検出部と、前記球体の前記第１軸および第２
軸に互いに直交して前記球体の中心を通る第３軸を中心
とした回転に伴う前記第２の磁化部分の移動による磁気
変化を検出する一対の第３の磁気検出部とを有するもの
としてある。

【０００７】請求項３の発明は、請求項２の発明の形状
測定方法において、前記球体の前記第１の磁化部分と反
対側に操作棒の一端を固定し、前記ケース、前記操作棒
を備えた球体および前記磁気検出手段を有する形状測定
器単体を複数設け、前記操作棒の他端を他の形状測定器
単体の前記ケースに連結固定し、この複数の形状測定器
単体を互いに連結して構成したものを、ケーブルに沿っ
て装着してこのケーブルの形状を測定するものとしてあ
る。

【０００８】請求項４の発明は、磁化部分を備えた球体
と、この球体を回転可能に収容するケースと、このケー
スに対する前記球体の回転変位を、前記磁化部分を検出
することで測定する磁気検出手段とを有する構成として
ある。

【０００９】請求項５の発明は、請求項４の発明の構成
において、前記磁化部分は、前記球体の表面近傍に設け
た第１の磁化部分と、この第１の磁化部分に対し、ほぼ
直角をなす角度位置の前記球体の表面近傍に設けた第２
の磁化部分とを有し、前記磁気検出手段は、前記球体の
中心を通る第１軸を中心とした回転に伴う前記第１の磁
化部分の移動による磁気変化を検出する一対の第１の磁
気検出部と、前記球体の第１軸と直交して前記球体の中
心を通る第２軸を中心とした回転に伴う前記第１の磁化
部分の移動による磁気変化を検出する一対の第２の磁気
検出部と、前記球体の前記第１軸および第２軸に互いに
直交して前記球体の中心を通る第３軸を中心とした回転
に伴う前記第２の磁化部分の移動による磁気変化を検出
する一対の第３の磁気検出部とを有する構成としてあ
る。

【００１０】請求項６の発明は、請求項５の発明の構成
において、前記球体の前記第１の磁化部分と反対側に操
作棒の一端を固定し、前記ケース、前記操作棒を備えた
球体および前記磁気検出手段を有する形状測定器単体を
複数設け、前記操作棒の他端を他の形状測定器単体の前
記ケースに連結固定して複数の形状測定器単体を互いに
連結した構成としてある。

【００１１】請求項７の発明は、請求項６の発明の構成
において、前記第１の磁化部分は、前記操作棒と反対側
の球体表面近傍に設けられている構成としてある。

【００１２】請求項８の発明は、請求項６または７の発
明の構成において、前記各形状測定器単体相互間に、各
形状測定器単体相互を規定位置に戻す弾性手段を設けた
構成としてある。

【００１３】請求項９の発明は、請求項８の発明の構成
において、前記弾性手段は、前記ケースから露出する前
記球体を押圧している構成としてある。

【００１４】

【発明の効果】請求項１または４の発明によれば、磁気
検出手段が球体の回転変位に応じて磁化部分の磁気を検
出することで、球体の回転変位を測定できるので、多軸
方向に形状変化する被測定物に対しても形状測定を行う
ことができる。

【００１５】請求項２または５の発明によれば、第１の
磁気検出部により球体の第１軸を中心とした回転変位を
検出するとともに、第２の磁気検出部により球体の第２
軸を中心とした回転変位を検出し、さらに第３の磁気検
出部により球体の第３軸を中心とした回転変位を検出す
るので、３軸方向に形状変化する被測定物に対する形状
測定を行うことができる。

【００１６】請求項３または６の発明によれば、形状測
定器単体を複数連結することで、ケーブルに対する３軸
方向の形状測定を容易に行うことができる。

【００１７】請求項７の発明によれば、操作棒と反対側
の球体表面近傍に設けた第１の磁化部分を、第１の磁気
検出部および第２の磁気検出部がそれぞれ検出すること
で、第１軸および第２軸を中心とした球体の回転変位を
それぞれ測定することができる。

【００１８】請求項８の発明によれば、形状測定作業終
了後、被測定物から本装置を取り外すと、弾性手段によ
り、各形状測定器単体は、元の規定位置に復帰すること
になる。

【００１９】請求項９の発明によれば、球体が弾性手段
により押圧されることで、球体とケースとの間の回転摺
動部分のガタが吸収され、形状検出精度が向上する。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を図
面に基づき説明する。

【００２１】図１は、この発明の実施の一形態を示す形
状測定装置における形状側計器単体１の断面図である。
この形状測定器単体１は、球体３が円柱状のケース５内
に回転可能に収容されている。ケース５は、図１中で左
側から第１のケース７、第２のケース９、第３のケース
１１および蓋１３を備えている。

【００２２】第１のケース７と第２のケース９とは、球
体３の中心にて左右に分割されており、図中左側の第１
のケース７から図示しないボルトが挿入されて両者は互
いに固定されている。そして、第１のケース７および第
２のケース９の内面には、球体３を回転可能に支持する
凹曲面部７ａおよび９ａが形成されている。

【００２３】球体３の図１中で左側の部分には平面部３
ａが形成され、この平面部３ａに操作棒１５の一端が固
定されている。この操作棒１５は、第１のケース７の開
口部７ｂからケース外部に突出している。

【００２４】第２のケース９と第３のケース１１と蓋１
３とは、図中右側の蓋１３から図示しないボルトが挿入
されて３者は互いに固定されている。

【００２５】ここで、球体３がケース５に対して回転す
る際の中心軸について、図１中で紙面に直交する方向を
第１軸（Ｘ軸）とし、同上下方向を第２軸（Ｙ軸）と
し、同左右方向を第３軸（Ｚ軸）とする。すなわち、操
作棒１５の図中で左側の先端を上下に移動させること
で、球体３は第１軸を中心として回転する。また、操作
棒１５の図中で左側の先端を紙面に直交する方向に移動
させることで、球体３は第２軸を中心として回転する。
さらに操作棒１５をその軸線を中心として回転させるこ
とで、球体３は第３軸を中心として回転する。

【００２６】前記球体３の上部には突起１７が設けら
れ、この突起１７は、第１のケース７と第２のケース９
との接合部に設けてある角度規制用孔１９に挿入され
る。突起１７が、突起１７の外径より大きい内径を備え
る角度規制用孔１９に挿入されることで、球体３の前記
第３軸を中心とした回転変位動作が規制される。一方、
球体３の前記第１軸および第２軸をそれぞれ中心とする
回転変位動作の規制は、操作棒１５が第１のケース７の
開口部７ｂに当接することでなされる。

【００２７】前記球体３の図１中で右側の端部表面に
は、第１の磁化部分としての第１の磁石２１が埋め込ま
れ、球体３の図１中で下部側の端部表面には、第２の磁
化部分としての第２の磁石２３が埋め込まれている。す
なわち、第１の磁石２１と第２の磁石２３とは、互いに
ほぼ９０度をなす角度位置の球体表面に設けられること
になる。

【００２８】上記した第１の磁石２１に対応する部位の
第２のケース９には、円形の開口部９ｂおよび、この開
口部９ｂに連続して円形の基板取付凹部９ｃがそれぞれ
形成されている。この基板取付凹部９ｃに連続して第３
のケース１１には、図１中で左右方向に貫通する貫通孔
１１ａが形成されている。

【００２９】上記基板取付凹部９ｃに円板状の第１の回
路基板２５が収容固定され、この第１の回路基板２５に
は、開口部９ｂに対応する位置で、かつ第１の磁石２１
の図１中で上下位置に、一対の第１の磁気検出部として
の第１のホール素子２７，２９が設けられている。

【００３０】ここで、球体３が図１の紙面に直交する第
１軸を中心として回転すると、つまり操作棒１５が図２
に矢印Ａで示すように上下に移動すると、第１の磁石２
１が矢印Ｂで示すように第１のホール素子２７，２９の
いずれかに近づく。これにより、２つの第１のホール素
子２７，２９間に、球体３の回転角度に比例した電圧の
差が生じ、この電圧差に基づいて球体３の第１軸を中心
とした回転角度が測定可能となる。

【００３１】図３は、図１のＣ−Ｃ断面図で、この図に
示すように、前記した第１の回路基板２５には、開口部
９ｂに対応する位置で、かつ第１の磁石２１に対し図３
中で上下位置に、一対の第２の磁気検出部としての第２
のホール素子３１，３３が設けられている。

【００３２】すなわち、この第２のホール素子３１，３
３は、第１のホール素子２７，２９との間で、円形の第
１の回路基板２５の円周方向に沿って９０度の角度の間
隔で配置されていることになる。この第２のホール素子
３１，３３は、球体３が図３の紙面に直交する（図１で
は上下方向の）第２軸を中心として回転する場合に、第
１の磁石２１が、前記図２に示した場合と同様にして、
第２のホール素子３１，３３のいずれかに近づくことに
より、２つの第２のホール素子３１，３３間に、回転角
度に比例した電圧の差が生じ、この電圧差に基づいて球
体３の第２軸を中心とした回転角度が測定可能となる。

【００３３】前記した第２の磁石２３に対応する部位の
第１のケース７および第２のケース９の相互の接合部に
は、円形の開口部３５およびこの開口部３５に連続する
矩形状の基板取付凹部３７がそれぞれ形成されている。
この基板取付凹部３７には矩形状の第２の回路基板３９
が収容固定され、第２の回路基板３９には、図３のＢ矢
視図である図４に示すように、開口部３５に対応する位
置で、かつ第２の磁石２３の図４中で上下位置に、一対
の第３の磁気検出部としての第３のホール素子４１，４
３が設けられている。

【００３４】この第３のホール素子４１，４３は、球体
３が図４中で左右方向の第３軸を中心として回転する場
合に、第２の磁石２３が第３のホール素子４１，４３の
いずれかに近づくことにより、２つの第３のホール素子
４１，４３間に、回転角度に比例した電圧の差が生じ、
この電圧差に基づいて球体３の第３軸を中心とした回転
角度が測定可能となる。

【００３５】上記した基板取付凹部３７に連続するよう
に、第２のケース９の表面には、凹溝９ｄが形成されて
いる。さらに、この凹溝９ｄに連続するように、第２の
ケース９および第３のケース１１の相互の接合部には、
貫通孔４５が形成され、この貫通孔４５は、前記した第
１のケース９の基板取付凹部９ｃおよび第２のケース１
１の貫通孔１１ａで構成される空間４７内に連通してい
る。

【００３６】この空間４７内には、メイン回路基板４９
が収容され、このメイン回路基板４９に、前記第１の回
路基板２５から引き出されるリード線５１が接続される
とともに、前記第２の回路基板３９から引き出されるリ
ード線５３が、前記凹溝９ｄおよび貫通孔４５を通して
接続される。さらに、メイン回路基板４９からはリード
線５５が貫通孔４５を通して外部に引き出される。

【００３７】図５は、図４の右側面図で、蓋１３の中央
には、ねじ孔１３ｂが形成され、さらにその外側には長
円形のスプリング収容溝１３ａが形成されている。一
方、前記した操作棒１５には雄ねじが形成されており、
ねじ孔１３ｂに他の形状測定器単体１の操作棒１５の先
端をねじ込み固定することで、複数の形状測定器単体１
を順次連結することが可能となる。

【００３８】図６は、形状測定器単体１相互を連結した
状態を示す斜視図である。この図６における形状測定器
単体１は、ケース１１の外部に形成してある凹溝１１ａ
などは省略して単純化してある。

【００３９】上記した形状測定器単体１相互間には、弾
性手段としての復元用スプリング５７が介装される。こ
の復元用スプリング５７は、前記長円形のスプリング収
容溝１３ａに整合して入り込むように長円形を呈してい
る。復元用スプリング５７の反力により、形状測定後の
形状測定器単体１相互が、全体として直線状の元の規定
位置に戻ることになる。さらに、この復元用スプリング
５７は、互いに連結された状態での隣り合う形状測定器
単体１相互の回転を防止するとともに、その一端側が球
体３を押圧することで、球体３とケース１１との相互の
回転摺動部のガタを吸収し、測定精度の向上を図ってい
る。

【００４０】また、図５に示すように、ケース１１に
は、その軸線方向（図５中で紙面に直交する方向）に沿
って、切り溝１１ａが全長にわたり形成されている。こ
の切り溝１１ａは、形状測定器単体１を組み立てる際
の、第１，第２，第３の各ケース７，９，１１および蓋
１３相互の位置合わせとして使用するとともに、形状測
定に使用後の形状測定装置の校正時の治具への取り付け
基準として使用する。

【００４１】図７は、上記した形状測定器単体１相互を
連結して構成したものを、被測定物である、例えば産業
用ロボットのアームに沿って施設されるケーブル５９に
取り付けた例を示している。

【００４２】この取り付けには、ホルダ６１が用いられ
る。ホルダ６１は、ケーブル５９の周囲を覆うケーブル
固定部６３と、形状測定器単体１の円柱状のケース１１
の半周強を抱えるようにして固定する測定器固定爪６５
とを有する。この測定器固定爪６５の先端は、前記した
ケース１１の切り溝１１ａに入り込んで固定される。

【００４３】上記したケーブル５９は、直径が３０ｍｍ
〜５０ｍｍ程度のもので、曲がり半径が最大で９００ｍ
ｍ程度である。これに対し、形状測定器単体１の直径は
３２ｍｍであり、曲がり半径が最大で４００ｍｍである
ので、上記したケーブル５９の曲がり形状に充分対応で
きる。また、形状測定器単体１の各回転軸の検出角度
は、±１５°である。

【００４４】図８は、複数の形状測定器単体１相互を順
次連結して構成した形状測定装置全体のシステム構成図
で、各形状測定器単体１から引き出されるリード線５５
は、電源およびアンプユニット６７に接続される。さら
に、この電源およびアンプユニット６７は、配線６９を
介してノートパソコン７１に接続される。

【００４５】ノートパソコン７１では、前記した球体３
の回転変位に伴う第１のホール素子２７，２９相互間の
電圧差と第１軸を中心とした回転角度との関係、球体３
の回転変位に伴う第２のホール素子３１，３３相互間の
電圧差と第２軸を中心とした回転角度との関係、球体３
の回転変位に伴う第３のホール素子４１，４３相互間の
電圧差と第３軸を中心とした回転角度との関係をそれぞ
れ示すデータが内蔵するメモリにあらかじめ格納されて
いる。

【００４６】図９は、各形状測定器単体１から出力され
るデータの流れを示しており、形状測定器単体１が検出
したデータ（電圧値）は、図示しないＡ／Ｄ変換器によ
りＡ／Ｄ変換された後、メモリ７３に記憶されるととも
に、電圧値がディスプレイ７５に表示される。そして、
前記あらかじめ記憶されている回転角度と電圧値の相関
データと、検出された電圧値とから、各軸の回転角度を
ＣＰＵ７７にて演算し、演算結果はハードディスク７９
に記憶される。

【００４７】図１０は、第３軸（Ｚ軸）での回転変位が
０のときの第１軸（Ｘ軸）および第２軸（Ｙ軸）での電
圧値に対応する回転角度の関係を示している。Ｘ軸での
回転角度を実線で、Ｙ軸での回転角度を一点鎖線でそれ
ぞれ示している。ここで、Ｘ軸およびＹ軸いずれについ
ても、＋側の角度と−側の角度とが、同電圧値（絶対
値）であっても非対称となっているが、これはホール素
子のばらつき、磁石の取付状態など各部の加工精度、球
体３のケース１１に対する遊び（隙間０．１ｍｍ）など
による。

【００４８】第３軸（Ｚ軸）での回転角度が０度以外の
各角度毎に、図１０に示すような、第１軸（Ｘ軸）およ
び第２軸（Ｙ軸）での電圧値に対応する回転角度の相関
関係をもっている。

【００４９】次に作用を説明する。図１１に示すよう
に、球体３がＸ軸（第１軸）を中心として回転変位する
と、第１のホール素子２７，２９は、第１の磁石２１と
の距離が変化し、第１のホール素子２７，２９相互間
で、発生する電圧に差が生じる。この電圧値（電圧差）
を基にして前記図１０の関係から、Ｘ軸（第１軸）を中
心とした回転角度を算出する。

【００５０】また、球体３がＹ軸（第２軸）を中心とし
て回転変位すると、第２のホール素子３１，３３は、第
１の磁石２１との距離が変化し、第２のホール素子３
１，３３相互間で、発生する電圧に差が生じる。この電
圧値（電圧差）を基にして前記図１０の関係から、Ｙ軸
（第２軸）を中心とした回転角度を算出する。

【００５１】さらに、球体３がＺ軸（第３軸）を中心と
して回転変位すると、第３のホール素子４１，４３は、
第２の磁石２３との距離が変化し、第３のホール素子４
１，４３間で、発生する電圧に差が生じる。この電圧値
（電圧差）を基にして、電圧値と回転角度との関係か
ら、Ｚ軸（第３軸）を中心とした回転角度を算出する。

【００５２】このようにして、３軸方向の回転変位を測
定できる形状測定器単体１を順次複数連結し、この連結
したものを、図７に示すようにケーブル５９に沿って取
り付けることで、ケーブル５９の多軸方向の形状変化を
測定することができる。この場合、形状測定器単体１を
複数連結することで、各軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）での回
転角度が累積され、この累積値によってケーブル５９の
形状変化が測定される。このようにケーブル５９の形状
変化を測定することで、ケーブル５９に掛かる負荷を把
握することが可能となる。

【００５３】また、例えば、上記した形状測定器単体１
を１０個連結した状態では、１個の形状測定器単体１で
３軸方向が測定できることから、各形状測定器単体１
を、相互で異なる方向の回転変位を検出ように連結する
ことで、３０軸方向の形状変位を測定でき、ロボットア
ームに施設するケーブル５９の形状測定に最適なものと
なる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の一形態を示す形状測定装置に
おける形状側計器単体の断面図である。

【図２】球体の動きによるホール素子と磁石との関係を
示す説明図である。

【図３】図１のＣ−Ｃ断図である。

【図４】図１のＤ矢視図である。

【図５】図４の右側面図である。

【図６】形状測定器単体相互を連結した状態を示す斜視
図である。

【図７】形状測定器単体相互を連結して構成したもの
を、ケーブルに取り付けた例を示す斜視図である。

【図８】複数の形状測定器単体相互を順次連結して構成
した形状測定装置全体のシステム構成図である。

【図９】図８のシステムにおけるデータの流れを示す説
明図である。

【図１０】第３軸（Ｚ軸）での回転角度が０度のときの
第１軸（Ｘ軸）および第２軸（Ｙ軸）での電圧値と回転
角度との相関図である。

【図１１】球体の各軸での回転変位に対する各ホール素
子による角度検出動作を示す説明図である。

【符号の説明】

１形状測定器単体３球体１１ケース１５操作棒２１第１の磁石（第１の磁化部分）２３第２の磁石（第２の磁化部分）２７，２９第１のホール素子（磁気検出手段、第１の
磁気検出部）３１，３３第２のホール素子（磁気検出手段、第２の
磁気検出部）４１，４３第３のホール素子（磁気検出手段、第３の
磁気検出部）５７復元用スプリング（弾性手段）５９ケーブル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】磁化部分を備えた球体をケース内に回転
可能に収容し、このケースに対する前記球体の回転変位
を、磁気検出手段により前記磁化部分を検出することで
測定することを特徴とする形状測定方法。
【請求項２】前記磁化部分は、前記球体の表面近傍に
設けた第１の磁化部分と、この第１の磁化部分に対し、
ほぼ直角をなす角度位置の前記球体の表面近傍に設けた
第２の磁化部分とを有し、前記磁気検出手段は、前記球
体の中心を通る第１軸を中心とした回転に伴う前記第１
の磁化部分の移動による磁気変化を検出する一対の第１
の磁気検出部と、前記球体の第１軸と直交して前記球体
の中心を通る第２軸を中心とした回転に伴う前記第１の
磁化部分の移動による磁気変化を検出する一対の第２の
磁気検出部と、前記球体の前記第１軸および第２軸に互
いに直交して前記球体の中心を通る第３軸を中心とした
回転に伴う前記第２の磁化部分の移動による磁気変化を
検出する一対の第３の磁気検出部とを有することを特徴
とする請求項１記載の形状測定方法。
【請求項３】前記球体の前記第１の磁化部分と反対側
に操作棒の一端を固定し、前記ケース、前記操作棒を備
えた球体および前記磁気検出手段を有する形状測定器単
体を複数設け、前記操作棒の他端を他の形状測定器単体
の前記ケースに連結固定し、この複数の形状測定器単体
を互いに連結して構成したものを、ケーブルに沿って装
着してこのケーブルの形状を測定することを特徴とする
請求項２記載の形状測定方法。
【請求項４】磁化部分を備えた球体と、この球体を回
転可能に収容するケースと、このケースに対する前記球
体の回転変位を、前記磁化部分を検出することで測定す
る磁気検出手段とを有することを特徴とする形状測定装
置。
【請求項５】前記磁化部分は、前記球体の表面近傍に
設けた第１の磁化部分と、この第１の磁化部分に対し、
ほぼ直角をなす角度位置の前記球体の表面近傍に設けた
第２の磁化部分とを有し、前記磁気検出手段は、前記球
体の中心を通る第１軸を中心とした回転に伴う前記第１
の磁化部分の移動による磁気変化を検出する一対の第１
の磁気検出部と、前記球体の第１軸と直交して前記球体
の中心を通る第２軸を中心とした回転に伴う前記第１の
磁化部分の移動による磁気変化を検出する一対の第２の
磁気検出部と、前記球体の前記第１軸および第２軸に互
いに直交して前記球体の中心を通る第３軸を中心とした
回転に伴う前記第２の磁化部分の移動による磁気変化を
検出する一対の第３の磁気検出部とを有することを特徴
とする請求項４記載の形状測定装置。
【請求項６】前記球体の前記第１の磁化部分と反対側
に操作棒の一端を固定し、前記ケース、前記操作棒を備
えた球体および前記磁気検出手段を有する形状測定器単
体を複数設け、前記操作棒の他端を他の形状測定器単体
の前記ケースに連結固定して複数の形状測定器単体を互
いに連結して構成したことを特徴とする請求項５記載の
形状測定装置。
【請求項７】前記第１の磁化部分は、前記操作棒と反
対側の球体表面近傍に設けられていることを特徴とする
請求項６記載の形状測定装置。
【請求項８】前記各形状測定器単体相互間に、各形状
測定器単体相互を規定位置に戻す弾性手段を設けたこと
を特徴とする請求項６または７記載の形状測定装置。
【請求項９】前記弾性手段は、前記ケースから露出す
る前記球体を押圧していることを特徴とする請求項８記
載の形状測定装置。