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JP2003133518A - 半導体モジュール - Google Patents

半導体モジュール

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Publication number
JP2003133518A
JP2003133518A JP2001331261A JP2001331261A JP2003133518A JP 2003133518 A JP2003133518 A JP 2003133518A JP 2001331261 A JP2001331261 A JP 2001331261A JP 2001331261 A JP2001331261 A JP 2001331261A JP 2003133518 A JP2003133518 A JP 2003133518A
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JP
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semiconductor module
semiconductor
substrate
substrates
external connection
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Application number
JP2001331261A
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Tetsuya Matsuura
哲也 松浦
Taiji Kasatani
泰司 笠谷
Tadashi Ichimasa
忠志 一政
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Priority to US10/134,427 priority patent/US6717275B2/en
Priority to KR10-2002-0034337A priority patent/KR100497997B1/ko
Priority to TW091114599A priority patent/TW550782B/zh
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体チップを高密度に、かつ確実に実装す
ること。 【解決手段】 複数の基板20,20′をフレキシブル
ケーブル30によって一連に接続した状態で相互に積層
するとともに、各基板20,20′において互いに対向
する面にそれぞれ半導体パッケージ10を実装し、かつ
これら半導体パッケージ10の相互間を接着剤40によ
って接着保持させるようにしている。また、最下層とな
る基板20′に設けた外部リード50を介してマザー基
板90に実装されるように構成している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体モジュー
ルに関するもので、より詳細には、高密度に半導体チッ
プを実装できる半導体モジュールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図12は、この種の半導体モジュールの
構成を示すもので、(a)は平面図、(b)は側面図で
ある。この半導体モジュールは、基板2の表裏両面にそ
れぞれ半導体パッケージ1を実装して構成されている。
半導体パッケージ1は、図示しない半導体チップを封止
体1aによって封止したもので、外部リード1bを介し
て基板2に実装されている。また基板2には、外部接続
端子5が設けてある。
【0003】図13は、図12の半導体モジュールの実
装例を示したもので、(a)は半導体モジュールを平面
的に並べて実装した状態の側面図、(b)は半導体モジ
ュールを積層実装した状態の側面図である。図示するよ
うに、半導体モジュールは、外部接続端子5,5′を介
してマザー基板9に実装することにより所望の機能を果
たすようになる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、昨今におい
ては、電子機器に対して小型・薄型化と、高機能・高性
能化という相反する要求がある。このため、これらの電
子機器に用いられる半導体モジュールとしては、半導体
チップをいかに高密度に実装できるかが重要な課題とな
る。
【0005】しかしながら、図13(a)に示すよう
に、複数の半導体モジュールを平面的に並べて実装した
場合には、半導体モジュールの実装対象であるマザー基
板9に、半導体モジュールの個数に応じた実装占有面積
が必要となり、半導体パッケージ1(半導体チップ)を
高密度に実装することが困難である。
【0006】これに対して、図13(b)に示すよう
に、複数の半導体モジュールを互いに積層した状態で実
装する場合には、平面的に並べて実装する場合に比べ
て、マザー基板9における半導体モジュールの実装占有
面積を低減することができる。
【0007】しかしながら、複数の半導体モジュールを
積層する場合には、上層となる半導体モジュールに実装
した半導体パッケージ1と、下層となる半導体モジュー
ルに実装した半導体パッケージ1との間に十分な間隔を
確保する必要がある。すなわち、熱の影響によって反り
が生じた場合、あるいは振動が加わった場合にも、半導
体パッケージ1が相互に接触する事態を防止するための
間隔を確保して半導体モジュールを相互に積層しなけれ
ばならない。
【0008】このため、上層となる半導体モジュールに
あっては、外部接続端子5を長大化せざるを得ず、該外
部接続端子5の剛性低下から、マザー基板9に保持して
おくことが困難になる虞れがある。
【0009】しかも、上層となる半導体モジュールの外
部接続端子5は、下層となる半導体モジュールのものよ
りも外周側に配置しなければならない。このため、半導
体モジュールの積層数が増えた場合には、この外部接続
端子5の分だけ漸次実装占有面積が増大することにな
る。
【0010】この発明は上記実情に鑑みてなされたもの
で、半導体チップを高密度に、かつ確実に実装すること
のできる半導体モジュールを得ることを目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明にかかる半導体モジュールは、複数の基板
をフレキシブルケーブルによって一連に接続した状態で
相互に積層するとともに、各基板において少なくとも互
いに対向する面にそれぞれ半導体チップを実装し、かつ
これら半導体チップの相互間を接着保持させたことを特
徴とする。
【0012】この発明によれば、半導体チップを備えた
基板を複数積層するとともに、対向する半導体チップの
相互間を接着保持させたので、半導体チップが直接接触
する事態を招来することなく相互間隔を最小限にするこ
とができる。
【0013】つぎの発明にかかる半導体モジュールは、
上記の発明において、最外層に配置した基板に、マザー
基板に実装するための外部接続端子を設けたことを特徴
とする。
【0014】この発明によれば、最外層に配置した基板
の外部接続端子を介して半導体モジュールをマザー基板
に実装することができる。
【0015】つぎの発明にかかる半導体モジュールは、
上記の発明において、前記外部接続端子が、前記基板か
ら外部に延在するリードであることを特徴とする。
【0016】この発明によれば、リードを介して半導体
モジュールをマザー基板に実装することができる。
【0017】つぎの発明にかかる半導体モジュールは、
上記の発明において、前記外部接続端子が、前記マザー
基板に設けたソケットに着脱可能に装着されるコネクタ
ピンであることを特徴とする。
【0018】この発明によれば、コネクタピンをソケッ
トに装着することにより、半導体モジュールをマザー基
板に対して着脱可能に実装することができる。
【0019】つぎの発明にかかる半導体モジュールは、
上記の発明において、前記外部接続端子が、前記マザー
基板に対して表面実装するためのバンプであることを特
徴とする。
【0020】この発明によれば、バンプを介して半導体
モジュールをマザー基板に表面実装することができる。
【0021】つぎの発明にかかる半導体モジュールは、
上記の発明において、前記バンプを設けた基板に、該バ
ンプに生じるひずみを緩和するためのダミー部材を設け
たことを特徴とする。
【0022】この発明によれば、ダミー部材が存在する
ことによってバンプのひずみを緩和することができる。
【0023】つぎの発明にかかる半導体モジュールは、
上記の発明において、前記複数の基板をマザー基板に立
設する態様で実装するための外部接続端子を設けたこと
を特徴とする。
【0024】この発明によれば、外部接続端子を介して
半導体モジュールをマザー基板に実装した場合、複数の
基板が立設するようになる。
【0025】つぎの発明にかかる半導体モジュールは、
上記の発明において、互いに離隔した位置に配置される
基板の端部にそれぞれ前記外部接続端子を設けたことを
特徴とする。
【0026】この発明によれば、互いに離隔した位置に
おいて基板をマザー基板に保持させることができる。
【0027】つぎの発明にかかる半導体モジュールは、
上記の発明において、前記外部接続端子が、前記基板か
ら外部に延在するリードであることを特徴とする。
【0028】この発明によれば、リードを介して半導体
モジュールをマザー基板に実装することができる。
【0029】つぎの発明にかかる半導体モジュールは、
上記の発明において、前記外部接続端子が、前記マザー
基板に設けたコネクタに着脱可能に装着されるコネクタ
端子であることを特徴とする。
【0030】この発明によれば、コネクタ端子をコネク
タに装着することによって半導体モジュールをマザー基
板に対して着脱可能に実装することができる。
【0031】つぎの発明にかかる半導体モジュールは、
上記の発明において、前記コネクタ端子を設けた基板の
端部を、他の基板の端部よりも突出させたことを特徴と
する。
【0032】この発明によれば、マザー基板に実装させ
た場合に、コネクタ端子を設けた基板に対して他の基板
が上方に位置するようになる。
【0033】つぎの発明にかかる半導体モジュールは、
上記の発明において、前記半導体チップは外部リードに
よって前記基板に実装したものであることを特徴とす
る。
【0034】この発明によれば、外部リードを介して半
導体チップを基板に実装するようにしている。
【0035】つぎの発明にかかる半導体モジュールは、
上記の発明において、前記半導体チップは前記基板に表
面実装したものであることを特徴とする。
【0036】この発明によれば、半導体チップを基板に
表面実装するようにしている。
【0037】つぎの発明にかかる半導体モジュールは、
上記の発明において、前記半導体チップは前記基板にベ
アチップ実装したものであることを特徴とする。
【0038】この発明によれば、半導体チップを基板に
ベアチップ実装するようにしている。
【0039】
【発明の実施の形態】以下に添付図面を参照して、この
発明にかかる半導体モジュールの好適な実施の形態を詳
細に説明する。
【0040】実施の形態1.図1は、この発明の実施の
形態1である半導体モジュールを示したもので、(a)
は平面図、(b)は側面図である。ここで例示する半導
体モジュールは、例えばメモリモジュールとして用いら
れるもので、複数(図示の例では4つ)の基板20を相
互に積層した構造を有している。
【0041】これら複数の基板20は、例えばガラスエ
ポキシ等の比較的剛性を有する樹脂材によって構成した
もので、それぞれの表裏両面に半導体パッケージ10が
実装してある。半導体パッケージ10は、図示していな
い半導体チップを封止体によって封止したもので、それ
ぞれ外部リード10aを介して基板20に実装してあ
る。相互に隣接する基板20に実装した半導体パッケー
ジ10は、互いに対向するように配置してあり、互いの
間を接着剤40によって接着保持してある。
【0042】また、上述した複数の基板20は、フレキ
シブルケーブル30によって一連に接続してある。フレ
キシブルケーブル30は、図示しない導体部を絶縁性フ
ィルムで覆うことにより構成したもので、近接する基板
20の相互間を接続するのに十分な可撓性を有してい
る。フレキシブルケーブル30の絶縁性フィルムとして
は、例えばポリイミド、ポリエステル、ポリプロピレ
ン、ポリカーボネート等が挙げられるが、十分な可撓性
を有するものであれば他の材料であっても構わない。フ
レキシブルケーブル30の導体部としては、例えば銅等
の導電性を有する材料を用いることができる。
【0043】図2は、基板20の断面側面図を示したも
のである。この図からも明らかなように、フレキシブル
ケーブル30は、基板20に挟まれる態様で配置してあ
り、該基板20に設けたスルーホール20aを通じて基
板20の配線パターン20bと接続できるようになって
いる。
【0044】また、最外層(最下層)に配置した基板
(以下、他の基板との相違を表現するために符号を2
0′とする)には、マザー基板90に実装する際の外部
接続端子となる外部接続リード50が設けてある。この
外部接続リード50は、最下層に配置した基板20′か
ら下方に向けて外部に延在するように設けたもので、該
基板20′の裏面に実装した半導体パッケージ10の高
さよりも長く構成してある。
【0045】図には明示していないが、基板20′に設
けた外部接続リード50は、当該基板20′の配線パタ
ーン20bに接続されたものである。従って、この外部
接続リード50を介して半導体モジュールをマザー基板
90に実装すれば、基板20,20′に実装した半導体
パッケージ10(半導体チップ)が所望の機能を果たす
ようになる。
【0046】ここで、上記のように構成した半導体モジ
ュールによれば、表裏両面に半導体パッケージ10を実
装した基板20,20′を相互に積層した状態で、互い
に対向する半導体パッケージ10の相互間を接着剤40
によって接着保持してあるため、熱や振動が加わった場
合にもこれら半導体パッケージ10が直接相互に接触す
る事態を招来することなく、両者の実装間隔を最小限と
することが可能になる。しかも、最下層に配置される基
板20′に設けた外部接続リード50を介してマザー基
板90に実装すればよいため、半導体パッケージ10の
積層数に関わらず外部接続リード50に剛性不足が招来
されることがなく、マザー基板90に対する実装占有面
積も最小限となる。
【0047】これらの結果、半導体パッケージ10の実
装密度を著しく高めることが可能になり、これを適用す
る電子機器の小型・薄型化と、高機能・高性能化という
相反する要求を満たすことができるようになる。
【0048】また、上記半導体モジュールによれば、比
較的剛性を有した基板20,20′に半導体パッケージ
10を実装するとともに、相互に積層した基板20,2
0′の間をフレキシブルケーブル30によって接続する
ようにしているため、基板20,20′の相互間隔を狭
めた場合にも、フレキシブルケーブル30の撓みに伴っ
て基板20,20′と半導体パッケージ10との実装部
にストレス等の影響を与える虞れがなく、より信頼性の
高い半導体モジュールを提供することが可能になる。
【0049】実施の形態2.つぎに、この発明の実施の
形態2について説明する。上述した実施の形態1の半導
体モジュールでは、外部接続端子として最下層に配置さ
れる基板20′に外部接続リード50を設けたものを示
したが、本実施の形態2の半導体モジュールでは、この
外部接続リード50の代わりに、外部接続端子としてコ
ネクタピン60を設けるようにしている。
【0050】図3は、本実施の形態2の半導体モジュー
ルを示す。図3において最外層(最下層)に配置される
基板21の裏面には、その全面にコネクタピン60が設
けてある。このコネクタピン60は、マザー基板90に
設けたソケット100に対して着脱可能に装着できるよ
うに構成したものである。
【0051】その他の構成に関しては、上述した実施の
形態1のものと同様である。すなわち、フレキシブルケ
ーブル30によって一連に接続した複数の基板20,2
1を相互に積層するとともに、対向する半導体パッケー
ジ10の相互間を接着剤40によって接着保持させてあ
る。
【0052】上記のように構成した半導体モジュールに
おいても、表面に半導体パッケージ10を実装した基板
20,21を相互に積層した状態で、互いに対向する半
導体パッケージ10の相互間を接着剤40によって接着
保持してあるため、熱や振動が加わった場合にもこれら
半導体パッケージ10が直接相互に接触する事態を招来
することなく、両者の実装間隔を最小限とすることが可
能になる。しかも、最下層に配置される基板21に設け
たコネクタピン60をマザー基板90のソケット100
に装着すれば、当該マザー基板90に半導体モジュール
を実装することができるため、半導体パッケージ10の
積層数に関わらずコネクタピン60に剛性不足が招来さ
れることがなく、マザー基板90に対する実装占有面積
も最小限となる。
【0053】これらの結果、半導体パッケージ10の実
装密度を著しく高めることが可能になり、これを適用す
る電子機器の小型・薄型化と、高機能・高性能化という
相反する要求を満たすことができるようになる。
【0054】また、上記半導体モジュールによれば、比
較的剛性を有した基板20,21に半導体パッケージ1
0を実装するとともに、相互に積層した基板20,21
の間をフレキシブルケーブル30によって接続するよう
にしているため、基板20,21の相互間隔を狭めた場
合にも、フレキシブルケーブル30の撓みに伴って基板
20,21と半導体パッケージ10との実装部にストレ
ス等の影響を与える虞れがなく、より信頼性の高い半導
体モジュールを提供することが可能になる。
【0055】さらに、本実施の形態2の半導体モジュー
ルによれば、ソケット100に対してコネクタピン60
が着脱可能であるため、半導体モジュールに交換、検査
および回収が必要となった場合にこれに容易に、かつ迅
速に対応することが可能となり、そのメンテナンス性が
著しく高まるようになる。
【0056】実施の形態3.つぎに、この発明の実施の
形態3について説明する。上述した実施の形態1の半導
体モジュールでは、外部接続端子として最下層に配置さ
れる基板20′に外部接続リード50を設けたものを示
したが、本実施の形態3の半導体モジュールでは、この
外部接続リード50の代わりに、外部接続端子としては
んだボール(バンプ)を設けるようにしている。
【0057】図4は、本実施の形態3の半導体モジュー
ルを示す。図4において最外層(最下層)に配置される
基板22の裏面には、その全面にはんだボール70が設
けてある。このはんだボール70は、マザー基板90に
設けた接続端子パッド90bに載せた状態で、加熱およ
び加圧することにより、該接続端子パッド90bに溶着
されるように構成したものである。
【0058】その他の構成に関しては、上述した実施の
形態1のものと同様である。すなわち、フレキシブルケ
ーブル30によって一連に接続した複数の基板20,2
2を相互に積層するとともに、対向する半導体パッケー
ジ10の相互間を接着剤40によって接着保持させてあ
る。
【0059】上記のように構成した半導体モジュールに
おいても、表面に半導体パッケージ10を実装した基板
20,22を相互に積層した状態で、互いに対向する半
導体パッケージ10の相互間を接着剤40によって接着
保持してあるため、熱や振動が加わった場合にもこれら
半導体パッケージ10が直接相互に接触する事態を招来
することなく、両者の実装間隔を最小限とすることが可
能になる。しかも、最下層に配置される基板22に設け
たはんだボール70をマザー基板90の接続端子パッド
90bに溶着させれば、当該マザー基板90に半導体モ
ジュールを実装することができるため、マザー基板90
に対する実装占有面積が最小限となる。この場合、半導
体パッケージ10の積層数に関わらずはんだボール70
に剛性不足が招来されることがないのはいうまでもな
い。
【0060】これらの結果、半導体パッケージ10の実
装密度を著しく高めることが可能になり、これを適用す
る電子機器の小型・薄型化と、高機能・高性能化という
相反する要求を満たすことができるようになる。
【0061】また、上記半導体モジュールによれば、比
較的剛性を有した基板20,22に半導体パッケージ1
0を実装するとともに、相互に積層した基板20,22
の間をフレキシブルケーブル30によって接続するよう
にしているため、基板20,22の相互間隔を狭めた場
合にも、フレキシブルケーブル30の撓みに伴って基板
20,22と半導体パッケージ10との実装部にストレ
ス等の影響を与える虞れがなく、より信頼性の高い半導
体モジュールを提供することが可能になる。
【0062】さらに、本実施の形態3の半導体モジュー
ルによれば、マザー基板90に実装した状態において基
板22とマザー基板90との隙間が、実施の形態1およ
び実施の形態2よりも小さくなる。従って、マザー基板
90からの実装高さを低減することが可能となり、実装
密度がより高まるようになる。
【0063】実施の形態4.つぎに、この発明の実施の
形態4について説明する。上述した実施の形態1の半導
体モジュールでは、外部接続端子として最下層に配置さ
れる基板20′に外部接続リード50を設けたものを示
したが、本実施の形態4の半導体モジュールでは、この
外部接続リード50の代わりに、外部接続端子としては
んだ部材(バンプ)を設けるようにしている。
【0064】図5は、本実施の形態4の半導体モジュー
ルを示す。図5において最外層(最下層)に配置される
基板23の裏面には、その全面にはんだ部材80が設け
てある。このはんだ部材80は、マザー基板90に設け
た接続端子パッド90cに載せた状態で、加熱および加
圧することにより、該接続端子パッド90cに溶着され
るように構成したものである。
【0065】その他の構成に関しては、上述した実施の
形態1のものと同様である。すなわち、フレキシブルケ
ーブル30によって一連に接続した複数の基板20,2
3を相互に積層するとともに、対向する半導体パッケー
ジ10の相互間を接着剤40によって接着保持させてあ
る。
【0066】上記のように構成した半導体モジュールに
おいても、表面に半導体パッケージ10を実装した基板
20,23を相互に積層した状態で、互いに対向する半
導体パッケージ10の相互間を接着剤40によって接着
保持してあるため、熱や振動が加わった場合にもこれら
半導体パッケージ10が直接相互に接触する事態を招来
することなく、両者の実装間隔を最小限とすることが可
能になる。しかも、最下層に配置される基板23に設け
たはんだ部材80をマザー基板90の接続端子パッド9
0cに溶着させれば、当該マザー基板90に半導体モジ
ュールを実装することができるため、マザー基板90に
対する実装占有面積が最小限となる。この場合、半導体
パッケージ10の積層数に関わらずはんだ部材80に剛
性不足が招来されることがないのはいうまでもない。
【0067】これらの結果、半導体パッケージ10の実
装密度を著しく高めることが可能になり、これを適用す
る電子機器の小型・薄型化と、高機能・高性能化という
相反する要求を満たすことができるようになる。
【0068】また、上記半導体モジュールによれば、比
較的剛性を有した基板20,23に半導体パッケージ1
0を実装するとともに、相互に積層した基板20,23
の間をフレキシブルケーブル30によって接続するよう
にしているため、基板20,23の相互間隔を狭めた場
合にも、フレキシブルケーブル30の撓みに伴って基板
20,23と半導体パッケージ10との実装部にストレ
ス等の影響を与える虞れがなく、より信頼性の高い半導
体モジュールを提供することが可能になる。
【0069】さらに、本実施の形態4の半導体モジュー
ルによれば、マザー基板90に実装した状態において基
板23とマザー基板90との隙間が、実施の形態1およ
び実施の形態2よりも小さくなる。従って、マザー基板
90からの実装高さを低減することが可能となり、実装
密度がより高まるようになる。
【0070】実施の形態5.つぎに、この発明の実施の
形態5について説明する。上述した実施の形態3の半導
体モジュールでは、最下層に配置される基板22の裏面
にはんだボール70を設けているが、本実施の形態5の
半導体モジュールでは、さらにはんだボール70を設け
た基板22′の裏面にダミーはんだボール110(ダミ
ー部材)を設けるようにしている。
【0071】図6は、本実施の形態5の半導体モジュー
ルを示すもので、(a)は側面図、(b)は(a)にお
ける矢視A図である。図6(a)において最外層(最下
層)に配置される基板22′の裏面には、そのほぼ全面
となる位置にはんだボール70を設けるとともに、これ
らはんだボール70の外周となる位置にダミーはんだボ
ール110を設けてある。すなわち、図6(b)に示す
ように、基板22′の裏面において、はんだボール70
は、二点鎖線Bで囲まれた長方形の範囲内に配置される
一方、ダミーはんだボール110は、はんだボール70
の配置領域外となる位置に複数(図示の例では4箇所)
配置してある。はんだボール70およびダミーはんだボ
ール110は、上述した実施の形態3と同様、マザー基
板90に設けた接続端子パッド90dに載せた状態で、
加熱および加圧されて該接続端子パッド90dに溶着さ
れるように構成したものである。但し、ダミーはんだボ
ール110に関しては、半導体パッケージ10と基板2
2′との間を電気的に接続する構成とはなっておらず、
任意の位置に設けることが可能である。
【0072】その他の構成に関しては、上述した実施の
形態1のものと同様である。すなわち、フレキシブルケ
ーブル30によって一連に接続した複数の基板20,2
2′を相互に積層するとともに、対向する半導体パッケ
ージ10の相互間を接着剤40によって接着保持させて
ある。
【0073】上記のように構成した半導体モジュールに
おいても、表面に半導体パッケージ10を実装した基板
20,22′を相互に積層した状態で、互いに対向する
半導体パッケージ10の相互間を接着剤40によって接
着保持してあるため、熱や振動が加わった場合にもこれ
ら半導体パッケージ10が直接相互に接触する事態を招
来することなく、両者の実装間隔を最小限とすることが
可能になる。しかも、最下層に配置される基板22′に
設けたはんだボール70をマザー基板90の接続端子パ
ッド90dに溶着させれば、当該マザー基板90に半導
体モジュールを実装することができるため、マザー基板
90に対する実装占有面積が最小限となる。この場合、
半導体パッケージ10の積層数に関わらずはんだボール
70に剛性不足が招来されることがないのはいうまでも
ない。
【0074】これらの結果、半導体パッケージ10の実
装密度を著しく高めることが可能になり、これを適用す
る電子機器の小型・薄型化と、高機能・高性能化という
相反する要求を満たすことができるようになる。
【0075】また、上記半導体モジュールによれば、比
較的剛性を有した基板20,22′に半導体パッケージ
10を実装するとともに、相互に積層した基板20,2
2′の間をフレキシブルケーブル30によって接続する
ようにしているため、基板20,22′の相互間隔を狭
めた場合にも、フレキシブルケーブル30の撓みに伴っ
て基板20,22′と半導体パッケージ10との実装部
にストレス等の影響を与える虞れがなく、より信頼性の
高い半導体モジュールを提供することが可能になる。
【0076】さらに、本実施の形態5の半導体モジュー
ルによれば、マザー基板90に実装した状態において基
板22′とマザー基板90との隙間が、実施の形態1お
よび実施の形態2よりも小さくなる。従って、マザー基
板90からの実装高さを低減することが可能となり、実
装密度がより高まるようになる。
【0077】しかも、基板22′とマザー基板90との
間に、ダミーはんだボール110を介在させているた
め、これら基板22′およびマザー基板90との接触点
が増えることになり、基板22′あるいはマザー基板9
0に反り等の変形が発生した場合にも、ダミーはんだボ
ール110の作用により、はんだボール70に生じるひ
ずみを緩和することが可能である。また、ダミーはんだ
ボール110を、はんだボール70の配置領域の外方に
配置するようにしているため、半導体モジュールをマザ
ー基板90に実装する場合に、該半導体モジュールが傾
斜する事態を有効に防止することができるようになる。
【0078】実施の形態6.つぎに、この発明の実施の
形態6について説明する。上述した実施の形態5の半導
体モジュールでは、ダミー部材としてダミーはんだボー
ル110を設けているが、本実施の形態6の半導体モジ
ュールでは、ダミー部材としてダミーリードを設けるよ
うにしている。
【0079】図7は、本実施の形態6の半導体モジュー
ルを示すもので、(a)は側面図、(b)は(a)にお
ける矢視C図である。図7において最外層(最下層)に
配置される基板22″の裏面には、そのほぼ全面となる
位置にはんだボール70を設けるとともに、これらはん
だボール70の外周となる位置にダミーリード111を
設けてある。すなわち、図7(b)に示すように、基板
22″の裏面において、はんだボール70は、ほぼ中央
となる長方形の範囲内に配置される一方、ダミーリード
111は、はんだボール70の配置領域外となる位置に
複数(図示の例では4箇所)配置してある。はんだボー
ル70は、上述した実施の形態3と同様、マザー基板9
0に設けた接続端子パッド90eに載せた状態で、加熱
および加圧されて該接続端子パッド90eに溶着される
ように構成したものである。ダミーリード111は、基
板22″から下方に向けて外部に延在するように設けた
ものである。このダミーリード111の高さは、はんだ
ボール70が溶着した場合の高さと同一になるように構
成してある。つまり、実装前の状態では、はんだボール
70よりもわずかに高さが低くなるようにダミーリード
111を設けるようにしている。なお、ダミーリード1
11に関しては、半導体パッケージ10と基板22″と
の間を電気的に接続する構成とはなっておらず、任意の
位置に設けることが可能である。
【0080】その他の構成に関しては、上述した実施の
形態1のものと同様である。すなわち、フレキシブルケ
ーブル30によって一連に接続した複数の基板20,2
2″を相互に積層するとともに、対向する半導体パッケ
ージ10の相互間を接着剤40によって接着保持させて
ある。
【0081】上記のように構成した半導体モジュールに
おいても、表面に半導体パッケージ10を実装した基板
20,22″を相互に積層した状態で、互いに対向する
半導体パッケージ10の相互間を接着剤40によって接
着保持してあるため、熱や振動が加わった場合にもこれ
ら半導体パッケージ10が直接相互に接触する事態を招
来することなく、両者の実装間隔を最小限とすることが
可能になる。しかも、最下層に配置される基板22″に
設けたはんだボール70をマザー基板90の接続端子パ
ッド90eに溶着させれば、当該マザー基板90に半導
体モジュールを実装することができるため、マザー基板
90に対する実装占有面積が最小限となる。この場合、
半導体パッケージ10の積層数に関わらずはんだボール
70に剛性不足が招来されることがないのはいうまでも
ない。
【0082】これらの結果、半導体パッケージ10の実
装密度を著しく高めることが可能になり、これを適用す
る電子機器の小型・薄型化と、高機能・高性能化という
相反する要求を満たすことができるようになる。
【0083】また、上記半導体モジュールによれば、比
較的剛性を有した基板20,22″に半導体パッケージ
10を実装するとともに、相互に積層した基板20,2
2″の間をフレキシブルケーブル30によって接続する
ようにしているため、基板20,22″の相互間隔を狭
めた場合にも、フレキシブルケーブル30の撓みに伴っ
て基板20,22″と半導体パッケージ10との実装部
にストレス等の影響を与える虞れがなく、より信頼性の
高い半導体モジュールを提供することが可能になる。
【0084】さらに、本実施の形態6の半導体モジュー
ルによれば、マザー基板90に実装した状態において基
板22″とマザー基板90との隙間が、実施の形態1お
よび実施の形態2よりも小さくなる。従って、マザー基
板90からの実装高さを低減することが可能となり、実
装密度がより高まるようになる。
【0085】しかも、基板22″とマザー基板90との
間に、ダミーリード111を介在させているため、これ
ら基板22″およびマザー基板90との接触点が増える
ことになり、基板22″あるいはマザー基板90に反り
等の変形が発生した場合にも、ダミーリード111の作
用により、はんだボール70に生じるひずみを緩和する
ことが可能である。また、ダミーリード111を、はん
だボール70の配置領域の外方に配置するようにしてい
るため、半導体モジュールをマザー基板90に実装する
場合に、該半導体モジュールが傾斜する事態を有効に防
止することができるようになる。
【0086】実施の形態7.つぎに、この発明の実施の
形態7について説明する。上述した実施の形態3の半導
体モジュールでは、半導体チップとして、外部リード1
0aを介して基板20に実装される半導体パッケージ1
0を適用しているが、本実施の形態7では、基板に対し
て表面実装される半導体パッケージを適用している。
【0087】図8は、本実施の形態7の半導体モジュー
ルを示す。この半導体モジュールでは、最外層(最下
層)に配置される基板24′の表面、およびその他の基
板24の表裏両面に半導体パッケージ10′を実装して
ある。この半導体パッケージ10′は、BGA(Ball G
rid Array)タイプと称されるもので、下面に外部入出
力用のパッド71を備えており、該パッド71を介して
基板24,24′に表面実装してある。
【0088】また、最下層に配置される基板24′の裏
面には、はんだボール70が設けられており、上述した
実施の形態3と同様、マザー基板90に設けた接続端子
パッド90bに載せた状態で、加熱および加圧されて該
接続端子パッド90bに溶着されるように構成してあ
る。
【0089】その他の構成に関しては、上述した実施の
形態1のものと同様である。すなわち、フレキシブルケ
ーブル30によって一連に接続した複数の基板24,2
4′を相互に積層するとともに、対向する半導体パッケ
ージ10′の相互間を接着剤40によって接着保持させ
てある。
【0090】上記のように構成した半導体モジュールに
おいても、表裏両面に半導体パッケージ10′を実装し
た基板24,24′を相互に積層した状態で、互いに対
向する半導体パッケージ10′の相互間を接着剤40に
よって接着保持してあるため、熱や振動が加わった場合
にもこれら半導体パッケージ10′が直接相互に接触す
る事態を招来することなく、両者の実装間隔を最小限と
することが可能になる。しかも、最下層に配置される基
板24′に設けたはんだボール70をマザー基板90の
接続端子パッド90bに溶着させれば、当該マザー基板
90に半導体モジュールを実装することができるため、
マザー基板90に対する実装占有面積が最小限となる。
この場合、半導体パッケージ10′の積層数に関わらず
はんだボール70に剛性不足が招来されることがないの
はいうまでもない。
【0091】これらの結果、半導体パッケージ10′の
実装密度を著しく高めることが可能になり、これを適用
する電子機器の小型・薄型化と、高機能・高性能化とい
う相反する要求を満たすことができるようになる。
【0092】また、上記半導体モジュールによれば、比
較的剛性を有した基板24,24′に半導体パッケージ
10′を実装するとともに、相互に積層した基板24,
24′の間をフレキシブルケーブル30によって接続す
るようにしているため、基板24,24′の相互間隔を
狭めた場合にも、フレキシブルケーブル30の撓みに伴
って基板24,24′と半導体パッケージ10′との実
装部にストレス等の影響を与える虞れがなく、より信頼
性の高い半導体モジュールを提供することが可能にな
る。
【0093】さらに、本実施の形態7の半導体モジュー
ルによれば、マザー基板90に実装した状態において基
板24′とマザー基板90との隙間が、実施の形態1お
よび実施の形態2よりも小さくなる。従って、マザー基
板90からの実装高さを低減することが可能となり、実
装密度がより高まるようになる。加えて、半導体パッケ
ージ10′として表面実装されるものを適用しているた
め、該半導体パッケージ10′と各基板24,24′と
の間の間隙も低減されることになり、より実装高さを低
減することが可能となる。
【0094】実施の形態8.つぎに、この発明の実施の
形態8について説明する。上述した実施の形態3の半導
体モジュールでは、半導体チップとして、外部リード1
0aを介して基板20に実装される半導体パッケージ1
0を適用しているが、本実施の形態8では、基板に対し
てベアチップ実装される半導体チップを適用している。
【0095】図9は、本実施の形態8の半導体モジュー
ルを示す。この半導体モジュールでは、最外層(最下
層)に配置される基板25′の表面、およびその他の基
板25の表裏両面に半導体チップ120を実装してあ
る。この半導体チップ120は、ベアチップ状態のもの
であり、異方性導電膜121を介して基板25,25′
に表面実装してある。異方性導電膜121は、半導体チ
ップ120と基板25,25′との相互間を必要部分の
み導通させるとともに、他の部分は絶縁するように構成
したものである。
【0096】また、最下層に配置される基板25′の裏
面には、はんだボール70が設けられており、上述した
実施の形態3と同様、マザー基板90に設けた接続端子
パッド90bに載せた状態で、加熱および加圧されて該
接続端子パッド90bに溶着されるように構成してあ
る。
【0097】その他の構成に関しては、上述した実施の
形態1のものと同様である。すなわち、フレキシブルケ
ーブル30によって一連に接続した複数の基板25,2
5′を相互に積層するとともに、対向する半導体チップ
120の相互間を接着剤40によって接着保持させてあ
る。
【0098】上記のように構成した半導体モジュールに
おいても、表裏両面に半導体チップ120を実装した基
板25,25′を相互に積層した状態で、互いに対向す
る半導体チップ120の相互間を接着剤40によって接
着保持してあるため、熱や振動が加わった場合にもこれ
ら半導体チップ120が直接相互に接触する事態を招来
することなく、両者の実装間隔を最小限とすることが可
能になる。しかも、最下層に配置される基板25′に設
けたはんだボール70をマザー基板90の接続端子パッ
ド90bに溶着させれば、当該マザー基板90に半導体
モジュールを実装することができるため、マザー基板9
0に対する実装占有面積が最小限となる。この場合、半
導体チップ120の積層数に関わらずはんだボール70
に剛性不足が招来されることがないのはいうまでもな
い。
【0099】これらの結果、半導体チップ120の実装
密度を著しく高めることが可能になり、これを適用する
電子機器の小型・薄型化と、高機能・高性能化という相
反する要求を満たすことができるようになる。
【0100】また、上記半導体モジュールによれば、比
較的剛性を有した基板25,25′に半導体チップ12
0を実装するとともに、相互に積層した基板25,2
5′の間をフレキシブルケーブル30によって接続する
ようにしているため、基板25,25′の相互間隔を狭
めた場合にも、フレキシブルケーブル30の撓みに伴っ
て基板25,25′と半導体チップ120との実装部に
ストレス等の影響を与える虞れがなく、より信頼性の高
い半導体モジュールを提供することが可能になる。
【0101】さらに、本実施の形態8の半導体モジュー
ルによれば、マザー基板90に実装した状態において基
板25′とマザー基板90との隙間が、実施の形態1お
よび実施の形態2よりも小さくなる。従って、マザー基
板90からの実装高さを低減することが可能となり、実
装密度がより高まるようになる。加えて、半導体チップ
120として表面実装されるものを適用しているため、
該半導体チップ120と各基板25,25′との間の間
隙も低減されることになり、より実装高さを低減するこ
とが可能となる。
【0102】実施の形態9.つぎに、この発明の実施の
形態9について説明する。上述した実施の形態1の半導
体モジュールでは、基板20,20′がマザー基板90
に対して略平行になるように実装してあるのに対し、本
実施の形態9では、両者が略直角を成すように実装する
ようにしている。
【0103】図10は、本実施の形態9の半導体モジュ
ールを示す。この半導体モジュールでは、積層両端に位
置する基板26に外部接続リード51を設けてある。こ
れら外部接続リード51は、中央に配置される基板20
の端部、さらにはこれらの間を接続するフレキシブルケ
ーブル30の湾曲端部よりも外方に突出するように構成
したものである。
【0104】その他の構成に関しては、上述した実施の
形態1のものと同様である。すなわち、フレキシブルケ
ーブル30によって一連に接続した複数の基板20,2
6を相互に積層するとともに、対向する半導体パッケー
ジ10の相互間を接着剤40によって接着保持させてあ
る。
【0105】図には明示していないが、基板26に設け
た外部接続リード51は、それぞれ当該基板26の配線
パターンに接続されたものである。従って、この外部接
続リード51を介して半導体モジュールをマザー基板9
0に実装すれば、基板26のそれぞれに実装した半導体
パッケージ10(半導体チップ)が所望の機能を果たす
ようになる。
【0106】ここで、上記のように構成した半導体モジ
ュールによれば、表裏両面に半導体パッケージ10を実
装した基板20,26を相互に積層した状態で、互いに
対向する半導体パッケージ10の相互間を接着剤40に
よって接着保持してあるため、熱や振動が加わった場合
にもこれら半導体パッケージ10が直接相互に接触する
事態を招来することなく、両者の実装間隔を最小限とす
ることが可能になる。
【0107】しかも、積層両端に位置する基板26に設
けた外部接続リード51を介してマザー基板90に実装
すれば、各基板26がマザー基板90に対して立設した
状態となるため、半導体パッケージ10の積層数に関わ
らずマザー基板90からの実装高さが一定となる。この
場合、外部接続リード51に剛性不足が招来されること
がないのはいうまでもない。
【0108】これらの結果、半導体パッケージ10の実
装密度を著しく高めることが可能になり、これを適用す
る電子機器の小型・薄型化と、高機能・高性能化という
相反する要求を満たすことができるようになる。特に、
高さ方向の制限がある場合であっても、実装する半導体
パッケージの数を増やすことが可能となり、電気機器の
高機能・高性能化に対応することができる。
【0109】また、上記半導体モジュールによれば、比
較的剛性を有した基板20,26に半導体パッケージ1
0を実装するとともに、相互に積層した基板20,26
の間をフレキシブルケーブル30によって接続するよう
にしているため、基板20,26の相互間隔を狭めた場
合にも、フレキシブルケーブル30の撓みに伴って基板
20,26と半導体パッケージ10との実装部にストレ
ス等の影響を与える虞れがなく、より信頼性の高い半導
体モジュールを提供することが可能になる。
【0110】さらに、互いに離隔した位置において基板
26をマザー基板90に保持させることができるため、
マザー基板90に対する半導体モジュールの保持がより
強固となる。
【0111】なお、上述した本実施の形態9の半導体モ
ジュールにおいても、実施の形態7および8のように、
半導体チップとしてBGAタイプのもののように表面実
装されるものやベアチップ実装されるものを適用しても
構わない。
【0112】実施の形態10.つぎに、この発明の実施
の形態10について説明する。上述した実施の形態9の
半導体モジュールでは、外部接続端子として、両端に位
置する基板の端部に設けた外部接続リード51を用いた
のに対し、本実施の形態10では、外部接続端子として
コネクタ端子を用いるようにしている。
【0113】図11は、本実施の形態10の半導体モジ
ュールを示す。この半導体モジュールでは、積層両端に
位置する基板27を中央に配置される基板20に対して
オフセット配置し、かつ基板27の突出側端部にそれぞ
れコネクタ端子130を設けてある。これらコネクタ端
子130は、マザー基板90に設けたコネクタ131に
対して着脱可能に装着できるように構成したものであ
る。
【0114】その他の構成に関しては、上述した実施の
形態1のものと同様である。すなわち、フレキシブルケ
ーブル30によって一連に接続した複数の基板27,2
0を相互に積層するとともに、対向する半導体パッケー
ジ10の相互間を接着剤40によって接着保持させてあ
る。
【0115】図には明示していないが、基板27に設け
たコネクタ端子130は、それぞれ当該基板27の配線
パターンに接続されたものである。従って、このコネク
タ端子130をマザー基板90のコネクタ131に装着
すれば、基板27,20のそれぞれに実装した半導体パ
ッケージ10(半導体チップ)が所望の機能を果たすよ
うになる。
【0116】ここで、上記のように構成した半導体モジ
ュールによれば、表裏両面に半導体パッケージ10を実
装した基板27,20を相互に積層した状態で、互いに
対向する半導体パッケージ10の相互間を接着剤40に
よって接着保持してあるため、熱や振動が加わった場合
にもこれら半導体パッケージ10が直接相互に接触する
事態を招来することなく、両者の実装間隔を最小限とす
ることが可能になる。
【0117】しかも、積層両端に位置する基板27に設
けたコネクタ端子130を介してマザー基板90に実装
すれば、各基板27がマザー基板90に対して立設した
状態となるため、半導体パッケージ10の積層数に関わ
らずマザー基板90からの積層高さが一定となる。この
場合、コネクタ端子130に剛性不足が招来されること
がないのはいうまでもない。
【0118】これらの結果、半導体パッケージ10の実
装密度を著しく高めることが可能になり、これを適用す
る電子機器の小型・薄型化と、高機能・高性能化という
相反する要求を満たすことができるようになる。特に、
高さ方向の制限がある場合であっても、実装する半導体
パッケージの数を増やすことが可能となり、電気機器の
高機能・高性能化に対応することができる。
【0119】また、上記半導体モジュールによれば、比
較的剛性を有した基板27,20に半導体パッケージ1
0を実装するとともに、相互に積層した基板27,20
の間をフレキシブルケーブル30によって接続するよう
にしているため、基板27,20の相互間隔を狭めた場
合にも、フレキシブルケーブル30の撓みに伴って基板
27,20と半導体パッケージ10との実装部にストレ
ス等の影響を与える虞れがなく、より信頼性の高い半導
体モジュールを提供することが可能になる。
【0120】さらに、互いに離隔した位置において基板
27,20をマザー基板90に保持させることができる
ため、マザー基板90に対する半導体モジュールの保持
がより強固となる。
【0121】またさらに、本実施の形態10の半導体モ
ジュールによれば、コネクタ131に対してコネクタ端
子130が着脱可能であるため、半導体モジュールに交
換、検査および回収が必要となった場合にこれに容易
に、かつ迅速に対応することが可能となり、そのメンテ
ナンス性が著しく高まるようになる。
【0122】なお、上述した本実施の形態10の半導体
モジュールにおいても、実施の形態7および8のよう
に、半導体チップとしてBGAタイプのもののように表
面実装されるものやベアチップ実装されるものを適用し
ても構わない。
【0123】また、本実施の形態10では、コネクタ端
子130を設けた基板27を、他の基板20よりも突出
させた態様で構成してあるが、これに限定されるもので
はない。但し、コネクタ端子130を設けた基板27を
他の基板20よりも突出させない場合には、基板20の
端部がマザー基板90に接触しないように、コネクタ1
31の高さを考慮することが好ましい。
【0124】なお、以上説明した実施の形態1〜10の
半導体モジュールは、基板を4つ積層した半導体モジュ
ールを例示しているが、2つ以上の基板を積層するもの
であれば、必ずしも4つである必要はない。
【0125】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、半導体チップを備えた基板を複数積層するととも
に、対向する半導体チップの相互間を接着保持させたの
で、半導体チップが直接接触する事態を招来することな
く相互間隔を最小限にすることができるため、半導体チ
ップの積層方向の外形寸法を可及的に低減して、高密度
に半導体チップを実装することができる。
【0126】つぎの発明によれば、最外層に配置した基
板の外部接続端子を介して半導体モジュールをマザー基
板に実装することができるため、該マザー基板に対する
実装占有面積を可及的に低減することが可能になる。
【0127】つぎの発明によれば、リードを介して半導
体モジュールをマザー基板に実装することができるた
め、例えば最外層に配置した基板の裏面にも半導体チッ
プを実装することが可能になる。
【0128】つぎの発明によれば、コネクタピンをソケ
ットに装着することにより、半導体モジュールをマザー
基板に対して着脱可能に実装することができるため、該
半導体モジュールのメンテナンス性を向上させることが
できる。
【0129】つぎの発明によれば、バンプを介して半導
体モジュールをマザー基板に表面実装することができる
ため、リードを用いる場合に比べてマザー基板からの実
装高さを低減することができる。
【0130】つぎの発明によれば、ダミー部材が存在す
ることによってバンプのひずみを緩和することができる
ため、バンプのひずみに伴う実装不良を防止可能であ
り、信頼性の高い表面実装を具現化できる。
【0131】つぎの発明によれば、外部接続端子を介し
て半導体モジュールをマザー基板に実装した場合、複数
の基板が立設するようになるため、積層数に関わらず、
マザー基板からの実装高さが変化しない。従って、実装
高さに制限がある場合にも、半導体チップの実装数を増
やすことが可能になる。
【0132】つぎの発明によれば、互いに離隔した位置
において基板をマザー基板に保持させることができるた
め、マザー基板に対する半導体モジュールの保持がより
強固となる。
【0133】つぎの発明によれば、リードを介して半導
体モジュールをマザー基板に実装することができるた
め、半導体モジュールとマザー基板とが相互に接触する
事態を防止できる。
【0134】つぎの発明によれば、コネクタ端子をコネ
クタに装着することによって半導体モジュールをマザー
基板に対して着脱可能に実装することができるため、該
半導体モジュールのメンテナンス性を向上させることが
できる。
【0135】つぎの発明によれば、マザー基板に実装さ
せた場合に、コネクタ端子を設けた基板に対して他の基
板が上方に位置するようになるため、該他の基板の端部
がマザー基板に接触する事態を防止することができる。
【0136】つぎの発明によれば、外部リードを有した
半導体チップを使用した半導体モジュールを構成するこ
とができる。
【0137】つぎの発明によれば、半導体チップを基板
に表面実装するようにしているため、基板に対する半導
体チップの実装高さを低減することができ、実装密度を
より高めることが可能になる。
【0138】つぎの発明によれば、半導体チップを基板
にベアチップ実装するようにしているため、基板に対す
る半導体チップの実装高さを低減することができ、実装
密度をより高めることが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明の実施の形態1である半導体モジュ
ールの構成を示すもので、(a)は平面図、(b)は側
面図である。
【図2】 図1に示した半導体モジュールの要部断面側
面図である。
【図3】 この発明の実施の形態2である半導体モジュ
ールの構成を示す側面図である。
【図4】 この発明の実施の形態3である半導体モジュ
ールの構成を示す側面図である。
【図5】 この発明の実施の形態4である半導体モジュ
ールの構成を示す側面図である。
【図6】 この発明の実施の形態5である半導体モジュ
ールの構成を示すもので、(a)は平面図、(b)は
(a)における矢視A図である。
【図7】 この発明の実施の形態6である半導体モジュ
ールの構成を示すもので、(a)は平面図、(b)は
(a)における矢視C図である。
【図8】 この発明の実施の形態7である半導体モジュ
ールの構成を示す側面図である。
【図9】 この発明の実施の形態8である半導体モジュ
ールの構成を示す側面図である。
【図10】 この発明の実施の形態9である半導体モジ
ュールの構成を示す側面図である。
【図11】 この発明の実施の形態10である半導体モ
ジュールの構成を示す側面図である。
【図12】 従来の半導体モジュールの構成を示し、
(a)は平面図、(b)は側面図である。
【図13】 図12の半導体モジュールの実装状態を示
し、(a)は半導体モジュールを平面的に並べて実装し
た状態を示す側面図、(b)は半導体モジュールを積層
実装した場合を示す側面図である。
【符号の説明】
10 半導体パッケージ、10′ 半導体パッケージ、
10a 外部リード、20 基板、20′ 基板、20
a スルーホール、20b 配線パターン、21 基
板、22 基板、22′ 基板、22″ 基板、23
基板、24 基板、25 基板、25′ 各基板、26
基板、27 基板、30 フレキシブルケーブル、4
0 接着剤、50 外部接続リード、51 外部接続リ
ード、60コネクタピン、70 はんだボール、71
パッド、80 はんだ部材、90マザー基板、90b
接続端子パッド、90c 接続端子パッド、90d 接
続端子パッド、90e 接続端子パッド、100 ソケ
ット、110 ダミーはんだボール、111 ダミーリ
ード、120 半導体チップ、121 異方性導電膜、
130 コネクタ端子、131 コネクタ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 一政 忠志 兵庫県川西市久代3丁目13番21号 株式会 社ケーディーエル内 Fターム(参考) 5E344 AA02 AA22 BB01 BB04 CD28 CD29 DD08 DD14 EE13

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の基板をフレキシブルケーブルによ
    って一連に接続した状態で相互に積層するとともに、各
    基板において少なくとも互いに対向する面にそれぞれ半
    導体チップを実装し、かつこれら半導体チップの相互間
    を接着保持させたことを特徴とする半導体モジュール。
  2. 【請求項2】 最外層に配置した基板に、マザー基板に
    実装するための外部接続端子を設けたことを特徴とする
    請求項1に記載の半導体モジュール。
  3. 【請求項3】 前記外部接続端子は、前記基板から外部
    に延在するリードであることを特徴とする請求項2に記
    載の半導体モジュール。
  4. 【請求項4】 前記外部接続端子は、前記マザー基板に
    設けたソケットに着脱可能に装着されるコネクタピンで
    あることを特徴とする請求項2に記載の半導体モジュー
    ル。
  5. 【請求項5】 前記外部接続端子は、前記マザー基板に
    対して表面実装するためのバンプであることを特徴とす
    る請求項2に記載の半導体モジュール。
  6. 【請求項6】 前記バンプを設けた基板に、該バンプに
    生じるひずみを緩和するためのダミー部材を設けたこと
    を特徴とする請求項5に記載の半導体モジュール。
  7. 【請求項7】 前記複数の基板をマザー基板に立設する
    態様で実装するための外部接続端子を設けたことを特徴
    とする請求項1に記載の半導体モジュール。
  8. 【請求項8】 互いに離隔した位置に配置される基板の
    端部にそれぞれ前記外部接続端子を設けたことを特徴と
    する請求項7に記載の半導体モジュール。
  9. 【請求項9】 前記外部接続端子は、前記基板から外部
    に延在するリードであることを特徴とする請求項7また
    は8に記載の半導体モジュール。
  10. 【請求項10】 前記外部接続端子は、前記マザー基板
    に設けたコネクタに着脱可能に装着されるコネクタ端子
    であることを特徴とする請求項7または8に記載の半導
    体モジュール。
  11. 【請求項11】 前記コネクタ端子を設けた基板の端部
    を、他の基板の端部よりも突出させたことを特徴とする
    請求項10に記載の半導体モジュール。
  12. 【請求項12】 前記半導体チップは外部リードによっ
    て前記基板に実装したものであることを特徴とする請求
    項1〜11のいずれか一つに記載の半導体モジュール。
  13. 【請求項13】 前記半導体チップは前記基板に表面実
    装したものであることを特徴とする請求項1〜11のい
    ずれか一つに記載の半導体モジュール。
  14. 【請求項14】 前記半導体チップは前記基板にベアチ
    ップ実装したものであることを特徴とする請求項1〜1
    1のいずれか一つに記載の半導体モジュール。
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