JP2003005079A

JP2003005079A - 顕微鏡装置

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Publication number: JP2003005079A
Application number: JP2001187737A
Authority: JP
Inventors: Katsumi Ogino; 克美荻野
Original assignee: Nikon Corp
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 2001-06-21
Filing date: 2001-06-21
Publication date: 2003-01-08
Anticipated expiration: 2021-06-21
Also published as: JP4631218B2

Abstract

(57)【要約】【課題】操作者が観察物の設定を安全に行うことので
きる箱型の顕微鏡装置を提供する。【解決手段】顕微鏡の各要素が筐体（１０ａ）内に収
容されてなる顕微鏡装置において、前記筐体には、移動
ステージ（１１）の支持台（１１ａ）のうち少なくとも
観察物を支持している部分を、その筐体の内外へ出入り
させるための出入口（１０ｂ）が形成され、少なくとも
前記支持台が前記筐体の内部に入るときに、前記出入口
における異物の有無を検出する検出手段（１０ｇ，１０
ｆ）を備える。したがって、支持台の引き込みの際に、
筐体の内部に異物が引き込まれる可能性があれば、それ
が事前に検知される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、結像光学系、観察
光学系、移動ステージなどを筐体内に収容してなる顕微
鏡装置（箱型の顕微鏡装置）に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、筐体内に、顕微鏡の光学系や機構
などの各要素を収容してなる箱型の顕微鏡装置が提案さ
れた。特開平８−２７１７９４号公報や特開平１０−３
３９８４５号公報に記載された顕微鏡装置などである。
箱型の顕微鏡装置は、対物レンズの切り替えやステージ
移動など、検鏡に関する駆動部を全て電動化し、また、
顕微鏡の光学系が形成する拡大画像を撮像素子などの画
像取得装置により電子化することで、操作者が各種操作
を全てコンピュータなどの制御装置上で行うことを可能
としている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ここで、一般に、顕微
鏡の操作者は、これから観察しようとしている観察物
（多くの場合、試料の滴下されたプレパラートであ
る。）を設定する必要がある。観察物の設定とは、対物
レンズに正対する観察位置に、観察物を配置することで
ある。

【０００４】しかし、箱型の顕微鏡装置は、その観察位
置に操作者の手指を届かせることが困難なため、観察物
を筐体の外部から筐体の内部の観察位置にまで引き入れ
るための機構が必要となる。また、その機構を箱型の顕
微鏡装置に装備した場合には、駆動中の機構により操作
者の手指などの異物が誤って筐体の内部にまで引き込ま
れる可能性も生じるため、安全性を確保する工夫が必要
となる。

【０００５】そこで本発明は、操作者が観察物の設定を
安全に行うことのできる箱型の顕微鏡装置を提供するこ
とを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】以下、課題を解決するた
めの手段を、請求項毎に説明する。なお、以下では、括
弧内に、図面に示す要素との対応関係を表す符号を付
す。但し、この符号は、本発明を限定するものではな
い。

【０００７】請求項１に記載の顕微鏡装置（１０）は、
観察物（１０Ａ）を支持する支持台（１１ａ）とその支
持台を移動させる機構（１１５）とからなる移動ステー
ジ（１１）と、前記観察物の像を結像する結像光学系
（１５，１７）と、前記結像光学系により結像される前
記像を観察するための観察光学系（１８）とが筐体（１
０ａ）内に収容されてなる顕微鏡装置において、前記筐
体には、前記機構により移動する前記支持台のうち少な
くとも前記観察物を支持している部分を、その筐体の内
外へ出入りさせるための出入口（１０ｂ）が形成され、
前記支持台が前記筐体の内部に入るときに、前記出入口
における異物の有無を検出する検出手段（１０ｇ，１０
ｆ）を備えたことを特徴とする。したがって、支持台の
引き込みの際に、筐体の内部に異物が引き込まれる可能
性があれば、それが事前に検知される。

【０００８】請求項２に記載の顕微鏡装置は、請求項１
に記載の顕微鏡装置において、前記検出手段は、前記出
入口の近傍に取り付けられた可撓性部材（１０ｆ）と、
その可撓性部材の変形に応じて状態の変化するスイッチ
（１０ｇ）とからなることを特徴とする。請求項３に記
載の顕微鏡装置は、観察物（１０Ａ）を支持する支持台
（１０ａ）とその支持台を移動させる機構（１１５）と
からなる移動ステージ（１１）と、前記観察物の像を結
像する結像光学系（１５，１７）と、前記結像光学系に
より結像される前記像を観察するための観察光学系（１
８）とが筐体（１０ａ）内に収容されてなる顕微鏡装置
において、前記筐体には、前記機構により移動する前記
支持台のうち少なくとも前記観察物を支持している部分
を、その筐体の内外へ出入りさせるための出入口（１０
ｂ）が形成され、前記支持台には、前記観察物に対する
採光のための開口部（１１ｂ）と、その支持台が前記筐
体の内部に入るときにその開口部の縁部により異物を引
き込むことを防止する引き込み防止部（２１ｄ，３１
ｄ，４１ｄ）とが形成されていることを特徴とする。し
たがって、支持台の引き込みの際に、一緒に異物が引き
込まれることは回避される。

【０００９】請求項４に記載の顕微鏡装置は、請求項３
に記載の顕微鏡装置において、前記引き込み防止部は、
前記開口部を被覆する透過性部材（２１ｄ）からなるこ
とを特徴とする。請求項５に記載の顕微鏡装置は、請求
項３に記載の顕微鏡装置において、前記引き込み防止部
は、前記開口部から前記支持台の出入側端部までに至る
切り欠き部（３１ｄ）からなることを特徴とする。

【００１０】請求項６に記載の顕微鏡装置は、請求項３
に記載の顕微鏡装置において、前記引き込み防止部は、
前記開口部から前記支持台の出入側端部に向けて付与さ
れた外力に応じて、その開口部からその出入側端部まで
に至る前面部を開放する開放部（４１ｄ，４１ａ）から
なることを特徴とする。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態について説明する。＜第１実施形態＞図１、図２、図３、図４、図５、図
６、図７、図８、図９、図１０を参照して本発明の第１
実施形態について説明する。

【００１２】図１は、本実施形態の顕微鏡システム１の
全体構成図、図２は、顕微鏡システム１を構成する顕微
鏡装置１０の鳥瞰図、図３は、顕微鏡装置１０の構成図
である。図１に示すように、顕微鏡システム１は、顕微
鏡装置１０、ホストコンピュータ５０、表示装置６０、
キーボード７０ａやマウス７０ｂ等の入力装置７０を備
えている。

【００１３】ホストコンピュータ５０の内部には、顕微
鏡装置１０の制御ボード、ＣＰＵ、メモリ、及びハード
ディスク等の不揮発性の記憶部などが備えられる。この
ホストコンピュータ５０には、例えばＧＵＩ（Graphica
l User Interface）などのユーザインタフェースが搭載
されており、操作者は、入力装置７０を介して顕微鏡装
置１０に対する各種の指示を与えることができる（以
下、ＧＵＩが搭載されたとする。）。

【００１４】顕微鏡装置１０は、図２、図３に示すよう
に、箱型の筐体１０ａ内に各要素（符号１１，１７、１
５，１４，１６で示すものなど）を収納している。筐体
１０ａ内において、移動ステージ１１の支持台１１ａ
（被検物試料１０Ａを支持する載物台）は、水平（以
下、ＸＹ平面とする。）に保たれる。ここで本実施形態
では、この支持台１１ａの水平面内の所定方向（以下、
Ｘ方向とする。）のストローク（最大移動量）は、十分
に長くとられる。その支持台１１ａのＸ方向の移動によ
って、被検物試料１０Ａを、通常の顕微鏡画像読み取り
領域Ｅ１（これが通常の観察位置である。）から筐体１
０ａの外部へ向けて給送すること、及びその反対に、筐
体１０ａの外部から顕微鏡画像読み取り領域Ｅ１に向け
て給送することが可能である。

【００１５】因みに、図３に示す給送路の一部に付与さ
れた符号Ｅ２は、被検物試料１０Ａの全体画像を全体画
像読み取り光学系１７ｃ及び撮像部１８により取得する
ための位置を表している。また、筐体１０ａにおいて、
支持台１１ａの給送路に当たる箇所には、その支持台１
１ａが筐体１０ａの内外に出入りできるよう、開閉自在
の挿脱口１０ｂが形成されている。

【００１６】挿脱口１０ｂは、図３に示すように（詳細
は、後述する図４、図８〜図１０を参照のこと）、筐体
１０ａに形成された開口部１０ｅ、その開口部１０ｅを
開閉自在に覆う蓋部１０ｃ、蓋部１０ｃを開閉するため
の蝶番１０ｄ、筐体１０ａの内部側に貼付されたフレキ
シブル板１０ｆ、フレキシブル板１０ｆの近傍に取り付
けられた異物センサ１０ｇなどからなる。

【００１７】なお、言うまでもないが、開口部１０ｅ
は、支持台１１ａを筐体１０ａの内外へ出入りさせるの
に十分な大きさを有している。図４は、筐体１０ａの内
部から見た挿脱口１０ｂの周辺の拡大図である（Ｘ−Ｚ
平面で切断した断面図については、図８〜図１０に示し
たとおりである。）。フレキシブル板１０ｆには、筐体
１０ａに形成された開口部１０ｅと略同型、かつ開口部
１０ｅよりも若干小さい開口部１０ｈが形成されてい
る。この開口部１０ｈのサイズは、支持台１１のＺ−Ｙ
平面での断面の大きさよりも若干大きく採られる。

【００１８】フレキシブル板１０ｆは、その開口部１０
ｈの中心を筐体１０ａの開口部１０ｅの中心に合わせた
状態で、筐体１０ａの内側面に貼付されている。貼付箇
所は、フレキシブル板１０ｆと筐体１０ａとが当接する
面全体とするのではなく、開口部１０ｈからなるべく離
れた箇所（フレキシブル板１０ｆの周縁部）とする。こ
れは、フレキシブル板１０ｆに対し、後述する撓みの生
じ得る余裕を持たせるためである。

【００１９】ここで、フレキシブル板１０ｆは、少なく
とも面に垂直な方向に可撓性を有している可撓性部材
（金属など）である。開口部１０ｈの縁などに筐体１０
ａの外部から内部の方向への外力が与えられると、フレ
キシブル板１０ｆには撓みが生じる。因みに、前記した
蓋部１０ｃ（図３、図８〜図１０参照）は、このフレキ
シブル板１０ｆに、蝶番１０ｄ（図３、図８〜図１０参
照）を介して取り付けられる。また、蓋部１０ｃとフレ
キシブル板１０ｆとの間には、不図示の弾性部材（コイ
ルバネなど）が介在しており、蓋部１０ｃは、その弾性
部材の弾性力によって開口部１０ｅを閉じる方向に付勢
されている。

【００２０】ところで、前記したように本実施形態の挿
脱口１０ｂには、このフレキシブル板１０ｆの撓みを検
出する異物センサ１０ｇが取り付けられる。異物センサ
１０ｇは、メカスイッチセンサなどであり、（必要があ
ればＬ字板などを介して）筐体１０ａ側に固定され、か
つ、その電気接点を、フレキシブル板１０ｆが撓んだと
きにのみＯＮされるような位置に配置している（図８〜
図１０参照）。

【００２１】そして、異物センサ１０ｇの接続状態を示
す出力は、コネクタ１９（図３参照）を介してホストコ
ンピュータ５０の制御ボードへと接続される。したがっ
て、フレキシブル板１０ｆの撓みを示す信号が、ホスト
コンピュータ５０によって検知される。なお、異物セン
サ１０ｇの配置位置については、フレキシブル板１０ｆ
が撓んだときにのみＯＦＦされるような位置であっても
よい。その場合には、ホストコンピュータ５０は、異物
センサ１０ｇがＯＦＦされたことによって、フレキシブ
ル板１０ｆの撓みを検知する。

【００２２】図５は、移動ステージ１１の支持台１１ａ
の斜視図である。移動ステージ１１の支持台１１ａに
は、被検物試料１０Ａに対する採光のための開口部１１
ｂが形成される。この開口部１１ｂを覆うようにして、
被検物試料１０Ａが載置される。なお、挿脱口１０ｂに
形成された異物センサ１０ｇとコネクタ１９との間を電
気的に接続するための配線の経路は、図３では、光路を
横切っているかのごとく表されているが、実際には検鏡
の妨げとならないよう適切に選択される。

【００２３】図６は、ホストコンピュータ５０が表示装
置６０に表示する操作画面を示す図である。操作画面に
は、被検物試料１０Ａの画像７２、７４の他に、操作者
による各種の入力を受け付けるための画像も表示され
る。本実施形態では、この操作画面に、顕微鏡装置１０
の筐体１０ａの内部にある支持台１１ａを外部に引き出
し、また、筐体１０ａの外部に引き出された支持台１１
ａを筐体１０ａの内部へ引き入れるための試料挿脱釦７
１が配置されている。

【００２４】また、本実施形態の顕微鏡装置１０には、
この試料挿脱釦７１と同様の機能を有する釦として、筐
体１０ａの外側面における挿脱口１０ｂの近傍に、リミ
ットスイッチなどの機械スイッチからなる試料挿脱釦７
８（図１、図２、図３参照）が設けられている。この試
料挿脱釦７８の接続状態を示す出力は、コネクタ１９
（図３参照）を介してホストコンピュータ５０の制御ボ
ードへと接続される。

【００２５】ホストコンピュータ５０は、試料挿脱釦７
１が選択されるか、又は試料挿脱釦７８が押下される
と、顕微鏡装置１０内のアクチュエータ１１５（移動ス
テージ１１を駆動するアクチュエータである。図２、図
３参照。）に指示を出すことにより、支持台１１ａが筐
体１０ａの内部にあるときには、その支持台１１ａを筐
体１０ａの外部に向けて移動させ、また、支持台１１ａ
が筐体１０ａの外部にあるときには、その支持台１１ａ
を支持台１１ａの内部に向けて移動させる。

【００２６】すなわち、操作者は、操作画面上の試料挿
脱釦７１を選択するか、又は、筐体１０ａの外側面上の
試料挿脱釦７８を押下することによって、支持台１１ａ
を筐体１０ａの内外へ出入りさせることができる。図７
は、顕微鏡装置１０の制御プログラムに基づいて動作す
るホストコンピュータ５０の動作フローチャートであ
る。なお、この制御プログラムは、ホストコンピュータ
５０に予めインストールされている。

【００２７】なお、図７では、ホストコンピュータ５０
の動作のうち、支持台１１ａの出し入れに関する処理の
みを記載した。実際には、ホストコンピュータ５０は、
この処理の他に、操作画面（図６参照）上で操作者から
与えられる各種の指示に従って、顕微鏡装置１０内の各
部を駆動し、検鏡に関する各種の処理を実行する（例え
ば、全体画像や詳細画像を取り込んで表示装置６０に表
示したり、顕微鏡装置１０の設定内容、すなわち、光源
ランプ１６ａの駆動電圧、減光フィルタ１６ｂの減光
度、特殊フィルタ１６ｃのフィルタ種類、視野絞り１６
ｄの絞り径、開口絞り１６ｅの絞り径、支持台１１ａの
Ｘ方向の位置及びＹ方向の位置及びＺ方向の位置、観察
倍率などを変更したりする。）。

【００２８】以下、図８〜図１０を参照しつつ図７に示
す処理について説明する。先ず、ステップＳ１が実行さ
れる前には、例えば図８に示すように、支持台１１ａ
は、筐体１０ａの内部に位置しているとする。この状態
で、ホストコンピュータ５０は、試料挿脱釦７８が押さ
れた、又は試料挿脱釦７１が選択されたことを認識する
と（ステップＳ１YES、又はステップＳ２YES）、支持台
１１ａをＸ方向に移動させて、例えば図９に示すよう
に、操作者が手指で被検物試料１０Ａを載置できるよう
な位置まで支持台１１ａを挿脱口１０ｂの外部に突出さ
せる（ステップＳ３）。

【００２９】その後、試料挿脱釦７８が押された、又
は、試料挿脱釦７１が選択されたことを認識すると（ス
テップＳ４YES、又はステップＳ５YES）、図１０に示す
ように、ホストコンピュータ５０は支持台１１ａをＸ方
向に移動させて筐体１０ａの内部へ収納し始める（ステ
ップＳ６）。ところで、このようにして支持台１１ａが
筐体１０ａの内部に引き込まれる際、仮に、被検物試料
１０Ａが載置されておらず、しかも、支持台１１ａに形
成された開口部１１ｂに操作者の手指などの異物が掛け
られていた場合には、その異物が筐体１０ａの内部に一
緒に引き込まれて事故の起きる可能性がある。

【００３０】すなわち、顕微鏡用の移動ステージ１１に
おいては、被検物試料１０Ａを高精度に微小移動させる
必要があるために、支持台１１ａの重量は重くなる傾向
にあり、また、それを移動させるアクチュエータ１１５
のパワーも大きくなり、操作者が腕力により抵抗するこ
とができないほどである。したがって、例えば、操作者
の手指が引き込まれると、顕微鏡装置１０を構成する各
部材から衝撃を受けて怪我をする可能性が高い。また、
同時に、顕微鏡装置１０内の光学系や機構が故障する可
能性も高い。

【００３１】また、仮に、開口部１１ｂに操作者の手指
以外の異物が掛かっていた場合にも、光学系や機構が故
障する可能性はある。そこで、ホストコンピュータ５０
は、ステップＳ６における筐体１０ａの収納が開始され
ると、異物センサ１０ｇの出力を監視し始める（ステッ
プＳ７）。そして、異物センサ１０ｇがＯＮされない限
りは、挿脱口１０ｂに異物が存在しないとみなされ（ス
テップＳ７NO）、支持台１１ａはそのまま筐体１０ａの
内部に引き込まれる（ステップＳ８NO）。

【００３２】しかし、図１０に示すように、支持台１１
ａが被検物試料１０Ａを載置しないまま引き込まれ、支
持台１１ａの開口部１１ｂに操作者の手指又は異物が掛
けられたままこの引き込みが続けられると、その手指又
は異物が挿脱口１０ｂのフレキシブル板１０ｆに当接す
ることとなるので、フレキシブル板１０ｆが撓み、異物
センサ１０ｇがＯＮされる。

【００３３】このようなとき、ホストコンピュータ５０
は、異物センサ１０ｇがＯＮされたことを検知し（ステ
ップＳ７YES）、即座に、例えば図９に示したような安
全な位置まで支持台１１ａを移動させ（ステップＳ
９）、その後は、ステップＳ４に戻り、再び操作者から
支持台１１ａを内部に引き込む指示がなされるまで待機
する。一方、異物センサ１０ｇがＯＦＦされたまま（ス
テップＳ７NO）支持台１１ａの全部が筐体１０ａの内部
にまで引き込まれたとき（ステップＳ８YES）には、ス
テップＳ１に戻り、再び操作者から支持台１１ａを外部
に引き出す指示がなされるまで待機する。

【００３４】以上説明したように、本実施形態の顕微鏡
システム１では、顕微鏡装置１０を構成する筐体１０ａ
に挿脱口１０ｂが形成され、かつ、その挿脱口１０ｂに
は異物の有無を検出する異物センサ１０ｇが取り付けら
れている。したがって、支持台１１ａが引き込まれる際
に、筐体１０ａの内部に異物が引き込まれる可能性があ
れば、それが事前に検知される。

【００３５】そして、その検知がなされると、即座に支
持台１１ａの引き込みが停止し、しかも安全な位置にま
で支持台１１ａが移動する。したがって、支持台１１ａ
の引き込みの際に事故の起きる危険性が回避され、しか
も、即座に操作者が異物を取り除くことが可能となる。
この結果、操作者は、顕微鏡装置１０に対する被検物試
料１０Ａの設定を、安全に行うことができる。

【００３６】なお、本実施形態において、ホストコンピ
ュータ５０（ホストコンピュータ５０にインストールさ
れる制御プログラム）を、次のように変更することも可
能である。すなわち、図７のステップＳ９における手順
を、支持台１１ａを停止させるものとすると共に、ステ
ップＳ９の次に実行されるステップを、ステップＳ１と
する。

【００３７】この場合、支持台１１ａが安全な位置にま
で自動的に戻ることはないが、少なくとも停止するの
で、事故の起きる可能性は無くなる。また、停止しただ
けでは支持台１１ａに掛かっていた異物を取り除けなか
ったとしても、操作者が、続いて試料挿脱釦７８又は試
料挿脱釦７１を選択すれば、支持台１１ａを安全な位置
にまで戻すこともできるので問題はない。

【００３８】また、本実施形態では、異物センサ１０ｇ
としてメカスイッチセンサを用いているが、フレキシブ
ル板１０ｆの撓みを検出できるのであれば、フォトイン
タラプタなど他のセンサを用いてもよい。また、本実施
形態で説明したフレキシブル板１０ｆとしては、十分な
可撓性を有するのであれば、金属の他、ゴム、フィルム
などの如何なる材料からなる部材を使用してもよい。

【００３９】また、本実施形態では、蓋部１０ｃの取り
付け箇所がフレキシブル板１０ｆとされているが、筐体
１０ａの側としてもよい。その場合には、フレキシブル
板１０ｆに要求される剛性は低くなるので、そのフレキ
シブル板１０ｆの材料を選択する際の自由度が高まるこ
とは言うまでもない。また、本実施形態においては、顕
微鏡装置１０を、異物センサ１０ｇの出力に応じて、フ
レキシブル板１０ｆの撓みが検出された場合に警告ブザ
ーの発音や警告灯の点灯などを行う構成とすることもで
きる。

【００４０】＜第２実施形態＞次に、図１、図２、図
３、図７、図１１を参照して本発明の第２実施形態につ
いて説明する。ここでは、第１実施形態との相違点につ
いてのみ説明し、同一の部分については説明を省略す
る。

【００４１】本実施形態の顕微鏡システムでは、図１、
図２、図３に示した第１実施形態の顕微鏡システム１と
は異なり、異物センサ１０ｇ（第１実施形態では、顕微
鏡装置１０の挿脱口１０ｂに設けられていた。）が省か
れる。このため、本実施形態のホストコンピュータが実
行する手順については、図７に示したような、異物セン
サ１０ｇの出力に応じて実行される各ステップ（ステッ
プＳ７、Ｓ８、Ｓ９）が省かれる。

【００４２】その代わり、本実施形態の顕微鏡装置に配
置される移動ステージの支持台は、図１１に示すような
支持台２１ａとなる。図１１は、本実施形態の支持台２
１ａを説明する図である。図１１（ａ）は、支持台２１
ａの斜視図、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）におけるＶ
−Ｖ’線により切断した断面図である。

【００４３】本実施形態の支持台２１ａには、第１実施
形態の支持台１１ａと同様、採光のための開口部１１ｂ
が形成されているが、その開口部１１ｂには、その開口
部１１ｂを被覆する透明ガラス２１ｄが填め込まれてい
る点において、第１実施形態の支持台１１ａとは異な
る。なお、支持台２１ａは、筐体１０ａから引き出され
たり引き込まれたりする際に誤って外れることのないよ
う、その透明ガラス２１ｄを固定している。

【００４４】支持台２１ａは、例えば、開口部が形成さ
れた部材２１ａｈと、その開口部と略同様の開口部が形
成された部材２１ａｓとからなり、それらの部材２１ａ
ｈ、２１ａｓによって透明ガラス２１ｄを両面から峡持
することで、その透明ガラス２１ｄを固定する。このよ
うに、本実施形態の支持台２１ａは、その開口部１１ｂ
が透明ガラス２１ｄにより覆われているので、被検物試
料１０Ａに対する採光の機能を果たしつつも、支持台２
１ａが筐体１０ａの外部に引き出されているときに、操
作者の手指などの異物を掛けることは無い。

【００４５】したがって、支持台２１ａが筐体１０ａの
内部に引き込まれる際にも、異物がその筐体１０ａの内
部に一緒に引き込まれる危険は無くなる。なお、本実施
形態では、透明ガラス２１ｄに代えて、透過性を有した
他の部材（プラスチックなど）を使用してもよい。この
部材は、少なくとも、顕微鏡装置に使用される照明光
を、十分な光量で被検物試料１０Ａに対し採光すること
ができるだけの特性を有していればよい。

【００４６】＜第３実施形態＞次に、図１２を参照して
本発明の第３実施形態について説明する。ここでは、第
２実施形態との相違点についてのみ説明し、同一の部分
については説明を省略する。本実施形態の顕微鏡装置に
配置される移動ステージの支持台は、図１２に示すよう
な支持台３１ａである。

【００４７】図１２は、本実施形態の支持台３１ａを説
明する図である。本実施形態の支持台３１ａには、第２
実施形態の支持台２１ａと同様、採光のための開口部１
１ｂが形成されているが、その開口部１１ｂに透明ガラ
ス２１ｄが埋め込まれる代わりに、その開口部１１ｂか
ら支持台３１ａの出入側端部（筐体１０ａの内部に在る
状態で最も挿脱口１０ｂに近い側の端部である。）まで
に至る前面部が、切り欠かれている（切り欠き部３１
ｄ）。

【００４８】なお、図１２では、この切り欠き部３１ｄ
のＹ方向の幅が、開口部１１ｂのＹ方向の幅と同じであ
るような支持台３１ａを示した。このように、切り欠き
部３１ｄが形成されていれば、支持台３１ａが筐体１０
ａの外部に引き出されているときに、操作者の手指など
の異物を開口部１１ｂの周縁などに掛けたとしても、支
持台３１ａが筐体１０ａの内部に引き込まれる際には、
その異物を、切り欠き部３１ｄを経由して筐体１０ａの
外部に逃がすことができる。

【００４９】したがって、支持台３１ａが筐体１０ａの
内部に引き込まれる際にも、異物がその筐体１０ａの内
部に一緒に引き込まれる危険は回避される。＜第４実施形態＞次に、図１３、図１４を参照して本発
明の第４実施形態について説明する。ここでは、第２実
施形態との相違点についてのみ説明し、同一の部分につ
いては説明を省略する。

【００５０】本実施形態の顕微鏡装置に配置される移動
ステージの支持台は、図１３、図１４に示すような支持
台４１ａである。図１３は、本実施形態の支持台４１ａ
の構成を説明する図であり、図１４は、本実施形態の動
作を説明する図である。本実施形態の支持台４１ａに
は、第２実施形態の支持台２１ａと同様、採光のための
開口部１１ｂが形成されているが、その開口部１１ｂに
透明ガラス２１ｄが埋め込まれる代わりに、開口部１１
ｂから前面部４１ｅに向けて付与された外力に応じて、
その前面部４１ｅを開放するような構造となっている。

【００５１】例えば、支持台４１ａは、図１３に示すよ
うに、筐体１０ａの奥側の部分と出入側の部分とが別の
部材からなり、さらに、出入側の部分が、Ｘ方向に延び
る中心線によって２つの別の部材からなる（筐体１０ａ
の奥側の部材を部材４１ａｃ、出入側の２つの部材を、
それぞれ部材４１ａＬ、部材４１ａＲと称す。）。部材
４１ａＬ、４１ａＲは、それぞれＺ方向に回動軸を有し
た蝶番４１ｄＬ、４１ｄＲを介して回動自在に部材４１
ａｃに取り付けられている。

【００５２】したがって、部材４１ａＬ、部材４１ａＲ
が、それぞれ蝶番４１ｄＬ、蝶番４１ｄＲの回動軸を中
心として回動すると、前面部４１ｅが開放されたり、閉
鎖されたりする。また、蝶番４１ｄＬ、蝶番４１ｄＲの
それぞれは、スプリング蝶番などからなり、全面部４１
ｅを閉鎖する方向に、部材４１ａＬ、４１ａＲのそれぞ
れを付勢している。

【００５３】したがって、支持台４１ａに外力が加えら
れなければ、図１４（ａ）に示すように、前面部４１ｅ
は閉鎖された状態となる。そして、支持台４１ａが筐体
１０ａの外部に引き出されているときに、操作者の手指
などを開口部１１ｂの周縁などに掛けたとすると、支持
台４１ａが筐体１０ａの内部に引き込まれる際には、そ
の手指によって開口部１１ｂから前面部４１ｅに向けて
力が付与される。

【００５４】そのとき、支持台４１ａは、図１４（ｂ）
に示すように、その力に応じてその前面部４１ｅを開放
するので、手指を筐体１０ａの外部に逃がすことができ
る。そして、手指を逃がした後は、前記したように付勢
されている部材４１ａＬと部材４１ａＲとが、図１４
（ｃ）に示すように前面部４１ｅを閉鎖する。すなわ
ち、本実施形態によれば、支持台４１ａが筐体１０ａの
内部に引き込まれる際にも、手指などがその筐体１０ａ
の内部に一緒に引き込まれて事故の起きる危険は回避さ
れる。

【００５５】＜その他＞前述した第１実施形態の顕微鏡
システムにおいては、第２実施形態〜第４実施形態の何
れかを組み合わせて適用することもできる。このように
組み合わせれば、安全性がより確実に確保される。

【００５６】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明によれば、
操作者が観察物の設定を安全に行うことのできる箱型の
顕微鏡装置が実現する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態の顕微鏡システム１の全体構成図
である。

【図２】顕微鏡システム１を構成する顕微鏡装置１０の
鳥瞰図である。

【図３】顕微鏡装置１０の構成図である。

【図４】筐体１０ａの内部から見た挿脱口１０ｂの周辺
の拡大図である。

【図５】移動ステージ１１の支持台１１ａの斜視図であ
る。

【図６】ホストコンピュータ５０が表示装置６０に表示
する操作画面を示す図である。

【図７】顕微鏡装置１０の制御プログラムに基づいて動
作するホストコンピュータ５０の動作フローチャートで
ある。

【図８】第１実施形態の動作を説明する図である。

【図９】第１実施形態の動作を説明する図である。

【図１０】第１実施形態の動作を説明する図である。

【図１１】第２実施形態の支持台２１ａを説明する図で
ある。

【図１２】第３実施形態の支持台３１ａを説明する図で
ある。

【図１３】第４実施形態の支持台４１ａの構成を説明す
る図である。

【図１４】第４実施形態の動作を説明する図である。

【符号の説明】

１顕微鏡システム１０顕微鏡装置５０ホストコンピュータ６０表示装置７０入力装置８０作業ベンチ１０ａ筐体１０ｂ挿脱口１０ｃ蓋部１０ｄ，４１ｄ蝶番１０ｅ開口部１０ｆフレキシブル板１０ｇ異物センサ１０Ａ被検物試料１１移動ステージ１１ａ，２１ａ，３１ａ，４１ａ支持台１１ｂ開口部２１ｄ透明ガラス３１ｄ切り欠き部４１ｅ前面部１５対物レンズホルダ部１６透過照明部１６ａ光源ランプ１６ｂ減光フィルタ１６ｃ特殊フィルタ１６ｄ視野絞り１６ｅ開口絞１１６ｂ，１１６ｃ，１１６ｄ，１１６ｅ，１１５，１
１１，１１７アクチュエータ１２６ｂ，１２６ｃ，１２６ｄ，１２６ｅ，１２５，１
２１，１２７位置センサ１７光学系支持部１７ａ高倍率の詳細画像観察光学系１７ｂ低倍率の詳細画像観察光学系１７ｃ全体画像読み取り光学系１８撮像部１９コネクタＥ１顕微鏡画像読み取り領域Ｅ２全体画像読み取り領域７１，７８試料挿脱釦７２全体画像７３カーソル７４詳細画像７５，７６ラジオ釦７７スライダ群７７ａランプ調整バー７７ｂ減光度調整バー７７ｄ視野絞り調整バー７７ｅ開口絞り調整バー７７ｘＸ位置調整バー７７ｙＹ位置調整バー７７ｚ焦点調整バー７７ｆズーム調整バー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】観察物を支持する支持台とその支持台を
移動させる機構とからなる移動ステージと、前記観察物の像を結像する結像光学系と、前記結像光学系により結像される前記像を観察するため
の観察光学系とが筐体内に収容されてなる顕微鏡装置に
おいて、前記筐体には、前記機構により移動する前記支持台のう
ち少なくとも前記観察物を支持している部分を、その筐
体の内外へ出入りさせるための出入口が形成され、前記支持台が前記筐体の内部に入るときに、前記出入口
における異物の有無を検出する検出手段を備えたことを
特徴とする顕微鏡装置。
【請求項２】請求項１に記載の顕微鏡装置において、前記検出手段は、前記出入口の近傍に取り付けられた可撓性部材と、その
可撓性部材の変形に応じて状態の変化するスイッチとか
らなることを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項３】観察物を支持する支持台とその支持台を
移動させる機構とからなる移動ステージと、前記観察物の像を結像する結像光学系と、前記結像光学系により結像される前記像を観察するため
の観察光学系とが筐体内に収容されてなる顕微鏡装置に
おいて、前記筐体には、前記機構により移動する前記支持台のう
ち少なくとも前記観察物を支持している部分を、その筐
体の内外へ出入りさせるための出入口が形成され、前記支持台には、前記観察物に対する採光のための開口
部と、その支持台が前記筐体の内部に入るときにその開
口部の縁部により異物を引き込むことを防止する引き込
み防止部とが形成されていることを特徴とする顕微鏡装
置。
【請求項４】請求項３に記載の顕微鏡装置において、前記引き込み防止部は、前記開口部を被覆する透過性部材からなることを特徴と
する顕微鏡装置。
【請求項５】請求項３に記載の顕微鏡装置において、前記引き込み防止部は、前記開口部から前記支持台の出入側端部までに至る切り
欠き部からなることを特徴とする顕微鏡装置。
【請求項６】請求項３に記載の顕微鏡装置において、前記引き込み防止部は、前記開口部から前記支持台の出入側端部に向けて付与さ
れた外力に応じて、その開口部からその出入側端部まで
に至る前面部を開放する開放部からなることを特徴とす
る顕微鏡装置。