JP2002100478A - 有機電界発光素子及びその製造方法 - Google Patents
有機電界発光素子及びその製造方法Info
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Abstract
駆動させることができる有機電界発光素子を提供する。 【解決手段】 基板1上に、陽極2、発光層5、正孔阻
止層6、電子輸送層7及び陰極8がこの順で形成された
有機電界発光素子。正孔阻止層6のイオン化ポテンシャ
ルは発光層5のイオン化ポテンシャルよりも0.1eV以上
大きく、電子輸送層7は電子輸送性材料及びアルカリ金
属を含有し、アルカリ金属の少なくとも一部が電子輸送
層7内でカチオン状態で分散している。
Description
関するものであり、詳しくは、有機化合物から成る発光
層に電界をかけて光を放出する薄膜型デバイスに関する
ものである。
しては、無機材料のII−VI族化合物半導体であるZn
S、CaS、SrS等に、発光中心であるMnや希土類
元素(Eu、Ce、Tb、Sm等)をドープしたものが
一般的であるが、上記の無機材料から作製したEL素子
は、 1)交流駆動が必要(50〜1000Hz)、 2)駆動電圧が高い(約200V)、 3)フルカラー化が困難(特に青色に難がある)、 4)周辺駆動回路のコストが高い、という問題点を有し
ている。
有機薄膜を用いたEL素子の開発が行われるようになっ
た。特に、発光効率を高めるため、電極からのキャリア
ー注入の効率向上を目的として電極の種類の最適化を行
い、芳香族ジアミンから成る正孔輸送層と8−ヒドロキ
シキノリンのアルミニウム錯体から成る発光層とを設け
た有機電界発光素子の開発(Appl. Phys. Lett., 51巻,
913頁,1987年)により、従来のアントラセン等の単結
晶を用いたEL素子と比較して発光効率の大幅な改善が
なされている。また、例えば、8−ヒドロキシキノリン
のアルミニウム錯体をホスト材料として、クマリン等の
レーザー用蛍光色素をドープすること(J. Appl. Phy
s., 65巻, 3610頁,1989年)で、発光効率の向上や発光
波長の変換等も行われており、実用特性に近づいてい
る。
子の他にも、発光層の材料として、ポリ(p-フェニレン
ビニレン)、ポリ[2-メトキシ-5-(2-エチルヘキシルオ
キシ)-1,4-フェニレンビニレン]、ポリ(3-アルキルチ
オフェン)等の高分子材料を用いた電界発光素子の開発
や、ポリビニルカルバゾール等の高分子に低分子の発光
材料と電子移動材料を混合した素子の開発も行われてい
る。
ネル・ディスプレイの分野に応用する際の大きな課題の
一つとして、発光効率の向上が挙げられる。特に、携帯
機器の表示素子への応用においては、低消費電力がポイ
ントとなる。また、小型文字表示素子への応用において
は、主として、単純マトリクス駆動法が採用されるが、
この方法では、高デューティ比で素子を極めて短時間に
高輝度で光らせる必要があり、そのために電圧が高くな
り、電力発光効率が低下するという問題がある。
子では、基本的には正孔輸送層と電子輸送層の組み合わ
せにより発光を行っている。即ち、陽極から注入された
正孔は正孔輸送層を移動し、陰極から注入されて電子輸
送層を移動してくる電子と、両層の界面近傍で再結合を
し、正孔輸送層及び/又は電子輸送層を励起させて発光
させるのが原理であるが、この基本的素子構造におい
て、正孔が電子輸送層を通過して、再結合せずに陰極に
到達することが、従来の素子の発光効率を制限している
一つの要因となっていた。
としては、8−ヒドロキシキノリンのアルミ錯体、オキ
サジアゾール誘導体(Appl. Phys. Lett., 55巻, 1489
頁,1989年)やそれらをポリメタクリル酸メチル(PM
MA)等の樹脂に分散した系(Appl. Phys. Lett.,61
巻,2793頁, 1992年)、フェナントロリン誘導体(特開
平5−331459号公報)、2-t-ブチル-9,10-N,N'-ジシア
ノアントラキノンジイミン(Phys. Stat. Sol. (a),14
2巻, 489頁, 1994年)等が報告されているが、いずれの
材料も正孔輸送層からの正孔の通過を完全に阻止するに
は至っていない。
間に、発光層のイオン化ポテンシャルよりも 0.1eV以上
大きなイオン化ポテンシャルを有する正孔阻止層とし
て、トリス(5,7-ジクロル-8-ヒドロキシキノリノ)ア
ルミニウム (特開平2−195683号公報)が挙げられて
いるが、発光効率の改善効果は実用には遠かった。同様
の正孔阻止層材料として、シラシクロペンタジエンも提
案されているが(特開平9− 87616号公報)、駆動安定
性は十分ではない。
発光素子の発光効率の向上のためには、陰極から注入さ
れた電子を効率よく発光層に輸送すること、及び、発光
層を通過する正孔を完全に阻止し、再結合に寄与しない
電流量を減らすことが必要であり、高発光効率かつ安定
な素子を作製するための素子構造及び材料に対して、更
なる改良検討が望まれていた。
たものであって、高発光効率で発光させることができ、
安定に駆動させることができる有機電界発光素子を提供
することを目的とする。
〜に示される有機電界発光素子に存する。 基板上に、陽極、発光層、正孔阻止層、電子輸送層
及び陰極がこの順で形成された有機電界発光素子におい
て、該正孔阻止層のイオン化ポテンシャルは発光層のイ
オン化ポテンシャルより0.1eV以上大きく、該電子輸送
層は電子輸送性材料及びアルカリ金属を含有し、かつ該
アルカリ金属の少なくとも一部が、電子輸送層内でカチ
オン状態で分散していることを特徴とする有機電界発光
素子。 該電子輸送性材料が、フェナントロリン誘導体又は
金属錯体である記載の有機電界発光素子。 該正孔阻止層が金属錯体、スチリル化合物、トリア
ゾール誘導体、又はフェナントロリン誘導体を含有する
又は記載の有機電界発光素子。 正孔阻止層の膜厚が、0.5〜50nmの範囲にある〜
記載の有機電界発光素子。
せ、安定に駆動させることができる有機電界発光素子を
提供することを目的として鋭意検討した結果、発光層と
陰極との間に正孔阻止層と電子輸送層を設け、該電子輸
送層に特定の物質を用いることが好適であることを見出
し、本発明を完成した。
正孔を陰極に到達するのを阻止すると共に、電子輸送層
から注入された電子を発光層の方向に輸送することがで
きる化合物で正孔阻止層を形成し、この正孔阻止層と、
特定の物質を用いた、電子注入性が著しく良好な電子輸
送層とを組み合わせることにより、高発光効率及び低駆
動電圧を実現する。
おいて陰極から注入された電子を効率よく発光層の方向
に輸送することができる化合物より形成される。電子輸
送層は、発光層での再結合により生成するエキシトンが
拡散して陰極で消光されるのを防ぐ効果を有する。
しては、陰極からの電子注入効率が高く、かつ、高い電
子移動度を有し注入された電子を効率よく輸送すること
ができるものであることが必要であり、このような条件
を満たす材料として、8−ヒドロキシキノリンのアルミ
ニウム錯体などの金属錯体等が提供されているが、これ
らの電子輸送性材料は概して正孔輸送性材料に比べて電
荷移動度が低い。
子輸送性材料と共にカチオン状態のアルカリ金属を含有
させることにより電荷移動度を飛躍的に高め、発光層へ
の電子注入効率を改善する。
性材料として、バソフェナントロリン等のフェナントロ
リン誘導体、又は8−ヒドロキシキノリンのアルミニウ
ム錯体で代表される金属錯体を用いることで優れた膜質
を実現することができる。
体、スチリル化合物、トリアゾール誘導体、又はフェナ
ントロリン誘導体を用いるのが好ましく、正孔阻止層の
膜厚は0.5〜50nmであることが好ましい。
電子輸送層の成膜工程を有する有機電界発光素子の製造
方法において、該電子輸送層を、真空装置内でアルカリ
金属を含む化合物を還元して得られるアルカリ金属と、
電子輸送材料とを共蒸着することにより形成することを
特徴とするものであって、電子輸送性材料及びアルカリ
金属を含有し、かつ該アルカリ金属の少なくとも一部が
カチオン状態で分散しており、電子輸送性に著しく優れ
た電子輸送層を、効率的に形成することができる。
機電界発光素子の実施の形態を詳細に説明する。
電界発光素子の構造例を模式的に示す断面図であり、1
は基板、2は陽極、3は陽極バッファ層、4は正孔輸送
層、5は発光層、6は正孔阻止層、7は電子輸送層、8
は陰極を各々表わす。
ものであり、石英やガラスの板、金属板や金属箔、プラ
スチックフィルムやシートなどが用いられる。特にガラ
ス板や、ポリエステル、ポリメタクリレート、ポリカー
ボネート、ポリスルホンなどの透明な合成樹脂の板が好
ましい。合成樹脂基板を使用する場合にはガスバリア性
に留意する必要がある。基板のガスバリヤ性が小さすぎ
ると、基板を通過した外気により有機電界発光素子が劣
化することがあるので好ましくない。このため、合成樹
脂基板の少なくとも片面に緻密なシリコン酸化膜等を設
けてガスバリア性を確保する方法も好ましい方法の一つ
である。
2は正孔輸送層4への正孔注入の役割を果たすものであ
る。この陽極は、通常、アルミニウム、金、銀、ニッケ
ル、パラジウム、白金等の金属、インジウム及び/又は
スズの酸化物などの金属酸化物、ヨウ化銅などのハロゲ
ン化金属、カーボンブラック、或いは、ポリ(3-メチル
チオフェン)、ポリピロール、ポリアニリン等の導電性
高分子などにより構成される。陽極2の形成は通常、ス
パッタリング法、真空蒸着法などにより行われることが
多い。また、銀などの金属微粒子、ヨウ化銅などの微粒
子、カーボンブラック、導電性の金属酸化物微粒子、導
電性高分子微粉末などの場合には、適当なバインダー樹
脂溶液に分散し、基板1上に塗布することにより陽極2
を形成することもできる。更に、導電性高分子の場合は
電解重合により直接基板1上に薄膜を形成したり、基板
1上に導電性高分子を塗布して陽極2を形成することも
できる(Appl.Phys.Lett.,60巻,2711頁,1992
年)。陽極2は異なる物質で積層して形成することも可
能である。陽極2の厚みは、必要とする透明性により異
なる。透明性が必要とされる場合は、可視光の透過率
を、通常、60%以上、好ましくは80%以上とすることが
望ましく、この場合、陽極2の厚みは、通常、5〜1000
nm、好ましくは10〜500nm程度である。不透明でよい場合
は陽極2は基板1と同一でもよい。また、更には上記の
陽極2の上に異なる導電材料を積層することも可能であ
る。
る。正孔輸送層4の材料に要求される条件としては、陽
極からの正孔注入効率が高く、かつ、注入された正孔を
効率よく輸送することが挙げられる。そのためには、イ
オン化ポテンシャルが小さく、可視光の光に対して透明
性が高く、しかも正孔移動度が大きく、更に安定性に優
れ、トラップとなる不純物が製造時や使用時に発生しに
くいことが要求される。また、発光層の発光を消光する
ような物質を含まないことが必要とされる。上記の一般
的要求以外に、車載表示用の応用を考えた場合、素子に
は更に耐熱性が要求される。従って、Tgとして70℃以上
の値を有する材料が望ましく、より望ましくは85℃以
上である。
ば、1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニ
ル)シクロヘキサン、4,4'-ビス[N-(1-ナフチル)-N-
フェニルアミノ]ビフェニルで代表される2個以上の3
級アミンを含み2個以上の縮合芳香族環が窒素原子に置
換した芳香族ジアミン(特開平5−234681号公報)、4,
4',4"-トリス(1-ナフチルフェニルアミノ)トリフェニル
アミン等のスターバースト構造を有する芳香族アミン化
合物(J. Lumin., 72-74巻、985頁、1997年)、トリフ
ェニルアミンの四量体から成る芳香族アミン化合物(Ch
em.Commun., 2175頁、1996年)、トリフェニルベンゼン
の誘導体でスターバースト構造を有する芳香族トリアミ
ン(米国特許第4,923,774号)、N,N’−ジ
フェニル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)ビフ
ェニル−4,4’−ジアミン等、ピレニル基に芳香族ジ
アミノ基が複数個置換した化合物、スチリル構造を有す
る芳香族ジアミン(特開平4−290851号公報)、
チオフェン基で芳香族3級アミンユニットを連結したも
の(特開平4−304466号公報)、スターバースト
型芳香族トリアミン(特開平4−308688号公
報)、フルオレン基で3級アミンを連結したもの(特開
平5−25473号公報)、トリアミン化合物(特開平
5−239455号公報)、ビスジピリジルアミノビフ
ェニル、N,N,N−トリフェニルアミン誘導体(特開
平6−1972号公報)、フェノキサジン構造を有する
芳香族ジアミン(特開平7−138562号公報)、ジ
アミノフェニルフェナントリジン誘導体(特開平7−2
52474号公報)、シラザン化合物(米国特許第4,
950,950号公報)、シラナミン誘導体(特開平6
−49079号公報)、ホスファミン誘導体(特開平6
−25659号公報)、2,2',7,7'-テトラキス-(ジフェ
ニルアミノ)-9,9'-スピロビフルオレン等のスピロ化合
物(Synth. Metals, 91巻、209頁、1997年)等が挙げら
れる。これらの化合物は、単独で用いてもよいし、必要
に応じて2種以上を混合して用いてもよい。
として、ポリビニルカルバゾール、ポリビニルトリフェ
ニルアミン(特開平7− 53953号公報)、テトラフェニ
ルベンジジンを含有するポリアリーレンエーテルサルホ
ン(Polym. Adv. Tech., 7巻、33頁、1996年)等の高分
子材料を用いることもできる。
布法或いは真空蒸着法により前記陽極2上に積層するこ
とにより形成される。
2種以上と、必要により正孔のトラップにならないバイ
ンダー樹脂や塗布性改良剤などの添加剤とを添加し、溶
解して塗布溶液を調製し、スピンコート法などの方法に
より陽極2上に塗布し、乾燥して正孔輸送層を形成す
る。バインダー樹脂としては、ポリカーボネート、ポリ
アリレート、ポリエステル等が挙げられる。バインダー
樹脂は添加量が多いと正孔移動度を低下させるので、少
ない方が望ましく、通常、50重量%以下とすることが
好ましい。
空容器内に設置されたルツボに入れ、真空容器内を適当
な真空ポンプで10-4Pa程度にまで排気した後、ルツボを
加熱して、正孔輸送材料を蒸発させ、ルツボと向き合っ
て置かれた、陽極が形成された基板1上に正孔輸送層4
を形成させる。
m、好ましくは30〜100nmである。この様に薄い膜を一様
に形成するためには、一般に真空蒸着法がよく用いられ
る。
向上させ、かつ、有機層全体の陽極2への付着力を改善
させる目的で、図2に示す如く正孔輸送層4と陽極2と
の間に陽極バッファ層3を挿入してもよい。陽極バッフ
ァ層3を挿入することで、初期の素子の駆動電圧が下が
ると同時に、素子を定電流で連続駆動した時の電圧上昇
も抑制される効果がある。陽極バッファ層に用いられる
材料に要求される条件としては、陽極とのコンタクトが
よく均一な薄膜が形成でき、熱的に安定、即ち、融点及
びガラス転移温度が高いことが挙げられ、融点としては
300℃以上、ガラス転移温度としては 100℃以上が要求
される。更に、イオン化ポテンシャルが低く陽極2から
の正孔注入が容易なこと、正孔移動度が大きいことが挙
げられる。
ン誘導体やフタロシアニン化合物(特開昭63−295695号
公報)、ヒドラゾン化合物、アルコキシ置換の芳香族ジ
アミン誘導体、p−(9−アントリル)−N,N−ジ−
p−トリルアニリン、ポリチエニレンビニレンやポリ−
p−フェニレンビニレン、ポリアニリン(Appl. Phys.
Lett., 64巻、1245頁,1994年)、ポリチオフェン(Opti
cal Materials, 9巻、125頁、1998年)、スターバスト
型芳香族トリアミン(特開平4-308688号公報)等の有機
化合物や、スパッタ・カーボン膜(Synth. Met., 91
巻、73頁、1997年)や、バナジウム酸化物、ルテニウム
酸化物、モリブデン酸化物等の金属酸化物(J.Phys. D,
29巻、2750頁、1996年)が報告されている。
用される化合物としては、ポルフィリン化合物又はフタ
ロシアニン化合物が挙げられる。これらの化合物は中心
金属を有していてもよいし、無金属のものでもよい。好
ましいこれらの化合物の具体例としては、以下の化合物
が挙げられる。 ポルフィン 5,10,15,20−テトラフェニル−21H,23
H−ポルフィン 5,10,15,20−テトラフェニル−21H,23
H−ポルフィンコバルト(II) 5,10,15,20−テトラフェニル−21H,23
H−ポルフィン銅(II) 5,10,15,20−テトラフェニル−21H,23
H−ポルフィン亜鉛(II) 5,10,15,20−テトラフェニル−21H,23
H−ポルフィンバナジウム(IV)オキシド 5,10,15,20−テトラ(4−ピリジル)−21
H,23H−ポルフィン29H,31H−フタロシアニ
ン 銅(II)フタロシアニン 亜鉛(II)フタロシアニン チタンフタロシアニンオキシド マグネシウムフタロシアニン 鉛フタロシアニン 銅(II)4,4’,4'',4''' −テトラアザ−29
H,31H−フタロシアニン
にして薄膜形成可能であるが、無機物の場合には、更
に、スパッタ法や電子ビーム蒸着法、プラズマCVD法
が用いられる。
3の膜厚は、通常、3〜200nm、好ましくは10〜100nmで
ある。
る。発光層5は、電界を与えられた電極間において、陽
極2から注入されて正孔輸送層4を移動する正孔と、陰
極8から注入されて電子輸送層7を移動する電子との再
結合により励起されて強い発光を示す蛍光性化合物より
形成される。
は、安定な薄膜形状を有し、固体状態で高い蛍光収率を
示し、正孔及び/又は電子を効率よく輸送することがで
きる化合物であることが必要である。更に電気化学的か
つ化学的に安定であり、トラップとなる不純物が製造時
や使用時に発生しにくい化合物であることが要求され
る。
−ヒドロキシキノリンのアルミニウム錯体などの金属錯
体(特開昭59−194393号公報)、10-ヒドロキシベンゾ
[h]キノリンの金属錯体(特開平6−322362号公報)、
ビススチリルベンゼン誘導体(特開平1−245087号公
報、同2−222484号公報)、ビススチリルアリーレン誘
導体(特開平2−247278号公報)、(2-ヒドロキシフェ
ニル)ベンゾチアゾールの金属錯体(特開平8−315983
号公報)、シロール誘導体等が挙げられる。これらの発
光層材料は、通常は真空蒸着法により正孔輸送層上に積
層される。
性を有する芳香族アミン系化合物も発光層材料として用
いることができる。
ましくは5〜100 nmである。
成することができるが、通常は真空蒸着法が用いられ
る。
色を変える目的で、例えば、8−ヒドロキシキノリンの
アルミニウム錯体をホスト材料として、クマリン等のレ
ーザ用蛍光色素をドープすること(J. Appl. Phys., 65
巻, 3610頁, 1989年)等が行われている。このドーピン
グ手法は、発光層5にも適用でき、ドープ用材料として
は、クマリン以外にも各種の蛍光色素が使用できる。青
色発光を与える蛍光色素としては、ペリレン、ピレン、
アントラセン及びそれらの誘導体等が挙げられる。緑色
蛍光色素としては、キナクリドン誘導体、クマリン誘導
体等が挙げられる。黄色蛍光色素としては、ルブレン、
ペリミドン誘導体等が挙げられる。赤色蛍光色素として
は、DCM等のベンゾピラン誘導体、ローダミン誘導
体、ベンゾチオキサンテン誘導体、アザベンゾチオキサ
ンテン等が挙げられる。
材料に応じて、レーザー研究,8巻, 694頁, 803頁,
958頁(1980年);同9巻,85頁(1981年)、に列挙さ
れている蛍光色素を発光層用のドープ材料として使用す
ることができる。ホスト材料に対して上記蛍光色素がド
ープされる量は、10-3〜10重量%が好ましい。
ドープする方法を以下に説明する。
用蛍光色素、更に必要により、電子のトラップや発光の
消光剤とならないバインダー樹脂や、レベリング剤等の
塗布性改良剤などの添加剤を添加して溶解した塗布溶液
を調製し、スピンコート法などの方法により正孔輸送層
4上に塗布し、乾燥して発光層5を形成する。バインダ
ー樹脂としては、ポリカーボネート、ポリアリレート、
ポリエステル等が挙げられる。バインダー樹脂は添加量
が多いと正孔/電子移動度を低下させるので、少ない方
が望ましく、50重量%以下が好ましい。
真空容器内に設置されたルツボに入れ、ドープする蛍光
色素を別のルツボに入れ、真空容器内を適当な真空ポン
プで10-6Torr程度にまで排気した後、各々のルツボを同
時に加熱して蒸発させ、ルツボと向き合って置かれた基
板上に層を形成する。また、他の方法として、上記の材
料を予め所定比で混合したものを同一のルツボに入れて
蒸発させてもよい。
層中にドープされる場合、発光層5の膜厚方向において
均一にドープされるが、膜厚方向において濃度分布があ
っても構わない。例えば、正孔輸送層4との界面近傍に
のみドープしたり、逆に、後述の正孔阻止層6の界面近
傍にのみドープしてもよい。
る。正孔阻止層6は、正孔輸送層4から移動してくる正
孔が陰極8に到達するのを阻止する役割と、電子輸送層
7から注入された電子を効率よく発光層5の方向に輸送
することができる化合物より形成され、イオン化ポテン
シャルが発光層5のイオン化ポテンシャルより0.1eV大
きい層である。正孔阻止層6は、発光層5で再結合によ
る生成するエキシトンを発光層内に閉じこめるために、
発光層材料よりは広いバンドギャップを有することが必
要である。この場合のバンドギャップは、電気化学的に
決定される酸化電位−還元電位の差、又は、光吸収端か
ら求められる。正孔阻止層6は電荷キャリアとエキシト
ンの両方を発光層5内に閉じこめて、発光効率を向上さ
せる機能を有する。また、正孔阻止層6は電子輸送層7
中のアルカリ金属が発光層5へ拡散して、発光効率や安
定性を低下させるのを防止する役割も持つ。
しては、混合配位子錯体、二核金属錯体等の金属錯体、
ジスチリルビフェニル誘導体等のスチリル化合物(特開
平11-242996)、3−(4−ビフェニルイル)−4−フ
ェニル−5−(4−tert−ブチルフェニル)−1,2、
4−トリアゾール等のトリアゾール誘導体(特開平7−
41759号公報)、バソクプロイン等のフェナントロリン
誘導体(特開平10− 79297号公報)が挙げられる。
(2−メチル−8−キノリノラト)(フェノラト)アル
ミニウム、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(オ
ルト−クレゾラト)アルミニウム、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(メタ−クレゾラト)アルミニウ
ム、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(パラ−ク
レゾラト)アルミニウム、ビス(2−メチル−8−キノ
リノラト)(オルト−フェニルフェノラト)アルミニウ
ム、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(メタ−フ
ェニルフェノラト)アルミニウム、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(パラ−フェニルフェノラト)アル
ミニウム、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)
(2,3−ジメチルフェノラト)アルミニウム、ビス
(2−メチル−8−キノリノラト)(2,6−ジメチル
フェノラト)アルミニウム、ビス(2−メチル−8−キ
ノリノラト)(3,4−ジメチルフェノラト)アルミニ
ウム、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(3,5
−ジメチルフェノラト)アルミニウム、ビス(2−メチ
ル−8−キノリノラト)(3,5−ジ−tert−ブチ
ルフェノラト)アルミニウム、ビス(2−メチル−8−
キノリノラト)(2,6−ジフェニルフェノラト)アル
ミニウム、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)
(2,4,6−トリフェニルフェノラト)アルミニウ
ム、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(2,4,
6−トリメチルフェノラト)アルミニウム、ビス(2−
メチル−8−キノリノラト)(2,3,6−トリメチル
フェノラト)アルミニウム、ビス(2−メチル−8−キ
ノリノラト)(2,3,5,6−テトラメチルフェノラ
ト)アルミニウム、ビス(2−メチル−8−キノリノラ
ト)(1−ナフトラト)アルミニウム、ビス(2−メチ
ル−8−キノリノラト)(2−ナフトラト)アルミニウ
ム、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(トリフェ
ニルシラノラト)アルミニウム、ビス(2−メチル−8
−キノリノラト)(トリフェニルゲルマノラト)アルミ
ニウム、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(トリ
ス(4,4−ビフェニル)シラノラト)アルミニウム、
ビス(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)(オルト
−フェニルフェノラト)アルミニウム、ビス(2,4−
ジメチル−8−キノリノラト)(パラ−フェニルフェノ
ラト)アルミニウム、ビス(2,4−ジメチル−8−キ
ノリノラト)(メタ−フェニルフェノラト)アルミニウ
ム、ビス(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)
(3,5−ジメチルフェノラト)アルミニウム、ビス
(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)(3,5−ジ
−tert−ブチルフェノラト)アルミニウム、ビス
(2−メチル−4−エチル−8−キノリノラト)(パラ
−クレゾラト)アルミニウム、ビス(2−メチル−4−
メトキシ−8−キノリノラト)(パラ−フェニルフェノ
ラト)アルミニウム、ビス(2−メチル−5−シアノ−
8−キノリノラト)(オルト−クレゾラト)アルミニウ
ム、ビス(2−メチル−6−トリフルオロメチル−8−
キノリノラト)(2−ナフトラト)アルミニウム、ビス
(2−メチル−8−キノリノラト)(フェノラト)ガリ
ウム、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(オルト
−クレゾラト)ガリウム、ビス(2−メチル−8−キノ
リノラト)(パラ−フェニルフェノラトガリウム、ビス
(2−メチル−8−キノリノラト)(1−ナフトラト)
ガリウム、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(2
−ナフトラト)ガリウム、ビス(2−メチル−8−キノ
リノラト)(トリフェニルシラノラト)ガリウム、ビス
(2−メチル−8−キノリノラト)(トリス(4,4−
ビフェニル)シラノラト)ガリウム、等が挙げられる。
特に好ましくは、ビス(2−メチル−8−キノリノラ
ト)(トリフェニルシラノラト)アルミニウムが挙げら
れる。
−メチル−8−キノラト)アルミニウム−μ−オキソ−
ビス−(2−メチル−8−キノリラト)アルミニウム、
ビス(2,4−ジメチル−8−キノラト)アルミニウム
−μ−オキソ−ビス−(2,4−ジメチル−8−キノリ
ラト)アルミニウム、ビス(4−エチル−2−メチル−
8−キノリノラト)アルミニウム−μ−オキソ−ビス−
(4−エチル−2−メチル−8−キノリノラト)アルミ
ニウム、ビス(2−メチル−4−メトキシキノリノラ
ト)アルミニウム−μ−オキソ−ビス−(2−メチル−
4−メトキシキノリノラト)アルミニウム、ビス(5−
シアノ−2−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム
−μ−オキソ−ビス(5−シアノ−2−メチル−8−キ
ノリノラト)アルミニウム、ビス(5−クロロ−2−メ
チル−8−キノリノラト)アルミニウム−μ−オキソ−
ビス−(5−クロロ−2−メチル−8−キノリノラト)
アルミニウム、ビス(2−メチル−5−トリフルオロメ
チル−8−キノリノラト)アルミニウム−μ−オキソ−
ビス−(2−メチル−5−トリフルオロメチル−8−キ
ノリノラト)アルミニウム等が挙げられる。特に好まし
くは、ビス(2−メチル−8−キノラト)アルミニウム
−μ−オキソ−ビス−(2−メチル−8−キノリラト)
アルミニウムが挙げられる。
の具体例としては、以下に示すジスチリルアリーレン誘
導体が挙げられる。
式で示される1,2,4−トリアゾール環残基を少なく
とも1個有する化合物を用いることができる。
アゾール環残基を少なくとも1個有する化合物の具体例
を以下に示す。
式で示されるフェナントロリン環を少なくとも1個有す
る化合物を示す。
環を少なくとも1個有する化合物の具体例を以下に示
す。
が挙げられる。
体、トリアゾール誘導体、およびフェナントロリン誘導
体の例示化合物は、構造式中には記載していないが、各
化合物における芳香族環が更に置換されていてもよく、
該置換基としては、例えばメチル基、エチル基、ブチル
基などの炭素数1〜6のアルキル基;メトキシ基、エト
キシ基、ブトキシ基などの炭素数1〜6のアルコキシ
基;ハロゲン原子;シアノ基などが挙げられる。
し、必要に応じて2種以上を混合して用いてもよい。
nm、好ましくは 0.5〜50nmである。このような正孔阻止
層6も正孔輸送層4と同様の方法で形成することができ
るが、通常は真空蒸着法が用いられる。
的として、正孔阻止層6の上には、電子輸送層7が設け
られる。電子輸送層7は、電界を与えられた電極間にお
いて陰極8から注入された電子を効率よく発光層5の方
向に輸送することができる化合物より形成される。電子
輸送層7は、発光層5での再結合により生成するエキシ
トンが拡散して陰極8で消光されるのを防ぐ効果を有す
る。
物としては、陰極8からの電子注入効率が高く、かつ、
高い電子移動度を有し注入された電子を効率よく輸送す
ることができる化合物であることが必要である。
−ヒドロキシキノリンのアルミニウム錯体などの金属錯
体(特開昭59−194393号公報)、10-ヒドロキシベンゾ
[h]キノリンの金属錯体、オキサジアゾール誘導体、ジ
スチリルビフェニル誘導体、シロール誘導体、3-又は5-
ヒドロキシフラボン金属錯体、ベンズオキサゾール金属
錯体、ベンゾチアゾール金属錯体、トリスベンズイミダ
ゾリルベンゼン(米国特許第 5,645,948号)、キノキサ
リン化合物(特開平6−207169号公報)、フェナントロ
リン誘導体(特開平5−331459号公報)、2-t-ブチル-
9,10-N,N'-ジシアノアントラキノンジイミンなどが従来
から知られている。
リンのアルミニウム錯体などは昇華性が良好で真空蒸着
後の膜質が優れた物質であることから広く一般に用いら
れているが、その電子移動度は正孔輸送性材料の正孔移
動度と比べると2桁ほど低く充分とはいえなかった。こ
れに限らず、電子輸送性材料は概して正孔輸送性材料に
比べて電荷移動度が低い。
輸送性材料と共にカチオン状態のアルカリ金属を含有さ
せることにより、電荷移動度を改善した。このアルカリ
金属としては、ナトリウム、カリウム、セシウム、リチ
ウム、ルビジウム等が好適に用いられ、電子輸送層7中
のカチオン状態のアルカリ金属の含有割合は、電子輸送
層7の電子輸送性材料とのモル比で、電子輸送性材料:
カチオン状態のアルカリ金属=1:20〜20:1とす
るのが好ましく、1:10〜10:1とするのがより好
ましい。このアルカリ金属の含有割合がこの範囲よりも
少ないと、電子輸送層にアルカリ金属を導入したことに
よる本発明の効果(十分な電子移動度)が十分に得られ
ず、この範囲よりも多いと膜が不安定となり、結果的に
素子の寿命が低下するおそれがある。
ントロリン等のフェナントロリン誘導体、8−ヒドロキ
シキノリンのアルミニウム錯体で代表される金属錯体を
用いることで優れた膜質の電子輸送層を実現することが
できる。
リン誘導体の具体例としては、正孔阻止材料として例示
したフェナントロリン誘導体が挙げられる。特に好まし
くは、バソフェナントロリンが挙げられる。
属錯体の他、正孔阻止材料として例示した混合配位子錯
体、二核金属錯体等の金属錯体が挙げられる。
正孔阻止層材料として前述したジスチリルアリーレン誘
導体等と同様に、各化合物中の芳香族環が更に置換され
ていてもよく、該置換基としては、ジスチリルアリーレ
ン誘導体等におけると同様の基が挙げられる。
ましくは、8−ヒドロキシキノリンのアルミニウム錯
体、2−メチル−8−ヒドロキシキノリンのアルミニウ
ム錯体、10-ヒドロキシベンゾ[h]キノリンのアルミニウ
ム錯体が挙げられる。
nm、好ましくは10〜100 nmである。
態のアルカリ金属を含有する電子輸送層7は、正孔輸送
層4と同様にして塗布法或いは真空蒸着法により発光層
5上に積層することにより形成される。通常は、真空蒸
着法が用いられる。
着は、通常、クロム酸アルカリ金属等のアルカリ金属を
含む化合物と還元剤をニクロムに充填したアルカリ金属
ディスペンサーを用いて行う。このディスペンサーを真
空容器内で加熱することにより、クロム酸アルカリ金属
等のアルカリ金属化合物が還元されてアルカリ金属が蒸
発される。アルカリ金属と共蒸着する前記金属錯体を真
空容器内に設置されたルツボに入れ、真空容器内を適当
な真空ポンプで10-6Torr程度にまで排気した後、各々の
ルツボ及びディスペンサーを同時に加熱して蒸発させ、
ルツボ及びディスペンサーと向き合って置かれた基板上
に電子輸送層7を形成する。
て均一に共蒸着が行われるが、膜厚方向においてアルカ
リ金属の濃度分布があっても構わない。
役割を果たす。陰極8として用いられる材料は、前記陽
極2に使用される材料を用いることが可能であるが、効
率よく電子注入を行なうには、仕事関数の低い金属が好
ましく、スズ、マグネシウム、インジウム、カルシウ
ム、アルミニウム、銀等の適当な金属又はそれらの合金
が用いられる。具体例としては、マグネシウム−銀合
金、マグネシウム−インジウム合金、アルミニウム−リ
チウム合金等の低仕事関数合金電極が挙げられる。さら
に、陰極8と発光層5又は電子輸送層7の界面にLiF 、
MgF2、Li2O等の極薄絶縁膜(0.1〜5nm)を挿入すること
も、素子の効率を向上させる有効な方法である(Appl.
Phys. Lett., 70巻,152頁,1997年;特開平10− 74586
号公報;IEEETrans. Electron. Devices,44巻,1245
頁,1997年)。
る。
的で、この上にさらに、仕事関数が高く大気に対して安
定な金属層を積層することは素子の安定性を増す。この
目的のために、アルミニウム、銀、銅、ニッケル、クロ
ム、金、白金等の金属が使われる。
は、本発明の実施の形態の一例であって、本発明はその
要旨を超えない限り、何ら図示のものに限定されるもの
ではない。例えば、図1とは逆の構造、即ち、基板上に
陰極8、電子輸送層7、正孔阻止層6、発光層5、正孔
輸送層4、陽極2の順に積層することも可能であり、既
述したように少なくとも一方が透明性の高い2枚の基板
の間に本発明の有機電界発光素子を設けることも可能で
ある。同様に、図2においても、図示の各層構成とは逆
の構造に積層することも可能である。
と電子輸送層7との間、電子輸送層7と陰極8との間に
は前述した陽極バッファ層3や正孔輸送層4や正孔阻止
層6以外にも、任意の層を有していて良い。
有機電界発光素子が、単一の素子、アレイ状に配置され
た構造からなる素子、陽極と陰極がX−Yマトリックス
状に配置された構造のいずれにおいても適用することが
できる。
リ金属を含む電子輸送層を設けることにより、素子の安
定性に優れ、かつ、電子が効率良く注入され、結果とし
て発光層内において正孔と電子の再結合が効果的に起こ
り、発光効率の高い有機電界発光素子が提供される。特
に、特定の電子輸送性材料を用いることで電子輸送層の
膜質を高め、より一層電子注入効率を高めることができ
る。また、正孔阻止層を導入することで、電子輸送層中
のアルカリ金属が発光層へ拡散するのを防ぎ、更に高発
光効率で、安定性の高い素子が得られる。
より具体的に説明するが、本発明はその要旨を超えない
限り、以下の実施例に限定されるものではない。
で作製した。
(ITO)透明導電膜を120nm堆積したもの(ジオマテ
ック社製;電子ビーム成膜品;シート抵抗15Ω)を通常
のフォトリソグラフィ技術と塩酸エッチングを用いて2m
m幅のストライプにパターニングして陽極2を形成し
た。パターン形成したITO基板を、アセトンによる超
音波洗浄、純水による水洗、イソプロピルアルコールに
よる超音波洗浄の順で洗浄後、窒素ブローで乾燥させ、
最後に紫外線オゾン洗浄を行って、真空蒸着装置内に設
置した。上記装置の粗排気を油回転ポンプにより行った
後、装置内の真空度が2×10-6Torr(約2.7×10-4Pa)以
下になるまで液体窒素トラップを備えた油拡散ポンプを
用いて排気した。
す構造式の銅フタロシアニン(HI−1)を用い、モリ
ブデンボートで、蒸着速度0.1nm/秒、真空度1.4×10-6
Torr(約1.9×10-4Pa)で、陽極バッファ層3を10nmの
膜厚で陽極2の上に成膜した。
す構造式の4,4'-ビス[N-(1-ナフチル)-N-フェニルアミ
ノ]ビフェニル(HT−1)をセラミックルツボに入
れ、ルツボの周囲のタンタル線ヒーターで加熱して蒸着
を行った。この時のルツボの温度は、255〜270℃の範囲
で制御した。蒸着時の真空度は8.0×10-7Torr(約1.1×
10-4Pa)で、蒸着速度0.2nm/秒で膜厚60nmの正孔輸送
層4を成膜した。
構造式のアルミニウムの8−ヒドリキシキノリン錯体
(EM−1)と下記に示す構造式の橙色蛍光色素のベン
ゾピラン誘導体(DYE−1)とを上記正孔輸送層4の
上に同様にして100:1の割合で共蒸着を行なった。
この時のルツボの温度はそれぞれ265〜270℃、315〜320
℃の範囲で制御した。蒸着時の真空度は8.0×10-7Torr
(約1.1×10-4Pa)で、EM−1及びDYE−1の蒸着
速度は 0.1nm/秒、全膜厚は30nmであった。
示す構造式のシラノールアルミニウムの8−ヒドリキシ
キノリン錯体(HB−1)を用いて、発光層5の上に蒸
着を行なった。正孔阻止層6の形成時のルツボの温度は
224〜227℃の範囲で制御し、真空度0.8×10-7Torr(約
1.1×10-4Pa)、蒸着速度 0.2nm/秒で、膜厚10nmの正
孔阻止層6を形成した。
6を真空蒸着する時の基板温度は室温に保持した。
素子を一度前記真空蒸着装置内より大気中に取り出し
て、蒸着用のマスクとして 2mm幅のストライプ状シャド
ーマスクを、陽極2のITOストライプとは直交するよ
うに素子に密着させて、別の真空蒸着装置内に設置して
有機層と同様にして装置内の真空度が2×10-6Torr(約
2.7×10-4Pa)以下になるまで排気した。
す構造式のフェナントロリン誘導体(ET−1)とナト
リウムを上記正孔阻止層6の上に同様にして50:50
のモル割合で共蒸着を行った。ナトリウムの蒸着にはク
ロム酸ナトリウムを有するナトリウムディスペンサー
(SAES Getters社製)を用いた。この時のルツボの温度
は240〜280℃、ディスペンサーの電流量は4〜5Aの範囲
で制御した。蒸着時の真空度は1.6×10-6Torr(約2.1×
10-4Pa)で、フェナントロリン誘導体(ET−1)及び
ナトリウムの蒸着速度は0.05nm/秒、全膜厚は35nmであ
った。
を用いて、アルミニウムを蒸着速度0.6nm/秒、真空度
1.0×10-5Torr(約1.3×10-3Pa)で蒸着し、膜厚80nmの
アルミニウム層を電子輸送層7の上に成膜した。以上の
電子輸送層7と陰極8の蒸着時の基板温度は室温に保持
した。
光面積部分を有する有機電界発光素子を作製した。この
素子の発光特性を表1に示す。表1において、発光輝度
は250mA/cm2の電流密度での値、発光効率は 100cd/m2
での値、輝度/電流は輝度−電流密度特性の傾きを、電
圧は 100cd/m2での値を各々示す。
であり、蛍光色素(DYE−1)からのものと同定され
た。
著な上昇はみられず、発光効率や輝度の低下もなく、安
定した素子の保存安定性が得られた。また、温度60℃、
湿度90%の条件で96時間放置後も、発光特性の変化は実
用上問題とはならないものであった。
を、X線分光法を用いて確認したところ、共蒸着したナ
トリウムのほとんどがカチオン状態であった。
は実施例1と同様に素子を作成した。この素子の発光特
性を表1に示す。素子の発光スペクトルの極大波長は59
2nmであり、蛍光色素(DYE−1)からのものと同定
された。この素子は、橙色発光は得られたものの、実施
例1と比較して発光効率が大きく低下した。
シキノリン錯体(EM−1)のみを用い、陰極として、
フッ化マグネシウム(MgF2:1.5nm)、アルミニウム(4
0nm)、銀(40nm)を順に真空蒸着して得た三層陰極を
用いた他は実施例1と同様にして素子を作製した。この
素子の発光特性を表1に示す素子の発光スペクトルの極
大波長は593nmであり、蛍光色素(DYE−1)からの
ものと同定された。この素子は、橙色発光は得られたも
のの、実施例1と比較して発光効率が大きく低下した。
光素子によれば、高い電子輸送性を示す電子輸送層を有
するため、高効率発光可能な素子を得ることができる。
更に、正孔阻止層を設けることで、陰極への正孔の移動
を阻止した上で電荷注入バランスが良好となり、発光層
のみから安定な発光を得ることができる。
フラットパネル・ディスプレイ(例えばOAコンピュー
タ用や壁掛けテレビ、車載用、屋外用表示素子)やマル
チカラー表示素子、あるいは面発光体としての特徴を生
かした光源(例えば、複写機の光源、液晶ディスプレイ
や計器類のバックライト光源)、表示板、標識灯への応
用が考えられ、特に、高効率発光が要求される光源、単
純マトリクス方式ディスプレイとしては、その技術的価
値は大きいものである。
模式的な断面図である。
示す模式的な断面図である。
Claims (5)
- 【請求項1】 基板上に、陽極、発光層、正孔阻止層、
電子輸送層及び陰極がこの順で形成された有機電界発光
素子において、 該正孔阻止層のイオン化ポテンシャルは発光層のイオン
化ポテンシャルより0.1eV以上大きく、 該電子輸送層は電子輸送性材料及びアルカリ金属を含有
し、かつ該アルカリ金属の少なくとも一部が、電子輸送
層内でカチオン状態で分散していることを特徴とする有
機電界発光素子。 - 【請求項2】 該電子輸送性材料が、フェナントロリン
誘導体又は金属錯体であることを特徴とする請求項1に
記載の有機電界発光素子。 - 【請求項3】 該正孔阻止層が金属錯体、スチリル化合
物、トリアゾール誘導体又はフェナントロリン誘導体を
含有することを特徴とする請求項1又は2に記載の有機
電界発光素子。 - 【請求項4】 該正孔阻止層の膜厚が、0.5〜50nmの範
囲にあることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか
1項に記載の有機電界発光素子。 - 【請求項5】 電子輸送層の成膜工程を有する有機電界
発光素子の製造方法において、 該電子輸送層を、真空装置内でアルカリ金属を含む化合
物を還元して得られるアルカリ金属と、電子輸送性材料
とを共蒸着することにより形成することを特徴とする有
機電界発光素子の製造方法。
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