JP2001272371A - 積層型ガスセンサ素子及びそれを備えるガスセンサ - Google Patents
積層型ガスセンサ素子及びそれを備えるガスセンサInfo
- Publication number
- JP2001272371A JP2001272371A JP2000087809A JP2000087809A JP2001272371A JP 2001272371 A JP2001272371 A JP 2001272371A JP 2000087809 A JP2000087809 A JP 2000087809A JP 2000087809 A JP2000087809 A JP 2000087809A JP 2001272371 A JP2001272371 A JP 2001272371A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas sensor
- solid electrolyte
- layer
- electrolyte layer
- sensor element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 claims abstract description 78
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 20
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 16
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 16
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 49
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 abstract description 39
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 abstract description 39
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 36
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract description 16
- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 abstract 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 abstract 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 12
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 9
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 3
- -1 oxygen ion Chemical class 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Substances [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001012 protector Effects 0.000 description 3
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 2
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 2
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 2
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N Calcium oxide Chemical compound [Ca]=O ODINCKMPIJJUCX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001260 Pt alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005385 borate glass Substances 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 239000000292 calcium oxide Substances 0.000 description 1
- 235000012255 calcium oxide Nutrition 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Oxygen Concentration In Cells (AREA)
Abstract
高めることができ、それによりガスセンサ自体を小型化
することが可能となる積層型ガスセンサ素子を提供す
る。 【解決手段】 ジルコニアを主体に構成され、一表面に
発熱抵抗体21が配設されたヒータ部第2本体層(固体
電解質層)23bを有するヒータ部2と、酸素濃淡電池
素子1とを積層して構成され、ヒータ部第2本体層23
bの他表面には、外部回路接続用の外部端子と接続する
ことになり、且つ発熱抵抗体21と電気的に接続される
一対のヒータ部通電端子25a及び25bが、ヒータ部
第4絶縁層(絶縁皮膜)24bを介した形態で形成され
ている積層型ガスセンサ素子Aを得る。
Description
関から排出される排ガスに含まれる特定成分を検出する
ためのガスセンサに関するものであり、またそのガスセ
ンサに組み込まれる積層型ガスセンサ素子に関する。
Oxセンサ等、測定対象となるガス中の特定成分を検出
するためのガスセンサに組み込まれるガスセンサ素子と
しては、長尺状に形成されると共に、酸素イオン伝導性
を有する固体電解質により形成される層(以下、単に
「固体電解質層」ともいう)が複数積層された積層型ガ
スセンサ素子(以下、単に「素子」ともいう)が知られ
ている。
54825号公報に示されているものが挙げられる。こ
の公報技術では、固体電解質層の表裏面に検知電極及び
基準電極を設けたものや、その他の固体電解質層の表面
に発熱抵抗体を設けたものを積層した構造の素子が示さ
れている。ここで、それら電極や発熱抵抗体について
は、外部回路接続用の外部端子と電気的な接続を図るべ
く、それぞれの固体電解質層の一表面(最外表面)に形
成されるリード端子部と電気的に(具体的には導体リー
ド部を介して)接続されている。なお、各リード端子部
は、上記公報技術にもみられるように、素子のうちで測
定対象となるガスに曝される前方側とは反対側(即ち、
後端側)の一表面に対を為した形態で形成されることが
一般的である。
を主体に構成される固体電解質層は、特定の温度域(2
00℃近辺)以下の温度では十分な絶縁性を有するもの
である。そして、これまでの素子については、素子自体
の長手方向の距離(寸法)が40mmより大きく形成さ
れてきたことから、素子前方側が高温になったとして
も、リード端子部が形成される後方側までの間の熱引き
により、リード端子部近傍の固体電解質層の温度上昇が
抑えられ、リード端子部近傍の固体電解質層は絶縁性を
保持することができた。このため、リード端子部は、下
地となる固体電解質層に対して直に形成されてきた。
り、排気量の小さい内燃機関、例えば二輪自動車におい
てもガスセンサを設置する必要性が生じ、それに伴いガ
スセンサ自身を小型化することが要求されている。この
ために、積層型ガスセンサ素子にも小型化が要求され、
具体的には素子長手方向の距離(寸法)が40mm以下
のものも求められている。但し、素子は小型化されるに
従って、実使用環境下において固体電解質層(素子)全
体が高温域に曝され易くなり、固体電解質層全体が活性
化されることになる。このことは、リード端子部が、従
来のように固体電解質層に対して直に形成される場合、
リード端子部近傍の固体電解質層内に漏れ電流が生じ、
リード端子部間にてショートが発生するといった従来に
なかった問題を招くおそれがある。さらに、リード端子
部近傍の固体電解質層内に大きな漏れ電流が流れること
があると、その電荷の移動に際して固体電解質(ジルコ
ニア)の酸素を放出してブラックニング(黒化現象)を
誘発し、素子の耐久性を悪化させる原因ともなる。
り、リード端子部近傍の固体電解質層の絶縁性を高める
ことができ、それによってガスセンサの小型化が可能な
積層型ガスセンサ素子を提供することを目的とする。さ
らには、このような積層型ガスセンサ素子を用いたガス
センサを提供することを目的とする。
発明の積層型ガスセンサ素子は、ジルコニアを主体に構
成され、表面に導体層が形成された固体電解質層を有す
る積層型ガスセンサ素子であって、固体電解質層の一表
面には、外部端子と接触し且つ導体層と電気的に接続さ
れる一対のリード端子部が絶縁皮膜を介した形態で形成
されていることを特徴とする。
とになる一対の「リード端子部」とは、固体電解質層の
他表面上に配設される発熱抵抗体と電気的に接続され、
その発熱抵抗体に対して電圧を印加するためのものを挙
げることができる。さらには、固体電解質層の表裏面に
設けられる検知電極及び基準電極からの電気的出力を取
り出すために、検知電極が配設される一表面に設けられ
る一対のリード端子部を挙げることができる。
び基準電極と電気的に接続される各リード端子部が形成
される固体電解質層の一表面としては、素子全体をみた
ときに最外表面にあたることが、リード端子部と外部回
路接続用の外部端子との接続を図る上で有利となる。な
お、固体電解質層は酸素イオン伝導性を有するジルコニ
アを主体に構成されるものであるが、本明細書において
述べる「主体」とは、最も質量含有率の高いことを意味
するものであって、必ずしも50質量%以上を占めるこ
とを意味するものではない。
下地となる固体電解質層の一表面に直に形成されるので
なく、上記「絶縁皮膜」を介した形態で形成されている
のが着目すべき点である。これにより、リード端子部近
傍における固体電解質層の絶縁性を高めることができ、
固体電解質層内に流れる漏れ電流の影響によるブラック
ニング等を有効に抑制することができる。この絶縁皮膜
の組成は特に限定されるものではなく、アルミナ、ムラ
イト、マグネシア・アルミナスピネル等絶縁性に優れた
材料を主体とする組成により構成することができるが、
第4発明にあるように、アルミナを主体に構成すること
が好ましい。アルミナは絶縁性が非常に高く、さらには
ジルコニア等に比べて熱伝導性に優れるので素子への熱
衝撃を緩和させる観点からも優れる材料であるからであ
る。
解質層の一表面に形成されるリード端子部自体の面積も
縮小化されることがある。その結果、外部回路接続用の
外部端子がリード端子部と接触される際に、外部端子と
接触しつつもリード端子部からはみ出てしまい、そのは
み出した外部端子の一部分が固体電解質層の表面に対し
直に接触することがありうる。そこで、上記絶縁皮膜
は、リード端子部と固体電解質層の表面との間にのみ介
挿させるのではなく、リード端子部の周囲にまで存在す
るよう固体電解質層の表面に形成させることが望まし
い。これにより、リード端子部近傍における固体電解質
層の絶縁性を確保することができる。
子部を絶縁皮膜を介した形態で固体電解質層の一表面に
形成した積層型ガスセンサ素子を構成することで、例え
ば、温度450℃以上(さらには550℃以上)の環境
下にて、通常の車載用電源電圧14Vをリード端子部に
印加した場合に、リード端子部近傍の固体電解質層は十
分な絶縁性を保持することができるものとなる。
で、リード端子部が形成される一表面、とりわけその一
表面が素子全体をみたときに最外表面にあたるときに
は、その固体電解質層の一表面の長手方向両端縁に面取
り部が形成されることがある。このように面取り部を形
成する理由としては、素子(固体電解質層)の外側から
かかる過度の曲げ応力を有効に緩和し、素子の折損など
を防止して素子自体の強度を向上させるためである。こ
の面取り部を形成するにあたっては、未焼成の固体電解
質層(固体電解質シート)の一表面に、焼成されて絶縁
皮膜となる絶縁性のペーストと焼成されてリード端子部
となる導体ペーストを順にスクリーン印刷等にて塗着さ
せ組立体を形成して、それら組立体の焼成前に面取り部
を形成する手法が考えられる。
電解質層の一表面に絶縁皮膜を介した形態でリード端子
部を形成する場合、上述したように焼成前に未焼成固体
電解質層に面取り部を施したのでは、焼成後において絶
縁皮膜までもが面取りされることがある。すると、面取
りによって形成される面では固体電解質層がむき出しと
なり、リード端子部に外部回路接続用の外部端子を接触
させたときに、この面取りにより固体電解質層がむき出
しになった面にまで外部端子が差し掛かってしまうこと
がある。その結果、リード端子部を絶縁皮膜を介した形
態で形成されているにも関わらず、面取りにより固体電
解質がむき出しとなった面に外部端子が接触して固体電
解質層内に漏れ電流が生じ、ブラックニングを誘発して
しまうおそれがある。
膜を介してリード端子部が形成されることになる一表面
の長手方向両端縁に面取り部が形成される積層型ガスセ
ンサ素子については、第2発明のように、その面取り部
上にも絶縁皮膜を形成することが好ましい。かかる構成
を図ることにより、リード端子部近傍の固体電解質層の
絶縁性を高めることができ、面取り部にまで外部端子が
接触してしまうケースがあってもブラックニングの発生
を確実に抑えることができる。また、面取り部上に絶縁
皮膜を形成することで、素子(固体電解質層)の外側か
らかかる熱応力を緩衝する役割を果たすことも可能とな
る。なお、上記「面取り部」の面取り形状は特に限定さ
れるものではなく、互いに略面一となるC面取り形状
や、凸面状に形成されるR面形状等いずれであってもよ
いものである。
ては、第4発明のように、1.0μm以上(より好まし
くは5.0μm以上)であることが好ましい。この厚さ
が1.0μm未満であると、絶縁性を十分に保持するこ
とができない可能性があるからである。なお、この絶縁
皮膜の厚さの上限としては、絶縁性を考慮すると厚い方
が好ましいが、極端に厚くすると製造上、経済上の無駄
が生じることから、製造工程や素子の寸法を考慮して適
宜好ましい値を定めればよい。
第4発明のうちのいずれかに記載の積層型ガスセンサ素
子であって、リード端子部近傍の固体電解質層の絶縁性
が高められた積層型ガスセンサ素子を備えることを特徴
とする。このガスセンサの構造や取り付け方法等は特に
限定されるものではなく、例えば、素子を主体金具の内
側に配置してなり、主体金具の外周面に形成される取付
ねじ部を排気管等に対して素子の前方側がその排気管内
等に突出するように取付け、使用することができるもの
を挙げることができる。
素子及びそれを組み込んだガスセンサを実施例により詳
しく説明する。 1.ガスセンサの構造 図1は、本発明の積層型ガスセンサ素子が組み込まれた
ガスセンサであり、内燃機関の排気管に取り付けられ、
排ガス中の酸素濃度の測定に使用されるλ型酸素センサ
と通称される酸素センサBの一例を示した断面図であ
る。
酸素センサ素子Aは、その前方側が主体金具3の先端よ
り突出するように当該主体金具3に形成された挿通孔3
2に挿通されると共に、挿通孔32の内面と素子Aの外
面との間が、ガラス(例えば結晶化亜鉛シリカほう酸系
ガラス)を主体に構成される封着材層41により封着さ
れている。主体金具3の先端部外周には、素子Aの突出
部分を覆う金属製の二重のプロテクタ61、62がレー
ザー溶接等によって固着されている。このプロテクタ6
1、62は、キャップ状を呈するもので、その先端や周
囲に、排気管内を流れる排ガスをプロテクタ61、62
内に導く通気孔61a、62aが形成されている。一
方、主体金具3の後端部は外筒7の先端部内側に挿入さ
れ、その重なり部分においては、周方向にレーザー溶接
等の接合が施されている。なお、主体金具3の外周部に
は、酸素センサB(主体金具3)を排気管にねじ込んで
取付けるための取付ねじ部31が螺設されている。
手状金属薄板52、さらに第二コネクタ部53及び絶縁
板(図示せず)(なお、これらを総称して「外部端子」
という)と、リード線9とを介して、図示しない外部回
路と電気的に接続されている。また、都合4本のリード
線9は、外筒7の後端側に位置するグロメット8を貫通
して延びている。
いて、封着材層41の少なくとも一方の側に隣接する形
で(本実施例では封着材層41の検出部Xに近い端面側
に隣接して)、多孔質無機物質(例えばタルク滑石の無
機物質粉末の圧粉成形体あるいは多孔質仮焼体)で構成
された緩衝層42が形成されている。この緩衝層42
は、封着材層41から軸方向に突出する素子Aを外側か
ら包むように支持し、過度の曲げ応力や熱応力が素子A
に加わるのを抑制する役割を果たす。
いて、図2を用いて説明する。なお、図2は図1に示し
た酸素センサBに備えられている素子Aの分解斜視図を
示すものであり、この素子Aは酸素濃淡電池部1及びヒ
ータ部2から構成されている。
伝導性を有するジルコニアを主体に構成された酸素濃淡
電池用固体電解質層11を備え、酸素濃淡電池用固体電
解質層11の一端側(図1における主体金具3の先端よ
り突出する側)の表裏面に検知電極131a及び基準電
極131bが直に形成され、図1における検知部Xを構
成している。この検知電極131a及び基準電極131
bには、酸素濃淡電池用固体電解質層11の長手方向に
導体リード部132a及び132bがそれぞれ延設され
ている。但し、これらの各導体リード部132a及び1
32bは、酸素濃淡電池用固体電解質体11の表裏面に
酸素濃淡電池部第1絶縁層12a及び酸素濃淡電池部第
2絶縁層12bを介して形成されている。なお、酸素濃
淡電池部第1絶縁層12a並びに酸素濃淡電池部第2絶
縁層12bはいずれも絶縁性に優れるアルミナを主体に
構成されている。
接続用の外部端子(図示せず)と接続されると共に、検
知電極131aと電気的に接続される信号取出し用端子
133aを構成するものである。また、リード部132
bの末端は酸素濃淡電池用固体電解質層11、酸素濃淡
電池部第1絶縁層12a及び酸素濃淡電池部第2絶縁層
12bを貫通する酸素濃淡電池部スルーホール15を介
して、外部端子(図示せず)と接続されるための信号取
出し用端子14と接続される。なお、信号取出し用端子
133a及び14が本発明における一対のリード端子部
であり、このリード端子部がそれぞれ本発明の絶縁皮膜
にあたる酸素濃淡電池部第1絶縁層12aを介した形態
で形成されている。また、検知電極131a及び基準電
極131bが本発明の導体層に、酸素濃淡電池用固体電
解質層11が本発明の固体電解質層にそれぞれ相当す
る。
Pt合金等)あるいは導電性セラミックから構成される
発熱抵抗体21を備え、この発熱抵抗体21は、絶縁性
に優れるアルミナを主体に構成されるヒータ部第1絶縁
層22a及びヒータ部第2絶縁層22bに挟持されてい
る。さらに、上記絶縁層に挟持された発熱抵抗体21
は、ジルコニアを主体に構成されるヒータ部第1本体層
23a及びヒータ部第2本体層23bに挟持された上
で、アルミナを主体とするセラミックからなるヒータ部
第3絶縁層24a及びヒータ部第4絶縁層24bとによ
り挟持される多層構造を呈する。
層24b、ヒータ部第2本体層23b及びヒータ部第3
絶縁層22bを貫通するスルーホール26a及び26b
を介して、外部回路用の外部端子(図示せず)と接続さ
れるヒータ部通電端子25a及び25bと電気的に接続
されるものである。なお、ヒータ部通電端子25a及び
25bが本発明における一対のリード端子部であり、こ
のリード端子部がそれぞれ本発明の絶縁皮膜にあたるヒ
ータ部第4絶縁層24bを介した形態で形成されてい
る。また、発熱抵抗体21が本発明の導体層に、ヒータ
部第2本体層23bが本発明の固体電解質層にそれぞれ
相当する。
第1絶縁層12a、並びにヒータ部第4絶縁層24bの
厚さについては、1.0μm以上であれば、絶縁性を十
分に確保する点からみて何等問題はない。なお、図3に
おいては、素子Aの表裏面の少なくとも一方の長手方向
両縁部に形成されることになる面取り部について省略し
ており、この面取り部については後述する。
ニア粉末を、有機バインダや溶剤と共に混練した生素地
を用いて、酸素濃淡電池用固体電解質層11となる、5
個の素子を切り出すことができる大きさの未焼成固体電
解質シートをドクターブレード法により形成した。この
シートの検知電極131a及び基準電極131bが形成
される部位を除く表裏面には、素子5個分のアルミナを
主体とする絶縁用ペーストを用いて、酸素濃淡電池部絶
縁層12a及び12bとなる塗膜を印刷・乾燥させた。
その後、これら塗膜が形成された未焼成固体電解質シー
トの所定位置に素子5個分のスルーホール15となる貫
通孔を形成し、そのスルーホール15の内壁面及び開口
端縁までを被覆するように絶縁用ペーストを印刷・乾燥
させた。
12bとなる塗膜(スルーホール15となる貫通孔上の
絶縁用ペーストによる塗膜含む)上の所要領域に、白金
を主成分とする導電ペーストを所定のパターンに印刷・
乾燥させて、検知電極131a、基準電極131b、リ
ード部132a、132b、信号取出し用端子133
a、14となる導体パターン(塗膜)を形成した。これ
により、酸素濃淡電池部1となる第1組立体を得た。
同様の未焼成固体電解質シートを形成し、その表裏面に
上述のと同様の絶縁用ペーストを印刷・乾燥させて、
ヒータ部第3絶縁層22b及びヒータ部第4絶縁層24
bとなる塗膜を形成した。その後、これら塗膜が形成さ
れた未焼成固体電解質シートの所定位置に、素子5個分
のスルーホール26a及び26bとなる貫通孔を形成
し、そのスルーホール26a及び26bの内壁面及び開
口端縁までを被覆するように絶縁用ペーストを印刷・乾
燥させた。
ータ部第4絶縁層24bとなる塗膜(スルーホール26
a及び26bとなる貫通孔上の絶縁用ペーストによる塗
膜含む)上の所要領域に、上述のと同様の導電ペース
トを所定のパターンに印刷・乾燥し、発熱抵抗体21、
一対のヒータ部通電端子25a及び25bとなる導体パ
ターン(塗膜)を形成した。そして、ヒータ部第1絶縁
層22aとなる層を発熱抵抗体21となる導体パターン
上に印刷し、さらにヒータ部第1本体層23aとなる上
述のと同様の未焼成固体電解質シートを積層・減圧圧
着した。これにより、ヒータ部2となる第2組立体を得
た。
し、第1組立体を積層・減圧圧着して積層体を得た。そ
して、この積層体を素子Aとなるよう切断し、5個の未
焼成素子積層体を切り出した。ついで、各々の未焼成素
子積層体のヒータ部第2本体層23bとなる未焼成固体
電解質シートのリード端子部が形成される側の一表面の
長手方向両端縁に対してC面取りを施し、面取り部を形
成した。そして、面取り部上に上述のと同様の絶縁用
ペーストを印刷・乾燥し、この未焼成素子積層体を大気
雰囲気下にて、毎時20℃で昇温して、最高温度450
℃で1時間キープすることにより脱脂(脱バインダ処
理)を行い、その後1500℃で1時間焼成することに
より素子Aを得た。
Aであって、ヒータ部2に形成される一対のヒータ部通
電端子25a、25bが外部回路接続用の外部端子(具
体的には外部端子を構成する長手状金属薄板52a、5
2b)と接続されたときの状態を部分拡大図を用いて模
式的に示す。この図3に示す長手状金属板52a、52
bはリード端子部と接触すると共に、リード端子の周辺
部の固体電解質層表面及び面取り部にまで接触される大
きさを有するものである。
ヒータ部通電端子(リード端子部)25a、25bがヒ
ータ部第4絶縁層24b(絶縁皮膜)を介した状態で形
成されていると同時に、ヒータ部通電端子25a、25
bの周辺部、面取り部27上にまで絶縁皮膜が形成され
ているものである。その結果、ヒータ部通電端子25
a、25b近傍のヒータ部第2本体層(固体電解質層)
24bでは十分な絶縁性を有する素子となり、ヒータ部
第2本体層の全体が活性化されることがあった場合にも
絶縁皮膜にて絶縁性を保持することができる。なお、素
子Aに対する長手状金属薄板52a、52bとの接触
を、完全に絶縁性を保持した状態で図る上で、素子のリ
ード端子が形成される側の素子端面28の一部もしくは
全面にまで絶縁皮膜が形成されていてもよい。
ータ部2への通電によるブラックニングの発生の有無を
評価した。本評価は、5個の素子Aをそれぞれ図1に示
すようなガスセンサに組み込み、得られたガスセンサを
750℃の擬似排気ガスに曝し、発熱抵抗体21を通電
すべくヒータ部通電端子25a、25bに14Vの電圧
を印加して500時間放置することにより行った。な
お、素子Aについては、素子Aを構成してなる固体電解
質層の全体が活性化される程度の大きさ(長手方向の長
さ)であるものを前提に評価を行っている。評価の結果
としては、500時間経過後にガスセンサを解体し、目
視により素子Aのヒータ部リード端子25a、25b近
傍のヒータ部第2本体層(固体電解質層)におけるブラ
ックニングの発生の有無を観察したところ、いずれの素
子Aにおいてブラックニングは発生していなかった。
固体電解質層の表裏面の導通を図るにあたり、本実施例
のように、通常スルーホールを介して行う構造が採用さ
れることが一般的である。そして、このようにスルーホ
ールを介して導通を図るに際しては、本実施例にも述べ
たように、スルーホールの内壁面及び開口端縁までを絶
縁皮膜(絶縁層)により被覆した上で導通を図ることが
好ましい。このような構成を適用することで、スルーホ
ール近傍の固体電解質層の絶縁性を高めることができ、
リード部端子部近傍の固体電解質層の絶縁性をより高め
ることにもつながり、ブラックニング等の発生をより確
実に防止することが期待できる。以上において、本発明
を実施例に即して説明したが、本発明はこの実施例に限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、
適宜変さらして適用できることはいうまでもない。
ガスセンサの断面を示す模式図である。
斜視図である。
端子(リード端子部)が形成された部分の拡大斜視図で
あり、面取り部が形成された当該素子と外部端子との接
続の状態を示す斜視図である。
素濃淡電池部、11;酸素濃淡電池用固体電解質層(固
体電解質層)、12a;酸素濃淡電池部第1絶縁層(絶
縁皮膜)、12b;酸素濃淡電池部第2絶縁層、13
a;検知電極(導体層)、13b;基準電極(導体
層)、2;ヒータ部、21;発熱抵抗体(導体層)、2
2a;ヒータ部第1絶縁層、22b;ヒータ部第2絶縁
層、23a;ヒータ部第1本体層、23b;ヒータ部第
2本体層(固体電解質層)、24a;ヒータ部第3絶縁
層、24b;ヒータ部第4絶縁層(絶縁皮膜)、133
a、14;信号取出し用端子(リード端子部)、25
a、25b;ヒータ部通電端子(リード端子部)、2
7;面取り部、B;酸素センサ(ガスセンサ)、52;
長手状金属薄板(外部端子)。
Claims (5)
- 【請求項1】 ジルコニアを主体に構成され、表面に導
体層が形成された固体電解質層を有する積層型ガスセン
サ素子であって、 前記固体電解質層の一表面には、外部端子と接触し且つ
前記導体層と電気的に接続される一対のリード端子部が
絶縁皮膜を介した形態で形成されていることを特徴とす
る積層型ガスセンサ素子。 - 【請求項2】 前記リード端子部が形成される固体電解
質層の一表面における長手方向両縁部に面取り部が形成
されており、該面取り部上に前記絶縁皮膜が形成されて
いる請求項1記載の積層型ガスセンサ素子。 - 【請求項3】 前記絶縁皮膜がアルミナを主体に構成さ
れている請求項1又は2記載の積層型ガスセンサ素子。 - 【請求項4】 上記絶縁皮膜の厚さが1.0μm以上で
ある請求項1乃至3のいずれか1項に記載の積層型ガス
センサ素子。 - 【請求項5】 請求項1乃至4のいずれかに1項に記載
の積層型ガスセンサ素子を、主体金具の内側に配置して
なることを特徴とするガスセンサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000087809A JP4213843B2 (ja) | 2000-03-28 | 2000-03-28 | 積層型ガスセンサ素子及びそれを備えるガスセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000087809A JP4213843B2 (ja) | 2000-03-28 | 2000-03-28 | 積層型ガスセンサ素子及びそれを備えるガスセンサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001272371A true JP2001272371A (ja) | 2001-10-05 |
JP4213843B2 JP4213843B2 (ja) | 2009-01-21 |
Family
ID=18603763
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000087809A Expired - Fee Related JP4213843B2 (ja) | 2000-03-28 | 2000-03-28 | 積層型ガスセンサ素子及びそれを備えるガスセンサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4213843B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008102130A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-05-01 | Ngk Spark Plug Co Ltd | センサ素子、ガスセンサおよびセンサ素子製造方法 |
US8097139B2 (en) | 2006-09-19 | 2012-01-17 | Ngk Spark Plug Co., Ltd | Sensor element, gas sensor, and method of manufacturing the sensor element |
JP2012242284A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ素子の製造方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61134655A (ja) * | 1984-12-06 | 1986-06-21 | Ngk Insulators Ltd | 酸素センサ素子 |
JPS6210660U (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-22 | ||
JPS6316258A (ja) * | 1986-07-09 | 1988-01-23 | Japan Electronic Control Syst Co Ltd | 内燃機関の酸素センサ |
JPH01219662A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-01 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 酸素検出素子の製造方法 |
JPH01262458A (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 空燃比センサ |
JPH021539A (ja) * | 1988-06-02 | 1990-01-05 | Ngk Insulators Ltd | 加熱型酸素センサ |
JPH03272448A (ja) * | 1990-03-22 | 1991-12-04 | Ngk Insulators Ltd | 酸素センサ |
JPH0461793U (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-27 | ||
JPH09218178A (ja) * | 1996-02-13 | 1997-08-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサとその製造方法 |
JPH11316211A (ja) * | 1998-03-05 | 1999-11-16 | Denso Corp | 積層型空燃比センサ素子 |
JP2000025025A (ja) * | 1998-04-04 | 2000-01-25 | Robert Bosch Gmbh | プレ―ト状のセラミックス体を製造するための方法ならびに該方法を実施するための装置 |
-
2000
- 2000-03-28 JP JP2000087809A patent/JP4213843B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61134655A (ja) * | 1984-12-06 | 1986-06-21 | Ngk Insulators Ltd | 酸素センサ素子 |
JPS6210660U (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-22 | ||
JPS6316258A (ja) * | 1986-07-09 | 1988-01-23 | Japan Electronic Control Syst Co Ltd | 内燃機関の酸素センサ |
JPH01219662A (ja) * | 1988-02-29 | 1989-09-01 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 酸素検出素子の製造方法 |
JPH01262458A (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | 空燃比センサ |
JPH021539A (ja) * | 1988-06-02 | 1990-01-05 | Ngk Insulators Ltd | 加熱型酸素センサ |
JPH03272448A (ja) * | 1990-03-22 | 1991-12-04 | Ngk Insulators Ltd | 酸素センサ |
JPH0461793U (ja) * | 1990-09-29 | 1992-05-27 | ||
JPH09218178A (ja) * | 1996-02-13 | 1997-08-19 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサとその製造方法 |
JPH11316211A (ja) * | 1998-03-05 | 1999-11-16 | Denso Corp | 積層型空燃比センサ素子 |
JP2000025025A (ja) * | 1998-04-04 | 2000-01-25 | Robert Bosch Gmbh | プレ―ト状のセラミックス体を製造するための方法ならびに該方法を実施するための装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008102130A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-05-01 | Ngk Spark Plug Co Ltd | センサ素子、ガスセンサおよびセンサ素子製造方法 |
US8097139B2 (en) | 2006-09-19 | 2012-01-17 | Ngk Spark Plug Co., Ltd | Sensor element, gas sensor, and method of manufacturing the sensor element |
JP2012242284A (ja) * | 2011-05-20 | 2012-12-10 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ素子の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4213843B2 (ja) | 2009-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4050593B2 (ja) | ガスセンサ素子及びこれを用いたガスセンサ | |
US8012324B2 (en) | Sensor element, method of manufacturing a sensor element, and gas sensor | |
US9829462B2 (en) | Gas sensor element and gas sensor | |
JP4034900B2 (ja) | ヒータ付き酸素センサ及びその製造方法 | |
JP4293579B2 (ja) | 積層型ガス検出素子およびガスセンサ | |
JPS60108745A (ja) | 電気化学的装置 | |
US8377273B2 (en) | Gas sensor | |
JP2004003963A (ja) | ガスセンサ | |
JP2006171013A (ja) | セラミックヒータ、積層型ガスセンサ素子及び積層型ガスセンサ素子を備えるガスセンサ | |
JP2007121323A (ja) | ガスセンサ | |
JP2006250925A (ja) | ガスセンサ及びその製造方法 | |
US8097139B2 (en) | Sensor element, gas sensor, and method of manufacturing the sensor element | |
JP6859227B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP4413362B2 (ja) | 積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにそれを備えるガスセンサ | |
US7771576B2 (en) | Gas sensor and method for manufacturing gas sensor | |
JP4213843B2 (ja) | 積層型ガスセンサ素子及びそれを備えるガスセンサ | |
JP2001281208A (ja) | 積層型酸素センサ素子及びその製造方法並びに酸素センサ | |
JP6622643B2 (ja) | ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
JP4421756B2 (ja) | 積層型ガスセンサ素子の製造方法 | |
JP4539802B2 (ja) | ガスセンサ素子及びガスセンサ | |
JP2015148503A (ja) | ガスセンサ素子およびガスセンサ | |
JP2003322631A (ja) | 酸素センサ | |
JP3677920B2 (ja) | 酸素濃度検出器 | |
JP2001311714A (ja) | 積層型ガスセンサ素子及びその製造方法並びにガスセンサ | |
JP2015108583A (ja) | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060713 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080110 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080122 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080324 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080715 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080916 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081021 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081031 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121107 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131107 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |