JP2001176444A - 垂直加速型飛行時間型質量分析装置 - Google Patents
垂直加速型飛行時間型質量分析装置Info
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- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/34—Dynamic spectrometers
- H01J49/40—Time-of-flight spectrometers
- H01J49/401—Time-of-flight spectrometers characterised by orthogonal acceleration, e.g. focusing or selecting the ions, pusher electrode
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Abstract
(57)【要約】
【課題】イオンガイド部の静電レンズとして静電四重極
レンズを用いず、複数個の軸対称静電レンズをマルチポ
ールと共に採用したＯＡ／ＴＯＦＭＳを提供する。 【解決手段】ＯＡ／ＴＯＦＭＳのイオンガイド部の軸対
称静電レンズの初段に位置するオリフィス電極と、ＯＡ
／ＴＯＦＭＳのイオンガイド部の軸対称静電レンズの終
段に位置するスリット電極に、正または負の電圧を印加
するようにした。また、軸対称静電レンズ群の前半部で
はイオンを加速し、後半部ではイオンを減速するように
レンズ電極電圧を設定した。
レンズを用いず、複数個の軸対称静電レンズをマルチポ
ールと共に採用したＯＡ／ＴＯＦＭＳを提供する。 【解決手段】ＯＡ／ＴＯＦＭＳのイオンガイド部の軸対
称静電レンズの初段に位置するオリフィス電極と、ＯＡ
／ＴＯＦＭＳのイオンガイド部の軸対称静電レンズの終
段に位置するスリット電極に、正または負の電圧を印加
するようにした。また、軸対称静電レンズ群の前半部で
はイオンを加速し、後半部ではイオンを減速するように
レンズ電極電圧を設定した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、質量分解能に優れ
た垂直加速型飛行時間型質量分析装置に関する。
た垂直加速型飛行時間型質量分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】大気圧イオン源（Atmospheric pressure
ionization technique：ＡＰＩ）と飛行時間型質量分
析装置（Time-of-flight mass spectrometer：ＴＯＦＭ
Ｓ）とを組み合わせて使用する場合、ＡＰＩとＴＯＦＭ
Ｓ分光部との接続部分にイオンガイド部とイオン溜を設
け、イオンガイド部にＡＰＩからイオンを導入してイオ
ンの運動エネルギーを低減させた後、イオン溜内にイオ
ンをドリフト走行させることが良く行なわれる。そし
て、その場合、イオン溜内にイオンを滞留させた上で、
ナノ秒オーダーの短時間の内にイオンに対して高電圧を
印加し、イオンのドリフト走行の方向とは直交する方向
にイオンをパルス状に押し出して、イオンパルスがＴＯ
ＦＭＳのイオン検出器に到達するまでの飛行時間を測定
する方法で質量分析が行なわれる。このような質量分析
装置を垂直加速型飛行時間型質量分析装置（Orthogonal
Acceleration ＴＯＦＭＳ：ＯＡ／ＴＯＦＭＳ）と呼ん
でいる。
ionization technique：ＡＰＩ）と飛行時間型質量分
析装置（Time-of-flight mass spectrometer：ＴＯＦＭ
Ｓ）とを組み合わせて使用する場合、ＡＰＩとＴＯＦＭ
Ｓ分光部との接続部分にイオンガイド部とイオン溜を設
け、イオンガイド部にＡＰＩからイオンを導入してイオ
ンの運動エネルギーを低減させた後、イオン溜内にイオ
ンをドリフト走行させることが良く行なわれる。そし
て、その場合、イオン溜内にイオンを滞留させた上で、
ナノ秒オーダーの短時間の内にイオンに対して高電圧を
印加し、イオンのドリフト走行の方向とは直交する方向
にイオンをパルス状に押し出して、イオンパルスがＴＯ
ＦＭＳのイオン検出器に到達するまでの飛行時間を測定
する方法で質量分析が行なわれる。このような質量分析
装置を垂直加速型飛行時間型質量分析装置（Orthogonal
Acceleration ＴＯＦＭＳ：ＯＡ／ＴＯＦＭＳ）と呼ん
でいる。
【０００３】図１に、典型的なＯＡ／ＴＯＦＭＳの模式
図を示す。外部イオン源１で生成され、運動エネルギー
ｅＶ1を与えられたイオンは、ビームとなってイオンガ
イド部２を経由し、イオン押し出しプレート４と第１グ
リッド５で構成されるイオン溜３に導入される。イオン
押し出しプレート４と第１グリッド５は、イオン溜３に
イオンが導入・蓄積されている間、いずれも接地電位、
または装置のコモン電位に保たれている。
図を示す。外部イオン源１で生成され、運動エネルギー
ｅＶ1を与えられたイオンは、ビームとなってイオンガ
イド部２を経由し、イオン押し出しプレート４と第１グ
リッド５で構成されるイオン溜３に導入される。イオン
押し出しプレート４と第１グリッド５は、イオン溜３に
イオンが導入・蓄積されている間、いずれも接地電位、
または装置のコモン電位に保たれている。
【０００４】導入されたイオンがイオン溜３内をドリフ
ト走行し、イオン溜３のＸ方向の長さｘ0を充満する
と、イオン押し出しプレート４にPush-outパルス電圧６
（振幅電圧：２Ｖp）を印加し、イオンにドリフト走行
方向（Ｘ方向）とは直交する方向（ＴＯＦＭＳの光軸方
向、すなわちＹ方向）に平均運動エネルギーｅＶpを与
える。すると、イオンは、イオンパルスとなって短時間
の内にイオン溜３から完全排出され、更に、第１グリッ
ド５と第２グリッド７の電位差Ｖ2により、さらに大き
な運動エネルギーｅ（Ｖp−Ｖ2）を与えられて、ＴＯＦ
ＭＳ分光部８を飛行し、イオン検出部９に到達して検出
される。イオンは、質量の小さなものほど大きい運動速
度を持つので、軽いイオンから先にイオン検出部９に到
達し、重いイオンは遅れてイオン検出器９に到達するこ
とになり、イオンの質量分離が行なわれる。
ト走行し、イオン溜３のＸ方向の長さｘ0を充満する
と、イオン押し出しプレート４にPush-outパルス電圧６
（振幅電圧：２Ｖp）を印加し、イオンにドリフト走行
方向（Ｘ方向）とは直交する方向（ＴＯＦＭＳの光軸方
向、すなわちＹ方向）に平均運動エネルギーｅＶpを与
える。すると、イオンは、イオンパルスとなって短時間
の内にイオン溜３から完全排出され、更に、第１グリッ
ド５と第２グリッド７の電位差Ｖ2により、さらに大き
な運動エネルギーｅ（Ｖp−Ｖ2）を与えられて、ＴＯＦ
ＭＳ分光部８を飛行し、イオン検出部９に到達して検出
される。イオンは、質量の小さなものほど大きい運動速
度を持つので、軽いイオンから先にイオン検出部９に到
達し、重いイオンは遅れてイオン検出器９に到達するこ
とになり、イオンの質量分離が行なわれる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような構成におい
て、高分解能・高感度のＯＡ／ＴＯＦＭＳを提供するた
めには、外部イオン源１で生成されたイオンを、イオン
ガイド部２を経由して、イオン溜３のＸ方向の出口に至
るまで、効率的にイオンを輸送できるイオンガイドを提
供することが必須となる。そして、その場合、次のよう
な制約条件を満足する必要がある。
て、高分解能・高感度のＯＡ／ＴＯＦＭＳを提供するた
めには、外部イオン源１で生成されたイオンを、イオン
ガイド部２を経由して、イオン溜３のＸ方向の出口に至
るまで、効率的にイオンを輸送できるイオンガイドを提
供することが必須となる。そして、その場合、次のよう
な制約条件を満足する必要がある。
【０００６】まず、第１の条件として、外部イオン源１
で生成されるイオンの運動エネルギーｅＶ1は、できる
だけ小さな値にしてイオン溜３に導入することが必要で
ある。これは、図１において、イオン溜３とＴＯＦＭＳ
分光部８のなす角度θ（ここで、θ＝tan-1√(Ｖp−Ｖ2
／Ｖ1)）を９０゜に近づけることに相当する。すなわ
ち、イオンの初期運動エネルギーｅＶ1を与える外部イ
オン源１の加速電圧値Ｖ1が小さいほど、角度θは９０
゜に近づき、イオン溜３とＴＯＦＭＳ分光部８を飛行す
るイオンの軌道が直角に近くなるため、装置の設計がコ
ンパクトにでき、製作も簡便になる。このことは、図１
に示したリニア型ＴＯＦＭＳのみならず、ＴＯＦＭＳ分
光部にリフレクトロンを使用するリフレクター型や、Ｔ
ＯＦＭＳ分光部にセクタ電場を使用するセクタ型のＴＯ
ＦＭＳにも、共通して言えることである。
で生成されるイオンの運動エネルギーｅＶ1は、できる
だけ小さな値にしてイオン溜３に導入することが必要で
ある。これは、図１において、イオン溜３とＴＯＦＭＳ
分光部８のなす角度θ（ここで、θ＝tan-1√(Ｖp−Ｖ2
／Ｖ1)）を９０゜に近づけることに相当する。すなわ
ち、イオンの初期運動エネルギーｅＶ1を与える外部イ
オン源１の加速電圧値Ｖ1が小さいほど、角度θは９０
゜に近づき、イオン溜３とＴＯＦＭＳ分光部８を飛行す
るイオンの軌道が直角に近くなるため、装置の設計がコ
ンパクトにでき、製作も簡便になる。このことは、図１
に示したリニア型ＴＯＦＭＳのみならず、ＴＯＦＭＳ分
光部にリフレクトロンを使用するリフレクター型や、Ｔ
ＯＦＭＳ分光部にセクタ電場を使用するセクタ型のＴＯ
ＦＭＳにも、共通して言えることである。
【０００７】たとえば、第１グリッド５と第２グリッド
７の電位差Ｖ2が３〜１０ｋＶの場合、外部イオン源１
の加速電圧Ｖ1は、数十Ｖ以下、強いて言えば１０Ｖ前
後であることが望ましい。
７の電位差Ｖ2が３〜１０ｋＶの場合、外部イオン源１
の加速電圧Ｖ1は、数十Ｖ以下、強いて言えば１０Ｖ前
後であることが望ましい。
【０００８】また、第２の条件として、イオン溜３をド
リフト走行するイオンは、平行度を高め、Ｙ方向に±の
速度成分（すなわち運動エネルギー成分）を持たないよ
うにさせることが必要である。もし、イオン溜３をドリ
フト走行するイオンの平行度が低く、Ｙ方向に±の速度
成分（すなわち運動エネルギー成分）を持つと、ターン
アラウンド効果（Turn around effect）によるイオンパ
ルス幅の余分な増大が起こり、ＯＡ／ＴＯＦＭＳの分解
能の低下を招く。従って、空間収束やエネルギー収束を
達成したＯＡ／ＴＯＦＭＳであっても、高い質量分解能
を得るためには、イオン溜３内をドリフト走行するイオ
ンの運動エネルギーをできるだけ低くすると同時に、Ｘ
軸に沿って高い平行度を保たせることが必要である。
リフト走行するイオンは、平行度を高め、Ｙ方向に±の
速度成分（すなわち運動エネルギー成分）を持たないよ
うにさせることが必要である。もし、イオン溜３をドリ
フト走行するイオンの平行度が低く、Ｙ方向に±の速度
成分（すなわち運動エネルギー成分）を持つと、ターン
アラウンド効果（Turn around effect）によるイオンパ
ルス幅の余分な増大が起こり、ＯＡ／ＴＯＦＭＳの分解
能の低下を招く。従って、空間収束やエネルギー収束を
達成したＯＡ／ＴＯＦＭＳであっても、高い質量分解能
を得るためには、イオン溜３内をドリフト走行するイオ
ンの運動エネルギーをできるだけ低くすると同時に、Ｘ
軸に沿って高い平行度を保たせることが必要である。
【０００９】しかしながら、一般的に言って、イオンの
運動エネルギーを低くすれば低くするほど、イオンを収
束させたり高い平行度でドリフト走行させたりすること
が困難になる。また、同時に、電極のチャージアップの
影響を受けやすくなり、チャージアップに由来するイオ
ン軌道の変動量も増大する。
運動エネルギーを低くすれば低くするほど、イオンを収
束させたり高い平行度でドリフト走行させたりすること
が困難になる。また、同時に、電極のチャージアップの
影響を受けやすくなり、チャージアップに由来するイオ
ン軌道の変動量も増大する。
【００１０】ＯＡ／ＴＯＦＭＳのイオンガイド部２に
は、高周波電圧のみを印加したマルチポール（ＲＦマル
チポール）が用いられることが多い。その理由は、マル
チポール内部に導入された５×１０-5から１×１０-4ｔ
ｏｒｒ程度の稀ガス（ヘリウムガスなど）とイオンとの
非弾性衝突により、マルチポール内を飛行するイオンの
運動エネルギーの冷却（イオンクーリングと呼ばれてい
る）が行なえることにある。このイオンクーリングの効
果によって、マルチポール内では、イオンは１ｅＶ以下
の運動エネルギーになり、１ｅＶ以下の運動エネルギー
幅に収束させた状態でマルチポールの光軸（Ｘ軸上）近
傍にイオンを収束できる。
は、高周波電圧のみを印加したマルチポール（ＲＦマル
チポール）が用いられることが多い。その理由は、マル
チポール内部に導入された５×１０-5から１×１０-4ｔ
ｏｒｒ程度の稀ガス（ヘリウムガスなど）とイオンとの
非弾性衝突により、マルチポール内を飛行するイオンの
運動エネルギーの冷却（イオンクーリングと呼ばれてい
る）が行なえることにある。このイオンクーリングの効
果によって、マルチポール内では、イオンは１ｅＶ以下
の運動エネルギーになり、１ｅＶ以下の運動エネルギー
幅に収束させた状態でマルチポールの光軸（Ｘ軸上）近
傍にイオンを収束できる。
【００１１】しかし、イオンがマルチポールから出射し
た途端に、イオンは高周波電圧による安定な閉じ込め状
態から解放されて発散する。したがって、イオン溜３に
平行度の高い低エネルギー状態のイオンを効率良く導入
するためには、マルチポールと共に、イオンを効率良く
マルチポールから引き出して、イオン溜３に向けて収束
させる収束レンズを用いることが必要となる。
た途端に、イオンは高周波電圧による安定な閉じ込め状
態から解放されて発散する。したがって、イオン溜３に
平行度の高い低エネルギー状態のイオンを効率良く導入
するためには、マルチポールと共に、イオンを効率良く
マルチポールから引き出して、イオン溜３に向けて収束
させる収束レンズを用いることが必要となる。
【００１２】マルチポールと組み合わせて使用する収束
レンズとしては、既にこれまでにさまざまな静電レンズ
が採用され、報告されている。理論的には、マルチポー
ルから出射してくるイオンビームのプロファイルを初期
条件［Ｘ］とし、イオン溜を走行させるイオン軌道条件
を最終条件［Ｙ］とすれば、マルチポールとイオン溜の
間に置かれる静電レンズは、初期条件［Ｘ］を最終条件
［Ｙ］に変換する装置関数［Ｆ(ｘ)］であり、［Ｙ］＝
［Ｆ(ｘ)］＊［Ｘ］で与えられ、一義的に決まる。この
装置関数［Ｆ(ｘ)］は、通常、複数個のレンズの装置関
数の積となり、［Ｆ(ｘ)］＝［ｆ(ｘ1)＊ｆ(ｘ2)＊・・・
＊ｆ(ｘn)］（ｎは自然数）で表わされる。このこと
は、すなわち、異なる複数枚のレンズ電極におけるレン
ズの個数の違いやレンズ電極の寸法（電極の長さ、厚
み、電極間距離など、いわゆるディメンジョン）の違
い、また、レンズ電極への相対的な印加電圧の違いによ
っても、同一装置関数［Ｆ(ｘ)］を与えることが可能で
あり、さまざまな関数を組み合わせた［Ｆ(ｘ)］の解が
あることを意味している。
レンズとしては、既にこれまでにさまざまな静電レンズ
が採用され、報告されている。理論的には、マルチポー
ルから出射してくるイオンビームのプロファイルを初期
条件［Ｘ］とし、イオン溜を走行させるイオン軌道条件
を最終条件［Ｙ］とすれば、マルチポールとイオン溜の
間に置かれる静電レンズは、初期条件［Ｘ］を最終条件
［Ｙ］に変換する装置関数［Ｆ(ｘ)］であり、［Ｙ］＝
［Ｆ(ｘ)］＊［Ｘ］で与えられ、一義的に決まる。この
装置関数［Ｆ(ｘ)］は、通常、複数個のレンズの装置関
数の積となり、［Ｆ(ｘ)］＝［ｆ(ｘ1)＊ｆ(ｘ2)＊・・・
＊ｆ(ｘn)］（ｎは自然数）で表わされる。このこと
は、すなわち、異なる複数枚のレンズ電極におけるレン
ズの個数の違いやレンズ電極の寸法（電極の長さ、厚
み、電極間距離など、いわゆるディメンジョン）の違
い、また、レンズ電極への相対的な印加電圧の違いによ
っても、同一装置関数［Ｆ(ｘ)］を与えることが可能で
あり、さまざまな関数を組み合わせた［Ｆ(ｘ)］の解が
あることを意味している。
【００１３】例えば、比較的大きい運動エネルギーのイ
オンビームを所望の条件に整形する手段として有効であ
る複数個（２個または３個）の静電四重極レンズを直列
に並べた提案がある。しかし、ＯＡ／ＴＯＦＭＳが望む
数十ｅＶ以下の運動エネルギーのイオンビームを取り扱
う場合、静電四重極レンズの動作電圧は極めて低い値と
なるため、外乱やレンズ電極上に発生するチャージアッ
プ電圧によってイオン軌道が大きく変動を受けるという
問題がある。
オンビームを所望の条件に整形する手段として有効であ
る複数個（２個または３個）の静電四重極レンズを直列
に並べた提案がある。しかし、ＯＡ／ＴＯＦＭＳが望む
数十ｅＶ以下の運動エネルギーのイオンビームを取り扱
う場合、静電四重極レンズの動作電圧は極めて低い値と
なるため、外乱やレンズ電極上に発生するチャージアッ
プ電圧によってイオン軌道が大きく変動を受けるという
問題がある。
【００１４】本発明の目的は、上述した点に鑑み、イオ
ンガイド部の静電レンズとして静電四重極レンズを用い
ず、複数個の軸対称静電レンズをマルチポールと共に採
用したＯＡ／ＴＯＦＭＳを提供することにある。
ンガイド部の静電レンズとして静電四重極レンズを用い
ず、複数個の軸対称静電レンズをマルチポールと共に採
用したＯＡ／ＴＯＦＭＳを提供することにある。
【００１５】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明にかかるＯＡ／ＴＯＦＭＳは、質量分析装置
に対してイオンを供給する外部イオン源と、外部イオン
源で生成したイオンを質量分析装置内部に導くマルチポ
ールイオンガイドと、マルチポールイオンガイドの後段
に配置され、イオンを高真空室に引き入れるオリフィス
と、オリフィスの後段の高真空室内に配置され、イオン
を平行度の高いビームに絞るレンズ電極群と、レンズ電
極群の後段に配置され、イオンビームの形を整えるスリ
ットと、スリットの後段に配置され、イオン押し出しプ
レートとグリッドにより構成されるイオン溜と、イオン
溜から押し出されたイオンを質量分離する飛行時間型分
光部と、質量分離されたイオンを検出するイオン検出器
とから成る垂直加速型飛行時間型質量分析装置におい
て、前記オリフィスに正または負の電圧を印加するよう
にしたことを特徴としている。
め、本発明にかかるＯＡ／ＴＯＦＭＳは、質量分析装置
に対してイオンを供給する外部イオン源と、外部イオン
源で生成したイオンを質量分析装置内部に導くマルチポ
ールイオンガイドと、マルチポールイオンガイドの後段
に配置され、イオンを高真空室に引き入れるオリフィス
と、オリフィスの後段の高真空室内に配置され、イオン
を平行度の高いビームに絞るレンズ電極群と、レンズ電
極群の後段に配置され、イオンビームの形を整えるスリ
ットと、スリットの後段に配置され、イオン押し出しプ
レートとグリッドにより構成されるイオン溜と、イオン
溜から押し出されたイオンを質量分離する飛行時間型分
光部と、質量分離されたイオンを検出するイオン検出器
とから成る垂直加速型飛行時間型質量分析装置におい
て、前記オリフィスに正または負の電圧を印加するよう
にしたことを特徴としている。
【００１６】また、質量分析装置に対してイオンを供給
する外部イオン源と、外部イオン源で生成したイオンを
質量分析装置内部に導くマルチポールイオンガイドと、
マルチポールイオンガイドの後段に配置され、イオンを
高真空室に引き入れるオリフィスと、オリフィスの後段
の高真空室内に配置され、イオンを平行度の高いビーム
に絞るレンズ電極群と、レンズ電極群の後段に配置さ
れ、イオンビームの形を整えるスリットと、スリットの
後段に配置され、イオン押し出しプレートとグリッドに
より構成されるイオン溜と、イオン溜から押し出された
イオンを質量分離する飛行時間型分光部と、質量分離さ
れたイオンを検出するイオン検出器とから成る垂直加速
型飛行時間型質量分析装置において、前記スリットに正
または負の電圧を印加するようにしたことを特徴として
いる。
する外部イオン源と、外部イオン源で生成したイオンを
質量分析装置内部に導くマルチポールイオンガイドと、
マルチポールイオンガイドの後段に配置され、イオンを
高真空室に引き入れるオリフィスと、オリフィスの後段
の高真空室内に配置され、イオンを平行度の高いビーム
に絞るレンズ電極群と、レンズ電極群の後段に配置さ
れ、イオンビームの形を整えるスリットと、スリットの
後段に配置され、イオン押し出しプレートとグリッドに
より構成されるイオン溜と、イオン溜から押し出された
イオンを質量分離する飛行時間型分光部と、質量分離さ
れたイオンを検出するイオン検出器とから成る垂直加速
型飛行時間型質量分析装置において、前記スリットに正
または負の電圧を印加するようにしたことを特徴として
いる。
【００１７】また、前記正または負の電圧は、分析され
るイオンの極性とは逆の極性を持つことを特徴としてい
る。
るイオンの極性とは逆の極性を持つことを特徴としてい
る。
【００１８】また、前記正または負の電圧は、イオンの
衝突によって生じたオリフィスおよび／またはスリット
のチャージアップ電圧の補正の目的を持つことを特徴と
している。
衝突によって生じたオリフィスおよび／またはスリット
のチャージアップ電圧の補正の目的を持つことを特徴と
している。
【００１９】また、質量分析装置に対してイオンを供給
する外部イオン源と、外部イオン源で生成したイオンを
質量分析装置内部に導くマルチポールイオンガイドと、
マルチポールイオンガイドの後段に配置され、イオンを
高真空室に引き入れるオリフィスと、オリフィスの後段
の高真空室内に配置され、イオンを平行度の高いビーム
に絞るレンズ電極群と、レンズ電極群の後段に配置さ
れ、イオンビームの形を整えるスリットと、スリットの
後段に配置され、イオン押し出しプレートとグリッドに
より構成されるイオン溜と、イオン溜から押し出された
イオンを質量分離する飛行時間型分光部と、質量分離さ
れたイオンを検出するイオン検出器とから成る垂直加速
型飛行時間型質量分析装置において、前記レンズ電極群
の前半部ではイオンを加速し、後半部ではイオンを減速
するようにレンズ電極電圧を設定したことを特徴として
いる。
する外部イオン源と、外部イオン源で生成したイオンを
質量分析装置内部に導くマルチポールイオンガイドと、
マルチポールイオンガイドの後段に配置され、イオンを
高真空室に引き入れるオリフィスと、オリフィスの後段
の高真空室内に配置され、イオンを平行度の高いビーム
に絞るレンズ電極群と、レンズ電極群の後段に配置さ
れ、イオンビームの形を整えるスリットと、スリットの
後段に配置され、イオン押し出しプレートとグリッドに
より構成されるイオン溜と、イオン溜から押し出された
イオンを質量分離する飛行時間型分光部と、質量分離さ
れたイオンを検出するイオン検出器とから成る垂直加速
型飛行時間型質量分析装置において、前記レンズ電極群
の前半部ではイオンを加速し、後半部ではイオンを減速
するようにレンズ電極電圧を設定したことを特徴として
いる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明の
実施の形態を説明する。図２は、本発明にかかるＯＡ／
ＴＯＦＭＳの一実施例を示したものである。図中１０
は、図示しない外部イオン源から生成するイオンをイオ
ン溜３に誘導するためのマルチポールである。マルチポ
ール１０によって誘導されたイオンは、オリフィス電極
１１、４枚のレンズ電極１２、１３、１４、および１
５、およびスリット電極１６から成る軸対称の静電レン
ズ部を通り、Ｙ軸に平行なイオン押し出しプレート４と
第１グリッド５とから成るイオン溜３に導入される。
実施の形態を説明する。図２は、本発明にかかるＯＡ／
ＴＯＦＭＳの一実施例を示したものである。図中１０
は、図示しない外部イオン源から生成するイオンをイオ
ン溜３に誘導するためのマルチポールである。マルチポ
ール１０によって誘導されたイオンは、オリフィス電極
１１、４枚のレンズ電極１２、１３、１４、および１
５、およびスリット電極１６から成る軸対称の静電レン
ズ部を通り、Ｙ軸に平行なイオン押し出しプレート４と
第１グリッド５とから成るイオン溜３に導入される。
【００２１】このとき、マルチポール１０に導入された
イオンは、低圧の稀ガス原子との衝突によりクーリング
され、１１から１６に至る静電レンズ部を経由して、イ
オン溜３に向かって数十ｅＶ以下の低い運動エネルギー
で走行する。本実施例の特徴は、従来の装置では接地電
位（または装置のコモン電位）に保たれて使用されてい
たオリフィス電極１１（これはマルチポール１０に印加
される高周波電圧のシールドとしての役割も兼ねてい
る）とスリット電極１６も静電レンズの構成品のひとつ
として考え、これらにも適切な電圧を印加するようにし
て、マルチポール１０からのイオンの飛行軌道を整形す
る自由度を増やしたことにある。すなわち、オリフィス
電極１１とスリット電極１６も静電レンズのひとつと考
えれば、新たに電極を追加することは必要ない。
イオンは、低圧の稀ガス原子との衝突によりクーリング
され、１１から１６に至る静電レンズ部を経由して、イ
オン溜３に向かって数十ｅＶ以下の低い運動エネルギー
で走行する。本実施例の特徴は、従来の装置では接地電
位（または装置のコモン電位）に保たれて使用されてい
たオリフィス電極１１（これはマルチポール１０に印加
される高周波電圧のシールドとしての役割も兼ねてい
る）とスリット電極１６も静電レンズの構成品のひとつ
として考え、これらにも適切な電圧を印加するようにし
て、マルチポール１０からのイオンの飛行軌道を整形す
る自由度を増やしたことにある。すなわち、オリフィス
電極１１とスリット電極１６も静電レンズのひとつと考
えれば、新たに電極を追加することは必要ない。
【００２２】このようにすれば、マルチポール１０内を
低い運動エネルギーで走行するイオンを、オリフィス電
極１１に印加された電圧により、後段の静電レンズ群に
効率良く引き出すことができ、さらに、イオンビーム整
形の自由度の広がった静電レンズ群で、イオンをイオン
溜３内に収束させ、かつ、高い平行度で走行させること
ができる。ここで、高い平行度の判断基準として、イオ
ン走行軌道とＸ軸との成す角度が±１／１００ラディア
ン以内に収まることを初期の目標として、この目標が達
成できる静電レンズのディメンジョンと最適な電位分布
の検索を行なった。
低い運動エネルギーで走行するイオンを、オリフィス電
極１１に印加された電圧により、後段の静電レンズ群に
効率良く引き出すことができ、さらに、イオンビーム整
形の自由度の広がった静電レンズ群で、イオンをイオン
溜３内に収束させ、かつ、高い平行度で走行させること
ができる。ここで、高い平行度の判断基準として、イオ
ン走行軌道とＸ軸との成す角度が±１／１００ラディア
ン以内に収まることを初期の目標として、この目標が達
成できる静電レンズのディメンジョンと最適な電位分布
の検索を行なった。
【００２３】図３から図６にかけて、正の電荷を持ち、
運動エネルギーが８.５〜９.５ｅＶ（運動エネルギー
幅：１.０ｅＶ）の出射条件でマルチポール１０から飛
行してくるイオンの飛行軌道の計算例を示してある。同
時に、計算の際に各電極に与えた電圧と電位分布も示し
てある。図３〜６から明らかなように、イオン溜３が接
地電位に保たれている場合には、本実施例のイオンガイ
ドの静電レンズ部を構成するすべての電極１１〜１６
に、イオンと逆の極性の電位（すなわち負の電位）を与
えた場合に、最適な結果が得られることが判った。
運動エネルギーが８.５〜９.５ｅＶ（運動エネルギー
幅：１.０ｅＶ）の出射条件でマルチポール１０から飛
行してくるイオンの飛行軌道の計算例を示してある。同
時に、計算の際に各電極に与えた電圧と電位分布も示し
てある。図３〜６から明らかなように、イオン溜３が接
地電位に保たれている場合には、本実施例のイオンガイ
ドの静電レンズ部を構成するすべての電極１１〜１６
に、イオンと逆の極性の電位（すなわち負の電位）を与
えた場合に、最適な結果が得られることが判った。
【００２４】まず、図３に示すように、オリフィス電極
１１の電圧（−１０Ｖ）は、マルチポール１０内へ、よ
り大きな侵入電位を与える役割を果たす。このことは、
図４の電位分布と比較すれば明らかである。このオリフ
ィス電極１１の電圧により、マルチポール１０内でイオ
ンクーリングを受けたイオンを、効率良く高真空なレン
ズ電極側に引き出して収束させることができる（ただ
し、イオンの出射条件により、収束点を持つ場合と持た
ない場合とがある）。レンズ電極１２には、オリフィス
電極１１よりも相対的に高い逆極性の電圧（−７５Ｖ）
が印加され、イオンはさらに加速される。次に、レンズ
電極１３、１４、１５、及びスリット電極１６には、レ
ンズ電極１２よりも相対的に低い逆極性の電圧（−５０
Ｖ、−４０Ｖ、−２５Ｖ、及び−１０Ｖ）が印加され、
イオンは次第に減速してゆき、最終的にイオン溜３内で
は、図示しない外部イオン源で与えられた運動エネルギ
ーに戻って、イオン溜３を高い平行度で貫通走行する。
図３の例では、イオン溜３内でのＸ軸に対するイオンの
最大開き角は、約±１／３００ラディアン以下に収まっ
ている。
１１の電圧（−１０Ｖ）は、マルチポール１０内へ、よ
り大きな侵入電位を与える役割を果たす。このことは、
図４の電位分布と比較すれば明らかである。このオリフ
ィス電極１１の電圧により、マルチポール１０内でイオ
ンクーリングを受けたイオンを、効率良く高真空なレン
ズ電極側に引き出して収束させることができる（ただ
し、イオンの出射条件により、収束点を持つ場合と持た
ない場合とがある）。レンズ電極１２には、オリフィス
電極１１よりも相対的に高い逆極性の電圧（−７５Ｖ）
が印加され、イオンはさらに加速される。次に、レンズ
電極１３、１４、１５、及びスリット電極１６には、レ
ンズ電極１２よりも相対的に低い逆極性の電圧（−５０
Ｖ、−４０Ｖ、−２５Ｖ、及び−１０Ｖ）が印加され、
イオンは次第に減速してゆき、最終的にイオン溜３内で
は、図示しない外部イオン源で与えられた運動エネルギ
ーに戻って、イオン溜３を高い平行度で貫通走行する。
図３の例では、イオン溜３内でのＸ軸に対するイオンの
最大開き角は、約±１／３００ラディアン以下に収まっ
ている。
【００２５】図４は、レンズ電極１２、１３、１４、１
５、及びスリット電極１６には、図３の場合と同一の電
圧を印加し、オリフィス電極１１のみを接地電位（０
Ｖ）にした場合のイオン軌道を示している。イオン溜３
内でのＸ軸に対するイオンの最大開き角は、約±１／３
００ラディアンであり、図３の場合とほぼ同じ値である
が、イオン溜３内でのイオン飛行軌道の幅は、図３の場
合よりも約１.５倍に広がっており、オリフィス電極１
１にイオンと逆極性の電圧を印加することによるイオン
の収束効果の大きさの違いを示している。
５、及びスリット電極１６には、図３の場合と同一の電
圧を印加し、オリフィス電極１１のみを接地電位（０
Ｖ）にした場合のイオン軌道を示している。イオン溜３
内でのＸ軸に対するイオンの最大開き角は、約±１／３
００ラディアンであり、図３の場合とほぼ同じ値である
が、イオン溜３内でのイオン飛行軌道の幅は、図３の場
合よりも約１.５倍に広がっており、オリフィス電極１
１にイオンと逆極性の電圧を印加することによるイオン
の収束効果の大きさの違いを示している。
【００２６】図５は、オリフィス電極１１、及びレンズ
電極１２、１３、１４、１５には、図３の場合と同一の
電圧を印加し、スリット電極１６のみを接地電位（０
Ｖ）にした場合のイオン軌道を示している。この場合
は、イオン溜３内でイオンビームは再度交差し、イオン
溜３内でのＸ軸に対するイオンの最大開き角は、約±１
／１００ラディアンである。図５のイオン軌道を図３の
イオン軌道と比較すると、スリット電極１６にイオンと
逆極性の電圧を与えた場合、スリット電極１６とイオン
溜３の入口の間にできるレンズの作用が、外部イオン源
で与えられた低い運動エネルギー近くに減速されたイオ
ンビームの軌道修正に対して、著しく効果的であること
を示している。
電極１２、１３、１４、１５には、図３の場合と同一の
電圧を印加し、スリット電極１６のみを接地電位（０
Ｖ）にした場合のイオン軌道を示している。この場合
は、イオン溜３内でイオンビームは再度交差し、イオン
溜３内でのＸ軸に対するイオンの最大開き角は、約±１
／１００ラディアンである。図５のイオン軌道を図３の
イオン軌道と比較すると、スリット電極１６にイオンと
逆極性の電圧を与えた場合、スリット電極１６とイオン
溜３の入口の間にできるレンズの作用が、外部イオン源
で与えられた低い運動エネルギー近くに減速されたイオ
ンビームの軌道修正に対して、著しく効果的であること
を示している。
【００２７】なお、参考のため、図６には、オリフィス
電極１１とスリット電極１６の両方を接地電位（０Ｖ）
にした場合のイオン軌道を示す。この場合は、オリフィ
ス電極１１によるイオンの収束効果がないため、イオン
ビームが図４の場合に似て太くなり、また、スリット電
極１６によるイオンビームの軌道修正がないため、図５
の場合に似て、イオンビームの平行度が低い。
電極１１とスリット電極１６の両方を接地電位（０Ｖ）
にした場合のイオン軌道を示す。この場合は、オリフィ
ス電極１１によるイオンの収束効果がないため、イオン
ビームが図４の場合に似て太くなり、また、スリット電
極１６によるイオンビームの軌道修正がないため、図５
の場合に似て、イオンビームの平行度が低い。
【００２８】ところで、オリフィス電極１１とスリット
電極１６は、イオン通過口が他のレンズ電極群よりも狭
く、イオンの衝突に伴うチャージアップの発生確率が高
い。多数個のイオン衝突に伴うチャージアップ電圧
（０.１〜１Ｖ）の発生に対し、これらオリフィス電極
１１とスリット電極１６に適当な電圧を与えることが可
能な構成にしておくことは、チャージアップに由来する
イオン軌道の時間変動を回避できる可能性につながる。
特に、スリット電極１６上でチャージアップ電圧（０.
１〜１Ｖ）が発生した場合に、チャージアップ電圧を中
和し、スリット電圧を補正することができるようにして
おくことは、本実施例の静電レンズの副次的効果として
重要である。
電極１６は、イオン通過口が他のレンズ電極群よりも狭
く、イオンの衝突に伴うチャージアップの発生確率が高
い。多数個のイオン衝突に伴うチャージアップ電圧
（０.１〜１Ｖ）の発生に対し、これらオリフィス電極
１１とスリット電極１６に適当な電圧を与えることが可
能な構成にしておくことは、チャージアップに由来する
イオン軌道の時間変動を回避できる可能性につながる。
特に、スリット電極１６上でチャージアップ電圧（０.
１〜１Ｖ）が発生した場合に、チャージアップ電圧を中
和し、スリット電圧を補正することができるようにして
おくことは、本実施例の静電レンズの副次的効果として
重要である。
【００２９】なお、オリフィス電極１１とスリット電極
１６以外のレンズ電極群（１２〜１５）のイオン通過口
は、オリフィス電極１１とスリット電極１６のイオン通
過口の２倍以上の大きさにして、飛行イオンとの衝突を
避けるように設計するべきであることは言うまでもな
い。
１６以外のレンズ電極群（１２〜１５）のイオン通過口
は、オリフィス電極１１とスリット電極１６のイオン通
過口の２倍以上の大きさにして、飛行イオンとの衝突を
避けるように設計するべきであることは言うまでもな
い。
【００３０】また、本実施例の静電レンズ部は、オリフ
ィス電極１１からスリット電極１６まで全部で６枚のレ
ンズ電極により構成されたものであるが、本発明は、こ
の枚数に限定されるものではなく、６枚以上、または６
枚以下の電極で構成されていても良いことは言うまでも
ない。
ィス電極１１からスリット電極１６まで全部で６枚のレ
ンズ電極により構成されたものであるが、本発明は、こ
の枚数に限定されるものではなく、６枚以上、または６
枚以下の電極で構成されていても良いことは言うまでも
ない。
【００３１】また、静電レンズに電位分布を与える適切
な印加電圧は、相似則や相互の相対的な電位によって決
まる。従って、常にイオンの電荷に対して逆極性である
とは限らない。特に、スリット電極は、イオンの飛行軌
道を最終的に修正する機能を果たすものであり、この電
極の最適電位は、前段のレンズ電極の電位や後段のイオ
ン溜の電位（本実施例では接地電位とした）に依存する
ために、本実施例ではたまたまイオンとは逆の極性にな
ったと解釈するべきである。
な印加電圧は、相似則や相互の相対的な電位によって決
まる。従って、常にイオンの電荷に対して逆極性である
とは限らない。特に、スリット電極は、イオンの飛行軌
道を最終的に修正する機能を果たすものであり、この電
極の最適電位は、前段のレンズ電極の電位や後段のイオ
ン溜の電位（本実施例では接地電位とした）に依存する
ために、本実施例ではたまたまイオンとは逆の極性にな
ったと解釈するべきである。
【００３２】また、オリフィス電極、レンズ電極、スリ
ット電極の厚みや大きさは、図３に示すディメンジョン
に限定されないことは言うまでもない。また、相似則に
従う拡大・縮小も本発明の範疇にある。
ット電極の厚みや大きさは、図３に示すディメンジョン
に限定されないことは言うまでもない。また、相似則に
従う拡大・縮小も本発明の範疇にある。
【００３３】また、マルチポールは、何極のものであっ
ても良い。
ても良い。
【００３４】また、本イオンガイド部と組み合わされる
ＴＯＦＭＳ分光部は、リニア型、リフレクター型、セク
タ型のいずれであっても良い。
ＴＯＦＭＳ分光部は、リニア型、リフレクター型、セク
タ型のいずれであっても良い。
【００３５】
【発明の効果】以上述べたごとく、本発明のＯＡ／ＴＯ
ＦＭＳによれば、イオンガイド部のオリフィス電極とス
リット電極に正または負の電圧を印加するようにしたの
で、外部イオン源から導入されたイオンビームを、低い
運動エネルギー状態のまま、しかも、飛行軌道の高い平
行度を保ったままの状態で、イオン溜に誘導することが
できるようになり、高い質量分解能でイオンの質量を分
析することが可能になった。また、オリフィス電極とス
リット電極に電圧を印加できるように構成したことによ
り、イオンの衝突に由来するチャージアップ電圧の発生
を補正することが可能になった。
ＦＭＳによれば、イオンガイド部のオリフィス電極とス
リット電極に正または負の電圧を印加するようにしたの
で、外部イオン源から導入されたイオンビームを、低い
運動エネルギー状態のまま、しかも、飛行軌道の高い平
行度を保ったままの状態で、イオン溜に誘導することが
できるようになり、高い質量分解能でイオンの質量を分
析することが可能になった。また、オリフィス電極とス
リット電極に電圧を印加できるように構成したことによ
り、イオンの衝突に由来するチャージアップ電圧の発生
を補正することが可能になった。
【図１】従来のＯＡ／ＴＯＦＭＳを示す図である。
【図２】本発明のＯＡ／ＴＯＦＭＳのイオンガイド部を
示す図である。
示す図である。
【図３】本発明のＯＡ／ＴＯＦＭＳのイオンガイド部に
おけるイオンの飛行軌道の計算値の一例を示す図であ
る。
おけるイオンの飛行軌道の計算値の一例を示す図であ
る。
【図４】本発明のＯＡ／ＴＯＦＭＳのイオンガイド部に
おけるイオンの飛行軌道の計算値の一例を示す図であ
る。
おけるイオンの飛行軌道の計算値の一例を示す図であ
る。
【図５】本発明のＯＡ／ＴＯＦＭＳのイオンガイド部に
おけるイオンの飛行軌道の計算値の一例を示す図であ
る。
おけるイオンの飛行軌道の計算値の一例を示す図であ
る。
【図６】本発明のＯＡ／ＴＯＦＭＳのイオンガイド部に
おけるイオンの飛行軌道の計算値の一例を示す図であ
る。
おけるイオンの飛行軌道の計算値の一例を示す図であ
る。
１・・・外部イオン源、２・・・イオンガイド部、３・・・イオ
ン溜、４・・・イオン押し出しプレート、５・・・第１グリッ
ド、６・・・Push-outパルス電圧、７・・・第２グリッド、８
・・・ＴＯＦＭＳ分光部、９・・・イオン検出器、１０・・・マ
ルチポール、１１・・・オリフィス電極、１２・・・レンズ電
極、１３・・・レンズ電極、１４・・・レンズ電極、１５・・・
レンズ電極、１６・・・スリット電極。
ン溜、４・・・イオン押し出しプレート、５・・・第１グリッ
ド、６・・・Push-outパルス電圧、７・・・第２グリッド、８
・・・ＴＯＦＭＳ分光部、９・・・イオン検出器、１０・・・マ
ルチポール、１１・・・オリフィス電極、１２・・・レンズ電
極、１３・・・レンズ電極、１４・・・レンズ電極、１５・・・
レンズ電極、１６・・・スリット電極。
Claims (5)
- 【請求項１】質量分析装置に対してイオンを供給する外
部イオン源と、外部イオン源で生成したイオンを質量分
析装置内部に導くマルチポールイオンガイドと、マルチ
ポールイオンガイドの後段に配置され、イオンを高真空
室に引き入れるオリフィスと、オリフィスの後段の高真
空室内に配置され、イオンを平行度の高いビームに絞る
レンズ電極群と、レンズ電極群の後段に配置され、イオ
ンビームの形を整えるスリットと、スリットの後段に配
置され、イオン押し出しプレートとグリッドにより構成
されるイオン溜と、イオン溜から押し出されたイオンを
質量分離する飛行時間型分光部と、質量分離されたイオ
ンを検出するイオン検出器とから成る垂直加速型飛行時
間型質量分析装置において、前記オリフィスに正または
負の電圧を印加するようにしたことを特徴とする垂直加
速型飛行時間型質量分析装置。 - 【請求項２】質量分析装置に対してイオンを供給する外
部イオン源と、外部イオン源で生成したイオンを質量分
析装置内部に導くマルチポールイオンガイドと、マルチ
ポールイオンガイドの後段に配置され、イオンを効率良
く高真空室に引き入れるオリフィスと、オリフィスの後
段の高真空室内に配置され、イオンを平行度の高いビー
ムに絞るレンズ電極群と、レンズ電極群の後段に配置さ
れ、イオンビームの形を整えるスリットと、スリットの
後段に配置され、イオン押し出しプレートとグリッドに
より構成されるイオン溜と、イオン溜から押し出された
イオンを質量分離する飛行時間型分光部と、質量分離さ
れたイオンを検出するイオン検出器とから成る垂直加速
型飛行時間型質量分析装置において、前記スリットに正
または負の電圧を印加するようにしたことを特徴とする
垂直加速型飛行時間型質量分析装置。 - 【請求項３】前記正または負の電圧は、分析されるイオ
ンの極性とは逆の極性を持つことを特徴とする請求項１
または２記載の垂直加速型飛行時間型質量分析装置。 - 【請求項４】前記正または負の電圧は、イオンの衝突に
よって生じたオリフィスおよび／またはスリットのチャ
ージアップ電圧の補正の目的を持つことを特徴とする請
求項１または２記載の垂直加速型飛行時間型質量分析装
置。 - 【請求項５】質量分析装置に対してイオンを供給する外
部イオン源と、外部イオン源で生成したイオンを質量分
析装置内部に導くマルチポールイオンガイドと、マルチ
ポールイオンガイドの後段に配置され、イオンを高真空
室に引き入れるオリフィスと、オリフィスの後段の高真
空室内に配置され、イオンを平行度の高いビームに絞る
レンズ電極群と、レンズ電極群の後段に配置され、イオ
ンビームの形を整えるスリットと、スリットの後段に配
置され、イオン押し出しプレートとグリッドにより構成
されるイオン溜と、イオン溜から押し出されたイオンを
質量分離する飛行時間型分光部と、質量分離されたイオ
ンを検出するイオン検出器とから成る垂直加速型飛行時
間型質量分析装置において、前記レンズ電極群の前半部
ではイオンを加速し、後半部ではイオンを減速するよう
にレンズ電極電圧を設定したことを特徴とする垂直加速
型飛行時間型質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35657299A JP2001176444A (ja) | 1999-12-15 | 1999-12-15 | 垂直加速型飛行時間型質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35657299A JP2001176444A (ja) | 1999-12-15 | 1999-12-15 | 垂直加速型飛行時間型質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001176444A true JP2001176444A (ja) | 2001-06-29 |
Family
ID=18449701
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35657299A Withdrawn JP2001176444A (ja) | 1999-12-15 | 1999-12-15 | 垂直加速型飛行時間型質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001176444A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001093306A3 (en) * | 2000-05-26 | 2002-08-29 | Univ Johns Hopkins | Microchannel plate detector assembly for a time-of-flight mass spectrometer |
| WO2001088951A3 (en) * | 2000-05-12 | 2002-08-29 | Univ Johns Hopkins | Gridless, focusing ion extraction device for a time-of-flight mass spectrometer |
| JP2006049273A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-02-16 | Jeol Ltd | 垂直加速型飛行時間型質量分析計 |
| JP2007287404A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Jeol Ltd | タンデム型質量分析装置 |
| JP2009123422A (ja) * | 2007-11-13 | 2009-06-04 | Jeol Ltd | 垂直加速型飛行時間型質量分析装置 |
| KR100991608B1 (ko) | 2008-05-07 | 2010-11-04 | 부산대학교 산학협력단 | 넓은 입자 직경 범위에서 집속이 가능한 공기 역학 렌즈 |
| WO2011007528A1 (ja) * | 2009-07-15 | 2011-01-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 質量分析計及び質量分析方法 |
| WO2012132550A1 (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-04 | 株式会社島津製作所 | 飛行時間型質量分析装置 |
-
1999
- 1999-12-15 JP JP35657299A patent/JP2001176444A/ja not_active Withdrawn
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001088951A3 (en) * | 2000-05-12 | 2002-08-29 | Univ Johns Hopkins | Gridless, focusing ion extraction device for a time-of-flight mass spectrometer |
| US6614020B2 (en) | 2000-05-12 | 2003-09-02 | The Johns Hopkins University | Gridless, focusing ion extraction device for a time-of-flight mass spectrometer |
| WO2001093306A3 (en) * | 2000-05-26 | 2002-08-29 | Univ Johns Hopkins | Microchannel plate detector assembly for a time-of-flight mass spectrometer |
| US6943344B2 (en) * | 2000-05-26 | 2005-09-13 | The Johns Hopkins University | Microchannel plate detector assembly for a time-of-flight mass spectrometer |
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| JP2007287404A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Jeol Ltd | タンデム型質量分析装置 |
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| WO2011007528A1 (ja) * | 2009-07-15 | 2011-01-20 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 質量分析計及び質量分析方法 |
| JP2011023184A (ja) * | 2009-07-15 | 2011-02-03 | Hitachi High-Technologies Corp | 質量分析計及び質量分析方法 |
| US8835834B2 (en) | 2009-07-15 | 2014-09-16 | Hitachi High-Technologies Corporation | Mass spectrometer and mass spectrometry method |
| WO2012132550A1 (ja) * | 2011-03-25 | 2012-10-04 | 株式会社島津製作所 | 飛行時間型質量分析装置 |
| CN103460331A (zh) * | 2011-03-25 | 2013-12-18 | 株式会社岛津制作所 | 飞行时间型质量分析装置 |
| JP5637299B2 (ja) * | 2011-03-25 | 2014-12-10 | 株式会社島津製作所 | 飛行時間型質量分析装置 |
| CN103460331B (zh) * | 2011-03-25 | 2016-02-17 | 株式会社岛津制作所 | 飞行时间型质量分析装置 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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