JP2001089197A - 保護用窒化ケイ素フィルムを有する透明物品 - Google Patents
保護用窒化ケイ素フィルムを有する透明物品Info
- Publication number
- JP2001089197A JP2001089197A JP2000223672A JP2000223672A JP2001089197A JP 2001089197 A JP2001089197 A JP 2001089197A JP 2000223672 A JP2000223672 A JP 2000223672A JP 2000223672 A JP2000223672 A JP 2000223672A JP 2001089197 A JP2001089197 A JP 2001089197A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- transparent
- silicon nitride
- metal
- transparent article
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 42
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 42
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 18
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical group [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 39
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 39
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 39
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 25
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 25
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 claims description 19
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 15
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 13
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 134
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 20
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 9
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 7
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 6
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000002845 discoloration Methods 0.000 description 3
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- BQCADISMDOOEFD-NJFSPNSNSA-N silver-110 Chemical compound [110Ag] BQCADISMDOOEFD-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N Sulphur dioxide Chemical compound O=S=O RAHZWNYVWXNFOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 2
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000416 bismuth oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000013065 commercial product Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N dibismuth;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Bi+3].[Bi+3] TYIXMATWDRGMPF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 230000003678 scratch resistant effect Effects 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003568 thioethers Chemical class 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003609 titanium compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000001429 visible spectrum Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3615—Coatings of the type glass/metal/other inorganic layers, at least one layer being non-metallic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3618—Coatings of type glass/inorganic compound/other inorganic layers, at least one layer being metallic
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3626—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer one layer at least containing a nitride, oxynitride, boronitride or carbonitride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3639—Multilayers containing at least two functional metal layers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3642—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating containing a metal layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3644—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the metal being silver
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3652—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the coating stack containing at least one sacrificial layer to protect the metal from oxidation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3657—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating having optical properties
- C03C17/366—Low-emissivity or solar control coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/34—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions
- C03C17/36—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal
- C03C17/3602—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer
- C03C17/3681—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with at least two coatings having different compositions at least one coating being a metal the metal being present as a layer the multilayer coating being used in glazing, e.g. windows or windscreens
-
- G02B1/105—
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/14—Protective coatings, e.g. hard coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/70—Properties of coatings
- C03C2217/78—Coatings specially designed to be durable, e.g. scratch-resistant
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
- Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
- Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
- Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 保護用窒化ケイ素フィルムを有する透明物品
を提供する。 【解決手段】 透明な非金属性基材と該基材上にスパッ
タ析出された透明なフィルムスタックとからなる透明物
品。該フィルムスタックは少なくとも１つの赤外線反射
金属フィルム、該金属フィルム上の誘電フィルム、およ
び該誘電フィルム上の厚さ１０Åないし１５０Åの保護
用窒化ケイ素フィルムを包含することを特徴とする。誘
電フィルムは望ましくは窒化ケイ素と実質的に同じ屈折
率を有し、そして窒化ケイ素フィルムと相接している。
を提供する。 【解決手段】 透明な非金属性基材と該基材上にスパッ
タ析出された透明なフィルムスタックとからなる透明物
品。該フィルムスタックは少なくとも１つの赤外線反射
金属フィルム、該金属フィルム上の誘電フィルム、およ
び該誘電フィルム上の厚さ１０Åないし１５０Åの保護
用窒化ケイ素フィルムを包含することを特徴とする。誘
電フィルムは望ましくは窒化ケイ素と実質的に同じ屈折
率を有し、そして窒化ケイ素フィルムと相接している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は基材のための透明コ
ーティングに関し、そして特に物理的および化学的に耐
性である透明コーティングに関するものである。
ーティングに関し、そして特に物理的および化学的に耐
性である透明コーティングに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ガラスおよび同様の透明基材はガラスの
光学的性質を変えるために透明フィルムでコーティング
され得る。高可視性の透過率で、低輻射率のコーティン
グは可視光を透過する能力を特徴とする一方、その他の
波長の光、特に赤外スペクトルの光の透過を最低限に抑
えることを特徴とする。この特徴は可視性を損なわずに
輻射熱移動を最低限に抑えるために有用であり、そして
このタイプのコーティングはガラスまたは自動車用ウイ
ンドウにおいて用途を見出す。コーティングが「無彩
（中性）」色、すなわち無色を有するように、可視スペ
クトルを介して比較的一定の反射率を維持することがし
ばしば望ましい。
光学的性質を変えるために透明フィルムでコーティング
され得る。高可視性の透過率で、低輻射率のコーティン
グは可視光を透過する能力を特徴とする一方、その他の
波長の光、特に赤外スペクトルの光の透過を最低限に抑
えることを特徴とする。この特徴は可視性を損なわずに
輻射熱移動を最低限に抑えるために有用であり、そして
このタイプのコーティングはガラスまたは自動車用ウイ
ンドウにおいて用途を見出す。コーティングが「無彩
（中性）」色、すなわち無色を有するように、可視スペ
クトルを介して比較的一定の反射率を維持することがし
ばしば望ましい。
【０００３】一般的に言えば、高い透過率および低い輻
射率が付与されるガラス上へのコーティングは、通常金
属酸化物フィルムである反射防止性誘電層の間に積層さ
れる高い赤外線反射率および低い伝達性を有する１また
はそれ以上の薄い金属フィルムを有するフィルムの積み
重ね（スタック）からなる。上記の金属酸化物の層は透
過率を高めるフィルムのスタックの可視性の反射を低下
させる作用を示し、そして通常１．９またはそれ以上の
オーダーの比較的高い屈折率を特徴とする。
射率が付与されるガラス上へのコーティングは、通常金
属酸化物フィルムである反射防止性誘電層の間に積層さ
れる高い赤外線反射率および低い伝達性を有する１また
はそれ以上の薄い金属フィルムを有するフィルムの積み
重ね（スタック）からなる。上記の金属酸化物の層は透
過率を高めるフィルムのスタックの可視性の反射を低下
させる作用を示し、そして通常１．９またはそれ以上の
オーダーの比較的高い屈折率を特徴とする。
【０００４】銀、銅等の薄い透明な金属フィルムは、そ
れらが湿気のある、または水気のある条件下で種々の汚
染物質、例えば大気中の塩化物、硫化物、二酸化硫黄等
と接触される場合、腐蝕（例えば汚染）を受けやすい。
このタイプのフィルムはマルチペインガラスユニット
（多層窓ガラスユニット）の内面に通常使用され、その
結果、フィルムはペイン間の空間から水分を除去する乾
燥剤等により乾燥状態に保持される。汚染はガラスの被
覆されたペインが後加工のために絶縁ガラスユニット中
に保存される場合に生じ得る。
れらが湿気のある、または水気のある条件下で種々の汚
染物質、例えば大気中の塩化物、硫化物、二酸化硫黄等
と接触される場合、腐蝕（例えば汚染）を受けやすい。
このタイプのフィルムはマルチペインガラスユニット
（多層窓ガラスユニット）の内面に通常使用され、その
結果、フィルムはペイン間の空間から水分を除去する乾
燥剤等により乾燥状態に保持される。汚染はガラスの被
覆されたペインが後加工のために絶縁ガラスユニット中
に保存される場合に生じ得る。
【０００５】フィルムスタックは頻繁に周囲との接触か
ら隔てられ、そして上記タイプのフィルムスタックはマ
ルチペイン絶縁ガラスユニットの内面の一方に設置され
得る。しかしながら、コーティングスタックを有するガ
ラスペインが移送されるか、またはマルチペインユニッ
ト中に組み込まれる際に、それらはしばしばフィルムス
タックの物理的な損傷を引き起こし得る比較的過酷な条
件に晒される。
ら隔てられ、そして上記タイプのフィルムスタックはマ
ルチペイン絶縁ガラスユニットの内面の一方に設置され
得る。しかしながら、コーティングスタックを有するガ
ラスペインが移送されるか、またはマルチペインユニッ
ト中に組み込まれる際に、それらはしばしばフィルムス
タックの物理的な損傷を引き起こし得る比較的過酷な条
件に晒される。
【０００６】通常、フィルムスタックは、例えばチャピ
ン(Chapin)の米国特許第４１６６０１８号に記載される
ようなマグネトロンスパッタリング法の使用により市販
の製品ベース上のガラスシート上に供給される。ギラリ
ー(Gillery) 等の米国特許第４７８６５６３号は保護層
として二酸化チタンの薄いオーバーコート（保護被膜）
の使用を示唆している。しかしながら、二酸化チタンの
オーバーコートは特に輸送および洗浄操作の間に引掻傷
や擦傷を生じ、ガラスペインが商品としての使用に不適
当なものになる傾向がある。オシャウフネシー(O'Shaug
hnessy) 等の米国特許第５２９６３０２号は酸化物、例
えば酸化亜鉛の保護用オーバーコートを供給することに
よりこの問題を解決しており、このオーバーコートはス
タックにおけるその他のフィルムに比べ相対的に非常に
薄く、そして１０−４０Åの範囲内の厚さを有するこの
タイプの保護用オーバーコートが開示されている。
ン(Chapin)の米国特許第４１６６０１８号に記載される
ようなマグネトロンスパッタリング法の使用により市販
の製品ベース上のガラスシート上に供給される。ギラリ
ー(Gillery) 等の米国特許第４７８６５６３号は保護層
として二酸化チタンの薄いオーバーコート（保護被膜）
の使用を示唆している。しかしながら、二酸化チタンの
オーバーコートは特に輸送および洗浄操作の間に引掻傷
や擦傷を生じ、ガラスペインが商品としての使用に不適
当なものになる傾向がある。オシャウフネシー(O'Shaug
hnessy) 等の米国特許第５２９６３０２号は酸化物、例
えば酸化亜鉛の保護用オーバーコートを供給することに
よりこの問題を解決しており、このオーバーコートはス
タックにおけるその他のフィルムに比べ相対的に非常に
薄く、そして１０−４０Åの範囲内の厚さを有するこの
タイプの保護用オーバーコートが開示されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】米国特許第５２９６３
０２号に記載されるタイプの高透過率の低輻射率フィル
ムスタックは引掻傷に対して優れた耐性にもかかわら
ず、それでも通常銀である反射金属層の曇りまたはその
他の変色に関連した問題を起こしていた。さらに、ある
種のフィルム、例えば酸化チタンのスパッタ積層は酸化
亜鉛に比べより遅いので、例えば３０Åを越える厚さの
酸化チタンフィルムの存在を回避するのが望ましいであ
ろう。
０２号に記載されるタイプの高透過率の低輻射率フィル
ムスタックは引掻傷に対して優れた耐性にもかかわら
ず、それでも通常銀である反射金属層の曇りまたはその
他の変色に関連した問題を起こしていた。さらに、ある
種のフィルム、例えば酸化チタンのスパッタ積層は酸化
亜鉛に比べより遅いので、例えば３０Åを越える厚さの
酸化チタンフィルムの存在を回避するのが望ましいであ
ろう。
【０００８】物理的損傷（例えば引掻き）に対するだけ
でなく、フィルムスタックに使用される金属反射層の曇
りや変色に対しても保護されたフィルムスタックを提供
することが望ましい。
でなく、フィルムスタックに使用される金属反射層の曇
りや変色に対しても保護されたフィルムスタックを提供
することが望ましい。
【０００９】
【課題を解決するための手段】我々は、フィルムスタッ
クにおける保護フィルムとしてケイ素と窒素の化合物、
例えば窒化ケイ素の薄いスパッタオンフィルムの適用が
下層の金属（例えば銀）フィルムに腐蝕に対する優れた
耐性を与える一方、スタックの光学的性質に実質的に全
く影響を与えることなしに、下層のスタックに物理的損
傷に対する耐性を与えることを見出した。好ましくは、
窒化ケイ素保護フィルムのすぐ下のフィルムは窒化ケイ
素と実質的に同じ屈折率、すなわち約２．０±０．１の
屈折率を有する誘電フィルムである。窒化ケイ素フィル
ムのすぐ下のフィルムは金属酸化物、例えば亜鉛もしく
はスズの酸化物またはそれらの合金からなるものであっ
てよく、これらの酸化物は実質的に同じ屈折率を有す
る。このようにして、当該フィルムスタックの光学的性
質は相接して結合される酸化亜鉛／窒化ケイ素フィルム
の厚さを調整することにより調整され得る。望ましく
は、窒化ケイ素フィルムは少なくとも１０Åの厚さであ
り、そして１５０Å未満、好ましくは１００Å以下、そ
して最も好ましくは約５０Å以下で存在する。フィルム
スタックはチタン化合物、例えば酸化チタンの薄い（通
常約２０Å以下の）犠牲的または遮蔽用フィルムを有し
てもよいが、該スタックは約３０Åを越える厚さを有す
るチタン含有フィルムがないことが望ましい。
クにおける保護フィルムとしてケイ素と窒素の化合物、
例えば窒化ケイ素の薄いスパッタオンフィルムの適用が
下層の金属（例えば銀）フィルムに腐蝕に対する優れた
耐性を与える一方、スタックの光学的性質に実質的に全
く影響を与えることなしに、下層のスタックに物理的損
傷に対する耐性を与えることを見出した。好ましくは、
窒化ケイ素保護フィルムのすぐ下のフィルムは窒化ケイ
素と実質的に同じ屈折率、すなわち約２．０±０．１の
屈折率を有する誘電フィルムである。窒化ケイ素フィル
ムのすぐ下のフィルムは金属酸化物、例えば亜鉛もしく
はスズの酸化物またはそれらの合金からなるものであっ
てよく、これらの酸化物は実質的に同じ屈折率を有す
る。このようにして、当該フィルムスタックの光学的性
質は相接して結合される酸化亜鉛／窒化ケイ素フィルム
の厚さを調整することにより調整され得る。望ましく
は、窒化ケイ素フィルムは少なくとも１０Åの厚さであ
り、そして１５０Å未満、好ましくは１００Å以下、そ
して最も好ましくは約５０Å以下で存在する。フィルム
スタックはチタン化合物、例えば酸化チタンの薄い（通
常約２０Å以下の）犠牲的または遮蔽用フィルムを有し
てもよいが、該スタックは約３０Åを越える厚さを有す
るチタン含有フィルムがないことが望ましい。
【００１０】一つの態様において、本発明は透明支持
体、例えばその上にスパッタ析出された透明なフィルム
スタックを有するガラスを有し、該フィルムスタックは
反射金属フィルム、該金属フィルム上の誘電フィルムお
よび該誘電フィルム上の薄い（１０Å−１５０Å）保護
用窒化ケイ素フィルムからなる。もう一つの態様におい
て、本発明は誘電フィルムにより分断された一対の反射
金属フィルムを有し、フィルムスタックは外側誘電フィ
ルムと該外側誘電フィルム上の窒化ケイ素の薄い保護フ
ィルムとを包含する透明物品に関する。望ましくは、保
護用窒化ケイ素フィルムの直下の誘電フィルムは窒化ケ
イ素のものと実質的に同じ屈折率を有する金属酸化物フ
ィルム、例えば酸化亜鉛または酸化スズであり、その結
果、外側誘電フィルムおよび窒化ケイ素フィルムはスタ
ックの光学的性質を調整するための単一フィルムとして
処理され得る。
体、例えばその上にスパッタ析出された透明なフィルム
スタックを有するガラスを有し、該フィルムスタックは
反射金属フィルム、該金属フィルム上の誘電フィルムお
よび該誘電フィルム上の薄い（１０Å−１５０Å）保護
用窒化ケイ素フィルムからなる。もう一つの態様におい
て、本発明は誘電フィルムにより分断された一対の反射
金属フィルムを有し、フィルムスタックは外側誘電フィ
ルムと該外側誘電フィルム上の窒化ケイ素の薄い保護フ
ィルムとを包含する透明物品に関する。望ましくは、保
護用窒化ケイ素フィルムの直下の誘電フィルムは窒化ケ
イ素のものと実質的に同じ屈折率を有する金属酸化物フ
ィルム、例えば酸化亜鉛または酸化スズであり、その結
果、外側誘電フィルムおよび窒化ケイ素フィルムはスタ
ックの光学的性質を調整するための単一フィルムとして
処理され得る。
【００１１】
【発明の実施の形態】まず図１を参照すると、透明物品
１０はフィルムスタック１４を持つガラスシート１２を
含むものとして示されている。フィルムスタック１４は
慣用の方法により製造され得るが、米国特許第４１６６
０１８号に記載されたタイプのマグネトロンスパッタリ
ング法（この方法は参照により本明細書に編入される）
が好ましい。この方法において、ガラスシート１２はフ
ィルムスタック１４を構成する種々のフィルムが順に適
用される一連の低圧ゾーンを介して移送される。金属性
フィルムは金属供給源または「ターゲット」からスパッ
タされる（スパッタリングが行われる）。金属酸化物ま
たは金属窒化物フィルムは反応性酸素または窒素雰囲気
中で金属をスパッタするか、または金属を基材上にスパ
ッタしてフィルムを形成し、次に金属フィルムを酸素ま
たは窒素の反応性雰囲気に晒すことにより形成され得
る。望ましいならば、異なる金属酸化物の２またはそれ
以上の相接するフィルムが単一の金属酸化物フィルムの
代わりに使用されてもよい。マグネトロンスパッタリン
グ法はこの分野で十分に公知であり、そしてここでは詳
細に説明する必要はない。
１０はフィルムスタック１４を持つガラスシート１２を
含むものとして示されている。フィルムスタック１４は
慣用の方法により製造され得るが、米国特許第４１６６
０１８号に記載されたタイプのマグネトロンスパッタリ
ング法（この方法は参照により本明細書に編入される）
が好ましい。この方法において、ガラスシート１２はフ
ィルムスタック１４を構成する種々のフィルムが順に適
用される一連の低圧ゾーンを介して移送される。金属性
フィルムは金属供給源または「ターゲット」からスパッ
タされる（スパッタリングが行われる）。金属酸化物ま
たは金属窒化物フィルムは反応性酸素または窒素雰囲気
中で金属をスパッタするか、または金属を基材上にスパ
ッタしてフィルムを形成し、次に金属フィルムを酸素ま
たは窒素の反応性雰囲気に晒すことにより形成され得
る。望ましいならば、異なる金属酸化物の２またはそれ
以上の相接するフィルムが単一の金属酸化物フィルムの
代わりに使用されてもよい。マグネトロンスパッタリン
グ法はこの分野で十分に公知であり、そしてここでは詳
細に説明する必要はない。
【００１２】図１を参照すると、ガラスペイン１２の表
面１３上には、第１の反射防止フィルム１６が、次の金
属フィルム１８とガラス基材１２との間の界面から生じ
得るあらゆる反射を減らすかまたは解消するために十分
な厚さにスパッタ析出されている。フィルム１６に使用
される適当な金属酸化物は酸化亜鉛、酸化スズ、酸化イ
ンジウム、酸化ビスマス、酸化チタン、酸化ハフニウム
および酸化ジルコニウム、ならびにそれらの組合せを包
含するが、特に好ましい態様において、内部金属酸化物
フィルム１６は１２０−７００Åの範囲、好ましくは３
００−７００Åの範囲の厚さの酸化亜鉛から構成され
る。
面１３上には、第１の反射防止フィルム１６が、次の金
属フィルム１８とガラス基材１２との間の界面から生じ
得るあらゆる反射を減らすかまたは解消するために十分
な厚さにスパッタ析出されている。フィルム１６に使用
される適当な金属酸化物は酸化亜鉛、酸化スズ、酸化イ
ンジウム、酸化ビスマス、酸化チタン、酸化ハフニウム
および酸化ジルコニウム、ならびにそれらの組合せを包
含するが、特に好ましい態様において、内部金属酸化物
フィルム１６は１２０−７００Åの範囲、好ましくは３
００−７００Åの範囲の厚さの酸化亜鉛から構成され
る。
【００１３】金属酸化物フィルム１６のスパッタ析出に
続いて、反射金属フィルム１８、例えば銀、金、銅また
はアルミニウムがスパッタ析出され、金属は好ましくは
約７０Åないし約１５０Åの範囲の厚さに析出された銀
であり、約１１０Åの厚さが最も好ましい。保護されな
いならば、得られる金属性銀フィルムは酸素等の反応性
の気体と反応するであろう。従って、金属フィルム１８
上に直接、薄い犠牲金属フィルム（本明細書では「遮
蔽」フィルムと記載する）、例えばチタンがスパッタ析
出され、その金属フィルム２０は、この例では次の金属
酸化物フィルム２２のスパッタ析出の間に下層の銀フィ
ルム１８を遮蔽および保護し、そして銀フィルムが酸化
されるのを防止する。このようにして得られるフィルム
２０は反射銀フィルム１８に直接チタン金属の薄いフィ
ルムの適用、そしてそれに続いてチタンフィルムの酸化
により直接形成される。オーバーレイ金属酸化物フィル
ム２２が金属を反応性酸素雰囲気中にスパッタすること
により適用される場合、チタン金属フィルムは酸化して
酸化チタンを形成し、そのようにして下層の銀フィルム
を遮蔽するように作用する。約２０Åの遮蔽チタンフィ
ルムは十分に機能し、そして記載したように、酸化チタ
ンフィルム２０の形成を導く。
続いて、反射金属フィルム１８、例えば銀、金、銅また
はアルミニウムがスパッタ析出され、金属は好ましくは
約７０Åないし約１５０Åの範囲の厚さに析出された銀
であり、約１１０Åの厚さが最も好ましい。保護されな
いならば、得られる金属性銀フィルムは酸素等の反応性
の気体と反応するであろう。従って、金属フィルム１８
上に直接、薄い犠牲金属フィルム（本明細書では「遮
蔽」フィルムと記載する）、例えばチタンがスパッタ析
出され、その金属フィルム２０は、この例では次の金属
酸化物フィルム２２のスパッタ析出の間に下層の銀フィ
ルム１８を遮蔽および保護し、そして銀フィルムが酸化
されるのを防止する。このようにして得られるフィルム
２０は反射銀フィルム１８に直接チタン金属の薄いフィ
ルムの適用、そしてそれに続いてチタンフィルムの酸化
により直接形成される。オーバーレイ金属酸化物フィル
ム２２が金属を反応性酸素雰囲気中にスパッタすること
により適用される場合、チタン金属フィルムは酸化して
酸化チタンを形成し、そのようにして下層の銀フィルム
を遮蔽するように作用する。約２０Åの遮蔽チタンフィ
ルムは十分に機能し、そして記載したように、酸化チタ
ンフィルム２０の形成を導く。
【００１４】図１に示された態様において、適用される
べき次のフィルムは金属酸化物であることが望ましく、
そして最も望ましくは窒化ケイ素と実質的に同じ屈折率
を有する誘電反射防止フィルムである。例えば、窒化ケ
イ素および酸化亜鉛または酸化スズの屈折率は実質的に
同じである。誘電反射防止フィルム２２は１５０−３５
０Åの範囲内の厚さを有してもよい。
べき次のフィルムは金属酸化物であることが望ましく、
そして最も望ましくは窒化ケイ素と実質的に同じ屈折率
を有する誘電反射防止フィルムである。例えば、窒化ケ
イ素および酸化亜鉛または酸化スズの屈折率は実質的に
同じである。誘電反射防止フィルム２２は１５０−３５
０Åの範囲内の厚さを有してもよい。
【００１５】最後に、反射防止誘電フィルム２２の上に
は、窒化ケイ素の薄いフィルム２４がスパッタ析出さ
れ、該フィルム２４は望ましくは窒素雰囲気中のケイ素
ターゲット（適当にはドープされてそれを導電性にす
る）からスパッタ析出される。薄い窒化ケイ素フィルム
はシートの光学的性質を過度に妨げないあらゆる厚さで
存在し得、そして約１０Åないし約１５０Åの範囲内の
窒化ケイ素の厚さが適当である。窒化ケイ素フィルムは
約５０Åより厚くないことが一般に望ましい。
は、窒化ケイ素の薄いフィルム２４がスパッタ析出さ
れ、該フィルム２４は望ましくは窒素雰囲気中のケイ素
ターゲット（適当にはドープされてそれを導電性にす
る）からスパッタ析出される。薄い窒化ケイ素フィルム
はシートの光学的性質を過度に妨げないあらゆる厚さで
存在し得、そして約１０Åないし約１５０Åの範囲内の
窒化ケイ素の厚さが適当である。窒化ケイ素フィルムは
約５０Åより厚くないことが一般に望ましい。
【００１６】窒化ケイ素フィルム２４および下層の誘電
層２２が実質的に同じ屈折率を有し、そして相接してい
るならば、これらの２つのフィルムはフィルムスタック
１４の光学的性質を決定および調整するための単一フィ
ルム２６として処理され得る。すなわち、この例におけ
るフィルム２２および２４の相対的な厚さはフィルムス
タックの光学的性質にはたとえあるとしてもほとんど影
響を与えず、むしろ、それは所望の光学的性質を与える
ように調整され得るこれらのフィルムの合計の厚さであ
る。フィルム２２およひ２４の合計の厚さは約２５０な
いし約４００Åの範囲内であることが望ましい。単一の
反射金属フィルムのみを有するフィルムスタック、例え
ば図１に示されるスタックの場合、フィルム２２および
２４の合計の厚さは３００−３５０Åが好ましく、これ
に対し、２またはそれ以上の金属反射層を用いるフィル
ムスタック、例えば図２に示されるスタックの場合、フ
ィルム２２’および２４’の合計の厚さは２７５−３２
５Åが好ましい。
層２２が実質的に同じ屈折率を有し、そして相接してい
るならば、これらの２つのフィルムはフィルムスタック
１４の光学的性質を決定および調整するための単一フィ
ルム２６として処理され得る。すなわち、この例におけ
るフィルム２２および２４の相対的な厚さはフィルムス
タックの光学的性質にはたとえあるとしてもほとんど影
響を与えず、むしろ、それは所望の光学的性質を与える
ように調整され得るこれらのフィルムの合計の厚さであ
る。フィルム２２およひ２４の合計の厚さは約２５０な
いし約４００Åの範囲内であることが望ましい。単一の
反射金属フィルムのみを有するフィルムスタック、例え
ば図１に示されるスタックの場合、フィルム２２および
２４の合計の厚さは３００−３５０Åが好ましく、これ
に対し、２またはそれ以上の金属反射層を用いるフィル
ムスタック、例えば図２に示されるスタックの場合、フ
ィルム２２’および２４’の合計の厚さは２７５−３２
５Åが好ましい。
【００１７】次に図２を参照すると、同じ厚さである必
要はない一連のフィルム１８，２０および２２が反復さ
れていることを除いて、図１のものと同様の態様が示さ
れている。図１に示されているものと同じ要素にはプラ
イム（’）が付された同じ数字が与えられている。
要はない一連のフィルム１８，２０および２２が反復さ
れていることを除いて、図１のものと同様の態様が示さ
れている。図１に示されているものと同じ要素にはプラ
イム（’）が付された同じ数字が与えられている。
【００１８】図２において、透明支持材１２’、例えば
ガラスは第１の誘電反射防止フィルム１６’と共に与え
られ、次に赤外線反射金属フィルム１８’、例えば銀が
与えられる。銀フィルムの上には、引続き酸化チタンに
酸化される薄いチタン金属遮蔽フィルムがスパッタ析出
され、次いで次の反射防止誘電フィルム２８が例えば酸
化亜鉛の形態で適用される。その後、フィルム１８’と
同様である金属フィルム３０が適用され、次に酸化チタ
ンに続いて酸化され、そして３２で表示されるチタン遮
蔽フィルムが適用され、次いで誘電反射防止フィルム、
例えば酸化亜鉛フィルム２２’が適用される。誘電フィ
ルム２２’上には、２４’で表示される薄い窒化ケイ素
保護フィルムが積層されている。
ガラスは第１の誘電反射防止フィルム１６’と共に与え
られ、次に赤外線反射金属フィルム１８’、例えば銀が
与えられる。銀フィルムの上には、引続き酸化チタンに
酸化される薄いチタン金属遮蔽フィルムがスパッタ析出
され、次いで次の反射防止誘電フィルム２８が例えば酸
化亜鉛の形態で適用される。その後、フィルム１８’と
同様である金属フィルム３０が適用され、次に酸化チタ
ンに続いて酸化され、そして３２で表示されるチタン遮
蔽フィルムが適用され、次いで誘電反射防止フィルム、
例えば酸化亜鉛フィルム２２’が適用される。誘電フィ
ルム２２’上には、２４’で表示される薄い窒化ケイ素
保護フィルムが積層されている。
【００１９】窒化ケイ素フィルム２４，２４’はフィル
ムスタックの最外層またはオーバーコート（保護被膜）
フィルムであることが望ましいけれども、場合によって
は、次の引掻き耐性が非常に高い薄いフィルム３４、例
えばその教示は参照により本明細書に編入される米国特
許第５２９６３０２号に報告されたような酸化亜鉛のフ
ィルムを加えることが望ましい。後者のフィルム３４は
望ましくは約１０ないし約４０Åの範囲内の厚さで適用
されるのが望ましく、そしてスタックの残りの光学的特
性には顕著に影響を与えない。オーバーコート３４は酸
化亜鉛からなることが望ましいけれども、スズ、インジ
ウム、ビスマスおよびそれらの合金からなる群から選択
される金属の酸化物から形成されてもよい。
ムスタックの最外層またはオーバーコート（保護被膜）
フィルムであることが望ましいけれども、場合によって
は、次の引掻き耐性が非常に高い薄いフィルム３４、例
えばその教示は参照により本明細書に編入される米国特
許第５２９６３０２号に報告されたような酸化亜鉛のフ
ィルムを加えることが望ましい。後者のフィルム３４は
望ましくは約１０ないし約４０Åの範囲内の厚さで適用
されるのが望ましく、そしてスタックの残りの光学的特
性には顕著に影響を与えない。オーバーコート３４は酸
化亜鉛からなることが望ましいけれども、スズ、インジ
ウム、ビスマスおよびそれらの合金からなる群から選択
される金属の酸化物から形成されてもよい。
【００２０】図１および２に示されたタイプのフィルム
スタックはスパッタ析出されて下の表１および２にまと
められているタイプおよび厚さの一連のフィルムを形成
され得る。酸化亜鉛は酸素含有雰囲気中の亜鉛ターゲッ
トからスパッタ析出され、そして窒化ケイ素は窒素含有
雰囲気中のドープされたケイ素ターゲットからスパッタ
析出される。もちろん、追加のフィルム、例えば窒化チ
タン、チタン、ステンレス鋼およびその他の金属および
金属の酸化物が所望通りに使用され得るが、表１および
２に列挙されたフィルムは互いに相接していることが望
ましい。
スタックはスパッタ析出されて下の表１および２にまと
められているタイプおよび厚さの一連のフィルムを形成
され得る。酸化亜鉛は酸素含有雰囲気中の亜鉛ターゲッ
トからスパッタ析出され、そして窒化ケイ素は窒素含有
雰囲気中のドープされたケイ素ターゲットからスパッタ
析出される。もちろん、追加のフィルム、例えば窒化チ
タン、チタン、ステンレス鋼およびその他の金属および
金属の酸化物が所望通りに使用され得るが、表１および
２に列挙されたフィルムは互いに相接していることが望
ましい。
【００２１】表１ 材料 厚さ，Å ガラス 酸化亜鉛 ３７０ 銀 １１０ チタン* ２０ 酸化亜鉛 ２２５ 窒化ケイ素 １００表２ 材料 厚さ，Å ガラス 酸化亜鉛 １２０ 銀 １１０ チタン* ２０ 酸化亜鉛 ６００ 銀 １１０ チタン* ２０ 酸化亜鉛 ２３０ 窒化ケイ素 １００* 引続き酸化チタンに変換される遮蔽フィルム
【００２２】約１０Åないし約１５０Åの範囲の厚さを
有する窒化ケイ素保護用オーバーコートを利用する記載
されたタイプのフィルムスタックは、米国特許第５２９
６３０２号に示されたタイプのフィルムスタックに比
べ、金属フィルムの変色に対する耐性に関し、優れた結
果が得られることが示されている。試験の一つの系にお
いて、表１および２に示されるようなほぼ同一の構成の
フィルムスタックを有するガラスシートは厳しい耐候性
試験に暴露された：小さいポリスチレンビーズにより分
断された被覆ガラスシートのラックが密閉された空間内
に設置され、そして高湿度および高温（各期間は９０°
Ｆおよび６０％の相対湿度で１６時間である）と比較的
低温および低湿度（６５−７０°Ｆ，３０％の相対湿
度）のサイクルに暴露する。２１日（２１サイクル）
後、窒化ケイ素オーバーコートを有するフィルムスタッ
クは目に見える変化はなかったが、その他のフィルムス
タックは銀層に対する損傷と関連する商品として不適切
な斑点を生じた。
有する窒化ケイ素保護用オーバーコートを利用する記載
されたタイプのフィルムスタックは、米国特許第５２９
６３０２号に示されたタイプのフィルムスタックに比
べ、金属フィルムの変色に対する耐性に関し、優れた結
果が得られることが示されている。試験の一つの系にお
いて、表１および２に示されるようなほぼ同一の構成の
フィルムスタックを有するガラスシートは厳しい耐候性
試験に暴露された：小さいポリスチレンビーズにより分
断された被覆ガラスシートのラックが密閉された空間内
に設置され、そして高湿度および高温（各期間は９０°
Ｆおよび６０％の相対湿度で１６時間である）と比較的
低温および低湿度（６５−７０°Ｆ，３０％の相対湿
度）のサイクルに暴露する。２１日（２１サイクル）
後、窒化ケイ素オーバーコートを有するフィルムスタッ
クは目に見える変化はなかったが、その他のフィルムス
タックは銀層に対する損傷と関連する商品として不適切
な斑点を生じた。
【００２３】これまで本発明の好ましい態様が記載され
てきたが、本発明の精神および添付の請求の範囲の範囲
から逸脱することなしに、種々の変更、付加および変形
が上記態様になされ得ることは理解されるべきである。
てきたが、本発明の精神および添付の請求の範囲の範囲
から逸脱することなしに、種々の変更、付加および変形
が上記態様になされ得ることは理解されるべきである。
【図１】 図１は、本発明の一態様に係る本発明のフィ
ルムスタックで被覆された基材の模式図である。
ルムスタックで被覆された基材の模式図である。
【図２】 図２は、本発明の別の態様に係るフィルムス
タックで被覆された基材の模式図である。
タックで被覆された基材の模式図である。
フロントページの続き (72)発明者 スタネック，ロジャー ピー. アメリカ合衆国 ウイスコンシン 53588 スプリング グリーン シンシナチ ス トリート 633 (72)発明者 ホフマン，ウエイン アメリカ合衆国 ウイスコンシン 53588 スプリング グリーン ローリング リ ッジ イー 4980
Claims (20)
- 【請求項１】 透明な非金属性基材と該基材上にスパッ
タ析出された透明なフィルムスタックとからなり、該フ
ィルムスタックは順に金属フィルム、誘電フィルムおよ
び窒化ケイ素の保護フィルムからなる透明物品。 - 【請求項２】 誘電フィルムが窒化ケイ素の屈折率と実
質的に同じ屈折率を有する請求項１記載の透明物品。 - 【請求項３】 前記誘電フィルムと窒化ケイ素オーバー
コートとの合計の厚さが２５０ないし４００Åの範囲で
ある請求項２記載の透明物品。 - 【請求項４】 前記誘電フィルムと窒化ケイ素フィルム
が相接している請求項２記載の透明物品。 - 【請求項５】 前記誘電フィルムが酸化亜鉛である請求
項１ないし４のいずれか１項に記載の透明物品。 - 【請求項６】 金属フィルムが銀である請求項１記載の
透明物品。 - 【請求項７】 透明な非金属性基材と該基材上にスパッ
タ析出された透明なフィルムスタックとからなり、該フ
ィルムスタックは順に透明基材に相接している誘電フィ
ルム、金属フィルム、該金属フィルムに相接している遮
蔽フィルム、金属酸化物フィルムおよび該金属酸化物フ
ィルムに相接している窒化ケイ素からなる１０Åないし
１５０Åの保護フィルムからなる透明物品。 - 【請求項８】 金属フィルムが銀である請求項７記載の
透明物品。 - 【請求項９】 金属酸化物フィルムの屈折率が窒化ケイ
素と実質的に同一である請求項７記載の透明物品。 - 【請求項１０】 遮蔽フィルムと金属酸化物フィルムと
が相接している請求項７記載の透明物品。 - 【請求項１１】 金属酸化物フィルムが酸化亜鉛である
請求項１０記載の透明物品。 - 【請求項１２】 透明な非金属性基材と該基材上にスパ
ッタ析出された透明なフィルムスタックとからなり、該
フィルムスタックは順に金属フィルム、該金属フィルム
に相接している第１の遮蔽フィルム、金属酸化物フィル
ムおよび該金属酸化物フィルムに接触し、そして１０Å
ないし１５０Åの厚さを有する窒化ケイ素の保護用オー
バーコートからなり、そして上記金属酸化物フィルムと
オーバーコートフィルムの屈折率は実質的に同一である
透明物品。 - 【請求項１３】 第２の金属酸化物フィルムと窒化ケイ
素オーバーコートとの合計の厚さが３００ないし３５０
Åの範囲である請求項１２記載の透明物品。 - 【請求項１４】 第３の金属酸化物フィルムと窒化ケイ
素オーバーコートとの合計の厚さが２７５ないし３２５
Åの範囲である請求項１２記載の透明物品。 - 【請求項１５】 金属酸化物フィルムが亜鉛の酸化物も
しくは酸化スズまたはそれらの合金である請求項１４記
載の透明物品。 - 【請求項１６】 透明な非金属性基材と該基材上にスパ
ッタ析出された透明なフィルムスタックとからなり、該
フィルムスタックは順に、透明基材上に析出された誘電
ベースフィルム、金属フィルム、中間誘電フィルム、第
２の金属フィルム、外側誘電フィルムおよび１０Åない
し１５０Åの厚さを有する窒化ケイ素の保護用オーバー
コートからなる透明物品。 - 【請求項１７】 外側誘電フィルムが窒化ケイ素と実質
的に同じ屈折率を有する請求項１６記載の透明物品。 - 【請求項１８】 外側誘電フィルムが酸化亜鉛である請
求項１７記載の透明物品。 - 【請求項１９】 外側誘電フィルムと窒化ケイ素オーバ
ーコートの合計の厚さが２５０ないし４００Åの範囲で
ある請求項１７記載の透明物品。 - 【請求項２０】 フィルムスタックが約３０Åを越える
厚さを有するチタン含有フィルムを持たない請求項１２
および１６のいずれかに記載の透明物品。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US23793194A | 1994-05-03 | 1994-05-03 | |
| US08/237,931 | 1994-05-03 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52848695A Division JP3348245B2 (ja) | 1994-05-03 | 1995-05-02 | 保護用窒化ケイ素フィルムを有する透明物品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001089197A true JP2001089197A (ja) | 2001-04-03 |
Family
ID=22895831
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52848695A Expired - Fee Related JP3348245B2 (ja) | 1994-05-03 | 1995-05-02 | 保護用窒化ケイ素フィルムを有する透明物品 |
| JP2000223672A Pending JP2001089197A (ja) | 1994-05-03 | 2000-07-25 | 保護用窒化ケイ素フィルムを有する透明物品 |
Family Applications Before (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52848695A Expired - Fee Related JP3348245B2 (ja) | 1994-05-03 | 1995-05-02 | 保護用窒化ケイ素フィルムを有する透明物品 |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5834103A (ja) |
| EP (1) | EP0758306B2 (ja) |
| JP (2) | JP3348245B2 (ja) |
| AT (1) | ATE169288T1 (ja) |
| DE (1) | DE69503896T3 (ja) |
| DK (1) | DK0758306T3 (ja) |
| ES (1) | ES2122595T3 (ja) |
| MX (1) | MX9605356A (ja) |
| WO (1) | WO1995029883A1 (ja) |
Families Citing this family (70)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6673438B1 (en) * | 1994-05-03 | 2004-01-06 | Cardinal Cg Company | Transparent article having protective silicon nitride film |
| FR2728559B1 (fr) * | 1994-12-23 | 1997-01-31 | Saint Gobain Vitrage | Substrats en verre revetus d'un empilement de couches minces a proprietes de reflexion dans l'infrarouge et/ou dans le domaine du rayonnement solaire |
| BR9702119A (pt) * | 1996-03-07 | 1999-01-26 | Saint Gobain Vitrage | Processo de deposição particularmente em regime contínuo sobre uma tira de vidro de uma linha "float" de uma camada refletora á base de metal vidraça espelho e substrato de vidro |
| GB9606281D0 (en) * | 1996-03-26 | 1996-05-29 | Glaverbel | Coated substrate for a transparent assembly with high selectivity |
| GB2311791A (en) * | 1996-04-02 | 1997-10-08 | Glaverbel | Gold-tinted glazing panels |
| JPH10213708A (ja) * | 1997-01-29 | 1998-08-11 | Alps Electric Co Ltd | 光吸収フィルタ |
| US6124912A (en) * | 1997-06-09 | 2000-09-26 | National Semiconductor Corporation | Reflectance enhancing thin film stack in which pairs of dielectric layers are on a reflector and liquid crystal is on the dielectric layers |
| US20050096288A1 (en) * | 1997-06-13 | 2005-05-05 | Aragene, Inc. | Lipoproteins as nucleic acid vectors |
| US6495251B1 (en) | 1997-06-20 | 2002-12-17 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Silicon oxynitride protective coatings |
| FR2766174B1 (fr) * | 1997-07-21 | 1999-08-20 | Saint Gobain Vitrage | Substrat transparent revetu d'au moins une couche mince |
| ATE272583T1 (de) | 1997-12-11 | 2004-08-15 | Saint Gobain | Durchsichtiges substrat mit einem dünnschichtaufbau mit infrarot reflaktierenden eigenschaften |
| ES2228151T3 (es) | 1998-12-18 | 2005-04-01 | Glaverbel | Panel de acristalamiento. |
| US6610410B2 (en) | 1998-12-18 | 2003-08-26 | Asahi Glass Company, Limited | Glazing panel |
| PL199886B1 (pl) * | 1998-12-18 | 2008-11-28 | Agc Flat Glass Europe Sa | Panel oszkleniowy i sposób wytwarzania panelu oszkleniowego |
| ES2243093T3 (es) * | 1998-12-18 | 2005-11-16 | Glaverbel | Panel de acristalmiento. |
| DE69907747T2 (de) * | 1998-12-18 | 2004-02-26 | Glaverbel | Verglasungsscheibe |
| WO2000037382A1 (en) * | 1998-12-18 | 2000-06-29 | Glaverbel | Glazing panel |
| US6490091B1 (en) * | 1999-01-21 | 2002-12-03 | Viratec Thin Films, Inc. | Display panel filter and method of making the same |
| US6350397B1 (en) | 1999-03-10 | 2002-02-26 | Aspen Research Corporation | Optical member with layer having a coating geometry and composition that enhance cleaning properties |
| US6797388B1 (en) | 1999-03-18 | 2004-09-28 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Methods of making low haze coatings and the coatings and coated articles made thereby |
| KR100424254B1 (ko) * | 1999-08-06 | 2004-03-22 | 삼성에스디아이 주식회사 | 플라즈마 표시 장치용 광학 필터 |
| AU7920400A (en) * | 1999-10-14 | 2001-04-23 | Glaverbel | Glazing |
| JP3477148B2 (ja) * | 1999-12-02 | 2003-12-10 | カーディナル・シージー・カンパニー | 耐曇り性透明フィルム積層体 |
| US6445503B1 (en) | 2000-07-10 | 2002-09-03 | Guardian Industries Corp. | High durable, low-E, heat treatable layer coating system |
| US6576349B2 (en) | 2000-07-10 | 2003-06-10 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable low-E coated articles and methods of making same |
| DE10196704B3 (de) * | 2000-09-29 | 2013-03-14 | Nippon Sheet Glass Co., Ltd. | Transparentes geschichtetes Erzeugnis mit einem Auftrag mit geringem Emissionsvermögen |
| FR2818272B1 (fr) | 2000-12-15 | 2003-08-29 | Saint Gobain | Vitrage muni d'un empilement de couches minces pour la protection solaire et/ou l'isolation thermique |
| JP3322262B2 (ja) * | 2000-12-22 | 2002-09-09 | 日本電気株式会社 | 無線携帯端末通信システム |
| US20030043464A1 (en) * | 2001-08-30 | 2003-03-06 | Dannenberg Rand David | Optical coatings and associated methods |
| US20030049464A1 (en) | 2001-09-04 | 2003-03-13 | Afg Industries, Inc. | Double silver low-emissivity and solar control coatings |
| US6676859B2 (en) * | 2001-09-19 | 2004-01-13 | Gentex Corporation | Substrate mounting for organic, dielectric, optical film |
| US6942923B2 (en) | 2001-12-21 | 2005-09-13 | Guardian Industries Corp. | Low-e coating with high visible transmission |
| US6936347B2 (en) * | 2001-10-17 | 2005-08-30 | Guardian Industries Corp. | Coated article with high visible transmission and low emissivity |
| US6602608B2 (en) * | 2001-11-09 | 2003-08-05 | Guardian Industries, Corp. | Coated article with improved barrier layer structure and method of making the same |
| DE10155273B4 (de) * | 2001-11-09 | 2006-03-23 | Guardian Flachglas Gmbh | Verwendung einer Verglasungseinheit als Brandschutzglas |
| US6830817B2 (en) | 2001-12-21 | 2004-12-14 | Guardian Industries Corp. | Low-e coating with high visible transmission |
| US6919133B2 (en) * | 2002-03-01 | 2005-07-19 | Cardinal Cg Company | Thin film coating having transparent base layer |
| CA2477844C (en) * | 2002-03-01 | 2010-10-05 | Cardinal Cg Company | Thin film coating having niobium-titanium layer |
| US7063893B2 (en) * | 2002-04-29 | 2006-06-20 | Cardinal Cg Company | Low-emissivity coating having low solar reflectance |
| US6787005B2 (en) | 2002-09-04 | 2004-09-07 | Guardian Industries Corp. | Methods of making coated articles by sputtering silver in oxygen inclusive atmosphere |
| US20040121146A1 (en) * | 2002-12-20 | 2004-06-24 | Xiao-Ming He | Composite barrier films and method |
| US7005190B2 (en) * | 2002-12-20 | 2006-02-28 | Guardian Industries Corp. | Heat treatable coated article with reduced color shift at high viewing angles |
| FR2856627B1 (fr) * | 2003-06-26 | 2006-08-11 | Saint Gobain | Substrat transparent muni d'un revetement avec proprietes de resistance mecanique |
| DE102004001655A1 (de) * | 2004-01-12 | 2005-08-04 | Interpane Entwicklungs- Und Beratungsgesellschaft Mbh & Co.Kg | Mit einer Wärmeschutzschicht beschichtetes Substrat |
| US9051211B2 (en) | 2004-04-27 | 2015-06-09 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Effects of methods of manufacturing sputtering targets on characteristics of coatings |
| US7947373B2 (en) * | 2004-10-14 | 2011-05-24 | Pittsburgh Glass Works, Llc | High luminance coated glass |
| EP1650173A1 (de) * | 2004-10-19 | 2006-04-26 | Applied Films GmbH & Co. KG | Glasbeschichtung |
| US7291251B2 (en) * | 2004-10-19 | 2007-11-06 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) | Method of making coated article with IR reflecting layer(s) using krypton gas |
| US7390572B2 (en) | 2004-11-05 | 2008-06-24 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) | Coated article with IR reflecting layer(s) and method of making same |
| US20090258222A1 (en) * | 2004-11-08 | 2009-10-15 | Agc Flat Glass Europe S.A. | Glazing panel |
| ATE460271T1 (de) * | 2005-03-31 | 2010-03-15 | Cardinal Cg Co | Gegen anlaufen beständige beschichtungen mit geringem emissionsvermögen |
| WO2006124503A2 (en) | 2005-05-12 | 2006-11-23 | Agc Flat Glass North America, Inc. | Low emissivity coating with low solar heat gain coefficient, enhanced chemical and mechanical properties and method of making the same |
| US7597962B2 (en) * | 2005-06-07 | 2009-10-06 | Centre Luxembourgeois De Recherches Pour Le Verre Et La Ceramique S.A. (C.R.V.C.) | Coated article with IR reflecting layer and method of making same |
| EP1909120A1 (en) * | 2005-07-11 | 2008-04-09 | Asahi Glass Company, Limited | Reflector and process for producing the same |
| US7901781B2 (en) | 2007-11-23 | 2011-03-08 | Agc Flat Glass North America, Inc. | Low emissivity coating with low solar heat gain coefficient, enhanced chemical and mechanical properties and method of making the same |
| US8409717B2 (en) * | 2008-04-21 | 2013-04-02 | Guardian Industries Corp. | Coated article with IR reflecting layer and method of making same |
| DE102008030825A1 (de) | 2008-06-30 | 2009-12-31 | Schott Ag | Vorrichtung zur Reflektion von Wärmestrahlung, ein Verfahren zu ihrer Herstellung sowie deren Verwendung |
| CN102272065B (zh) | 2008-11-04 | 2015-06-03 | 顶峰企业公司 | 经涂布的玻璃表面和涂布玻璃基片的方法 |
| US20120152247A1 (en) * | 2010-12-21 | 2012-06-21 | Labollita Steve | Radiant barrier for heated air circuits |
| US9279910B2 (en) | 2013-03-13 | 2016-03-08 | Intermolecular, Inc. | Color shift of high LSG low emissivity coating after heat treatment |
| US10816703B2 (en) | 2015-09-28 | 2020-10-27 | Tru Vue, Inc. | Near infrared reflective coatings |
| ES2882707T3 (es) | 2016-04-19 | 2021-12-02 | Apogee Entpr Inc | Superficies de vidrio revestidas y procedimiento de revestimiento de un sustrato de vidrio |
| DE102017108019A1 (de) | 2017-03-08 | 2018-09-13 | VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG | Optisches Niedrigemission-Mehrschichtsystem |
| CA3058157A1 (en) | 2017-05-04 | 2018-11-08 | Apogee Enterprises, Inc. | Low emissivity coatings, glass surfaces including the same, and methods for making the same |
| KR102082424B1 (ko) | 2017-07-25 | 2020-02-27 | 주식회사 케이씨씨 | 저방사 유리 |
| US10650935B2 (en) | 2017-08-04 | 2020-05-12 | Vitro Flat Glass Llc | Transparent conductive oxide having an embedded film |
| US20190040523A1 (en) | 2017-08-04 | 2019-02-07 | Vitro Flat Glass, LLC | Method of Decreasing Sheet Resistance in an Article Coated with a Transparent Conductive Oxide |
| US20190043640A1 (en) | 2017-08-04 | 2019-02-07 | Vitro Flat Glass, LLC | Protective Layer Over a Functional Coating |
| JP2021513950A (ja) | 2018-02-15 | 2021-06-03 | ビトロ フラット グラス エルエルシー | 窒化ケイ素及び／又は酸窒化ケイ素を含む保護コーティングを有するコーティングされた物品 |
| WO2025128814A1 (en) | 2023-12-13 | 2025-06-19 | Vitro Flat Glass Llc | Functional coating with improved thermal stress properties |
Family Cites Families (30)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1428769A (en) * | 1972-02-28 | 1976-03-17 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Surface protective coating on an article |
| US4166018A (en) † | 1974-01-31 | 1979-08-28 | Airco, Inc. | Sputtering process and apparatus |
| US4609267A (en) * | 1980-12-22 | 1986-09-02 | Seiko Epson Corporation | Synthetic resin lens and antireflection coating |
| US4377613A (en) * | 1981-09-14 | 1983-03-22 | Gordon Roy G | Non-iridescent glass structures |
| NO157212C (no) † | 1982-09-21 | 1988-02-10 | Pilkington Brothers Plc | Fremgangsmaate for fremstilling av belegg med lav emisjonsevne. |
| US4515151A (en) * | 1982-09-27 | 1985-05-07 | Sri International | Fiber-reinforced concrete solar collector |
| US4578527A (en) † | 1983-11-16 | 1986-03-25 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Articles having improved reflectance suppression |
| US4546050A (en) * | 1984-11-23 | 1985-10-08 | Ford Motor Company | Coated glass article as a new article of manufacture |
| US4786563A (en) † | 1985-12-23 | 1988-11-22 | Ppg Industries, Inc. | Protective coating for low emissivity coated articles |
| US5433988A (en) * | 1986-10-01 | 1995-07-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Multi-layer reflection mirror for soft X-ray to vacuum ultraviolet ray |
| DE3707214A1 (de) * | 1987-03-06 | 1988-09-15 | Hoechst Ag | Beschichtete kunststoffolie und daraus hergestelltes kunststofflaminat |
| GB8717959D0 (en) * | 1987-07-29 | 1987-09-03 | Pilkington Brothers Plc | Coated glass |
| JPH01114802A (ja) † | 1987-10-28 | 1989-05-08 | Toshiba Corp | 光干渉膜 |
| US5402200A (en) * | 1988-02-04 | 1995-03-28 | Conner Peripherals, Inc. | Low-power hard disk drive system architecture |
| US4965121A (en) † | 1988-09-01 | 1990-10-23 | The Boc Group, Inc. | Solar control layered coating for glass windows |
| CA2041038C (en) † | 1990-05-10 | 2001-01-02 | Jesse D. Wolfe | Durable low-emissivity thin film interference filter |
| ZA912915B (en) * | 1990-05-10 | 1992-04-29 | Boc Group Inc | Novel monolithic front surface mirror |
| US5377045A (en) * | 1990-05-10 | 1994-12-27 | The Boc Group, Inc. | Durable low-emissivity solar control thin film coating |
| US5119231A (en) * | 1990-06-15 | 1992-06-02 | Honeywell Inc. | Hybrid diffractive optical filter |
| US5234748A (en) * | 1991-06-19 | 1993-08-10 | Ford Motor Company | Anti-reflective transparent coating with gradient zone |
| US5168003A (en) * | 1991-06-24 | 1992-12-01 | Ford Motor Company | Step gradient anti-iridescent coatings |
| US5248545A (en) * | 1991-06-24 | 1993-09-28 | Ford Motor Company | Anti-iridescent coatings with gradient refractive index |
| US5254392A (en) * | 1991-06-24 | 1993-10-19 | Ford Motor Company | Anti-iridescence coatings |
| US6274244B1 (en) * | 1991-11-29 | 2001-08-14 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Multilayer heat processable vacuum coatings with metallic properties |
| US5543229A (en) * | 1991-10-30 | 1996-08-06 | Asahi Glass Company Ltd. | Method of making a heat treated coated glass |
| US5296302A (en) | 1992-03-27 | 1994-03-22 | Cardinal Ig Company | Abrasion-resistant overcoat for coated substrates |
| US5344718A (en) * | 1992-04-30 | 1994-09-06 | Guardian Industries Corp. | High performance, durable, low-E glass |
| US5262633A (en) * | 1992-08-21 | 1993-11-16 | Santa Barbara Research Center | Wideband anti-reflection coating for indium antimonide photodetector device and method of forming the same |
| US5398133A (en) * | 1993-10-27 | 1995-03-14 | Industrial Technology Research Institute | High endurance near-infrared optical window |
| US5418019A (en) * | 1994-05-25 | 1995-05-23 | Georgia Tech Research Corporation | Method for low temperature plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) of an oxide and nitride antireflection coating on silicon |
-
1995
- 1995-05-02 MX MX9605356A patent/MX9605356A/es unknown
- 1995-05-02 AT AT95917793T patent/ATE169288T1/de active
- 1995-05-02 DK DK95917793T patent/DK0758306T3/da active
- 1995-05-02 ES ES95917793T patent/ES2122595T3/es not_active Expired - Lifetime
- 1995-05-02 EP EP95917793A patent/EP0758306B2/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-05-02 WO PCT/US1995/005440 patent/WO1995029883A1/en active IP Right Grant
- 1995-05-02 JP JP52848695A patent/JP3348245B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1995-05-02 DE DE69503896T patent/DE69503896T3/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-10-19 US US08/547,690 patent/US5834103A/en not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-07-25 JP JP2000223672A patent/JP2001089197A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69503896D1 (de) | 1998-09-10 |
| JPH10503745A (ja) | 1998-04-07 |
| ATE169288T1 (de) | 1998-08-15 |
| EP0758306A1 (en) | 1997-02-19 |
| JP3348245B2 (ja) | 2002-11-20 |
| DK0758306T3 (da) | 1999-05-10 |
| DE69503896T2 (de) | 1998-12-10 |
| DE69503896T3 (de) | 2005-10-27 |
| EP0758306B2 (en) | 2005-03-23 |
| US5834103A (en) | 1998-11-10 |
| EP0758306B1 (en) | 1998-08-05 |
| WO1995029883A1 (en) | 1995-11-09 |
| ES2122595T3 (es) | 1998-12-16 |
| MX9605356A (es) | 1997-12-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3348245B2 (ja) | 保護用窒化ケイ素フィルムを有する透明物品 | |
| US6673438B1 (en) | Transparent article having protective silicon nitride film | |
| EP0632849B1 (en) | Abrasion-resistant overcoat for coated substrates | |
| US10882997B2 (en) | Coated article with IR reflecting layer and method of making same | |
| JP2888507B2 (ja) | 金属真空被覆物品とその製造方法 | |
| US7087309B2 (en) | Coated article with tin oxide, silicon nitride and/or zinc oxide under IR reflecting layer and corresponding method | |
| EP2043960B1 (en) | Coated article with oxynitrides of antimony and/or zinc and corresponding method of manufacture | |
| US10556824B2 (en) | Coated article with IR reflecting layer(s) and silicon zirconium oxynitride layer(s) and method of making same | |
| JPH029731A (ja) | 灰色高透過性低放射性物品及びその製法 | |
| JPS61111940A (ja) | 高透過率で低放射率の製品およびその製法 | |
| JPH01317136A (ja) | 高透過性及び低放射性を有する物品及びその製造方法 | |
| JPS63206333A (ja) | 単板熱線反射ガラス | |
| US20230271877A1 (en) | Coated article with ir reflecting layer and multilayer overcoat for reducing fingerprints | |
| JPS63134232A (ja) | 高透過率を有する赤外反射物品 | |
| CA2189430C (en) | Transparent article having protective silicon nitride film | |
| JPH02164744A (ja) | 耐久性の優れた熱線反射性を有する光学体 | |
| US11267751B2 (en) | Heat treatable coated article with substoichiometric zirconium oxide based layer and corresponding method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20040625 |
|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20040701 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040625 |
|
| RD05 | Notification of revocation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7425 Effective date: 20040729 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040819 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050203 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050802 |