JP2000196399A - 弾性表面波フィルタと共振子 - Google Patents
弾性表面波フィルタと共振子Info
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 1次−3次縦結合二重モードSAWフィルタに
おいて通過域の低域側近傍の阻止域減衰量を改善する手
段を得る。 【解決手段】 圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って
複数のIDT電極とその両側に反射器を配置して構成す
る縦結合多重モードSAWフィルタにおいて、前記反射
器を前記両端のIDT電極から距離が離れるにつれて前
記反射器の電極指を短くするように構成した弾性表面波
フィルタ。
おいて通過域の低域側近傍の阻止域減衰量を改善する手
段を得る。 【解決手段】 圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って
複数のIDT電極とその両側に反射器を配置して構成す
る縦結合多重モードSAWフィルタにおいて、前記反射
器を前記両端のIDT電極から距離が離れるにつれて前
記反射器の電極指を短くするように構成した弾性表面波
フィルタ。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は弾性表面波フィルタ
と共振子に関し、特に通過域の低域側近傍の阻止減衰量
を改善した弾性表面波フィルタと、共振周波数の低周波
側のスプリアスを改善した共振子に関する。
と共振子に関し、特に通過域の低域側近傍の阻止減衰量
を改善した弾性表面波フィルタと、共振周波数の低周波
側のスプリアスを改善した共振子に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、SAWデバイスは通信分野で広く
利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を有す
ることから特に携帯電話等に多く用いられている。図6
(a)は、従来の1次、3次縦モードを利用した1次−3次
縦結合型二重モードSAWフィルタ(以下、二重モード
SAWフィルタと称す)の構成を示す平面図であって、
圧電基板11の主面上に表面波の伝搬方向に沿って3つ
のIDT電極12、13、14を近接配置すると共に、
これらの両側にグレーティング反射器(以下、反射器と
称す)15a、15bを配設して構成したものである。
IDT電極12、13、14はそれぞれ互いに間挿し合
う複数本の電極指を有する一対のくし形電極により構成
され、IDT電極12の一方のくし形電極は入力端子IN
に接続し、他方のくし形電極は接地する。一方、IDT
電極13、14の一方のくし形電極は互いに連結して出
力端子OUTに接続すると共に、他方のくし形電極は接地
する。
利用され、高性能、小型、量産性等の優れた特徴を有す
ることから特に携帯電話等に多く用いられている。図6
(a)は、従来の1次、3次縦モードを利用した1次−3次
縦結合型二重モードSAWフィルタ(以下、二重モード
SAWフィルタと称す)の構成を示す平面図であって、
圧電基板11の主面上に表面波の伝搬方向に沿って3つ
のIDT電極12、13、14を近接配置すると共に、
これらの両側にグレーティング反射器(以下、反射器と
称す)15a、15bを配設して構成したものである。
IDT電極12、13、14はそれぞれ互いに間挿し合
う複数本の電極指を有する一対のくし形電極により構成
され、IDT電極12の一方のくし形電極は入力端子IN
に接続し、他方のくし形電極は接地する。一方、IDT
電極13、14の一方のくし形電極は互いに連結して出
力端子OUTに接続すると共に、他方のくし形電極は接地
する。
【0003】図6(a)に示す二重モードSAWフィルタ
の動作は、周知のように、IDT電極12、13、14
によって励起される複数の表面波が反射器15a、15
bの間に閉じ込められて音響結合し、電極パターンによ
り1次と3次の2つの縦共振モードが強勢に励振される
ため、適当な終端を施すことによりこれらの2つのモー
ドを利用した二重モードSAWフィルタとして動作す
る。なお、該二重モードSAWフィルタの通過帯域幅は
1次共振モードと3次共振モードとの周波数差で決まる
ことは周知の通りである。
の動作は、周知のように、IDT電極12、13、14
によって励起される複数の表面波が反射器15a、15
bの間に閉じ込められて音響結合し、電極パターンによ
り1次と3次の2つの縦共振モードが強勢に励振される
ため、適当な終端を施すことによりこれらの2つのモー
ドを利用した二重モードSAWフィルタとして動作す
る。なお、該二重モードSAWフィルタの通過帯域幅は
1次共振モードと3次共振モードとの周波数差で決まる
ことは周知の通りである。
【0004】図6(b)は同図(a)に示す二重モードS
AWフィルタを2つ縦続接続した2段縦続接続型二重モー
ドSAWフィルタの構成を示す平面図であり、該フィルタ
は通過域近傍において急峻な減衰傾度を必要とする場合
や、保証減衰量を大きくする場合に用いられている。図
7(a)は36°YカットX伝搬LiTaO3基板11
上に、IDT電極12を15.5対、IDT電極13、14を
それぞれ9.5対、反射器15a、15bの本数をそれぞれ200
本、交差長60λ、電極膜厚を8%λとした場合の2段縦続
接続型二重モードSAWフィルタの特性であり、横軸は周
波数(MHz)を、縦軸は挿入損失(Loss)を表示してい
る。そして、図7(b)は同図(a)の通過域の低域側
近傍を拡大した図で、通過域の低周波側の端より低周波
側に50MHzの周波数領域の阻止域減衰量を示した図であ
る。IDT電極12、13あるいは14が呈する大きなメイン
ローブ及びサイドローブ上に小さな周期のリップルが重
畳している。
AWフィルタを2つ縦続接続した2段縦続接続型二重モー
ドSAWフィルタの構成を示す平面図であり、該フィルタ
は通過域近傍において急峻な減衰傾度を必要とする場合
や、保証減衰量を大きくする場合に用いられている。図
7(a)は36°YカットX伝搬LiTaO3基板11
上に、IDT電極12を15.5対、IDT電極13、14を
それぞれ9.5対、反射器15a、15bの本数をそれぞれ200
本、交差長60λ、電極膜厚を8%λとした場合の2段縦続
接続型二重モードSAWフィルタの特性であり、横軸は周
波数(MHz)を、縦軸は挿入損失(Loss)を表示してい
る。そして、図7(b)は同図(a)の通過域の低域側
近傍を拡大した図で、通過域の低周波側の端より低周波
側に50MHzの周波数領域の阻止域減衰量を示した図であ
る。IDT電極12、13あるいは14が呈する大きなメイン
ローブ及びサイドローブ上に小さな周期のリップルが重
畳している。
【0005】図7(b)に示すように、IDT電極12、1
3、14による比較的大きな周期のメインローブ及びサイ
ドローブに重畳する小さい周期的なリップルは反射器15
a、15bが形成する反射特性によって生ずる。反射器によ
る反射特性、即ち反射係数について簡単に説明すると、
反射器の波長と表面波の位相速度で決まる周波数f0で規
格化した規格化周波数f/f0を横軸に、反射係数Γを縦軸
にすると、反射器の反射係数Γは図8(a)に示すよう
に、規格化周波数f/f0が1の近傍にストップバンド、該
ストップバンドより両側に周期的な波状を形成する。こ
の特性を一般にストップバンド特性と称している。図8
(b)は2つの反射器の本数をそれぞれ100本と120本とし
た場合の反射特性を重ねて表示した図で、ストップバン
ドの両側に多数発生する周期的なリップル、即ち、山あ
るいは谷の周波数が反射器の本数でそれぞれ異なり、合
成した反射係数の曲線は山と谷の平均値に近づくことが
分かる。また、図8(c)は2つの反射器の本数を共に120
本とし、ストップバンドの中心周波数を僅かに異ならせ
た場合の反射係数を重ねて表示したものである。この特
性も多数の周期的な山あるいは谷の周波数がそれぞれ異
なり、合成した反射係数の曲線は山と谷の平均値に近づ
くことが分かる。
3、14による比較的大きな周期のメインローブ及びサイ
ドローブに重畳する小さい周期的なリップルは反射器15
a、15bが形成する反射特性によって生ずる。反射器によ
る反射特性、即ち反射係数について簡単に説明すると、
反射器の波長と表面波の位相速度で決まる周波数f0で規
格化した規格化周波数f/f0を横軸に、反射係数Γを縦軸
にすると、反射器の反射係数Γは図8(a)に示すよう
に、規格化周波数f/f0が1の近傍にストップバンド、該
ストップバンドより両側に周期的な波状を形成する。こ
の特性を一般にストップバンド特性と称している。図8
(b)は2つの反射器の本数をそれぞれ100本と120本とし
た場合の反射特性を重ねて表示した図で、ストップバン
ドの両側に多数発生する周期的なリップル、即ち、山あ
るいは谷の周波数が反射器の本数でそれぞれ異なり、合
成した反射係数の曲線は山と谷の平均値に近づくことが
分かる。また、図8(c)は2つの反射器の本数を共に120
本とし、ストップバンドの中心周波数を僅かに異ならせ
た場合の反射係数を重ねて表示したものである。この特
性も多数の周期的な山あるいは谷の周波数がそれぞれ異
なり、合成した反射係数の曲線は山と谷の平均値に近づ
くことが分かる。
【0006】二重モードSAWフィルタの諸定数を設定
する際に、反射器が形成するストップバンド特性の反射
係数が1に近い平坦部に、フィルタの通過帯域が一致す
るように選ぶとフィルタの挿入損失が最小になることは
周知のことである。二重モードSAWフィルタの濾波特
性は、IDT電極が形成するトランスバーサル特性に依
存し、通過域特性はそのメインローブ特性、減衰域はそ
のサイドローブ特性に左右される。このメインローブ及
びサイドローブの上に、反射器が形成する周期的で小さ
な多数のリップルが重畳して、二重モードSAWフィル
タの阻止域減衰特性が形成される。一般的に、反射器の
本数はIDT電極対数に対し1桁以上大きな値に選ぶの
で、反射器が形成する周期性はIDT電極のそれより小
さな周期性を呈し、IDT電極が形成するメインローブ
及びサイドローブ上に重畳することになる。
する際に、反射器が形成するストップバンド特性の反射
係数が1に近い平坦部に、フィルタの通過帯域が一致す
るように選ぶとフィルタの挿入損失が最小になることは
周知のことである。二重モードSAWフィルタの濾波特
性は、IDT電極が形成するトランスバーサル特性に依
存し、通過域特性はそのメインローブ特性、減衰域はそ
のサイドローブ特性に左右される。このメインローブ及
びサイドローブの上に、反射器が形成する周期的で小さ
な多数のリップルが重畳して、二重モードSAWフィル
タの阻止域減衰特性が形成される。一般的に、反射器の
本数はIDT電極対数に対し1桁以上大きな値に選ぶの
で、反射器が形成する周期性はIDT電極のそれより小
さな周期性を呈し、IDT電極が形成するメインローブ
及びサイドローブ上に重畳することになる。
【0007】メインローブ及びサイドローブに重畳する
周期の小さなリップルによる阻止域減衰量の劣化を改善
するための手段が、特開平10−261935に開示されてい
る。即ち、IDT電極の両側に配置するリフレクタ(反
射器)のそれぞれの電極指本数を異ならせる手段や、リ
フレクタのそれぞれの電極膜厚を異ならせる手段等であ
る。図9(a)は図7に示したものと同一のパラメータを
用い、図8(b)に示した反射器の特性を利用して、4個
の反射器の本数をそれぞれ170本、180本、190本、200本
とした2段縦続接続型二重モードSAWフィルタの濾波特性
である。図9(b)は同図(a)の通過域の低域側近傍の
阻止域減衰量を周波数を拡大して表した図である。
周期の小さなリップルによる阻止域減衰量の劣化を改善
するための手段が、特開平10−261935に開示されてい
る。即ち、IDT電極の両側に配置するリフレクタ(反
射器)のそれぞれの電極指本数を異ならせる手段や、リ
フレクタのそれぞれの電極膜厚を異ならせる手段等であ
る。図9(a)は図7に示したものと同一のパラメータを
用い、図8(b)に示した反射器の特性を利用して、4個
の反射器の本数をそれぞれ170本、180本、190本、200本
とした2段縦続接続型二重モードSAWフィルタの濾波特性
である。図9(b)は同図(a)の通過域の低域側近傍の
阻止域減衰量を周波数を拡大して表した図である。
【0008】次に、図10(a)は、図7に示したものと同
一のパラメータを用い、反射器の波長λrefに対するI
DT電極の波長λidtの比Lt/Lrとして、それぞれ0.970
5、0.9715、0.9725、0.9735とした場合の2段縦続接続型
二重モードSAWフィルタの濾波特性を示した図である。
また、図10(b)は同図(a)の通過域の低域側近傍の阻
止域減衰量を周波数を拡大して表した図である。図9、1
0から明らかなように従来の同一本数の反射器を4個用い
た2段縦続接続型二重モードSAWフィルタの特性(図7)
よりも、通過域の低域側近傍におけるサイドローブ上に
重畳する小さなリップルが抑圧されるため、阻止減衰量
が改善されていることが分かる。
一のパラメータを用い、反射器の波長λrefに対するI
DT電極の波長λidtの比Lt/Lrとして、それぞれ0.970
5、0.9715、0.9725、0.9735とした場合の2段縦続接続型
二重モードSAWフィルタの濾波特性を示した図である。
また、図10(b)は同図(a)の通過域の低域側近傍の阻
止域減衰量を周波数を拡大して表した図である。図9、1
0から明らかなように従来の同一本数の反射器を4個用い
た2段縦続接続型二重モードSAWフィルタの特性(図7)
よりも、通過域の低域側近傍におけるサイドローブ上に
重畳する小さなリップルが抑圧されるため、阻止減衰量
が改善されていることが分かる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
同じ構成の反射器を用いる2段縦続接続型二重モードS
AWフィルタの例(図7)、4個の反射器の本数をそれぞ
れ異ならせる手段を用いた例(図9)、あるいは4個の反
射器とIDT電極の波長を異ならせる手段を用いた例
(図10)にそれぞれ矢印Rの斜線部で示したように、N
−CDMAの送信チャネル906MHz±19MHzと受信チャネル851
MHz±19MHzとの隣接する領域においてにおいて、例え
ば、TXフィルタでは832MHzから870MHzの周波数範囲で要
求される40dBの減衰量を満たすことができないという問
題があった。本発明は上記問題を解決するためになされ
たものであって、通過域の低域側近傍の阻止減衰量を改
善した二重モードSAWフィルタを提供することを目的
とする。
同じ構成の反射器を用いる2段縦続接続型二重モードS
AWフィルタの例(図7)、4個の反射器の本数をそれぞ
れ異ならせる手段を用いた例(図9)、あるいは4個の反
射器とIDT電極の波長を異ならせる手段を用いた例
(図10)にそれぞれ矢印Rの斜線部で示したように、N
−CDMAの送信チャネル906MHz±19MHzと受信チャネル851
MHz±19MHzとの隣接する領域においてにおいて、例え
ば、TXフィルタでは832MHzから870MHzの周波数範囲で要
求される40dBの減衰量を満たすことができないという問
題があった。本発明は上記問題を解決するためになされ
たものであって、通過域の低域側近傍の阻止減衰量を改
善した二重モードSAWフィルタを提供することを目的
とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明に係る弾性表面波フィルタの請求項1記載の発
明は、圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って複数のI
DT電極とその両側に反射器を配置して構成する縦結合
多重モードSAWフィルタにおいて、前記反射器を前記
両端のIDT電極から距離が離れるにつれて前記反射器
の電極指を短くするように構成することを特徴とする弾
性表面波フィルタである。請求項2記載の発明は、圧電
基板上に表面波の伝搬方向に沿って3個のIDT電極と
その両側に反射器を配置して構成する縦結合二重モード
SAWフィルタにおいて、前記反射器を前記両端のID
T電極から距離が離れるにつれて前記反射器の電極指を
短くするように構成することを特徴とする弾性表面波フ
ィルタである。請求項3記載の発明は、圧電基板上に表
面波の伝搬方向に沿ってIDT電極とその両側に反射器
を配置して構成する弾性表面波共振子において、前記反
射器を前記IDT電極から距離が離れるにつれて前記反
射器の電極指を短くするように構成することを特徴とす
る弾性表面波共振子である。請求項4記載の発明は、前
記反射器を正規型部と楔状部とから構成したことを特徴
とする請求項1乃至3記載の弾性表面波フィルタであ
る。請求項5記載の発明は、前記反射器を正規型部と半
楕円状部とから構成したことを特徴とする請求項1乃至
3記載の弾性表面波フィルタである。請求項6記載の発
明は、前記反射器を正規型部と半円状部とから構成した
ことを特徴とする請求項1乃至3記載の弾性表面波フィ
ルタ。
に本発明に係る弾性表面波フィルタの請求項1記載の発
明は、圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って複数のI
DT電極とその両側に反射器を配置して構成する縦結合
多重モードSAWフィルタにおいて、前記反射器を前記
両端のIDT電極から距離が離れるにつれて前記反射器
の電極指を短くするように構成することを特徴とする弾
性表面波フィルタである。請求項2記載の発明は、圧電
基板上に表面波の伝搬方向に沿って3個のIDT電極と
その両側に反射器を配置して構成する縦結合二重モード
SAWフィルタにおいて、前記反射器を前記両端のID
T電極から距離が離れるにつれて前記反射器の電極指を
短くするように構成することを特徴とする弾性表面波フ
ィルタである。請求項3記載の発明は、圧電基板上に表
面波の伝搬方向に沿ってIDT電極とその両側に反射器
を配置して構成する弾性表面波共振子において、前記反
射器を前記IDT電極から距離が離れるにつれて前記反
射器の電極指を短くするように構成することを特徴とす
る弾性表面波共振子である。請求項4記載の発明は、前
記反射器を正規型部と楔状部とから構成したことを特徴
とする請求項1乃至3記載の弾性表面波フィルタであ
る。請求項5記載の発明は、前記反射器を正規型部と半
楕円状部とから構成したことを特徴とする請求項1乃至
3記載の弾性表面波フィルタである。請求項6記載の発
明は、前記反射器を正規型部と半円状部とから構成した
ことを特徴とする請求項1乃至3記載の弾性表面波フィ
ルタ。
【0011】
【発明の実施の形態】以下本発明を図面に示した実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る二
重モードSAWフィルタの構成を示す平面図で、圧電基
板1の主面上に表面波の伝搬方向に沿って3つのIDT電
極2、3、4を近接配置すると共に、その両側に反射器5
a、5bを配設して構成する。本発明の特徴はIDT電極
2、3、4の両側に配置した反射器5a、5bの形状にある。
即ち、反射器5a、5bの形状を正規型構造と楔型構造とか
ら構成した形状にある。
形態に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る二
重モードSAWフィルタの構成を示す平面図で、圧電基
板1の主面上に表面波の伝搬方向に沿って3つのIDT電
極2、3、4を近接配置すると共に、その両側に反射器5
a、5bを配設して構成する。本発明の特徴はIDT電極
2、3、4の両側に配置した反射器5a、5bの形状にある。
即ち、反射器5a、5bの形状を正規型構造と楔型構造とか
ら構成した形状にある。
【0012】本願発明者はN−CDMAの送受信SAWフィ
ルタを開発すべく二重モードSAWフィルタ(1次−3次
縦モード)を試作したが、図9(b)、図10(b)に示す
ように、従来の二重モードSAWフィルタでは製造時の
バラツキ、温度、経年変化等による変動を考慮すると、
832MHzから870MHzの周波数範囲で要求される40dBの減衰
量を満たすには不十分であった。そこで、二重モードS
AWフィルタの両側の反射器を同一本数の正規型とし、
反射器の基板端部よりの端からレーザを用いて少しずつ
削り落としながら、通過域の低域側減衰量を測定した。
反射器の先端部の形状として楔型状、切り出しナイフ
状、半楕円状、半円状等種々の形状にすると低域側の減
衰特性が変動することを見出した。
ルタを開発すべく二重モードSAWフィルタ(1次−3次
縦モード)を試作したが、図9(b)、図10(b)に示す
ように、従来の二重モードSAWフィルタでは製造時の
バラツキ、温度、経年変化等による変動を考慮すると、
832MHzから870MHzの周波数範囲で要求される40dBの減衰
量を満たすには不十分であった。そこで、二重モードS
AWフィルタの両側の反射器を同一本数の正規型とし、
反射器の基板端部よりの端からレーザを用いて少しずつ
削り落としながら、通過域の低域側減衰量を測定した。
反射器の先端部の形状として楔型状、切り出しナイフ
状、半楕円状、半円状等種々の形状にすると低域側の減
衰特性が変動することを見出した。
【0013】そこで、図1に示すように、二重モードS
AWフィルタの反射器5a、5bを構成する正規型部α、
α'の本数をそれぞれ150本と、楔型部β、β'の本数を
それぞれ50本とし、他の定数は図7と同じ値としたとき
の濾波特性が図2(a)である。同図(b)は通過域の低
域側近傍の阻止減衰量を示すために周波数を拡大した図
であり、矢印Rで示す斜線範囲がN-CDMAの要求規格の40d
Bある。この図から明らかなように、図9(b)、図10
(b)のメインローブ及びサイドローブ上に重畳してい
た小さなリップルが大幅に抑圧されており、N-CDMAの要
求規格を十分に満たしている。
AWフィルタの反射器5a、5bを構成する正規型部α、
α'の本数をそれぞれ150本と、楔型部β、β'の本数を
それぞれ50本とし、他の定数は図7と同じ値としたとき
の濾波特性が図2(a)である。同図(b)は通過域の低
域側近傍の阻止減衰量を示すために周波数を拡大した図
であり、矢印Rで示す斜線範囲がN-CDMAの要求規格の40d
Bある。この図から明らかなように、図9(b)、図10
(b)のメインローブ及びサイドローブ上に重畳してい
た小さなリップルが大幅に抑圧されており、N-CDMAの要
求規格を十分に満たしている。
【0014】次に、図3(a)は反射器5a、5bを構成す
る正規型部α、α'の本数をそれぞれ100本と、楔型部
β、β'の本数をそれぞれ100本とし、他の諸定数は図7
と同じ値としたときの濾波特性である。この場合もメイ
ンローブ及びサイドローブ上に重畳していた小さなリッ
プルが大幅に抑圧されており、N-CDMAの要求規格40dBを
十分に満たしている。図3(c)は通過域低域側近傍をさ
らに拡大した図で、矢印イで示す周期的なリップルをう
つ曲線は図7(b)に示した特性であり、矢印ロ示す曲線
は図3(b)の通過域近傍の特性をさらに拡大して表した
図である。この図からも反射器によって生ずる小さなリ
ップルが大幅に抑圧されていることが分かる。
る正規型部α、α'の本数をそれぞれ100本と、楔型部
β、β'の本数をそれぞれ100本とし、他の諸定数は図7
と同じ値としたときの濾波特性である。この場合もメイ
ンローブ及びサイドローブ上に重畳していた小さなリッ
プルが大幅に抑圧されており、N-CDMAの要求規格40dBを
十分に満たしている。図3(c)は通過域低域側近傍をさ
らに拡大した図で、矢印イで示す周期的なリップルをう
つ曲線は図7(b)に示した特性であり、矢印ロ示す曲線
は図3(b)の通過域近傍の特性をさらに拡大して表した
図である。この図からも反射器によって生ずる小さなリ
ップルが大幅に抑圧されていることが分かる。
【0015】反射器5a、5bを正規型と楔型とのから構成
することにより、メインローブ及びサイドローブ上に重
畳する小さなリップルが抑圧される理由は定かではない
が、正規型部αにおける反射と楔型部βに反射とが異な
り、通過帯域から離れた周波数では互いに相殺するため
定在波とならず、リップルの山と谷の平均の値を呈する
ものと推測される。
することにより、メインローブ及びサイドローブ上に重
畳する小さなリップルが抑圧される理由は定かではない
が、正規型部αにおける反射と楔型部βに反射とが異な
り、通過帯域から離れた周波数では互いに相殺するため
定在波とならず、リップルの山と谷の平均の値を呈する
ものと推測される。
【0016】図4は本発明の他の実施例で、二重モード
SAWフィルタの一方の反射器の形状のみを示す図であ
る。同図(a)に示す反射器は正規型部αと切り出しナ
イフ型部γとから構成されている。また、図4(b)に示
す反射器は正規型部αと半楕円状部δとから構成されて
いる。このように、IDT電極に隣接する部分の反射器
の形状は、表面波をほぼ完全に反射するのに十分な本数
の正規型として、IDT電極から距離が離れるにつれて
電極指の長さを短くすることにより、メインローブ及び
サイドローブ上に重畳するリップルを抑圧し、平準化す
ることが可能となった。
SAWフィルタの一方の反射器の形状のみを示す図であ
る。同図(a)に示す反射器は正規型部αと切り出しナ
イフ型部γとから構成されている。また、図4(b)に示
す反射器は正規型部αと半楕円状部δとから構成されて
いる。このように、IDT電極に隣接する部分の反射器
の形状は、表面波をほぼ完全に反射するのに十分な本数
の正規型として、IDT電極から距離が離れるにつれて
電極指の長さを短くすることにより、メインローブ及び
サイドローブ上に重畳するリップルを抑圧し、平準化す
ることが可能となった。
【0017】図5は他の実施例で、図4(b)に示すよう
に正規型部α100本、半楕円状部δ100本とから構成され
た反射器をIDTの両側に用い、他の諸定数は図7と同
じ値とした二重モードSAWフィルタの濾波特性例であ
る。図5(a)はフィルタ特性の全体を示し、同図(b)
は通過域の低域側近傍の阻止域減衰特性を周波数を拡大
して表示している。このこの図からも明らかなように、
メインローブ及びサイドローブ上の小さなリップルが十
分に抑圧されており、矢印Rで示すN-CDMAの規格40dBを
十分に満たしている。
に正規型部α100本、半楕円状部δ100本とから構成され
た反射器をIDTの両側に用い、他の諸定数は図7と同
じ値とした二重モードSAWフィルタの濾波特性例であ
る。図5(a)はフィルタ特性の全体を示し、同図(b)
は通過域の低域側近傍の阻止域減衰特性を周波数を拡大
して表示している。このこの図からも明らかなように、
メインローブ及びサイドローブ上の小さなリップルが十
分に抑圧されており、矢印Rで示すN-CDMAの規格40dBを
十分に満たしている。
【0018】以上、本発明に係る二重モードSAWフィ
ルタの説明では両側の反射器を同一形状として説明した
が、両側の反射器の形状を互いに異ならせても同様な効
果が得られる。また、1次−3次縦結合二重モードSAW
フィルタを例として本発明を説明したが、本発明はこれ
のみに限定するものではなく、1次−2次縦結合二重モー
ドSAWフィルタ、1次−2次−3次縦結合三重モードS
AWフィルタ等の縦結合多重モードSAWフィルタに適
用できることは云うまでもない。さらに、本発明は横結
合多重モードSAWフィルタに適用しても効果があるこ
とが分かった。
ルタの説明では両側の反射器を同一形状として説明した
が、両側の反射器の形状を互いに異ならせても同様な効
果が得られる。また、1次−3次縦結合二重モードSAW
フィルタを例として本発明を説明したが、本発明はこれ
のみに限定するものではなく、1次−2次縦結合二重モー
ドSAWフィルタ、1次−2次−3次縦結合三重モードS
AWフィルタ等の縦結合多重モードSAWフィルタに適
用できることは云うまでもない。さらに、本発明は横結
合多重モードSAWフィルタに適用しても効果があるこ
とが分かった。
【0019】以上の説明は多重モードSAWフィルタに
ついて説明したが、本発明はIDT電極とその両側に配
置した反射器から構成されるSAW共振子に適用しても
効果がある。即ち、前記反射器を正規型部と楔型部とか
ら構成することにより、共振子の共振周波数の低周波側
のスプリアスを抑圧することが可能である。
ついて説明したが、本発明はIDT電極とその両側に配
置した反射器から構成されるSAW共振子に適用しても
効果がある。即ち、前記反射器を正規型部と楔型部とか
ら構成することにより、共振子の共振周波数の低周波側
のスプリアスを抑圧することが可能である。
【0020】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成した
ので、二重モードSAWフィルタの通過域の低域側近傍
の阻止減衰量を改善することができ、該フィルタをN−
CDMA等のTXあるいはRFフィルタに用いれば受信機の
性能を向上させる上で優れた効果を表す。
ので、二重モードSAWフィルタの通過域の低域側近傍
の阻止減衰量を改善することができ、該フィルタをN−
CDMA等のTXあるいはRFフィルタに用いれば受信機の
性能を向上させる上で優れた効果を表す。
【図1】本発明に係る二重モードSAWフィルタの構成
を示す平面図である。
を示す平面図である。
【図2】(a)は反射器の正規型部を150本、楔型部を5
0本とした二重モードSAWフィルタの濾波特性を示す
図、(b)は通過域の低域側近傍の阻止域減衰量を示す
図である。
0本とした二重モードSAWフィルタの濾波特性を示す
図、(b)は通過域の低域側近傍の阻止域減衰量を示す
図である。
【図3】(a)は反射器の正規型部を100本、楔型部を1
00本とした二重モードSAWフィルタの濾波特性を示す
図、(b)は通過域の低域側近傍の阻止域減衰量を示す
図、(c)要部を拡大した図である。
00本とした二重モードSAWフィルタの濾波特性を示す
図、(b)は通過域の低域側近傍の阻止域減衰量を示す
図、(c)要部を拡大した図である。
【図4】他の実施例で、(a)は正規型部と切り出しナ
イフ型部とから構成する反射器、(b)は正規型部と半
楕円状部とから構成する反射器の平面図図である。
イフ型部とから構成する反射器、(b)は正規型部と半
楕円状部とから構成する反射器の平面図図である。
【図5】(a)は反射器の正規型部を100本、半楕円部
を100本とした二重モードSAWフィルタの濾波特性を
示す図、(b)は通過域の低域側近傍の阻止域減衰量を
示す図である。
を100本とした二重モードSAWフィルタの濾波特性を
示す図、(b)は通過域の低域側近傍の阻止域減衰量を
示す図である。
【図6】(a)は1次−3次縦結合二重モードSAWフィ
ルタ(二重モードSAWフィルタ)の構成を示す平面
図、(b)は2段縦続接続型二重モードSAWフィルタの
構成を示す平面図図である。
ルタ(二重モードSAWフィルタ)の構成を示す平面
図、(b)は2段縦続接続型二重モードSAWフィルタの
構成を示す平面図図である。
【図7】(a)は正規型反射器の本数をそれぞれ200本
とした場合の濾波特性、(b)は通過域の低域側近傍の
阻止域減衰量を示す図である。
とした場合の濾波特性、(b)は通過域の低域側近傍の
阻止域減衰量を示す図である。
【図8】(a)〜(c)は反射器のストップバンド特性
で、(a)は単独の反射器で100本、(b)は100本と200
本の反射器の反射係数を合成したもの、(c)は120本の
反射器の波長をそれぞれ異ならせた反射係数を2つ合成
したものである。
で、(a)は単独の反射器で100本、(b)は100本と200
本の反射器の反射係数を合成したもの、(c)は120本の
反射器の波長をそれぞれ異ならせた反射係数を2つ合成
したものである。
【図9】(a)は2つの反射器の本数を異ならせた二重
モードSAWフィルタの濾波特性を示す図、(b)は通
過域の低域側近傍の阻止域減衰量を示す図である。
モードSAWフィルタの濾波特性を示す図、(b)は通
過域の低域側近傍の阻止域減衰量を示す図である。
【図10】(a)は反射器の波長をそれぞれ異ならせた
二重モードSAWフィルタの濾波特性を示す図、(b)
は通過域の低域側近傍の阻止域減衰量を示す図である。
二重モードSAWフィルタの濾波特性を示す図、(b)
は通過域の低域側近傍の阻止域減衰量を示す図である。
1・・圧電基板 2、3、4・・IDT電極 5a、5b・・反射器 α、α'・・反射器の正規型部 β、β'・・反射器の楔型部 R・・N-CDMAの規格の斜線部を示す イ・・従来の二重モードSAWフィルタの減衰特性 ロ・・本発明に係る二重モードSAWフィルタの減衰特
性 γ・・切り出しナイフ型部 δ・・半楕円状部
性 γ・・切り出しナイフ型部 δ・・半楕円状部
Claims (6)
- 【請求項1】 圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って
複数のIDT電極とその両側に反射器を配置して構成す
る縦結合多重モードSAWフィルタにおいて、 前記反射器を前記両端のIDT電極から距離が離れるに
つれて前記反射器の電極指を短くするように構成するこ
とを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項2】 圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って
3個のIDT電極とその両側に反射器を配置して構成す
る縦結合二重モードSAWフィルタにおいて、 前記反射器を前記両端のIDT電極から距離が離れるに
つれて前記反射器の電極指を短くするように構成するこ
とを特徴とする弾性表面波フィルタ。 - 【請求項3】 圧電基板上に表面波の伝搬方向に沿って
IDT電極とその両側に反射器を配置して構成する弾性
表面波共振子において、 前記反射器を前記IDT電極から距離が離れるにつれて
前記反射器の電極指を短くするように構成することを特
徴とする弾性表面波共振子。 - 【請求項4】 前記反射器を正規型部と楔状部とから構
成したことを特徴とする請求項1乃至3記載の弾性表面
波フィルタ。 - 【請求項5】 前記反射器を正規型部と半楕円状部とか
ら構成したことを特徴とする請求項1乃至3記載の弾性
表面波フィルタ。 - 【請求項6】 前記反射器を正規型部と半円状部とから
構成したことを特徴とする請求項1乃至3記載の弾性表
面波フィルタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10370540A JP2000196399A (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 弾性表面波フィルタと共振子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10370540A JP2000196399A (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 弾性表面波フィルタと共振子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000196399A true JP2000196399A (ja) | 2000-07-14 |
Family
ID=18497176
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10370540A Pending JP2000196399A (ja) | 1998-12-25 | 1998-12-25 | 弾性表面波フィルタと共振子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000196399A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3512777B2 (ja) | 2000-04-24 | 2004-03-31 | 三菱電機株式会社 | 縦結合型弾性表面波フィルタ |
US7015776B2 (en) | 2003-01-24 | 2006-03-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Saw filter and communication device utilizing a weighted reflector |
US7116189B2 (en) * | 2002-09-20 | 2006-10-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and communication apparatus including the same |
US8049583B2 (en) | 2008-03-10 | 2011-11-01 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave filter comprising a reflector having an oblique slit |
CN112968687A (zh) * | 2021-02-18 | 2021-06-15 | 浙江大学 | 一种高品质因数声表面波谐振器 |
US11489513B2 (en) | 2018-11-16 | 2022-11-01 | Skyworks Solutions, Inc. | Multi-mode surface acoustic wave filter |
-
1998
- 1998-12-25 JP JP10370540A patent/JP2000196399A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3512777B2 (ja) | 2000-04-24 | 2004-03-31 | 三菱電機株式会社 | 縦結合型弾性表面波フィルタ |
US7116189B2 (en) * | 2002-09-20 | 2006-10-03 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Surface acoustic wave device and communication apparatus including the same |
US7015776B2 (en) | 2003-01-24 | 2006-03-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Saw filter and communication device utilizing a weighted reflector |
EP1443642A3 (en) * | 2003-01-24 | 2010-03-10 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Saw filter and communications device |
US8049583B2 (en) | 2008-03-10 | 2011-11-01 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Acoustic wave filter comprising a reflector having an oblique slit |
US11489513B2 (en) | 2018-11-16 | 2022-11-01 | Skyworks Solutions, Inc. | Multi-mode surface acoustic wave filter |
US11502668B2 (en) * | 2018-11-16 | 2022-11-15 | Skyworks Solutions, Inc. | Multi-mode surface acoustic wave filter with stepped acoustic reflectors |
US11545960B2 (en) | 2018-11-16 | 2023-01-03 | Skyworks Solutions, Inc. | Multi-mode surface acoustic wave filter with slanted acoustic reflectors |
US11949404B2 (en) | 2018-11-16 | 2024-04-02 | Skyworks Solutions, Inc. | Acoustic wave component with stepped and slanted acoustic reflector |
CN112968687A (zh) * | 2021-02-18 | 2021-06-15 | 浙江大学 | 一种高品质因数声表面波谐振器 |
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