JP2000042338A - 空気清浄化方法と空気清浄化装置 - Google Patents
空気清浄化方法と空気清浄化装置Info
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 スプレー塔方式による空気清浄化装置と設備
コスト、ランニングコストが同等で、しかもサイクロン
スクラバー方式の空気清浄化装置に匹敵するケミカル物
質の除去能力を有する空気清浄化方法および装置を提供
すること。 【解決手段】この発明の空気清浄化方法は、空気流を発
生させる工程と、空気流中に水滴を噴射する工程と、水
滴を含む空気流を該空気流中の衝立の背後に生じる減圧
領域に導入して水滴を減圧膨張により超微細ミストに分
裂させる工程と、超微細ミストを含む空気流を冷却固体
表面と接触させて超微細ミストを凝縮除去する工程とを
有することを特徴とする。また、この発明の空気清浄化
装置は、隔壁で囲まれた空気流路と、空気流路内に配置
された水噴射ノズルと、水噴射ノズルの下流に配設され
た多数の衝立と、空気流路内に水噴射ノズルから衝立側
に向かう空気流を形成させて衝立の背面側に減圧領域を
形成させる送気ファンと、衝立の下流側に配置された空
気流中の超微細ミストを凝縮除去する冷却手段とを有す
ることを特徴とする。
コスト、ランニングコストが同等で、しかもサイクロン
スクラバー方式の空気清浄化装置に匹敵するケミカル物
質の除去能力を有する空気清浄化方法および装置を提供
すること。 【解決手段】この発明の空気清浄化方法は、空気流を発
生させる工程と、空気流中に水滴を噴射する工程と、水
滴を含む空気流を該空気流中の衝立の背後に生じる減圧
領域に導入して水滴を減圧膨張により超微細ミストに分
裂させる工程と、超微細ミストを含む空気流を冷却固体
表面と接触させて超微細ミストを凝縮除去する工程とを
有することを特徴とする。また、この発明の空気清浄化
装置は、隔壁で囲まれた空気流路と、空気流路内に配置
された水噴射ノズルと、水噴射ノズルの下流に配設され
た多数の衝立と、空気流路内に水噴射ノズルから衝立側
に向かう空気流を形成させて衝立の背面側に減圧領域を
形成させる送気ファンと、衝立の下流側に配置された空
気流中の超微細ミストを凝縮除去する冷却手段とを有す
ることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、クリ−ン
ルームや局所クリーントンネルなどの電子部品の製造工
場で用いられる局所清浄化用の空気清浄化方法と空気清
浄化装置に係り、特に、設備コスト、ランニングコスト
が安価で、しかもケミカル物質の除去能力に優れた空気
清浄化方法および空気清浄化装置に関する。
ルームや局所クリーントンネルなどの電子部品の製造工
場で用いられる局所清浄化用の空気清浄化方法と空気清
浄化装置に係り、特に、設備コスト、ランニングコスト
が安価で、しかもケミカル物質の除去能力に優れた空気
清浄化方法および空気清浄化装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】空気中の微小、微量不純物を除去する装
置としてエアーワッシャ−方式の空気清浄化装置が知ら
れている（平成１０年４月１６日、１７日開催、第１６
回空気清浄とコンタミネーションコントロール大会、
（Ａ−２）エアーワッシャの無機成分除去性能の実態調
査、（Ａ−３）エアーワッシャによる大気中ケミカル物
質の除去（その２）除去効果におよぼす水質の影響
等）。
置としてエアーワッシャ−方式の空気清浄化装置が知ら
れている（平成１０年４月１６日、１７日開催、第１６
回空気清浄とコンタミネーションコントロール大会、
（Ａ−２）エアーワッシャの無機成分除去性能の実態調
査、（Ａ−３）エアーワッシャによる大気中ケミカル物
質の除去（その２）除去効果におよぼす水質の影響
等）。
【０００３】エアーワッシャー方式による空気清浄化装
置は、高濃度のガス成分を除去する目的で一般に使用さ
れている湿式スクラバー方式の一部に分類されるもの
で、湿式スクラバー方式として知られる空気清浄化方法
としては次のようなものが挙げられる。
置は、高濃度のガス成分を除去する目的で一般に使用さ
れている湿式スクラバー方式の一部に分類されるもの
で、湿式スクラバー方式として知られる空気清浄化方法
としては次のようなものが挙げられる。
【０００４】モレタナ塔：塔内に堰や溢流部の多孔板を
数段取りつけ、排ガスと向流接触させる。 充填塔：表面積の大きい充墳物の表面に吸収液を流し、
ガスを低速で向流接触させる。 スプレー塔：空塔内に吸収流を噴霧し、ガスを低速度で
向流接触させる。 サイクロンスクラバー：吸収塔にガスをサイクロン流で
導入し、塔内で噴霧させる。 ベンチュジースクラバ−：ガスをベンチュリー部に高速
で流し、小量の水で併流混合する。 ジエットスクラバ−：ガスをスロット部にやや高速で流
し、大量の水で併流混合する。 流動式吸収塔：塔内に充填したプラスチック球が、流動
層をなし、流れと向流接触する。
数段取りつけ、排ガスと向流接触させる。 充填塔：表面積の大きい充墳物の表面に吸収液を流し、
ガスを低速で向流接触させる。 スプレー塔：空塔内に吸収流を噴霧し、ガスを低速度で
向流接触させる。 サイクロンスクラバー：吸収塔にガスをサイクロン流で
導入し、塔内で噴霧させる。 ベンチュジースクラバ−：ガスをベンチュリー部に高速
で流し、小量の水で併流混合する。 ジエットスクラバ−：ガスをスロット部にやや高速で流
し、大量の水で併流混合する。 流動式吸収塔：塔内に充填したプラスチック球が、流動
層をなし、流れと向流接触する。
【０００５】上記した各種の方式のうち空気清浄化装置
として実用化しているのは、スプレ−塔方式とサイクロ
ンスクラバ−方式である。
として実用化しているのは、スプレ−塔方式とサイクロ
ンスクラバ−方式である。
【０００６】スプレー塔方式は、エア一ワッシャ−方式
に類似する方式であり、サイクロンスクラバー方式は、
例えば、特公平３−７６９９３号公報、特公平３−７６
９９４号公報、特開昭６２−６８５１０５号公報、特開
平４−１１８０６８号公報、特開平１０一１１３５２５
号公報等に開示された空気清浄化装置に類似するもので
ある。
に類似する方式であり、サイクロンスクラバー方式は、
例えば、特公平３−７６９９３号公報、特公平３−７６
９９４号公報、特開昭６２−６８５１０５号公報、特開
平４−１１８０６８号公報、特開平１０一１１３５２５
号公報等に開示された空気清浄化装置に類似するもので
ある。
【０００７】各方式は、それぞれ次表のような特性およ
び長所、短所を有している。
び長所、短所を有している。
【０００８】
【表１】
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上表から明らかなよう
に、ケミカル物質の除去を考えた場合、スプレー塔方式
の空気清浄化方法では除去効率が不確実で、ケミカル物
質の少ない空気を安定に供給することが困難であるとい
う問題がある。
に、ケミカル物質の除去を考えた場合、スプレー塔方式
の空気清浄化方法では除去効率が不確実で、ケミカル物
質の少ない空気を安定に供給することが困難であるとい
う問題がある。
【００１０】また、サイクロンスクラバ−方式の空気清
浄化装置は、特開平１０−１１３５２５号公報にも開示
されるように、ケミカル物質の少ない空気を安定に供給
することは可能であるが、スプレー塔方式の空気清浄化
方法に比べると、液ガス比を多くとっているため、設備
コストとランニングコストが高くなるという問題があ
る。
浄化装置は、特開平１０−１１３５２５号公報にも開示
されるように、ケミカル物質の少ない空気を安定に供給
することは可能であるが、スプレー塔方式の空気清浄化
方法に比べると、液ガス比を多くとっているため、設備
コストとランニングコストが高くなるという問題があ
る。
【００１１】本発明はかかる従来の問題を解消すべくな
されたもので、サイクロンスクラバ一方式の空気清浄化
装置においてケミカル物質の除去率の高い理由が、超微
細ミストを多量に発生させている点にあることに着目し
て、スプレー塔方式に水噴射機構に超微細ミスト発生機
構を付加することで上記問題を解消したものである。す
なわち、本発明は、従来のスプレー塔方式による空気清
浄化装置と設備コスト、ランニングコストが同等で、し
かもサイクロンスクラバー方式の空気清浄化装置に匹敵
するケミカル物質の除去能力を有する空気清浄化方法お
よび空気清浄化装置を提供することを目的とする。
されたもので、サイクロンスクラバ一方式の空気清浄化
装置においてケミカル物質の除去率の高い理由が、超微
細ミストを多量に発生させている点にあることに着目し
て、スプレー塔方式に水噴射機構に超微細ミスト発生機
構を付加することで上記問題を解消したものである。す
なわち、本発明は、従来のスプレー塔方式による空気清
浄化装置と設備コスト、ランニングコストが同等で、し
かもサイクロンスクラバー方式の空気清浄化装置に匹敵
するケミカル物質の除去能力を有する空気清浄化方法お
よび空気清浄化装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の空気清浄化方法
は、空気流を発生させる工程と、前記空気流中に水滴を
噴射する工程と、前記水滴を含む空気流を減圧領域に導
入して前記水滴を減圧膨張により超微細ミストに分裂さ
せる工程と、前記超微細ミストを含む空気流を冷却固体
表面と接触させて前記超微細ミストを凝縮除去する工程
とを有することを特徴としている。
は、空気流を発生させる工程と、前記空気流中に水滴を
噴射する工程と、前記水滴を含む空気流を減圧領域に導
入して前記水滴を減圧膨張により超微細ミストに分裂さ
せる工程と、前記超微細ミストを含む空気流を冷却固体
表面と接触させて前記超微細ミストを凝縮除去する工程
とを有することを特徴としている。
【００１３】供給水としては純水や超純水が好適してい
る。なお、超微細ミストを冷却固体表面と接触させて生
じた凝縮水は再生循環して使用することが望ましい。
る。なお、超微細ミストを冷却固体表面と接触させて生
じた凝縮水は再生循環して使用することが望ましい。
【００１４】上記の空気流中に噴射された水滴はおよそ
１０μｍより大きい粒子径であることが好ましく、減圧
膨張により分裂された超微細ミストはおよそ０．３μｍ
より小さい粒子径であることが好ましい。
１０μｍより大きい粒子径であることが好ましく、減圧
膨張により分裂された超微細ミストはおよそ０．３μｍ
より小さい粒子径であることが好ましい。
【００１５】上記の空気流中に噴射された水滴は主とし
て噴射による慣性運動を主体とした動きにより空気中の
不純物を捕捉し、減圧膨張により分裂された超微細ミス
トはブラウン運動を主体とした動きにより空気中の不純
物、特にケミカル物質を捕捉する。
て噴射による慣性運動を主体とした動きにより空気中の
不純物を捕捉し、減圧膨張により分裂された超微細ミス
トはブラウン運動を主体とした動きにより空気中の不純
物、特にケミカル物質を捕捉する。
【００１６】空気流の流速は３ｍ／秒以上、好ましくは
３〜１５ｍ／秒の範囲である。
３〜１５ｍ／秒の範囲である。
【００１７】空気流の流速は３ｍ／秒より遅いと衝立背
後に生ずる減圧領域が水滴を分裂させ難くなる。なお、
空気流の流速が１５ｍ／秒を超えても効果はそれ以上向
上せず、かえって各種の構成素材に風圧に絶える強度が
必要となってコストアップの要因となる。
後に生ずる減圧領域が水滴を分裂させ難くなる。なお、
空気流の流速が１５ｍ／秒を超えても効果はそれ以上向
上せず、かえって各種の構成素材に風圧に絶える強度が
必要となってコストアップの要因となる。
【００１８】水滴の噴射量（ｌ）は空気量（ｍ3 ）に対
して０．５〜０．７ ｌ／ｍ3 の範囲にあることが望ま
しく、また、水滴の噴射圧ｆ０．５〜２．０ｋｇ／ｃｍ
2 Ｇの範囲にあることが望ましい。
して０．５〜０．７ ｌ／ｍ3 の範囲にあることが望ま
しく、また、水滴の噴射圧ｆ０．５〜２．０ｋｇ／ｃｍ
2 Ｇの範囲にあることが望ましい。
【００１９】本発明の空気清浄化装置は、隔壁で囲まれ
た空気流路と、前記空気流路内に配置された水噴射ノズ
ルと、前記水噴射ノズルの下流に配設された多数の衝立
と、前記空気流路内に前記水噴射ノズルから前記衝立側
に向かう空気流を形成させて前記衝立の背面側に減圧領
域を形成させる送気ファンと、前記衝立の下流側に配置
された空気流中の超微細ミストを凝縮除去する冷却手段
とを有することを特徴としている。
た空気流路と、前記空気流路内に配置された水噴射ノズ
ルと、前記水噴射ノズルの下流に配設された多数の衝立
と、前記空気流路内に前記水噴射ノズルから前記衝立側
に向かう空気流を形成させて前記衝立の背面側に減圧領
域を形成させる送気ファンと、前記衝立の下流側に配置
された空気流中の超微細ミストを凝縮除去する冷却手段
とを有することを特徴としている。
【００２０】この空気清浄化方法には、前記冷却手段に
より凝縮された水の不純物の量を計測する計測装置を設
けることもできる。凝縮水の不純物量は被処理空気の供
給源であるクリ−ンルームや局所クリーントンネル内の
空気のクリーン度と関連するから凝縮水の不純物量を監
視することによりクリ−ンルームや局所クリーントンネ
ル内の空気のクリーン度を監視することができる。冷却
手段としては、例えば冷却コイルを用いることができ
る。
より凝縮された水の不純物の量を計測する計測装置を設
けることもできる。凝縮水の不純物量は被処理空気の供
給源であるクリ−ンルームや局所クリーントンネル内の
空気のクリーン度と関連するから凝縮水の不純物量を監
視することによりクリ−ンルームや局所クリーントンネ
ル内の空気のクリーン度を監視することができる。冷却
手段としては、例えば冷却コイルを用いることができ
る。
【００２１】本発明の空気清浄化装置には、冷却手段に
より凝縮された水を浄化して水噴射ノズルの供給水に供
給する再循環システムを設けることが望ましい。このと
き再生水の不純物濃度も上述した計測装置により計測し
て水質を管理することが望ましい。
より凝縮された水を浄化して水噴射ノズルの供給水に供
給する再循環システムを設けることが望ましい。このと
き再生水の不純物濃度も上述した計測装置により計測し
て水質を管理することが望ましい。
【００２２】本発明の空気清浄化装置において空気流中
に減圧領域を形成するために用いられる多数の衝立は、
背面側に減圧領域を形成し得るものであればよく、特に
形状は限定されない。一般には、衝立として、空気流の
流線を遮るように配置された矩形、その他任意形状の平
板が用いられる。
に減圧領域を形成するために用いられる多数の衝立は、
背面側に減圧領域を形成し得るものであればよく、特に
形状は限定されない。一般には、衝立として、空気流の
流線を遮るように配置された矩形、その他任意形状の平
板が用いられる。
【００２３】これらの平板は、空気流路を横切るように
間隔をおいて多数配列した組を空気流路に沿って、多段
に、かつ前の組の平板間の間隙に後の組の平板が位置す
るように配列することが好ましい。
間隔をおいて多数配列した組を空気流路に沿って、多段
に、かつ前の組の平板間の間隙に後の組の平板が位置す
るように配列することが好ましい。
【００２４】これらの多数の衝立の組は、３段以上、好
ましくは３〜７段に配列されて用いられる。
ましくは３〜７段に配列されて用いられる。
【００２５】空気流は各組の衝立を通過するにつれて圧
力が低下するので、後段の衝立の組を通過する空気流に
よっても減圧領域が形成されるようにするため、各組相
互の間隔は、下流にいくに従って順次狭くすることが望
ましい。
力が低下するので、後段の衝立の組を通過する空気流に
よっても減圧領域が形成されるようにするため、各組相
互の間隔は、下流にいくに従って順次狭くすることが望
ましい。
【００２６】本発明においては、水噴射ノズルから噴射
された水滴は、慣性運動により空気中の微小な塵埃と衝
突して水滴中に取り込み、一部は衝立と衝突し凝縮して
除去される。他の水滴は衝立の背面側に形成される減圧
領域において分裂して超微細ミストを形成する。超微細
ミストはブラウン運動により空気中の、特にガス状のケ
ミカル物質を取り込む。
された水滴は、慣性運動により空気中の微小な塵埃と衝
突して水滴中に取り込み、一部は衝立と衝突し凝縮して
除去される。他の水滴は衝立の背面側に形成される減圧
領域において分裂して超微細ミストを形成する。超微細
ミストはブラウン運動により空気中の、特にガス状のケ
ミカル物質を取り込む。
【００２７】このようにして空気中の塵埃やガス状のケ
ミカル物質を取り込んだ超微細ミストは冷却手段により
凝縮除去され、塵埃やケミカル物質の除かれた空気が送
り出される。
ミカル物質を取り込んだ超微細ミストは冷却手段により
凝縮除去され、塵埃やケミカル物質の除かれた空気が送
り出される。
【００２８】本発明は、例えば、クリ−ンルームや局所
クリーントンネルなどの空気清浄化に好適している。
クリーントンネルなどの空気清浄化に好適している。
【００２９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態について詳細に説明する。なお、各図面に
おいて、同一の構成には同一の符号を付し、図面ごとの
重複する説明は省略する。
の実施の形態について詳細に説明する。なお、各図面に
おいて、同一の構成には同一の符号を付し、図面ごとの
重複する説明は省略する。
【００３０】
【実施例】図１は、本発明の空気清浄化装置の一実施例
を概略的に示す図である。
を概略的に示す図である。
【００３１】同図において、空気ダクト１の例えばクリ
ーンルームに連結した空気取入口近傍には除塵のための
プレフィルタ２が装着され、その下流に噴射ノズル３が
多数の噴射口を下流側に向けて配置されている。噴射ノ
ズル３の下流には多数のステンレス板からなる衝立板４
が空気ダクト１の長手方向に直交する方向に等間隔で、
かつ多段に配設されている。
ーンルームに連結した空気取入口近傍には除塵のための
プレフィルタ２が装着され、その下流に噴射ノズル３が
多数の噴射口を下流側に向けて配置されている。噴射ノ
ズル３の下流には多数のステンレス板からなる衝立板４
が空気ダクト１の長手方向に直交する方向に等間隔で、
かつ多段に配設されている。
【００３２】各段の衝立板４は前段の衝立板４の間隙に
次の段の衝立板４が位置するように互い違いに配置され
ている。
次の段の衝立板４が位置するように互い違いに配置され
ている。
【００３３】多段に配置された衝立板４の下方にはバッ
ファタンク５が配置され、噴射ノズル３から噴射され衝
立板４に衝突し超微細ミストとならずに衝立板４を伝っ
て流下した水をポンプ６により冷却器７を介して再び噴
射ノズル３から噴射するようになっている。
ファタンク５が配置され、噴射ノズル３から噴射され衝
立板４に衝突し超微細ミストとならずに衝立板４を伝っ
て流下した水をポンプ６により冷却器７を介して再び噴
射ノズル３から噴射するようになっている。
【００３４】さらに、衝立板４の下流には超微細ミスト
を冷却し凝縮して除去する冷却コイル８が配設されてい
る。冷却コイル８の表面で凝縮した水は、バッファタン
ク５に導かれ衝立板４から流下した水とともに再び噴射
ノズル３から噴射される。
を冷却し凝縮して除去する冷却コイル８が配設されてい
る。冷却コイル８の表面で凝縮した水は、バッファタン
ク５に導かれ衝立板４から流下した水とともに再び噴射
ノズル３から噴射される。
【００３５】冷却コイル８の下流には空気ダクト１内に
３ｍ／秒以上の空気流を生じさせる送気ファン９が設置
されている。
３ｍ／秒以上の空気流を生じさせる送気ファン９が設置
されている。
【００３６】この実施例の装置では、送気ファン９を駆
動させると空気ダクト１内に３ｍ／秒以上の流速の空気
流が形成される。
動させると空気ダクト１内に３ｍ／秒以上の流速の空気
流が形成される。
【００３７】この状態で、図２に模式的に示すように、
噴射ノズル３から噴射圧０．５〜２．０ｋｇ／ｃｍ
2 Ｇ、流量０．５〜０．７ ｌ／ｍ3 で粒子径１０〜１
００μｍの水滴Ｐを噴射させると、この水滴は塵埃等の
微粒子と衝突してこれらを取り込みつつ一部は最初の衝
立板４Ａに衝突し凝縮して流下し、残りは空気流に乗っ
て衝立板４Ａを回って衝立板４Ａの背面に形成される減
圧領域に至って分裂してガス状の超微細ミストＭとな
る。水滴Ｐは、噴射による慣性運動により塵埃と衝突し
て塵埃を取り込むが、超微細ミストＭはブラウン運動が
支配的となる。この時の粒子密度は、約１０5 〜１０7
個／ｃｃと高いため、ブラウン運動をしながら気流にの
ってガス状のケミカル物質と接触する確率が極めて高く
なる。衝立板４Ａの間隙を塞ぐように配置された次の段
の衝立板４Ｂ、さらにその後段の衝立板４Ｃ、４Ｄによ
っても同様にして超微細ミストＭが生成される。なお、
同図において、衝立板４Ａの組と衝立板４Ｂの組との間
隔Ａ、衝立板４Ｂの組と衝立板４Ｃの組との間隔Ｂ、衝
立板４Ｃの組と衝立板４Ｄの組との間隔Ｃ、衝立板４Ｄ
の組と衝立板４Ｅの組との間隔Ｄは、Ａ＞Ｂ＞Ｃ＞Ｄと
されて、後段の衝立板によっても減圧領域が形成される
ようにされている。
噴射ノズル３から噴射圧０．５〜２．０ｋｇ／ｃｍ
2 Ｇ、流量０．５〜０．７ ｌ／ｍ3 で粒子径１０〜１
００μｍの水滴Ｐを噴射させると、この水滴は塵埃等の
微粒子と衝突してこれらを取り込みつつ一部は最初の衝
立板４Ａに衝突し凝縮して流下し、残りは空気流に乗っ
て衝立板４Ａを回って衝立板４Ａの背面に形成される減
圧領域に至って分裂してガス状の超微細ミストＭとな
る。水滴Ｐは、噴射による慣性運動により塵埃と衝突し
て塵埃を取り込むが、超微細ミストＭはブラウン運動が
支配的となる。この時の粒子密度は、約１０5 〜１０7
個／ｃｃと高いため、ブラウン運動をしながら気流にの
ってガス状のケミカル物質と接触する確率が極めて高く
なる。衝立板４Ａの間隙を塞ぐように配置された次の段
の衝立板４Ｂ、さらにその後段の衝立板４Ｃ、４Ｄによ
っても同様にして超微細ミストＭが生成される。なお、
同図において、衝立板４Ａの組と衝立板４Ｂの組との間
隔Ａ、衝立板４Ｂの組と衝立板４Ｃの組との間隔Ｂ、衝
立板４Ｃの組と衝立板４Ｄの組との間隔Ｃ、衝立板４Ｄ
の組と衝立板４Ｅの組との間隔Ｄは、Ａ＞Ｂ＞Ｃ＞Ｄと
されて、後段の衝立板によっても減圧領域が形成される
ようにされている。
【００３８】したがって、空気流中のガス状のケミカル
物質は超微細ミストＭ中に溶け込んで除去されることに
なる。ガス状のケミカル物質を取り込んだ超微細ミスト
Ｍは、冷却コイル８に到達し、冷却されて凝集し、大さ
な水滴となって系外へ排水として排除される。
物質は超微細ミストＭ中に溶け込んで除去されることに
なる。ガス状のケミカル物質を取り込んだ超微細ミスト
Ｍは、冷却コイル８に到達し、冷却されて凝集し、大さ
な水滴となって系外へ排水として排除される。
【００３９】このようにして塵埃やガス状のケミカル物
質の除去された空気は、空気ダクト１の排気口から排出
され、例えばクリーンルームに送られる。
質の除去された空気は、空気ダクト１の排気口から排出
され、例えばクリーンルームに送られる。
【図１】本発明の実施例の空気清浄化装置を概略的に示
す図である。
す図である。
【図２】本発明の実施例の超微細ミストの生成過程を模
式的に示す図である。
式的に示す図である。
１……空気ダクト、２……プレフィルタ、３……噴射ノ
ズル、４……衝立板、５……バッファタンク、６……ポ
ンプ、７……冷却器、８……冷却コイル、９……送気フ
ァン９。
ズル、４……衝立板、５……バッファタンク、６……ポ
ンプ、７……冷却器、８……冷却コイル、９……送気フ
ァン９。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ０１Ｄ 53/77 Ｆターム(参考） 4D002 AA40 AC10 BA02 CA01 GB01 GB20 4D020 AA10 BA08 CB25 CB27 DA01 DA03 DB01 DB11 DB20 4D032 AC01 AC08 AE04 BA03 BB01 BB20 CA01
Claims (12)
- 【請求項１】 空気流を発生させる工程と、 前記空気流中に水滴を噴射する工程と、 前記水滴を含む空気流を該空気流中の衝立の背後に生じ
る減圧領域に導入して前記水滴を減圧膨張により超微細
ミストに分裂させる工程と、 前記超微細ミストを含む空気流を冷却固体表面と接触さ
せて前記超微細ミストを凝縮除去する工程とを有するこ
とを特徴とする空気清浄化方法。 - 【請求項２】 前記空気流中に噴射された水滴はおよそ
１０μｍより大きい粒子径であり、減圧膨張により分裂
された超微細ミストはおよそ０．３μｍより小さい粒子
径であることを特徴とする請求項１記載の空気清浄化方
法。 - 【請求項３】 空気流中に噴射された水滴は主として慣
性運動を主体とした動きにより空気中の不純物を捕捉
し、減圧膨張により分裂された超微細ミストはブラウン
運動を主体とした動きにより空気中の不純物を捕捉する
ことを特徴とする請求項１又は２記載の空気清浄化方
法。 - 【請求項４】 空気流の流速が３ｍ／秒以上である請求
項１乃至３のいずれか１項記載の空気清浄化方法。 - 【請求項５】 水滴の噴射圧が０．５〜２．０ｋｇ／ｃ
ｍ2 Ｇである請求項１乃至５のいずれか１項記載の空気
清浄化方法。 - 【請求項６】 隔壁で囲まれた空気流路と、 前記空気流路内に配置された水噴射ノズルと、 前記水噴射ノズルの下流に配設された多数の衝立と、 前記空気流路内に前記水噴射ノズルから前記衝立側に向
かう空気流を形成させて前記衝立の背面側に減圧領域を
形成させる送気ファンと、前記衝立の下流側に配置され
た空気流中の超微細ミストを凝縮除去する冷却手段とを
有することを特徴とする空気清浄化装置。 - 【請求項７】 前記冷却手段により凝縮された水の不純
物の量を計測する計測装置を有することを特徴とする請
求項６記載の空気清浄化装置。 - 【請求項８】 前記冷却手段により凝縮された水を浄化
して前記水噴射ノズルの供給水として供給する再循環シ
ステムを有することを特徴とする請求項６又は７記載の
空気清浄化装置。 - 【請求項９】 前記多数の衝立は、前記空気流の流線を
遮るように空気流路に沿って多段に配設されていること
を特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項記載の空気
清浄化装置。 - 【請求項１０】 前記多数の衝立は、平板を空気流路を
横切るように間隔をおいて多数配列した組を空気流路に
沿って多段に、かつ前の組の平板間の間隙に後の組の平
板が位置するように配列したものであることを特徴とす
る請求項６乃至９のいずれか１項記載の空気清浄化装
置。 - 【請求項１１】 前記多数の衝立の組は、３〜７段に配
列されていることを特徴とする請求項９又は１０記載の
空気清浄化装置。 - 【請求項１２】 前記各組の衝立相互の間隔は、下流に
向かって順次狭くされていることを特徴とする請求項９
乃至１１のいずれか１項記載の空気清浄化装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10211195A JP2000042338A (ja) | 1998-07-27 | 1998-07-27 | 空気清浄化方法と空気清浄化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10211195A JP2000042338A (ja) | 1998-07-27 | 1998-07-27 | 空気清浄化方法と空気清浄化装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000042338A true JP2000042338A (ja) | 2000-02-15 |
| JP2000042338A5 JP2000042338A5 (ja) | 2005-10-27 |
Family
ID=16601959
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10211195A Pending JP2000042338A (ja) | 1998-07-27 | 1998-07-27 | 空気清浄化方法と空気清浄化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000042338A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101570613B1 (ko) * | 2014-08-26 | 2015-11-20 | 성균관대학교산학협력단 | 공기 정화장치 |
| JP2015536817A (ja) * | 2012-11-06 | 2015-12-24 | イノベーション イン サイエンシーズ アンド テクノロジーズ エス．アール．エル．Ｉｎｎｏｖａｔｉｏｎｉｎ Ｓｃｉｅｎｃｅｓ ＆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ｓ．Ｒ．Ｌ． | 重力的、物理的及び化学的に化合物を回収するために、気体と液体とを混合する方法及びシステム |
| JP2019030835A (ja) * | 2017-08-07 | 2019-02-28 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 粒子回収方法 |
| CN109809528A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-05-28 | 海南大学 | 超重力低压恒温膜蒸馏海水淡化装置和淡化海水的方法 |
| CN110479046A (zh) * | 2019-09-11 | 2019-11-22 | 马德民 | 一种使用液态介质净化气体的装置 |
-
1998
- 1998-07-27 JP JP10211195A patent/JP2000042338A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015536817A (ja) * | 2012-11-06 | 2015-12-24 | イノベーション イン サイエンシーズ アンド テクノロジーズ エス．アール．エル．Ｉｎｎｏｖａｔｉｏｎｉｎ Ｓｃｉｅｎｃｅｓ ＆ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ Ｓ．Ｒ．Ｌ． | 重力的、物理的及び化学的に化合物を回収するために、気体と液体とを混合する方法及びシステム |
| KR101570613B1 (ko) * | 2014-08-26 | 2015-11-20 | 성균관대학교산학협력단 | 공기 정화장치 |
| JP2019030835A (ja) * | 2017-08-07 | 2019-02-28 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 粒子回収方法 |
| CN109809528A (zh) * | 2019-04-09 | 2019-05-28 | 海南大学 | 超重力低压恒温膜蒸馏海水淡化装置和淡化海水的方法 |
| CN109809528B (zh) * | 2019-04-09 | 2023-07-21 | 海南大学 | 超重力低压恒温膜蒸馏海水淡化装置和淡化海水的方法 |
| CN110479046A (zh) * | 2019-09-11 | 2019-11-22 | 马德民 | 一种使用液态介质净化气体的装置 |
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