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EP0945630A1 - Kolbenstangenloser Linearantrieb - Google Patents

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Publication number
EP0945630A1
EP0945630A1 EP99105323A EP99105323A EP0945630A1 EP 0945630 A1 EP0945630 A1 EP 0945630A1 EP 99105323 A EP99105323 A EP 99105323A EP 99105323 A EP99105323 A EP 99105323A EP 0945630 A1 EP0945630 A1 EP 0945630A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
detection means
housing
linear drive
drive according
evaluation unit
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP99105323A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0945630B1 (de
Inventor
Kurt Dr. Stoll
Thomas Dr. Reininger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Festo SE and Co KG
Original Assignee
Festo SE and Co KG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Festo SE and Co KG filed Critical Festo SE and Co KG
Publication of EP0945630A1 publication Critical patent/EP0945630A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0945630B1 publication Critical patent/EP0945630B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F15B15/2815Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
    • F15B15/2869Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using electromagnetic radiation, e.g. radar or microwaves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/08Characterised by the construction of the motor unit
    • F15B15/082Characterised by the construction of the motor unit the motor being of the slotted cylinder type
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B15/00Fluid-actuated devices for displacing a member from one position to another; Gearing associated therewith
    • F15B15/20Other details, e.g. assembly with regulating devices
    • F15B15/28Means for indicating the position, e.g. end of stroke
    • F15B15/2815Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT
    • F15B15/2861Position sensing, i.e. means for continuous measurement of position, e.g. LVDT using magnetic means

Definitions

  • the invention relates to a rodless linear drive, with a housing interior delimiting Housing that opens into the interior of the housing Has longitudinal slot, with a drive part that a in Housing interior longitudinally movable drive section and one through the longitudinal slot to the outside protruding driver section, the longitudinal slot at least on the drive part on both sides in the longitudinal direction adjacent lengths by means of a Sealing tape is closed, and with a position determining device to determine the relative position of drive part and housing, on the housing or on the drive part provided first detection means and with these cooperating, provided on the other component has second detection means and the one the first and / or second detection means assigned evaluation unit contains.
  • the housing-side detection means are there from two on the two slot flanks of the longitudinal slot arranged resistance strips formed. One in contact with the two resistance strips standing sliding contact arranged on the driver section provides the drive part-side detection means.
  • the evaluation unit is from one side with the Resistance measuring strips connected so that they are in Changing depending on the position of the contact point Resistance of the two shorted sections of the Measure resistance measuring strips and from them the relative position of the output part and housing can determine.
  • a rodless linear drive with position determining device to create the easy to assemble is and reduces the manufacturing costs.
  • the sealing tape runs at a distance from the longitudinal slot in the Housing interior.
  • the drive part side Arrange detection means so that they with the section of the longitudinally spaced Seal tape work together, the assembly of the drive part Detection means due to the sufficient available space is simplified.
  • the housing-side detection means can already the manufacture of the sealing tape provided on this become.
  • the evaluation unit can only be used with the first or second detection means. In this case the other means of registration do not require a connection point to the evaluation unit, so that it is one have a simple structure and therefore with little effort can be produced.
  • the first Detection means for the relative movement of the housing and Drive part for example, in the field of cause second magnetic field changing magnetic field
  • the second detection means being magnetic field dependent Generate detection signal that of the evaluation unit is fed to determine the relative position.
  • This may be the first means of registration several electrically conductive and / or magnetizable or permanent magnetic detection elements that act in the direction of the relative movement of the drive part and Housing, for example, regularly spaced apart are arranged.
  • First detection means designed in this way are particularly easy to manufacture.
  • the second Detection means contain a coil arrangement. This can be used as a magnetic field dependent sensor. It is possible that in the area of the coil arrangement existing magnetic field from the coil arrangement itself is caused. This way the first Detection means itself no magnetic field in the area Generate coil assembly so that for their manufacture cheaper, non-permanent magnetic and in particular electrically conductive material can be used can.
  • the relative position is via such a measurement signal can also be determined if the starting position of Housing and drive part unknown before the relative movement are. This means that none known to the evaluation unit Starting position must be defined to the relative position to be able to determine.
  • a particularly simple position determination can take place if the relative position over time between sending out the measurement signal and arrival of one of the Measurement signal and the second detection means triggered Signal response is determined on the evaluation unit.
  • the first detection means on Sealing tape may be provided and one in the longitudinal direction of the sealing tape extending conductor arrangement included. This enables simple transmission of the measurement signal or the signal response.
  • the second detection means on the drive part be provided and a discontinuity in the Induce conductor arrangement, the measurement signal at the Discontinuity is a return to the evaluation unit Triggers signal response.
  • the discontinuity thus defines the relative position of the drive part and Casing.
  • the signal response can in particular be from a Reflection of the measurement signal at the point of discontinuity be educated.
  • a reflection can be of the second Detection means caused in a particularly simple manner become.
  • the second detection means expediently contain a magnetic device whose magnetic field is on the conductor arrangement acts and the discontinuity evokes.
  • the conductor of the conductor arrangement has magnetostrictive properties on so that this is due to the action of the magnetic field deformed, the deformation being the point of discontinuity represents.
  • the conductor arrangement at least one externally accessible electrical Head has.
  • the second Detection means one in contact with the electrical conductor have standing conductor tap, the contact point between conductor tap and electrical conductor Represents discontinuity.
  • the conductor tap can at the contact point in a particularly simple manner a change in resistance of the conductor, from the incoming Seen measurement signal ago, what is a reflection at the point of discontinuity.
  • the conductor tap is designed as a shorting bar, so to speak.
  • a rodless linear drive 1 is shown, which delimits a housing interior 2 Housing 3 has.
  • the housing 3 contains one extending in the longitudinal direction 4, tubular Housing body 5, which at its two end regions 6, 7 by means of a housing cover 8, 9 is closed.
  • On the housing body 5 is a wall at a circumferential point radially penetrating longitudinal slot 12 provided, which opens into the housing interior 2 and in the longitudinal direction, for example, over the entire Length of the housing body 5 extends.
  • a drive part 13 is provided on the housing 3 so as to be longitudinally movable, one in the housing interior 2 longitudinally movable arranged drive section 14 and one through the longitudinal slot 12 driver portion 15 projecting outwards having.
  • the drive section thus provides the force-absorbing, driven part of the drive part 13, on which the driver section 15 is provided. This serves for example, objects not shown such as grippers, tools, workpieces or sensors wear that by means of the linear drive 1 in a desired Position should be brought.
  • FIG. 1 it is a fluid-operated, especially pneumatic Linear drive 1, the drive section 14 of a piston 18 is formed.
  • the rodless linear drive 1 to be electrically driven, for example, the drive section 14 via a longitudinal spindle, a Toothed or V-belts or the like can be moved.
  • the housing interior 2 has an approximately circular cylindrical cross section.
  • the piston 18 is in the Housing interior 2 arranged longitudinally movable. He has an elongated, tube-like piston body 22, which at its two longitudinal end regions 23, 24 of each have a substantially cylindrical piston end piece 25, 26 is closed. Inside the piston body 22 is thus between the two piston end pieces 25, 26 Piston interior 27 limited.
  • the piston 18 lies in the region of the piston end pieces 25, 26 sealing on the inner wall facing the housing interior 2 30 of the housing body 5.
  • the Pistons on the two piston end pieces 25, 26 each a circumferential sealing arrangement 31, 32, which according to the example is formed by a sealing ring.
  • the piston 18 in the housing interior 2 of the housing 3 is additionally on each piston end piece 25, 26 Guide ring 33, 34 provided.
  • the two fluid chambers 37, 38 are in the region of the longitudinal slot 12 closed by means of a sealing tape 43, the inside of the slot flanks 44, 45 of the longitudinal sections extending along the fluid chambers 37, 38 46, 47 of the longitudinal slot 12 abuts.
  • the sealing tape 43 is preferably seen in cross section trapezoidal, the two opposite, sloping side surfaces 48, 49 of the sealing tape on also inclined, radially towards each other Slit flanks of the longitudinal slot 12 lie flat.
  • the sealing tape 43 is in the area with its two ends the housing cover 8, 9 fixed to the housing 3. Between these two fastening points 54, 55 is the sealing tape 43 stretched in its direction. Since it is usually made of elastic sealing material, are to increase the tensile strength according to FIG. 2 in the embodiment two in the sealing tape 43 continuously in the direction of extension of the sealing tape 43 extending reinforcing strands 56, 57 arranged. These can be made of a solid plastic be made or consist of metal. It understands yourself, that in a modification to the embodiment too only one or more than two reinforcement strands could be provided, which are also on the outside of the sealing tape 43 could be arranged.
  • actuated linear drive fulfills the sealing tape 43 no sealing function, but it protects it from contamination, that could penetrate into the housing 3.
  • the linear drive 1 has a Position determining device 58, which is dash-dotted in FIG. 1 is indicated.
  • Position determining device 58 which is dash-dotted in FIG. 1 is indicated.
  • the relative position of drive part 13 and housing 3 can the position of the provided on the driver section 15, object to be positioned as required become.
  • the position determination device 58 first provided according to the example on the sealing tape 43 Acquisition means 59 and cooperating with them, second detection means provided here on the drive part 13 60 on.
  • the first detection means 59 therefore in the following as the housing side and the second detection means 60 as the drive part side Means of detection.
  • Both the housing side and the drive part side Detection means 59, 60 are only in FIG. 1 shown schematically in dash-dotted lines.
  • the drive part side Detection means 60 are preferably on the Drive section 14 or in the connection area 52 between Drive section 14 and driver section 15 arranged.
  • the housing-side detection means 59 extend along the sealing tape 43 substantially above it whole length.
  • the drive part-side detection means 60 work with them depending on the current relative position between drive part 13 and Housing 3 assigned point of the housing side Detection means 59 together, which as detection point 61 be designated. This detection point 61 is located in the embodiment on the section of the housing side Detection means 59 or the sealing tape 43, the runs inside the feed-through opening 53.
  • the passage opening 53 can face the piston interior 27 be open as shown in FIG. 1. This gives there is a lot of space for arranging the drive part side Detection means 60 in the area of the assignment office 61. Also the assembly of the drive part Detection means 60 can thus be carried out without problems become.
  • An evaluation unit is provided with the housing-side detection means 59 64 of the position determining device 58 connected, the signals from the assigned housing-side Detection means 59 receive or signals to them Can send means of registration. By evaluating this The evaluation unit 61 can signal the current relative position between the drive part 13 and the housing 3 determine.
  • the evaluation unit only with the drive part Detection means 60 connected.
  • This connection is, for example, by means of electrical connecting conductors 66 realized.
  • the housing-side detection means 59 and the drive part-side detection means 60 work contactlessly together so that during the relative movement the drive part 13 and the housing 3 no additional Friction or no additional wear occurs.
  • the basic principle of the operation of the position determining device 58 is based on the fact that the housing-side detection means 59 during the relative movement of housing 3 and drive part 13 or Sealing tape 43 and drive part 13 are in the area of on the drive part-side detection means 60 changing magnetic field cause, the drive part side detection means 60 a magnetic field dependent detection signal generate that the evaluation unit 64 for determining the Relative position is supplied.
  • the drive part-side detection means 60 at least one magnetic field-dependent sensor 67, which in the embodiment 3 is formed by a coil 68. This coil is connected to a voltage via the evaluation unit 64 applied so that it produces the magnetic field itself.
  • the housing-side detection means 59 are in the sealing tape spaced apart along its direction arranged, magnetizable and / or electrically conductive detection elements 69 formed.
  • the detection elements can, for example, of spaced individual metal balls can be formed. However, it is also possible, the individual detection elements connect with each other, thereby introducing the Detection elements 69 in the sealing tape 43 during manufacture is much easier. For example the detection elements 69 to a chain or band-like Structure.
  • the external form of the In principle, detection elements 69 can be freely selected.
  • the coil 68 surrounds the sealing tape 43 in the area of the detection point 61. With a relative movement of the drive part 13 and housing 3, the coil 68 moves along the Sealing tape 43, the magnetic flux in the Coil through the sensing elements moved through the coil 68 69 changes, which also becomes one changing voltage on the coil 68 leads from the evaluation unit 64 can be measured.
  • the voltage signal on the coil 68 serves as a measure of the path that during the Relative movement between drive part 13 and housing 3 covered has been. Starting from a known, defined one The starting point can be the distance covered current relative position of drive part 13 and housing 3 can be determined in the evaluation unit 64.
  • the detection elements 69 on the sealing tape 43 can simultaneously determine the distance traveled Distance also the direction of movement of the relative movement be determined.
  • the detection elements 69 have irregular distances, so that during the Relative movement recorded by the evaluation unit 64 detection signal formed by the voltage on the coil 68 certain, periodically recurring voltage profiles has, the voltage curves depending on the direction of movement are different.
  • the periodically recurring, voltage curves containing the direction code, so to speak can also by in a section of the Sealing tape 43 different detection elements 69 caused be, the different detection elements 69 different voltage changes of the Cause coil voltage.
  • Position determining device 58 have the drive part side Detection means 60 via only one Coil 68.
  • these could also contain a coil arrangement, one with the evaluation unit 64 connected measuring coil is provided, the causes the detection signal. At least one more The coil of the coil arrangement could then be used as an excitation coil be formed, which is present in the area of the measuring coil Magnetic field.
  • the excitation coil so to speak and the measuring coil simultaneously from the single coil 68 educated.
  • the coil 68 can also be part of an oscillating circuit 73 be, wherein, for example, a series resonant circuit is realized where the capacitor 74 and the ohmic Resistor 75 is provided in the evaluation unit 64, so that the connection to the coil 68 via the connecting conductor 66 takes place. It is understood that the capacitor 74 and the resistor 75 together with the coil 68 also on Drive part 13 could be arranged. If the ohmic Resistance of the coil 68 together with that of the connecting conductor 66 is already large enough, the separate Ohmic resistance 75 is also eliminated.
  • the changing mood serves here of the resonant circuit 73 as a detection signal via which the Evaluation unit 64 the distance traveled and thus also the current relative position of drive part 13 and Housing 3 can determine.
  • the Magnetic field-dependent sensor 67 of the drive part-side detection means 60 in the exemplary embodiment according to FIG. 4 for example from a magnetoresistive sensor or a Hall sensor, with another any magnetic field-dependent sensor can be used can.
  • the existing in the area of the sensor 67 itself changing magnetic field is, for example, from the housing side Detection means 59 generated.
  • detection means 59 is as in the previous embodiment spaced apart in the direction of extension of the Sealing tape 43 arranged detection elements 69, wherein this in the present case in the form of permanent magnets are executed.
  • the sensing elements 69 are preferred connected together so that a kind of magnetic tape 78th arises.
  • the magnetic tape 78 can already at Production of the sealing tape 43 introduced into this are or can be arranged on the outside of the sealing tape 43.
  • the connecting the individual detection elements 69 Longitudinal strands 79, 80 can simultaneously function as Reinforcement strands 56, 57 in the sealing tape 43 take over sufficient stability of the sealing tape 43 in its Ensure direction of extension seen.
  • Each of the permanent magnetic detection elements 69 is generated a local magnetic field 81, which is schematic in FIG. 4 is indicated.
  • sensor 67 moves along of the sealing tape 43, whereby it is replaced by the successive local magnetic fields 81 applied to the detection elements 69 becomes. That caused in sensor 67 Detection signal is forwarded to the evaluation unit 64 and evaluated there to determine the relative position.
  • a coding by the The detection elements 69 are arranged or configured, so that the distance covered from the detection signal Distance and the direction of movement of the relative movement let determine what the determination of momentous relative position is possible.
  • the first Detection means 59 can also be provided on the drive part 13, so that they are the drive part-side detection means form.
  • the housing-side detection means are here formed by the second detection means 60.
  • sealing tape 43 to provide a plurality of spaced-apart magnetic field-dependent sensors 67, for example, several coils 68 that the represent second, housing-side detection means 60.
  • the first detection means 59 on the drive part side could then be from a permanent magnetic or magnetizable and in the case of one formed by a coil 68 magnetic field dependent sensor 67 from an electrical conductive detection element 69 may be formed.
  • Dependent on from the relative position of housing 3 and drive part 13 acts that arranged on the drive part 13 Detection element 69 mainly on the magnetic field or dependent Sensors 67 a at the assignment point 61 are present on the sealing tape 43. Because of the the assignment point 61 acting magnetic field Evaluation unit determine which of the magnetic field-dependent Sensors 67 is applied to the sealing tape 43, and thus the relative position of housing 3 and drive part 13 determine.
  • the arrangement of the first and second detection means 59, 60 is therefore compared to the exemplary embodiments according to FIG 3 and 4, so to speak, vice versa, now the Magnetic field-dependent sensors on the sealing tape 43 and one or Several detection elements 59 are provided on the drive part 13 are.
  • the advantage of this modification is that the current relative position of drive part 13 and Housing 3 does not have the last determined relative position and the relative movement that followed is determined, but results directly from it, which of the magnetic field-dependent sensors 67 on the sealing tape 43 is acted upon by the detection element 59 on the drive part side becomes. The more sensors 67 are provided on the sealing tape 43 are and the smaller their distance from each other is selected, the more precise the relative position can be be determined between drive part 13 and housing 3.
  • the evaluation unit 64 now only with the first detection means 59 connected, which in turn is the housing-side detection means represent. This eliminates the need to move the Connection conductor 66 with the drive part 13. Die Connection between the housing-side detection means 59 and the evaluation unit 64 is, for example, in Area of one of the attachment points 54, 55 between Sealing tape 43 and housing 3 are provided.
  • connection is made as in the previous ones Embodiments via one or more electrical connecting conductors 66, alternatively also a connection can be realized with galvanic isolation could.
  • the evaluation unit 64 and the housing-side detection means 59 inductively with one another be coupled.
  • the basic principle of the design variants of the position determining device 58 is based on FIGS. 5 and 6 that the evaluation unit 64 a measurement signal on the transmits housing-side detection means 59 through Interaction between the housing side and the second, drive part side detection means 59, 60 for Determination of the relative position is used.
  • the signal form of the measurement signal can in principle be arbitrary be, for example pulses, pulse trains or Waves, especially high-frequency waves, come into question.
  • the relative position determined in the evaluation unit 64 in that the time between sending the measurement signal and arrival one of the measurement signal and the drive part Detection means 60 via the housing-side detection means 59 signal response returning to the evaluation unit 64 is determined. Over the period and the known transmission speed of measurement signal and Signal response can be the relative position of Drive part 13 and housing 3 are determined.
  • the evaluation unit 64 When determining the position by sending a measurement signal it is possible to find the relative position directly in the To determine evaluation unit 64.
  • the evaluation unit 64 known, defined starting positions between drive part 13 and housing 3 does not have to be fixed because the current relative position does not exceed the distance traveled, but directly through the Evaluation of the measurement signal or the signal response takes place.
  • Both the measurement signal and the signal response are transmitted via a conductor arrangement 84, which the housing-side Detection means 59 forms.
  • the drive part side Detection means 60 cooperate in this way the conductor arrangement 84 together that they in this at the Detection point 61 cause a discontinuity 85, at which the emitted by the evaluation unit 64 Measurement signal the signal response returning to the evaluation unit triggers.
  • At least one of the conductors of conductor arrangement 84 can doing so to increase the tensile strength of the sealing tape 43 serving reinforcement strand 56, 57 form.
  • the conductor arrangement 84 has in the exemplary embodiment 5 over at least one and preferably over two externally accessible electrical conductors 88, 89, see above that measurement signal and signal response in the form of electrical Signals are present.
  • the electrical conductors 88, 89 are expediently on one of the outer surfaces of the sealing tape 43 provided that has no sealing function. According to the example, the electrical conductors 88, 89 are on the rear surface 90 facing housing interior 2 of the sealing tape 43 arranged.
  • the discontinuity 85 is thereby in this embodiment caused that a conductor tap 91 of the drive part Detection means with the or electrical conductors 88, 89 is in contact, the Contact point of discontinuity 85 corresponds.
  • the evaluation unit can 64 opposite end of the associated electrical Conductor 88, 89 by means of a corresponding Resistance adjusted to reflect the reflection of the Discontinuity from in the direction of propagation of the measurement signal continuous refractive signal at the end of the conductor avoid.
  • the measurement signal is formed by an electrical pulse.
  • the conductor tap 91 of the drive part-side detection means 60 is designed here as a shorting bar, the the two electrical conductors 88, 89 of the two-wire line electrically short-circuits at the point of discontinuity 85.
  • the two-wire line forms a so-called "Lecher line", the measurement signal in particular is formed by a high frequency wave.
  • the measurement signal is Measurement signal completely reflected at discontinuity 85, where the reflection forms the signal response, which is 180 ° out of phase with respect to the measurement signal.
  • a standing wire is thus formed in the second wire line Wave out.
  • the Runtime measurement the relative position between the drive part 13 and housing 3 determined in the evaluation unit 64.
  • the position determining device 58 act on the drive part side detection means 60 contactless the housing-side detection means 59. These are formed by the conductor assembly 84 which, in contrast to the previous embodiments play at least one contains magnetostrictive, electrically conductive conductor 96.
  • the drive part-side detection means 60 comprise one Magnet device 94, which in the present case by a Permanent magnet is formed, the magnetic field on the magnetostrictive conductor 96 of the conductor arrangement 84 acts and causes the discontinuity 85.
  • the magnetostrictive conductor 96 is, for example an amorphous or nanocrystalline, ferromagnetic conductor. By the influence of a Magnetic field, this is ferromagnetically saturated, causing a deformation (magnetostriction) of the magnetostrictive Conductor 96 is caused. This Deformation point forms the discontinuity 85 the measurement signal emitted by the evaluation unit 64 is reflected and broken.
  • a first possibility is that the reflection forms the signal response. That is based on the Discontinuity 85 in the direction of propagation of the Measurement signal along the magnetostrictive conductor 96 on Spreading refractive signal would be at the evaluation unit 64 reflected the opposite end one more time become. This could lead to errors in the calculation of the Lead relative position. That is why the magnetostrictive Conductor 96 on its opposite the evaluation unit 64 Terminated by means of a resistor 97 in such a way that the reflection factor is zero and therefore Adaptation exists.
  • the second possibility for the formation of the signal response results itself through the amorphous or nanocrystalline formation of the magnetostrictive conductor 96.
  • discontinuity 85 At the point of discontinuity 85 one emerges simultaneously in both Mechanical wave propagating directions, in particular Torsion shaft.
  • the one returning in the direction of the evaluation unit 64 mechanical wave provides the signal response represents and can therefore due to their known propagation speed about the runtime measurement for Determination of the relative position of housing 3 and drive part 13 serve.
  • the distance from the discontinuity 85 together with the refractive signal to that of the evaluation unit opposite end of the conductor 96 spreading further mechanical shaft is preferably on this The end of the conductor is so attenuated that there is no significant reflection takes place to errors in determining the relative position to be avoided in the evaluation unit 64.
  • the evaluation unit also leads with these design options 64 a transit time measurement of the measurement signal and Signal response through, from which they get the relative position determined between drive part 13 and housing 3.
  • FIG. 6 is a further variant for the execution of the Position determining device 58 shown.
  • the magnetostrictive conductor in the form of a tube-like one Sound wave guide 100 is formed, which in FIG. 6 is shown in broken lines.
  • Coaxial within the Sound waveguide 100 is an electrical measuring conductor 101 arranged, via which the measurement signal starting from the evaluation unit 64 is transmitted.
  • the discontinuity 85 triggers the incoming measurement signal via the Sound waveguide 100 returning to the evaluation unit 64 first and one opposed to this further propagating second mechanical wave, where it is in the present case a torsion shaft acts.
  • the first mechanical wave is the Signal response represents, and the second mechanical wave Damped at the end of the conductor to avoid reflections.

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Abstract

Die Erfindung betrifft einen kolbenstangenlosen Linearantrieb (1), mit einem einen Gehäuse-Innenraum (2) begrenzenden Gehäuse (3), das einen in den Gehäuse-Innenraum (2) mündenden Längsschlitz (12) aufweist. Ein Antriebsteil (13) ist mit einer Antriebspartie (14) im Gehäuse-Innenraum (2) längsbewegbar angeordnet und ragt mit einer Mitnehmerpartie (15) durch den Längsschlitz (12) hindurch nach außen. Der Längsschlitz (12) ist mittels eines Dichtbandes (43) verschlossen. Zur Bestimmung der Relativposition von Antriebsteil (13) und Gehäuse (3) dient eine Positionsbestimmungseinrichtung (58), die am Dichtband (43) vorgesehene gehäuseseitige Erfassungsmittel (59), am Antriebsteil (13) vorgesehene antriebsteilseitige Erfassungsmittel (60) und eine den Erfassungsmitteln (59 bzw. 60) zugeordnete Auswerteeinheit aufweist. <IMAGE>

Description

Die Erfindung betrifft einen kolbenstangenlosen Linearantrieb, mit einem einen Gehäuse-Innenraum begrenzenden Gehäuse, das einen in den Gehäuse-Innenraum mündenden Längsschlitz aufweist, mit einem Antriebsteil, das eine im Gehäuse-Innenraum längsbewegbar angeordnete Antriebspartie und eine durch den Längsschlitz hindurch nach außen ragende Mitnehmerpartie aufweist, wobei der Längsschlitz zumindest an den dem Antriebsteil beiderseits in Längsrichtung benachbarten Längenabschnitten mittels eines Dichtbandes verschlossen ist, und mit einer Positionsbestimmungseinrichtung zur Bestimmung der Relativposition von Antriebsteil und Gehäuse, die am Gehäuse oder am Antriebsteil vorgesehene erste Erfassungsmittel und mit diesen zusammenarbeitende, am jeweils anderen Bauteil vorgesehene zweite Erfassungsmittel aufweist und die eine den ersten und/oder zweiten Erfassungsmitteln zugeordnete Auswerteeinheit enthält.
Ein derartiger kolbenstangenloser Linearantrieb geht aus der DE-GM 29 508 517 hervor. Die gehäuseseitigen Erfassungsmittel sind dort von zwei an den beiden Schlitzflanken des Längsschlitzes angeordneten Widerstandsstreifen gebildet. Ein mit den beiden Widerstandsstreifen in Kontakt stehender, an der Mitnehmerpartie angeordneter Schleifkontakt stellt die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel dar. Die Auswerteeinheit ist von einer Seite her mit den Widerstandsmeßstreifen verbunden, so daß sie den sich in Abhängigkeit von der Position der Kontaktstelle ändernden Widerstand der beiden kurzgeschlossenen Abschnitte der Widerstandsmeßstreifen erfassen und daraus die Relativposition von Abtriebsteil und Gehäuse bestimmen kann.
Die Herstellung eines derartigen kolbenstangenlosen Linearantriebs ist relativ aufwendig, da sowohl die Widerstandsstreifen als auch die Schleifkontakte innerhalb des Längsschlitzes angeordnet werden müssen. Auf Grund des geringen Platzes, der für das Anbringen der Widerstandsstreifen und der Schleifkontakte zur Verfügung steht, ist eine präzise Fertigung erforderlich, um die Bewegbarkeit des Antriebsteils entlang des Gehäuses nicht durch eventuell auftretende Verklemmungen im Bereich des Längsschlitzes zu behindern. Besteht das Gehäuse aus elektrisch leitfähigem Material, muß dieses außerdem gegenüber den Widerstandsstreifen elektrisch isoliert werden.
Es ist daher die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen kolbenstangenlosen Linearantrieb mit Positionsbestimmungseinrichtung zu schaffen, der auf einfache Weise montierbar ist und den Herstellungsaufwand verringert.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die gehäuseseitigen Erfassungsmittel am Dichtband vorgesehen sind.
Zumindest an der Stelle, an der die Mitnehmerpartie des Antriebsteiles durch den Längsschlitz nach außen ragt, verläuft das Dichtband beabstandet zum Längsschlitz im Gehäuse-Inneren. Es besteht die Möglichkeit, die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel derart anzuordnen, daß sie mit dem vom Längsschlitz beabstandeten Abschnitt des Dichtbandes zusammenarbeiten, wobei die Montage der antriebsteilseitigen Erfassungsmittel auf Grund des ausreichend zur Verfügung stehenden Raumes vereinfacht ist. Die gehäuseseitigen Erfassungsmittel können bereits bei der Herstellung des Dichtbandes an diesem vorgesehen werden. Beispielsweise ist es möglich, die gehäuseseitigen Erfassungsmittel bei der Extrusion des Dichtbandes in dieses einzuarbeiten, ähnlich dem Verfahren zur Herstellung von ummantelten Kabeln oder Drähten. Bei dem Anbringen des Dichtbandes am Gehäuse des kolbenstangenlosen Linearantriebs werden hierbei gleichzeitig die gehäuseseitigen Erfassungsmittel montiert, wodurch der Arbeits- und Zeitaufwand beim Fertigen des Linearantriebs reduziert ist.
Vorteilhafte Ausgestaltungen des Gegenstands der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Die Auswerteeinheit kann ausschließlich mit den ersten oder zweiten Erfassungsmitteln verbunden sein. In diesem Falle benötigen die jeweils anderen Erfassungsmittel keine Verbindungsstelle zur Auswerteeinheit, so daß sie einen einfachen Aufbau aufweisen und daher mit geringem Aufwand hergestellt werden können.
Vorteilhafterweise arbeiten die ersten und die zweiten Erfassungsmittel kontaktlos zusammen, wodurch zum einen die Relativbewegung von Antriebsteil und Gehäuse ungehindert erfolgen kann und zum anderen ein Reibungsverschleiß bei der Relativbewegung zwischen den ersten und zweiten Erfassungsmitteln vermieden ist.
Bei einer derartigen Ausführung können die ersten Erfassungsmittel bei der Relativbewegung von Gehäuse und Antriebsteil beispielsweise ein sich im Bereich der zweiten Erfassungsmittel änderndes Magnetfeld hervorrufen, wobei die zweiten Erfassungsmittel ein magnetfeldabhängiges Erfassungssignal erzeugen, das der Auswerteeinheit zur Bestimmung der Relativposition zugeführt wird. Dieser Aufbau der Positionsbestimmungseinrichtung gewährleistet eine zuverlässige Funktion bei geringen Herstellungskosten.
Hierbei kann es sich bei den ersten Erfassungsmitteln um mehrere elektrisch leitfähige und/oder magnetisierbare oder permanentmagnetische Erfassungselemente handeln, die in Richtung der Relativbewegung von Antriebsteil und Gehäuse beispielsweise regelmäßig beabstandet zueinander angeordnet sind. Derart ausgestaltete erste Erfassungsmittel sind besonders einfach herzustellen.
Des weiteren ist es vorteilhaft, wenn die zweiten Erfassungsmittel eine Spulenanordnung enthalten. Diese kann als magnetfeldabhängiger Sensor eingesetzt werden. Dabei ist es möglich, daß das im Bereich der Spulenanordnung vorhandene Magnetfeld von der Spulenanordnung selbst hervorgerufen ist. Auf diese Weise müssen die ersten Erfassungsmittel selbst kein Magnetfeld im Bereich der Spulenanordnung erzeugen, so daß für ihre Herstellung ein preiswerteres, nicht-permanentmagnetisches und insbesondere elektrisch leitfähiges Material verwendet werden kann.
Die Ausgestaltung, bei der die Auswerteeinheit insbesondere ausschließlich mit den ersten Erfassungsmitteln verbunden ist, eröffnet die Möglichkeit, daß die Auswerteeinheit über die ersten Erfassungsmittel ein Meßsignal aussendet, das durch Zusammenwirken mit den zweiten Erfassungsmitteln zur Ermittlung der Relativposition dient. Über ein solches Meßsignal ist die Relativposition auch dann bestimmbar, wenn die Ausgangsposition von Gehäuse und Antriebsteil vor der Relativbewegung unbekannt sind. Das bedeutet, daß keine der Auswerteeinheit bekannte Ausgangsposition definiert werden muß, um die Relativposition ermitteln zu können.
Eine besonders einfache Positionsbestimmung kann dabei erfolgen, wenn die Relativposition über die Zeitspanne zwischen Aussenden des Meßsignals und Eintreffen einer vom Meßsignal und den zweiten Erfassungsmitteln ausgelösten Signalantwort an der Auswerteeinheit ermittelt wird.
Vorteilhaft ist es auch, wenn die Auswerteeinheit mit den gehäuseseitigen Erfassungsmitteln verbunden ist. Meist bewegt sich das Antriebsteil entlang des ortsfesten Gehäuses, so daß Verbindungskabel zur Auswerteeinheit bei dieser Ausführungsform nicht mitbewegt werden müssen.
Des weiteren können die ersten Erfassungsmittel am Dichtband vorgesehen sein und eine sich in Längsrichtung des Dichtbandes erstreckende Leiteranordnung enthalten. Dies ermöglicht eine einfache Obertragung des Meßsignals bzw. der Signalantwort.
Dabei können die zweiten Erfassungsmittel am Antriebsteil vorgesehen sein und eine Unstetigkeitsstelle in der Leiteranordnung hervorrufen, wobei das Meßsignal an der Unstetigkeitsstelle eine zur Auswerteeinheit zurücklaufende Signalantwort auslöst. Die Unstetigkeitsstelle definiert somit die Relativposition von Antriebsteil und Gehäuse. Die Signalantwort kann insbesondere von einer Reflexion des Meßsignals an der Unstetigkeitsstelle gebildet sein. Eine Reflexion kann von den zweiten Erfassungsmitteln auf besonders einfache Weise hervorgerufen werden.
Hierfür enthalten die zweiten Erfassungsmittel zweckmäßigerweise eine Magneteinrichtung, deren Magnetfeld auf die Leiteranordnung einwirkt und die Unstetigkeitsstelle hervorruft. Insbesondere weist hierbei wenigstens einer der Leiter der Leiteranordnung magnetostriktive Eigenschaften auf, so daß sich dieser auf Grund der Einwirkung des Magnetfeldes verformt, wobei die Verformung die Unstetigkeitsstelle darstellt.
Des weiteren ist es zweckmäßig, wenn die Leiteranordnung mindestens einen von außen zugänglichen elektrischen Leiter aufweist. Hierbei können die zweiten Erfassungsmittel einen mit dem elektrischen Leiter in Kontakt stehenden Leiterabgriff aufweisen, wobei die Kontaktstelle zwischen Leiterabgriff und elektrischem Leiter die Unstetigkeitsstelle darstellt. Durch den Leiterabgriff kann an der Kontaktstelle auf besonders einfache Weise eine Widerstandsänderung des Leiters, vom einlaufenden Meßsignal her gesehen, erreicht werden, was eine Reflexion an der Unstetigkeitsstelle zur Folge hat. Bei einer besonders einfachen Ausführungsvariante verbindet der Leiterabgriff mehrere elektrische Leiter der Leiteranordnung an der Unstetigkeitsstelle elektrisch. Der Leiterabgriff ist sozusagen als Kurzschlußbügel ausgebildet.
Im folgenden wird der erfindungsgemäße kolbenstangenlose Linearantrieb anhand der beigefügten Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1
einen mit einer Positionsbestimmungseinrichtung ausgestatteten fluidbetätigten kolbenstangenlosen Linearantrieb im Längsschnitt,
Fig. 2
den Linearantrieb aus Fig. 1 in einem Querschnitt gemäß der Schnittlinie II-II,
Fig. 3
den prinzipiellen Aufbau eines ersten Ausführungsbeispiels einer Positionsbestimmungseinrichtung, wobei die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel eine Spulenanordnung und die gehäuseseitigen Erfassungsmittel mehrere magnetisierbare Erfassungselemente aufweisen, in einer schematischen Darstellung,
Fig. 4
ein zweites Ausführungsbeispiel einer Positionsbestimmungseinrichtung in der Darstellung wie Fig. 3, wobei die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel einen magnetfeldabhängigen Sensor und die gehäuseseitigen Erfassungsmittel mehrere permanentmagnetische Erfassungselemente aufweisen,
Fig. 5
ein drittes Ausführungsbeispiel einer Positionsbestimmungseinrichtung in der Darstellung wie Fig. 3, wobei die gehäuseseitigen Erfassungsmittel von außen zugängliche elektrische Leiter und die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel einen Leiterabgriff aufweisen, und
Fig. 6
weitere Ausführungsformen der Positionsbestimmungseinrichtung in der Darstellung gemäß Fig. 3, wobei die gehäuseseitigen Erfassungsmittel einen magnetostriktiven Leiter und die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel eine Magneteinrichtung aufweisen.
In Fig. 1 ist ein kolbenstangenloser Linearantrieb 1 dargestellt, der über ein einen Gehäuse-Innenraum 2 begrenzendes Gehäuse 3 verfügt. Das Gehäuse 3 enthält einen sich in Längsrichtung 4 erstreckenden, rohrförmigen Gehäusekörper 5, der an seinen beiden stirnseitigen Endbereichen 6, 7 mittels jeweils eines Gehäusedeckels 8, 9 verschlossen ist. Am Gehäusekörper 5 ist ein dessen Wand an einer Umfangsstelle radial durchsetzender Längsschlitz 12 vorgesehen,der in den Gehäuse-Innenraum 2 einmündet und sich in Längsrichtung beispielsgemäß über die gesamte Länge des Gehäusekörpers 5 erstreckt.
Am Gehäuse 3 ist längsbeweglich ein Antriebsteil 13 vorgesehen, das eine im Gehäuse-Innenraum 2 längsbewegbar angeordnete Antriebspartie 14 und eine durch den Längsschlitz 12 hindurch nach außen ragende Mitnehmerpartie 15 aufweist. Die Antriebspartie stellt somit den kraftaufnehmenden, angetriebenen Teil des Antriebsteiles 13 dar, an dem die Mitnehmerpartie 15 vorgesehen ist. Diese dient beispielsweise dazu, nicht näher dargestellte Gegenstände wie Greifer, Werkzeuge, Werkstücke oder Sensoren zu tragen, die mittels des Linearantriebs 1 in eine gewünschte Position gebracht werden sollen.
Beim bevorzugten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 1 handelt es sich um einen fluidbetätigten, insbesondere pneumatischen Linearantrieb 1, dessen Antriebspartie 14 von einem Kolben 18 gebildet ist. Alternativ hierzu besteht auch die Möglichkeit, den kolbenstangenlosen Linearantrieb 1 zum Beispiel elektrisch angetrieben auszubilden, wobei die Antriebspartie 14 über eine Längsspindel, einen Zahn- oder Keilriemen oder ähnliches bewegt werden kann.
Beispielsgemäß weist der Gehäuse-Innenraum 2 einen in etwa kreiszylindrischen Querschnitt auf. Der Kolben 18 ist im Gehäuse-Innenraum 2 längsbewegbar geführt angeordnet. Er verfügt über einen länglichen, rohrähnlichen Kolbenkörper 22, der an seinen beiden Längsendbereichen 23, 24 von jeweils einem im wesentlichen zylindrischen Kolbenendstück 25, 26 verschlossen ist. Innerhalb des Kolbenkörpers 22 ist zwischen den beiden Kolbenendstücken 25, 26 somit ein Kolben-Innenraum 27 begrenzt.
Im Bereich der Kolbenendstücke 25, 26 liegt der Kolben 18 dichtend an der dem Gehäuse-Innenraum 2 zugewandten Innenwand 30 des Gehäusekörpers 5 an. Hierfür verfügt der Kolben an den beiden Kolbenendstücken 25, 26 über jeweils eine ringsumlaufende Dichtungsanordnung 31, 32, die beispielsgemäß von einem Dichtring gebildet ist. Zur besseren Führung des Kolbens 18 im Gehäuse-Innenraum 2 des Gehäuses 3 ist zusätzlich an jedem Kolbenendstück 25, 26 ein Führungsring 33, 34 vorgesehen.
In Längsrichtung 4 sind beiderseits des Kolbens 18 im Gehäuse-Innenraum 2 Fluidkammern 37, 38 gebildet, die einerseits vom zugeordneten Gehäusedeckel 8, 9 und andererseits durch das betreffende Kolbenendstück 25, 26 begrenzt sind. Zur Zufuhr bzw. Abfuhr von Fluid in die bzw. aus der Fluidkammer 37, 38 ist diese fluidisch mit einem den jeweils zugeordneten Gehäusedeckel 8, 9 durchsetzenden zentralen Fluidkanal 39, 40 verbunden. An diesen kann außen wiederum eine entsprechende Fluidleitung angeschlossen werden, die mit einer Fluidquelle bzw. Fluidsenke verbunden ist.
Die beiden Fluidkammern 37, 38 sind im Bereich des Längsschlitzes 12 mittels eines Dichtbandes 43 verschlossen, das von innen her an den Schlitzflanken 44, 45 der sich entlang der Fluidkammern 37, 38 erstreckenden Längenabschnitte 46, 47 des Längsschlitzes 12 anliegt.
Das Dichtband 43 ist im Querschnitt gesehen vorzugsweise trapezförmig ausgebildet, wobei die beiden entgegengesetzten, schräg zueinander verlaufenden Seitenflächen 48, 49 des Dichtbandes an ebenfalls schräg verlaufenden, nach radial außen hin aufeinander zul aufenden Schlitzflanken des Längsschlitzes 12 flächig anliegen.
Um der Mitnehmerpartie 15 des Antriebsteiles 13 das Durchsetzen des Längsschlitzes im Verbindungsbereich 52 mit der Antriebspartie 14 zu ermöglichen, ist das Dichtband 43 dort nach innen vom Längsschlitz 12 abgehoben und verläuft in einer im Verbindungsbereich 52 vorgesehenen, das Antriebsteil 13 durchsetzenden Durchführungsöffnung 53.
Das Dichtband 43 ist mit seinen beiden Enden im Bereich der Gehäusedeckel 8, 9 am Gehäuse 3 festgelegt. Zwischen diesen beiden Befestigungsstellen 54, 55 ist das Dichtband 43 in seiner Verlaufsrichtung gespannt. Da es in der Regel aus dehnbarem Dichtmaterial besteht, sind zur Erhöhung der Zugfestigkeit gemäß Fig. 2 beim Ausführungsbeispiel zwei im Dichtband 43 durchgehend in Erstreckungsrichtung des Dichtbandes 43 verlaufende Verstärkungsstränge 56, 57 angeordnet. Diese können aus einem festen Kunststoff gefertigt sein oder auch aus Metall bestehen. Es versteht sich, daß in Abwandlung zum Ausführungsbeispiel auch lediglich ein oder mehr als zwei Verstärkungsstränge vorgesehen sein könnten, die auch außen am Dichtband 43 angeordnet sein könnten.
Bei einem nicht näher dargestellten, nicht-fluidisch betätigten Linearantrieb erfüllt das Dichtband 43 zwar keine Dichtfunktion, jedoch schützt es diesen vor Verunreinigungen, die in das Gehäuse 3 eindringen könnten.
Zur Bestimmung der Relativposition zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 verfügt der Linearantrieb 1 über eine Positionsbestimmungseinrichtung 58, die in Fig. 1 strichpunktiert angedeutet ist. Über die Vorgabe und Erfassung der Relativposition von Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 kann die Position des an der Mitnehmerpartie 15 vorgesehenen, zu positionierenden Gegenstandes bedarfsgemäß eingestellt werden.
Zu diesem Zweck weist die Positionsbestimmungseinrichtung 58 beispielsgemäß am Dichtband 43 vorgesehene erste Erfassungsmittel 59 und mit diesen zusammenarbeitende, hier am Antriebsteil 13 vorgesehene zweite Erfassungsmittel 60 auf. Zur besseren Unterscheidbarkeit werden die ersten Erfassungsmittel 59 daher im folgenden als gehäuseseitige und die zweiten Erfassungsmittel 60 als antriebsteilseitige Erfassungsmittel bezeichnet.
Sowohl die gehäuseseitigen als auch die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 59, 60 sind in Fig. 1 lediglich strichpunktiert schematisch dargestellt. Die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 sind vorzugsweise an der Antriebspartie 14 oder im Verbindungsbereich 52 zwischen Antriebspartie 14 und Mitnehmerpartie 15 angeordnet. Die gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 erstrecken sich entlang des Dichtbandes 43 im wesentlichen über dessen gesamte Länge. Die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 arbeiten mit der ihnen jeweils in Abhängigkeit von der momentanen Relativposition zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 zugeordneten Stelle der gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 zusammen, die als Erfassungsstelle 61 bezeichnet sei. Diese Erfassungsstelle 61 befindet sich beim Ausführungsbeispiel an dem Abschnitt der gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 bzw. des Dichtbandes 43, der innerhalb der Durchführungsöffnung 53 verläuft.
Die Durchführungsöffnung 53 kann zum Kolben-Innenraum 27 hin offen sein, wie dies in Fig. 1 gezeigt ist. Dadurch ergibt sich besonders viel Raum für das Anordnen der antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 im Bereich der Zuordnungsstelle 61. Auch die Montage der antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 kann somit problemlos durchgeführt werden.
Mit den gehäuseseitigen Erfassungsmitteln 59 ist eine Auswerteeinheit 64 der Positionsbestimmungseinrichtung 58 verbunden, die Signale von den zugeordneten gehäuseseitigen Erfassungsmitteln 59 empfangen bzw. Signale an diese Erfassungsmittel senden kann. Durch die Auswertung dieser Signale kann die Auswerteeinheit 61 die momentane Relativposition zwischen dem Antriebsteil 13 und dem Gehäuse 3 ermitteln.
In Abwandlung hierzu ist es auch möglich, die Auswerteeinheit 64 zusätzlich oder alternativ mit den antriebsteilseitigen Erfassungsmitteln 60 zu verbinden. Dies hängt insbesondere von der Ausführungsform der Positionsbestimmungseinrichtung 58 ab, wobei verschiedene Ausführungen in den Figuren 3 bis 6 in Form von Prinzipdarstellungen schematisch gezeigt sind. Anhand dieser Figuren wird die Funktionsweise der verschiedenen Ausführungsbei spiele der Positionsbestimmungseinrichtung 58 nachfolgend im einzelnen erläutert.
Bei den beiden Ausführungsformen gemäß den Fig. 3 und 4 ist die Auswerteeinheit lediglich mit den antriebsteilseitigen Erfassungsmitteln 60 verbunden. Diese Verbindung ist beispielsgemäß mittels elektrischer Verbindungsleiter 66 realisiert. Die gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 und die antriebsteilseitigen Erfassungsmittl 60 arbeiten kontaktlos zusammen, so daß während der Relativbewegung des Antriebsteils 13 und des Gehäuses 3 keine zusätzliche Reibung bzw. kein zusätzlicher Verschleiß auftritt.
Das Grundprinzip der Funktionsweise der Positionsbestimmungseinrichtung 58 beruht hierbei darauf, daß die gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 bei der Relativbewegung von Gehäuse 3 und Antriebsteil 13 bzw. von Dichtband 43 und Antriebsteil 13 ein sich im Bereich der antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 änderndes Magnetfeld hervorrufen, wobei die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 ein magnetfeldabhängiges Erfassungssignal erzeugen, das der Auswerteeinheit 64 zur Bestimmung der Relativposition zugeführt wird.
Zur Erfassung des sich ändernden Magnetfeldes weisen die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 zumindest einen magnetfeldabhängigen Sensor 67 auf, der beim Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 3 von einer Spule 68 gebildet ist. Diese Spule ist über die Auswerteeinheit 64 an eine Spannung angelegt, so daß sie das Magnetfeld selbst hervorruft.
Die gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 sind von im Dichtband entlang dessen Verlaufsrichtung beabstandet zueinander angeordneten, magnetisierbaren und/oder elektrisch leitfähigen Erfassungselementen 69 gebildet. Die Erfassungselemente können beispielsweise von beabstandeten einzelnen Metallkugeln gebildet sein. Es ist jedoch ebenfalls möglich, die einzelnen Erfassungselemente miteinander zu verbinden, wodurch das Einbringen der Erfassungselemente 69 in das Dichtband 43 bei der Herstell ung wesentlich erleichtert ist. Beispielsweise können die Erfassungselemente 69 zu einer ketten- oder bandähnlichen Struktur verbunden sein. Die äußere Form der Erfassungselemente 69 ist grundsätzlich frei wählbar.
Die Spule 68 umgibt das Dichtband 43 im Bereich der Erfassungsstelle 61. Bei einer Relativbewegung von Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 bewegt sich die Spule 68 entlang des Dichtbandes 43, wobei sich der magnetische Fluß in der Spule durch die durch die Spule 68 hindurchbewegten Erfassungselemente 69 ändert, was zu einer sich ebenfalls ändernden Spannung an der Spule 68 führt, die von der Auswerteeinheit 64 gemessen werden kann. Das Spannungssignal an der Spule 68 dient als Maß für den Weg, der während der Relativbewegung zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 zurückgelegt wurde. Ausgehend von einer bekannten, definierten Ausgangslage kann über den zurückgelegten Weg die momentane Relativposition von Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 in der Auswerteeinheit 64 bestimmt werden.
Über die Anordnung der Erfassungselemente 69 am Dichtband 43 kann gleichzeitig zur Bestimmung der zurückgelegten Wegstrecke auch die Bewegungsrichtung der Relativbewegung ermittelt werden. Hierfür können die Erfassungselemente 69 unregelmäßige Abstände aufweisen, so daß das während der Relativbewegung durch die Auswerteeinheit 64 aufgenommene, von der Spannung an der Spule 68 gebildete Erfassungssignal bestimmte, periodisch wiederkehrende Spannungsverläufe aufweist, wobei die Spannungsverläufe je nach Bewegungsrichtung unterschiedlich sind. Die periodisch wiederkehrenden, sozusagen den Richtungscode enthaltenden Spannungsverläufe können auch durch in einem Abschnitt des Dichtbandes 43 unterschiedliche Erfassungselemente 69 hervorgerufen werden, wobei die unterschiedlichen Erfassungselemente 69 verschieden starke Spannungsänderungen der Spulenspannung bewirken.
Bei dem in Fig. 3 dargestellten Ausführungsbeispiel der Positionsbestimmungseinrichtung 58 verfügen die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 lediglich über eine einzige Spule 68. In Abwandlung hierzu könnten diese auch eine Spulenanordnung enthalten, wobei eine mit der Auswerteeinheit 64 verbundene Meßspule vorgesehen ist, die das Erfassungssignal hervorruft. Wenigstens eine weitere Spule der Spulenanordnung könnte dann als Erregerspule ausgebildet sein, die das im Bereich dar Meßspule vorhandene Magnetfeld hervorruft. Bei der bevorzugten Ausführungsform nach Fig. 3 sind sozusagen die Erregerspule und die Meßspule gleichzeitig von der einzigen Spule 68 gebildet.
Die Spule 68 kann auch Bestandteil eines Schwingkreises 73 sein, wobei beispielsgemäß ein Reihenschwingkreis realisiert ist, bei dem der Kondensator 74 und der Ohmsche Widerstand 75 in der Auswerteeinheit 64 vorgesehen sind, so daß die Verbindung zur Spule 68 über die Verbindungsleiter 66 erfolgt. Es versteht sich, daß der Kondensator 74 und der Widerstand 75 zusammen mit der Spule 68 auch am Antriebsteil 13 angeordnet sein könnten. Falls der Ohmsche Widerstand der Spule 68 zusammen mit dem der Verbindungsleiter 66 bereits ausreichend groß ist, kann der separate Ohmsche Widerstand 75 auch entfallen.
Wird nun auf Grund der relativ zur Spule 68 bewegten Erfassungselemente 69 der magnetische Fluß im Innern der Spule 68 verändert, so ändert sich ebenfalls die Resonanzfrequenz und dadurch auch die Verstimmung des Schwingkreises 73. Hierbei dient die sich ändernde Verstimmung des Schwingkreises 73 als Erfassungssignal, über das die Auswerteeinheit 64 die zurückgelegte Wegstrecke und somit auch die momentane Relativposition von Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 ermitteln kann.
Im Unterschied zum Ausführungsbeispiel nach Fig. 3 ist der magnetfeldabhängige Sensor 67 der antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 beim Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 4 beispielsweise von einem magnetoresistiven Sensor oder einem Hall-Sensor gebildet, wobei auch ein anderer beliebiger magnetfeldabhängiger Sensor zum Einsatz kommen kann. Das im Bereich des Sensors 67 vorhandene, sich ändernde Magnetfeld wird beispielsgemäß von den gehäuseseitigen Erfassungsmitteln 59 erzeugt. Bei diesen am Dichtband 43 vorgesehenen Erfassungsmitteln 59 handelt es sich wie beim vorangegangenen Ausführungsbeispiel um voneinander beabstandet in Erstreckungsrichtung des Dichtbandes 43 angeordnete Erfassungselemente 69, wobei diese im vorliegenden Fall in Form von Permanentmagneten ausgeführt sind. Die Erfassungselemente 69 sind vorzugsweise miteinander verbunden, so daß eine Art Magnetband 78 entsteht. Das Magnetband 78 kann bereits bei der Herstellung des Dichtbandes 43 in dieses eingebracht werden oder auch außen am Dichtband 43 angeordnet sein.
Die die einzelnen Erfassungselemente 69 verbindenden Längsstränge 79, 80 können gleichzeitig die Funktion der Verstärkungsstränge 56, 57 im Dichtband 43 übernehmen, um eine ausreichende Stabilität des Dichtbandes 43 in dessen Erstreckungsrichtung gesehen zu gewährleisten.
Jedes der permanentmagnetischen Erfassungselemente 69 erzeugt ein lokales Magnetfeld 81, das in Fig. 4 schematisch angedeutet ist. Während der Relativbewegung von Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 bewegt sich der Sensor 67 entlang des Dichtbandes 43, wobei er durch die aufeinanderfolgenden lokalen Magnetfelder 81 der Erfassungselemente 69 beaufschlagt wird. Das dadurch im Sensor 67 hervorgerufene Erfassungssignal wird an die Auswerteeinheit 64 weitergeleitet und dort zur Bestimmung der Relativposition ausgewertet. Wie schon beim vorangegangenen Ausführungsbeispiel beschrieben, kann auch hier eine Codierung durch die Anordnung bzw. Ausgestaltung der Erfassungselemente 69 erfolgen, so daß sich aus dem Erfassungssignal die zurückgelegte Wegstrecke und die Bewegungsrichtung der Relativbewegung bestimmen lassen, wodurch die Ermittlung der momenanten Relativposition möglich ist.
Alternativ zu den beiden vorstehend erläuterten Ausführungsvarianten gemäß den Fig. 3 und 4 können die ersten Erfassungsmittel 59 auch am Antriebsteil 13 vorgesehen sein, so daß sie die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel bilden. Die gehäuseseitigen Erfassungsmittel werden hierbei von den zweiten Erfassungsmitteln 60 gebildet.
Es besteht hierbei die Möglichkeit, am Dichtband 43 mehrere beabstandete magnetfeldabhängige Sensoren 67 vorzusehen, beispielsweise mehrere Spulen 68, die die zweiten, gehäuseseitigen Erfassungsmittel 60 darstellen. Die ersten, antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 59 könnten dann von einem permanentmagnetischen oder magnetisierbaren und im Fall eines von einer Spule 68 gebildeten magnetfeldabhängigen Sensors 67 von einem elektrisch leitfähigen Erfassungselement 69 gebildet sein. In Abhängigkeit von der Relativposition von Gehäuse 3 und Antriebsteil 13 wirkt das am Antriebsteil 13 angeordnete Erfassungselement 69 hauptsächlich auf den oder die magnetfeldabhängigen Sensoren 67 ein, die an der Zuordnungsstelle 61 am Dichtband 43 vorhanden sind. Auf Grund des an der Zuordnungsstelle 61 wirkenden Magnetfeldes kann die Auswerteeinheit bestimmen, welcher der magnetfeldabhängigen Sensoren 67 am Dichtband 43 beaufschlagt ist, und somit die Relativposition von Gehäuse 3 und Antriebsteil 13 ermitteln.
Die Anordnung der ersten und zweiten Erfassungsmittel 59, 60 wird daher gegenüber den Ausführungsbeispielen gemäß den Fig. 3 und 4 sozusagen umgekehrt, wobei nunmehr die magnetfeldabhängigen Sensoren am Dichtband 43 und ein oder mehrere Erfassungselemente 59 am Antriebsteil 13 vorgesehen sind. Der Vorteil liegt bei dieser Abwandlung darin, daß die aktuelle Relativposition von Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 nicht über die zuletzt ermittelte Relativposition und die anschließend erfolgte Relativbewegung bestimmt wird, sondern unmittelbar daraus hervorgeht, welcher der magnetfeldabhängigen Sensoren 67 am Dichtband 43 durch das antriebsteilseitige Erfassungselement 59 beaufschlagt wird. Je mehr Sensoren 67 am Dichtband 43 vorgesehen sind und je geringer deren Abstand zueinander gewählt ist, desto exakter kann die Relativposition zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 bestimmt werden.
Bei den nachfolgend beschriebenen Ausführungsformen der Positionsbestimmungseinrichtung 58 ist die Auswerteeinheit 64 nunmehr lediglich mit den ersten Erfassungsmitteln 59 verbunden, die hier wiederum die gehäuseseitigen Erfassungsmittel darstellen. Dadurch entfällt das Mitbewegen der Verbindungsleiter 66 mit dem Antriebsteil 13. Die Verbindung zwischen den gehäuseseitigen Erfassungsmitteln 59 und der Auswerteeinheit 64 ist beispielsgemäß im Bereich einer der Befestigungsstellen 54, 55 zwischen Dichtband 43 und Gehäuse 3 vorgesehen.
Die Verbindung erfolgt wie schon bei den vorangegangenen Ausführungsformen über einen oder mehrere elektrische Verbindungsleiter 66, wobei alternativ hierzu auch eine Verbindung mit galvanischer Trennung realisiert werden könnte. Beispielsweise könnten die Auswerteeinheit 64 und die gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 induktiv miteinander gekoppelt sein.
Das Grundprinzip der Ausführungsvarianten der Positionsbestimmungseinrichtung 58 nach den Fig. 5 und 6 beruht darauf, daß die Auswerteeinheit 64 ein Meßsignal über die gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 überträgt, das durch Zusammenwirken zwischen den gehäuseseitigen und den zweiten, antriebsteilseitigen Erfassungsmitteln 59, 60 zur Ermittlung der Relativposition dient.
Die Signalform des Meßsignals kann prinzipiell beliebig sein, wobei beispielsweise Impulse, Impulsfolgen oder Wellen, insbesondere Hochfrequenzwellen, in Frage kommen.
Bei den bevorzugten Ausführungsformen wird die Relativposition in der Auswerteeinheit 64 dadurch ermittelt, daß die Zeitspanne zwischen Aussenden des Meßsignals und Eintreffen einer vom Meßsignal und den antriebsteilseitigen Erfassungsmitteln 60 über die gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 zur Auswerteeinheit 64 zurücklaufenden Signalantwort bestimmt wird. Über die Zeitspanne und die bekannte Übertragungsgeschwindigkeit von Meßsignal und Signalantwort kann unmittelbar die Relativposition von Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 ermittelt werden.
Bei der Positionsbestimmung durch Aussenden eines Meßsignals ist es möglich, die Relativposition direkt in der Auswerteeinheit 64 zu bestimmen. Eine bestimmte, der Auswerteeinheit 64 bekannte, definierte Ausgangsposition zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 muß nicht festgelegt werden, da die momentane Relativposition nicht über die zurückgelegte Wegstrecke, sondern direkt durch die Auswertung des Meßsignals bzw. der Signalantwort erfolgt.
Sowohl das Meßsignal als auch die Signalantwort werden über eine Leiteranordnung 84 übertragen, die die gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 bildet. Die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 arbeiten hierbei derart mit der Leiteranordnung 84 zusammen, daß sie in dieser an der Erfassungsstelle 61 eine Unstetigkeitsstelle 85 hervorrufen, an der das von der Auswerteeinheit 64 ausgesendete Meßsignal die zur Auswerteeinheit zurücklaufende Signalantwort auslöst.
Wenigstens einer der Leiter der Leiteranordnung 84 kann dabei den zur Erhöhung der Zugfestigkeit des Dichtbandes 43 dienenden Verstärkungsstrang 56, 57 bilden.
Die Leiteranordnung 84 verfügt beim Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5 über wenigstens einen und vorzugsweise über zwei von außen zugängliche elektrische Leiter 88, 89, so daß Meßsignal und Signalantwort in Form von elektrischen Signalen vorliegen. Die elektrischen Leiter 88, 89 sind zweckmäßigerweise an einer der Außenflächen des Dichtbandes 43 vorgesehen, die keine Dichtfunktion aufweist. Beispielsgemäß sind die elektrischen Leiter 88, 89 an der dem Gehäuse-Innenraum 2 zugewandten rückwärtigen Fläche 90 des Dichtbandes 43 angeordnet.
Die Unstetigkeitsstelle 85 wird bei dieser Ausführung dadurch hervorgerufen, daß ein Leiterabgriff 91 der antriebsteilseitigen Erfassungsmittel mit dem oder den elektrischen Leitern 88, 89 in Kontakt steht, wobei die Kontaktstelle der Unstetigkeitsstelle 85 entspricht.
Bei einer Abwandlung der Ausführung gemaß Fig. 5 könnte lediglich ein elektrischer Leiter 88 oder 89 vorhanden sein, der mit der Auswerteeinheit 64 verbunden ist. Der Leiterabgriff 91 der antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 wäre dann derart ausgebildet, daß er den Widerstand des elektrischen Leiters 88, 89 an der Unstetigkeitsstelle 85 verändert, so daß das einlaufende Meßsignal reflektiert und unter Umständen gebrochen wird. Die Reflexion stellt dabei die zur Auswerteeinheit 64 zurücklaufende Signalantwort dar. Wie bereits beschrieben, kann dann über die Zeitspanne zwischen Aussenden des Meßsignals und Eintreffen der Signalantwort die Relativposition zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 bestimmt werden.
Falls an der Unstetigkeitsstelle 85 neben der Reflexion auch eine Brechung erfolgen sollte, kann das der Auswerteeinheit 64 entgegengesetzte Ende des zugeordneten elektrischen Leiters 88, 89 mittels eines entsprechenden Widerstands angepaßt sein, um eine Reflexion des von der Unstetigkeitsstelle aus in Ausbreitungsrichtung des Meßsignals weiterlaufenden Brechungssignals am Leiterende zu vermeiden.
Bei einer derartigen Ausgestaltung ist es zweckmäßig, wenn das Meßsignal von einem elektrischen Impuls gebildet ist.
Wie bereits geschildert, sind beim Ausführungsbeispiel nach Fig. 5 zwei von außen zugängliche elektrische Leiter 88, 89 vorhanden, die gemeinsam eine Zweidrahtleitung bilden. Der Leiterabgriff 91 der antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 ist hierbei als Kurzschlußbügel ausgebildet, der die beiden elektrischen Leiter 88, 89 der Zweidrahtleitung an der Unstetigkeitsstelle 85 elektrisch kurzschließt.
Die Zweidrahtleitung bildet im vorliegenden Fall eine sogenannte "Lecher-Leitung", wobei das Meßsignal insbesondere von einer Hochfrequenzwelle gebildet ist. Hier wird das Meßsignal an der Unstetigkeitsstelle 85 vollständig reflektiert, wobei die Reflexion die Signalantwort bildet, die bezüglich des Meßsignals um 180° phasenverschoben ist. In der Zweitdrahtleitung bildet sich somit eine stehende Welle aus. Wie bei den vorhergehenden Fällen wird über die Laufzeitmessung die Relativposition zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 in der Auswerteeinheit 64 ermittelt.
Bei dem im folgenden erläuterten Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 6 der Positionsbestimmungseinrichtung 58 wirken die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 kontaktlos auf die gehäuseseitigen Erfassungsmittel 59 ein. Diese sind von der Leiteranordnung 84 gebildet, die im Gegensatz zu den vorangegangenen Ausführungsbei spielen wenigstens einen magnetostriktiven, elektrisch leitfähigen Leiter 96 enthält.
Die antriebsteilseitigen Erfassungsmittel 60 umfassen eine Magneteinrichtung 94, die im vorliegenden Fall von einem Permanentmagneten gebildet ist, dessen Magnetfeld auf den magnetostriktiven Leiter 96 der Leiteranordnung 84 einwirkt und die Unstetigkeitsstelle 85 hervorruft.
Bei dem magnetostriktiven Leiter 96 handelt es sich beispielsweise um einen amorphen oder nanokristallinen, ferromagnetischen Leiter. Durch den Einfluß eines Magnetfeldes wird dieser ferromagnetisch gesättigt, wodurch eine Verformung (Magnetostriktion) des magnetostriktiven Leiters 96 hervorgerufen wird. Diese Verformungsstelle bildet die Unstetigkeitsstelle 85, an der das von der Auswerteeinheit 64 ausgesendete Meßsignal reflektiert und gebrochen wird.
Eine erste Möglichkeit besteht nun darin, daß die Reflexion die Signalantwort bildet. Das sich ausgehend von der Unstetigkeitsstelle 85 in Ausbreitungsrichtung des Meßsignals entlang des magnetostriktiven Leiters 96 weiter ausbreitende Brechungssignal würde an dessen der Auswerteeinheit 64 entgegengesetztem Ende ein weiteres Mal reflektiert werden. Dies könnte zu Fehlern in der Berechnung der Relativposition führen. Deshalb ist der magnetostriktive Leiter 96 an seinem der Auswerteeinheit 64 entgegengesetzten Ende mittels eines Widerstandes 97 derart abgeschlossen, daß der Reflexionsfaktor Null ist und somit Anpassung vorliegt.
Die zweite Möglichkeit zur Bildung der Signalantwort ergibt sich durch die amorphe oder nanokristalline Ausbildung des magnetostriktiven Leiters 96. An der Unstetigkeitsstelle 85 entsteht gleichzeitig eine sich in beide Richtungen ausbreitende mechanische Welle, insbesondere Torsionswelle. Die in Richtung der Auswerteeinheit 64 zurücklaufende mechanische Welle stellt dabei die Signalantwort dar und kann somit auf Grund ihrer bekannten Ausbreitungsgeschwindigkeit über die Laufzeitmessung zur Bestimmung der Relativposition von Gehäuse 3 und Antriebsteil 13 dienen. Die sich von der Unstetigkeitsstelle 85 zusammen mit dem Brechungssignal zu dem der Auswerteeinheit entgegengesetzten Ende des Leiters 96 weiter ausbreitende mechanische Welle wird vorzugsweise an diesem Leiterende derart gedämpft, daß keine nennenswerte Reflexion erfolgt, um Fehler bei der Bestimmung der Relativposition in der Auswerteeinheit 64 zu vermeiden.
Auch bei diesen Ausführungsmöglichkeiten führt die Auswerteeinheit 64 eine Laufzeitmessung von Meßsignal und Signalantwort durch, woraus sie die Relativposition zwischen Antriebsteil 13 und Gehäuse 3 bestimmt.
In Fig. 6 ist eine weitere Variante zur Ausführung der Positionsbestimmungseinrichtung 58 dargestellt. Hierbei ist der magnetostriktive Leiter in Form eines rohrähnlichen Schallwellenleiters 100 ausgebildet, der in Fig. 6 strichpunktiert dargestellt ist. Koaxial innerhalb des Schallwellenleiters 100 ist ein elektrischer Meßleiter 101 angeordnet, über den das Meßsignal ausgehend von der Auswerteeinheit 64 übertragen wird. An der Unstetigkeitsstelle 85 löst das eintreffende Meßsignal eine über den Schallwellenleiter 100 zur Auswerteeinheit 64 zurücklaufende erste und eine sich entgegengesetzt hierzu weiter ausbreitende zweite mechanische Welle aus, wobei es sich im vorliegenden Fall jeweils um eine Torsionswelle handelt. Die erste mechanische Welle stellt hierbei die Signalantwort dar, und die zweite mechanische Welle wird am Leiterende zur Vermeidung von Reflexionen gedämpft. Im Unterschied zu der zuvor erläuterten Variante breitet sich die Signalantwort nicht auf dem das Meßsignal übertragenden Leiter 101, sondern auf einem separaten weiteren Leiter 100 aus. Auch hier erfolgt die Positionsbestimmung in der Auswerteeinheit 64 über die Messung der Laufzeit des Meßsignals bzw. der Signalantwort. Das bei dieser Ausführungsvariante ausgenutzte Prinzip wird als "Wiedemann-Effekt" bezeichnet.

Claims (26)

  1. Kolbenstangenloser Linearantrieb, mit einem einen Gehäuse-Innenraum (2) begrenzenden Gehäuse (3), das einen in den Gehäuse-Innenraum (2) mündenden Längsschlitz (12) aufweist, mit einem Antriebsteil (13), das eine im Gehäuse-Innenraum (2) längsbewegbar angeordnete Antriebspartie (14) und eine durch den Längsschlitz (12) hindurch nach außen ragende Mitnehmerpartie (15) aufweist, wobei der Längsschlitz (12) zumindest an den dem Antriebsteil (13) beiderseits in Längsrichtung (4) benachbarten Längenabschnitten (46, 47) mittels eines Dichtbandes (43) verschlossen ist, und mit einer Positionsbestimmungseinrichtung (58) zur Bestimmung der Relativposition von Antriebsteil (13) und Gehäuse (3), die am Gehäuse (3) oder am Antriebsteil (13) vorgesehene erste Erfassungsmittel (59) und mit diesen zusammenarbeitende, am jeweils anderen Bauteil (13 bzw. 3) vorgesehene zweite Erfassungsmittel (60) aufweist und die eine den ersten und/oder zweiten Erfassungsmitteln (59, 60) zugeordnete Auswerteeinheit (64) enthält, dadurch gekennzeichnet, daß die gehäuseseitigen Erfassungsmittel (59) am Dichtband (43) vorgesehen sind.
  2. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Dichtband (43) wenigstens einen in seiner Erstreckungsrichtung am oder im Dichtband (43) verlaufenden Verstärkungsstrang (56, 57) aufweist, der einen elektrischen Leiter der gehäuseseitigen Erfassungsmittel (59) bildet.
  3. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und die zweiten Erfassungsmittel (59, 60) kontaktlos zusammenarbeiten.
  4. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Erfassungsmittel (59) bei der Relativbewegung von Gehäuse (3) und Antriebsteil (13) ein sich im Bereich der zweiten Erfassungsmittel (60) änderndes Magnetfeld hervorrufen, wobei die zweiten Erfassungsmittel (60) ein magnetfeldabhängiges Erfassungssignal erzeugen, das der Auswerteeinheit (64) zur Bestimmung der Relativposition zugeführt wird.
  5. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei den ersten Erfassungsmitteln (60) um mehrere elektrisch leitfähige und/oder magnetisierbare oder permanentmagnetische Erfassungselemente (69) handelt, die in Richtung der Relativbewegung von Antriebsteil (13) und Gehäuse (3) aufeinanderfolgend angeordnet sind.
  6. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach einem der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Erfassungsmittel (60) zumindest einen magnetfeldabhängigen Sensor (67) aufweisen.
  7. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Erfassungsmittel (60) eine Spulenanordnung (68) enthalten.
  8. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das im Bereich der Spulenanordnung (68) vorhandene Magnetfeld von der Spulenanordnung (68) selbst hervorgerufen ist.
  9. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Spulenanordnung (68) wenigstens eine das Erfassungssignal hervorrufende Meßspule (68) enthält, die mit der Auswerteeinheit (64) verbunden ist.
  10. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Meßspule (68) Teil eines Schwingkreises (73) ist, wobei die Auswerteeinheit (64) die Relativposition insbesondere mittels der Verstimmung des Schwingkreises (73) bestimmt.
  11. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinheit (64) über die ersten Erfassungsmittel (59) ein Meßsignal aussendet, das durch Zusammenwirken mit den zweiten Erfassungsmitteln (60) zur Ermittlung der Relativposition dient.
  12. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Relativposition über die Zeitspanne zwischen Aussenden des Meßsignals und Eintreffen einer vom Meßsignal und den zweiten Erfassungsmitteln (60) ausgelösten Signalantwort in der Auswerteeinheit (64) ermittelt wird.
  13. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Erfassungsmittel (59) am Dichtband (43) vorgesehen sind und eine sich in Längsrichtung des Dichtbandes (43) erstreckende Leiteranordnung (84) aufweisen.
  14. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Erfassungsmittel (60) am Antriebsteil (13) vorgesehen sind und in der Leiteranordnung (84) eine Unstetigkeitsstelle (85) hervorrufen, wobei das Meßsignal an der Unstetigkeitsstelle (85) eine zur Auswerteeinheit (64) zurücklaufende Signalantwort auslöst.
  15. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Signalantwort von einer Reflexion des Meßsignals an der Unstetigkeitsstelle (85) gebildet ist.
  16. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die zweiten Erfassungsmittel (60) eine Magneteinrichtung (94) enthalten, deren Magnetfeld auf die Leiteranordnung (84) einwirkt und die Unstetigkeitsstelle (85) hervorruft.
  17. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens einer der Leiter (96 bzw. 100) der Leiteranordnung (84) magnetostriktive Eigenschaften aufweist.
  18. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 17 dadurch gekennzeichnet, daß der magnetostriktive, insbesondere nanokristalline oder amorphe Leiter (96) elektrisch leitfähig ist, wobei das Meßsignal über diesen Leiter (96) übertragen wird und an der Unstetigkeitsstelle (85) eine auf diesem Leiter (96) zur Auswerteeinheit (64) zurücklaufende mechanische Welle hervorruft, die die Signalantwort darstellt.
  19. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß der magnetostriktive Leiter von einem rohrähnlichen Schallwellenleiter (100) gebildet ist, der koaxial zu einem zur Meßsignalübertragung dienenden elektrischen Meßleiter (101) angeordnet ist, wobei an der Unstetigkeitsstelle (85) durch das eintreffende Meßsignal eine zur Auswerteeinheit (64) zurücklaufende mechanische Welle hervorgerufen wird.
  20. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach einem der Ansprüche 11 bis 19 dadurch gekennzeichnet, daß die am Dichtband (43) vorgesehene Leiteranordnung (84) mindestens einen von außen zugänglichen elektrischen Leiter (88, 89) aufweist und die zweiten Erfassungsmittel (60) einen mit diesem elektrischen Leiter (88, 89) in Kontakt stehenden Leiterabgriff (91) enthalten, wobei die Kontaktstelle zwischen Leiterabgriff (91) und elektrischem Leiter (88, 89) die Unstetigkeitsstelle (85) darstellt.
  21. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß der Leiterabgriff (91) mehrere elektrische Leiter (88, 89) der Leiteranordnung (84) an der Unstetigkeitsstelle (85) elektrisch verbindet.
  22. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinheit (64) lediglich mit den ersten Erfassungsmitteln (59) oder den zweiten Erfassungsmitteln (60) verbunden ist.
  23. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 22, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten Erfassungsmittel (59) am Dichtband (43) und die zweiten Erfassungsmittel (60) am Antriebsteil (13) vorgesehen sind.
  24. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinheit (64) lediglich mit den gehäuseseitigen Erfassungsmitteln (59 bzw. 60) verbunden ist.
  25. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung zwischen den gehäuseseitigen Erfassungsmitteln (59) und der Auswerteeinheit (64) im Bereich einer Befestigungsstelle (54, 55) vorgesehen ist, an der das Dichtband (43) am Gehäuse (3) befestigt ist.
  26. Kolbenstangenloser Linearantrieb nach einem der Ansprüche 1 bis 25, dadurch gekennzeichnet, daß es sich um einen fluidbetätigten Linearantrieb (1) handelt, wobei die Antriebspartie (14) von einem Kolben (18) gebildet ist.
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