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EP0681873A1 - Vorrichtung zur Zumessung und Zerstäubung von Fluiden - Google Patents

Vorrichtung zur Zumessung und Zerstäubung von Fluiden Download PDF

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Publication number
EP0681873A1
EP0681873A1 EP95103431A EP95103431A EP0681873A1 EP 0681873 A1 EP0681873 A1 EP 0681873A1 EP 95103431 A EP95103431 A EP 95103431A EP 95103431 A EP95103431 A EP 95103431A EP 0681873 A1 EP0681873 A1 EP 0681873A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
nozzle
plate
fuel
metering
opening
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
EP95103431A
Other languages
English (en)
French (fr)
Other versions
EP0681873B1 (de
Inventor
Randolf Dr. Mock
Andreas Kappel
Hans Prof.-Dr. Meixner
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Siemens Corp
Original Assignee
Siemens AG
Siemens Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG, Siemens Corp filed Critical Siemens AG
Publication of EP0681873A1 publication Critical patent/EP0681873A1/de
Application granted granted Critical
Publication of EP0681873B1 publication Critical patent/EP0681873B1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
    • B05B17/0638Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
    • B05B17/0646Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02MSUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M61/00Fuel-injectors not provided for in groups F02M39/00 - F02M57/00 or F02M67/00
    • F02M61/16Details not provided for in, or of interest apart from, the apparatus of groups F02M61/02 - F02M61/14
    • F02M61/18Injection nozzles, e.g. having valve seats; Details of valve member seated ends, not otherwise provided for
    • F02M61/1853Orifice plates
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02MSUPPLYING COMBUSTION ENGINES IN GENERAL WITH COMBUSTIBLE MIXTURES OR CONSTITUENTS THEREOF
    • F02M69/00Low-pressure fuel-injection apparatus ; Apparatus with both continuous and intermittent injection; Apparatus injecting different types of fuel
    • F02M69/04Injectors peculiar thereto
    • F02M69/041Injectors peculiar thereto having vibrating means for atomizing the fuel, e.g. with sonic or ultrasonic vibrations
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F23COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
    • F23DBURNERS
    • F23D11/00Burners using a direct spraying action of liquid droplets or vaporised liquid into the combustion space
    • F23D11/34Burners using a direct spraying action of liquid droplets or vaporised liquid into the combustion space by ultrasonic means or other kinds of vibrations
    • F23D11/345Burners using a direct spraying action of liquid droplets or vaporised liquid into the combustion space by ultrasonic means or other kinds of vibrations with vibrating atomiser surfaces

Definitions

  • the various operating conditions of internal combustion engines are, on the one hand, the cold start phase and, on the other hand, the continuous operation of the engine with the engine warmed up in a stationary manner.
  • the cold start phase the condition must above all be met that the fuel injected in the intake tract of the engine reaches the cylinder so strongly that the proper fuel combustion actually takes place.
  • the continuous operating phase the operating temperature of all engine parts has been reached, there is in particular a hot inlet valve which is suitable for fuel distribution or evaporation. Accordingly, it is customary to direct the fuel to be injected onto the hot valve plate with a largely filament-shaped or only slightly fanned-out injection jet and to have it hit there.
  • the stroke that can be achieved by means of a piezoceramic drive element is directly related to its dimensions, so that the piezo element and thus the entire structure cannot be reduced arbitrarily because of the strokes required.
  • the achievable manufacturing accuracy, as well as the mechanical stability of the construction required in automotive applications limit miniaturization. This means that integration into conventional injection valves is not possible without massive intervention in their construction.
  • the object of the invention is to provide a device in which a fluid can be atomized in a controllable manner and the metering of the fluid takes place precisely.
  • the object is achieved by a device according to claim 1.
  • An advantage of the invention lies in the flexibility of the device.
  • the atomizer function can be easily adapted to the respective application conditions.
  • the metering is also independent and can be easily adjusted to the ambient conditions regardless of the atomizer function.
  • a piezoelectric drive is particularly suitable as the drive element because it is predestined for fast movements.
  • the device is particularly suitable for metering and atomizing fuel for internal combustion engines.
  • the object is thus achieved in the device for metering and atomizing fuel for internal combustion engines in that there is a functional separation between fuel metering and fuel atomization.
  • the opening cross-section of the valve outlet determines the amount of fuel escaping.
  • a second opening provided in a nozzle plate, which follows the valve outlet opening, is periodically varied in cross-section and in its position in order to increase or decrease the surface tension of the emerging fuel accordingly, which leads to atomization of the fuel.
  • Figure 1 shows a valve head with atomizer.
  • FIG. 2 shows a further variant of the valve head with an atomizer.
  • 3 a - l shows a selection of possible nozzle plates with different nozzle holes.
  • FIG. 4 shows the jet decay in the case of a round nozzle hole compared to that in the case of a rectangular nozzle hole.
  • FIG. 5 shows a possible combination of different nozzle hole diameters in one nozzle plate.
  • FIGS. 6 a - c show the basic galvanoplastic manufacturing process for a nozzle plate.
  • FIG. 7 a, b shows a nozzle with a square nozzle hole in a top view and in cross section in the anisotropic etching process.
  • FIGS. 8 a, b show a conventional nozzle in comparison to several new types of nozzles in plan view and in cross section.
  • the device as shown in FIG. 1, is suitable for metering and atomizing fuel for internal combustion engines.
  • a valve needle VN is movably mounted in a valve housing V. It can be driven by means of the mechanism described in patent application P 43 06 073.0.
  • the fuel flows through a channel K in the direction of the sealing seat DS. If the valve needle VN presses on the sealing seat DS, the fuel flow is inhibited. If the valve needle VN is lifted from the sealing seat, the fuel flows out through the metering opening ZMO in the sealing seat DS, the bore in the casing DH and the atomizer opening ZSO in the nozzle plate DP.
  • the atomization is determined by the thin sheet metal membrane DP (orifice disk), also known as a nozzle plate or atomizing plate, which has a circular opening ZSO in the center with a very narrowly tolerated geometry.
  • the hole diameter d of the atomizer opening ZSO has a tolerance in the range of 1 ⁇ m and a precisely defined corner rounding of the edge of the hole.
  • the membrane DP with the atomizer opening ZSO is placed on a carrier plate TP.
  • the nozzle plate DP can be connected to the carrier plate TP, for example, by welding.
  • the carrier plate TP rests on a drive element P, a piezoceramic, which in turn is supported on the valve housing V.
  • the entire arrangement is located in a housing ZK, which is attached to the valve.
  • the leaf spring BF between the housing ZK and the carrier plate TP is compressed during assembly of the atomizer unit and thus ensures the necessary mechanical pretension and the proper operation of the piezoceramic P. So that the valve parts in the area of the outlet opening (valve seat DS, O-ring OR, Centering ZR etc.) not can be released from the composite, they are pressed together by means of a casing DH, which can be screwed on.
  • a periodic alternating voltage for example a sinusoidal voltage
  • the carrier plate TP and the membrane DP are forced to oscillate in a non-resonant manner.
  • this forced movement of the membrane leads to the decay of the fuel jet into small drops.
  • the optimal excitation frequency is about 5 kHz, but an effective excitation of the nozzle plate for the jet decay can also be achieved with other frequencies.
  • the atomizer component described in FIG. 2 is excited in the resonance frequency range at approximately 130 kHz.
  • the piezo element P is in turn supported on the valve housing V.
  • the mechanical preload of the piezo element P can be adjusted by means of a nut M and a plate spring TF.
  • a washer US ensures a uniform pressure distribution on the piezo element P.
  • the nozzle plate DP is excited to vibrate, which, according to the flow theory, leads to the decay of the liquid.
  • valve inner parts the centering ring ZR, the sealing seat DS, the O-ring OR, the valve needle VN and the nozzle plate are held together by rolling the valve housing V.
  • the solutions shown in Figures 1 and 2 are interchangeable. Depending on the application, the holder of the valve inner parts shown in FIG. 1 or the one shown in FIG. 2 should be selected.
  • the fuel metering was carried out in the area between the valve outlet opening ZMO and the atomizing hole ZSO kept the dead volume as low as possible. Therefore, the casing DH of the valve inner parts shown in FIG. 1 is constructed in such a way that there is only a minimal dead volume between the diaphragm DP and the valve sealing seat DS.
  • the membrane DP can be shaped in the form of a dome in the manufacture to determine the direction of radiation.
  • the invention relates in particular to a low pressure injection with approximately 1 to 10 bar.
  • the field of application of the invention is not limited to the metering and atomization of fuel for internal combustion engines, but can be used wherever a fluid has to be metered exactly and the possibility of atomization must be given.
  • the excitation frequency F of the piezo element P which sets the atomizer plate DP in vibration, is to be matched to the atomizer hole diameter d of the atomizer plate DP.
  • the higher the excitation frequency F the smaller the depth of penetration into the liquid.
  • FIGS. 3a-l show various nozzle plates which are suitable for supporting the jet decay.
  • the nozzle plate as shown in FIG. 3a, has several round openings, the diameter of which is less than 100 ⁇ m be.
  • the aspect ratio is approximately 1.5 to 5, ie the length of the nozzle hole is many times greater than the diameter of the nozzle hole.
  • Other particularly suitable hole shapes are shown in Figures 3g and 3l.
  • the nozzle plate holes can have almost any shape. The asymmetry of the flow and surface tension forces induced in the case of a non-circular cross-sectional area of the emerging fuel jet leads, as shown in FIG.
  • This effect which is often used for atomization, can be enhanced by particularly extreme cross-sectional profiles with sharp tips and edges, as shown in FIG. 3f, g, h, i, j, k, l.
  • the nozzles function as turbulators.
  • a nozzle cross-sectional shape deviating from the circular shape causes the disintegration of the nozzle earlier Liquid jet in single drops.
  • the liquid emerging from a round nozzle hole disintegrates into individual drops at a distance l 1
  • a liquid passing through a rectangular cross-sectional shape already disintegrates into individual drops at a distance l 2, with l 2 ⁇ l 1.
  • the arrangement and size of the nozzle holes on the nozzle plate can also be changed within wide limits, as shown in FIG. 5.
  • the nozzle plate has a large nozzle hole in the center, which is surrounded by many small nozzle holes in the shape of a hexagon.
  • Such nozzle plates can be produced using the galvanoplastic process using Siemens microstructure technology (MS).
  • MS Siemens microstructure technology
  • FIGS. 6a-c in the case of Siemens microstructure technology, a negative resist NR laminated onto a substrate S is irradiated with UV light UVL through a very thin mask M which has been previously produced by photostructuring and is connected to the substrate S. Synchrotron radiation can also be used to expose the photoresist. The unexposed portion of the photo layer is then washed out in the developer.
  • the former mask M can be galvanically amplified at the exposed points, the photoresist (negative resist) can therefore be molded to just about its full height and the metal layer produced in this way, for example from NI, CU, AU or AG be chemically or mechanically separated as the desired flat part.
  • the photoresist negative resist
  • Figure 4c shows the finished galvanoplastic GB in cross section.
  • etching rate which varies greatly according to the crystallographic orientation, is used for certain single-crystal materials, such as silicon and gallium, in certain etching solutions, such as EDP (ethylenediamine) or KOH.
  • etching solutions such as EDP (ethylenediamine) or KOH.
  • a (100) oriented Si substrate is first provided with an etching stop layer on both sides, for example in the form of Si02 or Si3N4, into which one-sided square openings of length W B are etched, the edges of the exposed areas must be aligned parallel to the crystallographic (110) directions of the substrate.
  • Figure 8 shows a comparison of a conventional nozzle in plan view and in cross section (Fig. 8a) compared to several hexagonal nozzles, as described in the previous (Fig. 8b).
  • nozzle holes with aspect ratios of ⁇ ⁇ 0.5 can be produced, cf. Figure 8b.
  • aspect ratios ⁇ > 100 are even possible.
  • the nozzle diameter d of each nozzle is approximately 20 ⁇ m.

Landscapes

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Abstract

Für die verschiedenen Betriebszustände eines Verbrennungsmotors ist ein Kraftstoff-Einspritzventil mit exakter Zumessung und steuerbarer Zerstäubung von Kraftstoff notwendig. Die Zumessung erfolgt mittels einer über eine Ventilnadel (VN) verschließbare Zumeßöffnung (ZMO). Davon getrennt erfolgt die Zerstäubung mittels einer piezoelektrisch angesteuerten Düse, deren Zerstäuberöffnung (ZSO) in Schwingungen versetzt wird. Die Form der Zerstäuberöffnung (ZSO) kann rund, dreieckig, viereckig oder kreuzartig sein. <IMAGE>

Description

  • Die verschiedenen Betriebsbedingungen von Verbrennungsmotoren sind insbesondere einerseits die Kaltstartphase und andererseits der Dauerbetrieb des Motors mit stationär durchgewärmten Motor. Bezüglich der Kaltstartphase ist vor allem die Bedingung zu erfüllen, daß der jeweils im Ansaugtrakt des Motors eingespritzte Kraftstoff so stark zerstäubt in den Zylinder gelangt, daß auch tatsächlich die bestimmungsgemäße Kraftstoffverbrennung erfolgt. In der Dauerbetriebsphase, die Betriebstemperatur aller Motorteile ist erreicht, ist insbesondere ein heißes Einlaßventil vorhanden, das sich zur Kraftstoffeinverteilung bzw. -verdampfung eignet. Es ist dementsprechend üblich, den einzuspritzenden Kraftstoff mit einem weitgehend fadenförmigen oder nur gering aufgefächerten Einspritzstrahl auf den heißen Ventilteller zu richten und dort auftreffen zu lassen.
    Es wurde festgestellt, daß es nicht vorteilhaft ist, in der Dauerbetriebsphase des Motors eine schon direkt von der Einspritzdüse ausgehende größere Verteilung oder Zerstäubung des einzuspritzenden Kraftstoffs vorzusehen. Es ist beobachtet worden, daß trotz hoher Betriebswärme durchaus nachteilige Zustände bei schon von der Düse weg fein verteiltem oder zerstäubtem Kraftstoff auftreten. Zum einen können im doch nur begrenzt stark erwärmten Ansaugrohr noch Abscheidungen von Kraftstofftröpfchen erfolgen, die dann erst zeitverzögert durch Wiederabdampfen in den Zylinder gelangen. Luftsäulenschwingungen im Ansaugrohr können dazu führen, daß schon von der Düse weg zerstäubter Kraftstoff nicht zum gewollten Zeitpunkt in den jeweiligen Zylinder gelangt. Damit sind in jedem Fall unerwünschte Verschiebungen hinsichtlich des Kraftstoff-Luft-Verhältnisses verbunden, das beabsichtigter Weise möglichst genau einzuhalten ist.
    Aus der Offenlegungsschrift DE 38 33 093 A1 ist ein Kraftstoff-Einspritzventil mit steuerbarer Charakteristik des Kraftstoffstrahls bekannt. Mittels eines piezoelektrischen Antriebselements wird die Kraftstoff-Austrittsöffnung des Einspritzventils zu Schwingungen angeregt. Diese Schwingungen, die in Richtung der Ventillängsachse wirken, führen gemäß den Gesetzen der Strömungsmechanik zum Zerfall des Treibstoffstrahls in einzelne Tröpfchen. Bei der in der DE 38 33 093 A1 beschriebenen Anordnung ist jedoch von Nachteil, daß die Zerstäubung des Treibstoffstrahls dadurch erfolgt, daß der gesamte Ventilsitz zu Schwingungen angeregt wird. Das bedeutet eine im allgemeinen nichtlineare Kopplung der Dosierfunktion mit der Zerstäuberfunktion. Da die Ventilzustände "offen" oder "geschlossen" von der momentanen Auslenkung des Ventilsitzes abhängig sind, erfolgt die Treibstoffzumessung nicht linear. Das Piezoelement, das die Einspritzdüse, die gleichzeitig die Funktion der Zerstäubung übernimmt, in Schwingungen versetzt, wird mit einer Frequenz oberhalb von 1 kHz angeregt. Da der Lauf des Motors Vibrationen im Frequenzbereich zwischen 5 kHz und 20 kHz erzeugt, muß damit gerechnet werden, daß eine Zerstäubung auch unerwünschter Weise durch die Motorvibration angeregt wird.
    Ein weiterer Nachteil der in der DE 38 33 093 beschriebenen Ausführung liegt in der Tatsache begründet, daß sich die Konstruktion in der Praxis nicht weiter verkleinern läßt. Zum einen steht nämlich der mittels eines piezokeramischen Antriebselements erreichbare Hub in direktem Verhältnis zu seinen Abmessungen, so daß wegen der benötigten Hübe das Piezoelement und damit der gesamte Aufbau nicht beliebig verkleinert werden kann. Zum anderen begrenzen die erreichbare Fertigungsgenauigkeit, sowie die bei der Automobilanwendung geforderte mechanische Stabilität der Konstruktion eine Miniaturisierung Damit ist eine Integration in herkömmliche Einspritzventile nicht möglich, ohne massiv in deren Konstruktion einzugreifen.
  • Da sowohl der die Ventilnadel antreibende Piezostack als auch das für den Strahlzerfall notwendige Piezoelement in Ventillängsrichtung arbeitet, ist der Durchfluß durch die Düsenbohrung als nicht konstant anzusehen.
  • Die Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zu schaffen, bei der ein Fluid steuerbar zerstäubbar ist und die Dosierung des Fluids exakt erfolgt.
  • Die Aufgabe wird durch eine Vorrichtung gemäß dem Anspruch 1 gelöst.
  • Ein Vorteil der Erfindung liegt in der Flexibilität der Vorrichtung. Die Zerstäuberfunktion kann auf die jeweiligen Einsatzbedingungen einfach angepaßt werden. Die Zumessung ist ebenso unabhängig und ungeachtet der Zerstäuberfunktion einfach auf die Umgebungsbedingungen einstellbar.
  • So ist es von Vorteil die Düsenplatte, welche eine Zerstäuberöffnung aufweist, auf eine Trägerplatte zu montieren, weil damit eine für die Schwingungsübertragung gut geeignete Ankopplung des Antriebselements an die Düsenplatte erfolgen kann.
  • Als Antriebselement eignet sich besonders ein piezoelektrischer Antrieb, weil dieser für schnelle Bewegungen prädestiniert ist.
  • Um einer Zerstörung des Piezoelements vorzubeugen kann dieses vorteilhafter weise mechanisch, beispielsweise mit einer Feder vorgespannt werden.
  • Die Vorrichtung eignet sich besonders für die Zumessung und Zerstäubung von Kraftstoff für Verbrennungsmotoren.
  • Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Ansprüchen.
  • Die Aufgabe wird bei der Vorrichtung zur Zumessung und Zerstäubung von Kraftstoff für Verbrennungsmotoren somit dadurch gelöst, daß eine funktionelle Trennung zwischen Kraftstoffdosierung und Kraftstoffzerstäubung erfolgt. Der Öffnungsquerschnitt des Ventilauslasses bestimmt die austretende Kraftstoffmenge. Eine in einer Düsenplatte vorgesehene zweite Öffnung, welche der Ventilauslaßöffnung nachfolgt, wird im Querschnitt und in ihrer Lage periodisch variiert, um die Oberflächenspannung des austretenden Kraftstoffs entsprechend zu vergrößern oder zu verkleinern, was zu einer Zerstäubung des Kraftstoffs führt.
  • Die Erfindung wird im folgenden anhand zweier Figuren weiter erläutert.
  • Die Figur 1 zeigt einen Ventilkopf mit Zerstäuber.
  • Die Figur 2 zeigt eine weitere Variante des Ventilkopfs mit Zerstäuber.
  • Die Figur 3 a - l zeigt eine Auswahl möglicher Düsenplatten mit verschiedenen Düsenlöchern.
  • Die Figur 4 zeigt den Strahlzerfall bei einem runden Düsenloch gegenüber dem bei einem rechteckigen Düsenloch.
  • Die Figur 5 zeigt eine mögliche Kombination von verschiedenen Düsenlochdurchmessern in einer Düsenplatte.
  • Die Figur 6 a - c zeigt das prinzipielle galvanoplastische Herstellungsverfahren für eine Düsenplatte.
  • Die Figur 7 a, b zeigt eine Düse mit quadratischem Düsenloch in der Draufsicht und im Querschnitt beim anisotropen Ätzverfahren.
  • Die Figur 8 a,b zeigt eine konventionelle Düse im Vergleich zu mehreren neuartigen Düsen in der Draufsicht und im Querschnitt.
  • Die Vorrichtung, wie in Figur 1 gezeigt, ist zur Zumessung und Zerstaubung von Kraftstoff für Verbrennungsmotoren geeignet. Eine Ventilnadel VN ist in einem Ventilgehäuse V beweglich gelagert. Sie kann mittels der in der Patentanmeldung P 43 06 073.0 beschriebenen Mechanik angetrieben werden. Der Kraftstoff strömt durch einen Kanal K in Richtung des Dichtsitzes DS. Drückt die Ventilnadel VN auf den Dichtsitz DS, so wird der Kraftstoffluß gehemmt. Wird die Ventilnadel VN vom Dichtsitz abgehoben, so strömt der Kraftstoff durch die Zumeßöffnung ZMO im Dichtsitz DS, die Bohrung in der Ummantelung DH und die Zerstäuberöffnung ZSO in der Düsenplatte DP nach außen.
  • Die Zerstäubung wird durch die dünne Blechmembran DP (orifice disk), auch als Düsenplatte oder Zerstäuberplatte bezeichnet, die im Zentrum eine kreisförmige Öffnung ZSO mit sehr eng tolerierter Geometrie aufweist, bestimmt. Der Lochdurchmesser d der Zerstäuberöffnung ZSO weist eine Toleranz im Bereich von 1 µm und eine genau definierte Eckenverrundung des Lochrandes auf. Die Membran DP mit der Zerstäuberöffnung ZSO wird auf eine Trägerplatte TP gesetzt. Die Düsenplatte DP kann beispielsweise durch Schweißen mit der Trägerplatte TP verbunden werden. Die Trägerplatte TP liegt auf einem Antriebselement P, einer Piezokeramik, auf, die sich wiederum am Ventilgehäuse V abstützt. Die gesamte Anordnung befindet sich in einem Gehäuse ZK, welches am Ventil befestigt ist. Die Blattfeder BF zwischen dem Gehäuse ZK und der Trägerplatte TP wird bei der Montage der Zerstäubereinheit zusammengedrückt und sorgt so für die notwendige mechanische Vorspannung und zum ordnungsgemäßen Betrieb der Piezokeramik P. Damit die Ventilteile im Bereich der Austrittsöffnung (Ventilsitz DS, O-Ring OR, Zentrierung ZR u.a.) sich nicht aus dem Verbund lösen können, werden sie mittels einer Ummantelung DH, welche schraubbar ist, zusammengedrückt.
  • Legt man an die Piezokeramik P eine periodische Wechselspannung an, beispielsweise eine Sinusspannung, so werden die Trägerplatte TP und die Membran DP zwangsweise, nicht resonant, in Schwingungen versetzt. Diese erzwungene Bewegung der Membran führt gemäß einer von Lord Rayleigh entwickelten Theorie der schwingungsinduzierten Erzeugung von Flüssigkeitströpfchen zum Zerfall des Treibstoff-Strahls in kleine Tropfen. Die optimale Anregungsfrequenz liegt im Falle der Anordnung gemäß Figur 1 bei etwa 5 kHz, jedoch ist eine effektive Anregung der Düsenplatte zum Strahlzerfall auch mit anderen Frequenzen erzielbar.
  • Die in Figur 2 beschriebene Zerstäuberkomponente wird im Gegensatz zu der in der Figur 1 beschriebenen Ausführungsform im Resonanzfrequenzbereich bei ca. 130 kHz angeregt. Das Piezoelement P stützt sich wiederum am Ventilgehäuse V ab. Die mechanische Vorspannung des Piezoelements P ist mittels einer Mutter M und einer Tellerfeder TF einstellbar. Eine Unterlegscheibe US sorgt für eine gleichmäßige Druckverteilung auf das Piezoelement P. Wie bei der in Fig. 1 beschriebenen Ausführungsform wird die Düsenplatte DP zu Schwingungen angeregt, was gemäß der Strömungstheorie, zum Zerfall der Flüssigkeit führt.
  • Gegenüber der Darstellung in Fig. 1 werden die Ventilinnenteile, der Zentrierring ZR, der Dichtsitz DS, der O-Ring OR, die Ventilnadel VN und die Düsenplatte durch einrollen des Ventilgehäuses V zusammengehalten. Die in den Figuren 1 und 2 gezeigten Lösungen sind austauschbar. Abhängig vom Anwendungsfall sollte die in Figur 1 oder die in Figur 2 gezeigte Halterung der Ventilinnenteile gewählt werden.
  • Um den Kraftstoff exakt dosieren zu können, wurde im Bereich zwischen Ventil-Austrittsöffnung ZMO der Kraftstoffzumessung und dem Zerstäuberloch ZSO das Totvolumina möglichst gering gehalten. Deshalb ist die in Fig. 1 gezeigte Ummantelung DH der Ventilinnenteile so konstruiert, daß sich zwischen der Membran DP und dem Ventildichtsitz DS nur ein minimales Totvolumen ergibt.
  • Die Membran DP ist bei der Herstellung zur Bestimmung der Abstrahlrichtung kalottenförmig formbar.
  • Die Erfindung bezieht sich insbesondere auf eine Niederdruckeinspritzung mit etwa 1 bis 10 bar.
  • Der Einsatzbereich der Erfindung beschränkt sich nicht auf die Zumessung und Zerstäubung von Kraftstoff für Verbrennungsmotoren, sondern ist überall dort einsetzbar, wo ein Fluid exakt zu dosieren ist und die Möglichkeit der Zerstäubung gegeben sein muß.
  • Die Anregungsfrequenz F des Piezoelements P, das die Zerstäuberplatte DP in Schwingung versetzt, ist auf den Zerstäuber-Lochdurchmesser d der Zerstäuberplatte DP abzustimmen. Je höher die Anregungsfrequenz F ist, desto kleiner ist die Eindringtiefe in die Flüssigkeit. Zwischen der Anregungsfrequenz F und dem Zerstäuber-Lochdurcbmesser d ergibt sich folgender Zusammenhang:
    Figure imgb0001

    mit
       d = Durchmesser des Düsenlochs und
       F = Anregungsfrequenz des Piezoelements, das das Düsenloch ZSO bzw. die Düsenplatte DP in Schwingungen versetzt.
  • In Figur 3 a - l sind verschiedene zur Unterstutzung des Strahlzerfalls geeignete Düsenplatten dargestellt. Die Düsenplatte wie sie in Figur 3a gezeigt ist, weist mehrere runde Öffnungen auf, deren Durchmesser weniger als 100 µm betragen. Bei den Düsenplatten, wie sie in Figur 3a bis l gezeigt sind, liegt das Aspektverhältnis bei ca. 1,5 bis 5, d.h. die Länge des Düsenlochs ist gegenüber dem Düsenlochdurchmesser um ein vielfaches größer. Weitere besonders geeignete Lochformen sind in Figur 3g und 3l abgebildet. Die Düsenplattenlöcher können nahezu beliebige Formen haben. Die bei einer nicht kreisförmigen Querschnittsfläche des austretenden Kraftstoffstrahls induzierte Asymmetrie der Strömungs- und Oberflächenspannungskräfte führt, wie in Figur 4 dargestellt, zu einer Verstärkung der periodischen Aufwellungen des Strahlquerschnitts, wodurch der beschleunigte Zerfall der Flüssigkeit in sehr kleine Tropfen bewirkt wird. Bei laminarer Düsenströmung gelten dabei in erster Näherung folgende Zusammenhänge zwischen dem Tropfenabstand λ, dem Tropfendurchmesser D und dem Düsenlochdurchmesser d (bei nicht kreisförmiger Düsenquerschnittsfläche ist anstelle des Düsenlochdurchmessers d der Ersatzdurchmesser einer der Düsenquerschnittsfläche nach äquivalenten kreisförmigen Düse zu verwenden): λ ≅ 4,5 · d D ≅ 1,9 · d
    Figure imgb0002
    Im Unterschied zur annähernd konstanten Tropfengröße bei laminarer Strömung, führen turbulente Strömungsvorgänge zu einer charakteristischen Tropfengrößenverteilung, d.h. neben dem häufigen Auftreten einer mittleren Tropfengröße sind auch erhebliche Anteile klein- und großvolumiger Tropfen im Aerosol enthalten. Dieser häufig zum Zerstäuben genutzte Effekt kann durch besonders extreme Querschnittsprofile mit scharfen Spitzen und Kanten, wie sie in Figur 3f, g, h, i, j, k, l gezeigt sind, verstärkt werden. Die Düsen haben in diesem Fall die Funktion von Turbulatoren.
  • Wie in Figur 4 gezeigt, bewirkt eine von der Kreisform abweichende Düsenquerschnittsform einen früheren Zerfall des Flüssigkeitsstrahls in Einzeltropfen. Die aus einem runden Düsenloch austretende Flüssigkeit zerfällt im Abstand l₁ in einzelne Tropfen, wohingegen eine durch eine rechteckige Querschnittsform hindurchtretende Flüssigkeit bereits im Abstand l₂ in einzelne Tropfen zerfällt, wobei gilt l₂ < l₁.
  • Neben der Düsenlochform kann auch die Anordnung und Größe der Düsenlöcher auf der Düsenplatte in weiten Grenzen verändert werden, wie in Figur 5 gezeigt. Die Düsenplatte weist im Zentrum ein großes Düsenloch auf, welches von vielen kleinen Düsenlöchern in Form eines Sechsecks umgeben ist. Durch Kombination verschiedener Düsenlochgrößen, Düsenlochformen und der Düsenlochanordnung auf einer Düsenplatte können die Strahleigenschaften den unterschiedlichen Erfordernissen angepaßt werden. Damit lassen sich unterschiedliche Betriebsbedingungen des Motors besser abdecken, da einerseits durch den feinen Aerosolmantel ein homogeners Kraftstoff/Luftgemisch erzeugt wird, wodurch beim Kaltstart die Wandbenetzung und der Schadstoffausstoß reduziert werden und gleichzeitig andererseits bei betriebswarmen Motor eine gute Füllung (Leistungsabgabe) durch den kompakten Zentralstrahl erzielt werden kann. Zusätzlich wird die Verstopfungsgefahr der Düse verringert.
  • Hergestellt werden können derartige Düsenplatten nach dem Galvanoplastikverfahren mit der Siemens Mikrostrukturtechnik (MS). Wie in Figur 6a - c dargestellt, wird bei der Siemens Mikrostrukturtechnologie ein auf ein Substrat S kaschierter Negativresist NR durch eine vorher durch Photostrukturierung hergestellte sehr dünne mit dem Substrat S verbundene Maske M mit UV-Licht UVL bestrahlt. Zur Belichtung des Photoresists kann auch Synchrotronstrahlung verwendet werden. Anschließend wird der unbestrahlte Photoschichtanteil im Entwickler ausgewaschen. Die vormalige Maske M kann an den freiliegenden Stellen galvanisch verstärkt, der Photoresist (Negativresist) also bis knapp zu seiner vollen Hohe abgeformt und die so additiv erzeugte Metallschicht aus z.B. NI, CU, AU oder AG als gewünschtes Flachteil chemisch oder mechanisch abgetrennt werden. Mit speziellen Belichtungstechniken und Photolacken ist zudem die Erzeugung von Doppeldüsen, also z.B. ein Einlauf und zwei Düsenaustritte, schrägen Düsen und Düsen mit konischen oder exponentiellen Einlauftrichtern möglich. Beschrieben ist dies in Trausch Günter: "Neuartige photolithographische Strukturerzeugung zur Herstellung von Präzisionsflachteilen im Galvanoplastikverfahren", Siemens-Forschungs- und Entwicklungsbericht Band 8, 1979, Nr. 6. Figur 4c zeigt die fertige Galvanoplastik GB im Querschnitt.
  • Eine andere Möglichkeit zur Herstellung der Düsenplatten besteht in der Verwendung der anisotropen Ätztechnik. Man macht sich die nach kristallographischer Orientierung stark unterschiedliche Ätzrate bei einigen einkristalligen Materialien, wie Silizium und Gallium, in bestimmten Ätzlösungen, wie EDP (Ethylendiamin) oder KOH zunutze. Dazu wird wie in Figur 7 gezeigt, beispielsweise ein (100) orientiertes Si-Substrat zunächst mit einer beidseitigen Ätzstopschicht, z.B. in Form von Si0₂ oder Si₃N₄ versehen, in die einseitig quadratische Öffnungen der Länge WB geätzt werden, wobei die Kanten der freiliegenden Bereiche parallel zu den kristallographischen (110) Richtungen des Substrats ausgerichtet sein müssen. Beim darauf folgenden selbststoppenden Naßätzprozeß in EDP oder KOH enstehen pyramidenförmige Vertiefungen mit (101) orientierten Seitenwänden unter φ = 54,74° Neigung. Bei geeigneter Dimensionierung des Ätzfensters WB bilden sich quadratische Durchbrüche mit einer Kantenlänge W₀ von W₀ = W B - √2 · t Si ,
    Figure imgb0003
    wobei tSi die Dicke des Si- Substrates ist. Durch Abätzen der Si0₂ oder Si₃N₄ Ätzstopschicht werden die Düsen abschließend freigelegt. Auch die Herstellung rechteckiger Düsenquerschnittsformen ist nach diesem Verfahren möglich.
  • Figur 8 zeigt einen Vergleich einer konventionellen Düse in der Draufsicht und im Querschnitt (Fig. 8a) im Vergleich zu mehereren sechseckig angeordneten Düsen, wie sie im vorigen beschrieben wurden (Fig. 8b). Bisher übliche Düsendurchmesser d lagen im Bereich von ca. d = 0,3 mm bis d = 0,6 mm bei typischen Dicken der Düsenplatte von ca. DDP = 0,05 bis 0,15 mm. Als Aspektverhältnis ergibt sich daraus ca. η = 1,5 - 5. Mit Hilfe von Photostrukturtechniken in Verbindung mit galvanischen Abformtechniken oder anisotroper Ätztechniken können Düsenlöcher mit Aspektverhältnissen von η ≧ 0,5 hergestellt werden, vgl. Figur 8b. Bei Verwendung von Synchrotronstrahlung zur Belichtung des Photoresists sind sogar Aspektverhältnisse η > 100 möglich. Der Düsendurchmesser d einer jeden Düse liegt bei ca. 20 µm. Die Dicke der Düsenplatte beträgt ca. DDP = 100 µm.

Claims (6)

  1. Vorrichtung zur Zumessung und Zerstäubung von Fluiden,
    - bei der ein Gehäuse (DH, V) vorgesehen ist, welches eine den Durchfluß des Fluids bestimmende Zumeßöffnung (ZMO) aufweist,
    - bei der ein Schließelement (VN) vorgesehen ist, welches auf die Zumeßöffnung (ZMO) wahlweise schließend oder öffnend wirkt,
    - bei der ein der Zumeßöffnung (ZMO) nachfolgendes Mittel mit wenigstens einer Zerstäuberöffnung (ZSO) vorgesehen ist, und
    - bei der ein Antriebselement (P) vorgesehen ist, welches die Zerstäuberöffnung (ZSO) in Schwingung versetzen kann.
  2. Vorrichtung nach Anspruch 1,
    bei der das Mittel eine Platte (DP) ist, welche am Gehäuse (DH, V) anliegt.
  3. Vorrichtung nach Anspruch 2,
    bei der eine Trägerplatte (TP) vorgesehen ist, welche die Platte (DP) mit dem Antriebselement (P) verbindet.
  4. Vorrichtung nach Anspruch 3,
    bei der die Platte (DP) mit der Trägerplatte (TP) kraftschlüssig verbunden ist.
  5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 - 4,
    bei der das Antriebselement (P) ein Piezoelement ist.
  6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 - 5,
    bei der eine Feder (BF) vorgesehen ist, die die Trägerplatte (TP) gegen das Antriebselement (P) drückt und das Antriebselement (P) unter einer mechanischen Vorspannung hält.
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