DE904085C

DE904085C - Verfahren zum Aktivieren von sekundaeremittierenden Elektroden fuer Elektronenvervielfacher

Info

Publication number: DE904085C
Application number: DES7036D
Authority: DE
Inventors: Dr Herbert Schnitger
Original assignee: Siemens Corp
Current assignee: Siemens Corp
Priority date: 1940-07-28
Filing date: 1940-07-28
Publication date: 1954-02-15
Also published as: NL58744C

Description

Es ist bereits bekannt, bei Elektronenvervielfachern die Vervielfacherelektroden mit sekundäremittierenden Lagen, die hauptsächlich aus Magnesiumoxyd bestehen, zu versehen. Es scheint für die Aktivität von dergleichen sekundäremittierenden Lagen von großer Bedeutung zu sein, daß die Lagen nicht aus reinem Magnesiumoxyd bestehen, doch ein überwiegendes Quantum Magnesium besitzen. Es ist fernerhin schwierig, dergleichen Lagen ohne Fehler reproduzierbar zu verfertigen.
Diese Schwierigkeiten werden durch die Erfindung aufgehoben. Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zumAktivieren von sekundäremittierenden Elektroden von Elektronenvervielfachern, wobei die sekundäremittierenden Schichten hauptsächlich aus Magnesiumoxyd bestehen, und der Unterschied besteht darin, daß auch auf die zu aktivierenden Elektroden einige - Male aufeinanderfolgend Magnesium aufgedampft wird, die Magnesiumlage der Einwirkung von Sauerstoff unter einem Druck von io-2 Torr ausgesetzt und nachfolgend die Magnesiumlage im Hochvakuum geglüht wird. Auf diese Weise erhält man sekundäremittierende Lagen, die eine Vervielfachung des einfallenden Elektronenstroms zustande bringen und die stets mit den gewünschten Eigenschaften verfertigt werden können.
Aus der Figur in der Zeichnung geht hervor, wie der Verstärkungsfaktor der sekundäremittierenden Schicht während der für die Herstellung erforderlichen besonderen Behandlungsfaktoren sich ändert. Die Figur gibt die Abhängigkeit des Verstärkungsfaktors während derAufeinanderfolge der besonderen Behandlungen, die bei dem Verfahren ausgeführt werden. -Die Linien 1-2 bzw. 1'-2' geben die die Veränderung des Verstärkungsfaktors bei dem Aufdampfen von Magnesium auf eine passende metallene Unterlage, beispielsweise auf Nickel oder Platin.
Die Linien 2-3 bzw. 2'-3' geben die Veränderung des Verstärkungsfaktors bei der Oxydation der Magnesiumlage, welche beispielsweise dadurch erhalten werden kann, daß man die Schicht einer Sauerstoffatmosphäre von io-2 Torr während etwa i Minute aussetzt. Demzufolge geben die Linien 3-1', 3'-1" usw. den Einfluß, den die Glühung der Lagen im Hochvakuum auf den Verstärkungsfaktor ausübt. Aus der Zeichnung geht hervor, daß bei dem Aufdampfen von Magnesium erst eine Abnahme des Verstärkungsfaktors auftritt, während infolge der darauf vorgenommenen Oxydation und Glühung der Schicht eine Erhöhung des Verstärkungsfaktors stattfindet. Es ist zweckmäßig, diese Aufeinanderfolge der Handlungen ungefähr So- bis zoomal vorzunehmen. Wie man ferner aus der Zeichnung ersehen kann, steigt der Verstärkungsfaktor bei jeder folgenden Handlung über einen kleinen Wert.
Das Verfahren nach der Erfindung kann dadurch verbessert werden, daß man die metallene Unterlage während des Verdampfens auf etwas erhöhter Temperatur hält, beispielsweise 4.0o bis 6oo° C. Dadurch wird bewirkt, daß eine überzählige Menge Magnesium oder Sauerstoff erhalten wird. Man kann auch die Verdampfung von Magnesium permanent ausführen und die Oxydation der Schichten dadurch erhalten, daß man sie ungefähr zwischen i und 5 Minuten lang eine kurze Zeit einem Sauerstoffdruck von ungefähr io-2 Torr aussetzt. In dem kurzen Intervall zwischen zwei Sauerstoffstößen schlägt ungefähr so viel Magnesium nieder wie bei der hierbei beschriebenen Werkweise in jeder einzelnen Behandlung. Es entsteht jedesmal dabei eine ein bis zwei Atomschichten dicke Lage, welche fester gebunden wird, so daß sie bei 4oo bis 6oo° C noch nicht merkbar verdampft. Die bei der hier beschriebenen Werkweise geforderten fünfzig bis hundert besonderen Behandlungen für die Erhitzung können auf diese Weise zu einem einzigen Verdampfungsprozeß zusammengefügt werden, der ungefähr i Stunde dauern kann.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: i. Verfahren zum Aktivieren von sekundäremittierenden Elektroden für Elektronenvervielfacher, wobei die sekundäremittierenden Schichten hauptsächlich aus Magnesiumoxy d bestehen, mit dem Kennzeichen, daß auf die zu aktivierenden Elektroden einige Male in folgender Weise Magnesium aufgedampft wird, daß die Magnesiumschicht der Einwirkung von Sauerstoff ausgesetzt wird, unter einem Druck von io-2 Torr, und danach die Magnesiumschicht im Hochvakuum geglüht wird.
2. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufdampfen, Oxydieren und Glühen von den Magnesiumschichten ungefähr 5o- bis ioomal wiederholt wird.
3. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die metallene Unterlage während des Aufdampfens auf erhöhter Temperatur, ungefähr q.oo bis 6oo° C, gehalten wird. .
4. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß auf die zu aktivierenden Elektroden Magnesium permanent aufgedampft wird und daß die aufgedampften Schichten in kurzen Intervallen während kurzer Zeit der Einwirkung von Sauerstoff mit einem Druck von io-2 Torr ausgesetzt werden.
5. Elektrode, nach dem Verfahren der Ansprüche i bis 3 oder 4 hergestellt.