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DE69429954T2 - Verfahren zur Beseitigung einer Sensordrift - Google Patents

Verfahren zur Beseitigung einer Sensordrift

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DE69429954T2
DE69429954T2 DE69429954T DE69429954T DE69429954T2 DE 69429954 T2 DE69429954 T2 DE 69429954T2 DE 69429954 T DE69429954 T DE 69429954T DE 69429954 T DE69429954 T DE 69429954T DE 69429954 T2 DE69429954 T2 DE 69429954T2
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DE
Germany
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sensor
flow
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adm
sensors
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DE69429954T
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Antonius F.P.Van Putten
Mauritius H.P.M Van Putten
Michael J.A.M.Van Putten
Pascal F.A.M.Van Putten
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/68Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
    • G01F1/684Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01FMEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F25/00Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
    • G01F25/10Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Indicating Or Recording The Presence, Absence, Or Direction Of Movement (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Description

  • Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Beseitigen von Abtrift bzw. Drift in Vektorsensoren. Es wird, um die Bezeichnung festzulegen, davon ausgegangen, dass ein Vektorsensor eine physikalische Vektorgröße S in einer Eingangsenergie-Domäne DI misst, indem S in ein Signal in einer Ausgangsenergie-Domäne DO umgewandelt wird. Insbesondere wird dabei an elektrische oder elektronische Sensoren zum Messen von Gasstrom oder -druck gedacht. Es wird also davon ausgegangen, dass Sensoren gleichzeitig einen Zustand A in der Eingangsenergie-Domäne DI und einen Zustand B in der Ausgangsenergie-Domäne DO besitzen.
  • Das neue Verfahren betrifft den tatsächlichen Einsatz von Sensoren beim Vorhandensein von Fehlern. Fehler sind im Allgemeinen sowohl in dem Sensor selbst, als auch, bei aktiven Sensoren, bezüglich der Vorspannung der Sensoren und seiner Ausgangsverstärker vorhanden. Obwohl ideale Sensoren als abstrakte Vorrichtungen keinerlei Empfindlichkeit gegenüber physikalischen Größen außer S aufweisen, weisen Sensoren in der Wirklichkeit Fehler aufgrund technologischer Beschränkungen auf, und weisen daher finite Empfindlichkeit für andere Größen als S auf. Fehler bei der Messung von S aufgrund finiter Empfindlichkeit gegenüber Größen außer S manifestieren sich in der Form von Abweichung (offset) mit nicht vorhersagbarem Verhalten. Die dadurch entstehende Drift in der Abweichung bleibt additiv als Drift in dem Ausgangssignal bestehen, wenn das Eingangssignal S konstant gehalten wird. Normalerweise überwiegt die entstehende Abweichung dem Rauschen, d.h. S/Abweichung < < S/Rauschen, so dass die Abweichung die unterste Grenze bildet, bei der S zuverlässig gemessen werden kann. Das heißt, die Abweichung, und nicht das Rauschen, bestimmt normalerweise den dynamischen Bereich des betreffenden Sensors. Es ist anzumerken, dass die Empfindlichkeit eines Sensors gegenüber seiner Messgröße S den dynamischen Bereich des Sensors nicht beeinflusst. Aus diesem Grund wird nur die erwähnte Abdrift bezüglich Abweichung, d.h. additive Drift, betrachtet.
  • Momentan besteht das Herangehen an die Beseitigung von Abdrift in dem kontinuierlichen Versuch, die Herstellungsverfahren immer genauer zu machen. Das heißt, moderne Herstellungsprozesse schließen speziellen Korrekturverfahren, wie beispielsweise Laser-Trimmen ein, mit denen Fehler, die auf den grundlegenden Herstellungsprozess zurückzuführen sind, erheblich verringert werden. Bei einem derartigen Vorgehen wird die abschließende Leistung des Sensors durch die Qualität des gesamten Produktionsprozesses bestimmt. Bei unserem neuen Verfahren, das im Folgenden vorgeschlagen wird, sind technologische Beschränkungen zweitrangig.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Das neue Verfahren wird zur Beseitigung von Drift vorgeschlagen. Das Verfahren betrifft Sensoren mit direktionaler Empfindlichkeit, d.h. anisotroper Empfindlichkeit in zwei oder mehr Richtungen. Sensoren dieses Typs sind auch als Vektorsensoren bekannt. Sensoren mit dieser Eigenschaft weisen eine Ausrichtung in Bezug darauf auf, welches S gemessen wird.
  • Ein Beispiel für einen Vektorsensor ist der Strömungssensor von A. F. P. von Putten (US-Patent 4,548,077 sowie 3,996,799), bei dem die Gasströmungsgeschwindigkeit einen Temperaturgradienten (eine Vektorgröße) in einem integrierten Siliziumchip induziert. Dieser Silizium-Strömungssensor wird elektrisch beheizt und bewirkt Temperaturgradienten beim Vorhandensein von Gasstrom. Eine integrierte Wheatstone-Brücke liest den durch diesen Strom induzierten Temperaturgradienten ab.
  • Bei dem neuen Verfahren wird Drift beseitigt, indem die Differenz von zwei Messungen bestimmt wird, die mit dem gleichen Sensor nacheinander mit unterschiedlichen Sensorzuständen A in der Eingangsenergie-Domäne D, ausgeführt werden. Beim Vorhandensein einer direktionalen Empfindlichkeit können die zwei verschiedenen Sensorzustände A durch zwei unterschiedliche relative Ausrichtungen zwischen Sensor und Medium erzeugt werden. Bei dem neuen Verfahren werden die erwähnten zwei aufeinander folgenden Messungen, aus denen die driftfreie Messung bestimmt wird, mit aufeinander folgend verschiedenen relativen Ausrichtungen des Sensors in Bezug auf das Medium ausgeführt, wobei die relativen Ausrichtungen genau die sind, die unterschiedliche Empfindlichkeiten gegenüber der physikalischen Größe S aufweisen. Bei dem neuen Verfahren, das als das Wechselrichtungsverfahren (Alternating Direction Method - ADM) bezeichnet wird, werden die driftfreien Messungen aus der Differenz zwischen aufeinander folgenden Messergebnissen durch den Sensor beim Messen mit wechselnden relativen Ausrichtungen zwischen Sensor und Medium bestimmt. Das so bestimmte Ausgangssignal wird als das ADM-Signal bezeichnet. Es wird davon ausgegangen, dass ein Sensor, der zwischen S und anderen Größen als S unterscheidet, die die Messung von S&sub1; stören können, und zwar in dem Sinne, dass der Sensor die erwähnte direktionale Empfindlichkeit S gegenüber aufweist, während seine Empfindlichkeit unabhängig von der Richtung zu anderen Größen als S, die die Messung von S stören können, ist, ein ADM-Signal erzeugt, das keine Drift enthält.
  • DER EINSATZ VON ADM BEI DER GASVOLUMENMESSUNG
  • Die Leistung von ADM kann anhand der Gasvolumenmessung unter Verwendung des Strömungssensors veranschaulicht werden, wie er in den erwähnten US-Patenten beschrieben ist. Als eine abstrakte Vorrichtung ist dieser Sensor in dem Sinne bidirektional, dass das Vorzeichen des elektrischen Ausgangssignals aufgrund der Strömungsgeschwindigkeit S sich mit der Drehung des Sensors um 90º oder 180º (wie in den erwähnten US-Patenten 4,548,077 sowie 3,996,799 sowie in der US-Patentanmeldung 127424 von M. H. P. M von Putten beschrieben) in Bezug auf die Strömungsrichtung ändert. Beim Herstellungsverfahren dieser Sensoren treten Asymmtrien in der Größenordnung von wenigen Prozent auf. Eine realistische Messung stellt daher nicht nur den Temperaturgradienten über den Sensor dar, d.h. das bidirektionale Signal, sondern enthält auch eine Komponente, die eine Funktion der Gesamtdissipation (total dissipation) ist. Drift in der Abweichung als Funktion von Temperatur, Feuchtigkeit, Alter usw. bewirkt eine Verschlechterung des Messsignals in der Praxis hauptsächlich über eine Änderung der Gesamtdissipation und ist daher unabhängig von der relativen Ausrichtung zwischen Sensor und Strömungsmedium (ein Gleichtaktsignal in dem Strömungsmedium). Der bidirektionale Strömungssensor bietet daher die einmalige Möglichkeit, Drift in der Abweichung durch den Einsatz von ADM zu beseitigen. Dies kann bei Gasvolumenmessung wie folgt noch genauer ausgeführt werden.
  • Bei Gasvolumenmessung mit ADM wird das elektrische Ausgangssignal des Sensors V, das durch die Strömungsgeschwindigkeit S induziert wird, über aufeinander folgende Zeitintervalle 0 < t&sub1; < t&sub2; < ·< tk < tk+, < ... integriert, wobei tk+1·tk = &Delta;f und wobei die Größe qk als das gemessene Volumen über das Zeitintervall tk - tk+1 eingesetzt wird und die Strömung über den Sensor mit abwechselnder relativer Ausrichtung von 180º (90º) erfolgt, so dass sich ergibt:
  • qk: = Vdt = (-1)k VStrom dt + VDrift dt (1)
  • Hier wird das Ausgangssignal als aus dem reinen VStrom und der unerwünschten Abdrift VDrift bestehend beschrieben. Das ADM-Volumen Q ist gegeben durch:
  • Q : = &Sigma;k(-1)k[qk - qk-1] = VStrom dt +En1&Delta;t (2)
  • wobei der ADM-Rest gegeben ist durch:
  • En1&Delta;t: = &Sigma;k(-1)k VDrift dt (3)
  • Der ADM-Rest hat folgende Eigenschaft:
  • En1&Delta;t ~ VDrift dt - VDrift dt (4)
  • In den Grenzen von &Delta;t -> 0, wobei tn = konst., beseitigt ADM daher unerwünschte Beiträge aufgrund von Drift in der Abweichung bei der Gasvolumenmessung bis auf einen Rest in der Größenordnung von 2&Delta;tVDrift. Es ist anzumerken, dass der ADM-Rest unabhängig von der Gesamtzeit der Integration ist und nur von der Intervallzeit &Delta;t jeder Messung mit einer der abwechselnden Richtungen abhängt.
  • ÜBERBLICK ÜBER DIE ZEICHNUNGEN
  • Die Umsetzung von ADM bei der Gasstrommessung wird anhand der folgenden zwei Ausführungen dargestellt.
  • Erste mögliche Umsetzung
  • Fig. 1 zeigt eine Umsetzung eines Gasvolumenmessers, wobei die zwei verschiedenen relativen Ausrichtungen zwischen Sensor S und dem Medium hergestellt werden, indem die Strömungsrichtung des Mediums nacheinander verändert wird, wenn es durch einen Messabschnitt M mit einem stationären Sensorhalter H hindurch tritt. Zu diesem Zweck wird eine Gasstrom-Umschalteinheit eingesetzt, die die Richtung des Gasstroms unter Verwendung von zwei Strömungsschaltern SL und SR verändert. Die Strömungsschalter SL und SR werden über die Steuereingänge CL bzw. CR betätigt. Strom entgegen dem Uhrzeigersinn (im Uhrzeigersinn) wird hergestellt, indem L1 (L2) und R1 (R2) für Gasstrom geöffnet werden, der über HL eintritt bzw. über HR austritt, wobei sich L1 (L2) und R2 (R1) in geschlossener Position befinden. Gasstrom entgegen dem Uhrzeigersinn wird über die T-Elemente TL und TR hergestellt, die den Messabschnitt M mit den Schaltern SL bzw. SR verbinden. Gasstrom im Uhrzeigersinn wird über die zwei Verbindungen BL und BR, Verbindungen zwischen den T-Elementen TL und TR, hergestellt, die mit dem Messabschnitt M und den Schaltern SR bzw. SL verbunden sind.
  • Abwechselnder Betrieb dieser Strömungs-Umschalteinrichtung im Uhrzeigersinn und entgegen dem Uhrzeigersinn bewirkt zwei relative Ausrichtungen zwischen Sensor und Strömungsmedium, die sich um 180º unterscheiden.
  • ADM kann bei dem Sensor, wie er in den erwähnten US-Patenten beschrieben ist, mit 180º-Bidirektional-Empfindlichkeit eingesetzt werden, indem die Differenz zwischen jeweils zwei aufeinanderfolgenden Messungen mit unterschiedlichen relativen Ausrichtungen zwischen Sensor und Medium bestimmt wird, die durch abwechselnde Strömungsrichtungen im Uhrzeigersinn und entgegen dem Uhrzeigersinn bewirkt werden.
  • Zweite mögliche Umsetzung
  • Fig. 2 zeigt eine Umsetzung eines Gasstrommessers, bei dem die zwei verschiedenen relativen Ausrichtungen zwischen Sensor und strömendem Medium erzeugt werden, indem der Sensor abwechselnd in zwei verschiedene Positionen in einem Messabschnitt M bei unveränderlicher Strömungsrichtung (von links nach rechts in Fig. 2) gebracht wird. Zu diesem Zweck wird eine Dreheinheit D eingesetzt, in der der Sensorhalter H, wie in Fig. 1, nunmehr seine Position abwechselnd um 180º von Position 1 (2) zu Position 2 (1) ändert. Die Dreheinheit D wird über Steuereingang CD betätigt. Bei der erwähnten Installation des Sensors kann ADM nunmehr eingesetzt werden, indem die Differenz zwischen Messungen bestimmt wird, bei denen die Positionen zwischen 1 und 2 abwechseln, wie dies in der Teilfigur im "Kasten" angedeutet ist.
  • Versuche haben ergeben, dass mit ADM die erwähnten Strömungssensoren einen dynamischen Bereich von bis zu drei Dekaden der Strömungsgeschwindigkeit von 1 cms&supmin;¹ bis 10 ms&supmin;¹ beim Vorhandensein einer Wiederholbarkeit von mehr als 1% erreichen. Mit diesem neuen Betriebsverfahren sind Messungen möglich, die über jene hinaus gehen, die mit gegenwärtigen Verfahren erreichbar sind (außer Laser-Doppler-Strömungsmessverfahren).
  • BESCHREIBUNG BEVORZUGTER AUSFÜHRUNGEN
  • Wie unter ausführlicherer Bezugnahme auf die Zeichnungen zu sehen ist, ist die vorliegende Erfindung zur veranschaulichenden Zwecken in jeder der zwei Vorrichtungen ausgeführt, die allgemein in Fig. 1 und 2 dargestellt sind. Es liegt auf der Hand, dass die Ausführung der Erfindung bezüglich des speziellen Sensors und bezüglich der Einzelheiten der Teile variieren kann, ohne von den grundlegenden Ideen abzuweichen, wie sie hier offenbart werden.
  • Der Strömungsschalter SL (SR) ist, wie unter Bezugnahme auf Fig. 1 zu sehen ist, ein Standard-Druckluftschalter, wie er in der Industrie für die Druckluftsteuerung eingesetzt wird. Der Schalter SL (SR) besitzt drei Öffnungsrohre für den Gasstrom, wobei mit zwei Positionen SL (SR) entweder die Rohröffnung HL (HR) mit Rohröffnung L1 (R1) oder HL (HR) mit Rohröffnung L2 (R2) verbindet. Der Schalter wird über Steuereingang CL (CR) entweder pneumatisch oder elektrisch betätigt, wobei dies von dem eingesetzten Schalter abhängt. Die Rohröffnungen L1 und R1 sind jeweils mit einem T-Rohr-Element TL bzw. TR verbunden. Die Rohröffnungen L2 und R2 sind jeweils mit Rohren BL bzw. BR verbunden, die ihrerseits mit den erwähnten T-Elementen TR bzw. TL verbunden sind.
  • Die drei Rohröffnungen in jedem der Schalter SL und SR, die Rohre BL und BR, und die T-Elemente TL und TR haben sämtlich Innendurchmesser, die vorzugsweise, jedoch nicht notwendigerweise, so groß sind, dass Strömungsdurchgang mit einem geringen Grad an Reibung (bei der erwarteten Strömungsgeschwindigkeit) gewährleistet ist, und damit ein geringer Betrag des Druckgefälles über die Vorrichtung gemessen über den Eingang HL an dem Eingangsrohr von Schalter SL und den Ausgang HR an dem Ausgangsrohr von Schalter SR. Die Rohre BL, BR sowie die T-Elemente TL, TL bestehen aus einem haltbaren Material, das entweder flexibel oder starr ist, so beispielsweise Kunststoff oder Metall. Der Messabschnitt M besteht aus einem Rohr mit einem Innendurchmesser, der groß genug ist, um ungehinderten Strom über den Halter H mit Sensor S zu ermöglichen. Bei dem Sensor S kann es sich um den Silizium-Strömungssensor handeln, wie er im US-Patent 4,548,077 beschrieben ist, oder um jeden beliebigen anderen Sensor, der um 180º veränderliche direktionale Empfindlichkeit ermöglicht. Der Sensor ist an einem Halter H angebracht, der aus wärmeisolierendem Material besteht, wobei elektrische Anschlüsse daran zur Verbindung zwischen dem Sensor und der Außenumgebung vorhanden sind.
  • Der Messabschnitt besteht, wie unter Bezugnahme auf Fig. 2 zu sehen ist, aus einem Rohr mit einem Innendurchmesser, der groß genug ist, um ungehinderten Strömungsdurchsatz (bei der erwarteten Strömungsgeschwindigkeit) bei vorzugsweise geringem Betrag des Druckgefälles über den Eingang an der linken Seite und den Ausgang an der rechten Seite zu ermöglichen. Der Messabschnitt M enthält die Schalteinheit D, um den Halter H mit Sensor S. wie in Fig. 1 beschrieben, abwechselnd in zwei Positionen 1 und 2 zu drehen. Die Schalteinheit wird über Steuereingang CD betätigt, der den Halter H in eine der zwei Positionen 1 und 2 bewegt. Vorzugsweise handelt es sich bei der Schalteinheit D um eine elektromechanische Vorrichtung, die einen Elektromotor zum Antreiben des Halters H mit elektrischer Steuerung CD enthält. Als Alternative dazu könnte die Schalteinheit D als rein mechanische Vorrichtung mit mechanischer oder pneumatischer Steuerung CD aufgebaut sein. Die Schalteinheit ermöglicht es, wie in Fig. 2 angedeutet, dem Halter H, sich um 180º zu drehen, wobei elektrische Verbindung zwischen dem sich drehenden Halter H und der Außenumgebung gewährleistet ist. Der Halter H schließt, wie bei der in Fig. 1 dargestellten Ausführung, die elektrischen Verbindungen zu dem Sensor S ein. Die elektrischen Verbindungen zwischen dem sich drehenden Halter H und der Außenumgebung werden durch den Einsatz von flexiblem Kabel ermöglicht. Bei Einsatzzwecken, bei denen häufig zwischen den abwechselnden Richtungen umgeschaltet werden muss, könnten aus ähnlichen Gründen wie denen, die quantitativ am Ende der obenstehenden Erläuterung von ADM beim Einsatz bei der Gasvolumenmessung aufgeführt sind, alternative Einrichtungen zur elektrischen Verbindung zwischen dem sich drehenden Halter H und der Außenumgebung eingesetzt werden. Insbesondere könnten die Verfahren, die für die elektrische Verbindung zwischen sich drehenden zylindrischen Köpfen in Magnet-Videorekordervorrichtungen eingesetzt werden, als eine Alternative zum Einsatz eines flexiblen Kabels verwendet werden, um die elektrische Verbindung zwischen dem Halter H und der Außenumgebung herzustellen.
  • Bei jeder der in Fig. 1 und 2 dargestellten Ausführungen wirkt vorzugsweise der Messabschnitt M als Abschirmung gegenüber Einflüssen von außen. Bei der Ausführung in Fig. 2 ist es besonders wichtig, dass Abschnitt M als eine Abschirmung wirkt, da beim Wechsel zwischen den Positionen 1 und 2, wie anhand von ADM beschrieben, äußere Einflüsse, gegenüber denen der Sensor S empfindlich ist, zu dem ADM-Signal beitragen können, wenn die äußeren Einflüsse in jeder der zwei Positionen 1 und 2 mit unterschiedlicher Intensität wirken. So besteht bei der Ausführung in Fig. 2 der Abschnitt M vorzugsweise aus lichtundurchlässigem Material, um Einflüsse von äußerem Licht zu vermeiden, wenn der Sensor S lichtempfindlich sein sollte, was für Halbleitersensoren typisch ist.
  • Obwohl der Kontext für die obenstehende Beschreibung die Strömungsmessung ist, sollte diese Darstellung nicht als die Einsetzbarkeit von ADM einschränkend verstanden werden, sondern lediglich als veranschaulichend für den tatsächlichen Einsatz von ADM. Daher sollte der Schutzumfang von ADM durch die beigefügten Ansprüche und ihre rechtlichen Äquivalente bestimmt werden.

Claims (4)

1. Operationsmethode für Beseitigung der Abtrift in den Sensoren mit der Eigenschaft, dass jede einzelne Messung einer physikalischen Quantität S in einem gegebenen Medium als der Unterschied der Resultate von zwei teilweiser Messen definiert wird, besagte zwei partielle Messungen, die nacheinander durch besagten Sensor mit unterschiedlichen relativen Orientierungen zwischen Sensor und Medium gemacht werden, besagte relative Orientierungen, die eindeutigen Empfindlichkeiten des besagten Sensors S entsprechen.
2. Operationsmethode nach Anspruch 1, worin die zwei relativen Orientierungen zwischen Sensor und Medium erreicht werden, indem man die Orientierungen des besagten Mediums ändert (mit physikalischer Quantität S), und indem man die Orientierung des besagten Sensors nicht ändert.
3. Operationsmethode nach Anspruch 1, worin die zwei relativen Orientierungen zwischen Sensor und Medium erreicht werden, indem man die Orientierungen des besagten Sensors ändert (mit physikalischer Quantität S), und indem man die Orientierung des besagten Mediums nicht ändert.
4. Operationsmethode für Beseitigung der Abtrift in den Sensoren für Messung einer physikalischen Quantität S im Weltraum mit der Eigenschaft, dass jede einzelne Messung als der Unterschied der Resultate von zwei teilweiser Messen definiert wird, besagte zwei partielle Messungen, die nacheinander durch besagten Sensor mit unterschiedlichen relativen Orientierungen zwischen Sensor und entfernte Sterne im Weltraum gemacht werden, besagte relative Orientierungen, die eindeutigen Empfindlichkeiten des besagten Sensors S entsprechen.
DE69429954T 1993-08-12 1994-08-10 Verfahren zur Beseitigung einer Sensordrift Expired - Fee Related DE69429954T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

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NL9301399A NL9301399A (nl) 1993-08-12 1993-08-12 Drift eliminatie bij sensoren.
US08/199,538 US5426969A (en) 1993-08-12 1994-02-22 Method for drift elimination in sensors

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DE69429954D1 DE69429954D1 (de) 2002-04-04
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EP0642000A2 (de) 1995-03-08
EP0642000B9 (de) 2002-04-17
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