DE69028950T2

DE69028950T2 - Muster-Herstellungsverfahren

Info

Publication number: DE69028950T2
Application number: DE69028950T
Authority: DE
Inventors: Noburu Aikawa; Koji Matsuo; Yutaka Nishimura; Masahide Tsukamoto; Hirotoshi Watanabe
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1989-06-19
Filing date: 1990-06-14
Publication date: 1997-04-30
Anticipated expiration: 2010-06-15
Also published as: KR910001860A; KR930002651B1; EP0404433B1; US5635006A; DE69028950D1; EP0404433A3; EP0404433A2

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Muster-Herstellungsverfahren zum Bilden feinliniger Muster und insbesondere auf ein Herstellungsverfahren, das zum Bilden einer Kathodenstrahlröhrenanode geeignet ist.
In dem herkömmlichen Kathodenstrahlröhrenanoden-Prozeß einer Farbfernseher-Herstellung wurde die Oberfläche des Glassubstrats, das die Phosphorebene bildet, geeignet behandelt und gemustert, belichtet und in einem Polyvinyl-Alkohol-Ammonium- Dichromat-, photoempfindlichen bzw. photosensitiven Fluid entwickelt, dann wurde eine schwarze Substanz, wie beispielsweise Graphit, auf das entwickelte Muster gerollt und die schwarze Matrix wurde durch Abschälen und Behandeln gebildet. Die Phosphor-Bemusterung war ein komplizierter Prozeß, um jede Schicht aus R, G und B nach drei wiederholten Sequenzen eines Aufstreichens, Trocknens, Belichtens, Entwickelns und Trocknens der Aufschlämmung, die das Phosphor-Pigment, das in dem Polyvinyl-Alkohol-Ammonium-Dichromat-, photoempflndlichen Fluid dispergiert ist, besitzt, zu bilden. Zusätzlich wurde vor einem Bilden der mit Metall hinterlegten Schicht eine organische Filmschicht auf dem Phosphorfilm als eine Zwischenschicht gebildet und die mit Metall hinterlegte Schicht wurde einem Vakuumniedersch lag unterworfen. Danach wurde das Glassubstrat bei etwa 450ºC gebrannt und gebildet.
Der vorstehend angegebene Kathodenstrahlröhrenanoden-Bildungsprozeß ist in seinem Verfahrensablauf sehr lang und kompliziert und erfordert ein großes Volumen an Wasser, da er ein Naßprozeß ist, und er gibt sehr viel Abwasser ab, das Materialien enthält, die eine Umweltbelastung darstellen. Daneben traten in Bezug auf die Präzision des Musters, das durch den Naßprozeß gebildet wurde, da Belichtung und Entwicklung wiederholt wurden, eine Kantenlinearität, ein Fehlen eines Abdeckens und ein Fehlen und andere Defekte auf und es war schwierig, Muster mit einer hohen Qualität zu erhalten.
Noch schlechter war ein enormes Anlageninvestment aufgrund des Vakuumniederschlagens der mit Metall hinterlegten Schicht erforderlich.
In neuerer Zeit ist derweilen die Entwicklung einer Flüssigkristallfarbtafel intensiviert worden. Der Farbfilter, der in dieser Flüssigkristallfarbtafel verwendet wird, ist meistens durch die Technologie einer Photolithographie gebildet und der Prozeß war sehr lang, einschließlich der Schritte einer Filmbildung, einer Photoresistfilmbildung, eines Belichtens und eines Entwickelns, und der Ertrag war sehr niedrig und das Produkt war demzufolge sehr kostspielig.
Um solche Defekte zu eliminieren, sind verschiedene Druckverfahren, das bedeutet Trockenverfahren, vorgeschlagen worden. Zum Beispiel wurde als eine Tintenzusammensetzung zum Bilden einer Kathodenstrahlröhrenanode durch Siebdrucken oder Offset-Drucken eine Zusammensetzung, die Acrylharz enthält, in der japanischen Patentveröffentlichung No. 55-41671 vorgeschlagen, allerdings hat sie sich bis jetzt noch nicht kommerziell durchgesetzt. Der Grund ist, neben anderen, daß eine relativ große Filmdicke für die schwarze Matrix und das Phosphormuster erforderlich ist, während sehr feinlinige Muster benötigt werden. Um zu der Filmdicke beizutragen, muß die Dichte der Tintenschicht erhöht werden, was ein höheres Verhältnis der Pigment-Komponente in der Tinte als in der gewöhnlichen Zusammensetzung benötigt. Als Folge ist allerdings die Druckbarkeit extrem beeinträchtigt, und es ist schwierig, die erwünschte Musterpräzision zufrieden zu stellen. Oder wenn der Pigment-Gehalt in der Tinte in Anbetracht der Druckbarkeit erniedrigt wird, wird die Luminanz herabgesetzt und andere nachteilige Effekte sind damit verbunden. Anders ausgedrückt ist bei dem Siebdrucken, das zum Drucken sehr feinliniger Muster eines Dickfilms auf einem Glassubstrat vorgesehen ist, die Präzision nicht ausreichend und ein zufriedenstellendes Drucken ist nicht möglich, gerade durch das Gravur-Offset-Drucken. Oder in der Graphit-Paste für ein Drucken mit schwarzer Farbe unter Verwendung nur von Acrylharz ist die Adhäsionsfestigkeit an der Glasoberfläche schlecht und ein Abblättern der schwarzen Matrix und der Phosphor-Schicht wurde beobachtet.
Die US-A-4209551 offenbart ein Verfahren eines Herstellens eines Phosphor-Schirms für eine Farbbildröhre, bei dem ein Tintenfarbstoffmuster, das auf einem Intaglio bzw. Tiefdruck enthalten ist, direkt auf ein Glassubstrat aufgedruckt wird. Das Dokument befaßt sich insbesondere mit der Zusammensetzung der Tinte bzw. des Farbstoffs, die verwendet wird, und der relativen Bewegung der verschiedenen Teile des Druckgeräts.
Die vorliegende Erfindung schafft ein Verfahren zum Bilden eines Musters einer Tintenschicht auf einem Glassubstrat, das die Schritte aufweist:
Bilden eines Musters aus Tinte auf einer Oberfläche eines Preßkissens, dessen Oberfläche mit einem elastischen Material, das hauptsächlich aus Silikonharz zusammengesetzt ist, abgedeckt ist; und
Übertragen des Musters der Tinte auf dem Preßkissen auf das Glassubstrat, gekennzeichnet dadurch, daß es die Schritte aufweist:
Bilden einer haftenden Schicht auf dem Glassubstrat vor dem Schritt eines Übertragens des Musters der Tinte auf dem Preßkissen auf das Glassubstrat, wobei die haftende Schicht aus einem von einem Kunstharz, das einen Vitriflzierungspunkt von 40ºC oder geringer besitzt, einem ultraviolett-härtenden Kunstharz und einem thermoplastischen Kunstharz hergestellt ist; und
Übertragen des Musters der Tinte auf dem Preßkissen auf die haftende Schicht, die auf dem Glassubstrat gebildet ist.
Die vorliegende Erfindung schafft auch ein Verfahren zum Bilden einer Kathodenstrahlröhrenanode, das die Schritte aufweist:
Bilden einer schwarzen Matrixschicht auf einem Glassubstrat;
Bilden einer Phosphor-Schicht auf dem Glassubstrat, auf dem die schwarze Matrixschicht gebildet worden ist;
Bilden einer Metall-Unterpageschicht durch Abdecken der Phosphor-Schicht mit einem Aluminium-Dünnfilm; und
Brennen des Glassubstrats, gekennzeichnet dadurch, daß der Schritt eines Bildens der schwarzen Matrixschicht die Schritte aufweist:
Bilden einer haftenden Schicht auf dem Glassubstrat, wobei die haftende Schicht aus einem von einem Kunstharz, das einen Vitrifizierungspunkt von 40ºC oder geringer besitzt, einem ultraviolett-härtenden Kunstharz und einem thermoplastischen Kunstharz;
Bilden eines Musters einer Graphit-Tinte auf einem Intaglio;
Übertragen des Musters der Graphit-Tinte auf ein Substrat eines Preßkissens, dessen Oberfläche mit einem elastischen Material, das hauptsächlich aus Silikon-Kunstharz zusammengesetzt ist, abgedeckt ist; und
Übertragen des Musters der Graphit-Tinte auf dem Preßkissen auf die haftende Schicht, die auf dem Glassubstrat gebildet ist, um dadurch die schwarze Matrixschicht zu bilden; und daß
der Schritt eines Bildens der Phosphor-Schicht die Schritte aufweist:
Bilden eines Musters aus Phosphor-Tinte auf einem Intaglio;
Übertragen des Musters der Phosphor-Tinte auf eine Oberfläche eines Preßkissens, dessen Oberfläche mit einem elastischen Material, das hauptsächlich aus Silikon-Kunstharz zusammengesetzt ist, abgedeckt ist;
Übertragen des Musters der Phosphor-Tinte auf dem Preßkissen auf das Glassubstrat, auf dem die schwarze Matrixschicht gebildet worden ist, um dadurch die Phosphor- Schicht zu bilden.
Zum Durchführen dieser Verfahren werden Graphit-Tinte und Phosphor-Tinte, die für diese Druckverfahren geeignet sind, verwendet, die exzellent in der Streueigenschaft eines organischen Binders sind, gerade wenn die schwarze Matrix und die Phosphor- Schicht mit einem dünnen Aluminium-Film beschichtet sind, der Vielfach-Öffnungen besitzt, als die mit Metall hinterlegte Schicht nach einem Drucken, geeignet zum Verhindern eines Herabsetzens der Güte eines Vakuums, was durch eine Verschlechterung der Streueigenschaft bewirkt wird, stark in der Adhäsion mit der Glasoberfläche sind und auch dazu geeignet sind, ein Abblättern der schwarzen Matrix und der Phosphor- Schicht zu verhindern.
Die Graphit-Tinte, die in bevorzugten Ausführungsformen des Verfahrens verwendet wird, weist Graphitpulver, Vehicle bzw. Pigmentträger, die einen organischen Binder vom Depolymerisations-Typ enthalten, und organisches Säuremetallsalz auf. Der organische Binder der Graphit-Tinte ist ein Kunstharz, das aus mindestens einem von Poly- α-Methylstyrol, Polyisobutyl-Methacrylat, Polymethyl-Methacrylat und Poly-4-Fluoroethylen zusammengesetzt ist. Das durchschnittliche Molekulargewicht des organischen Binders beträgt 100.000 bis 1.000 oder vorzugsweise 10.000 bis 1.000. Das organische Säuremetallsalz weist mindestens eines von Silizium-Oktoate, Aluminium-Oktoate, Zinn-Oktoate und Zink-Oktoate oder mindestens eines von Silizium-Neodecanoate, Aluminium-Neodecanoate, Zinn-Neodecanoate und Zink-Neodecanoate auf. Der Gehalt des organischen Säuremetallsalzes beträgt vorzugsweise 10 bis 2 Gewichts- % und noch bevorzugter 6 bis 2 Gewichts-%.
Die Phosphor-Tinte, die in bevorzugten Ausführungsformen des Verfahrens verwendet wird, weist Phosphorpulver und Vehicle, das einen organischen Binder vom Depolymerisations-Typ enthält, auf. Der organische Binder der Phosphor-Tinte ist ein Harz, das mindestens aus einem von Poly-α-Methylstyrol, Polyisobutyl-Methacrylat, Polymethyl- Methacrylat und Poly-4-Fluoroethylen zusammengesetzt ist. Das durchschnittnliche Molekulargewicht des organischen Binders beträgt 100.000 bis 1.000 oder vorzugsweise 40.000 bis 1.000. Das organische Lösungsmittel in der Tinte weist mindestens eines von α-Terpineol, n-Butylcarbitol, n-Butylcarbitolacetat,
2,2,4-Trimethyl-1,3-Hydroxy-Pentyl-Isobutylat, Leinsamenöl und Ethylenglycolmonophenylether auf. Unter Berücksichtigung der Linearität des Druckmusters beträgt der Gehalt dieses organischen Lösungsmittels vorzugsweise 12:10 bis 16:10 bezogen auf das Gewicht des Graphitpulvergehalts in der Graphit-Tinte und 1,5:10 bis 3,0:10 bezogen auf das Gewicht des Phosphorpulvergehalts in der Phosphor-Tinte.
Bei der Art der Erfindung, wie sie hier beschrieben ist, sind die Tinten-Charakteristika, wie beispielsweise Fluidität und Haftfähigkeit, die zum Übertragen von einem Preßkissen auf das Substrat notwendig sind, nicht eingeschränkt und ein weiter Bereich an Materialien kann als das Musterbildungsmaterial verwendet werden. Das bedeutet, daß sehr feinlinige Dickfilm-Muster leicht auf dem Substrat gebildet werden können, und wenn dieses Verfahren beim Bilden einer Phosphorebene für eine CRT oder eine Plasmaanzeige eingesetzt wird, können sehr feinlinige Graphitmuster und Phosphormuster leicht auf dem Substrat gebildet werden. Dieses Verfahren ist auch frei von Problemen, die bei dem herkömmlichen Naßprozeß gegeben sind, das bedeutet die Verwendung eines großen Volumens an Wasser und die Abgabe von Schmutzwasser, das öffentlich anstößige Materialien besitzt. Weiterhin wird kein Vakuumniederschlag benötigt. Deshalb können die Herstellkosten stark reduziert werden. Von dem Gesichtspunkt einer Präzision aus gesehen werden Muster mit einer sehr hohen Qualität erhalten. Weiterhin werden die schwarze Matrix und die Phosphor-Schicht, die eine starke adhäsive Festigkeit mit der Glasoberfläche besitzen, gebildet, und eine Kathodenstrahlröhre einer hohen Zuverlässigkeit kann geliefert werden.
Es ist auch effektiv, sie beim Bilden von Farbfiltern und einer Musterbildung der Schaltkreissubstrate anzuwenden.
Wie aus der Beschreibung hier deutlich wird, schafft das Verfahren die Bildung feinliniger Dickfilm-Muster durch Übertragen der Muster, die auf dem Preßkissen gebildet werden, wobei die Oberfläche davon mit einem elastischen Material beschichtet ist, das hauptsächlich aus Silikon-Kunstharz zusammengesetzt ist, und zwar auf ein Substrat, auf dem eine Haftschicht gebildet ist. Durch Vereinfachen des Verfahrens können die Kosten merkbar reduziert werden. Wenn diese Technik bei einer Kathodenstrahlröhre, einer Plasmaanzeige oder anderen Phosphor-Produkten oder einem Flüssigkristall- Farbfilter oder anderen Musterprodukten angewandt wird, können kostengünstige Produkte einer hohen Qualität ohne das Erfordernis irgendeiner großen Herstellausrüstung erhalten werden.
Fig. 1 zeigt eine erläuternde Zeichnung eines Muster-Herstellungsverfahrens der Erfindung,
Fig. 2 zeigt eine Schnittansicht einer Farbkathodenstrahlröhrenanode,
Fig. 3 zeigt ein Diagramm der Menge des Abgases, die die Abgasmengenkurve 301 von der Kathodenstrahlröhrenanode ausdrückt, die in Bezug auf das Verhältnis einer Polymerisation eines Isobutylmethacrylats und eines α-Methylstyrols gebildet ist,
Fig. 4 zeigt ein Übertragungsmengendiagramm, das die Übertragungsmengenkurve 401 der Phosphortinte zu dem Übertragungsobjekt ausdrückt, zusammen mit dem organischen Lösungsmittel/Phosphorpulververhältnis (bezogen auf das Gewicht), und
Fig. 5 zeigt ein Gewichtsverlustdiagramm, das die Gewichtsverlustkurve 501 ausdrückt, das das Verhältnis zwischen dem Gewichtsverlust unmittelbar nach einem Brennen durch Reinigen und Trocknen der Kathodenstrahlröhrenanode (25 cm²) und den Inhalt an Silizium-Oktoate in der Graphit-Tinte angibt.
Unter Bezugnahme nun auf die Zeichnungen wird eine Ausführungsform des Muster- Herstellungsverfahrens der Erfindung im Detail nachfolgend beschrieben. Fig. 1 zeigt eine erläuternde Zeichnung des Muster-Herstellungsverfahrens der Erfindung. In Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen 101 ein Substrat. Das Bezugszeichen 102 bezeichnet eine Haft- oder adhäsive Schicht, die gebildet ist, um die Bedruckbarkeit zu erhöhen, wenn Muster gebildet werden, was entweder ein haftend adhäsives Material bei einer gewöhnlichen Temperatur oder ein thermoplastischer Kunstharz, der in einem haftend adhäsiven Zustand durch Aufheizen und Schmelzen verwendet wird, sein kann. Alternativ kann unter Verwendung eines haftend adhäsiven Materials, das durch ultraviolette Strahlen gehärtet wird, das Muster eines spezifizierten Teils verfestigt werden. Das Bezugszeichen 103 bezeichnet ein Druckkissen, wobei die Oberfläche davon mit einem gummiähnlichen, elastischen Körper mit einer günstigen Trenneigenschaft, und aus Silikonharzen, Fluoro-Kunststoffen und Polyethylen-Kunstharzen, die bevorzugt als elastisches Material mit einer JIS-Gummihärte von 30 bis 60 Grad verwendet werden, hauptsächlich aus Silikon-Kunstharz zusammengesetzt, wobei die Oberfläche in einer Dicke von ungefähr 5 mm abgedeckt ist, beschichtet ist. Das Bezugszeichen 104 bezeichnet ein Muster, das auf dem Druckkissen gebildet ist, in dem Tinte in den Gravur-Intaglio bzw. die -Tiefdruckgravur eingesunken ist, wobei die gesamte Oberfläche des Gravur- Intaglio durch eine Abschabeinrichtung abgeschabt ist, um die Tinte nur in der Nut zu belassen, und das Druckkissen wird gegen die Oberfläche angedrückt, um das Muster zu übertragen. Das Bezugszeichen 105 bezeichnet ein erwünschtes Muster, das durch Pressen und Übertragen des Musters auf dem Preßkissen auf das Substrat erhalten ist, auf dem die Haftschicht gebildet worden ist. Das Muster 104 auf dem Preßkissen kann unter Verwendung einer Kopierpresse oder durch Buchdrucken gebildet sein, ebenso wie durch Übertragung von dem Intaglio.
Als ein Produkt, das ein Muster erfordert (nachfolgend als ein Muster-Produkt bezeichnet), wird ein Beispiel einer Anodenbildung einer Farbkathodenstrahl röhre geliefert, und ein Herstellungsverfahren und eine Kathodenstrahlröhrenanode gemäß der Erfindung ebenso wie unterschiedliche Typen von Graphit-Tinte und Phosphor-Tinte, die beim Durchführen der Verfahren verwendet werden, werden nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben. Fig. 2 zeigt eine Schnittansicht einer Farbkathodenstrahlröhrenanode, in der eine Schwarz-Matrix 202, die aus einer schwarzen Substanz hergestellt ist, und eine Phosphor-Schicht 203 innenseitig einer aus Glas gefertigten Schirmplatte 201 gebildet sind und auf denen eine mit Metall gestützte Schicht 204 angeordnet ist. Die mit Metall gestützte Schicht 204 ist dazu vorgesehen, die Luminanz durch Reflektieren des Lichts, das von der Phosphorebene durch die Spiegelwirkung des Metallfilms emittiert wird, zu verstärken. Gemäß der Erfindung wird anstelle eines Vakuumniederschlagens der Aluminium-Dünnfilm, der Vielfachporen besitzt, vor einem Einbrennen übertragen und gebildet.

Beispiel 1

Unter Verwendung eines Dreifachwalzwerks wurde die Walzbasis in der Zusammensetzung, die nachfolgend spezifiziert ist, sechsmal hindurchgeführt, um zu mischen, und eine Graphit-Tinte für einen schwarzen Streifen wurde präpariert. Dann wurde das Kunstharz vorbereitend gerührt und in dem Lösungsmittel aufgelöst.
- Graphit (Hitachi Powder Metal Co., GP-60S) ... 26 (Teile bezogen auf das Gewicht)
Mittlere Teilchengröße 0,4 µm
- i-BMA, α-MeSt-Kunstharz (Sekisui Chemical Co., IBS-6) ... 34 Gewicht, durchschnittliches Molekulargewicht 4750
- Lösungsmittel (Kanto Chemleal Co., n-Butylcarbitol-Acetat) ... 34
- Adhäsives Mittel (Silizium-Oktoate) ... 3
- Dispergiermittel (Toho Chemical Co., Dispant EN-120A) ... 3
Der einminütige Fließwert der vorbereiteten Tinte auf einer Ausbreitungsmeßeinrichtung betrug 13 mm, und unter Verwendung dieser Graphit-Tinte wurde ein Streifen mit 65 µm Breite und 4 µm Höhe auf eine Glasplatte aufgedruckt. Das Druckverfahren ist nachfolgend dargestellt. Das haftend adhäsive Material (Isodecylmethacrylat, Vitrifizierungspunkt -60ºC, 30% Toluol-Lösung) wurde auf die Glasplatte durch Schleuderbeschichtung aufgebracht, so daß es eine Dicke von 2 µm besaß, und getrocknet, um das Übertragungsobjekt zu erhalten. Das haftend adhäsive Material sollte vorzugsweise ein Material sein, das bei gewöhnlicher Temperatur adhäsiv ist und vollständig in dem Bindematerial-Entfernungsverfahren in der abschließenden Stufe pyrolisiert wird, und ein Acrylharz mit dem Vitrifizierungspunkt von 40ºC oder geringer war bevorzugt. Das Intaglio war eine rostfreie Stahlplatte, die eine Streifenätzung von 70 µm in der Breite und 15 µm in der Tiefe besaß. Die Graphit-Tinte wurde auf das Initaglio getropft und die gesamte Oberfläche des Intaglio wurde durch eine keramische Kratzeinrichtung abgekratzt, um die Graphit-Tinte nur in einer Nut des Intaglio zu belassen. Das Preßkissen, das seine Oberfläche mit Silikon-Gummi (JIS-Gummihärte 35 Grad) beschichtet besaß, die eine Dicke von 5 mm aufwies, wurde gepreßt und gedreht, um das Muster auf das Übertragungsobjekt zu übertragen. Das Muster, das erhalten wurde, war exzellent in der Linearität und hatte eine hohe Qualität, die frei war von Deckverlust, einem Mangel oder anderen Defekten.
Wenn die Härte des Silikon-Gummis, der die Oberfläche des Preßkissens abdeckt, sehr niedrig ist (geringer als 10 Grad), wie beispielsweise in dem Fall eines Pad-Druckens, wird die Deformation des gummiähnlichen, elastischen Materials sehr groß und das Intaglio-Muster kann nicht zuverlässig reproduziert werden. Wenn die Härte zu hoch ist, ist der Kontakt zwischen dem Preßkissen und der Tinte schwach und das Muster kann nicht zuverlässig reproduziert werden. Demzufolge betrug die geeignete Härte des elastischen Materials zum Abdecken der Oberfläche 30 Grad oder mehr als die JIS- Gummihärte und lag bevorzugt in einem Bereich von 35 bis 60 Grad.
Als nächstes wurde unter Verwendung eines keramischen Dreifachwalzwerks die Walzbasis der nachfolgenden Zusammensetzung sechsmal hindurchgeführt, um zu mischen, und eine Phosphor-Tinte wurde vorbereitet. Das Harz wurde, wie in dem Fall der Graphit-Tinte, vorbereitend gerührt und in dem Lösungsmittel gelöst.
- Grüner Phosphor (ZnS:Cu, Al) ... 73 (Teile bezogen auf das Gewicht)
Mittlere Teilchengröße 5,2 µm
- i-BMA, MMA, α-MeSt-Harz (Sekisui, IBM7L-3) ... 10
Gewicht,
durchschnittliches Molekulargewicht 32070
- Lösungsmittel (Kanto, α-Terpineol) ... 15
- Dispergiermittel (Toho, Dispant EN-120A) ... 2
Ähnlich wurden, unter Verwendung von Y&sub2;O&sub2;S:Eu als roter, lumineszenter Phosphor und ZnS:Ag als blauer, lumineszenter Phosphor, rote Phosphor-Tinte und blaue Phosphor- Tinte vorbereitet. Als das Intaglio wurde eine rostfreie Stahlätzplatte mit 145 µm in der Breite und 40 µm in der Tiefe verwendet, und ein grünes Phosphormuster wurde auf eine Glasplatte in demselben Gravur-Offsetverfahren wie in dem vorhergehenden Beispiel gedruckt. Sequentiell wurden die rote Phosphor-Tinte und die blaue Phosphor-Tinte an spezifizierten Positionen gedruckt und ein Drei-Farb-Phosphor-Muster aus rot, grün und blau wurde erhalten. Das gedruckte Muster stellte sowohl eine Streifengleichförmigkeit, als auch Linearität und eine Filmdickenpräzision zufrieden.
Als eine mit Metall hinterlegte Schicht wurden in dem nächsten Schritt feine Vielfach-Poren in einem Aluminium-Dünnfilm von 150 nm (1500 Angström) Dicke, die auf einem Polyethyleneterephatlat (PET)-Film aufgedampft wurden, geöffnet und es wurde mit einem Druck von 3 kg/mm² gepreßt und auf die schwarze Matrix und das Phosphormuster übertragen. Wenn dieses Substrat bei 450ºC gebrannt wurde, wurde das organische Muster ausgebrannt und eine ausreichende optische Charakterisierung wurde als die Farbkathodenstrahlröhrenanode erhalten.

Beispiel 2

Unter Verwendung eines Dreifachwalzwerks wurde die Walzbasis der nachfolgenden Zusammensetzung sechsmal hindurchgeführt, um zu mischen, und eine Graphit-Tinte für einen schwarzen Streifen wurde in derselben Prozedur wie in Beispiel 1 vorbereitet.
- Graphit (Hitachi Powder Metal Co., GP60S) ... 24 (Teile bezogen auf das Gewicht)
durchschnittliche Teilchengröße 0,4 µm
- i-BMA, α-MeSt-Harz (Sekisui Chemical Co., IBS-6) ... 32
Gewicht, durchschnittliches Molekulargewicht 4750
- Lösungsmittel (Kanto Chemical Co., n-Butylcarbitol-Acetat) ... 32
- Adhäsives Mittel (Silizium-Oktoate) ... 5
- Dispergiermittel (Toho Chemical Co., Dispant EN-120A) ... 3
- Leinsamenöl ... 4
Ein haftend adhäsives Acrylmaterial mit dem Vitrifizierungspunkt von -2ºC (ein Copolymer aus Isobutylmethacrylat und Glycidylmethacrylat) wurde auf ein Glassubstrat aufgebracht und getrocknet und eine Haftschicht von 3 µm wurde gebildet. Unter Verwendung der Tinte für einen schwarzen Streifen in der obigen Zusammensetzung wurde ein schwarzes Streifenmuster auf das Glassubstrat aufgedruckt, auf dem die Haftschicht gebildet wurde, und zwar unter Verwendung eines Intaglio (60 µm in der Breite, 20 µm in der Tiefe) und eines Preßkissens (Gummihärte 45 Grad, Silikongummi, Gummidicke 6 mm). Das gedruckte, schwarze Streifenmuster betrug 55 µm in der Breite und 5 µm in der Dicke, und eine günstige Linearität wurde bestätigt.
Darauffolgend wurde, wie im Beispiel 1, unter Verwendung eines keramischen Dreifachwalzwerks die Walzbasis der nachfolgenden Zusammensetzung sechsmal hindurchgeführt, um zu mischen, und eine Phosphor-Tinte wurde vorbereitet.
- Blauer Phosphor (ZnS:Ag) ... 73 (Teile bezogen auf das Gewicht)
mittlere Teilchengröße 5,2 µm
mit Kobalt-blauem Pigment
- i-BMA, α-MeSt-Harz (Sekisui, IBS-3) ... 10
Gewicht, durchschnittliches Molekulargewicht 98300
- Lösungsmittel (Kanto, α-Terpineol) ... 15
- Dispergiermittel (Toho, Dispant EN-120A) ... 2
In ähnlicher Weise wurden, unter Verwendung von Y&sub2;O&sub2;S:Eu-Phosphor als roter, lumineszenter Phosphor und ZnS:Ag als blauer, lumineszenter Phosphor, eine rote Phosphor-Tinte und eine blaue Phosphor-Tinte vorbereitet. Als das Intaglio wurde eine rostfreie Stahlätzplatte mit 145 µm in der Breite und 40 µm in der Tiefe verwendet und das grüne Phosphormuster wurde auf die Glasplatte unter demselben Offset-Gravurverfahren wie im Beispiel 1 gedruckt. Aufeinanderfolgend wurden die rote Phosphor-Tinte und die blaue Phosphor-Tinte an spezifizierten Positionen gedruckt und ein dreifarbiges Phosphor-Muster aus rot, grün und blau wurde erhalten. Das gedruckte Muster stellte sowohl die Streifengleichförmigkeit, Linearität und Filmdickenpräzision zufrieden.
Als nächstes wurden, als die mit Metall hinterlegte Schicht, feine Vielfach-Poren in einem Aluminium-Dünnfilm mit 150 nm (1500 Angström) Dicke, auf einem PET-Film aufgedampft, geöffnet und sie wurde mit einem Druck von 3 kg/mm² gepreßt, um sie auf die schwarze Matrix und das Phosphormuster zu übertragen. Dieses Substrat wurde bei 450ºC gebrannt und das organische Material wurde ausgebrannt und eine ausreichende optische Charakterisierung wurde als eine Farbkathodenstrahlröhrenanode erhalten. Die erhaltene Phosphorebene war frei von Drop-outs des Phosphors, einem Deckfehler, einem Mangel oder anderen Defekten, da eine Belichtung und Entwicklung nicht wiederholt wurde, wie in einem herkömmlichen Naßprozeß, und die Phosphorebene einer hohen Qualität wurde erhalten. Daneben wird durch Bildung der Phosphorebene durch kontinuierliches Drucken einer schwarzen Matrix und eines Phosphormusters und auch durch Übertragung eines Aluminium-Dünnfilms, der Vielfach-Poren besitzt, vor einem Brennen, anstelle eines Bildens eines Vakuum-Niederschlagsfilms als die mit Metall hinterlegte Schicht, das Verfahren vereinfacht und die Anzahl der Schritte wird herabgesetzt. Darüberhinaus ist das Phosphor frei von einer Verschlechterung bzw. Zerstörung aufgrund von Chromionen, wie beispielsweise Ammoniumdichromat, und ein Muster einer gleichförmigen Dicke von 10 bis 12 µm, das ein solches einer idealen Filmdicke für das Phosphor darstellt, wird erhalten, so daß eine Kathodenstrahlröhre ungefähr 10 % heller verglichen mit dem Stand der Technik realisiert wird. Die Phosphorebene, die auf diese Weise erhalten ist, war als die Anode für eine Kathodenstrahlröhre oder eine Plasmaanzeige zufriedenstellend.
Es ist ein noch anderes Merkmal der Tinte, die verwendet wird, wenn die Verfahren durchgeführt werden, daß eine Verschlechterung der Güte des Vakuums aufgrund der Verschlechterung der Streueigenschaft verhindert werden kann, gerade wenn durch Abdecken der schwarzen Matrix und der Phosphor-Schicht mit einem Aluminium-Dünnfilm, der Vielfach-Poren besitzt, vor einem Einbrennen eingebrannt wird, anstelle des Bildens des Vakuumniederschlagsfilms als mit Metall hinterlegte Schicht nach einem Tintendrucken und Einbrennen, so daß das Verfahren weiter vereinfacht werden kann.
Fig. 3 stellt eine Kurve 201 der Menge des Abgases (40ºC, 1 Stunde) von der gebildeten Kathodenstrahlröhrenanode dar, und zwar in Einheiten des Verhältnisses einer Polymerisation eines Isobutylmethacrylats und eines α-Methylstyrols. Allgemein liegt die Güte eines Vakuums, das auf die Kathodenstrahlröhrenanode anwendbar ist, in der Größenordnung von 10&supmin;&sup7; bis 10&supmin;&sup6;, und wie aus dem Diagramm bekannt ist, betrug ein α- Methylstyrol 5 bis 20 Gewichts-% in dem Bereich, wo die Menge des Abgases in der Größenordnung von 10&supmin;&sup6; lag.
Fig. 4 zeigt ein Übertragungsmengendiagramm, das die Übertragungsmengenkurve 301 der Phosphor-Tinte auf das Übertragungsobjekt darstellt, und zwar zusammen mit dem organischen Lösungsmittel/Phosphorpulvermengenverhältnis (bezogen auf das Gewicht), wenn Phosphorpulver und organisches Lösemittel im Beispiel 2 verwendet werden. Hierbei war der Bereich der größten Übertragungsmenge der Bereich des organischen Lösungsmittel/Phosphorpulververhältnisses (bezogen auf das Gewicht) von 0,15 bis 0,30. Ähnlich betrug das organische Lösungsmittel/Graphitpulvermengenverhältnis (bezogen auf das Gewicht) der Graphit-Tinte 1,2 bis 1,6.
Fig. 5 stellt die Gewichtsverlustkurve 401 dar, die die Relation zwischen dem Gewichtsverlust unmittelbar nach dem Brennen und dem Gehalt an Silizium-Oktoate in der Graphit-Tinte in dem Fall eines Spülens und Trocknens der Kathodenstrahlröhrenanode (25 cm²) in laufendem Wasser mit einem Wasserdruck von 0,1 kg/cm² und einer Wasserströmung von 1200 ml/min zeigt. Wie aus Fig. 5 bekannt ist, war der Gewichtsverlust mit dem Silizium-Oktoate (Gehalt zwischen 10 und 2 Gewichts-%) geringer, und es ist bekannt, daß die adhäsive Festigkeit stark erhöht wird. Der am meisten bevorzugteste Gehalt an Silizium-Oktoate betrug 6 bis 2 Gewichts-%.
Als das Kunstharz wurden dabei in Beispiel 1 und Beispiel 2 ein Copolymer aus Isobutyl-Methacrylat (iBA) und Poly-α-Methylstyrol (α-MeSt) und ein Copolymer aus Poly- Isobutyl-Methacrylat (iBMA), Polymethylmethacrylat und Poly-α-Methylstyrol (α-MeSt) verwendet, allerdings können auch individuelle Monomere verwendet werden.
Allgemein war allerdings bei Acrylharz (zum Beispiel n-Butyl-Methacrylat) die Streueigenschaft schlecht und sie war nicht praktikabel. Zusätzlich ist es auch möglich, Polytetrafluorethylen oder Polybuthen zu verwenden. Dies ist natürlich unter Berücksichtigung der Mischbarkeit der Kunstharze und der Auflösungsmenge in dem Lösungsmittel möglich. Weiterhin können, um die Dispersion des Pigments zu verbessern, Glycidylmethacrylat oder dergleichen innerhalb von 5% copolymerisiert werden. In dem Kunstharz allerdings ist es erforderlich, α-Methylstyrol mit mindestens 5-20 Gewichts-% vorzusehen, und außerhalb dieses Bereichs oder mit dem Acrylharz alleine ist die Streueigenschaft des Harzes schlecht und die Güte des Vakuums der gebildeten Kathodenstrahlröhre verschlechtert sich. Nebenbei gesagt wird, wenn das durchschnittliche Molekulargewicht des Harzes mehr als 100.000 beträgt, die Tintenviskosität hoch, was nicht zum Drucken geeignet ist, oder wenn sie geringer als 1.000 ist, ist die Streueigenschaft beim Zünden schlecht. Das bedeutet, daß das durchschnittliche Molekulargewicht des Kunstharzes vorzugsweise bei 100.000 bis 1.000 oder noch bevorzugter bei 10.000 bis 1.000 liegen sollte.
Als das organische Lösungsmittel wurden in Beispiel 1 und Beispiel 3 Butylcarbitolacetat verwendet und α-Terpineol in Beispiel 2, allerdings sind diese nicht einschränkend und Butylcarbitol, 2,2,4-Trimethyl-1-3-Hydroxybentyl-Isobutylat und Ethylenglycol-Monophenylether können entweder alleine oder in Kombination verwendet werden, was in Abhängigkeit von der Druckbedingung und der Trocknungsbedingung ausgewählt werden kann.
Als das organische Säuremetallsalz in der Graphit-Tinte wurde Silizium-Oktoate in Beispiel 1 und Beispiel 2 verwendet, allerdings ist dieses nicht einschränkend, und als das organische Säuremetallsalz können mindestens eines von Silizium-Oktoate, Aluminium- Oktoate, Zinn-Oktoate und Zink-Oktoate oder eines von mindestens einem von Silizium- Neodecanoate, Aluminium-Neodecanoate, Zinn-Neodecanoate und Zink-Neodecanoate verwendet werden, und die Gehalte dieser organischen Säuremetallsalze können vorzugsweise 10 bis 2 Gewichts-% unter Berücksichtigung der Streueigenschaft des Harzes sein und am meisten bevorzugt beträgt der Gehalt 6 bis 2 Gewichts-%. Als das Graphitpulver wurden in Beispiel 1 und Beispiel 2 Pulver mit einer durchschnittlichen Teilchengröße von 0,4 µm verwendet, allerdings kann die durchschnittliche Teilchengröße ausreichend in einem Bereich von 0,2 bis 1,0 µm sein. Als das Phosphorpulver wurden in Beispiel 1 und Beispiel 2 die durchschnittliche Teilchengröße von 5,2 µm verwendet, allerdings ist dieser Wert nicht einschränkend und die durchschnittliche Teilchengröße von 2,0 bis 15,0 µm ist anwendbar. In Beispiel 2 wurde rotes, grünes und blaues Phosphorpulver verwendet, allerdings können als das blaue, lumineszente Phosphor entweder pigmentiertes Phosphor kombiniert mit blauem Pigment, wie beispielsweise Kobaltblauem Pigment, oder das Phosphor alleine verwendet werden. In ähnlicher Weise können als das grüne, lumineszente Phosphor entweder das pigmentierte Phosphor kombiniert mit grünem Pigment, wie beispielsweise Chromoxid-Pigment, oder das Phosphor alleine verwendet werden. Als das Phosphorpulver, soweit es als Phosphor für ein Fernsehgerät, eine Anzeige, eine Projektionsröhre und eine spezielle Röhre oder dergleichen anwendbar ist, kann nicht nur Y&sub2;O&sub2;S:Eu-Phosphor, wie dies vorstehend ausgeführt ist, sondern können auch Y&sub2;O&sub3;:Eu, YVO&sub4;:Eu, CaS:EU oder dergleichen als der rote, lumineszente Phosphor, Zn&sub2;SiO&sub4;:Mn, As, (Y, Gd)&sub2;O&sub2;S:Tb, InBo&sub3;:Tb, Y&sub2;SiO&sub5;:Tb, LaOCI:Tb oder dergleichen als das grüne, lumineszente Phosphor verwendet werden, Y&sub2;SiO&sub5;:Ce, (SrCaBa)&sub5; (PO&sub4;)&sub3;CI:Eu oder dergleichen als der blaue, lumineszente Phosphor und InBO&sub3;:Eu oder dergleichen als der orange, lumineszente Phosphor verwendet werden.

Beispiel 3

Eine Ausführungsform eines Farbfilters eines Flüssigkristalls wird nachfolgend als das Musterprodukt demonstriert.
In der nachfolgenden Zusammensetzung wurde durch Hindurchführen von 5 Malen in eines Dreifachwalzwerks, um zu mischen, eine rote Tinte eines Farbfilters für ein Flüssigkristall vorbereitet.
- Oligoesteracrylat (Toa Gosei Co.) ... 50 (Teile bezogen auf das Gewicht)
- Vinylester (Showa Polymer Co.) ... 30
- Dispergiermittel (ICI, Japan) ... 2
- Pigment, rot (Ciba Geigy) ... 11
- Pigment, gelb (Sanyo Pigment Co.) ... 2
- Härtungsmittel (Mark Co.) ... 5
In derselben Art und Weise wie vorstehend wurden blaue Tinte und grüne Tinte ebenso unter Verwendung unterschiedlicher Pigmente vorbereitet.
Auf einem Glassubstrat wurde ein ultraviolett-härtendes Kunstharz (Goselac, Nippon Gosei Kagaku Co.) gebildet. Unter Verwendung der Tinten für einen Farbfilter in der Zusammensetzung wie vorstehend wurden nach einem Drucken unter den Bedingungen eines Gravur-Intaglio (Breite 120 µm, Tiefe 15 µm) und mit einem Preßkissen (Silikongummihärte 45 Grad, Gummidicke 8 mm) ultraviolette Strahlen emittiert, um zu härten, und ein Muster mit einer exzellenten Linearität von 100 µm wurde erhalten. Diese Muster der drei Farben waren exzellent als der Farbfilter für ein Flüssigkristall.

Claims

1. Verfahren zum Herstellen eines Musters (105) einer Tintenschicht auf einem Glassubstrat (101, 201), das die Schritte aufweist:

Bilden eines Musters aus Tinte auf einer Oberfläche eines Preßkissens (103), dessen Oberfläche mit einem elastischen Material, das hauptsächlich aus Silikonharz zusammengesetzt ist, abgedeckt ist; und

Übertragen des Musters der Tinte auf dem Preßkissen auf das Glassubstrat,

gekennzeichnet dadurch, daß es die Schritte aufweist:

Bilden einer haftenden Schicht (102) auf dem Glassubstrat vor dem Schritt eines Übertragens des Musters der Tinte auf dem Preßkissen (103) auf das Glassubstrat (101, 201), wobei die haftende Schicht aus einem von einem Kunstharz, das einen Vitrifizierungspunkt von 40ºC oder geringer besitzt, einem ultraviolett-härtenden Kunstharz und einem thermoplastischen Kunstharz hergestellt ist; und

Übertragen des Musters der Tinte auf dem Preßkissen (103) auf die haftende Schicht (102), die auf dem Glassubstrat (101, 201) gebildet ist.

2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei die haftende Schicht (102) ein thermoplastisches Kunstharz ist, wobei das thermoplastische Kunstharz in dem Schritt einer Übertragung des Musters auf dem Preßkissen auf die haftende Schicht aufgeheizt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, das weiterhin einen Schritt eines Brennens des Substrats (101, 201), das darauf die haftende Schicht (102) besitzt, auf den das Muster der Tinte übertragen worden ist, aufweist.

4. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Schritt eines Bildens eines Musters einer Tinte auf der Oberfläche des Preßkissens (103) die Schritte aufweist:

Bilden eines Musters einer Tinte auf einem Intaglio durch Auffüllen eines Musters aus Nuten, die auf dem Intaglio gebildet sind; und

Übertragen der Tinte auf dem Intaglio auf die Oberfläche des Preßkissens (103).

5. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Schritt eines Bildens eines Musters einer Tinte auf der Oberfläche des Preßkissens (103) den Schritt aufweist:

Füllen eines Musters aus Nuten, das auf einem Intaglio gebildet ist, mit einer Mischung mindestens eines Phosphorpulvers und einer Tinte, die hauptsächlich aus einem Kunstharz zusammengesetzt ist, das durch Pyrolyse oder Verbrennung entfernbar ist, um ein Muster der Mischung auf dem Intaglio zu bilden; und

Übertragen des Musters der Mischung auf dem Intaglio auf die Oberfläche des Preßkissens (103), um ein Muster der Mischung auf dem Preßkissen (103) zu bilden.

6. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Schritt eines Bildens eines Musters einer Tinte auf der Oberfläche des Preßkissens (103) die Schritte aufweist:

Füllen eines Musters aus Nuten, das auf einem Intaglio gebildet ist, mit einer Mischung mindestens eines photoabsorbierenden Pulvers und einer Tinte, die hauptsächlich aus einem Kunstharz zusammengesetzt ist, das durch Pyrolyse oder Verbrennung entfernbar ist, um ein Muster der Mischung auf dem Intaglio zu bilden; und

Übertragen des Musters der Mischung auf dem Intaglio auf die Oberfläche des Preßkissens (103), um ein photoabsorbierendes Muster auf dem Preßkissen (103) zu bilden, und

wobei das Verfahren weiterhin einen Schritt eines Bildens einer Phosphor-Schicht auf dem photoabsorbierenden Muster aufweist.

7. Verfahren nach Anspruch 1, wobei der Schritt eines Bildens eines Musters einer Tinte auf der Oberfläche des Preßkissens (103) die Schritte aufweist:

Bilden eines Musters einer Graphit-Tinte auf einem Intaglio durch Füllen eines Musters aus Nuten, das auf dem Intaglio gebildet ist; und

Übertragen des Musters der Graphit-Tinte auf dem Intaglio auf die Oberfläche des Preßkissens (103), um ein Muster aus Graphit-Tinte auf dem Preßkissen (103) zu bilden.

8. Verfahren zum Bilden einer Kathodenstrahlröhrenanode, das die Schritte aufweist:

Bilden einer schwarzen Matrixschicht (202) auf einem Glassubstrat (101, 201);

Bilden einer Phosphor-Schicht (203) auf dem Glassubstrat, auf dem die schwarze Matrixschicht gebildet worden ist;

Bilden einer Metall-Unterlageschicht (204) durch Abdecken der Phosphor-Schicht (203) mit einem Aluminium-Dünnfilm; und

Brennen des Glassubstrats,

gekennzeichnet dadurch, daß der Schritt eines Bildens der schwarzen Matrixschicht (202) die Schritte aufweist:

Bilden einer haftenden Schicht (102) auf dem Glassubstrat, wobei die haftende Schicht aus einem von einem Kunstharz, das einen Vitrifizierungspunkt von 40ºC oder geringer besitzt, einem ultraviolett-härtenden Kunstharz und einem thermoplastischen Kunstharz gebildet ist;

Bilden eines Musters einer Graphit-Tinte auf einem Intaglio;

Übertragen des Musters der Graphit-Tinte auf ein Substrat eines Preßkissens (103), dessen Oberfläche mit einem elastischen Material, das hauptsächlich aus Silikon-Kunstharz zusammengesetzt ist, abgedeckt ist; und Übertragen des Musters der Graphit-Tinte auf dem Preßkissen (103) auf die haftende Schicht (102), die auf dem Glassubstrat gebildet ist, um dadurch die schwarze Matrixschicht (202) zu bilden; und daß

der Schritt eines Bildens der Phosphor-Schicht (203) die Schritte aufweist:

Bilden eines Musters aus Phosphor-Tinte auf einem Intaglio;

Übertragen des Musters der Phosphor-Tinte auf eine Oberfläche eines Preßkissens (103), dessen Oberfläche mit einem elastischen Material, das hauptsächlich aus Silikon-Kunstharz zusammengesetzt ist, abgedeckt ist;

Übertragen des Musters der Phosphor-Tinte auf dem Preßkissen auf das Glassubstrat (201), auf dem die schwarze Matrixschicht (202) gebildet worden ist, um dadurch die Phosphor-Schicht (203) zu bilden.

9. Verfahren nach Anspruch 8, wobei der Schritt eines Bildens der mit Metall gestützten Schicht (204) die Schritte aufweist:

Bilden eines Aluminium-Dünnfilms auf einem Basisfilm;

Bilden einer Vielzahl von Poren auf dem Aluminium-Dünnfilm, der auf dem Basisfilm gebildet ist; und

Übertragen des Aluminium-Dünnfilms, der die Vielzahl der Poren besitzt, von dem Basisfilm auf die Phosphor-Schicht.

10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei der Aluminium-Dünnfilm eine Porosität von 3 bis 15% besitzt.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 10, wobei der Schritt eines Bildens des Musters der Graphit-Tinte auf dem Intaglio einen Schritt eines Auffüllens eines Musters aus Nuten, das auf dem Intaglio gebildet ist, mit der Graphit-Tinte aufweist und der Schritt eines Bildens des Musters der Phosphor-Tinte auf dem Intaglio einen Schritt eines Auffüllens eines Musters der Nuten, das auf dem Intaglio gebildet ist, mit der Phosphor-Tinte aufweist.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 11, wobei das Preßkissen (103) unter einem Druck von 2 bis 10 kg/cm² auf das Intaglio in jedem der Schritte eines Übertragens des Musters der Graphit-Tinte auf das Preßkissen und des Übertragens des Musters der Phosphor-Tinte auf das Preßkissen gepreßt wird und bei einem Druck von 2 bis 10 kg/cm² auf das Substrat in jedem der Schritte eines Übertragens des Musters der Graphit-Tinte auf dem Preßkissen auf die haftende Schicht und Übertragen des Musters der Phosphor-Tinte auf dem Preßkissen (103) auf das Glassubstrat gepreßt wird.

13. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 12, wobei das elastische Material ein Silikon-Kunstharz aufweist und eine Härte von 30 bis 60 Grad besitzt.

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 13, wobei der Brennschritt bei einer Brenntemperatur von 430 bis 480ºC ausgeführt wird.

15. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 bis 14, wobei die haftende Schicht (102) eine Dicke von 1 bis 3 µm besitzt.