[go: up one dir, main page]

DE69015164T2 - Stromlose Abscheidung von Nickel auf Oberflächen wie Kupfer oder geschmolzenem Wolfram. - Google Patents

Stromlose Abscheidung von Nickel auf Oberflächen wie Kupfer oder geschmolzenem Wolfram.

Info

Publication number
DE69015164T2
DE69015164T2 DE1990615164 DE69015164T DE69015164T2 DE 69015164 T2 DE69015164 T2 DE 69015164T2 DE 1990615164 DE1990615164 DE 1990615164 DE 69015164 T DE69015164 T DE 69015164T DE 69015164 T2 DE69015164 T2 DE 69015164T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
substrate
nickel
composition
copper
nickel coating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE1990615164
Other languages
English (en)
Other versions
DE69015164D1 (de
Inventor
Jon E Bengston
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
MacDermid Inc
Original Assignee
MacDermid Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by MacDermid Inc filed Critical MacDermid Inc
Publication of DE69015164D1 publication Critical patent/DE69015164D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE69015164T2 publication Critical patent/DE69015164T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • H05K3/244Finish plating of conductors, especially of copper conductors, e.g. for pads or lands
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/1601Process or apparatus
    • C23C18/1603Process or apparatus coating on selected surface areas
    • C23C18/1607Process or apparatus coating on selected surface areas by direct patterning
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/18Pretreatment of the material to be coated
    • C23C18/1803Pretreatment of the material to be coated of metallic material surfaces or of a non-specific material surfaces
    • C23C18/1824Pretreatment of the material to be coated of metallic material surfaces or of a non-specific material surfaces by chemical pretreatment
    • C23C18/1827Pretreatment of the material to be coated of metallic material surfaces or of a non-specific material surfaces by chemical pretreatment only one step pretreatment
    • C23C18/1831Use of metal, e.g. activation, sensitisation with noble metals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/31Coating with metals
    • C23C18/32Coating with nickel, cobalt or mixtures thereof with phosphorus or boron
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/24Reinforcing the conductive pattern
    • H05K3/245Reinforcing conductive patterns made by printing techniques or by other techniques for applying conductive pastes, inks or powders; Reinforcing other conductive patterns by such techniques
    • H05K3/246Reinforcing conductive paste, ink or powder patterns by other methods, e.g. by plating
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/09Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
    • H05K1/092Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/07Treatments involving liquids, e.g. plating, rinsing
    • H05K2203/0703Plating
    • H05K2203/072Electroless plating, e.g. finish plating or initial plating
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/40Forming printed elements for providing electric connections to or between printed circuits
    • H05K3/42Plated through-holes or plated via connections
    • H05K3/425Plated through-holes or plated via connections characterised by the sequence of steps for plating the through-holes or via connections in relation to the conductive pattern
    • H05K3/427Plated through-holes or plated via connections characterised by the sequence of steps for plating the through-holes or via connections in relation to the conductive pattern initial plating of through-holes in metal-clad substrates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
  • Audible-Bandwidth Dynamoelectric Transducers Other Than Pickups (AREA)
  • Prevention Of Electric Corrosion (AREA)

Description

  • Die Erfindung bezieht sich auf stramloses Aufbringen einer Nickelbeschichtung, insbesondere auf das stromlose Aufbringen einer Nickelbeschichtung auf Oberflächen, wie Kupfer oder Schmelzwolfram, und besonders auf die Aktivierung von z.B. Kupfer- oder Schmelzwolfram-Flächen zur stromlosen Aufnahme von Nickel.
  • Bei vielen Anwendungen der Herstellung von gedruckten Schaltungen mit leitenden Kupferschaltwegen und -bereichen sowie bei Anwendungen von Schmelzwolframschaltungen auf keramische Substrate soll Nickel stromlos über das Kupfer oder das Schmelzwolfram aufgeschichtet werden. Beispielsweise wird bei gedruckten Schaltungen das stromlose Aufbringen von Nickel über Kupfer oftmals angewendet, um eine Diffusionssperre für eine nachträglich aufgebrachte Goldschicht zu bilden, während bei Wolframschaltungen das stromlose Aufbringen von Nickel angewendet wird, um z.B. leichter lötbare Flächen zu erhalten.
  • Es steht eine Vieizahl von stromlosen Nickelbeschichtungsbädern zur Verfügung, die im allgemeinen aus wäßrigen Lösungen bestehen, die eine Quelle von Nickelionen, ein Reduktionsmittel für das Nickel und einen Komplexbildner enthalten und in vorbestimmten Bereichen des pH-Werts arbeiten können, wobei die am meisten verbreiteten Bäder dieser Art mit Hypophosphit-Reduktionsmitteln arbeiten. Um Nickel aus solchen Bädern auf Kupferflächen stromlos aufzubringen (z.B. auf gedruckte Schaltungsplättchen), ist es erforderlich, zuerst die Kupferflächen zu aktivieren. Das gebräuchlichste Mittel zur Erzielung dieser Aktivierung besteht darin, daß die Kupferflächen mit einem für die Niederschlagung katalytischen Mittel kontaktiert werden, normalerweise kolloidalen Solen oder Lösungen von Paliadium-Zinn (siehe z.B. die einstufigen Katalysator-Zusammensetzungen nach den US-Patentschriften Nr. 3,011,920 und 3,532,518, die einen Beschleunigungsschritt erfordern, und die einstufigen Katalysator-Zusammensetzungen nach der US-Patentschrift Nr. 4,863,758, die keine Beschleunigung erfordern.) Dieses gleiche Verfahren wird angewendet, um Wolfram-Schaltungs-Flächen für eine nachfolgende stromlose Nickelbeschichtung zu aktivieren.
  • Für Kupferflächen ist es auch bekannt, dieselben durch Aufbringen einer Vordeckschicht von Nickel aus einem stromlosen Bad unter Verwendung einer Borverbindung, z.B. Dimethylaminboran oder Borhydrid, als Reduktionsmittel zu aktivieren, wobei die Vordeckschicht dann zum Katalisieren von aus einem mehr üblichen Bad (z.B. Hypophosphit-reduziert) stromlos aufgebrachten Nickelbeschichtung dient.
  • Die Aktivatoren auf Palladium-Basis für stromloses Aufbringen einer Nickelbeschichtung auf Kupfer- oder Schmelzwolfram-Flächen sind verhältnismäßig teuer und müssen bei sorgfältig kontrollierten Konzentrationen durchgeführt werden, um wirksam zu sein. Noch problematischer ist die Tatsache, daß für gedruckte Schaltungen mit Kupferflächen, die auf diese Weise für ein stromloses Beschichten aktiviert werden müssen, das Verfahren ein Eintauchen des ganzen Schaltungsplättchens einschließlich der isolierenden Bereiche in das palladiumhaltige Sol oder die Lösung mit sich bringt. Obwohi Nachspülverfahren angewendet werden, kann die katalytische Substanz nichtsdestoweniger in isolierende Bereiche eingeschlossen werden und katalysiert dort das stromlose Aufbringen von Nickelbeschichtungen, wenn das Plättchen in ein stromloses Nickelbad eingetaucht wird. Die sich ergebenden, unerwünschten Metallbereiche oder -bahnen auf den isolierenden Bereichen können zu dem unerwünschten Quersprechen oder zu Kurzschlußbildung zwischen den leitenden Schaltungsteilen auf dem Plättchen führen. Dieses gleiche Problem tritt bei Wolfram- Keramik-Schichtungen auf, d.h. es kann der Aktivator auf Palladiumbasis in isolierende Keramikflächen eingeschlossen werden oder an diesen haften und eine unerwünschte Metallisierung derselben fördern.
  • Das gleiche Problem tritt bei dem Vordeckverfahren zur Aktivierung von Kupferflächen auf, d.h. die starke Aktivität des Boran- oder Boranhydrid-reduzierten stromlosen Nickelbades, die ihm ermöglicht, eine Vordeckschicht von Nickel auf das Kupfer aufzubringen, kann auch zum unerwünschten Aufbringen von Nickel auf isolierende Bereiche des Plättchens führen. Auch sind im allgemeinen diese Nickel-Vordeckbäder mit den Aktivatoren auf Palladiumbasis verhältnismäßig kostspielig und ihre Zusammensetzung muß sorgfältig kontrolliert werden, um eine spontane Beschichtung mit allem im der Lösung befindlichen Metall zu vermeiden.
  • Die Erfindung sucht ein Verfahren zum stromlosen Aufbringen einer Nickelbeschichtung auf Kupfer- oder Schmelzwolfram-Flächen, insbesondere auf Kupfer- oder Schmelzwolfram-Schaltungen auf gedruckten Schaltungsplättchen und integrierten Schaltungen zu schaffen, ohne daß kostspielige Aktivatoren für die Oberflächen erforderlich sind, wobei das Verfahren so durchgeführt wird, daß das Aufschichten von Nickel auf Oberflächen, die unmetallisiert bleiben sollen, minimal gemacht und/oder ausgeschaltet wird.
  • Demgemäß schafft die Erfindung ein Verfahren zum stromlosen Aufbringen einer Nickelbeschichtung auf besonderen freiliegenden leitenden Flächen eines Substrats, das außerdem freiliegende Flächen aufweist, auf denen eine Nickelbeschichtung nicht erwünscht ist, wobei die freiliegenden leitenden Flächen zur stromlosen Aufnahme einer Nickelbeschichtung aktiviert und sodann stromlos mit einem Nickelbeschichtungsbad kontaktiert werden, dadurch gekennzeichnet, daß die freiliegenden leitenden Flächen durch nicht-selektives Kontaktieren des Substrats mit einer Zusammensetzung aktiviert werden, welche in einer Trägerflüssigkeit suspendiertes teilchenförmiges metallisches Zink aufweist, wobei das nicht-selektive Kontaktieren über eine ausreichende Zeit erfolgt, um auf die freiliegenden leitenden Oberflächen eine ausreichende Menge von Zinkteilchen derart aufzubringen, daß beim folgenden nicht-selektiven Kontaktieren des Subtrats mit dem stromlos anzuwendenden Nickelbeschichtungsbad eine selektive Abscheidung von Nickel aus dem Nickelbeschichtungsbad auf den freiliegenden leitenden Flächen und nicht auf den freiliegenden Oberflächen des Substrats, auf denen eine Nickelbeschichtung nicht erwünscht ist, erfolgt.
  • Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren werden Kupfer- oder Schmelzwolfram-Flächen, die stromlos mit Nickel beschichtet werden sollen, mit einer Zusammesetzung kontaktiert, die aus teilchenförmigem Zinkmetall besteht, das in einem flüssigen Träger suspendiert ist, um die Flächen für die stromlose Nickelbeschichtung zu aktivieren. Die Aktivierung wird erreicht, ohne das Erfordernis von Katalysatoren auf Palladiumbasis oder einer Nickelvordeckung aus Lösungen, die Reduktionsmittel auf Borbasis verwenden.
  • Zu den wesentlichen Vorteilen der Erfindung zählt die Möglichkeit einer Aktivierung von Kupfer- oder Schmelzwolfram-Flächen für die nachfolgende stromlose Nickelbeschichtung unter Verwendung von verhältnismäßig billigen Zusammensetzungen, die keine Beachtung kontrollierter Konzentrationen von Komponenten erfordern, wie es bei Aktivatoren auf Palladiumbasis und Vordeckaktivatoren auf Borbasis der Fall ist.
  • Ein weiterer wesentlicher Vorteil der Erfindung besteht darin, daß die Aktivierungszusammensetzung und das Verfahren derart sind, daß die Aktivierung selektiv für die Kupfer- oder Schmelzwolfram-Flächen relativ zu den isolierenden Bereichen erfolgt, in denen keine stromlose Nickelbeschichtung erforderlich ist. Beim erfindungsgemäßen Verfahren wird der Bearbeitungsgegenstand (z.B. eine gedruckte schaltungsplatte mit einem vorbestimmten Kupferschaltbild und isolierenden Substratbereichen oder eine Wolfram-Keramik-Schichtung mit einem definierten Wolframschaltbild auf einem Keramiksubstrat) in die Zinkteilchen-Suspension eine ausreichende Zeit eingetaucht, damit die Zinkteilchen in den Kupferflächen eingeschlossen oder an diesen festgelegt werden, und bei diesem Eintauchen werden wahrscheinlich auch Zinkteilchen in den isolierenden Bereichen der Platte oder der Schichtung eingeschlossen oder daran festgelegt. Wenn die Platte oder Schichtung sodann in ein übliches saures oder alkalisches stromloses Nickelbeschichtungsbad eingetaucht wird, so lösen sich die Zinkteilchen im Bad und während der Auflösung wird ein Kathodenstrom in bezug auf die Kupfer- oder Wolfram-Fläche erzeugt, was zum Aufschichten von Nickel auf die Kupfer- oder Wolframbereiche führt. Wenn einmal Nickel auf diese Weise aufgebracht ist, findet weiterhin ein stromloses Aufbringen von Nickel aus dem Bad statt, die im wesentlichen durch die von der Zinklösungswirkung erzeugte Nickelimpfung autokatalysiert wird. Gleichzeitig werden die auf den Isolierflächen vorhandenen Zinkteilchen der gleichen Auflösung im stromlosen Nickelbad unterzogen, jedoch wird diese Auflösung nicht von einem Kathodenstrom begleitet, da hier kein Kupfer oder Wolfram vorhanden ist. Daher findet keine Nickelaufschichtung statt und alle auf Isolierbereichen vorhandenen Teilchen lösen sich lediglich im Bad auf.
  • Das Hauptziel des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht gemäß dem bevorzugten Gesichtspunkt darin, teilchenförmiges Zinkmetall auf Kupfer- oder Wolfram-Flächen aufzubringen (z.B. einzuschließen, festzulegen und dergl.), um dadurch diese Flächen für das nachfolgende stromlose Aufbringen von Nickel zu aktivieren. Bei der am meisten bevorzugten Ausführungsform der Erfindung wird dieses Ziel erreicht, indem diese Flächen mit einer Zusammensetzung kontaktiert werden, welche aus teilchenförmigem Zinkmetall besteht, das in einer Trägerflüssigkeit suspendiert ist, wobei der Kontakt über eine solche Zeitspanne erfolgt, daß eine ausreichende Menge von Zinkteilchen aus der Suspension auf den Kupfer- oder Wolfram-Flächen wirksam eingefangen oder festgelegt wird.
  • Für eine Verträglichkeit mit Gesamtbearbeitungsschritten und den nachfolgenden stromlosen Nickelbädern ist die für die Zinkteilchen gewählte Trägerflüssigkeit nahezu immer Wasser. Bei dieser einfachsten Ausführungsform besteht die Aktivierungszusammensetzung aus teilchenförmigem Zinkmetall in Wasser, und das Eintauchen der zu aktivierenden Flächen ist im allgemeinen von Rühren oder Mischen der Zusammensetzung begleitet, um die Zinkteilchen in einer allgemein gleichförmigen Suspension im Wasser zu halten, um das Absetzen der Zinkteilchen zu vermeiden und einen verhältnismäßig gleichförmigen Kontakt der fraglichen Flächen mit Zinkteilchen zu erzielen.
  • Normalerweise hat das teilchenförrnige Zinkmetall in der Aktivierungszusammensetzung eine Teilchengröße in der Größenordnung von weniger als etwa 50 um, vorzugsweise eine durchschnittliche Teilchengröße von etwa 1 bis etwa 20 um, und am meisten bevorzugt eine Teilchengröße im Bereich von etwa 5 bis 7 um.
  • Die Konzentration von Zinkteilchen in der Zusammensetzung kann sich innerhalb verhältnismäßig weiter Grenzen ändern, was beispielsweise von der Größe der zu aktivierenden Kupfer- oder Wolfram-Fläche abhängt. Allgemein gesagt, kann die Aktivierung mit Verwendung von nur 0,1 g/l Zinkteilchen in der Zusammensetzung durchgeführt werden, aber praktischere Zusammensetzungen enthalten im allgemeinen wenigstens etwa 1 g/l Zinkteilchen und vorzugsweise wenigstens etwa 3 g/l Zinkteilchen. Obere Grenzen werden im allgemeinen von praktischen Überlegungen diktiert, z.B. der Möglichkeit, eine Teilchenkonzentration von Zinkteilchen in allgemein gleichförmiger Suspension für die Verwendung aufrechtzuerhalten. Normalerweise liegen die praktischen Obergrenzen in der Größenordnung von 50 g/l, vorzugsweise in der Größenordnung von 30 g/l. Besonders brauchbare Bereiche für die Konzentration des teilchenförmigen Zinks in der Aktivierungszusammensetzung sind etwa 3 bis etwa 10 g/l.
  • Die Hauptbestandteile der Zusammensetzung, d.h. teilchenförmiges Zinkmetall und flüssiger Träger (Wasser), können zweckmäßigerweise auch mit zusätzlichen Komponenten ergänzt werden. So kann beispielsweise eine Alkalitätsquelle in die Zusammensetzung eingebracht werden, beispielsweise durch Alkali oder Erdalkali- Metall oder Ammoniumhydroxide, Karbonate und dergl. oder andere geeignete, mit der Zusammensetzung kompatible Verbindungen, um den Korrosionsangriff der Zinkteilchen in der Zusammensetzung möglichst klein zu machen. Normalerweise ist die Alkalitätsquelle derart, daß ein pH-Wert der Zusammensetzung von wenigstens etwa 8 und vorzugsweise zwischen 8 und 11 erzielt wird, und daß die zu diesem Zweck verwendeten Verbindungen normalerweise in der Zusammensetzung mit einer Konzentration of etwa 0,1 bis etwa 1 g/l, vorzugsweise von etwa 0,1 bis etwa 1 g/l vorhanden sind.
  • Die Zusammensetzung kann auch vorteilhafterweise Komponenten verwenden, die zur Aufrechterhaltung einer wäßrigen Suspension der Zinkteilchen beitragen. Solche Komponenten umfassen allgemein oberflächenaktive Mittel (Benetzungsmittel) und/oder Eindickmittel (z.B. Gelatine, hydrophile Kolloide und dergl. sowie bestimmte Benetzungsmittel). Die Anwesenheit dieser Komponenten erfolgt normalerweise in verhältnismäßig niedrigen Konzentrationen, die zum Erzielen des gewünschten Ergebnisses wirksam sind, eine gleichförmige Suspension von Zinkteilchen in der Zusammensetzung zu fördern und aufrechtzuerhalten, und ändert sich natürlich in Abhängigkeit von der jeweils verwendeten Komponentenart. Natürlich werden diese Komponenten in Konzentrationen unterhalb derjenigen verwendet, welche die Viskosität der Zusammensetzung erhöhen und so im wesentlichen die Zusammensetzung für einen Eintauchvorgang unbrauchbar machen, aber abgesehen von diesem Kriterium ist der Bereich von Konzentrationen ziemlich breit und für bestimmte Komponenten, Konzentrationen von Zinkteilchen in der Zusammensetzung und andere ähnliche Faktoren leicht zu ermitteln. Was die oberflächenaktiven Mittel betrifft, kann im allgemeinen jedes kationische, anionische oder nichtionische oberflächenaktive Mittel verwendet werden, einschließlich z.B. Fluorkohlenstoff- Oberflächenmittel (FS 98 anionisch, FC 99 anionisch, FC 170C nichtionisch, erhältlich bei 3M Corporation), Sulfonsäure und/oder Sulfonat-Oberflächenmittel (Daxad 11 anionisch, erhältlich bei W.R. Grace & Co.; Cetats kationisch, erhältlich bei Hexcel), Phosphat-Oberflächenmittel (Triton H-66 anionisch, erhältlich bei Rohm & Haas; Jordaphos JB-40 anionisch, erhältlich bei Jordan Chemical Co.,), und nichtionische ethoxylierte Alkohole und Fettsäuren (Triton X-100, Rohm & Haas; ENC 5540, Chemax).
  • Jede zu den Hauptkomponenten für die Zusammensetzung hinzugefügte Komponente muß natürlich mit den Hauptfunktionen der Zinkteilchen zur Aktivierung der Kupfer- oder Wolfram-Flächen für die stromlose Nickelaufschichtung verträglich sein (d.h. dieselbe nicht stören). Eine solche Störung kann beispielsweise auftreten, wenn das oberflächenaktive Mittel Verbindungen enthält, die eine starke Oberflächen-Passivierungswirkung ausüben, wie es z.B. bei Joditen oder Jodaten der Fall ist, die sich in bestimmten sonst geeigneten oberflächenaktiven Mitteln vorhanden sind.
  • Beim erfindungsgemäßen Verfahren wird die Kontaktierung der Kupfer- oder Wolfram-Flächen mit der Aktivierungszusammensetzung (z.B. durch Eintauchen der gedruckten Schaltungsplatte oder der Schmelzwolfram-Keramik-Schichtung in die Zusammensetzung) vorzugsweise bei einer Zusammensetzungstemperatur durchgeführt, die etwa Zimmertemperatur entspricht, obwohl auch höhere und niedrigere Temperaturen natürlich angewendet werden können. Die Kontaktierungszeit ist lediglich diejenige, die ausreicht, um eine ausreichende Menge der Zinkteilchen an den zu aktivierenden Oberflächen einzufangen oder festzulegen, um zu ermöglichen, daß diese Flächen eine Nickelbeschichtung aus einem stromlosen Nickelbad aufnehmen, und sie kann sich in weiten Grenzen in Abhängigkeit von der Konzentration der Zinkteilchen in der Zusammensetzung, der Größe der zu aktivierenden Flächen und dergl., ändern. Normalerweise sind Kontaktierungszeiten in der Größenordnung von nur 30 Sekunden für die meisten Anwendungen ausreichend, während zwei Minuten Kontaktzeit eine bevorzugte und praktische Zeitspanne sind.
  • Nach dem Kontakt mit der Zusammesetzung sollten die kontaktierten Oberflächen normalerweise mit Wasser gespült werden, um restliche Benetzung- oder Eindickmittel und dergl. zu entfernen, die in der Zusammensetzung verwendet worden sind, sowie Zinkteilchen, die nicht an den Flächen anhaften. Sodann wird das stromlose Nickelbeschichten in bekannter Weise über eine Zeitspanne durchgeführt, die erforderlich ist, um die gewünschte Dicke des stromlosen Nickels aufzubringen.
  • Die Erfindung ist in ihrem bevorzugten Milieu weithin auf jede Situation anwendbar, wo es erwünscht ist, Kupfer oder Wolfram stromlos mit Nickel zu beschichten, wie oben bemerkt, ist ihre pratkischste Anwendbarkeit beim stromlosen Nickelbeschichten aller oder bevorzugter Bereiche von leitenden Kupferschaltungen auf gedruckten Schaltungsplatten und/oder allen oder bevorzugten Bereichen von Schmelzwolframschaltungen in Schmelzwolfram- Keramik-Teilen.
  • Obwohl das Verfahren hier mit Bezugnahme auf die bevorzugten Kupfer- oder Wolfram-Flächen beschrieben wurde, die unmittelbar praktische Anwendungen der Erfindungen darstellen, ist das allgemeine Verfahren an sich auf das stromlose Nickelbeschichten jeder leitenden Fläche anwendbar, die dem Mechanismus einer Kathodenstromerzeugung verbunden mit der Auflösung von Zinkteilchen im stromlosen Nickelbad an diesen Flächen zugänglich ist, und insbesondere ist es auf Situationen anwendbar, in denen die leitenden Flächen, die stromlos mit Nickel beschichtet werden sollen, sich auf einem Substrat befinden, das freiliegende nicht leitende Bereiche aufweist, auf welchen eine Nickelbeschichtung nicht erforderlich ist. Beispielsweise ist die Erfindung anwendbar auf die Erzeugung einer stromlosen Nickelschicht auf durch Silber und Kohlenstoff leitenden Druckfarben, die bei keramischen Hybridschaltungen verwendet werden.
  • Ferner wurde die Erfindung zwar mit Bezugnahme auf Zinkteilchen beschrieben und wird mit diesen durchgeführt, es besteht jedoch auch die Möglichkeit der Verwendung von teilchenförmigem Magnesiummetall in der gleichen Weise, entweder allein oder in Kombination mit Zinkmetallteilchen, entsprechend den hier im Zusammenhang mit Zinkteilchen besprochenen Maßnahmen. Magnesium wird für die Verwendung hierbei weniger bevorzugt als Zink, hauptsächlich da es über längeren Gebrauch wahrscheinlich zur Destabilisierung des stromlosen Nickelbades führt.
  • Die folgenden Beispielse werden zur weiteren Beschreibung der Erfindung gegeben.
  • BEISPIEL I
  • Ein Schmelzwolfram-Kermaik-Mikrochiphalter wurde zwei Minuten in eine gerührte, auf Zimmertemperatur befindliche wäßrige Suspension eingetaucht, die 10 g/l Zinkteilchen (durchschnittliche Teilchengröße 5 bis 7 um) und 40 g/l Alkali (kaustisch) enthielt. Sodann wurde die Keramikpackung oder Keramikschichtung ausführlich in Wasser gespült, und sodann in ein saures stromlosen Nickelbad zwanzig Minuten eingetaucht. Die ganze Wolframschaltung war mit Nickel beschichtet und kein fremdes Nickel wurde auf den Nichtwolframbereichen des keramischen Isolators beobachtet.
  • BEISPIEL II
  • Eine gedruckte Schaltungsplatte mit definierten Bereichen von Kupferbahnen wurde gereinigt, desoxidiert und gespült und sodann in die Zinkteilchensuspension des Beispiels I derart eingetaucht, daß nur die Hälfte der Platte in Kontakt mit der Suspension eingetaucht wurde. Nach dreißig Sekunden wurde die ganze Platte mit Wasser gespült und in ein saures stromloses Nickelbad eingetaucht. Nach fünf Minuten waren alle Kupferbahnen auf derjenigen Plattenhälfte, die vorher in die Zinksuspension eingetaucht war, mit Nickel beschichtet, während die Kupferbahnen auf der anderen Plattenhälfte keine Nickelbeschichtung aufwiesen. Kein Nickel wurde auf irgendeinem der Isolierbereiche der Platte beobachtet einschließlich denen auf der Plattenhälfte, die vorher in die Zinksuspension eingetaucht worden war.
  • BEISPIEL III
  • Ein gedrucktes Schaltungsplattensubstrat aus plattierter Kupferfolie mit durchgehenden Löchern wurde behandelt, um stromloses Kupfer in den durchgehenden Löchern und über der Kupferfolie zu erhalten, und wurde sodann mit einem Resistmuster versehen, in dem eine Schicht von Photoresist durch ein Bild belichtet und entwickelt wurde. Die mit einem Resistmuster versehene Platte wurde sodann behandelt, um elektroplattierte Kupfer- und elektroplattierte Zinn-Blei-Schichten auf den Non-resist-Flächen zu erhalten, gefolgt von Abstreifen des Resists, Ätzen der vorher resistbedeckten Bereiche bis herab auf das zu isolierende Substrat, Abstreifen der vorher aufgebrachten Zinn-Blei-Schicht und Anbringen der Lötmittelmaske über vorbestimmten Bereichen der Schaltung. Um sodann die freiliegenden Kupferbahnen und kupferbeschichteten durchgehenden Löcher für die nachfolgende stromlose Nickelbeschichtung zu aktivieren, wurde die Platte zwei Minuten in eine auf Zimmertemperatur befindliche, gerührte wäßrige Lösung eingetaucht, die 40 g/l Zinkteilchen, 40 g/l Natriumhydroxid und 5 g/l Alkylnaphthalen-Schwefelsäure (Daxad 11, anionisches oberflächenaktives Mittel) enthielt. Die Platte wurde sodann mit Wasser gespült und in ein saures stromloses Nickelbeschichtungsbad eingetaucht, worauf die aktivierten Kupferflächen, jedoch keine anderen Bereiche, eine Beschichtung von stromlosem Nickel aufnahmen. Die Platte wurde sodann gespült, die mit Nickel beschichteten Bereiche mit einer stromlosen Goldschicht versehen, gespült und getrocknet.
  • Die beschriebene ist natürlich nur eine von möglichen Abfolgen bei der Herstellung von gedruckten Schaltungsplatten und die Erfindung ist auf irgendein anderes Herstellungsverfahren anwendbar, bei dem Nickel stromlos auf ausgewählte Kupferbereiche aufgeschichtet werden soll.

Claims (10)

1. Verfahren zum stromlosen Aufbringen einer Nickelbeschichtung auf besonderen freiliegenden leitenden Flächen eines Substrats, das außerdem freiliegende Flächen aufweist, auf denen eine Nickelbeschichtung nicht erwünscht ist, wobei die freiliegenden leitenden Flächen zur stromlosen Aufnahme einer Nickelbeschichtung aktiviert und sodann stromlos mit einem Nickelbeschichtungsbad kontaktiert werden, dadurch gekennzeichnet, daß die freiliegenden leitenden Flächen durch nicht-selektives Kontaktieren des Subtrats mit einer Zusammensetzung aktiviert werden, welche in einer Trägerflüssigkeit suspendiertes teilchenförmiges metallisches Zink aufweist, wobei das nichtselektive Kontaktieren über eine ausreichende Zeit erfolgt, um auf die freiliegenden leitenden Oberflächen eine ausreichende Menge von Zinkteilchen derart aufzubringen, daß beim folgenden nicht-selektiven Kontaktieren des Substrats mit dem stromlos anzuwendenden Nickelbeschichtungsbad eine selektive Abscheidung von Nickel aus dem Nickelbeschichtungsbad auf den freiliegenden leitenden Flächen und nicht auf den freiliegenden Oberflächen des Substrats, auf denen eine Nickelbeschichtung nicht erwünscht ist, erfolgt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei welchem das nicht-selektive Kontaktieren des Substrats mit der aus teilchenförmigem metallischem Zink bestehenden Zusammensetzung ein Eintauchen des Substrats in die Zusammensetzung umfaßt, und bei welchem das nicht-selektive Kontaktieren des Substrats mit dem stromlos anzuwendenden Nickelbeschichtungsbad ein Eintauchen des Substrats in das Beschichtungsbad umfaßt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, bei welchem die freiliegenden leitenden Oberflächen des Substrats, die mit der stromlos aufzubringenden Nickelbeschichtung zu versehen sind, aus Kupfer oder Wolfram bestehen.
4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, bei welchem die freiliegenden Oberflächen des Substrats, auf denen eine Nickelbeschichtung nicht erwünscht ist, aus nicht-leitenden Oberflächen bestehen.
5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem das Substrat aus einem gedruckten Schaltungsplättchen besteht und bei welchem die frei liegenden leitenden Oberflächen des Substrats, die mit der stromlos aufzubringenden Nickelbeschichtung zu versehen sind, aus Kupfer-Schaltungsbereichen des gedruckten Schaltungsplättchens bestehen.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei welchem das Substrat ein Keramikmaterial aufweist, und bei welchem die freiliegenden leitenden Oberflächen des Substrats, die mit der stromlos aufzubringenden Nickelbeschichtung zu versehen sind, aus Schaltungsbereichen von geschmolzenem Wolfram auf dem Substrat bestehen.
7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem die Trägerflüssigkeit Wasser ist und bei welchem die teilchenförmiges Zink aufweisende Zusammensetzung ferner eine Quelle von Basizität enthält, welche ausreicht, um einen pH-Wert der Zusammensetzung von mindestens etwa 8 zu erzielen.
8. Verfahren nach Anspruch 7, bei welchen die teilchenförmiges Zink enthaltende Zusammensetzung ferner ein Mittel enthält, das ausgewählt ist aus Benetzungsmitteln, Eindickmitteln und Mischungen derselben, um die Zinkteilchen in der Zusammensetzung in Suspension zu bringen und zu halten.
9. Stromlos mit Nickel beschichtete leitende Oberfläche, die durch das Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche hergestellt ist.
10. Zusammensetzung zum Aktivieren von Kupfer- und/oder Wolfram-Oberflächen, um auf diesen stromlos eine Nickelbeschichtung zu erhalten, wobei die Zusammensetzung im wesentlichen aus einer wässrigen Mischung von teilchenförmigem Zinkmetall, einer Quelle von Basizität, welche ausreicht, um einen pH-Wert der Zusammensetzung von mindestens etwa 8 zu erzielen, sowie einem oder mehreren Mitteln, um das teilchenförmige metallische Zink in der Zusammensetzung in Suspension zu bringen und zu halten, besteht.
DE1990615164 1990-05-08 1990-12-24 Stromlose Abscheidung von Nickel auf Oberflächen wie Kupfer oder geschmolzenem Wolfram. Expired - Lifetime DE69015164T2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US52063590A 1990-05-08 1990-05-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE69015164D1 DE69015164D1 (de) 1995-01-26
DE69015164T2 true DE69015164T2 (de) 1995-05-24

Family

ID=24073448

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1990615164 Expired - Lifetime DE69015164T2 (de) 1990-05-08 1990-12-24 Stromlose Abscheidung von Nickel auf Oberflächen wie Kupfer oder geschmolzenem Wolfram.

Country Status (5)

Country Link
EP (1) EP0455915B1 (de)
JP (1) JPH0651910B2 (de)
CA (1) CA2031549C (de)
DE (1) DE69015164T2 (de)
ES (1) ES2068351T3 (de)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7279407B2 (en) 2004-09-02 2007-10-09 Micron Technology, Inc. Selective nickel plating of aluminum, copper, and tungsten structures

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0260516A1 (de) * 1986-09-15 1988-03-23 General Electric Company Verfahren zur photoselektiven Metallisierung

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04228577A (ja) 1992-08-18
DE69015164D1 (de) 1995-01-26
EP0455915B1 (de) 1994-12-14
CA2031549A1 (en) 1991-11-09
EP0455915A1 (de) 1991-11-13
ES2068351T3 (es) 1995-04-16
JPH0651910B2 (ja) 1994-07-06
CA2031549C (en) 1998-04-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5147692A (en) Electroless plating of nickel onto surfaces such as copper or fused tungston
DE69020796T2 (de) Direkt-Elektroplattieren von Durchgangslöchern.
DE69613286T2 (de) Elektroplattierungsverfahren
DE3889155T2 (de) Elektroplattierverfahren und hergestellter Gegenstand.
DE69728812T2 (de) Verfahren zur Erhöhung der Lötbarkeit einer Oberfläche
DE3750282T2 (de) Verfahren zur Metallplattierung.
DE102009037855B4 (de) Verfahren zur Oberflächenbehandlung von Aluminium oder Aluminiumlegierungen
DE3002166A1 (de) Verfahren zur herstellung von gedruckten schaltungsplatten
DE69027040T2 (de) Verfahren zum unmittelbaren elektroplattieren eines dielektrischen substrates
DE1197720B (de) Verfahren zur Vorbehandlung von insbesondere dielektrischen Traegern vor der stromlosen Metallabscheidung
DE10054544A1 (de) Verfahren zum chemischen Metallisieren von Oberflächen
DE69206496T2 (de) Elektroplattierungsverfahren und Zusammenstellung.
DE2623716A1 (de) Verfahren zur chemischen metallabscheidung auf polymeren substraten und dabei verwendete loesung
DE2541896A1 (de) Verfahren zum behandeln eines substrates aus plastikmaterial und material zur durchfuehrung desselben
EP0997061B1 (de) Verfahren zum metallisieren eines elektrisch nichtleitende oberflächenbereiche aufweisenden substrats
DE69832845T2 (de) Elektroplattierungsverfahren
DE3887989T2 (de) Verfahren zur herstellung von gedruckten schaltungen mit durchgehenden löchern für metallisierung.
DE3815569A1 (de) Verfahren zum selektiven abscheiden eines leitenden materials bei der herstellung integrierter schaltungen
DE3139168A1 (de) "strukturierte chemisch-reduktive metallabscheidung"
DE69015164T2 (de) Stromlose Abscheidung von Nickel auf Oberflächen wie Kupfer oder geschmolzenem Wolfram.
DE3121015A1 (de) Verfahren zur aktivierung von gebeizten oberflaechen und loesung zur durchfuehrung desselben
EP1082471A1 (de) Verfahren zum überziehen von oberflächen auf kupfer oder einer kupferlegierung mit einer zinn- oder zinnlegierungsschicht
DE69205415T2 (de) Verfahren zur Herstellung von katalytisch hochwirksamen Beschichtungen bestehend aus einem Metall der Gruppe der Platinmetalle.
DE69012454T2 (de) Verfahren mit abgekürztem Zyklus zur Herstellung von gedruckten Leiterplatten und Zusammensetzung für die Anwendung.
DE4412463C3 (de) Verfahren zur Herstellung einer Palladium-Kolloid-Lösung und ihre Verwendung

Legal Events

Date Code Title Description
8364 No opposition during term of opposition