DE3415628C3 - Vibrationswellenmotor - Google Patents
VibrationswellenmotorInfo
- Publication number
- DE3415628C3 DE3415628C3 DE3415628A DE3415628A DE3415628C3 DE 3415628 C3 DE3415628 C3 DE 3415628C3 DE 3415628 A DE3415628 A DE 3415628A DE 3415628 A DE3415628 A DE 3415628A DE 3415628 C3 DE3415628 C3 DE 3415628C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- vibration wave
- projections
- wave motor
- motor according
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 claims description 25
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 14
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 2
- 238000006748 scratching Methods 0.000 claims 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 claims 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 6
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 230000000750 progressive effect Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/10—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors
- H02N2/16—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing rotary motion, e.g. rotary motors using travelling waves, i.e. Rayleigh surface waves
- H02N2/163—Motors with ring stator
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/0005—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
- H02N2/005—Mechanical details, e.g. housings
- H02N2/0065—Friction interface
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
Die Erfindung bezieht sich auf einen Vibrationswellenmotor
gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Aus der US-PS 40 19 073 ist ein piezoelektrischer Motor
bekannt, in dem eine durch das Anlegen einer Wechselspannung
an elektrostriktive Elemente erzeugte Schwingung in eine
Drehbewegung oder Linearbewegung umgesetzt wird. Da hierbei
im Gegensatz zu einem elektromagnetischen Motor keine
Wicklung benötigt wird, können mit dem piezoelektrischen
Motor ein einfacher und kompakter Aufbau, ein hohes Drehmoment
bei niedriger Drehzahl und ein geringes Trägheitsmoment
erreicht werden. Bei diesem Motor wird eine durch
die Schwingung hervorgerufene Hin- und Herbewegung eines
Schwingglieds dadurch zu einem bewegbaren Teil übertragen,
daß das Schwingglied bei einer Vorwärtsbewegung unter
Reibung das bewegbare Teil anstößt, während es bei einer
Rückwärtsbewegung von dem bewegbaren Teil gelöst wird.
Hierzu müssen das Schwingglied und das bewegbare Teil
derart gestaltet sein, daß sie sich an kleinen Bereichen
punktförmig oder linienförmig berühren.
Auf ähnliche Weise wird auch in einem Ultraschall-Vibrationsantriebsmotor
gemäß der US-PS 43 25 264 die lineare
Schwingungsbewegung eines Schwingglieds dadurch zu einem
bewegbaren Teil übertragen, daß schräg zwischengesetzte
Federelemente bei der Vorwärtsbewegung elastisch verformt
werden, ihre dadurch gespeicherte Federenergie als zur
Vorwärtsbewegungsrichtung senkrechte Komponente auf das
bewegbare Teil übertragen und bei der Rückwärtsbewegung
wieder ihre ursprüngliche entspannte Form einnehmen. Die
Federelemente setzen daher die lineare Schwingbewegung
des Schwingglieds in eine senkrecht dazu verlaufende Bewegung
des bewegbaren Teils um. Auch hierbei erfolgt eine
Kraftübertragung nur während einer bei der Vorwärtsbewegung
herbeigeführten Berührung, so daß nur geringe Leistungen
übertragen werden können.
Aus der DE-OS 29 10 699 ist ein Schwingmotor mit einem
zylindrischen Konzentrator für Drehschwingungen und mit
einem Element zum Verwandeln von Schwingungen eines Piezoelements
in Drehschwingungen bekannt. Bei diesem Schwingmotor
ist das Element zum Verwandeln der Schwingungen
durch Stäbe gebildet, die tangential an den Konzentrator
angesetzt sind und als Resonatoren für sich darin fortpflanzende
Längsschwingungen gestaltet sind. Durch die
Energie der Längs- und Drehschwingungen in dem Konzentrator
wird auf nicht näher dargestellte Weise ein Rotor angetrieben.
In dem Monatsmagazin "Nikkei Mechanical", Nikkei-McGraw-Hill,
Inc. vom 28. Februar 1983 ist ein Vibrationswellenmotor
der eingangs genannten Art beschrieben, bei dem das
bewegbare Teil mittels einer Reibberührung über eine im
Schwingglied erzeugte fortschreitende Wanderwelle angetrieben
wird.
Fig. 1 zeigt schematisch einen Hauptteil dieses Vibrationswellenmotors;
Fig. 2(a), (b), (c) und (d) zeigen das Prinzip des Antriebs
in dem bekannten Vibrationswellenmotor.
Der Motor hat elektrostriktive Elemente 1, die piezoelektrische
Wandler aus PZT (Blei-Zirkonat-Titanat) sein können,
und ein Schwing- oder Vibrationsglied 2, das zusammen
mit den Wandlerelementen 1 von einem nicht gezeigten
Stator getragen wird. Ein mit dem Schwingglied 2 in Druckanlage
befindliches bewegbares Teil 3 bildet einen Rotor.
Wandlerelemente 1 sind mit dem Schwingglied 2 verklebt,
wobei die Wandlerelemente einer Gruppe mit einer
Teilung angeordnet sind, die um ein Viertel einer Wellenlänge
λ einer Schwingungswelle relativ zu den Wandlerelementen
der anderen Gruppe verschoben ist. In jeder Gruppe sind
die Wandlerelemente mit einer Teilung der Hälfte der Wellenlänge
λ und mit entgegengesetzten Polaritäten zwischen
einander benachbarten angeordnet.
Bei einem Vibrationswellenmotor mit diesem Aufbau werden
eine Wechselspannung V₀sinωt an jedes zweite Wandlerelement
der einen Gruppe und eine Wechselspannung V₀cosωt
an alle Wandlerelemente der anderen Gruppe angelegt.
Das hat zum Ergebnis, daß die Wandlerelemente mit Wechselspannungen
derart gespeist werden, daß die Polaritäten
zwischen einander benachbarten entgegengesetzt und die
Phasen zwischen den Gruppen um 90° verschoben sind. Die
Schwingung wird auf das Schwingglied 2 übertragen, das
in Übereinstimmung mit der Teilung der Anordnung der Wandlerelemente
1 gebogen wird. Das Schwingglied 2 ragt
an den Stellen jedes zweiten Wandlerelements vor und springt
an den Stellen jedes anderen Wandlerelements zurück. Da
andererseits die Wandlerelemente der einen Gruppe um eine
Viertelwellenlänge mit Bezug auf die Wandlerelemente der
anderen Gruppe verschobenen Stellen versetzt sind, wandert
die Biegeschwingung. Die Schwingungen werden im Schwingglied
2 als eine fortschreitende Biegeschwingungs-Wandlerwelle
fortgepflanzt.
Die Fortbewegung der Welle ist in den Fig. 2(a) bis 2(d)
dargestellt. Es sei angenommen, daß sich die Wandlerwelle
in der Richtung X fortbewegt. Mit O ist die Mittelebene
des Schwingglieds im stationären Zustand bezeichnet. Die
Biegung im Schwingungszustand ist durch eine strich-punktierte
Linie dargestellt. In einer neutralen Ebene 6 ist
die Biegespannung ausgeglichen. An einer Kreuzungslinie
5 der neutralen Ebene 6 mit einer hierzu senkrechten Querschnittsebene
7 entsteht keine Biegespannung, und es tritt
eine vertikale Schwingung auf. Die Querschnittsebene 7
führt eine quergerichtete Pendelschwingung um die Kreuzungslinie
5 aus. Nach Fig. 2(a) ist ein Punkt P auf einer
Schnittlinie der Querschnittsebene 7 mit der Oberfläche
des Schwingglieds 2, die dem bewegbaren Teil 1 zugewandt
ist, ein rechter Umkehrpunkt der Pendelschwingung und
führt nur eine Vertikalbewegung aus. Bei dieser Pendelschwingung
entsteht die nach links entgegengesetzt zur Wanderrichtung
der Welle gerichtete Biegespannung, wenn die
Kreuzungslinie 5 auf der positiven Seite der Welle oberhalb
der Mittelebene O liegt, und eine nach rechts gerichtete
Biegespannung, wenn die Kreuzungsstelle 5 auf der negativen
Seite der Welle unter der Mittelebene O liegt. In Fig. 2(a)
zeigen eine Kreuzungslinie 5′ und eine Querschnittsebene
7′ den früheren Zustand, bei dem eine Spannung F′
am Punkt P′ entsteht, sowie eine Kreuzungslinie 5′′ und
eine Querschnittsebene 7′′ den folgenden Zustand, bei dem
eine Spannung F′′ am Punkt P′′ hervorgerufen wird. Wenn
die Welle weiterwandert und die Kreuzungslinie 5 auf
die positive Seite der Welle nach Fig. 2(b) gelangt, führt
der Punkt P eine nach links und aufwärts gerichtete Bewegung
aus. Nach Fig. 2(c) ist der Punkt P der obere Umkehrpunkt
der Vertikalschwingung und führt nur eine nach links gerichtete
Bewegung aus. Nach Fig. 2(d) führt der Punkt eine
nach links und abwärts gerichtete Bewegung aus. Beim Weiterwandern
der Welle entsteht wieder der
Zustand nach Fig. 2(a)
durch nach rechts sowie abwärts und nach rechts sowie
aufwärts gerichtete Bewegungen. Durch die Folge der Bewegungen
führt der Punkt P eine elliptische Umlaufbewegung
aus, wobei der Radius eine Funktion von t/2 und t die
Dicke des Schwingglieds 2 ist. Dabei wird nach Fig. 2(c)
an einer tangierenden Linie zwischen dem Punkt P und dem
bewegbaren Teil 3 dieses unter Reibung durch die Bewegung
des Punkts P angetrieben.
Bei diesem Vibrationswellenmotor wird die Geschwindigkeit
des bewegbaren Teils 3 durch die Geschwindigkeit des Punkts
P an der Oberfläche des Schwingglieds 2 bestimmt. Um die
Geschwindigkeit des bewegbaren Teils 3 zu erhöhen, ist
es notwendig, die Umlaufgeschwindigkeit des Punkts P an
der Oberfläche des Schwingglieds 2 zu vergrößern. Der Radius
der Umlaufbewegung könnte durch Erhöhen der Dicke
t des Schwingglieds 2 vergrößert werden, jedoch steigt
mit einer Erhöhung die Steifigkeit oder Starrheit an, und
die Schwingungsamplitude wie auch der Drehwinkel der Umlaufdrehung
werden kleiner. Insofern gibt es eine Grenze bei
dem Anstieg der Geschwindigkeit des Punkts P an der Oberfläche
des Schwingglieds 2.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Vibrationswellenmotor
gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs
1 derart auszugestalten, daß der Motor eine hohe Antriebsleistung
abgibt.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den in dem kennzeichnenden
Teil des Patentanspruchs 1 genannten Merkmalen
gelöst.
Demnach werden erfindungsgemäß bei der durch die Wanderwelle
angeregten Bewegung des Schwingglieds fortlaufend Vorsprünge
mit dem bewegbaren Teil in Berührung gehalten, wobei die
Vorsprünge eine weitaus höhere Leistung übertragen können,
da sie verglichen mit einer glatten Reibungsfläche des
Schwingglieds eine höhere Reibungsantriebsleistung auf
das bewegbare Teil übertragen. Dabei kann die Wanderwelle
in einem ringförmigen Schwingglied oder
auch in einem linearen Schwingglied
erzeugt werden, so daß der erfindungsgemäße Motor vielseitig
anwendbar ist.
Vorteilhafte Ausgestaltungen des erfindungsgemäßen Vibrationswellenmotors
sind in den Unteransprüchen aufgeführt.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen
unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert.
In der Zeichnung zeigt
Fig. 3 eine perspektivische Ansicht eines Schwingglieds
eines Vibrationswellenmotors
gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel;
Fig. 4 eine vergrößerte Seitenansicht des in Fig. 3
gezeigten Schwingglieds;
Fig. 5 den Antrieb eines bewegbaren Teils 3 durch
das Schwingglied und
Fig. 6 eine perspektivische Teilansicht eines zweiten
Ausführungsbeispiels.
Gemäß Fig. 3 hat das Schwingglied 2
des Vibrationswellenmotors ringförmige Gestalt
und ist an der dem in Fig. 3 nicht gezeigten
bewegbaren Teil 3 zugewandten Fläche in kleine
Vorsprünge 2a unterteilt, während es eine ununterbrochene
Basis 2b an der den elektrostriktiven Wandlerelementen
1 zugewandten Fläche hat. Der übrige Aufbau
des Vibrationswellenmotors ist der in
Fig. 1 gezeigte.
Die Fig. 4 zeigt die Abmessungen des Schwingglieds 2,
wobei mit O die Mittelebene der Basis 2b, mit tb die
Stärke der Basis 2b, mit τ die Dicke
der kleinen Vorsprünge 2a und mit l deren Länge bezeichnet
sind. Die kleinen Vorsprünge 2a haben einen
Elastizitätsmodul E und eine Dichte ρ. Mit h ist der
Abstand vom freien Ende der Vorsprünge 2a zur Mittelebene
O bezeichnet.
Die Fig. 5 zeigt, wie das bewegbare Teil 3 durch
die Enden der kleinen Vorsprünge 2a des Schwingglieds 2
angetrieben wird,
in dem eine wandernde Biegeschwingungswelle erzeugt
wird.
Die Wanderwelle pflanzt sich in der Richtung
X fort, das bewegbare Teil 3 wird in der Richtung X′
bewegt. Der Umlaufradius einer umlaufenden elliptischen
Bewegung am Punkt P ist eine Funktion von h. Dies
stellt eine bedeutende Verbesserung gegenüber dem
Umlaufradius als Funktion von t/2 bei der umlaufenden
elliptischen Bewegung am Punkt P
nach dem Stand der Technik gemäß
Fig. 2 dar. Ferner wird bei
dem Ausführungsbeispiel die Amplitude nicht vermindert,
weil die Steifigkeit des Schwingglieds keine wesentliche
Erhöhung erfährt. Dies trägt zur Vergrößerung des
Umlaufradius bei.
Wenn die Abmessungen der kleinen Vorsprünge 2a die
folgende Beziehung erfüllen, dann kann darüber hinaus
die Geschwindigkeit erhöht werden:
Diese Beziehung ist eine Bedingung für eine Resonanz
der kleinen Vorsprünge 2a, die durch die Vibration
der Basis 2b des Schwingglieds 2 erregt wird.
Wenn die obige Bedingung mit einer Bedingung für
eine Resonanz einer Primärschwingung für die kleinen
Vorsprünge 2a übereinstimmt, die Ausleger sind,
wird die Geschwindigkeit des
bewegbaren Teils 3 durch diesen zusätzlichen Resonanzeffekt
der Biegeschwingung der kleinen Vorsprünge 2a
erhöht. Die Fig. 5 zeigt das aufeinanderfolgende Biegen
der kleinen Vorsprünge 2a.
Da die Spitzen oder freien Kanten der kleinen Vorsprünge
2a das bewegbare Teil 3 kratzend antreiben,
wird die Antriebsleistung bzw. -wirkung gegenüber dem
Antrieb nach dem Stand der Technik
verbessert und gesteigert,
bei dem das Teil 3
durch Reibung von der Oberfläche des Schwingglieds 2
angetrieben wird.
Gemäß der vorstehenden Beschreibung wird dem Vibrationswellenmotor
gemäß dem Ausführungsbeispiel der Radius der Umlaufbewegung
des Punkts P am Schwingglied 2 vergrößert,
durch die Resonanz der kleinen Vorsprünge 2a, die
von deren Abmessungen abhängt, die Geschwindigkeit des
bewegbaren Teils erhöht und eine hohe Reibungsantriebsleistung
erzielt. Damit wird ein Vibrationswellenmotor
mit sehr hoher Leistung und ausgezeichnetem
Betriebsverhalten geschaffen.
Die bauliche Gestaltung der kleinen Vorsprünge 2a
ist nicht auf die bisher beschriebene Ausbildung beschränkt,
vielmehr können diese zylindrische
Form gemäß Fig. 6 haben, oder sie können
stabförmig mit quadratischem Querschnitt oder auch nadel-
oder stiftförmig sein.
Die beschriebene Gestaltung ist auch bei einem linearen
Vibrationswellenmotor anwendbar.
Claims (8)
1. Vibrationswellenmotor mit einem Schwingglied, in dem
z. B.
mittels elektrostriktiver Elemente eine wandernde Biegeschwingungswelle erzeugt
wird, durch die eine Relativbewegung zwischen dem
Schwingglied und einem hiermit zur Kraftübertragung in
Reibberührung stehenden Teil hervorgerufen wird, dadurch
gekennzeichnet, daß das Schwingglied in seiner Gesamtheit die Gestalt der wandernden
Biegeschwingungswelle einnimmt, und daß die dem Teil (3)
zugewandten Fläche des Schwingglieds (2) in eine Vielzahl von
zu dem Teil hin gerichteten Vorsprüngen (2a) untergliedert
ist, deren freie Enden durch die wandernde
Biegeschwingungswelle in Schwingungen versetzt werden, wobei
jeder der Vorsprünge (2a) eine derartige
Länge (l) hat, daß er durch die wandernde
Biegeschwingungswelle in Resonanzschwingungen versetzt wird.
2. Vibrationswellenmotor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Vorsprünge
(2a) zylinderförmig ist.
3. Vibrationswellenmotor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß jeder der Vorsprünge
(2a) die Form einer Stange mit rechteckigem Querschnitt
hat.
4. Vibrationswellenmotor nach einem der vorangehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß an jedem der Vorsprünge
(2a) an der Seite eine Kante für einen kratzenden
Reibantrieb ausgebildet ist.
5. Vibrationswellenmotor nach einem der vorangehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Schwingglied (2)
an der den elektrostriktiven Elementen (1) zugewandten Seite
einen durchgehenden Flächenbereich (2b) hat.
6. Vibrationswellenmotor nach Anspruch 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die Vorsprünge (2a) auf
dem durchgehenden Flächenbereich (2b) in vorbestimmter
Gleichmäßigkeit ringförmig angeordnet
sind.
7. Vibrationswellenmotor nach einem der vorangehenden
Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Schwingglied
(2) ringförmig ist und die Vorsprünge (2a) in vorbestimmter
Gleichmäßigkeit auf den ganzen Umfang des Schwingglieds
verteilt angeordnet sind.
8. Vibrationswellenmotor nach Anspruch 6 oder 7, dadurch
gekennzeichnet, daß die Vorsprünge (2a) in gleichen Abständen
angeordnet sind.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58076754A JPS59201685A (ja) | 1983-04-30 | 1983-04-30 | 振動波モ−タ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3415628A1 DE3415628A1 (de) | 1984-10-31 |
DE3415628C2 DE3415628C2 (de) | 1990-05-31 |
DE3415628C3 true DE3415628C3 (de) | 1995-06-29 |
Family
ID=13614373
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3415628A Expired - Lifetime DE3415628C3 (de) | 1983-04-30 | 1984-04-26 | Vibrationswellenmotor |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4580073A (de) |
JP (1) | JPS59201685A (de) |
DE (1) | DE3415628C3 (de) |
Families Citing this family (62)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59204480A (ja) * | 1983-05-09 | 1984-11-19 | Nippon Kogaku Kk <Nikon> | 超音波モーター |
JPS6013481A (ja) * | 1983-07-04 | 1985-01-23 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
US4786836A (en) * | 1984-03-01 | 1988-11-22 | Matsushita Electric Industrail Co., Ltd. | Piezoelectric motor |
JPS61116979A (ja) * | 1984-11-08 | 1986-06-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波駆動モ−タ |
JPS61116978A (ja) * | 1984-11-08 | 1986-06-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波駆動モ−タ |
JPS61191278A (ja) * | 1985-02-20 | 1986-08-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モ−タ |
US4752711A (en) * | 1985-03-29 | 1988-06-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave motor |
JPS61224882A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-06 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
JPS61224878A (ja) * | 1985-03-29 | 1986-10-06 | Canon Inc | 振動波モ−タ− |
GB2183929B (en) * | 1985-08-05 | 1989-11-15 | Canon Kk | Vibration wave motor |
US5347192A (en) * | 1985-08-05 | 1994-09-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave motor |
JPS6311073A (ja) * | 1986-06-30 | 1988-01-18 | Canon Inc | 振動波により駆動される振動波モータ |
GB2183371B (en) * | 1985-10-09 | 1989-09-27 | Canon Kk | Vibration wave motor and drive circuit therefor |
US4697117A (en) * | 1985-11-27 | 1987-09-29 | Taga Electric Co., Ltd. | Rotary ultrasonic motor |
JPS62193569A (ja) * | 1986-02-18 | 1987-08-25 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波モ−タ |
US4771203A (en) * | 1986-02-24 | 1988-09-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave motor |
JPS62262675A (ja) * | 1986-05-09 | 1987-11-14 | Canon Inc | 振動波駆動装置 |
US4882500A (en) * | 1986-06-04 | 1989-11-21 | Nippon Seimitsu Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for converting standing wave vibrations into motion and standing wave motor therefor |
US5099166A (en) * | 1987-01-12 | 1992-03-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driven motor |
US5159253A (en) * | 1987-02-24 | 1992-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Control device for a vibration wave motor |
JP2928244B2 (ja) * | 1987-03-06 | 1999-08-03 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モータ |
JP2574284B2 (ja) * | 1987-03-26 | 1997-01-22 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モ−タ |
JP2723933B2 (ja) * | 1987-11-12 | 1998-03-09 | 株式会社日立製作所 | スクロール形流体機械 |
JPH0687673B2 (ja) * | 1988-04-14 | 1994-11-02 | 松下電器産業株式会社 | 超音波モータ |
JP2536067B2 (ja) * | 1988-06-10 | 1996-09-18 | 株式会社村田製作所 | 圧電モ―タ |
JPH02119585A (ja) * | 1988-10-27 | 1990-05-07 | Fuji Electric Co Ltd | 超音波モータ |
DE69030827T2 (de) * | 1989-02-14 | 1998-01-15 | Canon Kk | Vibrationswellenmotor |
JP2764123B2 (ja) * | 1989-04-28 | 1998-06-11 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 超音波モータ及び超音波モータを有するアナログ式電子時計 |
JP2563585B2 (ja) * | 1989-06-22 | 1996-12-11 | キヤノン株式会社 | 搬送装置 |
JPH072029B2 (ja) * | 1989-06-26 | 1995-01-11 | セイコー電子工業株式会社 | 超音波モータ |
WO1991004584A1 (en) * | 1989-09-08 | 1991-04-04 | Massachusetts Institute Of Technology | Miniature actuator |
US5155418A (en) * | 1989-10-16 | 1992-10-13 | Canon Kabushiki Kaisha | Actuator device |
JPH03183376A (ja) * | 1989-12-08 | 1991-08-09 | Canon Inc | 振動波モータ |
JPH03183381A (ja) * | 1989-12-12 | 1991-08-09 | Canon Inc | 振動波モータ |
JPH03190573A (ja) * | 1989-12-13 | 1991-08-20 | Canon Inc | 振動波モータ |
JP2669913B2 (ja) * | 1989-12-15 | 1997-10-29 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を駆動源とする移動機器 |
JP2669916B2 (ja) * | 1990-02-02 | 1997-10-29 | キヤノン株式会社 | 振動波モータ |
JP2996477B2 (ja) * | 1990-02-05 | 1999-12-27 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
JP2993702B2 (ja) * | 1990-04-02 | 1999-12-27 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置 |
US5256928A (en) * | 1990-10-26 | 1993-10-26 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Ultrasonic motor with a vibrator having recesses |
US5351412A (en) * | 1991-06-11 | 1994-10-04 | International Business Machines Corporation | Micro positioning device |
JPH05137355A (ja) * | 1991-11-12 | 1993-06-01 | Canon Inc | 振動波モータ |
JP3117817B2 (ja) * | 1991-11-27 | 2000-12-18 | アスモ株式会社 | 超音波モータのステータ及びその製造方法 |
JPH05184167A (ja) * | 1992-01-06 | 1993-07-23 | Canon Inc | 進行波型モータの制御装置 |
JPH05219762A (ja) * | 1992-02-06 | 1993-08-27 | Canon Inc | 振動波モータ |
JP3307020B2 (ja) * | 1992-10-19 | 2002-07-24 | 株式会社ニコン | 超音波モータ |
JP3241129B2 (ja) * | 1992-11-20 | 2001-12-25 | 太平洋セメント株式会社 | 振動波モータ用の積層型圧電素子及びその製造方法 |
JP3179601B2 (ja) * | 1992-12-17 | 2001-06-25 | キヤノン株式会社 | 振動波モータおよび振動波モータを備えた装置 |
JPH06233557A (ja) * | 1993-02-05 | 1994-08-19 | Nikon Corp | 超音波モータ |
JP3059031B2 (ja) * | 1993-09-22 | 2000-07-04 | キヤノン株式会社 | 振動波駆動装置及び振動波駆動装置を備えた装置 |
JP3450524B2 (ja) * | 1994-08-04 | 2003-09-29 | キヤノン株式会社 | 振動アクチュエータ |
US5760529A (en) * | 1995-04-24 | 1998-06-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave actuator and system using the same |
US5949178A (en) * | 1995-04-26 | 1999-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave driving apparatus and a vibration member, and manufacturing method of the apparatus and the member |
JPH1084682A (ja) * | 1996-09-09 | 1998-03-31 | Canon Inc | 振動波駆動装置および振動波駆動装置を有する機器 |
JP3397627B2 (ja) * | 1997-04-08 | 2003-04-21 | キヤノン株式会社 | 振動型駆動装置およびこれを用いた装置 |
US6198201B1 (en) | 1998-06-03 | 2001-03-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Vibration wave apparatus |
JP4328412B2 (ja) | 1999-05-14 | 2009-09-09 | キヤノン株式会社 | 振動型アクチュエータおよび振動型駆動装置 |
JP4874610B2 (ja) * | 2005-09-16 | 2012-02-15 | Hoya株式会社 | 超音波モータ |
JP5265370B2 (ja) * | 2005-10-28 | 2013-08-14 | ピーシービー モーター エイピーエス | 電気機械波デバイス |
KR20110062989A (ko) * | 2009-12-04 | 2011-06-10 | 삼성전자주식회사 | 압전 모터 |
US9885543B2 (en) | 2015-10-01 | 2018-02-06 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Mechanically-adaptive, armor link/linkage (MAAL) |
US10670375B1 (en) | 2017-08-14 | 2020-06-02 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Adaptive armor system with variable-angle suspended armor elements |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SU532947A1 (ru) * | 1975-08-11 | 1976-10-25 | Вильнюсский Ордена Трудового Красного Знамени Электротехнический Завод "Эльфа" | Вибродвигатель |
SE436675B (sv) * | 1975-08-12 | 1985-01-14 | Ki Politekhnichsky I Im 50 Let | Elektrisk motor driven genom piezoelektriska krafter |
GB1539000A (en) * | 1976-03-29 | 1979-01-24 | Lipe Rollway Corp | Moulded resilient element material for vibratory feeder |
SU623241A1 (ru) * | 1976-11-04 | 1978-09-05 | Специальное Проектно-Конструкторское И Технологическое Бюро Малых Электрических Машин Производственного Объединения "Эльфа" | Вибродвигатель |
DE2910699A1 (de) * | 1978-04-12 | 1979-10-25 | Sp Pk I T Bjuro Malych Elektri | Schwingmotor |
JPS5470574A (en) * | 1978-07-31 | 1979-06-06 | Maki Mfg Co Ltd | Automatic powdering aligning transfer apparatus for article with diaphragm |
JPS5937672B2 (ja) * | 1979-03-19 | 1984-09-11 | 年生 指田 | 超音波振動を利用した回転駆動装置 |
US4325264A (en) * | 1980-03-24 | 1982-04-20 | Toshiiku Sashida | Supersonic vibration driven motor device |
JPS5937673B2 (ja) * | 1980-10-30 | 1984-09-11 | 年生 指田 | 超音波振動を利用した一方向駆動装置 |
JPS5996881A (ja) * | 1982-11-22 | 1984-06-04 | Toshio Sashita | 平板型超音波モータ装置 |
JPS58148682A (ja) * | 1982-02-25 | 1983-09-03 | Toshio Sashita | 超音波振動を利用したモータ装置の駆動方法とモータ装置 |
JPS59110389A (ja) * | 1982-12-16 | 1984-06-26 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
JPS59117473A (ja) * | 1982-12-21 | 1984-07-06 | Canon Inc | 振動波モ−タ |
JPS59178988A (ja) * | 1983-03-29 | 1984-10-11 | Shinsei Kogyo:Kk | 超音波モータ |
-
1983
- 1983-04-30 JP JP58076754A patent/JPS59201685A/ja active Granted
-
1984
- 1984-04-12 US US06/599,521 patent/US4580073A/en not_active Expired - Lifetime
- 1984-04-26 DE DE3415628A patent/DE3415628C3/de not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3415628C2 (de) | 1990-05-31 |
JPH0140597B2 (de) | 1989-08-30 |
DE3415628A1 (de) | 1984-10-31 |
US4580073A (en) | 1986-04-01 |
JPS59201685A (ja) | 1984-11-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3415628C3 (de) | Vibrationswellenmotor | |
DE3415630C2 (de) | ||
DE3306755C2 (de) | ||
DE3587940T2 (de) | Piezoelektrischer Motor. | |
DE3852258T2 (de) | Piezoelektrischer Motor. | |
DE3500607C2 (de) | Torsionsschwingungs-Ultraschallvibrator sowie Torsionsschwingungs-Piezomotor | |
DE3703676C2 (de) | ||
EP0313130B1 (de) | Elektrischer Rotations- oder Linearmotor, dessen Läufer mittels Ultraschallschwingungen angetrieben wird | |
DE3423884C2 (de) | ||
DE3854264T2 (de) | Wanderwellenmotor. | |
DE3626389A1 (de) | Wanderwellenmotor | |
EP3123534B1 (de) | Ultraschallmotor | |
DE69023752T2 (de) | Vibrationswellengetriebener Motor und thermischer Tintenspritzdrucker mit einem solchen Motor. | |
DE3530057C2 (de) | ||
DE102013226418B3 (de) | Ultraschallmotor | |
DE69512164T2 (de) | Vibrationsangetriebener Motor | |
DE3904070C2 (de) | Ultraschallmotor | |
DE3889797T2 (de) | Ultraschalltreiberanordnung. | |
EP3172826B1 (de) | Ultraschallmotor | |
DE68922453T2 (de) | Schwingungswellen-Antriebsanordnung. | |
DE69709739T2 (de) | Piezoelektrischer motor mit unabhängigen statormodulen | |
DE102013110356A1 (de) | Ultraschallaktor | |
DE4408618B4 (de) | Verstellantrieb aus Bimorphelementen | |
DE3851989T2 (de) | Ultraschalltreiberanordnung. | |
DE60222035T2 (de) | Vibrationswellenantrieb |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
8366 | Restricted maintained after opposition proceedings | ||
8305 | Restricted maintenance of patent after opposition | ||
D4 | Patent maintained restricted |