DE3346529A1 - Leseverstaerker - Google Patents
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- H03K19/09448—Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits using specified components using semiconductor devices using field-effect transistors using MOSFET or insulated gate field-effect transistors, i.e. IGFET in combination with bipolar transistors [BIMOS]
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Description
Leseverstärker
BESCHREIBUNG
Die Erfindung betrifft einen Halbleiterspeicher mit Speicherzellen
aus MOS-Transistoren und insbesondere einen zugehörigen Leseverstärker.
Ein konventioneller Leseverstärker in einer CMOS-Halbleitereinrichtung
hat die in Fig. 1 gezeigte Struktur. Speicherzellen llil, Ili2, ..., Hij, ..., und Leitungen sind in Bereiche
angeordnet, die durch Wortleitungen WLl, WL2, ..., WLi, ..., und WLn und Bit-Leitungen BLi und BLi unterteilt sind. Von
einer der Speicherzellen llil, Hi2, ..., llij, ..., und Hin
ausgelesene Daten (Spannungen Vl und V2 der Bit-Leitungen BLi und BLi) werden an einen ersten MOS-Differentialverstärker
über die entsprechende der Wortleitungen WLl, WL2, ..·, WLi, ..., und WLn geliefert. Der erste Differentialverstärker 12
weist auf: ein Paar n-Kanal-Differential-Eingangs-MOS-Transistoren
Q4 und Q5, deren Gate-Elektroden jeweils mit den Bit-Leitungen
BLi und BLi verbunden sind und die so angeordnet sind, daß ein Ende des η-Kanal-Differential-Eingangs-MOS-Transistors
Q4 mit einem Ende des n-Kanal-Differential-Eingangs-MOS-Transistors
Q5 verbunden ist; einen n-Kanal-MOS-Transistor
Ql zwischen einem gemeinsamen Knotenpunkt zwischen den Differential-Eingangs-MOS-Transistoren Q4 und Q5 und einer
Stromversorgung V mit einer Gate-Elektrode, die ein Chip-Freigabesignal
CE erhält; einen n-Kanal-MOS-Transistor Q6 und
einen p-Kanal-MOS-Transistor Q2, die in Reihe zwischen dem anderen
Ende des MOS-Transistors Q4 und der Stromversorgung V angeordnet sind; einen n-Kanal-MOS-Transistor Q7 und einen
p-Kanal-MOS-Transistor Q3 in Reihe zwischen dem anderen Ende
des MOS-Transistors Q5 und der Stromversorgung VDD. Die Gate-Elektroden
der MOS-Transistoren Q2 und Q3 sind mit der Stromversorgung
Vnn verbunden. Ein Ausgang CDi aus einem nicht gezeigten
Spaltendecoder wird an die Gate-Elektroden der MOS-Transistoren Q6 und Q7 gelegt. Die Spannungen am Knotenpunkt
Nl zwischen den MOS-Transistoren Q2 und Q6 und einem Knoten, N2 zwischen den MOS-Transistoren Q3 und Q7 werden Ausgangssignale
des ersten Differentialverstärkers 12. Die Ausgangssignale von dem ersten Differentialverstärker 12 werden an.
einen zweiten MOS-Differentialverstärker 13 geliefert. Der
zweite Differentialverstärker 13 weist auf: ein Paar von Differertial-Eingangs-n-Kanal-MOS-Transistoren
Q8 und Q9, deren Gate-Elektroden jeweils mit den Knotenpunkten Nl und N2 verbunden
sind und von denen jeweils ein Ende mit der Stromversorgung V„„ verbunden ist; p-Kanal-MOS-Transistoren QlO und
QIl, die jeweils zwischen dem anderen Ende des MOS-Transistors Q8 und der Stromversorgung V und zwischen dem anderen
Ende des MOS-Transistors Q9 und der Stromversorgung V eingefügt sind und die eine Stromspiegelschaltung darstellen. Ein
Ausgangssignal von dem zweiten Differentialverstärker 13 erscheint
an einem Knotenpunkt N3 zwischen den MOS-Transistoren QIl und Q9 und wird an eine Ausgangspufferstufe 14 geliefert.
Die Ausgangspufferstufe 14 weist auf: einen CMOS-Inverter mit einem p-Kanal-MOS-Transistor Q12 und einem n-Kanal-MOS-Transistor
Q13. Ein Lese-Ausgangssignal erscheint an einem Knotenpunkt zwischen den MOS-Transistoren Ql2 und Q13.
Im folgenden wird der Betrieb des konventionellen Leseverstärkers der oben beschriebenen Konfiguration beschrieben. Wenn
das an den η-Kanal-MOS-Transistor Ql gelieferte Chip-Freigabesignal
CE auf hohen Pegel geht, wird der MOS-Transistor Ql eingeschaltet, so daß der Lesebetrieb ablaufen kann. Wenn das
Ausgangssignal CDi von dem Spaltendecoder auf hohen Pegel geht und die i-te Spalte ausgewählt wird, werden die MOS-Transistoren
Q 6 und Q7 eingeschaltet. Daten werden auf die Bit-Leitun-
gen BLi und BLi aus den Speicherzellen Hi j (der Speicherzellen
HiI, 1Π2, .... HiJ5 ..., und Hin, die mit den Bit-Leitungen
BLi und BLi verbunden sind) ausgelesen, die durch die Wortleitung WLj ausgewählt wird. Deshalb geht eine der
Bit-Leitungen BLi und BLi in Übereinstimmung, mit dem Inhalt der aus der Speicherzelle llij ausgelesenen Daten auf hohen
Pegel und die andere geht auf niedrigen Pegel. In Übereinstimmung mit Änderungen der Spannungen in den Bit-Leitungen
BLi und BLi wird einer der MOS-Transistoren Q4 und Q5, deren Gate-Elektroden jeweils mit den Bit-Leitungen BLi und BLi verbunden
ist, eingeschaltet und der andere wird abgeschaltet. In Übereinstimmung mit dem ON/OFF-Betrieb der MOS-Transistoren Q4
und Q5 wechseln die Spannungen am Knotenpunkt Nl zwischen den MOS-Transistoren Q2 und Q6 und dem Knotenpunkt N2 zwischen den
MOS-Transistoren Q3 und Q7. Diese Spannungen werden an die Gate-Elektroden der Differential-Eingangs-MOS-Transistoren Q8
und Q9 des zweiten Differentialverstärkers 13 geliefert. Ein Konstantstrom wird an die MOS-Transistoren Q8 und Q9 von den
MOS-Transistoren QlO und QIl, die die Stromspiegelschaltung
darstellen, geliefert. Eine Spannung am Knotenpunkt N3 zwischen den MOS-Transistoren Q9 und QH wechselt in Übereinstimmung
mit dem ON/OFF-Betrieb des MOS-Transistors Q9 und wird an den Signaleingangsanschluß der Ausgangspufferstufe 14 gelegt. In
der Ausgangspufferstufe 14 wird einer der MOS-Transistoren Q12 und Q13 eingeschaltet und der andere wird abgeschaltet in Übereinstimmung
mit der Spannung am Knotenpunkt N3. Als Ergebnis erscheint ein den in der ausgewählten Speicherzelle llij gespeicherten
Daten entsprechendes Ausgangssignal am Knotenpunkt zwischen den MOS-Transistoren Q12 und Q13.
Beim Auslesebetrieb ergibt sich bezüglich der Speicherzellen ein Verhältnis (wird durch die Last-MOS-Transistoren Q2 und Q3
in eine Spannung umgewandelt) eines durch den Differential-Eingangs-MOS-Transistor
Q4 fließenden Stroms zu einem durch den Differential-Eingangs-MOS-Transistor Q5 fließenden Stroms wie
folgt:
id2/idl = f(ß/2)(V2-V0-Vth)2J/f(ß/2)(Vl-V0-Vth)2J
= (Vl+flV-VO-Vth)2/(Vl-VO-Vth)2
e 1 + 24V/(Vl-VO-Vth)2 ,... (1)
wobei Vl und V2 Spannungen auf den Bit-Leitungen BLi und BLi jeweils sind; ÄV ist die Potentialdifferenz zwischen den Spannungen
Vl und V2; VO ist die Quellenspannung eines jeden der MOS-Transistoren Q4 und Q5; und Vth ist die Schwellenspannung
eines jeden der MOS-Transistoren Q4 und Q5. Der erste Differentialverstärker
12 hat die maximale Empfindlichkeit, wenn Vi-VO-Vth = 0 gilt. Wenn der erste Differentialverstärker 12
jedoch unter dieser Bedingung aufgebaut wird, wird sein Gegenwirkleitwert gm reduziert, wodurch eine lange Zeitdauer benötigt
wird, um den zweiten Differentialverstärker 13 auf die nächste Stufe zu steuern. Um den Gegenwirkleitwert zu steigern
und eine hohe Leseempfindlichkeit zu liefern, muß eine Potentialdifferenz AV zwischen den Bit-Leitungen BLi und BLi
groß gewählt werden.
Wenn ein in der Bit-Leitung fließender Strom als Ib vorgegeben wird, bestimmt sich eine Einschwingzeit td von einem niedrigen
Pegel auf einen hohen Pegel und umgekehrt bezüglich des Bit-Leitungs-Potentials wie fblgt:
td = Cb-AV/lb, ... (2)
wobei Cb die Bit-Leitungs-Kapazität ist. Wenn die Potentialdifferenz
AV groß gewählt wird, wird die Einschwingzeit td bezüglich des Bit-Leitungs-Potentials groß.
Wie o.ben beschrieben wurde, ist die Empfindlichkeit des Leseverstärkers
mit einer Reihenschaltung von zwei MOS-Differentialverstärkern umgekehrt proportional zu seinem Gegenwirkleitwert
gm. Es ist schwierig, gleichzeitig Signalverzögerungszeiten der Bit-Leitungen und der Leseschaltungsanordnung zu verkürzen.
Deshalb ist es Aufgabe der Erfindung, einen hochempfindlichen Hochgeschwindigkeits-Leseverstärker zu schaffen.
Erfindungsgemäß wird ein Leseverstärker zum Liefern differentieller
Eingangssignale von einer MOS-Schaltung an einen ersten Differentialverstärker vorgesehen, der bewirkt, daß
der erste Differentialverstärker die differentiellen Eingangssignale verstärkt und zum Liefern differentieller Ausgangssignale
vom ersten Differentialverstärker an einen zweiten Differentialverstärker, wobei der zweite Differentialverstärker
veranlaßt wird, die differentiellen Ausgangssignale zu verstärken, gekennzeichnet dadurch, daß der erste Differentialverstärker
ein Paar.von bipolaren Transistoren als differentielle
Eingangselemente aufweist und der zweite Differentialverstärker
ein Paar von MOS-Transistoren als differentielle Eingangselemente aufweist.
Weitere Ausbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
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Im weiteren wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Figuren beschrieben. Von den Figuren
zeigen:
Fig. 1 ein Blockdiagramm eines konventionellen Leseverstärkers in einem Halbleiterspeicher;
Fig. 2 ein schematisches Blockdiagramm eines Leseverstärkers
gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 3 ein Schaltungsdiagramm des in Fig. 2 gezeigten Leseverstärkers
;
Fig. 4 ein Schaltungsdiagramm eines Leseverstärkers gemäß
einer weiteren Ausführungsform der Erfindung;
Fig. 5 und 6 jeweils Ausschnitte zur Verdeutlichung der Herstellung
der in Fig. 3 gezeigten Schaltung;
Fig. 7 ein Schaltungsdiagramm eines Leseverstärkers
gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfin
gemäß einer weiteren Ausführungsform der Erfin
dung ;
Fig. 8 ein Schaltungsdiagramm eines Pegelkonverters des in Fig. 7 gezeigten Leseverstärkers; und'
Fig. 9 ein Schaltungsdiagramm eines Leseverstärkers
gemäß noch einer weiteren Ausführungsform der
Erfindung.
Erfindung.
Fig. 2 zeigt die grundlegende Anordnung eines Leseverstärkers
gemäß einer Ausführurjpform der Erfindung. Gleiche Bezugszeichen
wie in Fig. 1 bedeuten die gleichen Teile in Fig. 2 und eine
detaillierte Beschreibung wird deshalb vermieden. Bit-Leitungen BLi und BLi sind mit einem ersten Differentialverstärker 15 mit bipolaren Transistoren als differentielle Eingangselemente jeweils über Bit-Leitungsauswahl-MOS-Transistoren Q14 und Q15 verbunden, die gemäß einem Ausgangssignal CDi von einem Spaltendecoder gesteuert werden, und welche jeweils zur Auswahl der Bit-Leitungen BLi und BLi dienen. Ausgangssignale von dem ersten
Differentialverstärker 15 werden an einen zweiten Differentialverstärker 16 mit MOS-Transistoren als differentielle Eingangselemente geliefert und von diesem verstärkt. Ein Ausgangssignal von dem zweiten Differentialverstärker 16 wird von einem CMOS-Inverter 17 als Pufferstufe invertiert und verstärkt. Auf diese Weise erscheint ein Ausgangssignal am Ausgangsanschluß des Inverters 17.
detaillierte Beschreibung wird deshalb vermieden. Bit-Leitungen BLi und BLi sind mit einem ersten Differentialverstärker 15 mit bipolaren Transistoren als differentielle Eingangselemente jeweils über Bit-Leitungsauswahl-MOS-Transistoren Q14 und Q15 verbunden, die gemäß einem Ausgangssignal CDi von einem Spaltendecoder gesteuert werden, und welche jeweils zur Auswahl der Bit-Leitungen BLi und BLi dienen. Ausgangssignale von dem ersten
Differentialverstärker 15 werden an einen zweiten Differentialverstärker 16 mit MOS-Transistoren als differentielle Eingangselemente geliefert und von diesem verstärkt. Ein Ausgangssignal von dem zweiten Differentialverstärker 16 wird von einem CMOS-Inverter 17 als Pufferstufe invertiert und verstärkt. Auf diese Weise erscheint ein Ausgangssignal am Ausgangsanschluß des Inverters 17.
Fig. 3 ist ein Schaltungsdiagramm der ersten und zweiten Differentialverstärker
15 und 16 in Fig. 2. Speicherdaten (differentielle Eingangssignale) werden von einem nicht gezeigten MOS-Speicher
an bipolare npn-Transistoren Q16 und Q17, die als differentielle
Eingangselemente des ersten Differentialverstärkers 15 dienen, über die Bit-Leitungsauswahl-MOS-Transistoren Q14
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•und Q15 der Fig. 2 geliefert. Die Emitter der Differential-Eingangstransistoren
Q16 und Q17 sind gemeinsam verbunden zur
Aufnahme einer zweiten Stroinversorgungsspannung V35 durch
eine Stromquelle I. Die Kollektoren der Transistoren Q16 und Q17 sind mit einer ersten Stromversorgung' Vcc jeweils über
Lastdiemente (2. B. Widerstände Rl und R2) verbunden. Die
Gate-Elektroden eines Paars von η-Kanal-MOS-Transistoren Q18
und Q19, die als differentielle Eingangselemente des zweiten Differentialverstärkers 16 dienen, sind jeweils mit einem Knotenpunkt
N4 zwischen dem Widerstand Rl und dem Transistor Q16
und, einem Knotenpunkt N5 zwischen dem Widerstand R2 und dem Transistor Q17 verbunden. Ein Ende eines jeden der MOS-Transistoren
Q18 und Q19 ist mit der ersten Stromversorgung Vc_ über
einen entsprechenden p-Kanal-MOS-Transistor Q21 und Q22, die eine Stromspiegelschaltung bilden, verbunden. Das andere Ende
eines jeden der MOS-Transistoren Q18 und Q19 ist mit der zweiten
Stromversorgung V55 verbunden. Eine Spannung am Knoten N6
zwischen den MOS-Transistoren Q21 und Q19 wird invertiert und
verstärkt durch den CMOS-Inverter 17 mit den MOS-Transistoren Q22 und Q23, wodurch ein Ausgangssignal entsteht.
In dem oben beschriebenen Schaltkreis bildet sich, wenn eine Differenz zwischen den Spannungen Vl und V2 auf den Bit-Leitungen
BLi und BLi als V vorgegeben wird (d.h. ^V = Vl - V2), ein
Verhältnis eines durch den Transistor Q16 fließenden Stroms il
zu einem durch den Transistor Q17 fließenden Strom i2 gemäß dem Betrieb des bipolaren Transistors wie folgt:
wobei q die Elektronenladung, k die Boltzmann-Konstante, und T
die absolute Temperatur ist. Eine Spannungsdifferenz ΔV zwischen
den Ausgangssignalen von dem ersten Differentialverstärker 15 ist wie folgt:
wobei der Gegenwirkleitwert gm l/R ist und nicht von AV und
AVl abhängt. Gemäß Gleichung (4) ist AVl = Ri(l-l/e) für
AV = 25 mV. Eine Spannung, die ungefähr zwei Drittel der Spannung für V = ·· beträgt, wird mit einem vorgegebenen Gegenwirkleitwert
gm erzeugt, wodurch gute Empfindlichkeit erieLcht
wird.
Beim zweiten Differentialverstärker 16 ist das Gatter eines p-Kanal-MOS-Transistors Q20 mit seiner Drain-Elektrode yerbunden.
Darüberhinaus sind die Gate-Source-Spannungen VQS der
Transistoren Q20 und Q21 gleich. Wenn die Transistoren im wesentlichen auf dem gleichen Potential gehalten werden, wird
ein durch den MOS-Transistor Q20 fließender Strom i3 im wesentlichen gleich einem durch den MOS-Transistor Q21 fließenden
strom i4, wodurch eine Stromspiegelschaltung gebildet wird. Unter der Annahme, daß ein Signal hohen Pegels an das Gatter
des MOS-Transistors Q18 gelegt wird, wird ein Signal von niedrigem Pegel an das Gatter des MOS-Transistors Q19 gelegt.
Wenn der MOS-Transistor eingeschaltet wird, wird seine Drain-Seite auf niedrigen Pegel gesetzt. Deshalb werden die MOS-Transistoren
Q20 und Q21 weiter leitfähig geschaltet und durch die Wirkung des Signals niedrigen Pegels, das an die Gate-Elektrode
des MOS-Transistors Q19 geliefert wird, wird die Spannung am Knotenpunkt N6 zwischen den MOS-Transistoren Q21 und
Q19 plötzlich hoch. Wenn jedoch das Gate-Potential des Transistors Q18 niedrig ist und das Gate-Potential des Transistors
Q19 hoch ist, wird ein umgekehrter Betrieb wie oben beschrieben ausgeführt. Die Gate-Spannungen (an den Knotenpunkten N4 und
N5) der Transistoren Q18 und Q19 werden zwischen die erste Versorgungsspannung
Vcc und die zweite Versorgungsspannung V33 gelegt.
Auf diese Weise, da sich das Ausgangssignal nicht von der oberen Grenze V-, und der unteren Grenze Vee weg ändert, wird
ein geformtes Ausgangssignal durch den Inverter 17 erhalten, das sich zwischen der oberen und der unteren Grenze ändert.
Wie oben beschrieben, kann der erste Differentialverstärker
IB mit bipolaren Transistoren als differentielle Eingangselemente
ein kleines Signal ohne Abnahme seines Gegenwirkleitwertes verstärken. Andererseits braucht der zweite Differentialverstärker
16 mit MOS-Transistoren al's1 dif ferentielle Eingangselemente
eine lange Zeit zur Verstärkung eines kleinen Signals. Jedoch kann ein relativ großes Signal, das von dem
ersten Differentialverstärker 15 verstärkt wird, vom zweiten Differentialverstärker 16 mit einem großen Gegenwirkleitwert
gm verstärkt werden. Anders als beim bipolaren Transistor wird beim MOS-Transistor ein Basisstrom von Il/ßnpn (wobei ßnpn
das Stromübertragungsverhältnis (gemeinsamer Emitter) ist) benötigt. Die Speicherzellen und die Vorladungsschaltung weisen
MOS-Transistoren auf und das Stromübertragungsverhältnis ßnpn variiert während des Herstellungsprozesses, wodurch die Bit-Leitungs-Spannungseinstellung
nachteilig beeinflußt wird. Aus diesem Grunde kann der bipolare differentielle Eingangstransistor
einen Darlington-Verstärker gemäß den benötigten elektrischen Eigenschaften aufweisen.
Fig. 4 zeigt einen ersten Differentialverstärker 15 mit Darlington-Verstärkern.
Bipolare npn Differential-Eingangstransistoren Q16 und Q24 bilden einen Darlington-Verstärker, der dem ersten
Transistor Q16 in Fig. 3 entspricht. Bipolare npn-Transistören
Q17 und Q25 bilden einen Darlington-Verstärker, der den n-Kanal-MOS-Transistoren
Q18 und Q19 entspricht mit einem Verhältnis 1 : 5. Die Ergebnisse wurden mit jenen der in Fig. 1 gezeigten
konventionellen Schaltung verglichen. Wenn die Kanallänge 3 um
war und der MOS-Vorladungs-Schaltkreis benutzt wurde, war die
Zugriffszeit der konventionellen Schaltung 45 ns, und jene der Schaltung gemäß der in Fig. 3 gezeigten Erfindung 35 ns, was
eine Verbesserung der Zugriffszeit um 10 ns bedeutet. Es wurde bei der Simulation auch gefunden, daß dieser Unterschied sich
vergrößerte, wenn eine Poterüaldifferenz ΔV zwischen den Bit-Leitungsspannungen
erniedrigt wurde, um einen Hochgeschwindigkeitsbetrieb zu erreichen.
Urn einen bipolaren Differentialverstärker zu betreiben, wird ein Basisstrom von Il/ßnpn (wobei ßnpn das Stromübertragungsverhältnis,
gemeinsamer Emitter, ist) benötigt. Die Speicherzellen und die Vorladungsschaltung weisen MOS-Transistoren
auf und das Stromübertragungsverhältnis ßnpn variiert während der Herstellung, wodurch die Bit-Leitungsspannungs-Einstellung
nachteilig beeinflußt wird. Aus diesem Grund kann der bipolare Differential-Eingangstransistor einen Darlington-Verstärker
in Übereinstimmung mit den benötigten elektrischen Eigenschaften aufweisen.
Fig. 4 zeigt einen ersten Differentialverstärker 15 mit Darlington-Verstärkern.
Bipolare npn-Differential-Eingangstransistoren Q16 und Q24 bilden einen Darlington-Verstärker, der
dem Transistor Q16 in Fig. 3 entspricht. Bipolare npn-Transistoren
Q17 und Q25 bilden einen Darlington-Verstärker, der dem Transistor Q17 entspricht. Ein Widerstand R3 ist in den
. Basis-Emitterpfad des Transistors Q16 eingefügt, und ein Widerstand
R4 ist in den Basis-Emitterpfad des Transistors Q17 eingefügt. Die differentiellen Eingangssignale Vl und V2 werden
an die Transistoren Q24 und Q25 gelegt. Ein Basisstrom ib zum Treiben der bipolaren Transistoren Q24 oder Q25 wird
durch die Gleichung (5) bestimmt:
ib = (Vf/RH + l/ßnpn)/ßnpn, ... (5)
wobei Vf die Sperrspannung in Vorwärtsrichtung der p-n-Flächendiode
und RH der Wärmewiderstand ist. Es ist wohlbekannt, daß die Betriebsgeschwindigkeit nicht von dem Wärmewiderstand
RH beeinflußt wird, wodurch der Strom ib auf weniger als 1 μΑ begrenzt wird und infolgedessen die Kompatibilität mit dem
MOS-Speicher verbessert wird.
Bei der Herstellung eines CMOS-Elements wird im allgemeinen gleichzeitig ein bipolarer Transistor auf einem einzigen Chip
gebildet. Insbesondere bei einem CMOS-Verfahren, bei dem Trogbereiche
19 vom η-Typ auf einem p-Typ-Halbleiter-Substrat 18
- wie in Fig. 5 gezeigt, gebildet werden, werden ein p-Kanal-MOS-Transistor
QP und ein bipolarer npn-Transistor QB in jeweiligen
Trogbereichen 19 gebildet. In diesem Fall, wenn eine p-Typ-Verunreinigung in Source- und Drain-Regionen 20
und 21 diffundiert wird, wird die Verunreinigung zur Bildung einer Basisregion 22 bei einer relativ tiefen Ubergangszonentiefe
xj diffundiert. Auf ähnliche Weise wird, wenn die p-Typ-Verunreinigung
zur Bildung von Source- und Drain-Regionen 23 und 24 eines η-Kanal-MOS-Transistors QN diffundiert
werden, wird die Verunreinigung zur Bildung einer Emitter-Region 25 und einer Kollektor-Kontakt-Region 26 bei relativ
flacher Ubergangszonentiefe χj diffundiert. Als Ergebnis
wird kein zusätzlicher Schritt zur Bildung des bipolaren Transistors zusammen mit einem CMOS-Transistor auf einem
Chip benötigt.
Bei obiger Ausführung wird, wenn die elektrischen Eigenschaften des bipolaren Transistors nicht ausreichend sind, eine
innere Basisdiffusionsstufe beim oben erwähnten Verfahren zugefügt zur Verbesserung der Parameter wie z. B. Stromübertragungsverhältnis
ßnpn und Cutoff-Frequenz fT. Anders als beim allgemeinen bipolaren Transistor hat der bipolare Transistor in Fig. 5 keinen versenkten Bereich, so daß ein interner
Kollektor-Widerstand rc zum Ansteigen tendiert. Wenn ein Emitter mit Minimal-Dimensionen von 2 χ 5 μΐη benutzt wird,
beträgt der interne Kollektor-Widerstand rc theoretisch 1 kJl.
Jedoch kann das Design des internen Kollektor-Widerstands rc verändert werden, um eine Gegenmaßnahme zu ermöglichen. Insbesondere
können die Widerstände der Kollektor-Lastwiderstände Rl und R2 (Fig. 3) so gewählt werden, daß sie hinreichend
größer sind als der interne Kollektor-Widerstand rc. Um den internen Kollektor-Widerstand rc zu erniedrigen, kann andererseits
eine Region hoher Verunreinigung 26 zum Kontakt mit der Kollektor-Region 19 so gebildet werden, daß sie die Basisregion
22 umgibt. Alternativ kann auch eine Emitterfläche vergrößert werden. Es soll ausdrücklich bemerkt werden, daß der
interne Kollektor-Widerstand rc nicht mit dem Verstärkungsfaktor e(q/kT)ÄV zusammenhängt, so daß die Leseempfindlichkeit
nicht verschlechtert wird.
Fig. 7 zeigt einen Leseverstärker gemäß e-ine-r weiteren Ausführungsform
der Erfindung. Diese Schaltung dient dazu, den Stromverbrauch einer Stromquelle I, die mit den Emittern der
Differential-Eingangs-Transistoren Q16 und Q17 in Fig. 3 und Fig. 4 verbunden ist, zu verringern. Gleiche Bezugszeichen
wie in Figuren 3 und 4 bezeichnen gleiche Teile in Fig. 7, weshalb eine detaillierte Beschreibung weggelassen wird. Die
Emitter der bipolaren Transistoren Q24 und Q25 mit jeweils mit Bit-Leitungen BLi und BLi verbundenen Basiszonen sind
mit einer zweiten Stromquelle V„s über n-Kanal-MOS-Transistoren
Q26 und Q27 jeweils verbunden, welche ein Chip-Freigabesignal
Cl" an den Gate-Elektroden erhalten. Die Emitter der
bipolaren npn-Transistören Q16 und Q17 sind mit der zweiten
Stromquelle Vcc über den Kollektor-Emitterpfad eines bipolaren
npn-Transistors Q28 und einen Widerstand R5 verbunden.
Fig. 8 zeigt eine Basis-Treiber-Schaltung (Pegelkonverter) des bipolaren npn-Transistors Q-28. Da der Auswahlpegel und der
Nicht-Auswahlpegel der MOS-Transistoren Q26 und Q27 jeweils
5 V und 0 V sind, wird das Chip-Freigabesignal' CE über zwei Inverter an die Gatter der MOS-Transistoren Q26 und Q27 geliefert,
um sie zu steuern. Da der Auswahlpegel des bipolaren Transistors Q28 bei 1,2V liegt und der Nicht-Auswahlpegel bei
0 V, wird der bipolare Transistor Q28 durch Konvertieren des Pegels des Chip-Freigabesignals CE durch den Pegelkonverter in
Fig. 8 betrieben. Der Ausgangsanschluß eines Inverters 27 zur Aufnahme des Chip-Freigabesignals CE an seinem Eingangsanschluß wird mit den Gate-Elektroden eines p-Kanal-MOS-Transistors
Q29 und eines η-Kanal-MOS-Transistors Q30 jeweils verbunden.
Ein Ende des MOS-Transistors Q29 ist jeweils mit einem
Ende des MOS-Transistors Q30 verbunden. Das andere Ende des MOS-Transistors Q29 ist mit einer ersten Stromversorgung V
■ über einen Widerstand R6 und das andere Ende des MOS-Transistors
Q30 ist mit einer zweiten Stromversorgung V35 verbunden.
Eine Serienschaltung eines bipolaren npn-Transistors Q31 und eines Widerstands R7 und R8 ist zwischen der ersten und der
zweiten Stromversorgung VpC und V33 verbunden. Der Kollektor-Emitterpfad
eines bipolaren npn-Transistors Q32 ist parallel zwischen der Source- und der Drain-Elektrode des MOS-Transistors
Q30 eingefügt. Die Basis des Transistors Q32 ist mit
einem Knotenpunkt zwischen den Widerständen R7 und R8 verbunden. Die Basis des Transistors Q31 ist mit einem Knotenpunkt
zwischen den MOS-Transistoren Q29 und Q30 und dem bipolaren
npn-Transistor Q32 verbunden. Ein Treibersignal DS für den
Transistor Q28 erscheint am Knotenpunkt.zwischen dem Emitter
des Transistors Q31 und dem Widerstand R7.
Im folgenden wird der Betrieb des Pegelkonverters mit der oben beschriebenen Anordnung beschrieben. Im Lesebetrieb werden die
aus der Speicherzelle über die Bit-Leitungen BLi und BLi ausgelesenen Daten pegelverschoben und von den Darlington-Verstärkern
mit den Transistoren Q26 und Ql6 und den Transistoren Q25
und Q17 jeweils verstärkt. In diesem Fall, da die i-te Spalten-Speicherzelle
ausgewählt wird, wird das Chip-Freigabesignal CE von hohem Pegel an die MOS-Transistoren Q26 und Q27 geliefert.
Deshalb werden die MOS-Transistoren Q26 und Q27 im ON-Zustand gehalten, und ihre ON-Widerstände werden als Konstant-Stromquelle
benutzt. Andererseits, im Standby-Betrieb, werden die MOS-Transistoren Q26 und Q27 im OFF-Zustand gehalten, und der
Stromverbrauch wird verringert. Wenn in diesem Fall das Chip-Freigabesignal CE auf hohen Pegel geht, geht der Ausgang des
Inverters 27 in der Basis-Treiber-Schaltung (Pegelkonverter) in Fig. 8 auf niedrigen Pegel. Der MOS-Transistor Q29 wird eingeschaltet
und der MOS-Transistor Q30 abgeschaltet. Dann fließt ein Strom in die Basis des Transistors Q31 über den Widerstand
R6 und den MOS-Transistor Q29, so daß der Transistor Q31 eingeschaltet
wird. In diesem ON-Zustand des Transistors Q31 fließt
' ein Strom von der ersten Stromversorgung Vcc zur Basis des
Transistors Q32 über den Transistor Q31 und den Widerstand R7, so daß der Transistor Q32 eingeschaltet wird. Ein Basisstrom
des Transistors Q31 wird geshuntet, und das Chip-FreigabesignäLCE wird vom MOS-Signalpegel auf den bipolaren Transistor-Signalpegel
in Übereinstimmung mit den ON-Widerständen der Transistoren Q31 und Q32 pegelkonvertiert. Der Transistor Q28
wird eingeschaltet, so daß der Lesebetrieb der Spannungen auf den Bit-Leitungen BLi und BLi durchgeführt wird. Die Leseaus- \
gangssignale am Knotenpunkt N4 zwischen dem Widerstand Rl und dem Transistor Q16 und am Knotenpunkt N5 zwischen dem Widerstand
R2 und dem Transistor Q17 werden an den zweiten Differentialverstärker 16 geliefert. Die Leseausgangssignale werden an
die MOS-Differential-Eingangsverstärker Q18 und Q19 des zweiten
Differentialverstärkers 16 geliefert, so daß die Verstär- ·
kung des MOS-Signalpegels vorgenommen wird. Deshalb wird, z. B.,
wenn die Spannung am Knotenpunkt N4 zwischen dem Widerstand Rl und dem Transistor Q16 auf hohem Pegel liegt, und die Spannung
am Knotenpunkt N5 zwischen dem Widerstand R2 und dem Transistör
Q17 auf niedrigen Pegel gesetzt ist, der MOS-Transistor Q19 eingeschaltet und der MOS-Transistor Q18 abgeschaltet. Eine
Spannung niedrigen Pegels wird vom Knotenpunkt N6 zwischen den MOS-Transistoren Q19 und Q21 an den CMOS-Inverter 17 geliefert.
Deshalb wird der MOS-Transistor Q22 eingeschaltet und der MOS-Transistor Q23 abgeschaltet, so daß das Ausgangssignal auf
hohen Pegel eingestellt wird. Andererseits, wenn die Spannung am Knotenpunkt N4 zwischen dem Widerstand Rl und dem Transistor
Q16 auf niedrigen Pegel eingestellt wird und die Spannung am Knotenpunkt N5 zwischen dem Widerstand R2 und dem Transistor
Q17 auf hohen Pegel eingestellt wird, wird der MOS-Transistor Q18 eingeschaltet und der MOS-Transistor Q19 abgeschaltet.
Deshalb wird ein Signal hohen Pegels an den CMOS-Inverter 17 geliefert. Der MOS-Transistor Q22 wird abgeschaltet und der
MOS-Transistor Q23 eingeschaltet. Infolgedessen wird das Ausgangssignal
auf niedrigen Pegel gestellt.
33A6529
Gemäß der oben beschriebenen Schaltungsanordnung kann der
Hochempfindlichkeits-, Hochgeschwindigkeitsbetrieb im Standby-Betrieb mit nahezu null Stromverbrauch ablaufen, wenn der
Leseverstärker auf eine Halbleitereinrichtung angewandt wird. 5
Fig. 9 zeigt einen Leseverstärker gemäß einer weiteren Ausführungsform
der Erfindung. Der Leseverstärker nach Fig. 9 ist im wesentlichen der gleiche wie der nach Fig. 7, außer
daß ein Widerstand R9 zwischen dem MOS-Transistor Q26 und der zweiten Stromversorgung V__ und ein' V/iderstand RIO zwischen
dem MOS-Transistor Q27 und der zweiten Stromversorgung Vgs
eingefügt ist. Beim Leseverstärker gemäß .dieser Anordnung dienen die MOS-Transistoren Q26 und Q27 jeweils als Emitter-Stromabschal
t-Schalter der Transistoren Q24 und Q25 im Standby-Betrieb.
Die Widerstände R9 und RIO dienen jeweils als Konstant-Stromquellen.
Bei dieser Ausführungsform kann die gleiche Wirkung wie in den vorher beschriebenen Ausführungsformen
erreicht werden.
Claims (8)
- Tokyo Shibaura Denki Kabushiki, Kaisha, Kawasaki-Shi/JapanLeseverstärkerPATENTANSPRÜCHELeseverstärker zum Liefern differentieller Eingangssignale (Vl, V2) von einer MOS-Schaltung an einen ersten Differentialverstärker (15), der den ersten Differentialverstärker (15) die differentiellen Eingangssignale verstärken läßt, und zum Liefern differentieller Ausgangssignale von dem ersten Differentialverstärker (15) an einen zweiten Differentialverstärker (16), und der den zweiten Differentialverstärker (16) die differentiellen Ausgangssignale verstärken läßt, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Differentialverstärker (15) ein Paar von Bipolar-Transistören (Q16, Q17) als differentielle Eingangselemente hat und der zweite Differentialverstärker (16) ein Paar von MOS-Transistoren (Q18, Q19) als differentielle Eingangselemente aufweist.
- 2. Verstärker nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die MOS-Schaltung Speicherzellen (llil, Ili2, ..., llij, ..., Hin) aufweist.
- - 3. Verstärker nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Differentialverstärker (15) aufweist: ein Paar von so angeordneten Bipolar-Transistoren (016, Q17), daß ein Ende eines des Paars von Bipolar-Transistoren (Q16, Q17) mit einem Ende des anderen des Paares von Bipolar-Transistoren (Q16, Q17) verbunden ist und mit Basiszonen, an die die differentiellen Eingangssignale (Vl, V2) jeweils angelegt werden; ein Paar von so angeordneten Lastelementen (Rl, R2), daß eines des Paars von Lastelementen (Rl, R2) zwischen dem anderen Ende eines des Paars von Bipolar-Transistoren (Q16, Q17) und einer ersten Stromversorgung (νηη) angeordnet ist, und das andere Ende des Paares von Lastelementen (Rl, R2) zwischen dem anderen Ende des anderen des Paars von Bipolar-Transistoren (Q16, Q17) uru der ersten Stromversorgung (Vcc) angeord- net ist; eine Stromquelle (I) zwischen einem gemeinsamen Knotenpunkt zwischen dem Paar von Bipolar-Transistoren (Q16, Q17) und einer zweiten Stromquelle (V<,_).
- 4. Verstärker nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Differentialverstärker (15) aufweist: ein Paar von ersten und zweiten Bipolar-Transistoren (Q24, Q25) mit Basiszonen, die differentielle Eingangssignale (Vl, V2) aufnehmen und jeweils ein Ende mit einer ersten Stromquelle (Vn-) verbunden haben; ein Paar von MOS-Transistoren (Q26, Q27) zwischen dem anderen Ende des ersten Bipolar-Transistors (Q24) und einer zweiten Stromversorgung (V53) und zwischen dem anderen Ende des zweiten Bipolar-Transistors (Q25) und der zweiten- Stromquelle (V55)> gesteuert in Übereinstimmung mit einem Chip-Freigabesignal (CE); ein Paar von dritten und vierten Bipolar-Transistoren (016, Q17), die mit den ersten und zweiten Bipolar-Transistoren (Q24, Q25) jeweils in Darlington-Schaltung verbunden sind und so angeordnet sind, daß ein Ende des dritten Bipolar-Transistors mit einem Ende des vierten Bipolar-Transistors (Q17) verbunden ist; ein Paar von Lastelementen (Rl, R2) zwischen dem anderen Ende des dritten Bipolar-Transistors (Q16) und der ersten Stromversorgung (Vcc) und jeweils zwischen dem anderen Ende des vierten Bipolar-Transistors (Q17) und der- ersten Stromversorgung (Vcc); eine Konstant-Stromquelle zwischen der zweiten Stromversorgung (V23) und einem gemeinsamen Knotenpunkt zwischen dem dritten und vierten Bipolar-Transistor (Q16, Q17).
5 - 5. Verstärker nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Koristant-Stromquelle aufweist: einen Bipolar-Transistor (Q28), der abhängig von einem Ausgangssignal (DS) aus einem Pegelkonverter zum Konvertieren des Chip-Freigabesignals (CE) von einem MOS-Signalpegel auf ein TTL-Signalpegel (Transistor-Transistor Logic) gesteuert wird; ein Lastelement (R5) in Reihe mit dem Bipolar-Transistor (Q28).
- 6. Verstärker nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Pegelkonverter aufweist: einen Inverter (27), der das Chip-Freigabesignal (CE) empfängt; einen ersten MOS-Transistor (Q29) einer ersten Leitfähigkeitstype, dessen eine Gate-Elektrode mit einem Ausgangsanschluß des Inverters (27) verbunden ist; einen ersten Widerstand (R6) zwischen einem Ende des ersten MOS-Transistors (Q29) und der ersten Stromversorgung (Vnn); einen zweiten MOS-Transistor (Q30) einer zweiten Leitfähigkeitstype zwischen dem anderen Ende des ersten MOS-Transistors (Q29) und der zweiten Stromversorgung (VccJf dessen eine Gate-Elektrode mit dem Ausgangsanschluß des Inverters (27) verbunden ist; einen ersten Bipolar-Transistor (Q31), von dem ein Ende mit der ersten Stromversorgung (Vcc) verbunden ist und eine Basiszone mit einem Knotenpunkt zwischen dem ersten MOS-Transistor (Q29) und dem zweiten MOS-Transistor (Q30) verbunden ist; zweite und dritte Widerstände (R7, R8) in Reihe zwisehen dem anderen Ende des ersten Bipolar-Transistors (Q31) und der zweiten Stromversorgung (V35); ein zweiter Bipolar-Transistor (Q32) parallel zwischen dem zweiten MOS-Transistor (Q30), und mit einer Basiszone, die mit einem Knotenpunkt zwischen dem zweiten und dritten Widerstand (R7, R8) verbunden ist,•
- 7. Verstärker nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der erste Differentialverstärker (15) erste und zweite Widerstände (R9, RIO) aufweist, die jeweils zwischen der ersten Stromversorgung (V ) und einem des Paars von MOS-Transistoren (Q26, Q27) und zwischen der zweiten Stromquelle (V13J3) und dem ande-DOren des Paars von MOS-Transistoren (Q26, Q27) verbunden sind.
- 8. Verstärker nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der zweite Differentialverstärker (16) aufweist: ein Paar von MOS-Transistoren (Q18, Q19), die jeweils die differentiellen Ausgangssignale von dem ersten Differentialverstärker (15) empfangen; eine Stromspiegelschaltung zum Liefern eines Konstantstroms an das Paar von MOS-Transistoren (Q18, Q19).
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8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP |
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D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |