DE2627862A1 - Elektronenstrahler - Google Patents
ElektronenstrahlerInfo
- Publication number
- DE2627862A1 DE2627862A1 DE19762627862 DE2627862A DE2627862A1 DE 2627862 A1 DE2627862 A1 DE 2627862A1 DE 19762627862 DE19762627862 DE 19762627862 DE 2627862 A DE2627862 A DE 2627862A DE 2627862 A1 DE2627862 A1 DE 2627862A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- cathode
- radiator according
- rods
- end plate
- insulating body
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
- H01J37/06—Electron sources; Electron guns
- H01J37/075—Electron guns using thermionic emission from cathodes heated by particle bombardment or by irradiation, e.g. by laser
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/315—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for welding
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
DIPU—ΙΝβ. DR. IUR. DIPL-INS.
45 Osnabrück , 21. Juni 1976
SCIAKY S.A.
, quai Jules Gueade
Vitry sur Seine (VaI de Marne), Prankreich
Elektronenstrahler
Die Erfindung betrifft einen Elektronenstrahler zur Erzeugung eines insbesondere zum Schweißen bestimmten Elektronenstrahls,
bestehend aus einer mechanischen Abstützung zur koaxialen Festlegung und elektrischen Isolierung einer Kathode, eines
Heizfadens, eines WehneltZylinders und einer Anode innerhalb
eines Rahmens.
Die Vorteile des Schweißens mit Elektronenstrahl zur Verbindung von Blechen großer Dicke, wie sie bei der Errichtung
von Druckbehältern verwendet werden, sind bekannt, da 3ie es in bezug auf andere Schweißverfahren insbesondere ermöglichen,
derartige Verbindungen mit einer begrenzten Anzahl von Schweißlagen durchzuführen. Man hat festgestellt, daß es möglich
wäre, zwei Bleche mit einer Dicke von 200 mm in einer einzigen Lage mittels eines Elektronenstrahlers stumpf zu verschweißen,
der eine Leistungsabgabe von 100 Kilowatt hat.
609882/1067
Die bekannten Elektronenstrahler der angegebenen Art sind in der Regel für einen Spannungsbereich von 150 Kilovolt ausgelegt.
Die Isolierung der wirksamen Bereiche des Strahiere wird im allgemeinen in üblicher Weise derart ausgeführt, daß diese
wirksamen Bereiche vollständig unter Vakuum gesetzt werden, wobei sich jedoch da3 Problem der Wärmeabfuhr von den Halteein*
richtungen der Kathode und der angrenzenden Bauteile stellt oder ein*Kühlkreislauf durch ölumlauf vorgesehen sein muß.
Die verschiedenen bekannten Lösungen sind mit dem Nachteil eines großen Raumbedarfs durch große Bauweise behaftet, was für ortsfeste Anlagen bzw. eine Verwendung in Laboratorien oder Arbeitsräumen
akzeptabel sein mag, nicht jedoch bei einer Verwendung solcher Strahler mit hoher Leistung in bewegbaren oder verfahr- ·
baren Anlagen, die für ein Verschweißen mittels Elektronenstrahls in Betrieben für den Schwerbehälterbau oder auf Baustellen
erforderlich sind.
Außerdem gewährleisten die Befestigungssysteme, die zur Festlegung
der Kathoden verwendet werden, und deren Formen bei den bekannten Strahlern hoher Leistung keine genaue, gegenüber
Aufheizung unempfindliche Positionierung, woraus sich im Betrieb Änderungen der Parameter ergeben.
Die Erfindung schafft hier Abhilfe und erreicht dies ausgehend von einem Elektronenstrahler der eingangs angegebenen Art dadurch
609882/1067
daß die Kathode von mehreren, aus elektrisch leitfähigem Material bestehenden Stangen in ihrer koaxialen Stellung gehalten ist
und die Stangen an ihrem einen Ende in bezug auf den Rahmen starr befestigt sind und an ihrem anderen Ende an der seitlichen
Außenwand der Kathode unter Bildung einer Klemmvorrichtung angreifen, durch die die Kathode in ihrer Stellung gehalten ist.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung sind die die Kathode abstützenden Stangen über eine Endplatte eines Isolierkörpers
starr in bezug auf den Rahmen befestigt, wobei die Endplatte ferner mittels Befestigungsgliedern und unter gegenseitiger
Isolierung den Heizdraht und den Wehneltzylinder abstützt.
Hierbei können zumindest einige der Befestigungsglieder des Heizdrahtes, des WehneltZylinders und der Kathode die Endplatte
des Isolierkörpers durchqueren und auf der dem Heizdraht, dem Wehneltzylinder und der Kathode gegenüberliegenden Seite der
Endplatte an Stromzuführungsleiter angeschlossen sein.
Gemäß einem weiteren Merkmal der Erfindung ist der Isolierkörper hohl ausgebildet, wobei zumindest einige der Befestigungsglieder
der Kathode, des Heizdrahtes und des WehneltZylinders an ihren
in das Innere des Hohlraums des Isolierkörpers hineinragenden Enden mit Kühlrippen versehen sind und eine Einrichtung zur
Erzeugung eines über die Kühlrippen streichenden Luftstroms vorgesehen
ist.
609882/1067
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen und der nachstehenden Besehreibung in Verbindung
mit der Zeichnung, in der ein Ausführungsbeispiel des Gegenstands der Erfindung veranschaulicht ist. In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 einen Schnitt durch einen Elektronenetrahler,
Fig. 2 einen Teilschnitt des wirksamen Bereichs des
Elektronenstrahlers nach Fig. 1 in vergrößertem
Maßstab,
Fig. 3 eine Ansicht von unten auf die Kathode und deren
Fig. 3 eine Ansicht von unten auf die Kathode und deren
Befestigung am Elektronenstrahler, und Fig. 4 einen Schnitt nach der Linie A-A der Fig. 3«
Die vorliegende Erfindung hat insbesondere die Schaffung einer Kathodenanordnung eines Elektronenstrahlers zur Aufgabe, die
einen geringen Raumbedarf und ein geringes Gewicht aufweist, von einem die Verwendung des Elektronenstrahlers in ortsfesten
Anlagen nicht beschränkenden Mittel gekühlt ist und einen erhöhten Wärmewirkungsgrad aufweist, indem z.B. nur eine Leistung
von 750 Watt erforderlich ist, um einen Betrieb des Elektronenstrahlers mit 100 Kilowatt zu gewährleisten.
Gemäß der Zeichnung dient das Gestell 1 aus normalem Flußstahl als Mantel für die Fokussierspulen 2a und 2b und ist durch
den Teil 3 aus rostfreiem Stahl, welcher den Kanal 4 des Elektronenstrahls ausbildet, vakuumdicht ausgeführt.
609882/1067
~ 5 -1
Auf dem Gestell 1 ist ein Bundring 5 abgedichtet .befestigt,
der den optischen Zielbereich 6 und einen Schieber 7 umschließt, der das Absperren der Beschleunigungszone 8 des Elektronenstrahls
bewirkt, wenn die Arbeitszone der freien Luft ausgesetzt ist.
Das optische Zielsystem 6 umfaßt ein Prisma 10, das mittels des DruckluftZylinders 11 einziehbar ist, sowie ein Zielfernrohr
(nicht dargestellt).
Der Schieber 7 wird mittels des Zylinders 12 betätigt. Die
Zylinder 11 und 12 wirken auf das Prisma 10 bzw. den Schieber über Gestänge 13 in der Weise ein, daß sie aus dem Weg des
Elektronenstrahls im Betrieb des Strahlers entfernt werden,
Der Ringbund 5 weist seitlich eine öffnung 14 auf, während die
bearbeitete Fläche 15 abdichtend und lösbar die Untereinheit, nämlich den Schieber 7 und das Prisma 10 sowie deren Antriebe,
aufnimmt. Da3 Gegenstück 16 ermöglicht eine einwandfreie mechanische Punktion der obigen Anordnung, indem der Überhang beseitigt
wird.
Der Ringbund 5 nimmt eine Platte 17 sowie einen Rahmen 18 auf, die mittels Schrauben 19 abgedichtet befestigt sind. Die Platte
bildet eine Abstützung für die Anode 20, die ihrerseits mittels eines Ringbundes 21 und eines Zwischenträgers 22 gehalten ist.
609882/1067
Der Rahmen l8 besitzt eine seitliche öffnung 23 für einen Anschluß
an die Pumpenanlage mittels des Leitungsflansches 24, Der Rahmen 18 nimmt ferner mit einer abgedichteten Befestigung
den Isolierkörper 25 auf, der von einem Formkörper aus einem organischen Harz gebildet ist.
Der Isolierkörper 25 dient als Abstützung für eine Endplatte
aus feuerfestem Werkstoff, die mittels einer Dichtung 27 abgedichtet festgelegt ist.
An der Platte 26 sind die Strahlungskathode 40, der Kathodenhalter
28 mittels dreier dichter Durchführungen 29, der Halter 30 des WehneltZylinders 32 mittels dreier dichter
Durchführungen 31, wobei der Wehneltzylinder 32 seinerseits mittels der Mutter 33 gehalten ist und eine dem erzeugten
Elektronenstrahl entsprechende Form besitzt, sowie der Halter 34 des Primärfadens bzw. -drahtes 35 befestigt, dessen Klemmen
einerseits am Halter 34 und andererseits am Teil 36 angeschlossen sind, wobei der Halter 34 mittels der Mutter 37
und der Beilagscheibe 38 in durch die Dichtung 39 abgedichteter Weise an der Platte 26 gehalten ist.
Die Hochspannung wird mittels eines Kabels 4l mit vier Leitern
4I1 zugeführt, die die verschiedenen wirksamen Teile des
Strahlers versorgen, d.h. den primären Heizdraht mittels zweier Leiter, dgn. Hauptanschluß mit einer der drei Klemmen
609882/1067
bzw. Klemmschrauben 29 des Kathodenhalters und d:en Wehneltzylinderanschlüii-
\ mit einer der drei Klemmschrauben 31 für die Befestigung dessen Halters.
Die elektris6hen Verbindungen der vier Leiter H mit den entsprechenden
Anschlüssen 29,31,34 und 36 sind mit Hilfe von
Klemmen 42 mit Federn 42.,, die an einem aus "organischem Kunstharz
geformten Halter 43 befestigt sind, elastisch ausgebildet.
Der Halter 43 ist an einem Silikonisolator 44 befestigt, der
den Isolierkörper des Hochspannungszuführungskabels bildet.
Der Isolator 44 und das Kabel 41 sind durch die Metallverkleidung
45 und die Kabelstopfbuchse 45.. vereinigt, wobei die Hochspannungszuführungsleitung am Rahmen 18 befestigt
ist.
Die Anordnung des Kabels 41 in bezug auf den Isolator 44 bringt den Raum 46 einerseits durch die Kanäle 47 und 48 mit dem
Anschlußetutzen 4g und andererseits durch den in den Halter 43
eingearbeiteten Kanal 50 mit der Zone 51 in Verbindung,
Die Verkleidung 45 bildet zwischen den Isolierkörpern 44 und 25
einen spaltförmigen Raum 52 aus, der durch die Kanäle 53 mit
der Umgebungsluft und durch den Kanal 54 mit der Zone 51 verbunden
ist.
609882/ 1067
Ein Trockenlufterzeuger 4g gibt über den Anschlußstutzen 4g
einen Luftstrahl ab, der aufeinanderfolgend durch die Kanäle 48 und 47, den Raum 46 sowie den Kanal 50 strömt, die Zone 51
unter Kühlung der Rippen 31 , 2«^ und 34 der Durchführungen
31,29 und 34 bestreicht und sodann in die Umgebungsluft unter Durch3trömung des Kanals 54, des Ringraums 52 und des Kanals 53
entweicht.
Zwischen dem Kanal 50 und der Zone 51 wird der Luftstrom durch eine Leitplatte 55 gelenkt.
In den Fig. 3 und 4 ist die Kathode 40 und ihre Befestigung
in bezug auf den Halter 28 dargestellt, die drei Wolfrarästangen 56 und die Metallbacken 57 umfaßt, die die Stangen 56 über
Blöcke 58 aus feuerfestem Material am Halter 28 festlegen, wobei die Anordnung in bezug auf die optische Achse 59 des
Strahlers rotationssymmetrisch ist.
Wie die Zeichnungen zeigen, besitzt die Kathode 40 eine Ringnut 4O1, in der die drei mit einem gegenseitigen Winkelabstand
von 120° angeordneten Stangen 56 tangential angelegt sind,
um einerseits die Einspannung der Kathode zu erreichen und andererseits nur eine punktförmige Berührung der Kathode mit
den Stangen herbeizuführen.
tr
Diese Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Strahlers ermöglicht
609882/1067
es, den Temperaturanstieg der Teile, die der Kathode zugeordnet und/oder benachbart sind, herabzusetzen, so daß es möglich ist,
die Abmessungen des Strahlers zu verringern und folglich bewegbare bzw. verfahrbare Schweißanlagen zu schaffen.
Außerdem ermöglicht es diese Ausgestaltung, eine präzise, gegenüber Erwärmung unempfindliche Einstellung der Kathode zu erreichen.
Es versteht sich, daß die Erfindung nicht auf das oben beschriebene
und dargestellte Ausführungsbeispiel beschränkt ist, von dem ausgehend andere Ausführungsformen geschaffen werden können,
ohne den Rahmen der Erfindung zu verlassen.
609882/1067
Claims (14)
- Patentansprüche:1J Elektronenstrahler zur Erzeugung einee insbesondere zum Schweißen bestimmten Elektronenstrahls, bestehend aus einer mechanischen Abstützung zur koaxialen Festlegung und elektrischen Isolierung einer Kathode, eines Heizfadens, einee Wehneltzylinders und einer Anode innerhalb eines Rahmens, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode (40) von mehreren, aus elektrisch leitfähigem Material bestehenden Stangen (56) in ihrer koaxialen Stellung gehalten ist und die Stangen an ihrem einen Ende in bezug auf den Rahmen (18) starr befestigt sind und an ihrem anderen Ende an der seitlichen Außenwand der Kathode unter Bildung einer Klemmvorrichtung angreifen, durch die die Kathode in ihrer Stellung gehalten ist.
- 2. Strahler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die die Kathode (40) abstützenden Stangen (56) über e±n& Endplatte (26) eines Isolierkörpers (25,44) starr in bezug auf den Rahmen (18) befestigt sind und daß die Endplatte ferner mittels Befestigungsgliedern und unter gegenseitiger Isiierung den Heizdraht (35) und den Wehneltzylinder (32) abstützt,
- 3. Strahler nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest einige der Befestigungsglieder de3 Heizdrahtes (35), des WehneltZylinders (32) und der Kathod· (40) die Endplatte (26) des Isdierkörpers (25,44) durchqueren609882/1067und auf der dem Heizdraht, dem Wehneltzylinder und der Kathode gegenüberliegenden Seite der Endplatte an Stromzuführung3-leiter (41.,) angeschlossen sind.
- 4. Strahler nach einem oder mehreren der Ansprüche 1bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Isolierkörper (25,44) hohl ausgebildet ist und zumindest einige der Befestigungsglieder (29,31,34) der Kathode (40), des Heizdrahtes (35) und des WehneltZylinders (32) an ihren in das Innere des Hohlraums des Isolierkörpers hineinragenden Enden mit Kühlrippen (29.,, 31^,34.) versehen sind und eine Einrichtung zur Erzeugung einee über die Kühlrippen streichenden Luftstroms vorgesehen ist.
- 5. Strahler nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Isolierkörper (25,44) in seinem Hohlbereich mit einer Halteplatte (43) mit Klemmen (42) versehen ist, die einerseits an die Stromzuführungsleiter (4l.) und andererseits an die Befeetigungs- und Ver3orgung3glieder (29,31,34) angeschlossen sind.
- 6. Strahler nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Klemmen (42) der Halteplatte (43) für einen elastischen elektrischen Kontakt mit den Befestigungsgliedern mit Federn versehen sind.
- 7. Strahler nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Isolierkörper (25,44)609882/1067von zwei Teilen gebildet ist, von denen der eine (44) die Halteplatte (43) für die Klemmen (42) und der andere (25) die Endplatte (26) abstützt, und daß in der Halteplatte (43) ein Kanal (50) vorgesehen ist, während zwischen den beiden Teilen des Isolierkörpers ein spaltförmiger Raum (52) für einen Kreislauf von Kühlluft über die Kühlrippen (2JJ1,31-,32L) gebildet ist,
- 8. Strahler nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die an der Kathode (40) angreifenden Stangen (56) aus Wolfram bestehen.
- 9. Strahler nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Endplatte (26) aus feuerfestem Material besteht.
- 10. Strahler nach einem oder mehreren der Ansprüche Ibis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Kathode (40)eine die Enden der Stangen (56) aufnehmende Umfangsnut (4O1) aufweist.
- 11. Strahler nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß drei Stangen (56) vorgesehen sind, die mit einem gegenseitigen Abstand von 120° angeordnet sind.
- 12. Strahler nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Stangen (56) an der Seitenwand der Kathode (40) tangential in Anlage gehalten sind.609882/1067
- 13· Strahler nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Stangen (56) mit dem Befestigungsorgan an der Endplatte (26) über Blöcke (58) aus feuerfestem Material verbunden sind.
- 14. Strahler nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 13j dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung für einen Kreislauf trockener Luft durch den spaltförmigen Raum (52) vorgesehen ist.609882/ 1Qß7
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR7519604A FR2315766A1 (fr) | 1975-06-23 | 1975-06-23 | Canon a electrons |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2627862A1 true DE2627862A1 (de) | 1977-01-13 |
DE2627862C2 DE2627862C2 (de) | 1986-01-23 |
Family
ID=9156881
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2627862A Expired DE2627862C2 (de) | 1975-06-23 | 1976-06-22 | Elektronenstrahler |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4057746A (de) |
DE (1) | DE2627862C2 (de) |
FR (1) | FR2315766A1 (de) |
GB (1) | GB1556405A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3534792A1 (de) * | 1985-09-30 | 1987-04-02 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Elektronenstrahlerzeuger mit einer direkt und einer indirekt beheizbaren katode |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4340837A (en) * | 1980-01-10 | 1982-07-20 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Low volume, lightweight, high voltage electron gun |
DE3029624A1 (de) * | 1980-08-05 | 1982-03-11 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Hochspannungsdurchfuehrung |
EP0196710A1 (de) * | 1985-03-28 | 1986-10-08 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Elektronenstrahlgerät dessen Anode in der Kathode-/Wehnelt-Zylindereinheit eingeschlossen ist |
CA1286769C (en) * | 1988-01-07 | 1991-07-23 | Hans Joachim Kolpin | Electron gun design |
DE19537229C1 (de) * | 1995-10-06 | 1997-01-30 | Saechsische Elektronenstrahl G | Strahlerzeuger für eine Axial-Elektronenkanone |
US6252339B1 (en) * | 1998-09-17 | 2001-06-26 | Nikon Corporation | Removable bombardment filament-module for electron beam projection systems |
US8159118B2 (en) * | 2005-11-02 | 2012-04-17 | United Technologies Corporation | Electron gun |
UA113827C2 (xx) * | 2016-09-07 | 2017-03-10 | Аксіальна електронна гармата |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1337385A (fr) * | 1962-07-30 | 1963-09-13 | Applic Electro Thermiques Soc | Canon à électrons à haute puissance |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE842375C (de) * | 1950-09-08 | 1952-06-26 | Siemens Ag | Elektronenroehre mit Gluehkathode |
US3187216A (en) * | 1961-05-12 | 1965-06-01 | Welding Research Inc | Electron gun having a releasably clamped electron emitting element |
FR1348046A (fr) * | 1962-02-17 | 1964-01-04 | Heraeus Gmbh W C | Cathode incandescente |
NL6513665A (de) * | 1965-10-22 | 1967-04-24 | ||
GB1161877A (en) * | 1965-11-03 | 1969-08-20 | Emi Ltd | Improvements relating to Electron Discharged Devices, especially Klystrons. |
CH452067A (de) * | 1965-12-14 | 1968-05-31 | Steigerwald Strahltech | Elektronenstrahl-Erzeugungsvorrichtung |
FR1514813A (fr) * | 1967-03-17 | 1968-02-23 | Lokomotivbau Elektrotech | Dispositif cathodique à cathode massive à grande surface en hexaborure de lanthanepour générateur de rayons électroniques |
US3609400A (en) * | 1969-11-03 | 1971-09-28 | Philco Ford Corp | Plural electron gun assembly |
US3681643A (en) * | 1970-10-15 | 1972-08-01 | Philips Corp | Cathode-system in which the cathode is supported by prestressed wires |
-
1975
- 1975-06-23 FR FR7519604A patent/FR2315766A1/fr active Granted
-
1976
- 1976-06-17 GB GB25131/76A patent/GB1556405A/en not_active Expired
- 1976-06-22 DE DE2627862A patent/DE2627862C2/de not_active Expired
- 1976-06-24 US US05/699,246 patent/US4057746A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1337385A (fr) * | 1962-07-30 | 1963-09-13 | Applic Electro Thermiques Soc | Canon à électrons à haute puissance |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3534792A1 (de) * | 1985-09-30 | 1987-04-02 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Elektronenstrahlerzeuger mit einer direkt und einer indirekt beheizbaren katode |
EP0217210A2 (de) * | 1985-09-30 | 1987-04-08 | Leybold Aktiengesellschaft | Elektronenstrahlerzeuger mit einer direkt und einer indirekt beheizbaren Katode |
EP0217210A3 (en) * | 1985-09-30 | 1988-11-23 | Leybold Aktiengesellschaft | Electron beam gun with directly and indirectly heated cathodes |
US4803398A (en) * | 1985-09-30 | 1989-02-07 | Leybold-Heraeus Gmbh | Electron gun with one directly heatable and one indirectly heatable cathode |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2315766B1 (de) | 1980-08-29 |
DE2627862C2 (de) | 1986-01-23 |
GB1556405A (en) | 1979-11-21 |
US4057746A (en) | 1977-11-08 |
FR2315766A1 (fr) | 1977-01-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE69001653T2 (de) | Elektronenstrahl-erzeuger. | |
DE69430088T2 (de) | Röntgenstrahlen-Beugungsgerät mit Kühlmittel-Verbindung zur Röntgenröhre | |
DE3222511A1 (de) | Feinfokus-roentgenroehre und verfahren zur bildung eines mikrofokus der elektronenemission einer roentgenroehren-gluehkathode | |
EP0061612B1 (de) | Hochstromleitungssystem für Elektroöfen | |
DE2228294A1 (de) | Vakuumröhre zur Erzeugung-eines breiten Elektronenstrahls | |
DE2627862A1 (de) | Elektronenstrahler | |
DE1615198C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Verschweißen zweier rohrförmiger Bauteile | |
DE2307822B2 (de) | Supraleitendes Linsensystem für Korpuskularstrahlung | |
DE3333686C2 (de) | ||
DE69028620T2 (de) | Röntgenröhre mit Austrittsfenster | |
EP0217210B1 (de) | Elektronenstrahlerzeuger mit einer direkt und einer indirekt beheizbaren Katode | |
EP0933982B1 (de) | Gerät mit einem Plasmaerzeuger | |
DE2528032C2 (de) | Elektronenstrahlerzeuger für Heiz-, Schmelz- und Verdampfungszwecke | |
DE2154398C3 (de) | Spannungstransformator zur vertikalen Aufstellung mit einem gestreckten Magnetkern | |
EP1212768B1 (de) | Vorrichtung zur innendruckmessung, spannungskonditionierung und stromkonditionierung von vakuumschaltröhren und verfahren hierfür | |
EP4063058B1 (de) | Stromquellenmodul für fügeverfahren | |
DE2264966C3 (de) | Elektronenstrahlerzeugungssystem zum Erwärmen von Stoffen mittels gebündelter Elektronenstrahlen im Vakuum | |
DE19537229C1 (de) | Strahlerzeuger für eine Axial-Elektronenkanone | |
DE2657114C2 (de) | Beschleunigungssystem für ein Bündel geladener Teilchen in einer Elektronen- oder Ionenstrahlkanone | |
DE1149115B (de) | Feinfokus-Roentgenroehre | |
DE9106309U1 (de) | Schaltkammer für einen metallgekapselten Druckgasschalter | |
DE1514782C3 (de) | Elektronenstrahl-Erzeugungssystem | |
DE873873C (de) | Anordnung an Entladungsgefaessen zur vakuumdichten Verbindung | |
DE2139250C3 (de) | Ionenquelle mit einer unselbständigen Gasentladung zwischen einer ringförmigen Glühkathode und einer Anode | |
DE2725741C3 (de) | Elektronenstrahlerzeugungssystem mit linienförmiger Glühkatode zur Elekktronenstrahlerwärmung von Werkstoffen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |