DE2242355B1 - Elektronischer Mehrkoordinatentaster - Google Patents
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Description
Die Erfindung betrifft einen elektronischen Mehrkoordinatentaster mit einem Tastkopf, der gleichzeitig
einen oder mehrere Taststifte tragen kann, zum Antasten von mehrdimensionalen Gegenständen,
vorzugsweise auf Koordinatenmeßmaschinen.
Es sind Vorrichtungen zum Antasten von Körpern in zwei oder mehr in Richtungen bekannt, bei denen
die Antastrichtung eines Taststiftes mit Hilfe reibungsarm gelagerter Gelenke ©der Führungen, wie
Federgelenke, Luftlager od. dgl. in einer anderen Richtung umgelenkt werden kann. Derartige Vorrichtungen
können auch so ausgebildet sein, daß sowohl in der einen als auch — nach einer Umschaltung
— in der anderen Richtung angetastet werden kann.
Diese Tasteinrichtungen haben jedoch den Nachteil, daß beim Umschalten der Tasteinrichtung der
Koordinatennullpunkt des Tastsystemes im allgemeinen verloren geht und über Hilfspunkte wieder neu
eingestellt werden muß. Außerdem ist bei dieser Art von Tasteinrichtungen ein Antasten in einer schrägen
Richtung und einer gleichzeitigen Signalabgabe in zwei oder mehr zueinander senkrecht stehenden Bezugsrichtungen
nicht möglich.
Es sind auch Vorrichtungen bekanntgeworden, bei denen zwei elektrische Signalgeber verwendet
werden, um ohne Umschalten oder Umlenken die Koordinatenpunkte eines Körpers in durch die zwei
Signalgeber festgelegten Koordinatenrichtungen anzutasten.
Diese bekannten Vorrichtungen können aber das zu vermessende Objekt nur von einzelnen außenlie-
3 4
genden Seitenflächen aus antasten und daher Längen- b) daß richtungs- und lageempfindliche elektrische
messungen nur in einer vorher festzulegenden Seiten- Signalgeber eingebaut sind, die ebenfalls ein torfläche
des Objektes durchführen. Bei mehrdimensio- sionssteifes Koordinatensystem bilden,
nalen Körpern die in den meisten Fällen auch noch c) daß motorisch feinverstellbare, in der Führungsverdeckte - oder innenhegende - Meßflachen RiI- 5 rich der jeweiH Geradführung wirkeifde len, Nuten, Hohlecken oder schragliegende Bohrun- Präzisionsgesperre eingebaut sind, welche die gen haben, besteht aber der Wunsch in einer einzi- L der Koordinaten-Nullpunkte der Geradgen Werkstuckaufspannung gleichzeitig ale Seiten- führungssysteme und die Nullpunktslage der flachen mit Ausnahme der Aufspannflache des elektrischen Signalgeber automatisch auf Über-Werkstuckes antasten zu können, to einstimmung einregeln,
nalen Körpern die in den meisten Fällen auch noch c) daß motorisch feinverstellbare, in der Führungsverdeckte - oder innenhegende - Meßflachen RiI- 5 rich der jeweiH Geradführung wirkeifde len, Nuten, Hohlecken oder schragliegende Bohrun- Präzisionsgesperre eingebaut sind, welche die gen haben, besteht aber der Wunsch in einer einzi- L der Koordinaten-Nullpunkte der Geradgen Werkstuckaufspannung gleichzeitig ale Seiten- führungssysteme und die Nullpunktslage der flachen mit Ausnahme der Aufspannflache des elektrischen Signalgeber automatisch auf Über-Werkstuckes antasten zu können, to einstimmung einregeln,
Bei einer dieser Vorrichtung mit zwei Signalgebern ö
wird eine kegelige oder zylindrische Meßsonde ver- cl) daß Mittel zur definierten Meßkraftvorgabe in
wendet, die zwangsweise in eine Bohrung einge- allen einzelnen Führungsrichtungen vorgesehen
drückt wird, wodurch das Zentrum der Bohrung an- smd-
gesprochen werden soll. Dieses Verfahren funktio- 15
niert nur, wenn die Achse der Sonde parallel zur In Weiterführung dieses grundlegenden Erfin-
Achse der Bohrung ist, was in den meisten Fällen dungsgedankens werden als spiel- und reibungsfreie
nicht vorausgesetzt werden kann. Außerdem führt es Geradführungssysteme beispielsweise Federparallelo-
bei Unsauberkeiten oder Gratbildungen des Boh- gramme verwendet.
rungseinlaufes, die in der Praxis nicht zu vermeiden ao Die elektrischen Signalgeber sind vorzugsweise als
sind, zu Versetzung der Meßsonde gegenüber der ef- Längenmeßgeber ausgebildet.
fektiven Bohrungsachse. Auch ist bei dieser Vorrich- Die Signale der elektrischen Signalgeber können
tung keine Torsionssteife der mechanischen Halte- auch zur Positionierung eines oder mehrerer Koordirung
der Meßsonde gegeben. Die Meßsonde kann so- natenschlitten in die Nullposition des Tasters verzusagen
frei in einer Ebene schwimmen. Dies ist aber »5 wendet werden. Desgleichen können die elektrischen
für die Antastung von schrägen Flächen ungeeignet, Signalgeber im Nulldurchgang einen Festhalte- oder
da die Meßsonde wegen der fehlenden Richtungs- Speicherbefehl an eine Verschiebungs- oder Impulssteife
Undefiniert nach verschiedenen Richtungen zähleinrichtung abgeben, um ohne positionieren im
ausweichen kann. Nullpunkt eine dynamische Messung während der
Eine andere bekannte Vorrichtung verwendet zur 30 Verschiebung des Werkstückes zu ermöglichen.
Messung in einer Richtung eine Geradführung, in der In weiterer Ausgestaltung der Erfindung werden anderen Richtung aber einen Umlenkhebel. Da der die Antastrichtungen der Taststifte durch Kodierung Hebel einen bestimmten Radius hat, darf die Um- der Richtungssignale der Signalgeber zur Weiterverwandlung der Längenbewegung in eine Winkelbewe- arbeitung in einem mit dem Tastkopf verbundenen gung zum Zwecke der Längenmessung nur bei einem 35 Rechner übertragen. Mit der Zuführung der Anbestimmten Abstand der Taststiftspitze vom Biegege- tastrichtung erhält der Rechner eine Information über lenk erfolgen. Verwendet man einen anderen Tast- die jeweilige Relativlage der kugelförmigen Taststiftstift mit beispielsweise anderer Hebellänge, dann spitze zur Werkstückfläche. Durch diese Anordnung muß die Einrichtung jeweils auf diesen Taststift neu wird bei jedem Antastvorgang der wirksame Kugelgeeicht werden. 40 radius der Taststiftspitze vorzeichenrichtig addiert,
Messung in einer Richtung eine Geradführung, in der In weiterer Ausgestaltung der Erfindung werden anderen Richtung aber einen Umlenkhebel. Da der die Antastrichtungen der Taststifte durch Kodierung Hebel einen bestimmten Radius hat, darf die Um- der Richtungssignale der Signalgeber zur Weiterverwandlung der Längenbewegung in eine Winkelbewe- arbeitung in einem mit dem Tastkopf verbundenen gung zum Zwecke der Längenmessung nur bei einem 35 Rechner übertragen. Mit der Zuführung der Anbestimmten Abstand der Taststiftspitze vom Biegege- tastrichtung erhält der Rechner eine Information über lenk erfolgen. Verwendet man einen anderen Tast- die jeweilige Relativlage der kugelförmigen Taststiftstift mit beispielsweise anderer Hebellänge, dann spitze zur Werkstückfläche. Durch diese Anordnung muß die Einrichtung jeweils auf diesen Taststift neu wird bei jedem Antastvorgang der wirksame Kugelgeeicht werden. 40 radius der Taststiftspitze vorzeichenrichtig addiert,
Ferner ist bereits eine Vorrichtung vorgeschlagen und es können die Werkstückpunkte direkt ohne subworden,
bei der ein Taster gleichzeitig seine nach jektive Entscheidung des Messenden berechnet werden
drei Koordinatenachsen zerlegte Bewegung mit- den.
tels eines Tastarmes auf zwei in der X- bzw. Der besondere Vorteil der erfindungsgemäßen
Y-Achse elastisch deformierbare Parallelogramme 45 Ausbildung eines elektronischen Mehrkoordinatentamit
starren Brücken, deren Relativlagen von Meß- sters besteht darin, daß man hiermit auch schwer zufühlem
registriert werden, überträgt. Dabei wird die gängliche Meßflächen mit äußerster Präzision ausBewegung
des Meßtasters in einer dritten Koordina- messen kann. Dabei werden die durch mechanische
tenrichtung (y-Achse) unmittelbar auf einen weiteren Verschleißerscheinungen oder thermischer Verfor-Meßfühler
gegeben. Auch dieser Vorrichtung haftet, 50 mung der Geradführungssysteme hervorgerufenen
wie auch allen übrigen bekannten Vorrichtungen, Veränderungen der mechanischen Nullpunktslage
noch der Nachteil an, daß hierbei die in der Praxis automatisch kompensiert, ohne daß man nachzueinicht
zu vermeidenden Änderungen der relativen chen braucht, was eine erhebliche Steigerung der
Nullpunktslagen der Geradführung- und Meßsy- Meßgenauigkeit selbst unter erschwerten Bedingunsteme
weder erfaßt noch kompensiert werden, was 55 gen gewährleistet. Außerdem ist hierbei eine weitgeauf
Kosten der Genauigkeit der Meßergebnisse geht. hende Automation des Meßvorganges unter Einbe-
Ziel der Erfindung ist es, einen elektronischen ziehung von elektronischen Rechnern möglich.
Mehrkoordinatentaster höchster Genauigkeit mit um- Die Erfindung sei nun an Hand der in den F i g. 1
fassenden Einsatzmöglichkeiten zu schaff en. bis 5 dargestellten Ausführungsbeispielen näher er-
Erreicht wird dieses nach der Erfindung durch die 60 läutert.
Kombination folgender Merkmale: In Fig. 1 ist der prinzipielle Aufbau der Führungssysteme
eines Tastkopfes nach der Erfindung dargestellt.
a) daß der Tastkopf aus einer torsionssteifen An- Die Taststiftaufnahme 1, welche beispielsweise
einanderreihung von spiel- und reibungsfreiem 65 eine Reihe von sternförmig angeordneten, beliebig
Geradführungssystem besteht, die miteinander auswechselbaren Taststiften 2 trägt, ist über ein vier
ein definiertes ebenes oder räumliches Koordi- Blattfedern 3 a besitzendes Federparallelogramm 3
natensystem bilden, mit der Platte 4 verbunden. Letztere ist andererseits
über ein weiteres Federparallelogramm 5, deren 22 ist mit der Taststiftaufnahme 1 verbunden. Diese
Blattfedern Sa um 90° versetzt angreifen, an dem Einrichtung zum automatischen Gewichtsausgleich
Winkelstück 6 befestigt. wird von dem Motor 19 betätigt, der seinerseits von
Das Winkelstück 6 hängt schließlich über ein drit- einem noch zu beschreibenden Signalgeber gesteuert
tes Federparallelogramm 7, welches horizontal lie- 5 wird, der die Lage des in der Z-Richtung bewegligende
Blattfedern 7 α enthält, an dem Verbindungs- chen Parallelogramms 7 erfaßt,
stück 8, welches mit dem Oberteil 9 starr verbunden Jedes einzelne der in den F i g. 1 und 2 dargestellist. · ■ ten Federparallelogramme 3, 5,7 enthält bei der er-
stück 8, welches mit dem Oberteil 9 starr verbunden Jedes einzelne der in den F i g. 1 und 2 dargestellist. · ■ ten Federparallelogramme 3, 5,7 enthält bei der er-
Durch diese torsionssteife Aneinanderreihung findungsgemäßen Ausführung des Tastkopfes noch
dreier spiel- und reibungsfreier Geradführungssy- io weitere, in den F i g. 3 bis 5 dargestellte, zusätzliche
steine wird ein mechanisches Koordinatensystem Einrichtungen, die in geeigneter Weise neben- oder
XYZ aufgespannt. Hierin ist beispielsweise das hintereinander an den einzelnen Parallelogrammen
Winkelstück 6 parallel zur Z-Richtung, die Platte 4 befestigt sind.
parallel zur Z- und Z-Richtung und schließlich die In den F i g. 3 bis 5 sind diese Zusatzeinrichtungen
Taststiftaufnahme 1 parallel zu der X-, Y- und 15 jeweils nur für ein beliebig herausgegriffenes Paralle-
Z-Richtung beweglich. logramm aufgezeigt, da diese für alle übrigen Paral-
AIs Anwendungsbeispiel ist in F i g. 2 die Anta- lelogramme völlig identisch sind,
stung einer gekrümmten Fläche 101 eines Werkstük- In der F i g. 3 ist beispielsweise das Federparallelokes 100 dargestellt, das beispielsweise an seiner gramm 3 der F i g. 1 und 2 herausgegriffen.
Fläche 102 auf dem Tisch einer Koordinatenmeßma- 20 In der F i g. 3 ist ein in der Führungsrichtung des schine aufgespannt ist. Aus dem Beispiel erkennt Parallelogramms wirkendes Gesperre eingezeichnet, man, daß auch andere, schwer zugängliche Meßflä- welche im wesentlichen der Ausführungsform des in chen des Werkstückes von der erfindungsgemäßen der Patentanmeldung 22 42 356.9 der Anmelderin beEinrichtung angetastet werden können, ohne daß das schriebenen Präzisionsgesperres entspricht. Das par-Werkstück oder die Tasteinrichtung umgespannt as allel zum Teil 4 bewegliche Teill trägt einen Rastwerden muß. körper 30 mit einer V-förmigen Rastnut, in die die an
stung einer gekrümmten Fläche 101 eines Werkstük- In der F i g. 3 ist beispielsweise das Federparallelokes 100 dargestellt, das beispielsweise an seiner gramm 3 der F i g. 1 und 2 herausgegriffen.
Fläche 102 auf dem Tisch einer Koordinatenmeßma- 20 In der F i g. 3 ist ein in der Führungsrichtung des schine aufgespannt ist. Aus dem Beispiel erkennt Parallelogramms wirkendes Gesperre eingezeichnet, man, daß auch andere, schwer zugängliche Meßflä- welche im wesentlichen der Ausführungsform des in chen des Werkstückes von der erfindungsgemäßen der Patentanmeldung 22 42 356.9 der Anmelderin beEinrichtung angetastet werden können, ohne daß das schriebenen Präzisionsgesperres entspricht. Das par-Werkstück oder die Tasteinrichtung umgespannt as allel zum Teil 4 bewegliche Teill trägt einen Rastwerden muß. körper 30 mit einer V-förmigen Rastnut, in die die an
In dem im Schnitt dargestellten Ausführungsbei- einem Hebel 31 befindliche Rastkugel 32 einrasten
spiel nach F i g. 2 sind außer den in F i g. 1 bereits kann.
beschriebenen Teilen, die hier mit gleichen Bezugs- Durch Kugel und V-Nut ist an sich die Relativlage
zeichen versehen sind, noch die Mittel zur Erzeugung 30 zwischen den Teilen 4 und 1 des Federparallelo-
und Eingabe der Meßkraftvorgabe, sowie ein auto- gramms 3 der F i g. 1 und 2 formschlüssig gesperrt,
matischer Gewichtsausgleich in der Z-Richtung für Gleiche Präzisionsgesperre besitzen die Führungs-
die Führungssysteme nebst Taststiften und Taststift- systeme 5 und 7 in den F i g. 1 und 2, wodurch ein
aufnehmer eingezeichnet. mechanisch geometrischer Nullpunkt des Tastkopfes
Im Oberteil 9 des Tastkopfes 10 sind beispiels- 35 10 festgelegt wird.
weise drei Tauchspulsysteme angeordnet, deren Wie noch gezeigt wird, müssen in jedem der Füh-
Ringspaltmagnete 11, 11', 11" im Oberteil 9 festste- rungssysteme die formschlüssigen Raststellungen zu-
hend gelagert sind und deren Tauchspulen 12, 12', sätzlich nachgestellt werden, wozu eine elastisch ki-
12" aus einer mittleren Nullage heraus, je nach nematische Vorrichtung mit den Teilen 31 bis 36
Stromrichtung des in die Tauchspulen eingegebenen 40 dient.
Stromes, in den Ringspalt der Magnete hereingezo- Der Hebel 31 ist in einer an dem Teil 4 befestigten
gen oder herausgedrückt werden. Die Stromzufüh- Halterung 33 um eine senkrecht zur Zeichenebene
rung jeder einzelnen Tauchspule kann wahlweise ein- liegende Achse .4 drehbar gelagert. Am vorderen
oder ausgeschaltet bzw. entsprechend elektronisch Ende des Hebels 31 ist eine Blattfeder 34 befestigt,
gesteuert werden, um definierte Meßkräfte zu erzeu- .45 Das hintere Ende der Blattfeder 34 hegt an den Nokgen.
Die Bewegungen der Tauchspule 12 werden ken 35 einer Nockenscheibe 36 an. Die Nockenmittels
des im Oberteil 9 um die Achse 13 drehbar scheibe 36 ist durch einen nicht mehr eingezeichnegelagerten
Hebels 14 und weiterer elastisch miteinan- ten Elektromotor in den Richtungen des Doppelpf eider
verbundenen Übertragungselemente 15, 16, 17 les 37 verdrehbar. Bei einer Drehung der Nockenauf
die Taststiftaufnahme 1 übertragen. Das Ubertra- -50 scheibe 36 wird bei einem Hub des Nockens 35 die
gungselement 16 ist hier beispielsweise mittels eines Feder 34 verbogen, wodurch sich eine zusätzliche
elastischen Wellrohres 18 im Boden 9 α des Oberteils Lageverstellung der Rastkugel und damit auch der
allseitig schwenkbar gelagert. Das Tauchspulensy- durch Kugel und V-Nut geklemmten Relativlage zwistem
11,12 erzeugt hier eine Meßkraftvorgabe in der sehen Teil 4 und Teil 1 erzielen läßt.
Y-Richtung. Das Tauchspulensystem 11', 12' ver- 55 In der Fig.4 ist wiederum das Federparalleloschwenkt durch eine geeignete Hebelübertragung, die gramm 3 herausgegriffen, was stellvertretend für alle der besseren Übersicht wegen hier nicht eingezeich- übrigen 5,7 steht.
Y-Richtung. Das Tauchspulensystem 11', 12' ver- 55 In der Fig.4 ist wiederum das Federparalleloschwenkt durch eine geeignete Hebelübertragung, die gramm 3 herausgegriffen, was stellvertretend für alle der besseren Übersicht wegen hier nicht eingezeich- übrigen 5,7 steht.
net ist, das Übertragungselement 16 im elastischen Hierin ist nun ein lage- und richtungsempfindli-
Wellrohr 18 senkrecht zur Zeichenebene und erzeugt eher Signalgeber, z. B. ein induktiver Meßgeber, ein-
so die Meßkraftvorgabe in der X-Richtung. Das '60 gebaut, dessen Spulensysteme 40 mit dem Teil 4 starr
Tauchspulensystem 11", 12" schließlich greift über verbunden sind, während der zugehörige Kern 41 am
das Übertragungselement 17a auf das Winkelstück Teill starr befestigt ist. Der Signalgeber ist so be-
16 an und schafft somit eine Meßkraftvorgabe in der schaffen, daß er bei einer bestimmten relativen Lage
Z-Richtung. der Teile 4 und 1 keine Spannung abgibt. Diese Lage
Ferner ist im Oberteil eine über einen Motor 19 65 definiert den »elektrischen« Nullpunkt in der Füh-
angetriebene Gewindespindel 20 gelagert, deren zu- rungsrichtung des Federparallelogrammes 3. In glei-
geordnete Spindelmutter 21 mit einer Spiralfeder 22 eher Weise haben die Federparallelogramme 5 und 7
in Verbindung steht. Das untere Ende der Spiralfeder elektrische Nullpunkte, die zusammen den ebenen
bzw. raumlichen »elektrischen« Nullpunkt des gesamten
Tastkopfes definieren. Dieser elektrische Nullpunkt wird im allgemeinen nicht mit dem, durch
die Klemmeinrichtungen 30 und 31 bestimmten, mechanisch geometrischen Nullpunkt übereinstimmen.
Um diese Übereinstimmung zu erreichen, werden Signale der induktiven Meßgeber zur motorischen
Nachstellung der Raststellung mit einem an der Nokkenscheibe 36 angeflanschten, hier nicht dargestellten
Elektromotor herangezogen. Die mechanische Klemmstelie wird dadurch auf den elektrischen Nullpunkt
eingeregelt.
Die aus den Signalgebern kommenden lage- und richtungsanzeigenden Signale können auch zur Messung
der Abweichung des zu prüfenden Werkstückpunktes von einer Sollage verwendet werden.
Der verwendete Signalgeber hat ferner die Eigenschaft,
daß seine Signale zur Regelung der Sperrung auf den jeweiligen elektrischen Nullpunkt herangezogen
werden können.
In der F i g. 5 ist am Beispiel des herausgegriffenen Federparallelogramms5 (Fig. i) eine viscohydraulische
Bewegungsdämpt'ung eingezeichnet, bei der in dem durch die Platten 51 und 52 gebildeten Kapillarspalt
53 eine zähe Flüssigkeit eingefüllt ist. Die Platte 51 ist mit dem Teil 6 und die Platte 52 mit
dem Teil 4 fest verbunden. Durch die Kapillarwirkung wird ein Herauslaufen der Flüssigkeit verhindert,
und es ist keine reibungsbehaftete Abdichtung nötig.
Selbstverständlich ist die Erfindung nicht auf die dargestellten Ausführungsbeispiele beschränkt. Es
lassen sich z. B. auch andere Geradführungssysteme, wie z. B. ebene oder räumliche Kreuzschlittensysteme
oder andere elektrische Signalgeber, z. B. kapazitive, ohmsche oder optisch-elektronische Meßsysteme verwenden.
Auch ist die Anwendung nicht allein auf Koordinatenmeßmaschinen
beschränkt. Die Erfindung kann auch in verschiedenen Meß- und Bearbeitungsvorrichtungen
oder Werkzeugmaschinen eingesetzt werden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
ÄdOO 409 510,269
Claims (12)
1. Elektronischer Mehrkoordinatentaster mit einem Tastkopf, der gleichzeitig einen oder mehrere
Taststifte tragen kann, zum Antasten von mehrdimensionalen Gegenständen, vorzugsweise
auf Koordinatenmeßmaschinen, gekennzeichnet durch die Kombination folgender
Merkmale:
a) daß der Tastkopf aus einer torsionssteifen Aneinanderreihung von spiel- und reibungsfreien
Geradführungssystemen (3, 5, 7) besteht, die miteinander ein definiertes ebenes
oder räumliches Koordinatensystem bilden, χ5
b) daß richtungs- und lageempfindliche elektrische Signalgeber (40, 41) eingebaut sind, die
ebenfalls ein torsionssteifes Koordinatensystem bilden,
20
c) daß motorisch fein verstellbare, in der Führungsrichtung der jeweiligen Geradführung
wirkende Präzisionsgesperre (30 bis 36) eingebaut sind, welche die Lage der Koordinaten-Nullpunkte
der Geradführungssysteme (3, 5, 7) und die Nullpunktslage der elektrischen Signalgeber (40, 41) automatisch auf
Übereinstimmung einregeln,
d) daß Mittel (11 bis 17) zur definierten Meßkraftvorgabe in allen einzelnen Führungs- 3„
richtungen vorgesehen sind.
2. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Geradführungssysteme (3, 5, 7) als Federparallelogramme ausgebildet sind.
3. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
elektrischen Signalgeber als Längenmeßgeber ausgebildet sind.
4. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung
der elektrischen Signalgeber (40, 41) zur Steuerung des Einfahrens eines oder mehrerer
Koordinatenschlitten in die Nullposition des Tasters.
5. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung
der elektrischen Signalgeber (40, 41) zum Auslösen eines Festhalte- bzw. Speicherbefehles
an eine Verschiebungsmeß- bzw. Impulszähleinrichtung.
6. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch!, dadurch gekennzeichnet, daß die
elektrischen Signalgeber (40, 41) an einen elektronischen Rechner angeschlossen sind und entsprechend
der Lage und Richtung der Taststifte (2) kodierte Signale liefern.
7. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch die Verwendung
des elektronischen Rechners bei der Elimination der Abmessungen der Tastspitzen der
Taststifte (2) auf das Meßergebnis.
8. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
elektrischen Signalgeber als induktive Meßgeber ausgebildet sind, deren relativ zueinander bewegliche
Teile (40, 41) mit Teilen (1, 4) der Geradführungssysteme (3) verbunden sind und deren
induktive Nullagen die elektrischen Nullpunktslagen in den Führungsrichtungen der Geradführungssysteme
(3, S, 7) bilden.
9. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung
eines feinverstellbaren Präzisionsgesperres, bei dem ein mit einer Blattfeder (34) verbundener
Hebel (31) an einen Teil (4) eines Geradführungssystemes (3) drehbar gelagert ist und in
einem mit einem weiteren Teil (1) des Geradführungssystems (3) verbundenen Rastkörper (30)
einrastet, wobei die in Abhängigkeit der gegenseitigen Lage der Teile (4, 1) des Geradführungssystemes
(3) veränderliche elastische Verformung der Blattfeder (34) zur Feineinstellung des Gesperres
verwendet wird.
10. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Bewegungen der Geradführungssysteme (3, S, 7) mittels flüssigkeitsgefüllter Kapillarspalte (53)
gedämpft sind.
11. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
eine Einrichtung (19 bis 22) zum automatischen Gewichtsausgleich der Tastorgane (1,2) und der
Geradführungssysteme (3, 5, 7) eingebaut ist.
12. Elektronischer Mehrkoordinatentaster nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung
von Tauchspulsystemen (11, 12) zur Meßkraftvorgabe in den einzelnen Führungseinrichtungen
der Geradführungssysteme (3, 5, 7).
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2242355 | 1972-08-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2242355B1 true DE2242355B1 (de) | 1974-03-07 |
DE2242355C2 DE2242355C2 (de) | 1974-10-17 |
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ID=5854820
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2242355A Expired DE2242355C2 (de) | 1972-08-29 | 1972-08-29 | Elektronischer Mehrkoordinatentaster |
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DE (1) | DE2242355C2 (de) |
GB (1) | GB1429973A (de) |
IT (1) | IT994169B (de) |
Cited By (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2620100A1 (de) * | 1975-05-13 | 1976-12-02 | Rolls Royce 1971 Ltd | Messeinrichtung |
DE2712761A1 (de) * | 1976-03-24 | 1977-09-29 | Renishaw Electrical Ltd | Tastkopf |
DE2757453A1 (de) * | 1976-12-24 | 1978-07-06 | Renishaw Electrical Ltd | Tastkopf fuer messmaschinen |
DE2938080A1 (de) * | 1978-12-27 | 1980-07-10 | Jenoptik Jena Gmbh | Koordinatentastkopf zum antasten mehrdimensionaler werkstuecke |
DE2949484A1 (de) * | 1979-01-31 | 1980-08-14 | Jenoptik Jena Gmbh | Einrichtung zur einstellung von tastern |
DE3035838A1 (de) * | 1979-09-19 | 1981-04-30 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc., Cambridge, Mass. | Zentriergeraet mit einem arbeitsorgan sowie verfahren zur messung und eichung einer verschiebung des arbeitsorgans |
EP0086167A2 (de) * | 1982-02-05 | 1983-08-17 | Luc Barrut | Verfahren und Einrichtung zum Formen oder Behandeln von Zähnen oder Zahnprothesen |
DE3234471C1 (de) * | 1982-09-17 | 1983-08-25 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
DE3210711A1 (de) * | 1982-03-24 | 1984-02-02 | Dr.-Ing. Höfler Meßgerätebau GmbH, 7505 Ettlingen | Mehrkoordinatentaster mit geregelter antastkraft |
DE3309122A1 (de) * | 1983-03-15 | 1984-09-20 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Tastkopf fuer messeinrichtungen |
DE3313861A1 (de) * | 1983-04-16 | 1984-10-25 | Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart | Halterung fuer ein paar von planspiegeln und eine kugel in einer interferometer-laengenmesseinrichtung |
FR2562234A1 (fr) * | 1984-04-03 | 1985-10-04 | Mauser Werke Oberndorf | Tete palpeuse pour appareil de mesure |
EP0211202A1 (de) | 1985-06-28 | 1987-02-25 | Firma Carl Zeiss | Steuerung für Koordinatenmessgeräte |
EP0264717A2 (de) * | 1986-10-11 | 1988-04-27 | Firma Carl Zeiss | Verfahren und Einrichtung zur Messung von Verzahnungen mit Hilfe eines Koordinatenmessgerätes |
EP0301389A2 (de) * | 1987-07-30 | 1989-02-01 | Firma Carl Zeiss | Tastkopf für Koordinatenmessgeräte |
EP0301390A2 (de) * | 1987-07-30 | 1989-02-01 | Firma Carl Zeiss | Tastkopf für Koordinatenmessgeräte |
EP0732563A1 (de) * | 1995-03-11 | 1996-09-18 | Carl Zeiss | Koordinatenmessgerät mit einer Einrichtung für die Rauheitsmessung |
WO2002073123A1 (de) * | 2001-03-09 | 2002-09-19 | Carl Zeiss | Tastkopf mit einer tarierung |
EP2551631A1 (de) * | 2011-07-25 | 2013-01-30 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Tastkopf |
EP3236194A1 (de) | 2016-04-18 | 2017-10-25 | Hexagon Metrology GmbH | Koordinatenmessgerät mit einem messenden tastkopf sowie verfahren zur messung eines werkstückes mit einem koordinatenmessgerät |
Families Citing this family (95)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1445977A (en) * | 1972-09-21 | 1976-08-11 | Rolls Royce | Probes |
JPS5340465B2 (de) * | 1973-07-31 | 1978-10-27 | ||
DE2356030C3 (de) * | 1973-11-09 | 1978-05-11 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Taster zur Werkstückantastung |
US3940854A (en) * | 1974-03-27 | 1976-03-02 | Westinghouse Electric Corporation | Three axis precision measuring device |
US4130941A (en) * | 1975-03-20 | 1978-12-26 | Rolls-Royce Limited | Displacement gauge |
GB1551218A (en) * | 1975-05-13 | 1979-08-22 | Rolls Royce | Probe for use in displacement measuring apparatus |
GB1568053A (en) * | 1975-10-04 | 1980-05-21 | Rolls Royce | Contactsensing probe |
US4136458A (en) * | 1976-10-01 | 1979-01-30 | The Bendix Corporation | Bi-axial probe |
JPS5433155U (de) * | 1977-08-08 | 1979-03-05 | ||
SE406228B (sv) * | 1977-09-20 | 1979-01-29 | Johansson Ab C E | Legesgivare avsedd for kontrollmetning av ytor |
US4187614A (en) * | 1978-08-04 | 1980-02-12 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Tracer head |
JPS56121105U (de) * | 1981-01-27 | 1981-09-16 | ||
DE3135495C2 (de) * | 1981-09-08 | 1983-11-10 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Meßkopf für Meßeinrichtungen, Mehrkoordinatenmeßgeräte und Bearbeitungsmaschinen |
US4523450A (en) * | 1981-11-07 | 1985-06-18 | Carl-Zeiss-Stiftung, Heidenheim/Brenz | Method of calibrating probe pins on multicoordinate measurement machines |
JPS58169001A (ja) * | 1982-03-31 | 1983-10-05 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 2方向タツチセンサ |
DE3217995A1 (de) * | 1982-05-13 | 1983-11-17 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Verfahren und vorrichtung zum vermessen von gewinden |
US4451987A (en) * | 1982-06-14 | 1984-06-05 | The Valeron Corporation | Touch probe |
DE3231158C2 (de) * | 1982-08-21 | 1985-11-14 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
DE3234470C2 (de) * | 1982-09-17 | 1985-11-21 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
DE3234851C2 (de) * | 1982-09-21 | 1985-11-14 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Dynamischer Tastkopf |
DE3241747A1 (de) * | 1982-11-11 | 1984-05-17 | Gerhard 6686 Eppelborn Lauer | Vorrichtung zum ermitteln der lage einer ausnehmung an einem groesseren werkstueck, insbesondere aus blech |
IN161120B (de) * | 1983-03-30 | 1987-10-03 | Wyler Ag | |
US4536961A (en) * | 1983-03-31 | 1985-08-27 | Meseltron S. A. | Three-dimensional measuring device |
DE3320127C2 (de) * | 1983-06-03 | 1994-09-08 | Zeiss Carl Fa | Taststiftwechselhalter |
JPS6078301A (ja) * | 1983-08-06 | 1985-05-04 | マウゼル−ベルケ、オベルンドルフ、ゲゼルシヤフト、ミツト、ベシユレンクテル、ハフツング | 多重座標測定機械の測定ヘツド |
CA1276710C (en) * | 1983-11-30 | 1990-11-20 | Kazuo Asakawa | Robot force controlling system |
US4669300A (en) * | 1984-03-30 | 1987-06-02 | Sloan Technology Corporation | Electromagnetic stylus force adjustment mechanism |
JPS6127649U (ja) * | 1984-07-26 | 1986-02-19 | 宣行 杉村 | Nc旋盤のねじ用タツチセンサ |
DE3546889C2 (de) * | 1984-08-18 | 1994-05-11 | Mitutoyo Mfg Co Ltd | Tastervorrichtung für Oberflächen |
JPS6150007A (ja) * | 1984-08-18 | 1986-03-12 | Mitsutoyo Mfg Co Ltd | 表面形状測定用トレ−サ |
DE3532184C1 (de) * | 1985-09-10 | 1987-02-19 | Zeiss Carl Fa | Kollisionsschutz fuer den Tastkopf einer Messmaschine |
GB8607199D0 (en) * | 1986-03-24 | 1986-04-30 | Renishaw Plc | Position sensing probe |
DE3623614A1 (de) * | 1986-07-12 | 1988-01-14 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmessgeraet mit einem tastkopf vom schaltenden typ |
IT1206842B (it) * | 1987-01-15 | 1989-05-11 | Fidia Spa | Dispositivo tastatore particolarmente per macchina a copiare |
US5154002A (en) * | 1987-02-26 | 1992-10-13 | Klaus Ulbrich | Probe, motion guiding device, position sensing apparatus, and position sensing method |
US4882848A (en) * | 1987-07-30 | 1989-11-28 | Carl-Zeiss-Stiftung, Heidenheim/Brenz | Probe head for a coordinate-measuring instrument |
DE3811235A1 (de) * | 1987-08-21 | 1989-10-19 | Wegu Messtechnik | Dynamischer tastkopf |
GB2208934B (en) * | 1987-08-24 | 1991-05-15 | Mitutoyo Corp | Surface contour measuring tracer |
GB8728500D0 (en) * | 1987-12-05 | 1988-01-13 | Renishaw Plc | Position sensing probe |
GB8729638D0 (en) * | 1987-12-19 | 1988-02-03 | Renishaw Plc | Mounting for surface sensing device |
US5212646A (en) * | 1987-12-19 | 1993-05-18 | Renishaw Plc | Method of using a mounting for surface-sensing stylus |
GB8803847D0 (en) * | 1988-02-18 | 1988-03-16 | Renishaw Plc | Mounting for surface-sensing device |
US5152072A (en) * | 1988-02-18 | 1992-10-06 | Renishaw Plc | Surface-sensing device |
DE3823042A1 (de) * | 1988-07-07 | 1990-01-11 | Zeiss Carl Fa | Koordinatenmessgeraet |
WO1990004149A1 (en) * | 1988-10-11 | 1990-04-19 | Renishaw Plc | Measurement probe for position determining apparatus |
US5189806A (en) * | 1988-12-19 | 1993-03-02 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for scanning the surface of a workpiece |
DE3843125A1 (de) * | 1988-12-22 | 1990-06-28 | Zeiss Carl Fa | Tastkopf vom schaltenden typ |
DE3905952A1 (de) * | 1989-02-25 | 1990-08-30 | Kugelfischer G Schaefer & Co | Mehrkoordinatenmesstaster |
US5390424A (en) * | 1990-01-25 | 1995-02-21 | Renishaw Metrology Limited | Analogue probe |
GB9001682D0 (en) * | 1990-01-25 | 1990-03-28 | Renishaw Plc | Position sensing probe |
US5129152A (en) * | 1990-12-20 | 1992-07-14 | Hughes Aircraft Company | Fast contact measuring machine |
US5390423A (en) * | 1991-01-22 | 1995-02-21 | Renishaw Plc | Analogue probe |
GB9107825D0 (en) * | 1991-04-12 | 1991-05-29 | Renishaw Metrology Ltd | Stylus counterbalancing mechanism for a measuring probe |
GB2256476B (en) | 1991-05-30 | 1995-09-27 | Rank Taylor Hobson Ltd | Positional measurement |
WO1993009398A1 (en) * | 1991-11-09 | 1993-05-13 | Renishaw Metrology Limited | Touch probe |
JP2587565B2 (ja) * | 1992-05-28 | 1997-03-05 | 株式会社ミツトヨ | 倣いプローブ |
DE69218422T2 (de) * | 1992-06-23 | 1997-10-23 | Oce Nederland Bv | Elektro-optischer Kopf |
US5394757A (en) * | 1992-06-25 | 1995-03-07 | Thiokol Corporation | Multiple stylus probe attachment and methods |
DE4327250C5 (de) * | 1992-09-25 | 2008-11-20 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zur Koordinatenmessung an Werkstücken |
US5367373A (en) * | 1992-11-19 | 1994-11-22 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Noncontact position measurement systems using optical sensors |
DE4318741C2 (de) * | 1993-06-05 | 1995-04-06 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
DE4331655C3 (de) * | 1993-09-17 | 2000-11-09 | Leitz Mestechnik Gmbh | Tastkopf vom messenden Typ für Koordinatenmeßgeräte |
DE4424225A1 (de) * | 1994-07-09 | 1996-01-11 | Zeiss Carl Fa | Tastkopf für Koordinatenmeßgeräte |
GB2302589B (en) * | 1995-06-21 | 1998-11-11 | Zeiss Stiftung | Probe head for coordinate measuring machines with a clamping device for clamping the deflectable part of the probe head |
US5822877A (en) * | 1996-06-20 | 1998-10-20 | Brown & Sharpe Manufacturing Company | Multi-probe system for dimensional metrology |
US5887356A (en) * | 1996-09-03 | 1999-03-30 | Sheldon/Van Someren, Inc. | Multi-axis continuous probe |
US5836082A (en) * | 1996-09-27 | 1998-11-17 | Sheldon/Van Someren Inc. | Three-axis probe |
US5743020A (en) * | 1996-09-27 | 1998-04-28 | Sheldon; Paul C. | Three-axis continuous probe |
US5979070A (en) * | 1997-12-19 | 1999-11-09 | Lau; Kam C. | Method and apparatus for selectively locking a movement direction of a coordinate measurement probe |
JP3130289B2 (ja) * | 1998-08-04 | 2001-01-31 | 株式会社ミツトヨ | タッチ信号プローブ |
DE19949044B4 (de) * | 1999-10-11 | 2004-05-27 | Leica Microsystems Wetzlar Gmbh | Vorrichtung zur Feinfokussierung eines Objektives in einem optischen Sytstem und Koordinaten-Messgerät mit einer Vorrichtung zur Feinfokussierung eines Objektivs |
US6832877B2 (en) * | 2000-05-29 | 2004-12-21 | Kabushiki Kaisya Advance | Dental measuring and machining system |
US6640459B1 (en) * | 2001-02-15 | 2003-11-04 | Fast Forward Devices, Llc | Multidimensional contact mechanics measurement system |
GB0201845D0 (en) | 2002-01-26 | 2002-03-13 | Renishaw Plc | Analogue probe |
DE10240292A1 (de) * | 2002-08-31 | 2004-03-18 | Carl Mahr Holding Gmbh | Tasteinrichtung für vielfältige Messaufgaben |
DE60233491D1 (de) * | 2002-09-18 | 2009-10-08 | Mecartex Sa | Vorrichtung mit Tastkopf |
JP3795008B2 (ja) * | 2002-11-28 | 2006-07-12 | アサ電子工業株式会社 | タッチセンサ |
GB0228368D0 (en) * | 2002-12-05 | 2003-01-08 | Renishaw Plc | Probe for high speed scanning |
US20040187523A1 (en) * | 2003-03-24 | 2004-09-30 | Corning Incorporated | Score bar instrumented with a force sensor |
DE102004007968B4 (de) * | 2004-02-18 | 2006-02-09 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Antasten eines Werkstücks mit einem Koordinatenmessgerät |
GB0417536D0 (en) * | 2004-08-06 | 2004-09-08 | Renishaw Plc | The use of surface measurement probes |
EP1672310B1 (de) * | 2004-12-15 | 2007-02-21 | Hexagon Metrology GmbH | Messender Tastkopf mit Vibrationsdämpfung für ein Koordinatenmessgerät |
GB0508388D0 (en) | 2005-04-26 | 2005-06-01 | Renishaw Plc | Surface sensing device with optical sensor |
NL1030138C2 (nl) * | 2005-10-07 | 2007-04-11 | Ibs Prec Engineering B V | Meet-samenstel en werkwijze voor het bepalen van de onderlinge positie van machinedelen. |
JP4933775B2 (ja) * | 2005-12-02 | 2012-05-16 | 独立行政法人理化学研究所 | 微小表面形状測定プローブ |
EP1975546B1 (de) * | 2007-03-26 | 2010-09-15 | Hexagon Metrology AB | Verfahren zur Verwendung eines mehrachsigen Positionierungs- und Messsystems |
EP1988357B1 (de) * | 2007-05-04 | 2018-10-17 | Hexagon Technology Center GmbH | Verfahren und Vorrichtung zur Koordinatenmessung |
DE102011104228B4 (de) * | 2011-05-13 | 2014-12-31 | Ludwig Nanopräzision GmbH | Vorrichtung zur Längenmessung und Verwendung der Vorrichtung zur Bestimmung physikalischer Eigenschaften von Messobjekten |
DE102012003223A1 (de) * | 2012-02-20 | 2013-08-22 | Carl Zeiss 3D Automation Gmbh | Kugel-Schaft-Verbindung |
CN102679928B (zh) * | 2012-06-01 | 2014-07-09 | 西安工业大学 | 带防撞保护和自动转向功能的一维测头 |
JP2014081323A (ja) * | 2012-10-18 | 2014-05-08 | Mitsutoyo Corp | レバーヘッド |
EP3004796B1 (de) * | 2013-05-27 | 2017-03-22 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH | Vorrichtung und verfahren zur kalibrierung eines koordinatenmessgeräts |
DE102014208376B3 (de) * | 2014-05-05 | 2015-06-18 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Messkopf für ein Koordinatenmessgerät |
CN111546133B (zh) * | 2015-03-17 | 2022-02-11 | 芝浦机械株式会社 | 机床 |
US11524410B2 (en) * | 2020-06-12 | 2022-12-13 | Hexagon Metrology, Inc. | Robotic alignment method for workpiece measuring systems |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3164909A (en) * | 1959-01-14 | 1965-01-12 | Gen Electric | Automatic gauging system |
US3149421A (en) * | 1961-01-24 | 1964-09-22 | Watton Engineering Co Ltd | Measuring and gauging devices |
US3572724A (en) * | 1968-08-27 | 1971-03-30 | Libman Max L | Servodriven spring-supported arm for phonograph pickups |
US3798779A (en) * | 1972-07-05 | 1974-03-26 | Ferranti Packard Ltd | Probe inspection system |
-
1972
- 1972-08-29 DE DE2242355A patent/DE2242355C2/de not_active Expired
-
1973
- 1973-08-01 CH CH1119373A patent/CH561897A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1973-08-27 US US391819A patent/US3869799A/en not_active Expired - Lifetime
- 1973-08-28 GB GB4042773A patent/GB1429973A/en not_active Expired
- 1973-08-28 IT IT52202/73A patent/IT994169B/it active
- 1973-08-29 JP JP9712573A patent/JPS546218B2/ja not_active Expired
Cited By (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2620100A1 (de) * | 1975-05-13 | 1976-12-02 | Rolls Royce 1971 Ltd | Messeinrichtung |
DE2712761A1 (de) * | 1976-03-24 | 1977-09-29 | Renishaw Electrical Ltd | Tastkopf |
DE2757453A1 (de) * | 1976-12-24 | 1978-07-06 | Renishaw Electrical Ltd | Tastkopf fuer messmaschinen |
DE2938080A1 (de) * | 1978-12-27 | 1980-07-10 | Jenoptik Jena Gmbh | Koordinatentastkopf zum antasten mehrdimensionaler werkstuecke |
FR2445513A1 (fr) * | 1978-12-27 | 1980-07-25 | Zeiss Jena Veb Carl | Palpeur de coordonnees pour explorer des pieces a plusieurs dimensions |
DE2949484A1 (de) * | 1979-01-31 | 1980-08-14 | Jenoptik Jena Gmbh | Einrichtung zur einstellung von tastern |
DE3035838A1 (de) * | 1979-09-19 | 1981-04-30 | The Charles Stark Draper Laboratory, Inc., Cambridge, Mass. | Zentriergeraet mit einem arbeitsorgan sowie verfahren zur messung und eichung einer verschiebung des arbeitsorgans |
EP0086167A2 (de) * | 1982-02-05 | 1983-08-17 | Luc Barrut | Verfahren und Einrichtung zum Formen oder Behandeln von Zähnen oder Zahnprothesen |
EP0086167A3 (de) * | 1982-02-05 | 1984-01-18 | Luc Barrut | Verfahren und Einrichtung zum Formen oder Behandeln von Zähnen oder Zahnprothesen |
DE3210711A1 (de) * | 1982-03-24 | 1984-02-02 | Dr.-Ing. Höfler Meßgerätebau GmbH, 7505 Ettlingen | Mehrkoordinatentaster mit geregelter antastkraft |
DE3234471C1 (de) * | 1982-09-17 | 1983-08-25 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut | Mehrkoordinaten-Tastkopf |
DE3309122A1 (de) * | 1983-03-15 | 1984-09-20 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Tastkopf fuer messeinrichtungen |
DE3313861A1 (de) * | 1983-04-16 | 1984-10-25 | Daimler-Benz Ag, 7000 Stuttgart | Halterung fuer ein paar von planspiegeln und eine kugel in einer interferometer-laengenmesseinrichtung |
FR2562234A1 (fr) * | 1984-04-03 | 1985-10-04 | Mauser Werke Oberndorf | Tete palpeuse pour appareil de mesure |
DE3412302A1 (de) * | 1984-04-03 | 1985-10-10 | Mauser-Werke Oberndorf Gmbh, 7238 Oberndorf | Tastkopf fuer eine messmaschine |
EP0211202A1 (de) | 1985-06-28 | 1987-02-25 | Firma Carl Zeiss | Steuerung für Koordinatenmessgeräte |
EP0264717A3 (en) * | 1986-10-11 | 1989-04-26 | Firma Carl Zeiss | Method and device for measuring gearing by the use of a coordinate measuring machine |
EP0264717A2 (de) * | 1986-10-11 | 1988-04-27 | Firma Carl Zeiss | Verfahren und Einrichtung zur Messung von Verzahnungen mit Hilfe eines Koordinatenmessgerätes |
EP0301389A2 (de) * | 1987-07-30 | 1989-02-01 | Firma Carl Zeiss | Tastkopf für Koordinatenmessgeräte |
EP0301390A2 (de) * | 1987-07-30 | 1989-02-01 | Firma Carl Zeiss | Tastkopf für Koordinatenmessgeräte |
EP0301390A3 (en) * | 1987-07-30 | 1990-08-22 | Zeiss Carl Fa | Feeler head for coordinate measuring machines |
EP0301389A3 (en) * | 1987-07-30 | 1990-08-29 | Zeiss Carl Fa | Feeler head for coordinate measuring machines |
EP0732563A1 (de) * | 1995-03-11 | 1996-09-18 | Carl Zeiss | Koordinatenmessgerät mit einer Einrichtung für die Rauheitsmessung |
WO2002073123A1 (de) * | 2001-03-09 | 2002-09-19 | Carl Zeiss | Tastkopf mit einer tarierung |
EP2551631A1 (de) * | 2011-07-25 | 2013-01-30 | Dr. Johannes Heidenhain GmbH | Tastkopf |
US9062956B2 (en) | 2011-07-25 | 2015-06-23 | Dr. Johannes Heidenhain Gmbh | Probe head |
EP3236194A1 (de) | 2016-04-18 | 2017-10-25 | Hexagon Metrology GmbH | Koordinatenmessgerät mit einem messenden tastkopf sowie verfahren zur messung eines werkstückes mit einem koordinatenmessgerät |
Also Published As
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US3869799A (en) | 1975-03-11 |
IT994169B (it) | 1975-10-20 |
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GB1429973A (en) | 1976-03-31 |
JPS546218B2 (de) | 1979-03-26 |
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