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DE19850677C2 - Magnetfelddetektor - Google Patents

Magnetfelddetektor

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DE19850677C2
DE19850677C2 DE19850677A DE19850677A DE19850677C2 DE 19850677 C2 DE19850677 C2 DE 19850677C2 DE 19850677 A DE19850677 A DE 19850677A DE 19850677 A DE19850677 A DE 19850677A DE 19850677 C2 DE19850677 C2 DE 19850677C2
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magnetic
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Yasuyoshi Hatazawa
Izuru Shinjo
Takuji Nada
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    • G01MEASURING; TESTING
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    • G01R33/00Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
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  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft einen Magnetfelddetektor zum Ermitteln von Änderungen eines Magnetfeldes, die durch Bewegung eines beweglichen Elementes aus magnetischem Material hervorgerufen werden. Das bewegliche Element aus magnetischem Material weist abwechselnd vorspringende und zurückspringende Abschnitte auf.
Dabei ist es bekannt, zum Feststellen von Änderungen eines Magnetfeldes ein als Magnetfelderfassungseinrichtung wirkendes Magnetfeldmessgerät in eine elektrische Brückenschaltung einzusetzen, an die eine Konstantstromquelle oder eine Konstantspannungsquelle angeschlossen ist, um Änderungen von Widerstandswerten der Magnetfeldmessgerätes in Spannungsänderungen umzuwandeln und Änderungen des Magnetfeldes, die auf das Magnetfeldmessgerät einwirken, auf der Grundlage entsprechender Spannungsänderungen zu ermitteln.
Fig. 9 der beigefügten Zeichnungen zeigt ein Schaltbild einer Signalverarbeitungsschaltung bei einem derartigen Magnetfelddetektor, der Magnetfeldmessgeräte herkömmlicher Bauart verwendet.
In Fig. 9 besteht eine Wheatstone-Brückenschaltung 1 aus Magnetfeldmeßgeräten oder Widerständen RA, RB, RC und RD, bei denen zumindest eines oder mehrere Magnetfeldmeßgeräte vorgesehen sind. Eingangsklemmen einer Differenzverstärkerschaltung 2 sind mit einem mittleren Verbindungspunkt 4 zwischen RA, RB und einem mittleren Verbindungspunkt zwischen RC, RD verbunden. Ein mittlerer Verbindungspunkt zwischen RA, RD ist an eine Stromversorgungsquelle Vcc angeschlossen, und ein mittlerer Verbindungspunkt zwischen RB, RC ist mit Masse GND verbunden. Ein Differenzverstärkerausgangssignal 8 von der Differenzverstärkerschaltung 2 wird einer Vergleichsschaltung 3 in einer nächsten Stufe zugeführt.
Bei der voranstehend geschilderten Schaltung ändern sich die Widerstandswerte der Magnetfeldmeßgeräte entsprechend Änderungen des Magnetfeldes, welches auf die Widerstände RA, RB einwirkt, und ändert sich die Spannung am mittleren Verbindungspunkt 4 zwischen RA, RB entsprechend derartigen Änderungen des angelegten Magnetfeldes. Die Spannung über den mittleren Verbindungspunkten 4 und 5 wird durch die Differenzverstärkerschaltung 2 verstärkt, und von der Vergleichsschaltung 3 wird ein endgültiges Ausgangssignal 9 erhalten, welches den Pegel "0" oder "1" aufweist.
Aus der DE 195 07 304 A1 ist Magnetfelddetektor bekannt, der eine durch einen Vormagnetisierungsmagneten gebildete Magnetfelderzeugungseinrichtung und ein aus magnetischem Material bestehendes, drehbares Zahnrad aufweist, das in einem vorbestimmten Spaltabstand zum Vormagnetisierungsmagneten angeordnet ist und abwechselnd vorspringende und zurückspringende Abschnitte besitzt. Mit Hilfe eines eine Magnetfelderfassungseinrichtung bildenden Magnetfeldmessgerätes, welches mehrere Magnetfeldmesselemente besitzt, werden Änderungen des Magnetfeldes festgestellt, die durch eine Drehung des Zahnrades bewirkt werden. Dabei kann zum möglichst günstigen Einstellen der Magnetfeldmesselemente der Winkel bzw. die Position einer Trägerplatte mit dem Magnetfeldmessgerät und dem Vormagnetisierungsmagneten gegenüber der Position des rotierenden Zahnrades in einem bestimmten Bereich verändert werden.
Aus der DE 195 80 095 C2 ist ein Magnetfeldsensor mit zwei magnetoresistiven Elementen bekannt, die zueinander parallel ausgerichtet und voneinander in einer im wesentlichen symmetrischen Weise um eine Mittellinie beabstandet sind, wobei die Mittellinie gegenüber dem im voraus ausgewählten Nord- oder Südpol Permanentmagneten in Richtung auf eine Detektorzone um einen bestimmten Abstand verschoben ist und eine durch die magnetoresistiven Elemente aufgespannte Sensorebene von dem Permanentmagneten in einer Richtung senkrecht zu einer magnetischen Achse ebenfalls um einen gewissen Abstand versetzt ist.
Im folgenden ist ein herkömmlicher Magnetfelddetektor anhand von Fig. 10 der Zeichnungen näher beschrieben.
Wie in Fig. 10 dargestellt, ist, weist dieser herkömmliche Magnetfelddetektor ein Drehteil 10 aus magnetischem Material auf, dessen Form so ausgebildet ist, daß hierdurch ein Magnetfeld geändert werden kann, ein Magnetfeldmeßgerät 11, Magnetfeldmeßelemente 11a, 11b, einen Magneten 13, und eine Drehwelle 12. Wenn sich die Drehwelle 12 dreht, dreht sich synchron hierzu auch das Drehteil aus magnetischem Material 10.
Das Zentrum der Magnetfeldmeßelemente (Widerstände) 11a, 11b des Magnetfeldmeßgeräts 11 ist so angeordnet, daß es versetzt gegenüber dem Zentrum des Magneten 13 um einen vorbestimmten Betrag angeordnet ist.
Bei Drehung des Drehteils aus magnetischem Material 10 ändert sich bei dem voranstehend geschilderten Magnetfelddetektor das Magnetfeld, welches auf die Widerstände 11a, 11b des Magnetfeldmeßgerätes 11 einwirkt, und ändert sich, wie beispielhaft in Fig. 11 gezeigt ist, das Differenzverstärkerausgangssignal 8 entsprechend der Form des Drehteils aus magnetischem Material 10. Daher kann bei der in Fig. 9 gezeigten Schaltung ein Signal erhalten werden, welches das endgültige Ausgangssignal 9 repräsentiert und der Form des Drehteils aus magnetischem Material 10 entspricht.
Die Magnetschaltungsanordnung, die in dem herkömmlichen Detektor verwendet wird, zeigte allerdings folgende Schwierigkeiten.
Wenn die Brücke aus Magnetfeldmeßgeräten und Festwiderständen aufgebaut wird, ist ein Unterschied zwischen deren Temperaturkoeffizienten vorhanden. Wenn die Brücke aus Magnetfeldmeßgeräten mit mehreren Elementen besteht, tritt auch dann ein Unterschied der Temperaturkoeffizienten infolge eines unterschiedlichen Magnetfeldes auf, welches auf die Elemente einwirkt. Infolge dieses Unterschieds bezüglich der Temperaturkoeffizienten zeigen, wie in Fig. 12 dargestellt, das Differenzverstärkerausgangssignal 8 (Zimmer) bei Zimmertemperatur und das Differenzverstärkerausgangssignal 8 (Heiß) bei hoher Temperatur eine Temperaturabhängigkeit, die von Änderungen des angelegten Magnetfeldes abhängt. Dies führt zu einer großen Abweichung bei der Genauigkeit bei der Feststellung der Flanken der abwechselnd vorspringenden und zurückspringenden Abschnitte des Drehteils aus magnetischem Material.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Magnetfelddetektor der eingangs genannten Art zu schaffen, mit dem Änderungen eines Magnetfeldes mit besonders hoher Genauigkeit erfasst werden können.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch einen Magnetfelddetektor mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst.
Weiterbildungen dieses Magnetfelddetektors ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Bevorzugte Ausführungsformen eines erfindungsgemäßen Magnetfelddetektors und deren Vorteile sind im folgenden anhand von Fig. 1 bis 8 der Zeichnungen näher beschrieben.
In den Zeichnungen zeigen
Fig. 1 den Aufbau eines Magnetfelddetektors gemäß Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung in schematischer Darstellung;
Fig. 2 eine erläuternde Darstellung der Änderung eines Magnetfeldvektors bei der Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung;
Fig. 3 ein Zeitablaufdiagramm von Ausgangssignalen bei der Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung;
Fig. 4 eine Darstellung zur Erläuterung des Betriebsablaufs bei der Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung;
Fig. 5 eine schematische Darstellung des Aufbaus eines Magnetfelddetektors gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung;
Fig. 6 eine Darstellung zur Erläuterung der Änderung eines Magnetfeldvektors bei der Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung;
Fig. 7 eine Darstellung zur Erläuterung der Änderung eines Magnetfeldvektors bei der Ausführungsform 3 der vorliegenden Erfindung;
Fig. 8 eine schematische Darstellung des Aufbaus eines Magnetfelddetektors gemäß Ausführungsform 4 der vorliegenden Erfindung;
Fig. 9 ein Schaltbild der Ausbildung einer Verarbeitungsschaltung in einem Sensor, der übliche Magnetfeldmeßgeräte verwendet;
Fig. 10 eine schematische Darstellung des Aufbaus eines herkömmlichen Magnetfelddetektors;
Fig. 11 ein Zeitablaufdiagramm von Ausgangssignalen bei dem herkömmlichen Magnetfelddetektor; und
Fig. 12 ein Zeitablaufdiagramm von Ausgangssignalen bei dem herkömmlichen Magnetfelddetektor.
AUSFÜHRUNGSFORM 1
Fig. 1 zeigt schematisch den Aufbau eines Magnetfelddetektors gemäß Ausführungsform 1 der vorliegenden Erfindung.
Die Ausbildung einer Verarbeitungsschaltung bei dieser Ausführungsform kann ebenso wie bei dem herkömmlichen Fall erfolgen, der in Fig. 9 dargestellt ist. Die Magnetfeldmeßgeräte (Widerstände) RA, RB in Fig. 9 entsprechen den Magnetfeldmeßgeräten, die bei der vorliegenden Ausführungsform verwendet werden. Bei der nachstehenden Beschreibung dieser Ausführungsform wird ein Magnetowiderstandsgerät als das Magnetfeldmeßgerät verwendet.
In Fig. 1 weist der Magnetfelddetektor ein Magnetowiderstandsgerät 24 auf, Magnetfeldmeßwiderstände 24a, 24b, die im wesentlichen das Magnetowiderstandsgerät 24 bilden, und als Magnetfeldmeßelemente dienen, die eine Brücke aufbauen, ein Drehteil aus magnetischem Material 25 als bewegliches Teil aus magnetischem Material, einen Magneten 26 als Magnetfelderzeugungsvorrichtung, eine Drehwelle 27, und eine magnetische Führung 28 als Vorrichtung zur Einstellung einer Änderung des Magnetfeldes, die durch abwechselnd vorspringende und zurückspringende Abschnitte des Drehteils aus magnetischem Material 35 hervorgerufen wird.
Der Magnet 26 ist dem Drehteil aus magnetischem Material 25 gegenüberliegend angeordnet, und ist in dieser Richtung magnetisiert. Das Magnetowiderstandsgerät 24 ist so angeordnet, daß es in der Magnetisierungsrichtung des Magneten 26 liegt, so daß ein Paar (oder zwei Paare) von Magnetfeldmeßelementen parallel zueinander in der Magnetisierungsrichtung des Magneten 26 angeordnet ist bzw. sind, ausgerichtet zu einer Linie, die in der Magnetisierungsrichtung verläuft. Das Drehteil aus magnetischem Material 25 weist eine derartige Form auf, daß es das Magnetfeld ändern kann, welches auf das Magnetowiderstandsgerät 24 einwirkt, und wird synchron zur Drehung der Drehwelle 27 gedreht.
Fig. 2 zeigt die Vektorrichtung eines Magnetfeldes, welches auf das Magnetowiderstandsgerät in der magnetischen Schaltung gemäß der vorliegenden Ausführungsform einwirkt.
Der magnetische Fluß kreuzt die Magnetfeldwiderstände 24a, 24b in einem ersten vorbestimmten Winkel, wenn der ausgenommene oder zurückspringende Abschnitt des Drehteils aus magnetischem Material 25 dem Magnetowiderstandsgerät 24 gegenüberliegt. Der magnetische Fluß kreuzt die Magnetfeldmeßwiderstände 24a, 24b in einem zweiten vorbestimmten Winkel, wenn der vorspringende Abschnitt des Drehteils aus magnetischem Material 25 dem Magnetowiderstandsgerät 24 gegenüberliegt. Die Position der magnetischen Führung 28 wird so eingestellt, daß der erste und zweite vorbestimmte Winkel symmetrisch zur Richtung vertikal zu einer Ebene verlaufen, in welcher die Magnetfeldmeßwiderstände angeordnet sind.
Der Betrieb des Magnetfelddetektors wird nunmehr unter Bezugnahme auf Fig. 3 beschrieben.
Änderungen der Widerstandswerte der Magnetfeldmeßwiderstände 24a, 24b, hervorgerufen durch Änderungen des Magnetfeldes entsprechend den abwechselnd vorspringenden und zurückspringenden Abschnitten des Drehteils aus magnetischem Material 25 bei Zimmertemperatur sind durch R (Zimmer) bezeichnet, und bei hoher Temperatur durch R (Heiß).
Das Magnetfeld, welches auf die Magnetfeldmeßwiderstände 24a, 24b einwirkt, ändert sich symmetrisch in Abhängigkeit von den abwechselnd vorspringenden und zurückspringenden Abschnitten des Drehteils aus magnetischem Material 25, wie voranstehend unter Bezugnahme auf Fig. 2 geschildert wurde, und auch die Widerstandswerte der Magnetfeldmeßwiderstände 24a, 24b ändern sich symmetrisch. Dies bedeutet, daß die Widerstandswerte der Magnetfeldmeßwiderstände 24a, 24b miteinander an jedem Punkt übereinstimmen, sowohl im Zustand bei Zimmertemperatur als auch im Zustand bei hoher Temperatur. Bei der Brückenschaltung, welche die Magnetfeldmeßwiderstände 24a, 24b aufweist, kreuzen sich daher das Differenzverstärkerausgangssignal 8 (Zimmer) bei Zimmertemperatur und das Differenzverstärkerausgangssignal 8 (Heiß) bei hoher Temperatur. Die Temperaturcharakteristik der Genauigkeit der Feststellung der Flanken der abwechselnd vorspringenden und zurückspringenden Abschnitte des Drehteils aus magnetischem Material 25 kann dadurch verbessert werden, daß der Vergleichspegel Vref der Vergleichsschaltung 3 auf den Kreuzungspunkt der Temperaturcharakteristiklinien gesetzt wird, welche die Differenzverstärkerausgangssignale 8 darstellen, und es kann ein Signal erhalten werden, welches exakt den abwechselnd vorspringenden und zurückspringenden Abschnitten des Drehteils aus magnetischem Material 25 entspricht, und welches die Stromeinschaltzustandsfunktion bereitstellen kann.
Fig. 4 zeigt die Beziehung zwischen Widerstandsänderungen und dem Widerstandstemperaturkoeffizienten in Bezug auf das Magnetfeld, welches auf das Magnetowiderstandsgerät einwirkt.
Wie aus Fig. 4 deutlich wird, weist das Magnetowiderstandsgerät unterschiedliche Widerstandstemperaturkoeffizienten auf, in Abhängigkeit von seinem Widerstandswert, der sich entsprechend dem angelegten Magnetfeld ändert. Ein Paar aus Magnetfeldmeßelementen wird daher so betrieben, daß es, wenn es Änderungen des Magnetfeldes ausgesetzt wird, Widerstandswerte und Temperaturkoeffizienten aufweist, die miteinander symmetrisch übereinstimmen, wodurch die Temperaturcharakteristik der Magnetfeldmeßelemente ausgeglichen wird, also die Temperaturcharakteristik des Magnetowiderstandsgerätes ausgeschaltet wird.
Da wie voranstehend geschildert die Widerstandswerte und Temperaturkoeffizienten des Paars der Magnetfeldmeßelemente, welche das Magnetfeldmeßgerät bilden, sich symmetrisch bei Änderungen des Magnetfeldes ändern, entsprechend den abwechselnd vorspringenden und zurückspringenden Abschnitten des Drehteils aus magnetischem Material, ist es bei der vorliegenden Ausführungsform durch Aufbau einer Brückenschaltung mit einem Paar aus Magnetfeldmeßelementen oder einer Wheatstone-Brücke mit zwei Paaren von Magnetfeldmeßelementen möglich, die Temperaturcharakteristik des Magnetfeldmeßgerätes auszuschalten, so daß die Genauigkeit der Feststellung der Flanken der abwechselnd vorspringenden und zurückspringenden Abschnitte des Drehteils aus magnetischem Material verbessert wird, und die Stromeinschaltzustandsfunktion sichergestellt wird.
Da der Magnet und das Magnetfeldmeßgerät parallel zueinander in der Richtung gegenüberliegend den abwechselnd vorspringenden und zurückspringenden Abschnitten des Drehteils aus magnetischem Material angeordnet sind, können Leitungen weggelassen werden, die zum Verdrahten oder für Biegevorgänge erforderlich sind, die man zum Einführen und dergleichen braucht, und daher läßt sich der Herstellungswirkungsgrad verbessern.
AUSFÜHRUNGSFORM 2
Fig. 5 zeigt schematisch den Aufbau eines Magnetfelddetektors gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden Erfindung.
Die Ausführungsform 2 ist grundsätzlich ebenso wie die Ausführungsform 1 aufgebaut, mit Ausnahme der Tatsache, daß der in Fig. 1 gezeigte Magnet 26 mit dem Magnetowiderstandsgerät 24 um 90° in Bezug auf das Drehteil aus magnetischem Material 25 gedreht angeordnet ist. In Fig. 5 entsprechen eine Magnetowiderstandsgerät 14, Magnetfeldmeßwiderstände 14a, 14b, die im wesentlichen das Magnetowiderstandsgerät 14 bilden, und als Magnetfeldmeßelemente dienen, mit welchen eine Brücke aufgebaut ist, ein Drehteil aus magnetischem Material 15 als bewegliches Teil aus magnetischem Material, ein Magnet 16 als Magnetfelderzeugungsvorrichtung, eine Drehwelle 17 und eine magnetische Führung 18 als Vorrichtung zur Einstellung von Änderungen des Magnetfeldes, die durch abwechselnd vorspringende und zurückspringende Abschnitte des Drehteils aus magnetischem Material 25 hervorgerufen werden, dem Magnetowiderstandsgerät 24, bzw. den Magnetfeldmeßwiderständen 24a, 24b, bzw. dem Drehteil aus magnetischem Material 25, bzw. dem Magneten 26, bzw. der Drehwelle 27 bzw. der magnetischen Führung 28.
Das grundlegende Betriebsprinzip und die Vorteile dieser Ausführungsform sind daher ebenso wie bei der Ausführungsform 1; daher erfolgt hier insoweit keine erneute Beschreibung.
AUSFÜHRUNGSFORM 3
Die Fig. 6 und 7 zeigen schematisch ein Verfahren zur Einstellung des Magnetfeldes, welches auf das Magnetfeldmeßgerät einwirkt, durch die magnetische Führung 28, die bei der vorliegenden Ausführungsform 1 geschildert wurde. In den Fig. 6 und 7 sind entsprechende Bauteile wie in den Fig. 1 und 2 mit gleichen oder entsprechenden Bezugszeichen bezeichnet, und erfolgt insoweit nicht unbedingt eine erneute Beschreibung.
Wenn bei den Ausführungsformen 1 und 2 keine Vorrichtung zur Einstellung des angelegten Magnetfeldes vorgesehen ist, sind der erste und zweite Kreuzungswinkel, mit welchem das angelegten Magnetfeld die Magnetfeldmeßelemente 24a, 24b des Magnetowiderstandsgeräts 24 kreuzt, wenn die abwechselnd vorspringenden und zurückspringenden Abschnitte des Drehteils aus magnetischem Material 25 dem Magneten 26 gegenüberliegen, nicht symmetrisch in Bezug auf die Richtung vertikal zu jener Ebene, in welcher die Magnetfeldmeßelemente 24a, 24b angeordnet sind, wie in Fig. 6 gezeigt, infolge der Änderungen der relativen Position zwischen dem Magneten 26 und dem Magnetowiderstandsgerät 24. Die magnetische Führung 28 ist für den Zweck vorgesehen, den ersten und zweiten Kreuzungswinkel so einzustellen, daß sie symmetrisch werden.
In Fig. 6 können der ersten und zweite Kreuzungswinkel, die in Fig. 2 dargestellt sind, welche die Ausführungsform 1 betrifft, dann erhalten werden, wenn die magnetische Führung 28 (sh. Fig. 7) so bewegt wird, daß sie sich allmählich an das Magnetowiderstandsgerät 24 und den Magneten 26 annähert, wobei das Magnetowiderstandsgerät 24 dazwischenliegt.
Zur Einstellung kann die magnetische Führung 28 in verschiedenen Richtungen bewegt werden; nämlich parallel, vertikal oder schräg zur Magnetisierungsrichtung des Magneten 26, wie in Fig. 7 durch gestrichelte Linien angedeutet ist. Wenn die magnetische Führung 28 in Vertikalrichtung bewegt wird, ändern sich der erste und der zweite Kreuzungswinkel drastisch. Daher ist die Vertikalbewegung dann besonders wirksam, wenn die Abweichung der Relativposition zwischen dem Magneten 26 und dem Magnetowiderstandsgerät 24 groß ist. Wird die magnetische Führung 28 in Parallelrichtung bewegt, so ändern sich der erste und zweite Kreuzungswinkel langsamer als bei einer Bewegung in Vertikalrichtung, und daher ist die Parallelbewegung dann besonders wirksam, wenn eine Feineinstellung der Genauigkeit gefordert ist.
AUSFÜHRUNGSFORM 4
Fig. 8 zeigt schematisch den Aufbau eines Magnetfelddetektors gemäß Ausführungsform 4 der vorliegenden Erfindung.
Bei der Ausführungsform 4 werden magnetische Bolzen 29, 19 statt der magnetischen Führungen 28, 18 bei den voranstehenden Ausführungsformen 1, 2 bzw. 3 verwendet, nämlich als Vorrichtung zur Einstellung von Änderungen des Magnetfeldes, welche durch die abwechselnd vorspringenden und zurückspringenden Abschnitte des Drehteils aus magnetischem Material 25 hervorgerufen werden. Andere entsprechende Bauteile sind durch die gleichen oder entsprechenden Bezugszeichen bezeichnet, und werden nachstehend nicht unbedingt erneut beschrieben.
Obwohl die Ausbildung der Verarbeitungsschaltung und das grundsätzliche Betriebsprinzip bei dieser Ausführungsform ebenso wie bei der Ausführungsform 1 sind, ist die Empfindlichkeit pro Längeneinheit der Einstellung bei der vorliegenden Ausführungsform geringer als bei den voranstehenden Ausführungsformen, bei welchen die magnetischen Führungen verwendet werden, da der magnetische Körper die Form eines Bolzens aufweist, und die Einstellung durch Drehung des Bolzens erfolgen kann. Der Kreuzungswinkel zwischen dem Magnetfeld und dem Magnetowiderstandsgerät kann daher noch feiner eingestellt werden, und daher die Genauigkeit der Einstellung verbessert werden. Die vorliegende Ausführungsform ist daher im wesentlichen ein Beispiel für die Einstellung der magnetischen Führung in Parallelrichtung. Da der magnetische Bolzen über eine größere Entfernung gedreht wird, als die magnetische Platte in Parallelrichtung in Linearrichtung bewegt werden kann, läßt sich eine feinere Einstellung erzielen.
AUSFÜHRUNGSFORM 5
Bei der Ausführungsform 5 wird ein sogenanntes Riesenmagnetowiderstandsgerät (nachstehend als GMR-Gerät bezeichnet) als das Magnetowiderstandsgerät verwendet.
Ein GMR-Gerät ist ein sogenannter Kunstgitterfilm, nämlich ein Laminat, welches durch abwechselnde Ausbildung einer magnetischen Schicht und einer unmagnetischen Schicht hergestellt wird, welche Dicken von einigen Angström bis zu einigen 10 Angström aufweisen und übereinander angeordnet sind, wie beschrieben in "Magnetoresistance Effect of Artificial Lattice", Journal of the Applied Magnetism Society of Japan, Vol. 15, Nr. 51991, Seiten 813 bis 821. Derartige bekannte Kunstgitterfilme werden durch (Fe/Cr)n, (Permalloy/Cu/Co/Cu)n, und (Co/Cu)n bezeichnet (wobei n die Anzahl an Filmschichten ist). Das GMR-Gerät zeigt einen erheblich größeren Magnetowiderstandseffekt (eine Magnetowiderstandsänderungsrate) als ein übliches Magnetowiderstandsgerät (welches nachstehend als MR-Gerät bezeichnet wird), und der Magnetowiderstandseffekt hängt nur von dem Relativwinkel zwischen den Magnetisierungsrichtungen benachbarter magnetischer Schichten ab. Das GMR-Gerät stellt daher ein Gerät dar, welches eine magnetische Empfindlichkeit in der Ebene zeigt, und dieselben Widerstandsänderungen unabhängig von irgendeinem Winkelunterschied in Richtung eines externen Magnetfeldes in Bezug auf einen Strom erzeugt.
Der Detektoraufbau und die Verarbeitungsschaltungsausbildung bei dieser Ausführungsform sind im wesentlichen ebenso wie bei der Ausführungsform 1, so daß insoweit keine erneute Beschreibung erfolgt.
Infolge der Verwendung eines GMR-Geräts wird durch die vorliegende Ausführungsform das Signal/Rauschverhältnis verbessert, und kann ein Signal entsprechend den abwechselnd vorspringenden und zurückspringenden Abschnitten des Drehteils aus magnetischem Material mit höherer Genauigkeit erhalten werden.
Selbstverständlich lassen sich entsprechende Vorteile mit einer entsprechenden Verarbeitungsschaltungsausbildung und einer entsprechenden Ausbildung einer magnetischen Schaltung erzielen, wenn die vorliegende Erfindung bei einem Linearverschiebungsdetektor eingesetzt wird, bei welchem das Drehteil aus magnetischem Material, welches bei jeder voranstehenden Ausführungsformen verwendet wurde, durch einen magnetischen Körper ersetzt ist, der abwechselnd vorspringende und zurückspringende Abschnitte aufweist, und linear verschoben wird.

Claims (11)

1. Magnetfelddetektor, umfassend
eine Magnetfelderzeugungseinrichtung (26) zum Erzeugen eines magnetischen Feldes;
ein bewegliches Element (25) aus magnetischem Material, das in einem vorbestimmten Spaltabstand zur Magnetfelderzeugungseinrichtung (26) angeordnet ist und abwechselnd vorspringende und zurückspringende Abschnitte aufweist zur Änderung des von der Magnetfelderzeugungseinrichtung (26) erzeugten magnetischen Feldes;
eine Magnetfelderfassungseinrichtung (24) mit mehreren Magnetfelderfassungselementen (24a, 24b) zum Erfassen von Änderungen des magnetischen Feldes bei Bewegung des beweglichen Elementes (25) aus magnetischem Material, wobei die Magnetfelderfassungselemente (24a, 24b) so angeordnet sind, so dass ein magnetischer Fluss die mehreren Magnetfelderfassungselemente (24a, 24b) unter einem ersten vorbestimmten Winkel kreuzt, wenn ein zurückspringender Abschnitt des beweglichen Elementes (25) aus magnetischem Material der Magnetfelderzeugungseinrichtung (26) gegenüberliegt, und unter einem zweiten vorbestimmten Winkel kreuzt, wenn ein vorspringender Abschnitt des beweglichen Elementes (25) aus magnetischem Material der Magnetfelderzeugungseinrichtung (26) gegenüberliegt; und
eine Einstelleinrichtung (28; 18; 29; 19) zum Einstellen von Änderungen des magnetischen Feldes, welche durch die abwechselnd vorspringenden und zurückspringenden Abschnitte des beweglichen Elementes (25) aus magnetischem Material verursacht werden, derart, dass die ersten und zweiten vorbestimmten Winkel in Bezug auf eine Richtung senkrecht zu einer von den mehreren Magnetfelderfassungselementen (24a, 24b) bestimmten Ebene symmetrisch sind.
2. Magnetfelddetektor nach Anspruch 1, bei welchem die Magnetfelderzeugungseinrichtung (26) den abwechselnd vorspringenden und zurückspringenden Abschnitten des beweglichen Elementes (25) aus magnetischem Material gegenüberliegend angeordnet ist und die Magnetfelderfassungseinrichtung (24) parallel zur Richtung der gegenüberliegenden Anordnung ausgerichtet ist.
3. Magnetfelddetektor nach Anspruch 1 oder 2, bei welchem die Einstelleinrichtung (28; 18; 29; 19) zum Einstellen der Magnetfelderzeugungseinrichtung (26) dient.
4. Magnetfelddetektor nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem die Einstelleinrichtung (28; 18; 29; 19) zum Einstellen der Magnetfelderfassungseinrichtung (24) dient.
5. Magnetfelddetektor nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem die Einstelleinrichtung (28; 18; 29; 19) eine magnetische Führung (28; 18) aufweist.
6. Magnetfelddetektor nach Anspruch 5, bei welchem die Einstelleinrichtung (28; 18; 29; 19) in Magnetisierungsrichtung der Magnetfelderzeugungseinrichtung (26) einstellbar ist.
7. Magnetfelddetektor nach Anspruch 5, bei welchem die Einstelleinrichtung (28; 18; 29; 19) senkrecht zur Magnetisierungsrichtung der Magnetfelderzeugungseinrichtung (26) einstellbar ist.
8. Magnetfelddetektor nach Anspruch 5, bei welchem die Einstelleinrichtung (28; 18; 29; 19) schräg zur Magnetisierungsrichtung der Magnetfelderzeugungseinrichtung (26) einstellbar ist.
9. Magnetfelddetektor nach einem der Ansprüche 1 bis 4, bei welchem die Einstelleinrichtung (28; 18; 29; 19) einen magnetischen Bolzen (29; 19) aufweist.
10. Magnetfelddetektor nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem die Magnetfelderfassungseinrichtung (24) durch eine Riesenmagnetowiderstands Einrichtung (GMR-Einrichtung) gebildet ist.
11. Magnetfelddetektor nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei welchem das bewegliche Element (25) aus magnetischem Material durch ein drehbares Teil gebildet ist, das synchron mit einer Drehwelle rotiert.
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