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DE155643T1 - Vorrichtung zur bedampfung. - Google Patents

Vorrichtung zur bedampfung.

Info

Publication number
DE155643T1
DE155643T1 DE198585102965T DE85102965T DE155643T1 DE 155643 T1 DE155643 T1 DE 155643T1 DE 198585102965 T DE198585102965 T DE 198585102965T DE 85102965 T DE85102965 T DE 85102965T DE 155643 T1 DE155643 T1 DE 155643T1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
vacuum evaporation
strip
vacuum
metal
band
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE198585102965T
Other languages
English (en)
Inventor
Takuya C/O Hanshin R & D Laboratori Aiko
Heisaburo Hiroshima Shipyard & Eng. Furukawa
Mitsuo Hiroshima Technical Inst. Kato
Toshiharu C/O Hanshin R & D Laborat Kittaka
Yasuji C/O Hanshin R & D Laboratori Sakai-Shi Osaka Nakanishi
Yoshio Hiroshima Technical Inst. Shimozato
Norio C/O Hanshin R & D Laboratorie Tsukiji
Tetsuyoshi Hiroshima Technical Inst Nishi-Ku Hiroshima-Shi Hiroshima-Ken Wada
Kanji Hiroshima Shipyard & Eng. W. Wake
Kenichi Hiroshima Technical Inst. Yanagi
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Nippon Steel Nisshin Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Nisshin Steel Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP5114184A external-priority patent/JPS60197876A/ja
Priority claimed from JP59086169A external-priority patent/JPS60234964A/ja
Application filed by Mitsubishi Heavy Industries Ltd, Nisshin Steel Co Ltd filed Critical Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Publication of DE155643T1 publication Critical patent/DE155643T1/de
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/26—Vacuum evaporation by resistance or inductive heating of the source
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Claims (11)

102 965 Mitsubishi Jukogyo K.K. u.a. Vakuumverdampfungseinrichtung Patentansprüche
1. Vakuumverdampfungseinrichtung für die kontinuierliche Vakuumaufdampfung eines Metalls auf
1^ einen Streifen oder ein Band eines Erzeugnisses mit mindestens einer Vakuumeinschluß station, umfassend Leitungseinheiten, die das Banderzeugnis umschließend angeordnet sind und sich von der Stelle der Vakuumbedampfung, an welcher das Banderzeugnis dem Vakuumverdampfungs- bzw. -aufdampf ungsverfahren unterworfen wird, zu einer in einem Unterdruck- oder Vakuumzustand gehaltenen Kammer erstrecken, derart, daß praktisch jede Wieder verdampfung des einmal aufgedampften Metalls wirksam verhindert ist, und die auf einen wesentlich höher als die Temperatur des Stahlbanderzeugnisses liegenden Wert erwärmbar sind.
2. Vakuumverdampfungseinrichtung für die kontinuierliche Vakuumaufdampfung eines Metalls auf einen Streifen oder ein Band eines Erzeugnisses, mit mindestens einer Vakuumeinschlußstation, drehbar im Inneren eines Gehäuses gelagerten Walzenmitteln und komplementären Abdeckmitteln, die in komplementärer Anschmiegungsbeziehung zu den Walzenmitteln an einem engen, dazwischen festgelegten Spalt angeordnet sind, umfassend Seitenplattenmittel, die mit Gleitbewegung selbsteinstellend in Längsrichtung längs der Achsen der Walzenmittel an deren gegenüberliegenden Enden montiert sind, sowie Heizmittel, die neben den Walzenmitteln montiert sind und diese sowie
U ι b ο b 4 ο
die komplementären Abdeckmittel zu erwärmen vermögen.
3. Vakuumverdampfungseinrichtung für die kontinuierliche Vakuumaufdampfung eines Metalls auf einen Streifen oder ein Band eines Erzeugnisses, gekennzeichnet durch eine Kombination der Anordnungen nach Anspruch 1 und 2.
4. Vakuumverdampfungseinrichtung für die kontinuierliche Vakuumaufdampfung eines Metalls auf einen Streifen oder ein Band eines Erzeugnisses
nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das
•15 ■ Band des Erzeugnisses ein Bandstahl ist.
5. Vakuumverdampfungseinrichtung für die kontinuierliche Vakuumaufdampfung eines Metalls auf einen Streifen oder ein Band eines Erzeugnisses nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das im Vakuum aufzudampfende Metall Zink ist.
6. Vakuumverdampfungseinrichtung für die kontinuierliche Vakuumaufdampfung eines Metalls auf einen Streifen oder ein Band eines Erzeugnisses nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Band des Erzeugnisses ein Bandstahl ist.
7. Vakuumverdampfungseinrichtung für die kontinuierliche Vakuumaufdampfung eines Metalls auf einen Streifen oder ein Band eines Erzeugnisses nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das im Vakuum aufzudampfende Metall Zink ist.
8. Vakuumverdampfungseinrichtung für die kontinuierliche Vakuumaufdampfung eines Metalls auf einen Streifen oder ein Band eines Erzeugnisses
nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumeinschlußstation vom Klemmwalzentyp ist.
9. Vakuumverdampfungseinrichtung für die kontinuierliche Vakuumaufdampfung eines Metalls auf einen Streifen oder ein Band eines Erzeugnisses nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumeinschlußstation vom Hängewalzentyp (bridle roll type) ist.
10. Vakuumverdampfungseinrichtung für die kontinuierliche Vakuumaufdampfung eines Metalls auf einen Streifen oder ein Band eines Erzeugnisses nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumeinschlußstation vom Klemmwalzentyp ist.
11. Vakuumverdampfungseinrichtung für die kontinuierliche Vakuumaufdampfung eines Metalls auf einen Streifen oder ein Band eines Erzeugnisses nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vakuumeinschlußstation vom Hängewalzentyp (bridle roll type) ist.
DE198585102965T 1984-03-19 1985-03-14 Vorrichtung zur bedampfung. Pending DE155643T1 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5114184A JPS60197876A (ja) 1984-03-19 1984-03-19 真空蒸着装置
JP59086169A JPS60234964A (ja) 1984-05-01 1984-05-01 真空シ−ル装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE155643T1 true DE155643T1 (de) 1986-01-30

Family

ID=26391672

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8585102965T Expired - Lifetime DE3578437D1 (de) 1984-03-19 1985-03-14 Vorrichtung zur bedampfung.
DE198585102965T Pending DE155643T1 (de) 1984-03-19 1985-03-14 Vorrichtung zur bedampfung.

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Application Number Title Priority Date Filing Date
DE8585102965T Expired - Lifetime DE3578437D1 (de) 1984-03-19 1985-03-14 Vorrichtung zur bedampfung.

Country Status (6)

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US (1) US4649860A (de)
EP (1) EP0155643B1 (de)
KR (1) KR890004043B1 (de)
AU (1) AU553239B2 (de)
CA (1) CA1233016A (de)
DE (2) DE3578437D1 (de)

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Also Published As

Publication number Publication date
KR890004043B1 (ko) 1989-10-18
EP0155643B1 (de) 1990-06-27
KR850006551A (ko) 1985-10-14
CA1233016A (en) 1988-02-23
AU553239B2 (en) 1986-07-10
US4649860A (en) 1987-03-17
EP0155643A3 (en) 1987-11-25
DE3578437D1 (de) 1990-08-02
AU4001285A (en) 1985-09-26
EP0155643A2 (de) 1985-09-25

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