DE10120080B4

DE10120080B4 - Ereignisgestütztes Prüfsystem mit einer Einrichtung zur Erzeugung von Prüfabschluß-Mehrfachsignalen

Info

Publication number: DE10120080B4
Application number: DE10120080A
Authority: DE
Inventors: Anthony Santa Clara Le; James Alan Santa Clara Turnquist; Rochit Santa Clara Rajusman; Shigeru Santa Clara Sugamori
Original assignee: Advantest Corp
Current assignee: Advantest Corp
Priority date: 2000-04-24
Filing date: 2001-04-24
Publication date: 2007-08-09
Anticipated expiration: 2021-04-25
Also published as: JP2001349930A; TW508447B; KR20010099723A; CN1243252C; KR100506773B1; JP4072322B2; CN1330273A; US6404218B1; DE10120080A1

Abstract

Ereignisgestütztes Halbleiterprüfsystem zum Prüfen von Halbleiterbauteilen, enthaltend:
a) eine Mehrzahl von Pin-Einheiten, (31₁–31₂₅₆), die Pins eines Halbleiterbauteilprüflings (DUT) zum Prüfen des Bauteilprüflings zugewiesen sind, wobei jede der Pin-Einheiten unabhängig von den anderen arbeitet, und wobei jede Pin-Einheit enthält:
– einen Ereignisspeicher (41) zum Speichern von Ereignis-Zeitsteuerungsdaten zur Erzeugung von Prüfsignalen zum Anlegen an den entsprechenden Pin des Bauteilprüflings; und
– eine Ereignissteuerung (43) zur Steuerung einer Gesamttätigkeit der Pin-Einheit durch Erzeugung der Prüfsignale auf der Basis der Ereignis-Zeitsteuerungsdaten vom Ereignisspeicher und Beurteilung eines Antwort-Ausgangssignals des Bauteilprüflings;
b) eine Einrichtung zur Erzeugung eines Prüfabschlußsignals zur Anzeige des Abschlusses eines laufenden Prüfvorgangs, der von einer zugehörigen Pin-Einheit durchgeführt wurde, wobei das Prüfabschlußsignal für jede einzelne Pin-Einheit unabhängig von anderen Pin-Einheiten erzeugt wird; und
c) eine Systemsteuerung (30) zur Steuerung einer Gesamttätigkeit im ereignisgestützten Prüfsystem durch Kommunikation mit der Ereignissteuerung in jeder Pin-Einheit und Lieferung von Prüfprogrammen...

Description

Die Erfindung betrifft ein ereignisgestütztes Halbleiterprüfsystem zum Prüfen von Halbleiterbauteilen, insbesondere ein ereignisgestütztes Prüfsystem mit einer Einrichtung zur Erzeugung von Prüfabschluß-Mehrfachsignalen, die jeweils einen Prüfabschluß in einer entsprechenden Pin-Einheit oder einer Pin-Einheit-Bauteilgruppe anzeigen, soweit zwei oder mehrere Pin-Einheit-Bauteilgruppen im Prüfsystem Prüfvorgänge unabhängig voneinander durchführen.
Beim Prüfen von Halbleiterbauteilen wie ICs und LSIs mit Hilfe eines Halbleiterprüfsystems, wie beispielsweise mit Hilfe eines IC-Prüfgeräts, wird ein Halbleiter-IC-Bauteilprüfling mit Prüfsignalen oder Prüfmustern versehen, die von einem Halbleiterprüfsystem an seinen entsprechenden Pins zu vorbestimmten Prüfzeiten erzeugt werden. Das Halbleiterprüfsystem erhält von dem IC-Bauteilprüfling (DUT) Ausgangssignale in Abhängigkeit von den Prüfsignalen. Die Ausgangssignale werden zum Vergleich mit erwarteten Daten durch Strobe-Signale zu vorbestimmten Zeiten abgetastet, um zu prüfen, ob der Bauteilprüfling ordentlich funktioniert oder nicht.
Herkömmlicherweise wird die zeitliche Abstimmung der Prüfsignale und der Strobe-Signale relativ zu einer Prüfrate oder einem Prüfzyklus des Halbleiterprüfsystems definiert. Darüber hinaus werden Wellenformen und Vektoren der Prüfsignale gleichfalls in Bezug auf jeden Prüfzyklus definiert. Ein derartiges Prüfsystem wird verschiedentlich ein zyklusgestütztes Prüfsystem genannt. Bei einem zyklusgestützten Prüfsystem sind meh rere unterschiedliche Datentypen nötig, wodurch die Datenverarbeitung in derartigen Prüfsystemen tendenziell kompliziert ist. Man geht deshalb davon aus, daß es mit einem zyklusgestützten Prüfsystem schwierig ist, eine Einzelpin-Architektur zu erzielen, bei der die Hardware und die Software eines jeden einzelnen Prüfpins unabängig von der der anderen ist.
1 zeigt eine Schemadarstellung eines Beispiels eines derartigen zyklusgestützten Prüfsystems. In 1 dient eine innerhalb des Halbleiterprüfsystems vorgesehene Sequenzsteuerung 12 als Prüfprozessor zur Steuerung der Tätigkeit des Prüfsystems. Auf der Basis der Adressdaten der Sequenzsteuerung 12 erzeugt ein Musterspeicher 14 Musterdaten und Wellenformdaten relativ zu jedem Prüfzyklus. Die Musterdaten und die Wellenformdaten werden einem Pindaten-Formatierer 17 durch einen Pindaten-Selektor 16 zugeführt. Auf der Basis der Adressdaten der Sequenzsteuerung 12 erzeugt ein Zeitsteuerungsspeicher 13 Zeitsteuerungsdaten, die typischerweise die Verzögerungszeiten bezüglich des Beginns eines jeden Prüfzyklus spezifizieren. Die Zeitsteuerungsdaten werden gleichfalls dem Pindaten-Formatierer 17 zugeführt.
Ein Prüfsignal wird vom Pindaten-Formatierer 17 unter Verwendung der Musterdaten und der Wellenformdaten des Musterspeichers 14 sowie unter Verwendung der Zeitsteuerungsdaten des Zeitsteuerungsspeichers 13 erzeugt. Eine Pin-Ansteuerung/Komparator-Einheit 18 legt das Prüfsignal mit einer bestimmten Amplitude und Ausgangsspannungsänderungsgeschwindigkeit an einen Bauteilprüfling (DUT) 19 an. Der Pindaten-Selektor 16 übermittelt die Musterdaten und Wellenformdaten für entsprechende Prüfpins selektiv an den Pindaten-Formatierer 17. Anders ausgedrückt, der Pindaten-Formatierer 17 wird von einer Mehrzahl von Daten-Formatierern mit Eins-zu-Eins-Zuordnung zu den Prüfpins (Prüfkanälen) konfiguriert. Entsprechend wird auch die Pin-Ansteuerung/Komparator-Einheit 18 von einer großen Anzahl von den Prüfpins korrespondierenden Ansteuerungen und Komparator-Einheiten konfiguriert.
Die Pin-Ansteuerung/Komparator-Einheit 18 erhält ein Antwortsignal vom Bauteilprüfling 19 als Ergebnis des Prüfsignals. In der Pin-Ansteuerung/Komparator-Einheit 18 wird das Antwortsignal in ein Logiksignal mit Hilfe eines analogen Komparators mit Bezug auf vorbestimmte Schwellwert-Spannungen durch die Zeitsteuerung von Strobe-Signalen umgewandelt, wobei das daraus resultierende Logiksignal mit dem erwarteten Datenwert von einem Logikkomparator verglichen wird. Das Ergebnis des Logikvergleichs signalisiert bezüglich des Bauteilprüflings Freizeichnung bzw. Ausschuß, was im Fehlerspeicher 15 in Abhängigkeit zu den Adressdaten des Bauteilprüflings 19 gespeichert wird. Die im Fehlerspeicher 15 gespeicherten Prüfergebnisse werden in einem Stadium der Fehleranalyse nach dem Prüfvorgang verwendet.
Bei dem oben beschriebenen zyklusgestützten Prüfsystem teilen alle Prüfpins (Pins der Bauteilprüflinge) die gleichen Speicherflächen im Musterspeicher 14 und Zeitsteuerungsspeicher 13, die die Musterdaten und Zeitsteuerungsdaten speichern. Anders ausgedrückt, kein Prüfpin kann unabhängig von den anderen arbeiten. Dieses gemeinsame Teilen von Speicherplatz macht es erforderlich, daß das Prüfprogramm für alle Prüfpins vom An fang bis zum Ende vollständig durchgeführt wird. Deshalb verlangt das zyklusgestützte Prüfsystem automatisch nach lediglich einem Prüfabschlußsignal, d.h. nach einem ein Prüfabschlußsignal (EOT-Signal) erzeugenden Mechanismus.
Beim Prüfen komplizierter Halbleiterbauteile jüngster Fertigung mit Hilfe eines derartigen, herkömmlichen Prüfsystems tritt insoweit eine Schwierigkeit auf, als die Prüfdauer ansteigt, wenn der Bauteilprüfling zwei oder mehrere unterschiedliche Funktionsblöcke aufweist. So weist beispielsweise ein System-on-Chip-IC-Bauteil (SOC-IC-Bauteil) eine Mehrzahl von Funktionsblöcken oder Funktionskernen auf, um die beabsichtigte Gesamtfunktion erfüllen zu können. Ein typisches SOC-Bauteil erfordert für die den SOC-Bauteil bildenden Funktionsblöcke (-kerne oder -module) Mehrfach-Taktfrequenzen. Manchmal teilen diese Taktfrequenzen nicht die gleichen Oberwellen, weshalb sie asynchron zueinander sind.
Ein Beispiel für ein SOC-Bauteil, nämlich ein typisches Multimedia-SOC-Bauteil ist in 2 dargestellt. Das SOC-Bauteil 19 weist mehrere Funktionsblöcke oder Funktionskerne auf, wozu insbesondere eine PLL-Schaltung (Phasenregelkreis) 22 gehört, ferner ein Fernseh-Codierer 23, eine Speichersteuerung 24, eine Display-Steuerung 25, ein PCI-Modul 26, ein RISC (Rechner mit verkleinertem Befehlssatz) 27 sowie eine MPEG-Maschine 28. In 2 zeigt jeder Funktionskern die Taktfrequenz, die gegenüber einer anderen asynchron ist.
Da jeder Funktionskern in diesem Beispiel mit unterschiedlicher Taktfrequenz arbeitet, muß jeder Funktionskern gesondert geprüft werden. Da die Prüfsignale und Strobe-Signale auf der Grundlage von Daten des gleichen Musterspeichers und Zeitsteuerungsspeichers erzeugt werden, ist es beim zyklusgestützten Prüfsystem nicht möglich, Prüfsignale asynchron zueinander zu erzeugen. Anders ausgedrückt, ein herkömmliches zyklusgestütztes Prüfsystem kann keine unterschiedlichen Prüfarten gleichzeitig durchführen. Da jeder Funktionskern einzeln für sich und nacheinander geprüft werden muß, ist die gesamte Prüfdauer die Summe der Prüfzeiten aller Funktionskerne.
3 zeigt ein Beispiel eines Verfahrens zum Prüfen des in 2 dargestellten SOC-Bauteils 19. Wie bereits vorstehend erwähnt, wird jeder einzelne Funktionskern nacheinander, und zwar zwischen einem Prüfbeginn t0 und einem Prüfende t0 durchgeprüft. Das Prüfsystem prüft den PCI-Block zwischen t0 und te, alsdann den RISC-Block zwischen t0 und te, und so fort. Dies führt dazu, daß, während einer der Funktionskerne geprüft wird (durchgezogene Linien in 3), alle anderen Kerne im Wartezustand verharren (gestrichelte Linien in 3). Es dauert deshalb sehr lang, um das in 2 dargestellte SOC-Bauteil durchzuprüfen.

US 5 461 310 A beschreibt ein automatisches Prüfsystem, das eine "pin slice"-Architektur verwendet. Das System weist mehrere "pin slices" auf, wobei jedem Anschluss des Bauteilprüflings jeweils eine "pin slice" zugeordnet ist. Die Prüfdaten werden als Vertikalwort in die einzelnen "pin slice"-Schaltungen geladen, so dass alle Bits des Vertikalwortes einem entsprechenden Pin entsprechen, so dass die Charakteristika einer individuellen Pin-Testsequenz unabhängig von den anderen Pins geändert werden kann.

US 5 212 443 A betrifft einen "event sequencer" für ein automatisches Prüfgerät, um ein Prüfereignis zu erzeugen, das als Prüfintervall bezeichnet wird. Es ist ein "global sequencer" vorgesehen, der vergleichbar ist mit einem herkömmlichen Taktgenerator, der Prüfzyklen (Prüfintervalle) erzeugt, und ein Lokalspeicher entspricht dem herkömmlichen Mustergenerator, der Musterdaten erzeugt. Somit betrifft US 5 212 443 A ein zyklusgestütztes Halbleiterprüfsystem.

EP 0 558 231 A2 zeigt eine Vorrichtung zum Prüfen von mehreren Funktionsblöcken in einem Halbleiterschaltkreis. Dabei werden Testdaten über einen Testbus von einem Testregister zur Verfügung gestellt und an RAM-Makro-Zellen. abgegeben. Diese Zellen verarbeiten daraufhin gleichzeitig die Testeingabesignale und geben ihre Antwortsignale an einen Multiplexer aus. Mit diesem werden die Testantworten einer RAM-Makro-Zelle ausgewählt und weiter analysiert.

DE 100 16 611 A1 (nachveröffentlicht) betrifft ein ereignisgestütztes Prüfsystem mit einer Skalierfunktion zum beliebigen Verändern der Zeitsteuerung für Ereignisse zum Prüfen eines Elektronikbauteil-Prüflings durch Zuführen eines Prüfsignals zum Bauteilprüfling und Bewerten eines Ausgangssignals vom Bauteilprüfling gemäß der Zeitsteuerung eines Strobe-Signals.

Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein ereignisgestütztes Halbleiterprüfsystem zu entwickeln, das mehrere unterschiedliche Prüfungen parallel zur gleichen Zeit durchführen kann.

Die Aufgabe wird durch die Gegenstände der unabhängigen Ansprüche 1 und 8 gelöst.

Die vorligende Erfindung betrifft ein ereignisgestütztes Prüfsystem zum Prüfen elektronischer Bauteilprüflinge (DUT) durch Erzeugung von Ereignissen unterschiedlicher Zeitansteuerung zum Anlegen von Prüfsignalen an den Bauteilprüfling und zur Beurteilung eines Ausgangssignales des Bauteilprüflings zur Zeitansteuerung von Strobe-Signalen. Das ereignisgestützte Prüfsystem ist mit einer Mehrzahl von Prüfpin-Bauteilgruppen oder Pin-Einheiten frei konfiguriert, wobei jede Gruppe unabhängig von den anderen Gruppen Prüfungen durchführen kann. Der zeitliche Beginn und das zeitliche Ende der Prüfung einer jeden Gruppe werden durch die Erzeugung von Testabschluß-Mehrfachsignalen unabhängig gemacht.

Im Rahmen der vorliegenden Erfindung umfaßt das ereignisgestützte Prüfsystem eine Mehrzahl von Pin-Einheiten, die Pins eines Halbleiterbauteilprüflings (DUT) zum Prüfen des Bauteilprüflings zugewiesen sind, wobei jede der Pin-Einheiten unabhängig von den anderen arbeitet, und wobei jede Pin-Einheit einen Ereignisspeicher zum Speichern von Ereignis-Zeitsteuerungsdaten zur Erzeugung von Prüfsignalen zum Anlegen an den entsprechenden Pin des Bauteilprüflings umfaßt, ferner eine Ereignissteuerung zur Steuerung einer Gesamttätigkeit, der Pin-Einheit durch Erzeugung der Prüfsignale auf der Basis der Ereignis-Zeitsteuerungsdaten vom Ereignisspeicher und Beurteilung eines Antwort-Ausgangssignals des Bauteilprüflings.

Das ereignisgestütze Prüfsystem enthält weiterhin eine Einrichtung zur Erzeugung eines Prüfabschlußsignals zur Anzeige des Abschlusses eines laufenden Prüfvorgangs, der von einer zugehörigen Pin-Einheit durchgeführt wurde, wobei das Prüfabschlußsignal für jede einzelne Pin-Einheit unabhängig von anderen Pin-Einheiten erzeugt wird, und ferner eine Systemsteuerung zur Steuerung einer Gesamttätigkeit im ereignisgestützten Prüfsystem durch Kommunikation mit der Ereignissteuerung in jeder Pin-Einheit und Lieferung von Prüfprogrammen einschließlich Ereigniszeitsteuerungsdaten an den Ereignisspeicher in jeder Pin-Einheit. Das Prüfabschlußsignal wird für jede einzelne Pin-Einheit zu Bedingungen ausgewählt, die von der Systemsteuerung festgelegt werden. Das ausgewählte Prüfabschlußsignal wird- der Systemsteuerung und den anderen Pin-Einheiten zugeführt.

Erfindungsgemäß kann das ereignisgestützte Halbleiterprüfsystem die Ereignisse der Prüfsignale mit verschiedenen Zeitansteuerungen auf der Basis der im Ereignisspeicher gespeicherten Ereignisdaten erzeugen, um das Halbleiterbauteil zu beurteilen. Das ereignisgestützte Prüfsystem umfaßt eine Mehrzahl von Pin-Einheiten; von denen jede einzelne ein Prüfsignal für einen bestimmten Pin des Bauteilprüflings erzeugen kann, ferner eine Einrichtung zur Erzeugung eines Prüfabschlußsignals mit Bezug auf jede einzelne Pin-Einheit und unabhängig von den anderen Pin-Einheiten.

Das ereignisgestützte Prüfsystem kann daher eine Mehrzahl von unterschiedlichen Prüfungen parallel zur gleichen Zeit durchführen. Das ereignisgestützte Prüfsystem kann eine Mehrzahl von Pineinheiten mehreren Pin-Einheit-Bauteilgruppen frei zuweisen und Mehrfachsignale erzeugen, die jeweils einen Prüfabschluß in einer zugehörigen Pin-Einheit-Baugrupe anzeigen, wobei jede Pin-Einheit-Bauteilgruppe Prüfungen unabhängig voneinander durchführt. Auf diese Weise kann das ereignisgestützte Prüfsystem eine Mehrzahl von unterschiedlichen Prüfungen parallel zur gleichen Zeit durchführen.

In der Zeichnung zeigen
1 eine Schemadarstellung einer Grundstruktur eines herkömmlichen, zyklusgestützten Prüfsystems,
2 eine Schemadarstellung eines Beispiels eines Halbleiterbauteilprüflings, das ein System-on-Chip-Bauteil (SOC-Bauteil) mit mehreren Funktionskernen ist,
3 einen Zeitchart, der ein Prüfverfahren zum Prüfen des in 2 dargestellten System-on-Chip-Bauteils (SOC-Bauteil) mit Hilfe des in 1 dargestellten zyklusgestützten Prüfsystems zeigt,
4 eine Schemadarstellung einer Grundstruktur eines erfindungsgemäßen; ereignisgestützten Prüfsystems, das Prüfabschluß-Mehrfachsignale erzeugen kann,
5A bis 5E Zeitsteuerungsdarstellungen eines Beispiels von Zeitsteuerungsbeziehungen zwischen den zu erzeugenden Ereignissen und korrespondierenden Zeitsteuerungsdaten im ereignisgestützten Prüfsystem,
6 Schaltkreisdarstellung eines Beispiels einer Schaltkreisstruktur in einer Prüfabschlußsignale erzeugenden Logik im erfindungsgemäßen, ereignisgestützten Prüfsystem,
7 eine Schemadarstellung eines Beispiels, in dem Pin-Einheiten in acht Pin-Einheit-Bauteilgruppen mit jeweils 32 Pins gruppiert sind und von denen jede Gruppe Prüfabschlußsignale unabhängig von den anderen Gruppen erzeugt,
8 eine Zeitsteuerungsdarstellung eines Prüfverfahrens zum Prüfen des in 2 dargestellten System-on-Chip-Bauteils (SOC-Bauteil) mit Hilfe des erfindungsgemäßen, ereignisgestützten Prüfsystems,
9A und 9B Schemadarstellungen zur Illustration des Unterschieds im Speicher-Management zwischen dem herkömmlichen zyklusgestützten Prüfsystem und dem erfindungsgemäßen, ereignisgestützten Prüfsystem.
4 zeigt die Grundstruktur eines erfindungsgemäßen, ereignisgestützten Prüfsystems. Beim ereignisgestützten Prüfsystem führt jeder Prüfpin einen Prüfvorgang unabhängig von jedem anderen Prüfpin durch. Jeder Prüfpin erzeugt unabhängig von den anderen Prüfpins ein Prüfab schlußsignal. In einem ereignisgestützten Prüfsystem werden die gewünschten Prüfsignale und Strobe-Signale auf der Grundlage von Ereignisdaten in einem Ereignisspeicher unmittelbar auf einer Per-Pin-Basis erzeugt. In der Praxis sind, da jeder Funktionsblock, wie etwa ein Funktionskern eines System-on-Chip-Bauteils (SOC-Bauteil), über eine Mehrzahl von Vorrichtungspins verbunden ist, Pin-Einheiten (Prüfpins) des ereignisgestützten Prüfsystems in verschiedenen Pin-Einheit-Bauteilgruppen (Prüfmodule) gruppiert. So kann das Prüfsystem beispielsweise acht Pin-Einheit-Bauteilgruppen aufweisen, wobei 32 Pin-Einheiten (Prüfpins) oder 64 Pin-Einheiten einer Pin-Einheit-Bauteilgruppe zugewiesen sind. Erfindungsgemäß arbeitet jede Pin-Einheit-Bauteilgruppe unabhängig von jeder anderen. Jede Pin-Einheit-Bauteilgruppe erzeugt ein Prüfabschlußsignal (EOT-Signal), sobald ein gewünschter Prüfvorgang abgeschlossen oder ein Fehler im Bauteilprüfling (DUT) ermittelt wurde.
Bei einem ereignisgestützten Prüfsystem werden Ereignisse als Änderungen im Logikzustand der zum Prüfen eines Halbleiter-Bauteilprüflings verwendeten Signale definiert. So sind derartige Änderungen etwa ansteigende oder abfallende Flanken der Prüfsignale oder Zeitsteuerungsflanken von Strobe-Signalen. Die Zeitsteuerung der Ereignisse wird mit Bezug auf eine Zeitlänge gegenüber einem Referenz-Zeitpunkt definiert. Typischerweise ist ein solcher Referenz-Zeitpunkt der Zeitpunkt des vorangegangenen Ereignisses, so daß die Zeitsteuerung eines solchen Ereignisses als Zeitunterschied zwischen dem Zeitpunkt des vorangegangenen Ereignisses und dem des laufenden Ereignisses ausgedrückt wird. Alternativ dazu kann ein solcher Referenz-Zeitpunkt ein für alle Ereignisse gleicher, feststehender Start-Zeitpunkt sein.
Bei einem ereignisgestützten Prüfsystem kann, da die Zeitsteuerungsdaten im Zeitsteuerungsspeicher (Ereignisspeicher) keine komplizierten Informationen bezüglich Wellenform, Vektoren, Verzögerungen u.s.w. hinsichtlich jedes einzelnen Prüfzyklus zu enthalten haben, die Beschreibung der Zeitsteuerungsdaten unerhört vereinfacht werden. Prüfsignale und Strobe-Signale können unmittelbar aus den Ereignissteuerungsdaten gewonnen werden. Aufgrund dieser Einfachheit kann jeder Prüfpin (Pin-Einheit) unabhängig von jedem anderen arbeiten.
Im ereignisgestützten Prüfsystem werden, wie vorstehend erwähnt, die Zeitsteuerungsdaten (Ereignisdaten) für jedes in einem Ereignisspeicher gespeicherte Ereignis durch Ausdruck eines zeitlichen Unterschieds zwischen dem laufenden Ereignis und dem vorangegangenen Ereignis beschrieben. Da der zeitliche Abstand zwischen zwei aufeinanderfolgenden Ereignissen (Delta-Zeit) entgegen dem zeitlichen Abstand zu einem feststeheden Start-Zeitpunkt (absolute Zeit) gering ist, ist die Datengröße im Speicher gleichfalls gering, was zu einer Reduzierung der Speicherkapazität führt.
Zur Erzeugung einer hochauflösenden Zeitsteuerung wird die Zeitspanne (Verzögerungswert) zwischen den Ereignissen mit Hilfe einer Kombination eines ganzzahligen Vielfachen eines Referenz-Taktzyklus (Ganzzahlteil oder Ereigniszählung) und einem Bruchteil des Referenz-Taktzyklus (Bruchteil oder Ereignis-Feinabstimmung) definiert. Die zeitliche Beziehung zwischen dem Ereigniszähler und der Ereignis-Feinabstimmung ist in den Zeitsteuerungsdarstellungen gemäß
5A bis 5E dargestellt. In diesem Beispiel weist ein Referenztakt gemäß 5A einen Taktzyklus und eine Taktperiode T auf. Die Ereignisse 0, 1 und 2 sind, wie in 5C dargestellt, in Bezug zueinander gesetzt.
Um das Ereignis 1 mit Bezug auf das Ereignis 0 zu beschreiben, wird ein Zeitunterschied (Verzögerung) Delta V1 zwischen den beiden Ereignissen in einem Ereignisspeicher definiert. Die Zeitsteuerung des Ereignisses 2 wird durch einen Zeitunterschied (Verzögerung) Delta V2 gegenüber dem Ereignis 1 definiert. Entsprechend wird die Zeitsteuerung des Ereignisses 3 in 5E durch einen Zeitunterschied (Verzögerung) Delta V3 gegenüber dem Ereignis 2 definiert. In einem ereignisgestützten Prüfsystem werden die Zeitsteuerungsdaten im Ereignisspeicher angezeigt und bezüglich aller vorangegangenen Ereignisse aufaddiert, um die gültige Zeitsteuerung des laufenden Ereignisses zu erzeugen.
Im Beispiel gemäß 5C wird, um das Ereignis 1 zu erzeugen, die Zeitsteuerungsbeziehung von 5B verwendet, in der N1T den Ereignis-Zählstand bezeichnet, der das N1-Fache der Bezugszeitspanne T beträgt, und Delta 1T bezeichnet die Ereignis-Feinabstimmung, die einen Bruchteil der Bezugszeitspanne T beträgt. Entsprechend werden, um das in 5E gezeigte Ereignis 3 gegenüber dem Ereignis 0 zu erzeugen, die Zeitsteuerungsdaten aller vorangegangenen Ereignisse aufaddiert, um einen Gesamt-Zeitunterschied aufzumachen, der durch N3T + Delta 3T ausgedrückt wird, wobei N3T den Ereigniszählstand bezeichnet, der das N3-Fache der Bezugszeitspanne T beträgt, und wobei Delta 3T die Ereignis- Feinabstimmung bezeichnet, die einen Bruchteil der Bezugszeitspanne T ausmacht.
Aus 4 ist ersichtlich, daß das ereignisgestützte Prüfsystem eine große Anzahl von Pin-Einheiten 31 (Prüfpins oder Ereignis-Prüfer) umfaßt, die jeweils unabhängig von einander Prüfsignale an einen entsprechenden Pin des Bauteilprüflings (DUT) liefern und ein Antwort-Ausgangssignal des DUT beurteilen können. Im Beispiel gemäß 4 sind 256 Pin-Einheiten 31₁ bis 31₂₅₆ im ereignisgestützten Prüfsystem vorgesehen. Treiber 52 und 54 erhalten und senden Prüfabschlußsignale vom bzw. an die Pin-Einheiten 31₁ bis 31₂₅₆ . Ein Hauptrechner 30 (Systemsteuerung) kommuniziert mit allen Pin-Einheiten (31) durch einen Systembus 33. Der Hauptrechner 30 steuert die Gesamttätigkeit des ereignisgestützten Prüfsystems.
Jede Pin-Einheit 31 umfaßt einen Ereignisspeicher 41, eine Ereignissteuerung 43, eine Ereignis-Skaliereinrichtung 45, eine Verzögerungssteuerung 47 und eine Pin-Elektronik (PE) 49. In jeder Pin-Einheit 31 speichert der Ereignisspeicher 41 Ereignisdaten, die im wesentlichen aus Ereignis-Zeitsteuerungsdaten sowie Ereignis-Typendaten gebildet werden. Typischerweise definieren die Ereignis-Zeitsteuerungsdaten den Zeitunterschied zwischen zwei aufeinanderfolgenden Ereignissen. Derartige Ereignis-Zeitsteuerungsdaten werden verwendet, um eine Gesamt-Verzögerungszeit eines laufenden Ereignisses gegenüber einem Bezugspunkt auszudrücken, wie dies in den 5B und 5E gezeigt ist. Die Ereignis-Typendaten definieren den Ereignistyp, wie etwa ein Treiberereignis und ein Sammelereignis, wie in den 5C und 5E dargestellt.
Die Ereignissteuerung 43 ist eine Steuerung wie etwa ein Mikroprozessor zur Steuerung der Gesamttätigkeit der Pin-Einheit 31. Die Ereignissteuerung 43 erhält von der Systemsteuerung (Hauptrechner) 30 über den Systembus 33 Instruktionen, um Prüfprogramme in der Pin-Einheit 31 zu laden und die Prüfprogramme ablaufen zu lassen. Die Ereignissteuerung 43 liefert ein Prüfsignal an einen besimmten Pin des Bauteilprüflings und beurteilt das Antwort-Ausgangssignal des Bauteilprüflings. Die Ereignissteuerung 43 errechnet die Gesamtverzögerung eines jeden Ereignisses, in dem sie die Ereignissteuerungsdaten vom Ereignisspeicher 41 aufaddiert. Die Ereignissteuerung 43 dient auch als Adress-Folgesteuerungseinrichtung, um Adressdaten dem Ereignisspeicher 41 in der Pin-Einheit unabhängig von den anderen Pin-Einheiten zuzuführen.
Wie in 5 dargestellt, wird der Zeitunterschied zwischen zwei aufeinanderfolgenden Ereignissen, die von den Ereignissteuerungsdaten definiert werden, durch ein ganzzahliges Vielfaches einer Bezugszeitspanne und einen Bruchteil der Bezugszeitspanne konfiguriert. Beim Errechnen der Gesamtverzögerungszeit kann deshalb ein Übertrag vorgenommen werden, wenn die Summe der Bruchteilsdaten die Bezugszeitspanne überschreitet.
Die Ereignis-Skaliereinrichtung 45 dient dem Skalieren der Gesamtverzögerungsdaten der Ereignissteuerung 43. Die Ereignis-Skaliereinrichtung ändert die Gesamtverzögerungsdaten im Verhältnis zu einem Skalierfaktor. Die Verzögerungssteuerung 47 dient der Erzeugung des Prüfmusters, wie etwa der Treiberereignisse und der Sammelereignisse, und zwar basierend auf der skalierten Ge samtverzögerungszeit der Ereignis-Skaliereinrichtung 45. Das Prüfmuster wird an den Bauteilprüfling DUT über die Pin-Elektronik angelegt, die einen Treiber zur Übermittlung des Prüfmusters (Treiberereignis) an den Bauteilprüfling DUT sowie einen Komparator zum Vergleichen des Antwort-Ausgangssignals des Bauteilprüflings DUT und die Zeitsteuerung des Sammelereignisses umfaßt.
Jede Pin-Einheit 31 kann unabhängig von den anderen Pin-Einheiten im gleichen Prüfsystem gestartet und gestoppt werden. So kann beispielsweise, wenn ein Fehler im entsprechenden Pin ermittelt wird, oder wenn das Prüfmuster erschöpft ist, die Pin-Einheit 31 den Prüfvorgang stoppen. Erfindungsgemäß sendet jede Pin-Einheit 31 ein derartiges Prüfabschluß-Signal (EOT-Signal) an andere Pin-Einheiten. Erfindungsgemäß empfängt auch jede Pin-Einheit 31 ein Prüfabschluß-Signal (EOT-Signal) von den anderen Pin-Einheiten. Die Treiber 52 und 54 speichern die an die Pin-Einheiten gesandten und von diesen empfangenen Prüfabschluß-Signale (EOT-Signale) vorübergehend zwischen. Wie nachfolgend unter Bezugnahme auf 6 erläutert, umfassen die Treiber 52 und 54 Mittel zur Auswahl der Prüfabschlußsignale auf der Grundlage spezifischer Konditionen.
Erfindungsgemäß ist jede Pin-Einheit 31 mit zwei Arten von Prüfabschlußsignalen verbunden, zum einen mit einem Prüfabschluß-Ausgangssignal (EOT-Out) und zum anderen mit einem Prüfabschluß-Eingangssignal (EOT-In). Die Ereignissteuerung 43 in jeder der Pin-Einheiten 31 gemäß 4 erzeugt ein EOT-Out-Signal und erhält ein EOT-In-Signal. Ein EOT-In-Signal wird beispielsweise von der Pin-Einheit verwendet, um den Ablauf des Prüfprogramms abzustoppen und ein EOT-Out-Signal wird als Sy stem-Unterbrechung verwendet, um eine Systemwartung anzufordern.
6 zeigt ein Beispiel eines Schaltkreises zur Erzeugung eines EOT-Out-Signals durch die Pin-Einheit 31. Die Ereignissteuerung 43 erzeugt Prüfabschlußsignale auf der Grundlage unterschiedlicher Bedingungen, so beispielsweise auf der Grundlage verschiedener Fehlerarten, die auf dem entsprechenden Pin des Bauteilprüflings entdeckt werden, oder auf der Grundlage von Bedingungen, die vom Benutzer spezifiziert werden, oder auf der Grundlage des Ende des Prüfprogramms o.ä. Ein Ausgangs-Steuerungsregister 58 ist vorgesehen, um eine oder mehrere Arten von Prüfabschlußsignalen von der Ereignissteuerung 43 auszuwählen. Das Systemprogramm der Systemsteuerung 30 steuert den Inhalt des Ausgangs-Steuerungsregisters 58.
UND-Gatter 55₁ bis 55₈ sind jeweils mit dem Ausgang der Ereignissteuerung 43 und dem Register 58 verbunden, so daß lediglich die ausgewählten Prüfabschlußsignale an den Ausgängen der Treiber 57₁ bis 57₈ erzeugt werden. Die Ausgänge der Treiber 57₁ bis 57₈ sind in einer ODER-Funktion verknüpft. Auch wenn dies nicht dargestellt ist, so können die Prüfabschluß-Eingangssignale (EOT-In) durch eine der oben dargestellten Konfigurationen erzeugt werden. Ein Eingangs-Steuerungsregister wie etwa das Ausgangs-Steuerungsregister 58 kann vorgesehen werden, um Wahlsignale zur Auswahl bestimmter Arten der EOT-In-Signale auszuwählen, die an die Ereignissteuerung 43 übermittelt werden.
Da ein Halbleiter-Bauteilprüfling eine große Anzahl von I/O-Pins aufweist, so wie beispielsweise wenigstens 32 Pins, sind die Pin-Einheiten 31 in mehrere Pin-Einheit-Bauteilgruppen (Prüfmodule) gruppiert. In einem Beispiel weist das erfindungsgemäße Prüfsystem acht unterschiedliche Gruppen von Pin-Einheiten auf, die unabhängig voneinander arbeiten können. Auf diese Weise verfügt in dem Beispiel gemäß 4 mit 256 Pin-Einheiten 31₁ bis 31₂₅₆ jede Pin-Einheit-Bauteilgruppe (Prüfmodul) über 32 Pin-Einheiten, während das gleiche Prüfabschlußsignal 32 Pin-Winheiten in der gleichen Gruppe zugewiesen wird.
Eine entsprechend Konfiguration ist in 7 dargestellt, bei der acht Prüfabschluß-Ausgangssignale (EOT-Out-Signale) und acht Prüfabschluß-Eingangssignale (EOT-In-Signale) jeweils acht Pin-Einheit-Bauteilgruppen zugeordnet sind. In diesem Beispiel sind eine EOT-In-Linie 1 und eine EOT-Out-Linie 1 der ersten Pin-Einheit-Bauteilgruppe mit den Pin-Einheiten 31₁ bis 31₃₂ zugeordnet. Eine EOT-In-Linie 2 und eine EOT-Out-Linie 2 sind der zweiten Pin-Einheit-Bauteilgruppe mit den Pin-Einheiten 31₃₃ bis 31₆₄ zugeordnet. Auf diese Weise sind EOT-In-Linien 1 bis 8 und EOT-Out-Linien 1 bis 8 jeweils den Pin-Einheiten 31₁ bis 31₂₅₆ zugeordnet, obgleich aus Gründen der zeichnerischen Vereinfachung lediglich 160 Pin-Einheiten in 7 dargestellt sind.
Wie bereits vorstehend unter Bezug auf 4 dargestellt, enthält jede Pin-Einheit 31, wie in der Ereignissteuerung 43, eine Logikeinheit, um ein Prüfabschlußsignal zu erzeugen. Ein Prüfabschlußsignal kann unter verschiedenen Bedingungen erzeugt werden, die von der Systemsoftware über das Ausgangs-Steuerungsregister 58 (6) gesteuert werden. Das ausgewählte Prüfabschlußsignal ist, wie in 6 dargestellt, offen drain (in einer ODER-Funktion verknüpft). Acht derartige offen-drain Prüfabschluß-Ausgänge werden mit einer der EOT-Out-Linien 1 bis 8 verbunden. In entsprechender Weise werden acht offen-drain Prüfabschluß-Eingänge mit einer der EOT-In-Linien 1 bis 8 verbunden.
Wie vorstehend erwähnt, umfassen die Funktionen der EOT-Signale auch die Anforderung aller Pin-Einheiten in der gleichen Pin-Einheit-Bauteilgruppe (Prüfmodul), die Ausführung des Prüfprogramms zu stoppen, Systemwartung anzufordern sowie die laufende Prüfung zu stoppen und die nächste Prüfung beginnen zu lassen. Folglich können acht Prüfmodule (Pin-Einheit-Bauteilgruppen) acht verschiedene Prüfungen parallel zur gleichen Zeit am gleichen Bauteilprüfling durchführen.
8 zeigt ein Beispiel einer Prüfzeit-Zuordnung im erfindungsgemäßen ereignisgestützten Prüfsystem beim Prüfen der in 2 dargestellten System-On-Chip-Bauteile (SOC-Bauteile). 8 illustriert eine gegenüber dem in 3 dargestellten herkömmlichen Beispiel verkürzte Bauteilprüfzeit. In diesem Beispiel weist das ereignisgestützte Prüfsystem die erste Pin-Einheit-Bauteilgruppe (Pin-Einheiten 31₁ bis 31₃₂ ) und die EOT-Linie 1 dem PCI-Kern des Bauteilprüflings (DUT) zu, wobei die zweite Pin-Einheit-Bauteilgruppe (Pin-Einheiten 31₃₃ bis 31₆₄ ) und die EOT-Linie 2 dem RISC-Kern des Bauteilprüflings (DUT) zugewiesen ist, und so fort.
PCI, RISC, Speichersteuerung, Encoder und Display-Kerne werden jeweils von den Pin-Einheit-Bauteilgruppen (Prüfmodulen) 1 bis 5 geprüft, während die EOT-Linien 1 bis 5 jeweils den Pin-Einheit-Bauteilgruppen 1 bis 5 zugeordnet sind. Am Ende einer jeden Funktionskern-Prü fung wird ein EOT-Ausgangssignal aktiviert, um die Systemsteuerung 30 zu informieren, daß eine Systemwartung anzufordern sei. Bei der Wahrnehmung des EOT-Signals lädt die Systemsteuerung 30 das nächste ereignisgestützte Prüfprogramm, ohne dabei die andere Pin-Einheit-Bauteilgruppe bei der Durchführung ihrer jeweiligen ereignisgestützten Prüfprogramme zu unterbrechen.
Bei 8 ist davon auszugehen, daß drei Prüfprogramme A, B un C im Einsatz sind, um den SOC-Bauteilprüfling zu beurteilen. Bei jeder Wahrnehmung des EOT-Signals in der Durchführung des Prüfprogramms A in der entsprechenden Funktionskern-Prüfung lädt das Prüfsystem das nächste Prüfprogramm B. Darüber hinaus lädt das Prüfsystem bei jeder Wahrnehmung des EOT-Signals in der Durchführung des Prüfprogramms B in der entsprechenden Funktionskern-Prüfung das nächste Prüfprogramm C. Da jedes Prüfprogramm für jeden Funktionskern unabhängig von anderen Funktionskernen durchgeführt werden kann, können vollständig parallele Prüfungen durchgeführt werden, wodurch sich die Gesamt-Prüfdauer erheblich reduzieren läßt.
9A und 9B zeigen Unterschiede in der Speicher-Management-Architektur zwischen dem herkömmlichen zyklusgestützten Prüfsystem und dem erfindungsgemäßen ereignisgestützten Prüfsystem. Beim herkömmlichen Prüfsystem steuert eine einzige Adress-Sequenzsteuerung einen Musterspeicher zur Erzeugung des Prüfmusters und einen Fehlerspeicher zur Speicherung der Fehlerinformation.
Wie in 9A dargestellt, werden daher im Zuge der Fehleranalyse beispielsweise der Fehlerspeicher in sequentieller Folge angesprochen, was eine lange Analyse zeit nach sich zieht, um alle Fehleranalysen für alle Funktionskerne abzuschließen. Beim erfindungsgemäßen, ereignisgestützten Prüfsystem hat jede Pin-Einheit ihren eigenen, unabhängigen Fehlerspeicher und ihren eigenen Musterspeicher. Es ist daher möglich, die Fehlerinformation in den Fehlerspeichern parallel zu speichern und die Fehlerinformation bei der Fehleranalyse gleichzeitig zu lesen, was die für die Fehleranalyse erforderliche Zeit erheblich reduziert.
Ein weiteres Merkmal der vorliegenden Erfindung liegt in der Einfachheit der Erzeugung von Prüfmustern. Bei der Verwendung eines herkömmlichen, zyklusgestützten Prüfsystems ist die Erzeugung eines individuellen Prüfmusters nicht empfehlenswert, und zwar aufgrund des damit einhergehenden Anstiegs an Prüfzeitdauer. Um einen Prüfmuster-Block zur Prüfung des Bauteilprüflings (DUT) als parallel funktionierende Parallelblöcke zu entwickeln, ist ein erheblicher Aufwand an Planungsleistung erforderlich. Es ist auch noch immer praktisch unmöglich, auszuschließen, daß auf einigen der Funktionsblöcke Leerlaufzeiten aufzutreten. Mit einer Mehrfach-Prüfabschluß-Realisierung im erfindungsgemäßen, ereignisgestützten Prüfsystem kann sich der Entwickler auf das Prüfergebnis eines einzelnen Funktionsblocks konzentrieren. Die Prüfmuster für jeden Funktionsblock werden als einzelne ereignisgestützte Prüfprogramme behandelt. Dies erlaubt es einen höheren Prüfbedeckungsgrad für jeden einzelnen Funktionsblock des Bauteilprüflings (DUT) zur gleichen Zeit zu erreichen.
Ein weiteres Merkmal der vorliegenden Erfindung betrifft eine vollständig skalierbare Architektur. Die Architektur des erfindungsgemäßen Prüfsystems ist ska lierbar (also in der Lage, hinsichtlich Größe und Konfiguration verändert zu werden), da die Steuerungslogik für jedes Prüfabschlußsignal die gleiche ist. Jede Prüfabschlußsignal-Gruppe (Pin-Einheit-Bauteilgruppe) kann auf lediglich zwei Pin-Einheiten beschränkt werden, aber auch alle Pin-Einheiten des gesamten Systems aufweisen. Dieser architektonische Aspekt erlaubt künftige Prüfsystem-Erweiterungen zur Behandlung von sehr viele Pins aufweisenden VLSI-Bauteilen.
Erfindungsgemäß kann das ereignisgestützte Halbleiterprüfsystem Prüfsignal-Ereignisse zu verschiedenen Zeitpunkten auf der Basis von Ereignisdaten zu erzeugen, die im Ereignisspeicher gespeichert sind, um das Halbleiterbauteil zu beurteilen. Das ereignisgestützte Prüfsystem enthält eine Mehrzahl von Pin-Einheiten, von denen jede ein Prüfsignal für einen bestimmten Pin des Bauteilprüflings (DUT) erzeugen kann. Es enthält ferner eine Einrichtung zur Erzeugung eines Prüfabschlußsignals in Bezug auf jede einzelne Pin-Einheit, und zwar unabhängig von den anderen Pin-Einheiten.
Das ereignisgestützte Prüfsystem kann deshalb eine Mehrzahl von unterschiedlichen Prüfungen parallel zur gleichen Zeit durchführen. Das ereignisgestütze Prüfsystem kann darüber hinaus eine Mehrzahl von Pin-Einheiten frei zu mehreren Pin-Einheit-Bauteilgruppen zusammenweisen und Mehrfachsignale erzeugen, jeweils einen Prüfabschluß in einer zugehörigen Pin-Einheit-Bauteilgruppe andeuten, wobei jede Pin-Einheit-Bauteilgruppe Prüfvorgänge unabhängig von anderen durchführt. Damit kann das ereignisgestützte Prüfsystem eine Mehrzahl von unterschiedlichen Prüfungen parallel zur gleichen Zeit durchführen.

Claims

Ereignisgestütztes Halbleiterprüfsystem zum Prüfen von Halbleiterbauteilen, enthaltend: a) eine Mehrzahl von Pin-Einheiten, (31₁ –31₂₅₆ ), die Pins eines Halbleiterbauteilprüflings (DUT) zum Prüfen des Bauteilprüflings zugewiesen sind, wobei jede der Pin-Einheiten unabhängig von den anderen arbeitet, und wobei jede Pin-Einheit enthält: – einen Ereignisspeicher (41) zum Speichern von Ereignis-Zeitsteuerungsdaten zur Erzeugung von Prüfsignalen zum Anlegen an den entsprechenden Pin des Bauteilprüflings; und – eine Ereignissteuerung (43) zur Steuerung einer Gesamttätigkeit der Pin-Einheit durch Erzeugung der Prüfsignale auf der Basis der Ereignis-Zeitsteuerungsdaten vom Ereignisspeicher und Beurteilung eines Antwort-Ausgangssignals des Bauteilprüflings; b) eine Einrichtung zur Erzeugung eines Prüfabschlußsignals zur Anzeige des Abschlusses eines laufenden Prüfvorgangs, der von einer zugehörigen Pin-Einheit durchgeführt wurde, wobei das Prüfabschlußsignal für jede einzelne Pin-Einheit unabhängig von anderen Pin-Einheiten erzeugt wird; und c) eine Systemsteuerung (30) zur Steuerung einer Gesamttätigkeit im ereignisgestützten Prüfsystem durch Kommunikation mit der Ereignissteuerung in jeder Pin-Einheit und Lieferung von Prüfprogrammen einschließ lich Ereignis-Zeitsteuerungsdaten an den Ereignisspeicher in jeder Pin-Einheit; wobei das Prüfabschlußsignal für jede einzelne Pin-Einheit zu Bedingungen ausgewählt wird, die von der Systemsteuerung festgelegt werden; und wobei das ausgewählte Prüfabschlußsignal der Systemsteuerung und den anderen Pin-Einheiten zugeführt wird.
Ereignisgestütztes Prüfsystem nach Anspruch 1, wobei das Prüfabschlußsignal ein Prüfabschluß-Eingangssignal umfaßt, das jeder der Pin-Einheiten (31₁ –31₂₅₆ ) als Eingangssignal zugeführt wird, und wobei das Prüfabschlußsignal ferner ein Prüfabschluß-Ausgangssignal umfaßt, das von jeder der Pin-Einheiten als Ausgangssignal erzeugt wird.
Ereignisgestütztes Prüfsystem nach Anspruch 1, wobei die Systemsteuerung (30) diejenige Pin-Einheit (31) mit dem nächsten Prüfprogramm versorgt, die ein Prüfabschlußsignal erzeugt hat, wodurch diese Pin-Einheit den nächsten Prüfvorgang durchführt.
Ereignisgestütztes Prüfsystem nach Anspruch 1, wobei die Einrichtung zur Erzeugung des Prüfabschlußssignals ein Ausgangs-Steuerungsregister (58) umfaßt, das die Bedingungen zur Auswahl des Prüfabschlußsignals aus der Pin-Einheit speichert, wobei die Auswahlbedingung von der Systemsteuerung durch ein Prüfprogramm spezifiziert wird.
Ereignisgestütztes Prüfsystem nach Anspruch 1, wobei die Einrichtung zur Erzeugung des Prüfabschlußssignals ein Ausgangs-Steuerungsregister (58) umfaßt, das die Bedingungen zur Auswahl des Prüfabschlußsignals aus der Pin-Einheit (31) speichert, wobei die Auswahlbedingung von der Systemsteuerung durch ein Prüfprogramm spezifiziert wird, ferner enthaltend Gatterschaltungen (55₁-55₈ ) zur Auswahl des Prüfabschlußsignals aus der Pin-Einheit auf der Grundlage der Auswahlbedingung, die vom Ausgangs-Steuerungsregister gesetzt wird, und schließlich enthaltend Treiber (52, 54) zur Übermittlung des ausgewählten Prüfabschlußsignals an die anderen Pin-Einheiten sowie an die Systemsteuerung.
Ereignisgestütztes Prüfsystem nach Anspruch 5, wobei die Ausgänge der Treiber (52, 54) zur Erzeugung von Prüfabschlußsignalen in ODER-Weise verknüpft sind.
Ereignisgestütztes Prüfsystem nach Anspruch 1, wobei die Pin-Einheiten weiterhin eine Ereignis-Skaliereinrichtung (45) zur Modifizierung der Ereignis-Zeitsteuerungsdaten im Verhältnis zu einem Skalierfaktor, ferner eine Verzögerungssteuerung (47) zur Erzeugung von Ereignissen auf der Grundlage einer Gesamt-Verzögerungszeit aus einer Ereignis-Skaliereinrichtung (45), und schließlich eine Pin-Elektronik (49) zur Übermittlung der Ereignisse als Prüfsignale an den Bauteilprüfling (DUT) mit spezifischer Amplitude und Ausgangsspannungsänderungsgeschwindigkeit umfaßt.
Ereignisgestütztes Halbleiter-Prüfsystem zum Prüfen eines Halbleiterbauteils, enthaltend: a) eine Mehrzahl von Pin-Einheiten (31₁-31₂₅₆ ), die Pins eines Halbleiterbauteilprüflings (DUT) zum Prüfen des Bauteilprüflings zugewiesen sind, wobei jede der Pin- Einheiten unabhängig von den anderen arbeitet, und wobei jede Pin-Einheit enthält – einen Ereignisspeicher (41) zum Speichern von Ereignis-Zeitsteuerungsdaten zur Erzeugung von Prüfsignalen zum Anlegen an den entsprechenden Pin des Bauteilprüflings; und – eine Ereignissteuerung (43) zur Steuerung einer Gesamttätigkeit der Pin-Einheit durch Erzeugung der Prüfsignale auf der Basis der Ereignis-Zeitsteuerungsdaten vom Ereignisspeicher und Beurteilung eines Antwort-Ausgangssignals des Bauteilprüflings; wobei die Pin-Einheiten in mehrere Pin-Einheit-Bauteilgruppen gruppiert sind, die jeweils eine Mehrzahl von Pin-Einheiten aufweisen, wobei die Pin-Einheiten den Pin-Einheit-Bauteilgruppen frei zugewiesen sind; b) eine Einrichtung zur Erzeugung eines Prüfabschlußsignals zur Anzeige des Abschlusses eines laufenden Prüfvorgangs, der von einer zugehörigen Pin-Einheit-Bauteilgruppe durchgeführt wurde, wobei das Prüfabschlußsignal für jede einzelne Pin-Einheit-Bauteilgruppe unabhängig von anderen Pin-Einheit-Bauteilgruppen erzeugt wird; und c) eine Systemsteuerung (30) zur Steuerung einer Gesamttätigkeit im ereignisgestützten Prüfsystem durch Kommunikation mit der Ereignissteuerung in jeder Pin-Einheit und Lieferung von Prüfprogrammen einschließlich Ereignis-Zeitsteuerungsdaten an den Ereignisspeicher in jeder Pin-Einheit; wobei das Prüfabschlußsignal für jede einzelne Pin-Einheit-Bauteilgruppe zu Bedingungen ausgewählt wird, die von der Systemsteuerung festgelegt werden, und wobei das ausgewählte Prüfabschlußsignal der Systemsteuerung und der anderen Pin-Einheit in der gleichen Pin-Einheit-Bauteilgruppe zugeführt wird.
Ereignisgestütztes Prüfsystem nach Anspruch 8, wobei das Prüfabschlußsignal ein Prüfabschluß-Eingangssignal umfaßt, das jeder der Pin-Einheit-Bauteilgruppen als Eingangssignal zugeführt wird, und wobei das Prüfabschlußsignal ferner ein Prüfabschluß-Ausgangssignal umfaßt, das von jeder der Pin-Einheit-Bauteilgruppen als Ausgangssignal erzeugt wird.
Ereignisgestütztes Prüfsystem nach Anspruch 8, wobei die Systemsteuerung (30) die Pin-Einheiten (31) in derjenigen Pin-Einheit-Bauteilgruppe mit dem nächsten Prüfprogramm versorgt, die ein Prüfabschlußsignal erzeugt hat, wodurch diese Pin-Einheit-Bauteilgruppe den nächsten Prüfvorgang durchführt.
Ereignisgestütztes Prüfsystem nach Anspruch 8, wobei die Einrichtung zur Erzeugung des Prüfabschlußssignals ein Ausgangs-Steuerungsregister (58) umfaßt, das die Bedingungen zur Auswahl des Prüfabschlußsignals aus der Pin-Einheit (31) speichert, wobei die Auswahlbedingung von der Systemsteuerung durch ein Prüfprogramm spezifiziert wird.
Ereignisgestütztes Prüfsystem nach Anspruch 8, wobei die Einrichtung zur Erzeugung des Prüfabschlußssignals ein Ausgangs-Steuerungsregister (58) umfaßt, das die Bedingungen. zur Auswahl des Prüfabschlußsignals aus der Pin-Einheit (31) speichert, wobei die Auswahlbedingung von der Systemsteuerung durch ein Prüfprogramm spezifiziert wird, ferner enthaltend Gatterschaltungen (55₁ –55₈ ) zur Auswahl des Prüfabschlußsignals aus der Pin-Einheit auf der Grundlage der Auswahlbedingung, die vom Ausgangs-Steuerungsregister gesetzt wird, und schließlich enthaltend Treiber (52–54) zur Übermittlung des ausgewählten Prüfabschlußsignals an die anderen Pin-Einheiten sowie an die Systemsteuerung.
Ereignisgestütztes Prüfsystem nach Anspruch 12, wobei die Ausgänge der Treiber (52, 54) zur Erzeugung von Prüfabschlußsignalen in ODER-Weise verknüpft sind.
Ereignisgestütztes Prüfsystem nach Anspruch 8, wobei die Pin-Einheiten (31) weiterhin eine Ereignis-Skaliereinrichtung (45) zur Modifizierung der Ereignis-Zeitsteuerungsdaten im Verhältnis zu einem Skalierfaktor, ferner eine Verzögerungssteuerung (47) zur Erzeugung von Ereignissen auf der Grundlage einer Gesamt-Verzögerungszeit aus einer Ereignis-Skaliereinrichtung (45), und schließlich eine Pin-Elektronik (49) zur Übermittlung der Ereignisse als Prüfsignale an den Bauteilprüfling (DUT) mit spezifischer Amplitude und Ausgangsspannungsänderungsgeschwindigkeit umfaßt.