CN214666591U

CN214666591U - 平坦度测量治具和蒸镀系统

Info

Publication number: CN214666591U
Application number: CN202022952948.0U
Authority: CN
Inventors: 王洪胜; 魏立超; 杨林; 高翔; 沈帅
Original assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Current assignee: BOE Technology Group Co Ltd; Chengdu BOE Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date: 2020-12-08
Filing date: 2020-12-08
Publication date: 2021-11-09
Anticipated expiration: 2030-12-08

Abstract

本公开提供了平坦度测量治具和蒸镀系统。所述平坦度测量治具包括：底座；工作台，其包括在所述工作台的厚度方向上延伸并且穿透所述工作台的至少一个第一孔、以及在垂直于所述厚度方向的方向上延伸并且与所述至少一个第一孔一一对应的至少一个第二孔；至少一个支撑柱，所述至少一个支撑柱设置在所述底座上，并且用于支撑所述工作台；至少一个传感器，所述至少一个传感器中的每一个设置在所述至少一个第一孔之一中，并且用于测量待测对象的表面的平坦度；以及至少一个显示器，所述至少一个显示器中的每一个通过信号线连接至所述至少一个传感器中的一个传感器，以显示该传感器的测量值。

Description

平坦度测量治具和蒸镀系统

技术领域

本公开涉及有机发光二极管(OLED)显示的技术领域，具体地，涉及一种平坦度测量治具和一种蒸镀系统。

背景技术

在OLED面板、OLED显示装置等产品的制造过程中，一般利用蒸镀工艺来在基板上蒸镀包括有机发光层在内的各种材料层。因此，用于形成这些材料层的设备的部件的表面的平坦度，对于所形成的产品的良率及所述设备的稼动率有着直接的影响。如何在极短的时间内快速准确的测量所述设备的部件的当前平坦度、以调节所述设备的部件以具有期望的平坦度是至关重要的。

实用新型内容

本公开的第一方面提供了一种平坦度测量治具，包括：

底座；

工作台，其包括在所述工作台的厚度方向上延伸并且穿透所述工作台的至少一个第一孔、以及在垂直于所述厚度方向的方向上延伸并且与所述至少一个第一孔一一对应的至少一个第二孔；

至少一个支撑柱，所述至少一个支撑柱设置在所述底座上，并且用于支撑所述工作台；

至少一个传感器，所述至少一个传感器中的每一个设置在所述至少一个第一孔之一中，并且用于测量待测对象的表面的平坦度；以及

至少一个显示器，所述至少一个显示器中的每一个通过信号线连接至所述至少一个传感器中的一个传感器，以显示该传感器的测量值。

在一个实施例中，所述至少一个传感器中的每一个用于测量所述待测对象的所述表面的最大高度和最小高度，并且所述待测对象的所述表面的所述平坦度等于所述最大高度和所述最小高度之差。

在一个实施例中，所述平坦度测量治具还包括与所述至少一个支撑柱一一对应的至少一个第一紧固件，所述至少一个第一紧固件用于调节所述工作台相对于所述底座的高度并且将所述工作台固定在所述至少一个支撑柱上。

在一个实施例中，所述平坦度测量治具还包括位于所述底座上的第一水平仪和位于所述工作台上的第二水平仪，所述第一水平仪和所述第二水平仪分别用于检测所述底座的水平程度和所述工作台的水平程度。

在一个实施例中，所述平坦度测量治具还包括与所述至少一个第二孔一一对应的至少一个第二紧固件，所述至少一个第二孔中的每一个与对应的第一孔连通，并且所述至少一个第二紧固件分别设置在对应的第二孔中用于固定位于对应的第一孔中的所述传感器。

在一个实施例中，所述底座包括主体部和两个突出部，所述主体部实质上呈矩形，所述两个突出部彼此间隔地位于所述主体部的同一侧。

在一个实施例中，所述两个突出部之间的空隙呈U形。

在一个实施例中，在所述两个突出部从所述主体部突出的方向上，所述空隙的尺寸大于所述待测对象的尺寸。

在一个实施例中，所述至少一个支撑柱包括两个支撑柱，所述两个支撑柱分别设置于所述两个突出部的远离所述主体部的端部上，并且所述至少一个显示器位于所述主体部上。

在一个实施例中，所述两个支撑柱中的每一个包括线路槽，所述两个突出部中的每一个包括线路槽，并且所述两个支撑柱中的每一个的所述线路槽和对应的突出部的所述线路槽彼此连通以容纳所述信号线。

在一个实施例中，所述至少一个传感器中的每一个包括接触式数字传感器或数显千分表。

在一个实施例中，所述至少一个第一紧固件中的每一个包括螺丝或夹具。

在一个实施例中，所述至少一个第二紧固件中的每一个包括螺丝。

在一个实施例中，所述工作台呈圆角矩形。

在一个实施例中，所述至少一个支撑柱中的每一个与所述底座和所述工作台中的任一个都是可拆卸地分离的。

本公开的第二方面提供了一种蒸镀系统，包括：

掩膜板台；

位于所述掩膜板台上的掩膜板框架，所述掩膜板框架用于安装掩膜板；

位于所述掩膜板框架上的多个爪子，所述多个爪子用于承载待镀膜的基板，并且所述多个爪子中的每一个能够在平行于所述掩膜板框架所在的平面内移动以使所述基板与所述掩膜板对准；

位于所述多个爪子上的冷却板，所述冷却板用于对所述基板进行冷却；以及

根据本公开的第一方面的各个实施例中的任意一个所述的平坦度测量治具。

在一个实施例中，所述至少一个第一孔包括位于同一直线上的三个第一孔，所述至少一个传感器包括两个传感器，所述至少一个显示器包括两个显示器；以及

所述两个传感器之一以其探头远离所述底座的方式安装在所述三个第一孔中的中间第一孔中以测量所述冷却板的靠近所述多个爪子的表面的平坦度，并且将测量值输出至所述两个显示器中的至少一个上；或者，所述两个传感器分别以其探头靠近所述底座的方式安装在所述三个第一孔中的位于两端的两个第一孔中以测量所述多个爪子中的每一个的靠近所述冷却板的表面的平坦度，并且将测量值分别输出至所述两个显示器上。

在一个实施例中，所述位于两端的两个第一孔之间的距离小于或等于所述多个爪子中的每一个在所述位于两端的两个第一孔的连线的方向上的尺寸。

根据下文结合说明书附图对示例性实施例的详细描述，上述技术方案及其优点将变得更加容易理解。

附图说明

图1为根据本公开实施例的一种平坦度测量治具的结构的示意透视图；

图2为根据本公开实施例的一种平坦度测量治具的结构的示意正视图；

图3为根据本公开实施例的一种平坦度测量治具的结构的示意俯视图；

图4为根据本公开实施例的一种蒸镀系统的一部分部件的结构的示意透视图；

图5为根据本公开实施例的利用图1至图3之一所示的平坦度测量治具来测量图4所示的蒸镀系统的冷却板的平坦度的示意图；以及

图6为根据本公开实施例的利用图1至图3之一所示的平坦度测量治具来测量图4所示的蒸镀系统的一个爪子的平坦度的示意图，其中图6的左侧部分为正视图，而图6的右侧部分为侧视图。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好地理解本公开的技术方案，下面结合附图和示例性实施例对本公开的平坦度测量治具(其也可以称为平坦度测量仪器、平坦度测量装置等)和蒸镀系统作进一步详细描述。

本公开的构思的发明人发现，在OLED面板、OLED显示装置等产品的生产过程中，位于蒸镀腔室内的冷却板及爪子的平坦度，对于所形成的产品的良率及生产设备的稼动率有着直接的影响。因此，需要对冷却板和每一个爪子进行调节使它们具有期望的平坦度。本公开的构思的发明人还发现，目前的测量冷却板或每一个爪子的平坦度的方法是，用千分表直接测量冷却板或每一个爪子的平坦度。该测量方法的不足之处包括以下方面。测量时需要把千分表固定在一个支架上，固定在支架上的千分表的表盘容易松动而造成测量误差。用千分表测量平坦度时，原点的设置操作复杂。用千分表测量每一个爪子的平坦度时，需要对每一个爪子的两个点位进行测量，而千分表只有一个探头，一次只能测量一个点位，因此耗费时间长。千分表为表盘式，测量值通过人眼观察来读取，因此测量值的读取误差范围可能较大。因此，在一条OLED面板的生产线包括几十个蒸镀腔室、每个蒸镀腔室有一个冷却板和几十个爪子、要对每一个爪子的两个点位和每一个冷却板的几十个点位进行测量的情况下，现有的平坦度测量方法耗时长、准确率低、操作复杂、不能准确并及时地获得平坦度的测量结果，会造成所形成的产品不良，并且降低生产设备的稼动率。

至少为了克服上述不足，本公开的一些实施例提供了一种平坦度测量治具和一种包括所述平坦度测量治具在内的蒸镀系统。所述平坦度测量治具能够对待测对象(其包括但不限于冷却板和爪子)的平坦度进行快速和准确的测量，从而为及时调节待测对象的位置和取向提供依据。

本公开的一些实施例提供了一种平坦度测量治具，如图1至图3所示。平坦度测量治具包括：底座10；工作台30，其包括在所述工作台30的厚度方向(例如，图1中的竖直方向)上延伸并且穿透所述工作台30的至少一个第一孔31(图1中示出了三个第一孔31)、以及在垂直于所述厚度方向的方向(例如，图1中的水平方向)上延伸并且与所述至少一个第一孔31一一对应的至少一个第二孔32(图1中示出了三个第二孔32)；至少一个支撑柱20(图1中示出了两个支撑柱20)，所述至少一个支撑柱20设置在所述底座10上，并且用于支撑所述工作台30；至少一个传感器50(图1中示出了一个传感器50,图6中示出了两个传感器50)，所述至少一个传感器50中的每一个设置在所述至少一个第一孔31之一中，并且用于测量待测对象(例如，下文将描述的冷却板84和每一个爪子82，但本公开不限于此)的表面的平坦度；以及至少一个显示器DP(图1中示出了两个显示器DP)，所述至少一个显示器DP中的每一个通过信号线70(例如，参见图2)连接至所述至少一个传感器50中的一个传感器50，以显示该传感器50的测量值。例如，底座10、所述至少一个支撑柱20和工作台30的材料可以包括碳素钢、不锈钢等金属，以具有足够的机械性能。例如，工作台30在俯视平面图(如图3所示)中可以具有矩形或大致圆角矩形的形状，但本公开不限于此。例如，每一个支撑柱20可以是圆柱体或棱柱体。例如，可以根据平坦度测量治具的使用环境(例如，蒸镀腔室或真空蒸镀腔室)的尺寸，来设计平坦度测量治具的底座10、每一个支撑柱20和工作台30中的每一个的尺寸。例如，所述至少一个传感器50中的每一个可以是接触式数字传感器、高精度接触式数字传感器、数显千分表等，并且可以包括彼此耦接的处理电路部分和探头(在测量时，探头接触或靠近待测对象的表面)。例如，所述至少一个显示器DP中的每一个可以是已知的显示器，诸如阴极射线管(CRT)显示装置、液晶显示(LCD)装置或有机发光二极管(OLED)显示装置。

在一个实施例中，所述至少一个传感器DP中的每一个可以用于测量待测对象的表面(例如，相对于某一个基准平面)的最大高度和最小高度，并且所述待测对象的所述表面的平坦度等于所述最大高度和所述最小高度之差。例如，在测量时，可以使传感器DP的探头在所述待测对象的所述表面上移动，以测量所述表面的足够多数量的电位的高度值(即，测量值)，从而得到所述最大高度和所述最小高度。

在一个实施例中，平坦度测量治具还可以包括与所述至少一个支撑柱20一一对应的至少一个第一紧固件31，所述至少一个第一紧固件31用于调节工作台30相对于底座10的高度并且将工作台30固定在所述至少一个支撑柱20上。例如，工作台30中可以具有让每一个支撑柱20穿过的通孔(图中未示出)，使得工作台30可以沿着所述至少一个支撑柱20朝向靠近或远离底座10的方向移动。在将工作台30移动至距离底座10的合适距离处时，可以将所述至少一个第一紧固件31安装在工作台30中的与所述至少一个支撑柱20交叉的孔中，以将工作台30固定在所述至少一个支撑柱20的当前位置处。

在一个实施例中，所述度测量治具还可以包括位于底座10上的第一水平仪G1和位于工作台30上的第二水平仪G2，第一水平仪G1和第二水平仪G2分别用于检测底座10的水平程度和工作台30的水平程度，以便对底座10和/或工作台30的位置和取向进行调节。

在一个实施例中，所述平坦度测量治具还可以包括与所述至少一个第二孔32一一对应的至少一个第二紧固件60(例如，参见图2)，所述至少一个第二孔32中的每一个与对应的第一孔31连通，并且所述至少一个第二紧固件60分别设置在对应的第二孔32中用于固定位于对应的第一孔31中的传感器50。

在一个实施例中，底座10可以包括主体部11和两个突出部12，所述主体部11实质上呈矩形，所述两个突出部12彼此间隔地位于所述主体部11的同一侧。例如，所述主体部11和所述两个突出部12可以包括同一种材料并且一体形成。这样可以提供底座10的机械性能和稳定性。

在一个实施例中，所述两个突出部12之间的空隙呈U形。这样，每一个突出部12的靠近主体部11的端部的宽度(例如，在两个突出部12的连线的方向上的尺寸)大于该突出部12的远离主体部11的端部的宽度，从而提高该突出部12与主体部11的连接的可靠性。

在一个实施例中，在所述两个突出部12从所述主体部11突出的方向上，所述空隙的尺寸大于所述待测对象的尺寸。这样，在工作台30和底座10之间的距离太小而无法将待测对象从工作台30和底座10之间穿过以对该待测对象的整个表面的多个点位进行测量的情况下，该待测对象可以在所述空隙内移动，从而完成期望的测量。可替换地，在平坦度测量治具的使用环境(例如，蒸镀腔室或真空蒸镀腔室)的尺寸允许待测对象从工作台30和底座10之间穿过以对该待测对象的整个表面的多个点位进行测量的情况下，所述空隙的尺寸可以小于或等于所述待测对象的尺寸。

在一个实施例中，所述至少一个支撑柱20包括两个支撑柱20，所述两个支撑柱20分别设置于所述两个突出部12的远离主体部11的端部上，并且所述至少一个显示器DP可以位于主体部11上。

在一个实施例中，所述两个支撑柱20中的每一个包括线路槽21，所述两个突出部12中的每一个包括线路槽13，并且所述两个支撑柱20中的每一个的所述线路槽21和对应的突出部12(即，连接至该支撑柱20的突出部12)的所述线路槽13彼此连通以容纳所述信号线70。例如，每一个支撑柱20的所述线路槽21和对应的突出部12(即，连接至该支撑柱20的突出部12)的所述线路槽13可以都具有直线的形状，并且可以位于同一个平面内，如图1所示。这样，可以减少信号线70的长度。

在一个实施例中，如上所述，所述至少一个传感器50中的每一个可以包括已知的接触式数字传感器或数显千分表。

在一个实施例中，所述至少一个第一紧固件40中的每一个可以包括螺丝或夹具。该螺丝或该夹具的材料可以是金属。所述至少一个第一紧固件40中的每一个可以称为高度调节紧固件(例如，高度调节螺丝)。

在一个实施例中，所述至少一个第二紧固件60中的每一个可以包括螺丝。该螺丝的材料可以是金属。所述至少一个第二紧固件60中的每一个可以称为探头紧固螺丝。

在一个实施例中，如上所述，工作台30可以呈圆角矩形。与呈理想矩形的情况下相比，呈圆角矩形的作台30能够更加灵活地在较小的使用环境中移动以进行测量。

在一个实施例中，每一个支撑柱20与底座10和工作台30中的任一个都是可拆卸地分离的。这样，可以根据使用环境的尺寸来将所述平坦度测量治具的所述至少一个支撑柱20、底座10等更换为具有合适尺寸的支撑柱和底座。因此，在保证所述平坦度测量治具的稳定性的同时，降低了所述平坦度测量治具的安装和维护的难度。

本公开的前述实施例中的任一个所提供的平坦度测量治具至少能够实现以下的有益技术效果。所述平坦度测量治具的水平仪能够保证所述平坦度测量治具的整体水平度。在传感器以探头向上(即，远离底座)的方式安装在第一孔中时，所述平坦度测量治具能够测量位于其上方的待测对象(例如，冷却板)的平坦度，在传感器以探头向下(即，靠近底座)的方式安装在第一孔中时，所述平坦度测量治具能够测量位于其下方的另一待测对象(例如，爪子)的平坦度。所述平坦度测量治具的各个部件可以可拆卸地分离，使得所述平坦度测量治具的安装和维护容易。工作台可以沿着支撑柱相对于底座上下移动，使得所述平坦度测量治具可以对位于不同位置的待测对象进行测量。此外，所述平坦度测量治具的显示器能够快速准确地显示测量值，保证了测量结果的准确性，避免人眼读表的误差。

另一方面，本公开的一些实施例提供了一种蒸镀系统，如图1至图4所示。该蒸镀系统可以包括位于蒸镀腔室(或真空蒸镀腔室，图中未示出)中的以下部件：掩膜板台80，其用于支撑位于其上的以下部件；位于所述掩膜板台80上的掩膜板框架81，所述掩膜板框架81用于安装掩膜板(例如，掩膜板框架81可以具有中空的结构，掩膜板可以位于该掩膜板框架81的中控部分中)；位于所述掩膜板框架上的多个爪子82，所述多个爪子82用于承载待镀膜的基板83，并且所述多个爪子82中的每一个能够在平行于所述掩膜板框架81所在的平面内移动以使所述基板83与所述掩膜板对准；以及位于所述多个爪子82和基板83上的冷却板84，所述冷却板84用于对所述基板83进行冷却，以防止所述基板83上的元件因高温而出现不良。此外，所述蒸镀系统还包括如图1至图3之一所示的平坦度测量治具。在一个实施例中，冷却板的周边可以包括多个间隔设置的多个通孔，并且所述蒸镀系统还可以包括位于所述蒸镀腔室内、位于冷却板84远离掩膜版框架81的一侧、并且分别位于冷却板84的各个通孔上方的多个CCD摄像头，所述多个CCD摄像头用户实时监控基板83和掩膜板的对准程度。所述多个CCD摄像头可以包括位于冷却板84的各个拐角上方的高分辨率CCD摄像头和位于冷却板84的各个侧边的中部上方的低分辨率CCD摄像头。

在一个实施例中，作为本公开所提供的平坦度测量治具的一种示例应用场景，所述至少一个第一孔31包括位于同一直线上或位于同一条非封闭曲线上的三个第一孔31，所述至少一个传感器50可以包括两个传感器50，所述至少一个显示器DP可以包括两个显示器DP；以及所述两个传感器50之一以其探头远离所述底座10的方式安装在所述三个第一孔31中的中间第一孔31中以测量所述冷却板84的靠近所述多个爪子82的表面的平坦度，并且将测量值输出至所述两个显示器DP中的至少一个上(图5示出了传感器50将测量值输出至所述两个显示器DP上的情况下)；或者，所述两个传感器50分别以其探头靠近所述底座10的方式安装在所述三个第一孔31中的位于两端的两个第一孔31中以测量所述多个爪子82中的每一个的靠近所述冷却板84的表面的平坦度，并且将测量值分别输出至所述两个显示器DP上。例如，使每一个传感器50执行测量的步骤可以如下。首先，将平坦度测量治具安装完毕，将工作台30调到适宜的高度，并且将工作台30和底座10全部调成水平取向。其次，将传感器50安装在合适的第一孔31中，以待测对象(在该示例中为冷却板84或任一个爪子82)的表面上的任意一个点位为基点进行测量，查看测量值是否为0(零)，如果不为0则调整传感器50的探头的位置，直到测量值是为0为止，并且通过与该传感器50连接的显示器DP上的相应按钮将该显示器DP的显示置零，此为零点位置。之后，对所述待测对象的所述表面上的其他点位进行测量，并且在相应的显示器DP上读取测量值。测量值可以为(在此各个测量值的单位为毫米(mm))：-0.03、-0.02、-0.01、0、0.01、0.02、0.03等，其中负的测量值表示比所述基点(零点)低(下凹)的点位，正的测量值表示比所述基点(零点)高(上凸)的点位，测量值0表示与所述基点(零点)具有相同高度的点位。接着，从所述待测对象的同一个表面的全部测量值中最大高度(即，最大测量值)和最小高度(即，最小测量值)。最后，计算所述最大高度和所述最小高度之差作为所述待测对象的该表面的平坦度。在此情况下，平坦度的值越小表示该表面越平坦。例如，在图5所示的使用场景中，冷却板84的被测表面上一般具有多个凸起的散热鳍片，因此只是用一个传感器50来进行测量。但是本公开不限于此，例如，在冷却板84的被测表面接近于平面的情况下，可以用多个传感器50来进行测量。例如，在图6所示的使用场景中，每一个爪子82的被测表面接近于平面，因此可以用两个传感器50来进行测量以提高测量的效率。但是本公开不限于此，例如，可以预先估计每一个爪子82的表面的平坦度而使用更多或更少的传感器50来进行测量。

应当理解的是，OLED显示面板的生产领域仅仅是本公开所提供的平坦度测量治具的一个示例应用场景，本公开所提供的平坦度测量治具可以应用于任何需要测量待测对象的表面的平坦度的领域。

在一个实施例中，所述位于两端的两个第一孔31之间的距离小于或等于所述多个爪子82中的每一个在所述位于两端的两个第一孔31的连线的方向上的尺寸，如图6所示。否则，所述位于两端的两个第一孔31中的两个传感器50中的一个对该爪子82进行测量时，另一个传感器将位于该爪子82的范围之外而无法进行测量。

本公开所提供的蒸镀系统至少能够实现以下的有益技术效果。在传感器以探头向上(即，远离底座)的方式安装在中间的第一孔中时，所述平坦度测量治具能够测量位于其上方的冷却板的平坦度，在传感器以探头向下(即，靠近底座)的方式安装在位于两端的两个第一孔之一或两者中时，所述平坦度测量治具能够测量位于其下方的爪子的平坦度。此外，所述平坦度测量治具的显示器能够快速准确地显示测量值，保证了测量结果的准确性，避免人眼读表的误差。因此，能够快速、准确和高效地的测量所述蒸镀系统的冷却板和每一个爪子的当前平坦度、以及时调节冷却板和每一个爪子以具有期望的平坦度。结果，提高了所形成的OLED显示面板、OLED显示装置等产品的良率及所述蒸镀系统的稼动率。

在没有明显冲突的情况下，本公开的前述各个实施例可互相结合。

应当理解的是，以上实施例仅仅是为了说明本公开的原理而采用的示例性实施例，然而本公开并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离由所附的权利要求所限定的本公开的保护范围的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也属于本公开的保护范围。

Claims

1.一种平坦度测量治具，包括至少一个传感器和至少一个显示器，其特征在于，所述平坦度测量治具还包括底座、工作台和至少一个支撑柱；

所述工作台包括在所述工作台的厚度方向上延伸并且穿透所述工作台的至少一个第一孔、以及在垂直于所述厚度方向的方向上延伸并且与所述至少一个第一孔一一对应的至少一个第二孔；

所述至少一个支撑柱设置在所述底座上，并且用于支撑所述工作台；

所述至少一个传感器中的每一个设置在所述至少一个第一孔之一中，并且用于测量待测对象的表面的平坦度；以及

所述至少一个显示器中的每一个通过信号线连接至所述至少一个传感器中的一个传感器，以显示该传感器的测量值。

2.根据权利要求1所述的平坦度测量治具，其特征在于，所述至少一个传感器中的每一个用于测量所述待测对象的所述表面的最大高度和最小高度，并且所述待测对象的所述表面的所述平坦度等于所述最大高度和所述最小高度之差。

3.根据权利要求1或2所述的平坦度测量治具，其特征在于，所述平坦度测量治具还包括与所述至少一个支撑柱一一对应的至少一个第一紧固件，所述至少一个第一紧固件用于调节所述工作台相对于所述底座的高度并且将所述工作台固定在所述至少一个支撑柱上。

4.根据权利要求1或2所述的平坦度测量治具，其特征在于，所述平坦度测量治具还包括位于所述底座上的第一水平仪和位于所述工作台上的第二水平仪，所述第一水平仪和所述第二水平仪分别用于检测所述底座的水平程度和所述工作台的水平程度。

5.根据权利要求1或2所述的平坦度测量治具，其特征在于，所述平坦度测量治具还包括与所述至少一个第二孔一一对应的至少一个第二紧固件，所述至少一个第二孔中的每一个与对应的第一孔连通，并且所述至少一个第二紧固件分别设置在对应的第二孔中用于固定位于对应的第一孔中的所述传感器。

6.根据权利要求1或2所述的平坦度测量治具，其特征在于，所述底座包括主体部和两个突出部，所述主体部实质上呈矩形，所述两个突出部彼此间隔地位于所述主体部的同一侧。

7.根据权利要求6所述的平坦度测量治具，其特征在于，所述两个突出部之间的空隙呈U形。

8.根据权利要求7所述的平坦度测量治具，其特征在于，在所述两个突出部从所述主体部突出的方向上，所述空隙的尺寸大于所述待测对象的尺寸。

9.根据权利要求6所述的平坦度测量治具，其特征在于，所述至少一个支撑柱包括两个支撑柱，所述两个支撑柱分别设置于所述两个突出部的远离所述主体部的端部上，并且所述至少一个显示器位于所述主体部上。

10.根据权利要求9所述的平坦度测量治具，其特征在于，所述两个支撑柱中的每一个包括线路槽，所述两个突出部中的每一个包括线路槽，并且所述两个支撑柱中的每一个的所述线路槽和对应的突出部的所述线路槽彼此连通以容纳所述信号线。

11.根据权利要求1或2所述的平坦度测量治具，其特征在于，所述至少一个传感器中的每一个包括接触式数字传感器或数显千分表。

12.根据权利要求3所述的平坦度测量治具，其特征在于，所述至少一个第一紧固件中的每一个包括螺丝或夹具。

13.根据权利要求5所述的平坦度测量治具，其特征在于，所述至少一个第二紧固件中的每一个包括螺丝。

14.根据权利要求1或2所述的平坦度测量治具，其特征在于，所述工作台呈圆角矩形。

15.根据权利要求1或2所述的平坦度测量治具，其特征在于，所述至少一个支撑柱中的每一个与所述底座和所述工作台中的任一个都是可拆卸地分离的。

16.一种蒸镀系统，包括：

掩膜板台；

位于所述掩膜板框架上的多个爪子，所述多个爪子用于承载待镀膜的基板，并且所述多个爪子中的每一个能够在平行于所述掩膜板框架所在的平面内移动以使所述基板与所述掩膜板对准；以及

位于所述多个爪子上的冷却板，所述冷却板用于对所述基板进行冷却；其特征在于

所述蒸镀系统还包括根据权利要求1至15中任一项所述的平坦度测量治具。

17.根据权利要求16所述的蒸镀系统，其特征在于：

所述至少一个第一孔包括位于同一直线上的三个第一孔，所述至少一个传感器包括两个传感器，所述至少一个显示器包括两个显示器；以及

18.根据权利要求17所述的蒸镀系统，其特征在于，所述位于两端的两个第一孔之间的距离小于或等于所述多个爪子中的每一个在所述位于两端的两个第一孔的连线的方向上的尺寸。