CN1824458B

CN1824458B - 载物台装置和龙门型载物台装置及载物台装置的控制方法

Info

Publication number: CN1824458B
Application number: CN2006100094057A
Authority: CN
Inventors: 小林雄二; 中森靖仁
Original assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Heavy Industries Ltd
Priority date: 2005-02-21
Filing date: 2006-02-21
Publication date: 2011-01-19
Anticipated expiration: 2026-02-21
Also published as: KR100716050B1; CN1824458A; JP4927338B2; JP2006224285A; TWI297630B; KR20060093303A; TW200631724A

Abstract

本发明以可修正梁相对工作台的平行度为课题，提供载物台装置和龙门型载物台装置及载物台装置的控制方法。载物台装置(10)为使作为工件的基板(11)沿水平方向移动的被称为“龙门型”的载物台装置，具有基座(12)、沿Y方向可移动地设置在基座上的工作台(14)、固定在基座上的门型龙门部(16)、控制工作台沿Y方向移动并进行龙门部在Z方向上的高度调整控制的控制装置(17)。龙门部具有横架在工作台上方的梁(18)和支持梁两端部的一对Z轴驱动机构(20)。并且，梁上设置有测量与工作台的距离的一对Z方向传感器(21A、21B)。通过驱动Z轴驱动机构使Z方向传感器测量到的值相等来使梁处于与工作台的上表面平行的状态。

Description

载物台装置和龙门型载物台装置及载物台装置的控制方法

技术领域

本发明涉及为了使横架在工作台上方的梁与工作台的上表面平行而进行调整的载物台装置和龙门型载物台以及载物台装置的控制方法。

背景技术

在例如被称为“龙门型载物台装置”的载物台装置中，采用将梁横架在安放基板的工作台的上方、使工作台或梁中的某一个沿Y方向(水平方向)移动而进行预定作业(加工或检查等)的结构(参照例如专利文献1)。

这种载物台装置将各种加工用夹具或检查用单元等安装在梁上，对安放在工作台上的基板进行加工或检查地进行动作控制。并且，梁相对于工作台的高度位置通过可升降地支持梁两端的升降机构进行调整。

上述先有技术的载物台装置由于采用通过滚珠丝杠机构可升降地支持梁两端部的结构，因此，随着例如基板的大型化梁的全长变长，滚珠丝杠机构承受的载荷也增大，仅用滚珠丝杠机构难以高精度地确定位置。

并且，由于随着基板面积的增大工作台也大型化，因此难以高精度加工工作台上面的平面度，在工作台表面产生与基板输送方向正交的X方向的微小倾斜的情况下，如果为了使梁与工作台的上表面平行而进行高度调整时承受大的载荷，则由于滚珠丝杠机构的结构上的精度误差难以确保梁的平行度。

[专利文献1]日本特开2004-223439号公报

发明内容

因此，本发明的目的就是要提供一种解决了上述问题的载物台装置和龙门型载物台装置以及载物台装置的控制方法。

为了解决上述问题，本发明采用以下方案。

本发明的方案1的特征在于具备：在上面安放工件的工作台；竖立在该工作台两侧的一对Z轴驱动机构；在上述工作台的上方横架在上述一对Z轴驱动机构之间的梁；相对于上述一对Z轴驱动机构可旋转地支持该梁两端部的一对转动支持部。

本发明的方案2的特征在于：具有相对于上述梁可滑动地支持上述一对转动支持部中的任一个的滑动部。

本发明的方案3的特征在于：上述一对Z轴驱动机构具有承载上述梁的载荷的汽缸、和将该汽缸内的压力保持在一定的压力调整单元。

本发明的方案4的特征在于：具有一对检测上述梁与上述工作台上表面的距离的检测单元、和驱动上述一对Z轴驱动机构以使这对检测单元的检测值相等的控制单元。

本发明的方案5的特征在于：具有使上述工作台沿水平方向移动的水平方向驱动单元。

本发明的方案6的特征在于：上述一对Z轴驱动机构具有将电动机的驱动力传递给上述梁的滚珠丝杠机构，通过上述滚珠丝杠机构使上述梁升降。

本发明的方案7为一种具有工作台、和具备横架在该工作台上方的梁的龙门部的龙门型载物台装置，其特征在于：具有可转动地支持上述梁两端部的一对转动支持部，将使上述梁与上述工作台的上表面平行地调整上述梁两端的高度位置的Z轴调整机构设置在上述龙门部上。

本发明的方案8的特征在于：上述Z轴调整机构具有相对于上述梁可滑动地支持上述一对转动支持部中的任一个的滑动部。

本发明的方案9的特征在于：上述Z轴调整机构具有承载上述梁的载荷的汽缸、和将该汽缸内的压力保持稳定的压力调整单元。

本发明的方案10为一种载物台装置的控制方法，该载物台装置为具备工作台、具备横架在该工作台上方的梁的龙门部、可转动地支持上述梁两端部的一对转动支持部、以及一对检测上述梁与上述工作台上表面的距离的检测单元的龙门型载物台装置，该载物台装置的控制方法的特征在于包括以下工序：使工作台沿水平方向移动的工序；检测上述梁与上述工作台之间的距离，并保存检测结果的工序；根据上述检测结果，使上述梁与上述工作台的上表面平行地调整上述梁两端的高度位置，以使上述一对检测单元的检测值相等的工序。

发明的效果

如果采用本发明，由于用一对转动支持部将梁的两端部可旋转地连接在一对Z轴驱动机构上，因此可以用Z轴驱动机构调整梁的高度位置，确保梁相对于工作台的上表面的平行度，尤其是即使在随着工作台的大型化工作台平面度存在微小倾斜的情况下，也能微调梁的高度位置将梁相对于工作台的上表面的平行度维持在高的精度。

并且，如果采用本发明，由于具有相对于梁可滑动地支持一对转动支持部中的某一个的滑动部，因此即使在为了使梁相对于水平方向具有微小的倾斜角度而进行调整的情况下，也能够通过滑动部的滑动动作防止对Z轴驱动机构带来负担。

并且，如果采用本发明，由于具有承载梁的载荷的汽缸和将汽缸内的压力保持在一定的压力调整单元，因此即使梁的载荷增大也能够减轻Z轴驱动机构的负担，能够消除载荷增大引起的精度偏差。

并且，如果采用本发明，由于具有使工作台沿水平方向移动的水平方向驱动单元，因此即使移动梁也能够更精确地确保安放在工作台上的基板与梁之间的平行度。

并且，如果采用本发明，由于一对Z轴驱动机构通过滚珠丝杠机构使梁升降，因此能够精确地调整梁相对于工作台的上表面的平行度，并且能够采用使梁的所有载荷都不作用于滚珠丝杠机构，因此通过滚珠丝杠机构可使结构误差不影响梁的平行度。

并且，如果采用本发明，由于将使梁与工作台的上表面平行地调整梁两端的高度位置的Z轴调整机构设置在上述龙门部上，因此能够进行确保梁相对于工作台的上表面的平行度的调整，尤其是即使在随着工作台的大型化工作台的平面度存在微小倾斜的情况下，也能微调梁的高度位置将梁相对于工作台的上表面的平行度维持在高的精度。

附图说明

图1是表示本发明的载物台装置的一个实施例的主视图。

图2是载物台装置的侧视图。

图3是从正面看Z轴驱动机构20的内部结构的纵剖视图。

图4是从侧面看Z轴驱动机构20的内部结构的纵剖视图。

图5是转动支持部46、滑动部48的主视图。

图6是沿图5的A-A线纵剖转动支持部46、滑动部48的纵剖视图。

图7是说明控制装置17所执行的第1控制方法的控制处理的流程图。

图8是接着图7说明控制装置17所执行的第1控制方法的控制处理的流程图。

图9是说明控制装置17所执行的第2控制方法的控制处理的流程图。

图10是接着图9说明控制装置17所执行的第2控制方法的控制处理的流程图。

具体实施方式

下面参照附图说明实施本发明的最佳形态。

[实施例1]

图1为表示本发明的载物台装置的一个实施例的主视图。图2为载物台装置的侧视图。如图1及图2所示，载物台装置10为使作为工件的基板(图中用虚线表示)11沿水平方向移动的被称为龙门型的载物台装置，具备固定在地基上的基座12、沿Y方向可移动地设置在基座12上的工作台14、固定在基座12上的门型龙门部16、控制工作台14沿Y方向的移动和进行龙门部16在Z方向上的高度调整控制的控制装置(控制单元)17。

工作台14的上面为安放基板11的安放面。并且，在工作台14的上面设置有多个真空吸附基板11的小孔(图中没有示出)，用真空泵从小孔中吸去与基板11之间的间隙中的空气并将基板11夹紧在水平状态。

龙门部16具有横架在工作台14上方的梁18和一对支持梁18两端的Z轴驱动机构20。并且，在梁18上设置有一对测量与工作台14之间的距离(Z方向的高度位置)的Z方向传感器(检测单元)21A、21B。一对Z方向传感器21A、21B沿X方向安装在与工作台14的上面中安放基板11的安放区域外侧所形成的空白区域的相对的位置上。

作为该Z方向传感器21A、21B有例如照射激光测量距离方式的传感器。并且，通过驱动Z轴驱动机构20使梁18处于与工作台14的上面平行的状态，以使一对Z方向传感器21A、21B测量到的值相等。并且，有关Z轴驱动机构20的详细情况后面叙述。

在基座12与工作台14之间设置有使工作台14沿水平方向(Y方向)移动的Y轴驱动机构22。该Y轴驱动机构22具有一对沿Y方向延伸的Y方向导轨24、限制X方向的X方向导轨26、Y方向直线电动机(水平方向驱动单元)28和支持工作台14的支持构件30。

支持构件30具有与基座12相对设置的平板状可动基座32、竖立在可动基座32的上面并支持工作台14的支柱34。因此，工作台14与由Y方向直线电动机28驱动的可动基座32一起沿Y方向移动。Y方向直线电动机28为由固定在X方向导轨26上面凹部内的磁性轭铁单元36和安装在可动基座32的下面、插入磁性轭铁单元36内的线圈单元38构成的可动线圈(MC)型直线电动机。

并且，在可动基座32的下面设置有向Y方向导轨24喷出压缩空气的Y方向静压密封垫40和向X方向导轨26的左右侧面喷出压缩空气的X方向静压密封垫42。因此，可动基座32在来自Y方向静压密封垫40、X方向静压密封垫42的空气层的作用下与Y方向导轨24和X方向导轨26非接触并且低摩擦地移动地被支持着。

并且，在Y方向导轨24及其附近设置有测量工作台14沿Y方向移动位置的Y方向直线尺(图中没有示出)。该Y方向直线尺能够准确地测量出工作台14从初始位置(Y方向基准位置)移动到什么位置。

下面说明龙门部16的结构。如图1及图2所示，龙门部16具有一对固定在基座12上位于工作台14的左右两侧的支持构件44、支持在支持构件44上的Z轴驱动机构20、相对于Z轴驱动机构20可转动地支持梁18两端部的一对转动支持部46、沿X方向可滑动地支持一个转动支持部46的滑动部48、一对承受梁18两端部的载荷的汽缸50。

汽缸50具有固定在Z轴驱动机构20侧面的汽缸本体52和从汽缸本体52的上方突出的活塞杆54，通过压力控制部56的控制使汽缸本体52内部的压力保持在预定压力。并且，汽缸50采用活塞杆54的上端与梁18结合，由汽缸本体52的空气压承受梁18的载荷的结构。压力控制部(压力调整单元)56控制汽缸本体52的空气压力，使其压力与作用于活塞杆54的负荷(载荷)相对应，例如，与安装在梁18上的各种加工用夹具或检查用单元作用的载荷的增大相对应，通过增大汽缸本体52的空气压力来将梁18的高度位置保持一定地进行压力控制。

图3为仅从正面看Z轴驱动机构20的内部结构的纵剖视图。图4为仅从侧面看Z轴驱动机构20的内部结构的纵剖视图。如图3和图4所示，Z轴驱动机构20具有固定在支持构件44上的Z轴基座60、沿中心线架装在Z轴基座60上的滚珠丝杠62、螺合在滚珠丝杠62上的螺母64、给滚珠丝杠62施加旋转驱动力的Z轴驱动电动机66、结合在梁18背面的Z轴工作台68、引导Z轴工作台68的升降动作的一对Z轴直线导轨70。Z轴基座60形成为从侧面看时为コ字形状，具有沿垂直方向(Z方向)竖起的竖起部60a、从竖起部60a上端沿水平方向突出的上部60b、从竖起部60a的下端沿水平方向突出并固定在支持构件44上的下部60c。

滚珠丝杠62在沿上下方向(Z轴方向)延伸的状态下可旋转地轴承支持在Z轴基座60的竖起部60a上所设置的一对滚珠丝杠支座72上，上端连接有联轴器74。Z轴驱动电动机66具有向下(Z轴方向)延伸的旋转轴76，呈垂直状态地安装在Z轴基座60的上部60b上。并且，由Z轴驱动电动机66驱动的旋转轴76的旋转通过联轴器74传递给滚珠丝杠62。

螺合在滚珠丝杠62上的螺母64结合在Z轴工作台68上，根据滚珠丝杠62的旋转方向升降。并且，在Z轴工作台68的背面结合有在Z轴直线导轨70上滑动的线性码78，当螺母64与滚珠丝杠62的旋转一起升降时，Z轴工作台68被Z轴直线导轨70引导。

而且，在一对Z轴工作台68的前面结合有梁18。因此，梁18根据由上述Z轴驱动机构20沿上下方向驱动的Z轴工作台68的升降位置来变化其Z轴方向的位置，由Z轴工作台68上设置的直线尺(图中没有示出)调整高度位置，使相对于工作台14的上面(或者安放在工作台14上的基板11)的间隔距离为一定值。

并且，为了使旋转轴76的旋转角与梁18在Z轴方向的移动距离成比例，也可能不像上述那样在Z轴工作台68上设置直线尺，而在Z轴驱动电动机66内设置检测旋转轴76的旋转角的旋转角检测传感器(图中没有示出)，通过控制旋转角来准确调整梁18的高度位置。

下面说明连接上述梁18的两端部与一对Z轴驱动机构20之间的转动支持部46和滑动部48的结构。图5为转动支持部46、滑动部48的主视图。图6为沿图5中的A-A线的转动支持部46、滑动部48的纵剖视图。并且，在本实施例中，梁18的右端连接在转动支持部46、滑动部48上，梁18的左端连接在转动支持部46上。即，滑动部48仅设置在梁18两端中的一端(本实施例为右端)上。

如图5及图6所示，在梁18的端部设置有转动支持部46的旋转工作台80，旋转轴承82可旋转地嵌合到该旋转工作台80的内周。并且，轴84贯穿旋转轴承82的内周，轴84可旋转地支持梁18的端部。并且，从旋转轴承82的前方突出的轴84的端部设置有覆盖旋转轴承82的内圈的侧面的圆形盖86。并且，覆盖旋转轴承82的外圈的侧面的环状盖88安装在梁18的前面。

轴84的基端与沿X方向滑动的滑块90一体地设置。从右侧看时，滑块90形成为截面呈コ字形状，具有与Z轴工作台68相对的垂直板90a和从垂直板90a的上下端部向后弯曲的滑动部90b、90c。并且，滑动基座92固定在Z轴工作台68的前面，且在滑动基座92的端部设置有沿X方向可滑动地支持滑动部90b、90c的交叉辊导轨94。

因此，梁18的右端由旋转轴承82和轴84可旋转地支持，并且由滑块90和交叉辊导轨94沿X方向可滑动地支持着。并且，梁18的左端由上述旋转轴承82和轴84可旋转地支持着，但图中没有表示。

这样，由于梁18的两端被可旋转地支持着，梁18的一端被可滑动地支持着，因此当用一对Z轴驱动机构20调整两端的高度位置时，不仅可以相对于Z轴驱动机构20旋转，而且转动支持部46在X方向的位置偏差能够被滑动部48的滑动动作吸收。

本实施例的控制装置17按照根据Z方向传感器21A、21B的检测结果执行第1控制方法(存储式通常控制)和第2控制方法(实时控制)中的任意一种。第1控制方法(存储式通常控制)将基板11安放在工作台14上，预先用Z方向传感器21A、21B测量工作台14在Y轴方向上的高度位置，存储该检测值。然后，在进行实际的控制动作时，根据存储的高度检测值控制梁18两端的高度位置，使梁18与工作台14的上面平行。

第2控制方法(实时控制)在将基板11安放在工作台14上的状态下用Z方向传感器21A、21B测量工作台14在Y轴方向上的高度位置，根据该测量到的检测值控制梁18两端的高度位置，使梁18与工作台14的上面平行。

下面参照图7和图8说明上述控制装置17所执行的第1控制方法的控制处理。如图7所示，控制装置17在步骤S11(以下省略“步骤”)给Y方向直线电动机28的线圈单元38施加电压，使工作台14从初始位置沿Y方向以预定的一定速度移动。

接着在S12中，用一对Z方向传感器21A、21B测量在各Y方向的位置上与工作台14的上面的距离(梁18相对于工作台14的高度位置)H_A、H_B。接着，前进到S13，将一对Z方向传感器21A、21B测量到的Z方向测量数据H_A、H_B存储到存储器(图中没有示出)中。并且，该存储器还有存储与工作台14在Y方向上的位置相对应的梁18与工作台14之间的距离的测量值(Z方向测量数据H_A、H_B) 数据库。

接着，在S14中，检查工作台14是否移动到了Y方向的终端位置。如果在S14中工作台14没有到达Y方向的终端位置，则返回到上述S11，使工作台14沿Y方向移动并用一对Z方向传感器21A、21B测量与工作台14的上面的距离。

并且，在上述S14中，当工作台14移动到Y方向的终端位置时，前进到S15，使工作台14回到初始位置。接着，在S16中用输送装置(图中没有示出)将基板11输送到工作台14的上面。接着，前进到S17，将基板11真空吸附在工作台14上。

在S18中用Y方向直线电动机28使工作台14沿Y方向以预定的一定速度从初始位置开始移动。并且在图8所示的S19中读入用Y方向直线尺测量到的工作台14在Y方向相对于梁18的位置。接着，前进到S20，根据存储到存储器中的该Y方向位置上的Z方向测量数据H_A、H_B驱动Z轴驱动电动机66修正梁18两端的高度位置，使H_A＝H、H_B＝H，使梁18与该Y方向位置上的工作台14平行。

接着在S21中检查工作台14是否到达Y方向的终端位置。在上述S21中，如果工作台14没有到达Y方向的终端位置，则返回上述S18，再次执行S18～S21的控制处理。而如果在S21中工作台14到达Y方向的终端位置，则前进到S22，用输送装置(图中没有示出)搬出工作台14上的基板11。然后前进到S23，检查是否将停止开关(图中没有示出)操作到ON的位置。当在S23中停止开关(图中没有示出)处于OFF位置时，返回到上述S15，反复进行S15以后的处理。而如果在S23中停止开关(图中没有示出)被操作到ON位置时，使载物台装置10处于停止状态，结束这次的控制处理。

这样，第1控制方法由于预先用Z方向传感器21A、21B测量工作台14在Y轴方向上的高度位置，将该检测值保存，因此在实际的作业过程中，通过读入与Y方向位置相对应的检测值，就能够修正梁18的两端相对于工作台14上面的高度位置，使其平行。因此，由于总是能够将梁18保持在预定的高度位置与工作台14的上表面平行的状态，因此能够对基板11进行精密的加工或检查。

下面参照图9和图10说明上述控制装置17所执行的第2控制方法的控制处理。如图9所示，在S31中控制装置17使工作台14返回到初始位置。在下一步S32中用搬入装置(图中没有示出)将基板11搬入工作台14的上表面。接着前进到S33，将基板11真空吸附在工作台14上。

在下一步S34中，用Y方向直线电动机28使工作台14沿Y方向以预定的一定速度从初始位置开始移动。然后在图10所示的S35中，读入Y方向直线尺测量到的工作台14在Y方向相对于梁18的位置。接着前进到S36，读入存储到存储器中的该Y方向位置上的Z方向测量数据H_A、H_B。

接着，在S37中检查一对Z方向传感器21A、21B测量到的Z方向测量数据H_A、H_B是否都与预先设定的基准高度H相等。如果在该S37中H_A＝H、H_B＝H，则判定为梁18与该Y方向位置的工作台14平行，并且梁18与工作台14的距离为预定值，省略S38～S46的处理，转移至后述的S47。

而如果在S37中不是H_A＝H、H_B＝H，则前进到S38，检查一对Z方向传感器21A、21B测量到的Z方向测量数据H_A是否大于H。如果在S38中H_A＞H，则由于相对于该Y方向位置上的工作台14梁18的左端偏高的状态而倾斜，因此前进到S39，驱动左侧Z轴驱动机构20的Z轴驱动电动机66，使梁18的左端下降Z方向的高度差的量(H_A-H)。

接着在S40中用一对Z方向传感器21A、21B测量在各Y方向位置上与工作台14的上表面的距离(梁18相对于工作台14的高度位置)H_A、H_B。然后返回上述S37，检查修正Z方向倾斜后一对Z 方向传感器21A、21B测量到的Z方向测量数据是否为H_A＝H、H_B＝H。如果在S37中H_A＝H、H_B＝H，则由于修正到梁18与该Y方向位置的工作台14平行，因此转移到上述S47。

而如果在上述S38中H_A不大于H，则前进到S41，检查一对Z方向传感器21A、21B测量到的Z方向测量数据是否H_A＜H。如果在S41中H_A＜H，则由于梁18的左端偏低而处于倾斜状态，因此前进到S42，驱动左侧的Z轴驱动机构20的Z轴驱动电动机66使梁18的左端上升Z方向的高度差的量(H_A-H)。接着，前进到S40，用一对Z方向传感器21A、21B测量各Y方向位置上与工作台14的上表面的距离(梁18相对于工作台14的高度位置)H_A、H_B。然后再次回到上述S37，检查修正Z方向倾斜后一对Z方向传感器21A、21B测量到的Z方向的测量数据是否H_A＝H、H_B＝H。如果在该S37中H_A＝H、H_B＝H，则由于修正到梁18与该Y方向位置上的工作台14平行，因此转移到上述S47。

而如果在上述S41中H_A不小于H，则前进到S43，检查一对Z方向传感器21A、21B测量到的Z方向测量数据是否H_B＞H。如果在S43中H_B＞H，则由于梁18处于右端偏高的倾斜状态，因此前进到S44，驱动右侧的Z轴驱动机构20的Z轴驱动电动机66使梁18的右端下降Z方向的高度差的量(H_B-H)。接着，前进到上述S40，用一对Z方向传感器21A、21B测量各Y方向位置上与工作台14的上表面的距离(梁18相对于工作台14的高度位置)H_A、H_B。然后再次回到上述S37，检查修正Z方向倾斜后一对Z方向传感器21A、21B测量到的Z方向的测量数据是否H_A＝H、H_B＝H。如果在S37中H_A＝H、H_B＝H，则由于修正到梁18与该Y方向位置上的工作台14平行，因此转移到上述S47。

而如果在上述S43中H_B不大于H，则前进到S45，检查一对Z方向传感器21A、21B测量到的Z方向测量数据是否H_B＜H。如果在该S45中H_B＜H，则由于梁18处于右端偏低的倾斜状态，因此前进到S46，驱动右侧的Z轴驱动机构20的Z轴驱动电动机66使梁18的右端上升Z方向的高度差的量(H_B-H)。接着，前进到上述S40，用一对Z方向传感器21A、21B测量各Y方向位置上与工作台14的上表面的距离(梁18相对于工作台14的高度位置)H_A、H_B。然后再次回到上述S37，检查修正Z方向倾斜后一对Z方向传感器21A、21B测量到的Z方向测量数据是否H_A＝H、H_B＝H。如果在S37中H_A＝H、H_B＝H，则由于修正到梁18与该Y方向位置上的工作台14平行，因此转移到上述S47。

在上述S39、S42、S44、S46中，当驱动Z轴驱动电动机66调整梁18的高度位置时，由于梁18的载荷由汽缸50承担，因此Z轴驱动电动机66和滚珠丝杠62的负担小，梁18的高度调整能够容易且顺畅地进行。

如果在上述S45中H_B不小于H，则认为梁18与工作台14平行，而前进到S47，检查工作台14是否到达Y方向的终端位置。如果在上述S47中工作台14没有到达Y方向的终端位置，则返回上述S34，再次执行S34以后的处理。而如果在S47中工作台14到达Y方向的终端位置，则前进到S48，用搬出装置(图中没有示出)搬出工作台14上的基板11。然后前进到S49，检查是否将停止开关(图中没有示出)操作到ON的位置。在该S49中，当停止开关(图中没有示出)处于OFF位置时，返回到上述S31，反复进行S31以后的处理。而如果在S49中停止开关(图中没有示出)被操作到ON位置时，使载物台装置10处于停止状态，结束这次的控制处理。

这样，第2控制方法在实际的作业过程中使工作台14沿Y方向移动，并且用Z方向传感器21A、21B测量工作台14在Y轴方向上的高度位置，可以根据该测量值修正梁18两端相对于工作台14上表面的高度位置使它们平行。因此，由于总是能够将梁18保持在预定的高度位置上与工作台14的上表面平行的状态，因此能够对基板11进行精密的加工或检查。

产业上的可利用性

虽然在上述实施例中列举Y方向直线电动机28使工作台14沿Y方向移动的结构为例，但并不局限于此，结构为使龙门部16沿Y方向移动的载物台装置当然也可以使用本发明。

并且，虽然在上述实施例中列举Z轴驱动机构20中使用滚珠丝杠的结构为例，但并不局限于此，当然也可以使用滚珠丝杠以外的传动机构。

并且，虽然在上述实施例中列举在梁18的两端附近设置一对Z方向传感器21A、21B的结构为例，但并不局限于此，也可以设置3个以上的Z方向传感器21A、21B，根据各传感器测量到的值计算工作台上表面的微小的倾斜。

并且，虽然在上述实施例中在图7所示的S12～S15中测量工作台上表面的微小倾斜，在基板11被安放在工作台14上的状态下进行修正梁18相对于工作台上表面的倾斜的处理，但并不局限于此，也可以在每次将基板11安放到工作台14上时测量梁18相对于工作台14的倾斜。

并且，虽然在上述实施例中在图8所示的S22中检查一对Z方向传感器21A、21B测量到的Z方向测量数据是否H_A＝H_B，但并不局限于此，也可以使用例如将预先设定的高度位置作为阀值、与用Z方向传感器21A、21B测量到的Z方向测量数据进行比较、分别调整梁18两端的高度位置的方法。

Claims

1.一种载物台装置，其特征在于，具备：在上面安放工件的工作台；竖立在该工作台两侧的一对Z轴驱动机构；在上述工作台的上方横架在上述一对Z轴驱动机构之间的梁；相对于上述一对Z轴驱动机构可转动地支持该梁两端部的一对转动支持部。

2.如权利要求1所述的载物台装置，其特征在于，具有相对于上述梁可滑动地支持上述一对转动支持部中的任一个的滑动部。

3.如权利要求1或2所述的载物台装置，其特征在于，上述一对Z轴驱动机构具有承载上述梁的载荷的汽缸、和将该汽缸内的压力保持在一定的压力调整单元。

4.如权利要求1或2所述的载物台装置，其特征在于，具有一对检测上述梁与上述工作台上表面的距离的检测单元、和驱动上述一对Z轴驱动机构以使这对检测单元的检测值相等的控制单元。

5.如权利要求1或2所述的载物台装置，其特征在于，具有使上述工作台沿水平方向移动的水平方向驱动单元。

6.如权利要求1或2所述的载物台装置，其特征在于，上述一对Z轴驱动机构具有将电动机的驱动力传递给上述梁的滚珠丝杠机构，通过上述滚珠丝杠机构使上述梁升降。

7.一种龙门型载物台装置，具有工作台、和具备横架在该工作台上方的梁的龙门部，其特征在于，具有可转动地支持上述梁两端部的一对转动支持部，将使上述梁与上述工作台的上表面平行地调整上述梁两端的高度位置的Z轴调整机构设置在上述龙门部上。

8.如权利要求7所述的龙门型载物台装置，其特征在于，上述Z轴调整机构具有相对于上述梁可滑动地支持上述一对转动支持部中的任一个的滑动部。

9.如权利要求7或8所述的龙门型载物台装置，其特征在于，上述Z轴调整机构具有承载上述梁的载荷的汽缸、和将该汽缸内的压力保持稳定的压力调整单元。

10.一种载物台装置的控制方法，该载物台装置为具备工作台、具备横架在该工作台上方的梁的龙门部、可转动地支持上述梁两端部的一对转动支持部、以及一对检测上述梁与上述工作台上表面的距离的检测单元的龙门型载物台装置，

该载物台装置的控制方法的特征在于，包括以下工序：使工作台沿水平方向移动的工序；检测上述梁与上述工作台的距离，并保存检测结果的工序；根据上述检测结果，使上述梁与上述工作台的上表面平行地调整上述梁两端的高度位置，以使上述一对检测单元的检测值相等的工序。