KR101269987B1

KR101269987B1 - 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치 및 방법

Info

Publication number: KR101269987B1
Application number: KR1020120015775A
Authority: KR
Inventors: 남희범
Original assignee: 순환엔지니어링 주식회사
Priority date: 2012-02-16
Filing date: 2012-02-16
Publication date: 2013-05-31
Anticipated expiration: 2032-02-16
Also published as: JP2013166240A; TWI616268B; TW201334910A; JP6038678B2

Abstract

다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치 및 방법이 제공된다. 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치는, 다수의 축들 및 다수의 축들에 의해 틸팅되는 스테이지를 포함하는 스테이지 장치의 제어 장치에 있어서, 다수의 축들 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정하는 축 지정부와, 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 슬레이브 축은 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 마스터 축과 함께 이동시키는 제어부를 포함할 수 있다. 이를 통해 제어의 정밀도를 향상시킬 수 있으며 시간과 비용을 줄일 수 있다.

Description

다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD OF CONTROLLING STAGE APPARATUS COMPRISING MULTI-AXIS}

본 발명은 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어에 관한 것이다.

일반적으로 FPD(Flat Panel Display) 공정이나 SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 공정에서는 기판을 안착시키기 위한 스테이지 장치가 사용되고 있다.

이러한 스테이지 장치를 사용하여 작업을 수행하기 위해서는 스테이지를 지지하는 각 축의 기준 위치, 즉 원점으로 복귀한 후('원점 복귀'라 함), 원점을 기준으로 작업에 필요한 이송 명령을 내리게 된다. 따라서, 정확한 원점 복귀가 스테이지 장치의 작업 성능 내지 제품의 품질에 영향을 미치게 된다.

하나의 축으로 구성되는 스테이지 장치의 경우는 기구적인 제약이 없기 때문에 원점 복귀를 수행하는데 어려움이 없다. 하지만, 다축으로 구성되는 스테이지 장치의 경우 기구적인 제약(즉, 스테이지가 다축에 의해 기구적으로 엮여 있는 구조)에 의해 다축 중 어느 하나의 축만에 대해 원점 복귀를 수행하는 경우 다른 나머지 축에 무리를 주게 되는 문제점이 있다.

또한, FPD 공정이나 SEMI 공정에서는 스테이지의 오차 요인(예컨대, Roll, Pitch, Yaw, Flatness 등)이 적정 범위 이내에 있도록 하는 것이 매우 중요하며, 이를 위해 작업자는 스테이지 장치를 반복적으로 분해, 조립하여야 한다.

즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 스테이지 장치의 조립이 완료되면(S100), 오차 요인의 에러율을 측정한 후(S101), 측정된 에러량이 목표값의 범위 내에 있는지 판단한다(S102). 판단 결과, 측정된 에러량이 목표값 이상인 경우 작업자는 스테이지 장치(S103)를 분해한 후 교정 작업을 수행한다(S103). 이후 다시 S100 내지 S102의 과정을 반복적으로 수행하게 된다.

따라서, 종래 기술에 의하면, 작업자에 의해 수동으로 오차 요인을 조정하게 되어 정밀도가 낮으며, 시간과 비용적인 면에서 낭비를 초래하게 된다.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 제어의 정밀도를 향상시킬 수 있으며 시간과 비용을 줄일 수 있는 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치 및 방법을 제공한다.

또한, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 모터의 부하율 누적을 방지할 수 있으며, 과도한 틸팅에 의해 모터에 걸리는 부하를 줄일 수 있는 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치 및 방법을 제공한다.

본 발명의 제1 실시 형태에 의하면, 다수의 축들 및 상기 다수의 축들에 의해 틸팅되는 스테이지를 포함하는 스테이지 장치의 제어 장치에 있어서,

상기 다수의 축들 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 상기 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정하는 축 지정부; 및

상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 상기 슬레이브 축은 상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 상기 마스터 축과 함께 이동시키는 제어부를 포함하는 스테이지 장치의 제어 장치가 제공된다.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 제어 장치는,

상기 마스터 축의 이동 한계를 측정하기 위한 한계 센서;

상기 마스터 축의 원점을 표시한 인덱스를 포함하는 리니어 스케일; 및

상기 한계 센서 및 상기 리니어 스케일의 인덱스를 검출하기 위한 검출부를 더 포함하며,

상기 제어부는,

상기 마스터 축이 제1 축방향으로 이동됨에 따라 상기 검출부에 의해 상기 한계 센서가 검출되면 상기 제1 축방향의 반대 방향으로 상기 마스터 축을 이동시키되, 상기 검출부에 의해 상기 인덱스가 검출되면, 상기 마스터 축을 정지시킬 수 있다.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 제어 장치는,

상기 스테이지를 수평으로 유지하기 위한 각 축의 보정량을 측정하는 측정부를 더 포함하며,

상기 제어부는, 상기 측정된 보정량에 따라 개별 축을 이동시킬 수 있다.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 제어부는,

상기 측정된 보정량에 따라 해당 축이 이동된 경우 해당 보정량만큼 각 축을 반대방향으로 이동시킨 후, 상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시킬 수 있다.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 스테이지 장치는,

상기 다수의 축을 구동하기 위한 구동원을 더 포함하며,

상기 제어부는,

상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때마다 상기 구동원의 제어를 일시 중단할 수 있다.

본 발명의 제2 실시 형태에 의하면, 다수의 축들 및 상기 다수의 축들에 의해 틸팅되는 스테이지를 포함하는 스테이지 장치의 제어 방법에 있어서,

축 지정부에서, 상기 다수의 축들 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 상기 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정하는 지정 단계; 및

제어부에서, 상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 상기 슬레이브 축은 상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 상기 마스터 축과 함께 이동시키는 원점 복귀 단계를 포함하는 스테이지 장치의 제어 방법이 제공된다.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 원점 복귀 단계는,

상기 제어부에서, 상기 마스터 축을 제1 축방향으로 이동시키는 단계;

검출부에서, 상기 마스터 축의 이동 한계를 측정하기 위한 한계 센서를 검출하는 단계;

상기 제어부에서, 상기 한계 센서가 검출되면, 상기 제어부에서 상기 제1 축방향의 반대 방향으로 상기 마스터 축을 이동시키는 단계;

상기 검출부에서, 상기 마스터 축의 원점을 표시한 인덱스를 검출하는 단계; 및

상기 인덱스가 검출되면, 상기 제어부에서 상기 마스터 축을 정지시킬 수 있다.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 제어 방법은,

측정부에서, 상기 스테이지를 수평으로 유지하기 위한 각 축의 보정량을 측정하는 단계; 및

상기 제어부에서, 상기 측정된 보정량에 따라 해당 축을 이동시키는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 제어 방법은,

상기 제어부에서, 상기 측정된 보정량에 따라 해당 축이 이동된 경우 해당 보정량만큼 각 축을 반대방향으로 이동시킨 후 상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키는 단계를 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시 형태에 의하면, 상기 스테이지 장치는,

상기 다수의 축을 구동하기 위한 구동원을 포함하며,

상기 제어 방법은,

상기 제어부에서, 상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때마다 상기 구동원의 제어를 일시 중단할 수 있다.

본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 스테이지의 수평도 및 원점 복귀를 모터에 의해 자동으로 수행하게 함으로써, 제어의 정밀도를 향상시킬 수 있으며 시간과 비용을 줄일 수 있다.

또한, 본 발명의 실시 형태에 의하면, 하나의 마스터 축에 대한 원점 복귀가 완료되면 모터의 제어 신호를 일시 중단하여 모터의 부하율 누적을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 다른 실시 형태에 의하면, 스테이지 장치의 원점 복귀시 개별축의 보정량만큼 원위치시킨 상태에서 원점 복귀를 수행하게 함으로써, 과도한 틸팅에 의해 모터에 걸리는 부하를 줄일 수 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 방법을 설명하는 흐름도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치를 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 방법을 도시한 흐름도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 도 3의 S305를 구체화한 흐름도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다. 그러나 본 발명의 실시형태는 여러 가지의 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로만 한정되는 것은 아니다. 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.

도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치를 도시한 도면이다. 스테이지 장치의 제어 장치는 다수의 축들(AX1, AX2, AX3) 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정하는 축 지정부(210)와, 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 슬레이브 축은 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 마스터 축과 함께 이동시키는 제어부(220)와, 마스터 축의 이동 한계를 측정하기 위한 한계 센서(LS1, LS2, LS3)와, 마스터 축의 원점을 표시한 인덱스를 포함하는 리니어 스케일(PS1, PS2, PS3)과, 한계 센서(LS1, LS2, LS3) 및 리니어 스케일(PS1, PS2, PS3)의 인덱스를 검출하기 위한 검출부(230)와, 스테이지(S)를 수평으로 유지하기 위한 각 축(AX1, AX2, AX3)의 보정량을 측정하는 측정부(240)를 포함할 수 있다.

이하, 도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 장치를 상세하게 설명한다.

도 2를 참조하면, 우선 스테이지 장치는 다수의 축들(AX1, AX2, AX3)과, 다수의 축들(AX1, AX2, AX3)에 의해 틸팅되는 스테이지(S)를 포함할 수 있으며, 스테이지(S) 위에는 기판(미도시)을 안착시켜 FPD 공정이나 SEMI 공정에서 작업이 수행될 수 있다. 비록 도 2에서는 3개의 축(AX1, AX2, AX3)에 의해 지지되는 스테이지(S)를 예시하고 있으나, 이는 이해를 돕기 위한 것이며, 적어도 2 이상의 축에 의해 지지되는 스테이지(S)를 포함할 수 있다.

한편, 개별축(AX1, AX2, AX3)은 구동원인 모터(M1, M2, M3)에 의해 상하 방향(D 참조)으로 이동(신장 내지 수축)됨으로써, 스테이지(S)의 오차 요인(예컨대, Roll, Pitch, Yaw, Flatness 등으로 본 발명에서는 주로 Flatness를 의미함)을 보정할 수 있다.

그리고, 개별축(AX1, AX2, AX3)의 상부 또는 하부(본 발명에서는 하부에 표시함)에는 한계 센서(LS1, LS2, LS3)가 설치되어 마스터 축(후술함)의 이동 한계를 측정할 수 있도록 되어 있다.

또한, 개별축(AX1, AX2, AX3)의 위치를 측정하기 위한 위치 측정부, 예를 들면 리니어 스케일(PS1, PS2, PS3)이 설치될 수 있으며, 리니어 스케일(PS1, PS2, PS3)에는 축의 기준 위치인 원점을 표시하는 인덱스(I1, I2, I3)가 마킹될 수 있다. 한편, 도 2에서는 위치 측정부가 개별축(AX1, AX2, AX3)을 따라 설치되어 있는 것으로 도시되어 있으나, 이를 본 발명의 이해를 돕기 위한 것에 불과하며 편의에 따라 다양한 위치에 설치될 수 있다는 점에 유의하여야 한다.

그리고, 축 지정부(210)는 다수의 축들(AX1, AX2, AX3) 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정할 수 있다. 지정된 마스터 축 및 슬레이브 축은 제어부(220)로 전달될 수 있다.

한편, 제어부(220)는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 제어 장치를 총괄한다. 구체적으로, 제어부(220)는 축 지정부(210)로부터 전달받은 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 슬레이브 축은 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 마스터 축과 함께 이동시킴으로써 원점 복귀를 수행하거나, 측정부(240)에서 측정한 보정값에 따라 개별축(AX1, AX2, AX3)을 이동시킴으로써, 스테이지 장치의 초기 오차를 제거할 수 있다. 제어부(200)를 포함한 구체적인 제어 방법은 후술한다.

한편, 측정부(240)는 스테이지 장치의 오차 요인을 제거하기 위해 각 지점(P1, P2, P3)에서 오차 요인의 보정량을 측정한 후, 측정된 보정량을 제어부(220)로 전달할 수 있다. 오차 요인의 보정량은 예컨대, 스테이지(S)를 수평으로 유지하기 위한 개별축(AX1, AX2, AX3)의 보정량을 포함할 수 있다.

한편, 도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 방법을 도시한 흐름도이며, 도 4는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 도 3의 S305를 구체화한 흐름도이다.

이하에서는, 도 2 내지 도 4를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 다축으로 구성된 스테이지 장치의 제어 방법에 대해 상세하게 설명한다.

우선 도 2 및 도 3을 참조하면, 스테이지 장치의 조립이 완료(S301)되면, 측정부(240)는 오차 요인(예컨대, Roll, Pitch, Yaw, Flatness 등으로 본 발명에서는 주로 Flatness를 의미함)의 에러량을 측정할 수 있다(S302). 측정된 에러량은 제어부(220)로 전달될 수 있다.

다음, 제어부(220)는 측정된 에러량이 목표값 이내인지를 판단한다(S303). 판단 결과, 측정된 에러량이 목표값 이상인 경우 측정부(240)는 개별축(AX1, AX2, AX3)의 보정량을 측정할 수 있다(S304). 측정된 보정량은 제어부(220)로 전달될 수 있다.

이후, 제어부(220)는 구동원인 모터(M1, M2, M3)를 제어하여 모든 축(AX1, AX2, AX3)에 대한 원점 복귀 절차를 수행할 수 있다(S305). 원점 복귀 절차는 도 4에 상세하게 도시되어 있으며, 도 2 및 도 4를 참조하여 원점 복귀 절차를 상세하게 설명한다.

도 2 및 도 4를 참조하면, 우선 축 지정부(210)에 의해 마스터 축과 슬레이브 축이 지정될 수 있다. 다축으로 구성되는 스테이지 장치의 경우 기구적인 제약(즉, 스테이지가 다축에 의해 기구적으로 엮여 있는 구조)에 의해 다축 중 어느 하나의 축만에 대해 원점 복귀를 수행하는 경우 다른 나머지 축에 무리를 주게 되는 문제점이 있다. 따라서, 본 발명의 실시 형태에 의하면, 다수의 축들(AX1, AX2, AX3) 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정하고, 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 슬레이브 축은 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 마스터 축과 함께 이동시킬 수 있다. 이를 통해 제어의 정밀도를 향상시킬 수 있으며 시간과 비용을 줄일 수 있다.

구체적으로, 제어부(220)는 측정된 보정량에 따라 개별축(AX1, AX2, AX3)에 대한 보정이 이루어졌는지를 판단할 수 있으며(S401), 판단 결과 보정이 이루어진 경우에는 측정된 보정량만큼 개별축(AX1, AX2, AX3)을 반대방향으로 보정할 수 있다(개별축의 보정량만큼 원위치)(S402). 이와 같이 하는 이유는 개별축을 보정한 상태에서 원점 복귀 절차를 수행할 경우 틸팅에 의해 과도한 부하가 모터(M1, M2, M3)에 걸릴 수 있기 때문이다.

이후, 제어부(220)는 모든 축(AX1, AX2, AX3)의 제어를 일시 중단(강제적으로 모터(M1, M2, M3)의 제어하지 않는 자유로운 상태로 두는 것)할 수 있다(S403). 상술한 S403은 모든 축(AX1, AX2, AX3)의 원점 복귀가 완료될 때마다(S407, S411) 수행될 수 있다.

이와 같이 하는 이유는 다축으로 구성된 스테이지 장치에서는 마스터 축이 원점을 찾아갈 때 나머지 슬레이브 축은 마스터 축의 지령을 추종하여 함께 동작하게 되는데, 이때 마스터 축에 내려지는 커맨드와 슬레이브 축에 내려지는 커맨드 간에 지연(슬레이브 축으로 내려지는 커맨드가 마스터 축에 내려지는 커맨드에 비해 지연됨)이 발생되며, 이로 인해 마스터 축의 모터와 슬레이브 축의 모터 간의 위치 편차가 발생하게 된다.

이러한 위치 편차는 다축으로 구성된 스테이지 장치의 특성상 모터의 부하율의 누적을 발생시키게 된다. 따라서, 본 발명의 실시 형태에 의하면, 마스터 축의 원점 복귀 후에 모든 축(AX1, AX2, AX3)의 제어를 일시 중단함으로써, 누적된 모터의 부하율을 제거할 수 있는 것이다.

이후, 축 지정부(210)는 다수의 축들 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정할 수 있다. 구체적으로 축 지정부(210)는 1번 축(AX1)을 마스터 축으로 지정하며, 나머지 축들(AX2, AX2)을 슬레이브 축으로 지정할 수 있다(S404).

다음, 제어부(220)는 지정된 마스터 축(AX1)에 대해 원점 복귀 절차를 수행할 수 있다(S405). 구체적으로, 제어부(220)로부터의 원점 복귀 커맨드에 따라 모터(M1)는 마스터 축(AX1)을 축방향(D)으로, 즉 아래 방향으로 이동(수축)시키며, 이때 검출부(230)에 의해 한계 센서(LS1)를 검출할 수 있다. 한계 센서(LS1)가 검출되면, 제어부(220)는 다시 반대 방향으로 마스터 축(AX1)을 이동(신장) 시키게 되며, 이때 검출부(230)는 리니어 스케일(PS1)에 의해 인덱스(I1)를 검출할 수 있다. 이후 제어부(220)는 인덱스(I1) 지점에서 마스터 축(AX1)을 정지시키게 된다.

한편, 나머지 슬레이브 축들(AX2, AX2)은 마스터 축(AX1)으로 가는 원점 복귀 커맨드를 추종하여 마스터 축(AX1)과 동일한 속도로 동작하게 된다.

이후 제어부(220)는 마스터 축(AX1)의 원점 복귀가 완료되었는지를 판단한다(S406). 판단 결과, 마스터 축(AX1)의 원점 복귀가 완료된 경우에는 모든 축(AX1, AX2, AX3)의 제어를 일시 중단(강제적으로 모터(M1, M2, M3)의 제어하지 않는 자유로운 상태로 두는 것)할 수 있다(S407). 이와 같이 하는 이유는 상술한 바와 같다.

이후, 축 지정부(210)는 두번째 축(AX2)을 마스터 축으로 지정하며, 나머지 축(AX1, AX3)을 슬레이브 축으로 지정할 수 있다(S408).

마찬가지로, 제어부(220)는 상술한 바와 마찬가지로, 두번째 축(AX2)을 마스터 축으로 하여 원점 복귀 절차를 수행할 수 있다(S409). 첫번째 축(AX1)은 이미 원점 복귀가 수행된 상태이므로, 초기 위치는 인덱스(I1)가 될 수 있을 것이며, 지정된 슬레이브 축들(AX1, AX3)은 마스터 축(AX2)으로 가는 원점 복귀 커맨드를 추종하여 마스터 축(AX2)과 동일한 속도로 동작할 수 있다.

이후 제어부(220)는 마스터 축(AX2)의 원점 복귀가 완료되었는지를 판단한다(S410). 판단 결과, 마스터 축(AX2)의 원점 복귀가 완료된 경우에는 모든 축(AX1, AX2, AX3)의 제어를 일시 중단(강제적으로 모터(M1, M2, M3)의 제어하지 않는 자유로운 상태로 두는 것)할 수 있다(S411).

마지막으로, 축 지정부(210)는 세번째 축(AX3)을 마스터 축으로 지정하며, 나머지 축(AX1, AX2)을 슬레이브 축으로 지정할 수 있다(S412).

이후, 제어부(220)는 상술한 바와 마찬가지로, 세번째 축(AX3)을 마스터 축으로 하여 원점 복귀 절차를 수행할 수 있다(S413). 첫번째 축(AX1) 및 두번째 축(AX2)은 이미 원점 복귀가 수행된 상태이므로, 초기 위치는 인덱스(I1, I2)가 될 수 있을 것이며, 지정된 슬레이브 축들(AX2, AX3)은 마스터 축(AX3)으로 가는 원점 복귀 커맨드를 추종하여 마스터 축(AX3)과 동일한 속도로 동작할 수 있다.

이후 제어부(220)는 마스터 축(AX3)의 원점 복귀가 완료되었는지를 판단한다(S414). 판단 결과, 마스터 축(AX3)의 원점 복귀가 완료된 경우에는 도 3의 S306으로 진행할 수 있다.

즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 제어부(306)는 S304에서 측정된 보정량에 따라 개별축(AX1, AX2, AX3)을 보정하며, 보정이 완료된 개별축(AX1, AX2, AX3)의 현재 위치를 원점으로 설정할 수 있다. 이후 설정된 원점을 기준으로 작업에 필요한 이송 명령을 내리게 된다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 일 실시 형태에 의하면, 스테이지의 수평도 및 원점 복귀를 모터에 의해 자동으로 수행하게 함으로써, 제어의 정밀도를 향상시킬 수 있으며 시간과 비용을 줄일 수 있다.

본 발명은 상술한 실시형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되지 아니한다. 첨부된 청구범위에 의해 권리범위를 한정하고자 하며, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것은 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.

210: 축지정부
220: 제어부
230: 검출부
240: 측정부

Claims

다수의 축들 및 상기 다수의 축들에 의해 틸팅되는 스테이지를 포함하는 스테이지 장치의 제어 장치에 있어서,
상기 다수의 축들 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 상기 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정하는 축 지정부; 및
상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 상기 슬레이브 축은 상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 상기 마스터 축과 함께 이동시키는 제어부
를 포함하는 스테이지 장치의 제어 장치.
제1항에 있어서,
상기 제어 장치는,
상기 마스터 축의 이동 한계를 측정하기 위한 한계 센서;
상기 마스터 축의 원점을 표시한 인덱스를 포함하는 리니어 스케일; 및
상기 한계 센서 및 상기 리니어 스케일의 인덱스를 검출하기 위한 검출부를 더 포함하며,
상기 제어부는,
상기 마스터 축이 제1 축방향으로 이동됨에 따라 상기 검출부에 의해 상기 한계 센서가 검출되면 상기 제1 축방향의 반대 방향으로 상기 마스터 축을 이동시키되, 상기 검출부에 의해 상기 인덱스가 검출되면, 상기 마스터 축을 정지시키는 스테이지 장치의 제어 장치.
제1항에 있어서,
상기 제어 장치는,
상기 스테이지를 수평으로 유지하기 위한 각 축의 보정량을 측정하는 측정부를 더 포함하며,
상기 제어부는, 상기 측정된 보정량에 따라 개별 축을 이동시키는 스테이지 장치의 제어 장치.
제3항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 측정된 보정량에 따라 해당 축이 이동된 경우 해당 보정량만큼 각 축을 반대방향으로 이동시킨 후, 상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키는 스테이지 장치의 제어 장치.
제1항에 있어서,
상기 스테이지 장치는,
상기 다수의 축을 구동하기 위한 구동원을 더 포함하며,
상기 제어부는,
상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때마다 상기 구동원의 제어를 일시 중단하는 스테이지 장치의 제어 장치.
다수의 축들 및 상기 다수의 축들에 의해 틸팅되는 스테이지를 포함하는 스테이지 장치의 제어 방법에 있어서,
축 지정부에서, 상기 다수의 축들 각각을 마스터 축으로 순차 지정하되, 상기 마스터 축으로 지정되지 않은 축들은 슬레이브 축으로 지정하는 지정 단계; 및
제어부에서, 상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키되, 상기 슬레이브 축은 상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때까지 상기 마스터 축과 함께 이동시키는 원점 복귀 단계
를 포함하는 스테이지 장치의 제어 방법.
제6항에 있어서,
상기 원점 복귀 단계는,
상기 제어부에서, 상기 마스터 축을 제1 축방향으로 이동시키는 단계;
검출부에서, 상기 마스터 축의 이동 한계를 측정하기 위한 한계 센서를 검출하는 단계;
상기 제어부에서, 상기 한계 센서가 검출되면, 상기 제어부에서 상기 제1 축방향의 반대 방향으로 상기 마스터 축을 이동시키는 단계;
상기 검출부에서, 상기 마스터 축의 원점을 표시한 인덱스를 검출하는 단계; 및
상기 인덱스가 검출되면, 상기 제어부에서 상기 마스터 축을 정지시키는 단계를 포함하는 스테이지 장치의 제어 방법.
제6항에 있어서,
상기 제어 방법은,
측정부에서, 상기 스테이지를 수평으로 유지하기 위한 각 축의 보정량을 측정하는 단계; 및
상기 제어부에서, 상기 측정된 보정량에 따라 해당 축을 이동시키는 단계를 더 포함하는 스테이지 장치의 제어 방법.
제8항에 있어서,
상기 제어 방법은,
상기 제어부에서, 상기 측정된 보정량에 따라 해당 축이 이동된 경우 해당 보정량만큼 각 축을 반대방향으로 이동시킨 후 상기 지정된 마스터 축을 기준 위치인 원점으로 복귀시키는 단계를 더 포함하는 스테이지 장치의 제어 방법.
제6항에 있어서,
상기 스테이지 장치는,
상기 다수의 축을 구동하기 위한 구동원을 포함하며,
상기 제어 방법은,
상기 제어부에서, 상기 마스터 축의 원점 복귀가 완료될 때마다 상기 구동원의 제어를 일시 중단하는 스테이지 장치의 제어 방법.