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WO2021107484A1 - 도전성 입자 및 이를 갖는 검사용 소켓 - Google Patents

도전성 입자 및 이를 갖는 검사용 소켓 Download PDF

Info

Publication number
WO2021107484A1
WO2021107484A1 PCT/KR2020/016252 KR2020016252W WO2021107484A1 WO 2021107484 A1 WO2021107484 A1 WO 2021107484A1 KR 2020016252 W KR2020016252 W KR 2020016252W WO 2021107484 A1 WO2021107484 A1 WO 2021107484A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
conductive
convex portion
conductive particles
socket
width
Prior art date
Application number
PCT/KR2020/016252
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
김규선
Original Assignee
주식회사 스노우
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from KR1020190153265A external-priority patent/KR102204910B1/ko
Priority claimed from KR1020190153264A external-priority patent/KR102195339B1/ko
Application filed by 주식회사 스노우 filed Critical 주식회사 스노우
Publication of WO2021107484A1 publication Critical patent/WO2021107484A1/ko
Priority to US17/343,223 priority Critical patent/US11373779B2/en

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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B5/00—Non-insulated conductors or conductive bodies characterised by their form
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733—Geometry aspects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • G01R1/0408—Test fixtures or contact fields; Connectors or connecting adaptors; Test clips; Test sockets
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00—Printed circuits
    • H05K1/02—Details
    • H05K1/09—Use of materials for the conductive, e.g. metallic pattern
    • H05K1/092—Dispersed materials, e.g. conductive pastes or inks
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/03—Conductive materials
    • H05K2201/0302—Properties and characteristics in general
    • H05K2201/0314—Elastomeric connector or conductor, e.g. rubber with metallic filler
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00—Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/03—Conductive materials
    • H05K2201/0332—Structure of the conductor
    • H05K2201/0364—Conductor shape
    • H05K2201/0379—Stacked conductors

Definitions

  • the present invention relates to conductive particles and an inspection socket having the same, and more particularly, to an inspection socket disposed between a device under test and a test board to electrically connect a lead of the device under test and a pad of the test board to each other. It relates to conductive particles used and a socket for inspection having the same.
  • the device under test such as a semiconductor element
  • the device under test is subjected to an electrical test to determine whether the device is defective.
  • a predetermined test signal is transmitted from the test equipment to the device under test to determine whether the device under test is defective.
  • This test socket has stable mechanical contact capability when each device under test moves to the correct position and makes accurate repeated contact with the socket mounted on the test board, and stable electrical contact capability to minimize signal distortion at the electrical contact point during signal transmission. This is required
  • test board and the device to be tested are not directly connected to each other, but indirectly connected using an intermediary device called a socket for testing.
  • a socket for testing an intermediary device.
  • inspection sockets such as pogo pins, can be used, but recently, inspection sockets using elastic sheets having anisotropy are increasing due to technological changes in semiconductor devices.
  • FIG. 1 is a view illustrating that a lead of a device to be inspected according to the prior art and a conductive part are in contact.
  • the socket for inspection 10 has a shape in which a plurality of conductive particles 12 are contained in a substrate 11 made of an insulating elastic material.
  • the plurality of conductive particles 12 are irregular spherical particles, oriented in the thickness direction to form one conductive part 13 , and these conductive parts 13 are the leads 21 of the device under test 20 .
  • ) is arranged in the plane direction to correspond to the Meanwhile, the conductive part is insulated and supported by the insulating support part 11 .
  • each conductive part 13 is in contact with the pad 31 of the test board 30 .
  • the lead 21 of the device under test 20 comes into contact with each conductive part 13 and the conductive part 13 ) is pressed, and accordingly, the conductive particles 12 in the conductive part 13 are in close contact with each other to form a state in which electricity can be conducted.
  • a predetermined test signal is applied from the test board 30
  • the test signal is transmitted to the device under test 20 through the socket for testing 10
  • the reflected signal from the device under test is reversed from the socket for testing It is transmitted to the test board 30 through (10).
  • Such a socket for inspection has a characteristic of exhibiting conductivity only in the thickness direction when pressed in the thickness direction, and since mechanical means such as soldering or springs are not used, it has excellent durability and can achieve simple electrical connection.
  • the conductive particles are spherical, there is a risk of being easily separated from the elastic material when repeatedly pressed due to the limitation of the compression range. That is, when the electrode of the device to be inspected repeatedly comes into contact with the conductive particles tens of thousands of times in the vertical direction, there is a problem in that the contact force between the elastic material and the conductive particles is weakened or the elastic material is torn. As such, when the conductive particles are separated from the elastic material, the electrical connection between the electrode and the pad is reduced or lost because the configuration for transmitting the electrical flow is lost. In particular, in the case of spherical particles, the contact area with the adjacent elastic material is small, so this problem appears remarkably.
  • the existing conductive particles are spherical and repeatedly pressurized for a long time, non-uniformity of operation between a plurality of conductive parts occurs depending on the contact state of the subject and the conductive part and the distribution position of the conductive part, which causes a resistance deviation between the conductive parts. becomes more likely to be Specifically, when the socket for inspection comes into contact with the device to be tested, the compressed surface like the balloon effect is reduced due to the characteristics of the elastic material, and the other outer surface is increased. At this time, the conductive parts in the test socket also change in the direction in which the test socket compresses and expands according to the position.
  • the shape of the conductive part also changes differently depending on the location.
  • the conductive particles are spherical, there is a limit to the height of the conductive part due to the problem of increasing resistance, which causes a large change in the volume of the socket for inspection during compression. That is, when the pressure is repeatedly applied for a long time, the possibility of a change in the shape of the conductive part increases, and accordingly, there is a problem in that the resistance deviation occurs due to the non-uniform operation between the plurality of conductive parts.
  • the present invention is to solve the problems of the prior art described above, and an object of the present invention is to provide an inspection socket disposed between a device under test and a test board to electrically connect a lead of the device under test and a pad of the test board to each other. To provide conductive particles used in the present invention and a socket for inspection having the same.
  • the conductive particles include It has a predetermined thickness (d), the length (l) is formed larger than the width (w), a columnar body portion, formed on the upper end of the body portion, and a first convex portion having an upper surface and a lower end of the body portion To provide conductive particles including a second convex portion formed on the lower surface.
  • the conductive particles may be conductive particles, characterized in that when aligned in the elastic insulating material by a magnetic field to form a conductive column (column) elongated in one direction is erected vertically.
  • the lower surface of the second convex portion of the upper conductive particles and the upper surface of the first convex portion of the lower conductive particles may be conductive particles characterized in that they rotate while maintaining surface contact during compression.
  • the first convex portion and the second convex portion may be conductive particles, characterized in that having a symmetrical shape with respect to the body portion.
  • the conductive particles may be conductive particles, characterized in that it has a symmetrical shape with respect to the longitudinal central axis.
  • the widest width (L2) of the first convex portion may be conductive particles, characterized in that configured to be larger than the width (L1) of the body portion.
  • the widest width (L3) of the second convex portion may be conductive particles, characterized in that configured to be larger than the width (L1) of the body portion.
  • At least one of the first convex portion and the second convex portion may be conductive particles, characterized in that having a semicircular shape.
  • At least one of the first convex portion and the second convex portion may have a triangular shape, and each vertex may be a conductive particle, characterized in that it is formed to be rounded.
  • At least one of the first convex portion and the second convex portion may have a trapezoidal shape, and each vertex may be a conductive particle, characterized in that it is formed to be rounded.
  • At least one of the first convex portion and the second convex portion may have a rectangular shape, and each vertex may be a conductive particle, characterized in that it is formed to be round.
  • the side surface of the body portion may be conductive particles, characterized in that formed concave inward toward the center from the top.
  • the side surface of the body portion may be a conductive particle, characterized in that a plurality of irregularities are formed.
  • one aspect of the present invention is formed by arranging a plurality of conductive particles in a thickness direction in an elastic insulating material, and a plurality of conductive parts and each conductive portion disposed spaced apart from each other in the plane direction. It includes an insulating support for blocking electrical connection between adjacent conductive parts while supporting the part, wherein the conductive particles provide a socket for inspection that is formed in a block shape having a predetermined thickness (d).
  • the conductive particles is formed on the upper end of the body portion, the first convex portion and the lower end of the body portion having a smooth upper surface in which projections and grooves are not formed. It may be a socket for inspection, characterized in that it comprises a second convex portion formed and having a smooth lower surface that is not formed with projections and grooves.
  • the first convex portion and the second convex portion may be a socket for inspection, characterized in that having a symmetrical shape with respect to the body portion.
  • the widest width (L2) of the first convex portion may be a socket for inspection, characterized in that configured to be larger than the width (L1) of the body portion.
  • the widest width (L3) of the second convex portion may be a socket for inspection, characterized in that configured to be larger than the width (L1) of the body portion.
  • At least one of the first convex portion and the second convex portion may be a socket for inspection, characterized in that it has a semicircular shape.
  • At least one of the first convex portion and the second convex portion may have a triangular shape, and each vertex may be a socket for inspection, characterized in that it is formed to be round. .
  • At least one of the first convex portion and the second convex portion has a trapezoidal shape, and each vertex may be a socket for inspection, characterized in that it is formed to be rounded. .
  • At least one of the first convex portion and the second convex portion may have a rectangular shape, and each vertex may be a socket for inspection, characterized in that it is formed to be round. .
  • the conductive particles may be a socket for inspection, characterized in that when aligned in the elastic insulating material by a magnetic field to form a conductive column (column) elongated in one direction is erected in the vertical direction. .
  • the first convex portion of one conductive particle is coupled to the second convex portion of the other conductive particle by any one of a point, a line, and a surface contact.
  • the side of the body portion may be a socket for inspection, characterized in that formed concave inward toward the center from the top.
  • the side of the body portion may be a socket for inspection, characterized in that a plurality of irregularities are formed.
  • the rigidity of the conductive part may be improved.
  • the length of the conductive part can be increased, the amount of compression deformation of the socket for inspection can be increased. Accordingly, as the overall resistance is lowered, the electrical performance of the socket for inspection may be improved.
  • FIG. 1 is a view illustrating that a lead of a device to be inspected according to the prior art and a conductive part are in contact.
  • FIG. 2 is a diagram illustrating an approximate manner in which the resistance of a conductive part is determined.
  • FIG 3 is a view showing a socket for inspection according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a perspective view of conductive particles according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 7 (a) and (b) are schematic diagrams showing changes in the socket for inspection when the device under test presses the socket for inspection, respectively, and a table for comparing the volume change during pressurization according to the volume of the socket for inspection .
  • FIG. 8 (a) and (b) of Figure 8 (a) and (b) is a view showing a comparison of the operation of the conductive column of the conductive particles of the present invention and the conductive column of the conventional conductive particles during compression and the conductive column of the conventional conductive particles and the conductive particles of the present invention A diagram is shown comparing the behavior of the conduction column.
  • FIG. 2 is a view showing an approximate method in which the resistance of the conductive part is determined
  • FIG. 3 is a view showing a socket for inspection according to an embodiment of the present invention
  • FIG. 4 is a view showing the conductivity according to an embodiment of the present invention It is a perspective view of particle
  • FIG. 5 is a figure which shows various Examples of the electroconductive particle of this invention
  • FIG. 6 is a figure which compared the electroconductive particle of this invention with the conventional electroconductive particle.
  • the conductive particles 110 are aligned in the vertical direction and the conductive column 120 is formed.
  • the contact resistance (R c ) between the conductive particles 110 is relatively larger than the individual specific resistance (R p ) of the conductive particles 110 , R L ⁇ ⁇ R c becomes.
  • the total resistance (R total ) of the conductive part is a bar in which N conductive columns 120 are connected in parallel, and thus R total ⁇ ⁇ R c / N .
  • the resistance of the conductive part 100 depends on the number of conductive columns 120 and the number of conductive particles 110 forming the conductive columns 120 . It is decided As the number of conductive columns 120 increases and the number of conductive particles 110 forming the conductive column 120 decreases, a lower resistance is formed in the conductive portion 100 .
  • the diameter of the conductive part 100 also decreases, so that the number of conductive columns 120 is inevitably reduced.
  • the elastic section is reduced due to non-uniform contact pressure between each conductive part 100 and the lead 21 of the device under test 20 .
  • the resistance deviation of the conductive parts 100 increases.
  • the socket for inspection 1000 of the present invention is configured to include a conductive part 100 and an insulating support part 200 .
  • the test socket 1000 may be formed in a sheet form having a predetermined thickness. At this time, the test socket 1000 is configured to enable only an electric flow in a thickness direction without an electrical flow in the plane direction, so that the lead 21 of the device under test 20 and the pad of the test board 30 ( 31) is electrically connected in the vertical direction.
  • the socket 1000 for inspection is used to perform an electrical inspection of the device under test 20 , thereby determining whether the manufactured device 20 is defective.
  • the insulating support 200 forms the body of the socket 1000 for inspection, supports the conductive parts 100 when each conductive part 100 to be described later receives a contact load, and provides a space between the adjacent conductive parts 100 . It blocks electrical connections.
  • the insulating support 200 absorbs a contact force when the lead 21 of the device under test 20 such as a semiconductor element or the pad 31 of the test board 30 comes into contact with each conductive part 100 . ) to protect
  • the insulating support 200 is preferably made of an insulating polymer material having a cross-linked structure. More specifically, the insulating polymer material includes conjugated diene rubbers such as polybutadiene rubber, natural rubber, polyisoprene rubber, styrene-butadiene copolymer rubber, acrylonitrile-butadiene copolymer rubber, and hydrogenated substances thereof, styrene- Block copolymer rubbers such as butadiene-diene block copolymer rubber and styrene-isoprene block copolymer and their hydrogenated substances, chloroprene, urethane rubber, polyester rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer Rubber, ethylene-propylene-diene copolymer rubber, etc. can be used. In particular, it is preferable to use silicone rubber from the viewpoints of molding processability and electrical properties.
  • conjugated diene rubbers such as polybutadiene
  • a liquid silicone rubber is preferably crosslinked or condensed.
  • the liquid silicone rubber preferably has a viscosity of 10 5 pores or less at a shear rate of 10 ⁇ 1 seconds, and may be any one of a condensation type, an addition type, and a vinyl group and a hydroxyl group.
  • dimethyl silicone raw rubber, methyl vinyl silicone raw rubber, methyl phenyl vinyl silicone raw rubber, etc. are mentioned.
  • the conductive parts 100 extend in the thickness direction to enable electrical flow in the thickness direction while being compressed when pressed in the thickness direction, and each conductive part 100 is disposed to be spaced apart from each other in the planar direction.
  • An insulating support 200 having insulating properties is disposed between the conductive parts 100 to block an electrical flow between the conductive parts 100 .
  • the conductive part 100 is configured such that an upper end thereof can be in contact with the lead 21 of the device under test 20 and a lower end thereof can be contacted with the pad 31 of the test board 30 . Between the upper end and the lower end of the conductive part 100, a plurality of conductive particles 110 are formed so as to be vertically oriented in the elastic insulating material. When the conductive part 100 is pressed by the device under test 20, the plurality of conductive particles 110 are in contact with each other and serve to enable electrical connection.
  • the conductive particles 110 are finely spaced apart or in weak contact, and when the conductive part 100 is pressed and compressed, the conductive particles 110 are securely in contact with each other, thereby making electrical to enable connection.
  • the conductive part 100 has a shape in which a plurality of conductive particles 110 are densely arranged in the vertical direction in the elastic insulating material, and each conductive part 100 is approximately the shape of the device under test 20 . It is arranged at a position corresponding to the lead 21 .
  • each conductive particle 110 is aligned in the elastic insulating material by a magnetic field, and a conductive column 120 extending long in the vertical direction is formed. That is, the conductive part 100 has a structure in which a plurality of conductive columns 120 are arranged in parallel.
  • the conductive particles 110 particles made of a metal exhibiting magnetism, such as nickel, iron, cobalt, or particles made of these alloys or particles containing these metals, or these particles are used as core particles on the surface of the core particles.
  • a metal exhibiting magnetism such as nickel, iron, cobalt, or particles made of these alloys or particles containing these metals, or these particles are used as core particles on the surface of the core particles.
  • Those that have been plated with a conductive metal that is difficult to be oxidized such as gold, silver, palladium, or rhodium may be used.
  • the number of leads 21 increases and the pitch between the leads 21 decreases. 1000
  • the diameter of the conductive portion decreases, so that the conductive particles are inevitably small.
  • the conductive particles become smaller, the number of columns of the conductive part is also reduced, and the elastic section for pressure when in contact with the device to be inspected is reduced, so that damage is facilitated, and there is a problem in that the lifespan is reduced due to the non-uniform resistance between the conductive parts 100 .
  • the diameter of the conductive part 100 decreases, the number of conductive columns 120 decreases to increase resistance, and there is also a problem in that electrical performance is deteriorated, such as a decrease in allowable current.
  • the conductive particles 110 of the present invention may be configured to have a block shape, and more specifically, have a predetermined thickness (d), and a width ( w) may be configured to have a larger block shape than the length l.
  • the conductive particles 110 of the present invention have a length ratio of about 2 times that of the conductive particles 110 in the conductive column 120 while being able to increase the conductive column 120 by about 30% to 50% or more than before. The number is rather reduced, and low resistance can be maintained. That is, the conductive particles 110 of the present invention improve the operability of the conductive part 100 while maintaining the electrical properties of the conductive part 100 within the range of R1 described above, thereby prolonging the lifetime of the overall inspection socket 1000 . can be increased When R1 is less than 1.2, the resistance improvement effect of reducing the resistance of the conductive column 120 is poor, and when R1 exceeds 2.5, the possibility of separation between the conductive particles 120 during compression increases.
  • the conductive particles 110 can be easily arranged in a specific direction by the magnetic field. That is, the conductive particles 110 are arranged in a specific direction without randomly rotating with respect to the longitudinal central axis, so that the line or surface contact between the upper and lower conductive particles 110 can be made easier. If R2 is less than 1.1, the conductive particles 110 may be rotated differently from each other, and alignment in a specific direction may be difficult, and if R2 is greater than 5.0, the conductive particles 110 are formed in an approximately plate shape and erected in the thickness direction.
  • the conductive part 100 may not be rigid.
  • the conductive particles 110 are formed at the lower end of the columnar body portion 111 , the first convex portion 112 formed on the upper end of the body portion 111 , and the body portion 111 . It may be configured to include a second convex portion 113 that is.
  • the body portion 111 may have a substantially columnar shape, and more specifically, may have a rectangular columnar shape having a predetermined thickness.
  • the present invention is not limited thereto, and various polygonal pillar shapes are possible.
  • the body portion 111 preferably has a shape and dimensions in which each conductive portion 100 can be erected in the thickness direction when aligned in an elastic material by a magnetic field, and preferably has a columnar shape elongated in one direction.
  • the first convex portion 112 is formed on the upper end of the body portion 111 and may be configured to have an upper surface that is gently connected without forming protrusions and grooves.
  • the second convex portion 113 is formed at the lower end of the body portion 111 and may be configured to have a lower surface that is gently connected without forming protrusions and grooves.
  • the first convex portion 112 and the second convex portion 113 have a surface that is gently connected without forming protrusions or grooves, so that each conductive particle ( 110) can be stably connected to each other through surface contact and can be easily rotated, and even when a high pressure is applied, the possibility of separation from the insulating support 200 is low and durability can be improved.
  • the conductive particles 110 of the present invention may be configured to have a symmetrical shape on the basis of the central axis in the longitudinal direction, and the first convex part 112 and the second convex part 113 are the body part 111 . It may be configured to have a shape symmetrical to each other. Accordingly, each conductive particle 110 forming the conductive part 100 may exhibit a uniform movement when compressed by the device to be inspected 20 , and thus the uniformity of operation between the conductive parts 100 is improved. The quality of the test socket 1000 may be maintained uniformly.
  • the widest width L2 of the first convex portion 112 may be larger than the width L1 of the body portion 111 .
  • the widest width L3 of the second convex portion 113 may be larger than the width L1 of the body portion.
  • the side surface 114 of the body portion 111 may be formed to be concave inwardly from the top toward the center. Accordingly, a space may be formed between one conductive particle 110 and the other conductive particle 110 adjacent to the side surface, and an elastic insulating material is filled in the space so that the conductive particles 110 are separated from the conductive part 100 . can be minimized. That is, the rigidity of the conductive part 100 may be improved.
  • At least one of the first convex portion 112 and the second convex portion 113 has a semicircular shape, a triangular shape, a square shape, and a trapezoidal shape. It may be formed by any one of them. In this case, each vertex may be formed to be gently rounded. As such, as the first convex part 112 and the second convex part 113 are formed in a shape that is gently connected without forming protrusions and grooves, each conductive particle 110 is stably connected to each other through surface contact.
  • the shapes of the first convex part 112 and the second convex part 113 are not limited thereto, and any shape that does not form protrusions and grooves may be applied.
  • the number of conductive columns 120 is about 1.1 to will increase by 1.2 times.
  • the total resistance of the conductive part 100 made of the block-shaped conductive particles 110 according to the present invention is significantly reduced than the resistance of the conductive part made of the spherical conductive particles, so that the overall electrical performance of the inspection socket 1000 is improved. There is an advantage.
  • Figure 7 (a) is a schematic view showing a change in the socket for inspection when the device under test presses the socket for inspection
  • Figure 7 (b) is a comparison of the volume change during pressurization according to the volume of the socket for inspection represents the table.
  • the quality of the conductive parts 100 does not have a large difference between the conductive parts 100 in the initial state, but when the conductive parts 100 are in repeated contact for a long time, a resistance deviation occurs due to a difference in operation between the conductive parts 100 . That is, as the change in the conductive part 100 increases, the conductive column 120 is damaged, thereby reducing the life of the test socket 1000 .
  • Figure 8 (a) is a view showing a comparison of the operation of the conductive column of the conductive particles of the present invention and the conventional conductive column of conductive particles during compression
  • Figure 8 (b) is a conventional conductive column of conductive particles and the present invention This is a diagram showing a comparison of the behavior of the conductive column of conductive particles.
  • the threshold of the displacement angle ⁇ between the conductive particles 110 in the conductive column 120 is about 45 degrees when the socket for inspection 1000 is compressed in general, and the displacement angle ⁇ is about 45 degrees.
  • the conductive column 120 collapses while the adhesive state between the insulating support 200 and the conductive particles 110 is separated. That is, the resistance of the conductive part 100 increases.
  • the inspection of the present invention when comparing the socket for inspection having the conventional spherical conductive particles and the socket for inspection having the block-shaped conductive particles of the present invention, the inspection of the present invention Although the socket 1000 has about twice the thickness of the conventional socket for inspection, the number of conductive particles 110 in one conductive column 120 is 15, rather than the conventional 20. have.
  • the displacement angle ⁇ of the conductive particles when pressed with the same 0.2mm stroke is 38.92°, and may be formed smaller than the conventional case of 42.54°. That is, the inspection socket 1000 of the present invention can increase the amount of compression displacement compared to the conventional socket for inspection having spherical conductive particles, and when the amount of compression displacement increases, the compression pressure is also reduced in the same stroke. Accordingly, the fatigue life of the test socket 1000 may be increased, and thus durability may be improved.

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 피검사 디바이스와 테스트 보드 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 리드와 테스트 보드의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓에 사용되는 도전성 입자로서, 상기 도전성 입자는 소정의 두께(d)를 갖고, 길이(l)가 너비(w) 보다 크게 형성되되, 기둥형의 몸체부, 상기 몸체부의 상단에 형성되고, 상부 표면을 갖는 제1 볼록부 및 상기 몸체부의 하단에 형성되고, 하부 표면을 갖는 제2 볼록부를 포함하는 도전성 입자을 제공한다.

Description

도전성 입자 및 이를 갖는 검사용 소켓
본 발명은 도전성 입자 및 이를 갖는 검사용 소켓에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 피검사 디바이스와 테스트 보드 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 리드와 테스트 보드의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓에 사용되는 도전성 입자 및 이를 갖는 검사용 소켓에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자 등의 피검사 디바이스의 제조 공정이 끝나면 피검사 디바이스에 대한 테스트가 필요하다. 즉, 제조가 완료된 반도체 소자 등의 피검사 디바이스는 그 불량여부를 판단하기 위하여 전기적 테스트를 실시하게 된다. 구체적으로는 테스트 장비로부터 소정의 테스트신호를 피검사 디바이스로 전달하여 그 피검사 디바이스의 불량여부를 판정하게 된다.
이러한 검사용 소켓은 개별 피검사 디바이스가 정확한 위치로 이동하여 테스트 보드상에 장착된 소켓과 정확하게 반복 접촉시 안정적인 기계적 접촉 능력과 신호 전달시 전기적 접촉점에서의 신호 왜곡이 최소화될 수 있도록 안정적인 전기적 접촉능력이 요구된다.
이때, 테스트 보드와 피검사 디바이스는 서로 직접 접속되는 것이 아니라, 소위 검사용 소켓이라는 매개장치를 이용하여 간접적으로 접속되게 된다. 이러한 검사용 소켓으로는 포고핀 등 다양한 것이 사용될 수 있으나, 최근에는 반도체 소자의 기술 변화로 이방성을 가지는 탄성시트를 이용한 검사용 소켓이 늘어나고 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 피검사 디바이스의 리드와 도전부가 접촉하는 것을 나타내는 도면이다.
종래 기술에 따른 검사용 소켓(10)은, 절연성 탄성 물질로 이루어진 기재(11) 중에 다수의 도전성 입자(12)가 함유되어 있는 형태로 이루어진다. 이러한 다수의 도전성 입자(12)는 비규칙적인 구형태의 입자로서, 두께방향으로 배향되어 하나의 도전부(13)를 이루며 이러한 도전부(13)가 상기 피검사 디바이스(20)의 리드(21)와 대응되도록 면방향으로 배열되어 있게 된다. 한편, 상기 도전부는 절연지지부(11)에 의하여 절연지지 된다.
이러한 검사용 소켓(10)은 테스트 보드(30)에 탑재된 상태에서 그 각각의 도전부(13)가 테스트 보드(30)의 패드(31)와 접촉되어 있게 된다. 이후에 도 1의 (b)에 도시한 바와 같이 피검사 디바이스(20)가 하강하면 그 피검사 디바이스(20)의 리드(21)가 각각의 도전부(13)와 접촉하면서 그 도전부(13)를 가압하게 되며, 이에 따라 도전부(13) 내의 도전성 입자(12)들은 서로 밀착되면서 통전이 가능한 상태를 형성한다. 이후, 테스트 보드(30)로부터 소정의 테스트신호가 인가되면 그 테스트신호가 검사용 소켓(10)를 거쳐 피검사 디바이스(20)로 전달되고, 그 피검사 디바이스에서 오는 반사신호는 반대로 검사용 소켓(10)을 거쳐 테스트 보드(30)로 전달된다.
이러한 검사용 소켓은 두께방향으로 가압되었을 때 그 두께방향으로만 도전성을 나타내는 특성을 가지며, 납땜 또는 스프링과 같은 기계적 수단이 사용되지 않으므로 내구성이 우수하며 간단한 전기적 접속을 달성할 수 있는 장점이 있다.
또한 기계적인 충격이나 변형을 흡수할 수 있기 때문에, 부드러운 접속이 가능한 장점이 있어 각종 전기적 회로장치 등과 테스트 보드와의 전기적 접속을 위하여 널리 사용된다.
다만, 이러한 종래 기술에 따른 검사용 소켓은 다음과 같은 문제점이 있다.
먼저, 도전성 입자가 구형인 경우 인접한 구형 입자와의 접촉이 점접촉으로 이루어지기 때문에, 안정적인 전기적 접속이 어렵다는 문제점이 있게 된다. 일반적으로 전기적인 접속은 접촉되는 면적이 넓을수록 유리하다. 그러나, 구형으로 이루어진 입자들간의 접촉은 점접촉만이 가능하기 때문에 그 접촉되는 면적이 적어서 저항이 증가되어 손실이 많아지고 이에 따라 안정적인 접속을 하기 어려운 문제점이 있게 된다.
그리고, 도전성 입자가 구형이면, 압축 범위의 한계 때문에 반복적으로 가압되는 경우 탄성물질로부터 쉽게 이탈될 염려가 있게 된다. 즉, 피검사 디바이스의 전극이 수직방향으로 반복하여 수만회 이상 그 도전성 입자와 접촉하게 되는 경우 탄성물질과 도전성 입자의 접촉력이 약해지거나 탄성물질이 찢어져버리는 문제점이 있다. 이와 같이 도전성 입자가 탄성물질로부터 이탈되는 경우에는 전기적 흐름을 전달해주는 구성이 상실되기 때문에 전극과 패드와의 전기적 접속력이 저하되거나 상실하게 되는 것이다. 특히 구형 입자의 경우에는 인접한 탄성물질과의 접촉면적이 적어서 이러한 문제점이 현저하게 나타나게 된다.
또한, 기존의 도전성 입자가 구형인 경우 오랜시간 반복적으로 가압되는 경우 피검사체와 도전부의 접촉 상태, 도전부의 분포 위치에 따라 다수의 도전부간의 동작 불균일이 발생하고 이로 인해 도전부간 저항 편차가 발생하게 될 가능성이 높아지게 된다. 구체적으로, 검사용 소켓은 피검사 디바이스와 접촉하게 되면 탄성물질 특성상 풍선 효과와 같이 압축 받은 면은 줄어들고 다른 외곽면은 늘어나게 된다. 이때, 검사용 소켓 내의 도전부들도 위치에 따라 검사용 소켓이 압축, 팽창하는 방향으로 변화하게 된다. 따라서, 각 도전부의 도전성 입자들도 검사용 소켓의 탄성 변화에 따라 움직이므로 도전부의 형상도 위치에 따라 제각기 다르게 변화하게 되는 것이다. 도전성 입자가 구형인 경우 저항증가 문제로 인해 도전부의 높이에 한계가 있으며, 이로 인해 압축시 검사용 소켓의 부피 변화가 크게 된다. 즉, 오랜 시간 반복적으로 가압되는 경우 도전부의 형상 변화 가능성이 높아지고, 이에 따라 다수의 도전부간의 동작 불균일로 인해 저항 편차가 발생하게 되는 문제점이 있다.
선행기술문헌
한국 등록특허공보 제10-1782604호 (2017.09.21)
본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 피검사 디바이스와 테스트 보드 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 리드와 테스트 보드의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓에 사용되는 도전성 입자 및 이를 갖는 검사용 소켓을 제공하는 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 피검사 디바이스와 테스트 보드 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 리드와 테스트 보드의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓에 사용되는 도전성 입자로서, 상기 도전성 입자는 소정의 두께(d)를 갖고, 길이(l)가 너비(w) 보다 크게 형성되되, 기둥형의 몸체부, 상기 몸체부의 상단에 형성되고, 상부 표면을 갖는 제1 볼록부 및 상기 몸체부의 하단에 형성되고, 하부 표면을 갖는 제2 볼록부를 포함하는 도전성 입자를 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자는 자기장에 의하여 탄성 절연물질 내에 정렬될 때 수직방향으로 세워져 일방향으로 길게 연장되는 도전 컬럼(column)을 형성하는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 압축시 상측 도전성 입자의 제2 볼록부 하부 표면과 하측 도전성 입자의 제1 볼록부 상부 표면은 면 접촉을 유지하면서 회전하는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자의 너비(w)와 길이(l)의 길이 비 R1 = l / w는 1.2 이상 2.5 이하인 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자의 너비(w)와 두께(d)의 길이 비 R2 = w / d는 1.1 이상 5.0 이하인 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부와 상기 제2 볼록부는 상기 몸체부에 대하여 서로 대칭적인 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자는 길이 방향 중심축을 기준으로 좌우 대칭적인 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부의 가장 넓은 폭(L2)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 볼록부의 가장 넓은 폭(L3)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 반원 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 삼각 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 사다리꼴 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 사각 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 몸체부의 측면은 상부에서 중앙으로 갈수록 내측으로 오목하게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 몸체부의 측면에는 다수의 요철이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 입자일 수 있다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 측면은 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배열되어 형성되고, 면 방향으로 서로 이격되어 배치되는 복수의 도전부 및 각각의 도전부를 지지하면서 서로 인접한 도전부 사이의 전기적 접속을 차단하는 절연성 지지부를 포함하되, 상기 도전성 입자는 소정의 두께(d)를 갖는 블록(block) 형상으로 형성되는 검사용 소켓을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자는, 기둥형의 몸체부, 상기 몸체부의 상단에 형성되고, 돌기와 홈이 형성되지 않는 완만한 상부 표면을 갖는 제1 볼록부 및 상기 몸체부의 하단에 형성되고, 돌기와 홈이 형성되지 않는 완만한 하부 표면을 갖는 제2 볼록부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자의 너비(w)와 길이(l)의 길이 비 R1 = l / w는 1.2 이상 2.5 이하인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자의 너비(w)와 두께(d)의 길이 비 R2 = w / d는 1.1 이상 5.0 이하인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부와 상기 제2 볼록부는 상기 몸체부에 대하여 서로 대칭적인 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부의 가장 넓은 폭(L2)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제2 볼록부의 가장 넓은 폭(L3)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 반원 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 삼각 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 사다리꼴 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 사각 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 도전성 입자는 자기장에 의하여 탄성 절연물질 내에 정렬될 때 수직방향으로 세워져 일방향으로 길게 연장되는 도전 컬럼(column)을 형성하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 하나의 도전성 입자의 제1 볼록부가 다른 도전성 입자의 제2 볼록부에 점, 선, 및 면 접촉 중 어느 하나의 접촉에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 몸체부의 측면은 상부에서 중앙으로 갈수록 내측으로 오목하게 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 몸체부의 측면에는 다수의 요철이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓일 수 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 도전성 입자가 블록 형상으로 형성되어 수직 방향으로 정렬되는 경우 도전부의 견고성이 향상될 수 있다.
또한, 도전부의 길이를 늘일 수 있어 검사용 소켓의 압축 변형양을 늘일 수 있다. 따라서 전체적인 저항이 낮아짐에 따라 검사용 소켓의 전기적 성능이 향상될 수 있다.
그리고, 도전부의 길이가 길어지면 검사용 소켓의 전체적인 체적이 증가함에 따라 같은 압력이 가해져도 변형이 적어지고 도전부 간의 동작 균일도가 개선될 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 종래 기술에 따른 피검사 디바이스의 리드와 도전부가 접촉하는 것을 나타내는 도면이다.
도 2는 도전부의 저항이 결정되는 대략적인 방식을 도시한 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도전성 입자의 사시도이다.
도 5는 본 발명의 도전성 입자의 다양한 실시예를 나타내는 도면이다.
도 6은 종래의 도전성 입자와 본 발명의 도전성 입자를 비교하여 도시한 도면이다.
도 7의 (a) 및 (b)는 각각 피검사 장치가 검사용 소켓를 가압할 때 검사용 소켓의 변화를 나타내는 개략적인 도면 및 검사용 소켓의 체적에 따른 가압시 체적 변화를 비교하는 표를 나타낸다.
도 8의 (a) 및 (b)는 압축시 종래 도전성 입자의 도전 컬럼과 본 발명의 도전성 입자의 도전 컬럼의 동작을 비교하여 도시한 도면 및 종래 도전성 입자의 도전 컬럼과 본 발명의 도전성 입자의 도전 컬럼의 동작을 비교하여 도시한 도표를 나타낸다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 도전부의 저항이 결정되는 대략적인 방식을 도시한 도면이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 도시한 도면이며, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 도전성 입자의 사시도이며, 도 5는 본 발명의 도전성 입자의 다양한 실시예를 나타내는 도면이고, 도 6은 종래의 도전성 입자와 본 발명의 도전성 입자를 비교하여 도시한 도면이다.
도 2을 참조하여 도전부의 저항이 결정되는 대략적인 방식을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 도전성 입자(110)의 개별 고유 저항을 R p 라 하고, 도전성 입자(110) 간의 접촉 저항을 R c라 하면, 도전성 입자(110)가 수직 방향으로 정렬되어 형성되는 도전 컬럼(120)의 저항 R L 은 각각의 저항들이 직렬 연결인 바, R L = ΣR p + ΣR c 이 된다.
이때, 도전성 입자(110)의 개별 고유 저항(R p) 보다 도전성 입자(110) 간의 접촉 저항(R c)이 상대적으로 크기 때문에, R L ≒ ΣR c 이 된다. 또한, 도전부 전체 저항(R total)은 N 개의 도전 컬럼(120)이 병렬 연결되어 있는 바, R total ≒ ΣR c / N 이 된다.
즉, 도전성 입자(110)의 크기와 재질이 동일하다고 할 때, 도전부(100)의 저항은 도전 컬럼(120)의 개수와 도전 컬럼(120)을 형성하는 도전성 입자(110)의 개수에 따라 결정된다. 도전 컬럼(120)이 많을수록, 도전 컬럼(120)을 형성하는 도전성 입자(110)가 적을수록 도전부(100)에 낮은 저항이 형성된다.
하지만, 반도체 소자 등의 피검사 장치(20)의 리드(21)가 작아지면서 도전부(100)의 직경도 작아져 도전 컬럼(120)의 수는 줄어들 수밖에 없다. 또한, 저항을 고려하여 도전 컬럼(120) 내의 도전성 입자(110)를 줄일 경우 탄성구간이 작아져 각각의 도전부(100)와 피검사 장치(20)의 리드(21)와의 접촉압 불균일로 인해 도전부(100)들의 저항 편차가 커지게 되는 문제가 있다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 검사용 소켓(1000)은 도전부(100) 및 절연성 지지부(200)를 포함하여 구성된다.
검사용 소켓(1000)은 소정의 두께를 가지는 시트 형태로 이루어질 수 있다. 이때, 검사용 소켓(1000)은 면방향으로의 전기적인 흐름은 없고 두께방향으로의 전기적인 흐름만을 가능하도록 구성되어 피검사 디바이스(20)의 리드(21)와 테스트 보드(30)의 패드(31)를 상하방향으로 전기적으로 연결시킨다.
이러한 검사용 소켓(1000)은 피검사 디바이스(20)의 전기적 검사를 수행하기 위하여 사용되며, 이로써 제조된 피검사 디바이스(20)의 불량여부를 판단하게 된다.
절연성 지지부(200)는 검사용 소켓(1000)의 몸체를 이루며, 후술하는 각 도전부(100)가 접촉 하중을 받을 때 상기 도전부(100)를 지지하고, 서로 인접한 도전부(100) 사이의 전기적 접속을 차단하는 역할을 한다.
더욱 구체적으로, 절연성 지지부(200)는 반도체 소자 등의 피검사 디바이스(20)의 리드(21) 또는 테스트 보드(30)의 패드(31)가 접촉될 경우, 접촉력을 흡수하여 각 도전부(100)를 보호하는 역할을 한다.
절연성 지지부(200)는 가교 구조를 갖는 절연성 고분자 물질로 구성되는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로, 상기 절연성 고분자 물질로는 폴리부타디엔고무, 천연고무, 폴리이소프렌고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무와 같은 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블럭 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블럭 공중합체 등의 블럭 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 클로로프렌, 우레탄고무, 폴리에스테르계고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등이 사용될 수 있다. 특히, 이중에서 성형 가공성 및 전기 특성의 관점에서 실리콘 고무를 사용하는 것이 바람직하다.
이러한 실리콘 고무로는 액상 실리콘 고무를 가교 또는 축합한 것이 바람직하다. 액상 실리콘 고무는 그 점도가 전단 속도 10 -1초에서 10 5 포어즈 이하인 것이 바람직하고, 축합형인 것, 부가형인 것, 비닐기 및 히드록실기를 함유하는 것 중의 어느 하나일 수 있다. 구체적으로는, 디메틸실리콘 생고무, 메틸비닐실리콘 생고무, 메틸페닐비닐실리콘 생고무 등을 들 수 있다.
도전부(100)는 두께방향으로 연장되어 있어서 두께방향으로 가압되었을 때 압축되면서 두께방향으로 전기적 흐름이 가능하게 하고, 각각의 도전부(100)는 서로 면방향으로 이격되어 배치되어 있다. 상기 도전부(100) 사이에는 절연성을 가지는 절연성 지지부(200)가 배치되어 있어서 도전부(100)들 사이의 전기적 흐름이 차단되게 된다.
도전부(100)는 그 상단이 상기 피검사 디바이스(20)의 리드(21)와 접촉 가능하며 하단은 상기 테스트 보드(30)의 패드(31)와 접촉 가능하도록 구성된다. 상기 도전부(100)의 상단과 하단사이에는 다수의 도전성 입자(110)가 탄성 절연물질 내에 상하방향으로 배향되어 있도록 형성된다. 이러한 다수의 도전성 입자(110)들은 도전부(100)가 피검사 디바이스(20)에 의하여 가압되는 경우 서로 접촉하면서 전기적인 접속을 가능하게 하는 역할을 수행한다.
즉, 피검사 디바이스(20)에 의하여 가압되기 전에는 도전성 입자(110)들이 미세하게 이격되거나 약하게 접촉되어 있으며, 도전부(100)가 가압되어 압축되면 도전성 입자(110)들이 서로 확실하게 접촉됨으로써 전기적 접속을 가능하게 하는 것이다.
구체적으로 그 도전부(100)는 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자(110)가 상하방향으로 밀집되어 배열된 형태를 가지게 되며, 각각의 도전부(100)는 대략적으로 피검사 디바이스(20)의 리드(21)와 대응되는 위치에 배열되어 있게 된다.
이때, 도전부(100)에 자기력선이 작용하면, 각각의 도전성 입자(110)는 자기장에 의하여 탄성 절연물질 내에 정렬되고, 수직방향으로 길게 연장되는 도전 컬럼(column)(120)을 형성하게 된다. 즉, 도전부(100)는 다수의 도전 컬럼(120)들이 병렬 배치되는 구조로 구성된다.
한편, 도전성 입자(110)로는 니켈, 철, 코발트 등의 자성을 나타내는 금속으로 이루어지는 입자 또는 이들 합금으로 이루어지는 입자 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들 입자를 코어 입자로 하여 해당 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐과 같이 산화되기 어려운 도전성 금속의 도금을 실시한 것이 사용될 수 있다.
전술한 바와 같이, 반도체 소자 등의 피검사 장치(20)는 리드(21) 수는 증가하고, 리드(21) 사이의 피치는 감소하는 방향으로 기술 개발이 진행되고 있으며, 이에 따라 검사용 소켓(1000) 역시 이런 기술 개발 방향에 맞추어 제조되고 있다. 다만, 검사용 소켓(1000)은 리드(21) 피치가 감소할수록 도전부의 직경이 작아지기 때문에 도전입자도 작아질 수밖에 없다. 도전입자가 작아지면 도전부의 컬럼도 줄게 되어 피검사 장치와 접촉시 압력에 위한 탄성 구간이 감소되어 파손이 용이해지고, 도전부(100)간 저항 불균일로 인해 수명이 저하되는 문제가 있다. 또한, 도전부(100) 직경이 작아질수록 도전 컬럼(120)의 숫자가 줄어 저항이 증가하고, 허용전류가 감소하는 등 전기적 성능이 저하되는 문제도 있게 된다.
일 실시예에 따르면, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 도전성 입자(110)는 블록(block) 형상을 갖도록 구성될 수 있으며, 보다 구체적으로는 소정의 두께(d)를 갖고, 너비(w) 보다 길이(l)가 큰 블록 형상을 갖도록 구성될 수 있다.
보다 구체적으로, 본 발명의 도전성 입자(110)의 너비(w)와 길이(l)의 길이 비 R1 = l / w는 1.2 이상 2.5 이하로 형성될 수 있다. 본 발명의 도전성 입자(110)는 약 2배 내외의 길이비를 가지고 있어 도전 컬럼(120)을 기존보다 대략 30% 내지 50% 이상 늘릴 수 있으면서도, 도전 컬럼(120) 내의 도전성 입자(110)의 개수는 오히려 줄어 낮은 저항을 유지할 수 있게 된다. 즉, 본 발명의 도전성 입자(110)는 전술한 R1의 범위 내에서 도전부(100)의 전기적 특성은 유지시키면서도 도전부(100)의 동작성은 향상시켜 전체적인 검사용 소켓(1000)의 수명을 늘릴 수 있게 된다. R1이 1.2 미만이면 도전 컬럼(120)의 저항을 줄이는 저항 개선 효과가 저조하게 되며, R1이 2.5 초과면 압축시 도전성 입자(120) 사이의 이탈 가능성이 높아지게 된다.
또한, 도전성 입자(110)의 너비(w)와 두께(d)의 길이 비 R2 = w / d는 1.1 이상 5.0 이하로 구성될 수 있다. 이 경우, 도전성 입자(110)들이 자기장에 의하여 특정방향으로 용이하게 배열될 수 있게 된다. 즉, 도전성 입자(110)들이 길이 방향 중심축에 대하여 무작위적으로 회전하지 않고 특정한 방향으로 배열되도록 하여 상하 도전성 입자(110)들 간의 선 또는 면 접촉이 보다 용이하게 될 수 있다. R2가 1.1 미만이면 도전성 입자(110)들이 서로 제각각으로 회전하여 특정방향으로의 정렬이 어렵게 될 수 있으며, R2가 5.0 초과면 도전성 입자(110)가 대략 판 형상으로 형성되어 두께방향으로 세워졌을 때 도전부(100)가 견고하지 않을 수 있다.
일 실시예에 따르면, 도전성 입자(110)는 기둥형의 몸체부(111), 상기 몸체부(111)의 상단에 형성되는 제1 볼록부(112) 및 상기 몸체부(111)의 하단에 형성되는 제2 볼록부(113)를 포함하여 구성될 수 있다.
몸체부(111)는 대략 기둥 형상일 수 있으며, 보다 구체적으로는 소정의 두께를 갖는 사각 기둥 형상일 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 다각 기둥 형상이 가능함은 물론이다.
몸체부(111)는 자기장에 의하여 탄성 물질 내에 정렬될 때 각각의 도전부(100)가 두께방향으로 세워질 수 있는 형상과 치수를 가지는 것이 좋으며, 일방향으로 길게 연장된 기둥형태를 가지는 것이 바람직하다.
제1 볼록부(112)는 상기 몸체부(111)의 상단에 형성되는 것으로서, 돌기와 홈이 형성되지 않으면서 완만하게 연결되는 상부 표면을 갖도록 구성될 수 있다. 마찬가지로, 제2 볼록부(113)는 상기 몸체부(111)의 하단에 형성되는 것으로서, 돌기와 홈이 형성되지 않으면서 완만하게 연결되는 하부 표면을 갖도록 구성될 수 있다.
상단과 하단에 돌기와 홈을 갖는 형태의 도전성 입자의 경우, 서로 요철처럼 결합되는 현상을 추구하게 된다. 그러나, 이 경우 실제 자기력선이 인가되는 경우 돌기 형상 부위에 자기력선의 세기가 커지기 때문에 각각의 도전성 입자의 돌기와 홈이 결합되기보다는 돌기간 연결될 확률이 높아지게 된다. 또한, 표면 형상이 매끄럽지 못해 압력이 높을수록 절연성 지지부와 도전성 입자 간의 접착력이 분리될 가능성이 높게 되어 내구성이 저하될 수 있다. 또한, 표면 형상이 매끄럽지 못해 압력이 높을수록 절연성 지지부와 도전성 입자 간의 접착력이 분리될 가능성이 높게 되어 내구성이 저하될 수 있다.
즉, 본 발명의 도전성 입자(110)의 경우, 제1 볼록부(112)와 제2 볼록부(113)가 돌기나 홈이 형성되지 않고 완만하게 연결되는 표면을 가지고 있어, 각각의 도전성 입자(110)가 서로 면접촉을 통해 안정적으로 접속하고 용이하게 회전할 수 있으며, 높은 압력이 가해지더라도 절연성 지지부(200)와의 분리 가능성이 낮아 내구성이 향상될 수 있다.
한편, 본 발명의 도전성 입자(110)는 길이 방향 중심축을 기준으로 좌우 대칭적인 형상을 갖도록 구성될 수 있으며, 제1 볼록부(112)와 제2 볼록부(113)는 상기 몸체부(111)에 대하여 서로 대칭적인 형상을 갖도록 구성될 수 있다. 이로써, 피검사 장치(20)에 의한 압축시 도전부(100)를 형성하는 각각의 도전성 입자(110)가 균일한 움직임을 보일 수 있으며, 이에 따라 도전부(100) 사이의 동작 균일도가 개선되어 검사용 소켓(1000)의 품질이 균질하게 유지될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 제1 볼록부(112)의 가장 넓은 폭(L2)은 상기 몸체부(111)의 폭(L1) 보다 크게 구성될 수 있다. 마찬가지로, 제2 볼록부(113)의 가장 넓은 폭(L3)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성될 수 있다. 나아가, 몸체부(111)의 측면(114)은 상부에서 중앙으로 갈수록 내측으로 오목하게 형성될 수 있다. 이로써, 하나의 도전성 입자(110)와 측면에 인접한 다른 도전성 입자(110) 사이에 공간이 형성될 수 있으며, 상기 공간에 탄성 절연물질이 채워져서 도전성 입자(110)가 도전부(100)로부터 이탈되는 것이 최소화될 수 있다. 즉, 도전부(100)의 견고성이 향상될 수 있다.
한편, 도전성 입자(110)의 측면(114) 상에 복수의 요철이 마련되도록 구성되는 것도 가능하다. 이와 같이 측면(114) 상에 다수의 요철이 마련되어 있게 되면 요철 사이에 탄성 절연물질이 채워져서 도전성 입자의 이탈을 확실하게 방지할 수 있는 장점이 있게 된다.
도 5를 참조하여 본 발명의 도전성 입자(110)의 다양한 실시예를 살펴보면, 제1 볼록부(112) 및 제2 볼록부(113) 중 적어도 하나는 반원 형상, 삼각 형상, 사각 형상, 사다리꼴 형상 중 어느 하나로 형성될 수 있다. 이때, 각각의 꼭지점은 완만하게 라운드(round)지도록 형성될 수 있다. 이처럼, 제1 볼록부(112) 및 제2 볼록부(113)가 돌기와 홈이 형성되지 않으면서 완만하게 연결되는 형상으로 형성됨에 따라 각각의 도전성 입자(110)가 서로 면접촉을 통해 안정적으로 접속하고 용이하게 회전할 수 있으며, 높은 압력이 가해지더라도 도전입자의 표면적이 커져 절연성 지지부(200)와의 분리 가능성이 낮아 내구성이 향상될 수 있다. 제1 볼록부(112) 및 제2 볼록부(113)의 형상은 이에 한정되는 것은 아니고, 돌기와 홈을 형성하지 않는 형상이면 무엇이든 적용될 수 있다.
도 6의 (a)를 참조하여 비슷한 단면적을 갖는 구형 도전성 입자와 본 발명의 블록 형상의 도전성 입자를 비교하면, 본 발명의 도전성 입자(110)의 경우 도전 컬럼(120)의 개수가 약 1.1 내지 1.2배 늘어나게 된다.
또한, 도 6의 (b)를 참조하면, 구형 도전성 입자 보다 본 발명의 블록 형상의 도전성 입자의 길이가 2배인 경우, 같은 높이에서 도전성 입자(110) 간의 접촉 부분이 거의 반으로 줄게 되어 도전 컬럼(120)의 저항은 약 1/2이 된다.
즉, 본 발명에 따른 블록 형상의 도전성 입자(110)로 이루어진 도전부(100)의 전체 저항은 구형 도전성 입자로 이루어진 도전부의 저항보다 현저하게 줄어들어 검사용 소켓(1000)의 전체적인 전기적 성능이 향상되는 이점이 있다.
도 7의 (a)는 피검사 장치가 검사용 소켓를 가압할 때 검사용 소켓의 변화를 나타내는 개략적인 도면이고, 도 7의 (b)는 검사용 소켓의 체적에 따른 가압시 체적 변화를 비교하는 표를 나타낸다.
도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 검사용 소켓(1000)의 경우 피검사 장치(20)가 상부에서 가압하면 탄성중합체(elastomer)의 특성상 압축을 받은 면은 줄어들고 다른 외곽면은 늘어나게 된다. 이때, 검사용 소켓(1000) 내에 있는 도전부(100)들도 위치에 따라 검사용 소켓(1000)이 압축, 팽창하는 방향으로 변화하게 된다. 따라서, 각 도전부(100)의 도전성 입자(110)들도 검사용 소켓의 탄성 변화에 따라 움직이므로 도전부(100)의 형상도 위치에 따라 제각기 다르게 변화하게 된다.
이때, 도전부(100)의 품질은 초기 상태에서는 각 도전부(100)들 간의 차이가 크지 않지만 오랜시간 반복 접촉하게 되면 도전부(100) 간의 동작 차이로 인해 저항 편차가 발생하게 된다. 즉, 도전부(100)의 변화가 클수록 도전 컬럼(120)에 손상을 주게 되며, 이로 인해 검사용 소켓(1000)의 수명이 감소하게 된다.
도 7의 (b)를 참조하여 가로 9mm, 세로 9mm, 높이 1mm를 갖는 검사용 소켓과 가로 9mm, 세로 9mm, 높이 1.5mm를 갖는 검사용 소켓을 비교하면, 각각을 동일한 0.2mm 스트로크(stroke)로 가압했을 때, 높이 1.5mm를 갖는 검사용 소켓의 체적 변화율이 더 작게 된다. 즉, 도전 컬럼의 손상 가능성이 더 낮아 검사용 소켓의 수명이 늘어나게 된다. 다만, 높이를 키우면 전체적인 체적이 증가하여 체적 변화를 줄일 수 있지만 도전 컬럼 내 도전성 입자의 개수가 늘어나 저항이 증가하게 된다.
도 8의 (a)는 압축시 종래 도전성 입자의 도전 컬럼과 본 발명의 도전성 입자의 도전 컬럼의 동작을 비교하여 도시한 도면이고, 도 8의 (b)는 종래 도전성 입자의 도전 컬럼과 본 발명의 도전성 입자의 도전 컬럼의 동작을 비교하여 도시한 도표이다.
도 8의 (a)를 참조하면, 일반적으로 검사용 소켓(1000) 압축시 도전 컬럼(120) 내의 도전성 입자(110) 간 변위각(θ) 임계치는 약 45 도이며, 변위각(θ)이 임계치를 넘어서게 되면 절연성 지지부(200)와 도전성 입자(110) 간의 접착 상태가 분리되면서 도전 컬럼(120)이 붕괴된다. 즉, 도전부(100)의 저항이 증가하게 된다.
도 8의 (a) 및 도 8의 (b)를 참조하여, 종래의 구형 도전성 입자를 갖는 검사용 소켓과, 본 발명의 블록 형상의 도전성 입자를 갖는 검사용 소켓을 비교하면, 본 발명의 검사용 소켓(1000)은 종래의 검사용 소켓 보다 약 2배의 두께를 갖으면서도 하나의 도전 컬럼(120) 내 도전성 입자(110)의 개수는 15개로 종래의 20개인 경우 보다 오히려 더 적게 구성될 수 있다.
또한, 동일한 0.2mm 스트로크(stroke)로 가압했을 때 도전성 입자의 변위각(θ)은 38.92° 이고, 종래의 42.54°인 경우 보다 더 작게 형성될 수 있다. 즉, 본 발명의 검사용 소켓(1000)은 기존의 구형 도전성 입자를 갖는 검사용 소켓에 비해 압축 변위량을 늘릴 수 있으며, 압축 변위량이 늘면 동일한 스트로크에서 압축 압력도 줄어들게 된다. 이에 따라 검사용 소켓(1000)의 피로 수명이 증가하여 내구성이 향상될 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
부호의 설명
1000 검사용 소켓
100 도전부
110 도전성 입자
111 몸체부
112 제1 볼록부
113 제2 볼록부
114 몸체부 측면
120 도전 컬럼
200 절연성 지지부
20 피검사 장치
21 리드
30 테스트 보드
31 패드
R p 도전성 입자의 고유 저항
R c 도전성 입자 간의 접촉 저항
R L 도전 컬럼의 저항
R total 도전부 전체 저항

Claims (30)

  1. 피검사 디바이스와 테스트 보드 사이에 배치되어 상기 피검사 디바이스의 리드와 테스트 보드의 패드를 서로 전기적으로 접속시키는 검사용 소켓에 사용되는 도전성 입자로서,
    상기 도전성 입자는 소정의 두께(d)를 갖고, 길이(l)가 너비(w) 보다 크게 형성되되,
    기둥형의 몸체부;
    상기 몸체부의 상단에 형성되고, 상부 표면을 갖는 제1 볼록부; 및
    상기 몸체부의 하단에 형성되고, 하부 표면을 갖는 제2 볼록부를 포함하는 도전성 입자.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 도전성 입자는 자기장에 의하여 탄성 절연물질 내에 정렬될 때 수직방향으로 세워져 일방향으로 길게 연장되는 도전 컬럼(column)을 형성하는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  3. 제2항에 있어서,
    압축시 상측 도전성 입자의 제2 볼록부 하부 표면과 하측 도전성 입자의 제1 볼록부 상부 표면은 면 접촉을 유지하면서 회전하는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 도전성 입자의 너비(w)와 길이(l)의 길이 비 R1 = l / w는 1.2 이상 2.5 이하인 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 도전성 입자의 너비(w)와 두께(d)의 길이 비 R2 = w / d는 1.1 이상 5.0 이하인 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 볼록부와 상기 제2 볼록부는 상기 몸체부에 대하여 서로 대칭적인 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 도전성 입자는 길이 방향 중심축을 기준으로 좌우 대칭적인 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제1 볼록부의 가장 넓은 폭(L2)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 제2 볼록부의 가장 넓은 폭(L3)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 반원 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 삼각 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 사다리꼴 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 사각 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 몸체부의 측면은 상부에서 중앙으로 갈수록 내측으로 오목하게 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 몸체부의 측면에는 다수의 요철이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  16. 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배열되어 형성되고, 면 방향으로 서로 이격되어 배치되는 복수의 도전부; 및
    각각의 도전부를 지지하면서 서로 인접한 도전부 사이의 전기적 접속을 차단하는 절연성 지지부를 포함하되,
    상기 도전성 입자는 소정의 두께(d)를 갖는 블록(block) 형상으로 형성되는 검사용 소켓.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 도전성 입자는,
    기둥형의 몸체부;
    상기 몸체부의 상단에 형성되고, 돌기와 홈이 형성되지 않는 완만한 상부 표면을 갖는 제1 볼록부; 및
    상기 몸체부의 하단에 형성되고, 돌기와 홈이 형성되지 않는 완만한 하부 표면을 갖는 제2 볼록부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 도전성 입자의 너비(w)와 길이(l)의 길이 비 R1 = l / w는 1.2 이상 2.5 이하인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  19. 제16항에 있어서,
    상기 도전성 입자의 너비(w)와 두께(d)의 길이 비 R2 = w / d는 1.1 이상 5.0 이하인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  20. 제17항에 있어서,
    상기 제1 볼록부와 상기 제2 볼록부는 상기 몸체부에 대하여 서로 대칭적인 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  21. 제17항에 있어서,
    상기 제1 볼록부의 가장 넓은 폭(L2)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  22. 제17항에 있어서,
    상기 제2 볼록부의 가장 넓은 폭(L3)은 상기 몸체부의 폭(L1) 보다 크게 구성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  23. 제17항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 반원 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  24. 제17항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 삼각 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  25. 제17항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 사다리꼴 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  26. 제17항에 있어서,
    상기 제1 볼록부 및 상기 제2 볼록부 중 적어도 하나는 사각 형상을 가지고, 각각의 꼭지점은 라운드(round)지게 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  27. 제16항에 있어서,
    상기 도전성 입자는 자기장에 의하여 탄성 절연물질 내에 정렬될 때 수직방향으로 세워져 일방향으로 길게 연장되는 도전 컬럼(column)을 형성하는 것을 특징으로 하는 도전성 입자.
  28. 제17항에 있어서,
    하나의 도전성 입자의 제1 볼록부가 다른 도전성 입자의 제2 볼록부에 점, 선, 및 면 접촉 중 어느 하나의 접촉에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  29. 제17항에 있어서,
    상기 몸체부의 측면은 상부에서 중앙으로 갈수록 내측으로 오목하게 형성되는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
  30. 제17항에 있어서,
    상기 몸체부의 측면에는 다수의 요철이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.
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