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TWI813241B - 探針接點 - Google Patents

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TWI813241B
TWI813241B TW111112937A TW111112937A TWI813241B TW I813241 B TWI813241 B TW I813241B TW 111112937 A TW111112937 A TW 111112937A TW 111112937 A TW111112937 A TW 111112937A TW I813241 B TWI813241 B TW I813241B
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protrusion
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movable plunger
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Inventor
白承夏
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南韓商李諾工業股份有限公司
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Publication of TW202246779A publication Critical patent/TW202246779A/zh
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Abstract

揭露一種用於在第一端子與第二端子之間進行電性連接 的探針接點。所述探針接點包括：靜止柱塞，包括第一主體及第一突起，所述第一主體具有與第一端子進行接觸的第一端，所述第一突起與第一主體的縱向方向橫交地突出；多個活動柱塞，包括第二主體及第二突起，所述第二主體具有與第二端子進行接觸的第一端及與靜止柱塞進行電性接觸的第二端，所述第二突起與第二主體的縱向方向橫交地突出，且所述多個活動柱塞被設置成在所述第二主體的縱向方向上彼此獨立地相對滑動；以及彈簧，設置於所述第一突起與所述第二突起之間。

Description

探針接點
本揭露是有關於一種用於對待測試物體的電性特性進行測試的探針接點。
為對待測試物體的電性特性進行測試，探針接點可對測試電路板的第一端子與待測試物體的第二端子進行電性連接。
專利文件1中已揭露一種探針接點，所述探針接點包括：第一柱塞；第二柱塞及第三柱塞，設置於第一柱塞的兩側且能夠移動滑動；第一彈簧，設置於第一柱塞與第二柱塞之間且具有小的直徑；以及第二彈簧，設置於第一柱塞與第三柱塞之間且具有容納第一彈簧的大的直徑。
[專利文件1]日本專利第5629611號。
由於第一彈簧及第二彈簧分別容許第二柱塞與第三柱塞獨立地操作，因此專利文件1中揭露的探針接點具有自適應性地應對測試端子的各種形狀的優點，但由於結構複雜而具有增加製造成本的缺點。特別地，具有此種結構的探針接點具有以下問題：很難將探針接點製造得很小以應用於具有精細節距端子的待 測試物體。
本揭露的一個態樣是提供一種探針接點，所述探針接點具有簡單的結構且可製造得很小。
根據本揭露的各種實施例，提供一種探針接點。用於在第一端子與第二端子之間進行電性連接的探針接點包括：靜止柱塞，包括第一主體及第一突起，所述第一主體具有與第一端子進行接觸的第一端，所述第一突起與第一主體的縱向方向橫交地突出；多個活動柱塞，包括第二主體及第二突起，所述第二主體具有與第二端子進行接觸的第一端及與靜止柱塞進行電性接觸的第二端，所述第二突起與第二主體的縱向方向橫交地突出，且所述多個活動柱塞被設置成在所述第二主體的縱向方向上彼此獨立地相對滑動；以及彈簧，設置於第一突起與第二突起之間。
只有在測試期間受到按壓的活動柱塞可滑動移動。
所述多個活動柱塞各自可包括第一耦合部，所述第一耦合部的第二端耦合至靜止柱塞的第二端且能夠相對於靜止柱塞的第二端滑動移動，所述靜止柱塞可包括第二耦合部，所述第二耦合部設置於所述靜止柱塞的第二端且耦合至第一耦合部，第一耦合部及第二耦合部中的一者在其耦合表面上可包括至少一個支撐突起，且第一耦合部及第二耦合部中的另一者可包括支撐凹槽，以將所述至少一個支撐突起可分離地嵌入於所述支撐凹槽中。
第二突起可在測試期間對彈簧的端部部分施加在縱向方向上相對於所述彈簧的中心而言不平衡的力，並可在彈簧中引 起屈曲變形。
第二主體的形狀可為板狀的，且第二突起可在寬度方向上自第二主體的一側突出。
活動柱塞的第二突起可在縱向方向上關於所述彈簧的中心對稱地定位。
活動柱塞的第二突起可在彼此相反的方向上突出。
第二主體的形狀可為板狀的，第二突起可包括在寬度方向上自所述第二主體的相對的側突出的一對突起，且所述一對突起可被形成為在縱向方向上具有彼此不同的高度。
第二主體的形狀可為板狀的，且第二突起可在厚度方向上自所述第二主體的一個表面突出。
第二突起可包括與彈簧的端部部分進行接觸的傾斜表面。
靜止柱塞的第一主體可包括引導軌，所述多個活動柱塞與所述引導軌嚙合，且活動柱塞的第二主體可包括引導凹槽，所述引導凹槽沿縱向方向凹陷且置於所述引導軌上。
引導軌可包括沿縱向方向在所述引導軌的相對的側上延伸且在厚度方向上突出的引導壁。
提供一種支撐具有上述配置中的一者的探針接點的測試插座。
1:探針接點
2:測試電路板
3:待測試物體
11:靜止柱塞
12、42、52、62、72、82:活動柱塞
12-1、42-1、52-1、62-1、72-1、82-1:第一活動柱塞
12-2、42-2、52-2、62-2、72-2、82-2:第二活動柱塞
13:彈簧
21:第一端子
31:第二端子
32:非端子部分
111:第一主體
112:第一突起
113:靜止接觸部
114:第一耦合部
115:開口
116:內壁
121、421、521、621、721、821:第二主體
122、422、522、622-1、622-2:第二突起
123:活動接觸部
124:第二耦合部
423、523、623-1、623-2:第三突起
722、822:第一接觸端部部分
723、823:第二接觸端部部分
1141:引導軌
1141a:緊固凹槽
1142:引導壁
1241、4241:引導凹槽
1241a:緊固突起
1242:軌道支撐件
1244:鉤
1246:延伸凹槽
7221、8221:第一尖端
7222、8222:第二尖端
7223:第一中間尖端
7231、8231:第三尖端
7232、8232:第四尖端
7233:第二中間尖端
A-A、B-B:線
P1、P2:點
藉由結合附圖閱讀實施例的以下說明，以上及/或其他態樣將變得顯而易見且更易於理解，在附圖中：圖1是根據本揭露第一實施例的探針接點的立體圖。
圖2是圖1所示探針接點的分解立體圖。
圖3是探針接點的側視圖。
圖4是沿圖2的線A-A及線B-B截取的剖視圖。
圖5是示出圖4中第一活動柱塞與第二活動柱塞獨立滑動操作的剖視圖。
圖6是示出圖4中第一活動柱塞與第二活動柱塞同時滑動操作的剖視圖。
圖7示出球柵陣列(ball grid array，BGA)型第二端子與第一活動柱塞及第二活動柱塞之間的接觸狀態。
圖8示出襯墊型(pad-type)第二端子與第一活動柱塞及第二活動柱塞之間的接觸狀態。
圖9示出根據本揭露第二實施例的活動柱塞。
圖10示出根據本揭露第三實施例的多個活動柱塞。
圖11示出應用圖10的活動柱塞的探針接點。
圖12示出根據本揭露第四實施例的多個活動柱塞。
圖13示出根據本揭露第五實施例的多個活動柱塞。
圖14示出根據本揭露第六實施例的多個活動柱塞。
下面，將參照附圖詳細闡述本揭露的實施例。
圖1是根據本揭露第一實施例的探針接點1的立體圖，圖2是圖1所示探針接點1的分解立體圖，圖3是探針接點1的側視圖，圖4是沿圖2的線A-A及線B-B截取的剖視圖，圖5是示出圖4中第一活動柱塞12-1與第二活動柱塞12-2獨立滑動操作的剖視圖，且圖6是示出圖4中第一活動柱塞12-1與第二活動柱塞12-2同時滑動操作的剖視圖。
探針接點1可平行於測試方向被支撐於平板型測試插座(未示出)上。探針接點1可包括自測試插座的頂表面及底表面部分地突出的相對的端部部分。在測試期間，待測試物體3的第二端子31可按壓探針接點1的自頂表面或底表面突出的一個端部部分。在此種情況下，探針接點1可例如對測試電路板2的第一端子21與待測試物體3(例如半導體)的第二端子31進行電性連接。
參照圖1至圖6，探針接點1可包括：靜止柱塞11，具有與測試電路板2的第一端子21進行接觸的第一端；多個活動柱塞12，具有與待測試物體3的第二端子31進行接觸的第一端；以及彈簧13，設置於靜止柱塞11與活動柱塞12之間並提供彈性。
靜止柱塞11可包括第一主體111及一對第一突起112，所述一對第一突起112在與第一主體111的縱向方向橫交的方向上自第一主體111突出。
靜止柱塞11可由導電材料製成，並藉由微機電系統(microelectromechanical systems，MEMS)或模具製造。
第一主體111可包括設置於其第一端以與第一端子21進行接觸的靜止接觸部113、以及設置於其第二端的第一耦合部114。
第一耦合部114可包括嵌入於活動柱塞12的引導凹槽1241中的引導軌1141、以及自引導軌1141的側壁突出的引導壁1142。
引導軌1141的形狀是板狀的，且厚度可等於或厚於活動柱塞12的引導凹槽1241的寬度。引導軌1141形成有緊固凹槽1141a，緊固凹槽1141a在引導軌1141的在寬度方向上的兩個表面上凹陷。緊固凹槽1141a可與形成於活動柱塞12的軌道支撐件1242上的緊固突起1241a可分離地嚙合。
引導壁1142不僅防止置於引導軌1141上的活動柱塞12在滑動移動時在寬度方向上分離，且亦引導活動柱塞12滑動移動。
第一主體111可包括沿縱向方向形成於靜止接觸部113與第一耦合部114之間的開口115。
如圖2所示，開口115可形成為在厚度方向上穿透第一主體111。開口115具有與引導軌1141交界的內壁116，以使得設置於活動柱塞12的第二耦合部124中的一對鉤1244(稍後將闡述)可被鉤住並耦合至內壁116。開口115可提供當活動柱塞12滑動時所述一對鉤1244能夠在其中活動的空間。
根據替代實施例，開口115可形成為在第一主體111的兩側上凹陷預定深度。
所述一對第一突起112可與縱向方向橫交地自第一主體111的兩側突出。
靜止柱塞11可自第一突起112部分地嵌入於彈簧13中，直至第二端部部分。
活動柱塞12可包括彼此表面接觸地進行交疊的第一活動柱塞12-1與第二活動柱塞12-2。活動柱塞12可包括三或更多個柱塞。
每一活動柱塞12可包括第二主體121以及在與第二主體121的縱向方向橫交的方向上自第二主體121突出的一對第二突起122。
活動柱塞12可由導電材料製成，並藉由MEMS或模具製造。
第二主體121可包括設置於其第一端以與第二端子31進行接觸的活動接觸部123、以及設置於其第二端的第二耦合部124。
第二耦合部124可與靜止柱塞11的第一耦合部114以90度角度交叉並耦合至靜止柱塞11的第一耦合部114。
第二耦合部124可包括沿縱向方向朝向第二主體121的第二端部部分凹陷的引導凹槽1241。
第二耦合部124可包括由引導凹槽1241分離的一對軌道支撐件1242。所述一對軌道支撐件1242可分別與靜止柱塞11的引導軌1141的兩個表面進行接觸，並實現電性連接。
所述一對軌道支撐件1242可分別包括位於其自由端部部分的所述一對鉤1244。
所述一對鉤1244可面向彼此突出，且鉤掛至靜止柱塞11的開口115的內壁116。所述一對鉤1244可防止彼此耦合嚙合的靜止柱塞11與所述多個活動柱塞12在滑動期間分離。
所述一對鉤1244可朝向引導凹槽1241的內側突出。隨著引導凹槽1241變得越來越窄，所述一對鉤1244的突出長度受到更多限制。因此，無法確保所述一對鉤1244可靠地鉤掛至開口115的內壁。在所述一對軌道支撐件1242的寬度方向上延伸的延伸凹槽1246可形成於所述一對軌道支撐件1242與所述一對鉤1244之間。
引導凹槽1241的寬度可等於或大於靜止柱塞11的引導軌1141的厚度。
所述一對第二突起122可與第二主體121的縱向方向橫交地自第二主體121的兩側突出。所述一對第二突起122可支撐彈簧13的第二端，藉此與對彈簧13的第一端進行支撐的靜止柱塞11的第一突起112一起對彈簧13進行限制。
第一活動柱塞12-1及第二活動柱塞12-2可自第二突起122部分地嵌入於彈簧13中，直至鉤1244所位於的第二端。
第一活動柱塞12-1與第二活動柱塞12-2可彼此獨立地滑動操作。換言之，當第二端子31僅壓靠第一活動柱塞12-1時，第二活動柱塞12-2可能不會滑動移動。另一方面，當第二端子31 僅壓靠第二活動柱塞12-2時，第一活動柱塞12-1可能不會滑動移動。此外，當第二端子31壓靠第一活動柱塞12-1及第二活動柱塞12-2二者時，第一活動柱塞12-1及第二活動柱塞12-2皆可滑動移動。
稍後將對第一活動柱塞12-1與第二活動柱塞12-2彼此獨立地滑動操作的詳細結構進行闡述。
彈簧13夾置於彼此交叉且彼此耦合的靜止柱塞11與所述多個活動柱塞12之間，換言之，彈簧13位於第一突起112與第二突起122之間，藉此提供彈性。在測試期間，靜止柱塞11或所述多個活動柱塞12在受到第一端子21或第二端子31按壓時滑動移動。在此種情況下，第一突起112或第二突起122可對彈簧13進行壓縮。
彈簧13可提供1克力(gf)至10克力範圍(此並不受限定)內的彈性。
所述一對第一突起112與所述一對第二突起122可分別支撐彈簧13的兩端，藉此對彈簧13進行限制。
以下，將參照圖3至圖5詳細闡述所述多個活動柱塞12的獨立滑動結構及操作。
參照圖4，引導軌1141形成有在其兩個表面上凹陷的緊固凹槽1141a，且耦合至引導軌1141的軌道支撐件1242包括嵌入於緊固凹槽1141a的緊固突起1241a。
緊固凹槽1141a與緊固突起1241a可形成為具有平緩的 斜坡，以使得緊固凹槽1141a與緊固突起1241a可在測試期間輕易地自受到第二端子31按壓的嚙合狀態釋放，且在彈簧13的彈性恢復時再次彼此嚙合。
參照圖5，當第二端子31僅受到第一活動柱塞12-1壓靠時，第二活動柱塞12-2可能不會滑動操作。換言之，未被施加壓力的第二活動柱塞12-2可能不會藉由緊固凹槽1141a與緊固突起1241a之間的嚙合來滑動操作以支撐負載。另一方面，當壓力僅施加至第二活動柱塞12-2時，第一活動柱塞12-1可能不會滑動操作。
參照圖6，第二端子31壓靠第一活動柱塞12-1及第二活動柱塞12-2二者，第一活動柱塞12-1及第二活動柱塞12-2皆可滑動操作。
根據替代實施例，引導軌1141的緊固凹槽1141a及軌道支撐件1242的緊固突起1241a可省略。在此種情況下，第一活動柱塞12-1及第二活動柱塞12-2可與軌道支撐件1242嚙合並由軌道支撐件1242支撐。
圖7及圖8示出第一活動柱塞12-1及第二活動柱塞12-2與球柵陣列(BGA)型第二端子31及襯墊型第二端子31的接觸狀態。
參照圖7，BGA型第二端子31並非平的而是半球形的，且因此向下移動並首先與第一活動柱塞12-1進行接觸。然後，第二端子31進一步向下移動，且亦與第二活動柱塞12-2進行接觸。
參考圖8，襯墊型第二端子31可設置於與周圍的非端子部分32相同的平面上。在此種情況下，隨著第二端子31向下移動，第一活動柱塞12-1與非端子部分32進行接觸，且第二活動柱塞12-2與第二端子31進行接觸。
在傳統的探針接點中，第一活動柱塞及第二活動柱塞二者作為一個單一本體同時移動，且因此第二活動柱塞的尖端(tip)並未用足夠的力按壓襯墊型第二端子。因此，測試的可靠性降低。此外，傳統的探針接點分別需要兩個獨立的彈簧來使該些活動柱塞獨立滑動，藉此使得傳統探針接點的製造困難並增加了成本。
圖9示出根據本揭露第二實施例的活動柱塞42。
參照圖9，多個活動柱塞42可包括彼此表面接觸地進行交疊的第一活動柱塞42-1與第二活動柱塞42-2。所述多個活動柱塞42可包括三或更多個活動柱塞。以下，將省略對與根據第一實施例的第一活動柱塞12-1及第二活動柱塞12-2相同的結構的重複描述。
第一活動柱塞42-1可包括在與第二主體421的縱向方向橫交的方向上自其一個表面突出的第二突起422。
第二活動柱塞42-2可包括在與第二主體421的縱向方向橫交的方向上自其一個表面突出的第三突起423。
第二突起422與第三突起423可在相反的方向上突出。
第二突起422及第三突起423可包括在第二主體421的縱向方向上延伸的引導凹槽4241。當第一活動柱塞42-1與第二活 動柱塞42-2單獨或同時滑動移動時，第二突起422及第三突起423可對彈簧13的位於相反方向上的兩個點P1及P2進行按壓。
因此，當第二端子(參見圖7中的「31」)在測試期間壓靠第一活動柱塞42-1時，第二突起422可在縱向方向上相對於彈簧13的中心而言以偏置的方式對彈簧13的點P1進行按壓。因此，彈簧13首先在支撐於第二突起422上的點P1處受到按壓，可能相對於彈簧13的中心軸線發生屈曲變形。因此，第一活動柱塞42-1受到按壓並滑動移動，而第二活動柱塞42-2並未受到按壓且不滑動移動。
以此種方式，與根據第一實施例的第一活動柱塞12-1及第二活動柱塞12-2的結構(即緊固凹槽1141a與緊固突起1241a之間的嚙合結構)分別獨立地或相組合地，彈簧13的點可在縱向方向上相對於彈簧13的中心而言以偏置的方式受到按壓。
圖10示出根據本揭露第三實施例的多個活動柱塞52，且圖11示出應用圖10的活動柱塞52的探針接點1。
參照圖10及圖11，所述多個活動柱塞52可包括彼此表面接觸地進行交疊的第一活動柱塞52-1與第二活動柱塞52-2。活動柱塞52可包括三或更多個活動柱塞。以下，將省略對與根據第一實施例的第一活動柱塞12-1及第二活動柱塞12-2相同的結構的重複描述。
第一活動柱塞52-1可包括在與第二主體521的縱向方向橫交的第一方向上自其一側突出的第二突起522。
第二活動柱塞52-2可包括在與第二主體521的縱向方向橫交、與第一方向相反的第二方向上自其一側突出的第三突起523。
第二突起522與第三突起523可在縱向方向上關於彈簧13的中心對稱地設置。當第一活動柱塞52-1與第二活動柱塞52-2單獨或同時滑動移動時，第二突起522及第三突起523可分別對彈簧13的位於相反方向上的兩個點P1及P2進行按壓。
因此，當在彼此相反的方向上突出的第二突起522與第三突起523向彈簧13的點施加在縱向方向上相對於彈簧13的中心而言不平衡的力時，第一活動柱塞52-1及第二活動柱塞52-2可引起彈簧13的屈曲變形。
圖12示出根據本揭露第四實施例的多個活動柱塞62。
參照圖12，所述多個活動柱塞62可包括彼此表面接觸地進行交疊的第一活動柱塞62-1與第二活動柱塞62-2。所述多個活動柱塞62可包括三或更多個活動柱塞。以下，將省略對與根據第一實施例的第一活動柱塞12-1及第二活動柱塞12-2相同的結構的重複描述。
第一活動柱塞62-1可包括在與第二主體621的縱向方向橫交的方向上自其相對的側突出的一對第二突起622-1與第二突起622-2。
第二活動柱塞62-2可包括在與第二主體621的縱向方向橫交的方向上自其相對的側突出的一對第三突起623-1與第三 突起623-2。
所述一對第二突起622-1與第二突起622-2在彼此相反的方向上突出，且相對於第二主體621的長度方向而言具有不同的長度。
所述一對第三突起623-1與第三突起623-2在彼此相反的方向上突出，且相對於第二主體621的長度方向而言具有不同的長度。
此外，相對於第二主體621的長度方向而言，彼此相鄰的第二突起622-1與第三突起623-1可具有不同的長度，且彼此相鄰的第二突起622-2與第三突起623-2可具有不同的長度。換言之，第二突起622-1及第三突起623-2可在相對的位置處與彈簧13的端部部分接觸。此時，第二突起622-2及第三突起623-1可在相對的位置處與彈簧13的端部部分間隔開。
因此，當第二端子31在測試期間僅壓靠第一活動柱塞62-1時，第二突起622-1可相對於彈簧13的中心而言對彈簧13的端部部分施加不平衡的力。因此，彈簧13首先在由第二突起622-1支撐的部分處受到壓縮，而相對的部分受到提升，藉此引起相對於彈簧13的中心軸線的屈曲變形。因此，第一活動柱塞62-1受到按壓並滑動移動，而第二活動柱塞62-2未受到按壓且不滑動移動。
圖13示出根據本揭露第五實施例的多個活動柱塞72。
參照圖13，所述多個活動柱塞72可包括彼此表面接觸地進行交疊的第一活動柱塞72-1與第二活動柱塞72-2。所述多個 活動柱塞72可包括三或更多個活動柱塞。以下，將省略對與根據第一實施例的第一活動柱塞12-1及第二活動柱塞12-2相同的結構的重複描述。
第一活動柱塞72-1可包括設置於第二主體721的一個端部部分處的第一接觸端部部分722，以與第二端子31進行接觸。
第一接觸端部部分722可包括在第二主體721的寬度方向上延伸的第一尖端7221、延伸達第二主體721的一半寬度的第二尖端7222、以及設置於第一尖端7221與第二尖端7222之間的第一中間尖端7223。
第一尖端7221可自寬度方向上的一側朝向中間向下傾斜，且第二尖端7222可自寬度方向上的另一側朝向中間向下傾斜。第一中間尖端7223可設置於在第一尖端7221與第二尖端7222之間形成的V形凹槽中。
第二活動柱塞72-2可包括設置於第二主體721的一個端部部分處的第二接觸端部部分723，以與第二端子31進行接觸。
第二接觸端部部分723可包括在第二主體721的寬度方向上延伸的第三尖端7231、延伸達第二主體721的一半寬度的第四尖端7232、以及設置於第三尖端7231與第四尖端7232之間的第二中間尖端7233。
第三尖端7231可自寬度方向上的一側朝向中間向下傾斜，第四尖端7232可自寬度方向上的另一側朝向中間向下傾斜，且第二中間尖端7233可設置於在第三尖端7231與第四尖端7232 之間形成的V形凹槽中。
如上所述，所述多個活動柱塞72包括六個接觸點，以藉此提高測試可靠性，且藉由將第二端子31嵌入V形凹槽中以藉此對硬的第二端子31進行測試來實施所述測試。
圖14示出根據本揭露第六實施例的多個活動柱塞82。
參照圖14，所述多個活動柱塞82可包括彼此表面接觸地進行交疊的第一活動柱塞82-1與第二活動柱塞82-2。所述多個活動柱塞82可包括三或更多個活動柱塞。以下，將省略對與根據第一實施例的第一活動柱塞12-1及第二活動柱塞12-2相同的結構的重複描述。
第一活動柱塞82-1可包括設置於第二主體821的一個端部部分處的第一接觸端部部分822，以與第二端子31進行接觸。
第一接觸端部部分822可包括自第二主體821的寬度方向上的第一側朝向第二側向下傾斜的第一尖端8221、以及平行於第一尖端8221向下傾斜的第二尖端8222。
第一尖端8221高於第二尖端8222，藉此在第二主體821的縱向方向上形成高度差。
第二活動柱塞82-2可包括設置於第二主體821的一個端部部分處的第二接觸端部部分823，以與第二端子31進行接觸。
第二接觸端部部分823可包括自第二主體821的寬度方向上的第二側朝向第一側向下傾斜的第三尖端8231、以及平行於第三尖端8231向下傾斜的第四尖端8232。
第三尖端8231高於第四尖端8232，藉此在第二主體821的縱向方向上形成高度差。
如上所述，所述多個活動柱塞82包括傾斜且在縱向方向上具有彼此不同的高度的第一尖端8221與第二尖端8222以及傾斜且在縱向方向上具有彼此不同的高度的第三尖端8231與第四尖端8232，藉此在測試期間使用傾斜的或高度不同的部分來推出異物(例如，錫(Sn))。
根據本揭露，儘管探針接點具有簡單的結構(即，在單個彈簧結構中設置形成一對且獨立操作來與測試端子進行接觸的柱塞)，探針接點亦能夠自適應性地應對測試端子的各種形狀，藉此降低成本並使得製造很小的探針接點成為可能。
在前述說明中，已參照具體實施例闡述了本揭露的優點。然而，對於此項技術中具有通常知識者而言將顯而易見，可在不背離隨附申請專利範圍中所界定的揭露內容的範圍的條件下作出各種潤飾及變化。因此，本說明及圖式需要被解釋為本揭露的實例，而非對本揭露的限制。所有此種可能的潤飾皆應在本揭露的範圍內作出。
11:靜止柱塞
12:活動柱塞
12-1:第一活動柱塞
12-2:第二活動柱塞
13:彈簧
111:第一主體
112:第一突起
113:靜止接觸部
114:第一耦合部
115:開口
116:內壁
121:第二主體
122:第二突起
123:活動接觸部
124:第二耦合部
1141:引導軌
1141a:緊固凹槽
1142:引導壁
1241:引導凹槽
1241a:緊固突起
1242:軌道支撐件
1244:鉤
1246:延伸凹槽

Claims (12)

  1. 一種用於在第一端子與第二端子之間進行電性連接的探針接點，包括：靜止柱塞，包括第一主體及第一突起，所述第一主體具有與所述第一端子進行接觸的第一端，所述第一突起與所述第一主體的縱向方向橫交地突出；多個活動柱塞，包括第二主體及第二突起，所述第二主體具有與所述第二端子進行接觸的第一端及與所述靜止柱塞進行電性接觸的第二端，所述第二突起與所述第二主體的縱向方向橫交地突出，且所述多個活動柱塞被設置成在所述第二主體的所述縱向方向上彼此獨立地相對滑動；以及彈簧，設置於所述第一突起與所述第二突起之間，其中只有在測試期間受到按壓的所述活動柱塞滑動移動。
  2. 如請求項1所述的探針接點，其中所述多個活動柱塞各自包括第一耦合部，所述活動柱塞的所述第一耦合部的第二端耦合至所述靜止柱塞的第二端且能夠相對於所述靜止柱塞的所述第二端滑動移動，所述靜止柱塞包括第二耦合部，所述靜止柱塞的所述第二耦合部設置於所述靜止柱塞的所述第二端且耦合至所述活動柱塞的所述第一耦合部，所述活動柱塞的所述第一耦合部及所述靜止柱塞的所述第二耦合部中的一者在其耦合表面上包括至少一個支撐突起，且 所述活動柱塞的所述第一耦合部及所述靜止柱塞的所述第二耦合部中的另一者包括支撐凹槽，以將所述至少一個支撐突起可分離地嵌入於所述支撐凹槽中。
  3. 如請求項1所述的探針接點，其中所述第二突起在測試期間對所述彈簧的端部部分施加在所述第二主體的所述縱向方向上相對於所述彈簧的中心而言不平衡的力，並在所述彈簧中引起屈曲變形。
  4. 如請求項1所述的探針接點，其中所述第二主體的形狀是板狀的，且所述第二突起在寬度方向上自所述第二主體的一側突出。
  5. 如請求項4所述的探針接點，其中所述活動柱塞的所述第二突起在所述第二主體的所述縱向方向上關於所述彈簧的中心對稱地定位。
  6. 如請求項1所述的探針接點，其中所述活動柱塞的所述第二突起在彼此相反的方向上突出。
  7. 如請求項1所述的探針接點，其中所述第二主體的形狀是板狀的，所述第二突起包括在寬度方向上自所述第二主體的相對的側突出的一對突起，且所述一對突起被形成為在所述第二主體的所述縱向方向上具有彼此不同的高度。
  8. 如請求項1所述的探針接點，其中 所述第二主體的形狀是板狀的，且所述第二突起在厚度方向上自所述第二主體的一個表面突出。
  9. 如請求項8所述的探針接點，其中所述第二突起包括與所述彈簧的端部部分進行接觸的傾斜表面。
  10. 如請求項1所述的探針接點，其中所述靜止柱塞的所述第一主體包括引導軌，所述多個活動柱塞與所述引導軌嚙合，且所述活動柱塞的所述第二主體包括引導凹槽，所述引導凹槽沿所述第二主體的所述縱向方向凹陷且置於所述引導軌上。
  11. 如請求項10所述的探針接點，其中所述引導軌包括沿第一主體的縱向方向在所述引導軌的相對的側上延伸且在厚度方向上突出的引導壁。
  12. 一種測試插座，支撐如請求項1至請求項11中的任一項所述的探針接點。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2024177395A1 (ko) * 2023-02-22 2024-08-29 주식회사 아이에스시 검사용 탐침장치
TW202443155A (zh) * 2023-04-12 2024-11-01 美商微製造股份有限公司 用於接觸電子電路的針腳型探針
KR20240169935A (ko) * 2023-05-25 2024-12-03 (주)포인트엔지니어링 전기 전도성 접촉핀

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200631241A (en) * 2004-10-06 2006-09-01 Dong-Weon Hwang Contact for electronic devices
CN106489078A (zh) * 2014-06-16 2017-03-08 欧姆龙株式会社 探针和使用探针的电子设备
TW201937173A (zh) * 2018-03-01 2019-09-16 日商由利科技股份有限公司 接觸探針及具備該接觸探針的檢查套筒

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM349590U (en) 2008-06-16 2009-01-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Electrical contact
TWM356263U (en) * 2008-09-16 2009-05-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Electrical connector contact
KR101073400B1 (ko) 2008-10-13 2011-10-13 리노공업주식회사 검사용 탐침 장치
US8547128B1 (en) 2012-05-06 2013-10-01 Jerzy Roman Sochor Contact probe with conductively coupled plungers
KR101396377B1 (ko) * 2014-02-03 2014-05-20 주식회사 아이에스시 반도체 검사용 소켓의 판형 검사용 콘택터
KR102013138B1 (ko) * 2018-02-14 2019-08-22 주식회사 오킨스전자 탄성편을 포함하는 반도체 테스트 소켓용 핀
KR20200063675A (ko) * 2018-11-28 2020-06-05 주식회사 오킨스전자 반도체 테스트 소켓용 핀
KR102126753B1 (ko) 2018-12-19 2020-06-25 주식회사 오킨스전자 단일 코일 스프링에 의하여 3개의 플런저가 독립적으로 슬라이드 동작하는 테스트 소켓에 있어서, 레일을 통하여 상기 슬라이드 동작이 제어되는 데스트 핀

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW200631241A (en) * 2004-10-06 2006-09-01 Dong-Weon Hwang Contact for electronic devices
CN106489078A (zh) * 2014-06-16 2017-03-08 欧姆龙株式会社 探针和使用探针的电子设备
US20170138985A1 (en) * 2014-06-16 2017-05-18 Omron Corporation Probe pin and electronic device using the same
TW201937173A (zh) * 2018-03-01 2019-09-16 日商由利科技股份有限公司 接觸探針及具備該接觸探針的檢查套筒

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