TWI729175B - 著色組成物、彩色濾光片、圖案形成方法、固體攝像元件以及圖像顯示裝置 - Google Patents
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- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 189
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 67
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 266
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 153
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 153
- 238000004040 coloring Methods 0.000 claims abstract description 119
- -1 Zinc phthalocyanine halide Chemical class 0.000 claims abstract description 118
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims abstract description 118
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 50
- GWVMLCQWXVFZCN-UHFFFAOYSA-N isoindoline Chemical compound C1=CC=C2CNCC2=C1 GWVMLCQWXVFZCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 42
- MZZSDCJQCLYLLL-UHFFFAOYSA-N Secalonsaeure A Natural products COC(=O)C12OC3C(CC1=C(O)CC(C)C2O)C(=CC=C3c4ccc(O)c5C(=O)C6=C(O)CC(C)C(O)C6(Oc45)C(=O)OC)O MZZSDCJQCLYLLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 31
- 150000003751 zinc Chemical class 0.000 claims abstract description 26
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims abstract description 24
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 claims abstract description 15
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 claims abstract description 14
- KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 1-Octanol Chemical compound CCCCCCCCO KBPLFHHGFOOTCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 8
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims abstract description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 50
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 34
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 claims description 32
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 claims description 30
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims description 28
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 11
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 claims description 4
- 125000002029 aromatic hydrocarbon group Chemical group 0.000 claims 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 59
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 57
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 47
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 43
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 35
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 35
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 34
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 32
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 30
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 29
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 28
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 28
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 28
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 27
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 27
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 26
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 21
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical group 0.000 description 20
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 19
- 230000008859 change Effects 0.000 description 18
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 18
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 18
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 17
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 15
- 238000011161 development Methods 0.000 description 15
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 15
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 15
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 14
- 125000003903 2-propenyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 13
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 13
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 13
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 12
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 12
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 12
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 12
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 12
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 12
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 12
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 description 12
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 12
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 12
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 11
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 11
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 11
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 10
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 10
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 10
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 10
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 10
- FVCSARBUZVPSQF-UHFFFAOYSA-N 5-(2,4-dioxooxolan-3-yl)-7-methyl-3a,4,5,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C(C(OC2=O)=O)C2C(C)=CC1C1C(=O)COC1=O FVCSARBUZVPSQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 9
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 9
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 8
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 8
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 8
- 239000000463 material Substances 0.000 description 8
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 8
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 8
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 8
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 8
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 8
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 8
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 7
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 7
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N Formaldehyde Chemical compound O=C WSFSSNUMVMOOMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 6
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 6
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 6
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 6
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 6
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 6
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 6
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 6
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 6
- 125000001624 naphthyl group Chemical group 0.000 description 6
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 description 6
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 6
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 6
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 6
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 5
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 5
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 5
- 125000000751 azo group Chemical group [*]N=N[*] 0.000 description 5
- 239000002585 base Substances 0.000 description 5
- 125000001246 bromo group Chemical group Br* 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 5
- 150000002170 ethers Chemical class 0.000 description 5
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 5
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 5
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 5
- NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N p-methoxyphenol Chemical compound COC1=CC=C(O)C=C1 NWVVVBRKAWDGAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 5
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 5
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 5
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 5
- 125000000020 sulfo group Chemical group O=S(=O)([*])O[H] 0.000 description 5
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 4
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical compound [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical group [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 4
- 229920006243 acrylic copolymer Polymers 0.000 description 4
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 4
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 4
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 4
- 125000001797 benzyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(C([H])=C1[H])C([H])([H])* 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 4
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000001056 green pigment Substances 0.000 description 4
- CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N heptan-2-one Chemical compound CCCCCC(C)=O CATSNJVOTSVZJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 4
- 229940117841 methacrylic acid copolymer Drugs 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 239000012860 organic pigment Substances 0.000 description 4
- 150000002923 oximes Chemical class 0.000 description 4
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- IZMJMCDDWKSTTK-UHFFFAOYSA-N quinoline yellow Chemical class C1=CC=CC2=NC(C3C(C4=CC=CC=C4C3=O)=O)=CC=C21 IZMJMCDDWKSTTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000004434 sulfur atom Chemical group 0.000 description 4
- 238000004448 titration Methods 0.000 description 4
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 1H-pyrrole Natural products C=1C=CNC=1 KAESVJOAVNADME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HEQOJEGTZCTHCF-UHFFFAOYSA-N 2-amino-1-phenylethanone Chemical class NCC(=O)C1=CC=CC=C1 HEQOJEGTZCTHCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZWVHTXAYIKBMEE-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyacetophenone Chemical class OCC(=O)C1=CC=CC=C1 ZWVHTXAYIKBMEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 7553-56-2 Chemical group [I] ZCYVEMRRCGMTRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 0 C*C(*C(*1c2ccccc2)=O)C1=O Chemical compound C*C(*C(*1c2ccccc2)=O)C1=O 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 3
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical group OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 3
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 3
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MYONAGGJKCJOBT-UHFFFAOYSA-N benzimidazol-2-one Chemical group C1=CC=CC2=NC(=O)N=C21 MYONAGGJKCJOBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N benzyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1=CC=CC=C1 AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N butyl acetate Chemical compound CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N butyl prop-2-enoate;methyl 2-methylprop-2-enoate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.COC(=O)C(C)=C.CCCCOC(=O)C=C QHIWVLPBUQWDMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 3
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 3
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical compound OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol monoethyl ether Chemical compound CCOCCOCCO XXJWXESWEXIICW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 3
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 description 3
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 3
- 150000002430 hydrocarbons Chemical group 0.000 description 3
- 230000002209 hydrophobic effect Effects 0.000 description 3
- 239000001023 inorganic pigment Substances 0.000 description 3
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 3
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 3
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 3
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 3
- 150000003003 phosphines Chemical class 0.000 description 3
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 3
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 3
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 3
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 3
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 3
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 3
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 3
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 3
- 239000001052 yellow pigment Substances 0.000 description 3
- QGKMIGUHVLGJBR-UHFFFAOYSA-M (4z)-1-(3-methylbutyl)-4-[[1-(3-methylbutyl)quinolin-1-ium-4-yl]methylidene]quinoline;iodide Chemical compound [I-].C12=CC=CC=C2N(CCC(C)C)C=CC1=CC1=CC=[N+](CCC(C)C)C2=CC=CC=C12 QGKMIGUHVLGJBR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical group C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HIDBROSJWZYGSZ-UHFFFAOYSA-N 1-phenylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C1=CC=CC=C1 HIDBROSJWZYGSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FPZWZCWUIYYYBU-UHFFFAOYSA-N 2-(2-ethoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCOCCOCCOC(C)=O FPZWZCWUIYYYBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethyl acetate Chemical compound CCOCCOC(C)=O SVONRAPFKPVNKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 2-methoxyethyl acetate Chemical compound COCCOC(C)=O XLLIQLLCWZCATF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical class CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N Ethylamine Chemical compound CCN QUSNBJAOOMFDIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N Ethylbenzene Chemical compound CCC1=CC=CC=C1 YNQLUTRBYVCPMQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FFOPEPMHKILNIT-UHFFFAOYSA-N Isopropyl butyrate Chemical compound CCCC(=O)OC(C)C FFOPEPMHKILNIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical class OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 2
- NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N Piperidine Chemical compound C1CCNCC1 NQRYJNQNLNOLGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004115 Sodium Silicate Substances 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 2
- SEEVRZDUPHZSOX-WPWMEQJKSA-N [(e)-1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)carbazol-3-yl]ethylideneamino] acetate Chemical compound C=1C=C2N(CC)C3=CC=C(C(\C)=N\OC(C)=O)C=C3C2=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1C SEEVRZDUPHZSOX-WPWMEQJKSA-N 0.000 description 2
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 2
- ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N adamantane Chemical compound C1C(C2)CC3CC1CC2C3 ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004453 alkoxycarbonyl group Chemical group 0.000 description 2
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 239000003945 anionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 2
- 125000005161 aryl oxy carbonyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 2
- 239000012964 benzotriazole Substances 0.000 description 2
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Substances BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 2
- XUPYJHCZDLZNFP-UHFFFAOYSA-N butyl butanoate Chemical compound CCCCOC(=O)CCC XUPYJHCZDLZNFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000003093 cationic surfactant Substances 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N cyclopentanone Chemical compound O=C1CCCC1 BGTOWKSIORTVQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N decane Chemical compound CCCCCCCCCC DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 235000014113 dietary fatty acids Nutrition 0.000 description 2
- 229940028356 diethylene glycol monobutyl ether Drugs 0.000 description 2
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N dodecane Chemical compound CCCCCCCCCCCC SNRUBQQJIBEYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 2
- BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OCC BHXIWUJLHYHGSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 2
- 239000000194 fatty acid Substances 0.000 description 2
- 229930195729 fatty acid Natural products 0.000 description 2
- 125000003709 fluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- NGAZZOYFWWSOGK-UHFFFAOYSA-N heptan-3-one Chemical compound CCCCC(=O)CC NGAZZOYFWWSOGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000976 ink Substances 0.000 description 2
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 2
- MLFHJEHSLIIPHL-UHFFFAOYSA-N isoamyl acetate Chemical compound CC(C)CCOC(C)=O MLFHJEHSLIIPHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXZQEOJJUGGUIB-UHFFFAOYSA-N isoindolin-1-one Chemical group C1=CC=C2C(=O)NCC2=C1 PXZQEOJJUGGUIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 2
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 2
- HSDFKDZBJMDHFF-UHFFFAOYSA-N methyl 3-ethoxypropanoate Chemical compound CCOCCC(=O)OC HSDFKDZBJMDHFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N methyl 3-methoxypropanoate Chemical compound COCCC(=O)OC BDJSOPWXYLFTNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N n'-(3-trimethoxysilylpropyl)ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCNCCN PHQOGHDTIVQXHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-M naphthalene-1-sulfonate Chemical compound C1=CC=C2C(S(=O)(=O)[O-])=CC=CC2=C1 PSZYNBSKGUBXEH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000002736 nonionic surfactant Substances 0.000 description 2
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 125000005375 organosiloxane group Chemical group 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 2
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 150000004714 phosphonium salts Chemical class 0.000 description 2
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- XOKSLPVRUOBDEW-UHFFFAOYSA-N pinane Chemical compound CC1CCC2C(C)(C)C1C2 XOKSLPVRUOBDEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 2
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 2
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 2
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- FYNROBRQIVCIQF-UHFFFAOYSA-N pyrrolo[3,2-b]pyrrole-5,6-dione Chemical group C1=CN=C2C(=O)C(=O)N=C21 FYNROBRQIVCIQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002943 quinolinyl group Chemical group N1=C(C=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011780 sodium chloride Substances 0.000 description 2
- NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N sodium silicate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-][Si]([O-])=O NTHWMYGWWRZVTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052911 sodium silicate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 125000000547 substituted alkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M tetrabutylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].CCCC[N+](CCCC)(CCCC)CCCC VDZOOKBUILJEDG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 125000000101 thioether group Chemical group 0.000 description 2
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RSJKGSCJYJTIGS-UHFFFAOYSA-N undecane Chemical compound CCCCCCCCCCC RSJKGSCJYJTIGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N (1-hydroxycyclohexyl)-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1(O)CCCCC1 QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HHQAGBQXOWLTLL-UHFFFAOYSA-N (2-hydroxy-3-phenoxypropyl) prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(O)COC1=CC=CC=C1 HHQAGBQXOWLTLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PGSHZSDDBWTHDU-UHFFFAOYSA-N (3-oxobutan-2-ylideneamino) 4-methylbenzenesulfonate Chemical compound CC(=O)C(C)=NOS(=O)(=O)C1=CC=C(C)C=C1 PGSHZSDDBWTHDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MRUDPRFGMHTPFJ-UHFFFAOYSA-N (3-oxobutan-2-ylideneamino) acetate Chemical compound CC(=O)ON=C(C)C(C)=O MRUDPRFGMHTPFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQLZSJJJXHJANW-UHFFFAOYSA-N (3-oxopentan-2-ylideneamino) acetate Chemical compound CCC(=O)C(C)=NOC(C)=O HQLZSJJJXHJANW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HPQOZLRGTMSOBA-UHFFFAOYSA-N (4-imino-3-oxobutan-2-yl) propanoate Chemical compound CCC(=O)OC(C)C(=O)C=N HPQOZLRGTMSOBA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000008 (C1-C10) alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- FFJCNSLCJOQHKM-CLFAGFIQSA-N (z)-1-[(z)-octadec-9-enoxy]octadec-9-ene Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCCOCCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC FFJCNSLCJOQHKM-CLFAGFIQSA-N 0.000 description 1
- KVGZZAHHUNAVKZ-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxin Chemical group O1C=COC=C1 KVGZZAHHUNAVKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 1,4-benzoquinone Chemical group O=C1C=CC(=O)C=C1 AZQWKYJCGOJGHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IANQTJSKSUMEQM-UHFFFAOYSA-N 1-benzofuran Chemical group C1=CC=C2OC=CC2=C1 IANQTJSKSUMEQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HNAGHMKIPMKKBB-UHFFFAOYSA-N 1-benzylpyrrolidine-3-carboxamide Chemical compound C1C(C(=O)N)CCN1CC1=CC=CC=C1 HNAGHMKIPMKKBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQTPKSBXMONSJI-UHFFFAOYSA-N 1-cyclohexylpyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C1CCCCC1 BQTPKSBXMONSJI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCOCC(C)OC(C)=O LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 1-propoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCCOCC(C)OC(C)=O DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFZLSTDPRQSZCQ-UHFFFAOYSA-N 1-pyrrolidin-3-ylpyrrolidine Chemical compound C1CCCN1C1CNCC1 HFZLSTDPRQSZCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KGRVJHAUYBGFFP-UHFFFAOYSA-N 2,2'-Methylenebis(4-methyl-6-tert-butylphenol) Chemical group CC(C)(C)C1=CC(C)=CC(CC=2C(=C(C=C(C)C=2)C(C)(C)C)O)=C1O KGRVJHAUYBGFFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QWQNFXDYOCUEER-UHFFFAOYSA-N 2,3-ditert-butyl-4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C(C(C)(C)C)=C1C(C)(C)C QWQNFXDYOCUEER-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXOFYPKXCSULTL-UHFFFAOYSA-N 2,4,7,9-tetramethyldec-5-yne-4,7-diol Chemical compound CC(C)CC(C)(O)C#CC(C)(O)CC(C)C LXOFYPKXCSULTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GIAFURWZWWWBQT-UHFFFAOYSA-N 2-(2-aminoethoxy)ethanol Chemical compound NCCOCCO GIAFURWZWWWBQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GJKGAPPUXSSCFI-UHFFFAOYSA-N 2-Hydroxy-4'-(2-hydroxyethoxy)-2-methylpropiophenone Chemical compound CC(C)(O)C(=O)C1=CC=C(OCCO)C=C1 GJKGAPPUXSSCFI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000143 2-carboxyethyl group Chemical group [H]OC(=O)C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- XUDBVJCTLZTSDC-UHFFFAOYSA-N 2-ethenylbenzoic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C=C XUDBVJCTLZTSDC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SNZYOYGFWBZAQY-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;2-methyloxirane Chemical compound CC1CO1.CCC(CO)(CO)CO SNZYOYGFWBZAQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RSROEZYGRKHVMN-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;oxirane Chemical compound C1CO1.CCC(CO)(CO)CO RSROEZYGRKHVMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCKZAVNWRLEHIP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-1-[4-[[4-(2-hydroxy-2-methylpropanoyl)phenyl]methyl]phenyl]-2-methylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(C(=O)C(C)(O)C)=CC=C1CC1=CC=C(C(=O)C(C)(C)O)C=C1 PCKZAVNWRLEHIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000954 2-hydroxyethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])O[H] 0.000 description 1
- LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-(4-methylsulfanylphenyl)-2-morpholin-4-ylpropan-1-one Chemical compound C1=CC(SC)=CC=C1C(=O)C(C)(C)N1CCOCC1 LWRBVKNFOYUCNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RIWRBSMFKVOJMN-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1-phenylpropan-2-ol Chemical compound CC(C)(O)CC1=CC=CC=C1 RIWRBSMFKVOJMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HXIQYSLFEXIOAV-UHFFFAOYSA-N 2-tert-butyl-4-(5-tert-butyl-4-hydroxy-2-methylphenyl)sulfanyl-5-methylphenol Chemical group CC1=CC(O)=C(C(C)(C)C)C=C1SC1=CC(C(C)(C)C)=C(O)C=C1C HXIQYSLFEXIOAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BCHZICNRHXRCHY-UHFFFAOYSA-N 2h-oxazine Chemical group N1OC=CC=C1 BCHZICNRHXRCHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BJEMXPVDXFSROA-UHFFFAOYSA-N 3-butylbenzene-1,2-diol Chemical group CCCCC1=CC=CC(O)=C1O BJEMXPVDXFSROA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DQYSALLXMHVJAV-UHFFFAOYSA-M 3-heptyl-2-[(3-heptyl-4-methyl-1,3-thiazol-3-ium-2-yl)methylidene]-4-methyl-1,3-thiazole;iodide Chemical compound [I-].CCCCCCCN1C(C)=CS\C1=C\C1=[N+](CCCCCCC)C(C)=CS1 DQYSALLXMHVJAV-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- RPKHFQXMFPSMJO-UHFFFAOYSA-N 3-phenylmethoxyiminobutan-2-one Chemical compound CC(=O)C(C)=NOCC1=CC=CC=C1 RPKHFQXMFPSMJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACQVEWFMUBXEMR-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-2-fluoro-6-nitrophenol Chemical compound OC1=C(F)C=C(Br)C=C1[N+]([O-])=O ACQVEWFMUBXEMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 8beta-(2,3-epoxy-2-methylbutyryloxy)-14-acetoxytithifolin Natural products COC(=O)C(C)O LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RZVHIXYEVGDQDX-UHFFFAOYSA-N 9,10-anthraquinone Chemical group C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3C(=O)C2=C1 RZVHIXYEVGDQDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical compound NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N Acrylonitrile Chemical compound C=CC#N NLHHRLWOUZZQLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GKIHEXCPBDVIIV-UHFFFAOYSA-N C(C(C)(C)C)C(O)(C(CO)(CO)CO)CC(C)(C)C Chemical compound C(C(C)(C)C)C(O)(C(CO)(CO)CO)CC(C)(C)C GKIHEXCPBDVIIV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDUZWPPSSHEDFK-VVXQKDJTSA-N C(C(C)(C)C)C([C@H](O)[C@H](O)CO)O Chemical compound C(C(C)(C)C)C([C@H](O)[C@H](O)CO)O XDUZWPPSSHEDFK-VVXQKDJTSA-N 0.000 description 1
- AWAVWKDHWFBQCF-UHFFFAOYSA-N C(C1=CC=CC=C1)CC(=O)ON=C(C(=O)C1=CC=CC=C1)C Chemical compound C(C1=CC=CC=C1)CC(=O)ON=C(C(=O)C1=CC=CC=C1)C AWAVWKDHWFBQCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HZRPIZSSEMKEEW-UHFFFAOYSA-N C1CO1.O=C1NC(=O)NC(=O)N1 Chemical compound C1CO1.O=C1NC(=O)NC(=O)N1 HZRPIZSSEMKEEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WOKKPGURNBIFNZ-UHFFFAOYSA-N C=CC(OCCOCCOCCOCCOCCOCCOc1ccc(C2(c(cccc3)c3-c3c2cccc3)c(cc2)ccc2OCCOCCOCCOCCOCCOC(C=C)=O)cc1)=O Chemical compound C=CC(OCCOCCOCCOCCOCCOCCOc1ccc(C2(c(cccc3)c3-c3c2cccc3)c(cc2)ccc2OCCOCCOCCOCCOCCOC(C=C)=O)cc1)=O WOKKPGURNBIFNZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCPMSWJCWKUXRH-UHFFFAOYSA-N C=CC(OCCOc1ccc(C2(c3ccccc3-c3ccccc23)c(cc2)ccc2OCCOC(C=C)=O)cc1)=O Chemical compound C=CC(OCCOc1ccc(C2(c3ccccc3-c3ccccc23)c(cc2)ccc2OCCOC(C=C)=O)cc1)=O YCPMSWJCWKUXRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYLLIJHXUHJATK-UHFFFAOYSA-N Cyclohexyl acetate Chemical compound CC(=O)OC1CCCCC1 YYLLIJHXUHJATK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N Dapsone Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(N)C=C1 MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XXRCUYVCPSWGCC-UHFFFAOYSA-N Ethyl pyruvate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=O XXRCUYVCPSWGCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FPVVYTCTZKCSOJ-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol distearate Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(=O)OCCOC(=O)CCCCCCCCCCCCCCCCC FPVVYTCTZKCSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N Ethylenediamine Chemical compound NCCN PIICEJLVQHRZGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AVXURJPOCDRRFD-UHFFFAOYSA-N Hydroxylamine Chemical compound ON AVXURJPOCDRRFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PEEHTFAAVSWFBL-UHFFFAOYSA-N Maleimide Chemical compound O=C1NC(=O)C=C1 PEEHTFAAVSWFBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WRQNANDWMGAFTP-UHFFFAOYSA-N Methylacetoacetic acid Chemical compound COC(=O)CC(C)=O WRQNANDWMGAFTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N N-Vinyl-2-pyrrolidone Chemical compound C=CN1CCCC1=O WHNWPMSKXPGLAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UEEJHVSXFDXPFK-UHFFFAOYSA-N N-dimethylaminoethanol Chemical compound CN(C)CCO UEEJHVSXFDXPFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002292 Nylon 6 Polymers 0.000 description 1
- 229920002302 Nylon 6,6 Polymers 0.000 description 1
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Natural products P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002035 Pluronic® L 10 Polymers 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical group CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical group N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000297 Rayon Polymers 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- UIIMBOGNXHQVGW-DEQYMQKBSA-M Sodium bicarbonate-14C Chemical compound [Na+].O[14C]([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-DEQYMQKBSA-M 0.000 description 1
- LCXXNKZQVOXMEH-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofurfuryl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CCCO1 LCXXNKZQVOXMEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002359 Tetronic® Polymers 0.000 description 1
- 244000269722 Thea sinensis Species 0.000 description 1
- OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane trimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CC)(COC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DPQRMIPRAHPPNE-UHFFFAOYSA-N [(1-oxo-1-phenylpropan-2-ylidene)amino] acetate Chemical compound CC(=O)ON=C(C)C(=O)C1=CC=CC=C1 DPQRMIPRAHPPNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPCHGLDQZXOZFW-UHFFFAOYSA-N [2-[[4-methyl-3-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]carbonylamino]phenyl]carbamoyloxymethyl]-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound CC1=CC=C(NC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C)C=C1NC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C YPCHGLDQZXOZFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HIVQCJOGAHNXBO-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] propanoate Chemical group CCC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HIVQCJOGAHNXBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 1
- VSHDEZHNJCSDFY-UHFFFAOYSA-N ac1l3g17 Chemical compound C12C(C3)CCC3C2C2CCC1C2 VSHDEZHNJCSDFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229950009438 acedapsone Drugs 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 229920006322 acrylamide copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229920006397 acrylic thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 1
- 239000013543 active substance Substances 0.000 description 1
- 125000004423 acyloxy group Chemical group 0.000 description 1
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 description 1
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 1
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005054 agglomeration Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 239000004844 aliphatic epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003973 alkyl amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000005907 alkyl ester group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004691 alkyl thio carbonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004419 alkynylene group Chemical group 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003863 ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 125000005129 aryl carbonyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000732 arylene group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004104 aryloxy group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- HNYOPLTXPVRDBG-UHFFFAOYSA-N barbituric acid Chemical compound O=C1CC(=O)NC(=O)N1 HNYOPLTXPVRDBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- JGFLAAWSLCPCDY-UHFFFAOYSA-N benzene;cyclopenta-1,3-diene;iron Chemical class [Fe].C1C=CC=C1.C1=CC=CC=C1 JGFLAAWSLCPCDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008366 benzophenones Chemical class 0.000 description 1
- IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N benzothiazole Chemical class C1=CC=C2SC=NC2=C1 IOJUPLGTWVMSFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000649 benzylidene group Chemical group [H]C(=[*])C1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- NDKBVBUGCNGSJJ-UHFFFAOYSA-M benzyltrimethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)CC1=CC=CC=C1 NDKBVBUGCNGSJJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- GPRLTFBKWDERLU-UHFFFAOYSA-N bicyclo[2.2.2]octane Chemical compound C1CC2CCC1CC2 GPRLTFBKWDERLU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PBVMIPXCKZYJMA-UHFFFAOYSA-N bicyclo[3.1.1]hept-4-ene Chemical compound C1C2=CCCC1C2 PBVMIPXCKZYJMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPCWKMYWISGVSK-UHFFFAOYSA-N bicyclo[3.2.1]octane Chemical compound C1C2CCC1CCC2 LPCWKMYWISGVSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RKTGAWJWCNLSFX-UHFFFAOYSA-M bis(2-hydroxyethyl)-dimethylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].OCC[N+](C)(C)CCO RKTGAWJWCNLSFX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000001055 blue pigment Substances 0.000 description 1
- OBNCKNCVKJNDBV-UHFFFAOYSA-N butanoic acid ethyl ester Natural products CCCC(=O)OCC OBNCKNCVKJNDBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IWPATTDMSUYMJV-UHFFFAOYSA-N butyl 2-methoxyacetate Chemical compound CCCCOC(=O)COC IWPATTDMSUYMJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 150000004657 carbamic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 125000000609 carbazolyl group Chemical group C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3NC12)* 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 1
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 238000005234 chemical deposition Methods 0.000 description 1
- OEYIOHPDSNJKLS-UHFFFAOYSA-N choline Chemical compound C[N+](C)(C)CCO OEYIOHPDSNJKLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960001231 choline Drugs 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000004696 coordination complex Chemical group 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- IPHJYJHJDIGARM-UHFFFAOYSA-M copper phthalocyaninesulfonic acid, dioctadecyldimethylammonium salt Chemical compound [Cu+2].CCCCCCCCCCCCCCCCCC[N+](C)(C)CCCCCCCCCCCCCCCCCC.C=1C(S(=O)(=O)[O-])=CC=C(C(=NC2=NC(C3=CC=CC=C32)=N2)[N-]3)C=1C3=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 IPHJYJHJDIGARM-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 125000000332 coumarinyl group Chemical class O1C(=O)C(=CC2=CC=CC=C12)* 0.000 description 1
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 1
- 239000003431 cross linking reagent Substances 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 150000001913 cyanates Chemical class 0.000 description 1
- XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-N cyanic acid Chemical class OC#N XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000113 cyclohexyl group Chemical group [H]C1([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])C1([H])[H] 0.000 description 1
- NLUNLVTVUDIHFE-UHFFFAOYSA-N cyclooctylcyclooctane Chemical compound C1CCCCCCC1C1CCCCCCC1 NLUNLVTVUDIHFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960002887 deanol Drugs 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N diethylamine Chemical compound CCNCC HPNMFZURTQLUMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940075557 diethylene glycol monoethyl ether Drugs 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 239000012972 dimethylethanolamine Substances 0.000 description 1
- POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-M dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC([O-])=O POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N doxepin Chemical compound C1OC2=CC=CC=C2C(=C/CCN(C)C)/C2=CC=CC=C21 ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N 0.000 description 1
- 238000007720 emulsion polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- WNIHNYUROPJCLW-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-ethoxy-2-methylpropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)(C)OCC WNIHNYUROPJCLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CKSRFHWWBKRUKA-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-ethoxyacetate Chemical compound CCOCC(=O)OCC CKSRFHWWBKRUKA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JLEKJZUYWFJPMB-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methoxyacetate Chemical compound CCOC(=O)COC JLEKJZUYWFJPMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHRLOJCOIKOQGL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methoxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)OC WHRLOJCOIKOQGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FJAKCEHATXBFJT-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-oxobutanoate Chemical compound CCOC(=O)C(=O)CC FJAKCEHATXBFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJUHLFUALMUWOM-UHFFFAOYSA-N ethyl 3-methoxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)CCOC IJUHLFUALMUWOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YDMWUMUNUXUYKT-UHFFFAOYSA-N ethyl [(1-oxo-1-phenylpropan-2-ylidene)amino] carbonate Chemical compound CCOC(=O)ON=C(C)C(=O)C1=CC=CC=C1 YDMWUMUNUXUYKT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940117360 ethyl pyruvate Drugs 0.000 description 1
- 230000003631 expected effect Effects 0.000 description 1
- 238000005562 fading Methods 0.000 description 1
- 150000004665 fatty acids Chemical class 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940100608 glycol distearate Drugs 0.000 description 1
- 150000008282 halocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 230000026030 halogenation Effects 0.000 description 1
- 238000005658 halogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 150000002466 imines Chemical group 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000004255 ion exchange chromatography Methods 0.000 description 1
- 150000008040 ionic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N iso-butyl acetate Natural products CC(C)COC(C)=O GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940117955 isoamyl acetate Drugs 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M isocaproate Chemical compound CC(C)CCC([O-])=O FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical group OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000904 isoindolyl group Chemical group C=1(NC=C2C=CC=CC12)* 0.000 description 1
- OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N isovaleric acid methyl ester Natural products COC(=O)CC(C)C OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940070765 laurate Drugs 0.000 description 1
- 239000011133 lead Substances 0.000 description 1
- 239000004611 light stabiliser Substances 0.000 description 1
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 150000002736 metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000005641 methacryl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000005394 methallyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004184 methoxymethyl group Chemical group [H]C([H])([H])OC([H])([H])* 0.000 description 1
- CWOBGOXHYZMVNY-UHFFFAOYSA-N methyl 2,3,5,6-tetrachloro-4-[methoxy(methyl)carbamoyl]benzoate Chemical compound CON(C)C(=O)C1=C(Cl)C(Cl)=C(C(=O)OC)C(Cl)=C1Cl CWOBGOXHYZMVNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PPFNAOBWGRMDLL-UHFFFAOYSA-N methyl 2-ethoxyacetate Chemical compound CCOCC(=O)OC PPFNAOBWGRMDLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YVWPDYFVVMNWDT-UHFFFAOYSA-N methyl 2-ethoxypropanoate Chemical compound CCOC(C)C(=O)OC YVWPDYFVVMNWDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XPIWVCAMONZQCP-UHFFFAOYSA-N methyl 2-oxobutanoate Chemical compound CCC(=O)C(=O)OC XPIWVCAMONZQCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940057867 methyl lactate Drugs 0.000 description 1
- CWKLZLBVOJRSOM-UHFFFAOYSA-N methyl pyruvate Chemical compound COC(=O)C(C)=O CWKLZLBVOJRSOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 1
- 125000002950 monocyclic group Chemical group 0.000 description 1
- INJVFBCDVXYHGQ-UHFFFAOYSA-N n'-(3-triethoxysilylpropyl)ethane-1,2-diamine Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCNCCN INJVFBCDVXYHGQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MQWFLKHKWJMCEN-UHFFFAOYSA-N n'-[3-[dimethoxy(methyl)silyl]propyl]ethane-1,2-diamine Chemical compound CO[Si](C)(OC)CCCNCCN MQWFLKHKWJMCEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZBOYHAZRFJBUEL-UHFFFAOYSA-N n-[2-(4-benzhydryloxypiperidin-1-yl)ethyl]-3-hydroxy-5-(pyridin-3-ylmethoxy)naphthalene-2-carboxamide Chemical compound C1=CC=C2C=C(C(=O)NCCN3CCC(CC3)OC(C=3C=CC=CC=3)C=3C=CC=CC=3)C(O)=CC2=C1OCC1=CC=CN=C1 ZBOYHAZRFJBUEL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N n-butane Chemical compound CCCC IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DAHPIMYBWVSMKQ-UHFFFAOYSA-N n-hydroxy-n-phenylnitrous amide Chemical group O=NN(O)C1=CC=CC=C1 DAHPIMYBWVSMKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMRZSTCPUPJPOJ-KNVOCYPGSA-N norbornane Chemical compound C1C[C@H]2CC[C@@H]1C2 UMRZSTCPUPJPOJ-KNVOCYPGSA-N 0.000 description 1
- UPHWVVKYDQHTCF-UHFFFAOYSA-N octadecylazanium;acetate Chemical compound CC(O)=O.CCCCCCCCCCCCCCCCCCN UPHWVVKYDQHTCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002114 octoxynol-9 Polymers 0.000 description 1
- 125000002347 octyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000004010 onium ions Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 150000001451 organic peroxides Chemical class 0.000 description 1
- WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N oxadiazole Chemical group C1=CON=N1 WCPAKWJPBJAGKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MPQXHAGKBWFSNV-UHFFFAOYSA-N oxidophosphanium Chemical class [PH3]=O MPQXHAGKBWFSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N oxolane-2,4-dione Chemical compound O=C1COC(=O)C1 JCGNDDUYTRNOFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JGTULGMLMBMIOP-UHFFFAOYSA-N oxonine Chemical class C=1C=CC=COC=CC=1 JGTULGMLMBMIOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000001147 pentyl group Chemical group C(CCCC)* 0.000 description 1
- 239000013500 performance material Substances 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 125000001484 phenothiazinyl group Chemical class C1(=CC=CC=2SC3=CC=CC=C3NC12)* 0.000 description 1
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000005506 phthalide group Chemical group 0.000 description 1
- XKJCHHZQLQNZHY-UHFFFAOYSA-N phthalimide Chemical class C1=CC=C2C(=O)NC(=O)C2=C1 XKJCHHZQLQNZHY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940110337 pigment blue 1 Drugs 0.000 description 1
- 229930006728 pinane Natural products 0.000 description 1
- 229920001983 poloxamer Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920005646 polycarboxylate Polymers 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920006149 polyester-amide block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000259 polyoxyethylene lauryl ether Polymers 0.000 description 1
- 239000000244 polyoxyethylene sorbitan monooleate Substances 0.000 description 1
- 235000010482 polyoxyethylene sorbitan monooleate Nutrition 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 229920000053 polysorbate 80 Polymers 0.000 description 1
- 238000003918 potentiometric titration Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N prop-2-enylbenzene Chemical compound C=CCC1=CC=CC=C1 HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CYIRLFJPTCUCJB-UHFFFAOYSA-N propyl 2-methoxypropanoate Chemical compound CCCOC(=O)C(C)OC CYIRLFJPTCUCJB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ILPVOWZUBFRIAX-UHFFFAOYSA-N propyl 2-oxopropanoate Chemical compound CCCOC(=O)C(C)=O ILPVOWZUBFRIAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 1
- GZTPJDLYPMPRDF-UHFFFAOYSA-N pyrrolo[3,2-c]pyrazole Chemical compound N1=NC2=CC=NC2=C1 GZTPJDLYPMPRDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical group 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 1
- 229960001860 salicylate Drugs 0.000 description 1
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000019795 sodium metasilicate Nutrition 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 125000005504 styryl group Chemical group 0.000 description 1
- BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M sulfonate Chemical compound [O-]S(=O)=O BDHFUVZGWQCTTF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 150000003464 sulfur compounds Chemical class 0.000 description 1
- YBBRCQOCSYXUOC-UHFFFAOYSA-N sulfuryl dichloride Chemical compound ClS(Cl)(=O)=O YBBRCQOCSYXUOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N tert-butyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)(C)OC(=O)C=C ISXSCDLOGDJUNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical group 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
- 229940073455 tetraethylammonium hydroxide Drugs 0.000 description 1
- LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M tetraethylazanium;hydroxide Chemical compound [OH-].CC[N+](CC)(CC)CC LRGJRHZIDJQFCL-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 1
- JOUDBUYBGJYFFP-FOCLMDBBSA-N thioindigo Chemical group S\1C2=CC=CC=C2C(=O)C/1=C1/C(=O)C2=CC=CC=C2S1 JOUDBUYBGJYFFP-FOCLMDBBSA-N 0.000 description 1
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N trimethoxysilane Chemical compound CO[SiH](OC)OC YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXJQHYBHAIHNGG-UHFFFAOYSA-N trimethylolethane Chemical compound OCC(C)(CO)CO QXJQHYBHAIHNGG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000870 ultraviolet spectroscopy Methods 0.000 description 1
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N urea group Chemical group NC(=O)N XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003673 urethanes Chemical class 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- 229940042596 viscoat Drugs 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N ε-Caprolactone Chemical group O=C1CCCCCO1 PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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-
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Abstract
本發明提供一種能夠製造耐光性優異之膜等之著色組成物、彩色濾光片、圖案形成方法、固體攝像元件及圖像顯示裝置。著色組成物含有鹵化鋅酞菁顏料A、異吲哚啉顏料B、樹脂C及具有乙烯性不飽和鍵基之硬化性化合物D,樹脂C包含具有源自聚合性化合物Cm之重複單元之樹脂C1,前述聚合性化合物Cm中,作為1-辛醇/水的分配係數P的常用對數之LogP的計算值亦即CLogP值為3.0以上,且於分子內具有環狀結構,鹵化鋅酞菁顏料A的質量與異吲哚啉顏料B的質量之比為,鹵化鋅酞菁顏料A的質量:異吲哚啉顏料B的質量=55:45~85:15。
Description
本發明係關於一種著色組成物。又,係關於一種使用著色組成物之彩色濾光片、圖案形成方法、固體攝像元件及圖像顯示裝置。
近年來,隨著數位相機、帶有相機的行動電話等的普及,電荷耦合元件(CCD)影像感測器等固體攝像元件的需要顯著上升。彩色濾光片被用作顯示器或光學元件的核心裝置。
彩色濾光片用著色組成物中,有時將顏料用作著色劑。又,作為用於製造綠色的彩色濾光片之著色組成物,已知有包含綠色顏料和黃色顏料之著色組成物等。
例如,專利文獻1中記載有如下著色組成物,其含有(A)著色劑、(B)鹼可溶性樹脂、(C)光聚合性化合物、(D)光聚合起始劑及(E)溶劑,(A)著色劑含有顏料綠7的綠色顏料,(B)鹼可溶性樹脂包含第1樹脂及第2樹脂,前述第1樹脂含有環氧基,前述第2樹脂含有能夠與環氧基發生反應之酸官能基(acid funct ional group),酸值為170~300mgKOH/g。
又,專利文獻2中記載有如下著色組成物,其含有(A)鹵化鋅
酞菁顏料、(B)黃色顏料、(C)聚合性化合物、(D)黏合劑樹脂及(E)光聚合起始劑,(C)聚合性化合物含有(C-1)於1個分子中具有2個聚合性基之聚合性化合物及(C-2)於1個分子中具有5個至6個聚合性基之聚合性化合物,且相對於(C-1)於1個分子中具有2個聚合性基之聚合性化合物與(C-2)於1個分子中具有5個至6個聚合性基之聚合性化合物的總量,(C-1)於1個分子中具有2個聚合性基之聚合性化合物的含量為15~40質量%。
又,專利文獻3中記載有含有比色指數(C.I.)顏料綠58、C.I.顏料黃185等之著色組成物。
[專利文獻1]:日本特開2015-197677號公報
[專利文獻2]:日本特開2010-097172號公報
[專利文獻3]:日本特開2013-064999號公報
另一方面,近年來,要求彩色濾光片進一步提高耐光性。
因此,本發明的目的為,提供一種能夠製造耐光性優異之膜等之著色組成物、著色組成物的製造方法、彩色濾光片、圖案形成方法、固體攝像元件及圖像顯示裝置。
本發明人對含有鹵化鋅酞菁顏料和異吲哚啉顏料之膜進行了研究,結果得知該膜的耐光性容易降低。該理由推測為是由於,在膜中鹵化
鋅酞菁顏料與異吲哚啉顏料進行接觸,從而使兩者發生相互作用。
又,依本發明人的研究得知,於濕度高的環境下,該膜的耐光性特別容易降低。推測為,於濕度高的環境下,水分容易被吸入膜中,藉由存在於膜中之水分,膜中成分容易進行移動,其結果,鹵化鋅酞菁顏料與異吲哚啉顏料更容易進行接觸,從而耐光性變得更容易降低。
因此,本發明人認為,在膜中,若能夠抑制鹵化鋅酞菁顏料與異吲哚啉顏料的接觸,則能夠抑制兩者的相互作用,從而能夠提高耐光性。而且,進行深入研究之結果,發現藉由使用後述著色組成物,能夠製造耐光性優異之膜,以至完成本發明。本發明提供以下內容。
<1>一種著色組成物,其含有鹵化鋅酞菁顏料A、異吲哚啉顏料B、樹脂C及硬化性化合物D,樹脂C包含具有源自聚合性化合物Cm之重複單元之樹脂C1,前述聚合性化合物Cm中,作為1-辛醇/水的分配係數P的常用對數之LogP的計算值亦即CLogP值為3.0以上,且於分子內具有環狀結構,鹵化鋅酞菁顏料A的質量與異吲哚啉顏料B的質量之比為,鹵化鋅酞菁顏料A的質量:異吲哚啉顏料B的質量=55:45~85:15。
<2>如<1>所述之著色組成物,其中,於樹脂C的總質量中,含有5質量%以上的樹脂C1。
<3>如<1>或<2>所述之著色組成物,其中,於樹脂C1的所有重複單元中,含有5~95莫耳%的源自聚合性化合物Cm之重複單元。
<4>如<1>至<3>中任一項所述之著色組成物,其中,樹脂C1還含有具有酸基之重複單元。
<5>如<1>至<4>中任一項所述之著色組成物,其中,聚合性化合物Cm具有選自脂肪族環及芳香族烴環之至少一種。
<6>如<1>至<5>中任一項所述之著色組成物,其中,樹脂C1的酸值為10~160mgKOH/g。
<7>如<1>至<6>中任一項所述之著色組成物,其中,硬化性化合物D包含聚合性化合物。
<8>如<7>所述之著色組成物,其還含有光聚合起始劑。
<9>如<1>至<8>中任一項所述之著色組成物,其中,硬化性化合物D包含具有環氧基之化合物。
<10>一種彩色濾光片,其使用了<1>至<9>中任一項所述之著色組成物。
<11>一種圖案形成方法,其具有如下製程:使用<1>至<9>中任一項所述之著色組成物而在支撐體上形成著色組成物層之製程;及藉由光蝕刻法(photolithography)或乾式蝕刻法而在著色組成物層上形成圖案之製程。
<12>一種固體攝像元件,其具有<10>所述之彩色濾光片。
<13>一種圖像顯示裝置,其具有<10>所述之彩色濾光片。
依本發明,可提供能夠製造耐光性優異之膜之著色組成物、彩色濾光片、圖案形成方法、固體攝像元件及圖像顯示裝置。
以下,對本發明的內容詳細地進行說明。
本說明書中的基團(原子團)的標記中,未記有取代及未取代之標記一同包含不具有取代基之基團和具有取代基之基團。例如,“烷基”不僅包含不具有取代基之烷基(未取代烷基),還包含具有取代基之烷基(取代烷基)。
本說明書中,除非另有說明,“曝光”不僅表示利用了光之曝光,而且使用了電子束、離子束等粒子束之描繪亦包含於曝光中。又,作為曝光中所用之光,一般可舉出水銀燈的明線光譜、準分子雷射所代表之遠紫外線、極紫外線(EUV光)、X射線、電子束等光化射線或放射線。
本說明書中,用“~”所表示之數值範圍表示,將記載於“~”前後之數值作為下限值及上限值而包含之範圍。
本說明書中,總固體成分係指,從組成物的總成分去除溶劑後之成分的合計量。
本說明書中,“(甲基)丙烯酸酯”表示丙烯酸酯及甲基丙烯酸酯這双方或任一方,“(甲基)丙烯酸基((meth)acryl)”表示丙烯酸基(acryl)及甲基丙烯酸基(metha cryl)這双方或任一方,“(甲基)烯丙基”表示烯丙基及甲基烯丙基這双方或任一方,“(甲基)丙烯醯基”表示丙烯醯基及甲基丙烯醯基這双方或任一方。
本說明書中,“製程”這一詞不僅表示獨立的製程,而且,即使在無法明確地與其他製程區別的情況下,只要實現該製程的預期作用,則亦包含於本術語中。
本說明書中,重量平均分子量(Mw)及數量平均分子量(Mn)被定義為藉由凝膠滲透層析法(GPC)測定之聚苯乙烯換算值。
本發明中,顏料表示不易溶解於特定的溶劑之不溶性化合物。典型地,表示在組成物中以作為粒子而分散之狀態存在之化合物。此處,溶劑例如可舉出後述溶劑一欄中例示之溶劑。本發明中所使用之顏料例如為不易溶解於丙二醇單甲醚乙酸酯之不溶性化合物為較佳。
<著色組成物>
本發明的著色組成物含有鹵化鋅酞菁顏料A、異吲哚啉顏料B、樹脂C及具有乙烯性不飽和基之硬化性化合物D,前述著色組成物的特徵為,樹脂C包含具有源自聚合性化合物Cm之重複單元之樹脂C1,前述聚合性化合物Cm的CLogP值為3.0以上,且於分子內具有環狀結構,鹵化鋅酞菁顏料A的質量與異吲哚啉顏料B的質量之比為,鹵化鋅酞菁顏料A的質量:異吲哚啉顏料B的質量=55:45~85:15。
藉由使用上述構成的著色組成物,能夠製造耐光性優異之膜。尤其,即使在濕度高的環境下,亦能夠製造具有優異之耐光性之膜。又,藉由本發明的著色組成物獲得之膜能夠抑制基於光照射之鹵化鋅酞菁顏料的褪色,從而抑制綠色分光的變動,且具有作為綠色的彩色濾光片而特佳之特性。獲得該種本發明的效果之機理推測為基於以下者。
本發明的著色組成物中使用具有源自聚合性化合物Cm之重複單元之樹脂C1,前述聚合性化合物Cm的CLogP值為3.0以上,且於分子內具有環狀結構。作為樹脂C1的共聚合成分之聚合性化合物Cm為,CLogP值為3.0以上且疏水性高的材料。亦即,樹脂C1為具有疏水性高的結構之材料。又,聚合性化合物Cm的CLogP值為3.0以上,而且具有環狀結構,因此具有源自聚合性化合物Cm之重複單元之樹脂C1具有提高膜的玻璃轉
移溫度(Tg)之效果。因此,推測為,本發明的著色組成物藉由包含樹脂C1,能夠有效地抑制水分從外部侵入膜中,而且,即使膜中殘留有水分,亦能夠有效地抑制基於水分之膜中成分的移動。因此,能夠有效地抑制鹵化鋅酞菁顏料A與異吲哚啉顏料B的接觸,其結果,推測為可獲得優異之耐光性。
<<鹵化鋅酞菁顏料A>>
本發明的著色組成物含有鹵化鋅酞菁顏料A。鹵化鋅酞菁顏料A為作為中心金屬之鋅位於由異吲哚環的4個氮包圍之區域內之化合物。鹵化鋅酞菁顏料A為以式(A1)所表示之化合物為較佳。
式(A1)中,X1~X16中的任意8~16處表示鹵素原子,且剩餘部分表示氫原子或取代基為較佳。
作為鹵素原子,可舉出氯原子、溴原子、氟原子、碘原子,尤其,溴原子、氯原子為較佳。作為取代基,能夠參閱日本特開2013-209623號公報的段落號0025~0027的記載,該等內容被編入本說明書中。
作為鹵化鋅酞菁顏料A的具體例,例如可舉出以下<1>、<2>所示之態様作為較佳一例。
<1>1個酞菁分子中的鹵素原子的平均個數為8~12個之鹵化鋅酞菁
顏料。該態様中,X1~X16係包含1個以上的氯原子、溴原子、氫原子為較佳。又,X1~X16係氯原子為0~4個,溴原子為8~12個,氫原子為0~4個為較佳。作為具體例,能夠參閱日本特開2007-284592號公報的段落號0013~0039、0084~0085的記載,該等內容被編入本說明書中。
<2>1個酞菁分子中的鹵素原子的平均個數為10~14個,溴原子的平均個數為8~12個,且氯原子的平均個數為2~5個之鹵化鋅酞菁顏料。作為具體例,可舉出WO2015/118720公報中記載的化合物。
鹵化鋅酞菁顏料A,例如亦能夠使用C.I.顏料綠58、59等而作為比色指數(C.I.;英國染料及色彩師學會(The Society of Dyers and Colourists)發行)中被分類為顏料(Pigment)之化合物。
<<異吲哚啉顏料B>>
本發明的著色組成物含有異吲哚啉顏料B。作為異吲哚啉顏料B,可舉出具有異吲哚啉骨架之化合物。異吲哚啉顏料B為黃色顏料為較佳。異吲哚啉顏料B為以式(B1)所表示之化合物為較佳。
式(B1)中,Rb1及Rb2分別獨立地表示氫原子或取代基。
Rb3及Rb4分別獨立地表示取代基,Rb3與Rb4亦可以鍵結而形成環。Rb5表示取代基,n表示0~4的整數。當n為2以上時,複數個Rb5可以相同,亦可以不同。
作為Rb1~Rb5所表示之取代基,可舉出鹵素原子、氰基、硝基、烷基、芳基、雜環基、芳烷基、-ORZ 1、-CORZ 1、-COORZ 1、-OCORZ 1、-NRZ 1RZ 2、-NHCORZ 1、-CONRZ 1RZ 2、-NHCONRZ 1RZ 2、-NHCOORZ 1、-SRZ 1、-SO2RZ 1、-SO2ORZ 1、-NHSO2RZ 1及-SO2NRZ 1RZ 2。RZ 1及RZ 2分別獨立地表示氫原子、烷基、芳基、雜環基或芳烷基,RZ 1與RZ 2亦可以彼此鍵結而形成環。
作為鹵素原子,可舉出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子。
烷基的碳數為1~20為較佳,1~15為更佳,1~8為進一步較佳。烷基亦可以為直鏈、分支、環狀中的任一者。
芳基的碳數為6~20為較佳,6~12為更佳。
芳烷基的烷基部分係與上述烷基相同。芳烷基的芳基部分係與上述芳基相同。芳烷基的碳數為7~20為較佳,7~15為更佳。
雜環基為單環或稠環為較佳,單環或稠合數為2~8的稠環為較佳,單環或稠合數為2~4的稠環為更佳。構成雜環基的環之雜原子的數為1~3為較佳。構成雜環基的環之雜原子為氮原子、氧原子或硫原子為較佳。雜環基為5員環或6員環為較佳。構成雜環基的環之碳原子的數為3~20為較佳,3~18為更佳,3~12為更佳。
烷基、芳烷基、芳基及雜環基可以具有取代基,亦可以係未經取代。作為取代基,可舉出上述取代基。例如,可舉出烷基、芳基、雜環基、鹵素原子等。
作為Rb3與Rb4鍵結而形成之環,可舉出脂肪族環、芳香族烴環、雜環等,雜環為較佳。作為雜環,醯亞胺環為較佳,巴比妥酸為更佳。
式(B1)中,Rb1及Rb2分別獨立地表示氫原子或烷基為較佳,
氫原子為更佳。
式(B1)中,n為0或1為較佳,0為更佳。
式(B1)中,Rb3及Rb4中的一者表示氰基,另一者表示-CONRZ 1RZ 2,或者,Rb3與Rb4鍵結而形成環為較佳。
異吲哚啉顏料B為以式(B1-1)或式(B1-2)所表示之化合物為較佳,以式(B1-2)所表示之化合物為更佳。
式(B1-1)中,Rb11~Rb14分別獨立地表示氫原子或取代基。Rb15表示取代基,n表示0~4的整數。當n為2以上時,複數個Rb15可以相同,亦可以不同。
式(B1-2)中,Rb11及Rb12分別獨立地表示氫原子或取代基。Rb15及Rb16表示取代基,n表示0~4的整數。當n為2以上時,複數個Rb15可以相同,亦可以不同。
Rb11~Rb16所表示之取代基可舉出以上述式(B)所說明之取代基。Rb11~Rb14分別獨立地表示氫原子或烷基為較佳,氫原子為更佳。Rb16為烷基或芳基為較佳,烷基為更佳。n為0或1為較佳,0為更佳。
異吲哚啉顏料B亦能夠使用C.I.顏料黃139、185等。其中,從
容易製造耐光性優異之膜這一理由考慮,C.I.顏料黃185為較佳。
本發明的著色組成物中,鹵化鋅酞菁顏料A的質量與異吲哚啉顏料B的質量之比為,鹵化鋅酞菁顏料A的質量:異吲哚啉顏料B的質量=55:45~85:15,60:40~85:15為較佳,65:35~85:15為更佳,66:34~85:15為進一步較佳,66:34~80:20為特佳,66:34~79:21為最佳。若鹵化鋅酞菁顏料A的質量與異吲哚啉顏料B的質量之比為上述範圍,則如後述實施例所示,能夠製造耐光性優異之膜。
本發明的著色組成物中,相對於著色組成物的總固體成分,鹵化鋅酞菁顏料A的含量為10~80質量%為較佳。下限例如為15質量%以上為更佳,18質量%以上為進一步較佳。上限例如為70質量%以下為更佳,65質量%以下為進一步較佳。
本發明的著色組成物中,相對於著色組成物的總固體成分,異吲哚啉顏料B的含量為3~41質量%為較佳。下限例如為4質量%以上為更佳,5質量%以上為進一步較佳。上限例如為36質量%以下為更佳,32質量%以下為進一步較佳。
本發明的著色組成物中,相對於著色組成物的總固體成分,鹵化鋅酞菁顏料A與異吲哚啉顏料B的合計含量為20~90質量%為較佳。下限例如為30質量%以上為更佳,35質量%以上為進一步較佳。上限例如為80質量%以下為更佳,75質量%以下為進一步較佳。若鹵化鋅酞菁顏料A與異吲哚啉顏料B的合計含量為上述範圍,則能夠有效地獲得本發明的效果。
鹵化鋅酞菁顏料A及異吲哚啉顏料B能夠分別使用1種,亦能夠併用2種以上。當包含2種以上的鹵化鋅酞菁顏料A及/或異吲哚啉顏料B時,
該等的合計為上述範圍為較佳。
<<其他著色劑>>
本發明的著色組成物還能夠使用除鹵化鋅酞菁顏料A及異吲哚啉顏料B以外的著色劑(其他著色劑)。其他著色劑可以使用染料及顏料中的任一者,亦可以併用兩者。作為顏料,能夠舉出先前公知的各種無機顏料或有機顏料。又,無論無機顏料亦或有機顏料,若考慮係高透射率為較佳之情況,使用平均粒徑盡可能小的顏料為較佳,若還考慮處理性,上述顏料的平均粒徑為0.01~0.1μm為較佳,0.01~0.05μm為更佳。
作為無機顏料,能夠舉出金屬氧化物、金屬錯鹽等金屬化合物。又,亦能夠舉出碳黑、鈦黑等黑色顏料、鐵、鈷、鋁、鎘、鉛、銅、鈦、鎂、鉻、鋅、銻等的金屬氧化物及上述金屬的複合氧化物。
作為有機顏料,能夠舉出以下有機顏料。
C.I.顏料黃1、2、3、4、5、6、10、11、12、13、14、15、16、17、18、20、24、31、32、34、35、35:1、36、36:1、37、37:1、40、42、43、53、55、60、61、62、63、65、73、74、77、81、83、86、93、94、95、97、98、100、101、104、106、108、109、110、113、114、115、116、117、118、119、120、123、125、126、127、128、129、137、138、147、148、150、151、152、153、154、155、156、161、162、164、166、167、168、169、170、171、172、173、174、175、176、177、179、180、181、182、187、188、193、194、199、213、214
C.I.顏料綠7、10、36、37
C.I.顏料橙2、5、13、16、17:1、31、34、36、38、43、46、48、49、
51、52、55、59、60、61、62、64、71、73
C.I.顏料紅1、2、3、4、5、6、7、9、10、14、17、22、23、31、38、41、48:1、48:2、48:3、48:4、49、49:1、49:2、52:1、52:2、53:1、57:1、60:1、63:1、66、67、81:1、81:2、81:3、83、88、90、105、112、119、122、123、144、146、149、150、155、166、168、169、170、171、172、175、176、177、178、179、184、185、187、188、190、200、202、206、207、208、209、210、216、220、224、226、242、246、254、255、264、270、272、279
C.I.顏料紫1、19、23、27、32、37、42
C.I.顏料藍1、2、15、15:1、15:2、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66、79、80
又,作為藍色顏料,亦能夠使用具有磷原子之鋁酞菁化合物。作為具體例,可舉出日本特開2012-247591號公報的段落號0022~0030、日本特開2011-157478號公報的段落號0047中記載的化合物等。
作為染料,例如能夠使用日本特開昭64-90403號公報、日本特開昭64-91102號公報、日本特開平1-94301號公報、日本特開平6-11614號公報、日本專利第2592207號公報、美國專利4808501號說明書、美國專利5667920號說明書、日本特開平5-333207號公報、日本特開平6-35183號公報、日本特開平6-51115號公報、日本特開平6-194828號公報等中所揭示之色素。若作為化學結構而劃分,則能夠使用吡唑偶氮化合物、吡咯亞甲基化合物、苯胺基偶氮化合物、三芳基甲烷化合物、蒽醌化合物、亞苄基化合物、氧雜菁化合物、吡唑并三唑偶氮化合物、吡啶酮偶氮化合物、
花青化合物、啡噻嗪化合物、吡咯并吡唑偶氮次甲基化合物等。
又,作為其他著色劑,亦可使用色素多聚體。色素多聚體為溶解於溶劑中而使用之染料為較佳,但亦可以形成粒子。當色素多聚體為粒子時,將色素多聚體分散於溶劑等中而使用。粒子狀態的色素多聚體例如能夠藉由乳化聚合而獲得。作為粒子狀態的色素多聚體,例如可舉出日本特開2015-214682號公報中所記載之化合物。又,作為色素多聚體,亦能夠使用日本特開2011-213925號公報、日本特開2013-041097號公報、日本特開2015-028144號公報、日本特開2015-030742號公報等中所記載之化合物。
又,作為其他著色劑,亦能夠使用日本特開2013-54339號公報的段落號0011~0034中記載的喹啉黃(quinophthalone)化合物、日本特開2014-26228號公報的段落號0013~0058中記載的喹啉黃化合物等。
當本發明的著色組成物含有其他著色劑時,相對於著色組成物的總固體成分,其他著色劑的含量為3~50質量%為較佳。上限為45質量%以下為較佳,40質量%以下為更佳。下限為5質量%以上為較佳,10質量%以上為更佳。其他著色劑可以為1種,亦可以為2種以上。當含有2種以上時,合計成為上述範圍為較佳。
<<樹脂C>>
本發明的著色組成物含有樹脂C。樹脂C例如作為使顏料等粒子在組成物中被分散之用途、黏合劑的用途而被摻合。此外,還將主要用於使顏料等粒子分散之樹脂稱為分散劑。但是,樹脂的該種用途為一例,亦能夠以除該種用途以外的目的來使用樹脂。
<<<樹脂C1>>>
本發明的著色組成物中,作為樹脂C,包含具有源自聚合性化合物Cm之重複單元之樹脂(以下,還稱為樹脂C1),前述聚合性化合物Cm的CLogP值為3.0以上,且於分子內具有環狀結構。
此處,CLogP值係指,作為1-辛醇/水的分配係數P的常用對數之LogP的計算值。表示材料的CLogP的值越大,越為疏水性的材料。因此,表示上述聚合性化合物Cm為疏水性高的化合物。又,表示包含源自上述聚合性化合物Cm之重複單元之樹脂C1為具有疏水性高的重複單元之樹脂。
此外,本說明書中,CLogP值為,藉由能夠從Daylight Chemical Information System,Inc.獲得之程式“CLOGP”來計算而得之值。該程式提供藉由Hansch,Leo的片段法(fragment approach)(參閱下述文獻)算出之“計算LogP”的值。片段法基於化合物的化學結構,藉由將化學結構分割成部分結構(片段),並將分配於該片段之LogP貢獻率進行合計,從而推算化合物的LogP值。本說明書中,作為片段值,使用了Fragment database ver.23(Biobyte公司)。作為計算軟體,可舉出Bio Loom ver 1.5等。
對構成樹脂C1之聚合性化合物Cm進行說明。聚合性化合物Cm的CLogP值為3.0以上,3.2以上為較佳,3.5以上為更佳,3.8以上為進一步較佳,4.0以上為特佳。上限為10.0以下為較佳,7.0以下為更佳,5.0以下為進一步較佳。若聚合性化合物Cm的CLogP值為3.0以上,則能夠形成耐光性優異之膜。又,若聚合性化合物Cm的CLogP值為上述上限值以下,則顯影液的滲透性良好,能夠不易產生顯影殘渣,從而獲得優異
之微影(lithography)性。
聚合性化合物Cm所具有之聚合性基可舉出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等,(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基為較佳。聚合性化合物Cm所具有之聚合性基的個數為1~3個為較佳,1個或2個為更佳,1個為進一步較佳。
聚合性化合物Cm所具有之環狀結構可舉出脂肪族環、芳香族烴環、雜環。從容易製造耐光性優異之膜這一理由考慮,脂肪族環及芳香族烴環為較佳,脂肪族環為更佳。
構成脂肪族環的環之碳數為5~30為較佳,5~20為更佳,5~15為進一步較佳。脂肪族環為飽和脂肪族環為較佳。脂肪族環可以為單環,亦可以為稠環。又,脂肪族環亦可以具有交聯結構。此外,不具有交聯結構之稠環脂肪族環還稱為脂肪族稠環。又,具有交聯結構之單環脂肪族環還稱為脂肪族交聯環。又,具有交聯結構之稠環脂肪族環還稱為脂肪族交聯稠環。本發明中,從膜的Tg提高且能夠抑制顏料的移動這種理由考慮,脂肪族環為脂肪族交聯稠環為較佳。作為脂肪族環的具體例,可舉出環己烷、蒎烷、莰烷、降蒎烷、降莰烷、雙環辛烷(雙環[2.2.2]辛烷、雙環[3.2.1]辛烷等)、均布雷烷(homobledane)、金剛烷、三環[5.2.1.02,6]癸烷、三環[4.3.1.12,5]十一烷、四環[4.4.0.12,5.17,10]十二烷、全氫-1,4-甲橋-5,8-甲橋萘(perhydro-1,4-methano-5,8-methanonaphthalene)等。
芳香族烴環可以為單環,亦可以為稠環。芳香族烴環為稠環為較佳。稠環的稠合數為2~8為較佳,2~4為更佳。構成芳香族烴環的環之碳數為6~20為較佳,6~15為進一步較佳,6~10為最佳。芳香族烴環為
萘環為較佳。
雜環可以為單環,亦可以為稠環。雜環為稠環為較佳。稠環的稠合數為2~8為較佳,2~4為更佳。構成雜環的環之雜原子的數為1~3為較佳。構成雜環的環之雜原子為氮原子、氧原子或硫原子為較佳。雜環為5員環或6員環為較佳。構成雜環的環之碳原子的數為3~20為較佳,3~18為更佳,3~12為更佳。
聚合性化合物Cm為以式(Cm-100)所表示之化合物為較佳。
(A100)n-L100-(Z100)m……(Cm-100)
式中,Z100表示聚合性基,L100表示單鍵或(n+m)價連結基,A100表示脂肪族環、芳香族烴環或雜環,n表示1以上的整數,m表示1以上的整數,L100為單鍵時n及m為1。
Z100所表示之聚合性基可舉出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等,(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基為較佳。
A100所表示之脂肪族環、芳香族烴環及雜環的詳細範圍與上述之範圍相同。A100為脂肪族環為較佳,飽和脂肪族環為更佳。又,A100為脂肪族交聯稠環為特佳。
L100表示單鍵或(n+m)價連結基。作為(n+m)價連結基,可舉出由1~100個碳原子、0~10個氮原子、0~50個氧原子、1~200個氫原子及0~20個硫原子組成之基。
n表示1以上的整數,m表示1以上的整數。n為1~3為較佳,1或2為更佳,1為進一步較佳。m為1~3為較佳,1或2為更佳,1為進一步較佳。
聚合性化合物Cm為以式(Cm1)~式(Cm4)所表示之化合物為較佳,以式(Cm1)、式(Cm3)或式(Cm4)所表示之化合物為更佳,以式(Cm1)或式(Cm4)所表示之化合物為進一步較佳,以式(Cm4)所表示之化合物為特佳。
上述式中,L1表示單鍵或2價連結基,Z1表示聚合性基。
作為L1所表示之2價連結基,伸烷基可舉出(較佳為碳數1~10的伸烷基)、-NH-、-SO-、-SO2-、-CO-、-O-、-COO-、OCO-、-S-及將它們組合2個以上而得之基團。L1為單鍵或-O-為較佳。
Z1所表示之聚合性基可舉出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等,(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基為較佳,(甲基)丙烯醯基為更佳。
作為聚合性化合物Cm的具體例,可舉出下述化合物。此外,附記於以下結構式之CLogP的數值為相同化合物的CLogP值。
本發明中,樹脂C1中,於樹脂C1的所有重複單元中含有5~
95莫耳%的源自聚合性化合物Cm之重複單元(以下,還稱為重複單元Cm)為較佳。下限為15莫耳%以上為較佳,20莫耳%以上為更佳,23莫耳%以上為進一步較佳,25莫耳%以上為特佳。上限為90莫耳%以下為較佳,85莫耳%以下為更佳。若重複單元Cm的含量為上述範圍,則容易製造耐光性優異之膜。
本發明中,樹脂C1還含有具有酸基之重複單元亦較佳。作為酸基,可舉出羧基、磺基、磷酸基等,羧基或磺基為較佳,羧基為更佳。當樹脂C1還含有具有酸基之重複單元時,能夠較佳地用作鹼可溶性樹脂。又,樹脂C1亦能夠用作分散劑或黏合劑。
當樹脂C1含有具有酸基之重複單元時,於樹脂C1的所有重複單元中,含有5~60莫耳%的具有酸基之重複單元為較佳。下限為10莫耳%以上為較佳,15莫耳%以上為更佳。上限為55莫耳%以下為較佳,50莫耳%以下為更佳,45莫耳%以下為進一步較佳,40莫耳%以下為特佳。若具有酸基之重複單元的含量為上述範圍,則容易製造耐光性優異之膜。而且著色組成物的顯影性亦優異。
樹脂C1的酸值為10~220mgKOH/g為較佳,10~200mgKOH/g為更佳,10~180mgKOH/g為進一步較佳,10~160mgKOH/g為特佳。下限值為20mgKOH/g以上為較佳,30mgKOH/g以上為更佳,40mgKOH/g以上為進一步較佳,50mgKOH/g以上為特佳。若樹脂C1的酸值為上述範圍,則容易製造耐光性優異之膜。而且著色組成物的顯影性亦優異。尤其,當將樹脂C1用作鹼可溶性樹脂時,若樹脂C1的酸值為50~160mgKOH/g,則能夠更加提高著色組成物的顯影性。
本發明中,樹脂C1還含有具有聚合性基之重複單元亦較佳。可舉出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等,(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基為較佳。依該態樣,能夠進一步提高耐光性等。聚合性基可以包含於上述之具有酸基之重複單元中,亦可以包含於與上述之具有酸基之重複單元不同的重複單元中。又,聚合性基於一個重複單元中可以僅具有1個,亦可以具有2個以上。
樹脂C1亦可以具有源自順丁烯二醯亞胺化合物之重複單元。作為順丁烯二醯亞胺化合物,可舉出N烷基順丁烯二醯亞胺、N苯基順丁烯二醯亞胺等。作為源自順丁烯二醯亞胺化合物之重複單元,可舉出以式(C-mi)所表示之重複單元。
式(C-mi)中,Rmi表示烷基或芳基。烷基的碳數為1~20為較佳。烷基亦可以為直鏈、分支、環狀中的任一者。芳基的碳數為6~20為較佳,6~15為更佳,6~10為進一步較佳。Rmi為芳基為較佳。作為以式(C-mi)所表示之重複單元,可舉出以下所示之重複單元。
樹脂C1亦可以含有源自在後述鹼可溶性樹脂一項中說明且以
式(ED1)所表示之化合物之重複單元、或源自以式(X)所表示之化合物之重複單元。
樹脂C1的重量平均分子量為1000~50000為較佳,3000~30000為更佳,3000~25000為進一步較佳。若樹脂C1的重量平均分子量為上述範圍,則容易製造耐光性優異之膜。
作為樹脂C1的具體例,例如,可舉出下述樹脂。附記於主鏈之數值為莫耳比。C-12中,x為10或40,y為30,z為30或60。C-13中,x為20,y為30,z為50。
樹脂C1亦能夠使用市售品。例如可舉出含有源自丙烯酸二環戊酯的重複單元之樹脂之、SPC-1110、SPC-1200、SPC-1210、SPC-1310、SPC-3100、SPC-3400、SPC-3500、SPC-3610、SPC-3700(以上,由SHOWA DENKO K.K.製造)等。丙烯酸二環戊酯的CLogP值為4.3。
本發明的著色組成物中,相對於著色組成物的總固體成分,樹脂C的含量為1~80質量%為較佳。下限為5質量%以上為更佳,10質量%以上為進一步較佳。上限為70質量%以下為更佳,60質量%以下為進一步較佳。
又,於樹脂C的總量中,含有5質量%以上的樹脂C1為較佳,含有10質量%以上的樹脂C1為更佳,含有20質量%以上的樹脂C1為進一步較佳,含有40質量%以上的樹脂C1為進一步較佳,含有50質量%以上的樹脂C1為進一步較佳,含有80質量%以上的樹脂C1為特佳。上限能夠設為100質量%。
<<<分散劑>>>
本發明的著色組成物能夠含有分散劑作為樹脂C。分散劑可舉出酸性
分散劑(酸性樹脂)、鹼性分散劑(鹼性樹脂)。此外,作為分散劑,亦能夠使用上述樹脂C1。
此處,酸性分散劑(酸性樹脂)係表示酸基的量比鹼性基的量多之樹脂。作為酸性分散劑(酸性樹脂),當將酸基的量與鹼性基的量的合計量設為100莫耳%時,酸基的量佔70莫耳%以上之樹脂為較佳,實質上僅包括酸基之樹脂為更佳。酸性分散劑(酸性樹脂)所具有之酸基為羧基為較佳。酸性分散劑(酸性樹脂)的酸值為10~105mgKOH/g為較佳。
又,鹼性分散劑(鹼性樹脂)係表示鹼性基的量比酸基的量多之樹脂。作為鹼性分散劑(鹼性樹脂),當將酸基的量與鹼性基的量的合計量設為100莫耳%時,鹼性基的量超過50莫耳%之樹脂為較佳。鹼性分散劑所具有之鹼性基為胺基為較佳。
作為分散劑,例如可舉出高分子分散劑〔例如,聚醯胺胺(polyamide amine)及其鹽、聚羧酸及其鹽、高分子量不飽和酸酯、改質聚胺基甲酸酯、改質聚酯、改質聚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸系共聚物、萘磺酸福馬林縮合物〕、聚氧乙烯烷基磷酸酯、聚氧乙烯烷基胺、烷醇胺等。
高分子分散劑能夠根據其結構而進一步分類為直鏈狀高分子、末端改質型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子。高分子分散劑以吸附於顏料的表面而防止再凝聚之方式發揮作用。因此,能夠舉出針對顏料表面具有固定部位之末端改質型高分子、接枝型高分子、嵌段型高分子作為較佳結構。又,亦可較佳地使用日本特開2011-070156號公報的段落號0028~0124中記載的分散劑或日本特開2007-277514號公報中記載的分散劑。
該等內容被編入本說明書中。
樹脂(分散劑)亦能夠使用接枝共聚物。接枝共聚物的詳細內容能夠參閱日本特開2012-255128號公報的段落號0025~0094的記載,該內容被編入本說明書中。又,可舉出日本特開2012-255128號公報的段落號0072~0094中記載的樹脂,該內容被編入本說明書中。又,亦能夠使用下述樹脂。
又,作為樹脂(分散劑),亦能夠使用於主鏈及側鏈中的至少一方含有氮原子之寡聚亞胺(oligoimine)系分散劑。作為寡聚亞胺系分散劑,係具有重複單元和側鏈,且於主鏈及側鏈中的至少一方具有鹼性氮原子之樹脂為較佳,前述重複單元包含具有pKa14以下的官能基之部分結構X,前述側鏈包含原子數為40~10,000的側鏈Y。鹼性氮原子只要為呈鹼性之氮原子,則無特別限制。
關於寡聚亞胺系分散劑,能夠參閱日本特開2012-255128號公報的段落號0102~0174的記載,上述內容被編入本說明書中。作為寡聚亞胺系分散劑的具體例,例如能夠舉出日本特開2012-255128號公報的段落號0168~0174中記載的樹脂。
分散劑亦能夠作為市售品而獲得,作為該種具體例,可舉出:BYK Chemie公司製造的“Disper byk-101(聚醯胺胺磷酸鹽)、107(羧酸酯)、110(含有酸基之共聚物)、111(磷酸系分散劑)、130(聚醯胺)、161、
162、163、164、165、166、170(高分子共聚物)”;BYK Chemie公司製造的“BYK-P104、P105(高分子量不飽和聚羧酸)”;EFKA公司製造的“EFKA 4047、4050~4165(聚胺基甲酸酯系)、EFKA 4330~4340(嵌段共聚物)、4400~4402(改質聚丙烯酸酯)、5010(聚酯醯胺)、5765(高分子量聚羧酸鹽)、6220(脂肪酸聚酯)、6745(酞菁衍生物)、6750(偶氮顏料衍生物)”;Ajinomoto Fine-Techno Co.,Inc.製造的“AJISPER PB821、PB822、PB880、PB881”;Kyoeisha Chemical Co.,Ltd.製造的“FLOWLEN TG-710(胺基甲酸酯寡聚物)、POLYFLOW No.50E、No.300(丙烯酸系共聚物)”;Kusumoto Chemicals,Ltd.製造的“DISPARLON KS-860、873SN、874、#2150(脂肪族多價羧酸)、#7004(聚醚酯)、DA-703-50、DA-705、DA-725、DA-7301”;Kao Corporation製造的“DEMOL RN、N(萘磺酸福馬林縮聚物)、MS、C、SN-B(芳香族磺酸福馬林縮聚物)”;Kao Corporation製造的“HOMOGENOL L-18(高分子聚羧酸)”;Kao Corporation製造的“EMULGEN 920、930、935、985(聚氧乙烯壬基苯基醚)”;Kao Corporation製造的“ACETAMIN 86(硬脂基胺乙酸酯)”;Lubrizol Japan Ltd.製造的“SOLSPERSE 5000(酞菁衍生物)、22000(偶氮顏料衍生物)、13240(聚酯胺)、3000、12000、17000、20000、27000(於末端部具有功能部之高分子)、24000、28000、32000、38500(接枝型高分子)”;Nikko Chemicals Co.,Ltd.製造的“NIKKOL T106(聚氧乙烯山梨糖醇酐單油酸酯)、MYS-IEX(聚氧乙烯單硬脂酸酯)”;Kawaken Fine Chemicals Co.,Ltd.製造的“HINOACT T-8000E”;Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.製造的“有機矽氧烷聚合物KP341”;MORISHITA&CO.,LTD.製造的“EFKA-46、EFKA-47、EFKA-47EA、EFKA
聚合物100、EFKA聚合物400、EFKA聚合物401、EFKA聚合物450”;SAN NOPCO LIMITED製造的“DISPERSE AID 6、DISPERSE AID 8、DISPERSE AID 15、DISPERSE AID 9100”;ADEKA CORPORATION製造的“ADEKA PLURONIC L31、F38、L42、L44、L61、L64、F68、L72、P95、F77、P84、F87、P94、L101、P103、F108、L121、P-123”;及SANYO KASEI Co.Ltd.製造的“IONET S-20”等。
相對於顏料100質量份,分散劑的含量為1~200質量份為較佳。下限為5質量份以上為較佳,10質量份以上為更佳。上限為150質量份以下為較佳,100質量份以下為更佳。
<<<鹼可溶性樹脂>>>
本發明的著色組成物能夠含有鹼可溶性樹脂作為樹脂C。藉由含有鹼可溶性樹脂,提高顯影性和圖案形成性。此外,作為鹼可溶性樹脂,亦能夠使用上述樹脂C1。
鹼可溶性樹脂能夠從具有促進鹼溶解之基團之樹脂中適當選擇。作為促進鹼溶解之基團(以下,還稱為酸基),例如可舉出羧基、磷酸基、磺基、酚性羥基等,羧基為較佳。鹼可溶性樹脂所具有之酸基的種類可以僅為1種,亦可以為2種以上。
鹼可溶性樹脂的重量平均分子量(Mw)為5000~100,000為較佳。又,鹼可溶性樹脂的數量平均分子量(Mn)為1000~20,000為較佳。
作為鹼可溶性樹脂,從耐熱性的觀點考慮,聚羥基苯乙烯系樹脂、聚矽氧烷系樹脂、丙烯酸系樹脂、丙烯酸醯胺系樹脂、丙烯酸/丙烯酸醯胺共聚物樹脂為較佳。又,從顯影性控制的觀點考慮,丙烯酸系樹脂、
丙烯酸醯胺系樹脂、丙烯酸/丙烯酸醯胺共聚物樹脂為較佳。
鹼可溶性樹脂為於側鏈具有羧基之聚合物為較佳。例如可舉出:甲基丙烯酸、丙烯酸、伊康酸、巴豆酸、順丁烯二酸、(甲基)丙烯酸2-羧乙酯、乙烯基苯甲酸、部分酯化之順丁烯二酸等具有源自單體之重複單元之共聚物;酚醛清漆型樹脂等鹼可溶性酚醛樹脂;於側鏈具有羧基之酸性纖維素衍生物;於具有羥基之聚合物上加成酸酐而成之聚合物。尤其,(甲基)丙烯酸和可與其共聚合之其他單體的共聚物適宜作為鹼可溶性樹脂。作為可與(甲基)丙烯酸共聚合之其他單體,可舉出(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、乙烯基化合物等。作為(甲基)丙烯酸烷基酯及(甲基)丙烯酸芳基酯,可舉出(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸戊酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸辛酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯、(甲基)丙烯酸甲苯酯、(甲基)丙烯酸萘酯、(甲基)丙烯酸環己酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、甲基丙烯酸四氫糠酯等。作為乙烯基化合物,可舉出苯乙烯、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、丙烯腈、乙酸乙烯酯、N-乙烯吡咯啶酮、聚苯乙烯巨單體、聚甲基丙烯酸甲酯巨單體等。又,作為上述其他單體,可舉出N-苯基順丁烯二醯亞胺、N-環己基順丁烯二醯亞胺等、日本特開平10-300922號公報中記載的N位取代順丁烯二醯亞胺單體。該等可與(甲基)丙烯酸共聚合之其他單體可以僅為1種,亦可以為2種以上。
作為鹼可溶性樹脂,能夠較佳地使用包括(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸共聚物、(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸/(甲基)丙
烯酸2-羥基乙酯共聚物、(甲基)丙烯酸苄酯/(甲基)丙烯酸/其他單體之多元共聚物。又,亦能夠較佳地使用(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯與其他單體共聚合而成之共聚物、日本特開平7-140654號公報中記載的(甲基)丙烯酸2-羥基丙酯/聚苯乙烯巨單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物、丙烯酸2-羥基-3-苯氧基丙酯/聚甲基丙烯酸甲酯巨單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯巨單體/甲基丙烯酸甲酯/甲基丙烯酸共聚物、甲基丙烯酸2-羥基乙酯/聚苯乙烯巨單體/甲基丙烯酸苄酯/甲基丙烯酸共聚物等。又,作為市售品,例如亦能夠使用FF-426(FUJIKURA KASEI CO.,LTD.製造)等。
鹼可溶性樹脂亦能夠使用具有聚合性基之鹼可溶性樹脂。作為聚合性基,可舉出(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等。具有聚合性基之鹼可溶性樹脂,係於側鏈具有聚合性基之鹼可溶性樹脂等是有用的。作為具有聚合性基之鹼可溶性樹脂的市售品,可舉出DIANAL NR系列(MITSUBISHI RAYON CO.,LTD.製造)、Photomer 6173(含有羧基之聚胺基甲酸酯丙烯酸酯寡聚物,由Diamond Shamrock Co.,Ltd.製造)、VISCOAT R-264、KS RESIST 106(均由OSAKA ORGANIC CHEMICAL INDUSTRY LTD.製造)、CYCLOMER P系列(例如,ACA230AA)、PLACCEL CF200系列(均由Daicel Corporation製造)、Ebecry 13800(DAICEL UCB CO.,LTD.製造)、ACRYCURE RD-F8(NIPPON SHOKUBAI CO.,LTD.製造)、DP-1305(FUJIFILM Finechemicals Co.,Ltd.製造)等。
鹼可溶性樹脂包含將如下單體成分聚合而成之聚合物亦較佳,前述單體成分含有選自以下述式(ED1)所表示之化合物及日本特開
2010-168539號公報的以式(1)所表示之化合物中之至少一種化合物(以下,有時還將該等化合物稱為“醚二聚物”。)。
式(ED1)中,R1及R2分別獨立地表示可具有氫原子或取代基之碳數1~25的烴基。
作為醚二聚物的具體例,例如能夠參閱日本特開2013-29760號公報的段落號0317,該內容被編入本說明書中。醚二聚物可以僅為1種,亦可以為2種以上。
作為將含有醚二聚物之單體成分聚合而成之聚合物,例如可舉出下述結構的聚合物。
鹼可溶性樹脂亦可含有源自以下述式(X)所表示之化合物之重複單元。
式(X)中,R1表示氫原子或甲基,R2表示碳數2~10的伸烷基,R3表示可含有氫原子或苯環之碳數1~20的烷基。n表示1~15的整數。
上述式(X)中,R2的伸烷基的碳數為2~3為較佳。又,R3的烷基的碳數為1~10為較佳。R3的烷基亦可含有苯環。作為含有以R3所表示之苯環之烷基,能夠舉出苄基、2-苯基(異)丙基等。
鹼可溶性樹脂能夠參閱日本特開2012-208494號公報的段落號0558~0571(所對應之美國專利申請公開第2012/0235099號說明書的段落號0685~0700)的記載,該內容被編入本說明書中。又,亦能夠使用日本特開2012-32767號公報的段落號0029~0063中記載的共聚物(B)及實施例中所使用之鹼可溶性樹脂、日本特開2012-208474號公報的段落號0088~0098中記載的黏合劑樹脂及實施例中所使用之黏合劑樹脂、日本特開2012-137531號公報的段落號0022~0032中記載的黏合劑樹脂及實施例中所使用之黏合劑樹脂、日本特開2013-024934號公報的段落號0132~0143中記載的黏合劑樹脂及實施例中所使用之黏合劑樹脂、日本特開2011-242752號公報的段落號0092~0098及實施例中所使用之黏合劑樹脂、日本特開2012-032770號公報的段落號0030~0072中記載的黏合劑樹脂。該等內容被編入本說明書中。
鹼可溶性樹脂的酸值為30~500mgKOH/g為較佳。下限為50mgKOH/g以上為更佳,70mgKOH/g以上為進一步較佳。上限為400mgKOH/g以下為更佳,200mgKOH/g以下為進一步較佳,150mgKOH/g以下為進一步較佳,120mgKOH/g以下為特佳。
相對於著色組成物的總固體成分,鹼可溶性樹脂的含量為1~80質量%為較佳。下限為2質量%以上為更佳,3質量%以上為進一步較佳。上限為70質量%以下為更佳,60質量%以下為進一步較佳。本發明的著色組成物可以僅含有1種鹼可溶性樹脂,亦可以含有2種以上。當含有2種以上時,其合計成為上述範圍為較佳。
<<硬化性化合物D>>
本發明的著色組成物含有硬化性化合物D。作為硬化性化合物D,能夠使用可藉由自由基、酸、熱而交聯之公知的化合物。
本發明中,硬化性化合物D例如可舉出聚合性化合物、具有環氧基之化合物等。作為聚合性化合物,可舉出乙烯基、(甲基)烯丙基、(甲基)丙烯醯基等具有乙烯性不飽和鍵基之化合物。聚合性化合物為自由基聚合性化合物為更佳。又,硬化性化合物D包含具有環氧基之化合物亦較佳。
本發明的著色組成物中,相對於著色組成物的總固體成分,硬化性化合物D的含量為0.1~50質量%為較佳。下限例如為0.5質量%以上為更佳,1質量%以上為進一步較佳。上限例如為45質量%以下為更佳,40質量%以下為進一步較佳。硬化性化合物可以單獨使用1種,亦可以併用2種以上。當併用2種以上時,合計量成為上述範圍為較佳。
(聚合性化合物)
聚合性化合物可以為單體、預聚合物、寡聚物等化學形態中的任一種,但單體為較佳。聚合性化合物的分子量為100~3000為較佳。上限為2000以下為更佳,1500以下為進一步較佳。下限為150以上為更佳,250以上為進一步較佳。
聚合性化合物為3~15官能的(甲基)丙烯酸酯化合物為較佳,3~6官能的(甲基)丙烯酸酯化合物為更佳。作為該等之具體的化合物,可舉出日本特開2009-288705號公報的段落號0095~0108、日本特開2013-29760號公報的0227段、日本特開2008-292970號公報的段落號0254~0257中記載的化合物,該等內容被編入本說明書中。
聚合性化合物為,二新戊四醇三丙烯酸酯(市售品為KAYARAD D-330;由Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造)、二新戊四醇四丙烯酸酯(市售品為KAYARAD D-320;由Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造)、二新戊四醇五(甲基)丙烯酸酯(市售品為KAYARAD D-310;由Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造)、二新戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(市售品為KAYARAD DPHA;由Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造,A-DPH-12E;由Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.製造)、及該等之(甲基)丙烯醯基經由乙二醇及/或丙二醇殘基而鍵結之結構(例如,由Sartomer公司市售之、SR454、SR499)為較佳。亦能夠使用該等的寡聚物型。
又,作為聚合性化合物,使用三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷氧化丙烯改質三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷氧化乙烯改質三(甲基)丙烯酸酯、異三聚氰酸氧化乙烯改質三(甲基)丙烯酸酯、新戊四醇三(甲基)丙烯酸酯等3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物亦較佳。
作為3官能的(甲基)丙烯酸酯化合物的市售品,可舉出ARONIX M-309、M-310、M-321、M-350、M-360、M-313、M-315、M-306、M-305、M-303、M-452、M-450(TOAGOSEI CO.,LTD.製造)、NK Ester A9300、A-GLY-9E、A-GLY-20E、A-TMM-3、A-TMM-3L、A-TMM-3LM-N、A-TMPT、TMPT、A-TMMT(Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.製造)、KAYARAD GPO-303、TMPTA、THE-330、TPA-330、PET-30(Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造)等。
作為聚合性化合物,亦能夠使用具有酸基之聚合性化合物。藉由使用具有酸基之聚合性化合物,在顯影時容易去除未曝光部的聚合性化合物,從而能夠抑制顯影殘渣的產生。作為酸基,可舉出羧基、磺基、磷酸基等,羧基為較佳。作為具有酸基之聚合性化合物的市售品,可舉出ARONIX M-510、M-520(TOAGOSEI CO.,LTD.製造)等。
作為具有酸基之聚合性化合物的較佳的酸值,為0.1~40mgKOH/g,更佳為5~30mgKOH/g。若聚合性化合物的酸值為0.1mgKOH/g以上,則針對顯影液之溶解性良好,若為40mgKOH/g以下,則係在製造和處理上有利。進而硬化性優異。
作為聚合性化合物,亦能夠使用具有己內酯結構之聚合性化合物。又,作為聚合性化合物,亦能夠使用具有伸烷氧基之聚合性化合物。具有伸烷氧基之聚合性化合物為具有氧化乙烯及/或氧化丙烯之聚合性化合物為較佳,具有氧化乙烯之聚合性化合物為更佳,具有4~20個氧化乙烯之3~6官能(甲基)丙烯酸酯化合物為進一步較佳。作為具有伸烷氧基之聚合性化合物的市售品,例如可舉出Sartomer公司製造的具有4個氧化乙烯之4官能(甲基)丙烯酸酯之SR-494、具有3個氧化異丁烯之3官能(甲
基)丙烯酸酯之KAYARAD TPA-330等。
作為聚合性化合物,日本特公昭48-41708號公報、日本特開昭51-37193號公報、日本特公平2-32293號公報、日本特公平2-16765號公報中所記載之胺基甲酸酯丙烯酸酯類、或日本特公昭58-49860號公報、日本特公昭56-17654號公報、日本特公昭62-39417號公報、日本特公昭62-39418號公報中所記載之具有環氧乙烷系骨架之胺基甲酸酯化合物類亦適宜。又,使用日本特開昭63-277653號公報、日本特開昭63-260909號公報、日本特開平1-105238號公報中所記載之、於分子內具有胺基結構和硫化物結構之加成聚合性化合物類亦較佳。
作為市售品,可舉出胺基甲酸酯寡聚物UAS-10、UAB-140(Sanyo-Kokusaku Pulp Co.,Ltd.製造)、UA-7200(Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.製造)、DPHA-40H(Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造)、UA-306H、UA-306T、UA-306I、AH-600、T-600、AI-600(Kyoeisha Chemical Co.,Ltd.製造)等。
本發明中,作為聚合性化合物,亦能夠使用CLogP值為4.0以上的聚合性化合物(以下,還稱為聚合性化合物D1)。依該態樣,容易製造耐光性更優異之膜。
聚合性化合物D1為具有環狀結構之化合物為較佳。其中,從能夠更加提高所得之膜的耐光性這一理由考慮,具有芳香族環之化合物為更佳,具有芳香族烴環之化合物為進一步較佳。又,芳香族烴環為稠環為較佳,茀環為更佳。聚合性化合物D1為具有茀環之化合物為特佳。
聚合性化合物D1的CLogP值為4.0~15.0為較佳。下限值為
4.5以上為較佳,5.0以上為更佳,5.5以上為進一步較佳,6.0以上為特佳,6.5以上為最佳。上限值為13.0以下為較佳,12.0以下為更佳。若聚合性化合物D1的CLogP值為上述範圍,則容易製造耐光性優異之膜。又,若聚合性化合物D1的CLogP值為上述上限值以下,則顯影液的滲透性良好,能夠不易產生顯影殘渣,從而獲得優異之微影性。
聚合性化合物D1的羥值為400mgKOH/g以下為較佳,300mgKOH/g以下為更佳,200mgKOH/g以下為進一步較佳。若聚合性化合物D1的羥值為上述範圍,則容易製造耐光性優異之膜。此外,羥值係指,當將1g試樣乙醯化時,表示中和與羥基鍵結之乙酸所需之氫氧化鉀的質量(mg)之值。
聚合性化合物D1為含有伸烷氧基之化合物為較佳,具有包含2個以上以伸烷氧基作為重複單元之基團(以下,還稱為伸烷氧基鏈)之化合物為更佳。藉由聚合性化合物D1具有伸烷氧基(較佳為伸烷氧基鏈),容易獲得良好的微影性。作為獲得該種效果之理由,認為是由於伸烷氧基鏈與顯影液發生氫鍵結,從而使顯影液的滲透性變得良好。伸烷氧基的碳數為2以上為較佳,2~10為更佳,2~4為進一步較佳,2或3為特佳。伸烷氧基亦可以為直鏈、分支中的任一者。伸烷氧基鏈中的伸烷氧基的重複單元數為2~30為較佳。下限為3以上為較佳,5以上為更佳。上限為25以下為較佳,20以下為進一步較佳。
聚合性化合物的總質量中的聚合性化合物D1的含量為10質量%以上為較佳,30質量%以上為更佳,50質量%以上為進一步較佳,70質量%以上為特佳,75質量%以上為最佳。上限例如能夠設為100質量%。聚
合性化合物亦可以為僅由聚合性化合物D1構成之態樣。
作為聚合性化合物D1的具體例,例如可舉出下述化合物。附記於以下結構式之CLogP的數值為相同化合物的CLogP值。又,聚合性化合物D1亦能夠使用市售品。作為市售品,可舉出KAYARAD DPCA-20(Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造,CLogP值=5.4)、NK Oligo EA-1020(Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.製造,CLogP值=4.2)、NK Ester A-BPEF(Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.製造,具有茀環之聚合性化合物,CLogP值=8.0)等。
相對於著色組成物的總固體成分,聚合性化合物的含量為0.1~50質量%為較佳。下限例如為0.5質量%以上為更佳,1質量%以上為進一步較佳。上限例如為45質量%以下為更佳,40質量%以下為進一步較佳。聚合性化合物可以單獨使用1種,亦可以併用2種以上。當併用2種以上時,合計量成為上述範圍為較佳。
(具有環氧基之化合物)
本發明的著色組成物亦可以含有具有環氧基之化合物。當本發明的著色組成物為具有環氧基之化合物時,能夠提高膜的機械強度等。作為具有環氧基之化合物,於1個分子內具有2個以上環氧基之化合物為較佳。環氧基於1個分子內具有2~100個為較佳。上限例如能夠設為10個以下,亦能夠設為5個以下。
本發明中,具有環氧基之化合物係具有芳香族環及/或脂肪族環之結構為較佳,具有脂肪族環之結構為進一步較佳。環氧基係單鍵或者經由連結基而與芳香族環及/或脂肪族環鍵結為較佳。作為連結基,可舉出伸烷基、伸芳基、-NR’-(R’表示既可具有氫原子、取代基亦可具有烷基或取代基之芳基,氫原子為較佳)、-SO2-、-CO-、-COO-、-OCO-、-O-、-S-及組合該等而成之基團。
當為具有脂肪族環之化合物時,環氧基為與脂肪族環直接鍵結(單鍵)而成之化合物為較佳。當為具有芳香族環之化合物時,環氧基為經由連結基與芳香族環鍵結而成之化合物為較佳。連結基為伸烷基或者包括伸烷基與-O-的組合之基團為較佳。
又,具有環氧基之化合物亦能夠使用具有以烴基連結有2個以上的芳香族環之結構之化合物。烴基為碳數1~6的伸烷基為較佳。環氧基經由上述連結基而連結為較佳。
具有環氧基之化合物係環氧當量(=具有環氧基之化合物的分子量/環氧基的個數)為500g/eq以下為較佳,100~400g/eq為更佳,100~300g/eq為進一步較佳。
具有環氧基之化合物可以為低分子化合物(例如,分子量小於1000),亦可以為高分子化合物(macromolecule)(例如,分子量為1000以上,當為聚合物時,重量平均分子量為1000以上)中的任一者。具有環氧基之化合物的分子量(當為聚合物時,為重量平均分子量)為200~100000為較佳,500~50000為更佳。分子量(當為聚合物時,為重量平均分子量)的上限為3000以下為較佳,2000以下為更佳,1500以下為進一步較佳。
具有環氧基之化合物亦能夠使用日本特開2013-011869號公報的段落號0034~0036、日本特開2014-043556號公報的段落號0147~0156、日本特開2014-089408號公報的段落號0085~0092中所記載之化合物。該等內容被編入本說明書中。作為市售品,例如,作為雙酚A型環氧樹脂,為jER825、jER827、jER828、jER834、jER1001、jER1002、jER1003、jER1055、jER1007、jER1009、jER1010(以上,由Mitsubishi Chemical Corporation製造)、EPICLON860、EPICLON1050、EPICLON1051、EPICLON1055(以上,由DIC Corporation製造)等,作為雙酚F型環氧樹脂,為jER806、jER807、jER4004、jER4005、jER4007、jER4010(以上,由Mitsubishi Chemical Corporation製造)、EPICLON830、EPICLON835(以上,由DIC Corporation製造)、LCE-21、RE-602S(以上,由Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造)等,作為苯酚酚醛清漆型環氧樹脂,為jER152、jER154、jER157S70、jER157S65(以上,由Mitsubishi Chemical Corporation製造)、EPICLON N-740、EPICLON N-770、EPICLON N-775(以上,由DIC Corporation製造)等,作為甲酚酚醛清漆型環氧樹脂,為EPICLON N-660、EPICLON N-665、EPICION N-670、EPICLON N-673、EPICLON N-680、EPICLON N-690、
EPICLON N-695(以上,由DIC Corporation製造)、EOCN-1020(Nippon Kayaku Co.,Ltd.製造)等,作為脂肪族環氧樹脂,為ADEKA RESIN EP-4080S、ADEKA RESIN EP-4085S、ADEKA RESIN EP-4088S(以上,由ADEKA CORPORATION製造)、CELLOXIDE 2021P、CELLOXIDE 2081、CELLOXIDE 2083、CELLOXIDE 2085、EHPE3150、EPOLEAD PB 3600、EPOLEAD PB 4700(以上,由Daicel Corporation製造)、DENACOL EX-212L、EX-214L、EX-216L、EX-321L、EX-850L(以上,由Nagase ChemteX Corporation製造)等。除此以外,還可舉出ADEKA RESIN EP-4000S、ADEKA RESIN EP-4003S、ADEKA RESIN EP-4010S、ADEKA RESIN EP-4011S(以上,由ADEKA CORPORATION製造)、NC-2000、NC-3000、NC-7300、XD-1000、EPPN-501、EPPN-502(以上,由ADEKA CORPORATION製造)、jER1031S(Mitsubishi Chemical Corporation製造)等。
當本發明的著色組成物含有具有環氧基之化合物時,相對於著色組成物的總固體成分,具有環氧基之化合物的含量為0.1~40質量%為較佳。下限例如為0.5質量%以上為更佳,1質量%以上為進一步較佳。上限例如為30質量%以下為更佳,20質量%以下為進一步較佳。具有環氧基之化合物可以單獨使用1種,亦可以併用2種以上。當併用2種以上時,合計量成為上述範圍為較佳。
又,聚合性化合物與具有環氧基之化合物的質量比為,聚合性化合物D的質量:具有環氧基之化合物的質量=100:1~100:400為較佳,100:1~100:100為更佳,100:1~100:50為進一步較佳。
<<鄰苯二甲醯亞胺化合物>>
本發明的著色組成物亦可以含有鄰苯二甲醯亞胺化合物。藉由含有鄰苯二甲醯亞胺化合物,能夠抑制針狀結晶的產生等。
鄰苯二甲醯亞胺化合物為以下述通式(PI)所表示之化合物為較佳。
式(PI)中,A1~A4分別獨立地表示氫原子、鹵素原子或烷基。
作為鹵素原子,可舉出氯原子、溴原子、氟原子,氯原子或氟原子為較佳。
烷基的碳數為1~10為較佳,1~5為更佳。烷基可以為直鏈、分支、環狀中的任一者,直鏈或分支為較佳,直鏈為更佳。
A1~A4中的至少一個係選自氯原子及溴原子為較佳,為溴原子為更佳。又,A1~A4全部選自氯原子及溴原子為更佳,A1~A4全部為溴原子為更佳。
當本發明的著色組成物含有鄰苯二甲醯亞胺化合物時,相對於著色組成物中的總固體成分,鄰苯二甲醯亞胺化合物的含量為0.01~5質量%為較佳,0.1~4質量%為更佳,0.5~3.5質量%為進一步較佳。
又,相對於鹵化鋅酞菁顏料A的100質量份,含有0.1~10質量份鄰苯二甲醯亞胺化合物為較佳,含有1~5質量份為更佳。
鄰苯二甲醯亞胺化合物可以為1種,亦可以為2種以上。當含有2種以上時,合計成為上述範圍為較佳。
<<溶劑>>
本發明的著色組成物係含有溶劑為較佳。溶劑為有機溶劑為較佳。溶劑只要滿足各成分的溶解性和著色組成物的塗佈性,則並無特別限制。
作為有機溶劑的一例,例如可舉出以下有機溶劑。作為酯類,例如可舉出乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸異丁酯、乙酸環己酯、甲酸戊酯、乙酸異戊酯、丙酸丁酯、丁酸異丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、烷氧基乙酸烷基酯(例如,烷氧基乙酸甲酯、烷氧基乙酸乙酯、烷氧基乙酸丁酯(例如,甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯等))、3-烷氧基丙酸烷基酯類(例如,3-烷氧基丙酸甲酯、3-烷氧基丙酸乙酯等(例如,3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯等))、2-烷氧基丙酸烷基酯類(例如,2-烷氧基丙酸甲酯、2-烷氧基丙酸乙酯、2-烷氧基丙酸丙酯等(例如,2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯))、2-烷氧基-2-甲基丙酸甲酯及2-烷氧基-2-甲基丙酸乙酯(例如,2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯等)、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙醯乙酸甲酯、乙醯乙酸乙酯、2-氧丁酸甲基、2-氧丁酸乙酯等。作為醚類,例如可舉出二乙二醇二甲醚、四氫呋喃、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇單丁醚、二乙二醇單乙醚乙酸酯(乙基卡必醇乙酸酯)、二乙二醇單丁醚乙酸酯(丁基卡必醇乙酸酯)、丙二醇單甲醚、丙二醇單甲醚乙酸酯、丙二醇單乙醚乙酸酯、丙二醇單丙醚乙酸酯等。作為酮類,例如可舉出甲基乙基酮、環己酮、環戊酮、2-庚酮、3-庚酮等。作為芳香族烴類,例如可適宜地
舉出甲苯、二甲苯等。其中,由於環境方面等理由,作為溶劑之芳香族烴類(苯、甲苯、二甲苯、乙基苯等)有時減少為較佳(例如,相對於有機溶劑總量,能夠設為50質量ppm(百萬分之一(parts per million))以下、10質量ppm以下或1質量ppm以下)。
有機溶劑可以單獨使用1種,亦可以組合使用2種以上。當組合使用2種以上有機溶劑時,特佳為,由選自上述3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙基溶纖劑乙酸酯、乳酸乙基、二乙二醇二甲醚、乙酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、2-庚酮、環己酮、二乙二醇單乙醚乙酸酯(乙基卡必醇乙酸酯)、二乙二醇單丁醚乙酸酯(丁基卡必醇乙酸酯)、丙二醇甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯之2種以上構成之混合溶液。
本發明中,有機溶劑的過氧化物的含有率為0.8mmol/L以下為較佳,實質上不含有過氧化物為更佳。又,使用金屬含量少之有機溶劑為較佳,例如,有機溶劑的金屬含量為10質量ppb(十億分之一(parts per billion))以下為較佳。亦可依需要而使用有機溶劑的金屬含量為質量ppt(一兆分之一(parts per trillion))水準者,該種高純度溶劑例如由Toyo Gosei Co.,Ltd.提供(化學工業日報,2015年11月13日)。
溶劑的含量為著色組成物的總固體成分成為5~80質量%之量為較佳。下限為著色組成物的總固體成分成為10質量%以上之量為較佳。上限為著色組成物的總固體成分成為60質量%以下之量為較佳,50質量%以下為更佳,40質量%以下為進一步較佳。
<<光聚合起始劑>>
本發明的著色組成物含有光聚合起始劑為較佳。作為光聚合起始劑,
只要具有使聚合性化合物開始聚合之能力,則並無特別限制,能夠從公知的光聚合起始劑中適當選擇。例如,係對紫外線區域至可見區域的光線具有感光性之化合物為較佳。又,亦可以為與經光激發之增感劑產生某種作用而生成活性自由基之化合物。
作為光聚合起始劑,例如可舉出鹵化烴衍生物(例如,具有三嗪骨架之化合物、具有噁二唑骨架之化合物等)、醯基氧化膦等醯基膦化合物、六芳基雙咪唑、肟衍生物等肟化合物、有機過氧化物、硫化合物、酮化合物、芳香族鎓鹽、酮肟醚、胺基苯乙酮化合物、羥基苯乙酮化合物等。又,從曝光靈敏度的觀點考慮,選自包括三鹵甲基三嗪化合物、苄基二甲基縮酮化合物、α-羥基酮化合物、α-胺基酮化合物、醯基膦化合物、氧化膦化合物、茂金屬化合物、肟化合物、三烯丙基咪唑二聚物、鎓化合物、苯并噻唑化合物、二苯甲酮化合物、羥基苯乙酮化合物、胺基苯乙酮化合物、環戊二烯-苯-鐵錯合物及其鹽、鹵甲基噁二唑化合物、3-芳基取代香豆素化合物之組中之化合物為較佳。作為光聚合起始劑的具體例,例如能夠參閱日本特開2013-29760號公報的段落號0265~0268的記載,該內容被編入本說明書中。
光聚合起始劑亦能夠適宜地使用羥基苯乙酮化合物、胺基苯乙酮化合物及醯基膦化合物。例如,亦能夠使用日本特開平10-291969號公報中記載的胺基苯乙酮化合物、日本專利第4225898號公報中記載的醯基膦化合物。作為羥基苯乙酮化合物,能夠使用IRGACURE-184、DAROCUR-1173、IRGACURE-500、IRGACURE-2959、IRGACURE-127(商品名:均由BASF公司製造)。作為胺基苯乙酮化合物,能夠使用作為市售
品之IRGACURE-907、IRGACURE-369及IRGACURE-379(商品名:均由BASF公司製造)。作為胺基苯乙酮化合物,亦能夠使用吸收波長與365nm或405nm等的光源匹配之日本特開2009-191179號公報中記載的化合物。又,作為醯基膦化合物,能夠使用作為市售品之IRGACURE-819、DAROCUR-TPO(商品名:均由BASF公司製造)。
作為光聚合起始劑,可更佳地舉出肟化合物。當將本發明的著色組成物用於製作彩色濾光片時,需要以尖銳的形狀形成微細的圖案,因此硬化性以及在未曝光部不留殘渣地進行顯影是重要的。從該種觀點考慮,作為光聚合起始劑,使用肟化合物為較佳。
作為肟化合物,例如能夠使用日本特開2001-233842號公報中記載的化合物、日本特開2000-80068號公報中記載的化合物、日本特開2006-342166號公報中記載的化合物。作為肟化合物的具體例,例如可舉出3-苯甲醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-乙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、3-丙醯氧基亞胺基丁烷-2-酮、2-乙醯氧基亞胺基戊烷-3-酮、2-乙醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、2-苯甲醯氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮、3-(4-甲苯磺醯氧基)亞胺基丁烷-2-酮及2-乙氧基羰氧基亞胺基-1-苯基丙烷-1-酮等。
作為肟化合物,亦能夠使用J.C.S.Perkin II(1979年)pp.1653-1660、J.C.S.Perkin II(1979年)pp.156-162、Journal of Photopolymer Science and Technology(1995年,pp.202-232)、日本特開2000-66385號公報、日本特開2000-80068號公報、日本特表2004-534797號公報、日本特開2006-342166號公報中所記載之化合物等。市售品中,可適宜地使用IRGACURE-OXE01、IRGACURE-OXE02、IRGACURE-OXE03、IRGACURE-OXE04(以上,由
BASF公司製造)。又,能夠使用TRONLY TR-PBG-304、TRONLY TR-PBG-309、TRONLY TR-PBG-305(常州強力電子新材料股份有限公司(CHANGZHOU TRONLY NEW ELECTRONIC MATERIALS CO.,LTD)製造)、ADEKA ARKLS NCI-930、ADEKA OPTOMER N-1919(日本特開2012-14052號公報的光聚合起始劑2)(以上,由ADEKA CORPORATION製造)。
又,作為上述以外的肟化合物,亦可使用於咔唑環的N位上連結有肟之日本特表2009-519904號公報中記載的化合物、於二苯甲酮部位導入有雜取代基之美國專利第7626957號公報中記載的化合物、於色素部位導入有硝基之日本特開2010-15025號公報及美國專利公開2009-292039號中記載的化合物、國際公開WO2009/131189號公報中記載的酮肟化合物、於同一分子內含有三嗪骨架和肟骨架之美國專利7556910號公報中記載的化合物、於405nm下具有極大吸收且對g射線光源具有良好的靈敏度之日本特開2009-221114號公報中記載的化合物等。較佳為,例如能夠參閱日本特開2013-29760號公報的段落號0274~0306,該內容被編入本說明書中。
作為肟化合物,以下述式(OX-1)所表示之化合物為較佳。此外,以式(OX-1)所表示之化合物可以為肟的N-O鍵為(E)體的肟化合物,亦可以為(Z)體的肟化合物,亦可以為(E)體與(Z)體的混合物。
通式(OX-1)中,R及B各自獨立地表示一價取代基,A表示
二價有機基,Ar表示芳基。
通式(OX-1)中,作為R所表示之一價取代基,為一價非金屬原子團為較佳。作為一價非金屬原子團,可舉出烷基、芳基、醯基、烷氧基羰基、芳氧基羰基、雜環基、烷硫基羰基、芳硫基羰基等。又,該等基團亦可以具有1個以上的取代基。又,前述取代基還可以被其他取代基取代。作為取代基,可舉出鹵素原子、芳氧基、烷氧基羰基或芳氧基羰基、醯氧基、醯基、烷基、芳基等。
通式(OX-1)中,作為B所表示之一價取代基,為芳基、雜環基、芳基羰基或雜環羰基為較佳。該等基團亦可以具有1個以上的取代基。作為取代基,能夠例示前述取代基。
通式(OX-1)中,作為A所表示之二價有機基,為碳數1~12的伸烷基、伸炔基為較佳。該等基團亦可以具有1個以上的取代基。作為取代基,能夠例示前述取代基。
本發明中,作為光聚合起始劑,亦能夠使用具有茀環之肟化合物。作為具有茀環之肟化合物的具體例,可舉出日本特開2014-137466號公報中記載的化合物。該內容被編入本說明書中。
本發明中,作為光聚合起始劑,亦能夠使用具有苯并呋喃骨架之肟化合物。作為具體例,可舉出國際公開WO2015/036910號公報中記載的化合物OE-01~OE-75。
本發明中,作為光聚合起始劑,亦能夠使用具有氟原子之肟化合物。含有氟原子之肟化合物為以式(1)所表示之化合物為較佳。
式(1)中,Ar1及Ar2分別獨立地表示可具有取代基之芳香族烴環,R1~R3分別獨立地表示烷基或芳基,其中,R1~R3、Ar1及Ar2中的至少一個具有氟原子或含有氟原子之基團。
Ar1及Ar2所表示之芳香族烴環可以為單環,亦可以為稠環。構成芳香族烴環的環之碳數為6~20為較佳,6~15為更佳,6~10為特佳。芳香族烴環為苯環及萘環為較佳。其中,Ar1及Ar2中的至少一者為苯環且另一者為萘環為較佳。又,Ar1為苯環為更佳。Ar2為苯環或萘環為較佳,萘環為更佳。
作為Ar1及Ar2所表示之芳香族烴環可具有之取代基,可舉出烷基、芳基、雜環基、硝基、氰基、鹵素原子、-ORX1、-SRX1、-CORX1、-COORX1、-OCORX1、-NRX1RX2、-NHCORX1、-CONRX1RX2、-NHCONRX1RX2、-NHCOORX1、-SO2RX1、-SO2ORX1、-NHSO2RX1等。RX1及RX2分別獨立地表示氫原子、烷基、芳基或雜環基。
鹵素原子可舉出氟原子、氯原子、溴原子、碘原子等,氟原子為較佳。
作為取代基之烷基、以及RX1及RX2所表示之烷基的碳數為1~30為較佳。烷基亦可以為直鏈、分支、環狀中的任一者,但直鏈或分支為較佳。烷基的一部分或全部氫原子亦可以被鹵素原子(較佳為氟原子)取代。又,烷基的一部分或全部氫原子亦可以被上述取代基取代。
作為取代基之芳基、以及RX1及RX2所表示之芳基的碳數為6~20為較
佳,6~15為更佳,6~10為進一步較佳。芳基可以為單環,亦可以為稠環。又,芳基的一部分或全部氫原子亦可以被上述取代基取代。
作為取代基之雜環基、以及RX1及RX2所表示之雜環基為5員環或6員環為較佳。雜環基可以為單環,亦可以為稠環。構成雜環基之碳原子的數為3~30為較佳,3~18為更佳,3~12為更佳。構成雜環基之雜原子的數為1~3為較佳。構成雜環基之雜原子為氮原子、氧原子或硫原子為較佳。又,雜環基的一部分或全部氫原子亦可以被上述取代基取代。
式(1)中,Ar2所表示之芳香族烴環具有取代基為較佳。作為取代基,-CORX1為較佳。RX1為烷基、芳基或雜環基為較佳,芳基為更佳。芳基可以具有取代基,亦可以未經取代。作為取代基,可舉出碳數1~10的烷基等。
式(1)中,R1~R3分別獨立地表示烷基或芳基。R1為烷基或芳基為較佳,芳基為更佳。R2及R3分別獨立地為烷基為較佳。
烷基的碳數為1~30為較佳。烷基亦可以為直鏈、分支、環狀中的任一者。烷基可以未經取代,亦可以具有取代基。
芳基的碳數為6~20為較佳,6~15為更佳,6~10為進一步較佳。芳基可以為單環,亦可以為稠環。又,可以未經取代,亦可以具有取代基。
式(1)中,R1~R3、Ar1及Ar2中的至少一個具有氟原子或含有氟原子之基團。
含有氟原子之基團為,具有氟原子之烷基(以下,還稱為含氟烷基)及包含具有氟原子之烷基之基團(以下,還稱為含氟基)為較佳。作為含氟基,係選自-ORX11、-SRX11、-CORX11、-COORX11、-OCORX11、
-NRX11RX12、-NHCORX11、-CONRX11RX12、-NHCONRX11RX12、-NHCOORX11、-SO2RX11、-SO2ORX11及-NHSO2RX11中之至少一種基團為較佳。RX11表示含氟烷基,RX12表示氫原子、烷基、含氟烷基、芳基或雜環基。含氟基為-ORX11為更佳。
含有氟原子之基團為含氟烷基及-ORX11為較佳。
含有氟原子之基團具有以下述式(F1)或式(F2)所表示之末端結構為較佳。式中的*表示連結鍵。
*-CHF2 (F1)
*-CF3 (F2)
含氟烷基的碳數為1~20為較佳,1~15為更佳,1~10為進一步較佳,1~4為特佳。含氟烷基亦可以為直鏈、分支、環狀中的任一者,但直鏈或分支為較佳。
含氟烷基的氟原子的取代率為40~100%為較佳,為50~100%為更佳,為60~100%為進一步較佳。此外,含氟烷基中的氟原子的取代率係指,以百分比表示出烷基的氫原子取代為氟原子之比例之值。
式(1)中,R1為具有含有氟原子之基團之芳基為較佳。含有氟原子之基團,可舉出上述之具有氟原子之烷基(含氟烷基)、包含具有氟原子之烷基之基團(含氟基)。較佳範圍亦相同。
光聚合起始劑的總量中的含有氟原子之肟化合物(較佳為,以上述式(1)所表示之化合物)的含量為20~70質量%為較佳。
作為具有氟原子之肟化合物的具體例,可舉出日本特開2010-262028號公報中記載的化合物、日本特表2014-500852號公報中記載
的化合物24、36~40、日本特開2013-164471號公報中記載的化合物(C-3)等。該等內容被編入本說明書中。
本發明中,作為光聚合起始劑,能夠使用具有硝基之肟化合物。將具有硝基之肟化合物設為二聚物亦較佳。作為具有硝基之肟化合物的具體例,可舉出日本特開2013-114249號公報的段落號0031~0047、日本特開2014-137466號公報的段落號0008~0012、0070~0079中記載的化合物、日本專利4223071號公報的段落號0007~0025中記載的化合物、ADEKA ARKLS NCI-831(ADEKA CORPORATION製造)等。
以下示出本發明中較佳地使用之肟化合物的具體例,但本發明並非限定於該等者。
肟化合物為於350nm~500nm的波長區域具有極大吸收波長之化合物為較佳,於360nm~480nm的波長區域具有吸收波長之化合物為更佳。又,肟化合物為365nm及405nm之吸光度高之化合物為較佳。
從靈敏度的觀點考慮,肟化合物的365nm或405nm下的莫耳吸光係數為1,000~300,000為較佳,為2,000~300,000為更佳,為5,000~200,000為特佳。化合物的莫耳吸光係數能夠使用公知的方法來測定。例如,利用紫外可見分光光度計(Varian公司製造的Cary-5 spectrophotometer),使用乙酸乙酯溶劑以0.01g/L的濃度進行測定為較佳。
光聚合起始劑亦可以依需要而組合使用2種以上。
相對於著色組成物的總固體成分,光聚合起始劑的含量為0.1~
50質量%為較佳,0.5~30質量%為更佳,1~20質量%為進一步較佳。若光聚合起始劑的含量為上述範圍,則可獲得良好的靈敏度和良好的圖案形成性。本發明的著色組成物可以僅含有1種光聚合起始劑,亦可以含有2種以上。當含有2種以上光聚合起始劑時,其合計量成為上述範圍為較佳。
<<硬化促進劑>>
出於促進聚合性化合物的反應或者降低硬化溫度之目的,本發明的著色組成物亦可以添加硬化促進劑。作為硬化促進劑,可舉出於分子內具有2個以上巰基之多官能硫醇化合物等。多官能硫醇化合物亦可以以改進穩定性、臭味、解析度、顯影性、黏附性等為目的而添加。多官能硫醇化合物為二級烷烴硫醇(alkanethiol)類為較佳,為具有以式(T1)所表示之結構之化合物為更佳。
(式(T1)中,n表示2~4的整數,L表示2~4價連結基。)
式(T1)中,連結基L為碳數2~12的脂肪族基為較佳,n為2,L為碳數2~12的伸烷基為特佳。作為多官能硫醇化合物的具體例,可舉出以下述結構式(T2)~(T4)所表示之化合物,以式(T2)所表示之化合物為特佳。該等多官能硫醇化合物能夠使用1種或組合使用多種。
又,硬化促進劑亦能夠使用羥甲基系化合物(例如,在日本特開2015-34963號公報的段落號0246中被例示為交聯劑之化合物)、胺類、鏻鹽、脒鹽、醯胺化合物(以上,例如為日本特開2013-41165號公報的段落號0186中記載的硬化劑)、鹼產生劑(例如,日本特開2014-55114號公報中記載的離子性化合物)、氰酸鹽(cyanate)化合物(例如,日本特開2012-150180號公報的段落號0071中記載的化合物)、烷氧基矽烷化合物(例如,日本特開2011-253054號公報中記載的具有環氧基之烷氧基矽烷化合物)、鎓鹽化合物(例如,日本特開2015-34963號公報的段落號0216中被例示為酸產生劑之化合物、日本特開2009-180949號公報中記載的化合物)等。
當本發明的著色組成物含有硬化促進劑時,相對於著色組成物的總固體成分,硬化促進劑的含量為0.3~8.9質量%為較佳,0.8~6.4質量%為更佳。
<<顏料衍生物>>
本發明的著色組成物含有顏料衍生物為較佳。作為顏料衍生物,可舉出具有使一部分發色團被酸性基、鹼性基或鄰苯二甲醯亞胺甲基取代之結構之化合物。作為酸基,可舉出磺基、羧基及其四級銨鹽基等。作為鹼性基,可舉出胺基等。
從容易獲得本發明的效果這一理由考慮,顏料衍生物為具有鹼性基之顏料衍生物為較佳,具有胺基之顏料衍生物為更佳,具有三級胺基之顏料衍生物為進一步較佳。
作為構成顏料衍生物之發色團,可舉出喹啉骨架、苯并咪唑酮骨架、二酮吡咯并吡咯骨架、偶氮骨架、酞菁骨架、蒽醌骨架、喹吖啶酮骨架、二噁嗪骨架、紫環酮骨架、苝骨架、硫靛骨架、異吲哚啉骨架、異吲哚啉酮(isoindolinone)骨架、喹啉黃骨架、THRENE骨架、金屬錯合物骨架等,喹啉骨架、苯并咪唑酮骨架、二酮吡咯并吡咯骨架、偶氮骨架、喹啉黃骨架、異吲哚啉骨架及酞菁骨架為較佳,偶氮骨架及苯并咪唑酮骨架為更佳。顏料衍生物例如能夠使用下述化合物。顏料衍生物的詳細內容能夠參閱日本特開2011-252065號公報的段落號0162~0183的記載,該內容被編入本說明書中。
相對於顏料的總質量,本發明的著色組成物中的顏料衍生物的含量為1~30質量%為較佳,3~20質量%為進一步較佳。顏料衍生物可以
僅使用1種,亦可以併用2種以上。
<<界面活性劑>>
從更加提高塗佈性之觀點考慮,本發明的著色組成物亦可以含有各種界面活性劑。作為界面活性劑,能夠使用氟系界面活性劑、非離子系界面活性劑、陽離子系界面活性劑、陰離子系界面活性劑、矽氧系界面活性劑等各種界面活性劑。
藉由使本發明的著色組成物含有氟系界面活性劑,製備成塗佈液時的液體特性(尤其,流動性)得到提高,從而能夠進一步改善塗佈厚度的均勻性和省液性。亦即,當使用適用了含有氟系界面活性劑之著色組成物之塗佈液來進行膜的形成時,被塗佈面與塗佈液之間的界面張力降低,對被塗佈面的潤濕性得到改善,對被塗佈面的塗佈性得到提高。因此,能夠更適宜地進行厚度不均較小的均勻厚度的膜的形成。
氟系界面活性劑中的含氟率為3~40質量%為較佳,更佳為5~30質量%,特佳為7~25質量%。在塗膜厚度的均勻性和省液性方面,含氟率在上述範圍內之氟系界面活性劑是有效的,著色組成物中的溶解性亦良好。
作為氟系界面活性劑,例如可舉出MEGAFACE F171、F172、F173、F176、F177、F141、F142、F143、F144、R30、F437、F475、F479、F482、F554、F780(以上,由DIC Corporation製造)、FLUORAD FC430、FC431、FC171(以上,由Sumitomo 3M Limited製造)、SURFLON S-382、SC-101、SC-103、SC-104、SC-105、SC-1068、SC-381、SC-383、S393、SURFLON KH-40(以上,由Asahi Glass Co.,Ltd.製造)、PF636、PF656、
PF6320、PF6520、PF7002(OMNOVA公司製造)等。氟系界面活性劑亦能夠使用日本特開2015-117327號公報的段落號0015~0158中記載的化合物、日本特開2011-132503號公報的段落號0117~0132中記載的化合物。作為氟系界面活性劑,亦能夠使用嵌段聚合物,作為具體例,例如可舉出日本特開2011-89090號公報中所記載之化合物。
氟系界面活性劑亦能夠適宜地使用丙烯酸系化合物,該丙烯酸系化合物中,其分子結構具有含有氟原子之官能基,且若進行加熱則含有氟原子之官能基的部分被切斷而氟原子揮發。作為該種氟系界面活性劑,可舉出DIC Corporation製造的MEGAFACE DS系列(化學工業日報,2016年2月22日)(日經產業新聞,2016年2月23日),例如MEGAFACE DS-21。
作為氟系界面活性劑,亦能夠較佳地使用含氟高分子化合物,該含氟高分子化合物包含:源自具有氟原子之(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元;及源自具有2個以上(較佳為5個以上)伸烷氧基(較佳為氧化乙烯、氧化丙烯)之(甲基)丙烯酸酯化合物之重複單元,下述化合物亦被例示為本發明中所使用之氟系界面活性劑。下述式中,表示重複單元的比例之%為莫耳%。
上述化合物的重量平均分子量,較佳為3,000~50,000,例如為14,000。
作為氟系界面活性劑,亦能夠使用於側鏈具有乙烯性不飽和鍵
基之含氟聚合物。作為具體例,可舉出日本特開2010-164965號公報的段落號0050~0090及段落號0289~0295中所記載之化合物。作為市售品,例如可舉出DIC Corporation製造的MEGAFACE RS-101、RS-102、RS-718-K、RS-72-K等。
作為非離子系界面活性劑,可舉出甘油、三羥甲基丙烷、三羥甲基乙烷以及該等之乙氧基化物及丙氧基化物(例如,甘油丙氧基化物、甘油乙氧基化物等)、聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯油基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯基醚、聚乙二醇二月桂酸酯、聚乙二醇二硬脂酸酯、山梨糖醇酐脂肪酸酯、PLURONIC L10、L31、L61、L62、10R5、17R2、25R2(BASF公司製造)、TETRONIC 304、701、704、901、904、150R1(BASF公司製造)、SOLSPERSE 20000(Lubrizol Japan Ltd.製造)、NCW-101、NCW-1001、NCW-1002(Wako Pure Chemical Industries,Ltd.製造)、PIONIN D-6112、D-6112-W、D-6315(TAKEMOTO OIL & FAT Co.,Ltd.製造)、OLFINE E1010、SURFYNOL 104、400、440(Nissin Chemical Industry Co.,Ltd.製造)等。
作為陽離子系界面活性劑,可舉出有機矽氧烷聚合物KP341(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.製造)、(甲基)丙烯酸系(共)聚合物POLYFLOW No.75、No.90、No.95(Kyoeisha Chemical Co.,Ltd.製造)、W001(Yusho Co.,Ltd.製造)等。
作為陰離子系界面活性劑,可舉出W004、W005、W017(Yusho Co.,Ltd.製造)、SANDET BL(SANYO KASEI Co.Ltd.製造)等。
作為矽氧系界面活性劑,例如可舉出Toray Silicone DC3PA、
Toray Silicone SH7PA、Toray Silicone DC11PA、Toray Silicone SH21PA、Toray Silicone SH28PA、Toray Silicone SH29PA、Toray Silicone SH30PA、Toray Silicone SH8400(以上,由Dow Corning Toray Co.,Ltd.製造)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4460、TSF-4452(以上,由Momentive Performance Materials Inc.製造)、KP341、KF6001、KF6002(以上,由Shin-Etsu Silicone Co.,Ltd.製造)、BYK307、BYK323、BYK330(以上,由BYK Chemie公司製造)等。又,矽氧系界面活性劑能夠使用下述化合物。
<<矽烷偶合劑>>
本發明的著色組成物能夠含有矽烷偶合劑。作為矽烷偶合劑,係於一個分子中具有至少2種反應性不同之官能基之矽烷化合物為較佳,矽烷偶合劑為具有如下基團和烷氧基之矽烷化合物為較佳,該基團選自乙烯基、環氧基、苯乙烯基、甲基丙烯酸基(methacrylic group)、胺基、異氰脲酸酯基(Isocyanurate group)、脲基、巰基、硫醚基及異氰酸酯基之至少一種。作為矽烷偶合劑的具體例,例如可舉出N-β-胺乙基-γ-胺丙基甲基二甲氧基矽烷(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.製造,KBM-602)、N-β-胺乙基-γ-胺丙基三甲氧基矽烷(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.製造,KBM-603)、N-β-胺乙基-γ-胺丙基三乙氧基矽烷(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.製造,KBE-602)、γ-胺丙基三甲氧基矽烷(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.製造,KBM-903)、γ-胺丙基三乙氧基矽烷(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.製造,KBE-903)、3-甲基丙
烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.製造,KBM-503)、3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷(Shin-Etsu Chemical Co.,Ltd.製造,KBM-403)等。關於矽烷偶合劑的詳細內容,能夠參閱日本特開2013-254047號公報的段落號0155~0158的記載,該內容被編入本說明書中。
當本發明的著色組成物含有矽烷偶合劑時,相對於著色組成物的總固體成分,矽烷偶合劑的含量為0.001~20質量%為較佳,0.01~10質量%為更佳,0.1質量%~5質量%為特佳。本發明的著色組成物可以僅含有1種矽烷偶合劑,亦可以含有2種以上。當含有2種以上時,其合計量成為上述範圍為較佳。
<<聚合抑制劑>>
本發明的著色組成物含有聚合抑制劑亦較佳。作為聚合抑制劑,可舉出氫醌、對甲氧基苯酚、二-第三丁基-對甲酚、五倍子酚、第三丁基兒茶酚、苯醌、4,4’-硫代雙(3-甲基-6-第三丁基苯酚)、2,2’-亞甲基雙(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、N-亞硝基苯基羥基胺鹽(銨鹽、三價鈰鹽(cerous salts)等)等。
當本發明的著色組成物含有聚合抑制劑時,相對於著色組成物的總固體成分,聚合抑制劑的含量為0.01~5質量%為較佳。本發明的著色組成物可以僅含有1種聚合抑制劑,亦可以含有2種以上。當含有2種以上時,其合計量成為上述範圍為較佳。
<<紫外線吸收劑>>
本發明的著色組成物亦可以含有紫外線吸收劑。紫外線吸收劑為共軛二烯系化合物為較佳。作為紫外線吸收劑的市售品,例如可舉出UV-503
(DAITO CHEMICAL CO.,LTD.製造)等。又,作為紫外線吸收劑,能夠使用胺基二烯化合物、水楊酸酯化合物、二苯甲酮化合物、苯并三唑化合物、丙烯腈化合物、三嗪化合物等。作為具體例,可舉出日本特開2013-68814號公報中記載的化合物。又,作為苯并三唑化合物,亦可使用MIYOSHI OIL & FAT CO.,LTD.製造的MYUA系列(化學工業日報,2016年2月1日)。
當本發明的著色組成物含有紫外線吸收劑時,相對於著色組成物的總固體成分,紫外線吸收劑的含量為0.1~10質量%為較佳,0.1~5質量%為更佳,0.1~3質量%為特佳。又,紫外線吸收劑可以僅使用1種,亦可以使用2種以上。當使用2種以上時,合計量成為上述範圍為較佳。
<<其他添加劑>>
本發明的著色組成物中能夠依需要而摻合各種添加劑,例如,填充劑、黏附促進劑、抗氧化劑、凝集抑制劑等。作為該等添加劑,能夠舉出日本特開2004-295116號公報的段落號0155~0156中記載的添加劑,該內容被編入本說明書中。又,作為抗氧化劑,例如能夠使用酚化合物、磷系化合物(例如,日本特開2011-90147號公報的段落號0042中記載的化合物)、硫醚化合物等。作為抗氧化劑的市售品,例如可舉出ADEKA CORPORATION製造的ADKSTAB系列(AO-20、AO-30、AO-40、AO-50、AO-50F、AO-60、AO-60G、AO-80、AO-330等)。抗氧化劑可以僅使用1種,亦可以使用2種以上。本發明的著色組成物能夠含有日本特開2004-295116號公報的段落號0078中記載的增感劑和光穩定劑、日本特開2004-295116號公報的段落號0081中記載的熱聚合抑制劑。
依所用之原料等,著色組成物中有時會含有金屬元素,而從抑
制缺陷的產生等觀點考慮,著色組成物中的第2族元素(鈣、鎂等)的含量為50質量ppm(parts per million)以下為較佳,0.01~10質量ppm為更佳。又,著色組成物中的無機金屬鹽的總量為100質量ppm以下為較佳,0.5~50質量ppm為更佳。
<著色組成物的製備方法>
本發明的著色組成物能夠將前述成分進行混合來製備。在製備著色組成物時,可以一併摻合各成分,亦可以在將各成分溶解及/或分散於溶劑之後逐次摻合。又,摻合時的投入順序和操作條件並不受特別限制。例如,可以將總成分同時溶解及/或分散於溶劑中來製備組成物,亦可以依需要而將各成分適當地形成2個以上的溶液或分散液,並在使用時(塗佈時)將該等進行混合來製備。
出於去除異物和減少缺陷等目的,在製備著色組成物時,用過濾器進行過濾為較佳。作為過濾器,只要是一直以來被用於過濾用途等之過濾器,則能夠沒有特別限定地使用。例如,可舉出使用了聚四氟乙烯(PTFE)等氟樹脂、尼龍(例如,尼龍-6、尼龍-6,6)等聚醯胺系樹脂、聚乙烯、聚丙烯(PP)等聚烯烴樹脂(包含高密度及/或超高分子量的聚烯烴樹脂)等原材料之過濾器。該等原材料中,聚丙烯(包含高密度聚丙烯)及尼龍為較佳。
過濾器的孔徑為0.01~7.0μm左右為適宜,較佳為0.01~3.0μm左右,更佳為0.05~0.5μm左右。
又,作為過濾器,利用使用了纖維狀濾材之過濾器亦較佳。作為纖維狀濾材,例如可舉出聚丙烯纖維、尼龍纖維、玻璃纖維等。作為使
用了纖維狀濾材之過濾器,可舉出ROKI TECHNO CO.,LTD.製造的SBP型系列(SBP008等)、TPR型系列(TPR002、TPR005等)、SHPX型系列(SHPX003等)的過濾芯子。
使用過濾器時,亦可以組合不同過濾器。此時,用各過濾器進行的過濾可以僅進行1次,亦可以進行2次以上。
例如,亦可以在上述範圍內組合不同孔徑的過濾器。此處的孔徑能夠參閱過濾器製造商的標稱值。作為市售的過濾器,例如能夠從NIHON PALL LTD.(DFA4201NIEY等)、Advantec Toyo Kaisha,Ltd.、Nihon Entegris K.K.(formerly Nippon Mykrolis Corporation)或KITZ MICROFILTER CORPORATION等所提供之各種過濾器中進行選擇。
又,用第1過濾器進行的過濾可以僅由分散液來進行,並在混合了其他成分之後用第2過濾器進行過濾。作為第2過濾器,能夠使用由與第1過濾器相同的材料等形成者。
本發明的著色組成物能夠以調整膜面形狀(平坦性等)、調整膜厚等為目的而對黏度進行調整來使用。黏度的值能夠依需要而適當選擇,但例如於25℃下為0.3mPa.s~50mPa.s為較佳,0.5mPa.s~20mPa.s為更佳。作為黏度的測定方法,例如,能夠使用Toki Sangyo Co.,Ltd製造的黏度計RE85L(轉子:1°34’×R24、測定範圍0.6~1200mPa.s),在將溫度調整為25℃之狀態下測定。
本發明的著色組成物的含水率通常為3質量%以下,為0.01~1.5質量%為較佳,為0.1~1.0質量%的範圍為更佳。關於耐光性,著色組成物的含水率少為較佳,但從著色組成物的液體穩定性、製造適當性等觀
點考慮,著色組成物有時含有少量的水為佳。含水率能夠藉由卡耳-費雪法(Karl Fischer’s method)來測定。
<著色組成物的用途>
本發明的著色組成物能夠形成耐光性優異之膜,因此可適宜地使用於形成彩色濾光片的著色層。又,本發明的著色組成物能夠作為電荷耦合元件(CCD)、互補式金屬氧化物半導體(CMOS)等固體攝像元件和液晶顯示裝置等圖像顯示裝置中所用之彩色濾光片等的著色圖案形成用而適宜地使用。還能夠作為印刷油墨、噴墨油墨及塗料等用途而適宜地使用。其中,亦能夠適宜地用於製造CCD及CMOS等固體攝像元件用彩色濾光片。
<彩色濾光片>
接著,對本發明的彩色濾光片進行說明。
本發明的彩色濾光片係使用上述本發明的著色組成物而成者。本發明的彩色濾光片的膜厚能夠按照目的而適當調整。膜厚為20μm以下為較佳,10μm以下為更佳,5μm以下為進一步較佳。膜厚的下限為0.1μm以上為較佳,0.2μm以上為更佳,0.3μm以上為進一步較佳。本發明的彩色濾光片能夠用於CCD(電荷耦合元件)、CMOS(互補式金屬氧化物半導體)等固體攝像元件和圖像顯示裝置等中。
在將本發明的著色組成物用作液晶顯示裝置用途的彩色濾光片時,具備彩色濾光片之液晶顯示元件的電壓保持率為70%以上為較佳,90%以上為更佳。能夠適當編入用於獲得高電壓保持率之公知的機構,作為典型的機構,可舉出使用純度高的原材料(例如,減少離子性雜質)和控制組成物中的酸性官能基的量。電壓保持率例如能夠藉由日本特開
2011-008004號公報的0243段、日本特開2012-224847號公報的0123~0129段中記載的方法等來測定。
<圖案形成方法>
本發明的圖案形成方法包括如下製程:使用本發明的著色組成物在支撐體上形成著色組成物層之製程;及藉由光蝕刻法或乾式蝕刻法而在著色組成物層上形成圖案之製程。
基於光蝕刻法之圖案形成包括如下製程為較佳:使用著色組成物在支撐體上形成著色組成物層之製程;將著色組成物層以圖案狀進行曝光之製程;及顯影去除未曝光部而形成圖案之製程。亦可以依需要而設置將著色組成物層進行烘烤之製程(預烘烤製程)及將已顯影之圖案進行烘烤之製程(後烘烤製程)。又,基於乾式蝕刻法之圖案形成包括如下製程為較佳:使用著色組成物在支撐體上形成著色組成物層,並藉由硬化而形成硬化物層之製程;在硬化物層上形成光阻層之製程;藉由曝光及顯影,從而將光阻層圖案化而獲得光阻圖案之製程;及將光阻圖案作為蝕刻遮罩而對硬化物層進行乾式蝕刻從而形成圖案之製程。以下,對各製程進行說明。
<<形成著色組成物層之製程>>
在形成著色組成物層之製程中,使用著色組成物在支撐體上形成著色組成物層。
作為支撐體,並無特別限定,能夠按照用途而適當選擇。例如可舉出玻璃基材、設置有CCD或CMOS等固體攝像元件(受光元件)之固體攝像元件用基材、矽基材等。又,為了改善與上部層之間的黏附性、防止物質的擴散或實現表面的平坦化,亦可以在該等基材上依需要而設置底
塗層。
作為對支撐體適用著色組成物的方法,能夠使用狹縫塗佈、噴墨法、旋轉塗佈、流延塗佈、輥式塗佈、網版印刷法等各種方法。
在支撐體上形成之著色組成物層亦可以進行乾燥(預烘烤)。當藉由低溫製程形成圖案時,亦可以不進行預烘烤。進行預烘烤時,預烘烤溫度為150℃以下為較佳,120℃以下為更佳,110℃以下為進一步較佳。下限例如能夠設為50℃以上,亦能夠設為80℃以上。藉由在150℃以下的溫度下進行預烘烤,例如在由有機原材料構成影像感測器的光電轉換膜時,能夠更有效地維持該等特性。預烘烤時間為10秒~300秒為較佳,40~250秒為更佳,80~220秒為進一步較佳。乾燥能夠用加熱板、烘箱等來進行。
(藉由光蝕刻法進行圖案形成之情況)
<<曝光製程>>
接著,將著色組成物層以圖案狀進行曝光(曝光製程)。例如,對著色組成物層使用步進電動機等曝光裝置,經由具有規定的遮罩圖案之遮罩而進行曝光,藉此能夠進行圖案曝光。藉此,能夠硬化曝光部分。
作為在曝光時能夠使用之放射線(光),可以較佳地使用g射線、i射線等紫外線(特佳為i射線)。照射量(曝光量)例如為0.03~2.5J/cm2為較佳,0.05~1.0J/cm2為更佳。
關於曝光時的氧濃度,能夠適當地進行選擇,除了在大氣下進行以外,還可以在例如氧濃度為19體積%以下的低氧環境下(例如,15體積%、5體積%、實質上無氧)進行曝光,亦可以在氧濃度超過21體積%之高氧環境下(例如,22體積%、30體積%、50體積%)進行曝光。又,曝光照度
能夠適當地進行設定,通常能夠選自1000W/m2~100000W/m2(例如,5000W/m2、15000W/m2、35000W/m2)的範圍。氧濃度與曝光照度可以適當地將條件進行組合,例如能夠設為氧濃度10體積%且照度10000W/m2、氧濃度35體積%且照度20000W/m2等。
<<顯影製程>>
接著,顯影去除未曝光部而形成圖案。未曝光部的顯影去除能夠使用顯影液來進行。藉此,曝光製程中的未曝光部的著色組成物層於顯影液中溶出,僅殘留已光硬化之部分。
作為顯影液,不會對基底的固體攝像元件和電路等造成損傷之有機鹼顯影液為較佳。
顯影液的溫度例如為20~30℃為較佳。顯影時間為20~180秒為較佳。又,為了提高殘渣去除性,亦可以重複數次每60秒甩掉顯影液而再供給新顯影液之製程。
作為顯影液,可以較佳地使用用純水稀釋了鹼劑而得之鹼性水溶液。作為鹼劑,例如可舉出氨水、乙胺、二乙胺、二甲基乙醇胺、二乙二醇胺、二乙醇胺、羥胺、乙二胺、氫氧化四甲銨、氫氧化四乙銨、氫氧化四丙銨、氫氧化四丁銨、氫氧化苄基三甲銨、二甲基雙(2-羥乙基)氫氧化銨、膽鹼、吡咯、哌啶、1,8-二氮雜雙環[5.4.0]-7-十一碳烯等有機鹼性化合物、或氫氧化鈉、氫氧化鉀、碳酸鈉、碳酸氫鈉、矽酸鈉、偏矽酸鈉等無機鹼性化合物。鹼性水溶液的鹼劑的濃度為0.001~10質量%為較佳,0.01~1質量%為更佳。又,顯影液中還可以包含界面活性劑。作為界面活性劑的一例,可舉出以上述著色組成物說明之界面活性劑,非離子系界面
活性劑為較佳。
此外,當使用包括該種鹼性水溶液之顯影液時,在顯影後用純水進行清洗(沖洗)為較佳。
顯影後,亦能夠在進行了乾燥之後進行加熱處理(後烘烤)。後烘烤為用於使膜的硬化成為完善者之顯影後的加熱處理。當進行後烘烤時,後烘烤溫度例如為100~240℃為較佳。從膜硬化的觀點考慮,200~230℃為更佳。後烘烤後的膜的楊氏模數為0.5~20GPa為較佳,2.5~15GPa為更佳。又,當作為發光光源而使用有機電致發光(有機EL)元件時或由有機原材料構成影像感測器的光電轉換膜時,後烘烤溫度為150℃以下為較佳,120℃以下為更佳,100℃以下為進一步較佳,90℃以下為特佳。下限例如能夠設為50℃以上。
能夠以成為上述條件之方式,使用加熱板或對流式烘箱(熱風循環式乾燥機)、高頻加熱機等加熱機構,對顯影後的膜(硬化膜)以連續式或間歇式進行後烘烤。又,當藉由低溫製程形成圖案時,亦可以不進行後烘烤。
硬化膜具有高平坦性為較佳。具體而言,表面粗糙度Ra為100nm以下為較佳,40nm以下為更佳,15nm以下為進一步較佳。下限並無規定,但例如為0.1nm以上為較佳。表面粗糙度的測定例如能夠使用Veeco Instruments,Inc.製造的AFM(原子力顯微鏡)Dimension3100來測定。
又,硬化膜上的水的接觸角能夠適當地設定為較佳值,典型地,為50~110°的範圍。接觸角例如能夠使用接觸角計CV-DT.A型(Kyowa Interface Science Co.,Ltd.製造)來測定。
各圖案(像素)的體積電阻高為較佳。具體而言,像素的體積
電阻為109Ω.cm以上為較佳,1011Ω.cm以上為更佳。上限並無規定,例如為1014Ω.cm以下為較佳。像素的體積電阻例如能夠使用超高電阻計5410(Advantest Corporation製造)來測定。
(藉由乾式蝕刻法進行圖案形成之情況)
藉由乾式蝕刻法進行的圖案形成能夠如下進行,亦即,將在支撐體上形成之著色劑組成物層硬化而成為硬化物層,接著,在所得之硬化物層上,將圖案化之光阻層作為遮罩而使用蝕刻氣體來進行。
光阻層係藉由在硬化物層上塗佈正型或負型的感放射線性組成物,並使其乾燥而形成光阻層為較佳。作為光阻層的形成中使用之感放射線性組成物,可較佳地使用正型感放射線性組成物。作為正型感放射線性組成物,係對包含紫外線(g射線、h射線、i射線)、KrF射線、ArF射線等之遠紫外線、電子束、離子束及X射線等放射線發生感應之感放射線性組成物為較佳。上述正型感放射線性組成物係對KrF射線、ArF射線、i射線、X射線發生感應之感放射線性組成物為較佳,從微細加工性的觀點考慮,對KrF射線發生感應之感放射線性組成物為更佳。作為正型感光性樹脂組成物,可適宜地使用日本特開2009-237173號公報和日本特開2010-134283號公報中記載的正型光阻組成物。
光阻層的形成中,感放射線性組成物的曝光製程中,用KrF射線、ArF射線、i射線、X射線等來進行為較佳,用KrF射線、ArF射線、X射線等來進行為更佳,用KrF射線來進行為進一步較佳。
<固體攝像元件>
本發明的固體攝像元件具有上述本發明的彩色濾光片。作為本發明的
固體攝像元件的構成,只要係具備本發明的彩色濾光片,且作為固體攝像元件發揮功能之構成,則並無特別限定,例如可舉出如下構成。
係在基材上具有構成固體攝像元件(CCD(電荷耦合元件)影像感測器、CMOS(互補式金屬氧化物半導體)影像感測器等)的受光區域之複數個光電二極體及包括多晶矽等之轉移電極,在光電二極體及轉移電極上具有僅在光電二極體的受光部開口之遮光膜,在遮光膜上具有以覆蓋遮光膜的整面及光電二極體受光部之方式形成之包括氮化矽等之元件保護膜,在元件保護膜上具有彩色濾光片之構成。而且,亦可以為在元件保護膜上且在彩色濾光片的下側(靠近基材之一側)具有聚光機構(例如,微透鏡等。以下相同)之構成或者在彩色濾光片上具有聚光機構之構成等。又,彩色濾光片亦可以具有藉由隔壁而例如在被分隔為格子狀之空間內嵌入有形成各著色像素之硬化膜之結構。該情況下的隔壁係對各著色像素為低折射率為較佳。作為具有該種結構之撮像裝置的一例,可舉出日本特開2012-227478號公報、日本特開2014-179577號公報中記載的裝置。
具備本發明的固體攝像元件之撮像裝置除了用作數位相機或具有撮像功能之電子設備(行動電話等)用以外,亦能夠用作車載攝像機或監視攝像機用。
<圖像顯示裝置>
本發明的彩色濾光片能夠用於液晶顯示裝置和有機電致發光顯示裝置等圖像顯示裝置中。關於圖像顯示裝置的定義和各圖像顯示裝置的詳細內容,例如記載於“電子顯示裝置(佐木 昭夫著,Kogyo Chosakai Publis hing Co.,Ltd.1990年發行)”、“顯示裝置(伊吹順章著,Sangyo Tos
ho Publishing Co.,Ltd.平成元年發行)”等中。又,關於液晶顯示裝置,例如記載於“下一代液晶顯示技術(內田龍男編集,Kogyo Chosakai Pub lishing Co.,Ltd.1994年發行)”中。本發明能夠適用之液晶顯示裝置並無特別限制,例如能夠適用於上述“下一代液晶顯示技術”中所記載之各種方式的液晶顯示裝置。
以下,舉出實施例對本發明進一步具體地進行說明。以下實施例所示之材料、使用量、比例、處理內容、處理步驟等,只要不脫離本發明的宗旨,則能夠適當變更。因此,本發明的範圍並非限定於以下所示之具體例。此外,除非另有說明,“份”、“%”為質量基準。
又,以下,PGMEA為丙二醇單甲醚乙酸酯的簡稱。
<重量平均分子量的測定>
重量平均分子量藉由以下方法進行了測定。
管柱的種類:連結了TOSOH TSKgel Super HZM-H、TOSOH TSKgel Super HZ4000及TOSOH TSKgel Super HZ2000之管柱
展開溶劑:四氫呋喃
管柱溫度:40℃
流量(樣品注入量):1.0μL(樣品濃度:0.1質量%)
裝置名稱:TOSOH CORPORATION製造的HLC-8220GPC
檢測器:RI(折射率)檢測器
校準曲線基本樹脂:聚苯乙烯
<酸值的測定方法>
將測定樣品溶解於四氫呋喃/水=9/1(質量比)的混合溶劑中,將所得之溶液於25℃下,使用電位差滴定裝置(商品名:AT-510,KYOTO ELECTRONICS MANUFACTURING CO.,LTD.製造)在0.1mol/L氫氧化鈉水溶液中進行了中和滴定。將滴定pH曲線的反曲點作為滴定終點,藉由下式算出了酸值。
A=56.11×Vs×0.1×f/w
A:酸值(mgKOH/g)
Vs:滴定所需之0.1mol/L氫氧化鈉水溶液的使用量(mL)
f:0.1mol/L氫氧化鈉水溶液的力價
w:測定樣品的質量(g)(固體成分換算)
[試驗例1]
<顏料分散液的製造>
將下述表中記載的原料進行混合而獲得了混合液。使用作為循環型分散裝置(珠磨機)之Kotobuki Industries Co.,Ltd.製造的ULTRA APEX MILL(商品名),對所得之混合液進行分散處理,從而獲得了分散液。所得之分散液的固體成分為20.05質量%。此外,樹脂1一欄中記載的數值為固體成分的值。
上述表中記載的原料係如下。
PY185:C.I.顏料黃185(異吲哚啉顏料)
PY139:C.I.顏料黃139(異吲哚啉顏料)
PG58:C.I.顏料綠58(鹵化鋅酞菁顏料)
G2~G7:藉由後述方法合成之鹵化鋅酞菁顏料
顏料衍生物S-1:下述結構的化合物
樹脂1:下述結構的樹脂的30質量%PGMEA溶液(重量平均分子量=24000,酸值=50mgKOH/g,附記於主鏈之數值為莫耳比,附記於側鏈之數值為重複單元的重複數)
<鹵化鋅酞菁顏料G2的合成>
裝填了磺醯氯91份、氯化鋁109份、氯化鈉15份、鋅酞菁30份、溴74份。歷時40小時而升溫至130℃,並將其取出至水後進行過濾,從而獲得了綠色素顏料。將所得之綠色素顏料20份、粉碎後之氯化鈉140份、二乙二醇32份、二甲苯1.8份裝填到雙臂型捏合機中,於100℃下混煉了6小時。混煉後取出至1800份之80℃的水中,攪拌1小時後進行過濾、熱水
清洗、乾燥、粉碎,從而獲得了鹵化鋅酞菁顏料G2。根據基於質量分析和燒瓶燃燒離子層析之鹵素含量分析,所得之鹵化鋅酞菁顏料G2係鹵素與氫的原子比為14:2。
<鹵化鋅酞菁顏料G3~G7的合成>
調整所添加之溴的量,如下述表變更鹵素與氫的原子比,除此以外,以與鹵化鋅酞菁顏料G2相同的方法合成了鹵化鋅酞菁顏料G3~G7。
<著色組成物的製備>
混合下述組成中記載的原料而製備了著色組成物。
此外,實施例45~47中,作為聚合性化合物D,將D-10、D-C及D-D以質量比計,以D-10/D-C/D-D=1/0.7/0.3的比例混合使用,作為光聚合起始劑,將OXE01和I-1以質量比計,以OXE01/I-1=5/3.5的比例混合使用。
(組成)實施例1~44
.PGMEA:35.47質量份
.下述表中記載的樹脂C:1.67質量份
.下述表中記載的聚合性化合物:2.42質量份
.界面活性劑W-1(矽氧烷系):0.01質量份
.下述表中記載的光聚合起始劑:0.93質量份
.具有環氧基之化合物(Daicel Corporation製造 商品名“EHPE3150”):
0.34質量份
.聚合抑制劑(對甲氧基苯酚):0.01質量份
.下述表中記載的顏料分散液:59.15質量份(以固體成分換算,係11.83質量份)
(組成)實施例45~47
.PGMEA:25.33質量份
.下述表中記載的樹脂C:1.41質量份
.下述表中記載的聚合性化合物:2.10質量份
.界面活性劑W-1(矽氧烷系):0.008質量份
.下述表中記載的光聚合起始劑:0.85質量份
.具有環氧基之化合物(Daicel Corporation製造 商品名“EHPE3150”):0.38質量份
.聚合抑制劑(對甲氧基苯酚):0.0011質量份
.下述表中記載的顏料分散液:69.73質量份(以固體成分換算,係13.98質量份)
.矽烷偶合劑1:0.19質量份
界面活性劑W-1:下述結構的化合物(重量平均分子量14000)
矽烷偶合劑1:下述結構的化合物(結構式中的Et為乙基)
(光聚合起始劑)
OXE 01:IRGACURE OXE-01(BASF公司製造)
OXE 02:IRGACURE OXE-02(BASF公司製造)
I-1~I-3:下述結構的化合物
(聚合性化合物)
TMMT:Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.製造 商品名“NK Ester A-TMMT”
D-3、D-10:下述結構的化合物
(樹脂)
C-1~C-11、C-12-1~C-12-6、C-13-1~C-13-3、C-14、C-15、C-18、C-19、C-A~C-E:下述結構的樹脂。附記於主鏈之數值為莫耳比。
上述表中記載的共聚合成分為以下所示之化合物。此外,附記於以下結構式之CLogP的數值為相同化合物的CLogP值。
<分光測定用基板的製作>
在鈉玻璃(75mm×75mm正方形,厚度1.1mm)上,使用旋轉塗佈機(H-360S[商品名],由MIKASA CO.,LTD.製造)塗佈了各著色組成物。接著,使用加熱板於100℃下預烘烤2分鐘而獲得了塗膜。
使用USHIO INC.製造的超高壓水銀燈(“USH-500BY”(商品名)),
對所得之塗膜以1000mJ/cm2進行了曝光。接著,使用空氣環境下的加熱板,於200℃下對曝光後的塗膜加熱5分鐘,從而獲得了膜厚0.5μm的硬化膜。
對所得之硬化膜,使用Otsuka Electronics Co.,Ltd.製“MCPD-3000”(商品名)測定了400nm~700nm範圍的透光率(透射率)。對各試樣進行5次試驗,並採用了去掉最大值和最小值之3次結果的平均值。
<耐光性的評價試驗>
(耐光性1)
在藉由上述製作之硬化膜上裝上紫外線截止濾光片(AS ONE Corporation製造的KU-1000100[商品名]),使用耐光試驗機(Suga Test Instruments Co.,Ltd.製造的Xenon Weather Meter SX75[商品名])歷時50小時照射10万lux的光(累計為500万luxh)而進行了耐光性試驗。硬化膜的溫度(試驗裝置內溫度)設定為63℃。試驗裝置內的相對濕度設為50%。於耐光性試驗後,測定硬化膜的透射率的變化量,並藉由以下基準進行了耐光性的評價。試驗對在相同條件下製作之每個硬化膜進行5次,並採用了去掉最大值和最小值之3次結果的平均值。此外,透射率的變化量係指,在波長為400nm~700nm的範圍內,透射率變化量最大的波長之變化量(|耐光性試驗前的透射率(%)-耐光性試驗後的透射率(%)|)。
5:透射率的變化量為3%以下。
4:透射率的變化量超過3%且為5%以下。
3:透射率的變化量超過5%且為7%以下。
2:透射率的變化量超過7%且為10%以下。
1:透射率的變化量超過10%。
(耐光性2)
與上述耐光性1的條件相比,將裝置內相對濕度從50%變更為90%,除此以外,以與耐光性1相同的試驗方法進行了耐光性的評價。
(耐光性3)
在藉由上述製作之硬化膜上,用化學沉積(CVD)法使100nm的SiO2膜沉積。在所得之沉積處理結束之硬化膜上裝上紫外線截止濾光片(AS ONE Corporation製造的KU-1000100[商品名]),使用耐光試驗機(Suga Test Instruments Co.,Ltd.製造的Xenon Weather Meter SX75[商品名])歷時50小時照射10万lux的光(累計為500万luxh)而進行了耐光性試驗。硬化膜的溫度(試驗裝置內溫度)設定為63℃。試驗裝置內的相對濕度設為50%。於耐光性試驗後,藉由硬化膜的透射率的變化量,並藉由以下基準進行了耐光性的評價。試驗對在相同條件下製作之每個硬化膜進行5次,並採用了去掉最大值和最小值之3次結果的平均值。與上述相同,透射率的變化量係指,在波長為400nm~700nm的範圍內,透射率變化量最大的波長之變化量。
5:透射率的變化量為3%以下。
4:透射率的變化量超過3%且為5%以下。
3:透射率的變化量超過5%且為7%以下。
2:透射率的變化量超過7%且為10%以下。
1:透射率的變化量超過10%。
(耐光性4)
在藉由上述製作之硬化膜上裝上紫外線截止濾光片(AS ONE
Corporation製造的KU-1000100[商品名]),使用耐光試驗機(Suga Test Instruments Co.,Ltd.製造的Xenon Weather Meter SX75[商品名])歷時100小時照射10万lux的光(累計為1000万luxh)而進行了耐光性試驗。硬化膜的溫度(試驗裝置內溫度)設定為63℃。試驗裝置內的相對濕度設為50%。耐光性的評價依照耐光性1的評價基準。此外,耐光性4的試驗僅對實施例41~44的硬化膜實施。
<微影性(顯影性)的評價試驗>
以塗佈後的膜厚成為0.7μm之方式,使用Tokyo Electron Limited製造的Act8[商品名]並藉由旋塗法,將藉由上述獲得之各著色組成物塗佈於8吋(1吋=2.54cm)的矽晶圓上,之後使用加熱板,於100℃下加熱2分鐘而獲得了硬化膜。
接著,使用i射線步進電動機曝光裝置“FPA-3000i5+”(商品名,Canon Inc.製造),對所得之硬化膜經由具有2.0μm方形的圖案之遮罩而進行了曝光(曝光量50~1700mJ/cm2)。
接著,使用顯影裝置(Tokyo Electron Limited製造的Act8[商品名])對曝光後的硬化膜進行了顯影。顯影液中使用氫氧化四甲銨(TMAH)0.3質量%水溶液,於23℃下進行了60秒噴淋顯影。之後,藉由使用了純水之旋轉噴淋進行沖洗從而獲得了圖案。
將所得之圖案使用掃描型電子顯微鏡(SEM)(S-4800H[商品名],由Hitachi High-Technologies Corporation製造),以倍率20000倍進行了觀察。而且,依據所觀察之圖像,按照以下基準評價了微影性能。微影性能的評價試驗對各著色組成物各進行3次,綜合判定了其結果。
5:圖案清晰,無殘渣。
4:圖案清晰,殘渣較少。
3:圖案成為稍微錐形形狀,但殘渣較少。
2:圖案成為錐形形狀,殘渣較多。
1:未形成圖案。
從上述結果可知,實施例係在耐光性1~3的所有評價(實施例41~44係在耐光性1~4的所有評價)中為“3”以上,耐光性優異。相對與此,比較例係在耐光性1~3中的至少一個評價為“1”或“2”,耐光性較差。
[試驗例2]
<乾式蝕刻用著色組成物的製備方法>
(實施例101)
.PGMEA:22.83質量份
.樹脂C-12-4:1.47質量份
.界面活性劑W-1(矽氧烷系):0.01質量份
.具有環氧基之化合物(Daicel Corporation製造 商品名“EHPE3150”):0.69質量份
.顏料分散液1:75.00質量份(以固體成分換算,係15.00質量份)
(實施例102)
.PGMEA:22.80質量份
.樹脂C-12-4:1.47質量份
.聚合性化合物(Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.製造 商品名“NK
Ester A-TMMT”):0.71質量份
.界面活性劑W-1(矽氧烷系):0.01質量份
.聚合抑制劑(對甲氧基苯酚):0.01質量份
.下述表中記載的顏料分散液:75.00質量份(以固體成分換算,係15.00質量份)
(實施例103)
.PGMEA:24.54質量份
.樹脂C-12-4:1.59質量份
.聚合性化合物(Shin-Nakamura Chemical Co.,Ltd.製造 商品名「NK Ester A-TMMT」):0.72質量份
.界面活性劑W-1(矽氧烷系):0.01質量份
.光聚合起始劑(IRGACURE OXE-02):0.28質量份
.聚合抑制劑(對甲氧基苯酚):0.01質量份
.顏料分散液1:72.85質量份(以固體成分換算,係14.57質量份)
(實施例104)
與實施例31相同的組成物。
<基於乾法蝕刻之圖案化方法>
以塗佈後的膜厚成為0.7μm之方式,使用Tokyo Electron Limited製造的Act8[商品名]並藉由旋塗法,將藉由上述獲得之各著色組成物塗佈於8吋(1吋=2.54cm)的矽晶圓上,之後使用加熱板,於100℃下加熱了2分鐘。接著,只對實施例103、104進一步使用i射線步進電動機曝光裝置“FPA-3000i5+”(商品名,Canon Inc.製造),以曝光量1000mJ/cm2進行了
整面曝光。
接著(在實施例101、102中係上述加熱後,在實施例102、103中係曝光後),使用空氣環境下的加熱板,於200℃下加熱5分鐘而獲得了硬化膜(綠色層)。
接著,在硬化膜(綠色層)上塗佈日本特開2010-134283號公報的0328段的實施例2中記載的光阻組成物,於120℃下加熱60秒而形成了膜厚0.7μm的光阻層。在所得之光阻層上使用KrF準分子雷射掃描器(ASML製造的PAS5500/850C、波長248nm、NA=0.70、Sigma=0.80)進行了圖案曝光。照射後,於130℃下加熱60秒,並使用2.38質量%氫氧化四甲銨(TMAH)水溶液進行了60秒顯影。接著,用水沖洗30秒,進一步於110℃下實施1分鐘的後烘烤處理,從而形成了膜厚為0.8μm的光阻圖案。
接著,將光阻圖案作為蝕刻遮罩,並藉由以下步驟進行了上述硬化膜(綠色層)的乾式蝕刻。
使用乾式蝕刻裝置(Hitachi High-Technologies Corporation製造,U-6 21),並在設為如下之條件下實施了80秒的第1階段的蝕刻處理,前述條件係RF(高頻)功率:800W;天線偏壓:400W;晶圓偏壓:200W;處理室的內部壓力:4.0Pa;基板溫度:50℃;以及混合氣體的氣體種類及流量分別係CF4:80mL/min、O2:40mL/min、Ar:800mL/min。接著,在同一蝕刻處理室內,並在設為如下之條件下實施了第2階段蝕刻處理、過度蝕刻(overetch)處理,前述條件係RF功率:600W;天線偏壓:100W;晶圓偏壓:250W;處理室的內部壓力:2.0Pa;基板溫度:50℃;混合氣體的氣體種類及流量分別係N2:500mL/min、O2:50mL/min、Ar:500mL/min
(N2/O2/Ar=10/1/10);以及總蝕刻下的過度蝕刻比率係20%。
以上述條件進行了乾式蝕刻之後,使用光阻剝離液“MS230C”(FUJIFILM Electronic Materials Co.,Ltd.製造)實施120秒的剝離處理而去除光阻圖案,進一步用純水進行清洗並實施了旋轉乾燥。之後,於100℃下進行了2分鐘的脫水烘烤處理。藉由上述獲得了綠色圖案。該綠色圖案的尺寸為0.8μm。
即使在使用了任何著色組成物之情況下,均形成了適宜製作固體攝像元件之矩形綠色圖案。
<耐光性試驗>
對使用了實施例101~104的著色組成物之圖案實施了與試驗例1相同的耐光性試驗,結果得到了與實施例31同等的良好的結果。
Claims (19)
- 一種著色組成物,其含有鹵化鋅酞菁顏料A、異吲哚啉顏料B、樹脂C及硬化性化合物D,前述樹脂C包含具有源自聚合性化合物Cm之重複單元之樹脂C1,前述聚合性化合物Cm中,作為1-辛醇/水的分配係數P的常用對數之LogP的計算值亦即CLogP值為3.0以上,且於分子內具有環狀結構,前述鹵化鋅酞菁顏料A的質量與前述異吲哚啉顏料B的質量之比為,鹵化鋅酞菁顏料A的質量:異吲哚啉顏料B的質量=55:45~85:15。
- 如申請專利範圍第1項所述之著色組成物,其中於前述樹脂C的總質量中,含有5質量%以上的前述樹脂C1。
- 如申請專利範圍第1項中記載的著色組成物,其中於前述樹脂C1的所有重複單元中,含有5~95莫耳%的源自前述聚合性化合物Cm之重複單元。
- 如申請專利範圍第1項所述之著色組成物,其中前述樹脂C1還含有具有酸基之重複單元。
- 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之著色組成物,其中前述聚合性化合物Cm具有選自脂肪族環及芳香族烴環之至少一種。
- 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之著色組成物,其中前述樹脂C1的酸值為10~160mgKOH/g。
- 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之著色組成物,其 中前述硬化性化合物D包含聚合性化合物。
- 如申請專利範圍第7項所述之著色組成物,其還含有光聚合起始劑。
- 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之著色組成物,其中前述硬化性化合物D包含具有環氧基之化合物。
- 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之著色組成物,其中前述鹵化鋅酞菁顏料A的質量與前述異吲哚啉顏料B的質量之比為,鹵化鋅酞菁顏料A的質量:異吲哚啉顏料B的質量=55:45~75:25。
- 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之著色組成物,其中於前述樹脂C1的所有重複單元中,含有25~95莫耳%的源自前述聚合性化合物Cm之重複單元。
- 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之著色組成物,其中前述聚合性化合物Cm具有的環狀結構為脂肪族環。
- 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之著色組成物,其中前述異吲哚啉顏料B為C.I.顏料黃139或是C.I.顏料黃185。
- 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之著色組成物, 其中前述硬化性化合物D的CLogP值為4.0~12.0。
- 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述之著色組成物,其中前述顏料僅由鹵化鋅酞菁顏料A及異吲哚啉顏料B構成。
- 一種彩色濾光片,其使用了申請專利範圍第1項至第15項中任一項所述之著色組成物。
- 一種圖案形成方法,其具有如下製程:使用申請專利範圍第1項至第15項中任一項所述之著色組成物而在支撐體上形成著色組成物層之製程;及藉由光蝕刻法或乾式蝕刻法而在著色組成物層上形成圖案之製程。
- 一種固體攝像元件,其具有申請專利範圍第16項所述之彩色濾光片。
- 一種圖像顯示裝置,其具有申請專利範圍第16項所述之彩色濾光片。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016-149996 | 2016-07-29 | ||
JP2016149996 | 2016-07-29 | ||
JP2017140992 | 2017-07-20 | ||
JP2017-140992 | 2017-07-20 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201835235A TW201835235A (zh) | 2018-10-01 |
TWI729175B true TWI729175B (zh) | 2021-06-01 |
Family
ID=61017350
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW106124857A TWI729175B (zh) | 2016-07-29 | 2017-07-25 | 著色組成物、彩色濾光片、圖案形成方法、固體攝像元件以及圖像顯示裝置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11073760B2 (zh) |
JP (1) | JP6617201B2 (zh) |
KR (2) | KR102217045B1 (zh) |
TW (1) | TWI729175B (zh) |
WO (1) | WO2018021184A1 (zh) |
Families Citing this family (12)
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-
2017
- 2017-07-21 JP JP2018529848A patent/JP6617201B2/ja active Active
- 2017-07-21 KR KR1020207014987A patent/KR102217045B1/ko active Active
- 2017-07-21 WO PCT/JP2017/026475 patent/WO2018021184A1/ja active Application Filing
- 2017-07-21 KR KR1020187035819A patent/KR102119433B1/ko active Active
- 2017-07-25 TW TW106124857A patent/TWI729175B/zh active
-
2019
- 2019-01-16 US US16/249,578 patent/US11073760B2/en active Active
-
2021
- 2021-06-11 US US17/345,697 patent/US12019369B2/en active Active
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---|---|---|---|---|
TW201612636A (en) * | 2014-08-07 | 2016-04-01 | Sumitomo Chemical Co | Photosensitive coloring resin composition |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR102217045B1 (ko) | 2021-02-18 |
TW201835235A (zh) | 2018-10-01 |
US20220082937A1 (en) | 2022-03-17 |
KR102119433B1 (ko) | 2020-06-05 |
US11073760B2 (en) | 2021-07-27 |
KR20200063261A (ko) | 2020-06-04 |
US20190163053A1 (en) | 2019-05-30 |
JPWO2018021184A1 (ja) | 2019-04-11 |
WO2018021184A1 (ja) | 2018-02-01 |
US12019369B2 (en) | 2024-06-25 |
KR20190005979A (ko) | 2019-01-16 |
JP6617201B2 (ja) | 2019-12-11 |
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