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TWD232582S - 半導體製造裝置用反應管的內管之部分 - Google Patents

半導體製造裝置用反應管的內管之部分 Download PDF

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TWD232582S
TWD232582S TW111305739F TW111305739F TWD232582S TW D232582 S TWD232582 S TW D232582S TW 111305739 F TW111305739 F TW 111305739F TW 111305739 F TW111305739 F TW 111305739F TW D232582 S TWD232582 S TW D232582S
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TW
Taiwan
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semiconductor manufacturing
reaction tube
inner tube
manufacturing equipment
design
Prior art date
Application number
TW111305739F
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English (en)
Inventor
平野敦士
Original Assignee
日商國際電氣股份有限公司 (日本)
日商國際電氣股份有限公司
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Publication date
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Abstract

【物品用途】;本設計的物品是半導體製造裝置用反應管的內管，係安裝於反應管之內側而被使用的內管，而該反應管係被使用於半導體製造裝置。;【設計說明】;圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。;圖式所揭露之一點鏈線僅是表示作為部分設計而欲主張設計專利之部分與其他部分間的邊界，該一點鏈線本身為本案不主張設計之部分。

Description

半導體製造裝置用反應管的內管之部分
本設計的物品是半導體製造裝置用反應管的內管，係安裝於反應管之內側而被使用的內管，而該反應管係被使用於半導體製造裝置。
圖式所揭露之虛線部分，為本案不主張設計之部分。
圖式所揭露之一點鏈線僅是表示作為部分設計而欲主張設計專利之部分與其他部分間的邊界，該一點鏈線本身為本案不主張設計之部分。
TW111305739F 2022-05-30 2022-11-18 半導體製造裝置用反應管的內管之部分 TWD232582S (zh)

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